JP2001356209A - Method for producing color filter - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing a color filter by a transfer system in which light reflected from a peelable layer and a substrate is inhibited from disturbing image information to enhance the accuracy of detection of defects such as foreign matter and irregular color in the defect inspection of a colored layer before transfer and only a non-defective colored layer is transferred to produce a color filter at a low cost. SOLUTION: A colored layer is transferred through: 1) a step for forming a transfer sheet, 2) a defect inspection step in which a) i-th (i=1 to n) light source-image input parts are disposed (the number of the parts is n) and b) image information from the i-th image input parts which receive i-th regularly reflected light and image information from image input parts which receive i-th irregularly reflected light are processed to specify the defective part of the colored layer and 3) a step for forming an adhesive layer, laying a transparent substrate thereon and carrying out pressure contact, irradiation with light, peeling and removal by alkali development.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置（以
下ＬＣＤという）に使用されるカラーフィルタ（以下Ｃ
Ｆという）の製造方法に関わり、さらに詳細には、アル
カリ現像型の感光性着色組成物から形成されたカラーフ
ィルタパターンを、転写法によって透明基材上に形成す
るカラーフィルターの製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color filter (hereinafter referred to as C) used for a liquid crystal display (hereinafter referred to as LCD).
More specifically, the present invention relates to a method for producing a color filter in which a color filter pattern formed from an alkali-developable photosensitive coloring composition is formed on a transparent substrate by a transfer method.

【０００２】[0002]

【従来の技術】上記ＬＣＤでカラー画像表示を行うため
に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の光の三原色の分光
特性を有するカラーフィルタを用いる方法が広く採用さ
れており、そのカラーフィルタとしては、染色法や顔料
分散法、または印刷法等によって、有機顔料や有機染料
で着色された樹脂層を、ストライプ状やマトリックス状
に微細配列して、透明基材上に設けたものが用いられて
いる。（Ｍ．Ｔａｎｉ，ｅｔ ａｌ：”ＬＣＤ Ｃｏｌ
ｏｒ Ｆｉｌｔｅｒｓ：Ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃ
ｓ ａｎｄ Ｆｕｔｕｒｅ Ｉｓｓｕｅｓ”，ＳＩＤ
９５ ＳＥＭＩＮＡＲ ＬＥＣＴＵＲＥ（１９９５）等
参照） しかし、染色法のカラーフィルターは、可染性の樹脂膜
のパターン化工程と染色工程を別工程で行う必要があ
り、各色の染色後に次色染色用の防染処理も必要となる
ため、工程が煩瑣となり、自動化しにくいという欠点が
あった。2. Description of the Related Art In order to display a color image on the LCD, a method using a color filter having spectral characteristics of three primary colors of red (R), green (G) and blue (B) has been widely adopted. As the color filter, a resin layer colored with an organic pigment or an organic dye is finely arranged in a stripe or matrix by a dyeing method, a pigment dispersion method, or a printing method, and provided on a transparent substrate. Is used. (M. Tani, et al: “LCD Col
or Filters: Characteristic
s and Future Issues ”, SID
However, in the color filter of the dyeing method, it is necessary to perform the patterning step of the dyeable resin film and the dyeing step in separate steps, and after dyeing each color, it is necessary to prevent the next color from being dyed. Since a dyeing treatment is also required, the steps are complicated and there is a drawback that automation is difficult.

【０００３】近年、着色層となる樹脂自体に顔料等の着
色材を混入分散し、その樹脂自体も感光性樹脂化して、
カラーフィルタの作成工程を簡略化することが行われて
いる。この方法では、着色材を混合分散した感光性着色
組成物をガラス等の透明基材に均一な厚さに塗布し、露
光装置でパターン露光することで露光部分と非露光部分
との溶媒に対する溶解性に差異をもたせ後、現像と言わ
れている選択的溶解によって、所望パターン状の着色層
を形成する方法である。この方法によれば、染色法に比
べて工程が簡便であり、自動化した生産ラインでカラー
フィルタを作製し易いと言う利点がある。しかし、この
方法も、ガラス等の透明基材の一枚毎に赤（Ｒ）、緑
（Ｇ）、青（Ｂ）等の所定色数の着色層を繰り返し形成
することでカラーフィルタを作製していることには変わ
りはなく、まだ工程が煩瑣である。In recent years, a coloring material such as a pigment has been mixed and dispersed in a resin itself to be a coloring layer, and the resin itself has also been made into a photosensitive resin.
2. Description of the Related Art Simplification of a process for producing a color filter has been performed. In this method, a photosensitive coloring composition in which a coloring material is mixed and dispersed is applied to a transparent substrate such as glass to a uniform thickness, and the exposed and unexposed portions are dissolved in a solvent by pattern exposure using an exposure device. This is a method in which a colored layer having a desired pattern is formed by selective dissolution called development after giving a difference in properties. According to this method, the steps are simpler than the dyeing method, and there is an advantage that a color filter can be easily manufactured on an automated production line. However, this method also produces a color filter by repeatedly forming a predetermined number of colored layers such as red (R), green (G), and blue (B) for each transparent substrate such as glass. This is still the case, and the process is still complicated.

【０００４】上記の煩瑣な工程から脱却し、生産効率よ
くカラーフィルタを製造する方法として、ガラス等の透
明基材とほぼ同じ値の熱膨張係数を有する金属シート等
を転写シート基材とするロール状の連続した中間転写媒
体（以下転写シートと言う）を用いて、塗布工程の効率
化や、ガラス等の透明基材の大型化（多面付け）に伴う
製造設備の大型化を避けることが可能となる転写方式に
よるカラーフィルタの製造方法が提案されている。（特
開平７−２９４７１７号公報他）[0004] As a method of producing a color filter with high production efficiency, which is free from the above complicated steps, a roll using a metal sheet or the like having a thermal expansion coefficient substantially equal to that of a transparent substrate such as glass as a transfer sheet substrate is used. By using a continuous intermediate transfer medium (hereinafter referred to as a transfer sheet), it is possible to improve the efficiency of the coating process and avoid the increase in the size of manufacturing equipment due to the increase in the size of a transparent substrate such as glass (multi-layering). A method for manufacturing a color filter by a transfer method has been proposed. (JP-A-7-294717, etc.)

【０００５】この転写方式の製造方法によれば、赤
（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）等の所定色数を繰り返し形
成する工程は、ガラス等の透明基材の一枚毎に対してで
はなく、ロール状の連続した転写シート基材に対して、
連続して各工程の操作を行えることから、生産効率を向
上させることが可能となる。また、必要なサイズ（例え
ば、モニタ用途の２０インチサイズ）の着色層を転写シ
ートとして形成後、必要とされる大型サイズ（例えば、
モニタ用途の２０インチサイズを多面付けしたサイズ）
の透明基材に多面付け転写して、カラーフィルタを製造
することにより、着色層のパターン化に関連する設備の
小型化を図れることから、設備費の低減や、露光時の困
難さの低減（マスク−基材間アライメント精度の維持、
露光量均一性の維持等）が可能である。According to this transfer type manufacturing method, the step of repeatedly forming a predetermined number of colors such as red (R), green (G), and blue (B) is performed for each transparent substrate such as glass. Instead of a roll-shaped continuous transfer sheet substrate,
Since the operation of each step can be performed continuously, it is possible to improve production efficiency. Further, after forming a colored layer of a required size (for example, a 20-inch size for monitor use) as a transfer sheet, a required large size (for example,
(20 inch size for monitor use multi-faced size)
By manufacturing a color filter by multi-layer transfer to a transparent base material, it is possible to reduce the size of equipment related to patterning of a colored layer, thereby reducing equipment costs and reducing difficulty in exposure ( Maintain alignment accuracy between mask and substrate,
(E.g., maintenance of exposure uniformity).

【０００６】一方、従来のＬＣＤの製造におけるよう
に、複数の駆動電極板（例えば、モニタ用途の２０イン
チサイズ）を多面付けした大型サイズの透明基材（大型
ガラス基材）に対応して、着色層（２０インチサイズ）
を多面付けした大型ガラス基材を作製し、この両大型ガ
ラス基材を貼り合わせてＬＣＤを製造する方法をとる際
に、大型ガラス基材への着色層の形成を大型ガラス基材
上へ直接に形成するとなると、その製造装置である感光
性着色組成物を大型ガラス基材に均一厚に塗布するコー
ター装置、マスクから所用のパターン形状を露光する露
光装置、未露光部を除去する現像装置などのパターニン
グ設備も必然的に大型となる。On the other hand, as in the conventional LCD manufacturing, a large-sized transparent base material (large glass base material) in which a plurality of drive electrode plates (for example, a 20-inch size for monitor use) are multi-faced is provided. Color layer (20 inch size)
When a large-sized glass substrate with multiple surfaces is prepared and the two large-sized glass substrates are bonded to each other to produce an LCD, the formation of a colored layer on the large-sized glass substrate is performed directly on the large-sized glass substrate. When it is to be formed, a coater device for applying the photosensitive coloring composition to a large-sized glass substrate in a uniform thickness, an exposure device for exposing a required pattern shape from a mask, a developing device for removing an unexposed portion, etc. Inevitably, the patterning equipment becomes large.

【０００７】また、大型ガラス基材の使用に伴い、搬送
及び取り扱い装置の大型化や複雑化、工程中破損時の損
害の大きさ等、その他の問題も付随して発生する。これ
らに起因するカラーフィルタの歩留まりの低下が、相乗
的にＬＣＤの収率を悪化させ、高コスト化の原因となり
うる。[0007] Further, with the use of a large glass substrate, other problems such as an increase in the size and complexity of the transporting and handling equipment and the magnitude of damage at the time of breakage during the process also occur. The reduction in the yield of the color filters resulting from these factors synergistically deteriorates the yield of the LCD, and may cause an increase in cost.

【０００８】更に、大型ガラス基材上の駆動電極と、大
型ガラス基材上の着色層とは、貼り合わせ時に高い対向
位置合わせの精度が要求されるので、着色層の形成には
高い位置精度が要求される。大型ガラス基材に着色層や
遮光層を多面付けして形成する場合には、多面の着色層
毎に高い位置精度を維持して形成することが不可欠であ
るが、基材の温度膨張による寸法変化や不均一な変動な
どによる位置精度への影響があることから、位置精度の
達成には困難が伴う。Further, since the driving electrode on the large-sized glass substrate and the colored layer on the large-sized glass substrate are required to have high accuracy of facing alignment at the time of bonding, a high positional accuracy is required for forming the colored layer. Is required. When forming a colored glass or light-shielding layer on a large-sized glass substrate with multiple surfaces, it is indispensable to form each of the multiple colored layers while maintaining high positional accuracy. Since there is an influence on the position accuracy due to a change or non-uniform fluctuation, it is difficult to achieve the position accuracy.

【０００９】この問題に対して、前述のように、連続し
た転写シート上に必要なサイズ（例えば、モニタ用途の
２０インチサイズ）の着色層を形成するには、必要なサ
イズに適応するコーター装置、露光装置、現像装置など
小型のパターニング設備で十分であり、転写シートの取
り扱いが容易となるので良好な歩留まりを維持すること
にも効果的である。To cope with this problem, as described above, in order to form a colored layer of a required size (for example, a 20-inch size for monitor use) on a continuous transfer sheet, a coater apparatus adapted to the required size is formed. In addition, a small patterning equipment such as an exposure device and a developing device is sufficient, and the handling of the transfer sheet becomes easy, so that it is effective to maintain a good yield.

【００１０】さらに、小型の露光装置は、露光範囲内で
の均一光量の保持と、露光時間短縮のための高照度化と
を両立することが比較的容易である。また、露光時に、
カラーフィルタを構成する各色に対応する露光マスク
と、転写シートとの相互の位置調整を行う際、ＣＣＤカ
メラ等で双方の基材のアライメントマークを読み取り、
見当合わせを行う自動調整機構も小型なもので十分であ
り、その位置精度の維持が容易となる利点を持つ。Furthermore, it is relatively easy for a small-sized exposure apparatus to achieve both maintaining a uniform light amount within an exposure range and increasing illuminance for shortening the exposure time. Also, at the time of exposure,
When adjusting the mutual position of the exposure mask corresponding to each color constituting the color filter and the transfer sheet, the alignment marks of both base materials are read by a CCD camera or the like,
A small automatic adjustment mechanism for registering is sufficient, and has an advantage that the positional accuracy can be easily maintained.

【００１１】しかし、これら利点の一方で、転写シート
を用いたカラーフィルタの製造方法においては、着色層
の欠陥検査に問題を含んでいる。 １）例えば、連続する金属シートなどの不透明な基材上
に形成される着色層では、従来法で実施されるガラス基
材上の着色層の抜き取り検査のような、工程途中での検
査、すなわち、透明基材へ転写される前の着色層の欠陥
検査は難しいと言う欠点である。[0011] However, on the other hand, the method for manufacturing a color filter using a transfer sheet has a problem in the defect inspection of the colored layer. 1) For example, in the case of a colored layer formed on an opaque substrate such as a continuous metal sheet, an inspection in the middle of the process, such as a sampling inspection of the colored layer on a glass substrate performed by a conventional method, that is, Another disadvantage is that it is difficult to inspect the color layer for defects before it is transferred to a transparent substrate.

【００１２】２）また、例えば、着色組成物を透明プラ
スチックのシート状透明基材上へ連続塗布する場合に
は、その塗布工程で塗布されたフィルムを裏面から照明
し、目視や検査装置で塗布物の欠陥検査が可能だが、不
透明な基材に於いては、裏面からの照明による検査が困
難であるといった欠点である。2) For example, when the coloring composition is continuously applied on a transparent plastic sheet-shaped transparent substrate, the film applied in the application step is illuminated from the back surface and is applied visually or by an inspection device. Although defect inspection of an object is possible, it is difficult to inspect an opaque substrate by illumination from the back side.

【００１３】従来のカラーフィルタの検査装置は，ハロ
ゲンランプ等を透過光光源として用い、カラーフィルタ
の欠陥部分と正常部分との透過光強度差を，ＣＣＤ等の
カメラからの映像信号差を抽出して欠陥を検出するもの
や、特開平５−２８８６４０号公報に開示されるよう
に、正常なカラーフィルタを参照し同一箇所の映像信号
を比較抽出して欠陥を検出するものや、時間毎に出力さ
れる映像信号を直前の映像信号と比較して欠陥を検出す
るもの等が知られている。A conventional color filter inspection apparatus uses a halogen lamp or the like as a transmitted light source, and extracts a transmitted light intensity difference between a defective portion and a normal portion of the color filter and extracts a video signal difference from a camera such as a CCD. One that detects a defect by detecting a defect, one that detects a defect by comparing and extracting a video signal at the same location with reference to a normal color filter, and one that is output every time, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-288640. There are known those which detect a defect by comparing a video signal to be received with a video signal immediately before.

【００１４】しかし、これらの検査装置の内、透過光光
源を用いるものは当然、転写方式によるカラーフィルタ
の転写前検査には使用出来ないが、反射光光源を用いる
ものであっても、光源とカメラを適当に配置しただけで
は着色層のゴミ等の異物、及び色ムラ等の欠陥などを全
て検出することが難しく、検査で見落とされる欠陥が多
くなる傾向があった。これは，反射光検査では透過光検
査よりも画像コントラストが低いことや、転写方式によ
るカラーフィルタでは，着色層の下の剥離層や、不透明
な基材からの反射光が，着色層からの画像情報を妨害し
易いことが原因である。However, of these inspection apparatuses, those using a transmitted light source cannot be used for the pre-transfer inspection of a color filter by a transfer method, but even those using a reflected light source can be used. It is difficult to detect all foreign matters such as dust on the colored layer and defects such as color unevenness simply by appropriately arranging the cameras, and there is a tendency that many defects are overlooked in the inspection. This is because the reflected light inspection has lower image contrast than the transmitted light inspection, and in the case of a color filter using a transfer method, light reflected from a peeling layer below a colored layer or an opaque substrate reflects an image from the colored layer. This is because information is easily disturbed.

【００１５】[0015]

【発明が解決しようとする課題】以上に述べたように、
転写シートとして形成した連続したシート状基材上の着
色層を、大型ガラス基材との間に接着剤層を介して、加
圧密着、光照射し、接着剤層を硬化させシート状基材を
剥離して着色層を大型ガラス基材に形成させる転写方法
によるカラーフィルタの製造方法は、従来の大型ガラス
基材の一枚毎に着色層を形成させるカラーフィルタの製
造方法よりも、生産効率が高く、転写までの設備が小型
で済む等の利点はあるが、一方で、シート状基材上への
感光性着色組成物の塗布層や、転写される前の着色層の
欠陥検出が困難であると言う欠点がある。As described above, as described above,
The colored layer on the continuous sheet-shaped substrate formed as a transfer sheet is pressed and adhered to the large glass substrate via an adhesive layer, irradiated with light, and the adhesive layer is cured to form the sheet-shaped substrate. The method for producing a color filter by a transfer method of peeling off a colored layer on a large-sized glass substrate is more efficient than the conventional method of producing a color filter for forming a colored layer on each large-sized glass substrate. Of the photosensitive coloring composition on the sheet-like substrate, and it is difficult to detect defects in the colored layer before the transfer. There is a disadvantage that it is.

【００１６】しかし、転写シート上の着色層でゴミ等の
異物や色ムラ等の欠陥を有するものを、大型ガラス基材
に転写し、製品形態のカラーフィルタとする事は、結
局、欠陥不良品を製造する事になるので、製造収率は低
下してコスト高となることは避けられず、転写方式によ
るカラーフィルタ製造の利点を生かすことが出来ない。
そこで、本発明の課題とするところは、転写方式による
カラーフィルタの製造方法の利点である生産効率の高
さ、小型のカラーフィルタ製造設備による設備費の低
さ、及びこれらが相乗した低コスト性を生かし、且つ、
転写される前の着色層の欠陥検査において、着色層の下
の剥離層や不透明な基材からの反射光が、着色層からの
画像情報を妨害することを抑制し、異物や色ムラ等の欠
陥検出の精度、及び効率を向上させ、良品のみが透明基
材へ転写されて製造収率の低下によるコスト高を回避し
廉価にカラーフィルタを製造することのできる転写方式
によるカラーフィルタの製造方法を提供することにあ
る。However, it is difficult to transfer a colored layer on a transfer sheet having a defect such as foreign matter such as dust or color unevenness to a large-sized glass substrate to obtain a color filter in the form of a product. Therefore, it is unavoidable that the production yield is reduced and the cost is increased, and the advantage of the color filter production by the transfer method cannot be utilized.
Therefore, it is an object of the present invention to provide an advantage of a method of manufacturing a color filter by a transfer method, such as high production efficiency, low equipment cost due to a small color filter manufacturing equipment, and low cost due to a synergistic effect of these. Taking advantage of and
In the defect inspection of the colored layer before the transfer, the reflected light from the peeling layer or the opaque substrate under the colored layer is prevented from interfering with the image information from the colored layer. A method of manufacturing a color filter by a transfer method capable of improving the accuracy and efficiency of defect detection, transferring only non-defective products to a transparent base material, and avoiding a high cost due to a decrease in manufacturing yield and manufacturing a color filter at low cost. Is to provide.

【００１７】[0017]

【課題を解決するための手段】本発明は、１）連続した
シート状基材上に該シート状基材との接着性を有する剥
離層を形成し、該剥離層上に複数色からなる着色層を形
成する転写シート形成工程と、 ２）ａ）該転写シート上の複数色からなるの着色層表面
に立てた法線から、該転写シートの進行方向に第ｉ角度
（θ_i ）傾けた位置に設けた第ｉ光源（Ｌ_i ）と、該転
写シートの逆進行方向に第ｉ角度（θ_i ）傾けた位置に
設けた、第ｉ光源（Ｌ_i ）から入射角（第ｉ角度）（θ
_i ）で該着色層表面に入射され反射角（第ｉ角度）（θ
_i ）で正反射される第ｉ正反射光を受光する第ｉ光源
（Ｌ_i ）に対応した第ｉ画像入力部（Ｃ_i ）とで構成さ
れる第ｉ光源・画像入力部（Ｌ_i ・Ｃ_i ）をｉ＝１〜ｎ
のｎ個配し、 ｂ）上記ｎ個のｉの中の少なくとも１個のｉの第ｉ光源
（Ｌ_i ）から入射角（第ｉ角度）（θ_i ）で該着色層表
面に入射され反射角（第ｉ角度）（θ_i ）で正反射され
る第ｉ正反射光を受光した第ｉ画像入力部（Ｃ_i ）から
の画像情報と、第ｉ光源（Ｌ_i ）から入射角（第ｉ角
度）（θ_i ）で該着色層表面に入射され乱反射される第
ｉ乱反射光を受光した第ｉ画像入力部（Ｃ_i ）以外の画
像入力部からの画像情報とを処理して、該転写シート上
の複数色からなる着色層の欠陥部分を特定し、 ｃ）欠陥部分を有する又は無欠陥部分のみを有する該複
数色からなる着色層の上記転写シートにおける位置情報
を記録し転写装置に伝達する、該複数色からなる着色層
の欠陥検査工程と、 ３）該転写シートの複数色からなる着色層上に接着剤層
を形成する接着剤層形成工程と、 ４）転写装置にて、上記欠陥検査工程から伝達された上
記転写シートにおける位置情報にもとずき、該転写シー
ト内の無欠陥部分のみを有する複数色からなる着色層の
該接着剤層側に透明基材を重ねる工程と、 ５）該接着剤層が任意の厚さになるよう加圧密着する工
程と、 ６）該接剤着層を光照射させる工程と、 ７）該連続したシート状基材を剥離する工程と、 ８）未硬化部分の該接着剤層をアルカリ現像除去する工
程、を具備し、無欠陥部分のみを有する複数色からなる
着色層を透明基材に転写することを特徴とするカラーフ
ィルタの製造方法である。According to the present invention, 1) a release layer having an adhesive property to the sheet-like substrate is formed on a continuous sheet-like substrate, and a plurality of colors are formed on the release layer. A) a transfer sheet forming step of forming a layer; and 2) a) an i-th angle (θ _i ) inclined from the normal to the surface of the colored layer of a plurality of colors on the transfer sheet in the traveling direction of the transfer sheet. the i light source provided in a position with (L _i), provided in the i-th angle (theta _i) inclined position in the opposite traveling direction of the transfer sheet, the angle of incidence from the i source (L _i) (i-th angle) (Θ
_i ), the light is incident on the surface of the colored layer and is reflected (i-th angle) (θ
_i ) an i-th light source / image input unit (L _i. ) comprising an _i- th image input unit (C _i ) corresponding to an _i- th light source (L _i ) that receives the i-th specularly reflected light regularly reflected by _i ). C _i ) for i = 1 to n
N pieces arranged in, b) is incident on the n-number of at least one angle of incidence (the i-angle from the i source (L _i) of the i in i) (theta _i) in the colored layer surface reflection The image information from the _i- th image input unit (C _i ) that has received the i-th specularly reflected light regularly reflected at the angle (i-th angle) (θ _i ), and the incident angle (the _i- th light source (L _i )) processing the image information from the image input units other than the _i- th image input unit (C _i ) which receives the i-th diffused reflected light which is incident on the surface of the colored layer and is irregularly reflected at (i angle) (θ _i ); Specifying a defective portion of the colored layer of a plurality of colors on the transfer sheet; c) recording positional information of the colored layer of the plurality of colors having a defective portion or having only a non-defective portion on the transfer sheet and recording the information on a transfer device; Transmitting a defect inspection process of the colored layer of the plurality of colors, and 3) bonding the colored layer of the transfer sheet on the colored layer of the plurality of colors. An adhesive layer forming step of forming a layer; and 4) a plurality of transfer apparatuses having only defect-free portions in the transfer sheet based on the position information in the transfer sheet transmitted from the defect inspection step in a transfer device. A step of laminating a transparent substrate on the adhesive layer side of a colored layer composed of a color; 5) a step of pressing and adhering the adhesive layer to an arbitrary thickness; and 6) a step of applying light to the adhesive layer. 7) a step of peeling off the continuous sheet-like base material, and 8) a step of removing the adhesive layer of the uncured portion by alkali development, from a plurality of colors having only defect-free portions. A method for producing a color filter, comprising transferring a colored layer to a transparent substrate.

【００１８】また、本発明は、上記発明によるカラーフ
ィルタの製造方法において、前記欠陥検査工程におけ
る、第ｉ正反射光を受光した第ｉ画像入力部（Ｃ_i ）と
して、ｎ個のｉから選択されたｉの画像入力部を用い、
欠陥を検出する着色層の色毎、欠陥の種類毎に、光源か
らの光の波長、光源からの光の偏光方向、画像入力方
法、画像情報の処理方法を変化させることを特徴とする
カラーフィルタの製造方法である。Further, according to the present invention, in the method for manufacturing a color filter according to the present invention, as the i-th image input section (C _i ) which receives the i-th regular reflection light in the defect inspection step, the i-th image input section is selected from n i. Using the image input unit of i
A color filter characterized by changing a wavelength of light from a light source, a polarization direction of light from a light source, an image input method, and a method of processing image information for each color of a colored layer for detecting a defect and for each type of a defect. It is a manufacturing method of.

【００１９】[0019]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。本発明によるカラーフィルタの製造方法に
おいては、シート状基材上に形成された着色層の異物や
色ムラ等の欠陥検査を精度よく、また効率よく行い、無
欠陥の着色層のみを透明基材上に転写することによっ
て、欠陥を含んだカラーフィルタが製造される確率をゼ
ロに近づけることが可能となるものである。これは、カ
ラーフィルタとして使用不能となるレベルの欠陥がある
着色層が高価な材料であるガラス等の透明基材に転写さ
れることにより、透明基材も使用不可となってしまうこ
とを回避するものであり、これにより廉価にカラーフィ
ルタを製造することができるものとなる。Embodiments of the present invention will be described below. In the method for producing a color filter according to the present invention, the color layer formed on the sheet-like substrate is inspected accurately and efficiently for defects such as foreign matter and color unevenness. By transferring to the upper side, the probability that a color filter including a defect is manufactured can be made close to zero. This prevents the transparent substrate from becoming unusable by transferring a colored layer having a defect at a level that renders it unusable as a color filter to a transparent substrate such as glass, which is an expensive material. Therefore, a color filter can be manufactured at a low cost.

【００２０】図１は、本発明における転写シートの一実
施例を示す断面図である。図１に示すように、転写シー
ト（１０）は、連続したシート状基材（１）上に下引き
層（１２）、剥離層（２）、及び着色層（７）が順次形
成されたものである。（３）、（４）、（５）、（６）
は、各々着色層（７）を構成する着色パターン（赤）、
着色パターン（緑）、着色パターン（青）、着色パター
ン（黒）を示している。FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the transfer sheet according to the present invention. As shown in FIG. 1, the transfer sheet (10) has a structure in which an undercoat layer (12), a release layer (2), and a coloring layer (7) are sequentially formed on a continuous sheet-like substrate (1). It is. (3), (4), (5), (6)
Are colored patterns (red) constituting the colored layer (7),
A coloring pattern (green), a coloring pattern (blue), and a coloring pattern (black) are shown.

【００２１】本発明におけるシート状基材（１）は、高
い効率でカラーフィルタの製造を行うため、転写を連続
して行えるようにロール状の形態のものを用いている。
また、シート状基材は、剥離層（２）の形成や、感光性
着色組成物の塗布、ベークや転写等のカラーフィルタ製
造工程に耐久性を有すると共に、形成した着色層（７）
を透明基材へ転写する工程に於いて、転写時の寸法精度
を維持する上から、透明基材と近似した熱膨張率である
ことが望ましい。さらに、着色層の転写後は、剥離層の
除去、洗浄等の再生工程によって再利用できることが、
コスト面から望ましい。In order to manufacture a color filter with high efficiency, the sheet-like substrate (1) in the present invention is in the form of a roll so that transfer can be continuously performed.
In addition, the sheet-shaped substrate has durability in a color filter manufacturing process such as formation of a release layer (2), application of a photosensitive coloring composition, baking and transfer, and formation of a colored layer (7).
In the step of transferring the transparent base material to the transparent base material, the thermal expansion coefficient is desirably similar to that of the transparent base material from the viewpoint of maintaining dimensional accuracy at the time of transfer. Furthermore, after the transfer of the colored layer, removal of the release layer, it can be reused by a regeneration process such as washing,
Desirable in terms of cost.

【００２２】上記の条件を満足するシート状基材として
は、ＬＣＤ用のガラス透明基材が熱膨張率４０×１０^-7
／℃程度の低膨張率ガラスであることから、ほぼ同等の
熱膨張率（４０×１０^-7／℃程度）を有する金属である
鉄〜ニッケル合金、例えば４２合金（ニッケル４２重量
％、残部鉄）、アンバー（ニッケル３６重量％、マンガ
ン微量、残部鉄）等の不透明な金属基材が適当である。
これらの金属板または金属箔は、各工程内での取り扱い
性から、板厚は０．１５ｍｍ以下、望ましくは０．０６
ｍｍ〜０．０９ｍｍである。さらに、鉄〜ニッケル合金
は、空気中で錆びにくく、保存性が良い点からも繰り返
し使用に適当である。As a sheet-like base material satisfying the above conditions, a glass transparent base material for LCDs has a coefficient of thermal expansion of 40 × 10 ^−7.
/ ° C, which is a low-expansion glass, so that it is a metal having substantially the same thermal expansion coefficient (approximately 40 × 10 ^-7 / ° C) as an iron-nickel alloy, for example, 42 alloy (nickel 42% by weight, balance iron ), Opaque metal bases such as amber (36% by weight of nickel, trace amount of manganese, balance iron) are suitable.
These metal plates or metal foils have a thickness of 0.15 mm or less, preferably 0.06 mm, in view of the ease of handling in each step.
mm to 0.09 mm. Further, the iron-nickel alloy is suitable for repeated use from the viewpoint that it hardly rusts in air and has good storage stability.

【００２３】シート状基材（１）を光沢化する手段とし
ては、基材の材質にもよるが、例えば、上記の不透明な
金属基材を用いた場合には、基材上にニッケルやクロ
ム、銀等の金属光沢を有する金属を、電解、若しくは無
電解メッキする方法や、バフ研磨やラップ研磨、電解研
磨等を施す方法が挙げられ、これらの方法を単独で若し
くは組み合わせて行うことで不透明な金属基材の表面の
光沢化が可能である。Means for making the sheet-like substrate (1) glossy depends on the material of the substrate. For example, when the above-mentioned opaque metal substrate is used, nickel or chromium , A method of electroless or electroless plating a metal having a metallic luster such as silver, and a method of performing buff polishing, lap polishing, electrolytic polishing, etc., and opaque by performing these methods alone or in combination. It is possible to make the surface of a metal substrate bright.

【００２４】下引き層（１２）は、必要に応じて設ける
ものであり、転写シート基材と良好な密着性を有すると
共に、剥離層とも良好な密着性を有することが必要なの
で、剥離層と近似した樹脂系を使用することが望まし
く、水溶性樹脂のカゼイン、ポリビニルアルコール、ヒ
ドロキシエチルセルロース等、溶剤可溶性樹脂のアクリ
ル系樹脂、酢酸ビニル系樹脂、ポリウレタン樹脂等が挙
げられる。The undercoat layer (12) is provided as needed and has good adhesion to the transfer sheet substrate and good adhesion to the release layer. It is desirable to use a similar resin system, and examples thereof include a water-soluble resin such as casein, polyvinyl alcohol, and hydroxyethyl cellulose, and a solvent-soluble resin such as an acrylic resin, a vinyl acetate resin, and a polyurethane resin.

【００２５】また，下引き層に酸化亜鉛、酸化チタン、
酸化アルミニウム、硫酸バリウム等の白色顔料や、硫化
亜鉛等の灰色系顔料を混合して分散するか、染料によっ
て着色して用いても良い。この時、顔料の混合や染料の
染色は剥離層、及び転写シート基材と密着性を阻害しな
い範囲で着色層の欠陥検査に十分な光学濃度が得られる
混合量や染色条件で行うことが必要である。Further, zinc oxide, titanium oxide,
A white pigment such as aluminum oxide or barium sulfate or a gray pigment such as zinc sulfide may be mixed and dispersed, or may be used after being colored by a dye. At this time, the mixing of the pigment and the dyeing of the dye need to be performed under the mixing amount and the dyeing conditions that can provide a sufficient optical density for the defect inspection of the release layer and the colored layer within a range that does not inhibit the adhesion to the transfer sheet substrate. It is.

【００２６】剥離層（２）は、着色層（７）の形成に用
いる感光性着色組成物の有機溶剤に耐性を有する高分子
膜であり、シート状基材（１）或いは下引き層（１２）
との良好な密着性を有すると共に、着色層の形成工程に
於いて着色層を剥離させない密着性と、シート状基材を
剥離する工程に於いては、着色層との密着力が転写され
る接着剤層へ接着力よりも低く設定されることが必要で
ある。また、転写シート（１０）の表面平滑化効果、及
び転写に際してガラス等の透明基材と転写シートとの密
着性維持のために弾性と柔軟性を有することが転写適性
から望ましい。また、剥離層としては表面が不活性で膜
硬度は高いことが望ましい。The release layer (2) is a polymer film having a resistance to an organic solvent of the photosensitive coloring composition used for forming the coloring layer (7), and is a sheet-like substrate (1) or a subbing layer (12). )
Has good adhesion with the adhesive layer, and in the step of forming the colored layer, the adhesiveness that does not peel off the colored layer, and in the step of peeling the sheet-like substrate, the adhesive force with the colored layer is transferred. It is necessary that the adhesive strength be set lower than the adhesive strength. Further, it is desirable from the viewpoint of transferability that the transfer sheet (10) has elasticity and flexibility for the purpose of smoothing the surface of the transfer sheet and maintaining the adhesion between the transparent substrate such as glass and the transfer sheet during transfer. Further, it is desirable that the surface of the release layer is inert and the film hardness is high.

【００２７】具体的には水溶性樹脂として、カゼイン、
ポリビニルアルコール、ヒドロキシエチルセルロース等
が挙げられる。また、溶剤可溶性樹脂としては、着色層
の形成に用いる感光性着色組成物の溶剤と異なる溶剤系
で使用されるアクリル系樹脂や、酢酸ビニル系樹脂、ま
た弾性のある樹脂としてポリウレタン樹脂、各種ゴム系
樹脂が挙げられるが、これらの樹脂に限定されるもので
はない。さらに、剥離性を向上させる目的でシリコーン
系、フッ素系界面活性剤を添加することも有効であり、
さらに、剥離層の機能を強化させる目的で、剥離性を強
化する硬化剤や、転写シート基材との密着性と柔軟性を
向上させる低融点の各種樹脂等を添加させても良い。剥
離層の膜厚としては、１０μｍ以上１００μｍ以下が好
ましい。Specifically, casein,
Examples include polyvinyl alcohol and hydroxyethyl cellulose. In addition, as the solvent-soluble resin, acrylic resins and vinyl acetate resins used in a solvent system different from the solvent of the photosensitive coloring composition used to form the coloring layer, polyurethane resins as elastic resins, and various rubbers Examples include, but are not limited to, these resins. Further, it is effective to add a silicone-based or fluorine-based surfactant for the purpose of improving the releasability,
Further, for the purpose of enhancing the function of the release layer, a curing agent for enhancing the releasability, various resins having a low melting point for improving the adhesion to the transfer sheet substrate and the flexibility, and the like may be added. The thickness of the release layer is preferably from 10 μm to 100 μm.

【００２８】剥離層を連続したシート状基材上に塗工す
る手段として、また、感光性着色組成物を剥離層上に塗
工する手段としては、混合／分散された各々の塗工液の
粘度特性に合致する塗工方法を選択して行えば良く、高
粘度の場合はロールコート法、リップコータ法等で、低
粘度の場合にはスプレーコート法、ダイコート法、グラ
ビアコート法等、塗工平坦性が良好な方法を適宜選択し
て用いれば良い。As means for applying the release layer on the continuous sheet-like base material and means for applying the photosensitive coloring composition on the release layer, each of the mixed / dispersed coating liquids is used. It is only necessary to select a coating method that matches the viscosity characteristics, such as a roll coating method or a lip coater method for a high viscosity, a spray coating method, a die coating method, a gravure coating method for a low viscosity. A method with good flatness may be appropriately selected and used.

【００２９】また、必要ならば感光性着色組成物に於け
る着色顔料の分散性を向上させるため、及び、塗工膜厚
を調整するため溶剤を加えて粘度を調整しても良い。溶
剤としては感光性着色組成物の溶剤成分、若しくは固形
成分と相溶性のあるものを単独もしくは混合して用いら
れる。If necessary, a solvent may be added to improve the dispersibility of the coloring pigment in the photosensitive coloring composition and to adjust the coating thickness, and the viscosity may be adjusted. As the solvent, those which are compatible with the solvent component or the solid component of the photosensitive coloring composition are used alone or in combination.

【００３０】複数色からなる着色層としては、例えば、
赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色からなるものがあ
げられ、各色の間にブラックマトリックス（着色パター
ン（黒）（６））を形成することは好ましい。着色層を
形成する感光性着色組成物は、必要な複数色の顔料若し
くは染料、アルカリ可溶性樹脂、エチレン性不飽和基を
有する光重合性化合物、光重合開始剤をその構成成分と
している。着色剤として使用される顔料若しくは染料
は、カラーフィルタとして必要な各色、赤色、緑色、青
色、黒色各々の色調を有する物を適宜選定し、アルカリ
可溶性樹脂及び、光重合性化合物と混合して用いる。各
色の顔料や染料の分光特性を補正し、要求される分光特
性に近似させるため、必要に応じて、青色顔料に紫色顔
料を混合したり、緑色顔料に黄色顔料を混合することで
分光特性を調整する。As a colored layer having a plurality of colors, for example,
Examples include three colors of red (R), green (G), and blue (B), and it is preferable to form a black matrix (colored pattern (black) (6)) between the colors. The photosensitive coloring composition for forming the coloring layer includes, as constituents thereof, necessary pigments or dyes of plural colors, an alkali-soluble resin, a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group, and a photopolymerization initiator. Pigments or dyes used as a colorant, each color required as a color filter, red, green, blue, appropriately selected one having a color tone of each black, alkali-soluble resin, and used by mixing with a photopolymerizable compound . To correct the spectral characteristics of pigments and dyes of each color and approximate the required spectral characteristics, the spectral characteristics can be adjusted by mixing violet pigments with blue pigments or yellow pigments with green pigments as necessary. adjust.

【００３１】一般に、染料の方が、カラーフィルタとし
て要求される分光特性と近似した分光特性を有するが、
着色材としての要求される耐光性や耐薬品性等の耐久性
を考慮すると顔料の使用が望ましい。青色顔料としては
フタロシアニン系顔料が、緑色顔料としてはグリーン化
させたフタロシアニン系顔料が、赤色顔料としてはアン
トラキノン系顔料が、黒色顔料としてはカーポンブラッ
クが一般に用いられる。これらは顔料便覧等に記載され
た公知の顔料が使用可能である。これらは、カラーフィ
ルタ用顔料として必要な分光特性内で、適切な透明度と
着色力を有し、耐熱性などの耐久性を兼ね備えているこ
とが望ましく、また、感光性着色組成物としても、適切
な粘度特性や塗布適性などが発現するよう、樹脂分等と
の相性を考慮して選定する。In general, dyes have spectral characteristics closer to those required for color filters,
Considering the required durability of the coloring material such as light resistance and chemical resistance, it is desirable to use a pigment. A phthalocyanine pigment is generally used as a blue pigment, a green phthalocyanine pigment is used as a green pigment, an anthraquinone pigment is used as a red pigment, and carpon black is used as a black pigment. As these, known pigments described in a pigment handbook and the like can be used. These preferably have appropriate transparency and coloring power within the spectral characteristics required as a color filter pigment, and preferably have both durability such as heat resistance, and are also suitable as a photosensitive coloring composition. The selection is made in consideration of the compatibility with the resin component and the like so as to exhibit high viscosity characteristics and application suitability.

【００３２】本発明に使用可能なアルカリ可溶性樹脂と
しては、（メタ）アクリル酸を含む（メタ）アクリル系
樹脂、ロジン系樹脂あるいはマレイン酸系樹脂などが用
いられる。ただし、アルカリ不溶性の樹脂でも、感光性
着色組成物の不揮発分中の１０重量％以下、好ましくは
５重量％以下となるように処理量を制限すれば、現像性
への影響は少ない。（メタ）アクリル樹脂は、アクリル
酸とメタクリル酸及びそれらのエステルのモノマーの単
体あるいは混合物の共重合体で、６０モル％以下のスチ
レン、酢酸ビニル、無水マレイン酸等のラジカル重合性
のモノマーとの共重合体も含まれる。しかし、多官能モ
ノマーとの共重合体のように、三次元架橋されたポリマ
ーは溶解性が劣るため本発明には適さない。上記マレイ
ン酸樹脂としては、酸価４０〜１６０のものが用いられ
るが、酸価８０以上のものが着色組成物としたときのア
ルカリ現像適性上から好ましい。As the alkali-soluble resin that can be used in the present invention, a (meth) acrylic resin containing (meth) acrylic acid, a rosin resin or a maleic acid resin is used. However, even with an alkali-insoluble resin, if the processing amount is limited to 10% by weight or less, preferably 5% by weight or less in the nonvolatile components of the photosensitive coloring composition, the effect on the developability is small. (Meth) acrylic resin is a copolymer of monomers of acrylic acid, methacrylic acid and their esters, or a mixture of monomers thereof, and is a copolymer of not more than 60 mol% of radically polymerizable monomers such as styrene, vinyl acetate and maleic anhydride. Copolymers are also included. However, a three-dimensionally crosslinked polymer, such as a copolymer with a polyfunctional monomer, has poor solubility and is not suitable for the present invention. As the maleic acid resin, those having an acid value of 40 to 160 are used, and those having an acid value of 80 or more are preferable from the viewpoint of alkali developing suitability when a colored composition is used.

【００３３】アルカリ現像に際しては、現像液として炭
酸ソーダ、苛性ソーダ等の水溶液が使用され、ジメチル
ベンジルアミン、トリエタノールアミン等の有機アルカ
リを用いることもできる。また、消泡剤や界面活性剤を
添加しても良い。At the time of alkali development, an aqueous solution of sodium carbonate, caustic soda or the like is used as a developing solution, and an organic alkali such as dimethylbenzylamine or triethanolamine can also be used. Further, an antifoaming agent or a surfactant may be added.

【００３４】本発明に使用される光重合性化合物は、フ
リーラジカル付加重合が可能な、または架橋可能なエチ
レン性不飽和基を有する化合物であって、１以上のエチ
レン性不飽和基、例えば、ビニル基またはアリル基を有
するモノマー、オリゴマー、または末端または側鎖にエ
チレン性不飽和基を有するポリマーである。その例とし
ては、アクリル酸及びその塩、アクリル酸エステル類、
アクリルアミド類、メタクリル酸及びその塩、メタクリ
ル酸エステル類、メタクリルアミド類、無水マレイン
酸、マレイン酸エステル類、イタコン酸エステル類、ス
チレン類、ビニルエーテル類、ビニルエステル類、Ｎ−
ビニル複素環類、アリルエーテル類、アリルエステル類
及びこれらの誘導体をあげることができる。The photopolymerizable compound used in the present invention is a compound having an ethylenically unsaturated group capable of undergoing free-radical addition polymerization or crosslinkable, and one or more ethylenically unsaturated groups, for example, It is a monomer or oligomer having a vinyl group or an allyl group, or a polymer having an ethylenically unsaturated group at a terminal or a side chain. Examples include acrylic acid and its salts, acrylic esters,
Acrylamides, methacrylic acid and its salts, methacrylic esters, methacrylamides, maleic anhydride, maleic esters, itaconic esters, styrenes, vinyl ethers, vinyl esters, N-
Examples include vinyl heterocycles, allyl ethers, allyl esters, and derivatives thereof.

【００３５】本発明に使用される光重合開始剤として
は、アセトフェノン系光開始剤、ベンゾイン系、ベンゾ
フェノン系光開始剤、チオキサンソン系光開始剤、トリ
アジン系光開始剤及びカルバゾール系光開始剤、イミダ
ゾール系光開始剤等の公知の化合物等を用いることが可
能である。The photopolymerization initiator used in the present invention includes acetophenone-based photoinitiator, benzoin-based, benzophenone-based photoinitiator, thioxanthone-based photoinitiator, triazine-based photoinitiator and carbazole-based photoinitiator, imidazole Known compounds such as a system photoinitiator can be used.

【００３６】上記光開始剤は単独あるいは２種以上混合
して用いるが、増感剤として、α−アシロキシムエステ
ル、アシルフォスフィンオキサイド、メチルフェニルグ
リオキシレート、ベンジル、９，１０−フェナンスレン
キノン、カンファーキノン、エチルアンスラキノン、
４，４’−ジエチルイソフタロフェノン、３，３’，
４，４’−テトラ（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）
ベンゾフェノン、４，４’−ジエチルアミノベンゾフェ
ノン等の化合物も用いることができる。The above photoinitiators may be used alone or as a mixture of two or more. As sensitizers, α-acyloxime esters, acylphosphine oxides, methylphenylglyoxylate, benzyl, 9,10-phenanthrene Quinone, camphorquinone, ethylanthraquinone,
4,4′-diethylisophthalophenone, 3,3 ′,
4,4'-tetra (t-butylperoxycarbonyl)
Compounds such as benzophenone and 4,4'-diethylaminobenzophenone can also be used.

【００３７】感光性着色組成物を製造する際、着色顔料
をアルカリ可溶性樹脂、及び多官能アクリルモノマーに
分散する手段としては、三本ロールミル、二本ロールミ
ル、サンドミル、ニーダー等の各種分散手段を使用でき
る。また、これらの分散を良好とするために、適宜、各
種界面活性剤、顔料の誘導体等の分散助剤を添加しても
良い。分散助剤は、顔料の分散に優れ、分散後の顔料の
再凝集を防止する効果が大きいので透明性に優れたカラ
ーフィルタが得られる。一般的に顔料分散剤と称される
化合物、例えば、界面活性剤、顔料誘導体、樹脂型分散
剤などが使用可能である。In producing the photosensitive coloring composition, various dispersing means such as a three-roll mill, a two-roll mill, a sand mill, and a kneader may be used as a means for dispersing the color pigment in the alkali-soluble resin and the polyfunctional acrylic monomer. it can. Further, in order to improve the dispersion, a dispersion aid such as various surfactants and pigment derivatives may be appropriately added. The dispersing aid is excellent in dispersing the pigment and has a large effect of preventing re-aggregation of the pigment after dispersion, so that a color filter having excellent transparency can be obtained. A compound generally called a pigment dispersant, for example, a surfactant, a pigment derivative, a resin-type dispersant, and the like can be used.

【００３８】図２は、本発明によるカラーフィルタの一
実施例を示す断面図である。図２に示すように、カラー
フィルタ（１１）は、透明基材（９）上に接着剤層
（８）、及び着色層（７）が形成されたものである。図
１に示す転写シート（１０）上に形成された着色層
（７）を、透明基材（９）上に転写する際に使用する接
着剤層（８）の材料となる接着剤は、無溶剤型接着剤が
好ましく、例えば、重合に必要なエチレン性不飽和基
と、アルカリ現像に必要なカルボキシル基を有するアル
カリ可溶性樹脂と、希釈モノマー、光増感剤及び添加剤
から構成されるものがあげられる。接着剤は、透明基材
への接着性と、着色層を転写シートから転写させる接着
力とを両立させる接着力特性と、未硬化部分がアルカリ
現像可能な特性を有していることが必要である。FIG. 2 is a sectional view showing an embodiment of the color filter according to the present invention. As shown in FIG. 2, the color filter (11) is obtained by forming an adhesive layer (8) and a colored layer (7) on a transparent substrate (9). There is no adhesive used as the material of the adhesive layer (8) used when the colored layer (7) formed on the transfer sheet (10) shown in FIG. 1 is transferred onto the transparent substrate (9). Solvent-type adhesives are preferred, for example, those composed of an ethylenically unsaturated group required for polymerization, an alkali-soluble resin having a carboxyl group required for alkali development, and a diluting monomer, a photosensitizer and an additive. can give. The adhesive is required to have an adhesive property for satisfying both the adhesive property to the transparent substrate and the adhesive force for transferring the colored layer from the transfer sheet, and the property that the uncured portion can be alkali-developed. is there.

【００３９】図３は、本発明におけるシート状基材
（１）上に形成された着色層（７）の欠陥を検査する欠
陥検査装置の一実施例の主要部を示す説明図である。図
３に示すように、この欠陥検査装置は、ｎ＝２の場合の
欠陥検査装置である。すなわち、第１光源（Ｌ₁ ）と第
１画像入力部（Ｃ₁ ）とで構成される第１光源・画像入
力部（Ｌ₁ ・Ｃ₁ ）と、第２光源（Ｌ₂ ）と第２画像入
力部（Ｃ₂ ）とで構成される第２光源・画像入力部（Ｌ
₂ ・Ｃ₂ ）との２個の光源・画像入力部、及び画像処理
部（Ｐ）で構成されている。FIG. 3 is an explanatory view showing a main part of one embodiment of a defect inspection apparatus for inspecting defects of the colored layer (7) formed on the sheet-like substrate (1) in the present invention. As shown in FIG. 3, this defect inspection apparatus is a defect inspection apparatus in the case where n = 2. That is, a first light source / image input unit (L ₁ · C ₁ ) composed of a first light source (L ₁ ) and a first image input unit (C ₁ ), a second light source (L ₂ ) and a second light source (L ₂ ) A second light source / image input unit (L) composed of an image input unit (C ₂ );
₂ · C ₂ ) and an image processing unit (P).

【００４０】光源は、例えば、ハロゲンランプやキセノ
ンランプ等から光ファイバを経て、転写シート上を楕円
状若しくは線状に照明するものや、レーザ光を線状に拡
大したものが使用できる。これらは、転写シート上に形
成された着色層からの反射光量や、ＣＣＤラインセンサ
やＣＣＤカメラ等撮像素子の光感度、及び分光感度に応
じて選択して用いる。例えば、斜めからの照明光の乱反
射を法線上の画像入力部（図示せず）で捉える場合に
は、十分な光量を得にくいので強力な光源と高感度の画
像入力部が必要となる。As the light source, for example, a light source that illuminates the transfer sheet in an elliptical shape or a linear shape from a halogen lamp or a xenon lamp via an optical fiber, or a light source in which a laser beam is linearly expanded can be used. These are selected and used in accordance with the amount of light reflected from the colored layer formed on the transfer sheet, the light sensitivity and the spectral sensitivity of an image sensor such as a CCD line sensor or a CCD camera. For example, when the diffuse reflection of illumination light obliquely is captured by an image input unit (not shown) on the normal line, it is difficult to obtain a sufficient amount of light, so a strong light source and a high-sensitivity image input unit are required.

【００４１】画像入力部としては、ＣＣＤラインセンサ
やカメラ、撮像管によるカメラなどが使用でき、高い光
感度と低ノイズ、高速応答性を有するものが望ましく画
像入力部に適合する出力を持つことが必要である。ま
た，転写シート上の着色層を画像入力部に取り込む際
に、一台のＣＣＤカメラ等で着色層全面を一度に取り込
むと、各色の着色層の各々に対してＣＣＤカメラ等の十
分な画素数が割り当てられないため、十分な画像情報量
が得られず、画像処理にて欠陥検出を十分に行うことが
困難となる。As the image input unit, a CCD line sensor, a camera, a camera using an image pickup tube, or the like can be used, and one having high light sensitivity, low noise, and high-speed response is desirable, and an output suitable for the image input unit is desirable. is necessary. Also, when the colored layer on the transfer sheet is taken into the image input unit, if the entire colored layer is taken in at once by one CCD camera or the like, a sufficient number of pixels of the CCD camera or the like for each colored layer can be obtained. Is not assigned, a sufficient amount of image information cannot be obtained, and it becomes difficult to sufficiently detect defects in image processing.

【００４２】この問題を解決するためには，近傍位置に
置かれた複数台のＣＣＤカメラで、着色層を分割して画
像検出した後に画像入力部で統合した画像とするか、或
いは十分に画素数の多い複数のラインセンサで着色層を
走査し、全面の画像を得れば良いが、特に後者の場合は
転写シート、若しくは複数のラインセンサからなる画像
入力部を移動させる手段を用いて，全面を走査すること
が必要となる。In order to solve this problem, it is necessary to divide the colored layer with a plurality of CCD cameras placed in the vicinity and detect the image, and then combine the images in the image input unit, or to obtain a sufficient number of pixels. It is sufficient to scan the colored layer with a large number of line sensors and obtain an image of the entire surface. In particular, in the latter case, a transfer sheet or a means for moving an image input unit including a plurality of line sensors is used. It is necessary to scan the entire surface.

【００４３】転写シートを移動させる手段としては、ボ
ールねじとモータによる移動ステージ等が挙げられ、画
像入力部の画像入力周期に合わせて移動させる。画像入
力部を移動させる場合は、移動ステージ上に複数設けら
れた光源との相対位置を維持したまま、転写シートに対
して画像入力周期に合わせて一定速度となるよう移動さ
せる必要があり、構造が複雑と成る傾向がある。As means for moving the transfer sheet, there is a moving stage using a ball screw and a motor, and the transfer sheet is moved in accordance with the image input cycle of the image input unit. When moving the image input unit, it is necessary to move the transfer sheet at a constant speed in accordance with the image input cycle while maintaining the relative position with the light sources provided on the moving stage. Tend to be complicated.

【００４４】欠陥検査装置で行われる欠陥部分の特定
は、ＣＣＤラインセンサやＣＣＤカメラ等の画像入力部
で、光源によって必要な明るさに照明された各色の着色
層を読みとり、画像処理装置で各色の着色層毎の比較
や、標準着色層と比較することによって異物等の欠陥を
検出する方法や、同様に読みとった各色の着色層の色濃
度に応じた画像出力の平均化処理やデジタルフィルタ処
理、２次微分処理等を施してた後、欠陥検出領域を設定
した閾値との比較からムラを検出する方法等があり、検
出する欠陥の種類に応じて各種の欠陥検出アルゴリズム
を有する画像処理装置を使用することが可能である。The defect inspection performed by the defect inspection apparatus is performed by reading a colored layer of each color illuminated to a required brightness by a light source with an image input unit such as a CCD line sensor or a CCD camera, and then performing an image processing on each color. A method for detecting defects such as foreign substances by comparing each colored layer with the standard colored layer, and averaging or digital filtering processing of image output according to the color density of each colored layer similarly read. Image processing apparatus having various defect detection algorithms according to the type of defect to be detected. It is possible to use

【００４５】図４、及び図５は、図３における第１光源
（Ｌ₁ ）と第１画像入力部（Ｃ₁ ）とで構成される第１
光源・画像入力部（Ｌ₁ ・Ｃ₁ ）、第２光源（Ｌ₂ ）と
第２画像入力部（Ｃ₂ ）とで構成される第２光源・画像
入力部（Ｌ₂ ・Ｃ₂ ）を拡大して示す説明図である。図
４、及び図５に示すように、転写シート上の着色層
（７）表面に立てた法線（Ｎ）から、転写シートの進行
方向（白太矢印）に第１角度（θ₁ ）傾けた位置に第１
光源（Ｌ₁ ）が設けられ、転写シートの逆進行方向に第
１角度（θ₁ ）傾けた位置に第１光源（Ｌ₁ ）から入射
角（第１角度）（θ₁ ）で着色層表面に入射され反射角
（第１角度）（θ₁ ）で正反射される第１正反射光を受
光する、第１光源（Ｌ₁ ）に対応した第１画像入力部
（Ｃ₁ ）が設けられ、この第１光源（Ｌ₁ ）と第１画像
入力部（Ｃ₁ ）とで第１光源・画像入力部（Ｌ₁ ・
Ｃ₁ ）が構成される。FIGS. 4 and 5 show the first light source (L ₁ ) and the first image input section (C ₁ ) in FIG.
A light source / image input unit (L ₁ · C ₁ ) and a second light source / image input unit (L ₂ · C ₂ ) composed of a second light source (L ₂ ) and a second image input unit (C ₂ ) FIG. As shown in FIG. 4 and FIG. 5, the first angle (θ ₁ ) is inclined from the normal line (N) set on the surface of the colored layer (7) on the transfer sheet in the direction of movement of the transfer sheet (thick white arrow). First position
A light source (L ₁ ) is provided, and the colored layer surface is provided at an angle of incidence (first angle) (θ ₁ ) from the first light source (L ₁ ) at a position inclined by a first angle (θ ₁ ) in the reverse traveling direction of the transfer sheet. And a first image input unit (C ₁ ) corresponding to the first light source (L ₁ ), which receives the first specularly reflected light that is incident on the light source and is specularly reflected at a reflection angle (first angle) (θ ₁ ). The first light source (L ₁ ) and the first image input unit (C ₁ ) form a first light source / image input unit (L _1.
C ₁ ).

【００４６】また、同様に、転写シートの進行方向（白
太矢印）に第２角度（θ₂ ）傾けた位置に第２光源（Ｌ
₂ ）が設けられ、転写シートの逆進行方向に第２角度
（θ₂）傾けた位置に第２光源（Ｌ₂ ）から入射角（第
２角度）（θ₂ ）で着色層表面に入射され反射角（第２
角度）（θ₂ ）で正反射される第１正反射光を受光す
る、第２光源（Ｌ₂ ）に対応した第２画像入力部
（Ｃ₂ ）が設けられ、この第２光源（Ｌ₂ ）と第２画像
入力部（Ｃ₂ ）とで第２光源・画像入力部（Ｌ₂ ・
Ｃ₂ ）が構成される。Similarly, the second light source (L) is located at a position inclined by a second angle (θ ₂ ) in the traveling direction of the transfer sheet (thick white arrow).
₂ ) is provided, and is incident on the surface of the coloring layer at an angle of incidence (second angle) (θ ₂ ) from the second light source (L ₂ ) at a position inclined by a second angle (θ ₂ ) in the reverse traveling direction of the transfer sheet. Reflection angle (2nd
Receiving the first regular reflection light is regularly reflected at an angle) (theta _2), the second image input unit corresponding to the second light source (L ₂₎ (C ₂₎ is provided, the second light source (L ₂ ) And the second image input unit (C ₂ ), the second light source / image input unit (L _2.
C ₂ ).

【００４７】そして、図４に示すように、例えば、第１
光源（Ｌ₁ ）から入射角（第１角度）（θ₁ ）で着色層
表面に入射され反射角（第１角度）（θ₁ ）で正反射さ
れる第１正反射光を受光した第１画像入力部（Ｃ₁ ）か
らの画像情報と、第１光源（Ｌ₁ ）から入射角（第１角
度）（θ₁ ）で着色層表面に入射され乱反射される第１
乱反射光（点線矢印）の一部を受光した第２画像入力部
（Ｃ₂ ）からの画像情報とを処理して着色層の欠陥部分
を特定する。Then, for example, as shown in FIG.
Light source (L ₁₎ of incidence angle from the (first angle) (theta ₁₎ at the reflection angle (first angle) is incident on the colored layer surface (theta ₁₎ the first having received a first positive reflected light specularly reflected The image information from the image input unit (C ₁ ) and the first light source (L ₁ ) which is incident on the surface of the colored layer at the incident angle (first angle) (θ ₁ ) and diffusely reflected from the first light source (L ₁ ).
By processing the image information from the second image input unit (C ₂ ) which has received a part of the irregularly reflected light (dotted arrow), a defective portion of the colored layer is specified.

【００４８】このように、第１乱反射光（点線矢印）の
一部を受光した第２画像入力部（Ｃ ₂ ）からの画像情報
を欠陥検出の処理に用いることにより、前述、着色層の
下の剥離層や不透明な基材からの反射光が、着色層から
の画像情報を妨害することを抑制し、異物欠陥、色濃度
差に起因する欠陥、色ムラ欠陥等の欠陥検出の精度、及
び効率を向上させることができるものとなる。As described above, the first irregularly reflected light (dotted arrow)
The second image input unit (C _TwoImage information from
Is used in the process of detecting a defect, so that
Reflected light from the underlying release layer or opaque substrate
To prevent interference with image information, foreign matter defects, color density
The accuracy of defect detection such as defects due to differences,
And efficiency can be improved.

【００４９】また、図５に示すように、例えば、第２光
源（Ｌ₂ ）から入射角（第２角度）（θ₂ ）で着色層表
面に入射され反射角（第２角度）（θ₂ ）で正反射され
る第２正反射光を受光した第２画像入力部（Ｃ₂ ）から
の画像情報と、第２光源（Ｌ ₂ ）から入射角（第２角
度）（θ₂ ）で着色層表面に入射され乱反射される第２
乱反射光（点線矢印）の一部を受光した第１画像入力部
（Ｃ₁ ）からの画像情報とを処理して着色層の欠陥部分
を特定するものである。As shown in FIG. 5, for example, the second light
Source (L_Two) To the incident angle (second angle) (θ_Two) With colored layer table
Incident on the surface and the reflection angle (second angle) (θ_Two) Specularly reflected
The second image input unit (C) receiving the second specularly reflected light_TwoFrom)
And the second light source (L _Two) To the incident angle (second angle)
Degrees) (θ_Two) Is incident on the colored layer surface and is irregularly reflected.
First image input unit that receives part of diffusely reflected light (dotted arrow)
(C₁) And processing of the image information from the defective part of the colored layer
Is specified.

【００５０】このように、照明する光源の位置を変更す
ることによって、図４に示す第１光源（Ｌ₁ ）からの照
明光にては検出が困難であった、例えば、着色層の表面
状態の差異など、検出に方向依存性のある着色層の欠陥
検出の精度を向上させることができるものとなる。As described above, by changing the position of the light source to be illuminated, it is difficult to detect with the illumination light from the first light source (L ₁ ) shown in FIG. And the like, it is possible to improve the accuracy of detecting a defect of a colored layer that has direction dependency in detection.

【００５１】また、欠陥の内容に対応させて、第１光源
・画像入力部（Ｌ₁ ・Ｃ₁ ）や第２光源・画像入力部
（Ｌ₂ ・Ｃ₂ ）などを選択して欠陥検出を行う際に、欠
陥を検出する着色層の色毎、欠陥の種類毎に、光源から
の光の波長、光源からの光の偏光方向、画像入力方法、
画像情報の処理方法を変化させることにより、色毎の反
射率の差を縮小させ、画像入力部からの色毎の画像情報
を平均化させて画像処理の精度を向上させることが可能
である。また、各着色層の周囲に形成されている黒色パ
ターンからの表面反射を低減させて、各着色層の欠陥検
出し易くすることが可能となる。さらに，検出したい欠
陥の種類毎に画像入力や処理方法を変えることで検出す
る精度を向上させることが可能となる。Further, the first light source / image input unit (L ₁ · C ₁ ) or the second light source / image input unit (L ₂ · C ₂ ) is selected in accordance with the content of the defect to detect the defect. When performing, for each color of the colored layer to detect defects, for each type of defect, the wavelength of light from the light source, the polarization direction of the light from the light source, image input method,
By changing the processing method of the image information, it is possible to reduce the difference in the reflectance for each color and average the image information for each color from the image input unit to improve the accuracy of the image processing. In addition, it is possible to reduce surface reflection from a black pattern formed around each colored layer, thereby making it easier to detect a defect in each colored layer. Further, the accuracy of detection can be improved by changing the image input and processing method for each type of defect to be detected.

【００５２】検出したい欠陥の種類によって、例えば、
光源や画像入力部に染色フィルタや干渉フィルタ等の波
長選択フィルタを設けると、特に、ＣＣＤラインセンサ
を用いる場合には、光感度が近赤外線側で高くなる傾向
があるのでセンサ出力が飽和する事無く、効率良くセン
サを使用する事が可能となる。また，転写シートの着色
層の各色の形状欠陥は、例えば、上記いずれかの光源・
画像入力部と、転写シートの法線上に設置したＣＣＤラ
インセンサからの出力を画像処理し欠陥を検出すれば良
いが、各色濃度のムラを検出したい場合には、色毎のセ
ンサ感度を合わせるように波長選択フィルタを併用する
ことが望ましい。また、着色層下の剥離層等が着色して
いる場合には、波長選択フィルタの併用が必須となる。Depending on the type of defect to be detected, for example,
If a wavelength selection filter such as a staining filter or an interference filter is provided in the light source or the image input unit, especially when a CCD line sensor is used, the light output tends to be higher on the near infrared side, so that the sensor output may be saturated. And the sensor can be used efficiently. Further, the shape defect of each color of the colored layer of the transfer sheet may be, for example, any one of the light sources and light sources described above.
It is sufficient to perform image processing on the output from the image input unit and the CCD line sensor installed on the normal line of the transfer sheet to detect defects, but if you want to detect unevenness in each color density, match the sensor sensitivity for each color. It is desirable to use a wavelength selection filter together. When the release layer below the colored layer is colored, it is necessary to use a wavelength selection filter in combination.

【００５３】[0053]

【実施例】以下に、本発明の実施例を挙げて詳細に説明
する。 ＜実施例１＞ （工程１）連続したシート状基材として、０．１１ｍｍ
の圧延４２合金（ニッケル４２重量％、残部鉄）板を選
定し、硫酸ニッケル、塩化ニッケルと硼酸からなるワッ
ト浴に浸漬し、２Ａ／ｄｍ² の条件で５分間のニッケル
メッキを行い、約２μｍのニッケル層を表面に形成し
た。下記組成からなる剥離層用塗液を三本ロールで混練
して調製し、ダイコータで塗布後、温風乾燥して層厚９
０μｍの剥離層が形成された転写シート製作した。 ＜剥離層用塗液の組成＞ デスモヘン６５１ （バイエル社製） １．２重量部 デスモジュールＮ−７５（バイエル社製） １．０重量部 フッ素系界面活性剤フロラードＦＣ−１７０ （住友スリーエム（株）製） ０．００５重量部The present invention will be described below in detail with reference to examples. <Example 1> (Step 1) As a continuous sheet-like substrate, 0.11 mm
Rolled 42 alloy (nickel 42% by weight, balance iron) plate was selected, immersed in a watt bath composed of nickel sulfate, nickel chloride and boric acid, and nickel-plated at ² A / dm ² for 5 minutes to obtain a thickness of about 2 μm. Was formed on the surface. A coating liquid for a release layer having the following composition was prepared by kneading with a three-roll mill, coated with a die coater, and dried with warm air to obtain a layer thickness of 9
A transfer sheet on which a release layer of 0 μm was formed was manufactured. <Composition of release layer coating liquid> Desmophen 651 (manufactured by Bayer) 1.2 parts by weight Desmodur N-75 (manufactured by Bayer) 1.0 part by weight Fluorosurfactant Florard FC-170 (Sumitomo 3M Ltd.) 0.005 parts by weight

【００５４】 （工程２） ＜アルカリ可溶性樹脂の調製＞ メタクリル酸ブチル ５５重量部 メタクリル酸メチル ２０重量部 ２−ヒドロキシエチルメタクリレート １５重量部 アクリル酸メチル １０重量部 を、シクロヘキサノンを溶媒として共重合させ、アルカ
リ可溶性樹脂が４０重量部、溶媒が６０重量部の比率に
なるよう調製した。(Step 2) <Preparation of Alkali-Soluble Resin> 55 parts by weight of butyl methacrylate 20 parts by weight of methyl methacrylate 15 parts by weight of 2-hydroxyethyl methacrylate 10 parts by weight of methyl acrylate are copolymerized using cyclohexanone as a solvent, It was prepared so that the ratio of the alkali-soluble resin was 40 parts by weight and the solvent was 60 parts by weight.

【００５５】 ＜感光性着色組成物の調製＞ アルカリ可溶性樹脂 １０重量部 多官能オリゴエステルアクリレート ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート ５重量部 光重合開始剤 トリクロロメチルＳ−トリアジン ０．５重量部 希釈溶剤 シクロヘサキノン ４５重量部 着色顔料（各色） ５重量部 各色顔料は、以下のカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）ナ
ンバーで示されたものを使用する。 赤色：Ｃ．Ｉ．赤色顔料１７７ 緑色：Ｃ．Ｉ．緑色顔料３６及びＣ．Ｉ．黄色顔料１３
９（９重量部：１重量部） 青色：Ｃ．Ｉ．青色顔料１５ 黒色：Ｃ．Ｉ．黒色顔料７ 上記の各組成物を混合した後、ビーズミル分散機で練肉
して、顔料が十分に分散された良好な分光特性を有する
各色の感光性着色組成物を調製した。<Preparation of photosensitive coloring composition> Alkali-soluble resin 10 parts by weight Polyfunctional oligoester acrylate dipentaerythritol hexaacrylate 5 parts by weight Photopolymerization initiator trichloromethyl S-triazine 0.5 parts by weight Diluent solvent cyclohesaquinone 45 parts by weight Part Color pigment (each color) 5 parts by weight As each color pigment, those shown by the following color index (CI) numbers are used. Red: C.I. I. Red pigment 177 Green: C.I. I. Green pigment 36 and C.I. I. Yellow pigment 13
9 (9 parts by weight: 1 part by weight) Blue: C.I. I. Blue pigment 15 Black: C.I. I. Black Pigment 7 After mixing each of the above compositions, the mixture was kneaded with a bead mill disperser to prepare a photosensitive coloring composition of each color having good spectral characteristics in which the pigment was sufficiently dispersed.

【００５６】（工程３）まず、黒色の感光性着色組成物
を、剥離層が形成された連続するシート状（ロール状に
巻き取った物）の４２合金板を巻き出し、均一な膜面と
なるようにダイコータで塗布した後、７０℃２０分間相
当の静置乾燥となるよう調整された乾燥炉を通過させ、
黒色の感光性着色組成物層を形成した。得られた感光性
着色組成物層の厚みは約１．５μｍで全面一様な膜厚を
有し、表面状態は平滑であった。(Step 3) First, the black photosensitive coloring composition is unwound from a continuous sheet-shaped (rolled-up) 42-alloy plate on which a release layer is formed, and a uniform film surface is formed. After being applied by a die coater, the mixture is passed through a drying oven adjusted to be left at 70 ° C. for 20 minutes for static drying.
A black photosensitive coloring composition layer was formed. The thickness of the obtained photosensitive coloring composition layer was about 1.5 μm, the entire surface had a uniform thickness, and the surface state was smooth.

【００５７】次に、縦２４０μｍ×幅８０μｍの開口部
と線幅６μｍの枠部分の繰り返しパターンが、黒色パタ
ーン（ブラックマトリクス）となるよう形成されたマス
クを、上記感光性着色組成物層に近接させ、超高圧水銀
灯により露光量４００ｍＪ／ｃｍ² の条件で露光した。
露光後、温度２０℃のアルカリ現像液を噴出圧力４．９
×１０⁵ Ｐａでスプレー現像を３０秒行い、未露光部位
の感光性着色組成物層を除去した。現像処理後の転写シ
ートを水切り、乾燥させた後、１５０℃２０分間相当の
加熱硬膜処理をした。硬膜後のパターン化された感光性
着色組成物層の厚みは約１．３μｍであった。Next, a mask formed so that a repetitive pattern of an opening having a length of 240 μm × a width of 80 μm and a frame portion having a line width of 6 μm becomes a black pattern (black matrix) is placed close to the photosensitive coloring composition layer. Then, exposure was performed with an ultrahigh pressure mercury lamp under the conditions of an exposure amount of 400 mJ / cm ² .
After exposure, an alkaline developing solution at a temperature of 20 ° C. was jetted at a pressure of 4.9.
Spray development was performed at × 10 ⁵ Pa for 30 seconds to remove the photosensitive coloring composition layer at the unexposed portion. The transfer sheet after the development treatment was drained and dried, and then subjected to a heat hardening treatment corresponding to 150 ° C. for 20 minutes. The thickness of the patterned photosensitive coloring composition layer after hardening was about 1.3 μm.

【００５８】同様にして製作された赤色、緑色、青色の
各色感光性着色組成物を、順次、ブラックマトリクスが
形成されたシート状基材上へ、塗工、乾燥、露光、加熱
の各処理を行い着色層を形成した。The red, green, and blue photosensitive coloring compositions produced in the same manner are sequentially coated, dried, exposed, and heated on a sheet substrate on which a black matrix is formed. Then, a colored layer was formed.

【００５９】（工程４）シート状基材上に形成された着
色層を、ライン状の細い照明光となるよう形成されてい
る光ファイバを通したキセノンランプ光で、法線から斜
め４５°、及び１０°から照明し、各角度の照明に対応
した正反射する位置に加えて、法線上にＣＣＤラインセ
ンサからなる画像入力部を設置し、１０°からの照明光
に対応する画像入力部は２台設置した。各ＣＣＤライン
センサには近赤外線カットフィルタを１０°からの照明
光に対応する位置の画像入力部の一方には６００〜７０
０ｎｍを透過するフィルタを取り付けた。(Step 4) The colored layer formed on the sheet-like base material is coated with a xenon lamp light passing through an optical fiber formed into thin linear illumination light at an angle of 45 ° from the normal line. Illuminated from 10 °, and in addition to the position of regular reflection corresponding to the illumination at each angle, an image input unit comprising a CCD line sensor is installed on the normal line, and the image input unit corresponding to the illumination light from 10 ° is Two were installed. Each CCD line sensor has a near-infrared cut filter on one of the image input sections at a position corresponding to illumination light from 10 °.
A filter transmitting 0 nm was attached.

【００６０】順次，色毎に，着色層を取り込んで欠陥検
査を行った所、ＣＣＤラインセンサからの出力信号は赤
色、緑色、青色の各部分とも１．０Ｖ以上の値で、後の
欠陥抽出の画像処理に十分な信号レベルであった。ま
た、各ＣＣＤラインセンサからの画像情報を組み合わせ
て各色の着色層の比較処理と、上記したムラ検出処理を
行った所、着色層の異物欠陥，表面形状異常による欠
陥，部分的な色濃度ムラをノイズによる検出誤差も無く
検出可能であった。検出された欠陥の位置情報を記録
し、欠陥のある着色層は次の転写工程で転写されないよ
う処置した。When the color layer was sequentially taken in for each color and the defect inspection was performed, the output signal from the CCD line sensor had a value of 1.0 V or more in each of the red, green and blue portions. The signal level was sufficient for image processing. Further, when the comparison processing of the color layers of each color is performed by combining the image information from the respective CCD line sensors and the above-described unevenness detection processing is performed, a foreign matter defect of the color layer, a defect due to abnormal surface shape, and a partial color density unevenness are observed. Could be detected without any detection error due to noise. The positional information of the detected defect was recorded, and treatment was performed so that the defective colored layer was not transferred in the next transfer step.

【００６１】 （工程５） ブチルメタクリレート ３重量部 アロニックスＭ−３０５（東亞合成化学工業（株）製） ２重量部 アロニックスＭ−４００（東亞合成化学工業（株）製） ５重量部 光重合開始剤イルガギュアー９０７ （チバガイギー社製） ０．２重量部 を混合して製作された光硬化型接着剤を、上記着色層が
形成されたシート状基材上に、ロールコーターで３μｍ
の厚さに塗布し、無溶剤型接着剤層を形成した。(Step 5) Butyl methacrylate 3 parts by weight Aronix M-305 (manufactured by Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.) 2 parts by weight Aronix M-400 (manufactured by Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.) 5 parts by weight Photopolymerization initiator Irgaguer 907 (manufactured by Ciba-Geigy) was mixed with 0.2 parts by weight, and the photocurable adhesive was applied to a sheet-like substrate on which the above-mentioned colored layer was formed by 3 μm using a roll coater.
To form a solventless adhesive layer.

【００６２】（工程６）転写装置にて、上記着色層の上
に無溶剤型接着剤層が形成された転写シートの内、欠陥
の無いを着色層をガラス基材（米国コーニング社製１７
３７（商品名））の所定の位置と貼り合わせ、加圧ロー
ラで加圧し無溶剤型接着剤層を１μｍの厚さにした後、
露光装置で着色パターン１ｃｍ周囲まで、金属マスクを
介在させて紫外光で６００ｍＪ／ｃｍ² の露光を行い無
溶剤型接着剤層を光硬化させた。さらに、剥離部でシー
ト状基材を剥離させ、着色層を剥離層の部分から剥離さ
せて光硬化させた接着剤層に転写させた。その後、ガラ
ス基材を高圧スプレーでアルカリ溶液で現像し、未硬化
の無溶剤型接着剤層を除去して、表面が平滑で異物やム
ラ欠陥の無い良好なカラーフィルタを得た。(Step 6) Using a transfer device, a transfer layer having a solvent-free adhesive layer formed on the above-mentioned coloring layer was replaced with a coloring layer having no defects by using a glass substrate (Corning Co., USA, 17).
37 (trade name)), and pressurized with a pressure roller to make the solventless adhesive layer 1 μm thick.
Exposure was performed to 600 mJ / cm ² with ultraviolet light through a metal mask to around 1 cm of the colored pattern using an exposure device, and the solvent-free adhesive layer was light-cured. Further, the sheet-like substrate was peeled off at the peeling portion, and the colored layer was peeled off from the peeling layer portion, and was transferred to the photocured adhesive layer. Thereafter, the glass substrate was developed with an alkali solution using a high-pressure spray, and the uncured solventless adhesive layer was removed to obtain a good color filter having a smooth surface and free from foreign matter and uneven defects.

【００６３】＜実施例２＞ （工程１）連続したシート状の不透明基材として、０．
１１ｍｍ圧延４２合金（ニッケル４２重量％、残部鉄）
板を選定し、下記組成の下引き層用塗液をダイコータで
塗工後温風乾燥して下引き層を形成した。 ＜下引き層用塗液の組成＞ 塗液；ＰＶＡ５００Ｎ (ユニオン化学工業社製) １５重量部 （鹸化度９９、重合度５００） 水 ８５重量部 酸化亜鉛 ＳＡＺＥＸ＃２０００ (堺化学社製) １重量部 を混合し，三本ロールで混練して下引き層の塗液とし
た。<Example 2> (Step 1) As a continuous sheet-shaped opaque substrate, 0.1%
11mm rolled 42 alloy (42% nickel, balance iron)
A plate was selected, and a coating liquid for an undercoat layer having the following composition was applied by a die coater and then dried with warm air to form an undercoat layer. <Composition of undercoat layer coating liquid> Coating liquid; PVA500N (manufactured by Union Chemical Industry Co., Ltd.) 15 parts by weight (degree of saponification 99, polymerization degree 500) water 85 parts by weight zinc oxide SAZEX # 2000 (manufactured by Sakai Chemical Company) 1 part by weight Were mixed and kneaded with three rolls to obtain a coating solution for the undercoat layer.

【００６４】さらに，下記組成の剥離層用塗液をダイコ
ータで塗工後温風乾燥して剥離層を形成した後、紫外線
を１Ｊ／ｃｍ² 照射し、さらに無水クロム酸の４％水溶
液に浸漬後温風乾燥して硬化された膜厚１０μｍの剥離
層を形成した。 ＜剥離層用塗液の組成＞ 塗液；ＰＶＡ５００Ｎ (ユニオン化学工業社製) １５重量部 （鹸化度９９、重合度５００） 水 ８５重量部 重クロム酸アンモニウム ０．９重量部Further, a coating solution for a release layer having the following composition was coated with a die coater and dried with warm air to form a release layer. The layer was irradiated with ultraviolet rays at 1 J / cm ² and further immersed in a 4% aqueous solution of chromic anhydride. Thereafter, a 10 μm-thick release layer cured by drying with warm air was formed. <Composition of release layer coating liquid> Coating liquid: PVA500N (manufactured by Union Chemical Industry Co., Ltd.) 15 parts by weight (saponification degree 99, polymerization degree 500) Water 85 parts by weight Ammonium dichromate 0.9 parts by weight

【００６５】以下の工程は実施例１と同様に行い、着剤
層が形成された転写シートを製作した。実施例１におけ
る工程４と同様の装置で、１０°からの照明光に対応す
る位置の画像入力部は１台とし、６００〜７００ｎｍを
透過するフィルタを取り付けず、かつ４５°からの照明
光の光源と画像入力部を取り外した。上記構成の装置
で、転写シート上に形成された着剤層の欠陥検査を行っ
た所、実施例１と同様の異物欠陥検査とムラ検査が可能
であった。The following steps were performed in the same manner as in Example 1 to produce a transfer sheet on which an adhesive layer was formed. In the same apparatus as in step 4 in Example 1, the number of image input units at positions corresponding to illumination light from 10 ° is one, no filter transmitting 600 to 700 nm is attached, and illumination light from 45 ° is attached. The light source and image input unit were removed. When a defect inspection of the adhesive layer formed on the transfer sheet was performed with the apparatus having the above-described configuration, the same foreign substance defect inspection and unevenness inspection as in Example 1 were possible.

【００６６】＜比較例１＞実施例１と同様の材料と工程
で着剤層が形成された転写シートを製作した。実施例１
における工程４と同様の装置で，４５°からの照明光の
光源と対応する画像入力部のみで、転写シート上に形成
された着剤層の欠陥検査を行った所、表面形状異常欠陥
の見逃し、色濃度ムラの検出不良、及び欠陥でない部分
を検出する誤検出も発生した。Comparative Example 1 A transfer sheet on which an adhesive layer was formed was manufactured using the same materials and processes as in Example 1. Example 1
When the defect inspection of the adhesive layer formed on the transfer sheet was performed using only the image input unit corresponding to the light source of the illuminating light from 45 ° using the same apparatus as in step 4 in the above, it was found that the surface shape was abnormal. In addition, there was a detection error of color density unevenness and an erroneous detection for detecting a non-defect portion.

【００６７】欠陥検査を行った転写シートを用い着剤層
をガラス基材に転写させてカラーフィルタを製作した
が、異物欠陥とムラのあるカラーフィルタが高い確率で
含まれており、転写前の欠陥検査の精度が著しく悪いこ
とが判明した。A color filter was manufactured by transferring the adhesive layer to a glass substrate using the transfer sheet subjected to the defect inspection. However, a color filter having foreign matter defects and unevenness was included with a high probability. It turned out that the accuracy of the defect inspection was extremely poor.

【００６８】[0068]

【発明の効果】本発明は、１）連続したシート状基材上
に着色層を形成する転写シート形成工程と、２）ａ）第
ｉ光源・画像入力部（Ｌ_i ・Ｃ_i ）をｉ＝１〜ｎのｎ個
配し、ｂ）第ｉ正反射光を受光した第ｉ画像入力部（Ｃ
_i ）からの画像情報と、第ｉ乱反射光を受光した第ｉ画
像入力部（Ｃ_i ）以外の画像入力部からの画像情報とを
処理して着色層の欠陥部分を特定し、ｃ）その位置情報
を記録し転写装置に伝達する、欠陥検査工程と、３）接
着剤層形成工程と、４）無欠陥部分のみを有する複数色
からなる着色層の該接着剤層側に透明基材を重ねる工程
と、５）加圧密着する工程と、６）光照射させる工程
と、７）シート状基材を剥離する工程と、８）未硬化部
分の該接着剤層をアルカリ現像除去する工程、からなる
無欠陥部分のみを有する複数色からなる着色層を透明基
材に転写するカラーフィルタの製造方法であるので、着
色層の下の剥離層や不透明な基材からの反射光が、着色
層からの画像情報を妨害することを抑制し、異物や色ム
ラ等の欠陥検出の精度、及び効率を向上させ、良品のみ
が透明基材へ転写されて製造収率の低下によるコスト高
を回避し廉価にカラーフィルタを製造することのできる
転写方式によるカラーフィルタの製造方法となる。According to the present invention, 1) a transfer sheet forming step of forming a colored layer on a continuous sheet-like substrate, and 2) a) i-th light source / image input section (L _i · C _i ) B) i-th image input unit (C) that receives i-th specular reflected light
_i ) and the image information from the image input units other than the _i- th image input unit (C _i ) that has received the i-th diffused reflected light to identify a defective portion of the colored layer; A defect inspection step of recording position information and transmitting it to a transfer device; 3) an adhesive layer forming step; and 4) a transparent base material on the adhesive layer side of a colored layer having a plurality of colors having only defect-free portions. 5) a step of applying light, 6) a step of irradiating light, 7) a step of peeling off the sheet-like substrate, and 8) a step of removing the uncured portion of the adhesive layer by alkali development. Since it is a method of manufacturing a color filter that transfers a colored layer having a plurality of colors having only defect-free portions to a transparent substrate, reflected light from a release layer below the colored layer or an opaque substrate is a colored layer. To prevent image information from being disturbed, and to accurately detect defects such as foreign matter and color unevenness. , And efficiency improves, the method of manufacturing a color filter by transfer method can only good to produce avoiding low cost color filter high cost due to reduced production yield is transferred to the transparent substrate.

【００６９】また、本発明は、第ｉ光源・画像入力部
（Ｌ_i ・Ｃ_i ）を選択して欠陥検査をする際に、欠陥を
検出する着色層の色毎、欠陥の種類毎に、光源からの光
の波長、光源からの光の偏光方向、画像入力方法、画像
情報の処理方法を変化させるので、色毎の反射率の差を
縮小させ、画像入力部からの色毎の画像情報を平均化さ
せて画像処理の精度を向上させることが可能である。ま
た、各着色層の周囲に形成されている黒色パターンから
の表面反射を低減させて、各着色層の欠陥検出し易くす
ることが可能となる。Further, according to the present invention, when the defect inspection is performed by selecting the i-th light source / image input section (L _i · C _i ), for each color of the colored layer for detecting the defect and for each type of the defect, Since the wavelength of the light from the light source, the polarization direction of the light from the light source, the image input method, and the processing method of the image information are changed, the difference in the reflectance for each color is reduced, and the image information for each color from the image input unit is reduced. Can be averaged to improve the accuracy of image processing. In addition, it is possible to reduce surface reflection from a black pattern formed around each colored layer, thereby making it easier to detect a defect in each colored layer.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明における転写シートの一実施例を示す断
面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing one embodiment of a transfer sheet according to the present invention.

【図２】本発明によるカラーフィルタの一実施例を示す
断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing an embodiment of a color filter according to the present invention.

【図３】本発明におけるシート状基材上に形成された着
色層の欠陥を検査する欠陥検査装置の一実施例の主要部
を示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing a main part of an embodiment of a defect inspection apparatus for inspecting a colored layer formed on a sheet-like substrate for defects according to the present invention.

【図４】第１光源・画像入力部と第２光源・画像入力部
を拡大して示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing an enlarged view of a first light source / image input unit and a second light source / image input unit;

【図５】第１光源・画像入力部と第２光源・画像入力部
を拡大して示す説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing an enlarged view of a first light source / image input unit and a second light source / image input unit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１・・・シート状基材 ２・・・剥離層 ３・・・着色パターン（赤） ４・・・着色パターン（緑） ５・・・着色パターン（青） ６・・・着色パターン（黒） ７・・・着色層 ８・・・接着剤層 ９・・・透明基材 １０・・転写シート １１・・カラーフィルタ １２・・下引き層 θ_i ・・・第ｉ角度 Ｌ_i ・Ｃ_i ・・・第ｉ光源・画像入力部 Ｌ_i ・・・第ｉ光源 Ｃ_i ・・・第ｉ画像入力部 Ｐ・・・画像処理部DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Sheet-like base material 2 ... Release layer 3 ... Colored pattern (red) 4 ... Colored pattern (green) 5 ... Colored pattern (blue) 6 ... Colored pattern (black) 7 i-th angular ... coloring layer 8 ... adhesive layer 9 ... transparent substrate 10 ... transfer sheet 11 ... color filter 12 ... underlayer theta _i ... L _i · C _i · ... i-th light source, the image input unit L _i · · · i-th light source C _i · · · i-th image input unit P · · · image processing unit

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】１）連続したシート状基材上に該シート状
基材との接着性を有する剥離層を形成し、該剥離層上に
複数色からなる着色層を形成する転写シート形成工程
と、 ２）ａ）該転写シート上の複数色からなるの着色層表面
に立てた法線から、該転写シートの進行方向に第ｉ角度
（θ_i ）傾けた位置に設けた第ｉ光源（Ｌ_i ）と、該転
写シートの逆進行方向に第ｉ角度（θ_i ）傾けた位置に
設けた、第ｉ光源（Ｌ_i ）から入射角（第ｉ角度）（θ
_i ）で該着色層表面に入射され反射角（第ｉ角度）（θ
_i ）で正反射される第ｉ正反射光を受光する第ｉ光源
（Ｌ_i ）に対応した第ｉ画像入力部（Ｃ_i ）とで構成さ
れる第ｉ光源・画像入力部（Ｌ_i ・Ｃ_i ）をｉ＝１〜ｎ
のｎ個配し、 ｂ）上記ｎ個のｉの中の少なくとも１個のｉの第ｉ光源
（Ｌ_i ）から入射角（第ｉ角度）（θ_i ）で該着色層表
面に入射され反射角（第ｉ角度）（θ_i ）で正反射され
る第ｉ正反射光を受光した第ｉ画像入力部（Ｃ_i ）から
の画像情報と、第ｉ光源（Ｌ_i ）から入射角（第ｉ角
度）（θ_i ）で該着色層表面に入射され乱反射される第
ｉ乱反射光を受光した第ｉ画像入力部（Ｃ_i ）以外の画
像入力部からの画像情報とを処理して、該転写シート上
の複数色からなる着色層の欠陥部分を特定し、 ｃ）欠陥部分を有する又は無欠陥部分のみを有する該複
数色からなる着色層の上記転写シートにおける位置情報
を記録し転写装置に伝達する、該複数色からなる着色層
の欠陥検査工程と、 ３）該転写シートの複数色からなる着色層上に接着剤層
を形成する接着剤層形成工程と、 ４）転写装置にて、上記欠陥検査工程から伝達された上
記転写シートにおける位置情報にもとずき、該転写シー
ト内の無欠陥部分のみを有する複数色からなる着色層の
該接着剤層側に透明基材を重ねる工程と、 ５）該接着剤層が任意の厚さになるよう加圧密着する工
程と、 ６）該接剤着層を光照射させる工程と、 ７）該連続したシート状基材を剥離する工程と、 ８）未硬化部分の該接着剤層をアルカリ現像除去する工
程、を具備し、無欠陥部分のみを有する複数色からなる
着色層を透明基材に転写することを特徴とするカラーフ
ィルタの製造方法。1. A transfer sheet forming step of forming a release layer having an adhesive property with the sheet substrate on a continuous sheet substrate, and forming a colored layer of a plurality of colors on the release layer. And 2) a) an i-th light source (i.e., a light source provided at a position inclined at an _i- th angle (θ _i ) with respect to the direction of travel of the transfer sheet from a normal to the surface of the colored layer of a plurality of colors on the transfer sheet. L _i ) and an incident angle (i-th angle) (θ) from an _i- th light source (L _i ) provided at a position inclined at an _i- th angle (θ _i ) in the reverse traveling direction of the transfer sheet.
_i ), the light is incident on the surface of the colored layer and is reflected (i-th angle) (θ
_i ) an i-th light source / image input unit (L _i. ) comprising an _i- th image input unit (C _i ) corresponding to an _i- th light source (L _i ) that receives the i-th specularly reflected light regularly reflected by _i ). C _i ) for i = 1 to n
N pieces arranged in, b) is incident on the n-number of at least one angle of incidence (the i-angle from the i source (L _i) of the i in i) (theta _i) in the colored layer surface reflection The image information from the _i- th image input unit (C _i ) that has received the i-th specularly reflected light regularly reflected at the angle (i-th angle) (θ _i ), and the incident angle (the _i- th light source (L _i )) processing the image information from the image input units other than the _i- th image input unit (C _i ) which receives the i-th diffused reflected light which is incident on the surface of the colored layer and is irregularly reflected at (i angle) (θ _i ); Specifying a defective portion of the colored layer of a plurality of colors on the transfer sheet; c) recording positional information of the colored layer of the plurality of colors having a defective portion or having only a non-defective portion on the transfer sheet and recording the information on a transfer device; Transmitting a defect inspection process of the colored layer of the plurality of colors, and 3) bonding the colored layer of the transfer sheet on the colored layer of the plurality of colors. An adhesive layer forming step of forming a layer; and 4) a plurality of transfer apparatuses having only defect-free portions in the transfer sheet based on the position information in the transfer sheet transmitted from the defect inspection step in a transfer device. A step of laminating a transparent substrate on the adhesive layer side of a colored layer composed of a color; 5) a step of pressing and adhering the adhesive layer to an arbitrary thickness; and 6) a step of applying light to the adhesive layer. 7) a step of peeling off the continuous sheet-like base material, and 8) a step of removing the adhesive layer of the uncured portion by alkali development, from a plurality of colors having only defect-free portions. A method for producing a color filter, comprising transferring a colored layer to a transparent substrate. 【請求項２】前記欠陥検査工程における、第ｉ正反射光
を受光した第ｉ画像入力部（Ｃ_i ）として、ｎ個のｉか
ら選択されたｉの画像入力部を用い、欠陥を検出する着
色層の色毎、欠陥の種類毎に、光源からの光の波長、光
源からの光の偏光方向、画像入力方法、画像情報の処理
方法を変化させることを特徴とする請求項１記載のカラ
ーフィルタの製造方法。2. In the defect inspection step, a defect is detected by using an i-th image input unit selected from n-th _i as an _i- th image input unit (C _i ) that has received the i-th regular reflection light. 2. The color according to claim 1, wherein the wavelength of the light from the light source, the polarization direction of the light from the light source, the image input method, and the image information processing method are changed for each color of the colored layer and for each type of defect. Manufacturing method of filter.