JP2001282126A - 基板組立装置 - Google Patents
基板組立装置Info
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- JP2001282126A JP2001282126A JP2000097873A JP2000097873A JP2001282126A JP 2001282126 A JP2001282126 A JP 2001282126A JP 2000097873 A JP2000097873 A JP 2000097873A JP 2000097873 A JP2000097873 A JP 2000097873A JP 2001282126 A JP2001282126 A JP 2001282126A
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Abstract
く高精度に位置合わせでき、速やかに貼り合せることが
可能な基板組立装置を提供することである。 【解決手段】基板1A,1Bの何れか一方を脱着自在に
固着させる単一のテーブル8が真空チャンバ100内に
配置され、真空チャンバ外に配置した複数のアクチュエ
ータ9,10の各々からテーブルの側面部にXYの各方
向に伸びたアームがあり、テーブルは各アクチュエータ
の動作によりアームを介してXYおよびθの各方向に水
平移動するようになっており、さらに基板の他方を脱着
自在に固着させる加圧板27が真空チャンバ内に配置さ
れ、前記テーブルを各アクチュエータにより水平移動さ
せて基板同士の位置決めを行い、加圧板をテーブルの方
向に移動させて両基板を貼り合せる基板組立装置。
Description
板同士をそれぞれ上下に保持して対向させ、位置決めを
行うと共に間隔を狭めて貼り合せる基板組立装置に関す
るものである。
薄膜トランジスタアレイを付けた2枚のガラス基板を数
μm程度の極めて接近した間隔をもって接着剤(以下、
シール剤ともいう)で貼り合わせ(以後、貼り合せ後の
基板をセルと呼ぶ)、それによって形成される空間に液
晶を封止する工程がある。
を設けないようにシール剤をクローズしたパターンに描
画した下基板上に液晶を滴下しておいて、真空チャンバ
中で上基板をピン上に保持して上基板を上に配置し、上
基板を手動で位置決めしてから、ピンを下降させてシー
ル剤を介して上下基板を接触させ、真空をリークするこ
とによって接触時との差圧を利用して上下基板を加圧し
貼り合わせを行うものが特開平10−26763号公報
で提案されている。
基板をピン上に保持して下基板に対する位置合わせを行
うので、上基板の下面に設けられた透明電極や薄膜トラ
ンジスタアレイなどがピンで損傷する恐れがある。
ブル上に配置し、上基板は移動させないようにすること
が考えられるが、従来のXYθテーブルはX,Y,θの
各個別テーブルを多段重ねに設け、アクチュエータでそ
れぞれを駆動し、X,Y,θの各方向へ移動する構成と
なっており、このような構成では、XYθテーブルは垂
直方向の寸法が大きくなるため、真空チャンバが大型化
し、また、ねじ穴やテーブル同士の連結部などの細かな
隙間に入り込んだガスが抜けるのに時間がかかるため、
真空チャンバ内が目標の真空度に到達するまでの時間が
著しく遅くなるという問題がある。
内において基板を損傷することなく高精度に位置合わせ
でき、速やかに貼り合せることが可能な基板組立装置を
提供することにある。
明の特徴とするところは、貼り合せるべき基板同士をそ
れぞれ上下に保持して対向させ、位置決めを行うと共に
間隔を狭めて、いづれかの基板に設けた接着剤により真
空中で両基板を貼り合せる基板組立装置において、上面
または下面に上記基板の何れか一方を脱着自在に固着さ
せる単一のテーブルが真空チャンバ内に配置され、該真
空チャンバ外に配置した複数のアクチュエータの各々か
ら前記テーブルの側面部にXYの各方向に伸びたアーム
があり、該各アームはXYの交差する他の方向の動きに
対してはテーブルの側面部においてスライドし得る端部
を有し、前記テーブルは前記各アクチュエータの動作に
よりアームを介してXYおよびθの各方向に水平移動し
得るるようになっており、さらに下面または上面に上記
基板の他方を脱着自在に固着させる加圧板が前記真空チ
ャンバ内に配置され、前記テーブルを前記各アクチュエ
ータにより水平移動させて基板同士の位置決めを行い、
次いで加圧板をテーブルの方向に移動させ、両基板の対
向間隔を狭めて両基板を貼り合せるように構成されてい
ることにある。
基づいて説明する。
組立装置は、液晶滴下部S1と基板貼合部S2から構成
され、この両部分は架台2上に隣接して配置される。架
台2の上方には基板貼合部S2を支持するフレーム3が
ある。また、架台2の上面には、Xステージ4が備えら
れている。Xステージ4は、駆動モータ5により、図面
上で左右のX軸方向に、即ち、液晶滴下部S1と基板貼
合部S2間を往来できるようになっている。Xステージ
4の上には下チャンバ6が固定されている。下チャンバ
6内にはボールベアリング7が敷いてあり、その上には
単一(1段構成)のテーブル8が設置してある。テーブ
ル8のX方向、すなわち、駆動モータ5に面した側面に
は、下チャンバ6の側面に固定された2個のアクチュエ
ータ9から伸ばしたアームが取り付けてある。また、図
示を省略したが、このアームと直角をなすY方向の側面
には、同じく下チャンバ6の側面に固定された2個のア
クチュエータ10から伸ばしたアームが取り付けてあ
る。
から伸びたアーム9aまたは10aとテーブル8のT字
状レール8aの接続部分(端部)を示している。
おけるそれぞれ一方の側面部にT字状レール8aがあっ
て、各アーム9a,10aの端部にローラ9b,10b
がテーブル8とそれぞれの側面部におけるT字状レール
8aの間に位置するようにとりつけてある。
クチュエータ9がアーム9aをX方向に前後させてテー
ブル8をX方向に移動させようとする場合、アクチュエ
ータ10に接続されたアーム10aのローラ10bが回
転することによって、テーブル8とアーム10aはスラ
イドするだけでアクチュエータ10の拘束を受けず、テ
ーブル8をX方向に移動させることができる。また、逆
の場合にはテーブル8をY方向に移動させることができ
る。さらに、アクチュエータ9,10の移動量を同時に
適宜量だけ変えた場合、テーブル8をθ方向に回転させ
ることができる。
に下チャンバ6内で自由にX,Yおよびθの各方向に移
動させることができる。
着部11がある。
た下基板1Aに所望量の液晶剤を滴下するためのディス
ペンサ13,これを上下移動させるためのZ軸ステージ
14,それを駆動するモータ15,Z軸ステージ14と
ともにディスペンサ13をX軸ステージ4と直角に移動
させるためのY軸ステージ16とこれを駆動するモータ
17とで構成され、フレーム3に固定されている。
に、ディスペンサ13を駆動モータ17によりY方向に
移動させることにより、下基板1A上の任意の個所に所
望量の液晶剤が滴下される。
ステージ4は、基板貼合部S2の下部に駆動モータ5に
よって移動する。
の内部の加圧板27及び静電吸着板28とがそれぞれ独
立して上下動できる構造になっている。即ち、上チャン
バ21は、リニアブッシュと真空シールを内蔵したハウ
ジング30を有しており、シャフト29をガイドとして
フレーム3に固定されたシリンダ22により上下のZ軸
方向に移動する。
いて上チャンバ21が下降すると、下チャンバ6の周り
に配置してあるOリング44に上チャンバ21のフラン
ジが接触し一体となり、この時真空チャンバ100とし
て機能する状態になる。
ャンバ6と真空チャンバ100を形成して変形しても、
シャフト29に対し真空漏れを起こさないで上下動可能
な真空シールを内蔵しているので、真空チャンバの変形
がシャフト29に与える力を吸収することができ、シャ
フト29に固定され静電吸着板28を保持した加圧板2
7の変形がほぼ防止でき、後述するように静電吸着板2
8に保持された上基板1Bとテーブル8の吸着部11に
保持された下基板1Aとの平行を保って貼り合せが可能
となる。
図示していない真空源に接続され、これらは真空チャン
バを減圧し真空にする時に使用される。また、25はガ
スパージバルブ、26はガスチューブで、N2やクリー
ンドライエアー等の圧力源に接続され、これらは真空チ
ャンバを大気圧に戻す時に使用される。
保持されるが、大気下においては上基板1Bは真空吸着
で静電吸着板28に保持されるようになっている。即
ち、41は真空吸着用継手、42は吸引チューブであ
り、図示していない真空源に接続され、静電吸着板28
面には、それにつながる複数の吸引孔が設けられてい
る。
てもよいし、静電吸着力が大きい場合は、真空吸着を不
要としてもよい。
た加圧板27に取付けられており、シャフト29はハウ
ジング31に固定されている。ハウジング31はフレー
ム3に対してリニアガイド34で取付けられ、静電吸着
板28は上下動可能な構造になっている。その上下駆動
はフレーム3とつながるフレーム35上にブラケット3
8で固定されたモータ40により行う。駆動の伝達はボ
ールねじ36とナットハウジング37で実行される。
てハウジング31とつながり、その下部の静電吸着板2
8と一体で動作する。
が下降し、上基板1Bを保持した静電吸着板28が下降
し、上基板1Bがテーブル8上の下基板1Aと密着し
て、加圧力を与えることのできる構造となっている。こ
の場合、荷重計33は加圧力センサとして働き、逐次、
フィードバックされた信号を基にモータ40を制御する
ことで、上下基板1A,1Bに所望の加圧力を与えるこ
とが可能となっている。
に示すようにテーブル8の吸着部11に設けた位置決め
部材81に押付ローラ82による水平方向での押付けに
よる位置決めの固定で十分であるが、貼り合わす直前の
微小位置決めの際、上基板1Bが下基板1A上のシール
剤や液晶剤と接触した影響で、下基板1Aがずれたり持
上がる可能性があることや真空チャンバ100内が減圧
され真空になる過程で下基板1Aとテーブル8の吸着部
11との間に入り込んでいる空気が逃げて下基板1Aが
踊りずれる可能性があるので、吸着部11に対しても静
電吸着の機能を持たせると良い。そして、テーブル8に
上下Z軸方向に移動できるピンを設けて接地しておく
と、基板貼り合わせ後のセルの帯電防止とテーブル8か
らのセル取り外しを容易に行なうことができる。
吸着をしていて真空チャンバが減圧され真空吸着力が消
えて上基板1Bが落下するときに静電吸着板28の僅か
下の位置で受け止める受止爪で、上基板1Bの2個の対
角の位置にあって下方に伸びたシャフト59で釣り下げ
た形に支持されている。具体的には、シャフト59は上
チャンバ21のハウジングを介して真空シールされて回
転と上下移動が独立してできるようになっている。
いて説明する。
の凹部を2個有していて、各凹部に内蔵された平板電極
を誘電体で覆ってその誘電体の主面が静電吸着板28の
下面と同一平面になっている。埋め込まれた各平板電極
はそれぞれ正負の直流電源に適宜なスイッチを介して接
続されている。
が印加されると、静電吸着板28の下面と同一平面にな
っている誘電体の主面に負あるいは正の電荷が誘起さ
れ、それら電荷によって上基板1Bの透明電極膜との間
に発生するクーロン力で上基板1Bが静電吸着される。
各平板電極に印加する電圧は同極でもよいしそれぞれ異
なる双極でもよい。
る工程について説明する。
8の吸着部11に上基板1Bを保持した治具を搭載し、
駆動モータ5でXステージ4を基板貼合部S2に移動さ
せる。そこでモータ40によりシャフト29を介して加
圧板27や静電吸着板28を降下させ、上基板1Bを真
空吸着させてからモータ40で上昇させて、上基板1B
を待機状態とする。
空になった治具が外され、テーブル8上に下基板1Aを
搭載し、図4に示すように位置決め部材81と押付ロー
ラ82による水平方向での押付けで、所望位置に固定保
持させる。
4にはシール剤を吐出するディスペンサがあって、駆動
モータ5で下基板1AをX方向に、シール剤ディスペン
サをY方向に移動させつつシール剤を吐出させると、下
基板1A上にクローズ(閉鎖)したパターンでシール剤
を描画できる。
基板1A上に滴下する。この場合、シール剤がダムとな
って、滴下した液晶剤は流失しない。
動させ、シリンダ22で上チャンバ21を降下させ、そ
のフランジ部をOリング44に当接させて、図1のよう
に下チャンバ10と真空チャンバ100を形成させる。
ャンバ100内を減圧していく。
め、従来の多段重ねで複雑な構成になっている細部から
空気が染み出してくるような事はなく、速やかに所望の
真空度に到達する。
に真空吸着された状態になっているので、減圧が進んで
チャンバ内の真空化が進行していくと上基板1Bに作用
していた真空吸着力は消えて行き、上基板1Bが自重で
落下する。これを図4に示すように受止爪60で受け止
めて、図5に示すように静電吸着板28の僅か下の位置
に保持しておく。
時点で、静電吸着板28に電圧を印加して受止爪60上
の上基板1Bを静電吸着板28にクーロン力で吸引保持
する。
電吸着板28と上基板1Bの間に空気が残るようなこと
は無いし、その空気が逃げるときに上基板1Bが踊るこ
ともない。より重要なことは空気を介在させることな
く、静電吸着板28に上基板1Bが密着していることで
ある。そのため、誘起電荷で放電を発生することがな
い。
張し、上基板1Bを静電吸着板28から剥離させたり、
上基板1B上のパターンを破壊することがあるが、本実
施形態によれば空気が存在しないので、そのような異常
事故は発生しない。
を下降させ、次に、回転アクチェータでシャフト59を
回転させ、受止爪60が上下両基板1A,1Bの貼り合
わせの邪魔にならぬようにしてから、モータ40で加圧
板27を降下させ、荷重計33で加圧力を計測しつつモ
ータ40を制御して上下両基板1A,1Bを所望間隔に
貼り合わせる。
密着していて中央部が垂れ下がっていることはないか
ら、液晶剤中のスペーサに悪影響を与えたり、基板同士
の位置合わせが不可能になることはない。また、上下両
基板1A,1Bを平行に維持して加圧して貼り合わせる
から、シール剤による接合部にリーク個所を形成してし
まう恐れはなく、液晶剤を上下両基板1A,1B間に密
封できるとともに外気が侵入してボイドを形成し表示機
能を阻害することもない。
5に示すように、上チャンバ21に設けた覗き窓21a
からシャフト29に設けた画像認識カメラ32で上下各
基板1A,1Bに設けられている位置合わせマークを読
み取って画像処理により位置を計測し、テーブル8をア
クチュエータ9,10により微動させて、高精度な位置
合わせを行う。この場合、上下両基板1A,1Bは貼り
合わせられる対向面が何物にも接触しないで保持されて
いるので、損傷を受けないこの微動位置合わせにおい
て、テーブル8は真空チャンバ100内にあり上下チャ
ンバ6,21が移動することはないので、真空チャンバ
100内の真空度を維持することができる。
を締めてガスパージバルブ25を開き、真空チャンバ1
00内にN2やクリーンドライエアーを供給し、大気圧
に戻してからガスパージバルブ25を閉じて、シリンダ
22で上チャンバ21を上昇させ、Xステージ4を液晶
滴下部S1に戻して、テーブル8からセルを外し次の貼
り合わせに備える。
があるので、接地した除電バーに接触させたりイオン風
を吹き当てるなどの除電処理をしてから、テーブル8か
らセルを外すと良い。テーブル8から外したセルは下流
のUV光照射装置や加熱装置などでシール剤が硬化され
る。
液晶を滴下した後直ちに貼り合せに移行するので、基板
が塵埃を受けづらく生産歩留まりを向上できる。また、
Xステージ4を上基板1Bの真空チャンバ100内への
搬送に利用でき、装置の小型化が図られている。またさ
らに、Xステージ4を単一のステージとすることで、真
空チャンバ内の容積を最小とすることができ、これによ
り目的の真空度に速やかに到達することができる。
以下の様に実施しても良い。
給は、Xステージ4に上下方向に伸縮可能な複数の受止
爪(図4の受止爪60相当のもの)を設けておいて、X
ステージ4が液晶滴下部S1にあるときにその複数の受
止爪上に上基板1Bを載せて、Xステージ4を基板貼合
部S2に移動させるようにしてもよい。
28に吸引吸着させてもよい。
に設けた受止爪で、減圧が進む際に落下する上基板1B
を受け止めるようにしてもよい。
明したXステージ4に設けた受止爪で、上基板1Bが落
下する前に上基板1Bを静電吸着板28に押し付けてお
いて、静電吸着板28に吸引吸着された状態から減圧を
進めて、静電吸着に切替えてもよい。この場合、物理的
に上基板1Bが静電吸着板28に密着しているというこ
とがないようにしておくことで、上基板1Bと静電吸着
板28の間の空気を減圧とともに真空化することができ
る。
明したXステージ4に設けた受止爪で、上基板1Bを静
電吸着板28から僅かに離れた位置に保持しておいて、
真空吸着をしないで減圧を進める途中で静電吸着を行な
ってもよい。
Bの2個の角部(対角を構成する2隅)を保持している
が、上基板1Bの4個の角部(4隅)を保持したり、上
基板1Bの4辺あるいは長手方向の2辺または幅方向の
2辺を適宜な手段で保持するようにしてもよい。
の接続部分は、アーム9a,10aとテーブル8がアー
ム9a,10aの取り付け方向に対して直角に移動でき
れば良いので、アーム9a,10aに固定するローラ9
b,10bの代りに、回転しなくても、テフロンなどの
滑りやすいものを使ってもよい。
せることができればよいので、テーブル8の下面にテフ
ロン(登録商標)などを貼れば、ボールベアリングはな
くてもよい。
チャンバ側とし、加圧板27を上チャンバ側とし、加圧
板27を降下させて両基板を貼り合せるものについて説
明したが、その逆に、テーブル8を上チャンバ側とし、
加圧板27を下チャンバ側とし、下基板を上基板に対し
て持ち上げるようにしてもよい。この場合、画像認識用
のカメラは下チャンバ側とし、上チャンバ側のテーブル
8を微動させて位置合わせを行う。
その他の基板の貼り合わせに適用できる。
真空チャンバ内において基板を損傷することなく高精度
に位置合わせして、速やかに貼り合せることができる。
図である。
放し上下各基板を貼り合わせのためにセットするときの
状況を示す図である。
水平移動させるアームの構成を示す図である。
状況を示す斜視図である。
状況を示す要部断面図である。
Claims (3)
- 【請求項1】貼り合せるべき基板同士をそれぞれ上下に
保持して対向させ、位置決めを行うと共に間隔を狭め
て、いづれかの基板に設けた接着剤により真空中で両基
板を貼り合せる基板組立装置において、 上面または下面に上記基板の何れか一方を脱着自在に固
着させる単一のテーブルが真空チャンバ内に配置され、 該真空チャンバ外に配置した複数のアクチュエータの各
々から前記テーブルの側面部にXYの各方向に伸びたア
ームがあり、該各アームはXYの交差する他の方向の動
きに対してテーブルの側面部においてスライドし得る端
部を有し、前記テーブルは前記各アクチュエータの動作
によりアームを介してXYおよびθの各方向に水平移動
し得るようになっており、 さらに下面または上面に上記基板の他方を脱着自在に固
着させる加圧板が前記真空チャンバ内に配置され、 前記テーブルを前記各アクチュエータにより水平移動さ
せて基板同士の位置決めを行い、次いで前記加圧板をテ
ーブルの方向に移動させ、両基板の対向間隔を狭めて両
基板を貼り合せるように構成したことを特徴とする基板
組立装置。 - 【請求項2】上記請求項1において、真空チャンバは上
チャンバと下チャンバとで構成され、その上チャンバに
は前記加圧板またはテーブルが内蔵され、下チャンバに
は前記テーブルまたは加圧板が内蔵されていることを特
徴とする基板組立装置。 - 【請求項3】上記請求項2において、上チャンバに内蔵
された加圧板またはテーブルは上基板を真空吸着する手
段と静電吸着する手段とを備えていることを特徴とする
基板組立装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000097873A JP3707990B2 (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | 基板組立装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000097873A JP3707990B2 (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | 基板組立装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001282126A true JP2001282126A (ja) | 2001-10-12 |
JP2001282126A5 JP2001282126A5 (ja) | 2005-01-06 |
JP3707990B2 JP3707990B2 (ja) | 2005-10-19 |
Family
ID=18612440
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2000097873A Expired - Lifetime JP3707990B2 (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | 基板組立装置 |
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---|---|
JP (1) | JP3707990B2 (ja) |
Cited By (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6610364B1 (en) | 2002-02-27 | 2003-08-26 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus for dispensing liquid crystal and method for controlling liquid crystal dropping amount |
US6628365B1 (en) | 2002-03-23 | 2003-09-30 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | LCD with UV shielding part at dummy sealant region |
US6712883B2 (en) | 2002-02-25 | 2004-03-30 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for deaerating liquid crystal |
US6738124B2 (en) | 2002-03-07 | 2004-05-18 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Method for fabricating liquid crystal display panel |
US6741322B2 (en) | 2002-03-06 | 2004-05-25 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Production line of liquid crystal display device having shield of UV blocking material |
US6741320B2 (en) | 2002-02-20 | 2004-05-25 | L.G.Philips Lcd Co., Ltd. | Method for cutting liquid crystal display panel |
US6741316B2 (en) | 2002-03-06 | 2004-05-25 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal display device and fabricating method thereof |
US6747725B2 (en) | 2002-02-07 | 2004-06-08 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Device for cutting liquid crystal display panel and method for cutting using the same |
US6755724B2 (en) | 2002-03-21 | 2004-06-29 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Device for grinding liquid crystal display panel |
US6774978B2 (en) | 2002-02-09 | 2004-08-10 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Device for cutting liquid crystal display panel and method for cutting using the same |
US6782928B2 (en) | 2002-03-15 | 2004-08-31 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus having confirming function for remaining amount of liquid crystal and method for measuring the same |
US6784970B2 (en) | 2002-02-27 | 2004-08-31 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Method of fabricating LCD |
US6793756B2 (en) | 2002-03-22 | 2004-09-21 | Lg. Phillips Lcd Co., Ltd. | Substrate bonding apparatus for liquid crystal display device and method for driving the same |
US6795154B2 (en) | 2002-02-19 | 2004-09-21 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus for cutting liquid crystal display panels and cutting method using the same |
US6803984B2 (en) | 2002-02-25 | 2004-10-12 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Method and apparatus for manufacturing liquid crystal display device using serial production processes |
US6805308B2 (en) | 2002-02-22 | 2004-10-19 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus having controlling function of dropping amount caused by controlling tension of spring |
US6811459B2 (en) | 2002-03-15 | 2004-11-02 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus |
US6815002B2 (en) | 2002-03-25 | 2004-11-09 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Method for dispensing liquid crystal using plurality of liquid crystal dispensing devices |
WO2004097509A1 (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-11 | Fujitsu Limited | 貼合せ基板製造装置 |
US6819391B2 (en) | 2001-11-30 | 2004-11-16 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal display panel having dummy column spacer with opened portion |
US6821176B2 (en) | 2002-02-22 | 2004-11-23 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for manufacturing liquid crystal display devices, method for using the apparatus, and device produced by the method |
US6825897B2 (en) | 2002-03-13 | 2004-11-30 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Indicator for deciding grinding amount of liquid crystal display panel and method for detecting grinding failure using the same |
US6824023B2 (en) | 2002-02-20 | 2004-11-30 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus |
US6829032B2 (en) | 2002-02-06 | 2004-12-07 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for manufacturing liquid crystal device using unitary vacuum processing chamber |
US6827240B2 (en) | 2002-03-21 | 2004-12-07 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus |
US6833901B2 (en) | 2002-02-27 | 2004-12-21 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Method for fabricating LCD having upper substrate coated with sealant |
CN1304885C (zh) * | 2002-04-24 | 2007-03-14 | 信越工程株式会社 | 平面板用基板的粘合装置 |
US7253866B2 (en) | 2001-10-27 | 2007-08-07 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Method of fabricating liquid crystal display device |
KR100815909B1 (ko) * | 2002-03-19 | 2008-03-24 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자용 진공 합착 장치 |
WO2009075224A1 (ja) * | 2007-12-11 | 2009-06-18 | Nitto Denko Corporation | 光学表示装置の製造方法および光学表示装置の製造システム |
US7597774B2 (en) | 2002-03-19 | 2009-10-06 | Fujitsu Limited | Apparatus and method for fabricating bonded substrate |
US7616289B2 (en) | 2002-03-23 | 2009-11-10 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus for conveying liquid crystal display panel |
US7659962B2 (en) | 2002-06-14 | 2010-02-09 | Lg Display Co., Ltd. | Portable jig |
JP2010145533A (ja) * | 2008-12-16 | 2010-07-01 | Advanced Display Process Engineering Co Ltd | 基板合着装置 |
US7785655B2 (en) | 2003-05-09 | 2010-08-31 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing system and method of dispensing liquid crystal material using same |
US7883598B2 (en) | 2002-02-20 | 2011-02-08 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus and method for manufacturing liquid crystal display devices, method for using the apparatus, and device produced by the method |
US7950345B2 (en) | 2002-12-20 | 2011-05-31 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser for liquid crystal display panel and dispensing method using the same |
US8067057B2 (en) | 2002-12-18 | 2011-11-29 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser for liquid crystal display panel and method for controlling gap between substrate and nozzle using the same |
US8899175B2 (en) | 2002-03-23 | 2014-12-02 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus and method for dispensing liquid crystal material |
US9004005B2 (en) | 2003-12-10 | 2015-04-14 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus for aligning dispenser using alignment plate and dispenser alignment system |
USRE46146E1 (en) | 2002-02-20 | 2016-09-13 | Lg Display Co., Ltd | Liquid crystal display device and method of manufacturing the same |
CN112731697A (zh) * | 2021-01-04 | 2021-04-30 | 河北光兴半导体技术有限公司 | 液晶显示面板的加工***及其加工方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100652045B1 (ko) | 2001-12-21 | 2006-11-30 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자 및 그 제조방법 |
-
2000
- 2000-03-30 JP JP2000097873A patent/JP3707990B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (54)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7253866B2 (en) | 2001-10-27 | 2007-08-07 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Method of fabricating liquid crystal display device |
US6819391B2 (en) | 2001-11-30 | 2004-11-16 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal display panel having dummy column spacer with opened portion |
US6829032B2 (en) | 2002-02-06 | 2004-12-07 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for manufacturing liquid crystal device using unitary vacuum processing chamber |
US6747725B2 (en) | 2002-02-07 | 2004-06-08 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Device for cutting liquid crystal display panel and method for cutting using the same |
US6774978B2 (en) | 2002-02-09 | 2004-08-10 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Device for cutting liquid crystal display panel and method for cutting using the same |
US6795154B2 (en) | 2002-02-19 | 2004-09-21 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus for cutting liquid crystal display panels and cutting method using the same |
US6741320B2 (en) | 2002-02-20 | 2004-05-25 | L.G.Philips Lcd Co., Ltd. | Method for cutting liquid crystal display panel |
US7883598B2 (en) | 2002-02-20 | 2011-02-08 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus and method for manufacturing liquid crystal display devices, method for using the apparatus, and device produced by the method |
US6824023B2 (en) | 2002-02-20 | 2004-11-30 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus |
USRE46146E1 (en) | 2002-02-20 | 2016-09-13 | Lg Display Co., Ltd | Liquid crystal display device and method of manufacturing the same |
US6805308B2 (en) | 2002-02-22 | 2004-10-19 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus having controlling function of dropping amount caused by controlling tension of spring |
US6821176B2 (en) | 2002-02-22 | 2004-11-23 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for manufacturing liquid crystal display devices, method for using the apparatus, and device produced by the method |
USRE45727E1 (en) | 2002-02-25 | 2015-10-06 | Lg Display Co., Ltd. | Method and apparatus for manufacturing liquid crystal display device using serial production processes |
US6712883B2 (en) | 2002-02-25 | 2004-03-30 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for deaerating liquid crystal |
US6803984B2 (en) | 2002-02-25 | 2004-10-12 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Method and apparatus for manufacturing liquid crystal display device using serial production processes |
US6833901B2 (en) | 2002-02-27 | 2004-12-21 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Method for fabricating LCD having upper substrate coated with sealant |
USRE42372E1 (en) * | 2002-02-27 | 2011-05-17 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus for dispensing liquid crystal and method for controlling liquid crystal dropping amount |
US6784970B2 (en) | 2002-02-27 | 2004-08-31 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Method of fabricating LCD |
US6610364B1 (en) | 2002-02-27 | 2003-08-26 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus for dispensing liquid crystal and method for controlling liquid crystal dropping amount |
US6741316B2 (en) | 2002-03-06 | 2004-05-25 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal display device and fabricating method thereof |
US6741322B2 (en) | 2002-03-06 | 2004-05-25 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Production line of liquid crystal display device having shield of UV blocking material |
US6738124B2 (en) | 2002-03-07 | 2004-05-18 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Method for fabricating liquid crystal display panel |
US6825897B2 (en) | 2002-03-13 | 2004-11-30 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Indicator for deciding grinding amount of liquid crystal display panel and method for detecting grinding failure using the same |
US6782928B2 (en) | 2002-03-15 | 2004-08-31 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus having confirming function for remaining amount of liquid crystal and method for measuring the same |
US7731059B2 (en) | 2002-03-15 | 2010-06-08 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus having confirming function for remaining amount of liquid crystal and method for measuring the same |
US6811459B2 (en) | 2002-03-15 | 2004-11-02 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus |
US7704348B2 (en) | 2002-03-19 | 2010-04-27 | Fujitsu Limited | Apparatus and method for fabricating bonded substrate |
US7597774B2 (en) | 2002-03-19 | 2009-10-06 | Fujitsu Limited | Apparatus and method for fabricating bonded substrate |
KR100815909B1 (ko) * | 2002-03-19 | 2008-03-24 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자용 진공 합착 장치 |
US7963308B2 (en) | 2002-03-19 | 2011-06-21 | Fujitsu Limited | Apparatus and method for fabricating bonded substrate |
US8268113B2 (en) | 2002-03-19 | 2012-09-18 | Fujitsu Limited | Apparatus and method for fabricating bonded substrate |
US6755724B2 (en) | 2002-03-21 | 2004-06-29 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Device for grinding liquid crystal display panel |
US6827240B2 (en) | 2002-03-21 | 2004-12-07 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus |
US6793756B2 (en) | 2002-03-22 | 2004-09-21 | Lg. Phillips Lcd Co., Ltd. | Substrate bonding apparatus for liquid crystal display device and method for driving the same |
US7616289B2 (en) | 2002-03-23 | 2009-11-10 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus for conveying liquid crystal display panel |
US8899175B2 (en) | 2002-03-23 | 2014-12-02 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus and method for dispensing liquid crystal material |
US6628365B1 (en) | 2002-03-23 | 2003-09-30 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | LCD with UV shielding part at dummy sealant region |
US6815002B2 (en) | 2002-03-25 | 2004-11-09 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Method for dispensing liquid crystal using plurality of liquid crystal dispensing devices |
CN1304885C (zh) * | 2002-04-24 | 2007-03-14 | 信越工程株式会社 | 平面板用基板的粘合装置 |
US7659962B2 (en) | 2002-06-14 | 2010-02-09 | Lg Display Co., Ltd. | Portable jig |
US8067057B2 (en) | 2002-12-18 | 2011-11-29 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser for liquid crystal display panel and method for controlling gap between substrate and nozzle using the same |
US7950345B2 (en) | 2002-12-20 | 2011-05-31 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser for liquid crystal display panel and dispensing method using the same |
US9285614B2 (en) | 2003-04-24 | 2016-03-15 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing system and method of dispensing liquid crystal material using same |
WO2004097509A1 (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-11 | Fujitsu Limited | 貼合せ基板製造装置 |
CN100424546C (zh) * | 2003-04-25 | 2008-10-08 | 富士通株式会社 | 贴合基板制造装置 |
US7785655B2 (en) | 2003-05-09 | 2010-08-31 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing system and method of dispensing liquid crystal material using same |
US9004005B2 (en) | 2003-12-10 | 2015-04-14 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus for aligning dispenser using alignment plate and dispenser alignment system |
CN103149712A (zh) * | 2007-12-11 | 2013-06-12 | 日东电工株式会社 | 光学显示装置的制造方法和光学显示装置的制造*** |
US8603283B2 (en) | 2007-12-11 | 2013-12-10 | Nitto Denko Corporation | Method and system for manufacturing optical display device |
US9138949B2 (en) | 2007-12-11 | 2015-09-22 | Nitto Denko Corporation | System for manufacturing optical display device |
WO2009075224A1 (ja) * | 2007-12-11 | 2009-06-18 | Nitto Denko Corporation | 光学表示装置の製造方法および光学表示装置の製造システム |
JP2010145533A (ja) * | 2008-12-16 | 2010-07-01 | Advanced Display Process Engineering Co Ltd | 基板合着装置 |
CN112731697A (zh) * | 2021-01-04 | 2021-04-30 | 河北光兴半导体技术有限公司 | 液晶显示面板的加工***及其加工方法 |
CN112731697B (zh) * | 2021-01-04 | 2022-09-27 | 河北光兴半导体技术有限公司 | 液晶显示面板的加工***及其加工方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3707990B2 (ja) | 2005-10-19 |
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