JP2002026075A - 認識方法及び装置 - Google Patents
認識方法及び装置Info
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- JP2002026075A JP2002026075A JP2000203768A JP2000203768A JP2002026075A JP 2002026075 A JP2002026075 A JP 2002026075A JP 2000203768 A JP2000203768 A JP 2000203768A JP 2000203768 A JP2000203768 A JP 2000203768A JP 2002026075 A JP2002026075 A JP 2002026075A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 認識対象の表面性状によりコントラストに変
化が生じる場合でも適正に認識することができる認識方
法及び装置を提供する。 【解決手段】 認識対象をカラー画像で撮像するカラー
画像入力手段１と、撮像したカラー画像信号をモノクロ
画像信号に変換するカラーモノクロ画像変換手段４と、
認識対象及び撮像手段の特性に応じて撮像したカラー画
像信号をモノクロ画像信号に変換する際の変換基準を作
成する変換基準作成手段５と、モノクロ画像信号を処理
して認識対象を認識するモノクロ画像処理手段６とを備
え、カラー画像で撮像してモノクロ画像に変換する際に
その変換基準を認識対象及び撮像系の特性に応じて調整
するようにした。
化が生じる場合でも適正に認識することができる認識方
法及び装置を提供する。 【解決手段】 認識対象をカラー画像で撮像するカラー
画像入力手段１と、撮像したカラー画像信号をモノクロ
画像信号に変換するカラーモノクロ画像変換手段４と、
認識対象及び撮像手段の特性に応じて撮像したカラー画
像信号をモノクロ画像信号に変換する際の変換基準を作
成する変換基準作成手段５と、モノクロ画像信号を処理
して認識対象を認識するモノクロ画像処理手段６とを備
え、カラー画像で撮像してモノクロ画像に変換する際に
その変換基準を認識対象及び撮像系の特性に応じて調整
するようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣ組立設備にお
いてフリップチップ実装を行う際のベアＩＣ位置の認識
などに好適に利用される認識方法及び装置に関するもの
である。
いてフリップチップ実装を行う際のベアＩＣ位置の認識
などに好適に利用される認識方法及び装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来のＩＣ組立設備におけるＩＣ位置認
識装置について、図４を参照して説明する。
識装置について、図４を参照して説明する。
【０００３】図４において、１１はモノクロ画像入力手
段、１２は撮像に必要な照明を行う照明手段、１３は認
識対象としてのウエハから切り出した状態のベアＩＣ、
１４はモノクロ画像処理手段である。
段、１２は撮像に必要な照明を行う照明手段、１３は認
識対象としてのウエハから切り出した状態のベアＩＣ、
１４はモノクロ画像処理手段である。
【０００４】ベアＩＣ１３の組立時の位置認識に際して
は、照明手段１２にてベアＩＣ１３を照明し、モノクロ
画像入力手段１１を用いてベアＩＣ１３の画像を取り込
み、モノクロ画像処理手段１４でＩＣパターンの位置を
検出し、ベアＩＣ１３の位置を認識している。
は、照明手段１２にてベアＩＣ１３を照明し、モノクロ
画像入力手段１１を用いてベアＩＣ１３の画像を取り込
み、モノクロ画像処理手段１４でＩＣパターンの位置を
検出し、ベアＩＣ１３の位置を認識している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ベアＩＣ１
３の表面には保護膜が形成されており、その保護膜には
透明なものや、茶色のものが多い。特に保護膜が透明な
ベアＩＣ１３の表面を光学顕微鏡で観察した場合、主に
保護膜の厚みの違いで表面の色が大きく異なって見える
ことが多い。これは厚みの違いにより光路が異なってく
ることによる。また、保護膜下層の膜形成やパターンエ
ッチングのばらつきなどが加わることも大きく影響す
る。
３の表面には保護膜が形成されており、その保護膜には
透明なものや、茶色のものが多い。特に保護膜が透明な
ベアＩＣ１３の表面を光学顕微鏡で観察した場合、主に
保護膜の厚みの違いで表面の色が大きく異なって見える
ことが多い。これは厚みの違いにより光路が異なってく
ることによる。また、保護膜下層の膜形成やパターンエ
ッチングのばらつきなどが加わることも大きく影響す
る。
【０００６】このようなベアＩＣ１３を、上記のように
モノクロ画像入力手段１１にて撮像した場合、ベアＩＣ
１３のロットによってＩＣパターンの輝度が大きく異な
ってくる場合がある。図５（ａ）、（ｂ）に、ＩＣパタ
ーンの輝度がロットで異なる例を示す。図５に示すよう
に、ＩＣパターンのコントラストが低くなったり、ＩＣ
パターンのコントラストが部分によって大きく異なるこ
とがあり、ベアＩＣ１３の位置認識ができなくなってし
まうことがあるという問題がある。
モノクロ画像入力手段１１にて撮像した場合、ベアＩＣ
１３のロットによってＩＣパターンの輝度が大きく異な
ってくる場合がある。図５（ａ）、（ｂ）に、ＩＣパタ
ーンの輝度がロットで異なる例を示す。図５に示すよう
に、ＩＣパターンのコントラストが低くなったり、ＩＣ
パターンのコントラストが部分によって大きく異なるこ
とがあり、ベアＩＣ１３の位置認識ができなくなってし
まうことがあるという問題がある。
【０００７】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、認識
対象の表面性状によりコントラストに変化が生じる場合
でも適正に認識することができる認識方法及び装置を提
供することを目的としている。
対象の表面性状によりコントラストに変化が生じる場合
でも適正に認識することができる認識方法及び装置を提
供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の認識方法は、認
識対象をカラー画像で撮像する工程と、認識対象及び撮
像系の特性に応じて撮像したカラー画像信号をモノクロ
画像信号に変換する際の変換基準を作成する工程と、撮
像したカラー画像信号をモノクロ画像信号に変換する工
程と、モノクロ画像信号を処理して認識対象を認識する
工程とを有するものであり、カラー画像で撮像してモノ
クロ画像に変換する際にその変換基準を認識対象及び撮
像系の特性に応じて調整することにより、認識対象の表
面性状によりコントラストに変化が生じる場合でも適正
に認識することができる。
識対象をカラー画像で撮像する工程と、認識対象及び撮
像系の特性に応じて撮像したカラー画像信号をモノクロ
画像信号に変換する際の変換基準を作成する工程と、撮
像したカラー画像信号をモノクロ画像信号に変換する工
程と、モノクロ画像信号を処理して認識対象を認識する
工程とを有するものであり、カラー画像で撮像してモノ
クロ画像に変換する際にその変換基準を認識対象及び撮
像系の特性に応じて調整することにより、認識対象の表
面性状によりコントラストに変化が生じる場合でも適正
に認識することができる。
【０００９】特に、認識対象が表面に保護膜を形成され
たベアＩＣで、ＩＣパターンからベアＩＣ位置を認識す
る場合に適用すると、膜形成ばらつきなどによるＩＣパ
ターンのコントラストに変化があっても確実にＩＣ位置
を認識できる。
たベアＩＣで、ＩＣパターンからベアＩＣ位置を認識す
る場合に適用すると、膜形成ばらつきなどによるＩＣパ
ターンのコントラストに変化があっても確実にＩＣ位置
を認識できる。
【００１０】また、本発明の認識装置は、認識対象をカ
ラー画像で撮像するカラー画像入力手段と、認識対象及
びカラー画像入力手段の特性に応じて撮像したカラー画
像信号をモノクロ画像信号に変換する際の変換基準を作
成する変換基準作成手段と、撮像したカラー画像信号を
モノクロ画像信号に変換する画像変換手段と、モノクロ
画像信号を処理して認識対象を認識する画像処理手段と
を備えたものであり、上記方法を実施してその効果を奏
することができる。
ラー画像で撮像するカラー画像入力手段と、認識対象及
びカラー画像入力手段の特性に応じて撮像したカラー画
像信号をモノクロ画像信号に変換する際の変換基準を作
成する変換基準作成手段と、撮像したカラー画像信号を
モノクロ画像信号に変換する画像変換手段と、モノクロ
画像信号を処理して認識対象を認識する画像処理手段と
を備えたものであり、上記方法を実施してその効果を奏
することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態のベア
ＩＣ認識装置について、図１〜図３を参照して説明す
る。
ＩＣ認識装置について、図１〜図３を参照して説明す
る。
【００１２】図１において、１はカラー画像入力手段、
２は照明手段、３は認識対象のベアＩＣである。４はカ
ラー画像入力手段１から入力されたカラー画像信号をモ
ノクロ画像信号に変換して出力するカラーモノクロ画像
変換手段である。５はカラーモノクロ画像変換手段４に
おけるカラー画像信号からモノクロ画像信号に変換する
基準を作成する変換基準作成手段である。６はモノクロ
画像信号を処理してベアＩＣ３のＩＣパターンからベア
ＩＣ３の位置を認識するモノクロ画像処理手段である。
２は照明手段、３は認識対象のベアＩＣである。４はカ
ラー画像入力手段１から入力されたカラー画像信号をモ
ノクロ画像信号に変換して出力するカラーモノクロ画像
変換手段である。５はカラーモノクロ画像変換手段４に
おけるカラー画像信号からモノクロ画像信号に変換する
基準を作成する変換基準作成手段である。６はモノクロ
画像信号を処理してベアＩＣ３のＩＣパターンからベア
ＩＣ３の位置を認識するモノクロ画像処理手段である。
【００１３】次に、動作を説明すると、まずベアＩＣ３
を照明手段２で照明し、カラー画像入力手段１を用いて
ベアＩＣ３のカラー画像を取り込む。そして、カラーモ
ノクロ画像変換手段４でカラー画像をモノクロ画像に変
換する。このとき、カラーモノクロ画像変換手段４で画
像を変換する基準は、変換基準作成手段５にて予め作成
されたものである。カラーモノクロ画像変換手段４で変
換されたモノクロ画像は、モノクロ画像処理手段６にて
処理され、ベアＩＣ３の位置が検出される。当然、変換
基準作成手段５は装置の初期設定時のみ必要であり、実
際にベアＩＣ３の位置を検出する際には必要でない。
を照明手段２で照明し、カラー画像入力手段１を用いて
ベアＩＣ３のカラー画像を取り込む。そして、カラーモ
ノクロ画像変換手段４でカラー画像をモノクロ画像に変
換する。このとき、カラーモノクロ画像変換手段４で画
像を変換する基準は、変換基準作成手段５にて予め作成
されたものである。カラーモノクロ画像変換手段４で変
換されたモノクロ画像は、モノクロ画像処理手段６にて
処理され、ベアＩＣ３の位置が検出される。当然、変換
基準作成手段５は装置の初期設定時のみ必要であり、実
際にベアＩＣ３の位置を検出する際には必要でない。
【００１４】次に、上記カラー画像をモノクロ画像に変
換する基準の作成原理について説明する。従来技術で述
べたように、主にベアＩＣ３の透明保護膜の厚みばらつ
きにより表面色が大きく異なって見えること等で、モノ
クロ画像ではＩＣパターンのコントラストに変化が発生
する。仮に、表面色が変化しても波長がシフトするだけ
で、その波長帯域は変わらないと仮定すると、コントラ
スト変動の原因は、照明を含めた画像撮像系が色により
感度が異なることが主であると言える。例えば、照明手
段２にハロゲンランプを使った場合は、黄色の波長分が
強くなる。また、カラー画像入力手段１であるカメラの
感度も波長によって異なり、一般的なＣＣＤカメラでは
赤い方が感度が高い。
換する基準の作成原理について説明する。従来技術で述
べたように、主にベアＩＣ３の透明保護膜の厚みばらつ
きにより表面色が大きく異なって見えること等で、モノ
クロ画像ではＩＣパターンのコントラストに変化が発生
する。仮に、表面色が変化しても波長がシフトするだけ
で、その波長帯域は変わらないと仮定すると、コントラ
スト変動の原因は、照明を含めた画像撮像系が色により
感度が異なることが主であると言える。例えば、照明手
段２にハロゲンランプを使った場合は、黄色の波長分が
強くなる。また、カラー画像入力手段１であるカメラの
感度も波長によって異なり、一般的なＣＣＤカメラでは
赤い方が感度が高い。
【００１５】図２に波長に対する照明輝度とＣＣＤ感度
と両者を合成した撮像系の感度特性を示す。このような
撮像系では、ベアＩＣ３の表面色が変化すると、感度特
性分だけコントラストは変化してしまう。図３に、ベア
ＩＣ３の表面色が緑系の場合と、桃系の場合の輝度の違
いを示す。図３において、グラフの曲線は図２の撮像系
の感度特性であり、ハッチング部の面積がそれぞれのベ
アＩＣ３の輝度となる。なお、（ａ）と（ｂ）のハッチ
ング部の横の長さは波長帯域であり、長さは同じとする
と、緑系のベアＩＣ３では輝度が低いためコントラスト
も低く、桃系のベアＩＣでは輝度が高いためコントラス
トは高くなると言える。
と両者を合成した撮像系の感度特性を示す。このような
撮像系では、ベアＩＣ３の表面色が変化すると、感度特
性分だけコントラストは変化してしまう。図３に、ベア
ＩＣ３の表面色が緑系の場合と、桃系の場合の輝度の違
いを示す。図３において、グラフの曲線は図２の撮像系
の感度特性であり、ハッチング部の面積がそれぞれのベ
アＩＣ３の輝度となる。なお、（ａ）と（ｂ）のハッチ
ング部の横の長さは波長帯域であり、長さは同じとする
と、緑系のベアＩＣ３では輝度が低いためコントラスト
も低く、桃系のベアＩＣでは輝度が高いためコントラス
トは高くなると言える。
【００１６】ＩＣパターンのコントラスト変化が、撮像
系の色による感度特性のみに依存するとすれば、変換基
準作成手段５で、カラー画像入力手段１と照明手段２に
よる撮像系の色感度特性を補正するように基準を作って
やれば、ベアＩＣ３の表面色が変わってもカラーモノク
ロ画像変換手段４で得られるモノクロ画像にコントラス
ト変動を生じないようにすることができる。
系の色による感度特性のみに依存するとすれば、変換基
準作成手段５で、カラー画像入力手段１と照明手段２に
よる撮像系の色感度特性を補正するように基準を作って
やれば、ベアＩＣ３の表面色が変わってもカラーモノク
ロ画像変換手段４で得られるモノクロ画像にコントラス
ト変動を生じないようにすることができる。
【００１７】なお、現実のコントラス変化は、撮像系の
色による感度特性のみとは言えない。例えば、ベアＩＣ
３の表面色が変化するとき、波長のシフトに伴い波長帯
域も変わってしまうことも考えられるし、その下位層の
表面状態など他の要因もある。しかし、コントラストの
変化とベアＩＣ３の表面色との相関関係を計測し、変換
基準作成手段５で基準をつくることで、コントラスト変
動を抑えることは可能である。
色による感度特性のみとは言えない。例えば、ベアＩＣ
３の表面色が変化するとき、波長のシフトに伴い波長帯
域も変わってしまうことも考えられるし、その下位層の
表面状態など他の要因もある。しかし、コントラストの
変化とベアＩＣ３の表面色との相関関係を計測し、変換
基準作成手段５で基準をつくることで、コントラスト変
動を抑えることは可能である。
【００１８】以上説明したように、変換基準作成手段５
にて、撮像系の色感度特性を含めたモノクロ画像におけ
るベアＩＣ輝度の特性と、ベアＩＣの表面色との相関関
係を補正することができるため、ベアＩＣの表面色が変
わってもコントラスト変動を抑えることができる。
にて、撮像系の色感度特性を含めたモノクロ画像におけ
るベアＩＣ輝度の特性と、ベアＩＣの表面色との相関関
係を補正することができるため、ベアＩＣの表面色が変
わってもコントラスト変動を抑えることができる。
【００１９】
【発明の効果】本発明の認識方法及び装置によれば、以
上のように認識対象及び撮像系の特性に応じて撮像した
カラー画像信号をモノクロ画像信号に変換する際の変換
基準を作成し、撮像したカラー画像信号をモノクロ画像
信号に変換し、モノクロ画像信号を処理して認識対象を
認識するようにしたので、カラー画像で撮像してモノク
ロ画像に変換する際にその変換基準を認識対象及び撮像
系の特性に応じて調整することにより、認識対象の表面
性状によりコントラストに変化が生じる場合でも適正に
認識することができる。
上のように認識対象及び撮像系の特性に応じて撮像した
カラー画像信号をモノクロ画像信号に変換する際の変換
基準を作成し、撮像したカラー画像信号をモノクロ画像
信号に変換し、モノクロ画像信号を処理して認識対象を
認識するようにしたので、カラー画像で撮像してモノク
ロ画像に変換する際にその変換基準を認識対象及び撮像
系の特性に応じて調整することにより、認識対象の表面
性状によりコントラストに変化が生じる場合でも適正に
認識することができる。
【００２０】特に、表面に保護膜を形成されたベアＩＣ
のＩＣパターンからベアＩＣ位置を認識する場合に、膜
形成ばらつきなどにより表面色が変わり、ＩＣパターン
のコントラストに変化があっても、確実にＩＣ位置を認
識することができる。
のＩＣパターンからベアＩＣ位置を認識する場合に、膜
形成ばらつきなどにより表面色が変わり、ＩＣパターン
のコントラストに変化があっても、確実にＩＣ位置を認
識することができる。
【図１】本発明の一実施形態の認識装置の構成図であ
る。
る。
【図２】同実施形態における照明手段と画像入力手段の
感度特性を合成した撮像系の感度特性の説明図である。
感度特性を合成した撮像系の感度特性の説明図である。
【図３】ベアＩＣ色が緑系と桃系の場合での輝度の違い
の説明図である。
の説明図である。
【図４】従来例の認識装置の構成図である。
【図５】ＩＣパターンの輝度がロットで異なる例の説明
図である。
図である。
１ カラー画像入力手段 ２ 照明手段 ３ ベアＩＣ（認識対象） ４ カラーモノクロ画像変換手段 ５ 変換基準作成手段 ６ モノクロ画像処理手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大井戸 良久 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 深江 崇行 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5F044 PP03 PP13 PP17
Claims (3)
- 【請求項１】 認識対象をカラー画像で撮像する工程
と、認識対象及び撮像系の特性に応じて撮像したカラー
画像信号をモノクロ画像信号に変換する際の変換基準を
作成する工程と、撮像したカラー画像信号をモノクロ画
像信号に変換する工程と、モノクロ画像信号を処理して
認識対象を認識する工程とを有することを特徴とする認
識方法。 - 【請求項２】 認識対象は、表面に保護膜を形成された
ベアＩＣであり、ＩＣパターンからベアＩＣ位置を認識
することを特徴とする請求項１記載の認識方法。 - 【請求項３】 認識対象をカラー画像で撮像するカラー
画像入力手段と、認識対象及びカラー画像入力手段の特
性に応じて撮像したカラー画像信号をモノクロ画像信号
に変換する際の変換基準を作成する変換基準作成手段
と、撮像したカラー画像信号をモノクロ画像信号に変換
する画像変換手段と、モノクロ画像信号を処理して認識
対象を認識する画像処理手段とを備えたことを特徴とす
る認識装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000203768A JP2002026075A (ja) | 2000-07-05 | 2000-07-05 | 認識方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000203768A JP2002026075A (ja) | 2000-07-05 | 2000-07-05 | 認識方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002026075A true JP2002026075A (ja) | 2002-01-25 |
Family
ID=18701136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000203768A Pending JP2002026075A (ja) | 2000-07-05 | 2000-07-05 | 認識方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002026075A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007133560A (ja) * | 2005-11-09 | 2007-05-31 | Secom Co Ltd | 近赤外線顔画像作成装置、近赤外線顔画像作成方法、及び顔画像照合装置 |
| JP2007140946A (ja) * | 2005-11-18 | 2007-06-07 | Secom Co Ltd | 顔画像照合装置及び照合用顔画像登録方法 |
| CN112304292A (zh) * | 2019-07-25 | 2021-02-02 | 富泰华工业（深圳）有限公司 | 基于单色光的物体检测方法及检测*** |
-
2000
- 2000-07-05 JP JP2000203768A patent/JP2002026075A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007133560A (ja) * | 2005-11-09 | 2007-05-31 | Secom Co Ltd | 近赤外線顔画像作成装置、近赤外線顔画像作成方法、及び顔画像照合装置 |
| JP4606304B2 (ja) * | 2005-11-09 | 2011-01-05 | セコム株式会社 | 近赤外線顔画像作成装置、近赤外線顔画像作成方法、及び顔画像照合装置 |
| JP2007140946A (ja) * | 2005-11-18 | 2007-06-07 | Secom Co Ltd | 顔画像照合装置及び照合用顔画像登録方法 |
| CN112304292A (zh) * | 2019-07-25 | 2021-02-02 | 富泰华工业（深圳）有限公司 | 基于单色光的物体检测方法及检测*** |
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