JP2002021863A - Rolling bearing - Google Patents

Rolling bearing

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JP2002021863A
JP2002021863A JP2000203327A JP2000203327A JP2002021863A JP 2002021863 A JP2002021863 A JP 2002021863A JP 2000203327 A JP2000203327 A JP 2000203327A JP 2000203327 A JP2000203327 A JP 2000203327A JP 2002021863 A JP2002021863 A JP 2002021863A
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JP
Japan
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seal
bearing
contact
rolling bearing
inner ring
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Pending
Application number
JP2000203327A
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Japanese (ja)
Inventor
Toyohisa Yamamoto
豊寿 山本
Hiroyuki Ito
裕之 伊藤
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NSK Ltd
Original Assignee
NSK Ltd
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Publication date
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    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/72—Sealings
    • F16C33/76—Sealings of ball or roller bearings
    • F16C33/78—Sealings of ball or roller bearings with a diaphragm, disc, or ring, with or without resilient members
    • F16C33/7816—Details of the sealing or parts thereof, e.g. geometry, material
    • F16C33/782—Details of the sealing or parts thereof, e.g. geometry, material of the sealing region
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    • F16C33/7843—Sealings of ball or roller bearings with a diaphragm, disc, or ring, with or without resilient members mounted to a groove in the inner surface of the outer race and extending toward the inner race with a single annular sealing disc
    • F16C33/7853—Sealings of ball or roller bearings with a diaphragm, disc, or ring, with or without resilient members mounted to a groove in the inner surface of the outer race and extending toward the inner race with a single annular sealing disc with one or more sealing lips to contact the inner race
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    • F16C19/06—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for radial load mainly with a single row or balls
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    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2202/00—Solid materials defined by their properties
    • F16C2202/66—Water repelling

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a rolling bearing capable of operating for a long time even in water or various types of washing solutions or in environments of contacting mist or splash of water or various types of washing solutions, and not leaking lubricant filled inside to pollute an external environment. SOLUTION: In a rolling bearing 1 provided with an inner ring 2, an outer ring 3, plural balls 6 rotatably provided between the inner ring 2 and the outer ring 3, and an abutting type seal 4 attached on the outer ring 3 and abutting the inner ring 2, DLC coating 5 is provided on at least either of a seal abutment surface 21a of the inner ring 2 and an abutment part 43a of the abutting type seal 4 abutting the seal abutment surface 21a.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、水中又は各種洗浄
溶液（酸又はアルカリ溶液等）中においても、あるい
は、水又は前記洗浄溶液のミストや飛沫と接触するよう
な環境下においても、長期にわたって使用可能な転がり
軸受に係り、特に、半導体，液晶パネル，及びハードデ
ィスク等の製造工程において用いられる各種洗浄装置、
あるいは、食品用機械等に好適に使用される転がり軸受
に関する。The present invention can be used for a long time in water or various cleaning solutions (acid or alkali solution, etc.), or in an environment where it comes into contact with water or mist or splashes of the cleaning solution. Various cleaning devices used in the manufacturing process of semiconductors, liquid crystal panels, hard disks, etc., related to usable rolling bearings,
Alternatively, the present invention relates to a rolling bearing suitably used for a food machine or the like.

【０００２】[0002]

【従来の技術】一般に、転がり軸受における潤滑は、潤
滑剤（潤滑油やグリース）を転がり軸受の内部に封入す
る方法等により行われている。このような方法により潤
滑を行っている軸支持装置としては、実開昭５５−３４
００２号公報や実開昭５７−５６２１８号公報に記載の
ものがある。これらのものは、潤滑油又はグリースを軸
受内部空間に充填して潤滑を行うとともに、接触形シー
ル部材又はラビリンスシールにより、水などが軸受内部
に浸入することが防止されるようになっている。2. Description of the Related Art Generally, lubrication in a rolling bearing is performed by a method of sealing a lubricant (lubricating oil or grease) inside the rolling bearing. A shaft supporting device lubricated by such a method is disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open No. 55-34.
No. 002 and Japanese Utility Model Laid-Open No. 57-56218. In these components, lubricating oil or grease is filled in the bearing interior space to perform lubrication, and water or the like is prevented from entering the interior of the bearing by a contact seal member or a labyrinth seal.

【０００３】また、特公平８−２６８９１号公報や特許
第２７０９１１９号公報には、フッ素樹脂、あるいは、
直径が２μｍ以下のチタン酸カリウムウィスカーの短繊
維を含むエチレンテトラフルオロエチレン（ＥＴＦＥ）
樹脂などのような自己潤滑性を有する材料からなる保持
器と、硬質カーボン球製の転動体と、耐食材製の軌道輪
と、を備える無潤滑の軸受装置が開示されている。In addition, Japanese Patent Publication No. 8-26891 and Japanese Patent No. 2709119 disclose fluorine resin or
Ethylene tetrafluoroethylene (ETFE) containing short fibers of potassium titanate whiskers having a diameter of 2 μm or less
A non-lubricated bearing device including a cage made of a self-lubricating material such as a resin, a rolling element made of a hard carbon ball, and a raceway made of a corrosion-resistant material is disclosed.

【０００４】そして、この軸受装置においては、前記保
持器と前記転動体との摩擦接触により、前記転動体，前
記軌道輪（内輪及び外輪）に保持器の構成材料が移着し
て、この移着により形成される薄い潤滑膜によって潤滑
が行われる。In this bearing device, the material of the cage is transferred to the rolling elements and the races (inner and outer rings) due to frictional contact between the cage and the rolling elements. Lubrication is performed by a thin lubricating film formed by deposition.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実開昭
５５−３４００２号公報の方法では、接触形シール部材
を用いているため、軸受の作動に伴いシールリップ部の
摩耗が進行し、軸受内部に水等が浸入しやすくなる。水
等が侵入すると、軸受内部に充填された潤滑剤（潤滑油
又はグリース）が軟化，劣化して、潤滑剤の潤滑性が著
しく低下する。この軸受における保持器は自己潤滑性を
有していない金属材料で構成されているため、該保持器
と転動体などとの接触面において金属材料同士の直接接
触が生じてしまい、該軸受の寿命が極端に短くなる恐れ
があるという問題点があった。However, in the method disclosed in Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 55-34002, the contact lip seal member is used, so that the wear of the seal lip portion progresses with the operation of the bearing, and the inside of the bearing may be damaged. Water and the like easily enter. When water or the like enters, the lubricant (lubricating oil or grease) filled in the bearing is softened and deteriorated, and the lubricity of the lubricant is significantly reduced. Since the cage in this bearing is made of a metal material that does not have self-lubricating properties, direct contact between the metal materials occurs at the contact surface between the cage and the rolling element, and the life of the bearing is reduced. However, there is a problem that there is a possibility that the length of the image data may be extremely short.

【０００６】また、前述のように軸受内部に水等が浸入
して潤滑剤が軟化すると、潤滑剤の軸受外部への漏出や
飛散が著しく増加するため、軸受装置の外部環境を汚染
してしまうという問題点があった。特に、半導体，液晶
パネル，及びハードディスクの製造分野においては、ウ
エハ，ガラス基板，アルミ基板に潤滑剤などのゴミや不
純物が付着すると欠陥や短絡等の不良の原因となるた
め、潤滑剤などの軸受外部への漏出は大きな問題となっ
ているので、該軸受は使用できない。Further, as described above, when water or the like enters the inside of the bearing and the lubricant is softened, the leakage or scattering of the lubricant to the outside of the bearing is significantly increased, thereby contaminating the external environment of the bearing device. There was a problem. Particularly, in the field of manufacturing semiconductors, liquid crystal panels, and hard disks, dust and impurities such as lubricants attached to wafers, glass substrates, and aluminum substrates cause defects such as defects and short circuits. Since the leakage to the outside is a serious problem, the bearing cannot be used.

【０００７】また、実開昭５７−５６２１８号公報にお
いてはラビリンスシールが採用されているが、ラビリン
スシールのすきま空間から水等が浸入して潤滑油あるい
はグリースが軟化して劣化する恐れがあるため、実開昭
５５−３４００２号公報の場合と同様の問題点があっ
た。一方、特公平８−２６８９１号公報あるいは特許第
２７０９１１９号公報においては、潤滑剤を使用してい
ないので、軸受装置の外部環境を汚染するという問題は
ないが、次のような問題点を有していた。In Japanese Utility Model Laid-Open Publication No. 57-56218, a labyrinth seal is employed. However, since lubricating oil or grease may be softened and deteriorated due to water or the like entering from the clearance space of the labyrinth seal. However, there is the same problem as in the case of Japanese Utility Model Laid-Open No. 55-34002. On the other hand, in Japanese Patent Publication No. Hei 8-26891 or Japanese Patent No. 2709119, since no lubricant is used, there is no problem of polluting the external environment of the bearing device, but it has the following problems. I was

【０００８】すなわち、特公平８−２６８９１号公報や
特許第２７０９１１９号公報では、転動体が硬質カーボ
ン球であり硬度が低いため、軸受に作用する荷重が軽荷
重以外の場合、衝撃的荷重が作用した場合、あるいは、
微細なゴミ，研磨粉，摩耗粉等が軸受内部に浸入した場
合には、前記硬質カーボン球の一部又は全体が欠けた
り、破損したりする恐れがある。そうすると、破損によ
り生じた破片をかみ込んで、軸受の寿命が極端に短くな
る恐れがあるという問題点を有していた。That is, in Japanese Patent Publication No. 8-26891 and Japanese Patent No. 2709119, since the rolling element is a hard carbon ball and has low hardness, when a load acting on the bearing is other than a light load, an impact load acts. If you do, or
If fine dust, abrasive powder, abrasion powder, or the like enters the inside of the bearing, a part or the whole of the hard carbon sphere may be chipped or damaged. Then, there is a problem that the fragments generated by the damage may be caught and the life of the bearing may be extremely shortened.

【０００９】また、特公平８−２６８９１号公報に記載
の軸受は、軌道輪の間の転動体が配された空間に水を流
入させる開口部を備えており、また、特許第２７０９１
１９号公報に記載の軸受は、非接触形のシールド板を備
えている。したがって、両軸受においては、水や各種洗
浄液、あるいは、微細なゴミ，研磨粉，摩耗粉等は、前
記開ロ部又は前記シールド板とこれと対向する面との間
から、軸受内部に浸入してしまう。The bearing described in Japanese Patent Publication No. Hei 8-26891 has an opening for allowing water to flow into a space in which rolling elements are arranged between the races.
The bearing described in Japanese Patent No. 19 includes a non-contact type shield plate. Therefore, in the dual bearing, water, various cleaning liquids, fine dust, abrasive powder, abrasion powder, and the like enter the bearing from the opening or the shield plate and the surface facing the shield plate. Would.

【００１０】軸受内部に浸入した水等により、保持器と
転動体との摩擦接触による保持器の構成材料の転動体等
への移着が抑制されるので、保持器の構成材料による潤
滑膜の形成が十分に行われないこととなり、軸受のトル
クや振動が比較的短時間で増加して、短寿命となってし
まう場合があるという問題があった。このように、従来
の転がり軸受は、水中又は各種洗浄溶液中（酸又はアル
カリ溶液等）においては、あるいは、水又は前記洗浄溶
液のミストや飛沫と接触するような環境下においては、
長期にわたって潤滑を行うことが困難となり短寿命であ
ったり、軸受から潤滑剤が外部に漏出して軸受の外部環
境を汚染してしまうという問題点を有していた。[0010] Since water or the like that has entered the inside of the bearing prevents transfer of the constituent material of the cage to the rolling element or the like due to frictional contact between the cage and the rolling element, the lubricating film made of the constituent material of the cage is suppressed. There is a problem that the formation is not performed sufficiently, and the torque and vibration of the bearing increase in a relatively short time, resulting in a short life. As described above, the conventional rolling bearing is used in water or in various cleaning solutions (such as an acid or alkali solution), or in an environment where it comes into contact with water or mist or splashes of the cleaning solution.
There have been problems that it is difficult to perform lubrication over a long period of time, resulting in a short life, and that the lubricant leaks from the bearing to the outside and contaminates the external environment of the bearing.

【００１１】そこで、本発明は、上記のような従来の転
がり軸受が有する問題点を解決し、上記のような環境下
においても長期にわたって作動することができるととも
に、内部に充填した潤滑剤（潤滑油やグリース）が外部
に漏出して、外部環境を汚染することのない転がり軸受
を提供することを課題とする。Therefore, the present invention solves the above-mentioned problems of the conventional rolling bearing, can operate for a long time even in the above-described environment, and has a lubricant filled therein. It is an object to provide a rolling bearing that does not leak oil or grease to the outside and contaminate the external environment.

【００１２】[0012]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は次のような構成からなる。すなわち本発明
の転がり軸受は、内輪と、外輪と、前記内輪と前記外輪
との間に転動自在に配設された複数の転動体と、前記内
輪及び前記外輪のいずれか一方の軌道輪に取り付けられ
他方の軌道輪に滑り接触する接触形シールと、を備える
転がり軸受において、前記他方の軌道輪のシール接触面
及び前記接触形シールの前記シール接触面と接触する部
分のうち少なくとも一方に、ダイヤモンドライクカーボ
ン（ＤＬＣ）の被膜を設けたことを特徴とする。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention has the following arrangement. That is, the rolling bearing of the present invention includes an inner ring, an outer ring, a plurality of rolling elements disposed rotatably between the inner ring and the outer ring, and one of the inner and outer races. A contact type seal that is attached and makes sliding contact with the other raceway, and at least one of a seal contact surface of the other raceway and a portion of the contact type seal that comes into contact with the seal contact surface, A diamond-like carbon (DLC) coating is provided.

【００１３】本発明の転がり軸受においては、軌道輪の
シール接触面、すなわち、前記内輪及び前記外輪のうち
前記接触形シールが滑り接触する方の軌道輪における前
記接触形シールと滑り接触する面と、前記接触形シール
のうち前記シール接触面と接触する部分とのうち少なく
とも一方に、摺動性に優れたＤＬＣの被膜を設けたの
で、通常ゴム等の弾性体で構成されるシールリップ部の
摩耗を低減することが可能である。[0013] In the rolling bearing of the present invention, the seal contact surface of the bearing ring, that is, the surface of the inner ring and the outer ring that is in sliding contact with the contact-type seal in the one of the inner ring and the outer ring that makes contact with the contact-type seal. Since at least one of the contact type seals and the portion in contact with the seal contact surface is provided with a DLC coating having excellent slidability, the seal lip portion which is usually made of an elastic material such as rubber is used. It is possible to reduce wear.

【００１４】このため、前記接触形シールと前記軌道輪
との間に隙間が生じにくいので、水，各種洗浄溶液等の
腐食性液体や、微細なゴミ，研磨粉，摩耗粉などが、転
がり軸受の内部に浸入することが防止されるとともに、
内部に潤滑剤が充填されていた場合でも潤滑剤が外部に
漏出することが防止される。したがって、水中又は各種
洗浄溶液中（酸又はアルカリ溶液等）においても、ある
いは、水又は前記洗浄溶液のミストや飛沫と接触するよ
うな環境下においても、長期にわたって作動することが
できるとともに、内部に充填した潤滑剤が外部に漏出し
て、外部環境を汚染することがない。[0014] For this reason, a gap is hardly formed between the contact seal and the race, so that corrosive liquids such as water and various cleaning solutions, fine dust, abrasive powder, wear powder, and the like are not rolled. It is prevented from entering the inside of
Even when the lubricant is filled inside, the lubricant is prevented from leaking out. Therefore, it can operate for a long time in water or in various cleaning solutions (acid or alkali solution, etc.), or in an environment where it comes into contact with water or the mist or droplets of the cleaning solution. The filled lubricant does not leak out and pollute the external environment.

【００１５】また、前記接触形シールのうち前記シール
接触面と接触する部分に加えて、前記接触形シールの表
面のうち少なくとも転がり軸受の外部雰囲気に接する部
分に、ＤＬＣの被膜を設ければ、ＤＬＣの撥水性によ
り、水，洗浄溶液等の腐食性液体が撥水されるので、該
腐食性液体が転がり軸受の内部に浸入することをより効
果的に防止することができる。Further, in addition to a portion of the contact type seal which is in contact with the seal contact surface, a DLC coating is provided on at least a portion of the surface of the contact type seal which is in contact with the external atmosphere of the rolling bearing. Since the corrosive liquid such as water and a cleaning solution is repelled by the water repellency of the DLC, it is possible to more effectively prevent the corrosive liquid from entering the inside of the rolling bearing.

【００１６】なお、本発明の転がり軸受においては、自
己潤滑性を有する溶融成形可能な樹脂（熱可塑性樹脂）
を主成分とする樹脂組成物からなる保持器を備えること
が好ましい。そうすれば、該保持器を構成する摺動特性
が良好な樹脂組成物が、該保持器と転動体との摩擦接触
によって転動体，内輪，外輪等に移着して、薄い潤滑膜
が形成される。そして、この潤滑膜により転がり軸受の
潤滑が行われるので、該転がり軸受は長期にわたって作
動することができる。さらに、溶融成形可能な樹脂を用
いるため、代表的な溶融成形法である射出成形が可能と
なって、前記保持器は量産性に優れている。In the rolling bearing of the present invention, a self-lubricating melt-moldable resin (thermoplastic resin)
It is preferable to provide a retainer made of a resin composition containing as a main component. Then, the resin composition having good sliding characteristics, which constitutes the cage, is transferred to the rolling element, the inner ring, the outer ring, etc. by frictional contact between the cage and the rolling element, and a thin lubricating film is formed. Is done. Since the lubrication film lubricates the rolling bearing, the rolling bearing can operate for a long time. Furthermore, since a resin that can be melt-molded is used, injection molding, which is a typical melt-molding method, becomes possible, and the cage is excellent in mass productivity.

【００１７】前記樹脂組成物に固体潤滑剤を添加する
と、潤滑特性がより向上し、保持器と転動体との接触面
に発生する摩擦力が低下するので好ましい。すなわち、
保持器を構成する樹脂とともに前記固体潤滑剤が転動体
や内輪及び外輪の軌道溝に移着し、転がり軸受を潤滑し
て、保持器と転動体との接触面に発生する摩擦力が低下
するために、保持器の摩耗及び転動体に形成される前記
潤滑膜の摩耗が低減される。 また、アスペクト比が３
〜２００である繊維状充填材を前記樹脂組成物に添加す
ると、保持器の強度と耐摩耗性とが向上するため、転が
り軸受の作動時に保持器が変形や摩耗を生じることを抑
制することができる。このため、転がり軸受はより長期
の間安定して作動することができる。It is preferable to add a solid lubricant to the resin composition, because lubrication characteristics are further improved and a frictional force generated on a contact surface between the cage and the rolling element is reduced. That is,
The solid lubricant is transferred to the raceway grooves of the rolling elements and the inner and outer rings together with the resin constituting the cage to lubricate the rolling bearings and reduce the frictional force generated on the contact surface between the cage and the rolling elements. Therefore, wear of the cage and wear of the lubricating film formed on the rolling elements are reduced. If the aspect ratio is 3
Addition of the fibrous filler of ~ 200 to the resin composition improves the strength and wear resistance of the cage, so that it is possible to suppress the deformation and wear of the cage when the rolling bearing is operated. it can. Therefore, the rolling bearing can operate stably for a longer period.

【００１８】なお、前記転動体の表面又は全体をセラミ
ックスで構成すれば、微細なゴミなどが転がり軸受内部
に浸入した場合でも、セラミックスは高硬度で十分な強
度を有するため、傷，摩耗，破損が生じにくい。また、
保持器と転動体との摩擦接触による保持器を構成する材
料（前記樹脂組成物及び前記固体潤滑剤）の転動体等へ
の移着が、転がり軸受内部に浸入してきた液体により抑
制され保持器を構成する材料による潤滑膜が十分に形成
されない場合でも、セラミックスは凝着し難いため、長
期にわたって転がり軸受が作動することができる。If the surface or the entire surface of the rolling element is made of ceramics, the ceramics have high hardness and sufficient strength even if minute dusts or the like enter the inside of the rolling bearing. Is unlikely to occur. Also,
Transfer of the material (the resin composition and the solid lubricant) constituting the cage to the rolling element or the like due to frictional contact between the cage and the rolling element is suppressed by the liquid that has entered the inside of the rolling bearing, and the cage is suppressed. Even if a lubricating film made of the material constituting the above is not sufficiently formed, the ceramics are unlikely to adhere, so that the rolling bearing can operate for a long period of time.

【００１９】次に、本発明の転がり軸受を構成する各部
材について詳細に説明する。まず、内輪，外輪，及び転
動体の材質は、特に限定されるものではない。例えば、
ＳＵＪ２等の軸受鋼、ＳＵＳ４４０Ｃ，ＬＮ１２５，Ｅ
Ｓ−１，ＳＵＳ６３０，ＹＨＤ５０等のステンレス鋼系
金属、あるいは、窒化ケイ素（Ｓｉ3 Ｎ4 ），炭化ケイ
素（ＳｉＣ），サイアロン（Ｓｉａｌｏｎ），部分安定
化ジルコニア（ＺｒＯ2 ），及びアルミナ（Ａｌ
2 Ｏ3 ）に代表されるセラミックスがあげられる。これ
らは、単独又は２種以上を組み合せて使用することがで
きる。耐食性及びコスト面からは前記ステンレス鋼系金
属が好ましい。Next, each member constituting the rolling bearing of the present invention will be described in detail. First, the materials of the inner ring, the outer ring, and the rolling elements are not particularly limited. For example,
Bearing steel such as SUJ2, SUS440C, LN125, E
A stainless steel based metal such as S-1, SUS630, YHD50, or silicon nitride (Si 3 N 4 ), silicon carbide (SiC), sialon (Sialon), partially stabilized zirconia (ZrO 2 ), and alumina (Al
2 O 3 ). These can be used alone or in combination of two or more. The stainless steel-based metal is preferable from the viewpoint of corrosion resistance and cost.

【００２０】本発明におけるダイヤモンドライクカーボ
ン（ＤＬＣ）被膜の形成方法は特に限定されるものでは
ないが、例えば、以下のような成膜工程により形成され
る。まず、脱脂洗浄した軸受部品（内輪，外輪，接触形
シール等）を真空チャンバーにセットし、１０-3Ｐａ以
下に排気した後、イオンボンバード処理を行う。次に、
メタン（ＣＨ4 ），アセチレン（Ｃ2 Ｈ2 ），ベンゼン
（Ｃ6 Ｈ6 ）等の炭化水素系のガスを原料として、高周
波，ホロカソード，アーク，マイクロ波，直流等の各種
公知の励起源を適用したプラズマＣＶＤ，イオンプレー
ティング、あるいは、炭素をターゲットとしたスパッタ
リング等によって、ＤＬＣ被膜を形成する。The method of forming the diamond-like carbon (DLC) film in the present invention is not particularly limited, but is formed, for example, by the following film forming process. First, the degreased and cleaned bearing parts (the inner ring, the outer ring, the contact seal, etc.) are set in a vacuum chamber, evacuated to 10 −3 Pa or less, and then subjected to ion bombardment. next,
Various known excitation sources such as high frequency, hollow cathode, arc, microwave, direct current and the like are used as starting materials from hydrocarbon gases such as methane (CH 4 ), acetylene (C 2 H 2 ), benzene (C 6 H 6 ). A DLC film is formed by applied plasma CVD, ion plating, or sputtering using carbon as a target.

【００２１】なお、ＤＬＣ被膜と前記軸受部品との密着
性を向上するために、ＳｉＣ，ＳｉＯ2 ，Ｓｉ3 Ｎ4 ，
ＷＣ，Ｓｉ，Ｔｉ等の金属あるいは非金属中間層を、Ｄ
ＬＣ被膜と前記軸受部品との間に介装してもよい。これ
らは、単独又は２種以上の中間層を組み合せて使用する
ことができる。前記軸受部品がゴムなどのように耐熱性
が低い材料の場合には、前記軸受部品の温度の上昇を極
力抑制するために、プラズマＣＶＤ法においてパルス状
に（間欠的に）プラズマを発生してＤＬＣの成膜を行う
ことが好ましい。Incidentally, in order to improve the adhesion between the DLC film and the bearing component, SiC, SiO 2 , Si 3 N 4 ,
A metallic or non-metallic intermediate layer such as WC, Si, Ti
It may be interposed between the LC coating and the bearing component. These can be used alone or in combination of two or more intermediate layers. When the bearing component is made of a material having low heat resistance such as rubber, a plasma is generated in a pulsed manner (intermittently) in a plasma CVD method in order to minimize a rise in the temperature of the bearing component. It is preferable to form a DLC film.

【００２２】本発明の接触形シールのシールリップ部を
構成する弾性体の材質は、特に限定されるものではな
い。例えば、ニトリルゴム（ブタジエン・アクリロニト
リル共重合体），フッ素ゴム，シリコーンゴム（ポリシ
ロキサン），クロロプレンゴム（ポリクロロプレン），
エチレン・プロピレンゴム（エチレン・プロピレン共重
合体），ハイパロン（登録商標）（クロロスルフォン化
ポリエチレン），及びエピクロルヒドリンゴム（ＣＯエ
ピクロルヒドリン，ＥＣＯエピクロルヒドリン・エチレ
ンオキシド共重合体）等があげられる。The material of the elastic body constituting the seal lip of the contact type seal of the present invention is not particularly limited. For example, nitrile rubber (butadiene / acrylonitrile copolymer), fluorine rubber, silicone rubber (polysiloxane), chloroprene rubber (polychloroprene),
Examples include ethylene / propylene rubber (ethylene / propylene copolymer), Hypalon (registered trademark) (chlorosulfonated polyethylene), and epichlorohydrin rubber (CO epichlorohydrin, ECO epichlorohydrin / ethylene oxide copolymer).

【００２３】特に、酸やアルカリ溶液環境下では、フッ
素ゴムが耐食性に優れており、好適に使用することがで
きる。前記フッ素ゴムとしては、ビニリデンフルオライ
ド・へキサフルオロプロピレン共重合体，ビニリデンフ
ルオライド・クロロトリフルオロエチレン共重合体，ト
リフルオロエチレン・プロピレン共重合体，テトラフル
オロエチレン・パーフルオロビニルエーテル共重合体，
含フッ素シリコーン系フッ素ゴム，含フッ素フォスファ
ゼン系フッ素ゴム，含フッ素熱可塑性フッ素ゴム等があ
げられる。Particularly, in an acid or alkaline solution environment, fluororubber is excellent in corrosion resistance and can be suitably used. Examples of the fluororubber include vinylidene fluoride / hexafluoropropylene copolymer, vinylidene fluoride / chlorotrifluoroethylene copolymer, trifluoroethylene / propylene copolymer, tetrafluoroethylene / perfluorovinyl ether copolymer,
Fluorinated silicone-based fluororubber, fluorinated phosphazene-based fluororubber, fluorinated thermoplastic fluororubber, and the like.

【００２４】ビニリデンフルオライド・へキサフルオロ
プロピレン共重合体としては、ダイキン工業社製ダイエ
ル，Ｄｕ Ｐｏｎｔ社製Ｖｉｔｏｎ，３Ｍ社製Ｆｌｕｏ
ｒｅｌ，Ｍｏｎｔｅｆｌｕｏｓ社製Ｔｅｃｈｎｏｆｌｏ
ｎ等が例としてあげられ、ビニリデンフルオライド・ク
ロロトリフルオロエチレン共重合体としては、３Ｍ社製
Ｋｅｌ−Ｆ Ｅｌａｓｔｏｍｅｒが例としてあげられ
る。Examples of the vinylidene fluoride-hexafluoropropylene copolymer include Daiel manufactured by Daikin Industries, Viton manufactured by Du Pont, and Fluo manufactured by 3M.
rel, Montefluos's Technoflo
n and the like are mentioned as examples, and as the vinylidene fluoride / chlorotrifluoroethylene copolymer, Kel-F Elastomer manufactured by 3M is mentioned as an example.

【００２５】また、トリフルオロエチレン・プロピレン
共重合体としては、旭硝子社製アフラスが例としてあげ
られ、テトラフルオロエチレン・パーフルオロビニルエ
ーテル共重合体としては、Ｄｕ Ｐｏｎｔ社製Ｋａｌｒ
ｅｚやダイキン工業社製ダイエルパーフロが例としてあ
げられる。さらに、含フッ素シリコーン系フッ素ゴムと
しては、Ｄｏｗ Ｃｏｒｎｉｎｇ社製Ｓｉｌａｓｔｉｃ
ＬＳが例としてあげられ、含フッ素フォスファゼン系
フッ素ゴムとしては、Ｅｔｈｙｌ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉ
ｏｎ社製ＥＹＰＥＬ−Ｆが例としてあげられ、含フッ素
熱可塑性フッ素ゴムとしては、ダイキン工業社製ダイエ
ルサーモプラスチックが例としてあげられる。As the trifluoroethylene / propylene copolymer, Afras manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. is mentioned as an example. As the tetrafluoroethylene / perfluorovinyl ether copolymer, Kalr manufactured by Du Pont Co. is used.
Examples include ez and Daikin Perflo manufactured by Daikin Industries, Ltd. Further, as a fluorine-containing silicone fluororubber, Dow Corning Silastic
LS is given as an example, and as the fluorine-containing phosphazene-based fluororubber, Ethyl Corporation
EYPEL-F manufactured by Onon Co., Ltd. is exemplified as an example, and as the fluorine-containing thermoplastic fluororubber, Daiel Thermoplastic manufactured by Daikin Industries, Ltd. is exemplified.

【００２６】本発明における保持器に用いる前記溶融成
形可能な樹脂としては、特に限定されるものではない
が、含フッ素樹脂，ポリエーテルエーテルケトン樹脂
（ＰＥＥＫ），ポリエーテルエーテルケトン樹脂とポリ
ベンゾイゾミダール樹脂のコポリマー（ＰＥＥＫ−ＰＢ
Ｉ），ポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ），熱
可塑性ポリイミド樹脂（ＴＰＩ），ポリエーテルニトリ
ル樹脂（ＰＥＮ），熱可塑性芳香族ポリアミドイミド樹
脂，ポリアミド樹脂（ナイロン６６，ナイロン４６），
ポリエチレン（ＰＥ），ポリアセタール（ＰＯＭ），ポ
リカーボネート（ＰＣ）等を例示することができ、これ
らは単独又は２種類以上を組み合わせて使用される。The resin capable of being melt-molded for use in the cage of the present invention is not particularly limited, but includes a fluorine-containing resin, a polyetheretherketone resin (PEEK), a polyetheretherketone resin, and a polybenzoisozoate. Midal resin copolymer (PEEK-PB
I), polyphenylene sulfide resin (PPS), thermoplastic polyimide resin (TPI), polyether nitrile resin (PEN), thermoplastic aromatic polyamideimide resin, polyamide resin (nylon 66, nylon 46),
Examples thereof include polyethylene (PE), polyacetal (POM), and polycarbonate (PC), which are used alone or in combination of two or more.

【００２７】前記含フッ素樹脂としては特に限定される
ものではないが、テトラフルオロエチレン・パーフルオ
ロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ），テトラ
フルオロエチレン・エチレン共重合体（ＥＴＦＥ），テ
トラフルオロエチレン・へキサフルオロプロピレン共重
合体（ＦＥＰ），ポリクロロトリフルオロエチレン（Ｐ
ＣＴＦＥ），クロロトリフルオロエチレン・エチレン共
重合体（ＥＣＴＦＥ），ポリビニリデンフルオライド
（ＰＶｄＦ）等を例示でき、これらは単独又は２種類以
上を組み合わせて使用してもよい。The fluorine-containing resin is not particularly limited, but includes tetrafluoroethylene / perfluoroalkylvinyl ether copolymer (PFA), tetrafluoroethylene / ethylene copolymer (ETFE), and tetrafluoroethylene Xafluoropropylene copolymer (FEP), polychlorotrifluoroethylene (P
CTFE), chlorotrifluoroethylene / ethylene copolymer (ECTFE), polyvinylidene fluoride (PVdF), and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

【００２８】前記樹脂組成物に添加する固体潤滑剤とし
ては、四フッ化エチレン樹脂粉末（ＰＴＦＥ），黒鉛，
六方晶窒化ホウ素（ｈＢＮ），フッ素雲母，メラミンシ
アヌレート（ＭＣＡ），層状の結晶構造を有するアミノ
酸化合物（Ｎ−ラウロ・Ｌ−リジン），フッ化黒鉛，フ
ッ化ピッチ，二硫化モリブデン（ＭｏＳ2 ），二硫化タ
ングステン（ＷＳ2 ）等があげられ、これらは単独又は
２種類以上を組み合わせて添加される。As the solid lubricant to be added to the resin composition, ethylene tetrafluoride resin powder (PTFE), graphite,
Hexagonal boron nitride (hBN), fluoromica, melamine cyanurate (MCA), amino acid compound having a layered crystal structure (N-lauro-L-lysine), graphite fluoride, pitch fluoride, molybdenum disulfide (MoS 2) ), Tungsten disulfide (WS 2 ), etc., and these are added alone or in combination of two or more.

【００２９】前記樹脂組成物に添加する繊維状充填材は
特に限定されるものではないが、ホウ酸アルミニウムウ
ィスカー，チタン酸カリウムウィスカー，アラミド繊
維，芳香族ポリイミド繊維，液晶ポリエステル繊維，炭
酸カルシウムウィスカー，グラファイトウィスカー，マ
グネシウムオキシサルフェイトウィスカー，ガラス繊
維，炭素繊維，金属繊維，炭化ケイ素繊維，アルミナ繊
維，ボロン繊維，炭化ケイ素ウィスカー，窒化ケイ素ウ
ィスカー，アルミナウィスカー，窒化アルミニウムウィ
スカー，ウォラストナイト，酸化亜鉛ウィスカー，酸化
マグネシウムウィスカー，ムライトウィスカー等があげ
られる。The fibrous filler to be added to the resin composition is not particularly limited, but aluminum borate whisker, potassium titanate whisker, aramid fiber, aromatic polyimide fiber, liquid crystal polyester fiber, calcium carbonate whisker, Graphite whisker, magnesium oxysulfate whisker, glass fiber, carbon fiber, metal fiber, silicon carbide fiber, alumina fiber, boron fiber, silicon whisker, silicon nitride whisker, alumina whisker, aluminum nitride whisker, wollastonite, zinc oxide whisker , Magnesium oxide whiskers, mullite whiskers and the like.

【００３０】なお、本発明の目的を損わない範囲内で、
保持器を構成する前記樹脂組成物に各種添加剤を配合し
てもよい。例えば、酸化防止剤，熱安定剤，紫外線吸収
剤，光保護剤，難燃剤，帯電防止剤，流動性改良剤，非
粘着性付与剤，結晶化促進剤，増核剤，顔料，染料等が
あげられる。上述の溶融成形可能な樹脂，固体潤滑剤，
繊維状充填材，及び各種添加剤等の混合方法は特に限定
されるものではなく、慣用の混合方法を採用することが
できる。Incidentally, within a range not to impair the object of the present invention,
Various additives may be blended with the resin composition constituting the cage. For example, antioxidants, heat stabilizers, ultraviolet absorbers, light protectants, flame retardants, antistatic agents, flow improvers, non-tackifiers, crystallization accelerators, nucleating agents, pigments, dyes, etc. can give. The above-mentioned melt-moldable resin, solid lubricant,
The method of mixing the fibrous filler and various additives is not particularly limited, and a conventional mixing method can be employed.

【００３１】例えば、それぞれを別々に溶融混練しても
よいし、予めこれらの材料をへンシェルミキサー，タン
ブラー，リボンミキサー，ボールミル等の混合機で予備
混合した後に、溶融混合機で混合してもよい。溶融混合
機としては、単軸又は２軸押し出し機，混練ロール，加
圧ニーダー，バンバリーミキサー，ブラベンダープラス
トグラフ等の公知の溶融混練装置が使用できる。For example, each of them may be melt-kneaded separately, or these materials may be preliminarily mixed by a mixer such as a Henschel mixer, a tumbler, a ribbon mixer or a ball mill, and then mixed by a melt mixer. Is also good. As the melt mixer, a known melt kneader such as a single or twin screw extruder, a kneading roll, a pressure kneader, a Banbury mixer, a Brabender plastograph, or the like can be used.

【００３２】溶融混練する際の温度は特に限定されるも
のではなく、溶融成形可能な樹脂の溶融が十分進行し、
且つ熱分解が生じない温度の範囲内で適宜選定すればよ
い。また、保持器の製造方法は特に限定されるものでは
ないが、例えば、射出成形，圧縮成形，トランスファー
成形等の通常の方法で成形することができる。中でも射
出成形法は生産性に優れ、安価な保持器を提供できるた
め好ましい。The temperature at the time of melt-kneading is not particularly limited, and the melting of the melt-moldable resin proceeds sufficiently.
In addition, the temperature may be appropriately selected within a temperature range at which thermal decomposition does not occur. The method of manufacturing the cage is not particularly limited, but the cage can be molded by a usual method such as injection molding, compression molding, transfer molding and the like. In particular, the injection molding method is preferable because it has excellent productivity and can provide an inexpensive cage.

【００３３】[0033]

【発明の実施の形態】本発明に係る転がり軸受の実施の
形態を、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明
に係る転がり軸受の一実施形態を示す縦断面図であり、
図２は、図１のＡ部分を拡大して示した部分拡大断面図
である。転がり軸受１は、外周面２１の中央部に内輪軌
道溝２ａが形成された内輪２と、内周面の中央部に外輪
軌道溝３ａが形成された外輪３と、内輪軌道溝２ａと外
輪軌道溝３ａとの間に転動自在に配設された複数の玉６
と、両輪２，３の間に複数の玉６を保持する樹脂製の保
持器７と、弾性体からなるシールリップ部４３を有する
接触形シール４と、を備えている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a rolling bearing according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an embodiment of the rolling bearing according to the present invention,
FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view showing a portion A of FIG. 1 in an enlarged manner. The rolling bearing 1 includes an inner race 2 having an inner raceway groove 2a formed in a central portion of an outer peripheral surface 21, an outer race 3 having an outer raceway groove 3a formed in a central portion of the inner peripheral surface, an inner raceway groove 2a and an outer raceway. A plurality of balls 6 arranged to be able to roll freely between the grooves 3a
And a resin-made retainer 7 for holding a plurality of balls 6 between the two wheels 2 and 3 and a contact-type seal 4 having a seal lip 43 made of an elastic body.

【００３４】また、接触型シール４は、環状の板状主部
４１の外周縁部に断面が略Ｖ字形の係止部４２が連続し
て形成されていて、この係止部４２を、外輪３の内周面
の両端部に外輪３の全周にわたって設けられている断面
略Ｖ字形のシール溝３１，３１に嵌入することにより、
接触型シール４，４が転がり軸受１に装着されている。
そして、接触型シール４，４の環状の板状主部４１，４
１の内周縁部であるシールリップ部４３，４３は、内輪
２の外周面２１に滑り接触していて、接触型シール４，
４が外輪３の内周面と内輪２の外周面２１との間の開口
部分を覆っている。The contact-type seal 4 has a substantially V-shaped cross section formed continuously on an outer peripheral edge of an annular plate-shaped main portion 41. By fitting into seal grooves 31, 31 having a substantially V-shaped cross section provided at both ends of the inner peripheral surface of the outer ring 3 over the entire circumference of the outer ring 3,
The contact type seals 4 and 4 are mounted on the rolling bearing 1.
Then, the annular plate-shaped main portions 41, 4 of the contact type seals 4, 4 are provided.
The seal lips 43, 43, which are the inner peripheral edges of the inner ring 1, are in sliding contact with the outer peripheral surface 21 of the inner ring 2,
Reference numeral 4 covers an opening between the inner peripheral surface of the outer race 3 and the outer peripheral surface 21 of the inner race 2.

【００３５】さらに、接触型シール４のうち内輪２のシ
ール接触面２１ａと接触する部分４３ａには、プラズマ
ＤＶＤ法によりＤＬＣ被膜５が設けられている（図２の
（ａ）参照）。なお、内輪２と外輪３と接触形シール４
とにより囲まれた空間には、グリース等の潤滑剤（図示
せず）が充填され、接触形シール４により転がり軸受１
内部に密封されている。ただし、潤滑剤は備えていなく
てもよい。Further, a DLC film 5 is provided on a portion 43a of the contact type seal 4 which comes into contact with the seal contact surface 21a of the inner ring 2 by a plasma DVD method (see FIG. 2A). In addition, the inner ring 2 and the outer ring 3 and the contact type seal 4
Is filled with a lubricant (not shown) such as grease, and the rolling bearing 1 is
Sealed inside. However, a lubricant may not be provided.

【００３６】また、シールリップ部４３はニトリルゴム
により構成されている。さらに、保持器７は、ＰＶｄＦ
８０重量％とチタン酸カリウムウィスカー２０重量％と
からなる樹脂組成物を射出成形することにより作製し
た。このように、接触形シール４のシール接触面２１ａ
と接触する部分４３ａに摺動性に優れたＤＬＣ被膜５が
設けられているので、シールリップ部４３の摩耗を低減
することが可能である。The seal lip 43 is made of nitrile rubber. Further, the cage 7 is made of PVdF
It was produced by injection molding a resin composition comprising 80% by weight and 20% by weight of potassium titanate whiskers. Thus, the seal contact surface 21a of the contact seal 4
Since the DLC film 5 having excellent slidability is provided on the portion 43a in contact with the seal lip 43, the wear of the seal lip portion 43 can be reduced.

【００３７】このため、接触形シール４と内輪２との間
に隙間が生じにくいので、水，各種洗浄溶液等の腐食性
液体や、微細なゴミ，研磨粉，摩耗粉などが、転がり軸
受１の内部に浸入することが防止されるとともに、内部
に潤滑剤が充填されていた場合でも潤滑剤が外部に漏出
することが防止される。したがって、水中又は各種洗浄
溶液中（酸又はアルカリ溶液等）においても、あるい
は、水又は前記洗浄溶液のミストや飛沫と接触するよう
な環境下においても、長期にわたって作動することがで
きるとともに、内部に充填した潤滑剤が外部に漏出し
て、外部環境を汚染することがない。For this reason, a gap is hardly generated between the contact seal 4 and the inner ring 2, so that corrosive liquids such as water and various cleaning solutions, fine dust, abrasive powder, abrasion powder and the like are not rolled. Of the lubricant is prevented from leaking out even when the lubricant is filled therein. Therefore, it can operate for a long time in water or in various cleaning solutions (acid or alkali solution, etc.), or in an environment where it comes into contact with water or the mist or droplets of the cleaning solution. The filled lubricant does not leak out and pollute the external environment.

【００３８】よって、半導体，液晶パネル，及びハード
ディスク等の製造工程において用いられる各種洗浄装置
や食品用機械等のように、油などによる汚染を嫌う用途
に、好適に使用することができる次に、上記の転がり軸
受１において内輪２，外輪３，及び玉６の材質を表１に
示すように種々変更し、さらに、ＤＬＣ被膜５を表１に
示した部分に設けた転がり軸受（実施例１〜５，比較例
１，２）を作製し、その寿命を評価した。結果を表１に
示す。Therefore, it can be suitably used for applications that do not want to be contaminated by oil or the like, such as various cleaning devices and food machines used in the manufacturing process of semiconductors, liquid crystal panels, and hard disks. In the above-described rolling bearing 1, the materials of the inner ring 2, the outer ring 3, and the balls 6 are variously changed as shown in Table 1, and further, the DLC coating 5 is provided on the portion shown in Table 1 (Examples 1 to 4). 5, Comparative Examples 1 and 2) were prepared, and their life was evaluated. Table 1 shows the results.

【００３９】なお、実施例１は、図２の（ａ）に示すよ
うに、接触形シール４のシールリップ部４３のうち、内
輪２のシール接触面２１ａと接触する部分４３ａにＤＬ
Ｃ被膜５を設けたものである。また、実施例３，４は、
図２の（ｂ）に示すように、接触形シール４のシールリ
ップ部４３のうち内輪２のシール接触面２１ａと接触す
る部分４３ａに加えて、接触形シール４の軸受外部に向
いている面、すなわち、転がり軸受１の外部雰囲気に接
する部分４３ｂに、ＤＬＣ被膜５を設けたものである。
該部分４３ｂに設けたＤＬＣ被膜５の撥水性により、
水，洗浄溶液等の腐食性液体が撥水されるので、該腐食
性液体が転がり軸受１の内部に浸入することがより効果
的に防止される。In the first embodiment, as shown in FIG. 2A, a portion 43a of the seal lip portion 43 of the contact type seal 4 which comes into contact with the seal contact surface 21a of the inner race 2 has a DL.
The C coating 5 is provided. Examples 3 and 4
As shown in FIG. 2B, in addition to a portion 43a of the seal lip portion 43 of the contact type seal 4 which contacts the seal contact surface 21a of the inner ring 2, a surface of the contact type seal 4 facing the outside of the bearing. That is, the DLC coating 5 is provided on the portion 43b of the rolling bearing 1 which comes into contact with the external atmosphere.
Due to the water repellency of the DLC coating 5 provided on the portion 43b,
Since corrosive liquids such as water and a cleaning solution are water-repellent, the corrosive liquid is more effectively prevented from entering the inside of the rolling bearing 1.

【００４０】さらに、実施例２，５は、図２の（ｃ）に
示すように、シール接触面２１ａを含む内輪２の外周面
２１に、ＤＬＣ被膜５を設けたものである。また、比較
例２は、内輪２のシール接触面２１ａにフッ素系界面活
性剤（旭硝子社製、商品名サーフロン）を塗布して、接
触形シール４と内輪２との間の潤滑性を高めたものであ
る。Further, in Examples 2 and 5, as shown in FIG. 2C, the DLC coating 5 is provided on the outer peripheral surface 21 of the inner ring 2 including the seal contact surface 21a. Further, in Comparative Example 2, a lubricating property between the contact-type seal 4 and the inner ring 2 was enhanced by applying a fluorine-based surfactant (trade name: Surflon, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) to the seal contact surface 21 a of the inner ring 2. Things.

【００４１】[0041]

【表１】 [Table 1]

【００４２】上記の実施例及び比較例の転がり軸受を、
日本精工株式会社製の軸受回転試験機を用いて回転試験
を行ない、振動値を基準として寿命を評価した。ここで
は、振動値が初期値の３倍に上昇した時点を転がり軸受
の寿命とした。これらの結果を表１にまとめて示す。な
お、各実施例及び比較例における転がり軸受の寿命は、
比較例１の寿命を１とした相対値で示している。The rolling bearings of the above embodiment and comparative example were
A rotation test was performed using a bearing rotation tester manufactured by Nippon Seiko Co., Ltd., and the life was evaluated based on the vibration value. Here, the time when the vibration value increased to three times the initial value was defined as the life of the rolling bearing. These results are summarized in Table 1. The life of the rolling bearing in each of the examples and the comparative examples is as follows.
The relative values are shown assuming that the life of Comparative Example 1 is 1.

【００４３】なお、試験条件は、以下の通りである。 ・試験軸受 ：型番６０００相当玉軸受（内径１０ｍ
ｍ，外径２６ｍｍ，幅８ｍｍ） ・雰囲気 ：純水の噴霧環境下 ・雰囲気温度 ：常温 ・ラジアル荷重：９８０Ｎ ・回転速度 ：１０００ｒｐｍ 表１から分かるように、実施例１〜５のＤＬＣ被膜５を
備えた転がり軸受は、比較例１，２のＤＬＣ被膜５を備
えていない転がり軸受と比較して、水のミストと接触す
るような環境下においても、非常に優れた寿命を示し
た。The test conditions are as follows.・ Test bearing: Ball bearing equivalent to model number 6000 (inner diameter 10m)
m, outer diameter 26 mm, width 8 mm)-Atmosphere: under pure water spray environment-Atmospheric temperature: normal temperature-Radial load: 980 N-Rotation speed: 1000 rpm As can be seen from Table 1, the DLC films 5 of Examples 1 to 5 were coated. The provided rolling bearing exhibited extremely excellent life even in an environment in which it comes into contact with water mist, as compared with the rolling bearings without the DLC coating 5 of Comparative Examples 1 and 2.

【００４４】特に、実施例３は、接触形シール４のシー
ルリップ部４３のうち内輪２のシール接触面２１ａと接
触する部分４３ａに加えて、接触形シール４の軸受外部
に向いている面、すなわち、転がり軸受１の外部雰囲気
に接する部分４３ｂに、ＤＬＣ被膜５を設けたので、上
記のような効果を奏して、実施例１，２と比較して寿命
が優れていた。Particularly, in the third embodiment, in addition to a portion 43a of the seal lip portion 43 of the contact type seal 4 which comes into contact with the seal contact surface 21a of the inner ring 2, a surface of the contact type seal 4 facing the outside of the bearing, That is, since the DLC coating 5 was provided on the portion 43b of the rolling bearing 1 which was in contact with the external atmosphere, the above-described effects were achieved, and the life was superior to those of the first and second embodiments.

【００４５】また、玉６をセラミックスで構成した実施
例４，５は、玉６を金属で構成したものと比較して、寿
命が極めて優れていた。なお、本実施形態は本発明の一
例を示したものであって、本発明は本実施形態に限定さ
れるものではない。例えば、本実施形態においては、転
がり軸受として深みぞ玉軸受を例示して説明したが、本
発明の転がり軸受は、他の種類の様々な転がり軸受に対
して適用することができる。例えば、円筒ころ軸受，円
すいころ軸受，アンギュラ玉軸受等のラジアル形の転が
り軸受や、スラスト玉軸受，スラストころ軸受等のスラ
スト形の転がり軸受である。In Examples 4 and 5 in which the ball 6 was made of ceramics, the life was extremely excellent as compared with those in which the ball 6 was made of metal. Note that the present embodiment is an example of the present invention, and the present invention is not limited to the present embodiment. For example, in the present embodiment, a deep groove ball bearing has been described as an example of the rolling bearing, but the rolling bearing of the present invention can be applied to various other types of rolling bearings. For example, radial rolling bearings such as cylindrical roller bearings, tapered roller bearings, and angular ball bearings, and thrust rolling bearings such as thrust ball bearings and thrust roller bearings.

【００４６】また、接触形シール４や保持器７を構成す
る材料は、本実施形態に限定されるものではない。さら
に、保持器７は樹脂製の他、金属製でもよい。The material forming the contact seal 4 and the retainer 7 is not limited to the present embodiment. Further, the retainer 7 may be made of metal instead of resin.

【００４７】[0047]

【発明の効果】以上のように、本発明の転がり軸受は、
軌道輪のシール接触面及び接触形シールのうち前記シー
ル接触面と接触する部分のうち少なくとも一方に、摺動
性に優れたダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の被
膜を設けたので、ゴム等の弾性体で構成されるシールリ
ップ部の摩耗が低減される。このため、前記接触形シー
ルと前記軌道輪との間に隙間が生じにくいので、水中又
は各種洗浄溶液中（酸又はアルカリ溶液等）において
も、あるいは、水又は前記洗浄溶液のミストや飛沫と接
触するような環境下においても、長期にわたって作動す
ることができる。As described above, the rolling bearing of the present invention has the following features.
Since a coating of diamond-like carbon (DLC) having excellent slidability is provided on at least one of the seal contact surface of the bearing ring and the contact type seal in contact with the seal contact surface, an elastic material such as rubber is used. The wear of the seal lip portion constituted by the above is reduced. For this reason, a gap is hardly formed between the contact type seal and the bearing ring, so that the contact between the contact type seal and the mist or splash of water or the cleaning solution can be made in water or in various cleaning solutions (such as an acid or alkali solution). It can operate for a long time even under such an environment.

【００４８】また、内部に充填した潤滑剤が外部に漏出
して、外部環境を汚染することがない。Further, the lubricant filled therein does not leak to the outside and pollute the external environment.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の転がり軸受の一実施形態の縦断面図で
ある。FIG. 1 is a longitudinal sectional view of one embodiment of a rolling bearing of the present invention.

【図２】図１のＡ部分を拡大して示した部分拡大断面図
である。FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view showing a portion A of FIG. 1 in an enlarged manner.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 転がり軸受 ２ 内輪 ３ 外輪 ４ 接触形シール ５ ＤＬＣ被膜 ６ 玉 ７ 保持器 ２１ 内輪の外周面 ２１ａ シール接触面 ４３ａ 内輪２のシール接触面２１ａと接触する部分 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Rolling bearing 2 Inner ring 3 Outer ring 4 Contact type seal 5 DLC film 6 Ball 7 Cage 21 Outer peripheral surface of inner ring 21a Seal contact surface 43a Part which contacts seal contact surface 21a of inner ring 2

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3J016 AA01 BB03 CA01 CA02 3J101 AA02 AA32 AA42 AA54 AA62 BA53 BA56 BA70 BA73 DA05 EA47 EA78 FA13 FA60 GA53 GA55  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 3J016 AA01 BB03 CA01 CA02 3J101 AA02 AA32 AA42 AA54 AA62 BA53 BA56 BA70 BA73 DA05 EA47 EA78 FA13 FA60 GA53 GA55

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 内輪と、外輪と、前記内輪と前記外輪と
の間に転動自在に配設された複数の転動体と、前記内輪
及び前記外輪のいずれか一方の軌道輪に取り付けられ他
方の軌道輪に滑り接触する接触形シールと、を備える転
がり軸受において、前記他方の軌道輪のシール接触面及
び前記接触形シールの前記シール接触面と接触する部分
のうち少なくとも一方に、ダイヤモンドライクカーボン
（ＤＬＣ）の被膜を設けたことを特徴とする転がり軸
受。1. An inner ring, an outer ring, a plurality of rolling elements rotatably arranged between the inner ring and the outer ring, and a second rolling element attached to one of the inner and outer races. A contact-type seal that makes sliding contact with the bearing ring of the rolling bearing, wherein at least one of a seal contact surface of the other bearing ring and a portion of the contact-type seal that contacts the seal contact surface has diamond-like carbon. A rolling bearing provided with a (DLC) coating.
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