JP2001347440A - 主軸振れ精度診断機能を備えたnc工作機械 - Google Patents
主軸振れ精度診断機能を備えたnc工作機械Info
- Publication number
- JP2001347440A JP2001347440A JP2000169960A JP2000169960A JP2001347440A JP 2001347440 A JP2001347440 A JP 2001347440A JP 2000169960 A JP2000169960 A JP 2000169960A JP 2000169960 A JP2000169960 A JP 2000169960A JP 2001347440 A JP2001347440 A JP 2001347440A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spindle
- displacement
- run
- machine tool
- accuracy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
- B23Q17/22—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring existing or desired position of tool or work
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/406—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by monitoring or safety
- G05B19/4065—Monitoring tool breakage, life or condition
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37242—Tool signature, compare pattern with detected signal
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37374—Deflection
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/49—Nc machine tool, till multiple
- G05B2219/49177—Runout, eccentricity, unbalance of tool or workpiece
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
- Numerical Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】主軸の振れ精度を随時チェックすることができ
るようになったNC工作機械を提供する。 【解決手段】NC工作機械1の加工領域内の基台上に変
位検出手段22を配設する。変位検出手段22によって
検出された変位量から主軸の振れ量を算出し、算出され
た振れ量を予め定められた許容値と比較して、主軸の振
れ精度を診断する振れ精度診断手段8を設ける。テスト
ツールを主軸に装着し、これを軸中心に回転させて、テ
ストツール外周面の変位を変位検出手段22によって検
出し、検出された変位量を基に、振れ精度診断手段8に
よって主軸の振れ精度を診断する。テストツールを変位
検出手段22の検出領域内に移動させるという、単純且
つ簡単な作業により、主軸の振れ精度を診断することが
できる。
るようになったNC工作機械を提供する。 【解決手段】NC工作機械1の加工領域内の基台上に変
位検出手段22を配設する。変位検出手段22によって
検出された変位量から主軸の振れ量を算出し、算出され
た振れ量を予め定められた許容値と比較して、主軸の振
れ精度を診断する振れ精度診断手段8を設ける。テスト
ツールを主軸に装着し、これを軸中心に回転させて、テ
ストツール外周面の変位を変位検出手段22によって検
出し、検出された変位量を基に、振れ精度診断手段8に
よって主軸の振れ精度を診断する。テストツールを変位
検出手段22の検出領域内に移動させるという、単純且
つ簡単な作業により、主軸の振れ精度を診断することが
できる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、工具を保持して回
転させる主軸を備え、主軸とワークとの相対移動を数値
制御するように構成されたNC工作機械であって、主軸
の振れ精度を診断できるように構成されたNC工作機械
に関する。
転させる主軸を備え、主軸とワークとの相対移動を数値
制御するように構成されたNC工作機械であって、主軸
の振れ精度を診断できるように構成されたNC工作機械
に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】上述し
た主軸の振れ精度は、加工穴の位置精度や内径寸法、或
いはその真円度といった加工精度に直接影響を与えるた
め、通常、かかる振れ精度は、工作機械メーカからユー
ザに向けて出荷される前に検査され、所定の基準値を満
たすように調整されている。
た主軸の振れ精度は、加工穴の位置精度や内径寸法、或
いはその真円度といった加工精度に直接影響を与えるた
め、通常、かかる振れ精度は、工作機械メーカからユー
ザに向けて出荷される前に検査され、所定の基準値を満
たすように調整されている。
【0003】この出荷前の検査方法としては、高精度に
仕上げられた外周面を持つ円柱状のテストツール、或い
は真球を軸に取り付けたテストツールを主軸穴のテーパ
部に装着し、これを軸中心に回転させて、前記テストツ
ール外周面の変位を測定し、測定された変位量からテス
トツールの振れを検出するといった方法が一般的に採用
されている。また、この他に、主軸端の軸心に、小径の
放物面鏡を取り付け、光軸を軸心近傍に合わせるように
セットした顕微鏡からの光を放物面鏡に反射させ、反射
光を顕微鏡に取り込んでフィルム上に撮影した結果か
ら、軸心の振れを求めるといった方法も知られている。
仕上げられた外周面を持つ円柱状のテストツール、或い
は真球を軸に取り付けたテストツールを主軸穴のテーパ
部に装着し、これを軸中心に回転させて、前記テストツ
ール外周面の変位を測定し、測定された変位量からテス
トツールの振れを検出するといった方法が一般的に採用
されている。また、この他に、主軸端の軸心に、小径の
放物面鏡を取り付け、光軸を軸心近傍に合わせるように
セットした顕微鏡からの光を放物面鏡に反射させ、反射
光を顕微鏡に取り込んでフィルム上に撮影した結果か
ら、軸心の振れを求めるといった方法も知られている。
【0004】通常、これらの検査装置はNC工作機械と
は別に設けられ、上述した出荷前の検査に使用されてい
る。したがって、ユーザ側で主軸の振れ精度を測定する
場合には、当該ユーザは上記検査装置を自身で別途用意
しなければならなかった。
は別に設けられ、上述した出荷前の検査に使用されてい
る。したがって、ユーザ側で主軸の振れ精度を測定する
場合には、当該ユーザは上記検査装置を自身で別途用意
しなければならなかった。
【0005】ところで、NC工作機械が加工に使用され
ると、主軸の振れ精度は、主軸を支持するベアリングな
どの経年劣化によって、出荷当初の状態から徐々に悪化
して行く。したがって、ユーザ側では、定期的に主軸の
振れ精度を検査して、加工不良の発生や機械の故障を未
然に防止するのが好ましい。また、現在では、加工の高
速化が進み、主軸も数万回転(min−1)で回転され
るようになっている。このため、主軸の低速時に検出さ
れる静的な振れのみならず、主軸を高速回転させたとき
の動的な振れについても検査するのが好ましい。
ると、主軸の振れ精度は、主軸を支持するベアリングな
どの経年劣化によって、出荷当初の状態から徐々に悪化
して行く。したがって、ユーザ側では、定期的に主軸の
振れ精度を検査して、加工不良の発生や機械の故障を未
然に防止するのが好ましい。また、現在では、加工の高
速化が進み、主軸も数万回転(min−1)で回転され
るようになっている。このため、主軸の低速時に検出さ
れる静的な振れのみならず、主軸を高速回転させたとき
の動的な振れについても検査するのが好ましい。
【0006】ところが、一般的に言って、ユーザ側では
上記のような検査装置の製作費用が高額となることか
ら、上記のような専用の検査装置をユーザ自身が用意す
るのは甚だ困難であった。
上記のような検査装置の製作費用が高額となることか
ら、上記のような専用の検査装置をユーザ自身が用意す
るのは甚だ困難であった。
【0007】そこで、ユーザ側では、通常、上述したよ
うなテストツールを主軸に装着し、ダイヤルゲージなど
のインジケータを用い、その測定子をテストツールの外
周面に押し当てた後、主軸を緩やかに回転させて、テス
トツールの振れを測定するといった方法により、主軸の
振れ精度を測定していた。
うなテストツールを主軸に装着し、ダイヤルゲージなど
のインジケータを用い、その測定子をテストツールの外
周面に押し当てた後、主軸を緩やかに回転させて、テス
トツールの振れを測定するといった方法により、主軸の
振れ精度を測定していた。
【0008】しかしながら、ダイヤルゲージなどのイン
ジケータはその検出精度が2μm〜10μm程度であ
り、振れ検出器としては、明らかに不十分である。した
がって、このようなインジケータで日々定期的な検査を
行ったとしても、さほど検査結果に変化が現れるわけで
はない。このため、ユーザは煩わしい検査作業を敬遠し
て、定期的な検査を行わない傾向にあり、加工不良を生
じた後、その原因究明のために主軸の振れ精度を検査す
るといったことが多かった。
ジケータはその検出精度が2μm〜10μm程度であ
り、振れ検出器としては、明らかに不十分である。した
がって、このようなインジケータで日々定期的な検査を
行ったとしても、さほど検査結果に変化が現れるわけで
はない。このため、ユーザは煩わしい検査作業を敬遠し
て、定期的な検査を行わない傾向にあり、加工不良を生
じた後、その原因究明のために主軸の振れ精度を検査す
るといったことが多かった。
【0009】本発明は以上の実情に鑑みなされたもので
あって、主軸の振れ精度を随時チェックすることができ
るようになったNC工作機械の提供を目的とする。
あって、主軸の振れ精度を随時チェックすることができ
るようになったNC工作機械の提供を目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段及びその効果】上記課題を
解決するための、本発明の請求項1に係る発明は、工具
を保持して回転させる主軸を備え、主軸とワークとの相
対移動を数値制御するように構成されたNC工作機械で
あって、加工領域内の基台上に配設されてなり、前記主
軸に装着され、且つ軸中心に回転せしめられるテストツ
ール外周面の変位を検出する変位検出手段と、前記変位
検出手段によって検出された変位量から主軸の振れ量を
算出し、算出された振れ量を予め定められた許容値と比
較して、前記主軸の振れ精度を診断する振れ精度診断手
段とを設けて構成したことを特徴とする。
解決するための、本発明の請求項1に係る発明は、工具
を保持して回転させる主軸を備え、主軸とワークとの相
対移動を数値制御するように構成されたNC工作機械で
あって、加工領域内の基台上に配設されてなり、前記主
軸に装着され、且つ軸中心に回転せしめられるテストツ
ール外周面の変位を検出する変位検出手段と、前記変位
検出手段によって検出された変位量から主軸の振れ量を
算出し、算出された振れ量を予め定められた許容値と比
較して、前記主軸の振れ精度を診断する振れ精度診断手
段とを設けて構成したことを特徴とする。
【0011】この発明によれば、まず、主軸に装着され
たテストツールが、手動若しくは自動運転によってその
外周面が変位検出手段の検出領域内に位置するように移
動せしめられる。次いで、テストツールが軸中心に回転
せしめられ、その外周面の変位が加工領域内の基台上に
配設された変位検出手段によって検出される。そして、
検出された変位量を基にして、振れ精度診断手段によっ
て主軸の振れ量が算出され、算出された振れ量を予め定
められた許容値と比較することによって主軸の振れ精度
が診断される。
たテストツールが、手動若しくは自動運転によってその
外周面が変位検出手段の検出領域内に位置するように移
動せしめられる。次いで、テストツールが軸中心に回転
せしめられ、その外周面の変位が加工領域内の基台上に
配設された変位検出手段によって検出される。そして、
検出された変位量を基にして、振れ精度診断手段によっ
て主軸の振れ量が算出され、算出された振れ量を予め定
められた許容値と比較することによって主軸の振れ精度
が診断される。
【0012】このように、この発明によれば、主軸に装
着されたテストツールを、その外周面が変位検出手段の
検出領域内に位置するように移動させるという、極めて
単純且つ簡単な作業により、主軸の振れ精度を診断する
ことができる。したがって、NC工作機械を使用する者
が、日常的な作業の中で随時楽に定期的な振れ精度診断
を行うことができ、このような定期的な振れ精度診断を
行うことで、加工不良の発生や機械の故障を未然に防止
することが可能となる。
着されたテストツールを、その外周面が変位検出手段の
検出領域内に位置するように移動させるという、極めて
単純且つ簡単な作業により、主軸の振れ精度を診断する
ことができる。したがって、NC工作機械を使用する者
が、日常的な作業の中で随時楽に定期的な振れ精度診断
を行うことができ、このような定期的な振れ精度診断を
行うことで、加工不良の発生や機械の故障を未然に防止
することが可能となる。
【0013】また、請求項2に係る発明は、上記請求項
1に記載した発明における前記変位検出手段が、前記テ
ストツールが挿入される挿入孔を備えた本体と、検出部
が前記挿入孔内に突出した状態で前記本体に取り付けら
れた非接触式の変位検出センサとから構成されてなり、
前記本体が前記基台に固設され、前記テストツールが前
記挿入孔に挿入された状態でその変位が前記非接触式の
変位検出センサによって検出されるように構成されてな
る。
1に記載した発明における前記変位検出手段が、前記テ
ストツールが挿入される挿入孔を備えた本体と、検出部
が前記挿入孔内に突出した状態で前記本体に取り付けら
れた非接触式の変位検出センサとから構成されてなり、
前記本体が前記基台に固設され、前記テストツールが前
記挿入孔に挿入された状態でその変位が前記非接触式の
変位検出センサによって検出されるように構成されてな
る。
【0014】この発明によれば、本体の挿入孔内にテス
トツールを挿入した状態でその変位が検出されるように
構成されているので、テストツールを挿入孔に挿入させ
るだけで、変位検出センサに対して適正な位置に当該テ
ストツールを正確に位置決めすることができる。したが
って、テストツールを手動で移動させて位置決めする際
の作業が容易となり、しかも、テストツールを正確に位
置決めすることでその変位量を高精度に検出することが
可能となる。
トツールを挿入した状態でその変位が検出されるように
構成されているので、テストツールを挿入孔に挿入させ
るだけで、変位検出センサに対して適正な位置に当該テ
ストツールを正確に位置決めすることができる。したが
って、テストツールを手動で移動させて位置決めする際
の作業が容易となり、しかも、テストツールを正確に位
置決めすることでその変位量を高精度に検出することが
可能となる。
【0015】また、本発明の請求項3に係る発明は、上
記請求項2に記載した発明における前記変位検出手段
が、少なくとも2つの非接触式変位検出センサを備えて
なり、該少なくとも2つの非接触式変位検出センサの変
位検出方向が相互に直交するように設けられてなる。
記請求項2に記載した発明における前記変位検出手段
が、少なくとも2つの非接触式変位検出センサを備えて
なり、該少なくとも2つの非接触式変位検出センサの変
位検出方向が相互に直交するように設けられてなる。
【0016】主軸の振れは、その回転中心を中心として
均等に振れた状態ばかりではなく、一方向に偏って振れ
た状態となっていることがある。この場合に、1つの変
位検出センサによってテストツールの変位量を検出する
ようにすると、変位量の少ない位置に変位検出センサが
位置していると、テストツール、即ち、主軸の振れを正
確に検出することができない。この発明によれば、少な
くとも2つの変位検出センサの検出方向が相互に直交す
るように設けられているので、上記のように主軸が偏っ
て振れている場合でも、これを必ずどちらか一方の変位
検出センサによって検出することができ、したがって、
このような場合でも、主軸の振れを正確に検出すること
ができる。
均等に振れた状態ばかりではなく、一方向に偏って振れ
た状態となっていることがある。この場合に、1つの変
位検出センサによってテストツールの変位量を検出する
ようにすると、変位量の少ない位置に変位検出センサが
位置していると、テストツール、即ち、主軸の振れを正
確に検出することができない。この発明によれば、少な
くとも2つの変位検出センサの検出方向が相互に直交す
るように設けられているので、上記のように主軸が偏っ
て振れている場合でも、これを必ずどちらか一方の変位
検出センサによって検出することができ、したがって、
このような場合でも、主軸の振れを正確に検出すること
ができる。
【0017】また、本発明の請求項4に係る発明は、上
記請求項2に記載した発明における前記変位検出手段
が、検出部が相互に対向するように配設された2個1対
の非接触式変位検出センサを2対備えてなり、各対の非
接触式変位検出センサの変位検出方向が相互に直交する
ように設けられてなる。
記請求項2に記載した発明における前記変位検出手段
が、検出部が相互に対向するように配設された2個1対
の非接触式変位検出センサを2対備えてなり、各対の非
接触式変位検出センサの変位検出方向が相互に直交する
ように設けられてなる。
【0018】この発明によれば、検出部が相互に対向す
るように配設された2個1対の非接触式変位検出センサ
の2対を、その変位検出方向が相互に直交するように設
けているので、主軸の振れを更に正確に検出することが
できる。
るように配設された2個1対の非接触式変位検出センサ
の2対を、その変位検出方向が相互に直交するように設
けているので、主軸の振れを更に正確に検出することが
できる。
【0019】また、本発明の請求項5に係る発明は、上
記請求項1乃至4記載した発明における前記振れ精度診
断手段が、前記主軸の低速回転時の静的振れ精度と、高
速回転時の動的振れ精度とを診断するように構成されて
なる。
記請求項1乃至4記載した発明における前記振れ精度診
断手段が、前記主軸の低速回転時の静的振れ精度と、高
速回転時の動的振れ精度とを診断するように構成されて
なる。
【0020】上述したように、現在では加工の高速化が
進み、主軸を数万回転(min−1)といった回転速度
で回転させるようになってきており、主軸を低速で回転
させたときの静的な振れのみならず、主軸を高速で回転
させたときの動的な振れについても検査するのが好まし
い。この発明によれば、前記主軸の低速回転時の静的振
れ精度と、高速回転時の動的振れ精度とを診断すること
ができるので、主軸の振れ精度について上記高速化に対
応した診断を行うことができる。尚、ここで言う低速回
転とは、100min−1程度までの回転速度であり、
安定した変位を測定するためには100min−1以下
であるのが好ましい。また、高速回転とは、上記低速回
転より高い回転速度での回転を意味するが、その回転速
度は、制御装置が充分サンプリングできる範囲内におい
てできるだけ高い回転速度であるのが好ましく、主軸の
固有振動数に近い回転速度が、測定条件が厳しくなるこ
とから好ましい。
進み、主軸を数万回転(min−1)といった回転速度
で回転させるようになってきており、主軸を低速で回転
させたときの静的な振れのみならず、主軸を高速で回転
させたときの動的な振れについても検査するのが好まし
い。この発明によれば、前記主軸の低速回転時の静的振
れ精度と、高速回転時の動的振れ精度とを診断すること
ができるので、主軸の振れ精度について上記高速化に対
応した診断を行うことができる。尚、ここで言う低速回
転とは、100min−1程度までの回転速度であり、
安定した変位を測定するためには100min−1以下
であるのが好ましい。また、高速回転とは、上記低速回
転より高い回転速度での回転を意味するが、その回転速
度は、制御装置が充分サンプリングできる範囲内におい
てできるだけ高い回転速度であるのが好ましく、主軸の
固有振動数に近い回転速度が、測定条件が厳しくなるこ
とから好ましい。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施形態
について、添付図面に基づき説明する。尚、図1は、本
実施形態に係るNC工作機械の概略構成を示したブロッ
ク図である。
について、添付図面に基づき説明する。尚、図1は、本
実施形態に係るNC工作機械の概略構成を示したブロッ
ク図である。
【0022】上記図1に示すように、本例のNC工作機
械1は、数値制御装置2,制御回路13,送り機構部1
4,主軸装置15,ATC装置16,操作盤17やCR
T18、並びに図2乃至図4に示した変位検出手段20
などを備えてなる。
械1は、数値制御装置2,制御回路13,送り機構部1
4,主軸装置15,ATC装置16,操作盤17やCR
T18、並びに図2乃至図4に示した変位検出手段20
などを備えてなる。
【0023】前記変位検出手段20は、図2に示すよう
に、テーブル19などの基台上に固設された本体21
と、この本体21に取り付けられた変位検出センサ22
からなる。尚、この変位検出センサ22には、渦電流方
式,静電容量式,或いは赤外線,X線,γ線方式などに
よる非接触式の変位検出センサを用いた。
に、テーブル19などの基台上に固設された本体21
と、この本体21に取り付けられた変位検出センサ22
からなる。尚、この変位検出センサ22には、渦電流方
式,静電容量式,或いは赤外線,X線,γ線方式などに
よる非接触式の変位検出センサを用いた。
【0024】また、前記本体21は、中心部に挿入孔2
1aを備えた環状の部材からなり、主軸装置15に装着
されたテストツールTをこの挿入孔21aに挿入するこ
とができるようになっている。また、図3及び図4に示
すように、本体21には、その外周面から挿入孔21a
の中心に向けて貫通する4つの貫通孔21bが円周方向
等角度に形成されており、これら各貫通孔21bに前記
変位検出センサ22が嵌挿され、その検出部が挿入孔2
1a内に突出した状態で本体21に取り付けられてい
る。尚、変位検出センサ22は、前記挿入孔21a内に
挿入されたテストツールTと、その検出部が接触しない
ようになっている。また、図1に示すように、各変位検
出センサ22は制御回路13を介して前記数値制御装置
2に接続しており、各変位検出センサ22によって検出
された変位データが数値制御装置2に入力されるように
なっている。
1aを備えた環状の部材からなり、主軸装置15に装着
されたテストツールTをこの挿入孔21aに挿入するこ
とができるようになっている。また、図3及び図4に示
すように、本体21には、その外周面から挿入孔21a
の中心に向けて貫通する4つの貫通孔21bが円周方向
等角度に形成されており、これら各貫通孔21bに前記
変位検出センサ22が嵌挿され、その検出部が挿入孔2
1a内に突出した状態で本体21に取り付けられてい
る。尚、変位検出センサ22は、前記挿入孔21a内に
挿入されたテストツールTと、その検出部が接触しない
ようになっている。また、図1に示すように、各変位検
出センサ22は制御回路13を介して前記数値制御装置
2に接続しており、各変位検出センサ22によって検出
された変位データが数値制御装置2に入力されるように
なっている。
【0025】また、前記テストツールTは、図5に示す
ように、主軸のテーパ穴に装着されるテーパシャンク部
Tbと、真円度及び前記テーパシャンク部Tbに対する
同軸度が高精度に仕上げられた円柱部Taとからなり、
図示しない工具マガジンに格納され、前記ATC装置1
6によって工具マガジンから移送され、主軸に装着され
るようになっている。
ように、主軸のテーパ穴に装着されるテーパシャンク部
Tbと、真円度及び前記テーパシャンク部Tbに対する
同軸度が高精度に仕上げられた円柱部Taとからなり、
図示しない工具マガジンに格納され、前記ATC装置1
6によって工具マガジンから移送され、主軸に装着され
るようになっている。
【0026】図1に示すように、前記数値制御装置2
は、加工プログラム実行部3,主軸制御部4,送り制御
部5,ATC制御部6,振れ精度診断部8,表示制御部
9,データ記憶部10や、入出力インターフェース12
などを備えてなる。尚、加工プログラム実行部3,主軸
制御部4,送り制御部5,ATC制御部6,振れ精度診
断部8及び表示制御部9は、CPU,ROM,RAMな
どから構成され、データ記憶部10は補助記憶装置から
構成される。
は、加工プログラム実行部3,主軸制御部4,送り制御
部5,ATC制御部6,振れ精度診断部8,表示制御部
9,データ記憶部10や、入出力インターフェース12
などを備えてなる。尚、加工プログラム実行部3,主軸
制御部4,送り制御部5,ATC制御部6,振れ精度診
断部8及び表示制御部9は、CPU,ROM,RAMな
どから構成され、データ記憶部10は補助記憶装置から
構成される。
【0027】前記加工プログラム実行部3は、予め格納
された加工プログラムを解析して実行する処理部であ
り、加工プログラム中の主軸回転,送り速度,移動位置
や工具交換などに関する指令を抽出し、主軸装置15の
回転に関する指令を主軸制御部4に送信し、送り機構部
14の送り速度や移動位置に関する指令を送り制御部5
に送信し、工具交換に関する指令をATC制御部6に送
信する。主軸制御部4,送り制御部5及びATC制御部
6は、加工プログラム実行部3からの指令を受信して、
それぞれ制御信号を生成し、これを入出力インターフェ
ース12及び制御回路13を介して、それぞれ送り機構
部14,主軸装置15,ATC装置16に送信して、そ
の作動を制御する。また、表示制御部9は入出力インタ
ーフェース12を介してCRT18と接続し、CRT1
8における表示を制御する。尚、通常、CRT18には
各送り機構部14の座標位置や加工プログラムなどが表
示される。
された加工プログラムを解析して実行する処理部であ
り、加工プログラム中の主軸回転,送り速度,移動位置
や工具交換などに関する指令を抽出し、主軸装置15の
回転に関する指令を主軸制御部4に送信し、送り機構部
14の送り速度や移動位置に関する指令を送り制御部5
に送信し、工具交換に関する指令をATC制御部6に送
信する。主軸制御部4,送り制御部5及びATC制御部
6は、加工プログラム実行部3からの指令を受信して、
それぞれ制御信号を生成し、これを入出力インターフェ
ース12及び制御回路13を介して、それぞれ送り機構
部14,主軸装置15,ATC装置16に送信して、そ
の作動を制御する。また、表示制御部9は入出力インタ
ーフェース12を介してCRT18と接続し、CRT1
8における表示を制御する。尚、通常、CRT18には
各送り機構部14の座標位置や加工プログラムなどが表
示される。
【0028】また、前記振れ精度診断部8は、図6に示
した手順の処理を実行するための診断プログラムを備え
ており、この診断プログラムを解析して、これを実行す
る処理を行う。
した手順の処理を実行するための診断プログラムを備え
ており、この診断プログラムを解析して、これを実行す
る処理を行う。
【0029】具体的には、操作盤17から診断実行信号
が入力されると、振れ精度診断部8は図6に示した処理
を開始し、まず、工具マガジンに格納されたテストツー
ルTを主軸に装着する指令をATC制御部6に送信し、
このATC制御部6による制御の下で前記ATC装置1
6を駆動し、テストツールTを主軸に装着させる(ステ
ップS1)。
が入力されると、振れ精度診断部8は図6に示した処理
を開始し、まず、工具マガジンに格納されたテストツー
ルTを主軸に装着する指令をATC制御部6に送信し、
このATC制御部6による制御の下で前記ATC装置1
6を駆動し、テストツールTを主軸に装着させる(ステ
ップS1)。
【0030】次に、テストツールTを前記本体21の挿
入孔21a内に挿入させるべく、前記送り制御部5に移
動指令を送信し、この送り制御部5による制御の下で前
記送り機構部14を駆動し、テストツールTを前記本体
21の挿入孔21a内に挿入させる(ステップS2)。
入孔21a内に挿入させるべく、前記送り制御部5に移
動指令を送信し、この送り制御部5による制御の下で前
記送り機構部14を駆動し、テストツールTを前記本体
21の挿入孔21a内に挿入させる(ステップS2)。
【0031】次に、前記主軸制御部4に主軸を低速で回
転させる指令を送信し、この主軸制御部4による制御の
下で前記主軸装置15を駆動し、テストツールTの装着
された主軸を低速で回転させる(ステップS3)。尚、
ここで言う低速回転とは、100min−1程度までの
回転速度であり、安定した変位を測定するためには10
0min−1以下であるのが好ましい。
転させる指令を送信し、この主軸制御部4による制御の
下で前記主軸装置15を駆動し、テストツールTの装着
された主軸を低速で回転させる(ステップS3)。尚、
ここで言う低速回転とは、100min−1程度までの
回転速度であり、安定した変位を測定するためには10
0min−1以下であるのが好ましい。
【0032】次に、前記4つの変位検出センサ22から
入力される変位データを所定時間サンプリングしてデー
タ記憶部10に格納する処理を行った後、各変位検出セ
ンサ22毎に、これらによって検出された変位データの
最大値と最小値との差をとって変位量を算出する。そし
て、最も大きい変位量を静的振れδsとしてデータ記憶
部10に格納する(ステップS4)。
入力される変位データを所定時間サンプリングしてデー
タ記憶部10に格納する処理を行った後、各変位検出セ
ンサ22毎に、これらによって検出された変位データの
最大値と最小値との差をとって変位量を算出する。そし
て、最も大きい変位量を静的振れδsとしてデータ記憶
部10に格納する(ステップS4)。
【0033】次に、前記主軸制御部4に主軸を高速で回
転させる指令を送信して、主軸を高速で回転させる(ス
テップS5)。尚、ここで言う高速回転とは、上述した
低速回転より高い回転速度での回転を意味するが、その
回転速度は、数値制御装置2が充分サンプリングできる
範囲内においてできるだけ高い回転速度であるのが好ま
しく、主軸の固有振動数に近い回転速度が、測定条件が
厳しくなることから好ましい。
転させる指令を送信して、主軸を高速で回転させる(ス
テップS5)。尚、ここで言う高速回転とは、上述した
低速回転より高い回転速度での回転を意味するが、その
回転速度は、数値制御装置2が充分サンプリングできる
範囲内においてできるだけ高い回転速度であるのが好ま
しく、主軸の固有振動数に近い回転速度が、測定条件が
厳しくなることから好ましい。
【0034】次に、上記ステップS4と同様に、4つの
変位検出センサ22から入力される変位データを所定時
間サンプリングしてデータ記憶部10に格納する処理を
行った後、各変位検出センサ22毎に、これらによって
検出された変位データの最大値と最小値との差をとって
変位量を算出する。そして、最も大きい変位量を動的振
れδdとしてデータ記憶部10に格納する(ステップS
6)。
変位検出センサ22から入力される変位データを所定時
間サンプリングしてデータ記憶部10に格納する処理を
行った後、各変位検出センサ22毎に、これらによって
検出された変位データの最大値と最小値との差をとって
変位量を算出する。そして、最も大きい変位量を動的振
れδdとしてデータ記憶部10に格納する(ステップS
6)。
【0035】次に、予めデータ記憶部10に格納された
静的振れの基準値δs0と算出された静的振れδsとを
比較し(ステップS7)、δsがδs0よりも小さいと
判断された場合には次ステップに進み、同じく予めデー
タ記憶部10に格納された動的振れの基準値δd0と算
出された動的振れδdとを比較して(ステップS8)、
δdがδd0よりも小さいと判断された場合には、正常
である旨の出力を行う(ステップS9)。一方、ステッ
プS7においてδsがδs0以上であると判断された場
合、及びステップS8においてδdがδd0以上である
と判断された場合には、異常である旨の出力を行う(ス
テップS10)。尚、ステップS9及びステップS10
における出力は、表示制御部9に送信され、この表示制
御部9によってCRT18に正常又は異常の表示がなさ
れる。
静的振れの基準値δs0と算出された静的振れδsとを
比較し(ステップS7)、δsがδs0よりも小さいと
判断された場合には次ステップに進み、同じく予めデー
タ記憶部10に格納された動的振れの基準値δd0と算
出された動的振れδdとを比較して(ステップS8)、
δdがδd0よりも小さいと判断された場合には、正常
である旨の出力を行う(ステップS9)。一方、ステッ
プS7においてδsがδs0以上であると判断された場
合、及びステップS8においてδdがδd0以上である
と判断された場合には、異常である旨の出力を行う(ス
テップS10)。尚、ステップS9及びステップS10
における出力は、表示制御部9に送信され、この表示制
御部9によってCRT18に正常又は異常の表示がなさ
れる。
【0036】そして、このようにして静的振れ及び動的
振れに関する診断を行った後、再び、前記送り制御部5
に移動指令を送信し、前記送り機構部14を駆動してテ
ストツールTを原位置に復帰させた後(ステップS1
1)、工具交換指令をATC制御部6に送信して前記A
TC装置16を駆動し、テストツールTを工具マガジン
内に格納して(ステップS12)、診断処理を終了す
る。
振れに関する診断を行った後、再び、前記送り制御部5
に移動指令を送信し、前記送り機構部14を駆動してテ
ストツールTを原位置に復帰させた後(ステップS1
1)、工具交換指令をATC制御部6に送信して前記A
TC装置16を駆動し、テストツールTを工具マガジン
内に格納して(ステップS12)、診断処理を終了す
る。
【0037】斯くして、以上の構成を備えた本例のNC
工作機械1によれば、振れ精度診断用のテストツールが
自動的に主軸に装着されて測定位置に移動せしめられた
後、自動的に振れ精度の診断が行われ、その結果がCR
T18に表示される。したがって、NC工作機械1を使
用する者が、日常的な作業の中で、主軸の定期的な振れ
精度診断を随時且つ手軽に行うことが可能であり、この
ような定期的な振れ精度診断を行うことで、加工不良の
発生や機械の故障を未然に防止することが可能となる。
工作機械1によれば、振れ精度診断用のテストツールが
自動的に主軸に装着されて測定位置に移動せしめられた
後、自動的に振れ精度の診断が行われ、その結果がCR
T18に表示される。したがって、NC工作機械1を使
用する者が、日常的な作業の中で、主軸の定期的な振れ
精度診断を随時且つ手軽に行うことが可能であり、この
ような定期的な振れ精度診断を行うことで、加工不良の
発生や機械の故障を未然に防止することが可能となる。
【0038】また、主軸の振れは、その回転中心を中心
として均等に振れた状態ばかりではなく、一方向に偏っ
て振れた状態となっていることがあるが、本例では、4
つの変位検出センサ22を円周方向等角度に配置してい
るので、即ち、各変位検出センサ22の検出方向が相互
に直交するように配置しているので、前記のように主軸
が偏って振れている場合でも、これを必ずいずれかの変
位検出センサ22によって検出することができ、上記の
ような場合であっても、主軸の振れを確実に検出するこ
とができる。
として均等に振れた状態ばかりではなく、一方向に偏っ
て振れた状態となっていることがあるが、本例では、4
つの変位検出センサ22を円周方向等角度に配置してい
るので、即ち、各変位検出センサ22の検出方向が相互
に直交するように配置しているので、前記のように主軸
が偏って振れている場合でも、これを必ずいずれかの変
位検出センサ22によって検出することができ、上記の
ような場合であっても、主軸の振れを確実に検出するこ
とができる。
【0039】また、本例では、前記主軸を低速で回転さ
せた時の静的な振れと、高速で回転させた時の動的な振
れについて診断するするようにしているので、主軸の高
速化に対応した診断を行うことができる。
せた時の静的な振れと、高速で回転させた時の動的な振
れについて診断するするようにしているので、主軸の高
速化に対応した診断を行うことができる。
【0040】以上、本発明の一実施形態について説明し
たが、本発明の採り得る具体的な態様がこれに限られる
ものでないことは言うまでもなく、例えば、上記の例で
は、テストツールTの主軸への装着や、測定位置への移
動を自動的に行うように構成したが、これらを手動操作
により行うようにしても良い。この場合、テストツール
Tを本体21の挿入孔21a内に挿入させるようにして
いるので、変位検出センサ22に対し適正な位置にテス
トツールTを正確に位置決めすることができる。また、
変位検出センサ22の設置数も1以上であれば上例のも
のには限られない。
たが、本発明の採り得る具体的な態様がこれに限られる
ものでないことは言うまでもなく、例えば、上記の例で
は、テストツールTの主軸への装着や、測定位置への移
動を自動的に行うように構成したが、これらを手動操作
により行うようにしても良い。この場合、テストツール
Tを本体21の挿入孔21a内に挿入させるようにして
いるので、変位検出センサ22に対し適正な位置にテス
トツールTを正確に位置決めすることができる。また、
変位検出センサ22の設置数も1以上であれば上例のも
のには限られない。
【図1】本発明の一実施形態に係るNC工作機械の概略
構成を示したブロック図である。
構成を示したブロック図である。
【図2】本実施形態に係る変位検出手段をテーブル上に
固設した状態を示す斜視図である。
固設した状態を示す斜視図である。
【図3】本実施形態に係る変位検出手段を示した平面図
である。
である。
【図4】図3における矢視I−I方向の断面図である。
【図5】本実施形態において使用するテストツールを示
した平面図である。
した平面図である。
【図6】本実施形態に係る振れ精度診断部における処理
を示したフローチャートである。
を示したフローチャートである。
1 NC工作機械 2 数値制御装置 4 主軸制御部 5 送り制御部 6 ATC制御部 8 振れ精度診断部 10 データ記憶部 14 送り機構部 15 主軸装置 16 ATC装置 20 変位検出手段 21 本体 22 変位検出センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 赤松 良昭 奈良県大和郡山市北郡山町106番地 株式 会社森精機製作所内 (72)発明者 藤嶋 誠 奈良県大和郡山市北郡山町106番地 株式 会社森精機製作所内 Fターム(参考) 3C001 KA07 3C029 EE02 EE20 5H269 AB01 BB11 MM07 NN07
Claims (5)
- 【請求項1】 工具を保持して回転させる主軸を備え、
主軸とワークとの相対移動を数値制御するように構成さ
れたNC工作機械であって、 加工領域内の基台上に配設されてなり、前記主軸に装着
され、且つ軸中心に回転せしめられるテストツール外周
面の変位を検出する変位検出手段と、 前記変位検出手段によって検出された変位量から主軸の
振れ量を算出し、算出された振れ量を予め定められた許
容値と比較して、前記主軸の振れ精度を診断する振れ精
度診断手段とを設けて構成したことを特徴とする主軸振
れ精度診断機能を備えたNC工作機械。 - 【請求項2】 前記変位検出手段が、前記テストツール
が挿入される挿入孔を備えた本体と、検出部が前記挿入
孔内に突出した状態で前記本体に取り付けられた非接触
式の変位検出センサとから構成されてなり、前記本体が
前記基台に固設され、前記テストツールが前記挿入孔に
挿入された状態でその変位が前記非接触式の変位検出セ
ンサによって検出されるように構成されてなる請求項1
記載の主軸振れ精度診断機能を備えたNC工作機械。 - 【請求項3】 前記変位検出手段が、少なくとも2つの
非接触式変位検出センサを備えてなり、該少なくとも2
つの非接触式変位検出センサの変位検出方向が相互に直
交するように設けられてなる請求項2記載の主軸振れ精
度診断機能を備えたNC工作機械。 - 【請求項4】 前記変位検出手段が、検出部が相互に対
向するように配設された2個1対の非接触式変位検出セ
ンサを2対備えてなり、各対の非接触式変位検出センサ
の変位検出方向が相互に直交するように設けられてなる
請求項2記載の主軸振れ精度診断機能を備えたNC工作
機械。 - 【請求項5】 前記振れ精度診断手段が、前記主軸の低
速回転時の静的振れ精度と、高速回転時の動的振れ精度
とを診断するように構成されてなる請求項1乃至4記載
のいずれかの主軸振れ精度診断機能を備えたNC工作機
械。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000169960A JP2001347440A (ja) | 2000-06-07 | 2000-06-07 | 主軸振れ精度診断機能を備えたnc工作機械 |
US09/870,464 US6752031B2 (en) | 2000-06-07 | 2001-06-01 | NC machine tool having spindle run-out diagnosing function |
DE60113593T DE60113593T2 (de) | 2000-06-07 | 2001-06-06 | Numerisch gesteuerte Werkzeugmaschine mit System zur Erkennung der Radialabweichung der Spindel |
EP01112931A EP1162030B1 (en) | 2000-06-07 | 2001-06-06 | NC machine tool having spindle run-out diagnosing function |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000169960A JP2001347440A (ja) | 2000-06-07 | 2000-06-07 | 主軸振れ精度診断機能を備えたnc工作機械 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001347440A true JP2001347440A (ja) | 2001-12-18 |
Family
ID=18672740
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000169960A Pending JP2001347440A (ja) | 2000-06-07 | 2000-06-07 | 主軸振れ精度診断機能を備えたnc工作機械 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6752031B2 (ja) |
EP (1) | EP1162030B1 (ja) |
JP (1) | JP2001347440A (ja) |
DE (1) | DE60113593T2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100368149C (zh) * | 2004-04-26 | 2008-02-13 | 发那科株式会社 | 数值控制机床 |
JP2011189459A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Howa Mach Ltd | ツールホルダ装着異常検出方法及び工作機械 |
CN103644875A (zh) * | 2013-11-19 | 2014-03-19 | 重庆机床(集团)有限责任公司 | 一种动态主轴回转精度检测装置 |
TWI672571B (zh) * | 2014-06-13 | 2019-09-21 | 美商克萊譚克公司 | 用於監測一晶圓檢驗配方隨著時間經過之穩定性之方法,系統及非暫態電腦可讀媒體 |
JP2020055052A (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-09 | シチズン時計株式会社 | 工作機械及びその作動方法 |
JP2020170392A (ja) * | 2019-04-04 | 2020-10-15 | ファナック株式会社 | 数値制御装置及び数値制御システム |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002079439A (ja) * | 2000-09-07 | 2002-03-19 | Mori Seiki Co Ltd | 工作機械の保守管理装置 |
GB2374421A (en) * | 2001-04-12 | 2002-10-16 | Luk Lamellen & Kupplungsbau | Calibrating a balance position where a compensation spring is used to balance a resilient load operated by an actuator |
DE102005034107B4 (de) * | 2005-07-21 | 2016-06-23 | E. Zoller GmbH & Co. KG Einstell- und Messgeräte | Mess- und/oder Einstellgerät mit einer drehbaren Werkzeugaufnahmespindel |
DE102006038499A1 (de) | 2006-08-16 | 2008-02-21 | Grob-Werke Gmbh & Co. Kg | Bearbeitungsmaschine |
US7912572B2 (en) * | 2007-09-20 | 2011-03-22 | General Electric Company | Calibration assembly for an inspection system |
EP2546025A1 (fr) * | 2011-07-14 | 2013-01-16 | Wibemo S.A. | Procédé de centrage d'outils sur une machine de décolletage et dispositif d'aide au centrage pour mettre en oeuvre ledit procédé |
RU2557851C2 (ru) * | 2013-12-09 | 2015-07-27 | Олег Савельевич Кочетов | Способ испытания узлов станка при исследовании |
CN103869753B (zh) * | 2014-03-18 | 2016-09-14 | 沈阳飞机工业(集团)有限公司 | 一种板材类零件防错校验方法 |
CN103978402A (zh) * | 2014-05-24 | 2014-08-13 | 齐重数控装备股份有限公司 | 高精重型数控机床a轴与c轴对中检测技术 |
CN104526464B (zh) * | 2014-11-27 | 2016-08-31 | 华中科技大学 | 一种刀具跳动量及刀刃初始角的测量方法及装置 |
JP6193911B2 (ja) * | 2015-04-13 | 2017-09-06 | ファナック株式会社 | 主軸の劣化状態の検査機能を有する工作機械 |
EP3108996B1 (de) * | 2015-06-23 | 2017-09-13 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Vorrichtung zum messen von verlagerungen eines rotierenden objektes |
CN104942655A (zh) * | 2015-07-20 | 2015-09-30 | 徐文欢 | 主轴回转误差精度测试装置 |
JP2017080865A (ja) * | 2015-10-30 | 2017-05-18 | オークマ株式会社 | 工作機械の監視装置 |
EP3192611A1 (en) | 2016-01-12 | 2017-07-19 | Renishaw plc | Calibration device and method |
CN107908872B (zh) * | 2017-11-15 | 2020-06-26 | 山东师范大学 | 一种刀库***的可靠性改进方法和装置 |
CN107860345B (zh) * | 2017-11-17 | 2023-07-07 | 深圳市圆梦精密技术研究院 | 刀柄跳动测试辅助装置 |
US10801798B2 (en) | 2017-12-29 | 2020-10-13 | Super Dave Designs, LLC | Barrel mounting system |
CN109202535B (zh) * | 2018-09-29 | 2020-12-22 | 南京艾提瑞精密机械有限公司 | 一种基于加工形貌检测估测主轴轴向跳动的方法 |
CN109669409A (zh) * | 2018-12-10 | 2019-04-23 | 上海嘉麟杰纺织科技有限公司 | 一种纬编织造车间智能化监控*** |
CN115647932B (zh) * | 2022-11-02 | 2023-07-18 | 湖北工业大学 | 一种可拆卸铣头安装精度控制方法 |
CN116661375A (zh) * | 2023-08-02 | 2023-08-29 | 济南森峰激光科技股份有限公司 | 数控轧辊车床研车测试方法、***、终端及存储介质 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04130149U (ja) * | 1991-05-24 | 1992-11-30 | 安藤電気株式会社 | 加工装置の主軸振れ検出機構 |
JPH065850U (ja) * | 1992-06-26 | 1994-01-25 | オークマ株式会社 | 測定器具 |
JPH0926308A (ja) * | 1995-07-11 | 1997-01-28 | Mitsutoyo Corp | 非接触三次元変位検出装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60177848A (ja) * | 1984-02-23 | 1985-09-11 | Mori Seiki Seisakusho:Kk | 数値制御工作機における原点補正方法 |
US4775947A (en) * | 1986-06-17 | 1988-10-04 | Westinghouse Electric Corp. | Method of providing a visual representation of the runout of a shaft |
US4967154A (en) * | 1989-09-13 | 1990-10-30 | Optima Industries, Inc. | Dynamic tube runout measuring method and apparatus with square wave energized reluctance measuring coils |
JPH0565942A (ja) | 1990-12-26 | 1993-03-19 | Toyoda Mach Works Ltd | アンバランス修正装置 |
US5224272A (en) * | 1991-10-11 | 1993-07-06 | General Electric Company | Rotary runout measuring system |
DE4219694A1 (de) * | 1992-04-11 | 1993-10-14 | Lindemann Wolfgang | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Qualität von stangenförmigen, geschliffenen, geschälten oder gezogenen Gut |
JPH08112755A (ja) | 1994-10-14 | 1996-05-07 | Daikin Ind Ltd | 内面研削装置 |
JPH08171407A (ja) | 1994-10-19 | 1996-07-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 加工工具移動式加工装置及び加工方法 |
JP3162936B2 (ja) | 1995-01-27 | 2001-05-08 | オークマ株式会社 | 回転工具の刃先位置補正装置 |
MY116924A (en) * | 1996-07-10 | 2004-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | High speed dynamic run-out testing apparatus and method |
JPH1043902A (ja) | 1996-08-05 | 1998-02-17 | Sony Corp | ドラム加工装置及び加工方法 |
US5856624A (en) * | 1997-06-03 | 1999-01-05 | Seagate Technology, Inc. | Method and apparatus for testing a spindle in a disc drive |
-
2000
- 2000-06-07 JP JP2000169960A patent/JP2001347440A/ja active Pending
-
2001
- 2001-06-01 US US09/870,464 patent/US6752031B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-06-06 EP EP01112931A patent/EP1162030B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-06-06 DE DE60113593T patent/DE60113593T2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04130149U (ja) * | 1991-05-24 | 1992-11-30 | 安藤電気株式会社 | 加工装置の主軸振れ検出機構 |
JPH065850U (ja) * | 1992-06-26 | 1994-01-25 | オークマ株式会社 | 測定器具 |
JPH0926308A (ja) * | 1995-07-11 | 1997-01-28 | Mitsutoyo Corp | 非接触三次元変位検出装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100368149C (zh) * | 2004-04-26 | 2008-02-13 | 发那科株式会社 | 数值控制机床 |
US7331741B2 (en) | 2004-04-26 | 2008-02-19 | Fanuc Ltd | Numerically controlled machine tool |
JP2011189459A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Howa Mach Ltd | ツールホルダ装着異常検出方法及び工作機械 |
CN103644875A (zh) * | 2013-11-19 | 2014-03-19 | 重庆机床(集团)有限责任公司 | 一种动态主轴回转精度检测装置 |
TWI672571B (zh) * | 2014-06-13 | 2019-09-21 | 美商克萊譚克公司 | 用於監測一晶圓檢驗配方隨著時間經過之穩定性之方法,系統及非暫態電腦可讀媒體 |
US10514685B2 (en) | 2014-06-13 | 2019-12-24 | KLA—Tencor Corp. | Automatic recipe stability monitoring and reporting |
JP2020055052A (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-09 | シチズン時計株式会社 | 工作機械及びその作動方法 |
JP2020170392A (ja) * | 2019-04-04 | 2020-10-15 | ファナック株式会社 | 数値制御装置及び数値制御システム |
JP7132166B2 (ja) | 2019-04-04 | 2022-09-06 | ファナック株式会社 | 数値制御装置及び数値制御システム |
US11586170B2 (en) | 2019-04-04 | 2023-02-21 | Fanuc Corporation | Numerical controller and numerical control system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1162030B1 (en) | 2005-09-28 |
US20010049974A1 (en) | 2001-12-13 |
EP1162030A2 (en) | 2001-12-12 |
DE60113593T2 (de) | 2006-06-22 |
EP1162030A3 (en) | 2004-06-23 |
DE60113593D1 (de) | 2006-02-09 |
US6752031B2 (en) | 2004-06-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2001347440A (ja) | 主軸振れ精度診断機能を備えたnc工作機械 | |
US5111590A (en) | Measuring method of machine tool accuracy using a computer aided kinematic transducer link and its apparatus | |
JP4598023B2 (ja) | ギアの組み合わされたテストのための装置及び方法 | |
JP2005313239A (ja) | 数値制御工作機械 | |
JPH11108602A (ja) | 真円度測定器 | |
CN109341494A (zh) | 快速检测内孔倒角深度的装置 | |
Józwik | Dynamic measurement of spindle errors of CNC machine tools by capacitive sensors during aircraft parts machining | |
JPH07324972A (ja) | 転がり軸受の振動測定装置 | |
CN113074628B (zh) | 一种修边型面检验的装置及方法 | |
JP5330008B2 (ja) | 回転精度の評価方法および評価装置 | |
JP2000310527A (ja) | 表面性状測定機 | |
CN209085507U (zh) | 内孔倒角深度的快速检测装置 | |
US4266346A (en) | Method and apparatus for gaging | |
KR20140103370A (ko) | 공작기계 주축 회전정밀도 측정장치 | |
JP2003271212A (ja) | 工作機械の検査装置 | |
JP2004101247A (ja) | 歯形測定機の検定法 | |
JP2010260119A (ja) | 主軸又はアタッチメント主軸の補正値自動計測方法 | |
RU2123923C1 (ru) | Способ диагностики токарных станков по параметрам точности и устройство для его осуществления | |
JPH09131642A (ja) | 数値制御工作機械精度検査装置並びに該数値制御工作 機械の熱変位検査方法及び精度検査方法 | |
Dostál et al. | ACCURACY OF MACHINE TOOLS. | |
JP2021086370A (ja) | 工作機械の反転誤差計測方法 | |
CN112219085A (zh) | 360度光学测量装置 | |
KR101409199B1 (ko) | 공작기계 주축 회전정밀도 측정장치 | |
TW202035945A (zh) | 非接觸式物體輪廓量測系統 | |
CN216410039U (zh) | 一种分断式对向轴类零件的检测装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070327 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100325 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100330 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100901 |