JP2001341002A - 動圧型軸受部品の製造方法および製造装置 - Google Patents
動圧型軸受部品の製造方法および製造装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 互いに直交する第一の面と第二の面にそれぞ
れラジアル軸受用の動圧溝とスラスト軸受用の動圧溝を
形成した動圧型軸受部品の製造方法であって、特に、同
心精度の良い動圧溝をを有する軸受部品を提供する。 【解決手段】 回転駆動されるチャックに加工材２を固
定した状態で、円筒状の空間１５とその円筒状空間１５
に連続して前記円筒状空間１５より径大の円盤状空間１
３，１４を同軸的に形成する工程と、前記円筒状空間１
５の側壁に第一のバイト４により前記ラジアル軸受用の
動圧溝１６を形成する工程と、前記円筒状空間１５の側
壁に直交する前記円盤状空間１３，１４の底面に第二の
バイト５および第三のバイト６により前記スラスト軸受
用の動圧溝１７，１８を形成する工程と、前記加工材よ
り前記円筒状空間１５および円盤状空間１３，１４を含
む部分を切り離して動圧型軸受部品を得る工程とを有す
る。
れラジアル軸受用の動圧溝とスラスト軸受用の動圧溝を
形成した動圧型軸受部品の製造方法であって、特に、同
心精度の良い動圧溝をを有する軸受部品を提供する。 【解決手段】 回転駆動されるチャックに加工材２を固
定した状態で、円筒状の空間１５とその円筒状空間１５
に連続して前記円筒状空間１５より径大の円盤状空間１
３，１４を同軸的に形成する工程と、前記円筒状空間１
５の側壁に第一のバイト４により前記ラジアル軸受用の
動圧溝１６を形成する工程と、前記円筒状空間１５の側
壁に直交する前記円盤状空間１３，１４の底面に第二の
バイト５および第三のバイト６により前記スラスト軸受
用の動圧溝１７，１８を形成する工程と、前記加工材よ
り前記円筒状空間１５および円盤状空間１３，１４を含
む部分を切り離して動圧型軸受部品を得る工程とを有す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、円盤状記録媒体を
回転駆動させるディスク駆動装置や精密加工機等に使用
される動圧型流体軸受装置に用いられる動圧溝を有する
軸受部品の製造方法および製造装置に関するものであ
り、特に、互いに直交する第一の面と第二の面にそれぞ
れラジアル軸受用の動圧溝とスラスト軸受用の動圧溝を
形成した動圧型軸受部品の加工精度および軸受性能を向
上させとするものである。
回転駆動させるディスク駆動装置や精密加工機等に使用
される動圧型流体軸受装置に用いられる動圧溝を有する
軸受部品の製造方法および製造装置に関するものであ
り、特に、互いに直交する第一の面と第二の面にそれぞ
れラジアル軸受用の動圧溝とスラスト軸受用の動圧溝を
形成した動圧型軸受部品の加工精度および軸受性能を向
上させとするものである。
【０００２】
【従来の技術】動圧溝を有した軸受部品の加工において
は、従来、複数台の加工装置が使用され、軸受部分及び
その他加工部分は複数回の位置決めを行い２工程以上の
工程を踏んで加工されている。又、動圧型軸受の溝加工
においては、特表平１０−５０２５８４号公報に示すよ
うに、工作機械と工具微動装置を使用し、部品の回転速
度と工具微少送り装置を相対的に変化させて、動圧型軸
受部品の溝形状を精密に切削加工を行なう装置及び方法
が存在する。以下に従来の製造方法について図２、図３
を用いて説明する。
は、従来、複数台の加工装置が使用され、軸受部分及び
その他加工部分は複数回の位置決めを行い２工程以上の
工程を踏んで加工されている。又、動圧型軸受の溝加工
においては、特表平１０−５０２５８４号公報に示すよ
うに、工作機械と工具微動装置を使用し、部品の回転速
度と工具微少送り装置を相対的に変化させて、動圧型軸
受部品の溝形状を精密に切削加工を行なう装置及び方法
が存在する。以下に従来の製造方法について図２、図３
を用いて説明する。
【０００３】図２は従来の動圧溝の加工装置のシステム
構成図であり、１は図示のない駆動源により回転駆動す
る主軸である。その主軸１にはチャック装置２４が取付
けられており、このチャック装置２４には動圧溝が加工
されるために、他の装置により予め所定の外形形状に切
削された被加工部品１２が着脱可能に固着されている。
３は移動テーブルであり、駆動源（図示せず）により矢
印Ｘ方向（前記主軸１の軸方向）、及びＹ方向（前記主
軸１の軸に直角方向）に可逆的に移動可能に構成されて
いる。この移動テーブル３の上には前記Ｘ方向に振動さ
せる振動装置９が固定されており、その上にはバイト６
が取付けられている。振動装置９は駆動信号発生器１０
の出力パルスの周期に応じてバイト６を振動させるよう
に構成されている。１１は前記主軸１の回転速度、移動
テーブル３のＹおよびＸの移動方向、距離、速度、駆動
信号発生器１０の出力パルスの周期などを制御する制御
装置である。図３は、被加工物１２に所定の動圧溝が形
成された軸受部品を示すもので、（ａ）は左側面図、
（ｂ）は断面図、（ｃ）は右側面図である。すなわち、
被加工物１２は円柱状体の中心軸上の両端部に径大の円
盤状空間１３と１４が形成され、その両円盤状空間１
３，１４の間に径小の円筒状空間１５が同軸的に形成さ
れており、その被加工物１２の中央の円筒状空間１５の
側壁には図３（ｂ）に示すように所定の動圧溝１６が形
成されている。また、その中央の円筒状空間１５の両端
に連続して同軸的に形成された径大の円盤状空間１３，
１４の底面、すなわち、前記中央の円筒状空間１５の側
壁に直交する面１３ａ、１４ａには、それぞれ図１１
（ａ）、（ｃ）に示すように所定の動圧溝１７，１８が
形成されている。次に、こうような軸受部品の従来の加
工方法について説明する。まず、他の工作機械により、
円柱状体の中心軸上に、前述の連続した空間１３，１
５，１４が形成された被加工物１２を作成し、これを図
２のチャック２４に被加工物１２の前記面１３ａが前面
にくるように固定する。そして、主軸１を所定の速度で
回転させ、加工部品１２を回転させる。次に、加工進行
方向２６の方向に移動テーブル３を移動させながら振動
装置９と駆動信号発生器１０を制御装置１１にて前記の
バイト６の先端を所定の周期で振動させることにより、
図３（ａ）の動圧溝１７を加工することができる。その
後、その被加工物１２を、チャック２４より取外し、前
記面１４ａが前方に位置するように再度チャック２４に
取付ける。そして前述と同様にして、バイト６により、
面１４ａに図３（ｃ）の動圧溝１８を加工する。次に、
図２のシステム構成図と同様な構成よりなる装置（ただ
し、図２と異なり、バイト６の先端はＹ方向に向いてお
り、かつ、バイトの先端を図２のＹ方向に振動せしめる
よう構成されている。）のチャック２４にこの被加工物
１２を取付ける。
構成図であり、１は図示のない駆動源により回転駆動す
る主軸である。その主軸１にはチャック装置２４が取付
けられており、このチャック装置２４には動圧溝が加工
されるために、他の装置により予め所定の外形形状に切
削された被加工部品１２が着脱可能に固着されている。
３は移動テーブルであり、駆動源（図示せず）により矢
印Ｘ方向（前記主軸１の軸方向）、及びＹ方向（前記主
軸１の軸に直角方向）に可逆的に移動可能に構成されて
いる。この移動テーブル３の上には前記Ｘ方向に振動さ
せる振動装置９が固定されており、その上にはバイト６
が取付けられている。振動装置９は駆動信号発生器１０
の出力パルスの周期に応じてバイト６を振動させるよう
に構成されている。１１は前記主軸１の回転速度、移動
テーブル３のＹおよびＸの移動方向、距離、速度、駆動
信号発生器１０の出力パルスの周期などを制御する制御
装置である。図３は、被加工物１２に所定の動圧溝が形
成された軸受部品を示すもので、（ａ）は左側面図、
（ｂ）は断面図、（ｃ）は右側面図である。すなわち、
被加工物１２は円柱状体の中心軸上の両端部に径大の円
盤状空間１３と１４が形成され、その両円盤状空間１
３，１４の間に径小の円筒状空間１５が同軸的に形成さ
れており、その被加工物１２の中央の円筒状空間１５の
側壁には図３（ｂ）に示すように所定の動圧溝１６が形
成されている。また、その中央の円筒状空間１５の両端
に連続して同軸的に形成された径大の円盤状空間１３，
１４の底面、すなわち、前記中央の円筒状空間１５の側
壁に直交する面１３ａ、１４ａには、それぞれ図１１
（ａ）、（ｃ）に示すように所定の動圧溝１７，１８が
形成されている。次に、こうような軸受部品の従来の加
工方法について説明する。まず、他の工作機械により、
円柱状体の中心軸上に、前述の連続した空間１３，１
５，１４が形成された被加工物１２を作成し、これを図
２のチャック２４に被加工物１２の前記面１３ａが前面
にくるように固定する。そして、主軸１を所定の速度で
回転させ、加工部品１２を回転させる。次に、加工進行
方向２６の方向に移動テーブル３を移動させながら振動
装置９と駆動信号発生器１０を制御装置１１にて前記の
バイト６の先端を所定の周期で振動させることにより、
図３（ａ）の動圧溝１７を加工することができる。その
後、その被加工物１２を、チャック２４より取外し、前
記面１４ａが前方に位置するように再度チャック２４に
取付ける。そして前述と同様にして、バイト６により、
面１４ａに図３（ｃ）の動圧溝１８を加工する。次に、
図２のシステム構成図と同様な構成よりなる装置（ただ
し、図２と異なり、バイト６の先端はＹ方向に向いてお
り、かつ、バイトの先端を図２のＹ方向に振動せしめる
よう構成されている。）のチャック２４にこの被加工物
１２を取付ける。
【０００４】そして、このバイト６をＹ方向に振動せし
めながらＸ方向に移動せしめて、中央の円筒状空間１５
の側壁には図３（ｂ）に示すように所定の動圧溝１６を
形成する。
めながらＸ方向に移動せしめて、中央の円筒状空間１５
の側壁には図３（ｂ）に示すように所定の動圧溝１６を
形成する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来は複
数の面に動圧溝を有した軸受部品の加工において、被加
工物を複数回の位置決めを行っていたため、周知の通り
加工精度、特に、同心精度が悪化し、同心ズレ量も安定
しない問題があった。
数の面に動圧溝を有した軸受部品の加工において、被加
工物を複数回の位置決めを行っていたため、周知の通り
加工精度、特に、同心精度が悪化し、同心ズレ量も安定
しない問題があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の動圧型軸受部品の製造方法および製造装置
は、互いに直交する第一の面と第二の面にそれぞれラジ
アル軸受用の動圧溝とスラスト軸受用の動圧溝を形成し
た動圧型軸受部品の製造にあたり、前記第一および第二
の面の形成ならびにその第一と第二の面へのラジアル軸
受用の動圧溝とスラスト軸受用の動圧溝の形成を、１チ
ャックで切削加工することを特徴としたものであり、例
えば、棒状の軸受材料から複数回の位置決めを行うこと
なく、動圧型軸受部品が得られるため、特に、動圧溝の
同心精度を向上さすことが出来るものである。
に、本発明の動圧型軸受部品の製造方法および製造装置
は、互いに直交する第一の面と第二の面にそれぞれラジ
アル軸受用の動圧溝とスラスト軸受用の動圧溝を形成し
た動圧型軸受部品の製造にあたり、前記第一および第二
の面の形成ならびにその第一と第二の面へのラジアル軸
受用の動圧溝とスラスト軸受用の動圧溝の形成を、１チ
ャックで切削加工することを特徴としたものであり、例
えば、棒状の軸受材料から複数回の位置決めを行うこと
なく、動圧型軸受部品が得られるため、特に、動圧溝の
同心精度を向上さすことが出来るものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の動圧型
軸受部品の製造方法は、互いに直交する第一の面と第二
の面にそれぞれラジアル軸受用の動圧溝とスラスト軸受
用の動圧溝を形成した動圧型軸受部品の製造方法であっ
て、回転駆動されるチャックに固定された加工材に、円
筒状の空間とその円筒状空間に連続して前記円筒状空間
より径大の円盤状空間を同軸的に形成する工程と、前記
チャックに固定された状態で前記円筒状空間の側壁に第
一のバイトを振動させながら前記ラジアル軸受用の動圧
溝を形成する工程と、前記チャックに固定された状態で
前記円筒状空間の側壁に直交する前記円盤状空間の底面
に第二のバイトを振動させながら前記スラスト軸受用の
動圧溝を形成する工程と、前記チャックに固定された状
態で前記加工材より前記円筒状空間および円盤状空間を
含む部分を切り離して動圧型軸受け部品を得る工程とを
有する動圧型軸受部品の製造方法であり、例えば、棒状
の軸受材料から複数回の位置決めを行うことなく、１チ
ャックで動圧型軸受部品が得られるため、特に、動圧溝
の同心精度を向上さすことが出来るものである。次に、
本発明の請求項２に記載された動圧型軸受部品の製造方
法は、前記円盤状空間は前記円筒状空間の両側にそれぞ
れ形成されており、前記チャックに固定された状態で、
一方の円盤状空間の前記円筒状空間の側壁に直交する底
面に第二のバイトを振動させながら前記スラスト軸受用
の動圧溝を形成し、他方の円盤状空間の前記円筒状空間
の側壁に直交する底面に第三のバイトを振動させながら
前記スラスト軸受用の動圧溝を形成することを特徴とす
る請求項１記載の動圧型軸受部品の製造方法であり、ラ
ジアル軸受用の動圧溝と２つのスラスト軸受用の動圧溝
を有する動圧型軸受部品が、１チャックで切削加工され
るため、特に、動圧溝の同心精度を向上さすことが出来
るものである。次に、本発明の請求項３に記載された動
圧型軸受部品の製造方法は、前記第一のバイトと第二の
バイトの先端がそれぞれ平担であることを特徴とする請
求項１記載の動圧型軸受部品の製造方法であり、動圧溝
を形成するバイトの先端が平担であることから形成され
た動圧溝の底面もより平担化され、動圧溝の微細化に伴
うことによる動圧溝底の表面状態が流体の流れに影響す
ることのない動圧溝底の表面状態を持った動圧型軸受部
品が得られるものである。次に、本発明の請求項４に記
載された動圧型軸受部品の製造装置は、互いに直交する
第一の面と第二の面にそれぞれラジアル軸受用の動圧溝
とスラスト軸受用の動圧溝を形成した動圧型軸受部品の
製造装置であって、加工材を固定される回転駆動可能な
チャックと、そのチャックに固定された前記加工材に円
筒状の空間とその円筒状空間に連続して前記円筒状空間
より径大の円盤状空間を同軸的に形成する複数のバイト
と、前記チャックに固定された状態で前記円筒状空間の
側壁に振動させながら前記ラジアル軸受用の動圧溝を形
成する第一のバイトと、前記チャックに固定された状態
で前記円筒状空間の側壁に直交する前記円盤状空間の底
面に振動させながら前記スラスト軸受用の動圧溝を形成
する第二のバイトと、前記チャックに固定された状態で
前記加工材より前記円筒状空間および円盤状空間を含む
部分を切り離して動圧型軸受部品を得るバイトとを有す
る動圧型軸受部品の製造装置であり、例えば、棒状の軸
受材料から複数回の位置決めを行うことなく、１チャッ
クで動圧型軸受部品が得られるため、特に、動圧溝の同
心精度を向上さすことが出来るものである。次に、本発
明の請求項５に記載された動圧型軸受部品の製造装置は
前記第一のバイトと第二のバイトの先端がそれぞれ平担
であることを特徴とする請求項４記載の動圧型軸受け部
品の製造装置であり、動圧溝を形成するバイトの先端が
平担であることから形成された動圧溝の底面もより平担
化され、動圧溝の微細化に伴うことによる動圧溝底の表
面状態が流体の流れに影響することのない動圧溝底の表
面状態を持った動圧型軸受部品が得られるものである。
軸受部品の製造方法は、互いに直交する第一の面と第二
の面にそれぞれラジアル軸受用の動圧溝とスラスト軸受
用の動圧溝を形成した動圧型軸受部品の製造方法であっ
て、回転駆動されるチャックに固定された加工材に、円
筒状の空間とその円筒状空間に連続して前記円筒状空間
より径大の円盤状空間を同軸的に形成する工程と、前記
チャックに固定された状態で前記円筒状空間の側壁に第
一のバイトを振動させながら前記ラジアル軸受用の動圧
溝を形成する工程と、前記チャックに固定された状態で
前記円筒状空間の側壁に直交する前記円盤状空間の底面
に第二のバイトを振動させながら前記スラスト軸受用の
動圧溝を形成する工程と、前記チャックに固定された状
態で前記加工材より前記円筒状空間および円盤状空間を
含む部分を切り離して動圧型軸受け部品を得る工程とを
有する動圧型軸受部品の製造方法であり、例えば、棒状
の軸受材料から複数回の位置決めを行うことなく、１チ
ャックで動圧型軸受部品が得られるため、特に、動圧溝
の同心精度を向上さすことが出来るものである。次に、
本発明の請求項２に記載された動圧型軸受部品の製造方
法は、前記円盤状空間は前記円筒状空間の両側にそれぞ
れ形成されており、前記チャックに固定された状態で、
一方の円盤状空間の前記円筒状空間の側壁に直交する底
面に第二のバイトを振動させながら前記スラスト軸受用
の動圧溝を形成し、他方の円盤状空間の前記円筒状空間
の側壁に直交する底面に第三のバイトを振動させながら
前記スラスト軸受用の動圧溝を形成することを特徴とす
る請求項１記載の動圧型軸受部品の製造方法であり、ラ
ジアル軸受用の動圧溝と２つのスラスト軸受用の動圧溝
を有する動圧型軸受部品が、１チャックで切削加工され
るため、特に、動圧溝の同心精度を向上さすことが出来
るものである。次に、本発明の請求項３に記載された動
圧型軸受部品の製造方法は、前記第一のバイトと第二の
バイトの先端がそれぞれ平担であることを特徴とする請
求項１記載の動圧型軸受部品の製造方法であり、動圧溝
を形成するバイトの先端が平担であることから形成され
た動圧溝の底面もより平担化され、動圧溝の微細化に伴
うことによる動圧溝底の表面状態が流体の流れに影響す
ることのない動圧溝底の表面状態を持った動圧型軸受部
品が得られるものである。次に、本発明の請求項４に記
載された動圧型軸受部品の製造装置は、互いに直交する
第一の面と第二の面にそれぞれラジアル軸受用の動圧溝
とスラスト軸受用の動圧溝を形成した動圧型軸受部品の
製造装置であって、加工材を固定される回転駆動可能な
チャックと、そのチャックに固定された前記加工材に円
筒状の空間とその円筒状空間に連続して前記円筒状空間
より径大の円盤状空間を同軸的に形成する複数のバイト
と、前記チャックに固定された状態で前記円筒状空間の
側壁に振動させながら前記ラジアル軸受用の動圧溝を形
成する第一のバイトと、前記チャックに固定された状態
で前記円筒状空間の側壁に直交する前記円盤状空間の底
面に振動させながら前記スラスト軸受用の動圧溝を形成
する第二のバイトと、前記チャックに固定された状態で
前記加工材より前記円筒状空間および円盤状空間を含む
部分を切り離して動圧型軸受部品を得るバイトとを有す
る動圧型軸受部品の製造装置であり、例えば、棒状の軸
受材料から複数回の位置決めを行うことなく、１チャッ
クで動圧型軸受部品が得られるため、特に、動圧溝の同
心精度を向上さすことが出来るものである。次に、本発
明の請求項５に記載された動圧型軸受部品の製造装置は
前記第一のバイトと第二のバイトの先端がそれぞれ平担
であることを特徴とする請求項４記載の動圧型軸受け部
品の製造装置であり、動圧溝を形成するバイトの先端が
平担であることから形成された動圧溝の底面もより平担
化され、動圧溝の微細化に伴うことによる動圧溝底の表
面状態が流体の流れに影響することのない動圧溝底の表
面状態を持った動圧型軸受部品が得られるものである。
【０００８】（実施の形態）以下に、本発明の請求項１
ないし請求項５に記載された発明の実施の形態につい
て、図１および図５を用いて説明する。図１は本発明の
実施の形態における動圧溝の製造装置のシステム構成図
であり、図３に示す所定の動圧溝が形成された軸受部品
を作成する場合について説明する。なお、従来の技術で
説明したものと類似な機能部品には同一の符号を付して
いる。
ないし請求項５に記載された発明の実施の形態につい
て、図１および図５を用いて説明する。図１は本発明の
実施の形態における動圧溝の製造装置のシステム構成図
であり、図３に示す所定の動圧溝が形成された軸受部品
を作成する場合について説明する。なお、従来の技術で
説明したものと類似な機能部品には同一の符号を付して
いる。
【０００９】図１において、１は駆動源（図示せず）に
より回転駆動する主軸である。その主軸１にはチャック
装置が取り付けられており、被加工材である棒状材料２
が固着されている。３は移動テーブルであり、駆動源
（図示せず）により矢印Ｘ、及びＹ方向に可逆的に移動
可能に構成されている。
より回転駆動する主軸である。その主軸１にはチャック
装置が取り付けられており、被加工材である棒状材料２
が固着されている。３は移動テーブルであり、駆動源
（図示せず）により矢印Ｘ、及びＹ方向に可逆的に移動
可能に構成されている。
【００１０】この移動テーブル３の上には、図３の動圧
溝１６を形成するためのバイト４とこのバイト４を前記
Ｙ方向に振動させる振動装置９ａが固定されており、こ
の振動装置９ａは駆動信号発生器１０ａの出力パルスの
周期に応じて前記バイト４を振動させるように構成され
ている。
溝１６を形成するためのバイト４とこのバイト４を前記
Ｙ方向に振動させる振動装置９ａが固定されており、こ
の振動装置９ａは駆動信号発生器１０ａの出力パルスの
周期に応じて前記バイト４を振動させるように構成され
ている。
【００１１】５は図３の動圧溝１７を形成するためのバ
イトであり、移動テーブル３の上に固定された振動装置
９ｂに固定されており、この駆動装置９ｂは駆動信号発
生器１０ｂの出力パルスの周期に応じて前記バイト５を
Ｘ方向に振動させるように構成されている。
イトであり、移動テーブル３の上に固定された振動装置
９ｂに固定されており、この駆動装置９ｂは駆動信号発
生器１０ｂの出力パルスの周期に応じて前記バイト５を
Ｘ方向に振動させるように構成されている。
【００１２】６は図１１の動圧溝１８を形成するための
バイトであり、移動テーブル３の上に固定された振動装
置９ｃに固定されており、この駆動装置９ｃは駆動信号
発生器１０ｃの出力パルスの周期に応じて前記バイト６
をＸ方向に振動させるように構成されている。
バイトであり、移動テーブル３の上に固定された振動装
置９ｃに固定されており、この駆動装置９ｃは駆動信号
発生器１０ｃの出力パルスの周期に応じて前記バイト６
をＸ方向に振動させるように構成されている。
【００１３】１１は前記主軸１の回転速度、移動テーブ
ル３のＹおよびＸの移動方向、距離、速度並びに駆動信
号発生器１０ａ，１０ｂ，１０ｃの出力パルスの周期な
どを制御する制御装置である。前記振動装置９ａ，９
ｂ，９ｃを除いてバイト５、バイト６、バイト４を直接
移動テーブル３の上に取り付けると従来のＮＣ旋削装置
と同様な構成である。なお、バイト７、及びバイト８は
本発明による動圧溝部以外を加工する為の従来のＮＣ旋
削用のバイトである。
ル３のＹおよびＸの移動方向、距離、速度並びに駆動信
号発生器１０ａ，１０ｂ，１０ｃの出力パルスの周期な
どを制御する制御装置である。前記振動装置９ａ，９
ｂ，９ｃを除いてバイト５、バイト６、バイト４を直接
移動テーブル３の上に取り付けると従来のＮＣ旋削装置
と同様な構成である。なお、バイト７、及びバイト８は
本発明による動圧溝部以外を加工する為の従来のＮＣ旋
削用のバイトである。
【００１４】以上のように構成された装置により、動圧
型軸受部品スリーブの動圧溝の加工手順について、以下
説明する。まず、主軸１を所定の速度で回転させ、棒状
材料２を回転させる。この状態で移動テーブル３を移動
させ前記バイト７をはじめとする他の切削工具（図示し
ないものもある）により、図２に示すように棒状材料の
一端部の中心軸上に、前述の連続した円盤状空間１４，
円筒状空間１５および円盤状空間１３を形成する。この
状態から主軸１を所定の回転速度とし、前記のバイト４
の先端を図２の円筒状空間１５の側壁の加工開始点まで
移動テーブル３により移動させる。しかる後に、移動テ
ーブル３を所定の速度でＸ方向に移動させながら前記駆
動信号発生器１０ａを主軸１の回転周期の非正数倍の周
期の出力パルスが得られるように制御し振動装置９ａに
よりバイト４を主軸１の回転同期の非正数倍の周期でＹ
方向に移動させて切削すると、円筒状空間１５の側壁に
１６のような動圧溝が得られる。
型軸受部品スリーブの動圧溝の加工手順について、以下
説明する。まず、主軸１を所定の速度で回転させ、棒状
材料２を回転させる。この状態で移動テーブル３を移動
させ前記バイト７をはじめとする他の切削工具（図示し
ないものもある）により、図２に示すように棒状材料の
一端部の中心軸上に、前述の連続した円盤状空間１４，
円筒状空間１５および円盤状空間１３を形成する。この
状態から主軸１を所定の回転速度とし、前記のバイト４
の先端を図２の円筒状空間１５の側壁の加工開始点まで
移動テーブル３により移動させる。しかる後に、移動テ
ーブル３を所定の速度でＸ方向に移動させながら前記駆
動信号発生器１０ａを主軸１の回転周期の非正数倍の周
期の出力パルスが得られるように制御し振動装置９ａに
よりバイト４を主軸１の回転同期の非正数倍の周期でＹ
方向に移動させて切削すると、円筒状空間１５の側壁に
１６のような動圧溝が得られる。
【００１５】続いて、前記バイト５での動圧溝の加工方
法を説明する。前記バイト４での動圧溝の加工方法と同
様にバイト５の先端を被加工物の１３ａ面の加工開始位
置まで移動テーブル３により移動させる。
法を説明する。前記バイト４での動圧溝の加工方法と同
様にバイト５の先端を被加工物の１３ａ面の加工開始位
置まで移動テーブル３により移動させる。
【００１６】この状態から主軸１を所定の回転速度と
し、しかる後に移動テーブル３を所定の速度でＹ方向に
移動させながら前記駆動信号発生器１０ｂを主軸１の回
転周期の非正数倍の周期の出力パルスが得られるように
制御し、振動装置９ｂによりバイト５を主軸１の回転周
期の非正数倍の周期でＸ方向に移動させながら切削し、
更に加工の途中にバイト５の振動周期を変化させながら
切削すると、面１３ａに１７のような動圧溝形状が得ら
れる。
し、しかる後に移動テーブル３を所定の速度でＹ方向に
移動させながら前記駆動信号発生器１０ｂを主軸１の回
転周期の非正数倍の周期の出力パルスが得られるように
制御し、振動装置９ｂによりバイト５を主軸１の回転周
期の非正数倍の周期でＸ方向に移動させながら切削し、
更に加工の途中にバイト５の振動周期を変化させながら
切削すると、面１３ａに１７のような動圧溝形状が得ら
れる。
【００１７】続いて、前記バイト６での動圧溝の加工方
法を説明する。バイト６の先端を被加工物の１４ａ面の
加工開始位置まで移動テーブル３により移動し、しかる
後に、移動テーブル３を所定の速度でＹ方向に移動させ
ながら前記駆動信号発生器１０ｃを主軸１の回転周期の
非正数倍の周期の出力パルスが得られるように制御し、
振動装置９ｃによりバイト６を主軸１の回転周期の非正
数倍の周期でＸ方向に移動させながら切削し、更に加工
の途中にバイト５の振動周期を変化させながら切削する
と、面１４ａに１８のような動圧溝形状が得られる。
法を説明する。バイト６の先端を被加工物の１４ａ面の
加工開始位置まで移動テーブル３により移動し、しかる
後に、移動テーブル３を所定の速度でＹ方向に移動させ
ながら前記駆動信号発生器１０ｃを主軸１の回転周期の
非正数倍の周期の出力パルスが得られるように制御し、
振動装置９ｃによりバイト６を主軸１の回転周期の非正
数倍の周期でＸ方向に移動させながら切削し、更に加工
の途中にバイト５の振動周期を変化させながら切削する
と、面１４ａに１８のような動圧溝形状が得られる。
【００１８】最後に前記バイト８により棒状材料２から
動圧溝が形成された前記円筒状空間および円盤状空間を
含む部分を切削により切り離すことで、全ての面が１チ
ャックで切削された軸受部品を得ることが出来る。次
に、加工された動圧溝の底面形状について説明する。ま
ず、従来の図４（ｂ）に示すような刃先Ｒバイトにより
前記動圧溝の加工を実施すると、図４（ａ）に模式的に
示すように、溝底の切削面の状態は微少ではあるが滑ら
かに切削するこが出来ないが、本実施の形態において
は、図５（ｂ）に示す刃先が平坦なバイトにより動圧溝
の加工を行っているので、図５（ａ）に示すように刃先
の形状が加工面に転写され、動圧軸受部品スリーブの動
圧溝の底部の形状を流体が滑らかに移動できる平滑状と
することができる。この結果、超薄型の動圧軸受けの動
圧溝の微細化に伴うことによる動圧溝底の表面状態が流
体の流れに影響することのない平滑状な動圧溝底の表面
状態を確保することが可能となる。
動圧溝が形成された前記円筒状空間および円盤状空間を
含む部分を切削により切り離すことで、全ての面が１チ
ャックで切削された軸受部品を得ることが出来る。次
に、加工された動圧溝の底面形状について説明する。ま
ず、従来の図４（ｂ）に示すような刃先Ｒバイトにより
前記動圧溝の加工を実施すると、図４（ａ）に模式的に
示すように、溝底の切削面の状態は微少ではあるが滑ら
かに切削するこが出来ないが、本実施の形態において
は、図５（ｂ）に示す刃先が平坦なバイトにより動圧溝
の加工を行っているので、図５（ａ）に示すように刃先
の形状が加工面に転写され、動圧軸受部品スリーブの動
圧溝の底部の形状を流体が滑らかに移動できる平滑状と
することができる。この結果、超薄型の動圧軸受けの動
圧溝の微細化に伴うことによる動圧溝底の表面状態が流
体の流れに影響することのない平滑状な動圧溝底の表面
状態を確保することが可能となる。
【００１９】
【発明の効果】以上のように、本発明の動圧型軸受部品
の製造方法および製造装置によれば、例えば、棒状の軸
受け材料から複数回の位置決めを行うことなく、１チャ
ックで動圧型軸受部品が得られるため、特に、動圧溝の
同心精度を向上さすことが出来るものである。
の製造方法および製造装置によれば、例えば、棒状の軸
受け材料から複数回の位置決めを行うことなく、１チャ
ックで動圧型軸受部品が得られるため、特に、動圧溝の
同心精度を向上さすことが出来るものである。
【図１】本発明の一実施の形態による動圧型軸受部品の
製造装置のシステム構成を示す平面図
製造装置のシステム構成を示す平面図
【図２】従来の動圧型軸受部品の製造装置のシステム構
成を示す平面図
成を示す平面図
【図３】動圧型軸受部品の一例を示す左側面図、断面図
および右側面図
および右側面図
【図４】刃先Ｒバイトにより加工された動圧溝底断面を
模式的に示す断面図および刃先Ｒバイトの先端を示す側
面図
模式的に示す断面図および刃先Ｒバイトの先端を示す側
面図
【図５】刃先平坦バイトにより加工された動圧溝底断面
を模式的に示す断面図および刃先平坦バイトの先端を示
す側面図
を模式的に示す断面図および刃先平坦バイトの先端を示
す側面図
１ 主軸 ２ 棒状材料 ３ 移動テーブル ４ 動圧溝加工用バイト ５ 動圧溝加工用バイト ６ 動圧溝加工用バイト ７ 旋削用バイト ８ 部品切離し用バイト ９ａ，９ｂ，９ｃ 振動装置 １０ａ，１０ｂ，１０ｃ 駆動信号発生器 １１ 制御装置 １２ 被加工物 １３、１４ 円盤状空間 １５ 円筒状空間 １６ ラジアル軸受用動圧溝 １７、１８ スラスト軸受用動圧溝 ２４ チャック装置
Claims (5)
- 【請求項１】 互いに直交する第一の面と第二の面にそ
れぞれラジアル軸受用の動圧溝とスラスト軸受用の動圧
溝を形成した動圧型軸受部品の製造方法であって、回転
駆動されるチャックに固定された加工材に、円筒状の空
間とその円筒状空間に連続して前記円筒状空間より径大
の円盤状空間を同軸的に形成する工程と、前記チャック
に固定された状態で前記円筒状空間の側壁に第一のバイ
トを振動させながら前記ラジアル軸受用の動圧溝を形成
する工程と、前記チャックに固定された状態で前記円筒
状空間の側壁に直交する前記円盤状空間の底面に第二の
バイトを振動させながら前記スラスト軸受用の動圧溝を
形成する工程と、前記チャックに固定された状態で前記
加工材より前記円筒状空間および円盤状空間を含む部分
を切り離して動圧型軸受部品を得る工程とを有する動圧
型軸受部品の製造方法。 - 【請求項２】 前記円盤状空間は前記円筒状空間の両側
にそれぞれ形成されており、前記チャックに固定された
状態で、一方の円盤状空間の前記円筒状空間の側壁に直
交する底面に第二のバイトを振動させながら前記スラス
ト軸受用の動圧溝を形成し、他方の円盤状空間の前記円
筒状空間の側壁に直交する底面に第三のバイトを振動さ
せながら前記スラスト軸受用の動圧溝を形成することを
特徴とする請求項１記載の動圧型軸受部品の製造方法。 - 【請求項３】 前記第一のバイトと第二のバイトの先端
がそれぞれ平坦であることを特徴とする請求項１記載の
動圧型軸受部品の製造方法。 - 【請求項４】 互いに直交する第一の面と第二の面にそ
れぞれラジアル軸受用の動圧溝とスラスト軸受用の動圧
溝を形成した動圧型軸受部品の製造装置であって、加工
材が固定される回転駆動可能なチャックと、そのチャッ
クに固定された前記加工材に円筒状の空間とその円筒状
空間に連続して前記円筒状空間より径大の円盤状空間を
同軸的に形成する複数のバイトと、前記チャックに固定
された状態で前記円筒状空間の側壁に振動させながら前
記ラジアル軸受用の動圧溝を形成する第一のバイトと、
前記チャックに固定された状態で前記円筒状空間の側壁
に直交する前記円盤状空間の底面に振動させながら前記
スラスト軸受用の動圧溝を形成する第二のバイトと、前
記チャックに固定された状態で前記加工材より前記円筒
状空間および円盤状空間を含む部分を切り離して動圧型
軸受け部品を得るバイトとを有する動圧型軸受部品の製
造装置。 - 【請求項５】 前記第一のバイトと第二のバイトの先端
がそれぞれ平坦であることを特徴とする請求項４記載の
動圧型軸受部品の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000165498A JP2001341002A (ja) | 2000-06-02 | 2000-06-02 | 動圧型軸受部品の製造方法および製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000165498A JP2001341002A (ja) | 2000-06-02 | 2000-06-02 | 動圧型軸受部品の製造方法および製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001341002A true JP2001341002A (ja) | 2001-12-11 |
Family
ID=18668962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000165498A Pending JP2001341002A (ja) | 2000-06-02 | 2000-06-02 | 動圧型軸受部品の製造方法および製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001341002A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008038989A (ja) * | 2006-08-03 | 2008-02-21 | Tokai Univ | 溝付き動圧スラスト気体軸受およびその製造方法 |
| JP2012121122A (ja) * | 2010-12-10 | 2012-06-28 | Toshiba Mach Co Ltd | 粗面加工システム及び粗面加工方法 |
| US9422974B2 (en) | 2014-12-01 | 2016-08-23 | Nidec Corporation | Fluid bearing apparatus including dynamic pressure grooves with striations, spindle motor, and disk drive apparatus |
-
2000
- 2000-06-02 JP JP2000165498A patent/JP2001341002A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008038989A (ja) * | 2006-08-03 | 2008-02-21 | Tokai Univ | 溝付き動圧スラスト気体軸受およびその製造方法 |
| JP2012121122A (ja) * | 2010-12-10 | 2012-06-28 | Toshiba Mach Co Ltd | 粗面加工システム及び粗面加工方法 |
| US9422974B2 (en) | 2014-12-01 | 2016-08-23 | Nidec Corporation | Fluid bearing apparatus including dynamic pressure grooves with striations, spindle motor, and disk drive apparatus |
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