JP2001357644A - 磁気ヘッド装置の姿勢角調整方法及び装置 - Google Patents
磁気ヘッド装置の姿勢角調整方法及び装置Info
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- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/596—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for track following on disks
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】可撓体に対し小さな曲げ変位を与えるだけで、
大きな静止姿勢角の変化量を確保する。 【解決手段】磁気ヘッド装置95の可撓体12に静止姿
勢角調整のための曲げを加える。曲げを生じる領域14
にレーザLAを照射する。
大きな静止姿勢角の変化量を確保する。 【解決手段】磁気ヘッド装置95の可撓体12に静止姿
勢角調整のための曲げを加える。曲げを生じる領域14
にレーザLAを照射する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、浮上型磁気ヘッド
装置の静止姿勢角を調整する方法及び装置に関する。
装置の静止姿勢角を調整する方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】浮上型の磁気ヘッド装置では、高密度記
録再生を達成するため、ヘッド支持装置によって支持さ
れた磁気ヘッドの静止姿勢角が高精度に保持されている
ことが基本的な要求事項となる。磁気ヘッド装置の静止
姿勢角には、ピッチ角と、ロール角とが含まれる。
録再生を達成するため、ヘッド支持装置によって支持さ
れた磁気ヘッドの静止姿勢角が高精度に保持されている
ことが基本的な要求事項となる。磁気ヘッド装置の静止
姿勢角には、ピッチ角と、ロール角とが含まれる。
【0003】ところが、磁気ヘッド装置は、ヘッド支持
装置(サスペンション)の一端に磁気ヘッドを接着剤に
よって接着した構造になっているから、この接着構造の
ために、静止姿勢角が所定の角度からずれを生じること
がある。
装置(サスペンション)の一端に磁気ヘッドを接着剤に
よって接着した構造になっているから、この接着構造の
ために、静止姿勢角が所定の角度からずれを生じること
がある。
【0004】磁気ヘッド装置は、複雑なプロセスを経て
製造された高価な磁気ヘッドを、高精度で高価なヘッド
支持装置に取り付けて構成されており、磁気ヘッド装置
の段階で、静止姿勢角が所定の角度内にないとして、不
良品扱いにすることは、許されない。
製造された高価な磁気ヘッドを、高精度で高価なヘッド
支持装置に取り付けて構成されており、磁気ヘッド装置
の段階で、静止姿勢角が所定の角度内にないとして、不
良品扱いにすることは、許されない。
【0005】静止姿勢角ずれを修正するための調整手段
としては、押圧治具を用いた機械的押圧による調整手段
が知られている。この押圧治具を用いた静止姿勢角調整
方法では、ロードビームの軸線上の1点を支点にして、
他点を押圧することによって、ロードビームを曲げ、そ
れによって磁気ヘッドの静止姿勢角を調整する。
としては、押圧治具を用いた機械的押圧による調整手段
が知られている。この押圧治具を用いた静止姿勢角調整
方法では、ロードビームの軸線上の1点を支点にして、
他点を押圧することによって、ロードビームを曲げ、そ
れによって磁気ヘッドの静止姿勢角を調整する。
【0006】しかしながら、機械的押圧により、ロード
ビームに大きな曲げ変位を与えても、ロードビームの有
する復元力のために、曲げが元に戻る。このことは、所
定の静止姿勢角を与える曲げ変位よりも、著しく大きな
曲げ変位で、ロードビームを曲げなければならないこと
を意味する。
ビームに大きな曲げ変位を与えても、ロードビームの有
する復元力のために、曲げが元に戻る。このことは、所
定の静止姿勢角を与える曲げ変位よりも、著しく大きな
曲げ変位で、ロードビームを曲げなければならないこと
を意味する。
【0007】ロードビームに大きな曲げ変位を与える
と、ロードビームから可撓体に荷重を加える突起部(デ
ィンプル)と、可撓体との間に隙間を生じ、いわゆるデ
ィンプル浮きが発生することがある。ディンプル浮きが
発生すると、ロードビームから可撓体に荷重を与えるこ
とができなくなり、所定の磁気ヘッド浮上特性を確保す
ることができなくなる。
と、ロードビームから可撓体に荷重を加える突起部(デ
ィンプル)と、可撓体との間に隙間を生じ、いわゆるデ
ィンプル浮きが発生することがある。ディンプル浮きが
発生すると、ロードビームから可撓体に荷重を与えるこ
とができなくなり、所定の磁気ヘッド浮上特性を確保す
ることができなくなる。
【0008】ロードビームの自由端側に取り付けられた
可撓体に曲げ変位を与えて、静止姿勢角を制御すること
も考えられるが、この場合にもロードビームを曲げる場
合に生じていた問題点を回避することができない。
可撓体に曲げ変位を与えて、静止姿勢角を制御すること
も考えられるが、この場合にもロードビームを曲げる場
合に生じていた問題点を回避することができない。
【0009】しかも、最近は、磁気ディスク装置の耐衝
撃性を向上させるため、可撓体にリミッタを設け、スラ
イダの移動範囲を制限する磁気ヘッド装置が多くなって
いる。このようなタイプの磁気ヘッド装置では、リミッ
タのために、可撓体の曲げ変位の許容幅が小さくなる。
このため、所定の静止姿勢角を得るのに必要な曲げ変位
を与えることができないこともある。
撃性を向上させるため、可撓体にリミッタを設け、スラ
イダの移動範囲を制限する磁気ヘッド装置が多くなって
いる。このようなタイプの磁気ヘッド装置では、リミッ
タのために、可撓体の曲げ変位の許容幅が小さくなる。
このため、所定の静止姿勢角を得るのに必要な曲げ変位
を与えることができないこともある。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、可撓
体に対し小さな曲げ変位を与えるだけで、大きな静止姿
勢角の変化量を確保し得る磁気ヘッド装置のための静止
姿勢角調整方法及び装置を提供することである。
体に対し小さな曲げ変位を与えるだけで、大きな静止姿
勢角の変化量を確保し得る磁気ヘッド装置のための静止
姿勢角調整方法及び装置を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、本発明に係る静止姿勢角調整方法は、磁気ヘッド
装置の静止姿勢角を調整するのに適用される。前記磁気
ヘッド装置は、ヘッド支持装置と、磁気ヘッドとを含
む。前記ヘッド支持装置は、可撓体を含む。前記磁気ヘ
ッドは、前記可撓体に取り付けられている。
ため、本発明に係る静止姿勢角調整方法は、磁気ヘッド
装置の静止姿勢角を調整するのに適用される。前記磁気
ヘッド装置は、ヘッド支持装置と、磁気ヘッドとを含
む。前記ヘッド支持装置は、可撓体を含む。前記磁気ヘ
ッドは、前記可撓体に取り付けられている。
【0012】上記構成の磁気ヘッド装置において、可撓
体に静止姿勢角調整のための曲げを加え、可撓体の曲げ
を生じる領域にレーザを照射する。
体に静止姿勢角調整のための曲げを加え、可撓体の曲げ
を生じる領域にレーザを照射する。
【0013】可撓体に静止姿勢角調整のための曲げを加
えた場合、可撓体には曲げに応じた応力が発生する。本
発明では、可撓体の曲げを生じる領域にレーザを照射す
る。これにより、レーザを照射された曲げを生じる領域
における応力が、レーザの照射に伴う熱により、開放さ
れる。このため、このレーザ照射を受けた領域では、可
撓体の復元量が小さくなり、加えられた曲げ角度に近い
角度で曲ることになる。このことは、可撓体に与えられ
る曲げ変化量が小さくとも、可撓体に対し、大きな曲げ
角度を付与できることを意味する。よって、可撓体を、
小さな曲げ角度で曲げるだけで、大きな静止姿勢角変化
量を確保することができる。
えた場合、可撓体には曲げに応じた応力が発生する。本
発明では、可撓体の曲げを生じる領域にレーザを照射す
る。これにより、レーザを照射された曲げを生じる領域
における応力が、レーザの照射に伴う熱により、開放さ
れる。このため、このレーザ照射を受けた領域では、可
撓体の復元量が小さくなり、加えられた曲げ角度に近い
角度で曲ることになる。このことは、可撓体に与えられ
る曲げ変化量が小さくとも、可撓体に対し、大きな曲げ
角度を付与できることを意味する。よって、可撓体を、
小さな曲げ角度で曲げるだけで、大きな静止姿勢角変化
量を確保することができる。
【0014】レーザを利用して熱応力を開放する技術
は、例えば、特開平3ー178021号公報、特開平1
0ー269538号公報等に開示されている。しかしな
がら、これらの先行技術文献は、ロードビームに磁気ヘ
ッドを搭載する前に、ロードビームを曲げる技術を開示
するものであって、ロードビームに磁気ヘッドを搭載し
た磁気ヘッド装置についての曲げ技術を開示するもので
はない。仮に、これらの先行技術の適用によって、ロー
ドビームを曲げた後でも、ロードビームに磁気ヘッドを
取り付けた後、静止姿勢角が所定の角度からずれを生じ
ることがあるので、最終的な静止姿勢角調整手段とはな
らない。
は、例えば、特開平3ー178021号公報、特開平1
0ー269538号公報等に開示されている。しかしな
がら、これらの先行技術文献は、ロードビームに磁気ヘ
ッドを搭載する前に、ロードビームを曲げる技術を開示
するものであって、ロードビームに磁気ヘッドを搭載し
た磁気ヘッド装置についての曲げ技術を開示するもので
はない。仮に、これらの先行技術の適用によって、ロー
ドビームを曲げた後でも、ロードビームに磁気ヘッドを
取り付けた後、静止姿勢角が所定の角度からずれを生じ
ることがあるので、最終的な静止姿勢角調整手段とはな
らない。
【0015】本発明は、ロードビームに磁気ヘッドを取
り付けた後に生じる静止姿勢角のずれを修正する技術を
開示するものであるから、上記先行技術文献に開示され
た発明とは異なる。
り付けた後に生じる静止姿勢角のずれを修正する技術を
開示するものであるから、上記先行技術文献に開示され
た発明とは異なる。
【0016】本発明は、更に、上記静止姿勢角調整方法
の実施に直接使用される静止姿勢角調整装置を開示す
る。
の実施に直接使用される静止姿勢角調整装置を開示す
る。
【0017】本発明の他の目的、構成及び効果について
は、実施の形態である添付図を参照して詳しく説明す
る。
は、実施の形態である添付図を参照して詳しく説明す
る。
【0018】
【発明の実施の形態】図1は本発明に係る静止姿勢角調
整方法の実施に直接に用いられる静止姿勢角調整装置の
構成を示す図である。図示された静止姿勢角調整装置
は、レーザ発振装置91と、姿勢角修正装置92と、変
位測定装置93と、制御装置94とを含み、磁気ヘッド
装置95の静止姿勢角を調整する。
整方法の実施に直接に用いられる静止姿勢角調整装置の
構成を示す図である。図示された静止姿勢角調整装置
は、レーザ発振装置91と、姿勢角修正装置92と、変
位測定装置93と、制御装置94とを含み、磁気ヘッド
装置95の静止姿勢角を調整する。
【0019】図2は本発明に係る静止姿勢角調整方法が
適用される磁気ヘッド装置の正面図、図3は図2に図示
された磁気ヘッド装置の底面図である。図において図
1、2に図示された構成部分と同一の構成部分について
は、同一の参照符号を付してある。
適用される磁気ヘッド装置の正面図、図3は図2に図示
された磁気ヘッド装置の底面図である。図において図
1、2に図示された構成部分と同一の構成部分について
は、同一の参照符号を付してある。
【0020】磁気ヘッド装置95は、ヘッド支持装置1
と、磁気ヘッド2とを含む。ヘッド支持装置1は、ロー
ドビーム11と、可撓体12とを含む。ロードビーム1
1は、中央を通る長手方向軸線Lの自由端近傍に突起部
111を有する。図示されたロードビーム11は、幅方
向の両側に折り曲げ部118を有しており、この折り曲
げ部118により、剛性を増加させてある。また、記録
媒体(図示しない)に対する磁気ヘッド2の追従性を向
上させるため、ロードビーム11に孔112を設けてあ
る。さらに、ロードビーム11の取り付け部117に座
金115を設置し、位置決め装置に対する取り付け用の
孔116を設け、その近傍にロードビーム11の全体の
弾性を増すための孔113が設けられている。
と、磁気ヘッド2とを含む。ヘッド支持装置1は、ロー
ドビーム11と、可撓体12とを含む。ロードビーム1
1は、中央を通る長手方向軸線Lの自由端近傍に突起部
111を有する。図示されたロードビーム11は、幅方
向の両側に折り曲げ部118を有しており、この折り曲
げ部118により、剛性を増加させてある。また、記録
媒体(図示しない)に対する磁気ヘッド2の追従性を向
上させるため、ロードビーム11に孔112を設けてあ
る。さらに、ロードビーム11の取り付け部117に座
金115を設置し、位置決め装置に対する取り付け用の
孔116を設け、その近傍にロードビーム11の全体の
弾性を増すための孔113が設けられている。
【0021】可撓体12は薄いバネ板材で構成され、一
方の面がロードビーム11の突起部111を有する側の
面に取り付けられ、突起部111から押圧荷重を受けて
いる。可撓体12の他方の面には、磁気ヘッド2が取り
付けられている。可撓体12は、接続点13において、
ロードビーム11の突起部111を有する側に、カシメ
等の手段により貼り合わされている。カシメの代わり
に、スポット溶着等の手段を用いてもよい。可撓体12
は、中央に舌状部120を有する。舌状部120は、一
端が可撓体12の横枠部121に結合されている。可撓
体12の横枠部121は両端が外枠部123、124に
連なっている。外枠部123、124と舌状部120と
の間には、舌状部120の周りに、溝122が形成され
ている。舌状部120の一面には磁気ヘッド2が接着剤
などで取り付けられ、突起部111の先端がバネ接触し
ている。配線3は磁気ヘッド2に備えられた磁気変換素
子の取出電極に接続される。
方の面がロードビーム11の突起部111を有する側の
面に取り付けられ、突起部111から押圧荷重を受けて
いる。可撓体12の他方の面には、磁気ヘッド2が取り
付けられている。可撓体12は、接続点13において、
ロードビーム11の突起部111を有する側に、カシメ
等の手段により貼り合わされている。カシメの代わり
に、スポット溶着等の手段を用いてもよい。可撓体12
は、中央に舌状部120を有する。舌状部120は、一
端が可撓体12の横枠部121に結合されている。可撓
体12の横枠部121は両端が外枠部123、124に
連なっている。外枠部123、124と舌状部120と
の間には、舌状部120の周りに、溝122が形成され
ている。舌状部120の一面には磁気ヘッド2が接着剤
などで取り付けられ、突起部111の先端がバネ接触し
ている。配線3は磁気ヘッド2に備えられた磁気変換素
子の取出電極に接続される。
【0022】再び、図1を参照して説明する。図1に図
示された静止姿勢角調整装置は、上述した磁気ヘッド装
置の静止姿勢角を調整するために用いられる。静止姿勢
角には、ピッチ角及びロール角が含まれる。ピッチ角
は、ロードビーム11の長手方向軸線L(図2、3参
照)の方向にとられた基準線と交差する角度であり、ロ
ール角は長手方向軸線Lの周りにとられた角度である。
静止姿勢角はヘッド支持装置1に対する磁気ヘッド2の
組立状態、ヘッド支持装置1の曲り、更には、配線3に
よる荷重等の影響を受けて、さまざまに変化する。本発
明に係る静止姿勢角調整方法及び調整装置によれば、静
止姿勢角を、要求される値に確実に設定することができ
る。
示された静止姿勢角調整装置は、上述した磁気ヘッド装
置の静止姿勢角を調整するために用いられる。静止姿勢
角には、ピッチ角及びロール角が含まれる。ピッチ角
は、ロードビーム11の長手方向軸線L(図2、3参
照)の方向にとられた基準線と交差する角度であり、ロ
ール角は長手方向軸線Lの周りにとられた角度である。
静止姿勢角はヘッド支持装置1に対する磁気ヘッド2の
組立状態、ヘッド支持装置1の曲り、更には、配線3に
よる荷重等の影響を受けて、さまざまに変化する。本発
明に係る静止姿勢角調整方法及び調整装置によれば、静
止姿勢角を、要求される値に確実に設定することができ
る。
【0023】レーザ発振装置91は、可撓体12とロー
ドビーム11との接続点13、及び、磁気ヘッド2との
間に現れる可撓体12の領域14にレーザLAを照射す
る。レーザ発振装置91は、YAGレーザを含め、各種
のものを用いることができる。図示されたレーザ発振装
置91は、レーザ発振部911と、レーザ照射部912
とを含む。レーザ照射部912は、可撓体12の曲げ部
14に向けられている。
ドビーム11との接続点13、及び、磁気ヘッド2との
間に現れる可撓体12の領域14にレーザLAを照射す
る。レーザ発振装置91は、YAGレーザを含め、各種
のものを用いることができる。図示されたレーザ発振装
置91は、レーザ発振部911と、レーザ照射部912
とを含む。レーザ照射部912は、可撓体12の曲げ部
14に向けられている。
【0024】姿勢角修正装置92は、可撓体12に静止
姿勢角調整のための曲げを加える。ピッチ角調整の場合
は、姿勢角修正装置92の可動腕922が方向P1(正
方向とする)または方向P2(負方向とする)に直線的
に駆動され、ロール角調整の場合は、可動腕922がR
I方向(正方向とする)または方向R2(負方向とす
る)に回転駆動される。図示された姿勢角修正装置92
は、モータ等を含む駆動部921と、駆動部921によ
って駆動される可動腕922とを有する。可動腕922
は、可撓体12を保持して、方向P1もしくは方向P2
に直線的に移動し、または、方向R1もしくは方向R2
に回転する。この他、可撓体12に接触し、方向P1も
しくは方向P2に直線的に移動することにより、可撓体
12に対して、ピッチ角変化及びロール角変化を与える
ような構成であってもよい。
姿勢角調整のための曲げを加える。ピッチ角調整の場合
は、姿勢角修正装置92の可動腕922が方向P1(正
方向とする)または方向P2(負方向とする)に直線的
に駆動され、ロール角調整の場合は、可動腕922がR
I方向(正方向とする)または方向R2(負方向とす
る)に回転駆動される。図示された姿勢角修正装置92
は、モータ等を含む駆動部921と、駆動部921によ
って駆動される可動腕922とを有する。可動腕922
は、可撓体12を保持して、方向P1もしくは方向P2
に直線的に移動し、または、方向R1もしくは方向R2
に回転する。この他、可撓体12に接触し、方向P1も
しくは方向P2に直線的に移動することにより、可撓体
12に対して、ピッチ角変化及びロール角変化を与える
ような構成であってもよい。
【0025】変位測定装置93は、可撓体12の曲げを
検出する。変位測定装置93は磁気ヘッド2の例えば空
気ベアリング面に向けられている。変位測定装置93に
よって得られた曲げ検出信号は、制御装置94に供給さ
れる。図示された変位測定装置93は、画像信号処理部
931と、撮像部932とを含む。撮像部932は、例
えば、CCD等の撮像手段を含む。
検出する。変位測定装置93は磁気ヘッド2の例えば空
気ベアリング面に向けられている。変位測定装置93に
よって得られた曲げ検出信号は、制御装置94に供給さ
れる。図示された変位測定装置93は、画像信号処理部
931と、撮像部932とを含む。撮像部932は、例
えば、CCD等の撮像手段を含む。
【0026】制御装置94は、変位測定装置93から供
給される信号に基づき、レーザ発振装置91、及び、姿
勢角修正装置92を制御する。制御装置94は、一般に
は、コンピュータによって構成される。
給される信号に基づき、レーザ発振装置91、及び、姿
勢角修正装置92を制御する。制御装置94は、一般に
は、コンピュータによって構成される。
【0027】図4は図1に示した静止姿勢角調整装置に
おける静止姿勢角調整を説明する拡大図である。図4に
示すように、姿勢角修正装置92の可動腕922によ
り、可撓体12の横枠部121を挟み込み、可動腕92
2を方向P1または方向P2に直線的に移動させる。こ
れにより、可撓体12が方向P1または方向P2に曲げ
られる。この曲げによりピッチ角が調整される。
おける静止姿勢角調整を説明する拡大図である。図4に
示すように、姿勢角修正装置92の可動腕922によ
り、可撓体12の横枠部121を挟み込み、可動腕92
2を方向P1または方向P2に直線的に移動させる。こ
れにより、可撓体12が方向P1または方向P2に曲げ
られる。この曲げによりピッチ角が調整される。
【0028】従来は、上述の機械的な曲げによって、ピ
ッチ角を調整していた。本発明では、これとは異なっ
て、可撓体12に機械的な曲げを与えながら、可撓体1
2の曲げ部14にレーザLAを照射する。
ッチ角を調整していた。本発明では、これとは異なっ
て、可撓体12に機械的な曲げを与えながら、可撓体1
2の曲げ部14にレーザLAを照射する。
【0029】図5は図4に示す静止姿勢角調整における
レーザの照射領域を示す図である。図示するように、可
撓体12とロードビーム11との接続点13、及び、磁
気ヘッド2の間に現れる可撓体12の領域14にレーザ
LAを照射する。レーザLAの照射を受ける領域14
は、磁気ヘッド2の後方、側方等であって、曲げが生じ
る領域であればよい。
レーザの照射領域を示す図である。図示するように、可
撓体12とロードビーム11との接続点13、及び、磁
気ヘッド2の間に現れる可撓体12の領域14にレーザ
LAを照射する。レーザLAの照射を受ける領域14
は、磁気ヘッド2の後方、側方等であって、曲げが生じ
る領域であればよい。
【0030】可撓体12に機械的な曲げを加えた場合、
可撓体12には曲げに応じた応力が発生する。本発明に
おいて、可撓体12の曲げを生じる領域14にレーザL
Aを照射するので、レーザLAを照射された領域14に
おける応力が、レーザLAの照射に伴う熱により、開放
される。このため、このレーザLA照射を受けた領域1
4では、可撓体12の復元量が小さくなり、加えられた
曲げ角度に近い角度で曲ることになる。このことは、可
撓体12に与えられる曲げ変化量が小さくとも、可撓体
12に対し、大きな曲げ角度を付与できることを意味す
る。レーザLAは、可撓体12の照射を受ける領域14
がステンレススチールで構成されている場合、その表面
温度が、例えば、150〜250℃となるように照射す
るのが好ましい。
可撓体12には曲げに応じた応力が発生する。本発明に
おいて、可撓体12の曲げを生じる領域14にレーザL
Aを照射するので、レーザLAを照射された領域14に
おける応力が、レーザLAの照射に伴う熱により、開放
される。このため、このレーザLA照射を受けた領域1
4では、可撓体12の復元量が小さくなり、加えられた
曲げ角度に近い角度で曲ることになる。このことは、可
撓体12に与えられる曲げ変化量が小さくとも、可撓体
12に対し、大きな曲げ角度を付与できることを意味す
る。レーザLAは、可撓体12の照射を受ける領域14
がステンレススチールで構成されている場合、その表面
温度が、例えば、150〜250℃となるように照射す
るのが好ましい。
【0031】レーザLAの照射を受ける可撓体12の領
域14は、可撓体12とロードビーム11との接続点1
3、及び、磁気ヘッド2の間に現れる部分である。この
部分で、可撓体12が曲げられる。従って、可撓体12
の曲げ角度が、磁気ヘッド2のピッチ角にそのまま反映
される。よって、可撓体12の小さな曲げ角度で、大き
なピッチ角変化量を確保することができる。
域14は、可撓体12とロードビーム11との接続点1
3、及び、磁気ヘッド2の間に現れる部分である。この
部分で、可撓体12が曲げられる。従って、可撓体12
の曲げ角度が、磁気ヘッド2のピッチ角にそのまま反映
される。よって、可撓体12の小さな曲げ角度で、大き
なピッチ角変化量を確保することができる。
【0032】変位測定装置93は、磁気ヘッド2の空気
ベアリング面の変位などから、可撓体12の曲げを検出
する。変位測定装置93によって得られた曲げ検出信号
は、制御装置94に供給される。制御装置94は、変位
測定装置93から供給される信号に基づき、レーザ発振
装置91、及び、姿勢角修正装置92を制御する。
ベアリング面の変位などから、可撓体12の曲げを検出
する。変位測定装置93によって得られた曲げ検出信号
は、制御装置94に供給される。制御装置94は、変位
測定装置93から供給される信号に基づき、レーザ発振
装置91、及び、姿勢角修正装置92を制御する。
【0033】従って、制御回路94に曲げ角度情報テー
ブルを持つことにより、可撓体12の曲げが適正値にな
ったことを判定し、判定結果に基づいて、姿勢角修正装
置92の動作を停止させることにより、ピッチ角を自動
的に調整することができるようになる。姿勢角修正装置
92の動作停止とともに、レーザ発振装置91のレーザ
発振を停止させることもできる。
ブルを持つことにより、可撓体12の曲げが適正値にな
ったことを判定し、判定結果に基づいて、姿勢角修正装
置92の動作を停止させることにより、ピッチ角を自動
的に調整することができるようになる。姿勢角修正装置
92の動作停止とともに、レーザ発振装置91のレーザ
発振を停止させることもできる。
【0034】ロール角を調整する場合は、姿勢角修正装
置92の可動腕922により、可撓体12の横枠部12
1を挟み込み、可動腕922を方向R1または方向R2
に回転させる。これにより、可撓体12が方向R1また
は方向R2に捻られる。
置92の可動腕922により、可撓体12の横枠部12
1を挟み込み、可動腕922を方向R1または方向R2
に回転させる。これにより、可撓体12が方向R1また
は方向R2に捻られる。
【0035】姿勢角修正装置92により、可撓体12に
機械的な捻りを与えながら、可撓体12とロードビーム
11との接続点13、及び、磁気ヘッド2の間に現れる
可撓体12の領域14にレーザLAを照射する。
機械的な捻りを与えながら、可撓体12とロードビーム
11との接続点13、及び、磁気ヘッド2の間に現れる
可撓体12の領域14にレーザLAを照射する。
【0036】可撓体12に捻りを加えた場合、可撓体1
2には捻り曲げに応じた応力が発生する。本発明におい
て、可撓体12の曲げを生じる領域14にレーザLAを
照射するので、レーザLAを照射された領域14におけ
る応力が、レーザLAの照射に伴う熱により、開放され
る。このため、このレーザLA照射を受けた領域14で
は、可撓体12の復元量が小さくなり、加えられた捻り
角度に近い角度で曲ることになる。このことは、可撓体
12に与えられる捻り変化量が小さくとも、可撓体12
に対し、大きな捻り角度を付与できることを意味する。
2には捻り曲げに応じた応力が発生する。本発明におい
て、可撓体12の曲げを生じる領域14にレーザLAを
照射するので、レーザLAを照射された領域14におけ
る応力が、レーザLAの照射に伴う熱により、開放され
る。このため、このレーザLA照射を受けた領域14で
は、可撓体12の復元量が小さくなり、加えられた捻り
角度に近い角度で曲ることになる。このことは、可撓体
12に与えられる捻り変化量が小さくとも、可撓体12
に対し、大きな捻り角度を付与できることを意味する。
【0037】レーザLAの照射を受ける可撓体12の領
域14は、可撓体12とロードビーム11との接続点1
3、及び、磁気ヘッド2の間に現れる部分である。この
部分で、可撓体12が捻られる。従って、可撓体12の
曲げ角度が、磁気ヘッド2のロール角にそのまま反映さ
れる。よって、可撓体12の小さな捻り角度で、大きな
ロール角変化量を確保することができる。
域14は、可撓体12とロードビーム11との接続点1
3、及び、磁気ヘッド2の間に現れる部分である。この
部分で、可撓体12が捻られる。従って、可撓体12の
曲げ角度が、磁気ヘッド2のロール角にそのまま反映さ
れる。よって、可撓体12の小さな捻り角度で、大きな
ロール角変化量を確保することができる。
【0038】変位測定装置93は、磁気ヘッド2の空気
ベアリング面の傾斜角または捻り角等から、可撓体12
の捻り角度を検出する。変位測定装置93によって得ら
れた捻り検出信号は、制御装置94に供給される。制御
装置94は、変位測定装置93から供給される信号に基
づき、レーザ発振装置91、及び、姿勢角修正装置92
を制御する。
ベアリング面の傾斜角または捻り角等から、可撓体12
の捻り角度を検出する。変位測定装置93によって得ら
れた捻り検出信号は、制御装置94に供給される。制御
装置94は、変位測定装置93から供給される信号に基
づき、レーザ発振装置91、及び、姿勢角修正装置92
を制御する。
【0039】従って、制御回路94に捻り角度情報テー
ブルを持つことにより、可撓体12の捻り角度が適正値
になったことを判定し、判定結果に基づいて、姿勢角修
正装置92の動作を停止させることにより、ロール角調
整を自動的に実行することができるようになる。姿勢角
修正装置92の動作停止とともに、レーザ発振装置91
のレーザ発振を停止させることもできる。
ブルを持つことにより、可撓体12の捻り角度が適正値
になったことを判定し、判定結果に基づいて、姿勢角修
正装置92の動作を停止させることにより、ロール角調
整を自動的に実行することができるようになる。姿勢角
修正装置92の動作停止とともに、レーザ発振装置91
のレーザ発振を停止させることもできる。
【0040】図6は本発明に係る静止姿勢角制御装置の
別の実施例を示す図である。この実施例の特徴は、レー
ザ遮蔽手段4を有し、このレーザ遮蔽手段4により、磁
気ヘッド2に、レーザLAが照射されるのを阻止するよ
うにしたことである。レーザ遮蔽手段4は、レーザLA
から保護すべき部分、例えば磁気ヘッド2、配線3のパ
ターン等を遮蔽すればよいのであって、図示実施例の態
様には限定されない。
別の実施例を示す図である。この実施例の特徴は、レー
ザ遮蔽手段4を有し、このレーザ遮蔽手段4により、磁
気ヘッド2に、レーザLAが照射されるのを阻止するよ
うにしたことである。レーザ遮蔽手段4は、レーザLA
から保護すべき部分、例えば磁気ヘッド2、配線3のパ
ターン等を遮蔽すればよいのであって、図示実施例の態
様には限定されない。
【0041】図7は本発明に係る静止姿勢角制御装置の
別の実施例を示す図である。図において、先に示された
図面に現れた構成部分と同一の構成部分については、同
一の参照符号を付してある。この実施例の特徴は、姿勢
角修正装置92の可動腕922により、可撓体12及び
磁気ヘッド2を一緒に挟み込み、可動腕922を方向P
1もしくは方向P2に直線的に移動させ、または、方向
R1もしくは方向R2に回転させることにより、ピッチ
角及びロール角を調整するようになっていることであ
る。この実施例の場合も、図1〜図5に図示下実施例
と、同様の作用効果を奏する。また、図7に示した構造
に、図6に示したレーザ遮蔽手段を付加することもでき
る。
別の実施例を示す図である。図において、先に示された
図面に現れた構成部分と同一の構成部分については、同
一の参照符号を付してある。この実施例の特徴は、姿勢
角修正装置92の可動腕922により、可撓体12及び
磁気ヘッド2を一緒に挟み込み、可動腕922を方向P
1もしくは方向P2に直線的に移動させ、または、方向
R1もしくは方向R2に回転させることにより、ピッチ
角及びロール角を調整するようになっていることであ
る。この実施例の場合も、図1〜図5に図示下実施例
と、同様の作用効果を奏する。また、図7に示した構造
に、図6に示したレーザ遮蔽手段を付加することもでき
る。
【0042】図8は本発明に係る静止姿勢角制御装置に
おける姿勢角修正装置92の別の例を示す図、図9は図
8に示した装置を、左側面側からみた図である。図にお
いて、先に示された図面に現れた構成部分と同一の構成
部分については、同一の参照符号を付してある。この実
施例では、姿勢角修正装置92は、4つの可動腕922
〜25を有する。可動腕922〜925は、何れも、ピ
ン状であり、先端部が可撓体12の外枠部123、12
4に接触できる位置に配置されている。可動腕922、
924は、可撓体12の一面側(磁気ヘッド2を取り付
けた面側)に配置され、可動腕923、925は可撓体
12の他面側に配置されている。図示では、可動腕92
2と可動腕923とが対向し、可動腕924と可動腕9
25とが対向しているが、対向していなくてもよい。即
ち、互いに異なる位置に配置してもよい。
おける姿勢角修正装置92の別の例を示す図、図9は図
8に示した装置を、左側面側からみた図である。図にお
いて、先に示された図面に現れた構成部分と同一の構成
部分については、同一の参照符号を付してある。この実
施例では、姿勢角修正装置92は、4つの可動腕922
〜25を有する。可動腕922〜925は、何れも、ピ
ン状であり、先端部が可撓体12の外枠部123、12
4に接触できる位置に配置されている。可動腕922、
924は、可撓体12の一面側(磁気ヘッド2を取り付
けた面側)に配置され、可動腕923、925は可撓体
12の他面側に配置されている。図示では、可動腕92
2と可動腕923とが対向し、可動腕924と可動腕9
25とが対向しているが、対向していなくてもよい。即
ち、互いに異なる位置に配置してもよい。
【0043】図10、11は図8、9に示した姿勢角修
正装置によるピッチ角修正方法を示す図である。まず、
図10に示すように、可動腕923、925を方向P1
に直線的に移動させ、その先端で、可撓体12の外枠部
123、124を押すことにより、ピッチ角を修正する
ことができる。この場合のピッチ角の修正方向P1を正
方向とする。
正装置によるピッチ角修正方法を示す図である。まず、
図10に示すように、可動腕923、925を方向P1
に直線的に移動させ、その先端で、可撓体12の外枠部
123、124を押すことにより、ピッチ角を修正する
ことができる。この場合のピッチ角の修正方向P1を正
方向とする。
【0044】図11は、ピッチ角を負方向P2に調整す
る場合を示し、可動腕922、924を方向P2に直線
的に移動させ、その先端で、可撓体12の外枠部12
3、124を押す。これにより、ピッチ角を負方向P2
に調整することができる。
る場合を示し、可動腕922、924を方向P2に直線
的に移動させ、その先端で、可撓体12の外枠部12
3、124を押す。これにより、ピッチ角を負方向P2
に調整することができる。
【0045】図12、13は図8、9に示した姿勢角修
正装置92によるロール角修正方法を示す図である。ま
ず、図12に示すように、可動腕923を方向P1に直
線的に移動させ、その先端で、可撓体12の外枠部12
3を押すと同時に、可動腕924を方向P2に直線的に
移動させ、その先端で、可撓体12の外枠部124を押
す。これにより、ロール角を方向R1に修正することが
できる。この場合のロール角の修正方向R1を正方向と
する。
正装置92によるロール角修正方法を示す図である。ま
ず、図12に示すように、可動腕923を方向P1に直
線的に移動させ、その先端で、可撓体12の外枠部12
3を押すと同時に、可動腕924を方向P2に直線的に
移動させ、その先端で、可撓体12の外枠部124を押
す。これにより、ロール角を方向R1に修正することが
できる。この場合のロール角の修正方向R1を正方向と
する。
【0046】図13は、ロール角を負方向R2に調整す
る場合を示し、可動腕922を方向P2に直線的に移動
させ、その先端で、可撓体12の外枠部123を押すと
同時に、可動腕925を方向P1に直線的に移動させ、
その先端で、可撓体12の外枠部124を押す。これに
より、ロール角を負方向R2に調整することができる。
る場合を示し、可動腕922を方向P2に直線的に移動
させ、その先端で、可撓体12の外枠部123を押すと
同時に、可動腕925を方向P1に直線的に移動させ、
その先端で、可撓体12の外枠部124を押す。これに
より、ロール角を負方向R2に調整することができる。
【0047】図10〜13に示したピッチ角及びロール
角修正プロセスにおいて、可撓体12の曲げを生じる領
域14(図8等参照)にレーザLAを照射することは、
既に述べた通りである。
角修正プロセスにおいて、可撓体12の曲げを生じる領
域14(図8等参照)にレーザLAを照射することは、
既に述べた通りである。
【0048】次に、実測データを参照して、本発明の効
果を更に具体的に説明する。表1は修正量(mm)とピ
ッチ角変化量(min)との関係を示す実測データであ
る。表1は、図1〜図5に示す構成の静止角修正装置に
おいて、姿勢角修正装置92の可動腕922を方向P1
に駆動し、可撓体12に曲げ変位を生じさせた場合の変
位量を、正の修正量(mm)とし、姿勢角修正装置92
の可動腕922を方向P2に駆動し、可撓体12に曲げ
変位を生じさせる場合の変位量を、負の修正量(mm)
として表示してある。修正量0(mm)は可動腕922
から可撓体12に曲げが加わっていない状態に対応す
る。表1において、レーザ無しとは可撓体12の曲げ部
14にレーザLAを照射しない(従来技術)ことを意味
し、レーザありは可撓体12の曲げ部14にレーザLA
を照射した(本発明)ことを意味する。
果を更に具体的に説明する。表1は修正量(mm)とピ
ッチ角変化量(min)との関係を示す実測データであ
る。表1は、図1〜図5に示す構成の静止角修正装置に
おいて、姿勢角修正装置92の可動腕922を方向P1
に駆動し、可撓体12に曲げ変位を生じさせた場合の変
位量を、正の修正量(mm)とし、姿勢角修正装置92
の可動腕922を方向P2に駆動し、可撓体12に曲げ
変位を生じさせる場合の変位量を、負の修正量(mm)
として表示してある。修正量0(mm)は可動腕922
から可撓体12に曲げが加わっていない状態に対応す
る。表1において、レーザ無しとは可撓体12の曲げ部
14にレーザLAを照射しない(従来技術)ことを意味
し、レーザありは可撓体12の曲げ部14にレーザLA
を照射した(本発明)ことを意味する。
【0049】図14は表1のデータをグラフ化して示す
図である。図14において、横軸に修正量(mm)をと
り、縦軸にピッチ角変化量(min)をとってある。図
14の曲線L11、L12は、表1の「レーザ有り」の
特性であり、曲線L21、L22は表1の「レーザ無
し」の特性である。
図である。図14において、横軸に修正量(mm)をと
り、縦軸にピッチ角変化量(min)をとってある。図
14の曲線L11、L12は、表1の「レーザ有り」の
特性であり、曲線L21、L22は表1の「レーザ無
し」の特性である。
【0050】表1及び図4を参照すると明らかなよう
に、レーザ有り(特性L11、L12)の場合は、レー
ザ無し(特性L21、L22)の場合と比較して、可撓
体12に与えられる修正量が小さくとも、大きなピッチ
角変化量を生じさせることができる。例えば、修正量−
0.4(mm)の場合のピッチ角変化量は、レーザ無し
の場合、−15.08(min)であるが、レーザ有り
の場合はその約3倍の−46.70(min)にもな
る。修正量0.8(mm)の場合のピッチ角変化量は、
レーザ無しの場合は41.85(min)であるが、レ
ーザ有りの場合はその約2.5倍の94.74(mi
n)にもなる。
に、レーザ有り(特性L11、L12)の場合は、レー
ザ無し(特性L21、L22)の場合と比較して、可撓
体12に与えられる修正量が小さくとも、大きなピッチ
角変化量を生じさせることができる。例えば、修正量−
0.4(mm)の場合のピッチ角変化量は、レーザ無し
の場合、−15.08(min)であるが、レーザ有り
の場合はその約3倍の−46.70(min)にもな
る。修正量0.8(mm)の場合のピッチ角変化量は、
レーザ無しの場合は41.85(min)であるが、レ
ーザ有りの場合はその約2.5倍の94.74(mi
n)にもなる。
【0051】次に、表2は修正量(dig.)とロール
角変化量(min)との関係を示す実測データである。
表2は、図1〜図5に示す構成の静止角修正装置におい
て、姿勢角修正装置92の可動腕922を方向R1に駆
動し、可撓体12に曲げ角を生じさせた場合の角変位量
を、正の修正量(dig.)とし、姿勢角修正装置92
の可動腕922を方向R2に駆動し、可撓体12に曲げ
角度を生じさせ角変位量を、負の修正量(dig.)と
して表示してある。修正量0(dig.)は可動腕92
2から可撓体12に曲げ角が生じていない状態に対応す
る。表2において、「レーザ無し」は可撓体12の曲げ
部14にレーザLAを照射しない(従来技術)ことを意
味し、「レーザ有り」は可撓体12の曲げ部14にレー
ザLAを照射した(本発明)ことを意味する。
角変化量(min)との関係を示す実測データである。
表2は、図1〜図5に示す構成の静止角修正装置におい
て、姿勢角修正装置92の可動腕922を方向R1に駆
動し、可撓体12に曲げ角を生じさせた場合の角変位量
を、正の修正量(dig.)とし、姿勢角修正装置92
の可動腕922を方向R2に駆動し、可撓体12に曲げ
角度を生じさせ角変位量を、負の修正量(dig.)と
して表示してある。修正量0(dig.)は可動腕92
2から可撓体12に曲げ角が生じていない状態に対応す
る。表2において、「レーザ無し」は可撓体12の曲げ
部14にレーザLAを照射しない(従来技術)ことを意
味し、「レーザ有り」は可撓体12の曲げ部14にレー
ザLAを照射した(本発明)ことを意味する。
【0052】図15は表2のデータをグラフ化して示す
図である。図15において、横軸に修正量(dig.)
をとり、縦軸にロール角変化量(min)をとってあ
る。図15の曲線L13、L14は、表2のレーザ有り
の特性であり、曲線L23、L24は表2のレーザ無し
の特性である。
図である。図15において、横軸に修正量(dig.)
をとり、縦軸にロール角変化量(min)をとってあ
る。図15の曲線L13、L14は、表2のレーザ有り
の特性であり、曲線L23、L24は表2のレーザ無し
の特性である。
【0053】表2及び図15を参照すると明らかなよう
に、レーザ有り(特性L13、L14)の場合は、レー
ザ無し(特性L23、L24)の場合と比較して、可撓
体12の小さな曲げ角度で、大きなロール角変化量を生
じさせることができる。例えば、修正量10(di
g.)の場合のロール角変化量は、レーザ無しの場合、
1.24(dig.)であるが、レーザ有りの場合はそ
の約4倍の4.69(dig.)にもなる。修正量30
(dig.)の場合のロール角変化量は、レーザ無しの
場合は6.64(dig.)であるが、レーザ有りの場
合はその約5倍の35.83(dig.)にもなる。
に、レーザ有り(特性L13、L14)の場合は、レー
ザ無し(特性L23、L24)の場合と比較して、可撓
体12の小さな曲げ角度で、大きなロール角変化量を生
じさせることができる。例えば、修正量10(di
g.)の場合のロール角変化量は、レーザ無しの場合、
1.24(dig.)であるが、レーザ有りの場合はそ
の約4倍の4.69(dig.)にもなる。修正量30
(dig.)の場合のロール角変化量は、レーザ無しの
場合は6.64(dig.)であるが、レーザ有りの場
合はその約5倍の35.83(dig.)にもなる。
【0054】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、可
撓体に対し小さな曲げ変位を与えるだけで、大きな静止
姿勢角の変化量を確保し得る磁気ヘッド装置のための静
止姿勢角調整方法及び装置を提供することができる。
撓体に対し小さな曲げ変位を与えるだけで、大きな静止
姿勢角の変化量を確保し得る磁気ヘッド装置のための静
止姿勢角調整方法及び装置を提供することができる。
【図1】本発明に係る静止姿勢角調整方法の実施に直接
に用いられる静止姿勢角調整装置の構成を示す図であ
る。
に用いられる静止姿勢角調整装置の構成を示す図であ
る。
【図2】本発明に係る静止姿勢角調整方法が適用される
磁気ヘッド装置の正面図である。
磁気ヘッド装置の正面図である。
【図3】図2に図示された磁気ヘッド装置の底面図であ
る。
る。
【図4】図1に示した静止姿勢角調整装置における静止
姿勢角調整を説明する拡大図である。
姿勢角調整を説明する拡大図である。
【図5】図4に示す静止姿勢角調整におけるレーザの照
射領域を示す図である。
射領域を示す図である。
【図6】本発明に係る静止姿勢角制御装置の別の実施例
を示す図である。
を示す図である。
【図7】本発明に係る静止姿勢角制御装置の別の実施例
を示す図である。
を示す図である。
【図8】本発明に係る静止姿勢角制御装置における姿勢
角修正装置の別の例を示す図である。
角修正装置の別の例を示す図である。
【図9】図8に示した装置を、左側面側からみた図であ
る。
る。
【図10】図8、9に示した姿勢角修正装置によるピッ
チ角修正方法を示す図である。
チ角修正方法を示す図である。
【図11】図8、9に示した姿勢角修正装置によるもう
一つのピッチ角修正方法を示す図である。
一つのピッチ角修正方法を示す図である。
【図12】図8、9に示した姿勢角修正装置によるロー
ル角修正方法を示す図である。
ル角修正方法を示す図である。
【図13】図8、9に示した姿勢角修正装置によるもう
一つのロール角修正方法を示す図である。
一つのロール角修正方法を示す図である。
【図14】表1のデータをグラフ化して示す図である。
【図15】表2のデータをグラフ化して示す図である。
11 ロードビーム 91 レーザ発振装置 92 姿勢角修正装置 93 変位測定装置 94 制御装置 95 磁気ヘッド装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大橋 誠 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内 (72)発明者 林 光雄 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内 Fターム(参考) 5D042 AA07 BA02 BA03 CA01 CA04 CA08 DA02 DA20 5D059 AA01 BA01 CA16 DA09 DA17 EA03
Claims (7)
- 【請求項1】 磁気ヘッド装置の静止姿勢角を調整する
方法であって、 前記磁気ヘッド装置は、ヘッド支持装置と、磁気ヘッド
とを含み、 前記ヘッド支持装置は、可撓体を含み、 前記磁気ヘッドは、前記可撓体に取り付けられており、 前記可撓体に静止姿勢角調整のための曲げを加え、 前記可撓体の曲げを生じる領域にレーザを照射する ステップを含む磁気ヘッド装置の姿勢角調整方法。 - 【請求項2】 請求項1に記載された方法であって、 前記ヘッド支持装置は、ロードビームを含み、 前記ロードビームは、一端が自由端であり、 前記可撓体は、一面が前記ロードビームの自由端側に接
続されており、 前記磁気ヘッドは、前記可撓体の他面に取り付けられて
おり、 前記可撓体と前記ロードビームとの接続点、及び、前記
磁気ヘッドの間に現れる前記可撓体の曲げを生じる領域
にレーザを照射するステップを含む磁気ヘッド装置の姿
勢角調整方法。 - 【請求項3】 請求項2に記載された方法であって、 前記ロードビームは、前記自由端の近傍に突起部を有
し、 前記可撓体は、一面が前記ロードビームの前記突起部を
有する側の面に取り付けられ、かつ、前記突起部から押
圧荷重を受ける磁気ヘッド装置の姿勢角調整方法。 - 【請求項4】 姿勢角修正装置と、レーザ発振装置とを
含み、磁気ヘッド装置の静止姿勢角を調整する装置であ
って、 前記磁気ヘッド装置は、ヘッド支持装置と、磁気ヘッド
とを含み、 前記ヘッド支持装置は、可撓体を含み、 前記磁気ヘッドは、前記可撓体に取り付けられており、 前記姿勢角修正装置は、前記可撓体に静止姿勢角調整の
ための曲げを加えるものであり、 前記レーザ発振装置は、前記可撓体の曲げを生じる領域
にレーザを照射するものである装置。 - 【請求項5】 請求項4に記載された装置であって、 前記ヘッド支持装置は、ロードビームを含み、 前記ロードビームは、一端が自由端であり、 前記可撓体は、前記ロードビームの自由端側に接続され
ており、 前記磁気ヘッドは、前記可撓体の一面に取り付けられて
おり、 前記レーザ発振装置は、前記可撓体と前記ロードビーム
との接続点、及び、前記磁気ヘッドの間に現れる前記可
撓体の曲げを生じる領域にレーザを照射するものである
装置。 - 【請求項6】 請求項4または5の何れかに記載された
装置であって、 更に、変位測定装置と、制御装置とを含み、 前記変位測定装置は、前記可撓体の前記曲げを検出し、 前記制御装置は、前記変位測定装置から供給される信号
に基づき、前記レーザ発振装置、及び、前記姿勢角修正
装置を制御する装置。 - 【請求項7】 請求項3または4の何れかに記載された
装置であって、 更に、レーザ遮蔽手段を含み、前記レーザ遮蔽手段は、
前記レーザから保護すべき部分を遮蔽する装置。
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