JP2002022511A - Thermosensitive resistance element and thermal flow sensor using it - Google Patents
Thermosensitive resistance element and thermal flow sensor using itInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】 本発明は、例えば自動車用
内燃機関の吸入空気の流量測定に用いられる熱式流量セ
ンサの構成部品として好適に用いられる、感温性の抵抗
素子に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a temperature-sensitive resistance element suitably used as a component of a thermal flow sensor used for measuring the flow rate of intake air of an internal combustion engine for an automobile, for example.
【０００２】[0002]
【従来の技術】 例えば自動車用内燃機関等において燃
料噴射バルブを調整する際に、吸入空気の流量を測定す
ることが必要となる場合がある。このような測定を行う
センサとしては、温度上昇に伴って抵抗値が増加する抵
抗体を利用した抵抗素子（以下、「感温性抵抗素子」と
いう。）により、吸入空気の流量を測定する熱式流量セ
ンサが知られている（センサ技術１９８９年９月号第２
９頁）。2. Description of the Related Art For example, when adjusting a fuel injection valve in an automobile internal combustion engine or the like, it may be necessary to measure a flow rate of intake air. As a sensor for performing such measurement, a resistance element (hereinafter, referred to as a “temperature-sensitive resistance element”) using a resistor whose resistance value increases with an increase in temperature is used to measure the flow rate of intake air. Type flow sensor is known (Sensor Technology September 1989 Issue No. 2
9).
【０００３】 熱式流量センサ用の感温性抵抗素子とし
ては、例えば図１に示すような、絶縁体からなる円筒状
の基体３と、基体３の外周面に、基体３の両端部を連絡
するように形成された感温性抵抗体２と、感温性抵抗体
２と電気的に接続された、基体３の両端部から突出する
リード線等の導通部材４とを備えた構造の抵抗素子１が
使用される（実開昭５６−９６３２６号公報等）。そし
て、上記のような抵抗素子においては、吸入空気中の
塵、埃、砂による摩耗、或いは酸性ガス（ＮＯX，Ｓ
ＯX）による腐食から感温性抵抗体を保護し、所定の抵
抗特性を維持するため、保護被膜６を形成することが一
般的である。As a temperature-sensitive resistance element for a thermal type flow sensor, for example, as shown in FIG. 1, a cylindrical base 3 made of an insulator is connected to the outer peripheral surface of the base 3 by connecting both ends of the base 3. And a conductive member 4 such as a lead wire protruding from both ends of the base 3 electrically connected to the temperature-sensitive resistor 2. The element 1 is used (Japanese Utility Model Laid-Open No. 56-96326). In the above-described resistance element, wear caused by dust, dust, and sand in the intake air or an acid gas (NO x , S
O X) by protecting the temperature-sensitive resistor from corrosion, for maintaining a predetermined resistance characteristic, it is common to form a protective coating 6.
【０００４】 上記抵抗素子の一部をなす導通部材は、
抵抗素子（即ち、抵抗体）と熱式流量センサの電気回路
とを接続し、また、抵抗素子を保持するための部材であ
るため、酸性ガス等に対する耐食性、センサ作動時の発
熱に対する耐熱性を備え、かつ、その熱を抵抗素子から
逃がさないようにするべく熱伝導性が低い材質から構成
されていることを要求される。[0004] The conductive member forming a part of the resistance element includes:
The resistance element (that is, the resistance element) is connected to the electric circuit of the thermal type flow sensor, and is a member for holding the resistance element. It is required to be made of a material having low thermal conductivity so as to prevent the heat from escaping from the resistance element.
【０００５】 従来、導通部材は、耐食性、耐熱性に優
れるＰｔを主体とし、かつ、純Ｐｔに比して熱伝導性が
低いＰｔ合金（例えばＰｔが質量比９０％）から構成さ
れてきたが、Ｐｔ合金は非常に高価であるため、抵抗素
子を安価に提供することができないという問題があっ
た。そこで、Ｆｅ−Ｎｉ合金、ステンレス等の卑金属合
金から構成した導通部材が提案されている。卑金属から
なる導通部材は安価であることに加え、耐食性や耐熱性
についてもＣｒ，Ｍｏ等の耐食性金属を添加することに
より、或いは真空蒸着、化学メッキ、スパッタリング、
溶融メッキ、或いはクラッド等の方法により表面をＰｔ
等の貴金属で被覆することにより改善が期待できる。Conventionally, the conductive member has been composed of a Pt alloy mainly composed of Pt having excellent corrosion resistance and heat resistance and having a lower thermal conductivity than pure Pt (for example, Pt has a mass ratio of 90%). Since the Pt alloy is very expensive, there is a problem that the resistance element cannot be provided at low cost. Therefore, a conductive member made of a base metal alloy such as an Fe-Ni alloy or stainless steel has been proposed. The conductive member made of a base metal is inexpensive and has corrosion resistance and heat resistance by adding a corrosion resistant metal such as Cr or Mo, or by vacuum deposition, chemical plating, sputtering,
Pt surface by hot-dip plating or cladding
Improvement can be expected by coating with a noble metal such as.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】 しかしながら、上記
の卑金属からなる導通部材は、センサ回路との接合部が
脆弱であるという問題があった。上記抵抗素子はその導
通部材部分を、図３に示す如くプラスチック等からなる
枠体２５内に配置された、金属製の棒状体２４に溶接す
ることによりセンサ回路と接合することが一般的であ
る。ところが、卑金属からなる導通部材は、溶接時の高
熱により腐食割れの原因となる金属組織が形成されるた
め、例えば降雪時に道路に散布される凍結防止剤、或い
は酸性雨等の影響により使用雰囲気が悪化すると、導通
部材とセンサ回路との接合部２３（即ち溶接部）が容易
に剥離し、酷い場合には抵抗素子２１，２２がセンサ回
路から脱落してしまう点において問題であった。However, the conductive member made of a base metal described above has a problem that a joint portion with a sensor circuit is fragile. Generally, the resistance element is joined to the sensor circuit by welding a conductive member portion to a metal rod 24 disposed in a frame 25 made of plastic or the like as shown in FIG. . However, since the conductive member made of a base metal forms a metal structure that causes corrosion cracking due to high heat during welding, the use atmosphere is affected by, for example, an antifreezing agent sprayed on roads during snowfall or acid rain. When it is deteriorated, a joint 23 (that is, a welded portion) between the conductive member and the sensor circuit is easily peeled off, and in a severe case, there is a problem in that the resistance elements 21 and 22 drop off from the sensor circuit.
【０００７】 上記の場合には、抵抗素子が十分に、或
いは全くその機能を果たすことができないため、当該抵
抗素子を組み込んだ熱式流量センサの信頼性や測定精度
を低下させる点において好ましくない。In the above case, since the resistance element cannot perform its function sufficiently or at all, it is not preferable in that the reliability and measurement accuracy of the thermal type flow sensor incorporating the resistance element are reduced.
【０００８】 本発明は、上述のような従来技術の問題
点に鑑みてなされたものであって、その目的とするとこ
ろは、安価であり、かつ、劣悪な使用環境下であっても
センサ回路との接合部が容易に剥離したり、或いはセン
サ回路から脱落することがない感温性抵抗素子、及び信
頼性、測定精度に優れた熱式流量センサを提供すること
にある。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the related art, and an object of the present invention is to provide a sensor circuit which is inexpensive and can be used even in an inferior use environment. It is an object of the present invention to provide a temperature-sensitive resistance element which does not easily peel off at the junction with the sensor or fall off from the sensor circuit, and a thermal flow sensor excellent in reliability and measurement accuracy.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】 本発明者らが鋭意検討
した結果、導通部材を、Ｃ含有量が所定の範囲に抑制さ
れた耐食性合金から構成することにより、上記従来技術
の問題点を解決できることを見出して本発明を完成し
た。Means for Solving the Problems As a result of intensive studies by the present inventors, the above-described problems of the prior art are solved by forming the conductive member from a corrosion-resistant alloy in which the C content is suppressed to a predetermined range. The inventors have found out what can be done and completed the present invention.
【００１０】 即ち、本発明によれば、絶縁体からなる
円筒状の基体と、当該基体の外周面に形成された、当該
基体の両端部を連絡する感温性抵抗体と、当該感温性抵
抗体と電気的に接続された、当該基体の両端部から突出
する導通部材と、を備えた感温性抵抗素子において、前
記導通部材が、Ｆｅ若しくはＮｉを主成分とし、耐食性
成分としてＣｒ及び／又はＭｏを含み、かつ、Ｃ含有量
が０．０５質量％未満である耐食性合金から構成されて
いることを特徴とする感温性抵抗素子が提供される。That is, according to the present invention, a cylindrical base made of an insulator, a temperature-sensitive resistor formed on the outer peripheral surface of the base and connecting both ends of the base, A conductive member electrically connected to the resistor, and a conductive member protruding from both ends of the base, wherein the conductive member has Fe or Ni as a main component, and Cr and And / or a temperature-sensitive resistance element comprising Mo and containing a corrosion-resistant alloy having a C content of less than 0.05% by mass.
【００１１】 本発明の感温性抵抗素子は、導通部材
が、Ａｕ，Ｐｔ若しくはこれらを主成分とする合金によ
り被覆されているものが好ましく、導通部材の突出端の
端面が、Ａｕ，Ｐｔ若しくはこれらを主成分とする合金
により被覆されているものが更に好ましい。In the temperature-sensitive resistance element of the present invention, it is preferable that the conductive member is coated with Au, Pt or an alloy containing these as main components, and the end face of the protruding end of the conductive member is formed of Au, Pt or Those coated with alloys containing these as main components are more preferable.
【００１２】 更に、本発明によれば、上記の感温性抵
抗素子を、ブリッジ回路に組み込んだことを特徴とする
熱式流量センサが提供される。本発明の熱式流量センサ
は、感温性抵抗素子とセンサ回路との接合部が、樹脂に
より被覆されているものが好ましい。Further, according to the present invention, there is provided a thermal type flow sensor characterized in that the above-mentioned temperature-sensitive resistance element is incorporated in a bridge circuit. In the thermal type flow sensor of the present invention, it is preferable that the joint between the temperature-sensitive resistance element and the sensor circuit is covered with a resin.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】 本発明の感温性抵抗素子（以
下、単に「抵抗素子」と記す。）は、導通部材をＣ含有
量が所定の範囲に抑制された耐食性合金から構成したも
のである。本発明の抵抗素子は安価であり、劣悪な使用
環境下であってもセンサ回路との接合部が容易に剥離し
たり、或いはセンサ回路から脱落することがなく、所定
の抵抗特性を維持することが可能である。また、当該抵
抗素子を組み込んだ熱式流量センサ（以下、単に「セン
サ」と記す。）は信頼性、測定精度に優れる。以下、本
発明の抵抗素子及びセンサについて詳細に説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A temperature-sensitive resistance element (hereinafter simply referred to as a “resistance element”) of the present invention is one in which a conductive member is made of a corrosion-resistant alloy in which the C content is suppressed to a predetermined range. is there. The resistance element of the present invention is inexpensive, and maintains a predetermined resistance characteristic without easily peeling off the joint with the sensor circuit or falling off from the sensor circuit even in a poor use environment. Is possible. Further, a thermal type flow sensor (hereinafter simply referred to as “sensor”) incorporating the resistance element has excellent reliability and measurement accuracy. Hereinafter, the resistance element and the sensor of the present invention will be described in detail.
【００１４】（１）本発明の抵抗素子の特徴 本発明の抵抗素子は、導通部材をＣ含有量が所定の範囲
に抑制された耐食性合金から構成した点に特徴があり、
以下のような利点を有する。(1) Features of the Resistive Element of the Present Invention The resistive element of the present invention is characterized in that the conductive member is made of a corrosion-resistant alloy in which the C content is suppressed to a predetermined range.
It has the following advantages.
【００１５】 第１に、Ｃ含有量さえ所定の範囲に抑制
されていれば、耐食性合金は卑金属合金を使用すること
もできるため、従前から使用されてきたＰｔ合金と比較
して、導通部材、ひいては抵抗素子を安価なものとする
ことができる。First, as long as the C content is controlled within a predetermined range, a base metal alloy can be used as the corrosion-resistant alloy. Therefore, compared to a Pt alloy that has been used conventionally, a conductive member, As a result, the resistance element can be made inexpensive.
【００１６】 第２に、Ｃ含有量が所定の範囲に抑制さ
れた耐食性合金を使用しているため、卑金属合金を使用
した場合でも溶接時に腐食割れの原因となる金属組織が
形成されることがない。即ち、導通部材とセンサ回路が
強固に接合され、その状態が維持されるため、使用雰囲
気が悪化しても、センサ回路との接合部が容易に剥離し
たり、或いはセンサ回路から脱落することがなく、所定
の抵抗特性を維持することが可能である。従って、当該
抵抗素子を組み込んだセンサの信頼性や測定精度を向上
させることが可能である。Second, since a corrosion-resistant alloy in which the C content is suppressed to a predetermined range is used, even when a base metal alloy is used, a metal structure that causes corrosion cracking during welding may be formed. Absent. That is, since the conducting member and the sensor circuit are firmly joined and the state is maintained, even if the use atmosphere deteriorates, the joint with the sensor circuit can easily peel off or fall off the sensor circuit. Therefore, it is possible to maintain a predetermined resistance characteristic. Therefore, it is possible to improve the reliability and measurement accuracy of the sensor incorporating the resistance element.
【００１７】 本発明にいう「耐食性合金」は、卑金属
であるＦｅ若しくはＮｉを主成分とする合金である。本
明細書において「主成分」というときは、合金中５０質
量％以上を占める成分を意味する。従って、Ｆｅ若しく
はＮｉのいずれかが５０質量％以上であればこの要件を
満たし、Ｆｅ，Ｎｉの双方を構成成分とするものでも構
わない。The “corrosion-resistant alloy” according to the present invention is an alloy mainly containing a base metal such as Fe or Ni. In this specification, the term “main component” means a component that accounts for 50% by mass or more of the alloy. Therefore, if either Fe or Ni is 50% by mass or more, this requirement is satisfied, and both Fe and Ni may be used as constituent components.
【００１８】 また、本発明にいう「耐食性合金」は、
耐食性成分としてＣｒ及び／又はＭｏを含む合金であ
る。これらの含有量は特に限定されないが、耐食性を確
保するため、Ｃｒ若しくはＭｏのいずれかが１２質量％
以上であるものが好ましく、他の耐食性成分（例えば
Ｗ）を含むものであっても良い。Further, the “corrosion resistant alloy” according to the present invention includes:
An alloy containing Cr and / or Mo as a corrosion resistant component. The content of these is not particularly limited, but in order to ensure corrosion resistance, either Cr or Mo is 12% by mass.
Those described above are preferable, and may include other corrosion resistant components (for example, W).
【００１９】 更に、本発明にいう「耐食性合金」は、
Ｃ含有量が０．０５質量％未満の合金である。このよう
な極低炭素の合金は化学薬品製造装置用、石油化学装置
用、食品加工装置用、熱交換器用、熱処理炉用、蒸気発
生器チューブ用等として実用されており、安価かつ容易
に入手できる。合金中のＣ含有量については、公知の各
種化学分析法で測定することが可能である。Further, the “corrosion-resistant alloy” according to the present invention includes:
An alloy having a C content of less than 0.05% by mass. Such ultra-low carbon alloys are in practical use for chemical manufacturing equipment, petrochemical equipment, food processing equipment, heat exchangers, heat treatment furnaces, steam generator tubes, etc., and are inexpensive and easily available. it can. The C content in the alloy can be measured by various known chemical analysis methods.
【００２０】 上記の条件を満たす限りにおいて「耐食
性合金」の他の成分については特に限定されず、例えば
オーステナイト系ステンレス鋼、インコネル、ハステロ
イ、Ｆｅ−Ｎｉ合金等の従来公知の耐食性合金を使用す
ることができる。Other components of the “corrosion resistant alloy” are not particularly limited as long as the above conditions are satisfied. For example, a conventionally known corrosion resistant alloy such as austenitic stainless steel, Inconel, Hastelloy, or Fe—Ni alloy may be used. Can be.
【００２１】 なお、耐食性合金が導通部材として用い
られるものである以上、酸性ガス等に対する耐食性、セ
ンサ作動時の発熱に対する耐熱性は当然に備えていなけ
ればならない。本発明においては、既述の卑金属合金を
芯材として更にＡｕ，Ｐｔ等の貴金属、或いはこれらの
合金で被覆しても良い。即ち、本発明の抵抗素子は、導
通部材が、Ａｕ，Ｐｔ若しくはこれらを主成分とする合
金により被覆されているものが好ましい。こうすること
により、耐食性がより強固なものとなり、導通部材とセ
ンサ回路との接合部の耐久性をも向上させることが可能
である。被覆の方法は特に限定されないが、真空蒸着、
化学メッキ、スパッタリング、溶融メッキ、或いはクラ
ッド等の従来公知の膜形成法が挙げられる。Since the corrosion-resistant alloy is used as a conductive member, it must naturally have corrosion resistance to an acid gas or the like and heat resistance to heat generated during operation of the sensor. In the present invention, the base metal alloy described above may be used as a core material and further coated with a precious metal such as Au or Pt, or an alloy thereof. That is, in the resistance element of the present invention, it is preferable that the conductive member is covered with Au, Pt, or an alloy containing these as a main component. By doing so, the corrosion resistance becomes stronger, and the durability of the joint between the conductive member and the sensor circuit can be improved. Although the method of coating is not particularly limited, vacuum deposition,
Conventionally known film forming methods such as chemical plating, sputtering, hot-dip plating, and cladding are exemplified.
【００２２】 通常は、長尺の線状部材（リード線等）
全体を上記膜形成法で被覆した後、所望の長さに切断し
て導通部材とするが、この場合には線状部材の切断端面
は貴金属で被覆されておらず、卑金属が露出しているこ
とになるため、当該部分から腐食が進行する場合があ
る。Usually, a long linear member (such as a lead wire)
After covering the whole by the film forming method, it is cut into a desired length to form a conductive member, but in this case, the cut end surface of the linear member is not coated with the noble metal, and the base metal is exposed. Therefore, corrosion may progress from the relevant part.
【００２３】 従って、抵抗素子を構成した場合の導通
部材の少なくとも突出端（基体に固着されていない側の
端部を意味する。）となる側の端面は、Ａｕ，Ｐｔ等の
貴金属、或いはこれらの合金で被覆することが好まし
い。即ち、本発明の抵抗素子は、導通部材の突出端の端
面が、Ａｕ，Ｐｔ若しくはこれらを主成分とする合金に
より被覆されているものが更に好ましい。Therefore, when the resistance element is formed, at least the end face of the conductive member that is the protruding end (meaning the end not fixed to the base) is made of a noble metal such as Au, Pt, or the like. It is preferable to coat with an alloy of That is, in the resistance element of the present invention, it is more preferable that the end face of the protruding end of the conductive member is coated with Au, Pt, or an alloy containing these as a main component.
【００２４】 導通部材としては、基体からの伝熱によ
る熱の逃げが少なく、センサの測定精度や応答性を確保
できる点において直径０．１〜０．２ｍｍ程度のリード
線等を好適に用いることができる。但し、このような形
状に限定されるものではなく、例えばリード線の一方の
縁端に平板部を有する導通部材を用いてもよい。このよ
うな導通部材は、中実円筒状の基体の端面に平板部を当
接するように固着できる点において好ましい。As the conducting member, a lead wire having a diameter of about 0.1 to 0.2 mm or the like is preferably used, in that heat is less released from the base by heat transfer, and measurement accuracy and responsiveness of the sensor can be secured. Can be. However, the shape is not limited to such a shape, and for example, a conductive member having a flat plate portion at one edge of the lead wire may be used. Such a conductive member is preferable in that it can be fixed so that the flat plate portion is in contact with the end face of the solid cylindrical base.
【００２５】（２）製造方法 本発明の抵抗素子は、導通部材の材質を除き、従来公知
の感温性抵抗素子の製造方法に準じて製造することが可
能である。(2) Manufacturing Method The resistance element of the present invention can be manufactured according to a conventionally known method for manufacturing a temperature-sensitive resistance element, except for the material of the conductive member.
【００２６】基体 本発明の抵抗素子の基体は円筒状とする。板状の抵抗素
子も存在するが、これと比較すると、センサに組み込む
際に方向性を問わないことに加え、抵抗素子の取付が容
易であり、曲げ応力や熱衝撃に対する強度が高いからで
ある。Substrate The substrate of the resistance element of the present invention has a cylindrical shape. Although there is also a plate-shaped resistance element, in comparison with this, in addition to irrespective of the direction when assembling into the sensor, it is because the resistance element is easy to attach and has high strength against bending stress and thermal shock. .
【００２７】 基体は、円筒状である限りにおいて、中
実円筒であると、中空円筒であるとを問わない。但し、
熱的応答性を向上させるべく熱容量を小さくする必要が
あり、外径０．４〜１．０ｍｍφ程度、軸方向長さ１．
５〜３ｍｍ程度とすることが好ましい。基体は、絶縁
体、一般にはアルミナ等の絶縁性セラミックで構成され
るため、当該絶縁性セラミックの粉末をプレス成形など
従来公知の成形法で成形し、焼成することにより製造す
ることができる。The substrate may be a solid cylinder or a hollow cylinder as long as it is cylindrical. However,
It is necessary to reduce the heat capacity in order to improve the thermal response. The outer diameter is about 0.4 to 1.0 mmφ, and the axial length is 1.
It is preferable to set it to about 5 to 3 mm. Since the base is composed of an insulator, generally an insulating ceramic such as alumina, the substrate can be manufactured by molding and firing a powder of the insulating ceramic by a conventionally known molding method such as press molding.
【００２８】抵抗体 上記基体の外周面には、当該基体の両端部を連絡するよ
うに抵抗体を形成する。抵抗体を構成する材質として
は、温度上昇に伴って抵抗値が増加する材質、例えばＰ
ｔ属金属（Ｐｔ，Ｒｈ，Ｐｄ，Ｉｒ），Ａｕ，Ａｇ，Ｃ
ｕ，Ｎｉ、或いはこれらを含む混合物が挙げられるが、
融点が高く、化学的安定性が高い点において、Ｐｔ若し
くはＰｔを含む混合物であることが好ましい。Resistor A resistor is formed on the outer peripheral surface of the base so as to connect both ends of the base. As a material forming the resistor, a material whose resistance value increases with an increase in temperature, for example, P
t-group metals (Pt, Rh, Pd, Ir), Au, Ag, C
u, Ni, or a mixture containing these,
Pt or a mixture containing Pt is preferable in terms of high melting point and high chemical stability.
【００２９】 抵抗体の形状は特に限定されないが、例
えば薄膜、厚膜等の膜状のものを用いることができ、真
空蒸着、スパッタリング、メッキ、ディッピング等の従
来公知の膜形成法を利用して形成することができる。形
成された膜は、構成する材質（例えばＰｔ）を結晶化さ
せ、或いは基体表面と強固に付着せしめるべく、熱処理
を行うことが好ましい。熱処理温度は、その材質や膜形
成法によっても異なるが、Ｐｔであれば６００〜１２０
０℃で熱処理することにより上記効果を得ることができ
る。The shape of the resistor is not particularly limited. For example, a thin film, a thick film or the like may be used, and a conventionally known film forming method such as vacuum deposition, sputtering, plating, and dipping may be used. Can be formed. The formed film is preferably subjected to a heat treatment in order to crystallize the constituent material (for example, Pt) or to firmly adhere to the substrate surface. The heat treatment temperature varies depending on the material and the film forming method.
The above effect can be obtained by performing a heat treatment at 0 ° C.
【００３０】 抵抗体の抵抗値の調整は、膜厚により電
流の流路の断面積を調整することにより、或いは抵抗体
に絶縁物を混合せしめる方法により行っても良いが、基
体外周面の膜をレーザトリミング等の方法により螺旋状
に切除して抵抗体を長尺とし、その幅及び長さを調整す
ることによって行う方法が好ましい。抵抗値の調整が容
易だからである。The resistance value of the resistor may be adjusted by adjusting the cross-sectional area of the current flow path according to the film thickness or by a method of mixing an insulator with the resistor. Is preferably performed by adjusting the width and length of the resistor by adjusting the width and length of the resistor by cutting off the resistor in a spiral shape by a method such as laser trimming. This is because the resistance value can be easily adjusted.
【００３１】 また、抵抗体は、ワイヤ等の線状部材を
基体に巻回した形態であっても良い。既述した外径０．
４〜１．０ｍｍφ程度、軸方向長さ１．５〜３ｍｍ程度
の基体に、線径２０μｍ程度のワイヤを数十回ほど巻回
し、その両端部を後述する導通部材に溶接したもの等も
好適に用いることができる。Further, the resistor may have a form in which a linear member such as a wire is wound around a base. The outer diameter of 0.
A wire having a wire diameter of about 20 μm wound about several tens times around a base having a diameter of about 4 to 1.0 mm and a length of about 1.5 to 3 mm, and both ends thereof are welded to a conductive member described later is also preferable. Can be used.
【００３２】導通部材 抵抗体を形成した基体の端部には導通部材を固着する。
導通部材の基体端部への固着は、例えば金属とガラスと
を混合してなる導体ペースト（以下、単に「ペースト」
という。）等を用いることができる。Conductive member A conductive member is fixed to the end of the base on which the resistor is formed.
The conductive member is fixed to the end of the base by, for example, a conductive paste made of a mixture of metal and glass (hereinafter simply referred to as “paste”).
That. ) Etc. can be used.
【００３３】 ３５０℃程度まで発熱する発熱抵抗素子
ＲHに用いるペーストであれば、Ｐｔと軟化点６００℃
程度のガラスの各粉末を体積比１：１で混合した原料粉
末に、バインダとして原料粉末の１質量％のエチルセル
ロース、有機ビヒクルとして少量のブチルカルビトール
アセテートを添加し、充分混合することにより保形性を
有する程度の粘度に調節したもの等を使用することがで
きる。この場合のガラス粉末は、焼成時にクラックが入
り強度が低下することを防止するため、基体より熱膨張
係数が小さいものを選択することが好ましい。In the case of a paste used for the heat generating resistance element R H generating heat up to about 350 ° C., Pt and a softening point of 600 ° C.
1% by mass of the raw material powder as a binder and a small amount of butyl carbitol acetate as an organic vehicle are added to the raw material powder obtained by mixing the respective glass powders at a volume ratio of 1: 1, and the mixture is sufficiently mixed to keep the shape. It is possible to use a material whose viscosity has been adjusted to such an extent as to have properties. In this case, it is preferable to select a glass powder having a smaller coefficient of thermal expansion than that of the substrate in order to prevent the glass powder from cracking during firing and lowering the strength.
【００３４】 中空円筒の基体の場合であれば、例えば
基体中空部にペーストを充填し、当該充填されたペース
ト中に導通部材（リード線等）を挿入し、ペーストを乾
燥した後、ペースト中のガラスが半溶融する程度の温度
より高い温度で焼成することにより、両者を固着するこ
とができる。中実円筒の基体の場合であれば、例えばリ
ード線の一方の縁端に平板部を有する導通部材を用い、
基体端面にペーストを塗布し、基体端面に当該平板部を
当接するように圧着し、同様に乾燥し、焼成する方法を
採ってもよい。In the case of a hollow cylindrical substrate, for example, a paste is filled in a hollow portion of the substrate, a conductive member (a lead wire or the like) is inserted into the filled paste, and the paste is dried. By firing at a temperature higher than the temperature at which the glass is semi-molten, both can be fixed. In the case of a solid cylindrical base, for example, using a conductive member having a flat plate portion at one edge of the lead wire,
A method may be adopted in which a paste is applied to the end face of the base, the flat plate is pressed against the end face of the base so as to be in contact with the paste, dried and fired in the same manner.
【００３５】保護被膜の形成 保護被膜の材質は抵抗素子の使用条件により異なるが、
例えば２００℃程度の温度条件であればポリイミド樹
脂、シリコーン樹脂等の耐熱性樹脂、３５０℃程度の温
度条件ではＰｂ系、或いはＺｎ系の低融点ガラス（軟化
点４００〜８００℃程度のもの）等、いずれの場合にも
耐熱性の高い材質が用いられる。Formation of protective film The material of the protective film varies depending on the use conditions of the resistance element.
For example, a heat-resistant resin such as a polyimide resin or a silicone resin at a temperature of about 200 ° C., or a Pb-based or Zn-based low-melting glass (softening point of about 400 to 800 ° C.) at a temperature of about 350 ° C. In each case, a material having high heat resistance is used.
【００３６】 例えばペースト状にした軟化点６５０℃
のガラスを、基体の端面も含む抵抗体全体を被覆するよ
うに塗布し、８００℃で焼成する操作を複数回繰り返す
ことにより、膜厚約２０μｍの保護被膜を抵抗体表面に
形成することが可能である。For example, a softening point of 650 ° C. in the form of a paste
By applying the above glass so as to cover the entire resistor including the end face of the substrate and firing at 800 ° C. several times, a protective film having a thickness of about 20 μm can be formed on the resistor surface. It is.
【００３７】（３）熱式流量センサ 上記のように製造された抵抗素子は、以下に説明する熱
式流量センサ（以下、単に「センサ」と記す。）の発熱
抵抗素子ＲH、温度補償抵抗素子ＲCとして好適に用いる
ことができる。(3) Thermal type flow sensor The resistance element manufactured as described above is composed of a heating resistance element R H and a temperature compensation resistance of a thermal type flow sensor (hereinafter simply referred to as “sensor”) described below. It can be suitably used as the element RC .
【００３８】 センサは、例えば図２に示すように、発
熱抵抗素子ＲH（抵抗値１０〜３０Ω程度）、温度補償
抵抗素子ＲC（抵抗値４００〜１０００Ω程度）とい
う、抵抗値が異なる２種の感温性抵抗素子と、これらと
共にブリッジ回路１７を構成する通常の抵抗素子Ｒ1及
びＲ2、更にはトランジスタ１３、比較器１４、センサ
駆動電圧が印加される端子１５等を備えたものである。As shown in FIG. 2, for example, as shown in FIG. 2, two types of sensors having different resistance values, a heating resistance element R H (resistance value of about 10 to 30 Ω) and a temperature compensation resistance element R C (resistance value of about 400 to 1000 Ω), are used. And a normal resistance element R 1 and R 2 which together form a bridge circuit 17, a transistor 13, a comparator 14, a terminal 15 to which a sensor drive voltage is applied, and the like. is there.
【００３９】 センサ１１は、抵抗素子Ｒ1及びＲ2を吸
気管１２の外部に、発熱抵抗素子ＲH及び温度補償抵抗
素子ＲCを吸入空気に接触する吸気管１２内部に配置
し、温度補償抵抗素子ＲCが吸気管１２内の空気温度と
同温度に、発熱抵抗素子ＲHが前記空気温度に対して所
定の温度（例えば２００℃）だけ高温に、各々保持され
た状態でブリッジ回路１７がバランスするように構成さ
れている。In the sensor 11, the resistance elements R 1 and R 2 are arranged outside the intake pipe 12, and the heating resistance element R H and the temperature compensation resistance element R C are arranged inside the intake pipe 12 that comes into contact with the intake air. When the resistance element R C is maintained at the same temperature as the air temperature in the intake pipe 12, and the heating resistance element R H is maintained at a predetermined temperature (for example, 200 ° C.) higher than the air temperature, the bridge circuit 17 is maintained. Are configured to balance.
【００４０】 即ち、吸気管１２内への吸入空気により
発熱抵抗素子ＲHが冷却されると、その温度を一定に保
持するため、温度低下に応じた電流がブリッジ回路１７
に供給される。抵抗素子Ｒ1の両端電圧は、ブリッジ回
路１７への電流供給量に応じて変化するため、これを電
気的出力１６として取り出すことにより、吸入空気の流
量を測定することができる。That is, when the heating resistance element R H is cooled by the intake air into the intake pipe 12, a current corresponding to the temperature decrease is applied to the bridge circuit 17 in order to keep the temperature constant.
Supplied to Since the voltage between both ends of the resistance element R 1 changes in accordance with the amount of current supplied to the bridge circuit 17, by taking this as an electrical output 16, the flow rate of the intake air can be measured.
【００４１】 なお、本発明の抵抗素子は、感温性抵抗
素子とセンサ回路との接合部が、樹脂により被覆されて
いるものが好ましい。接合部、即ち溶接部を被覆するこ
とにより、腐食され易い溶接部を外気から遮断できるた
め、更に耐久性を高めることができるからである。樹脂
としては耐熱性の樹脂が好ましく、例えばエポキシ樹
脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂等が挙げられる。The resistance element of the present invention is preferably one in which the joint between the temperature-sensitive resistance element and the sensor circuit is covered with a resin. This is because by covering the joint, that is, the weld, the weld that is easily corroded can be shielded from the outside air, so that the durability can be further improved. As the resin, a heat-resistant resin is preferable, and examples thereof include an epoxy resin, a silicone resin, and a fluororesin.
【００４２】[0042]
【実施例】 以下、本発明を実施例により具体的に説明
するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものでは
ない。EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described specifically with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples.
【００４３】 まず、各実施例に使用する抵抗素子を製
造した。基体は、外径０．５５ｍｍ、内径０．３５ｍ
ｍ、長さ２．０ｍｍの中空円筒体とした。当該基体の製
造は、アルミナ含有量９９．６質量％のアルミナ粉末
に、バインダとしてアルミナ粉末の２質量％のポリビニ
ルアルコール、分散媒として適量の水を添加・混合し、
スプレードライヤで造粒してなる造粒物を、プレス成形
し、乾燥し、１６５０℃で焼成する方法により行った。First, a resistance element used in each example was manufactured. The substrate has an outer diameter of 0.55 mm and an inner diameter of 0.35 m
m and a 2.0 mm long hollow cylindrical body. The production of the substrate is performed by adding and mixing 2% by mass of alumina powder of polyvinyl alcohol as a binder and an appropriate amount of water as a dispersion medium to alumina powder having an alumina content of 99.6% by mass,
A granulated product obtained by granulating with a spray dryer was pressed, dried, and fired at 1650 ° C.
【００４４】 抵抗体は膜状（薄膜）とし、スパッタリ
ング法により基体表面に膜状に付着せしめる方法により
形成した。まず、抵抗体を基体の外周面全体に形成した
抵抗素子を製造した。抵抗体は、Ｐｔ板をターゲットと
したスパッタリングにより膜形成し、更に熱処理を行う
ことによりＰｔを結晶化した。The resistor was formed into a film (thin film), and formed by a method of attaching the resistor to the surface of the substrate by a sputtering method. First, a resistance element in which a resistor was formed on the entire outer peripheral surface of the base was manufactured. The resistor was formed by sputtering using a Pt plate as a target, and Pt was crystallized by heat treatment.
【００４５】 スパッタリング電力は１８０Ｗとし、ス
パッタリング時間を調整することにより膜厚を約０．８
μｍとした。その後、８５０℃で熱処理を行い膜を形成
した。The sputtering power was set to 180 W, and the film thickness was adjusted to about 0.8 by adjusting the sputtering time.
μm. Thereafter, heat treatment was performed at 850 ° C. to form a film.
【００４６】 更に、上記基体については、基体外周面
に形成された抵抗体を、レーザトリミングすることで、
図１に示すような基体３の円筒軸を中心とする螺旋状と
した。抵抗体の幅は約１８０μｍ、基体円筒軸中心に１
０ターンの螺旋が形成され、抵抗値は２０±２Ωであっ
た。Further, with respect to the above-mentioned base, the resistor formed on the outer peripheral surface of the base is subjected to laser trimming,
As shown in FIG. 1, the base 3 was formed into a spiral shape around the cylindrical axis. The width of the resistor is about 180 μm, and 1
A 0-turn spiral was formed and the resistance was 20 ± 2Ω.
【００４７】 上記抵抗体を形成した基体については、
両端部に導通部材であるリード線を固着することによ
り、抵抗素子とした。導通部材は、長さ３ｍｍ、直径
０．２ｍｍのリード線とした。リード線については表１
に記載の材質を使用し、一部のものについてはＰｔをク
ラッドすることにより、リード線の外周面を厚さ５μｍ
のＰｔ被膜で被覆した。更に、その一部のものについて
はＰｔをスパッタすることにより、リード線の突出端の
端面を厚さ１．５μｍのＰｔ被膜で被覆した。Regarding the substrate on which the resistor is formed,
By fixing lead wires as conductive members to both ends, a resistance element was obtained. The conducting member was a lead wire having a length of 3 mm and a diameter of 0.2 mm. See Table 1 for lead wires
The outer peripheral surface of the lead wire is formed to a thickness of 5 μm by using the material described in
Pt coating. Further, for some of them, the end face of the protruding end of the lead wire was covered with a Pt film having a thickness of 1.5 μm by sputtering Pt.
【００４８】[0048]
【表１】 [Table 1]
【００４９】 リード線と基体との固着は、Ｐｔと軟化
点６００℃のＰｂ系低融点ガラスとを、体積比５０：５
０で混合したペーストを使用して行った。具体的には、
基体中空部にペーストを充填し、当該充填されたペース
ト中にリード線を挿入し、ペーストを１２０℃で乾燥し
た後、７００℃、５分間という条件で焼成することによ
り、両者を固着した。The lead wire and the base were fixed by mixing Pt and a Pb-based low-melting glass having a softening point of 600 ° C. in a volume ratio of 50: 5.
This was done using the paste mixed at 0. In particular,
The paste was filled in the hollow portion of the base, a lead wire was inserted into the filled paste, the paste was dried at 120 ° C., and then baked under the conditions of 700 ° C. for 5 minutes, whereby both were fixed.
【００５０】 上記導通部材を固着した基体について
は、軟化点４８０℃のＰｂ系低融点ガラスを塗布し、６
５０℃で５分焼成して保護被膜を形成することにより、
抵抗素子とした。The substrate to which the conductive member was fixed was coated with a Pb-based low-melting glass having a softening point of 480 ° C.
By baking at 50 ° C. for 5 minutes to form a protective film,
It was a resistance element.
【００５１】 上記抵抗素子については、以下の方法に
より抵抗温度係数を測定した。まず、−２０、０、２
０、４０、６０、８０、１００℃の雰囲気温度で１５分
保持するようにプログラム運転する恒温槽中に抵抗素子
をセットし、当該８点の雰囲気温度を白金線測温抵抗体
により、各雰囲気温度における抵抗素子の抵抗値を４端
子型抵抗測定器により精密に測定した。これらのデータ
を下記式（１）に代入し、抵抗温度係数α、温度二乗項
の係数βを算出した。 Ｒ＝Ｒ0（１＋αＴ＋βＴ2） …（１） （但し、Ｒ0：０℃における抵抗値（Ω）、Ｔ：温度
（℃）、Ｒ：温度Ｔ（℃）における抵抗値（Ω））With respect to the resistance element, the temperature coefficient of resistance was measured by the following method. First, -20, 0, 2
A resistance element is set in a thermostatic chamber that is programmed to be maintained at an ambient temperature of 0, 40, 60, 80, or 100 ° C. for 15 minutes, and the eight ambient temperatures are measured by a platinum wire resistance thermometer. The resistance value of the resistance element at the temperature was precisely measured by a four-terminal resistance meter. These data were substituted into the following equation (1) to calculate the temperature coefficient of resistance α and the coefficient β of the temperature squared term. R = R 0 (1 + αT + βT 2 ) (1) (where R 0 is a resistance value (Ω) at 0 ° C., T is a temperature (° C.), and R is a resistance value (Ω) at a temperature T (° C.))
【００５２】 抵抗温度係数α、温度二乗項の係数βを
算出した後、上記式のＴを２５（℃）として、２５℃に
おける抵抗値（Ｒ25）を計算により算出した。実施例、
比較例の抵抗素子、各３０個について抵抗温度係数を測
定したところ、いずれも３８００±５０ｐｐｍ／℃で、
ほぼＰｔの理論値３９１０ｐｐｍ／℃に近い値が得られ
た。また、抵抗値についても全て２０±２Ωの範囲内で
均一に制御されていた。After calculating the temperature coefficient of resistance α and the coefficient β of the temperature square term, the resistance value at 25 ° C. (R 25 ) was calculated by setting T in the above equation to 25 (° C.). Example,
When the resistance temperature coefficient of each of the 30 resistance elements of the comparative example was measured, it was 3800 ± 50 ppm / ° C.
A value close to the theoretical value of Pt of 3910 ppm / ° C. was obtained. Further, the resistance values were all controlled uniformly within the range of 20 ± 2Ω.
【００５３】 上記抵抗素子を回路に組み込んでセンサ
を製造した。この際、図３に示す如くＳＵＳ３０４から
なる直径０．８ｍｍの円柱状の棒状体２４に抵抗素子２
１，２２の導通部材２１ａ，２２ａ部分をスポット溶接
することにより、センサを製造した。このうち一部のも
のについては当該溶接部を表２に記載の樹脂により被覆
した。このように製造したセンサ各３０個に対して、温
度３５℃の条件下で１０００時間、５質量％濃度の食塩
水を継続的に噴霧した後、導通部材の腐食状態、及び引
張強度について評価した。A sensor was manufactured by incorporating the above resistance element into a circuit. At this time, as shown in FIG. 3, a resistance element 2 is attached to a cylindrical rod 24 made of SUS304 having a diameter of 0.8 mm.
The sensor was manufactured by spot welding the portions of the conductive members 21a and 22a of 1 and 22. Of these, some of the welds were covered with the resins shown in Table 2. To each of the 30 sensors manufactured in this way, after continuously spraying a 5% by mass saline solution for 1000 hours at a temperature of 35 ° C., the corrosion state of the conductive member and the tensile strength were evaluated. .
【００５４】 導通部材の腐食状態については、リード
線外周面、端面、溶接部の腐食状態を実体顕微鏡を用
い、倍率１５倍で観察した。また、引張強度は、棒状体
２４にスポット溶接された抵抗素子の基体部分を６０ｍ
ｍ／分の速度で棒状体から剥離させる方向に引っ張るこ
とにより試験し、リード線自体が切断されたものを◎、
溶接部が剥離したものを×として評価した。その結果を
表２に示す。Regarding the corrosion state of the conductive member, the corrosion state of the outer peripheral surface, the end surface, and the welded portion of the lead wire was observed at a magnification of 15 using a stereoscopic microscope. Further, the tensile strength of the resistive element base spot-welded to the rod 24 was 60 m.
The test was conducted by pulling at a speed of m / min in a direction in which the lead wire was peeled off.
What peeled off the welded part was evaluated as x. Table 2 shows the results.
【００５５】[0055]
【表２】 [Table 2]
【００５６】 表２から明らかなように、導通部材がＣ
含有量０．０５％未満の耐食性合金から構成されている
場合は、リード線の表面或いは端面に錆の発生が認めら
れたが引張強度については良好であり、実用上何ら問題
のないレベルであった。一方、導通部材がＣ含有量０．
０５％以上の耐食性合金から構成されている場合は、リ
ード線の外周面或いは端面については同程度の腐食であ
るものの、溶接部に関しては腐食が更に進行しており、
これに起因して引張強度不良となる抵抗素子が発生し
た。即ち、実使用中に故障するおそれが大きい点におい
て好ましくない。As is clear from Table 2, the conduction member is C
In the case of a corrosion-resistant alloy having a content of less than 0.05%, rust was observed on the surface or end surface of the lead wire, but the tensile strength was good and was at a level at which there was no practical problem. Was. On the other hand, the conductive member has a C content of 0.1.
When it is composed of a corrosion-resistant alloy of at least 05%, the outer peripheral surface or the end surface of the lead wire is corroded to the same degree, but the corrosion is further advanced in the welded portion,
As a result, a resistive element having poor tensile strength occurred. That is, it is not preferable in that the possibility of breakdown during actual use is high.
【００５７】 また、導通部材の外周面、或いは端面に
Ｐｔで被膜を形成したものや、溶接部を樹脂で被覆した
ものについては、当該部分において錆発生が少ないか、
或いは全く錆が発生しておらず、耐食性の向上が認めら
れた。即ち、３５℃、１０００時間、５質量％濃度の食
塩水という本実施例、比較例の評価条件より更に劣悪な
条件下においても溶接部の耐久性を向上させることが期
待できる。Further, when the outer peripheral surface or the end surface of the conductive member is coated with Pt, or when the welded portion is coated with a resin, the rust is less likely to occur in the portion.
Alternatively, no rust was generated, and improvement in corrosion resistance was observed. That is, the durability of the welded portion can be expected to be improved even under conditions worse than the evaluation conditions of the present example and the comparative example of 5% by mass of a saline solution at 35 ° C. for 1,000 hours.
【００５８】 一方、導通部材がＣ含有量０．０５％以
上の耐食性合金から構成されている場合は、導通部材の
外周面、或いは端面にＰｔで被膜を形成し、溶接部を樹
脂で被覆することにより、当該部分の耐食性は向上する
ものの、引張強度が不十分なものが存在した。なお、比
較例１−２は外観上、溶接部に腐食や変色は認められな
かったが、樹脂被覆を透過し得る微量の腐食因子の影響
で引張強度が低下したものと推定された。On the other hand, when the conductive member is made of a corrosion-resistant alloy having a C content of 0.05% or more, a coating is formed on the outer peripheral surface or the end surface of the conductive member with Pt, and the welded portion is coated with a resin. As a result, the corrosion resistance of the portion was improved, but there was a portion having insufficient tensile strength. In Comparative Example 1-2, no corrosion or discoloration was observed in the welded portion in appearance, but it was presumed that the tensile strength was reduced due to the influence of a small amount of corrosion factors that could pass through the resin coating.
【００５９】[0059]
【発明の効果】 以上説明したように、本発明の感温性
抵抗素子は導通部材をＣ含有量が所定の範囲に抑制され
た耐食性合金から構成したので、安価であり、劣悪な使
用環境下であってもセンサ回路との接合部が容易に剥離
したり、或いはセンサ回路から脱落することがないた
め、所定の抵抗特性を維持することが可能である。従っ
て、本発明の感温性抵抗素子をブリッジ回路に組み込ん
だ熱式流量センサは、信頼性、測定精度に優れる。As described above, the temperature-sensitive resistance element of the present invention is made of a corrosion-resistant alloy in which the C content is suppressed to a predetermined range, so that it is inexpensive and has a poor operating environment. Even in this case, since the junction with the sensor circuit does not easily peel off or fall off from the sensor circuit, it is possible to maintain a predetermined resistance characteristic. Therefore, the thermal type flow sensor incorporating the temperature-sensitive resistance element of the present invention in a bridge circuit has excellent reliability and measurement accuracy.
【図１】 本発明の感温性抵抗素子の一の実施例を示す
概略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view showing one embodiment of a temperature-sensitive resistance element of the present invention.
【図２】 熱式流量センサの電気回路の構成を示す回路
図である。FIG. 2 is a circuit diagram showing a configuration of an electric circuit of the thermal type flow sensor.
【図３】 熱式流量センサの一の実施形態を示す概略図
である。FIG. 3 is a schematic diagram showing one embodiment of a thermal flow sensor.
１…感温性抵抗素子、２…感温性抵抗体、３…基体、４
…導通部材、５…導体ペースト、６…保護被膜、７…中
空部、１１…熱式流量センサ、１２…吸気管、１３…ト
ランジスタ、１４…比較器、１５…端子、１６…電気的
出力、１７…ブリッジ回路、２１…発熱抵抗素子（２１
ａ…導通部材）、２２…温度補償抵抗素子（２２ａ…導
通部材）、２３…接合部、２４…棒状体、２５…枠体、
２６…空気流路、２７…信号出力回路、２８…信号出力
端子。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Temperature-sensitive resistance element, 2 ... Temperature-sensitive resistor, 3 ... Base, 4
... conductive member, 5 ... conductor paste, 6 ... protective coating, 7 ... hollow part, 11 ... thermal flow sensor, 12 ... intake pipe, 13 ... transistor, 14 ... comparator, 15 ... terminal, 16 ... electric output, 17 bridge circuit, 21 heating resistor element (21
a ... conductive member), 22 ... temperature compensation resistance element (22a ... conductive member), 23 ... joint, 24 ... rod-shaped body, 25 ... frame body,
26 ... air flow path, 27 ... signal output circuit, 28 ... signal output terminal.
Claims (5)
体の外周面に形成された、当該基体の両端部を連絡する
感温性抵抗体と、当該感温性抵抗体と電気的に接続され
た、当該基体の両端部から突出する導通部材と、を備え
た感温性抵抗素子において、 前記導通部材が、Ｆｅ若しくはＮｉを主成分とし、耐食
性成分としてＣｒ及び／又はＭｏを含み、かつ、Ｃ含有
量が０．０５質量％未満である耐食性合金から構成され
ていることを特徴とする感温性抵抗素子。1. A cylindrical base made of an insulator, a temperature-sensitive resistor formed on an outer peripheral surface of the base and connecting both ends of the base, and an electrical connection with the temperature-sensitive resistor. A connected conductive member protruding from both ends of the base, wherein the conductive member contains Fe or Ni as a main component, and includes Cr and / or Mo as a corrosion-resistant component; A temperature-sensitive resistance element comprising a corrosion-resistant alloy having a C content of less than 0.05% by mass.
を主成分とする合金により被覆されている請求項１に記
載の感温性抵抗素子。2. The temperature-sensitive resistance element according to claim 1, wherein the conductive member is coated with Au, Pt, or an alloy containing these as a main component.
若しくはこれらを主成分とする合金により被覆されてい
る請求項１又は２に記載の感温性抵抗素子。3. An end face of a protruding end of the conductive member is made of Au, Pt.
3. The temperature-sensitive resistance element according to claim 1, wherein the temperature-sensitive resistance element is coated with an alloy containing these as a main component.
温性抵抗素子を、ブリッジ回路に組み込んだことを特徴
とする熱式流量センサ。4. A thermal flow sensor, wherein the temperature-sensitive resistance element according to claim 1 is incorporated in a bridge circuit.
が、樹脂により被覆されている請求項４に記載の熱式流
量センサ。5. The thermal flow sensor according to claim 4, wherein a joint between the temperature-sensitive resistance element and the sensor circuit is covered with a resin.
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|---|---|---|---|
| JP2000204546A JP2002022511A (en) | 2000-07-06 | 2000-07-06 | Thermosensitive resistance element and thermal flow sensor using it |
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| JP2000204546A JP2002022511A (en) | 2000-07-06 | 2000-07-06 | Thermosensitive resistance element and thermal flow sensor using it |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007285950A (en) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Hitachi Ltd | Heating resistor type air flowmeter |
-
2000
- 2000-07-06 JP JP2000204546A patent/JP2002022511A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2007285950A (en) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Hitachi Ltd | Heating resistor type air flowmeter |
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| Date | Code | Title | Description |
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20071002 |