JP2001273976A - Organic electroluminescence display panel, its manufacturing method, and its deposition device - Google Patents
Organic electroluminescence display panel, its manufacturing method, and its deposition deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は有機エレクトロルミ
ネセンス素子（以下、有機ＥＬ素子と称する）を有する
有機ＥＬ表示パネル、その製造方法、及びその成膜装
置、特に、蒸着によって電極層又は有機層を形成する有
機ＥＬ表示パネル、その製造方法、及びその成膜装置に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic EL display panel having an organic electroluminescence element (hereinafter, referred to as an organic EL element), a method of manufacturing the same, and a film forming apparatus therefor, particularly, an electrode layer or an organic layer formed by vapor deposition. The present invention relates to an organic EL display panel for forming a film, a method for manufacturing the same, and a film forming apparatus therefor.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、有機ＥＬ表示パネルの形成時に
おいて、有機ＥＬ媒体層や有機ＥＬ媒体層を成膜した後
の電極層をパターニングすることは、電荷注入層や発光
層に用いられる有機ＥＬ媒体の耐熱性、耐溶剤性及び耐
湿性の低さのために困難である。例えば、一般に薄膜の
パターニングに用いられるフォトリソグラフィ法を有機
ＥＬ表示パネルのパターニングに用いると、フォトレジ
スト中の溶剤の侵入、フォトレジストのベーキング処理
中の高温雰囲気、フォトレジスト現像液の素子への侵
入、又はドライエッチング時のプラズマによるダメージ
等の原因により有機ＥＬ素子特性が劣化する問題が生じ
る。2. Description of the Related Art Generally, when an organic EL display panel is formed, patterning an organic EL medium layer or an electrode layer after forming the organic EL medium layer is performed by using an organic EL layer used for a charge injection layer or a light emitting layer. Difficult due to the low heat resistance, solvent resistance and moisture resistance of the medium. For example, when a photolithography method generally used for patterning a thin film is used for patterning an organic EL display panel, penetration of a solvent in a photoresist, a high-temperature atmosphere during a baking process of a photoresist, penetration of a photoresist developer into a device. In addition, there arises a problem that the characteristics of the organic EL element are deteriorated due to damage caused by plasma during dry etching or the like.
【０００３】また、蒸着マスクを用いてパターニングす
る方法もあるが、例えば、開口部が大きくマスク部が小
さな蒸着マスク等、蒸着マスクの強度が不足してマスク
が撓むこと等の問題が生じる場合がある。この場合、図
１（ａ）に示すように、基板及び蒸着マスク間の密着不
良による蒸着材料の回り込みが生じて、微細なパターン
が形成できないという問題が生じる。また、蒸着マスク
を基板に密着させる場合には、基板と蒸着マスクとの接
触により有機ＥＬ媒体層や電極を損傷したり、図１
（ｂ）に示すように、電極の短絡等を防止するために設
けられた隔壁を破壊するという問題が生じる。さらに、
蒸着マスクから汚れやごみが表示パネルに付着するとい
う問題があった。There is also a method of patterning using a vapor deposition mask. For example, in the case of a vapor deposition mask having a large opening and a small mask portion, there arises a problem that the strength of the vapor deposition mask is insufficient and the mask is bent. There is. In this case, as shown in FIG. 1A, a problem arises that a deposition material is wrapped around due to poor adhesion between the substrate and the deposition mask, and a fine pattern cannot be formed. Further, when the deposition mask is brought into close contact with the substrate, the organic EL medium layer and the electrode may be damaged due to the contact between the substrate and the deposition mask, and FIG.
As shown in (b), there is a problem that a partition provided for preventing a short circuit of an electrode or the like is broken. further,
There is a problem that dirt and dust adhere to the display panel from the evaporation mask.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる点に鑑
みてなされたものであり、その目的とするところは、有
機ＥＬ媒体層や電極の損傷や汚染がなく、高精度なパタ
ーニングの施された有機ＥＬ表示パネル及びその製造方
法を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a high-precision patterning method that does not damage or contaminate an organic EL medium layer or an electrode. And a method of manufacturing the same.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明による有機エレク
トロルミネセンス表示パネルの製造方法は、基板上に複
数の発光部からなる画像表示配列を有する有機エレクト
ロルミネセンス表示パネルの製造方法であって、基板を
保持する工程と、基板上に第１電極層、少なくとも１層
の有機層及び第２電極層を順次形成する工程と、を有
し、上記第１電極層、少なくとも１層の有機層及び第２
電極層のうち少なくとも１層を形成する工程は、磁性体
マスクを用いて蒸着する蒸着工程を含み、該蒸着工程
は、基板及び磁性体マスクを所定間隔だけ隔てるスペー
サを基板及び磁性体マスク間に介在せしめかつ磁性体マ
スクを磁気吸着しつつ実行されることを特徴としてい
る。A method of manufacturing an organic electroluminescent display panel according to the present invention is a method of manufacturing an organic electroluminescent display panel having an image display array comprising a plurality of light emitting portions on a substrate, A step of holding a substrate, and a step of sequentially forming a first electrode layer, at least one organic layer and a second electrode layer on the substrate, wherein the first electrode layer, at least one organic layer, Second
The step of forming at least one of the electrode layers includes a vapor deposition step of vapor deposition using a magnetic mask, and the vapor deposition step includes a spacer that separates the substrate and the magnetic mask by a predetermined distance between the substrate and the magnetic mask. The present invention is characterized in that the process is performed while interposing and magnetically attracting a magnetic mask.
【０００６】また、本発明による有機エレクトロルミネ
センス表示パネルは、基板上に複数の発光部からなる画
像表示配列を有する有機エレクトロルミネセンス表示パ
ネルであって、基板上に順次形成された第１電極層、少
なくとも１層の有機層、及び第２電極層を有し、上記第
１電極層、少なくとも１層の有機層、及び第２電極層の
うち少なくとも１層は、磁性体マスクと、磁石を内部ま
たは表面または全部に含み磁性体マスクを磁気吸着する
とともに基板を保持する基板保持台と、基板及び磁性体
マスクを所定間隔だけ隔てるスペーサと、を用いた蒸着
により形成されたことを特徴としている。An organic electroluminescent display panel according to the present invention is an organic electroluminescent display panel having an image display arrangement comprising a plurality of light emitting portions on a substrate, wherein the first electrodes are sequentially formed on the substrate. Layer, at least one organic layer, and a second electrode layer, and at least one of the first electrode layer, at least one organic layer, and the second electrode layer includes a magnetic mask and a magnet. It is characterized by being formed by vapor deposition using a substrate holding table that holds the substrate while magnetically adsorbing the magnetic mask and that is included in the inside or on the entire surface, and a spacer that separates the substrate and the magnetic mask by a predetermined distance. .
【０００７】更に、本発明による有機エレクトロルミネ
センス表示パネルの成膜装置は、基板上に第１電極層、
少なくとも１層の有機層、及び第２電極層を有する有機
エレクトロルミネセンス表示パネルの成膜装置であっ
て、基板上に、上記第１電極層、少なくとも１層の有機
層、及び第２電極層のうち少なくとも１層を成膜するた
めの蒸着源と、磁性体マスクと、磁石を内部または表面
または全部に含み磁性体マスクを磁気吸着するとともに
基板を保持する基板保持台と、基板及び磁性体マスクを
所定間隔だけ隔てるスペーサと、を有することを特徴と
している。Further, the film forming apparatus for an organic electroluminescent display panel according to the present invention comprises a first electrode layer on a substrate,
An apparatus for forming an organic electroluminescent display panel having at least one organic layer and a second electrode layer, wherein the first electrode layer, the at least one organic layer, and the second electrode layer are formed on a substrate. A deposition source for forming at least one layer of the above, a magnetic mask, a substrate holding table that includes a magnet inside or on the whole or in whole surface, magnetically attracts the magnetic mask and holds the substrate, a substrate and a magnetic material And a spacer that separates the mask by a predetermined interval.
【０００８】上記磁性体マスクは、ストライプ状の開口
部を有することを特徴としている。また、上記磁性体マ
スクは、マトリクス状に配列された開口部を有すること
を特徴としている。更に、上記スペーサは、単位発光領
域の各々に対応した開口部を有することを特徴としてい
る。The magnetic mask has a stripe-shaped opening. The magnetic mask has openings arranged in a matrix. Further, the spacer has an opening corresponding to each of the unit light emitting regions.
【０００９】また、上記スペーサは、磁性体であること
を特徴としている。Further, the spacer is a magnetic material.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】本発明の実施例を図面を参照しつ
つ詳細に説明する。尚、以下に説明する図において、実
質的に同等な部分には同一の参照符号を付している。図
２は、有機ＥＬ表示パネル１０を模式的に示す上平面図
である。図に示すように、有機ＥＬ表示パネル１０は、
ガラス基板１１上にマトリクス状に配置され、各々が赤
(Ｒ)、緑(Ｇ)、及び青(Ｂ)の発光部１２からなる画像表
示配列を有している。また、ＲＧＢの発光部１２に代え
てすべてを単色の発光部とすることによってモノクロー
ム表示パネルを構成することができる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the drawings described below, substantially equivalent parts are denoted by the same reference numerals. FIG. 2 is an upper plan view schematically showing the organic EL display panel 10. As shown in the figure, the organic EL display panel 10
Are arranged in a matrix on a glass substrate 11, each of which is red
(R), green (G), and blue (B). In addition, a monochrome display panel can be configured by using a single color light emitting unit instead of the RGB light emitting unit 12.
【００１１】図３は、有機ＥＬ表示パネル１０の一部を
模式的に示す斜視図である。図に示すように、この有機
ＥＬ表示パネル１０の基板１１上には、インジウム錫酸
化膜（以下、ＩＴＯ膜と称する）などからなる第１表示
電極１３がストライプ状に設けられている。第１表示電
極１３は、互いに平行な複数のストライプ状に配列され
ている。すなわち、隔壁１７が第１表示電極１３に直交
するように基板１１及び第１表示電極１３上にわたって
形成されている。すなわち、隔壁１７が少なくとも第１
表示電極１３の一部分を露出せしめるように形成されて
いる。FIG. 3 is a perspective view schematically showing a part of the organic EL display panel 10. As shown in the figure, a first display electrode 13 made of an indium tin oxide film (hereinafter, referred to as an ITO film) or the like is provided on a substrate 11 of the organic EL display panel 10 in a stripe shape. The first display electrodes 13 are arranged in a plurality of stripes parallel to each other. That is, the partition wall 17 is formed over the substrate 11 and the first display electrode 13 so as to be orthogonal to the first display electrode 13. That is, the partition 17 is at least the first
It is formed so that a part of the display electrode 13 is exposed.
【００１２】図３において、隔壁１７は逆テーパ形状の
断面を有しているが、Ｔ字形状等の断面形状を有してい
てもよい。隔壁１７の間に挟まれた領域には、第１表示
電極１３上に少なくとも１層の有機ＥＬ媒体層１８が形
成されている。例えば、有機ＥＬ媒体層１８は、有機Ｅ
Ｌ発光層の単一層であるか、あるいは有機ＥＬ発光層に
加えて有機ホール注入層、有機ホール輸送層、有機電子
輸送層、又は有機電子注入層を含んでいてもよい。In FIG. 3, the partition 17 has a reverse tapered cross section, but may have a T-shaped cross section. At least one organic EL medium layer 18 is formed on the first display electrode 13 in a region sandwiched between the partition walls 17. For example, the organic EL medium layer 18 is
It may be a single layer of the L light emitting layer, or may include an organic hole injection layer, an organic hole transport layer, an organic electron transport layer, or an organic electron injection layer in addition to the organic EL light emitting layer.
【００１３】有機ＥＬ媒体層１８上には、その伸張方向
に沿って第２表示電極１９が形成されている。このよう
に、交差する第１表示電極１３及び第２表示電極１９に
挟まれた部分が発光部に対応する。この単純マトリクス
型の表示パネル１０の第２表示電極１９の上には保護膜
又は保護基板（図示しない）が設けられることが好まし
い。また、上記した有機ＥＬ表示パネル１０において、
基板１１及び第１表示電極１３は透明であり、ルミネセ
ンス光は基板側から放射されるので、発光効率を高める
ために第２表示電極１９上又は保護膜を介して反射膜
（図示しない）を設けることが好ましい。また、上記し
た有機ＥＬ表示パネル１０とは逆に、第２表示電極１９
を透明材料で構成して、ルミネセンス光が第２表示電極
側から放射されるようにすることができる。この場合、
発光効率を高めるために第１表示電極１３の外側に反射
膜を設けることが好ましい。On the organic EL medium layer 18, a second display electrode 19 is formed along the direction of extension. As described above, a portion sandwiched between the intersecting first display electrodes 13 and second display electrodes 19 corresponds to a light emitting portion. It is preferable that a protective film or a protective substrate (not shown) is provided on the second display electrode 19 of the display panel 10 of the simple matrix type. In the above-described organic EL display panel 10,
Since the substrate 11 and the first display electrode 13 are transparent and the luminescence light is emitted from the substrate side, a reflective film (not shown) is provided on the second display electrode 19 or via a protective film in order to enhance the luminous efficiency. Preferably, it is provided. Further, contrary to the above-described organic EL display panel 10, the second display electrode 19
Is made of a transparent material so that luminescence light is emitted from the second display electrode side. in this case,
It is preferable to provide a reflective film outside the first display electrode 13 in order to increase the luminous efficiency.
【００１４】次に、本発明の第１の実施例である有機Ｅ
Ｌ表示パネル１０の製造方法について詳細に説明する。
図４は、有機ＥＬ表示パネル１０の製造工程のうちの１
工程を説明するための斜視図である。以下では、有機Ｅ
Ｌ媒体層１８の蒸着工程を例に説明する。図に示すよう
に、ガラス基板１１上に第１表示電極１３と例えばフォ
トレジストからなる隔壁１７が形成されている。このガ
ラス基板１１は大判基板であり、１枚の基板に４個の有
機ＥＬ表示パネルが形成されている。この基板は、基板
保持台２１に保持されており、後述するスペーサ２３を
介して磁性材料からなる蒸着マスク（メタルマスク）２
５が大判のガラス基板１１に載置される。基板保持台２
１の内部または表面または全部には蒸着マスク２５を磁
気吸着するための磁石２２が設けられており、これによ
って蒸着マスク２５は撓むことなく板状のスペーサ２３
を介在してガラス基板１１に密着する。尚、上図におい
ては、基板保持台２１の保持機構、基板１１、スペーサ
２３、及び蒸着マスク２５の縁部又は外枠部分は図示し
ていない。Next, the organic E according to the first embodiment of the present invention will be described.
A method for manufacturing the L display panel 10 will be described in detail.
FIG. 4 shows one of the manufacturing steps of the organic EL display panel 10.
It is a perspective view for explaining a process. Below, organic E
The deposition process of the L medium layer 18 will be described as an example. As shown in the figure, a first display electrode 13 and a partition 17 made of, for example, a photoresist are formed on a glass substrate 11. The glass substrate 11 is a large-sized substrate, and four organic EL display panels are formed on one substrate. This substrate is held on a substrate holding table 21 and has a deposition mask (metal mask) 2 made of a magnetic material via a spacer 23 described later.
5 is placed on a large-sized glass substrate 11. Substrate holder 2
A magnet 22 for magnetically attracting the vapor deposition mask 25 is provided inside, on the entire surface, or on the entire surface of the vapor deposition mask 25.
And adhere to the glass substrate 11 with the interposition of In the upper figure, the holding mechanism of the substrate holding base 21, the substrate 11, the spacer 23, and the edge or outer frame of the vapor deposition mask 25 are not shown.
【００１５】図４に示すように、スペーサ２３は大判ガ
ラス基板１１の周囲に形成された枠体形状を成し、この
枠体部は隔壁１７を破損しないような位置に形成されて
いる。また、蒸着マスク２５が十分に密着するような大
きさで構成される。蒸着マスク（メタルマスク）２５は
例えば図５に示すものを用いる。図６はその一部（Ａ
部）の拡大図を示す。蒸着マスク２５はストライプ形状
のフレーム部２５Ａ、及びフレーム部２５Ａの各々の間
にストライプ状の開口部２５Ｂを有している。開口部２
５Ｂの形状及び大きさ、或いはフレーム部２５Ａの間隔
は該蒸着マスク２５が十分スペーサ２３と密着する大き
さであればよい。As shown in FIG. 4, the spacer 23 has a frame shape formed around the large-sized glass substrate 11, and the frame portion is formed at a position where the partition wall 17 is not damaged. Further, the size is set such that the vapor deposition mask 25 is sufficiently adhered. For example, a deposition mask (metal mask) 25 shown in FIG. 5 is used. FIG. 6 shows a part (A
FIG. The vapor deposition mask 25 has a stripe-shaped frame portion 25A, and a stripe-shaped opening portion 25B between each of the frame portions 25A. Opening 2
The shape and size of 5B, or the interval between the frame portions 25A, may be any size as long as the vapor deposition mask 25 can sufficiently adhere to the spacer 23.
【００１６】例えば、図２に示したように、ＲＧＢの発
光部１２を有する有機ＥＬ表示パネル１０において、発
光色の１種類がそれぞれ１列（又は１行）に配列された
場合では、ストライプ形状のフレーム部２５Ａの伸張方
向を当該配列方向に合わせるようにしてもよい。また、
隔壁１７が形成された基板への蒸着工程においては隔壁
１７の伸張方向、配置、長さ等を考慮して決定すればよ
い。For example, as shown in FIG. 2, in the organic EL display panel 10 having the RGB light emitting portions 12, when one kind of emission color is arranged in one column (or one row), the stripe shape is obtained. The extension direction of the frame portion 25A may be adjusted to the arrangement direction. Also,
In the step of vapor deposition on the substrate on which the partition walls 17 are formed, it may be determined in consideration of the extension direction, arrangement, length, and the like of the partition walls 17.
【００１７】また、スペーサ２３の厚さは、一般に１〜
５００μｍ程度が適当であるが、蒸着材料の回り込み等
に応じて、また隔壁１７が形成された基板への蒸着工程
においては隔壁１７の高さや隔壁１７とのクリアランス
等を考慮して決定すればよい。更に、スペーサ２３は磁
性材料で作られていてもよい。蒸着マスク２５の材料と
しては、例えば、ＳＵＳ４３０等のフェライト系ステン
レスや、Ｎｉ又はＮｉ合金等、あるいはＮｉ又はＮｉ合
金等のアディティブを用いることができるがこれら以外
の磁性材料であればよい。また、基板保持台２１内に設
けられる磁石２２は、永久磁石又は電磁石のいずれであ
ってもよい。The thickness of the spacer 23 is generally 1 to
A thickness of about 500 μm is appropriate, but may be determined in accordance with, for example, the wraparound of the vapor deposition material, and in the vapor deposition step on the substrate on which the partition walls 17 are formed, in consideration of the height of the partition walls 17, the clearance with the partition walls 17, and the like. . Further, the spacer 23 may be made of a magnetic material. As a material of the vapor deposition mask 25, for example, ferritic stainless steel such as SUS430, Ni or a Ni alloy, or an additive such as Ni or a Ni alloy can be used, but any other magnetic material may be used. Further, the magnet 22 provided in the substrate holder 21 may be either a permanent magnet or an electromagnet.
【００１８】図７は本発明による有機ＥＬ表示パネルの
蒸着装置２８を示している。図７及び図８に示すよう
に、有機ＥＬ媒体材料を蒸着する蒸着装置２８内におい
て、基板１１は例えば下向きに配置され、基板１１の下
方に配置された蒸着源２９から有機材料又は金属が蒸着
される。上記したように、本発明によれば、マスクの密
着性を高め、高精度なパターニングを簡便に行うことが
可能となる。FIG. 7 shows a vapor deposition device 28 for an organic EL display panel according to the present invention. As shown in FIGS. 7 and 8, in a vapor deposition device 28 for vapor-depositing an organic EL medium material, the substrate 11 is disposed, for example, downward, and an organic material or metal is vapor-deposited from a vapor deposition source 29 disposed below the substrate 11. Is done. As described above, according to the present invention, it is possible to enhance the adhesiveness of a mask and easily perform high-precision patterning.
【００１９】次に、本発明の第２の実施例である有機Ｅ
Ｌ表示パネル１０の製造方法について説明する。本実施
例が上記した第２の実施例と異なるのは、スペーサ２３
の開口部の形状にある。前述の大判ガラス基板１１に対
して適用されるスペーサ２３は、有機ＥＬ表示パネルの
発光領域を除く部分に載置されるような形状であればよ
い。たとえば、図９に示す大判ガラス基板１１に４個の
有機ＥＬ表示パネル１０を形成する４面取りのものにお
いて、各有機ＥＬ表示パネル１０には発光領域としてド
ット表示部１０Ａとアイコン表示部１０Ｂがそれぞれ形
成されている。各有機ＥＬ表示パネル１０はパネル境界
１０Ｃで画定されている。Next, the organic E according to the second embodiment of the present invention will be described.
A method for manufacturing the L display panel 10 will be described. This embodiment is different from the second embodiment in that the spacer 23
In the shape of the opening. The spacer 23 applied to the above-described large-sized glass substrate 11 may have any shape as long as it is placed on a portion of the organic EL display panel other than the light-emitting region. For example, in a four-chamfered panel in which four organic EL display panels 10 are formed on a large-sized glass substrate 11 shown in FIG. 9, each of the organic EL display panels 10 has a dot display section 10A and an icon display section 10B as light emitting areas. Is formed. Each organic EL display panel 10 is defined by a panel boundary 10C.
【００２０】そこで、スペーサ２３として 第１実施例（図４）に示す大判基板の周縁部 多面取りする表示パネルの発光領域の間 単位表示パネル１０における発光領域を除く部分 に形成されるようにする。図１０（ａ）はに適応する
スペーサ２３の構成を示し、図１０（ｂ）はに適応す
るスペーサ２３の構成を示す。Therefore, the spacer 23 is formed on the peripheral portion of the large-sized substrate shown in the first embodiment (FIG. 4), between the light-emitting regions of the display panel to be multi-faced, in a portion other than the light-emitting region of the unit display panel 10. . FIG. 10A shows a configuration of the spacer 23 which is adapted to FIG. 10B, and FIG. 10B shows a configuration of the spacer 23 which is adapted to FIG.
【００２１】次に第２実施例における蒸着マスク２５の
全体、及び一部（Ａ部）の拡大図を図１１及び図１２に
示す。図に示すように、蒸着マスク２５は格子形状のフ
レーム部２５Ａ、及びマトリクス状に配列された開口部
２５Ｂを有している。開口部２５Ｂは、蒸着マスク２５
が十分に密着する大きさであればよく、複数の発光部を
含む大きさ、又は単一の発光部に対応する大きさであっ
てもよい。また、ＲＧＢカラー表示パネル又はモノクロ
ーム表示パネル等、パネルの種類に応じて開口部２５Ｂ
の形状を定めてもよい。さらに、開口部２５Ｂの配列
は、マトリクス状に限られない。Next, FIGS. 11 and 12 are enlarged views of the whole and a part (part A) of the vapor deposition mask 25 in the second embodiment. As shown in the figure, the vapor deposition mask 25 has a lattice-shaped frame portion 25A and openings 25B arranged in a matrix. The opening 25B is provided with the evaporation mask 25.
May be a size that sufficiently adheres, and may be a size including a plurality of light emitting units or a size corresponding to a single light emitting unit. In addition, the opening portion 25B according to the type of panel such as an RGB color display panel or a monochrome display panel.
May be determined. Further, the arrangement of the openings 25B is not limited to a matrix.
【００２２】尚、本発明は、有機ホール注入層、有機ホ
ール輸送層、有機ＥＬ発光層、有機電子輸送層及び有機
電子注入層等の有機ＥＬ媒体層の形成に適用することが
できる。また、これら有機ＥＬ媒体層に限らず電極層を
形成する場合にも適用可能である。The present invention can be applied to the formation of an organic EL medium layer such as an organic hole injection layer, an organic hole transport layer, an organic EL light emitting layer, an organic electron transport layer, and an organic electron injection layer. Further, the present invention can be applied not only to the organic EL medium layer but also to the case where an electrode layer is formed.
【００２３】[0023]
【発明の効果】上記したことから明らかなように、本発
明によれば、簡便でかつ高精度にパターニングを行うこ
とができ、高精細度の有機ＥＬ表示パネルを実現でき
る。As is clear from the above, according to the present invention, patterning can be performed easily and with high accuracy, and an organic EL display panel with high definition can be realized.
【図１】従来の蒸着マスクを用いたパターニングを模式
的に示す図である。FIG. 1 is a diagram schematically showing patterning using a conventional evaporation mask.
【図２】有機ＥＬ表示パネルを模式的に示す上平面図で
ある。FIG. 2 is an upper plan view schematically showing an organic EL display panel.
【図３】有機ＥＬ表示パネルの一部を模式的に示す斜視
図である。FIG. 3 is a perspective view schematically showing a part of the organic EL display panel.
【図４】有機ＥＬ表示パネルの製造工程のうちの１工程
を説明するための斜視図である。FIG. 4 is a perspective view for explaining one of manufacturing steps of the organic EL display panel.
【図５】本発明の第１の実施例における蒸着マスクの全
体を模式的に示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view schematically showing the entire vapor deposition mask in the first embodiment of the present invention.
【図６】図５に示す蒸着マスクの一部（Ａ部）を模式的
に示す拡大した斜視図である。6 is an enlarged perspective view schematically showing a part (A part) of the vapor deposition mask shown in FIG.
【図７】本発明による有機ＥＬパネルの蒸着装置、及び
基板の配置を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing an organic EL panel vapor deposition apparatus and an arrangement of substrates according to the present invention.
【図８】有機ＥＬ媒体の蒸着時における状態を示す基板
の断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view of the substrate showing a state at the time of vapor deposition of an organic EL medium.
【図９】４個の有機ＥＬ表示パネルが形成された４面取
りの大判ガラス基板の斜視図である。FIG. 9 is a perspective view of a four-panel large-sized glass substrate on which four organic EL display panels are formed.
【図１０】（ａ）は多面取りする表示パネルの発光領域
の間に適応するスペーサの構成を示し、（ｂ）は単位表
示パネルにおける発光領域を除く部分に適応するスペー
サの構成を示す。10A shows a configuration of a spacer adapted between light-emitting regions of a display panel having multiple displays, and FIG. 10B shows a configuration of a spacer adapted to a portion excluding a light-emitting region in a unit display panel.
【図１１】本発明の第２の実施例における磁性体マスク
の全体を模式的に示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view schematically showing the whole magnetic mask in a second embodiment of the present invention.
【図１２】図１１に示す磁性体マスクの一部（Ａ部）を
模式的に示す拡大した斜視図である。12 is an enlarged perspective view schematically showing a part (A portion) of the magnetic mask shown in FIG. 11;
１０ 有機ＥＬ表示パネル １１ 基板 １２ 発光部 １３ 第１表示電極 １７ 隔壁 １８ 有機ＥＬ媒体層 １９ 第２表示電極 ２１ 基板保持台 ２２ 磁石 ２３ スペーサ ２５Ａ フレーム部 ２５Ｂ 開口部 ２５ 蒸着マスク ２８ 蒸着装置 ２９ 蒸着源 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Organic EL display panel 11 Substrate 12 Light emitting part 13 1st display electrode 17 Partition 18 Organic EL medium layer 19 2nd display electrode 21 Substrate holding base 22 Magnet 23 Spacer 25A Frame part 25B Opening 25 Deposition mask 28 Deposition device 29 Deposition source
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安彦 浩志 山形県米沢市八幡原４丁目3146番地７ 東 北パイオニア株式会社米沢工場内 Ｆターム(参考） 3K007 AB04 AB18 BA06 CA01 CB01 DA01 DB03 EB00 FA01 4K029 BA01 BA62 BD00 DB06 HA02 HA03 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing from the front page (72) Inventor Hiroshi Yasuhiko 4- 3146-7, Yawatabara, Yonezawa City, Yamagata Prefecture F-term in the Yonezawa Plant of Tohoku Pioneer Co., Ltd. (Reference) 3K007 AB04 AB18 BA06 CA01 CB01 DA01 DB03 EB00 FA01 4K029 BA01 BA62 BD00 DB06 HA02 HA03
Claims (15)
配列を有する有機エレクトロルミネセンス表示パネルの
製造方法であって、 前記基板を保持する工程と、 前記基板上に第１電極層、少なくとも１層の有機層及び
第２電極層を順次形成する工程と、を有し、 前記第１電極層、前記少なくとも１層の有機層及び前記
第２電極層のうち少なくとも１層を形成する工程は、磁
性体マスクを用いて蒸着する蒸着工程を含み、 前記蒸着工程は、前記基板及び前記磁性体マスクを所定
間隔だけ隔てるスペーサを前記基板及び前記磁性体マス
ク間に介在せしめかつ前記磁性体マスクを磁気吸着しつ
つ実行されることを特徴とする製造方法。1. A method of manufacturing an organic electroluminescent display panel having an image display arrangement including a plurality of light emitting units on a substrate, comprising: a step of holding the substrate; and a first electrode layer on the substrate, Sequentially forming one organic layer and a second electrode layer, and forming at least one of the first electrode layer, the at least one organic layer and the second electrode layer. A vapor deposition step of vapor deposition using a magnetic mask, wherein the vapor deposition step includes interposing a spacer that separates the substrate and the magnetic mask by a predetermined distance between the substrate and the magnetic mask, and disposing the magnetic mask. A manufacturing method characterized by being performed while magnetically attracting.
口部を有することを特徴とする請求項１に記載の製造方
法。2. The method according to claim 1, wherein the magnetic mask has a stripe-shaped opening.
列された開口部を有することを特徴とする請求項１に記
載の製造方法。3. The method according to claim 1, wherein the magnetic mask has openings arranged in a matrix.
対応した開口部を有することを特徴とする請求項１に記
載の製造方法。4. The method according to claim 1, wherein the spacer has an opening corresponding to each of the unit light emitting regions.
とする請求項１ないし４のいずれか１に記載の製造方
法。5. The method according to claim 1, wherein the spacer is a magnetic material.
配列を有する有機エレクトロルミネセンス表示パネルで
あって、 前記基板上に順次形成された第１電極層、少なくとも１
層の有機層、及び第２電極層を有し、 前記第１電極層、前記少なくとも１層の有機層、及び前
記第２電極層のうち少なくとも１層は、磁性体マスク
と、磁石を内部または表面または全部に含み前記磁性体
マスクを磁気吸着するとともに前記基板を保持する基板
保持台と、前記基板及び前記磁性体マスクを所定間隔だ
け隔てるスペーサと、を用いた蒸着により形成されたこ
とを特徴とする有機エレクトロルミネセンス表示パネ
ル。6. An organic electroluminescent display panel having an image display arrangement comprising a plurality of light emitting portions on a substrate, wherein at least one of the first electrode layers sequentially formed on the substrate is provided.
An organic layer, and a second electrode layer. At least one of the first electrode layer, the at least one organic layer, and the second electrode layer has a magnetic mask and a magnet inside or It is characterized by being formed by vapor deposition using a substrate holding table magnetically attracting the magnetic material mask and holding the substrate, and a spacer for separating the substrate and the magnetic material mask by a predetermined distance. Organic electroluminescent display panel.
口部を有することを特徴とする請求項６に記載の有機エ
レクトロルミネセンス表示パネル。7. The organic electroluminescent display panel according to claim 6, wherein the magnetic mask has a stripe-shaped opening.
列された開口部を有することを特徴とする請求項６に記
載の有機エレクトロルミネセンス表示パネル。8. The organic electroluminescent display panel according to claim 6, wherein the magnetic mask has openings arranged in a matrix.
対応した開口部を有することを特徴とする請求項６に記
載の有機エレクトロルミネセンス表示パネル。9. The organic electroluminescent display panel according to claim 6, wherein the spacer has an opening corresponding to each of the unit light emitting regions.
徴とする請求項６ないし９のいずれか１に記載の有機エ
レクトロルミネセンス表示パネル。10. The organic electroluminescent display panel according to claim 6, wherein the spacer is a magnetic material.
の有機層、及び第２電極層を有する有機エレクトロルミ
ネセンス表示パネルの成膜装置であって、 前記基板上に、前記第１電極層、前記少なくとも１層の
有機層、及び前記第２電極層のうち少なくとも１層を成
膜するための蒸着源と、 磁性体マスクと、 磁石を内部または表面または全部に含み前記磁性体マス
クを磁気吸着するとともに前記基板を保持する基板保持
台と、 前記基板及び前記磁性体マスクを所定間隔だけ隔てるス
ペーサと、を有することを特徴とする成膜装置。11. A film forming apparatus for an organic electroluminescence display panel having a first electrode layer, at least one organic layer, and a second electrode layer on a substrate, wherein the first electrode is provided on the substrate. A deposition source for forming at least one of the organic layer, the at least one organic layer, and the second electrode layer; a magnetic mask; A film forming apparatus comprising: a substrate holding table that magnetically attracts and holds the substrate; and a spacer that separates the substrate and the magnetic mask by a predetermined distance.
開口部を有することを特徴とする請求項１１に記載の成
膜装置。12. The film forming apparatus according to claim 11, wherein the magnetic mask has a stripe-shaped opening.
配列された開口部を有することを特徴とする請求項１１
に記載の成膜装置。13. The magnetic mask according to claim 11, wherein the magnetic mask has openings arranged in a matrix.
3. The film forming apparatus according to item 1.
に対応した開口部を有することを特徴とする請求項１３
に記載の成膜装置。14. The device according to claim 13, wherein the spacer has an opening corresponding to each of the unit light emitting regions.
3. The film forming apparatus according to item 1.
とする請求項１１ないし１４のいずれか１に記載の成膜
装置。15. The film forming apparatus according to claim 11, wherein said spacer is a magnetic material.
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