JP2002054964A - 流量測定方法及び流量計 - Google Patents
流量測定方法及び流量計Info
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
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- G—PHYSICS
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- G01F15/02—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature
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- Fluid Mechanics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被測定流体が灯油などの温度変化により体積
変化するものであっても測定誤差の少ない流量測定を行
うことの可能な流量計を提供する。 【解決手段】 被測定流体を流通させる測定流通路に配
置された熱式流量センサー１０を含んで構成された流量
検知回路と、温度センサ回路１２と、流量換算回路と、
記憶手段ＥＥＰＲＯＭとを備えている。記憶手段には検
量線として流量検知回路の電気的出力と流量との関係を
離散的な温度値ごとに示す複数の個別検量線が記憶され
ており、この個別検量線は流量として基準温度における
流量に換算されたものを使用して作成されている。流量
換算回路は、温度センサ回路１２により測定された温度
と複数の個別検量線とに基づき補間演算を行って、測定
時の温度に対応する校正流量値を得る。
変化するものであっても測定誤差の少ない流量測定を行
うことの可能な流量計を提供する。 【解決手段】 被測定流体を流通させる測定流通路に配
置された熱式流量センサー１０を含んで構成された流量
検知回路と、温度センサ回路１２と、流量換算回路と、
記憶手段ＥＥＰＲＯＭとを備えている。記憶手段には検
量線として流量検知回路の電気的出力と流量との関係を
離散的な温度値ごとに示す複数の個別検量線が記憶され
ており、この個別検量線は流量として基準温度における
流量に換算されたものを使用して作成されている。流量
換算回路は、温度センサ回路１２により測定された温度
と複数の個別検量線とに基づき補間演算を行って、測定
時の温度に対応する校正流量値を得る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、流体流量測定技術
に属するものであり、特に、配管内を流れる流体の瞬時
流量あるいは積算流量を測定するための流量測定方法及
び流量計に関する。
に属するものであり、特に、配管内を流れる流体の瞬時
流量あるいは積算流量を測定するための流量測定方法及
び流量計に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】流量計
は、家庭や企業において消費される灯油、水、ガスなど
の流体の流量を測定するのに利用されている。この流量
計として、低価格化が容易な熱式（特に傍熱型）の流量
センサーを用いたものが利用されている。
は、家庭や企業において消費される灯油、水、ガスなど
の流体の流量を測定するのに利用されている。この流量
計として、低価格化が容易な熱式（特に傍熱型）の流量
センサーを用いたものが利用されている。
【０００３】傍熱型流量センサーとしては、基板上に薄
膜技術を利用して薄膜発熱体と薄膜感温体とを絶縁層を
介して積層してなるセンサーチップを配管（外部配管と
連通して流量計内部に設けられた流体流通路を含む）内
の流体との間で熱伝達（即ち熱的相互作用）可能なよう
に配置したものが使用されている。発熱体に通電するこ
とにより感温体を加熱し、該感温体の電気的特性例えば
電気抵抗の値を変化させる。この電気抵抗値の変化（感
温体の温度上昇に基づく）は、配管内を流れる流体の流
量（流速）に応じて変化する。これは、発熱体の発熱量
のうちの一部が流体中へと伝達され、この流体中へ拡散
して流体に吸収される熱量は流体の流量（流速）に応じ
て変化し、これに応じて感温体へと供給される熱量が変
化して、該感温体の電気抵抗値が変化するからである。
この感温体の電気抵抗値の変化は、流体の温度によって
も異なり、このため、上記感温体の電気抵抗値の変化を
測定する電気回路中に温度補償用の感温素子を組み込ん
でおき、流体の温度による流量測定値の変化をできるだ
け少なくすることも行われている。
膜技術を利用して薄膜発熱体と薄膜感温体とを絶縁層を
介して積層してなるセンサーチップを配管（外部配管と
連通して流量計内部に設けられた流体流通路を含む）内
の流体との間で熱伝達（即ち熱的相互作用）可能なよう
に配置したものが使用されている。発熱体に通電するこ
とにより感温体を加熱し、該感温体の電気的特性例えば
電気抵抗の値を変化させる。この電気抵抗値の変化（感
温体の温度上昇に基づく）は、配管内を流れる流体の流
量（流速）に応じて変化する。これは、発熱体の発熱量
のうちの一部が流体中へと伝達され、この流体中へ拡散
して流体に吸収される熱量は流体の流量（流速）に応じ
て変化し、これに応じて感温体へと供給される熱量が変
化して、該感温体の電気抵抗値が変化するからである。
この感温体の電気抵抗値の変化は、流体の温度によって
も異なり、このため、上記感温体の電気抵抗値の変化を
測定する電気回路中に温度補償用の感温素子を組み込ん
でおき、流体の温度による流量測定値の変化をできるだ
け少なくすることも行われている。
【０００４】このような、薄膜素子を用いた傍熱型流量
センサーに関しては、例えば、特開平１１−１１８５６
６号公報に記載がある。この流量センサーにおいては、
流体の流量に対応する電気的出力を得るためにブリッジ
回路を含む電気回路を使用している。
センサーに関しては、例えば、特開平１１−１１８５６
６号公報に記載がある。この流量センサーにおいては、
流体の流量に対応する電気的出力を得るためにブリッジ
回路を含む電気回路を使用している。
【０００５】以上のような流量計では、センサーチップ
と流体との熱交換のためのフィンプレートを流体流通路
内へと突出させており、流量センサーの周辺部には、流
量演算のための回路基板を含む電気回路部、表示部、通
信回線接続部その他が配置されており、これらを含む流
量計の機能部の全体は筐体内に収容されている。
と流体との熱交換のためのフィンプレートを流体流通路
内へと突出させており、流量センサーの周辺部には、流
量演算のための回路基板を含む電気回路部、表示部、通
信回線接続部その他が配置されており、これらを含む流
量計の機能部の全体は筐体内に収容されている。
【０００６】ところで、傍熱型の流量センサーを用いた
流量計では、上記のように、発熱体（ヒータ）で発生し
た熱量の一部を流体へと伝達させており、該流体で流速
に応じた吸熱がなされることに基づき、この吸熱量に対
応する電気回路出力値から検量線を用いて流量値へと換
算している。この検量線は、流量測定される流体につい
て予め行った実験等により得られるものである。従っ
て、流量測定の際の流体及び環境条件が検量線作成の際
と同一の場合には、本質的には流量測定誤差が発生する
ことはない。
流量計では、上記のように、発熱体（ヒータ）で発生し
た熱量の一部を流体へと伝達させており、該流体で流速
に応じた吸熱がなされることに基づき、この吸熱量に対
応する電気回路出力値から検量線を用いて流量値へと換
算している。この検量線は、流量測定される流体につい
て予め行った実験等により得られるものである。従っ
て、流量測定の際の流体及び環境条件が検量線作成の際
と同一の場合には、本質的には流量測定誤差が発生する
ことはない。
【０００７】しかし、灯油のように互いに異なる分子量
を持つ複数の種類の分子の混合物からなる流体は温度に
よって体積が変化するので、検量線作成の際と異なる温
度で検知が行われた場合の該検量線を用いた換算により
得られた流量値には誤差が含まれることがある。
を持つ複数の種類の分子の混合物からなる流体は温度に
よって体積が変化するので、検量線作成の際と異なる温
度で検知が行われた場合の該検量線を用いた換算により
得られた流量値には誤差が含まれることがある。
【０００８】そこで、本発明は、被測定流体が温度変化
により体積変化するものであっても測定誤差の少ない流
量測定を行うことを目的とするものである。特に、本発
明は、そのような流量測定のための方法及び流量計を提
供することを目的とするものである。
により体積変化するものであっても測定誤差の少ない流
量測定を行うことを目的とするものである。特に、本発
明は、そのような流量測定のための方法及び流量計を提
供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、以上の
如き目的を達成するものとして、被測定流体を測定流通
路に流通させ、該測定流通路に配置された熱式流量セン
サーから前記被測定流体への吸熱量が該被測定流体の前
記測定流通路内での流量に対応することを利用して、前
記熱式流量センサーを含んで構成された電気回路で前記
測定流通路内での前記被測定流体の流量に対応する電気
的出力を得、予め作成された検量線を用いて前記流量対
応の電気的出力に対応する流量値への換算を行うことに
より前記被測定流体の流量を測定する方法であって、前
記検量線として前記電気回路の電気的出力と流量との関
係を離散的な温度値ごとに示す複数の個別検量線を用
い、該個別検量線の作成に際し流量として基準温度にお
ける流量に換算されたものを使用し、温度測定を行い、
測定温度と前記複数の個別検量線とに基づき補間演算を
行って、測定時の温度に対応する校正流量値を得ること
を特徴とする流量測定方法、が提供される。
如き目的を達成するものとして、被測定流体を測定流通
路に流通させ、該測定流通路に配置された熱式流量セン
サーから前記被測定流体への吸熱量が該被測定流体の前
記測定流通路内での流量に対応することを利用して、前
記熱式流量センサーを含んで構成された電気回路で前記
測定流通路内での前記被測定流体の流量に対応する電気
的出力を得、予め作成された検量線を用いて前記流量対
応の電気的出力に対応する流量値への換算を行うことに
より前記被測定流体の流量を測定する方法であって、前
記検量線として前記電気回路の電気的出力と流量との関
係を離散的な温度値ごとに示す複数の個別検量線を用
い、該個別検量線の作成に際し流量として基準温度にお
ける流量に換算されたものを使用し、温度測定を行い、
測定温度と前記複数の個別検量線とに基づき補間演算を
行って、測定時の温度に対応する校正流量値を得ること
を特徴とする流量測定方法、が提供される。
【００１０】本発明の流量測定方法の一態様において
は、前記個別検量線のそれぞれは前記電気回路の電気的
出力のとり得る値のうちのとびとびの値について作成さ
れており、補間演算を行って前記測定時の温度に対応す
る流量値を得るようにしてなる。
は、前記個別検量線のそれぞれは前記電気回路の電気的
出力のとり得る値のうちのとびとびの値について作成さ
れており、補間演算を行って前記測定時の温度に対応す
る流量値を得るようにしてなる。
【００１１】更に、本発明によれば、以上の如き目的を
達成するものとして、被測定流体を流通させる測定流通
路と、該測定流通路に配置された熱式流量センサーと、
該熱式流量センサーを含んで構成された流量検知回路
と、温度測定手段と、流量換算回路と、記憶手段とを備
えており、前記記憶手段には検量線として前記流量検知
回路の電気的出力と流量との関係を離散的な温度値ごと
に示す複数の個別検量線が記憶されており、該個別検量
線は流量として基準温度における流量に換算されたもの
を使用して作成されており、前記流量換算回路は、前記
温度測定手段により測定された温度と前記複数の個別検
量線とに基づき補間演算を行って、測定時の温度に対応
する校正流量値を得ることを特徴とする熱式流量計、が
提供される。
達成するものとして、被測定流体を流通させる測定流通
路と、該測定流通路に配置された熱式流量センサーと、
該熱式流量センサーを含んで構成された流量検知回路
と、温度測定手段と、流量換算回路と、記憶手段とを備
えており、前記記憶手段には検量線として前記流量検知
回路の電気的出力と流量との関係を離散的な温度値ごと
に示す複数の個別検量線が記憶されており、該個別検量
線は流量として基準温度における流量に換算されたもの
を使用して作成されており、前記流量換算回路は、前記
温度測定手段により測定された温度と前記複数の個別検
量線とに基づき補間演算を行って、測定時の温度に対応
する校正流量値を得ることを特徴とする熱式流量計、が
提供される。
【００１２】本発明の流量計の一態様においては、前記
熱式流量センサーは前記測定流通路へと突出した前記被
測定流体との熱的相互作用のためのフィンプレートを有
している。
熱式流量センサーは前記測定流通路へと突出した前記被
測定流体との熱的相互作用のためのフィンプレートを有
している。
【００１３】本発明の流量測定方法または流量計の一態
様においては、前記被測定流体は互いに異なる分子量を
持つ複数の種類の分子の混合物例えば灯油である。ま
た、本発明の流量測定方法または流量計の一態様におい
ては、前記基準温度は１４〜１６℃の範囲内の温度であ
る。
様においては、前記被測定流体は互いに異なる分子量を
持つ複数の種類の分子の混合物例えば灯油である。ま
た、本発明の流量測定方法または流量計の一態様におい
ては、前記基準温度は１４〜１６℃の範囲内の温度であ
る。
【００１４】以上のような本発明により、流量測定の精
度が向上する理由を以下に説明する。
度が向上する理由を以下に説明する。
【００１５】各種灯油について温度変化に伴う体積変化
を調べた結果、次のことが見出された。即ち、図１に示
されているように、４種の灯油（４社それぞれの販売に
係る灯油）について、温度が変化すると、それに伴って
体積が変化し、その変化は１５℃の時の体積を基準
（１．００）としてほぼ直線的な関係をもって変化する
ことがわかった。これは、互いに異なる分子量を持つ複
数の種類の分子の混合物である灯油においては、組成差
があったとしても、温度変化に対する体積変化は大略同
等であることを示すものである。
を調べた結果、次のことが見出された。即ち、図１に示
されているように、４種の灯油（４社それぞれの販売に
係る灯油）について、温度が変化すると、それに伴って
体積が変化し、その変化は１５℃の時の体積を基準
（１．００）としてほぼ直線的な関係をもって変化する
ことがわかった。これは、互いに異なる分子量を持つ複
数の種類の分子の混合物である灯油においては、組成差
があったとしても、温度変化に対する体積変化は大略同
等であることを示すものである。
【００１６】そこで、本発明においては、検量線として
基準温度時に換算された流量を使用して作成された離散
的な温度値ごとの複数の個別検量線を用意しておき、こ
れらの個別検量線と測定温度とに基づき補間演算を行っ
て測定時の温度に対応する校正された流量値を得ること
により、流量測定の精度を向上させている。
基準温度時に換算された流量を使用して作成された離散
的な温度値ごとの複数の個別検量線を用意しておき、こ
れらの個別検量線と測定温度とに基づき補間演算を行っ
て測定時の温度に対応する校正された流量値を得ること
により、流量測定の精度を向上させている。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照しながら説明する。
面を参照しながら説明する。
【００１８】図２〜６は本発明による流量計の一実施形
態を示す図である。流量計の筐体は本体部材２と外蓋部
材４とを含んでなる。本体部材２はアルミニウムや亜鉛
などのダイカスト製のものであり、該筐体本体部材２に
はアルミニウムや亜鉛などのダイカスト製の外蓋部材４
が特定方向（矢印Ａの向き）にネジ止めにより適合され
ている。筐体本体部材２の一方の側部には流体入口管２
１が形成されており他方の側部には流体出口管２２が形
成されている。筐体本体部材２には、２つの隔室が形成
されている。１つの隔室は上側の貯留部用凹部２３であ
り、他の１つは下側の回路部材用凹部２４である。貯留
部用凹部２３は内壁２６により画定されている。
態を示す図である。流量計の筐体は本体部材２と外蓋部
材４とを含んでなる。本体部材２はアルミニウムや亜鉛
などのダイカスト製のものであり、該筐体本体部材２に
はアルミニウムや亜鉛などのダイカスト製の外蓋部材４
が特定方向（矢印Ａの向き）にネジ止めにより適合され
ている。筐体本体部材２の一方の側部には流体入口管２
１が形成されており他方の側部には流体出口管２２が形
成されている。筐体本体部材２には、２つの隔室が形成
されている。１つの隔室は上側の貯留部用凹部２３であ
り、他の１つは下側の回路部材用凹部２４である。貯留
部用凹部２３は内壁２６により画定されている。
【００１９】貯留部用凹部２３を塞ぐように内壁２６の
端面に対して矢印Ａの向きにアルミニウムや亜鉛などの
ダイカスト製の中蓋部材６の外周面がネジ止めにより適
合されている。この適合に際しては、ゴムシール（コル
ク入りゴムシール等）が介在せしめられ、適合部からの
流体の漏れを防止している。これにより、筐体本体部材
２と中蓋部材６との間に流体の一時貯留及び流通のため
の流体貯留部が形成されている。筐体本体部材２には、
流体入口管２１と連通し且つ貯留部用凹部２３にて開口
せる開口２１ａが形成されており、流体出口管２２と連
通し且つ貯留部用凹部２３にて開口せる接続開口２２ａ
が設けられている。
端面に対して矢印Ａの向きにアルミニウムや亜鉛などの
ダイカスト製の中蓋部材６の外周面がネジ止めにより適
合されている。この適合に際しては、ゴムシール（コル
ク入りゴムシール等）が介在せしめられ、適合部からの
流体の漏れを防止している。これにより、筐体本体部材
２と中蓋部材６との間に流体の一時貯留及び流通のため
の流体貯留部が形成されている。筐体本体部材２には、
流体入口管２１と連通し且つ貯留部用凹部２３にて開口
せる開口２１ａが形成されており、流体出口管２２と連
通し且つ貯留部用凹部２３にて開口せる接続開口２２ａ
が設けられている。
【００２０】中蓋部材６には、流体貯留部内に配置され
る流量計測部８が付設されている。該流量計測部６には
流体流量測定のための測定流通路８１が形成されてい
る。測定流通路８１の入口は流量計測部６の下面に流体
貯留空間に向けて開口している。また、測定流通路８１
の出口には矢印Ａの向きに突出せる継手部材８ａが取り
付けられており、中蓋部材６を筐体本体部材２に適合す
ることで継手部材８ａが筐体本体部材２側の接続開口２
２ａに適合され、これにより流量計測部８の測定流通路
８１の出口と流体出口管２２とが連通せしめられてい
る。
る流量計測部８が付設されている。該流量計測部６には
流体流量測定のための測定流通路８１が形成されてい
る。測定流通路８１の入口は流量計測部６の下面に流体
貯留空間に向けて開口している。また、測定流通路８１
の出口には矢印Ａの向きに突出せる継手部材８ａが取り
付けられており、中蓋部材６を筐体本体部材２に適合す
ることで継手部材８ａが筐体本体部材２側の接続開口２
２ａに適合され、これにより流量計測部８の測定流通路
８１の出口と流体出口管２２とが連通せしめられてい
る。
【００２１】流量計測部８に形成された矢印Ａの方向の
センサー装着孔８ｂ内には、熱式流量センサー１０が挿
入されている（尚、該熱式流量センサー１０について
は、図７を参照して後述する）。熱式流量センサー１０
は熱交換のための熱伝達部材としてのフィンプレートＦ
Ｐ及び外部電極端子ＥＴを有しており、フィンプレート
ＦＰは流体流通路へと突出せしめられている。
センサー装着孔８ｂ内には、熱式流量センサー１０が挿
入されている（尚、該熱式流量センサー１０について
は、図７を参照して後述する）。熱式流量センサー１０
は熱交換のための熱伝達部材としてのフィンプレートＦ
Ｐ及び外部電極端子ＥＴを有しており、フィンプレート
ＦＰは流体流通路へと突出せしめられている。
【００２２】中蓋部材６には、流体流通経路規定部材９
が取り付けられている。この流通経路規定部材９は、中
蓋部材６を筐体本体部材２に適合することで、流体貯留
部内において、開口２１ａから流入する流体の流通経路
を規定するものであり、流入流体を開口２１ａの下方へ
と導き、しかる後に流通経路規定部材９の下縁と流体貯
留部の底面との間に形成された開口を通じて流量計測部
８の配置された領域へと導くようにするものである。
が取り付けられている。この流通経路規定部材９は、中
蓋部材６を筐体本体部材２に適合することで、流体貯留
部内において、開口２１ａから流入する流体の流通経路
を規定するものであり、流入流体を開口２１ａの下方へ
と導き、しかる後に流通経路規定部材９の下縁と流体貯
留部の底面との間に形成された開口を通じて流量計測部
８の配置された領域へと導くようにするものである。
【００２３】図２他において、流量計測部８の測定流通
路８１が上下方向に延びている形態が示されている。こ
の測定流通路８１の下端の開口が流体入口とされてお
り、上端の開口は中蓋部材６を筐体本体部材２に適合す
ることで該筐体本体部材２の内壁面により閉ざされる。
測定流通路８１の上端直下において、流量計測部８には
矢印Ａの向きの水平孔が形成されており、これが流体出
口８１ａとされている。この流体出口８１ａと筐体本体
部材２側の接続開口２２ａとは、矢印Ａ方向に対応する
位置に配置されており、これらの間には、Ｏ−リングを
介在させて流路継手８ａが配置されている。
路８１が上下方向に延びている形態が示されている。こ
の測定流通路８１の下端の開口が流体入口とされてお
り、上端の開口は中蓋部材６を筐体本体部材２に適合す
ることで該筐体本体部材２の内壁面により閉ざされる。
測定流通路８１の上端直下において、流量計測部８には
矢印Ａの向きの水平孔が形成されており、これが流体出
口８１ａとされている。この流体出口８１ａと筐体本体
部材２側の接続開口２２ａとは、矢印Ａ方向に対応する
位置に配置されており、これらの間には、Ｏ−リングを
介在させて流路継手８ａが配置されている。
【００２４】流量計測部８には、測定流通路８１に連な
る２つのセンサー挿入孔８ｂが形成されており、その一
方には流量センサー１０が他方には流体温度検知センサ
ー１０’がそれぞれＯリングを介在させて挿入されてい
る。流量センサー１０は、例えば図７に示すように、フ
ィンプレートＦＰと流量検知部ＦＳとを熱伝導性良好な
接合材ＡＤにより接合し、流量検知部ＦＳの電極パッド
と外部電極端子ＥＴとをボンディングワイヤーＢＷで接
続し、モールド樹脂ＭＲで封止したものとすることがで
きる。流体温度検知センサー１０’は、流量センサー１
０において流量検知部ＦＳの代わりに流体温度検知部を
用い且つこれに対応した外部電極端子ＥＴを持つものと
することができる。これら流量検知部や流体温度検知部
としては、上記特開平１１−１１８５６６号公報に記載
の如きものを使用することができる。
る２つのセンサー挿入孔８ｂが形成されており、その一
方には流量センサー１０が他方には流体温度検知センサ
ー１０’がそれぞれＯリングを介在させて挿入されてい
る。流量センサー１０は、例えば図７に示すように、フ
ィンプレートＦＰと流量検知部ＦＳとを熱伝導性良好な
接合材ＡＤにより接合し、流量検知部ＦＳの電極パッド
と外部電極端子ＥＴとをボンディングワイヤーＢＷで接
続し、モールド樹脂ＭＲで封止したものとすることがで
きる。流体温度検知センサー１０’は、流量センサー１
０において流量検知部ＦＳの代わりに流体温度検知部を
用い且つこれに対応した外部電極端子ＥＴを持つものと
することができる。これら流量検知部や流体温度検知部
としては、上記特開平１１−１１８５６６号公報に記載
の如きものを使用することができる。
【００２５】また、図３に示されているように、流量計
測部８には、測定流通路８１内の流体の温度を検知する
ための温度センサー１２が配置されている。流量計測部
８は熱伝導性良好であるので、その温度は測定流通路８
１内の流体の温度とほぼ同一である。従って、温度セン
サー１２により測定流通路８１の近傍において流量計測
部８の温度を測定することで、流体温度測定を行うこと
が可能である。
測部８には、測定流通路８１内の流体の温度を検知する
ための温度センサー１２が配置されている。流量計測部
８は熱伝導性良好であるので、その温度は測定流通路８
１内の流体の温度とほぼ同一である。従って、温度セン
サー１２により測定流通路８１の近傍において流量計測
部８の温度を測定することで、流体温度測定を行うこと
が可能である。
【００２６】これらのセンサー１０，１０’，１２は、
押え部材４２により位置固定されており、その上にアナ
ログ回路基板４４が配置されている。アナログ回路基板
４４は、流量センサー１０及び流体温度検知センサー１
０’の外部電極端子ＥＴと電気的に接続されている。
押え部材４２により位置固定されており、その上にアナ
ログ回路基板４４が配置されている。アナログ回路基板
４４は、流量センサー１０及び流体温度検知センサー１
０’の外部電極端子ＥＴと電気的に接続されている。
【００２７】また、外蓋部材４には、アナログ回路基板
４４とともに流量検知回路を構成するデジタル回路基板
３４、電源回路部を構成するトランス３６、及び流量計
に対する入出力端子部としての電源基板４６，４８が取
り付けられており、電源基板４８には電源ケーブル取り
付け端子５０が取り付けられている。特に、トランス３
６及び入出力端子部は、回路部材用凹部２４内に配置さ
れている。デジタル回路基板３４には液晶表示素子ＬＣ
Ｄが取り付けられており、カバー板５２を介して外部か
らデジタル表示の瞬時流量値または積算流量値を観察す
ることができる。
４４とともに流量検知回路を構成するデジタル回路基板
３４、電源回路部を構成するトランス３６、及び流量計
に対する入出力端子部としての電源基板４６，４８が取
り付けられており、電源基板４８には電源ケーブル取り
付け端子５０が取り付けられている。特に、トランス３
６及び入出力端子部は、回路部材用凹部２４内に配置さ
れている。デジタル回路基板３４には液晶表示素子ＬＣ
Ｄが取り付けられており、カバー板５２を介して外部か
らデジタル表示の瞬時流量値または積算流量値を観察す
ることができる。
【００２８】図５及び図６は、それぞれ主として正面外
観及び平面外観を示すものである。筐体本体部材２の上
面部には、流体貯留部内の空気抜きのための着脱自在な
ねじ５３が取り付けられている。このネジ５３を取り外
すことで貯留部内の上部に残留する不要空気を排出する
ことができる。筐体本体部材２の内部には、電源ケーブ
ル取り付け端子５０に加えて通信ケーブルコネクタ５６
が配置されている。筐体本体部材２の下面部には電源ケ
ーブル用ブッシュ５８が取り付けられている。また、筐
体本体部材２の正面部には、液晶表示素子ＬＣＤを用い
た表示部６０が配置されている。
観及び平面外観を示すものである。筐体本体部材２の上
面部には、流体貯留部内の空気抜きのための着脱自在な
ねじ５３が取り付けられている。このネジ５３を取り外
すことで貯留部内の上部に残留する不要空気を排出する
ことができる。筐体本体部材２の内部には、電源ケーブ
ル取り付け端子５０に加えて通信ケーブルコネクタ５６
が配置されている。筐体本体部材２の下面部には電源ケ
ーブル用ブッシュ５８が取り付けられている。また、筐
体本体部材２の正面部には、液晶表示素子ＬＣＤを用い
た表示部６０が配置されている。
【００２９】以上の実施形態においては、不図示の流体
供給源から配管を通じて供給される流体は、流体入口管
２１から開口２１ａを通って流体貯留部内へと供給され
る。供給された流体は、先ず流通経路規定部材９により
規定された下向きの流通経路に沿って流体貯留部の底部
へと進み、流量計測部８の配置された領域に至る。この
ようにして貯留された流体のレベルは、次第に貯留部内
で上昇し、やがて流量計測部８をも完全に浸漬させる。
その際に、測定流通路８１内にも流体が浸入する。測定
流通路８１内に浸入した流体は、接続開口２２ａを通っ
て流体出口管２２から排出され、不図示の流体需要機器
へと供給される。以後、流体需要機器側で流体需要があ
ると、流量計の貯留部内とくに測定流通路８１を経由し
て、流体供給源から流体需要機器へと流体が供給され
る。このような流量計内の流体の主たる流通の経路を図
２において矢印Ｘで示す。尚、流体貯留部内の流通経路
には、例えば流通経路規定部材９の下部に、流体中の異
物除去のためのフィルタを設けておくことができる。
供給源から配管を通じて供給される流体は、流体入口管
２１から開口２１ａを通って流体貯留部内へと供給され
る。供給された流体は、先ず流通経路規定部材９により
規定された下向きの流通経路に沿って流体貯留部の底部
へと進み、流量計測部８の配置された領域に至る。この
ようにして貯留された流体のレベルは、次第に貯留部内
で上昇し、やがて流量計測部８をも完全に浸漬させる。
その際に、測定流通路８１内にも流体が浸入する。測定
流通路８１内に浸入した流体は、接続開口２２ａを通っ
て流体出口管２２から排出され、不図示の流体需要機器
へと供給される。以後、流体需要機器側で流体需要があ
ると、流量計の貯留部内とくに測定流通路８１を経由し
て、流体供給源から流体需要機器へと流体が供給され
る。このような流量計内の流体の主たる流通の経路を図
２において矢印Ｘで示す。尚、流体貯留部内の流通経路
には、例えば流通経路規定部材９の下部に、流体中の異
物除去のためのフィルタを設けておくことができる。
【００３０】測定流通管８１内の流体流量が、流量セン
サー１０及び流体温度検知センサー１０’を含む図８に
示すような流量検知回路を用いて計測される。図８にお
いて、流量検知回路には流量センサー１０及び流体温度
検知センサー１０’が含まれている。流量センサー１０
では、ヒータと感温抵抗体Ｔｗとが絶縁膜を介して積層
された流量検知部が形成されており、ヒータの発熱の一
部は上記フィンプレートＦＰを介して測定流通路８１内
を流通する流体へと伝達される。この流体との熱的相互
作用の影響を受けた感温が、感温抵抗体Ｔｗにより実行
される。感温抵抗体Ｔｗと流体温度検知センサー１０’
の流体温度検知部の感温抵抗体Ｔｏと２つの抵抗体とに
よりブリッジ回路が形成されており、このブリッジ回路
の出力が増幅回路で増幅され、コンパレータで所定値と
の比較がなされ、該コンパレータの出力がヒータ制御部
に入力される。ヒータ制御部は、入力信号に従い、バッ
ファを介して流量センサー１０のヒータの発熱を制御す
る。この制御は、流量センサー１０の感温抵抗体Ｔｗが
所定の感温状態を維持するように、即ちヒータ制御部へ
の入力信号が所定値を維持するように為される。この制
御状態は瞬時流量に対応しており、そのデータ（測定流
量データ）は流量換算回路へと入力される。
サー１０及び流体温度検知センサー１０’を含む図８に
示すような流量検知回路を用いて計測される。図８にお
いて、流量検知回路には流量センサー１０及び流体温度
検知センサー１０’が含まれている。流量センサー１０
では、ヒータと感温抵抗体Ｔｗとが絶縁膜を介して積層
された流量検知部が形成されており、ヒータの発熱の一
部は上記フィンプレートＦＰを介して測定流通路８１内
を流通する流体へと伝達される。この流体との熱的相互
作用の影響を受けた感温が、感温抵抗体Ｔｗにより実行
される。感温抵抗体Ｔｗと流体温度検知センサー１０’
の流体温度検知部の感温抵抗体Ｔｏと２つの抵抗体とに
よりブリッジ回路が形成されており、このブリッジ回路
の出力が増幅回路で増幅され、コンパレータで所定値と
の比較がなされ、該コンパレータの出力がヒータ制御部
に入力される。ヒータ制御部は、入力信号に従い、バッ
ファを介して流量センサー１０のヒータの発熱を制御す
る。この制御は、流量センサー１０の感温抵抗体Ｔｗが
所定の感温状態を維持するように、即ちヒータ制御部へ
の入力信号が所定値を維持するように為される。この制
御状態は瞬時流量に対応しており、そのデータ（測定流
量データ）は流量換算回路へと入力される。
【００３１】温度センサー１２を含む温度センサ回路か
ら流量換算回路に流体温度を示す信号が入力される。
ら流量換算回路に流体温度を示す信号が入力される。
【００３２】流量換算回路では、上記流量検知回路から
入力される流量データと、上記温度センサ回路から入力
される流体温度データとに基づき、演算及び換算を行っ
て被測定流体の流量を得る。
入力される流量データと、上記温度センサ回路から入力
される流体温度データとに基づき、演算及び換算を行っ
て被測定流体の流量を得る。
【００３３】以上のような流量換算回路を含むＣＰＵに
は、表示部、通信回路、ＥＥＰＲＯＭ及び基準クロック
が接続されている。メモリであるＥＥＰＲＯＭには演算
に必要なデータが記憶されている。
は、表示部、通信回路、ＥＥＰＲＯＭ及び基準クロック
が接続されている。メモリであるＥＥＰＲＯＭには演算
に必要なデータが記憶されている。
【００３４】以下に、流量換算回路で実行される演算及
び流量への換算の方法について説明する。
び流量への換算の方法について説明する。
【００３５】図９に、予め記憶手段たるメモリに記憶さ
れている灯油の検量線を示す。この検量線（瞬時流量換
算テーブル）は、ヒータ印加電圧の０．５秒間の積算値
に対応する流量検知回路出力と瞬時流量との関係を示す
データテーブルであり、とびとびの温度ごとに作成され
た複数の個別検量線よりなる。図９には、４つの離散的
な温度Ｔ1 〜Ｔ4 （５℃、１５℃、２５℃及び３５℃）
についての個別検量線Ｔ1 〜Ｔ4 が示されている。図９
では、各検量線が連続した線として描かれているが、こ
れは説明の便宜上のことであり、実際には、図９に示さ
れているとびとびの流量検知回路出力電圧値・・・・・
ＥARm-1 ，ＥARm ，ＥARm+1 ，ＥARm+2・・・・・と瞬
時流量との対応関係を示すものである。
れている灯油の検量線を示す。この検量線（瞬時流量換
算テーブル）は、ヒータ印加電圧の０．５秒間の積算値
に対応する流量検知回路出力と瞬時流量との関係を示す
データテーブルであり、とびとびの温度ごとに作成され
た複数の個別検量線よりなる。図９には、４つの離散的
な温度Ｔ1 〜Ｔ4 （５℃、１５℃、２５℃及び３５℃）
についての個別検量線Ｔ1 〜Ｔ4 が示されている。図９
では、各検量線が連続した線として描かれているが、こ
れは説明の便宜上のことであり、実際には、図９に示さ
れているとびとびの流量検知回路出力電圧値・・・・・
ＥARm-1 ，ＥARm ，ＥARm+1 ，ＥARm+2・・・・・と瞬
時流量との対応関係を示すものである。
【００３６】以上のような個別検量線の作成方法につい
て、図１０を参照して説明する。
て、図１０を参照して説明する。
【００３７】灯油タンクから、配管を通して灯油を供給
する。配管には先端開口部の近傍においてコックが付さ
れており、該コックを開くことで先端開口部から天秤上
に配置された計量容器内へと灯油が供給される。計量容
器内へ供給された灯油の重量が天秤により測定される。
配管は恒温槽内を通っており、該恒温槽内の配管部分は
コイル状とされている。恒温槽内では、コイル状配管部
分に続く配管部分に流量計が付設されている。恒温槽内
の温度はＴに維持されており、コイル状配管部分の通過
により温度Ｔとされた灯油が流量計を通過する。
する。配管には先端開口部の近傍においてコックが付さ
れており、該コックを開くことで先端開口部から天秤上
に配置された計量容器内へと灯油が供給される。計量容
器内へ供給された灯油の重量が天秤により測定される。
配管は恒温槽内を通っており、該恒温槽内の配管部分は
コイル状とされている。恒温槽内では、コイル状配管部
分に続く配管部分に流量計が付設されている。恒温槽内
の温度はＴに維持されており、コイル状配管部分の通過
により温度Ｔとされた灯油が流量計を通過する。
【００３８】コックの開度を調節することで配管内の灯
油の流量を調節し、測定時間内において計量容器に供給
された灯油の重量を天秤により測定する。そして、瞬時
流量Ｆの値として、Ｆ＝（測定された灯油重量）／（基
準温度［例えば１５℃］での灯油の比重）／（測定時
間）を得る。従って、この瞬時流量Ｆは、基準温度にお
ける流量に換算された値である。一方、この時の流量計
の検知回路出力Ｖを測定する。コックの開度を種々変化
させて同様な測定を行うことで、温度Ｔにおける個別検
量線を得ることができる。
油の流量を調節し、測定時間内において計量容器に供給
された灯油の重量を天秤により測定する。そして、瞬時
流量Ｆの値として、Ｆ＝（測定された灯油重量）／（基
準温度［例えば１５℃］での灯油の比重）／（測定時
間）を得る。従って、この瞬時流量Ｆは、基準温度にお
ける流量に換算された値である。一方、この時の流量計
の検知回路出力Ｖを測定する。コックの開度を種々変化
させて同様な測定を行うことで、温度Ｔにおける個別検
量線を得ることができる。
【００３９】このような測定を、恒温槽内温度Ｔのいく
つかの離散的な値（図９の場合には５℃、１５℃、２５
℃及び３５℃）について測定することで、図９に示すよ
うな複数の個別検量線が得られる。
つかの離散的な値（図９の場合には５℃、１５℃、２５
℃及び３５℃）について測定することで、図９に示すよ
うな複数の個別検量線が得られる。
【００４０】さて、流量測定時において、温度センサ回
路から流量換算回路へと温度値Ｔが入力される。流量換
算回路では、図９のような複数の個別検量線を用いて、
検知回路出力Ｖ及び温度値Ｔに基づき、図１１で示され
るような手順によりデータ補間演算を行って瞬時流量値
Ｆを得る。
路から流量換算回路へと温度値Ｔが入力される。流量換
算回路では、図９のような複数の個別検量線を用いて、
検知回路出力Ｖ及び温度値Ｔに基づき、図１１で示され
るような手順によりデータ補間演算を行って瞬時流量値
Ｆを得る。
【００４１】即ち、先ず、検知回路出力の値Ｅｈが入力
される（Ｓ１）。
される（Ｓ１）。
【００４２】次に、測定された温度値Ｔ（図９の例では
２２℃）についてＴn ≦Ｔ＜Ｔn+1となる個別検量線Ｔn
，Ｔn+1 （図９の例ではｎ＝２；即ちＴ2 ［＝１５
℃］，Ｔ3 ［＝２５℃］）を選択する（Ｓ２）。
２２℃）についてＴn ≦Ｔ＜Ｔn+1となる個別検量線Ｔn
，Ｔn+1 （図９の例ではｎ＝２；即ちＴ2 ［＝１５
℃］，Ｔ3 ［＝２５℃］）を選択する（Ｓ２）。
【００４３】次に、ＥARm ≦Ｅｈ＜ＥARm+1 となる電圧
値ＥARm ，ＥARm+1 を得る。そして、電圧値ＥARm ，Ｅ
ARm+1 を個別検量線Ｔn ，Ｔn+1 上の瞬時流量値Ｆb ，
Ｆa；ＦB ，ＦA へと換算する（Ｓ３）。
値ＥARm ，ＥARm+1 を得る。そして、電圧値ＥARm ，Ｅ
ARm+1 を個別検量線Ｔn ，Ｔn+1 上の瞬時流量値Ｆb ，
Ｆa；ＦB ，ＦA へと換算する（Ｓ３）。
【００４４】次に、Ｆb ，Ｆa ；ＦB ，ＦA から、デー
タ補間演算によりＥｈに対応するＴ n ，Ｔn+1 上の瞬時
流量値Ｆab，ＦABを得る。この際には、以下の式
（１），（２） Ｆab＝（Ｆa −Ｆb ）・（Ｅｈ−ＥARm ）／（ＥARm+1 −ＥARm ）＋Ｆb ・・・・・（１） ＦAB＝（ＦA −ＦB ）・（Ｅｈ−ＥARm ）／（ＥARm+1 −ＥARm ）＋ＦB ・・・・・（２） を用いる（Ｓ４）。
タ補間演算によりＥｈに対応するＴ n ，Ｔn+1 上の瞬時
流量値Ｆab，ＦABを得る。この際には、以下の式
（１），（２） Ｆab＝（Ｆa −Ｆb ）・（Ｅｈ−ＥARm ）／（ＥARm+1 −ＥARm ）＋Ｆb ・・・・・（１） ＦAB＝（ＦA −ＦB ）・（Ｅｈ−ＥARm ）／（ＥARm+1 −ＥARm ）＋ＦB ・・・・・（２） を用いる（Ｓ４）。
【００４５】次に、Ｆab，ＦABから、データ補間演算に
より温度Ｔの場合のＥｈに対応する瞬時流量値Ｆｔを得
る。この際には、以下の式（３） Ｆｔ＝（Ｆab−ＦAB）・（ｔ−Ｔ3 ）／（Ｔ2 −Ｔ3 ）＋ＦAB ・・・・・（３） を用いる（Ｓ５）。
より温度Ｔの場合のＥｈに対応する瞬時流量値Ｆｔを得
る。この際には、以下の式（３） Ｆｔ＝（Ｆab−ＦAB）・（ｔ−Ｔ3 ）／（Ｔ2 −Ｔ3 ）＋ＦAB ・・・・・（３） を用いる（Ｓ５）。
【００４６】以上のようにしてデータ補間演算を行って
測定時の温度Ｔでの瞬時流量値Ｆｔを得ることで、個別
検量線のデータ容量を低減することができ、しかもこの
流量は既に基準温度に換算されたもの（校正値）である
ので、測定誤差の極めて少ない瞬時流量測定を行うこと
が可能となる。
測定時の温度Ｔでの瞬時流量値Ｆｔを得ることで、個別
検量線のデータ容量を低減することができ、しかもこの
流量は既に基準温度に換算されたもの（校正値）である
ので、測定誤差の極めて少ない瞬時流量測定を行うこと
が可能となる。
【００４７】ＣＰＵでは、得られた瞬時流量値を積分す
ることで、積算流量値を得る演算をも行う。以上のよう
にして得られた瞬時流量値及び積算流量値などの流量出
力は、表示部により表示される。尚、ＣＰＵからの指令
により、瞬時流量値及び積算流量値を適宜メモリに記憶
させるようにすることができ、更に、電話回線その他の
ネットワークからなる通信回線を介して外部へと伝送さ
せるようにすることができる。
ることで、積算流量値を得る演算をも行う。以上のよう
にして得られた瞬時流量値及び積算流量値などの流量出
力は、表示部により表示される。尚、ＣＰＵからの指令
により、瞬時流量値及び積算流量値を適宜メモリに記憶
させるようにすることができ、更に、電話回線その他の
ネットワークからなる通信回線を介して外部へと伝送さ
せるようにすることができる。
【００４８】灯油の消費量を測定する場合には、灯油の
使用目的からみて、その測定量はできるだけ灯油燃焼に
より発生する熱量に対応するものであることが好まし
く、その意味で灯油の体積ではなく該灯油の物質量をよ
り正確に測定する本発明実施形態の流量測定は好ましい
ものである。
使用目的からみて、その測定量はできるだけ灯油燃焼に
より発生する熱量に対応するものであることが好まし
く、その意味で灯油の体積ではなく該灯油の物質量をよ
り正確に測定する本発明実施形態の流量測定は好ましい
ものである。
【００４９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の流量測定
方法及び流量計によれば、被測定流体が温度により体積
変化を来すものであっても測定誤差の少ない流量測定を
行うことが可能となる。
方法及び流量計によれば、被測定流体が温度により体積
変化を来すものであっても測定誤差の少ない流量測定を
行うことが可能となる。
【図１】灯油における温度と体積との関係を示すグラフ
である。
である。
【図２】本発明による流量計の実施形態を示す断面図で
ある。
ある。
【図３】本発明による流量計の実施形態を示す分解断面
図である。
図である。
【図４】本発明による流量計の実施形態を示す断面図で
ある。
ある。
【図５】本発明による流量計の実施形態を示す正面図で
ある。
ある。
【図６】本発明による流量計の実施形態を示す平面図で
ある。
ある。
【図７】流量センサーを示す断面図である。
【図８】本発明による流量計の電気回路部の概略構成を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図９】灯油の検量線を示すグラフである。
【図１０】検量線作成の説明図である。
【図１１】本発明による流量計の流量換算回路の動作説
明のためのフローチャートである。
明のためのフローチャートである。
２ 筐体本体部材 ４ 外蓋部材 ６ 中蓋部材 ８ 流量計測部 ８ａ 流路継手部材 ８ｂ センサー装着孔 ９ 流体流通経路規定部材 １０ 流量センサー １０’ 流体温度検知センサー １２ 温度センサー ２１ 流体入口管 ２１ａ 開口 ２２ 流体出口管 ２２ａ 接続開口 ２３ 貯留部用凹部 ２４ 回路部材用凹部 ２６ 内壁 ３４ デジタル回路基板 ３６ トランス ３８ 入出力端子部 ４２ 押え部材 ４４ アナログ回路基板 ４６，４８ 電源基板 ５０ 電源ケーブル取り付け端子 ５２ カバー板 ５３ 空気抜きのネジ ５６ 通信ケーブルコネクタ ５８ 電源ケーブル用ブッシュ ６０ 表示部 ８１ 測定流通路 ８１ａ 流体出口 ＦＰ フィンプレート ＥＴ 外部電極端子 ＦＳ 流量検知部 ＡＤ 接合材 ＢＷ ボンディングワイヤー ＭＲ モールド樹脂 ＬＣＤ 液晶表示素子 Ａ 特定方向の向き Ｘ 流量計内の流体流通の経路
フロントページの続き (72)発明者 宮嶋 浩光 埼玉県上尾市原市1333−２ 三井金属鉱業 株式会社総合研究所内 (72)発明者 山岸 喜代志 埼玉県上尾市原市1333−２ 三井金属鉱業 株式会社総合研究所内 Ｆターム(参考） 2F035 EA09
Claims (10)
- 【請求項１】 被測定流体を測定流通路に流通させ、該
測定流通路に配置された熱式流量センサーから前記被測
定流体への吸熱量が該被測定流体の前記測定流通路内で
の流量に対応することを利用して、前記熱式流量センサ
ーを含んで構成された電気回路で前記測定流通路内での
前記被測定流体の流量に対応する電気的出力を得、予め
作成された検量線を用いて前記流量対応の電気的出力に
対応する流量値への換算を行うことにより前記被測定流
体の流量を測定する方法であって、 前記検量線として前記電気回路の電気的出力と流量との
関係を離散的な温度値ごとに示す複数の個別検量線を用
い、該個別検量線の作成に際し流量として基準温度にお
ける流量に換算されたものを使用し、 温度測定を行い、測定温度と前記複数の個別検量線とに
基づき補間演算を行って、測定時の温度に対応する校正
流量値を得ることを特徴とする流量測定方法。 - 【請求項２】 前記個別検量線のそれぞれは前記電気回
路の電気的出力のとり得る値のうちのとびとびの値につ
いて作成されており、補間演算を行って前記測定時の温
度に対応する流量値を得るようにしてなることを特徴と
する、請求項１に記載の流量測定方法。 - 【請求項３】 前記被測定流体は互いに異なる分子量を
持つ複数の種類の分子の混合物であることを特徴とす
る、請求項１〜２のいずれかに記載の流量測定方法。 - 【請求項４】 前記被測定流体は灯油であることを特徴
とする、請求項３に記載の流量測定方法。 - 【請求項５】 前記基準温度は１４〜１６℃の範囲内の
温度であることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか
に記載の流量測定方法。 - 【請求項６】 被測定流体を流通させる測定流通路と、
該測定流通路に配置された熱式流量センサーと、該熱式
流量センサーを含んで構成された流量検知回路と、温度
測定手段と、流量換算回路と、記憶手段とを備えてお
り、 前記記憶手段には検量線として前記流量検知回路の電気
的出力と流量との関係を離散的な温度値ごとに示す複数
の個別検量線が記憶されており、該個別検量線は流量と
して基準温度における流量に換算されたものを使用して
作成されており、 前記流量換算回路は、前記温度測定手段により測定され
た温度と前記複数の個別検量線とに基づき補間演算を行
って、測定時の温度に対応する校正流量値を得ることを
特徴とする熱式流量計。 - 【請求項７】 前記熱式流量センサーは前記測定流通路
へと突出した前記被測定流体との熱的相互作用のための
フィンプレートを有していることを特徴とする、請求項
６に記載の熱式流量計。 - 【請求項８】 前記被測定流体は互いに異なる分子量を
持つ複数の種類の分子の混合物であることを特徴とす
る、請求項６〜７のいずれかに記載の熱式流量計。 - 【請求項９】 前記被測定流体は灯油であることを特徴
とする、請求項８に記載の熱式流量計。 - 【請求項１０】 前記基準温度は１４〜１６℃の範囲内
の温度であることを特徴とする、請求項６〜９のいずれ
かに記載の熱式流量計。
Priority Applications (7)
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|---|---|---|---|
| JP2000243226A JP2002054964A (ja) | 2000-08-10 | 2000-08-10 | 流量測定方法及び流量計 |
| EP01956839A EP1326062A1 (en) | 2000-08-10 | 2001-08-10 | Flow rate measuring method and flow-meter |
| PCT/JP2001/006923 WO2002014799A1 (fr) | 2000-08-10 | 2001-08-10 | Procede servant a mesurer un debit et debitmetre |
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| US10/344,033 US6983214B2 (en) | 2000-08-10 | 2001-08-10 | Flow rate measuring method and flow-meter |
| KR10-2003-7001422A KR20030022342A (ko) | 2000-08-10 | 2001-08-10 | 유량 측정방법 및 유량계 |
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|---|---|---|---|
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|---|---|
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|---|---|
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| WO (1) | WO2002014799A1 (ja) |
Cited By (4)
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