JP2001289613A - オートフォーカス方法 - Google Patents
オートフォーカス方法Info
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- JP2001289613A JP2001289613A JP2000101484A JP2000101484A JP2001289613A JP 2001289613 A JP2001289613 A JP 2001289613A JP 2000101484 A JP2000101484 A JP 2000101484A JP 2000101484 A JP2000101484 A JP 2000101484A JP 2001289613 A JP2001289613 A JP 2001289613A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】簡単な制御で高精度に焦点を合わせることがで
きるオートフォーカス方法を提供する。 【解決手段】第１のカメラＡでワークを撮影することに
より、第２の面４と第２のカメラＢの間の距離情報Ａ１
を測定する第１の測定工程と、第２のカメラＢでワーク
を撮影することにより、第１の面８と第１のカメラＡの
間の距離情報Ｂ１を測定する第２の測定工程と、予め設
定された第２のカメラの合焦位置情報Ａ０と距離情報Ａ
１との差分Ｂｄを求める第１の演算工程と、予め設定さ
れた第１のカメラの合焦位置情報Ｂ０と距離情報Ｂ１と
の差分Ａｄを求める第２の演算工程と、第２のカメラと
第２の面との間の距離を差分Ｂｄだけ修正する第１の修
正工程と、第１のカメラと第１の面との間の距離を差分
Ａｄだけ修正する第２の修正工程とを具備する。
きるオートフォーカス方法を提供する。 【解決手段】第１のカメラＡでワークを撮影することに
より、第２の面４と第２のカメラＢの間の距離情報Ａ１
を測定する第１の測定工程と、第２のカメラＢでワーク
を撮影することにより、第１の面８と第１のカメラＡの
間の距離情報Ｂ１を測定する第２の測定工程と、予め設
定された第２のカメラの合焦位置情報Ａ０と距離情報Ａ
１との差分Ｂｄを求める第１の演算工程と、予め設定さ
れた第１のカメラの合焦位置情報Ｂ０と距離情報Ｂ１と
の差分Ａｄを求める第２の演算工程と、第２のカメラと
第２の面との間の距離を差分Ｂｄだけ修正する第１の修
正工程と、第１のカメラと第１の面との間の距離を差分
Ａｄだけ修正する第２の修正工程とを具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＣＣＤカメラ等の
焦点をワーク表面に高精度で合わせるためのオートフォ
ーカス方法に関するものである。
焦点をワーク表面に高精度で合わせるためのオートフォ
ーカス方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、オートフォーカスの方法として、
例えば特開平６−３４３６６号公報には、カメラとワー
クの距離を変化させ、その時のコントラストを算出し、
そのコントラストが最大となる位置を合焦位置とする方
法が記載されている。
例えば特開平６−３４３６６号公報には、カメラとワー
クの距離を変化させ、その時のコントラストを算出し、
そのコントラストが最大となる位置を合焦位置とする方
法が記載されている。
【０００３】また、特開平８−９４２４号公報には、立
体画像のために２台のカメラを輻輳角θに配置し、その
左右の視差量情報を処理してフォーカス情報を得る方法
が記載されている。
体画像のために２台のカメラを輻輳角θに配置し、その
左右の視差量情報を処理してフォーカス情報を得る方法
が記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、コント
ラスト法では合焦するまでに、コントラストの算出とカ
メラとワークの距離の微動制御を何回も繰り返す必要が
あり、処理時間が長くかかるという問題があった。また
コントラストの算出も複雑であった。
ラスト法では合焦するまでに、コントラストの算出とカ
メラとワークの距離の微動制御を何回も繰り返す必要が
あり、処理時間が長くかかるという問題があった。また
コントラストの算出も複雑であった。
【０００５】また、左右２台のカメラの視差量情報を処
理する方法では、処理が複雑となるため処理時間がかか
り、また高精度な合焦は困難であった。
理する方法では、処理が複雑となるため処理時間がかか
り、また高精度な合焦は困難であった。
【０００６】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、簡単な制御で高精度に
焦点を合わせることができるオートフォーカス方法を提
供することである。
されたものであり、その目的は、簡単な制御で高精度に
焦点を合わせることができるオートフォーカス方法を提
供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わるオートフォーカ
ス方法は、第１及び第２の２台のカメラで、１つのワー
クを直交する２方向から観測し、前記第１及び第２のカ
メラの焦点を前記ワークの互いに直交する第１及び第２
の面にそれぞれ合わせるためのオートフォーカス方法で
あって、前記第１のカメラで前記ワークを撮影すること
により、前記第２の面と前記第２のカメラの間の距離情
報Ａ１を測定する第１の測定工程と、前記第２のカメラ
で前記ワークを撮影することにより、前記第１の面と前
記第１のカメラの間の距離情報Ｂ１を測定する第２の測
定工程と、予め設定された前記第２のカメラの合焦位置
情報Ａ０と前記距離情報Ａ１との差分Ｂｄを求める第１
の演算工程と、予め設定された前記第１のカメラの合焦
位置情報Ｂ０と前記距離情報Ｂ１との差分Ａｄを求める
第２の演算工程と、前記第２のカメラと前記第２の面と
の間の距離を前記差分Ｂｄだけ修正する第１の修正工程
と、前記第１のカメラと前記第１の面との間の距離を前
記差分Ａｄだけ修正する第２の修正工程とを具備するこ
とを特徴としている。
目的を達成するために、本発明に係わるオートフォーカ
ス方法は、第１及び第２の２台のカメラで、１つのワー
クを直交する２方向から観測し、前記第１及び第２のカ
メラの焦点を前記ワークの互いに直交する第１及び第２
の面にそれぞれ合わせるためのオートフォーカス方法で
あって、前記第１のカメラで前記ワークを撮影すること
により、前記第２の面と前記第２のカメラの間の距離情
報Ａ１を測定する第１の測定工程と、前記第２のカメラ
で前記ワークを撮影することにより、前記第１の面と前
記第１のカメラの間の距離情報Ｂ１を測定する第２の測
定工程と、予め設定された前記第２のカメラの合焦位置
情報Ａ０と前記距離情報Ａ１との差分Ｂｄを求める第１
の演算工程と、予め設定された前記第１のカメラの合焦
位置情報Ｂ０と前記距離情報Ｂ１との差分Ａｄを求める
第２の演算工程と、前記第２のカメラと前記第２の面と
の間の距離を前記差分Ｂｄだけ修正する第１の修正工程
と、前記第１のカメラと前記第１の面との間の距離を前
記差分Ａｄだけ修正する第２の修正工程とを具備するこ
とを特徴としている。
【０００８】また、この発明に係わるオートフォーカス
方法において、前記第１及び第２の測定工程と、前記第
１及び第２の演算工程と、前記第１及び第２の修正工程
とを、所望の合焦精度が得られるまで繰り返すことを特
徴としている。
方法において、前記第１及び第２の測定工程と、前記第
１及び第２の演算工程と、前記第１及び第２の修正工程
とを、所望の合焦精度が得られるまで繰り返すことを特
徴としている。
【０００９】また、この発明に係わるオートフォーカス
方法において、第１及び第２の２台のカメラで、１つの
ワークを直交する２方向から観測し、前記第１のカメラ
の焦点を、前記ワークの第１の面に合わせるためのオー
トフォーカス方法であって、前記第２のカメラで前記ワ
ークを撮影することにより、前記第１の面と前記第１の
カメラの間の距離情報Ｂ１を測定する測定工程と、予め
設定された前記第１のカメラの合焦位置情報Ｂ０と前記
距離情報Ｂ１との差分Ａｄを求める演算工程と、前記第
１のカメラと前記第１の面との間の距離を前記差分Ａｄ
だけ修正する修正工程とを具備することを特徴としてい
る。
方法において、第１及び第２の２台のカメラで、１つの
ワークを直交する２方向から観測し、前記第１のカメラ
の焦点を、前記ワークの第１の面に合わせるためのオー
トフォーカス方法であって、前記第２のカメラで前記ワ
ークを撮影することにより、前記第１の面と前記第１の
カメラの間の距離情報Ｂ１を測定する測定工程と、予め
設定された前記第１のカメラの合焦位置情報Ｂ０と前記
距離情報Ｂ１との差分Ａｄを求める演算工程と、前記第
１のカメラと前記第１の面との間の距離を前記差分Ａｄ
だけ修正する修正工程とを具備することを特徴としてい
る。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１１】図１は、本発明をインクジェットヘッド用
ヒーターボードの寸法を測定する装置に適用した一実施
形態を示す図である。
ヒーターボードの寸法を測定する装置に適用した一実施
形態を示す図である。
【００１２】図１に示した装置は、１０ｍｍ程度の矩形
状に切断された半導体チップ上の特定パターン位置とチ
ップ切断面との距離を画像処理により１μｍ以内の精度
で測定する装置である。
状に切断された半導体チップ上の特定パターン位置とチ
ップ切断面との距離を画像処理により１μｍ以内の精度
で測定する装置である。
【００１３】このような高精度測定を行う場合、フォー
カス調整も高精度に合わせる必要があり、レンズ等の光
学系にもよるが、一般的に１０μｍ以内に合焦させる必
要がある。
カス調整も高精度に合わせる必要があり、レンズ等の光
学系にもよるが、一般的に１０μｍ以内に合焦させる必
要がある。
【００１４】この装置による測定結果は、次工程のチッ
プ組付け時に図５に示すチップ切断面６を基準として用
いるが、次工程についての説明は本発明と直接関係しな
いので省略する。
プ組付け時に図５に示すチップ切断面６を基準として用
いるが、次工程についての説明は本発明と直接関係しな
いので省略する。
【００１５】本実施形態の装置は、図１に示すように、
ワークである矩形状の半導体チップ２の特定パターンの
位置を測定するカメラＡと、カメラＡとほぼ垂直な方向
から半導体チップ２の切断面の位置を測定するカメラＢ
と、半導体チップ２とカメラＡ，Ｂの距離を微動可能な
直交した２軸ステージＡｓ，Ｂｓと、カメラＡ，Ｂの画
像を取込む画像処理装置Ｖと、２軸ステージＡｓ，Ｂｓ
を位置制御可能なコントローラＣとを備えている。
ワークである矩形状の半導体チップ２の特定パターンの
位置を測定するカメラＡと、カメラＡとほぼ垂直な方向
から半導体チップ２の切断面の位置を測定するカメラＢ
と、半導体チップ２とカメラＡ，Ｂの距離を微動可能な
直交した２軸ステージＡｓ，Ｂｓと、カメラＡ，Ｂの画
像を取込む画像処理装置Ｖと、２軸ステージＡｓ，Ｂｓ
を位置制御可能なコントローラＣとを備えている。
【００１６】次に、上記のように構成される装置の動作
について、図２に示すフローチャートを参照して説明す
る ＜ステップＳ１＞カメラＡの画像を画像処理装置Ｖに取
込み、半導体チップ２の切断面４の位置Ａ１を算出す
る。
について、図２に示すフローチャートを参照して説明す
る ＜ステップＳ１＞カメラＡの画像を画像処理装置Ｖに取
込み、半導体チップ２の切断面４の位置Ａ１を算出す
る。
【００１７】この時の画像視野の様子を図３（ａ）に示
す。図中白い部分が半導体チップ２であり、背景は暗く
してある。
す。図中白い部分が半導体チップ２であり、背景は暗く
してある。
【００１８】まだ合焦していないので像はボケている
が、この状態でチップ切断面４の位置Ａ１の大まかな測
定を行なう。このＡ１の値は、ステップＳ１からステッ
プＳ６を繰り返すことにより、図３（ｂ），（ｃ）に示
すように次第に正確な値となる。
が、この状態でチップ切断面４の位置Ａ１の大まかな測
定を行なう。このＡ１の値は、ステップＳ１からステッ
プＳ６を繰り返すことにより、図３（ｂ），（ｃ）に示
すように次第に正確な値となる。
【００１９】＜ステップＳ２＞カメラＢの画像を画像処
理装置Ｖに取込み、半導体チップ２のパターン面８の位
置Ｂ１を算出する。
理装置Ｖに取込み、半導体チップ２のパターン面８の位
置Ｂ１を算出する。
【００２０】この時の画像視野の様子を図４（ａ）に示
す。まだ合焦していないので像はボケているが、この状
態で半導体チップ２のパターン面８の位置Ｂ１の大まか
な測定を行なう。このＢ１の値は、ステップＳ１からス
テップＳ６を繰り返すことにより、図４（ｂ），（ｃ）
に示すように次第に正確な値となる。
す。まだ合焦していないので像はボケているが、この状
態で半導体チップ２のパターン面８の位置Ｂ１の大まか
な測定を行なう。このＢ１の値は、ステップＳ１からス
テップＳ６を繰り返すことにより、図４（ｂ），（ｃ）
に示すように次第に正確な値となる。
【００２１】＜ステップＳ３＞半導体チップ２の切断面
４の登録位置Ａ０とステップＳ１で求めたＡ１の差を算
出し、カメラＢのズレ量を求める。
４の登録位置Ａ０とステップＳ１で求めたＡ１の差を算
出し、カメラＢのズレ量を求める。
【００２２】ここでＡ０は、半導体チップ２がカメラＡ
の視野内でどの位置にある時に、切断面４にカメラＢが
最もフォーカスが合うかをあらかじめ調べておき、その
時のＡ１の値をＡ０としてコントローラＣに設定してお
く。
の視野内でどの位置にある時に、切断面４にカメラＢが
最もフォーカスが合うかをあらかじめ調べておき、その
時のＡ１の値をＡ０としてコントローラＣに設定してお
く。
【００２３】カメラＢの相対ズレ量Ｂｄは、 Ｂｄ＝Ａ１−Ａ０ として算出する。半導体チップ２をカメラＢの観測方向
にＢｄだけ移動することにより、半導体チップの切断面
４の位置に、カメラＢのフォーカスが最も合うようにな
る。
にＢｄだけ移動することにより、半導体チップの切断面
４の位置に、カメラＢのフォーカスが最も合うようにな
る。
【００２４】＜ステップＳ４＞半導体チップ２のパター
ン面８の登録位置Ｂ０とステップＳ２で求めたＢ１の差
を算出し、カメラＡのズレ量を求める。
ン面８の登録位置Ｂ０とステップＳ２で求めたＢ１の差
を算出し、カメラＡのズレ量を求める。
【００２５】ここでＢ０は、ステップＳ３と同様に、半
導体チップ２がカメラＢの視野内でどの位置にある時
に、パターン面８にカメラＡが最もフォーカスが合うか
をあらかじめ調べておき、その時のＢ１の値をＢ０とし
てコントローラＣに設定しておく。
導体チップ２がカメラＢの視野内でどの位置にある時
に、パターン面８にカメラＡが最もフォーカスが合うか
をあらかじめ調べておき、その時のＢ１の値をＢ０とし
てコントローラＣに設定しておく。
【００２６】カメラＡの相対ズレ量Ａｄは、 Ａｄ＝Ｂ１−Ｂ０ として算出する。半導体チップ２をカメラＡの観測方向
にＡｄだけ移動することにより、半導体チップのパター
ン面８の位置に、カメラＡのフォーカスが最も合うよう
になる。
にＡｄだけ移動することにより、半導体チップのパター
ン面８の位置に、カメラＡのフォーカスが最も合うよう
になる。
【００２７】＜ステップＳ５＞ステップＳ３及びステッ
プＳ４で算出したＡｄ，Ｂｄの値が十分小さければ、合
焦したものとして、オートフォーカス動作を終了し、ス
テップＳ７を行う。
プＳ４で算出したＡｄ，Ｂｄの値が十分小さければ、合
焦したものとして、オートフォーカス動作を終了し、ス
テップＳ７を行う。
【００２８】相対移動量Ａｄ，Ｂｄの値がまだ大きけれ
ば、合焦していないものとし、続けてステップＳ６を行
う。
ば、合焦していないものとし、続けてステップＳ６を行
う。
【００２９】＜ステップＳ６＞半導体チップ２を２軸ス
テージＡｓ，Ｂｓで微動させ位置決めする。
テージＡｓ，Ｂｓで微動させ位置決めする。
【００３０】その時の相対移動量は、それぞれステップ
Ｓ３、ステップＳ４で求めたＡｄ，Ｂｄである。ステー
ジ移動後、ステップＳ１に戻る。
Ｓ３、ステップＳ４で求めたＡｄ，Ｂｄである。ステー
ジ移動後、ステップＳ１に戻る。
【００３１】＜ステップＳ７＞カメラＡ，Ｂの合焦した
状態での画像を用いて画像処理を行い、カメラＡでの画
像から特定パターン位置Ａｘを算出し、カメラＢでの画
像から切断面６の位置Ｂｘを高精度に算出する。
状態での画像を用いて画像処理を行い、カメラＡでの画
像から特定パターン位置Ａｘを算出し、カメラＢでの画
像から切断面６の位置Ｂｘを高精度に算出する。
【００３２】さらにその差（Ｂｘ−Ａｘ）を測定結果と
して次工程に出力する。
して次工程に出力する。
【００３３】ここで特定パターンの測定方法について
は、パターンマッチング等の方法で容易に測定可能であ
る。
は、パターンマッチング等の方法で容易に測定可能であ
る。
【００３４】チップエッジ位置の高精度測定方法に関し
ても、本発明と直接関係しないので省略する。
ても、本発明と直接関係しないので省略する。
【００３５】以上で、オートフォーカスと測定が終了す
る。
る。
【００３６】実際に、上記の方法でオートフォーカスを
行なったところ、ステップＳ１からステップＳ６を２回
程度繰り返すことにより、十分合焦した良好な像が得ら
れた。
行なったところ、ステップＳ１からステップＳ６を２回
程度繰り返すことにより、十分合焦した良好な像が得ら
れた。
【００３７】また、レンズ等の光学系、測定要求精度、
さらにワーク等の条件によっては、１回の動作でも十分
な合焦画像を得ることができる。
さらにワーク等の条件によっては、１回の動作でも十分
な合焦画像を得ることができる。
【００３８】また、本実施形態ではカメラＡ，Ｂ共に高
精度測定が必要なので、２台共オートフォーカスさせた
が、高精度測定がカメラＡだけで良い場合は、カメラＢ
による測定と、カメラＡのワーク間距離の微動制御だけ
でも良く、処理はさらに簡単になり処理時間も短縮する
ことができる。
精度測定が必要なので、２台共オートフォーカスさせた
が、高精度測定がカメラＡだけで良い場合は、カメラＢ
による測定と、カメラＡのワーク間距離の微動制御だけ
でも良く、処理はさらに簡単になり処理時間も短縮する
ことができる。
【００３９】なお本実施形態では、カメラＡ，Ｂは固定
で、半導体チップを微動ステージ上に置いて合焦させた
が、反対にチップを固定でカメラを微動させてもよい。
で、半導体チップを微動ステージ上に置いて合焦させた
が、反対にチップを固定でカメラを微動させてもよい。
【００４０】またこの場合、２台のカメラを同一の２軸
微動ステージ上に載せてもよいし、それぞれのカメラ毎
に微動ステージを設けてもよい。
微動ステージ上に載せてもよいし、それぞれのカメラ毎
に微動ステージを設けてもよい。
【００４１】以上説明したように、上記の実施形態によ
れば、２台のカメラＡ，Ｂで、１つのワークを直交する
２方向から観測する時に、カメラＡで得たカメラＢのワ
ーク距離情報を用いてカメラＢとワークの距離を微動制
御させ、カメラＢで得たカメラＡのワーク距離情報を用
いてカメラＡとワークの距離を微動制御させ、２台のカ
メラＡ，Ｂを合焦させることにより、従来のコントラス
ト法に比較して、簡単な処理にもかかわらず、２台のカ
メラを高速に合焦させることができる。
れば、２台のカメラＡ，Ｂで、１つのワークを直交する
２方向から観測する時に、カメラＡで得たカメラＢのワ
ーク距離情報を用いてカメラＢとワークの距離を微動制
御させ、カメラＢで得たカメラＡのワーク距離情報を用
いてカメラＡとワークの距離を微動制御させ、２台のカ
メラＡ，Ｂを合焦させることにより、従来のコントラス
ト法に比較して、簡単な処理にもかかわらず、２台のカ
メラを高速に合焦させることができる。
【００４２】また、合焦処理を２回以上とすることによ
りさらに鮮明な合焦画像を得ることができる。
りさらに鮮明な合焦画像を得ることができる。
【００４３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
簡単な制御で高精度に焦点を合わせることができるオー
トフォーカス方法を提供することができる。
簡単な制御で高精度に焦点を合わせることができるオー
トフォーカス方法を提供することができる。
【図１】本発明をインクジェットヘッド用ヒーターボー
ドの寸法を測定する装置に適用した一実施形態を示す図
である。
ドの寸法を測定する装置に適用した一実施形態を示す図
である。
【図２】図１に示す装置の動作を示すフローチャートで
ある。
ある。
【図３】カメラＡの撮影画像を示す図である。
【図４】カメラＢの撮影画像を示す図である。
【図５】ワークの観測方向を示す図である。
Ａ，Ｂ カメラ Ａｓ，Ｂｓ ステージ Ｖ 画像処理装置 Ｃ コントローラ ２ ワーク ４，６ 切断面 ８ パターン面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA07 AA09 AA22 DD06 DD10 FF04 JJ03 JJ05 JJ26 MM03 QQ13 QQ25 QQ31 RR08 2F112 AC06 BA05 BA06 CA02 FA03 FA35 FA45 2H051 AA10 BA47 CE14 DA11 GB12 GB15 5B047 AA07 AA12 BA02 BC05 CA17 CB11 CB23 5C022 AA01 AB28 AB61
Claims (3)
- 【請求項１】 第１及び第２の２台のカメラで、１つの
ワークを直交する２方向から観測し、前記第１及び第２
のカメラの焦点を前記ワークの互いに直交する第１及び
第２の面にそれぞれ合わせるためのオートフォーカス方
法であって、 前記第１のカメラで前記ワークを撮影することにより、
前記第２の面と前記第２のカメラの間の距離情報Ａ１を
測定する第１の測定工程と、 前記第２のカメラで前記ワークを撮影することにより、
前記第１の面と前記第１のカメラの間の距離情報Ｂ１を
測定する第２の測定工程と、 予め設定された前記第２のカメラの合焦位置情報Ａ０と
前記距離情報Ａ１との差分Ｂｄを求める第１の演算工程
と、 予め設定された前記第１のカメラの合焦位置情報Ｂ０と
前記距離情報Ｂ１との差分Ａｄを求める第２の演算工程
と、 前記第２のカメラと前記第２の面との間の距離を前記差
分Ｂｄだけ修正する第１の修正工程と、 前記第１のカメラと前記第１の面との間の距離を前記差
分Ａｄだけ修正する第２の修正工程とを具備することを
特徴とするオートフォーカス方法。 - 【請求項２】 前記第１及び第２の測定工程と、前記第
１及び第２の演算工程と、前記第１及び第２の修正工程
とを、所望の合焦精度が得られるまで繰り返すことを特
徴とする請求項１に記載のオートフォーカス方法。 - 【請求項３】 第１及び第２の２台のカメラで、１つの
ワークを直交する２方向から観測し、前記第１のカメラ
の焦点を、前記ワークの第１の面に合わせるためのオー
トフォーカス方法であって、 前記第２のカメラで前記ワークを撮影することにより、
前記第１の面と前記第１のカメラの間の距離情報Ｂ１を
測定する測定工程と、 予め設定された前記第１のカメラの合焦位置情報Ｂ０と
前記距離情報Ｂ１との差分Ａｄを求める演算工程と、 前記第１のカメラと前記第１の面との間の距離を前記差
分Ａｄだけ修正する修正工程とを具備することを特徴と
するオートフォーカス方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000101484A JP2001289613A (ja) | 2000-04-03 | 2000-04-03 | オートフォーカス方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000101484A JP2001289613A (ja) | 2000-04-03 | 2000-04-03 | オートフォーカス方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001289613A true JP2001289613A (ja) | 2001-10-19 |
Family
ID=18615526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000101484A Withdrawn JP2001289613A (ja) | 2000-04-03 | 2000-04-03 | オートフォーカス方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001289613A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105874384A (zh) * | 2016-01-06 | 2016-08-17 | 深圳市莫孚康技术有限公司 | 基于多种测距方式的跟焦***、方法及拍摄*** |
| KR20160121718A (ko) * | 2015-04-10 | 2016-10-20 | 한국교통대학교산학협력단 | 다중 카메라를 이용한 자동 초점 장치 및 그 방법 |
-
2000
- 2000-04-03 JP JP2000101484A patent/JP2001289613A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160121718A (ko) * | 2015-04-10 | 2016-10-20 | 한국교통대학교산학협력단 | 다중 카메라를 이용한 자동 초점 장치 및 그 방법 |
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