JP2001272307A - 異方性薄膜評価法及び評価装置 - Google Patents
異方性薄膜評価法及び評価装置Info
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Abstract
に測定評価する。 【解決手段】 光源より発した光をレンズにより所定の
径を有する平行光線にし、さらに、偏光子により一定の
偏光状態にした光を、薄膜試料3の表面に入射した際に
発生する反射光を位相子7、検光子8を通過させた後、
その光強度を2次元CCD光検出器6により検出する。
そして、光強度分布をモニター8で表示して、薄膜の光
学的異方性分布を測定評価する。この際、面内の測定を
広範囲で同時に行うため、複数組の光源と検出器を並列
に配置して、平行移動機能を備えた試料ステージを備え
るようにしてもよい。
Description
向を与える液晶配向膜等の光学的な異方性を有する薄膜
の評価に関する。
射光を利用する手法が知られており、例えば、特開平3-
65637号公報(第1の従来例)、特願平8-49320号明細書
(第2の従来例)、特開平7-151640号公報(第3の従来
例)、又は特開平5-5699号公報(第4の従来例)に記載
されたものが知られている。
度の入射角及び入射方位依存性に基づいて異方性を測定
する手法が記載されており、第2の従来例には、試料を
面内回転させ反射光の偏光状態の入射方位依存性に基づ
いて配向部の誘電率、膜厚及び主誘電率座標の方向、無
配向部の誘電率と膜厚を決定する手法が記載されてい
る。さらに、第3の従来例には、赤外線を用いて二色差
に応じて異方性を測定する手法が記載されており、第4
の従来例には、可視光線を利用して、入射角を変化させ
て、異方性を測定する手法が記載されている。
用いられる膜に配向処理を施した液晶配向膜と呼ばれる
膜が知られており、この種の膜の評価手法として、例え
ば、特開平4-95845号公報(第5の従来例)に記載され
たものが知られている。具体的には、第5の従来例で
は、膜に直線偏光を入射した際に発生する反射光強度を
測定することによって異方性を評価する手法が記載され
ている。
3の従来例に記載された評価手法では、結晶性が高い無
機物の薄膜においては、結晶構造と光学的異方性との相
関が明らかになっているものも多いため、分子配向と等
価な結晶配向に関して定量的な評価が可能であるが、い
ずれの手法においても一回で測定できる面積が狭いか又
は測定に時間を要するという問題点がある。
リュースター角で入射し、反射光のS偏光成分の強度を
測定することによって膜の異方性を評価する手法が知ら
れている(例えば、特願平10−291726号明細
書)。この手法では、P偏光した光を基板のブリュース
ター角で入射することによって、反射光中のP偏光成分
の強度を極く小さくすることが可能になって、膜の異方
性により発生したS偏光成分の光の強度測定の精度を高
めるようにしている。
方性膜の場合には、基板のブリュースター角でP偏光し
た光を入射することによって、反射光のP偏光成分を極
めて小さくすることができるが、一般に、液晶表示素子
のように多層膜構造の試料では、反射光のP偏光成分が
なくなるブリュースター角を明確に定義することができ
ず、適用が困難であるという問題点がある。
射光に含まれるS偏光成分の大きさは、試料の光学的異
方性の程度及び光学的異方性を有する部分の厚さに依存
し、異方性が小さい程、又は厚さが薄い程小さくなる。
このため、光学的異方性の検出限界は、光源の強度と検
出器の感度によって決まることになり、検出感度の向上
が容易ではない。
面に直線偏光を入射した際、配向膜表面での反射光の光
量によって、配向膜の液晶配向能を評価することが記載
されいる。しかしながら、振動動方向が任意の直線偏光
を入射した際に発生する反射光強度は、膜の屈折率ばか
りではなく、膜厚も反映することを考慮すると、第5の
従来例から屈折率の異方性を反射光強度から検出するこ
とは難しい。
うに、直線偏光を試料面に垂直に入射すると、入射光と
反射光が同じ光路を通ることになる。しかしながら、光
源と光強度検出器を同じ光路上に置くことは不可能であ
り、垂直入射を実現することができない。
器を必ずしも同一光路上に配置する必要は無くなるが、
反射光、透過光の偏光状態を保存するようなビームスプ
リッタは存在せず、垂直入射を実現することはできな
い。
く、膜表面に対して傾斜角をもって入射されている。こ
の場合、入射光及び反射光は試料面に平行な振動成分で
あるS偏光成分と、光の進行方向とS偏光成分の両方に垂
直な振動成分であるP偏光成分の2つの成分をもつこと
になる。試料が光学的に等方的な場合においてもP偏光
とS偏光成分の反射率が異なる。光を試料表面に対して
一定の角度で入射する場合には、入射光の偏光状態はS
偏光に特定される(P偏光成分は膜表面に対して水平も
しくは垂直の振動方向にならない。配向処理方向である
ラビング方向に平行な振動方位の光を入射するためには
S偏光の光をラビング方向に垂直に入射な方向から試料
に入射する必要があり、ラビング方向に垂直な振動方向
の光を入射するためにはS偏光の光をラビング方向に平
行に入射する必要がある)。
向処理を施した液晶配向膜の場合、ラビング方位とほぼ
平行に膜表面に溝状の異方的な凹凸が生じる。異方的な
表面形態を反映して入射方位により反射光強度が異なる
ため、第5の従来例に記載された手法では、膜の光学的
異方性を正確に測定することができない。さらに、配向
方位が未知の試料では、S偏光方位が配向方位に平行、
もしくは垂直になるように光を入射することができな
い。
面に直線偏光を入射した際に生じる反射光強度の測定に
基づいて膜の異方性を正確に評価することができない。
の面内分布を高速にしかも正確に評価することのできる
異方性薄膜評価法及び評価装置を提供することにある。
光子、及び位相子を用いて形成された一定の径と偏光状
態を有する光を薄膜試料に入射して発生する反射光を、
検光子の下流に置かれた2次元CCD等の2次元光強度
検出器により検出して、光強度分布を測定する。また
は、レンズ及び偏光子を用いて形成された一定の径と偏
光状態を有する光を薄膜試料に入射して発生する反射光
を、位相子と検光子の下流に置かれた2次元CCD等の
2次元光強度検出器により検出して、光強度分布を測定
する。そして、このようにして、測定された光強度分布
に基づいて膜の光学的異方性分布を高い感度で高速に測
定する。
った薄膜試料に入射した際に発生する反射光の偏光状態
は、膜の光学的異方性を反映して、試料への光の入射方
位により変化する。そのため、面内回転機構を有する試
料ステージを用いることにより膜の光学的異方性の面内
分布を測定するのに適した入射方位が選択できる。ま
た、平行移動機能を有するステージを用いることにより
広い面積での光学的異方性の面内分布を測定することが
できる。
の3つの光学素子を組み合わせることによって、光学的
異方性の測定感度を向上させていることも特徴の一つで
ある。異方性薄膜にp偏光もしくはS偏光を入射したと
きに発生する反射光のp成分及びS成分についての複素
振幅反射率をRpp(P偏光を入射して発生する反射光のp
偏光成分)、Rsp(P偏光を入射して発生する反射光のs
偏光成分)、Rps(S偏光を入射して発生する反射光のp
偏光成分)、Rss(S偏光を入射して発生する反射光のS
偏光成分)としたとき、Rsp、Rpsは試料が光学的な異方
性を有するときにのみ値をもち、試料が光学的に等方的
な場合は0となる。
値に対して非常に小さく、試料の光学的異方性が小さい
ほどRsp、Rpsの絶対値は小さくなる。ここで偏光子と検
光子のみを組み合わせて異方性を測定する方法、例え
ば、特願平10−291726号明細書では、検出強度
はRspの絶対値の2乗に比例するため、膜の光学的異方
性が小さくなると検出強度が急激に弱くなる。
検光子を組み合わせた光学系では任意のRss、Rps、Rs
p、Rppの組み合わせに対して最下流の検光子を透過する
光の強度を0にすることができる。つまり、偏光子と位
相子の組み合わせにより、任意の光学的特性を有する膜
からの反射光を検光子の上流で直線偏光にすることがで
きる。この直線偏光は一般的にはa、b、c、dを任意の複
素数として a×Rss+b×Rps+c×Rsp+d×Rpp (1) と記載することができる。試料が等方的な場合は a×Rss+d×Rpp (2) である。検光子の方位をa×Rss+d×Rssの状態の光に対
して消光状態となるように配置したとき、a×Rss+b×R
ps+c×Rsp+d×Rssであらわされる異方性を有する試料
からの光の検出強度は となる。なおa*、Rss*、d*、Rss*、b*、Rps*、c*、Rsp*
は、それぞれa、Rss、d、Rss、b、Rps、c、Rspの共役複
素数を示す。式(3)が示すように微小量であるRsp、Rps
及びそれらの共役複素数についての1次の項が含まれ
る。このように、偏光子、位相子、検光子を用いた配置
では、検出強度が試料の異方性との相関が高いRsp、Rps
の一次の微小量に比例する項を含むため、検出強度がRs
p、Rpsの2次の微小量からなる偏光子と検光子を組み合
わせて異方性を評価する方法よりも、異方性に対する感
度が高くなる。
子、検光子を組み合わせた配置で検出される強度が、膜
の異方性に起因するs偏光を入射した際に発生するp偏
光成分及びp偏光を入射したときに発生するs偏光成分
の複素振幅反射率に比例する成分を含むため、一定の偏
光状態の光を光学的な異方性をもった薄膜試料に入射し
た際に発生する反射光の偏光状態は、膜の光学的異方性
を反映して、試料への光の入射方位により変化する。そ
のため、面内回転機構を有する試料ステージを用いるこ
とにより膜の光学的異方性の面内分布を測定するのに適
した入射方位が選択できる。また、平行移動機能を有す
るステージを用いることにより広い面積での光学的異方
性の面内分布を測定することができる。
基づいて説明する。
置は、単色光源1、偏光子2、試料ステージ4、検光子
5、2次元光強度検出器として用いられるCCDカメラ
6、位相子として用いられる1/4波長板7、モニター
8、ビームエキスパンダ9、及びコンデンサレンズ10
を備えている。図示の例では、単色光源1としてHe−
Neレーザが用いられている。試料ステージ4上には試
料(薄膜試料)3が載置されており、後述するようにし
て、CCDカメラ6によって試料3からの反射光が検出
されて、モニター8に光強度分布が表示される。なお、
ビームエキスパンダ9は入射光の径(太さ)を広げるた
めのものであり、複数のレンズの組み合わせで構成され
ている。また、コンデンサレンズ10は光検出器(CC
Dカメラ)の受光面に入射する光の径を調整するための
ものである。
ビームエキスパンダ9、偏光子2、位相子7、試料3、
検光子5、コンデンサーレンズ10、CCDカメラ6の
順に進む。なお、入射光の径、光検出器の受光面の大き
さ、及び観察したい領域の大きさの間の関係で反射光側
のコンデンサレンズは不要である場合もある。
ムエキスパンダ9を偏光子2及び位相子7の下流に配置
するようにしてもよく、さらに、反射側に位置するコン
デンサレンズ10を検光子5の上流に配置するようにし
てもよい。図2に示す構成は、例えば、入射する光の径
を偏光子2及び位相子7等の光学素子の有効径よりも大
きくする必要がある場合に用いられる。なお、図2に示
す構成においては、レンズを通過することによって光の
偏光状態が変化する関係上、ビームスプリッタやコンデ
ンサーレンズには偏光の変化が小さい低開口数レンズを
用いたり、レクチファイアのように偏光補償する機構を
採用したものを用いることが望ましい。
を組み合わせて得られる単色光、または、白色光源と分
光器を組み合わせて得られる単色光を用いることもでき
る。
示す。図3において、図2と同一の構成要素について
は、同一の参照番号を付す。図示の例では、白色光源2
1として、例えば、ハロゲンランプが用いられ、白色光
源21の前面(出射側)には干渉フィルター等のフィル
ター31が位置されている。なお、図4に示すように、
フィルター31や分光器(図示せず)は、反射側に配置
するようにしてもよい。
の構成について説明する。
移動機構とを備えている。具体的には、試料ステージ4
は回転ステージ37、平行移動ステージ32及び33、
試料保持台36、及び傾き角調整機構34、及び平行移
動機構35を有しており、平行移動ステージ32及び3
3は互いにその移動方向が直交する関係にある。また、
傾き角調整機構34によって試料保持台36の傾き角が
調整され、平行移動機構35によって試料3の高さが調
節される。
ーザを用いて、図1に示す評価装置によって、以下の手
順で作成した試料を測定した。
上にCr膜を500nm蒸着した上に、例えば、日産化
学製ポリイミドPI−Cをスピンコートした。スピンコ
ートガラス基板を温度90℃で30分間加熱した後、さ
らに、温度250℃で60分間加熱した。この際、ファ
イブラボ社製のエリプソメータMARY−102を用い
て、入射角70°でポリイミド膜の膜厚を測定したとこ
ろ、72nmであった。
て、押し込み長0.05mm、回転速度800rpm、
基板移動速度30mm/sで2回のラビングを行い試料
3を作成した。なお、ラビングを行う際、膜表面の一部
分をアルミ箔で覆うことによって、ラビング処理が施さ
れない部分を残した。
4上に置き、偏光子方位をp偏光成分、検光子方位をs
偏光成分として出力3mWのHe−Neレーザーの光を
入射角50°で入射した。なお、ビームエキスパンダ9
によって入射光の直径を約7mmに広げた。また、入射
光は試料面上のラビング処理が施されない部分にあたる
ように試料位置を調整した。
て、検出器(CCDカメラ)6で検出される光の強度の
総和が最小になるように、偏光子2及び検光子5の方位
を調整した。光学的異方性の有無による検出光強度の違
いを観測するために平行移動ステージ32及び33によ
り、光がラビングを施した部分とラビングが施されてい
ない部分の両方にあたるように試料3の位置を移動し
た。試料方位は回転ステージ37を用いて調整した。な
お、回転ステージ37の回転中心は試料面にあたる入射
光の中心と一致するように調整した。
て光が垂直に入射する方位を試料方位0°とし、試料方
位を0度、45度、90度、135度、180度として
得られた検出強度分布を図6乃至図10に示す。これら
の図において、光は図の左側から入射しているものとす
る。そして、図6乃至図10では、検出強度が強い部分
が白で現わされている。いずれの入射方位においてもラ
ビングが施された部分の検出強度はラビングされていな
い部分よりも強くなっていることがわかる。さらに、ラ
ビングを施した部分にはラビング方向に沿って筋状のパ
ターンが見られる。これは、膜に発生した光学的異方性
の分布を反映したものである。なお、図6において左側
の暗い部分がラビングが施されていない部分であり、図
6乃至図10からわかるように、ラビングを施された部
分の光学的異方性が反映されている。なお、すべての方
位で見られる多くの輝点は膜中もしくは膜と基板の間に
入った異物である。また、これらの図で示すように、膜
の異方性を反映して試料に入射する光の方位とラビング
の方位のなす角度によって、異方性を有する部分での検
出強度が違うことが観測されている。
子7が配置されているが、図11に示すように、入射側
には偏光子2のみを配置して、反射側に位相子7と検光
子5とを配置するようにしてもよい。なお、図11にお
いて、図1に示す構成要素については同一の参照番号を
付す。
パンダ9を偏光子2及び位相子7の下流に配置するよう
にしてもよく、さらには、コンデンサレンズ10を検光
子5の上流に配置するようにしてもよい。この場合に
は、レンズを通過することによって光の偏光状態が変化
する関係上、ビームスプリッタやコンデンサーレンズに
は偏光の変化が小さい低開口数レンズを用いたり、レク
チファイアのように偏光補償する機構を採用したものを
用いることが望ましい。
源とフィルタを組み合わせて単色光を得るようにしても
よく、さらに、白色光源と分光器を組み合わせて、単色
光を得るようにしてもよい。
の例では、白色光源21としてハロゲンランプが用いら
れており、白色光源21の前面(出射側)には干渉フィ
ルター等のフィルター31が配置されている。なお、図
13において、図11と同一の構成要素について同一の
参照番号を付す。また、図14に示すように、フィルタ
ー31や分光器(図示せず)は反射光側に配置するよう
にしてもよい(図14において、図12と同一の構成要
素について同一の参照番号を付す)。
ゲンランプと中心波長540nm、波長幅10nmの干
渉フィルターの組み合わせて、単色化された光を入射光
として用いた。図1で関連して説明したように、位相子
方位を固定する。偏光子2と検光子5の方位の調整から
消光を得ることも可能であるが、偏光子方位を固定して
反射側の位相子7及び検光子5の方位を調整することに
よって、消光を得ることも可能である。そこで、ここで
は、偏光子方位を45°に設定し、s偏光成分とp偏光
成分が1:1の直線偏光を入射光として用いた。入射角
は50°に設定し、入射光は直径約8mmの円形とし
た。
作成した。シリコン基板上に日産化学製ポリイミドPI
−Bをスピンコートし、このスピンコートシリコン基板
を温度90℃で30分間加熱した後、さらに、温度25
0℃で60分間、加熱して試料Bとした。この際、ファ
イブラボ社製のエリプソメータMARY−102を用い
て入射角70°で膜厚を測定したところ、72nmであ
った。
いて、押し込み長0.05mm、回転速度800rp
m、基板移動速度30mm/sで2回のラビングを行っ
た。そして、試料の一部を室温のアセトン中に60分間
浸した後、室温の純水に10秒間浸して大気中で乾燥し
た。
分に当たるように試料位置を調整した。その後、CCD
カメラ6で検出される光の強度の総和が最小になるよう
に、偏光子2及び検光子5の方位を調整した。光学的異
方性の有無による検出光強度の違いを観測するために、
平行移動ステージ32及び33により、光がアセトン処
理を施した部分と施されていない部分の両方にあたるよ
うに試料位置を移動した。試料方位は回転ステージ37
を用いて調整した。なお、回転ステージ37の回転中心
は試料面にあたる入射光の中心と一致するように調整し
た。
をなす方位から光を入射した際に得られた検出強度分布
である。図15において、光は図の左側より試料に入射
しており、左側の暗い部分がアセトン処理を施した部分
である。アセトン処理を施した部分よりもアセトン処理
が施されていない部分の方が検出強度が強く、アセトン
処理によって膜中の分子配向状態が変化したことがわか
る。
側に位相子を配置した構成でも試料の光学的異方性の面
内分布を測定することが可能である。
長を入射し、三板式カラーCCDカメラ等の複数の波長
の光強度をそれぞれの波長で検出してカラー画像に合成
する機能を有する2次元光強度検出器と、複数の透過す
る干渉フィルターとを組み合わせて、各波長における検
出強度分布をカラー画像として表示する機能を有する装
置が示されている。図示の例において、図14と同一の
構成要素については同一の参照番号を付す。図示の例で
は、2次元位置敏感検出器として採用した3板式カラー
CCDカメラ41が用いられており、フィルター31
{干渉フィルター(多波長フィルター)}によって複数
波長が透過され、このCCDカメラ41で検出された強
度分布はモニター8に表示される。なお、図示はしない
が、ビームスプリッタを偏光子の上流側に置くようにし
てもよく、コンデンサーレンズを光検出器の直前に置く
ようにしてよい。また、多波長フィルターは光源と光検
出器の間であれば任意の位置に配置することができる。
行うため、図13に関連して説明した試料と同様の試料
を用いた。この際、図5に示す試料ステージを用いた。
光源は150Wのハロゲンランプ、入射角を55°、透
過波長帯が640nm、530nm、400nmを中心
に幅20nm程度のピークを有する干渉フィルターを用
いた。入射光はビームエキスパンダにより断面が直径約
8mmの円にした。光検出器は3板式カラーCCDカメ
ラ(東京電子工業 3−CCDカラーカメラCS585
0、商品名)を用いた。
分に当たるように試料位置を調整した。その後、検出器
(CCDカメラ)で検出される光の強度の総和が最小に
なるように、偏光子及び検光子の方位を調整した。光学
的異方性の有無による検出光強度の違いを観測するため
に平行移動ステージ32及び33により、光がアセトン
処理を施した部分と施されていない部分の両方にあたる
ように試料位置を移動した。試料方位は回転ステージ3
7を用いて調整した。なお、回転ステージ37の回転中
心は試料面にあたる入射光の中心と一致するように調整
した。
(緑の全検出強度が最小)で測定した際得られた画像を
示す。光は図17の左側から入射しており、ラビングは
下から上に向かって施されている。つまり、光はラビン
グの方位とは直交する方位で入射している。
セトン処理を施した部分、左側の青の部分がアセトン処
理を施さない部分である。図17に示すように、光学的
異方性の違いを色調によって視認性よく測定、表示する
ことができる。
レンズ系と偏光子により所定の径を有する一定の偏光状
態の光を試料表面に入射した際に発生する反射光を位相
子と検光子を通過させてCCDカメラ等の二次元位置敏
感検出器により検出光強度分布を測定するようにしたか
ら、薄膜試料の光学的異方性の分布を高速に測定するこ
とができる。
所定の径を有する一定の偏光状態の光を試料表面に入射
した際に発生する反射光を検光子を通過させてCCDカ
メラ等の二次元位置敏感検出器により検出光強度分布を
測定するようにしても、薄膜試料の光学的異方性の分布
を高速に測定することができる。
用いるようにすれば、異方性分布測定にもっとも適した
試料方位を選択することができ、平行移動機能を有する
試料ステージを用いるようにすれば、広い範囲で薄膜試
料の異方性分布を高速で測定することが可能となる。
ラーCCDカメラを組み合わせることにより、異方性分
布をカラー表示で視認性よく測定することができるとい
う効果もある。
示す図である。
示す図である。
示す図である。
示す図である。
試料ステージの一例を示す図である。
位0°における検出強度分布を示す図である。
位45°における検出強度分布を示す図である。
位90°における検出強度分布を示す図である。
位135°における検出強度分布を示す図である。
方位180°における検出強度分布を示す図である。
を示す図である。
を示す図である。
を示す図である。
を示す図である。
出強度分布を示す図である。
を示す図である。
出強度分布を示す図である。
Claims (24)
- 【請求項1】 レンズ、偏光子、及び位相子を用いて形
成され所定の径及び偏光状態を有する光を薄膜試料に入
射した際発生する反射光を、前記薄膜試料の下流側に配
置された検光子よりも下流側に配置された2次元光強度
検出器によって検出して、該検出結果である光強度分布
に基づいて前記薄膜材料の光学的異方性の面内分布を評
価するようにしたことを特徴とする異方性薄膜評価法。 - 【請求項2】 請求項1に記載された異方性薄膜評価法
において、前記薄膜材料の光学的異方性の面内分布を評
価する際、前記薄膜試料に入射される光の方位を調整す
るため前記薄膜試料を面内で回転させるようにしたこと
を特徴とする異方性薄膜評価法。 - 【請求項3】 請求項1又は2に記載された異方性薄膜
評価法において、前記薄膜材料の光学的異方性の面内分
布を評価する際、前記薄膜試料を面内に平行移動させる
ようにしたことを特徴とする異方性薄膜評価法。 - 【請求項4】 レンズ及び偏光子を用いて形成され所定
の径及び偏光状態を有する光を薄膜試料に入射した際発
生する反射光を、前記薄膜試料の下流側に配置された位
相子及び検光子よりも下流側に配置された2次元光強度
検出器によって検出して、該検出結果である光強度分布
に基づいて膜の光学的異方性の面内分布を評価するよう
にしたことを特徴とする異方性薄膜評価法。 - 【請求項5】 請求項4に記載された異方性薄膜評価法
において、前記薄膜材料の光学的異方性の面内分布を評
価する際、前記薄膜試料に入射される光の方位を調整す
るため前記薄膜試料を面内で回転させるようにしたこと
を特徴とする異方性薄膜評価法。 - 【請求項6】 請求項4又は5に記載された異方性薄膜
評価法において、前記薄膜材料の光学的異方性の面内分
布を評価する際、前記薄膜試料を面内に平行移動させる
ようにしたことを特徴とする異方性薄膜評価法。 - 【請求項7】 請求項1乃至6のいずれかに記載された
異方性薄膜評価法において、前記光源としてレーザーを
用いることを特徴とする異方性薄膜評価法。 - 【請求項8】 請求項1乃至6のいずれかに記載された
異方性薄膜評価法において、前記光源が白色光源である
ことを特徴とする異方性薄膜評価法。 - 【請求項9】 請求項1乃至6のいずれかに記載された
異方性薄膜評価法において、前記光源として白色光源と
分光器又はフィルターとの組み合わせを用いて、特定の
波長の光を生成するようにしたことを特徴とする異方性
薄膜評価法。 - 【請求項10】 請求項1乃至6のいずれかに記載され
た異方性薄膜評価法において、前記光源として白色光源
を用い、前記2次元光強度検出器の前面に分光器又はフ
ィルターを配置して、前記2次元光強度検出器によって
特定の波長の光を検出するようにしたことを特徴とする
異方性薄膜評価法。の波長の光を検出することを特徴と
する異方性薄膜評価法。 - 【請求項11】 請求項1乃至6のいずれかに記載され
た異方性薄膜評価法において、前記光源として白色光源
を用い、前記2次元光強度検出器は、複数の波長の光強
度をそれぞれの波長で検出してカラー画像に合成する機
能しており、該2次元光強度検出器の上流側に複数の波
長を透過する干渉フィルターを配置して、各波長におけ
る検出強度をカラー画像として表示するようにしたこと
を特徴とする異方性薄膜評価法。 - 【請求項12】 請求項1乃至11のいずれかに記載さ
れた異方性薄膜評価法において、特定の波長において検
出される光強度の総和が最小となるように前記偏光子、
前記位相子、前記検光子の方位を調整するようにしたこ
とを特徴とする異方性薄膜評価法。 - 【請求項13】 所定の径及び偏光状態を有する光を発
生して薄膜試料に該光を入射するレンズ、偏光子、及び
位相子を備える光学系と、検光子の下流側に配置され前
記入射に応じて前記薄膜材料から発生する反射光を検出
して光強度分布を得る2次元光強度検出器と、該光強度
分布に基づいて前記薄膜材料の光学的異方性の面内分布
を評価する評価手段とを有することを特徴とする異方性
薄膜評価装置。 - 【請求項14】 請求項13に記載された異方性薄膜評
価装置において、さらに、前記薄膜試料を保持し該薄膜
試料に入射する光の方位を調整するため前記薄膜試料を
面内で回転させる機構を備える試料ステージを有するこ
とを特徴とする異方性薄膜評価装置。 - 【請求項15】 請求項13又は14に記載された異方
性薄膜評価装置において、前記試料ステージは、前記薄
膜試料を前記面内に平行移動する機構を備えていること
を特徴とする異方性薄膜評価装置。 - 【請求項16】 所定の径及び偏光状態を有する光を発
生して薄膜試料に該光を入射するレンズ及び位相子を備
える光学系と、位相子及び検光子の下流側に配置され前
記入射に応じて前記薄膜材料から発生する反射光を検出
して光強度分布を得る2次元光強度検出器と、該光強度
分布に基づいて前記薄膜材料の光学的異方性の面内分布
を評価する評価手段とを有することを特徴とする異方性
薄膜評価装置。 - 【請求項17】 請求項16に記載された異方性薄膜評
価装置において、さらに、前記薄膜試料を保持し該薄膜
試料に入射する光の方位を調整するため前記薄膜試料を
面内で回転させる機構を備える試料ステージを有するこ
とを特徴とする異方性薄膜評価装置。 - 【請求項18】 請求項16又は17に記載された異方
性薄膜評価装置において、前記試料ステージは、前記薄
膜試料を前記面内に平行移動する機構を備えていること
を特徴とする異方性薄膜評価装置。 - 【請求項19】 請求項13乃至18のいずれかに記載
された異方性薄膜評価装置において、前記光源としてレ
ーザーを用いることを特徴とする異方性薄膜評価装置。 - 【請求項20】 請求項13乃至18のいずれかに記載
された異方性薄膜評価装置において、前記光源が白色光
源であることを特徴とする異方性薄膜評価装置。 - 【請求項21】 請求項13乃至18のいずれかに記載
された異方性薄膜評価装置において、前記光源として白
色光源と分光器又はフィルターとの組み合わせを用い
て、特定の波長の光を生成するようにしたことを特徴と
する異方性薄膜評価装置。 - 【請求項22】 請求項13乃至18のいずれかに記載
された異方性薄膜評価装置において、前記光源として白
色光源を用い、前記2次元光強度検出器の前面に分光器
又はフィルターを配置して、前記2次元光強度検出器に
よって特定の波長の光を検出するようにしたことを特徴
とする異方性薄膜評価装置。 - 【請求項23】 請求項13乃至18のいずれかに記載
された異方性薄膜評価装置において、前記光源として白
色光源を用い、前記2次元光強度検出器は、複数の波長
の光強度をそれぞれの波長で検出してカラー画像に合成
する機能しており、該2次元光強度検出器の上流側に複
数の波長を透過する干渉フィルターを配置して、各波長
における検出強度をカラー画像として表示するようにし
たことを特徴とする異方性薄膜評価装置。 - 【請求項24】 請求項13乃至23のいずれかに記載
された異方性薄膜評価装置において、特定の波長におい
て検出される光強度の総和が最小となるように前記偏光
子、前記位相子、前記検光子の方位を調整するようにし
たことを特徴とする異方性薄膜評価装置。
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