JP2001293675A - ロボット式レーザポインタ - Google Patents

ロボット式レーザポインタ

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 多軸工作機械に対する非接触形較正ポインタ
の提供。 【解決手段】 ロボット機械(10)は、工作物(2
6)上のプログラム可能な経路(42)を辿るように、
マウント(16)に着脱自在に支持された工作機械(1
8)を含む。較正ポインタ(28)は、マウントに支持
されるように工具と同じ形をしたハウジング(30)を
含んでいて、レーザ(32)がハウジング内に固定され
て、工作物に対してレーザビーム(32)を放出する。
操作方法では、レーザビームを工作物からあるオフセッ
トのところで、レーザから工作物にある集束スポット
(34a)に投射する。スポットは、工作物に接触せず
に、機械を正確にプログラミングすることができるよう
にする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は概してロボット式工
作機械に関するものであり、更に具体的にはその較正に
関する。
【0002】
【従来の技術】ロボット式工作機械は、種々の機械部品
を生産する種々の製造作業を実行するために、種々の形
で存在している。典型的な工作機械は、3次元工作物の
輪郭上のプログラムされた経路を辿るように、多軸機械
に支持されている。工作物は、その表面の輪郭を特定の
形に精密加工することを必要とすることがあるし、或い
は輪郭上の特定の場所で溶接を必要とすることがある
し、或いはその表面の被覆を必要とすることもある。
【0003】ある例示的な方式では、プラズマトーチ又
はガンを、並進又は回転又はその両方のような幾つかの
運動の自由度をもつロボットアームの遠位端に取付け
る。機械は、プラズマガンを工作物の表面に照準を合わ
せて、工作物を適当な材料を用いて自動的にプラズマ溶
射するためのプログラムされた経路を辿るようにプログ
ラムすることができる。
【0004】例えば、工作物は、プラズマ溶射による遮
熱皮膜の堆積が必要とされる複雑な3−D輪郭を有する
ガスタービンエンジンの静翼であってよい。工作物の全
面の上に一様な皮膜をプラズマ溶射するには、工作物の
表面からの適当なオフセットつまりスタンドオフ距離を
保ちながら、プラズマガンは精密な溶射経路を辿らなけ
ればならない。
【0005】この経路プログラムは、経路内の各々の所
望の点に於けるガンの対応する位置座標を記録しなが
ら、工作物の表面の周りに点から点へとプラズマ溶射ガ
ンを手作業で位置を変えることにより、機械が学習する
ことができる。この経路は、典型的には多くの離散点か
らなる矩形格子であり、プログラムされた順序の間、こ
の点にプラズマ溶射ガンの照準を合わせることができ
る。別法として、プラズマ溶射ガンに対するプログラム
された経路は、その中に支持されている工作物に対する
機械の運動能力を用いて、解析的に決定することができ
る。
【0006】何れの場合でも、個別の工作物に対するプ
ログラムされた経路の正確さを確実にするためには、機
械を適当に較正しなければならない。公称上同一の工作
物でも、製造時の許容公差があり、その影響でその最終
的な寸法が変わる。従って、適用される製造プロセスの
正確さを最大にするため、取り扱う各々の部品について
機械を較正するのが望まれるのが通例である。
【0007】ロボット式機械の較正は、ポインタが、工
作物に損傷を与えずに工作物に接触し得るように、アー
ムが所望経路を辿れるようにするロボットアームに取付
けられるように特別に構成したゴム又はばねの接触ポイ
ンタを使うことによって行われるのが典型的である。ポ
インタが工作物に接近し且つそれから引っ込められると
き、ロボットアームを注意深く移動させ、工作物の隣接
部分に接触して、それによって損傷を受けることを避け
ることがポインタには必要である。この過程は熟慮を要
すると共にゆっくりしており、ポインタがその所期の接
触点で圧縮されるとき、不正確さを招く。ポインタと工
作物の間の接触は、工作物を汚染することがある。
【0008】例えば、プラズマ溶射はきれいな工作物を
必要とするが、工作物はポインタとの接触によって汚染
されることがある。接触ポインタを用いたプログラムさ
れた経路の較正は、必然的に較正の後、そしてプラズマ
溶射の前に、工作物をきれいにする余分の処理工程を必
要とする。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】接触ポインタは、ロボ
ットのプログラム経路を作成することができる速度を制
限する。それは、プログラムされた経路の間の工作機械
の位置の精度をも制限する。それは、接触時に工作物を
汚染する惧れもあり、移動中に誤って工作物と接触した
とき、工作物自体又はロボット機械に損傷を与える惧れ
がある。
【0010】従って、較正及び製造過程を改善するため
に、多軸工作機械に対する非接触形較正ポインタを提供
することが望ましい。
【0011】
【課題を解決するための手段】ロボット機械が、工作物
上のプログラム可能な経路を辿るように、マウントに着
脱自在に支持された工作機械を有している。較正ポイン
タが、マウントに支持されるように工具と同じ形をして
いるハウジングを含んでいて、ハウジングには、工作物
に対してレーザビームを放出するレーザが固定される。
操作方法では、工作物からあるオフセットのところで、
レーザからレーザビームを工作物にある集束スポットに
投射する。スポットは、工作物に接触せずに、機械を正
確にプログラミングすることができるようにする。
【0012】
【発明の実施の形態】好ましい実施例による本発明並び
にその他の目的及び利点は、以下図面について説明する
ところで更に具体的に述べる。
【0013】図1には、プログラム可能な制御装置14
によってその位置が作動的に制御される多軸関節連結ア
ーム12を含むロボット機械10が略図で示されてい
る。機械10は、例えば加工、溶接及びプラズマ溶射を
含めて希望する種々の加工作業を実施するための任意の
普通の形を有していてよい。こういう機械は、普通計算
機数値制御(CNC)又はディジタル数値制御(DN
C)機械と呼ばれており、種々の加工作業はソフトウエ
アとしてプログラムしておいて、自動的に動作するよう
に、制御装置内の適当なメモリに記憶しておくことがで
きる。
【0014】図1に示す実施例では、ロボットアーム1
2が幾つかの継手で関節連結されていて、アームの遠位
端に配置されたマウント16の6軸の移動ができるよう
になっている。対応する6つの運動の自由度は、図1に
6つの両矢印によって示す通り、全部回転である。
【0015】プラズマ溶射ガンの形をした例で示す工作
機械18がマウント16に着脱自在に支持されている。
プラズマ溶射ガンが適当に水冷される本体をもち、これ
が図2に更に詳しく示す通り、プラズマ溶射ノズル20
を着脱自在に取付けている。
【0016】プラズマ溶射ノズル20は、円筒形であっ
て、プラズマ溶射ガンの対応する胴の中に挿入されるよ
うになっており、ノズルをガンの胴にねじで固定するた
めに抑えナット22が使われている。ノズルは、胴と流
体封じになって、プラズマ溶射ガンを冷却するために動
作中に循環する冷却水を密封するための適当なOリング
を有している。
【0017】図1に戻って説明すると、機械10は、取
付けテーブル24をもち、この上に工作物26を適当に
取付けることができる。実施例では、取付けテーブル
は、テーブルの回転及びその傾きを含めて追加の2つの
運動の自由度を導入し、これをロボットアーム12の6
つの運動の自由度と組合わせると、アームとテーブルの
間で合計8つの運動の自由度がある。こうして、プラズ
マ溶射ガン18、特にそのプラズマ溶射ノズル20は、
テーブル24に取付けられた工作物26の露出面上の任
意の場所に差し向けることができる。
【0018】上に述べた多軸ロボット機械10及び工作
物26は任意の普通の形であってよい。例えば、工作物
26は一例として、ガスタービンエンジンのタービン翼
の形をしており、これがエーロフォイルの輪郭をもち、
翼の前縁及び後縁の間を、縦方向に根元から先端まで伸
びる全体的に凹の圧力側及び全体的に凸の向かい合った
吸込み側を含む。
【0019】翼がガスタービンエンジンの運転中、高温
の燃焼ガスに曝されるので、翼をセラミックの遮熱皮膜
で被覆することが望まれる。この被覆は、普通は、プラ
ズマ溶射ガン18によって行われるプラズマ溶射堆積を
使って適用される。翼26は、機械10を使ってプラズ
マ溶射被覆することができる1個のガスタービンエンジ
ン内で必要なかなりの数の翼の内の単なる1つである。
【0020】しかし、翼のプラズマ溶射被覆は、翼の表
面に対するプラズマ溶射ノズル20の精密な向きを定め
ることを必要とし、ノズルは、溶射被覆を完了するため
に、翼の全面の上を精密に移動させなければならない。
【0021】工作物の上での所望のノズル経路に対し
て、制御装置14を更に精密にプログラムするために、
本発明では、他の点では従来通りであるロボット機械1
0と共に使う較正レーザポインタ28を設ける。
【0022】図2及び図3に示す通り、レーザポインタ
28が、プラズマ溶射ノズル20と同じ形をした円筒形
ハウジング30を含み、最初はそれと同一であることが
好ましい。こうすると、ポインタハウジング30は、そ
れがプラズマ溶射ノズルとして使われるように構成され
ていないことを別とすれば、プラズマ溶射ガンの胴内に
あるプラズマ溶射ノズル20と同一の交換品として直接
的に交換することができる。この代わりに、図4に更に
詳しく示す通り、レーザ32が工作物26に対してレー
ザビーム34を放出するために、ポインタハウジング内
に固定される。
【0023】図2及び3に示す通り、レーザ32はハウ
ジング30内に固着することが好ましく、適当な電力線
又はケーブル38を介してレーザに作動的に結合される
遠隔の電源36を含む。こうすると、普通のミニレーザ
を普通のプラズマ溶射ノズル20に利用し得る空間内に
取付け、その電力は電源36という離れた場所から供給
することができ、この電源は、希望するときにレーザを
付勢するための手動のオン及びオフスイッチを用いて電
池で作動させることができる。レーザは、可視の赤色レ
ーザビームを放出する赤色ダイオードレーザのような任
意の普通の形式であってよい。
【0024】図3に示す好ましい実施例では、レーザ3
2が調節自在の焦点距離を有する一体の集束レンズを含
んでいて、図4に示す通り、工作物16の表面上に見え
る集束スポット34aにレーザビーム34を焦点合わせ
する。調節自在の焦点距離は、工作物の表面とポインタ
ハウジング30の末端との間で測った予定のオフセット
又は離隔距離Aのところに焦点スポットを発生すること
ができるようにする。図3は焦点スポット34aに対す
る公称オフセットAを示しており、若干長いオフセット
A+をそれに対応する焦点スポットの位置と共に示して
いる。
【0025】従って、図3に示すレーザ32は、集束ス
ポット34aを目に見えるようにするため、可視レーザ
ビーム34を放出するように構成することが好ましい。
レーザ32をポインタハウジング30の中孔の中に取付
けることにより、レーザビーム34は、ポインタハウジ
ングを作るために使われた修正されていないプラズマ溶
射ノズルから本来放出される筈のプラズマ溶射の向きを
正確に再現する。
【0026】ポインタハウジング30を定める第2のプ
ラズマ溶射ノズルは、図2及び3に示す通り、円周方向
の1箇所で軸方向に分割してあって、ハウジングの中孔
が、レーザ32を適当なきつさの締まりばめで受容れる
のに必要なように、適当に加工されていることが好まし
い。分割ハウジングが、レーザ自体を損傷せずに、レー
ザをぴったりとハウジングの中孔の中に受容れる弾力性
を持ち込む。ポインタハウジング30の入口の端並びに
軸方向の分割部分は、シリコーンのような適当な封着剤
40で埋めて、レーザをハウジング30内に密封して取
付けることが好ましい。
【0027】前に述べたように、ポインタハウジング3
0に、ノズル20と似た第2のプラズマ溶射ノズルを使
う利点は、プラズマ溶射ガンの胴の中に取付けるのにそ
れがほとんどノズル20と同一の形であって、そのた
め、動作中、冷却水を収容するために胴の中にそれを適
当に封着することができることである。元のプラズマ溶
射ノズル20と同じく、ポインタハウジング30は、図
2に示す通り、取付けナット22によって抑えられたと
き、ハウジングの周囲をガンの胴に密封する適当なOリ
ング封じを有している。
【0028】図4には、レーザポインタ28が、それが
代わりになっている図1に示したプラズマ溶射ノズル2
0と同一の形で、プラズマ溶射ガン18内に取付けられ
ることが示されている。レーザポインタ28とロボット
機械の組合わせが、図4に略図で示した制御装置14を
較正する精度を実質的に改善し、較正速度を実質的に改
善する。動作中、レーザポインタ28のどの部分も工作
物26と接触しないから、接触によるその汚染がなくな
る。工作物26に対してプラズマ溶射ガンを位置ぎめす
るために、可視レーザビーム34しか使わないので、誤
ったその間の接触によって工作物自体又はロボット機械
に損傷が起こることもなくなる。
【0029】図4は、レーザポインタ28を使ってロボ
ット機械を較正する好ましい方法をフローチャートの形
で図式的に示している。最初、レーザポインタ28を、
それが一時的に代わる図1に示したプラズマ溶射ノズル
20と同様に、機械のプラズマ溶射ガン18に取付け
る。次に機械を普通のように動作させて、制御装置14
内の適当なソフトウエアにプログラムすることができる
任意の希望の経路に沿って、ロボットアームに取付けら
れたポインタ28を移動させ又は位置ぎめすることがで
きる。
【0030】プログラムされた経路の一例の形が、矩形
格子状経路42で表されており、この経路は垂直及び水
平線が対応する格子点で交わっている。格子点を使っ
て、プラズマ溶射を必要とする翼26の露出面全体を写
像することができ、レーザポインタ28に対するプログ
ラムされた経路は、その後のプラズマ溶射過程を行うた
めの対応するプラズマ溶射ノズル20の所望の経路を表
す。制御装置にプログラムされる経路は、翼26の表面
の周りを点から点へとプラズマ溶射ガンを移動させる任
意の適当な形を有していてよい。
【0031】本発明に従ってレーザポインタ28を使う
ことは、プログラムされる経路を改善する点で多くの利
点をもたらす。最初、機械を作動して、ポインタ28を
工作物上の所望の経路に沿って移動させ、ポインタを付
勢して、レーザビームを工作物の集束スポット34aに
投射する。従来の接触ポインタに比較すると、レーザポ
インタ28は、ポインタと工作物との間の物理的な接触
なしに、工作物の表面上の何処にレーザスポット34a
が現れるかを見ることができるようにする。レーザスポ
ット34自体を可視的に観察することにより、プラズマ
溶射ガンを翼26と正確に整合することができる。
【0032】更に、集束レーザを使うから、レーザスポ
ット34aが工作物の表面上で焦点が合っているかどう
かを観察することにより、図4に示した所望のオフセッ
トAの正確な決定が、可視的にも観察される。レーザポ
インタ28は、スポットが工作物上で精密で明るい境界
をもって合焦状態にあることが認められたとき、スポッ
ト34aから所望のオフセット距離Aのところにある。
希望によっては、工作物とポインタ28の末端との間の
距離を手作業で測定することにより、所望のオフセット
Aを確認することができる。
【0033】機械を作動して、プラズマ溶射ガン及びそ
の中に支持されたレーザポインタ28を点から点へと所
望の格子状経路42全体に互って位置を決め直し、集束
スポット34aを対応するオフセット距離Aのまま、逐
次的にそこに位置を決め直すことができる。
【0034】こうすると、ロボットアーム及びそれに取
付けられたレーザポインタ28は、工作物26上に所望
の格子状経路42を実現するように、逐次的に位置を決
め直すことができる。こうして、焦点スポット34a
が、所望の経路によって表される複数個の離散的な格子
点に互って順次位置が決め直される。
【0035】工作物26の特定の形、及びプログラムさ
れた経路の間に、プラズマ溶射ガンと工作物の間に接触
が起こる可能性があるかどうかによって、レーザポイン
タは工作物の表面に対して、単に横方向に又は近づいた
り離れたりするように移動させることができる。例え
ば、図4は、レーザポインタ28を工作物26から遠ざ
けるように外向きに引っ込め、その後ポインタ28を次
の格子点に向かって横方向に移動させ、次いでポインタ
28を内向きに工作物に向かって移動させ又は伸出させ
て、次の所望の格子点でレーザビームを投射することに
より、ロボットアームの位置を決め直すことができるこ
とを例示している。こうして、工作物及びロボットアー
ムが点から点へと全部で8つの運動の自由度をもつ範囲
内で移動するとき、プラズマ溶射ガンが工作物の近くか
ら若干引っ込められる。
【0036】図4に示すレーザポインタ28は、基準と
なるレーザビーム34によって得られる利点をもって、
機械制御装置24を任意の適当な形でプログラムするこ
とができるようにする。例えば、そこに対応するマーク
を施すことにより、工作物の表面上に最初に所望の格子
状経路42を任意の適当な形で定めることにより、プロ
グラミング経路を手作業で実現することができる。次
に、ロボットアームを作動してレーザポインタ28の照
準を手作業で順次格子点に合わせて、そこに対応する集
束スポット34aを実現することができる。
【0037】集束スポットが所望の格子点にあり、その
スポットが合焦状態にあるとき、工作物に対するプラズ
マ溶射ガンの空間内の向きは一定であり、適当なオフセ
ットAをもつ。そのとき、制御装置14を普通のように
動作させて、各々の所望の格子点に於ける、工作物に対
するレーザポインタ28の空間内での位置を定める、ロ
ボットアームの6つの座標及び取付けテーブルの2つの
座標を記録する。
【0038】図4にフローチャートの形で示してあるよ
うに、制御装置の手動のプログラミングは、レーザスポ
ットの位置を決め直し、対応するその8個の座標を記録
することによって、点毎に行われる。全部の格子点が焦
点スポット34aによって照射され、ロボットアーム及
び取付けテーブルの対応する8つの座標が制御装置に記
録されたとき、プログラムされた経路が完成し、その中
に記憶される。
【0039】プログラミングの後、レーザポインタ28
をガンの胴から取外し、プラズマ溶射ノズル20に取換
える。その後、ロボット機械を普通の形で作動し、レー
ザポインタ28を使って作られたプログラムされた経路
を辿る実際の溶射ノズル20を使って、工作物のプラズ
マ溶射を行う。プログラムされた経路の上でのプラズマ
溶射作業の速度は、この速度を最大にすることを希望す
る通りに、較正速度に比べて大幅に高めることができ
る。
【0040】この代わりに、特定の工作物26に対する
図面の明細及びロボット機械の運動能力を使って、制御
装置14は解析的にプログラムすることができる。図面
の寸法によって表される、工作物26に対するポインタ
28の座標を、各々の所望の格子点で解析的に決定し
て、そこに所望の対応するオフセットAを実現すること
ができる。ロボットアームの6つの運動の自由度及び取
付けテーブル24の2つの運動の自由度に対して解析的
に決定された座標を制御装置14に記録し又は記憶する
ことができる。
【0041】その後、機械を作動して、解析的に決定さ
れた経路を辿らせ、テーブル24に取付けられた実際の
工作物26上の所望の格子点で、逐次的にレーザビーム
スポット34aを投射することができる。
【0042】どんな工作物にも、製造時の許容公差が関
係しているから、レーザポインタ28とテーブル24に
取付けられた実際の工作物26の間の実際の相対位置は
ある不正確さを含んでいる。しかし、実際の工作物26
上の所望の格子状経路を移動するときの焦点スポット3
4aを観察することにより、所望の格子状経路との整合
外れを容易に観測することができ、スポット34aが焦
点外れになる不正確なオフセットAも容易に観測され
る。
【0043】そのとき、機械のオペレータは、ロボット
アーム及び取付けテーブルの対応する8つの運動の自由
度の内の任意の1つ又は更に多くを調節することによ
り、任意の1つの格子点に於けるスポットの位置を調節
することができる。対応する格子点に於けるスポットの
位置を正しく調節したら、制御装置14に記録されてい
る座標を適当に補正して、こうしてプログラムされた経
路を補正することができる。
【0044】レーザポインタ28の特定の利点は、工作
物26上の任意の位置に集束レーザスポット34aを精
密に位置ぎめすることができることである。隅肉の半径
のように、局部的な不連続又は変化が急速な輪郭を有す
る領域を有する工作物では、レーザポインタは、スポッ
トを妨げなく観察して、プラズマ溶射ガンの精密な位置
ぎめができる。プログラムされる経路は、敏速に且つ精
密に作成することができ、これは従来の接触ポインタで
はできないことである。
【0045】レーザポインタ28は、他の点では普通の
ロボット機械に用いたとき、0.5mmという小さい集
束スポットを有する調節自在の焦点距離をもつレーザビ
ームを使って、複雑な形状の周りに任意の特定のスポッ
ト又は所望の移動経路をピンポイントで定めることがで
きる。ロボットの経路に対するこのような精密さは、正
確な溶接及びプラズマ溶射で重要であるが、希望する場
合、その他の加工作業でも使うことができる。レーザポ
インタは、どんな形式の着脱自在の工作機械に対して
も、それに置き換わり、そのための任意の所望のプログ
ラムされた経路を較正するようにさせることができる。
【0046】ロボット機械は、その運動の自由度に対応
して座標を記録することにより、座標を測定する能力を
本質的に有しているから、レーザポインタをこの座標測
定能力と共に利用して、加工以外の別の利点が得られ
る。例えば、希望に応じて、典型的な工作物の上を点毎
に種々の寸法を精密に測定するためにレーザポインタを
使って、機械を動作させることができる。
【0047】ゴム又はばねの接触ポインタは必然的に工
作物との接触を必要とするから、工作物からの工具のオ
フセットの正確な決定は困難である。レーザポインタは
工作物に接触しないから、これはレーザポインタ自身の
オフセットを正確に測定するために使うことができ、こ
れに対応して他の点では同一のプラズマ溶射ノズルのオ
フセットをも正確に測定することができる。
【0048】本発明の好ましい実施例と考えられるもの
を以上説明したが、これまで述べたことから、当業者に
は本発明のこの他の変更も容易に考えられよう。従っ
て、本発明の範囲内に属するこのような全ての変更が特
許請求の範囲によって保護されることを希望する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例に従って工作物のプラズマ溶射
を行うように構成された多軸工作機械の略図。
【図2】図1に示した工作機械の作業側の端並びに実施
例による交換可能な較正ポインタの拡大分解図。
【図3】図2に示した較正ポインタを線3−3で切った
軸断面図。
【図4】フローチャートの形で示した一例の方法に従っ
て較正するために、図1のロボット機械に装着された較
正ポインタの拡大図。

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 工作物(26)上のプログラム可能な経
    路(42)を辿るようにマウント(16)に着脱自在に
    支持された工作機械(18)を有するロボット機械(1
    0)の較正ポインタであって、 上記マウント(16)に支持される工具(20)と同じ
    形をしたハウジング(30)と、 該ハウジング内に固定されていて、上記工作物(26)
    に対してレーザビーム(34)を放出するレーザ(3
    2)とを有する較正ポインタ。
  2. 【請求項2】 前記レーザ(32)が、前記ハウジング
    (30)からの異なるオフセットに対応した集束スポッ
    ト(34a)に前記レーザビームを焦点合わせするため
    調節自在の焦点距離を有している、請求項1記載の較正
    ポインタ。
  3. 【請求項3】 前記レーザ(32)が前記ハウジング
    (30)の内側に装着されていて、電力ケーブル(3
    8)によって前記レーザに作動的に結合した遠隔電源
    (36)を含んでいる、請求項2記載の較正ポインタ。
  4. 【請求項4】 前記機械(10)が、プラズマ溶射ガン
    (18)の形をした工作機械をその遠位端に支持する多
    軸アーム(12)を含み、上記ガンの中にプラズマ溶射
    ノズル(20)が装着され、前記ポインタハウジング
    (30)が前記レーザをその中に密封して装着した第2
    のプラズマ溶射ノズルを有する、請求項3記載の較正ポ
    インタ。
  5. 【請求項5】 前記第2のノズルが、その中に装着され
    た前記レーザ(32)と締まりばめになるように軸方向
    に分割されている、請求項4記載の較正ポインタ。
  6. 【請求項6】 前記集束スポット(34a)が目に見え
    るように前記レーザ(32)が可視レーザビーム(3
    4)を放出するように構成されている、請求項4記載の
    較正ポインタ。
  7. 【請求項7】 更に、前記多軸アーム(12)に作動的
    に結合されていて、その位置を制御するプログラム可能
    な制御装置(14)を有し、該制御装置は、前記アーム
    上に支持された前記ポインタに対するプログラムされた
    経路を含んでいて、前記工作物からのオフセットを維持
    するように構成されている、請求項4記載の較正ポイン
    タ。
  8. 【請求項8】 請求項7記載の較正ポインタを使用する
    方法であって、 前記ポインタを前記機械に取付け、 前記機械を作動して前記ポインタを前記経路に沿って往
    復動させ、 前記レーザビームを前記工作物に対して該工作物からの
    あるオフセット距離の集束スポット(34a)に投射す
    る工程を含む方法。
  9. 【請求項9】 更に、前記アーム及びそれに取付けられ
    たポインタの位置を逐次的に決め直して、前記集束スポ
    ットが順次位置ぎめされる複数個の離散点を有する前記
    工作物(26)上の格子状経路(42)を実現する、請
    求項8記載の方法。
  10. 【請求項10】 前記アームは、前記ポインタを前記工
    作物から引っ込め、前記ポインタを横方向に移動し、そ
    の後前記ポインタを工作物に向かって伸出させることに
    よって位置を決め直す、請求項9記載の方法。
  11. 【請求項11】 更に、前記アームを作動して、前記ポ
    インタ(28)を順次格子点に照準を合わせるようにし
    て、そこに対応する集束スポットを実現し、各々の前記
    格子点に於ける、前記工作物に対する前記ポインタの座
    標を制御装置(14)に記録することにより、前記経路
    をプログラムする工程を含む、請求項9記載の方法。
  12. 【請求項12】 更に、各々の前記格子点に於ける、前
    記工作物に対する前記ポインタ(28)の座標を解析的
    に決定してそこに対応するオフセットを実現し、前記解
    析による座標を前記制御装置(14)に記録し、前記機
    械を作動して前記経路を辿らせると共に、前記工作物上
    の前記格子点で逐次的に前記レーザビーム(34a)を
    投射し、1つの格子点で前記スポットの位置を調節し、
    前記調節されたスポットの位置に対して前記制御装置に
    記録された座標を補正することにより、前記経路をプロ
    グラムする工程を含む、請求項9記載の方法。
  13. 【請求項13】 請求項1記載の較正ポインタ(28)
    を使用する方法であって、 前記ポインタを前記機械に取付け、 該機械を作動してポインタを経路に沿って往復動させ、 前記レーザビームを前記工作物に対して該工作物からの
    あるオフセット距離の集束スポット(34a)に投射す
    る工程を含む方法。
  14. 【請求項14】 更に、前記アーム及びそれに取付けら
    れたポインタの位置を逐次的に決め直して、前記集束ス
    ポットが順次位置ぎめされる複数個の離散点を有する前
    記工作物(26)上の格子状経路(42)を実現する工
    程を含む、請求項13記載の方法。
  15. 【請求項15】 前記アームは、前記ポインタを前記工
    作物から引っ込め、前記ポインタを横方向に移動し、そ
    の後前記ポインタを工作物に向かって伸出させることに
    よって位置を決め直す、請求項14記載の方法。
  16. 【請求項16】 更に、前記アームを作動して、前記ポ
    インタ(28)を順次格子点に照準を合わせるようにし
    て、そこに対応する集束スポットを実現し、各々の前記
    格子点に於ける、前記工作物に対する前記ポインタの座
    標を前記機械(14)に記録することにより、前記経路
    をプログラムする工程を含む、請求項14記載の方法。
  17. 【請求項17】 更に、各々の前記格子点に於ける、前
    記工作物に対する前記ポインタ(28)の座標を解析的
    に決定してそこに対応するオフセットを実現し、前記解
    析による座標を前記機械(14)に記録し、前記機械を
    作動して前記経路を辿らせると共に、前記工作物上の前
    記格子点で逐次的に前記レーザビーム(34a)を投射
    し、1つの格子点で前記スポットの位置を調節し、前記
    調節されたスポットの位置に対して前記機械(14)に
    記録された座標を補正することにより、前記経路をプロ
    グラムする工程を含む、請求項14記載の方法。
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