JP2002066487A - 塗布装置の洗浄方法 - Google Patents

塗布装置の洗浄方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 洗浄後に新たな塗布液を供給した際に、当該
塗布液の濃度が残っている洗浄液で希釈されることのな
い塗布装置の洗浄方法を提供する。 【解決手段】 塗布ノズルＮに塗布液を供給する供給配
管１と、塗布ノズルＮからのノズル内エアー抜き用配管
２、あるいはポンプ内エアー抜き用配管３の途中に設け
られる第１バルブＶ1〜第４バルブＶ4を開、閉あるいは
開閉動作せしめることで配管内などを洗浄する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は塗布装置の洗浄方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガラス基板や半導体ウェーハ表面に、レ
ジストなどの塗布液を塗布する塗布装置において、塗布
液の種類を替えるときや、長時間装置を停止するときに
は、配管、フィルタ、バルブ、ポンプ及び塗布ノズルを
含む経路内部に残っている塗布液を排出して内部を洗浄
する必要がある。
【０００３】従来の洗浄方法は、配管などに残っている
塗布液をエアーや窒素による加圧送液若しくはポンプを
駆動する等して排出し、次いで洗浄液を排管等に送り込
み、バルブをオン・オフすることで配管内などを洗浄す
るようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の洗浄においては
洗浄液として塗布液溶媒あるいは塗布液溶媒を含む混合
溶剤などを用いている。塗布液溶媒あるいは塗布液溶媒
を含む混合溶剤などは洗浄能力は高いものの一般的には
乾燥しにくく、新たな塗布液を供給した際に塗布液が希
釈され濃度変化が起きてしまう。一方、揮発性の高い洗
浄液を用いれば容易に乾燥させることができるが、揮発
性の高い洗浄液は洗浄能力に劣るという問題がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本願発明に係る塗布装置の洗浄方法は、揮発しにくいが
洗浄力に優れた低揮発性の洗浄液で経路内などを洗浄し
た後、洗浄力は劣るものの揮発性の高い洗浄液を用いて
再度経路内などを洗浄するようにした。
【０００６】高揮発性の洗浄液を経路内等に充填するこ
とで、内部に残っている低揮発性の洗浄液が除去され、
新たな塗布液を供給する際には経路内などは完全に乾燥
しており、濃度が変化することがない。
【０００７】前記低揮発性の洗浄液、即ち塗布液溶媒あ
るいは塗布液溶媒を含む混合溶剤としては、プロピレン
グリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレング
リコールモノエチルエーテルアセテート、シクロヘキサ
ノン、エチルエトキシプロピオネート、メチルアミルケ
トン、エチルラクテートなどが挙げられ、前記高揮発性
の洗浄液としては、酢酸エチル、酢酸プロピル、メチル
エチルケトン、酢酸イソプロピル、アセトンなどが挙げ
られ、その２５℃における蒸気圧は４×１０3Pa〜３５
×１０3Paの範囲である。特に酢酸エチル、酢酸プロピ
ル、メチルエチルケトンはカラーフィルター用レジスト
に対して、アセトンは半導体用レジストに対して異物を
生じず、溶解性も良くて有効である。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を説明
する。図１〜図３は塗布装置の概略図であり、各図は第
１〜第３の洗浄工程を示す。先ず、塗布装置は塗布ノズ
ルＮと、この塗布ノズルＮに塗布液を供給する供給配管
１と、塗布ノズルＮからのノズル内エアー抜き用配管２
とを備え、塗布液の供給配管１にはフィルタＦ1、第１
バルブＶ1及びポンプＰ、第２バルブＶ2及びフィルタＦ
2を設け、ノズル内エアー抜き配管２には第３バルブＶ3
を設け、更にこの実施例にあっては、ポンプＰからポン
プ内エアー抜き用配管３を導出し、このポンプ内エアー
抜き用配管３に第４バルブＶ4を設けている。
【０００９】上記の塗布装置を洗浄するには、先ず第１
バルブＶ1から第４バルブＶ4を全て開として、各配管、
フィルタ、バルブ及びポンプの内部に残っている塗布液
を排出する。この塗布液の排出にはエアーや窒素による
加圧送液にて排出するかポンプを駆動する。
【００１０】次いで、低揮発性の洗浄液を用いた洗浄を
行う。この洗浄は本実施例では３工程に分けて行う。各
工程におけるバルブＶ1〜Ｖ4の状態を以下の（表１）に
示す。
【００１１】
【表１】
【００１２】（表１）に示すように、第１工程では、第
２バルブＶ2と第３バルブＶ3を閉とし、第４バルブＶ4
を開とし、この状態でエアーや窒素による加圧送液する
とともに第１バルブＶ1に開閉動作を行わせる。この場
合、エアーや窒素による加圧送液がポンプＰによる送液
であってもよい。
【００１３】この第１工程では、図１に示すように、塗
布液の供給配管１のうちポンプＰまでの部分とポンプ内
エアー抜き用配管３、更にこれら配管に設けられたフィ
ルタＦ1、第1バルブＶ1、ポンプＰおよび第４バルブＶ4
が洗浄される。なお、第１バルブＶ1が開閉動作を行う
ことで脈動が発生し、効果的に洗浄が行われる。
【００１４】次いで、第２工程を行う。この第２工程で
は、第１バルブＶ1を開、第３バルブＶ3と第４バルブＶ
4を閉とし、この状態でポンプＰを駆動するとともに第
２バルブＶ2に開閉動作を行わせる。
【００１５】この第２工程では、図２に示すように、塗
布液の供給配管１、ノズルＮ、更にフィルタＦ1、第1バ
ルブＶ1、ポンプＰ、第２バルブＶ2およびフィルタＦ2
が洗浄される。
【００１６】次いで、第３工程を行う。この第３工程で
は、第１バルブＶ1及び第２バルブＶ2を開、第４バルブ
Ｖ4を閉とし、この状態でポンプＰを駆動するとともに
第３バルブＶ3に開閉動作を行わせる。
【００１７】この第３工程では、図３に示すように、塗
布液の供給配管１、ノズル内エアー抜き配管２、ノズル
Ｎ、更にフィルタＦ1、第1バルブＶ1、ポンプＰ、第２
バルブＶ2、フィルタＦ2及び第３バルブＶ3が洗浄され
る。
【００１８】以上の低揮発性の洗浄液を用いた第１〜第
３工程からなる前洗浄が終了したならば、高揮発性の洗
浄液を用いた後洗浄を行う。この後洗浄も前記低揮発性
の洗浄液による場合と同様に（表１）に示した第１〜第
３工程でもって行う。
【００１９】しかしながら、洗浄する第１〜第３工程は
この順番にこだわらず、必要に応じて変えることも可能
である。また、第１〜第３工程の前洗浄が全て終了して
から後洗浄をするのではなく、第１洗浄の前洗浄が終わ
ったらすぐに後洗浄を行うように各工程ごとに前洗浄と
後洗浄を行ってもよい。
【００２０】
【発明の効果】以上に説明したように本発明に係る塗布
装置の洗浄方法によれば、揮発しにくいが洗浄力に優れ
た低揮発性の洗浄液で経路内などを洗浄した後、洗浄力
は劣るものの揮発性の高い洗浄液を用いて再度配管内な
どを洗浄するようにしたので、洗浄後に塗布装置内部が
短時間のうちに乾燥し、新たな塗布液を供給する際に濃
度が変化することがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】洗浄の第１工程を示す図
【図２】洗浄の第２工程を示す図
【図３】洗浄の第３工程を示す図
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｂ０５Ｄ 3/10 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５６４Ｃ ５Ｆ０４６ Ｆターム(参考） 3B116 AA47 AB53 BB62 3B201 AA47 AB53 BB62 BB95 CB11 4D073 AA01 BB03 CC02 CC17 4D075 AA01 AA74 BB65Z CA47 4F042 AA07 AB00 CB02 CB08 CB19 CB25 CC04 CC07 CC08 5F046 JA02 JA03 JA05 JA09

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 塗布ノズルと、この塗布ノズルへの塗布
    液供給配管と、塗布ノズルからの塗布液戻し配管とを備
    え、塗布液供給配管にはフィルタ、バルブ及びポンプを
    設け、塗布液戻し配管にはバルブを設けた塗布装置の洗
    浄方法において、配管、フィルタ、バルブ、ポンプ及び
    塗布ノズルを含む経路内の塗布液を排出した後、低揮発
    性の洗浄液で前記経路内を洗浄し、この後、高揮発性の
    洗浄液で前記経路内を洗浄することを特徴とする塗布装
    置の洗浄方法。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載の塗布装置の洗浄方法に
    おいて、前記低揮発性の洗浄液は、塗布液溶媒あるいは
    塗布液溶媒を含む混合溶剤であり、前記高揮発性の洗浄
    液は、蒸気圧４×１０3Pa〜３５×１０3Pa（２５℃）の
    高揮発性有機溶剤であることを特徴とする塗布装置の洗
    浄方法。
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