JP2001325910A - 電子銃とその使用方法 - Google Patents

電子銃とその使用方法

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Yoshinori Terui
良典 照井
Shinpei Hirokawa
晋平 廣川
Katsuyoshi Tsunoda
勝義 角田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】電子露光装置等の用途に好適な、高い角電流密
度での動作が可能な電子銃を提供する。 【解決手段】電子放射陰極と制御電極と引き出し電極と
からなる電子銃であって、電子放射陰極が希土類六ほう
化物からなり、しかも該電子放射陰極の先端が制御電極
と引き出し電極との間に配置されている電子銃を温度制
限領域下で動作させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子顕微鏡、オー
ジェ電子分光装置、電子線露光機、電子ビームテスタ、
ウェハ検査装置などの電子銃、ことに電子線露光機用の
電子銃に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、熱陰極で得られる電子ビームより
も、長寿命でより高輝度の電子ビームを得るために、タ
ングステン単結晶の針状電極にジルコニウムと酸素の被
覆層を設けた陰極を用いた電子銃が用いられている（以
下、ＺｒＯ／Ｗ電子銃と記す）。
【０００３】ＺｒＯ／Ｗ電子銃は、低加速電圧で用いら
れる測長ＳＥＭやウェハ検査装置においては、プローブ
電流が安定していて且つエネルギー幅の拡がりが抑えら
れるという理由で多用され、この場合には０．１〜０．
２ｍＡ／ｓｒの角電流密度で動作される。
【０００４】また、電子ビームテスターや電子線露光装
置、及びオージェ分光装置等においては、スループット
が重視されるために、０．４ｍＡ／ｓｒ程度の高い角電
流密度で動作されているが、このようなスループットを
重視する用途では、更に高い角電流密度動作が望まれて
おり、１．０ｍＡ／ｓｒもの高い角電流密度での動作が
要求されることがある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＺｒＯ
／Ｗ電子銃においては、（１）高角電流密度動作として
高々１．０ｍＡ／ｓｒ程度が上限であること、（２）
１．０ｍＡ／ｓｒ程度で動作させる場合、陰極と引き出
し電極間に印加される引き出し電圧が４ｋＶ以上と大き
く、針状電極先端での電界強度が０．４〜１．０×１０
9Ｖ／ｍと著しく高くなり（Ｊ．Ｖａｃ．Ｓｃｉ．Ｔｅ
ｃｈｎｏｌ．B．３（１）１９８５，ｐ２２０“Ｅｍｉ
ｓｓｉｏｎ Ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ ｏｆ
ｔｈｅ ＺｒＯ／Ｗ Ｔｈｅｒｍａｌ Ｆｉｅｌｄ Ｅ
ｌｅｃｔｒｏｎ Ｓｏｕｒｃｅｓ”参照）、アーク放電
による故障頻度が高くなること、更に、（３）１×１０
-6Ｐａ以下の超高真空を必要とすること、といった欠点
がある。
【０００６】本発明者は、上記の事情に鑑みていろいろ
検討した結果、希土類六ほう化物からなる電子放射陰極
を特定の構造配置とし、前記電子放射陰極の先端を特定
な形状とし、温度制限領域下で動作させるときに、前記
課題が一挙に解決できることを見出し、本発明に至った
ものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、電子放
射陰極と制御電極と引き出し電極とからなる電子銃であ
って、該電子放射陰極が希土類六ほう化物からなり、し
かもその先端が制御電極と引き出し電極との間に配置さ
れることを特徴とする電子銃である。また、本発明の好
ましい実施態様として、電子放射陰極の先端が球面状で
ある、又は平坦面を有することを特徴とする前記の電子
銃である。
【０００８】加えて、本発明は、前記電子銃の使用方法
であって、電子放射陰極を温度制限領域下で動作させる
ことを特徴とする電子銃の使用方法である。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１の例示に基づいて、本発明を
説明する。本発明の電子銃は、図１に例示した通りに、
希土類六ほう化物からなる電子放射陰極１の先端が制御
電極６と引き出し電極７の間に配置されている。本発明
において、電子放射陰極１は希土類六ほう化物の多結晶
体でも構わないが、得られる電子ビームが安定であるこ
とから単結晶からなることが好ましい。また、単結晶の
場合、電子放射面としては、低仕事関数面であり、対称
な電子ビームが得られる（１００）面が好ましい。
【００１０】本発明の電子銃においては、引き出し電極
７に対して負の高電圧を電子放射陰極１に印加すること
により、電子放射陰極１から電子ビームが放出される。
また、制御電極６は電子放射陰極の側面からの熱電子放
射を遮り、通常電子放射陰極１に対して更に負の電圧が
印加される．
【００１１】本発明の電子銃は、前記構成を採用し、前
記電子放射陰極１を温度制限領域下で動作させることに
より、電子放射陰極１の先端部形状に応じて所望の角電
流密度を得ることができる特徴を有しており、更に、本
発明者の検討結果に依れば、０．２〜７０ｍＡ／ｓｒと
いう広範囲に及ぶ角電流密度を達成することが可能であ
り、しかも電子放射陰極が希土類六ほう化物からなって
いるので、その動作真空も１×１０-5Ｐａ程度で良いと
いう特徴がある。
【００１２】本発明において、前記電子放射陰極の先端
部の形状は、所望する角電流密度等により選択されるも
のの、先端が球面状であるもの、又は先端に平坦面を有
するものが選択される。前者は、稼働初期の角電流密度
が高いものが得やすい特徴があり、後者は長期に渡り安
定した角電流密度が得やすい特徴を有するので、それぞ
れ用途に応じて選択すれば良い。尚、電子放射陰極先端
の形状を制御するには、従来公知の機械加工法、電解研
磨法などを適用すれば良い。
【００１３】本発明の電子銃は、電子放射陰極を加熱す
るヒーターを有するが、例えば図１に示した通りに、電
子放射陰極を挟持するように配置された炭素製のヒータ
ーブロック２とすることが好ましい。然るに、炭素は希
土類六ほう化物と反応しがたい物質であるからである。
前記前記炭素製ヒーターブロックとしては、熱伝導性や
電気抵抗を考慮して、熱分解炭素（或いは熱分解黒鉛）
が好ましく採用される。
【００１４】前記のヒーターブロックで電子放射陰極を
挟持する方法においては、電子放射陰極１を把持したヒ
ーターブロック２を、絶縁碍子４にロウ付けされた導電
端子５の他端に位置する把持具３で把持することが一般
的である。尚、導電端子５を通じて電流を流すとヒータ
ーブロック２がジュール熱により発熱して電子放射陰極
１が加熱される。
【００１５】尚、本発明の電子銃の電子放射陰極の温度
（以下、単に陰極温度という）は、９００〜１９００
Ｋ、好ましくは１５００〜１７００Ｋの範囲で動作する
ことができる。本発明によれば、１７００Ｋの陰極温度
で１ｋＶ未満の引き出し電圧で５ｍＡ／ｓｒ程度の高角
電流密度が得られ、また、温度制限領域下では陰極先端
の曲率半径または平坦面の直径を選ぶことにより動作角
電流密度を規定できる。引き出し電圧が１ｋＶの時の電
子放射陰極の先端での電界強度は先端曲率が５μmの時
に、約５×１０7Ｖ／ｍであり、ＺｒＯ／Ｗ電子銃より
も遙かに低く、従ってアーク損傷の発生頻度が遙かに低
くすることができる。
【００１６】
【実施例】〔実施例１〜６〕絶縁碍子４にロウ付けされ
た一対の導電端子５の他端に設けられた把持具３に、＜
１００＞方位の六ホウ化ランタンからなる電子放射陰極
１を一対の熱分解炭素製ブロックヒーター２で挟み込
み、把持して電子放射陰極構造体とした。尚、六ホウ化
ランタンからなる電子放射陰極１の先端は６０°の円錐
角を有しており、円形の平坦面を有するもの（実施例１
〜３）と球面状の形状をしたもの（実施例４〜６）とを
数種類作成した。
【００１７】図２に示す装置に、電子放射陰極構造体を
組み込み、制御電極６と引き出し電極７の間に電子放射
陰極１が位置するように配置して電子銃とした。熱分解
炭素製ブロックヒーター２は加熱電源８に接続され、更
に高圧電源１１に接続され、引き出し電極７に対して負
の高電圧、即ち引き出し電圧Ｖｅｘが印加される。ま
た、制御電極６はバイアス電源９に接続され、電子放射
陰極１に対して更に負の電圧、バイアス電圧Ｖｂが印加
される。電子放射陰極１からの全放射電流Ｉｔは高圧電
源１０とアース間に置かれた電流計１１により測定され
る。電子放射陰極１の先端から放射した電子ビーム１６
は引き出し電極７の孔を通過して、遮蔽板１２に到達す
る。遮蔽板１２の中央にはアパーチャー１４（小孔）が
有り、通過してカップ状電極１３に到達したプローブ電
流Ｉｐは微小電流計１５により測定される。
【００１８】アパーチャー１４と電子放射陰極１の先端
との距離とアパーチャー１の内径から算出される立体角
をωとすると角電流密度はＩｐ／ωとなる。尚、電子放
射陰極１の先端と制御電極６の距離は０．１５ｍｍ、制
御電極６と引き出し電極７の距離は０．８mm、引き出し
電極７の孔径は０．８mm、制御電極６の孔径は０．８mm
である。
【００１９】前記特性評価装置を用い、１×１０-5Ｐａ
の真空下で熱分解炭素製ブロックヒーター２に通電加熱
して、電子放射陰極１の温度を１７００Ｋとした。な
お、電子放射陰極１の温度は放射温度計により測定し
た。次にバイアス電圧Ｖｂを−３００Ｖ印加して角電流
密度をモニターしながら引き出し電圧Ｖｅｘを変化させ
て電子放射特性を比較した。測定結果を図３に示した。
【００２０】角電流密度は引き出し電圧の増加と共に急
激に増大して５ｍＡ／ｓｒ以上のピーク値を示した。更
に、引き出し電圧を上げると、角電流密度は引き出し電
圧に依存しなくなり、試みに電子放射陰極１の温度を変
化させたところ温度に従い角電流密度が増減して温度制
限領域にあることが確認できた。この領域では電子放射
陰極１の温度が一定であれば、動作角電流密度は電子放
射陰極１の先端形状に依存している。実施例１〜６で得
られた電子銃において、電子放射陰極１の先端形状と引
き出し電圧Ｖｅｘが１ｋＶの時の角電流密度を表１に示
す。
【００２１】
【表１】
【００２２】〔比較例〕比較のために、市販のＺｒＯ／
Ｗ電子放射陰極を同じ装置に取り付けて、１×１０-7Ｐ
ａの超高真空下で電子放射特性の評価を試みたところ、
角電流密度が１ｍＡ／ｓｒを越えた時に、アーク放電に
より損傷し、安定に稼働させることは出来なかった。
【００２３】
【発明の効果】本発明の電子銃は、アーク放電による故
障無しに、０．２〜７０ｍＡ／ｓｒの広範囲の角電流密
度が得られ、しかも陰極先端の形状を選択することによ
り動作角電流密度が制御できる特徴を有している。
【００２４】本発明の電子銃は、前記特徴を有するの
で、従来公知のＺｒＯ／Ｗ電子銃では達成し得なかった
１ｍＡ／ｓｒ以上の角電流密度を必要とする用途に好適
であり、産業上非常に有用である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の電子銃を例示する構成図。
【図２】電子放射特性の評価装置の構成図。
【図３】本発明の電子銃における、角電流密度と引き出
し電圧の関係を示す図。
【符号の説明】
１： 電子放射陰極 ２： 熱分解炭素製ヒーター・ブロック ３： 把持具 ４： 絶縁碍子 ５： 導電端子 ６： 制御電極 ７： 引き出し電極 ８： 加熱電源 ９： バイアス電源 １０： 高圧電源 １１： 全放射電流測定用電流計 １２： 遮蔽電極 １３： カップ状電極 １４： アパーチャー １５： プローブ電流測定用微小電流計 １６： 放射電子線

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】電子放射陰極と制御電極と引き出し電極と
    からなる電子銃であって、電子放射陰極が希土類六ほう
    化物からなり、しかも該電子放射陰極の先端が制御電極
    と引き出し電極との間に配置されていることを特徴とす
    る電子銃。
  2. 【請求項２】電子放射陰極の先端が球面状であることを
    特徴とする請求項１記載の電子銃。
  3. 【請求項３】電子放射陰極の先端に平坦面を有すること
    を特徴とする請求項１記載の電子銃。
  4. 【請求項４】請求項１、請求項２又は請求項３の電子銃
    の使用方法であって、電子放射陰極を温度制限領域下で
    動作させることを特徴とする電子銃の使用方法。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1359599A2 (en) * 2002-05-03 2003-11-05 Fei Company High angular intensity schottky electron point source
WO2004073010A1 (ja) * 2003-02-17 2004-08-26 Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha 電子銃
WO2007055154A1 (ja) * 2005-11-08 2007-05-18 Advantest Corporation 電子銃、電子ビーム露光装置及び露光方法
JP2007250491A (ja) * 2006-03-20 2007-09-27 Fujitsu Ltd ＺｒＯ／Ｗエンハンスドショットキー放出型電子銃
WO2008102435A1 (ja) * 2007-02-20 2008-08-28 Advantest Corporation 電子銃、電子ビーム露光装置及び露光方法
WO2008120412A1 (ja) * 2007-03-29 2008-10-09 Advantest Corporation 電子銃及び電子ビーム露光装置
US7556749B2 (en) * 2003-02-03 2009-07-07 Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha Electron source
JPWO2008120412A1 (ja) * 2007-03-29 2010-07-15 株式会社アドバンテスト 電子銃及び電子ビーム露光装置

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI269699B (en) * 2003-06-03 2007-01-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd A method for making a molding die and a light guide plate
WO2008054451A2 (en) * 2006-02-06 2008-05-08 The University Of North Carolina At Chapel Hill Synthesis and processing of rare-earth boride nanowires as electron emitters
JP2008047309A (ja) * 2006-08-11 2008-02-28 Hitachi High-Technologies Corp 電界放出型電子銃、およびその運転方法
WO2008127393A2 (en) * 2006-10-30 2008-10-23 Board Of Regents Of The University Of Nebraska Crystalline nanostructures
JP4951477B2 (ja) * 2006-12-04 2012-06-13 電気化学工業株式会社 電子放出源
US8084929B2 (en) * 2009-04-29 2011-12-27 Atti International Services Company, Inc. Multiple device shaping uniform distribution of current density in electro-static focusing systems
US8581481B1 (en) 2011-02-25 2013-11-12 Applied Physics Technologies, Inc. Pre-aligned thermionic emission assembly
EP2779201A1 (en) * 2013-03-15 2014-09-17 ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH High brightness electron gun, system using the same, and method of operating the same
TWI815145B (zh) * 2020-08-25 2023-09-11 埃爾思科技股份有限公司 增強離子電流之發射極結構
US11948769B2 (en) 2022-01-12 2024-04-02 Applied Physics Technologies, Inc. Monolithic heater for thermionic electron cathode

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5635342A (en) * 1979-08-31 1981-04-08 Pioneer Electronic Corp Electron gun
JPS5679828A (en) * 1979-12-05 1981-06-30 Toshiba Corp Electron gun
JPS5796437A (en) 1980-12-09 1982-06-15 Denki Kagaku Kogyo Kk Thermion emission cathode
US4468586A (en) * 1981-05-26 1984-08-28 International Business Machines Corporation Shaped electron emission from single crystal lanthanum hexaboride with intensity distribution
JPS57196443A (en) 1981-05-29 1982-12-02 Denki Kagaku Kogyo Kk Manufacture of hot cathode
JPS5840729A (ja) * 1981-09-02 1983-03-09 Denki Kagaku Kogyo Kk 単結晶ランタンボライド陰極を備えた高輝度電子銃の処理方法
US4924136A (en) * 1987-09-28 1990-05-08 Siemens Aktiengesellschaft Beam generating system for electron beam measuring instruments having cathode support structure
US5616926A (en) * 1994-08-03 1997-04-01 Hitachi, Ltd. Schottky emission cathode and a method of stabilizing the same
JPH08184699A (ja) * 1994-12-28 1996-07-16 Hitachi Medical Corp 高エネルギ電子加速器用電子銃
JPH09129166A (ja) * 1995-11-06 1997-05-16 Nikon Corp 電子銃
JP2976013B2 (ja) 1995-12-21 1999-11-10 科学技術庁無機材質研究所長 六ホウ化希土類電子放射材
US6392333B1 (en) * 1999-03-05 2002-05-21 Applied Materials, Inc. Electron gun having magnetic collimator

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1359599A2 (en) * 2002-05-03 2003-11-05 Fei Company High angular intensity schottky electron point source
EP1359599A3 (en) * 2002-05-03 2007-09-19 Fei Company High angular intensity schottky electron point source
US7556749B2 (en) * 2003-02-03 2009-07-07 Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha Electron source
WO2004073010A1 (ja) * 2003-02-17 2004-08-26 Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha 電子銃
US7919750B2 (en) 2005-11-08 2011-04-05 Advantest Corporation Electron gun, electron beam exposure apparatus, and exposure method
JPWO2007055154A1 (ja) * 2005-11-08 2009-04-30 株式会社アドバンテスト 電子銃、電子ビーム露光装置及び露光方法
WO2007055154A1 (ja) * 2005-11-08 2007-05-18 Advantest Corporation 電子銃、電子ビーム露光装置及び露光方法
JP5065903B2 (ja) * 2005-11-08 2012-11-07 株式会社アドバンテスト 露光方法
JP2007250491A (ja) * 2006-03-20 2007-09-27 Fujitsu Ltd ＺｒＯ／Ｗエンハンスドショットキー放出型電子銃
WO2008102435A1 (ja) * 2007-02-20 2008-08-28 Advantest Corporation 電子銃、電子ビーム露光装置及び露光方法
JPWO2008102435A1 (ja) * 2007-02-20 2010-05-27 株式会社アドバンテスト 電子銃、電子ビーム露光装置及び露光方法
JP4685115B2 (ja) * 2007-02-20 2011-05-18 株式会社アドバンテスト 電子ビーム露光方法
WO2008120412A1 (ja) * 2007-03-29 2008-10-09 Advantest Corporation 電子銃及び電子ビーム露光装置
WO2008120341A1 (ja) * 2007-03-29 2008-10-09 Advantest Corporation 電子銃及び電子ビーム露光装置
JPWO2008120412A1 (ja) * 2007-03-29 2010-07-15 株式会社アドバンテスト 電子銃及び電子ビーム露光装置
US8330344B2 (en) 2007-03-29 2012-12-11 Advantest Corp. Electron gun minimizing sublimation of electron source and electron beam exposure apparatus using the same

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