JP2001291776A - 配置配線装置およびｌｓｉのレイアウト方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】寄生容量を増大させるシールド電極を使用せず
に、配線間のクロストークによる誤動作を防止できるレ
イアウトを実現する。 【解決手段】ブロックおよびマクロを配置した後、クロ
ストーク防止の対象配線を第ｍ配線層に設置するととも
に、対象配線の両側の最近隣から外側に各ｎ本の同層で
平行方向の配線格子と、対象配線よりも上層の第（ｍ＋
ｋ）配線層（０＜ｋ≦ｎの整数）に属する対象配線の直
上に位置する配線格子およびこの配線格子の両側の最近
隣から外側に各（ｎ−ｋ）本の配線格子とを配線禁止領
域とし、対象配線以外のすべての信号配線を配線禁止領
域を回避して設置する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、配置配線装置およ
びＬＳＩのレイアウト方法に関し、特に、配線間の信号
のクロストークによる誤動作を防止して配置し配線する
配置配線装置およびＬＳＩのレイアウト方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】最近のＬＳＩでは、配線の微細化と多層
化が進み、これに伴って隣接した配線の間隔および上下
層の配線の間隔が縮小されてきている。このために、上
下層の配線および隣接配線との結合容量が増大し、配線
間の容量結合による信号のクロストークが増大してい
る。一方でアナログとデジタルの混載の加速、ＬＳＩチ
ップの大規模化の進展に伴い、クロストークに敏感なア
ナログ信号配線がデジタル信号配線に隣接して配置され
たり、信号レベルが一斉に同方向に変化する多数の配線
に配線長の長い配線が囲まれて配置されたりする場合が
生じ、配線間容量の増大によるクロストークの増大と重
なって特性劣化や誤動作に至る場合が少なくない。この
ような状況から、クロストークを防止できるレイアウト
設計方法の必要性が高まっている。

【０００３】図１２は、レイアウト設計システムの構成
図であり、図１３は、第１の従来例のレイアウト設計方
法のフロー図である。

【０００４】図１２において、レイアウト設計システム
は、レイアウト設計の主要部分であるブロック・マクロ
の配置とそれらの間の配線の設置を実行する配置配線装
置１２１と、回路設計結果の回路接続情報を格納する回
路接続情報ファイル１２２と、プリミティブまたは小規
模な機能を実現するブロックと複数のブロックを含む大
規模な機能を実現するマクロのライブラリであるブロッ
ク・マクロライブラリ１２３と、種々の配置配線のパラ
メータ類や配置配線における制約情報を格納するパラメ
ータファイル１２４と、設計者とレイアウトシステムと
のインターフェースである入出力表示装置１２５と、配
置配線装置１２１によるレイアウト結果を格納するレイ
アウト結果ファイル１２６とで構成されている。

【０００５】配置配線装置１２１による配線処理は、各
配線層毎にＸ方向およびＹ方向のそれぞれ一定の間隔の
配線路（以後、配線格子と称す）を仮設し、ブロックお
よびマクロ間の配線を配線格子上に設置し、上下層の配
線をビアの設置により接続することで実行される。

【０００６】図１３の第１の従来例では、配置配線装置
１２１は、以下のように動作する。

【０００７】まず、ステップ１３１で回路接続情報ファ
イル１２２から回路接続情報を読み込み、次に、ステッ
プ１３２で、ブロックおよび大規模マクロをブロック・
マクロライブラリ１２３から読み込んでＬＳＩの内部領
域に配置し、ステップ１３３で、クロストークによる信
号劣化を防止するためにクロストーク防止対策を施す対
象配線を設置する。

【０００８】次に、ステップ１３４で、対象配線の左右
両側に、同層のシールド配線を設置する。ステップ１３
５で、対象配線および両側のシールド配線の上層に位置
する配線格子のすべてを配線禁止領域として設定してパ
ラメータファイル１２４に登録し、その後、ステップ１
３６で対象配線以外の信号配線について自動配線処理を
行い、配置配線結果をレイアウト結果ファイル１２６に
出力してレイアウトを終了する。

【０００９】図１４（ａ）は、ＬＳＩチップの平面模式
図であり、ブロックＡとブロックＢの間を接続する配線
がクロストーク防止の対象配線１４１となっている。図
１４（ｂ）は、第１の従来例の技術を適用したＬＳＩチ
ップの断面模式図で、第１配線層に設置された対象配線
１４５の両側にはステップ１３４でシールド配線１４６
が設置され、これらの上部の第２配線層、第３配線層、
第４配線層の領域はステップ１３５で配線禁止領域に設
定されている。他の信号配線１４８は、ステップ１３６
でシールド配線１４６の外側または配線禁止領域の外側
に設置されるので、対象配線１４５との結合容量を小さ
く抑えることができ、クロストークを防止できる。な
お、１４３は基板を示し、１４４は絶縁物を示してい
る。

【００１０】しかしながら、第１の従来例では、対象配
線の両側にシールド配線が必ず設置されることになるの
で、対象配線の寄生容量が大きくなり信号遅延が大きく
なるという第１の問題点がある。また、対象配線１４５
およびシールド配線１４６の上層の配線格子をすべて配
線禁止領域とするので、配線層数が多いときには特に、
配線禁止の配線格子数が多くなってしまうという第２の
問題点がある。

【００１１】第２の問題点は、対象配線の上部にもシー
ルド配線を設置して配線禁止領域を除去することにより
改良できるが、その結果、対象配線の寄生容量はさらに
増大するので、第１の問題点に関してさらに深刻とな
る。

【００１２】クロストークを防止し、寄生容量の低減を
意図した第２の従来例が、特開平１０−２１４８９９号
公報に記載されている。図１５は、第２の従来例のレイ
アウト方法のフロー図であり、図１６（ａ），（ｂ）
は、第２の従来例を適用したＬＳＩチップの断面模式図
である。以下、第２の従来例について、図１５および図
１６を参照して説明する。

【００１３】図１５のステップ１５１で、回路接続情報
を読み込み、ステップ１５２で、クロストークによる信
号劣化が問題となる要注意配線に属性を付加し属性付き
回路接続情報を作成し、ステップ１５３でブロックおよ
びマクロをＬＳＩの内部領域に配置し、ステップ１５４
で属性付き配線をクロストーク防止の対象配線に設定す
る。

【００１４】ステップ１５５で対象配線を設置した後
に、ステップ１５６で、図１６（ａ）の模式図に示すよ
うに、対象配線１４５の左右両側に同層のシールド配線
１４６を設置し、対象配線１４５の直上に上層のシール
ド配線１４７を設置する。

【００１５】次に、ステップ１５７で、図１６（ａ）に
示すように対象配線以外の信号配線１４８を自動配線処
理で設置する。次に、ステップ１５８で、対象配線１４
５と対象配線以外の信号配線１４８との距離がｄ以上で
ある場合には間に設けられたシールド配線１４６を削除
し、図１６（ｂ）の断面模式図のようにして対象配線１
４５の寄生容量を低減して信号遅延の改善を図ることが
できる。所定の距離ｄは、デジタル信号のダイナミック
レンジ、信号速度、アナログ信号の許容Ｓ／Ｎ、半導体
チップ上の層間絶縁膜の厚さと誘電率より求め、パラメ
ータファイルに格納しておく。

【００１６】しかしながら、第２の従来例においては、
シールド配線１４６を削除できるか否かはステップ１５
８での信号配線１４８の自動配線処理の結果に依存する
ものであり、対象配線に対して常に適用できるものでは
ないので、対象配線１４５の寄生容量の低減を常に実現
できるものではないという問題が残っている。

【００１７】さらに、多数の大規模なマクロを有するＬ
ＳＩチップでは、図１７（ａ）のＬＳＩチップの平面模
式図に示すように、対象配線１４１がマクロの上部を通
過する必要が生じるが、第１，第２の従来例に共通の問
題として、図１７（ｂ）の断面模式図に示すように、第
３層に設置された対象配線１４５には、第２層に設けら
れたマクロ内配線１７１からのクロストーク対策がまっ
たくなされないという問題点がある。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来例
では、クロストーク防止のためにシールド配線がクロス
トーク防止の対象配線に隣接して設置されるので対象配
線の寄生容量が増大してしまい、また、マクロを有する
ＬＳＩに適用した場合には、マクロ内配線からのクロス
トークに対して防止対策がなされないという問題点があ
った。

【００１９】本発明の目的は、クロストーク防止の対象
配線の周囲の信号配線からのクロストークを実用上支障
がない程度にまで低減できるとともに、対象配線の寄生
容量を低減でき、また、マクロを有するＬＳＩチップに
適用してもクロストーク防止効果のあるレイアウトを実
現できる配置配線装置およびＬＳＩのレイアウト方法を
提供することにある。

【００２０】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の発明の配
置配線装置は、回路接続情報ファイルからＬＳＩの回路
接続情報を読み込みクロストークによる誤動作の要注意
配線に属性データを付加して属性付き回路情報を作成す
る回路接続情報編集手段と、前記属性付き回路接続情報
に基づきブロック・マクロライブラリからブロックおよ
びマクロのデータを読み込み配置するブロック・マクロ
配置手段と、前記属性付き回路接続情報の属性データを
付加された配線の中からクロストーク防止の対象配線を
抽出する対象配線抽出手段と、前記対象配線の主部分を
第ｍ配線層（ｍは正整数）に設置するとともに少なくと
も前記対象配線の主部分の両側の最近隣から外側に各ｎ
本（ｎは正整数）の同層で平行方向の配線格子と、前記
対象配線の主部分よりも上層の第（ｍ＋ｋ）配線層（ｋ
は、０＜ｋ≦ｎの整数）に属する前記対象配線の主部分
の直上に位置する配線格子および該配線格子の両側の最
近隣から外側に各（ｎ−ｋ）本の配線格子とを配線禁止
領域としてパラメータファイルに登録する対象配線設置
手段と、前記属性付き回路接続情報に基づき属性の付加
されていないすべての配線を前記配線禁止領域を回避し
て設置する自動配線処理実行手段とを備えている。

【００２１】また、第２の発明のＬＳＩのレイアウト方
法は、回路接続情報ファイルからＬＳＩの回路接続情報
を読み込む第１のステップと、クロストークによる誤動
作の要注意配線に属性データを付加して属性付き回路情
報を作成する第２のステップと、前記属性付き回路接続
情報に基づきブロック・マクロライブラリからブロック
およびマクロのデータを読み込み配置する第３のステッ
プと、前記属性データを付加された配線をクロストーク
防止の対象配線とする第４のステップと、前記対象配線
の主部分を第ｍ配線層（ｍは正整数）に設置するととも
に少なくとも前記対象配線の主部分の両側の最近隣から
外側に各ｎ本（ｎは正整数）の同層で平行方向の配線格
子と、前記対象配線の主部分よりも上層の第（ｍ＋ｋ）
配線層（ｋは、０＜ｋ≦ｎの整数）に属する前記対象配
線の主部分の直上に位置する配線格子および該配線格子
の両側の最近隣から外側に各（ｎ−ｋ）本の配線格子と
を配線禁止領域としてパラメータファイルに登録する第
５のステップと、前記属性付き回路接続情報に基づき前
記対象配線以外のすべての信号配線を前記配線禁止領域
を回避して設置する第６のステップとを有している。な
お、好ましくは、前記第５のステップが、パラメータフ
ァイルから禁止領域指定数ｎ（ｎは正整数）を読み込む
第１のサブステップと、クロストーク防止の対象配線の
主体部が最下層である第１配線層に設置可能であるか否
かを判定する第２のサブステップと、前記第２のサブス
テップで前記対象配線の主部分が前記第１配線層に設置
可能と判定されたときに、前記対象配線の主部分を前記
第１配線層に設置する第３のサブステップと、前記対象
配線の主部分の両側の最近隣から外側に各ｎ本の同層で
平行方向の配線格子と、前記対象配線の主部分よりも上
層の第（１＋ｋ）配線層（ｋは、０＜ｋ≦ｎの整数）に
属する前記対象配線の主部分の直上に位置する配線格子
および該配線格子の両側の最近隣から外側に各（ｎ−
ｋ）本の配線格子とを配線禁止領域として前記パラメー
タファイルに登録する第４のサブステップと、前記第２
のサブステップで前記対象配線の主部分が前記第１配線
層には設置できないと判定されたときに、前記対象配線
の配線経路と交差する下層配線のうちの最上層の配線の
属する配線層が第ｕ配線層のときｍ＝（ｕ＋ｎ＋１）で
定められる第ｍ配線層に前記対象配線の主部分を設置す
る第５のサブステップと、前記対象配線の主部分の両側
の最近隣から外側に各ｎ本の同層で平行方向の配線格子
と、前記対象配線よりも上層の第（ｍ＋ｋ）配線層に属
する前記対象配線層の主部分の直上に位置する配線格子
および該配線格子の両側の最近隣から外側に各（ｎ−
ｋ）本の配線格子と、前記対象配線よりも下層の第（ｍ
−ｋ）配線層に属する前記対象配線の主部分の直下に位
置する配線格子および該配線格子の両側の最近隣から外
側に各（ｎ−ｋ）本の配線格子とを配線禁止領域として
パラメータファイルに登録する第６のサブステップと、
前記第４のサブステップの実行後または前記第６のサブ
ステップの実行後にすべての対象配線について設置が完
了したか否かを判定し、未配置の対象配線があれば前記
第２のサブステップに戻りすべての対象配線の配置が完
了したと判定したときには前記第５のステップを終了す
る第７のサブステップとを有している。前記対象配線の
抽出に当たって属性付き回路接続情報に基づき属性付き
配線を仮設置して所定の配線長Ｌ以上の長さの配線を抽
出してクロストーク防止の対象配線としてもよい。

【００２２】さらに、第３の発明のＬＳＩのレイアウト
方法は、回路接続情報ファイルからＬＳＩの回路接続情
報を読み込む第１のステップと、クロストークによる誤
動作の要注意配線に属性データを付加して属性付き回路
情報を作成する第２のステップと、前記属性付き回路接
続情報に基づきブロック・マクロライブラリからブロッ
クおよびマクロのデータを読み込み配置する第３のステ
ップと、パラメータファイルから禁止領域指定数ｎ（ｎ
は正整数）を読み込みマクロ内で使用の配線層数がｖの
とき第（ｖ＋１）層から第（ｖ＋ｎ）層までの配線層に
属するマクロ上の配線格子を第１の配線禁止領域とする
第４のステップと、前記属性データを付加された配線を
クロストーク防止の対象配線とする第５のステップと、
前記対象配線の主部分をｍ＝（ｖ＋ｎ＋１）で定められ
る第ｍ配線層に前記属性付き回路接続情報に基づき設置
する第６のステップと、前記第１の配線禁止領域を削除
する第７のステップと、前記対象配線の主部分の両側の
最近隣から外側に各ｎ本の同層で平行方向の配線格子
と、前記対象配線の主部分よりも上層の第（ｍ＋ｋ）配
線層に属する前記対象配線の主部分の直上に位置する配
線格子および該配線格子の両側の最近隣から外側に各
（ｎ−ｋ）本の配線格子と、前記対象配線の主部分より
も下層の第（ｍ−ｋ）配線層に属する前記対象配線の主
部分の直下に位置する配線格子および該配線格子の両側
の最近隣から外側に各（ｎ−ｋ）本の配線格子とを第２
の配線禁止領域としてパラメータファイルに登録する第
８のステップと、前記属性付き回路接続情報に基づき前
記対象配線以外のすべての信号配線を前記第２の配線禁
止領域を回避して設置する第９のステップとを有してい
る。前記対象配線の抽出に当たって属性付き回路接続情
報に基づき属性付き配線を仮設置して所定の配線長Ｌ以
上の長さの配線を抽出してクロストーク防止の対象配線
としてもよい。

【００２３】

【発明の実施の形態】本発明の概略は、クロストーク防
止の対象配線の属する配線層をひとつの側面とする三角
柱を対象配線の上方または上方と下方に想定し、三角柱
に含まれる配線格子を配線禁止領域として対象配線以外
の信号配線の配線処理を行う。以下、図面を参照して詳
細に説明する。

【００２４】図１は、本発明の一実施の形態の配置配線
装置のブロック図である。レイアウト設計システムは本
発明においても図１２と同様の構成であり、配置配線装
置１２１に換えて図１の配置配線装置１０を用いる。

【００２５】配置配線装置１０は、回路接続情報編集手
段１１とブロック・マクロ配置手段１２と対象配線抽出
手段１３と対象配線設置手段１４と自動配線処理実行手
段１５とを備えている。

【００２６】回路接続情報編集手段１１は、回路接続情
報ファイル１２２からＬＳＩの回路接続情報を読み込
み、クロストークによる誤動作または特性劣化の可能性
がある要注意配線に属性データを付加して属性付き回路
情報を作成する。

【００２７】ブロック・マクロ配置手段１２は、属性付
き回路接続情報に基づき、ブロック・マクロライブラリ
１２３からブロックおよびマクロのレイアウト用データ
を読み込んで配置を実行する。

【００２８】対象配線抽出手段１３は、属性付き回路接
続情報の属性データを付加された配線の中からクロスト
ーク防止の対象配線を抽出する。パラメータファイル１
２４に特別な抽出パラメータが設けられているときには
そのパラメータに基づいて抽出し、パラメータが設けら
れていないときには属性データが付加された配線すべて
を対象配線とする。

【００２９】対象配線設置手段１４は、クロストーク防
止の対象配線の主部分を第ｍ配線層（ｍは正整数）に設
置するとともに、少なくとも対象配線の主部分の両側の
最近隣から外側に各ｎ本（ｎは正整数）の同層で平行方
向の配線格子と、対象配線の主部分よりも上層の第（ｍ
＋ｋ）配線層（ｋは、０＜ｋ≦ｎの整数）に属する対象
配線の主部分の直上に位置する配線格子およびこの配線
格子の両側の最近隣から外側に各（ｎ−ｋ）本の配線格
子とを配線禁止領域としてパラメータファイルに登録す
る。

【００３０】なお、対象配線の主部分とは、対象配線が
一配線層に設置された主たる部分を指し、ブロックまた
はマクロから対象配線の主部分が配置される配線層まで
引き上げるための従たる配線層および配線層間を接続す
るビアは主部分には含めないものとする。

【００３１】自動配線処理実行手段１５は、属性付き回
路接続情報に基づき属性の付加されていないすべての配
線を配線禁止領域を回避して設置する。

【００３２】対象配線設置手段１４によって、対象配線
の属する第ｍ配線層では中央に位置する対象配線を含め
て（２ｎ＋１）本の配線格子が配線禁止に設定され、そ
の上方の第（ｍ＋１）配線層では、直上の配線格子と両
側に各（ｎ−１）本の配線格子の計（２ｎ−１）本の配
線格子が配線禁止に設定され、さらにその上方の第（ｍ
＋２）層では、対象配線の直上の配線格子と両側に各
（ｎ−２）本の配線格子の計（２ｎ−３）本の配線格子
が配線禁止に設定される。すなわち、概略的には、断面
が（２ｎ＋１）本の配線格子を含む底辺長で（ｎ＋１）
層分の配線層を含む高さの三角形状の三角柱内に含まれ
る配線格子を配線禁止領域に設定するとみなすことがで
きる。

【００３３】図２は、配置配線装置１０によるＬＳＩの
レイアウトのフロー図である。

【００３４】先ず、ステップ２１で、回路接続上方編集
手段１１により、回路接続情報ファイル１２２からＬＳ
Ｉの回路接続情報を読み込む。

【００３５】次に、ステップ２２で、回路接続上方編集
手段１１により、クロストークによる誤動作の要注意配
線に属性データを付加して属性付き回路情報を作成す
る。

【００３６】次に、ステップ２３で、ブロック・マクロ
配置手段１２により、属性付き回路接続情報に基づきブ
ロック・マクロライブラリ１２３からブロックおよびマ
クロのデータを読み込んで配置する。

【００３７】次に、ステップ２４で、対象配線抽出手段
１３により、属性データを付加された配線をクロストー
ク防止の対象配線に設定する。

【００３８】次に、ステップ２５で、対象配線設置手段
１４により、対象配線の主部分を第ｍ配線層に設置する
とともに、少なくとも対象配線の主部分の両側の最近隣
から外側に各ｎ本の同層で平行方向の配線格子と、対象
配線の主部分よりも上層の第（ｍ＋ｋ）配線層（０＜ｋ
≦ｎの整数）に属する前記対象配線の主部分の直上に位
置する配線格子およびこの配線格子の両側の最近隣から
外側に各（ｎ−ｋ）本の配線格子とを配線禁止領域とし
てパラメータファイルに登録する。

【００３９】次に、ステップ２６で、自動配線処理実行
手段１５により、属性付き回路接続情報に基づいて対象
配線以外のすべての信号配線を配線禁止領域を回避して
設置し、レイアウトは終了する。

【００４０】図３は、図２のステップ２５の配線禁止領
域設定の詳細なフロー図である。対象配線よりも下層に
クロストークの要因となる配線がない場合の禁止領域の
設定と、下層にクロストークの要因となる配線がある場
合の禁止領域の設定とを分けて処理する。図４は、下層
にクロストーク要因となる配線がない場合のＬＳＩチッ
プの断面模式図であり、図５は、その各配線層別の配置
図である。また、図６は、下層にクロストーク要因とな
る配線がある場合のＬＳＩチップの断面模式図である。
以下、図３のフローに沿って、図４，５，６を参照しな
がら説明する。

【００４１】まず、サブステップ３１で、パラメータフ
ァイル１２４に予め登録されている禁止領域指定数ｎ
（ｎは正整数）を読み込む。禁止領域指定数ｎは、ディ
ジタル信号のダイナミックレンジ、信号速度、半導体チ
ップ上の層間絶縁膜の厚さと誘電率より求め、あらかじ
めパラメータとして指定しておく。

【００４２】次に、サブステップ３２で、クロストーク
防止の対象配線の主体部が最下層である第１配線層に設
置可能であるか否かを判定する。

【００４３】サブステップ３２で、対象配線の主部分が
第１配線層に設置可能と判定されたときには、サブステ
ップ３３に進み、対象配線の主部分を第１配線層に設置
する。

【００４４】次にサブステップ３４で、対象配線の主部
分の両側の最近隣から外側に各ｎ本の同層で平行方向の
配線格子と、前記対象配線の主部分よりも上層の第（１
＋ｋ）配線層（ｋは、０＜ｋ≦ｎの整数）に属する前記
対象配線の主部分の直上に位置する配線格子およびこの
配線格子の両側の最近隣から外側に各（ｎ−ｋ）本の配
線格子とを配線禁止領域としてパラメータファイル１２
４に登録する。

【００４５】図４（ａ）は、ｎ＝２としてサブステップ
３３，３４を経てレイアウトされたＬＳＩの断面模式図
で、対象配線４３が設置された第１配線層では対象配線
の両側に各２本の配線禁止の配線格子４５が設定されて
いる。ｋ＝１に対応する第２配線層では、対象配線直上
の配線格子と、その両側に（ｎ−ｋ）＝１本の配線格子
が配線禁止の配線格子４５として設定されている。ｋ＝
２に対応する第３配線層では、対象配線４３の直上に位
置する配線格子のみが配線禁止の配線格子４５として設
定されている。対象配線４３以外の信号配線４４は、配
線禁止の配線格子４５の外側領域に配置される。なお、
４１は基板を、４２は絶縁物を示す。

【００４６】図５（ａ）〜（ｄ）は、図４（ａ）の平面
視を各配線層別に示した模式図であり、図５（ａ）は第
４配線層を示し、以下、（ｂ）は第３配線層を、（ｃ）
は第２配線層を、（ｄ）は第１配線層を示す。図５
（ｄ）では、第１配線層のＹ方向の配線格子５３−１の
うちの対象配線５１の両側の各２本の配線格子が配線禁
止の配線格子であるため、信号配線５２−１はこれを避
けて配置される。第１層のＸ方向の配線格子５４−１が
配線禁止に設定されたＹ方向の配線格子と交差する部分
については、配線禁止に設定されたＹ方向の配線格子の
一部であるので配線禁止の領域に含まれるとみなし、Ｘ
方向の配線であっても設置を禁止する。同様に、図５
（ｃ）では、Ｙ方向の配線格子５３−２のうち対象配線
５１の直上とその両側の３本の配線格子は配線禁止領域
に設定されているので、信号配線５２−２はＹ方向の配
線であってもＸ方向の配線であっても配線禁止領域を避
けて設置される。同様に図５（ｂ）では、Ｙ方向の配線
格子５３−３のうち対象配線５１の直上の配線格子が配
線禁止領域に設定されているので、信号配線５２−３は
Ｙ方向の配線であってもＸ方向の配線であっても配線禁
止領域を避けて設置される。

【００４７】図４（ｂ）は、奇数配線層と偶数配線層が
互いに直交する方向に設定されたＬＳＩに本発明を適用
した場合の断面模式図である。配線禁止領域に設定され
た配線格子とは直交する方向の配線であっても配線禁止
領域を通過して設置することは禁止されているので、信
号配線４４は、ビア４６を介して直行方向の上層の配線
と接続することにより配線禁止の配線格子４５を避けて
レイアウトされる。

【００４８】図３のフロー図に戻り、サブステップ３２
で対象配線の主部分が第１配線層に設置できないと判定
されたときには、サブステップ３５に進み、対象配線の
配線経路と交差する下層配線のうちの最上層の配線の属
する配線層が第ｕ配線層のときに、ｍ＝（ｕ＋ｎ＋１）
で定められる第ｍ配線層に対象配線の主部分を設置す
る。

【００４９】次に、サブステップ３６で、対象配線の主
部分の両側の最近隣から外側に各ｎ本の同層で平行方向
の配線格子と、前記対象配線よりも上層の第（ｍ＋ｋ）
配線層に属する前記対象配線層の主部分の直上に位置す
る配線格子および該配線格子の両側の最近隣から外側に
各（ｎ−ｋ）本の配線格子と、対象配線よりも下層の第
（ｍ−ｋ）配線層に属する対象配線の主部分の直下に位
置する配線格子および該配線格子の両側の最近隣から外
側に各（ｎ−ｋ）本の配線格子とを配線禁止領域として
パラメータファイル１２４に登録する。

【００５０】図６は、ｎ＝２、ｕ＝１としてサブステッ
プ３５，３６を経てレイアウトされたＬＳＩの断面模式
図で、ｍ＝４となるので対象配線４３は第４配線層に設
置され、第４配線層では対象配線の両側に各２本の配線
禁止の配線格子４５が設定され、ｋ＝１に対応する上層
側の第５配線層および下層側の第３配線層では、対象配
線直上および直下の配線格子と、それぞれの両側に（ｎ
−ｋ）＝１本の配線格子が配線禁止の配線格子４５とし
て設定され、ｋ＝２に対応する上層側の第６配線層およ
び下層側の第２配線層では、対象配線４３の直上および
直下に位置する配線格子が配線禁止の配線格子４５とし
て設定され、対象配線４３以外の信号配線４４は、配線
禁止の配線格子４５の外側領域に配置される。

【００５１】サブステップ３４の実行後またはサブステ
ップ３６の実行後はサブステップ３７に進み、すべての
対象配線について設置が完了したか否かを判定し、未配
置の対象配線があればサブステップ３２に戻りすべての
対象配線の配置が完了したと判定したときには、図２の
フロー図のステップ２５を終了する。

【００５２】図７（ａ）は、配線格子のピッチが０．８
μｍのＣＭＯＳのパラメータを用いて、図４（ａ）のよ
うに対象配線を最下層に配置した場合における禁止領域
指定数ｎに対する対象配線の周囲配線との結合容量値Ｃ
ｃを、シミュレーションで求めた結果の図である。ｎ≦
１では周囲配線との容量Ｃｃの変化が急峻であるのに対
して、ｎ≧２では飽和しており、ＬＳＩの製造ばらつき
を考慮するとｎ≧２が好ましい。

【００５３】図７（ｂ）は、禁止領域指定数ｎに対する
配線禁止となる配線格子数Ｇを示す図である。配線禁止
の配線格子数Ｇは、ｎの増大に伴って増大するので、ｎ
＝３程度が実用的な限界となり、図７（ａ）と合わせ
て、２≦ｎ≦３が禁止領域指定数ｎの好ましい範囲であ
る。

【００５４】図８は、第２の実施例のフロー図である。
本実施例では、配線長の短い配線は、これを駆動する回
路の駆動力に余裕があるので、クロストークによって信
号レベルに変化が生じても容易に回復できることから、
クロストークによる誤動作の要注意配線ではあっても、
実際にクロストーク防止対策を実施する対象配線から省
く処理を含み、図２のフロー図に対して、ステップ２４
が削除されて、替わりにステップ８４，８５，８６が追
加されている。図９（ａ），（ｂ），（ｃ）は、図８の
フローによる対象配線の設置を説明するためのＬＳＩの
平面模式図である。

【００５５】図８においては、図２のステップ２１〜２
３と同様に、ステップ８１で回路情報を読み込み、ステ
ップ８２でクロストークによる誤動作の要注意配線に属
性を付加し、ステップ８３でブロック、マクロの配置を
実行する。

【００５６】次のステップ８４では、属性付き回路接続
情報に基づいて、属性付き配線のみを抽出して仮設置す
る。図９（ａ）に示すように、属性付き配線Ｌａｂ，Ｌ
ｂｃ，Ｌｃｄ，Ｌｄａが仮設置され、ＬｃｄとＬｄａの
配線長が所定の値Ｌ以上であるとする。ここで、所定の
配線長Ｌは、配線を駆動する回路の駆動能力、配線の線
幅、配線の間隔、配線の膜厚、配線層間の絶縁膜の厚
さ、絶縁膜の誘電率、配線抵抗、ＬＳＩの動作速度など
から予め定めてパラメータファイル１２４に登録してお
く。

【００５７】次のステップ８５では、仮設置された属性
付き配線の中に、所定の配線長Ｌ以上の長さの配線があ
ればこれを抽出してクロストーク防止の対象配線とす
る。図９では、対象配線としてＬｃｄとＬｄａとが抽出
される。

【００５８】次のステップ８６では、属性付き配線のう
ち配線長Ｌ以上で対象配線として設定される配線を除い
た残りの配線長Ｌ未満の属性付き配線を、仮設置で設置
された位置に確定する。図９（ｂ）のように、配線Ｌａ
ｂ，Ｌｂｃが仮設置の位置で確定する。

【００５９】次に、ステップ８７で、対象配線として抽
出した配線Ｌｃｄ，Ｌｄａについて図９（ｃ）のように
第ｍ配線層に設置し、周囲に配線禁止領域を設けること
は図２のステップ２５と同様であり、また、ステップ８
７の詳細が図３のフローで実行される点においてもステ
ップ２５と同様である。

【００６０】最後に、ステップ８８で、属性の付加され
ていない信号配線について配線禁止領域を回避して自動
配線処理により設置してレイアウトを終了する。

【００６１】本実施例では、属性を付加された配線のう
ち実際に誤動作を生じる可能性が高い所定の配線長以上
の配線長の配線のみをクロストーク防止対策の対象配線
とするので、対象配線の本数が大幅に低減でき、これに
伴って配線禁止領域の設置が抑制できるため、図２の第
１実施例に比較して集積密度が向上するという利点が生
じる。なお、２≦ｎ≦３が禁止領域指定数ｎの好ましい
範囲であることは、図２の第１の実施例と同様である。

【００６２】次に、本発明の第２の実施の形態について
説明する。図１０は、第２の実施の形態のレイアウト方
法のフロー図であり、図１１は、これを説明するための
ＬＳＩの断面模式図である。図１０のフローは、図１７
（ａ）のように、対象配線がマクロの上層に設置される
場合を前提としたフローである。

【００６３】図１０において、先ず、ステップ1０１
で、回路接続情報ファイル１２２からＬＳＩの回路接続
情報を読み込む。

【００６４】次に、ステップ１０２で、クロストークに
よる誤動作の要注意配線に属性データを付加して属性付
き回路情報を作成する。

【００６５】次に、ステップ１０３で、属性付き回路接
続情報に基づいて、ブロック・マクロライブラリ１２３
からブロックおよびマクロのデータを読み込んで配置す
る。

【００６６】次に、ステップ１０４で、パラメータファ
イル１２４から禁止領域指定数ｎ（ｎは正整数）を読み
込み、マクロ内で使用の配線層数がｖのとき第（ｖ＋
１）層から第（ｖ＋ｎ）層までの配線層に属するマクロ
上の配線格子を第１の配線禁止領域とする。図１１
（ａ）に、この状態を模式的に示す。大規模マクロで
は、第１配線層および第２配線層でマクロ内配線９１を
構成しているのでｖ＝２であり、禁止領域指定数ｎ＝２
とすると、大規模マクロ上の第３配線層から第４配線層
までに属する配線格子が第１の配線禁止領域の配線格子
９２に設定される。

【００６７】次に、ステップ１０５で、属性データを付
加された配線をクロストーク防止の対象配線に設定す
る。

【００６８】次に、ステップ１０６で、対象配線の主部
分をｍ＝（ｖ＋ｎ＋１）で定められる第ｍ配線層に前記
属性付き回路接続情報に基づいて設置する。図１１
（ａ）では、ｍ＝５となるので、第５配線層に対象配線
４３が設置される。

【００６９】次に、ステップ１０７で、第１の配線禁止
領域を削除する。図１１（ａ）では、大規模マクロ上に
位置する第３配線層の配線格子および第４配線層の配線
格子に設定された第１の配線禁止領域の配線格子９２の
設定を解除する。

【００７０】次に、ステップ１０８で、対象配線の主部
分の両側の最近隣から外側に各ｎ本の同層で平行方向の
配線格子と、対象配線の主部分よりも上層の第（ｍ＋
ｋ）配線層に属する対象配線の主部分の直上に位置する
配線格子およびこの配線格子の両側の最近隣から外側に
各（ｎ−ｋ）本の配線格子と、前記対象配線の主部分よ
りも下層の第（ｍ−ｋ）配線層に属する前記対象配線の
主部分の直下に位置する配線格子および該配線格子の両
側の最近隣から外側に各（ｎ−ｋ）本の配線格子とを第
２の配線禁止領域としてパラメータファイルに登録す
る。この結果、図１１（ｂ）のＬＳＩ断面模式図に示す
ように、第５層に設置された対象配線４３の両側の各２
本の配線格子と、ｋ＝１に対応する上層側の第６配線層
および下層側の第４配線層では、対象配線直上および直
下の配線格子と、それぞれの両側に（ｎ−ｋ）＝１本の
配線格子と、ｋ＝２に対応する上層側の第７配線層およ
び下層側の第３配線層では、対象配線４３の直上および
直下に位置する配線格子とが、第２の配線禁止領域の配
線格子９３として設定される。

【００７１】次に、ステップ１０９で、属性付き回路接
続情報に基づいて、対象配線以外のすべての信号配線を
第２の配線禁止領域を回避して自動配線処理で設置して
レイアウトを終了する。

【００７２】本実施の形態では、マクロ上には一律に第
１の配線禁止領域を仮設して対象配線の設置を行うの
で、図３のステップ３５での対象配線に交差する下層配
線のうちの最上層の配線を検出する処理が不要となり、
高速化できる利点が生じる。

【００７３】なお、図１０のフローにおいて、ステップ
１０５を削除し、替わりに図８のステップ８４，８５，
８６に相当するステップを追加することにより、対象配
線の本数を低減して配線禁止領域の設置を抑制し、集積
密度が向上することが可能であることはいうまでもな
い。また、２≦ｎ≦３が禁止領域指定数ｎの好ましい範
囲であることも、図２の第１の実施例と同様である。

【００７４】

【発明の効果】以上のように、本発明である図１の配置
配線装置または図２のレイアウト方法を適用することに
より、クロストーク防止の対象配線と周囲の信号配線と
の間の結合容量を誤動作が生じないように低減できると
ともに、対象配線の寄生容量をも低減でき、また、マク
ロを有するＬＳＩチップに適用してもクロストーク防止
効果のあるレイアウトを実現できるという効果が生じ
る。

【００７５】図８の実施例では、属性を付加された配線
のうち実際に誤動作を生じる可能性が高い所定の配線長
以上の配線長の配線のみをクロストーク防止対策の対象
配線とするので、対象配線の本数が大幅に低減でき、こ
れに伴って配線禁止領域の設置が抑制できるため、図２
の実施例に効果に加えて集積密度が向上するという新た
な利点が生じる。

【００７６】図１０の実施例では、マクロ上には一律に
第１の配線禁止領域を仮設して対象配線の設置を行うの
で、対象配線が下層の配線と交差するかを検出する必要
がなくなり、図２の実施例の効果に加えて処理が高速化
できる効果が生じる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態の配置配線装置のブロッ
ク図である。

【図２】本発明によるＬＳＩのレイアウトのフロー図で
ある。

【図３】図２のステップ２５の詳細なフロー図である。

【図４】下層にクロストーク要因となる配線がない場合
のＬＳＩチップの断面模式図である。

【図５】図４の断面模式図に対応する各配線層別の配置
図である。

【図６】下層にクロストーク要因となる配線がある場合
のＬＳＩチップの断面模式図である。

【図７】（ａ）は、禁止領域指定数ｎに対する対象配線
の周囲配線との結合容量値Ｃｃのシミュレーション結果
の図であり、（ｂ）は、禁止領域指定数ｎに対する配線
禁止となる配線格子数Ｇを示す図である。

【図８】第１の実施の形態の第２の実施例のフロー図で
ある。

【図９】（ａ），（ｂ），（ｃ）は、図８のフローによ
る対象配線の設置を説明するためのＬＳＩの平面模式図
である。

【図１０】第２の実施の形態のレイアウト方法のフロー
図である。

【図１１】（ａ）は、図１０のステップ１０６の状態を
示し、（ｂ）は、ステップ１０８の状態を示すＬＳＩの
断面模式図である。

【図１２】レイアウト設計システムの構成図である。

【図１３】第１の従来例のレイアウト設計方法のフロー
図である。

【図１４】（ａ）は、ＬＳＩチップの平面模式図であ
り、（ｂ）は、（ａ）のＬＳＩチップの第１の従来例の
技術を適用したＬＳＩチップの断面模式図である。

【図１５】第２の従来例のレイアウト方法のフロー図で
ある。

【図１６】（ａ），（ｂ）は、第２の従来例を適用した
ＬＳＩチップの断面模式図である。

【図１７】（ａ）は、マクロを含むＬＳＩチップの平面
模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に対応する断面模式図
である。

【符号の説明】

１０ 配置配線装置 １１ 回路接続情報編集手段 １２ ブロック・マクロ配置手段 １３ 対象配線抽出手段 １４ 対象配線設置手段 １５ 自動配線処理実行手段 ４３，５１，１４１，１４５ 対象配線 ４４，１４８ 信号配線 ４５ 配線禁止の配線格子 ４６ ビア ９１，１７１ マクロ内配線 ９２ 第１の配線禁止領域の配線格子 ９３ 第２の配線禁止領域の配線格子 １２１ 配置配線装置 １２２ 回路接続情報ファイル １２３ ブロック・マクロライブラリ １２４ パラメータファイル １２５ 入出力表示装置 １２６ レイアウト結果ファイル １４６，１４７ シールド配線

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回路接続情報ファイルからＬＳＩの回路
   接続情報を読み込みクロストークによる誤動作の要注意
   配線に属性データを付加して属性付き回路情報を作成す
   る回路接続情報編集手段と、 前記属性付き回路接続情報に基づきブロック・マクロラ
   イブラリからブロックおよびマクロのデータを読み込み
   配置するブロック・マクロ配置手段と、 前記属性付き回路接続情報の属性データを付加された配
   線の中からクロストーク防止の対象配線を抽出する対象
   配線抽出手段と、 前記対象配線の主部分を第ｍ配線層（ｍは正整数）に設
   置するとともに少なくとも前記対象配線の主部分の両側
   の最近隣から外側に各ｎ本（ｎは正整数）の同層で平行
   方向の配線格子と、前記対象配線の主部分よりも上層の
   第（ｍ＋ｋ）配線層（ｋは、０＜ｋ≦ｎの整数）に属す
   る前記対象配線の主部分の直上に位置する配線格子およ
   び該配線格子の両側の最近隣から外側に各（ｎ−ｋ）本
   の配線格子とを配線禁止領域としてパラメータファイル
   に登録する対象配線設置手段と、 前記属性付き回路接続情報に基づき属性の付加されてい
   ないすべての配線を前記配線禁止領域を回避して設置す
   る自動配線処理実行手段とを備えることを特徴とする配
   置配線装置。
2. 【請求項２】 回路接続情報ファイルからＬＳＩの回路
   接続情報を読み込む第１のステップと、 クロストークによる誤動作の要注意配線に属性データを
   付加して属性付き回路情報を作成する第２のステップ
   と、 前記属性付き回路接続情報に基づきブロック・マクロラ
   イブラリからブロックおよびマクロのデータを読み込み
   配置する第３のステップと、 前記属性データを付加された配線をクロストーク防止の
   対象配線とする第４のステップと、 前記対象配線の主部分を第ｍ配線層（ｍは正整数）に設
   置するとともに少なくとも前記対象配線の主部分の両側
   の最近隣から外側に各ｎ本（ｎは正整数）の同層で平行
   方向の配線格子と、前記対象配線の主部分よりも上層の
   第（ｍ＋ｋ）配線層（ｋは、０＜ｋ≦ｎの整数）に属す
   る前記対象配線の主部分の直上に位置する配線格子およ
   び該配線格子の両側の最近隣から外側に各（ｎ−ｋ）本
   の配線格子とを配線禁止領域としてパラメータファイル
   に登録する第５のステップと、 前記属性付き回路接続情報に基づき前記対象配線以外の
   すべての信号配線を前記配線禁止領域を回避して設置す
   る第６のステップとを有することを特徴とするＬＳＩの
   レイアウト方法。
3. 【請求項３】 前記第５のステップが、 パラメータファイルから禁止領域指定数ｎ（ｎは正整
   数）を読み込む第１のサブステップと、 クロストーク防止の対象配線の主体部が最下層である第
   １配線層に設置可能であるか否かを判定する第２のサブ
   ステップと、 前記第２のサブステップで前記対象配線の主部分が前記
   第１配線層に設置可能と判定されたときに、前記対象配
   線の主部分を前記第１配線層に設置する第３のサブステ
   ップと、 前記対象配線の主部分の両側の最近隣から外側に各ｎ本
   の同層で平行方向の配線格子と、前記対象配線の主部分
   よりも上層の第（１＋ｋ）配線層（ｋは、０＜ｋ≦ｎの
   整数）に属する前記対象配線の主部分の直上に位置する
   配線格子および該配線格子の両側の最近隣から外側に各
   （ｎ−ｋ）本の配線格子とを配線禁止領域として前記パ
   ラメータファイルに登録する第４のサブステップと、 前記第２のサブステップで前記対象配線の主部分が前記
   第１配線層には設置できないと判定されたときに、前記
   対象配線の配線経路と交差する下層配線のうちの最上層
   の配線の属する配線層が第ｕ配線層のときｍ＝（ｕ＋ｎ
   ＋１）で定められる第ｍ配線層に前記対象配線の主部分
   を設置する第５のサブステップと、 前記対象配線の主部分の両側の最近隣から外側に各ｎ本
   の同層で平行方向の配線格子と、前記対象配線よりも上
   層の第（ｍ＋ｋ）配線層に属する前記対象配線層の主部
   分の直上に位置する配線格子および該配線格子の両側の
   最近隣から外側に各（ｎ−ｋ）本の配線格子と、前記対
   象配線よりも下層の第（ｍ−ｋ）配線層に属する前記対
   象配線の主部分の直下に位置する配線格子および該配線
   格子の両側の最近隣から外側に各（ｎ−ｋ）本の配線格
   子とを配線禁止領域としてパラメータファイルに登録す
   る第６のサブステップと、 前記第４のサブステップの実行後または前記第６のサブ
   ステップの実行後にすべての対象配線について設置が完
   了したか否かを判定し、未配置の対象配線があれば前記
   第２のサブステップに戻りすべての対象配線の配置が完
   了したと判定したときには前記第５のステップを終了す
   る第７のサブステップとを有する請求項２記載のＬＳＩ
   のレイアウト方法。
4. 【請求項４】 回路接続情報ファイルからＬＳＩの回路
   接続情報を読み込む第１のステップと、 クロストークによる誤動作の要注意配線に属性データを
   付加して属性付き回路情報を作成する第２のステップ
   と、 前記属性付き回路接続情報に基づきブロック・マクロラ
   イブラリからブロックおよびマクロのデータを読み込み
   配置する第３のステップと、 前記属性付き回路接続情報に基づき属性付き配線を仮設
   置する第４のステップと、 仮設置された前記属性付き配線のうちパラメータファイ
   ルに登録された所定の配線長Ｌ以上の長さの配線を抽出
   してクロストーク防止の対象配線とする第５のステップ
   と、 配線長Ｌ未満の属性付き配線の設置を確定する第６のス
   テップと、 前記対象配線の主部分を第ｍ配線層（ｍは正整数）に設
   置するとともに少なくとも前記対象配線の主部分の両側
   の最近隣から外側に各ｎ本（ｎは正整数）の同層で平行
   方向の配線格子と、前記対象配線の主部分よりも上層の
   第（ｍ＋ｋ）配線層（ｋは、０＜ｋ≦ｎの整数）に属す
   る前記対象配線の主部分の直上に位置する配線格子およ
   び該配線格子の両側の最近隣から外側に各（ｎ−ｋ）本
   の配線格子とを配線禁止領域として前記パラメータファ
   イルに登録する第７のステップと、 前記属性付き回路接続情報に基づき属性の付加されてい
   ないすべての信号配線を前記配線禁止領域を回避して設
   置する第８のステップとを有することを特徴とするＬＳ
   Ｉのレイアウト方法。
5. 【請求項５】 前記第７のステップが、 パラメータファイルから禁止領域指定数ｎ（ｎは正整
   数）を読み込む第１のサブステップと、 クロストーク防止の対象配線の主体部が最下層である第
   １配線層に設置可能であるか否かを判定する第２のサブ
   ステップと、 前記第２のサブステップで前記対象配線の主部分が前記
   第１配線層に設置可能と判定されたときに、前記対象配
   線の主部分を前記第１配線層に設置する第３のサブステ
   ップと、 前記対象配線の主部分の両側の最近隣から外側に各ｎ本
   の同層で平行方向の配線格子と、前記対象配線の主部分
   よりも上層の第（１＋ｋ）配線層（ｋは、０＜ｋ≦ｎの
   整数）に属する前記対象配線の主部分の直上に位置する
   配線格子および該配線格子の両側の最近隣から外側に各
   （ｎ−ｋ）本の配線格子とを配線禁止領域として前記パ
   ラメータファイルに登録する第４のサブステップと、 前記第２のサブステップで前記対象配線の主部分が前記
   第１配線層には設置できないと判定されたときに、前記
   対象配線の配線経路と交差する下層配線のうちの最上層
   の配線の属する配線層が第ｕ配線層のときｍ＝（ｕ＋ｎ
   ＋１）で定められる第ｍ配線層に前記対象配線の主部分
   を設置する第５のサブステップと、 前記対象配線の主部分の両側の最近隣から外側に各ｎ本
   の同層で平行方向の配線格子と、前記対象配線よりも上
   層の第（ｍ＋ｋ）配線層に属する前記対象配線層の主部
   分の直上に位置する配線格子および該配線格子の両側の
   最近隣から外側に各（ｎ−ｋ）本の配線格子と、前記対
   象配線よりも下層の第（ｍ−ｋ）配線層に属する前記対
   象配線の主部分の直下に位置する配線格子および該配線
   格子の両側の最近隣から外側に各（ｎ−ｋ）本の配線格
   子とを配線禁止領域としてパラメータファイルに登録す
   る第６のサブステップと、 前記第４のサブステップの実行後または前記第６のサブ
   ステップの実行後にすべての対象配線について設置が完
   了したか否かを判定し、未配置の対象配線があれば前記
   第２のサブステップに戻りすべての対象配線の配置が完
   了したと判定したときには前記第７のステップを終了す
   る第７のサブステップとを有する請求項４記載のＬＳＩ
   のレイアウト方法。
6. 【請求項６】 回路接続情報ファイルからＬＳＩの回路
   接続情報を読み込む第１のステップと、 クロストークによる誤動作の要注意配線に属性データを
   付加して属性付き回路情報を作成する第２のステップ
   と、 前記属性付き回路接続情報に基づきブロック・マクロラ
   イブラリからブロックおよびマクロのデータを読み込み
   配置する第３のステップと、 パラメータファイルから禁止領域指定数ｎ（ｎは正整
   数）を読み込みマクロ内で使用の配線層数がｖのとき第
   （ｖ＋１）層から第（ｖ＋ｎ）層までの配線層に属する
   マクロ上の配線格子を第１の配線禁止領域とする第４の
   ステップと、 前記属性データを付加された配線をクロストーク防止の
   対象配線とする第５のステップと、 前記対象配線の主部分をｍ＝（ｖ＋ｎ＋１）で定められ
   る第ｍ配線層に前記属性付き回路接続情報に基づき設置
   する第６のステップと、 前記第１の配線禁止領域を削除する第７のステップと、 前記対象配線の主部分の両側の最近隣から外側に各ｎ本
   の同層で平行方向の配線格子と、前記対象配線の主部分
   よりも上層の第（ｍ＋ｋ）配線層に属する前記対象配線
   の主部分の直上に位置する配線格子および該配線格子の
   両側の最近隣から外側に各（ｎ−ｋ）本の配線格子と、
   前記対象配線の主部分よりも下層の第（ｍ−ｋ）配線層
   に属する前記対象配線の主部分の直下に位置する配線格
   子および該配線格子の両側の最近隣から外側に各（ｎ−
   ｋ）本の配線格子とを第２の配線禁止領域としてパラメ
   ータファイルに登録する第８のステップと、 前記属性付き回路接続情報に基づき前記対象配線以外の
   すべての信号配線を前記第２の配線禁止領域を回避して
   設置する第９のステップとを有することを特徴とするＬ
   ＳＩのレイアウト方法。
7. 【請求項７】 回路接続情報ファイルからＬＳＩの回路
   接続情報を読み込む第１のステップと、 クロストークによる誤動作の要注意配線に属性データを
   付加して属性付き回路情報を作成する第２のステップ
   と、 前記属性付き回路接続情報に基づきブロック・マクロラ
   イブラリからブロックおよびマクロのデータを読み込み
   配置する第３のステップと、 前記属性付き回路接続情報に基づき属性付き配線を仮設
   置する第４のステップと、 仮設置された前記属性付き配線のうちパラメータファイ
   ルに登録された所定の配線長Ｌ以上の長さの配線を抽出
   してクロストーク防止の対象配線とする第５のステップ
   と、 配線長Ｌ未満の属性付き配線の設置を確定する第６のス
   テップと、 パラメータファイルから禁止領域指定数ｎ（ｎは正整
   数）を読み込みマクロ内で使用の配線層数がｖのとき第
   （ｖ＋１）層から第（ｖ＋ｎ）層までの配線層に属する
   マクロ上の配線格子を第１の配線禁止領域とする第７の
   ステップと、 前記対象配線の主部分をｍ＝（ｖ＋ｎ＋１）で定められ
   る第ｍ配線層に前記属性付き回路接続情報に基づき設置
   する第８のステップと、 前記第１の配線禁止領域を削除する第９のステップと、 前記対象配線の主部分の両側の最近隣から外側に各ｎ本
   の同層で平行方向の配線格子と、前記対象配線の主部分
   よりも上層の第（ｍ＋ｋ）配線層に属する前記対象配線
   の主部分の直上に位置する配線格子および該配線格子の
   両側の最近隣から外側に各（ｎ−ｋ）本の配線格子と、
   前記対象配線の主部分よりも下層の第（ｍ−ｋ）配線層
   に属する前記対象配線の主部分の直下に位置する配線格
   子および該配線格子の両側の最近隣から外側に各（ｎ−
   ｋ）本の配線格子とを第２の配線禁止領域としてパラメ
   ータファイルに登録する第１０のステップと、前記属性
   付き回路接続情報に基づき属性の付加されていないすべ
   ての信号配線を前記第２の配線禁止領域を回避して設置
   する第１１のステップとを有することを特徴とするＬＳ
   Ｉのレイアウト方法。
8. 【請求項８】 ２≦ｎ≦３である請求項２，３，４，
   ５，６または７記載のＬＳＩのレイアウト方法。