JP2001318461A - 感光性樹脂組成物およびそれを用いてなる感光性フィルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】高解像度で特に細線の密着性に優れ、しかもエ
ッジフュージョンの生じない感光性樹脂組成物を提供す
る。 【解決手段】バインダー成分（Ａ）、モノマー成分
（Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）を含有する感光性樹脂
組成物である。そして、上記バインダー成分（Ａ）が重
量平均分子量５，０００〜４５，０００のアクリル系樹
脂を少なくとも含有し、かつ上記モノマー成分（Ｂ）が
下記の一般式（１）で表される化合物を少なくとも含有
する。 【化１】

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線板、
リードフレーム、半導体パッケージ等のパターン形成に
用いられる感光性樹脂組成物およびそれを用いてなる感
光性フィルムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、プリント配線板やリードフレ
ーム等の製造において、微細な回路パターンや形状パタ
ーンを形成する際には、感光性樹脂組成物を層形成して
なる感光性フィルムが用いられている。

【０００３】上記感光性フィルムとしては、通常、感光
性樹脂組成物層の片面に光透過性の支持体フィルムが、
また感光性樹脂組成物層の他面に保護フィルムが積層さ
れた多層構造のフィルムが用いられている。そして、上
記感光性フィルムを用いた回路パターンの形成は、例え
ば、つぎのようにして行われる。すなわち、基板上に銅
箔を積層した回路基板用基材を準備し、保護フィルム
（カバーフィルム）層を剥がしながら、上記基板面に感
光性樹脂組成物層を貼着させる。つぎに、その上にパタ
ーンマスクを載置して、露光工程、現像工程、エッチン
グ工程を経由させることにより回路パターンを形成す
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年では、
回路パターンのファインピッチ化に伴い、解像度の向上
が要求されるようになってきており、このような高解像
度の対策として、感光性フィルムの感光性樹脂組成物層
形成材料であるポリマー成分の分子量を下げるという方
法が採られている。しかしながら、バインダー成分であ
るポリマーの分子量を下げることによって、感光性フィ
ルムをロール状態で保存する場合に、ロールの端面から
感光性樹脂組成物層がはみ出す現象（以下「エッジフュ
ージョン」という）が生じ、感光性フィルム使用時に装
置を汚染したり、パターン形成での細線の密着性に劣る
という問題が生じる。

【０００５】このような問題の対策として、例えば、エ
ッジフュージョンに対しては、感光性樹脂組成物中のバ
インダー成分の含有割合を多くするという提案がなされ
ているが、密着性および感度が低下してしまうという欠
点があった。さらに、他の方法として、感光性樹脂組成
物に、クエン酸誘導体を含有する（特開平７−３１９１
５４号公報）、ポリプロピレングリコールを含有する
（特開平７−３１９１５３号公報）、結晶性ビニル重合
型高分子結合剤を含有する（特開平９−２４４２３０号
公報）、セルロース誘導体を含有する（特開平１１−１
７４６６７号公報）等の提案がなされている。

【０００６】しかしながら、上記各種化合物を含有させ
るという提案では、上記化合物がいずれもエチレン性不
飽和基を有していないため、各種化合物の添加量を多く
すると、細線、特に２５μｍ以下での密着性に不良が生
じるという欠点があり、細線の密着性を重視する用途に
は不適当であった。

【０００７】本発明は、このような事情に鑑みなされた
もので、高解像度で特に細線の密着性に優れ、しかもエ
ッジフュージョンの生じない感光性樹脂組成物およびそ
れを用いてなる感光性フィルムの提供をその目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、バインダー成分（Ａ）、モノマー成分
（Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）を含有する感光性樹脂
組成物であって、上記バインダー成分（Ａ）が重量平均
分子量５，０００〜４５，０００のアクリル系樹脂を少
なくとも含有し、かつ上記モノマー成分（Ｂ）が下記の
一般式（１）で表される構造単位を有する化合物を少な
くとも含有する感光性樹脂組成物を第１の要旨とする。

【０００９】

【化２】

【００１０】また、本発明は、感光性樹脂組成物層の片
面に支持体フィルムが積層され、上記感光性樹脂組成物
層の他面に保護フィルムが積層されてなる感光性フィル
ムであって、上記感光性樹脂組成物層が、上記感光性樹
脂組成物を用いて形成されたものである感光性フィルム
を第２の要旨とする。

【００１１】すなわち、本発明者らは、高解像度で優れ
た密着性を備え、しかもエッジフュージョンの生じない
感光性フィルムを得るべく、感光性樹脂組成物を中心に
鋭意研究を重ねた。その結果、バインダー成分（Ａ）と
して低分子量のアクリル系樹脂とともに、モノマー成分
（Ｂ）として、上記一般式（１）で表される化合物を少
なくとも含有するモノマー成分（Ｂ）を併用すると、所
期の目的を達成できることを見出し、本発明に到達し
た。

【００１２】そして、上記一般式（１）で表される化合
物の含有量が、前記特定の範囲であると、高解像度と密
着性のバランスを保ちつつ、ロールで保管してもエッジ
フュージョンの発生を防止することが可能となることを
突き止めた。なお、上記範囲を外れると、エッジフュー
ジョンが発生したり、感光性フィルムを光硬化したもの
が脆くなってしまい、結果、密着性を低下させてしまう
等の問題が生じる傾向がみられるようになる。

【００１３】さらに、上記光重合開始剤（Ｃ）が、少な
くともロフィン二量体を含有すると、現像液等の薬品に
対する耐性が向上するため、より細いラインでも密着可
能となることを突き止めた。

【００１４】

【発明の実施の形態】つぎに、本発明の実施の形態を詳
しく説明する。

【００１５】本発明の感光性樹脂組成物は、バインダー
成分（Ａ）と、モノマー成分（Ｂ）と、光重合開始剤
（Ｃ）とを用いて得ることができる。そして、本発明
は、上記バインダー成分（Ａ）が特定の分子量のアクリ
ル系樹脂を少なくとも含有するとともに、上記モノマー
成分（Ｂ）が、上記特定の化合物を少なくとも含有する
ことが最大の特徴である。

【００１６】上記バインダー成分（Ａ）としては、特定
のアクリル系樹脂を少なくとも含有するものであれば特
に限定するものではない。

【００１７】上記特定のアクリル系樹脂は、重量平均分
子量が５，０００〜４５，０００のものを用いる必要が
ある。さらに、酸価が９０〜２５０ｍｇＫＯＨ／ｇで、
ガラス転移温度が４０〜１３０℃のものが好ましい。よ
り好ましくは重量平均分子量１０，０００〜３５，００
０、酸価１００〜１９０ｍｇＫＯＨ／ｇ、ガラス転移温
度６０〜１２５℃である。そして、分子内にスチレン成
分を２〜７０重量％含有するものが好ましく、特に好ま
しくは５〜５０重量％である。

【００１８】すなわち、上記重量平均分子量が５，００
０未満であると、バインダーとしての働きが困難となり
樹脂組成物をフィルム化したときの可撓性が低くなる。
逆に４５，０００を超えると、高解像度を得ることが困
難となるからである。さらには、上記酸価が９０ｍｇＫ
ＯＨ／ｇ未満では、感光性樹脂組成物を使用する際にア
ルカリ現像性や光硬化後の剥離性に劣り、作業性が低下
する傾向がみられ、逆に２５０ｍｇＫＯＨ／ｇを超える
と、細線密着性に劣る傾向がみられるからである。ま
た、ガラス転移温度が上記範囲を外れると、基板への貼
着時に皺が入ったり、エッジフュージョンが発生し易か
ったり、硬く脆くなって取り扱いが困難となる傾向がみ
られる。

【００１９】上記特定のアクリル系樹脂としては、例え
ば、（メタ）アクリル酸エステル化合物を主成分とし、
これにエチレン性不飽和カルボン酸およびその他の共重
合可能なモノマーを共重合させてなるアクリル系重合体
が用いられる。

【００２０】上記（メタ）アクリル酸エステル化合物と
しては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル
（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレー
ト、ブチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）ア
クリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレー
ト、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル
（メタ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）
アクリレート、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレー
ト、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、グリシ
ジル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸テトラ
ヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチ
ルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチル
アミノエチルエステル、メタクリル酸グリシジルエステ
ル、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレ
ート等があげられる。

【００２１】上記エチレン性不飽和カルボン酸として
は、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸等
のモノカルボン酸が好適に用いられ、マレイン酸、フマ
ール酸、イタコン酸等のジカルボン酸や、それらの無水
物やハーフエステルを用いることもできる。これらのな
かでも、アクリル酸、メタクリル酸が特に好ましい。

【００２２】上記その他の共重合可能なモノマーとして
は、例えば、スチレン、（メタ）アクリルアミド、２，
２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレ
ートアクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、ビニ
ルトルエン、酢酸ビニル、アルキルビニルエーテル、
（メタ）アクリロニトリル等があげられる。特に、スチ
レンを用いることが好ましい。そして、その使用量とし
ては、アクリル系樹脂の分子内にスチレン成分を２〜７
０重量％の範囲内で含有させることが好ましい。すなわ
ち、この範囲を外れると、耐薬品性が悪く密着不良とな
ったり、脆くなって密着不良となる傾向がみられるから
である。

【００２３】上記バインダー成分（Ａ）とともに用いら
れるモノマー成分（Ｂ）は、少なくとも下記の一般式
（１）で表される化合物を含有する必要がある。

【００２４】

【化３】

【００２５】上記一般式（１）において、Ｒ₁ ，Ｒ₂ は
共に水素が好ましい。そして、上記一般式（１）中のＸ
₁ 〜Ｘ₆ のうち、少なくとも２個は−（ＣＯ−Ｃ₅ Ｈ₁₀
−Ｏ）ｍ−ＣＯ−ＣＲ₂ ＝ＣＨ₂ でなければならず、特
に好ましくは少なくとも３個が−（ＣＯ−Ｃ₅ Ｈ₁₀−
Ｏ）ｍ−ＣＯ−ＣＲ₂ ＝ＣＨ₂ である。また、繰り返し
数ｍは１〜２の整数が特に好ましい。

【００２６】さらに、モノマー成分（Ｂ）としては、上
記一般式（１）で表される化合物とともにウレタンジ
（メタ）アクリレート化合物を併用することが好まし
い。このウレタンジ（メタ）アクリレート化合物を用い
ることにより、光硬化後のレジストに可撓性を持たせる
ことが可能となり、割れによる密着性の低下を防ぐとい
う効果を奏するようになる。

【００２７】上記ウレタンジ（メタ）アクリレート化合
物としては、ＣＨ₂ ＣＨＣＨ₃ Ｏ連鎖、−Ｃ₄ Ｈ₈ Ｏ−
連鎖および−ＣＯ−Ｃ₅ Ｈ₁₀Ｏ−連鎖のうち少なくとも
１種類と、Ｃ₂ Ｈ₄ 連鎖と、ウレタン結合を４個含有
し、さらに末端エチレン性基を有するものが好ましく用
いられる。

【００２８】このようなウレタンジ（メタ）アクリレー
ト化合物としては、相溶性、解像性および可撓性の点か
ら、重量平均分子量（Ｍｗ）１０００〜１０，０００の
ものが好ましく用いられる。

【００２９】上記一般式（１）で表される化合物および
上記ウレタンジ（メタ）アクリレート化合物以外のモノ
マー成分（Ｂ）としては、エチレン性不飽和化合物が好
ましく、例えば、エチレングリコールジ（メタ）アクリ
レート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレー
ト、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレー
ト、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、
プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプ
ロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ブチレン
グリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリ
コールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサングリ
コールジ（メタ）アクリレート、グリセリンジ（メタ）
アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリ
レート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ
（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジグリシ
ジルエーテルジ（メタ）アクリレート、フタル酸ジグリ
シジルエステルジ（メタ）アクリレート、ヒドロキシヒ
バリン酸変性ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリ
レート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレー
ト、１，６−ヘキサメチルジグリシジルエーテルジ（メ
タ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メ
タ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）
アクリレート、ペンタエリスリトールテトラプロポキシ
アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）
アクリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリ
（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ
（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ
（メタ）アクリレート、２，２′−ビス〔４−（メタ）
アクリロキシジエトキシフェニル〕プロパン、２，２′
−ビス〔４−（メタ）アクリロキシペンタエトキシフェ
ニル〕プロパン、２，２′−ビス〔４−（メタ）アクリ
ロキシポリエトキシフェニル〕プロパン、２−ヒドロキ
シ−３−（メタ）アクリロイルオキシプロピルアクリレ
ート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル
トリ（メタ）アクリレート等の多官能モノマーがあげら
れる。また、上記多官能モノマーとともに単官能モノマ
ーを適当量併用することもでき、このような単官能モノ
マーとしては、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）
アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリ
レート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、
２−フェノキシ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アク
リレート、２−（メタ）アクリロイルオキシ−２−ヒド
ロキシプロピルフタレート、３−クロロ−２−ヒドロキ
シプロピル（メタ）アクリレート、グリセリンモノ（メ
タ）アクリレート、２−（メタ）アクリロイルオキシエ
チルアシッドホスフェート、フタル酸誘導体のハーフ
（メタ）アクリレート、Ｎ−メチロール（メタ）アクリ
ルアミド等があげられる。

【００３０】上記一般式（１）で表される化合物の含有
量は、感光性樹脂組成物全体の１〜２０重量％の範囲に
設定することが好ましく、特に好ましくは２〜１５重量
％である。すなわち、上記一般式（１）で表される化合
物の含有量が１重量％未満であると、エッジフュージョ
ンの発生防止効果が得られ難く、逆に２０重量％を超え
ると、感光性樹脂組成物と支持体フィルムや保護フィル
ムとの密着性が低くなり過ぎて取り扱い難くなる傾向が
みられるからである。

【００３１】また、上記ウレタンジ（メタ）アクリレー
ト化合物の含有量は、感光性樹脂組成物全体の１〜２０
重量％の範囲に設定することが好ましく、特に好ましく
は２〜１５重量％である。すなわち、上記ウレタンジ
（メタ）アクリレート化合物の含有量が１重量％未満で
あると、光硬化後のレジストへの可撓性付与効果が少な
く、逆に２０重量％を超えると、解像度が悪くなる傾向
がみられるからである。

【００３２】そして、上記バインダー成分（Ａ）とモノ
マー成分（Ｂ）の混合比（重量比）は、Ａ／Ｂ＝３５／
６５〜７０／３０の範囲が好ましく、特に好ましくはＡ
／Ｂ＝４２／５８〜６５／３５である。すなわち、モノ
マー成分（Ｂ）の重量比が３０未満であると、解像度が
悪くなるばかりか硬化速度も遅くなり、逆にモノマー成
分（Ｂ）の重量比が６５を超えると、エッジフュージョ
ンが発生したり剥離速度が遅くなるおそれがあるからで
ある。

【００３３】上記バインダー成分（Ａ）およびモノマー
成分（Ｂ）とともに用いられる光重合開始剤（Ｃ）とし
ては、特に限定するものではないが好ましくはロフィン
二量体を用いることである。

【００３４】上記ロフィン二量体としては、ロフィン
（２，４，５−トリフェニルイミダゾール）の二量体で
あれば特に限定はなく、例えば、２，２′−ビス（ｏ−
クロロフェニル）−４，５，４′，５′−テトラフェニ
ル−１，２′−ビイミダゾール、２，２′−ビス（ｏ−
クロロフェニル）−４，５，４′，５′−テトラフェニ
ル−１，１′−ビイミダゾール、２，２′−ビス（ｏ−
フルオロフェニル）−４，５，４′，５′−テトラフェ
ニル−１，１′−ビイミダゾール、２，２′−ビス（ｏ
−メトキシフェニル）−４，５，４′，５′−テトラフ
ェニル−１，１′−ビイミダゾール、２，２′−ビス
（ｐ−メトキシフェニル）−４，５，４′，５′−テト
ラフェニル−１，１′−ビイミダゾール、２，４，
２′，４′−ビス〔ビ（ｐ−メトキシフェニル）〕−
５，５′−ジフェニル−１，１′−ビイミダゾール、
２，２′−ビス（２，４−ジメトキシフェニル）−４，
５，４′，５′−ジフェニル−１，１′−ビイミダゾー
ル、２，２′−ビス（ｐ−メチルチオフェニル）−４，
５，４′，５′−ジフェニル−１，１′−ビイミダゾー
ル、ビス（２，４，５−トリフェニル）−１，１′−ビ
イミダゾール等があげられる。これらは単独でもしくは
２種以上併せて用いられる。これらのなかでも、２，
２′−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，５，４′，
５′−テトラフェニル−１，２′−ビイミダゾールが好
ましい。

【００３５】上記ロフィン二量体の含有量は、上記バイ
ンダー成分（Ａ）とモノマー成分（Ｂ）の合計量１００
重量部（以下「部」と略す）に対して、１〜８部の範囲
が好ましく、特に好ましくは２〜５部である。すなわ
ち、１部未満であると、感度が低くなり、逆に８部を超
えると、現像槽に析出し汚染が生じるおそれがあるから
である。

【００３６】上記ロフィン二量体以外の光重合開始剤
（Ｃ）としては、ケトン類、有機過酸化物等があげられ
る。

【００３７】上記ケトン類としては、例えば、ｐ−アミ
ノフェニルケトン類があげられ、具体的には、Ｎ，Ｎ′
−テトラアルキル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン
（ミヒラーケトン）、ベンゾイン、ベンゾインメチルエ
ーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプ
ロピルエーテル、ベンゾインｎ−ブチルエーテル、ベン
ゾインイソブチルエーテル、ベンゾインイソフェニルエ
ーテル、ベンジルジフェニルジスルフィド、ベンジルジ
メチルケタール、ジアセチル、アントラキノン、ナフト
キノン、３，３′−ジメチル−４−メトキシベンゾフェ
ノン、ベンゾフェノン、４，４′−ビス（ジメチルアミ
ノ）ベンゾフェノン、４，４′−ビス（ジエチルアミ
ノ）ベンゾフェノン、クロロチオキサントン等があげら
れる。なかでも、４，４′−ビス（ジエチルアミノ）ベ
ンゾフェノンが好ましい。

【００３８】なお、本発明の感光性樹脂組成物には、上
記バインダー成分（Ａ）、モノマー成分（Ｂ）および光
重合開始剤（Ｃ）に加えて、染料（色素、変色剤）、熱
重合禁止剤、可塑剤、密着付与剤、酸化防止剤、溶剤、
表面張力改質剤、安定剤、連鎖移動剤、消泡剤、難燃剤
等を配合しても差し支えない。上記色素としては、例え
ば、ロイコクリスタルバイオレット、マラカイトグリー
ン等があげられる。

【００３９】本発明の感光性樹脂組成物は、上記バイン
ダー成分（Ａ）、モノマー成分（Ｂ）および光重合開始
剤（Ｃ）を必須成分とし、これに必要に応じて色素等の
他の成分を配合し、混合することにより調製することが
できる。

【００４０】つぎに、本発明の感光性樹脂組成物を用い
た感光性フィルムの代表例について述べる。すなわち、
本発明の感光性樹脂組成物を用いてなる感光性樹脂組成
物層の片面に支持体フィルム（キャリアフィルム）が積
層形成されているとともに、感光性樹脂組成物層の他面
には保護フィルム（カバーフィルム）が積層形成された
３層構造の感光性フィルムが代表的なものとしてあげら
れる。

【００４１】上記支持体フィルムとしては特に限定はな
いが、溶剤や乾燥に耐え、透明性の良好なものが好まし
く、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フ
ィルムが一般的に用いられる。

【００４２】上記保護フィルムは、感光性フィルムをロ
ール状にして用いる場合に、粘着性を有する感光性樹脂
組成物層の支持体フィルムへの転着等を防止する目的で
使用されるものであり、例えば、ポリエチレン（ＰＥ）
フィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリビニルアルコ
ールフィルム、ポリ四フッ化エチレン（ＰＴＦＥ）フィ
ルム、ポリスチレンフィルム等があげられ、好ましくは
ＰＥフィルムである。

【００４３】本発明の感光性フィルムは、例えば、つぎ
のようにして作製することができる。すなわち、上記支
持体フィルムの片面に、本発明の感光性樹脂組成物を均
一に塗布し、９０℃のオーブンで５分間乾燥して感光性
樹脂組成物層を形成する。ついで、上記感光性樹脂組成
物層の他面に保護フィルムを加圧積層することにより、
感光性樹脂組成物層の片面に支持体フィルムが、また感
光性樹脂組成物層の他面に保護フィルムがそれぞれ積層
されてなる３層構造の感光性フィルムを作製することが
できる。

【００４４】本発明の感光性フィルムにおいて、感光性
樹脂組成物層の厚みは、４０μｍ以下が好ましく、特に
好ましくは１０〜３０μｍである。すなわち、感光性樹
脂組成物層の厚みが４０μｍを超えると、充分な解像度
を得ることが困難となるからである。また、上記支持体
フィルムの厚みは、通常、１０〜３０μｍであり、好ま
しくは１４〜２２μｍである。すなわち、１０μｍ未満
では、フィルムが柔軟すぎて取り扱いに不便であり、逆
に３０μｍを超えると、解像度が低下したり、コストア
ップとなり好ましくないからである。上記保護フィルム
の厚みは、通常、１０〜３５μｍであり、好ましくは１
５〜３０μｍである。

【００４５】本発明の感光性フィルムは、例えば、プリ
ント配線板，リードフレーム等の製造や、金属の精密加
工等に用いられる。本発明の感光性フィルムを用いたプ
リント配線板の製法について、以下に説明する。

【００４６】〔露光〕感光性フィルムによって画像を形
成させるには、感光性樹脂組成物層の表面から保護フィ
ルムを剥離した後、その感光性樹脂組成物層の表面を、
銅張基板や４２アロイ、ＳＵＳ等の金属面に貼り付け
る。ついで、上記感光性樹脂組成物層の反対側面の支持
体フィルム上にパターンマスクを密着させて露光する。
上記露光は、通常、紫外線照射により行い、その際の光
源としては、高圧水銀灯、カーボンアーク灯、キセノン
灯、メタルハライドランプ、ケミカルランプ等が用いら
れる。なお、必要に応じて、紫外線照射後に加熱を行
い、硬化の完全を図ることも可能である。

【００４７】〔現像〕露光後は、上記感光性樹脂組成物
層上の支持体フィルムを剥離除去してから現像を行う。
この現像により、未露光部が溶出除去される。上記感光
性樹脂組成物が稀アルカリ現像型である場合、露光後の
現像は、炭酸ソーダ、炭酸カリウム等の０．３〜２重量
％程度のアルカリ水溶液を用いて行う。なお、上記アル
カリ水溶液中には、界面活性剤，消泡剤や、現像を促進
させるための少量の有機溶剤等を混入させてもよい。現
像後は、通常、水洗、乾燥工程が続く。

【００４８】〔エッチング、めっき〕エッチングは、通
常、塩化第二銅−塩酸水溶液や、塩化第二鉄−塩酸水溶
液等の酸性エッチング液を用いて、常法に従って行う。
希にアンモニア系のアルカリエッチング液も用いられ
る。めっき法は、脱脂剤、ソフトエッチング剤等のめっ
き前処理剤を用いて前処理を行った後、めっき液を用い
てめっきを行う。

【００４９】〔硬化レジストの剥離除去〕エッチングま
たはめっき工程後、残っている硬化レジスト（感光性樹
脂組成物）の剥離を行う。硬化レジストの剥離除去は、
水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の０．５〜５重量
％程度の濃度のアルカリ水溶液あるいはエタノールアミ
ン類等を含有する水溶液からなるアルカリ剥離液を、あ
るいはアルカリ性有機剥離剤を含む水溶液を用いて行
う。

【００５０】つぎに、実施例について比較例と併せて説
明する。

【００５１】まず、実施例および比較例に先立ち、下記
に示す材料を準備した。

【００５２】〔アクリル系樹脂（Ａ）〕メタクリル酸
メチルとスチレンとメタクリル酸を４０／４０／２０
（重量比）の割合で重合させて得られたビニル系重合体
（重量平均分子量：１．９万、酸価：１３０ｍｇＫＯＨ
／ｇ、Ｔｇ＝１２２℃）

【００５３】〔アクリル系樹脂（Ａ）〕メタクリル酸
メチルとアクリル酸ｎ−ブチルとメタクリル酸を６０／
２０／２０（重量比）の割合で重合させて得られたビニ
ル系重合体（重量平均分子量：８万、酸価：１３０ｍｇ
ＫＯＨ／ｇ、Ｔｇ＝７２℃）

【００５４】〔前記一般式（１）で表される化合物（Ｂ
１）〕日本化薬社製、ＤＰＣＡ−６０〔式（１）中、
Ｘ₁ 〜Ｘ₆ 全てが−（ＣＯ−Ｃ ₅ Ｈ₁₀−Ｏ）ｍ−ＣＯ−
ＣＲ₂ ＝ＣＨ₂ （ｍ＝１、Ｒ₂ はＨ）である。〕

【００５５】〔前記一般式（１）で表される化合物（Ｂ
１）〕日本化薬社製、ＤＰＣＡ−１２０〔式（１）
中、Ｘ₁ 〜Ｘ₆ 全てが−（ＣＯ−Ｃ₅ Ｈ₁₀−Ｏ）ｍ−Ｃ
Ｏ−ＣＲ₂ ＝ＣＨ₂ （ｍ＝２、Ｒ₂ はＨ）である。〕

【００５６】〔前記一般式（１）で表される化合物（Ｂ
１）〕日本化薬社製、ＤＰＣＡ−３０〔式（１）中、
Ｘ₁ 〜Ｘ₆ のうちう３個が−（ＣＯ−Ｃ₅ Ｈ₁₀−Ｏ）ｍ
−ＣＯ−ＣＲ₂ ＝ＣＨ₂ （ｍ＝１、Ｒ₂ はＨ）で、残り
３個が−ＣＯ−ＣＲ₁ ＝ＣＨ₂ （Ｒ₁ はＨ）である。〕

【００５７】〔ウレタンジ（メタ）アクリレート化合物
（Ｂ２）〕下記の構造式（ａ）で表される化合物。

【化４】

【００５８】〔ウレタンジ（メタ）アクリレート化合物
（Ｂ２）〕下記の構造式（ｂ）で表される化合物。

【化５】

【００５９】〔エチレン性不飽和化合物〕 ＢＰＥ：２，２′−ビス〔４−（メタクリロキシポリエ
トキシ）フェニル〕プロパン（ＥＯ＝１０）

【００６０】〔エチレン性不飽和化合物〕 ＴＭＰ−３ＰＡ：トリメチロールプロパントリプロポキ
シアクリレート

【００６１】〔エチレン性不飽和化合物〕 Ｐ−４ＰＡ：ペンタエリスリトールテトラプロポキシア
クリレート

【００６２】〔エチレン性不飽和化合物〕 ＨＯＡ−ＭＰＥ：２−アクリロイルオキシエチル−２−
ヒドロキシエチルフタレート

【００６３】〔光重合開始剤（Ｃ）〕 ロフィン二量体：２，２′−ビス（ｏ−クロロフェニ
ル）−４，５，４′，５′−テトラフェニル−１，２′
−ビイミダゾール（ＨＡＢＩ）

【００６４】〔光重合開始剤（Ｃ）〕 ケトン類：４，４′−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフ
ェノン（ＥＡＢ）

【００６５】〔他の添加剤〕 ＬＣＶ：ロイコクリスタルバイオレット

【００６６】〔他の添加剤〕 ＭＧ：マラカイトグリート

【００６７】

【実施例１〜６、比較例１〜３】下記の表１および表２
に示す各成分を同表に示す割合で配合し混合して、感光
性樹脂組成物の樹脂分５８％のドープを調製した（表
１，２中の数値は全体を１００重量％とした場合の各化
合物の組成割合であり、各々の重量比を示す）。なお、
上記アクリル系樹脂は、還流冷却管，温度計，攪拌機，
ヒータを備えたフラスコにて合成し、樹脂分４５％のメ
チルエチルケトン／イソプロピレンアルコール（重量
比：８０／２０）溶液としたものを使用した。また、ド
ープ作製時の希釈にはメチルエチルケトンを使用した。
ついで、この感光性樹脂組成物を、アプリケーターを用
いて厚み１９μｍのＰＥＴフィルム（支持体フィルム）
上に均一に塗布し、６０℃の熱風乾燥機で２分間乾燥し
た後、さらに９０℃の熱風乾燥機で５分間乾燥して、厚
み２５μｍの感光性樹脂組成物層を形成した。さらに、
この感光性樹脂組成物層の他面に、厚み２５μｍのＰＥ
フィルム（保護フィルム）を積層し、これを１日放置し
て、感光性フィルムを得た。一方、厚み３５μｍの銅箔
を貼り合わせてなる銅張基板（厚み１．６ｍｍ、大きさ
２５０ｍｍ×２００ｍｍ）を準備し、銅箔表面をスコッ
チブライトＳＦ（住友スリーＭ社製）を用いてバフロー
ル研磨し、水洗した後、空気流で乾燥させ、整面し、こ
れをオーブンで６０℃に予熱した。そして、この銅箔表
面に、上記感光性フィルムのＰＥフィルム（保護フィル
ム）を剥離しながら、ＰＥＴフィルム（支持体フィル
ム）と感光性樹脂組成物層からなるフィルムをオートカ
ットラミネーター（伯東社製、ＭＡＣＨ６１０ｉ）を用
いてラミネートした（ラミネート条件：ホットロール温
度１００℃、ロール圧約０．３ＭＰａ、ラミネート速度
１．５ｍ／ｍｉｎ）。

【００６８】

【表１】

【００６９】

【表２】

【００７０】このようにして得られた実施例品および比
較例品を用いて、下記の基準に従い、各特性の評価を行
った。これらの結果を、後記の表３および表４に併せて
示した。

【００７１】〔感度〕上記銅張基板上にラミネートした
感光性樹脂組成物層の表面に、ストーファー２１段ステ
ップタブレット（光透過量が段階的に少なくなるように
作られたネガフィルム）を、オーク製作所社製の露光機
（ＥＸＭ−１１７１−Ａ００）を用いて、２ｋＷ超高圧
水銀ショートアーク灯（平行光）で露光した。ついで、
３０℃の１重量％炭酸ナトリウム水溶液を、最小現像時
間の２倍の時間でスプレー現像した。各露光量と現像後
に残った段数より、ストーファー２１段ステップタブレ
ットにて５段を与えるに足る露光量を調べた。

【００７２】〔解像性〕上記銅張基板上にラミネートし
た感光性樹脂組成物層の表面に、ライン／スペース＝１
／１（６μｍ，８μｍ，１０μｍ，１２μｍ，１４μ
ｍ，１６μｍ，１８μｍ，２０μｍ，２５μｍ，３０μ
ｍ，３５μｍ，４０μｍ）の各々のパターンマスク（ガ
ラスクロス乾板製）を真空密着させた。ついで、２ｋＷ
超高圧水銀ショートアーク灯（平行光）でストーファー
２１段ステップタブレットの５段相当量の露光量で露光
し、現像後にレジスト画像が解像される最小ライン幅を
調べた。

【００７３】〔密着性〕上記銅張基板上にラミネートし
た感光性樹脂組成物層の表面に、ライン／スペース＝１
／１（６μｍ，８μｍ，１０μｍ，１２μｍ，１４μ
ｍ，１６μｍ，１８μｍ，２０μｍ，２５μｍ，３０μ
ｍ，３５μｍ，４０μｍ）の独立細線の各々のパターン
マスク（ガラスクロム乾板製）を真空密着させ、上記解
像性評価と同様にして現像を行い、密着性良好な独立細
線部の最小ライン幅を調べた。

【００７４】〔耐現像液性〕上記密着性の評価方法にお
いて、現像時間を最小現像時間の４．０倍とした以外
は、上記と同様に行い、最小ライン幅を調べた。

【００７５】〔エッジフュージョン〕上記感光性フィル
ムを用いて感光性フィルムロール（幅３３０ｍｍ、長さ
１００ｍ）を作製し、これを５０℃で６０％ＲＨの雰囲
気下で保存した。そして、エッジフュージョンの発生の
有無を目視評価した。評価は、１週間経過後もエッジフ
ュージョンの発生が確認されなかったものを○、２日以
内にエッジフュージョンの発生が確認されたものを×と
した。

【００７６】

【表３】

【００７７】

【表４】

【００７８】上記表３および表４の結果から、実施例
は、いずれも高解像度で、密着性に優れ、良好な感度を
示した。また、耐現像液性にも優れ、エッジフュージョ
ンも発生しなかった。

【００７９】これに対して、比較例１は、低分子量のア
クリル系樹脂を用いているが、前記一般式（１）で表さ
れる化合物（ジペンタエリスリトール誘導体）を用いな
かったため、エッジフュージョンの発生が確認された。
また、比較例２は、前記一般式（１）で表される化合物
（ジペンタエリスリトール誘導体）を用いているが、低
分子量のアクリル系樹脂を用いなかったため、エッジフ
ュージョンは発生しなかったが、解像性，密着性および
耐現像液性に劣る結果となった。さらに、比較例３は、
低分子量のアクリル系樹脂および前記一般式（１）で表
される化合物（ジペンタエリスリトール誘導体）の双方
とも用いない従来の感光性樹脂組成物を用いており、エ
ッジフュージョンは発生しなかったが、解像性，密着性
および耐現像液性に劣る結果となった。

【００８０】

【発明の効果】以上のように、本発明の感光性フィルム
は、バインダー成分（Ａ）として特定のアクリル系樹脂
を少なくとも含有するとともに、モノマー成分（Ｂ）と
して前記一般式（１）で表される化合物を少なくとも含
有してなる特殊な感光性樹脂組成物を用いているため、
高解像度で特に細線の密着性に優れ、しかもロール状に
巻回して保存した際にエッジフュージョンの生じない感
光性フィルムが得られる。

【００８１】そして、前記一般式（１）で表される化合
物の含有量が、前記特定の範囲であると、高解像度と密
着性のバランスを保ちつつ、ロールで保管してもエッジ
フュージョンの発生を防止することが可能となる。な
お、上記範囲を外れると、エッジフュージョンが発生し
たり、感光性フィルムを光硬化したものが脆くなってし
まい、結果、密着性を低下させてしまう等の問題が生じ
る傾向がみられるようになる。

【００８２】また、光重合開始剤（Ｃ）として上記ロフ
ィン二量体を少なくとも含有すると、現像剤等の耐薬品
性が向上するため、より細いラインでも密着可能とな
る。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０３Ｆ 7/004 ５１２ Ｇ０３Ｆ 7/004 ５１２ 7/031 7/031 7/033 7/033 (72)発明者 山本 尚俊 大阪府大阪市北区大淀中１丁目１番88号 ニチゴー・モートン株式会社内 Ｆターム(参考） 2H025 AA01 AA02 AA03 AA14 AB11 AB15 AB16 AB17 AC01 AD01 BC14 BC42 BC43 BC45 CA01 CA28 CB14 CB55 DA01 FA03 FA17 4J011 PA69 PB40 PC02 PC08 QA13 QA14 QA17 QA22 QA23 QA24 RA03 SA21 SA31 SA41 SA51 SA78 SA83 UA01 UA06 VA01 WA01 4J026 AA17 AA43 AA45 AA47 AA48 BA28 BA29 BA30 DB06 DB11 DB36 GA06 GA07 4J100 AL66P AL67P BA02P CA01 FA03 JA37

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 バインダー成分（Ａ）、モノマー成分
   （Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）を含有する感光性樹脂
   組成物であって、上記バインダー成分（Ａ）が重量平均
   分子量５，０００〜４５，０００のアクリル系樹脂を少
   なくとも含有し、かつ上記モノマー成分（Ｂ）が下記の
   一般式（１）で表される化合物を少なくとも含有するこ
   とを特徴とする感光性樹脂組成物。 【化１】
2. 【請求項２】 上記一般式（１）で表される化合物の含
   有量が、感光性樹脂組成物全体の１〜２０重量％に設定
   されている請求項１記載の感光性樹脂組成物。
3. 【請求項３】 上記光重合開始剤（Ｃ）が、少なくとも
   ロフィン二量体を含有する請求項１または２記載の感光
   性樹脂組成物。
4. 【請求項４】 感光性樹脂組成物層の片面に支持体フィ
   ルムが積層され、上記感光性樹脂組成物層の他面に保護
   フィルムが積層されてなる感光性フィルムであって、上
   記感光性樹脂組成物層が、請求項１〜３のいずれか一項
   に記載の感光性樹脂組成物を用いて形成されたものであ
   ることを特徴とする感光性フィルム。