JP2001300459A - Method for manufacturing highly clean plastic film or sheet, and highly clean package using highly clean plastic film or sheet - Google Patents
Method for manufacturing highly clean plastic film or sheet, and highly clean package using highly clean plastic film or sheetInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、プラスチックフィ
ルム又はシートの高清浄化方法に関するものであり、特
に半導体、精密機器、電子機器等の製造物や医療に関連
する機具類、さらには清浄室内で使用される衣服や手袋
等を包装するために使用されるプラスチックフィルム又
はシートの高清浄化方法と該高清浄化方法により作製さ
れた高清浄プラスチック袋に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for highly cleaning a plastic film or sheet, and more particularly to a product such as a semiconductor, a precision instrument, an electronic instrument, or a medical equipment, and further, to use in a clean room. The present invention relates to a method for highly cleaning a plastic film or sheet used for packaging clothes, gloves, and the like to be used, and a highly purified plastic bag produced by the method.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体や精密機器の如き製品は、極端に
ゴミ、埃、チリといった塵埃を嫌うため、その製造は清
浄度の高い室内で行われ、さらに清浄度の高い治具を用
い、製造作業員の衣服、手袋も高い清浄度のものが用い
られる。このような環境に清浄室外から物品を持ち込む
際にはプラスチック製の袋に入れることが多いが、この
プラスチック製の袋が清浄室を汚染する原因となること
もある。すなわち、プラスチック製の袋の内面及び外面
が塵埃によって汚染されていることが多いためである。
よって、内外面とも塵埃のない清浄なプラスチック製の
袋が常に要求されている。2. Description of the Related Art Products such as semiconductors and precision equipment are extremely reluctant to dust such as dirt, dust, and dust, and therefore are manufactured in a highly clean room, and further manufactured using jigs with a high degree of cleanliness. Workers' clothes and gloves with high cleanliness are also used. When bringing goods from outside the clean room into such an environment, the goods are often put in a plastic bag, but this plastic bag may cause contamination of the clean room. That is, the inner and outer surfaces of the plastic bag are often contaminated with dust.
Therefore, there is always a demand for a clean plastic bag free of dust on the inner and outer surfaces.
【０００３】従来、上記プラスチック製の袋を清浄化す
る方法には、プラスチック製の袋そのものあるいはプラ
スチックフィルム又はシートを清浄化し、それを清浄室
内で製袋する方法などが知られている。後者のプラスチ
ックフィルム又はシートの清浄化方法として、例えば特
開平９−８１４６２８号公報に提案されているように、
プラスチックフィルム又はシートを超純水中に浸漬して
洗浄する方法や、特開平６−２８５９４４号公報に提案
されているように、包装に用いられる内層フィルム又は
シートの表裏両面を外層フィルム又はシートにより剥離
可能に被覆して、内層フィルム又はシートの汚染を防止
し、使用に際して外層フィルム又はシートを剥離し、そ
の内層フィルム又はシートにより被包装体を包装する方
法などがある。Conventionally, as a method of cleaning the plastic bag, there is known a method of cleaning a plastic bag itself or a plastic film or sheet and manufacturing the bag in a clean room. As the latter method for cleaning a plastic film or sheet, for example, as proposed in JP-A-9-814628,
A method of washing a plastic film or sheet by immersing it in ultrapure water, or as proposed in JP-A-6-285944, an inner layer film or sheet used for packaging is coated with an outer layer film or sheet on both sides. There is a method in which the film is peelably coated to prevent contamination of the inner layer film or sheet, the outer layer film or sheet is peeled off at the time of use, and the package is wrapped with the inner layer film or sheet.
【０００４】しかし、上記プラスチックフィルム又はシ
ートを超純水で清浄化する方法では、洗浄に用いる超純
水の水質管理やプラスチックフィルム又はシートを洗浄
後に乾燥させるための設備等にかなりの費用を要し、そ
れが包装材料のコスト高となる問題があった。However, the method of cleaning a plastic film or sheet with ultrapure water requires considerable cost for controlling the quality of ultrapure water used for cleaning and equipment for drying the plastic film or sheet after cleaning. However, there is a problem that the cost of the packaging material increases.
【０００５】また、上記プラスチックフィルム又はシー
トを外層により被覆する方法では、剥離した後の外層が
無駄になり、よってこれも包装材料のコストアップとな
るという問題があった。Further, in the method of coating the plastic film or sheet with an outer layer, there is a problem that the outer layer after peeling is wasted, which also increases the cost of the packaging material.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
技術の問題点を解決するものであり、その課題とすると
ころは、大がかりな設備の設置したり、無駄なプラスチ
ックフィルムを使用したりせずに、安価で高能率的な高
清浄化プラスチックフィルム又はシートの製造方法を提
供し、その製造方法により得られた高清浄プラスチック
フィルム又はシートを用いた高清浄包装袋を提供するこ
とにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned problems of the prior art, and the objects thereof are to install large-scale facilities and use wasteful plastic films. Instead, it is an object of the present invention to provide an inexpensive and highly efficient method for producing a highly purified plastic film or sheet, and to provide a highly purified packaging bag using the highly purified plastic film or sheet obtained by the production method.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明に於いて上記課題
を達成するために、まず請求項１の発明では、プラスチ
ックフィルム又はシートを高清浄化する方法であって、
該高清浄化する方法がプラスチックフィルム又はシート
表面に霧状の洗浄用液体を吹きつけることによって洗浄
する洗浄工程と該吹き付けられて付着したプラスチック
フィルム又はシート表面の洗浄用液体を、無塵気体を高
圧で吹き付けて離脱、分散させる除去工程を含んでいる
ことを特徴とする高清浄プラスチックフィルム又はシー
トの製造方法としたものである。Means for Solving the Problems In order to achieve the above object in the present invention, first, in the invention of claim 1, there is provided a method for highly cleaning a plastic film or sheet,
The high-purification method is a cleaning step of cleaning by spraying a mist-like cleaning liquid on the surface of a plastic film or sheet, and the cleaning liquid on the surface of the plastic film or sheet sprayed and adhered is pressurized with a dust-free gas at a high pressure. And a method for producing a highly-clean plastic film or sheet, comprising a removing step of spraying, separating and dispersing.
【０００８】また、請求項２の発明では、前記プラスチ
ックフィルム又はシートは、表面電気抵抗が１０9 Ω／
□以下であることを特徴とする請求項１記載の高清浄プ
ラスチックフィルム又はシートの製造方法としたもので
ある。[0008] In the invention of claim 2, the plastic film or sheet has a surface electric resistance of 10 9 Ω /.
□ The method for producing a highly-clean plastic film or sheet according to claim 1, characterized in that:
【０００９】また、請求項３の発明では、前記洗浄用液
体が、水系液体、非水系液体のいずれか一つ又は複数の
組合せであることを特徴とする請求項１または２記載の
高清浄プラスチックフィルム又はシートの製造方法とし
たものである。In the invention of claim 3, the cleaning liquid is one or a combination of an aqueous liquid and a non-aqueous liquid. This is a method for producing a film or sheet.
【００１０】また、請求項４の発明では、前記洗浄用液
体の除去工程で吹き付ける無塵気体が、ＪＩＳにおける
清浄度クラス６以上の清浄度であることを特徴とする請
求項１、２または３記載の高清浄プラスチックフィルム
又はシートの製造方法としたものである。Further, in the invention of claim 4, the dust-free gas blown in the step of removing the cleaning liquid has a cleanliness of a cleanliness class 6 or higher according to JIS. A method for producing the highly purified plastic film or sheet described above.
【００１１】また、請求項５の発明では、前記高清浄化
する方法が、クリーンルーム又はクリーンブース内で行
われることを特徴とする請求項１、２、３または４記載
の高清浄プラスチックフィルム又はシートの製造方法と
したものである。Further, in the invention of claim 5, the method of highly cleaning is carried out in a clean room or a clean booth, wherein the highly purified plastic film or sheet according to claim 1, 2, 3 or 4 is provided. It is a manufacturing method.
【００１２】また、請求項６の発明では、前記クリーン
ルーム又はクリーンブースが、ＪＩＳにおける清浄度ク
ラス６以上の清浄度であることを特徴とする請求項５記
載の高清浄プラスチックフィルム又はシートの製造方法
としたものである。Further, in the invention of claim 6, the clean room or the clean booth has a cleanliness of a cleanliness class 6 or higher according to JIS. It is what it was.
【００１３】また、請求項７の発明では、前記クリーン
ルーム又はクリーンブース内に、寸法０．５μｍ以上の
微粒子で３５００個／ｃｍ3 以下である無塵空気を連続
して供給することを特徴とする請求項５または６記載の
高清浄プラスチックフィルム又はシートの製造方法とし
たものである。According to a seventh aspect of the present invention, dust-free air having a particle size of 0.5 μm or more and 3500 particles / cm 3 or less is continuously supplied into the clean room or the clean booth. A method for producing a highly-clean plastic film or sheet according to claim 5 or 6.
【００１４】上記発明の製造方法によれば、得られた高
清浄プラスチックフィルム又はシートは、その表面に付
着した微粒子を無塵水中に離脱、分散させた時、フィル
ム又はシート表面に付着している寸法０．３μｍ以上の
微粒子の濃度（個数）がプラスチックフィルム又はシー
トの片面で１０００個／cm2 以下とすることができる、
製造コストが嵩まない高清浄プラスチックフィルム又は
シートの製造方法を提供できる。According to the manufacturing method of the present invention, when the fine particles adhering to the surface of the obtained highly clean plastic film or sheet are separated and dispersed in dust-free water, they adhere to the film or sheet surface. The concentration (number) of fine particles having a size of 0.3 μm or more can be 1000 particles / cm 2 or less on one surface of a plastic film or sheet.
It is possible to provide a method for producing a high-purity plastic film or sheet without increasing the production cost.
【００１５】さらにまた、請求項８の発明では、前記高
清浄プラスチックフィルム又はシートの製造方法により
得られた高清浄プラスチックフィルム又はシートで構成
されていることを特徴とする高清浄包装袋としたもので
ある。Further, according to the invention of claim 8, a highly clean packaging bag characterized by comprising a highly purified plastic film or sheet obtained by the method for producing a highly purified plastic film or sheet. It is.
【００１６】上記請求項８の発明によれば、高清浄プラ
スチックフィルム又はシートで構成される高清浄包装袋
としたので、半導体分野の物品等を収納して清浄室内に
持ち込むことを可能にする高清浄包装袋を提供できる。According to the eighth aspect of the present invention, since the high-purity packaging bag is made of a high-purity plastic film or sheet, it is possible to store articles in the field of semiconductors and bring them into the clean room. A clean packaging bag can be provided.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を説明す
る。Embodiments of the present invention will be described below.
【００１８】本発明の高清浄プラスチックフィルム又は
シートの製造方法に用いられるプラスチックフィルム又
はシートの材質としては、例えばポリエチレン、ポリプ
ロピレン、ナイロン、ポリエステル、エチレン−ビニル
アルコール共重合体などが挙げられ、フィルム又はシー
トに成形できるものであれば特に制限なく使用できる。
これらは単層又はラミネートされた多層であってもよ
い。特に、プラスチックフィルム又はシートの表面電気
抵抗が１０9Ω／□以下のものとし、塵埃の付着しにく
いものが好ましい。また、プラスチックフィルム又はシ
ートの厚みにも特に制限がないが、好ましくは３０〜１
５０μｍの範囲のものが使用される。The material of the plastic film or sheet used in the method for producing a highly purified plastic film or sheet of the present invention includes, for example, polyethylene, polypropylene, nylon, polyester, ethylene-vinyl alcohol copolymer and the like. Any material that can be formed into a sheet can be used without particular limitation.
These may be a single layer or a laminated multilayer. In particular, it is preferable that the surface resistance of the plastic film or sheet is 10 9 Ω / □ or less, and that the dust is less likely to adhere. The thickness of the plastic film or sheet is not particularly limited, but is preferably 30 to 1
Those having a range of 50 μm are used.
【００１９】本発明の高清浄プラスチックフィルム又は
シートの製造方法は、図１の側面概略図に示すように、
例えば、プラスチックフィルム又はシート（１１）は無
塵空気を循環して清浄度を保っている洗浄室（１２）の
内部を通過する。その際、プラスチックフィルム又はシ
ート（１１）は洗浄液体供給ノズル（１３）から霧状に
なった洗浄用液体が吹き付けられ、それによってプラス
チックフィルム又はシート（１１）の表面に付着してい
る微粒子状の汚れが浮き上がり、除去可能な状態とな
る。The method for producing a highly-clean plastic film or sheet of the present invention, as shown in the schematic side view of FIG.
For example, a plastic film or sheet (11) circulates through dust-free air and passes through a cleaning chamber (12) that maintains cleanliness. At that time, the plastic liquid or the sheet (11) is sprayed with the cleaning liquid in the form of mist from the cleaning liquid supply nozzle (13), whereby the fine particles adhering to the surface of the plastic film or the sheet (11) are formed. The dirt floats up and becomes removable.
【００２０】ここで使用する洗浄用液体は超純水のよう
な水系液体、有機溶剤のような非水系液体、及びそれら
の混合液体を使用することが出来るが、安全性や取扱い
の利便性を鑑みて、超純水にイソプロピルアルコールを
混合したものが最も好ましい。この洗浄用液体を使用す
れば、洗浄室（１２）内部は高湿度状態となるので、静
電気的に付着している微粒子も除去可能となる。The cleaning liquid used here may be an aqueous liquid such as ultrapure water, a non-aqueous liquid such as an organic solvent, or a mixed liquid thereof. In view of this, a mixture of ultrapure water and isopropyl alcohol is most preferable. If this cleaning liquid is used, the inside of the cleaning chamber (12) will be in a high humidity state, so that it is possible to remove the fine particles adhering electrostatically.
【００２１】次に洗浄室（１２）を出たプラスチックフ
ィルム又はシート（１１）は、液体除去部（１４）の内
部を通過する。この液体除去部（１４）は無塵気体供給
ノズル（１５）によって常に清浄度が保たれている。こ
の無塵気体供給ノズル（１５）はエアナイフとして作用
し、プラスチックフィルム又はシート（１１）の表面に
付着している微粒子を洗浄用液体の液滴と共に除去する
ことができる。この液滴を含んだ無塵気体は、液体除去
部（１４）の外部でトラップ及びフィルタリングされ
て、清浄化された後に循環経路（図示せず）を経由して
再度液体除去部（１４）に無塵気体供給ノズル（１５）
によって供給される。ここで使用される無塵気体には、
空気や窒素といった不活性ガスをフィルター濾過して無
塵化したものが用いられるが、無塵化された気体であれ
ばこれらに限定されるものではない。Next, the plastic film or sheet (11) exiting the cleaning chamber (12) passes through the inside of the liquid removing section (14). The liquid removing section (14) is always kept clean by a dust-free gas supply nozzle (15). The dust-free gas supply nozzle (15) acts as an air knife and can remove fine particles adhering to the surface of the plastic film or sheet (11) together with droplets of the cleaning liquid. The dust-free gas containing the droplets is trapped and filtered outside the liquid removing unit (14), and after being cleaned, is returned to the liquid removing unit (14) via a circulation path (not shown). Dust-free gas supply nozzle (15)
Supplied by The dust-free gas used here includes
A dust-free gas such as air or nitrogen that has been filtered through an inert gas is used, but is not limited thereto as long as it is a dust-free gas.
【００２２】好ましくは図１に示すように、複数の洗浄
用液体供給ノズル（１３）と無塵気体供給ノズル（１
５）を設置することが望まれるが、当然単数でもよく、
洗浄用液体供給ノズル（１３）と無塵気体供給ノズル
（１５）の数で本発明が限定されるものではない。ま
た、図１に示すように、洗浄されるプラスチックフィル
ム又はシートの両面を洗浄するすることができるが、当
然片面でもよく、本発明を限定するものではない。Preferably, as shown in FIG. 1, a plurality of cleaning liquid supply nozzles (13) and a dust-free gas supply nozzle (1) are provided.
It is desirable to set 5), but of course it may be singular,
The present invention is not limited by the number of cleaning liquid supply nozzles (13) and the number of dust-free gas supply nozzles (15). Also, as shown in FIG. 1, both sides of the plastic film or sheet to be washed can be washed, but of course one side may be used and the present invention is not limited.
【００２３】このように洗浄用液体を霧状にすること
で、前述した従来のプラスチックフィルム又はシート
（１１）の表面に付着する水分量が超純水に浸漬して洗
浄する方法に比べて、使用する洗浄用液体の量が圧倒的
に少なくなり、経済的に優位な方法とすることができ
る。また、それによってプラスチックフィルム又はシー
ト（１１）の表面又は端面からの水分の浸透も減り、熱
をかける乾燥工程が不要となる。本発明の方法では乾燥
の代わりに無塵気体でプラスチックフィルム又はシート
（１１）上の水分を吹き飛ばすという方法とし、さらに
エネルギー面でも経済性を考慮した方法である。By atomizing the cleaning liquid in this manner, the amount of water adhering to the surface of the above-mentioned conventional plastic film or sheet (11) is reduced as compared with the method of immersing in ultrapure water for cleaning. The amount of the cleaning liquid to be used is overwhelmingly reduced, and the method is economically advantageous. This also reduces the penetration of moisture from the surface or end surface of the plastic film or sheet (11), and eliminates the need for a drying step of applying heat. In the method of the present invention, instead of drying, the moisture on the plastic film or sheet (11) is blown off with a dust-free gas, and the method is also a method considering energy efficiency.
【００２４】例えば、従来の超音波振動空気を吹き付け
るだけの乾式洗浄装置では、人間の皮脂のような油汚れ
は除去することが出来ないが、本方法では容易に除去す
ることが出来る。人間の皮脂は、人間がプラスチックフ
ィルム又はシート（１１）の表面を触るだけで付着する
ものであり、製造中には汚れの発生が多々起こりうるた
めである。For example, with a conventional dry cleaning device that only blows ultrasonic vibration air, oil stains such as human sebum cannot be removed, but this method can easily remove it. Human sebum adheres only to the surface of the plastic film or sheet (11) by human beings, and is likely to cause soiling during production.
【００２５】本発明の製造方法によって、高清浄プラス
チックフィルム又はシート（１）が製造されることか
ら、本発明の製造方法では、可能な限り清浄な空間内で
実施されることが望ましい。Since the highly clean plastic film or sheet (1) is produced by the production method of the present invention, it is desirable that the production method of the present invention be carried out in a space as clean as possible.
【００２６】上記のような本発明の製造方法によれば、
少なくとも０．３μｍ以上の大きさの粒子は全て除去可
能である。しかし、処理工程の経済性及び要求される品
質によっては、処理条件（洗浄用液体の種類や無塵気体
の供給圧力等）をコントロールし、一定の（完全除去さ
れていない）清浄度を有するフィルム又はシートを得る
ようにしてもよい。According to the production method of the present invention as described above,
All particles having a size of at least 0.3 μm or more can be removed. However, depending on the economics of the treatment process and the required quality, the treatment conditions (type of cleaning liquid, supply pressure of dust-free gas, etc.) are controlled, and a film with a certain (not completely removed) cleanness Alternatively, a sheet may be obtained.
【００２７】[0027]
【実施例】次に実施例により、本発明を具体的に説明す
る。Next, the present invention will be described in detail with reference to examples.
【００２８】〈実施例１〉成形後、ブリードアウトして
清浄度を損なうような添加剤を含まないウエブ状のポリ
エチレンフィルムをロールに巻き取った。このフィルム
の厚さは８０μｍ、フィルムの幅は８０ｃｍであった。
また洗浄用液体として超純水にイソプロピルアルコール
を２０ｗｔ％添加したものを作成し、これをフィルター
にて濾過して無塵洗浄用液体とした。Example 1 After molding, a web-like polyethylene film containing no additives that bleeds out and impairs cleanliness was wound around a roll. The thickness of this film was 80 μm, and the width of the film was 80 cm.
Also, a cleaning liquid was prepared by adding 20 wt% of isopropyl alcohol to ultrapure water, and this was filtered through a filter to obtain a dust-free cleaning liquid.
【００２９】上記の洗浄用液体を、図１の側面概略図に
示すように、洗浄用液体供給ノズル（１３）によって霧
状にして洗浄室（１２）内に供給するが、液滴の粒径は
可能な限り小さなものになるようにした。液体除去部
（１４）及び無塵気体供給ノズル（１５）へ供給される
無塵気体は、０．３μｍの塵埃微粒子をフィルターによ
り９９．９７％除去して３５００個／ｍ3以下とした空
気を用いた。またロールに巻かれたウエブ状のプラスチ
ックフィルム（１１）を、図１に示す洗浄装置（１０
０）により洗浄した。この洗浄装置（１００）を設置し
たクリーンルーム内の清浄度はＪＩＳにおける清浄度ク
ラス６とした。As shown in the schematic side view of FIG. 1, the cleaning liquid is supplied to the cleaning chamber (12) in the form of a mist by a cleaning liquid supply nozzle (13). Was as small as possible. The dust-free gas supplied to the liquid removing unit (14) and the dust-free gas supply nozzle (15) removes 99.97% of 0.3 μm dust particles by a filter to remove air having a volume of 3500 particles / m 3 or less. Using. Further, a web-shaped plastic film (11) wound on a roll is passed through a cleaning device (10) shown in FIG.
Washed by 0). The cleanliness in the clean room where this cleaning device (100) was installed was set to the cleanliness class 6 in JIS.
【００３０】図１に示す洗浄室（１２）内の洗浄される
プラスチックフィルム（１１）と洗浄用液体供給ノズル
（１３）の間隔及び液体除去部（１４）内のプラスチッ
クフィルム（１１）と無塵気体供給ノズル（１５）の間
隔はそれぞれ１０ｍｍとした。また、プラスチックフィ
ルム（１１）の走行速度を５ｍ／ｍｉｎとした。さらに
洗浄室（１２）及び液体除去部（１４）へ供給する空気
量は３０リットル／分、排気量は２８．３リットル／分
とし、洗浄室（１２）内及び液体除去部（１４）内がや
や陽圧になるように保った。The distance between the plastic film (11) to be cleaned and the cleaning liquid supply nozzle (13) in the cleaning chamber (12) and the plastic film (11) in the liquid removing section (14) shown in FIG. The distance between the gas supply nozzles (15) was 10 mm. The traveling speed of the plastic film (11) was set at 5 m / min. Further, the amount of air supplied to the cleaning chamber (12) and the liquid removing unit (14) is set to 30 liters / minute, and the exhaust amount is set to 28.3 liters / minute. It was kept at a slightly positive pressure.
【００３１】このようにして得られた高清浄プラスチッ
クフィルム（１）の表面に付着した塵埃微粒子数は、光
散乱式自動粒子計測器によって計測され、高清浄プラス
チックフィルム（１）面積から単位面積あたりの微粒子
数が算出した結果、単位面積あたりの寸法０．３μｍ以
上の微粒子数は３個／ｃｍ2であった。The number of dust particles adhering to the surface of the highly purified plastic film (1) thus obtained is measured by a light scattering type automatic particle measuring instrument, and is calculated from the area of the highly purified plastic film (1) per unit area. As a result of calculation, the number of fine particles having a size of 0.3 μm or more per unit area was 3 / cm 2 .
【００３２】〈比較例１〉図１に示す洗浄装置（１０
０）から洗浄室（１２）を取り外し、その他の条件は実
施例１と同様として、無塵空気による吹き付けだけでの
塵埃微粒子除去を試みた。<Comparative Example 1> The cleaning apparatus (10
The cleaning chamber (12) was removed from 0), and the other conditions were the same as in Example 1, and an attempt was made to remove dust particles only by spraying with dust-free air.
【００３３】上記比較例で得られたフィルムでは、単位
面積あたりの寸法０．３μｍ以上の微粒子数は２３８５
１個／ｃｍ2であった。In the film obtained in the comparative example, the number of fine particles having a size of 0.3 μm or more per unit area is 2385.
It was 1 piece / cm 2 .
【００３４】[0034]
【発明の効果】本発明は以上の構成であるから、下記に
示す如き効果がある。As described above, the present invention has the following effects.
【００３５】即ち、プラスチックフィルム又はシートを
高清浄化する方法であって、表面電気抵抗が１０9 Ω／
□以下であるプラスチックフィルム又はシート表面に霧
状の洗浄用液体を吹きつけることによって洗浄する洗浄
工程と該吹き付けられて付着したプラスチックフィルム
又はシート表面の洗浄用液体を、無塵気体を高圧で吹き
付けて離脱、分散させる除去工程とでなり、前記洗浄用
液体が、水系液体、非水系液体のいずれか一つ又は複数
の組合せでなり、除去工程で吹き付ける無塵気体や高清
浄化するクリーンルーム又はクリーンブースがＪＩＳに
おける清浄度クラス６以上の清浄度とする条件下で高清
浄化するので、表面に付着している寸法０．３μｍ以上
の微粒子の個数がプラスチックフィルム又はシートの片
面で１０００個／ｃｍ2 以下とし、洗浄用液体やエネル
ギー量が少なくかつ大がかりな設備の追加無しで効率が
良く、コストが嵩まない高清浄プラスチックフィルム又
はシートの製造方法とすることができる。That is, a method for highly cleaning a plastic film or sheet, wherein the surface electric resistance is 10 9 Ω /
□ A cleaning step of cleaning by spraying a mist-like cleaning liquid onto the surface of the plastic film or sheet described below, and spraying the cleaning liquid on the surface of the sprayed plastic film or sheet with a dust-free gas at a high pressure. The cleaning liquid is an aqueous liquid, a non-aqueous liquid, or one or a combination of a plurality of non-aqueous liquids. Is highly purified under the condition of a cleanliness level of 6 or more according to JIS, so that the number of fine particles having a size of 0.3 μm or more adhering to the surface is 1000 particles / cm 2 or less on one side of a plastic film or sheet. Efficiency and cost increase without additional cleaning liquid and energy There can be no method for producing highly clean plastic films or sheets.
【００３６】従って本発明は、半導体分野等で清浄室内
で用いることのできる高清浄プラスチック包装袋とし
て、優れた実用上の効果を発揮する。Therefore, the present invention exhibits an excellent practical effect as a highly-clean plastic packaging bag that can be used in a clean room in the field of semiconductors and the like.
【図１】本発明の高清浄プラスチックフィルム又はシー
トの製造方法の一実施の形態を説明する側面概略図であ
る。FIG. 1 is a schematic side view illustrating an embodiment of a method for producing a highly clean plastic film or sheet of the present invention.
【符号の説明】 １‥‥高清浄プラスチックフィルム又はシート １１‥‥プラスチックフィルム又はシート １２‥‥洗浄室 １３‥‥洗浄用液体供給ノズル １４‥‥液体除去部 １５‥‥無塵気体供給ノズル １００‥‥洗浄装置[Description of Signs] 1 {high-purity plastic film or sheet 11} plastic film or sheet 12} cleaning chamber 13} cleaning liquid supply nozzle 14} liquid removal unit 15 {dust-free gas supply nozzle 100} ‥ Cleaning equipment
Claims (8)
化する方法であって、該高清浄化する方法がプラスチッ
クフィルム又はシート表面に霧状の洗浄用液体を吹きつ
けることによって洗浄する洗浄工程と該吹き付けられて
付着したプラスチックフィルム又はシート表面の洗浄用
液体を、無塵気体を高圧で吹き付けて離脱、分散させる
除去工程とを含んでいることを特徴とする高清浄プラス
チックフィルム又はシートの製造方法。1. A method for highly cleaning a plastic film or sheet, comprising: a cleaning step of cleaning by spraying a mist-like cleaning liquid onto a surface of the plastic film or sheet; A method for producing a highly-clean plastic film or sheet, comprising: removing a dispersed liquid for cleaning the surface of the adhered plastic film or sheet by blowing a dust-free gas at high pressure to separate and disperse the liquid.
表面電気抵抗が１０9 Ω／□以下であることを特徴とす
る請求項１記載の高清浄プラスチックフィルム又はシー
トの製造方法。2. The plastic film or sheet according to claim 1,
The method for producing a highly-clean plastic film or sheet according to claim 1, wherein the surface electric resistance is 10 9 Ω / □ or less.
のいずれか一つ又は複数の組合せであることを特徴とす
る請求項１または２記載の高清浄プラスチックフィルム
又はシートの製造方法。3. The method for producing a highly-clean plastic film or sheet according to claim 1, wherein the cleaning liquid is one or a combination of an aqueous liquid and a non-aqueous liquid.
塵気体が、ＪＩＳにおける清浄度クラス６以上の清浄度
であることを特徴とする請求項１、２または３記載の高
清浄プラスチックフィルム又はシートの製造方法。4. The highly clean plastic film or the highly clean plastic film according to claim 1, wherein the dust-free gas blown in the cleaning liquid removing step has a cleanliness degree of JIS of 6 or more. Sheet manufacturing method.
又はクリーンブース内で行われることを特徴とする請求
項１、２、３または４記載の高清浄プラスチックフィル
ム又はシートの製造方法。5. The method for producing a highly-clean plastic film or sheet according to claim 1, wherein the highly-purifying method is performed in a clean room or a clean booth.
が、ＪＩＳにおける清浄度クラス６以上の清浄度である
ことを特徴とする請求項５記載の高清浄プラスチックフ
ィルム又はシートの製造方法。6. The method for producing a highly clean plastic film or sheet according to claim 5, wherein the clean room or the clean booth has a cleanliness degree of JIS cleanliness class 6 or more.
に、寸法０．５μｍ以上の微粒子で３５００個／ｃｍ3
以下である無塵空気を連続して供給することを特徴とす
る請求項５または６記載の高清浄プラスチックフィルム
又はシートの製造方法。7. In the clean room or the clean booth, 3500 particles / cm 3 of fine particles having a size of 0.5 μm or more are provided.
7. The method for producing a highly-clean plastic film or sheet according to claim 5, wherein the following dust-free air is continuously supplied.
トの製造方法により得られた高清浄プラスチックフィル
ム又はシートで構成されていることを特徴とする高清浄
包装袋。8. A highly clean packaging bag comprising a highly purified plastic film or sheet obtained by the method for producing a highly purified plastic film or sheet.
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2000-04-26 JP JP2000126185A patent/JP2001300459A/en active Pending
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