JP2002026397A - 素子実装方法と光伝送装置 - Google Patents

素子実装方法と光伝送装置

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次男 井出
Shojiro Kitamura
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Abstract

(57)【要約】 【課題】波長多重光インターコネクション装置に適用可
能な光伝送装置と、それを製造可能とする素子実装方法
を提供する。 【解決手段】例えば波長の異なる面発光レーザ素子から
なる発光素子１ａ、１ｂを、互いに大きさが異なる台形
とし、発光素子アレイ１１の基板３１上面には、夫々の
発光素子１ａ、１ｂを実装すべき部位に、該当する発光
素子１ａ、１ｂと同形態の凹部４ａ、４ｂを形成し、発
光素子１ａ、１ｂが混入されたスラリを当該基板３１の
上面で流動し、各発光素子１ａ、１ｂを各凹部４ａ、４
ｂに嵌合する。また、所定の波長のみを通過するフィル
タ素子２ａ、２ｂも、同様にフィルタ素子アレイ１２に
実装し、アレイ状に形成されたフォトダイオード素子か
らなる受光素子３の受光素子アレイ１３と組合せて、単
一の光だけを抽出して受光できるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、素子を基体（基
板）に実装する素子実装方法とそれによって各素子が実
装された光伝送装置に関し、例えば光ファイバを用いて
波長多重伝送を行う光インターコネクション装置に好適
なものである。
【０００２】
【従来の技術】波長多重伝送を行う光インターコネクシ
ョン装置としては、例えば特開平１１−２８９３１７号
公報に記載されるものがある。この光インターコネクシ
ョン装置は、垂直共振器型面発光レーザアレイ、所謂VC
SEL-Array を用いて複数の波長の光を発光し、光ファイ
バを導波路として、夫々の波長の光をフィルタアレイ
（Filter-Array）で抽出し、夫々の波長の光をフォトダ
イオードアレイ（PD-Array）で受光してデータの伝送を
行うものである。このような波長多重伝送型光インター
コネクション装置は、複数の光、つまり伝送波で一本の
光ファイバ、即ち伝送媒体を共有できるため、装置を簡
素化し、空間を有効利用できる。なお、この光インター
コネクション装置では、大径のプラスチック光ファイバ
を用いるとしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この光イン
ターコネクション装置でも、一本の光ファイバに複数の
波長の光を入射し、この光ファイバから出射する光の中
から夫々の波長の光を抽出し、受光しなければならない
ことから、面発光レーザアレイも、フィルタアレイも、
フォトダイオードアレイも高密度に集積すべきであるこ
とが開示されている。例えば、発光素子として面発光レ
ーザを用いるのも、出射口の口径が小さいためである。
【０００４】しかしながら、単一の波長の面発光レーザ
素子やフィルタ素子は小さいが、複数の面発光レーザ素
子やフィルタ素子を、光ファイバのコア径内に収めるよ
うに高密度に集積（実装）するのは非常に困難である。
また、特に前記光インターコネクション装置では、フィ
ルタアレイのフィルタ素子と、フォトダイオードアレイ
のフォトダイオード素子とは、少なくとも光の進む方向
に対して厳密に一致している必要があるが、これらの素
子を、前述のように高密度に、しかも正確に実装するの
は、より一層困難である。
【０００５】本発明は前記諸問題を解決すべく開発され
たものであり、例えば光ファイバを用いた波長多重伝送
型光インターコネクション装置にも適用可能な光素子の
実装方法及びそれによって実装された光伝送装置を提供
することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記諸問題を解決するた
め、本発明のうち請求項１に係る素子実装方法は、基体
の上面の所定の部位に形態の異なる凹部を形成し、異な
る機能の素子を、夫々、前記凹部の形態と同形態で且つ
互いに形態の異なる微小構造体とし、それを流体に混入
してスラリとし、このスラリを、前記基体の上面で流動
し、前記微小構造体からなる素子を、対応する形態の凹
部に嵌合することを特徴とするものである。
【０００７】また、本発明のうち請求項２に係る素子実
装方法は、前記請求項１の発明において、前記微小構造
体に、同じ機能部を対称形に形成したことを特徴とする
ものである。また、本発明のうち請求項３に係る素子実
装方法は、前記請求項１又は２の発明において、前記微
小構造体からなる素子を、対応する形態の凹部に嵌合す
る工程を複数回繰り返し、一つの凹部に複数の微小構造
体からなる素子を積層することを特徴とするものであ
る。
【０００８】また、本発明のうち請求項４に係る素子実
装方法は、前記請求項１乃至３の発明において、別機能
の素子を積層して、前記微小構造体を構成することを特
徴とするものである。また、本発明のうち請求項５に係
る素子実装方法は、前記請求項１乃至４の発明におい
て、前記形態の異なる微小構造体のうち、微小構造体の
形態が大きな順に、夫々の微小構造体が混入したスラリ
を、前記基体の上面で流動させることを特徴とするもの
である。
【０００９】また、本発明のうち請求項６に係る光伝送
装置は、前記異なる機能の素子を、互いに波長の異なる
発光素子とし、これらの素子を、前記請求項１乃至５の
何れかに記載の素子実装方法で、前記基体の所定の部位
に実装したことを特徴とするものである。また、本発明
のうち請求項７に係る光伝送装置は、前記異なる機能の
素子を、互いに通過する波長の異なるフィルタとし、こ
れらの素子を、前記請求項１乃至５の何れかに記載の素
子実装方法で、前記基体の所定の部位に実装したことを
特徴とするものである。
【００１０】また、本発明のうち請求項８に係る光伝送
装置は、前記異なる機能の素子を、互いに感受する波長
の異なる受光素子とし、これらの素子を、前記請求項１
乃至５の何れかに記載の素子実装方法で、前記基体の所
定の部位に実装したことを特徴とするものである。ま
た、本発明のうち請求項９に係る光伝送装置は、前記請
求項６乃至８の発明において、前記受発光素子間に光フ
ァイバーを介装することを特徴とするものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。図１は、本実施形態の波長多重型光インタ
ーコネクション装置の概略構成図であり、波長の異なる
複数の発光素子１が実装されている発光素子アレイ１１
と、光導波路となる光ファイバ１０と、前記発光素子１
の夫々の波長の光を抽出するフィルタ素子２が実装され
ているフィルタアレイ１２と、このフィルタアレイ１２
で抽出された各波長の光を受光する受光素子３が実装さ
れている受光素子アレイ１３とで構成される。なお、図
では、理解を容易にするために、各構成要素を分離して
いるが、実質的に各構成要素は、光学的に直接接合され
ている。
【００１２】図２は、前記発光素子アレイ１１の製造方
法を示している。ここでは、発光素子１に面発光レーザ
素子を用いる。面発光レーザ素子は、ＧａＡｓ基板上に
形成される。ここでは、図２ａ、図２ｂに示すように、
面発光レーザ素子が多数形成され且つ夫々発光する光の
波長が異なる例えば二つのＧａＡｓウエハ２１ａ、２１
ｂから、互いに発光波長の異なる微小な面発光レーザ素
子を発光素子１ａ、１ｂとして切り出す。この発光素子
１ａ、１ｂからなる微小構造体は、例えば図３に示すよ
うに、上方形面より下方形面が小さく、側面が台形状の
ブロックである。但し、図２ｂに示すように、発光波長
の異なる発光素子１ａ、１ｂは、大きさ等が互いに異な
る形態とする。なお、この発光素子１ａ、１ｂには、予
め電極５１ａ、５１ｂと、レーザ光出射部となる開口部
６１とが形成されている。
【００１３】一方、発光素子アレイ１１の基板（基体）
３１には、前記発光素子１ａ、１ｂが嵌合する凹部４
ａ、４ｂを形成する。これらの凹部４ａ、４ｂは、基板
３１の上面のうち、前記所定の波長の光を発光する発光
素子１ａ、１ｂを実装すべき部位に、当該発光素子１
ａ、１ｂと同形態に形成されている。つまり、凹部４
ａ、４ｂ同士は、互いに形態が異なる。
【００１４】そして、例えばUnited States Patent 590
4545に記載されるように、前記発光素子１ａ、１ｂを、
所定の流体に混入してスラリを作り、このスラリを前記
基板３１の上面で流動する。すると、発光素子１ａ、１
ｂは、図２ｃ、或いは図３に示すように、同じ形態の凹
部４ａ、４ｂに嵌合する。但し、このように大きさの異
なる発光素子１ａ、１ｂを実装する際には、形態の大き
い発光素子１ａから形態の小さい発光素子１ｂといった
ように、形態の大きい順で、前記スラリを基板３１の上
面で流動し、発光素子１ａ、１ｂを実装するのが望まし
い。これにより、形態の小さい発光素子１ｂが形態の大
きい凹部４ａに誤って実装されるのを防止することがで
きる。つまり、形態の大きい凹部４ａには、既に形態の
大きい発光素子１ａが嵌合して、当該凹部４ａは閉塞さ
れているからである。
【００１５】このようにして基板３１の上面の所定部位
に各発光素子１ａ、１ｂが実装されたら、図２ｄに示す
ように透明な絶縁性接着層４１を被膜し、コンタクトホ
ール８１ａ、８１ｂを形成して、配線７１ａ、７１ｂを
施す。図４には、前記開口部６１、電極５１ａ、５１
ｂ、コンタクトホール８１ａ、８１ｂのレイアウトの一
例を示す。ここでは、形態の異なる四つの発光素子１ａ
〜１ｄを実装している。この実施形態の発光素子１ａ〜
１ｄの夫々は、上面及び下面が正方形であり、同時にす
べての側面が同じ台形であることから、例えば上方形面
のどの辺がどちら向きで、凹部４ａ〜４ｄに嵌入するか
は分からない。そのため、外側電極５１ｂは、各発光素
子１ａ〜１ｄの上方形面の周囲全周に形成し、内側電極
５１ａを、上方形面の中央部に十字に形成し、その中央
部に開口部６１を形成する。そして、図示上方の二つの
発光素子１ａ、１ｂに対しては、前記外側電極５１ｂの
うち、図示する最も下側の辺にコンタクトホール８１ｂ
を形成し、内側電極５１ａのうち、図示する最も上側の
突出部にコンタクトホール８１ａを形成する。一方、図
示下方の二つの発光素子１ｃ、１ｄに対しては、前記外
側電極５１ｂのうち、図示する最も上側の辺にコンタク
トホール８１ｂを形成し、内側電極５１ａのうち、図示
する最も下側の突出部にコンタクトホール８１ａを形成
する。このレイアウトは比較的簡素で、最も配線しやす
い。但し、レーザ光の出射部となる前記開口部６１が互
いに遠い。
【００１６】図５は、前記開口部６１、電極５１ａ、５
１ｂ、コンタクトホール８１ａ、８１ｂのレイアウトの
他の例である。この例では、四つの発光素子１ａ〜１ｄ
が互いに接近して配置するように凹部４ａ〜４ｄが形成
されている。また、全ての発光素子１ａ〜１ｄの上方形
面の四隅に方形の外側電極５１ｂが形成され、その最も
外側の隅部に前記開口部６１が形成されている。つま
り、同じ機能部が、一つの微小構造体に対して、対称形
に形成されている。また、各発光素子１ａ〜１ｄの上方
形面の中央部には、四隅の発光部に対して共通の電極と
なる円形の内側電極５１ａが形成され、その中央部にコ
ンタクトホール８１ａが形成されている。そして、四つ
の発光素子１ａ〜１ｄに囲まれるようにして、その最も
内側に寄り集まっている外側電極５１ｂに対してコンタ
クトホール８１が形成されている。つまり、最も内側寄
りの外側端子５１ｂと前記内側端子５１ａとを選んで配
線している。このレイアウトによれば、必要な部位の機
能部だけを、配線等によって選択して機能させ、レーザ
光の出射部となる開口部６１を互いに接近させることが
できるので、比較的径の小さな光ファイバ１０でも全て
の光を容易に入射させることができる。即ち、更なる高
密度実装が可能となる。
【００１７】次に、前記フィルタアレイ１２の製造方法
について図６を用いて説明する。ここでは、図６ａに示
すように、多層膜コーティングによって、通過する波長
（帯域）が異なる波長フィルタ５２ａ、５２ｂが形成さ
れた（図６ｃ参照）ガラスウエハ２２ａ、２２ｂを用い
る。そして、図６ｂに示すように、このガラスウエハ２
２ａ、２２ｂから微小なフィルタ素子２ａ、２ｂとして
切り出す。このフィルタ素子２ａ、２ｂからなる微小構
造体は、例えば前記図３に示すように、前記発光素子１
ａ、１ｂと同様に、上方形面より下方形面が小さく、側
面が台形状のブロックである。但し、図６ｂに示すよう
に、通過する波長の異なるフィルタ素子２ａ、２ｂは、
大きさ等が互いに異なる形態とする。また、各フィルタ
素子２ａ、２ｂの通過許容波長は、前記発光素子１ａ、
１ｂの発光波長に一致させている。
【００１８】一方、フィルタアレイ１２の基板（基体）
３２には、前記フィルタ素子２ａ、２ｂが嵌合する凹部
５ａ、５ｂを形成する。これらの凹部５ａ、５ｂは、基
板３２の上面のうち、前記所定の波長の光を通過するフ
ィルタ素子２ａ、２ｂを実装すべき部位に、当該フィル
タ素子２ａ、２ｂと同形態に形成されている。つまり、
凹部５ａ、５ｂ同士は、互いに形態が異なる。なお、こ
の基板３２は、透明である必要がある。
【００１９】そして、例えば前記United States Patent
5904545に記載されるように、前記フィルタ素子２ａ、
２ｂを、所定の流体に混入してスラリを作り、このスラ
リを前記基板３２の上面で流動する。すると、フィルタ
素子２ａ、２ｂは、前記発光素子１ａ、１ｂと同様に、
同じ形態の凹部５ａ、５ｂに嵌合する。但し、この場合
も、フィルタ素子２ａ、２ｂの大きさが異なるので、形
態の大きいフィルタ素子２ａから形態の小さいフィルタ
素子２ｂといったように、形態の大きい順で、前記スラ
リを基板３２の上面で流動し、フィルタ素子２ａ、２ｂ
を実装するのが望ましい。このようにしてフィルタ素子
２ａ、２ｂを基板３２上に実装して、図６ｃに示すフィ
ルタアレイ１２を製造することができる。
【００２０】前記受光素子アレイ１３は、図７に示すよ
うに、基板（基体）３３の所定の部位、つまり前記フィ
ルタアレイ１２の各フィルタ素子２に対向する位置に、
予め複数のフォトダイオード素子が受光素子３としてア
レイ状に形成されている。フォトダイオードは、周知の
ように感受する波長（帯域）が比較的広い。そのため
に、前記フィルタアレイ１２の各フィルタ素子２で、単
一の波長の光だけを抽出するのであるが、従ってこの実
施形態では、同一の性能のフォトダイオードを単一の基
体３３上にアレイ状に形成している。
【００２１】このようにして製造された前記フィルタア
レイ１２と受光素子アレイ１３とを所定の状態で重合す
れば、前記通過する波長の異なるフィルタ素子２ａ、２
ｂと受光素子３とが厳密に一致する。各フィルタ素子２
ａ、２ｂは単一の波長の光だけを通過するから、その通
過する光、つまり前記発光素子１ａ、１ｂで発光された
光を抽出して受光素子３で受光することにより、当該光
に乗せられているデータを伝送することが可能となる。
この製造方法、つまり素子実装方法では、異なる機能の
素子、例えば波長の異なる発光素子１ａ、１ｂや通過す
る波長の異なるフィルタ素子２ａ、２ｂからなる微小構
造体を、基板（基体）３１，３２の所定の部位に高精度
且つ高密度に実装することができる。従って、前記発光
素子アレイ１１やフィルタアレイ１２を波長多重型光イ
ンターコネクション装置に適用することができる。
【００２２】なお、前記フィルタ素子２ａ、２ｂで単一
の波長の光を抽出し、それをフォトダイオード素子から
なる受光素子３で受光する構造は、前記に限定されるも
のではない。例えば図８は、前記受光素子アレイ１３の
基板３３上に前記凹部５ａ、５ｂを形成し、各凹部５
ａ、５ｂの底部に、予めフォトダイオードからなる受光
素子３がアレイ状に形成されている。従って、前述と同
様の実装方法により、この凹部５ａ、５ｂに、通過する
波長の異なるフィルタ素子２ａ、２ｂを実装すれば、フ
ィルタ機能付き受光素子を受光素子アレイに実装したこ
とになる。勿論、この場合、前記フィルタアレイは不要
である。
【００２３】次に、前記発光素子と同様にフォトダイオ
ードが形成されたウエハから微小な受光素子を切り出し
て受光しアレイを作成する方法を説明する。図９は、前
記受光素子アレイ１３の基板３３に、前記フォトダイオ
ード素子からなる受光素子３ａ、３ｂの夫々と、前記通
過する波長の異なるフィルタ素子２ａ、２ｂの夫々とが
重合して嵌合する凹部６ａ、６ｂを形成し、前記実装方
法を複数回繰り返すことにより、先に受光素子３ａ、３
ｂを各凹部６ａ、６ｂの底部に嵌合し、然る後、その上
に、前記実装方法により、フィルタ素子２ａ、２ｂを実
装するようにしたものである。なお、この場合は、各受
光素子３ａ、３ｂの形態を、各フィルタ素子２ａ、２ｂ
の形態に合わせる必要がある。つまり、フィルタ素子２
ａ、２ｂの下方に受光素子３ａ、３ｂが重合されたと
き、両者が凹部６ａ、６ｂに緊密に嵌合するように、側
面が連続するような形態とする。このように、形態の異
なる微小構造体を凹部６ａ、６ｂに嵌合するプロセスを
複数回繰り返し、異なる機能の素子、即ち受光素子３
ａ、３ｂとフィルタ素子２ａ、２ｂとを積層することに
より、より一層の高密度実装が可能となる。
【００２４】また、図１０は、予め受光素子３ａ、３ｂ
の上方にフィルタ素子２ａ、２ｂを重合したもの、つま
りフィルタ機能付きの受光素子３ａ、３ｂ、換言すれば
所定の波長の光だけを感受する受光素子を、受光素子ア
レイ１３の基板３３の凹部６ａ、６ｂに直接実装するも
のである。この例では、受光素子３ａ、３ｂの上方にフ
ィルタ素子２ａ、２ｂを重合してフィルタ機能付き受光
素子としているが、例えば受光素子３ａ、３ｂの上面
に、例えば前記多層膜コーティングによる波長フィルタ
を形成しても同じである。この製造方法、つまり素子実
装方法では、異なる機能の素子、例えば感受する波長の
異なる受光素子３ａ、３ｂからなる微小構造体を、基板
３３の所定の部位に高精度且つ高密度に実装することが
できる。従って、前記受光素子アレイ１３を波長多重型
光インターコネクション装置に適用することができる。
【００２５】次に、本発明の異なる実施形態について説
明する。この実施形態では、前記面発光レーザ素子に代
えて、発光ダイオード素子を発光素子に用いる。周知の
ように、波長（帯域）が単一の（極めて狭い）レーザに
比して、発光ダイオードの光波長は帯域が比較的広い。
そのため、波長多重型光インターコネクション装置の発
光源として用いるには、例えば前記フィルタ素子アレイ
１２によって、特定な波長の光だけを抽出し、それを光
ファイバ１０に入射しなければならない。
【００２６】ここでは、図１１に示すように、前記発光
ダイオード素子１を単一の基板（基体）３１上にアレイ
状に形成している。このようにして製造された前記発光
素子アレイ１１と前記フィルタアレイ１２とを所定の状
態で重合すれば、前記通過する波長の異なるフィルタ素
子２ａ、２ｂと発光素子１とが厳密に一致する。各フィ
ルタ素子２ａ、２ｂは単一の波長の光だけを通過するか
ら、その通過する光を光ファイバ１０に入射し、当該光
ファイバ１０から出射する光の中から、該当する波長の
光を、前記受光素子アレイ１３側のフィルタ素子アレイ
１２の各フィルタ素子２ａ、２ｂで抽出し、受光素子３
で受光することにより、当該光に乗せられているデータ
を伝送することが可能となる。
【００２７】なお、前記発光ダイオード素子からなる発
光素子１の光の中から、フィルタ素子２ａ、２ｂで単一
の波長の光を抽出して光ファイバ１０に入射する構造
は、前記に限定されるものではない。例えば図１２は、
前記発光素子アレイ１１の基板３１上に前記凹部５ａ、
５ｂを形成し、各凹部５ａ、５ｂの底部に予め発光ダイ
オードからなる発光素子１がアレイ状に形成されてい
る。従って、前述と同様の実装方法により、この凹部５
ａ、５ｂに、通過する波長の異なるフィルタ素子２ａ、
２ｂを実装すれば、フィルタ機能付き発光素子を発光素
子アレイに実装したことになる。勿論、この場合、前記
フィルタアレイは不要である。
【００２８】また、図１３は、前記発光素子アレイ１１
の基板３１に、前記発光ダイオード素子からなる発光素
子１ａ、１ｂの夫々と、前記通過する波長の異なるフィ
ルタ素子２ａ、２ｂの夫々とが重合して嵌合する凹部４
ａ、４ｂを形成し、前記実装方法を繰り返すことによ
り、先に発光素子１ａ、１ｂを各凹部４ａ、４ｂの底部
に嵌合し、然る後、その上に、前記実装方法により、フ
ィルタ素子２ａ、２ｂを実装するようにしたものであ
る。なお、この場合は、各発光素子１ａ、１ｂの形態
を、各フィルタ素子２ａ、２ｂの形態に合わせる必要が
ある。つまり、フィルタ素子２ａ、２ｂの下方に発光素
子１ａ、１ｂが重合されたとき、両者が凹部４ａ、４ｂ
に緊密に嵌合するように、側面が連続するような形態と
する。このように、形態の異なる微小構造体を凹部４
ａ、４ｂに嵌合するプロセスを複数回繰り返し、異なる
機能の素子、即ち発光素子１ａ、１ｂとフィルタ素子２
ａ、２ｂとを積層することにより、より一層の高密度実
装が可能となる。
【００２９】また、図１４は、予め発光素子１ａ、１ｂ
の上方にフィルタ素子２ａ、２ｂを重合したもの、つま
りフィルタ機能付きの発光素子１ａ、１ｂ、換言すれば
波長の異なる光を発光する発光素子を、発光素子アレイ
１１の基板３１の凹部４ａ、４ｂに直接実装するもので
ある。この例では、発光素子１ａ、１ｂの上方にフィル
タ素子２ａ、２ｂを重合してフィルタ機能付き受光素子
としているが、例えば受光素子１ａ、１ｂの上面に、例
えば前記多層膜コーティングによる波長フィルタを形成
しても同じである。
【００３０】なお、前記各実施形態では、微小構造体
を、全て上下面が正方形で、側面が台形のものとした
が、微小構造体の形態は、これに限定されるものではな
く、例えば上下面が長方形であったり、平行四辺形或い
は菱形のようなものであってもよい。また、前記実施形
態では、波長多重光インターコネクション装置への展開
のみについて説明したが、本発明の素子実装方法や光伝
送装置は、例えば送信方向と受信方向との組合せで双方
向の伝送装置とすることもできるし、或いは光ファイバ
を複数本組み合わせて構成する空間多重光インターコネ
クション装置にも展開可能である。また、光導波路は、
このほかにも面導波路や（自由）空間も展開可能であ
る。また、異なる機能として発光素子と受光素子とを用
い、一つの基体の上面の異なる形態の凹部に、それら発
光素子と受光素子とを実装してもよい。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のうち請求
項１に係る素子実装方法によれば、基体の上面の所定の
部位に形態の異なる凹部を形成し、異なる機能の素子
を、夫々、前記凹部の形態と同形態で且つ互いに形態の
異なる微小構造体とし、それを流体に混入してスラリと
し、このスラリを、前記基体の上面で流動し、前記微小
構造体からなる素子を、対応する形態の凹部に嵌合する
こととしたため、凹部の形態と微小構造体とした素子の
形態とが同形態であれば、異なる機能の素子を極めて高
密度に実装することができ、しかも凹部の形態と部位が
正確であれば、素子を基体に対して極めて正確に実装す
ることができる。
【００３２】また、本発明のうち請求項２に係る素子実
装方法によれば、微小構造体に同じ機能部を対称形に形
成したため、微小構造体の向きが変化しても、必要な部
分の機能部だけを、配線等により機能させることがで
き、更なる高密度実装が可能となる。また、本発明のう
ち請求項３に係る素子実装方法によれば、微小構造体か
らなる素子を、対応する形態の凹部に嵌合する工程を複
数回繰り返し、一つの凹部に複数の微小構造体からなる
素子を積層することとしたため、より一層の高密度実装
を可能とすると共に、異なる機能の素子を正確に積層す
ることができる。
【００３３】また、本発明のうち請求項４に係る素子実
装方法によれば、別機能の素子を積層して、微小構造体
を構成することとしたため、更により一層の高密度実装
を可能とすると共に、異なる機能の積層された素子を基
体に対して正確に実装することができる。また、本発明
のうち請求項５に係る素子実装方法によれば、前記形態
の異なる微小構造体のうち、微小構造体の形態が大きな
順に、夫々の微小構造体が混入したスラリを、基体の上
面で流動させることとしたため、形態の小さな微小構造
体が、それより大きな形態の凹部に嵌合する可能性が小
さくなり、その分だけ、素子を正確に実装することがで
きる。
【００３４】また、本発明のうち請求項６に係る光伝送
装置によれば、互いに波長の異なる発光素子を、前記請
求項１乃至５の何れかに記載の素子実装方法で、前記基
体の所定の部位に実装することとしたため、波長多重型
光インターコネクション装置にも適用可能な面発光レー
ザアレイ等の発光素子アレイを製造することができる。
【００３５】また、本発明のうち請求項７に係る光伝送
装置によれば、互いに通過する波長の異なるフィルタ素
子を、前記請求項１乃至５の何れかに記載の素子実装方
法で、前記基体の所定の部位に実装することとしたた
め、波長多重型光インターコネクション装置にも適用可
能なフィルタアレイを製造することができる。また、本
発明のうち請求項８に係る光伝送装置によれば、互いに
感受する波長の異なる受光素子を、前記請求項１乃至５
の何れかに記載の素子実装方法で、前記基体の所定の部
位に実装することとしたため、波長多重型光インターコ
ネクション装置にも適用可能なフィルタ機能付きの受光
素子アレイを製造することができる。
【００３６】また、本発明のうち請求項９に係る光伝送
装置によれば、受発光素子間に光ファイバーを介装する
ことにより、前記請求項６乃至８の各種のアレイと共
に、光ファイバを用いた波長多重型光インターコネクシ
ョン装置を構築することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を示す波長多重型光インター
コネクション装置の概略構成図である。
【図２】図１の発光素子アレイの製造方法の説明図であ
る。
【図３】素子を各基板の凹部に嵌合する説明図である。
【図４】発光素子アレイの開口部、電極、コンタクトホ
ールのレイアウトの説明図である。
【図５】発光素子アレイの開口部、電極、コンタクトホ
ールのレイアウトの説明図である。
【図６】図１のフィルタ素子アレイの製造方法の説明図
である。
【図７】図１のフィルタ素子アレイと受光素子アレイと
の関係を示す説明図である。
【図８】受光素子アレイの他の製造方法の説明図であ
る。
【図９】受光素子アレイの他の製造方法の説明図であ
る。
【図１０】受光素子アレイの他の製造方法の説明図であ
る。
【図１１】発光素子アレイとフィルタアレイとの関係を
示す説明図である。
【図１２】発光素子アレイの他の製造方法の説明図であ
る。
【図１３】発光素子アレイの他の製造方法の説明図であ
る。
【図１４】発光素子アレイの他の製造方法の説明図であ
る。
【符号の説明】
１（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ）は発光素子 ２（２ａ、２ｂ）はフィルタ素子 ３（３ａ、３ｂ）は受光素子 ４（４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ）は凹部 ５（５ａ、５ｂ）は凹部 ６（６ａ、６ｂ）は凹部 １０は光ファイバ １１は発光素子アレイ １２はフィルタ素子アレイ １３は受光素子アレイ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｓ 5/18 Ｈ０１Ｓ 5/42 5/42 Ｈ０１Ｌ 31/02 Ｄ (72)発明者 原田 篤 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 Ｆターム(参考） 2H037 AA01 BA02 BA05 BA11 DA03 DA06 5F041 AA37 AA42 CB22 DA13 DA20 EE01 EE22 FF14 5F073 AB06 AB16 AB21 AB28 BA02 DA30 EA29 FA16 FA23 FA30 5F088 AA01 BB01 JA01 JA13 JA14 5F089 AA01 AB17 AB20 AC02 AC07 BC07 BC29 CA20 GA07 GA10

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 基体の上面の所定の部位に形態の異なる
    凹部を形成し、異なる機能の素子を、夫々、前記凹部の
    形態と同形態で且つ互いに形態の異なる微小構造体と
    し、それを流体に混入してスラリとし、このスラリを、
    前記基体の上面で流動し、前記微小構造体からなる素子
    を、対応する形態の凹部に嵌合することを特徴とする素
    子実装方法。
  2. 【請求項２】 前記微小構造体に、同じ機能部を対称形
    に形成したことを特徴とする請求項１に記載の素子実装
    方法。
  3. 【請求項３】 前記微小構造体からなる素子を、対応す
    る形態の凹部に嵌合する工程を複数回繰り返し、一つの
    凹部に複数の微小構造体からなる素子を積層することを
    特徴とする請求項１又は２に記載の素子実装方法。
  4. 【請求項４】 別機能の素子を積層して、前記微小構造
    体を構成することを特徴とする請求項１乃至３の何れか
    に記載の素子実装方法。
  5. 【請求項５】 前記形態の異なる微小構造体のうち、微
    小構造体の形態が大きな順に、夫々の微小構造体が混入
    したスラリを、前記基体の上面で流動させることを特徴
    とする請求項１乃至４の何れかに記載の素子実装方法。
  6. 【請求項６】 前記異なる機能の素子を、互いに波長の
    異なる発光素子とし、これらの素子を、前記請求項１乃
    至５の何れかに記載の素子実装方法で、前記基体の所定
    の部位に実装したことを特徴とする光伝送装置。
  7. 【請求項７】 前記異なる機能の素子を、互いに通過す
    る波長の異なるフィルタとし、これらの素子を、前記請
    求項１乃至５の何れかに記載の素子実装方法で、前記基
    体の所定の部位に実装したことを特徴とする光伝送装
    置。
  8. 【請求項８】 前記異なる機能の素子を、互いに感受す
    る波長の異なる受光素子とし、これらの素子を、前記請
    求項１乃至５の何れかに記載の素子実装方法で、前記基
    体の所定の部位に実装したことを特徴とする光伝送装
    置。
  9. 【請求項９】 前記受発光素子間に光ファイバーを介装
    することを特徴とする請求項６乃至８の何れかに記載の
    光伝送装置。
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