JP2001254789A - 回転ステージ - Google Patents
回転ステージInfo
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- JP2001254789A JP2001254789A JP2000066135A JP2000066135A JP2001254789A JP 2001254789 A JP2001254789 A JP 2001254789A JP 2000066135 A JP2000066135 A JP 2000066135A JP 2000066135 A JP2000066135 A JP 2000066135A JP 2001254789 A JP2001254789 A JP 2001254789A
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- rotor
- planetary gear
- motor
- rotary stage
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Abstract
(57)【要約】
【課題】小型で位置決め精度の高い回転ステージを提供
する。 【解決手段】本発明の回転ステージは、ウェーブジェネ
レータとフレクスプライン21とサーキュラスプライン23
とからなる遊星歯車減速機と、この減速機を駆動するモ
ータ１と、この減速機の出力側に設けた回転テーブル３
とからなり、遊星歯車減速機の内部にアウターロータ方
式のモータ１を設け、モータ１のロータ12をウェーブジ
ェネレータとして機能させた構成にしている。また、ロ
ータ12は少なくとも２個の磁極をもつ希土類磁石とし、
転動体22の面にテフロン（登録商標）、二硫化モリブデ
ン、ＳｉＣ，Ｓｉ3 Ｎ4 、ＢＮとＤＬＣ(Diamond Like
Carbon) の少なくとも一つを被膜している。
する。 【解決手段】本発明の回転ステージは、ウェーブジェネ
レータとフレクスプライン21とサーキュラスプライン23
とからなる遊星歯車減速機と、この減速機を駆動するモ
ータ１と、この減速機の出力側に設けた回転テーブル３
とからなり、遊星歯車減速機の内部にアウターロータ方
式のモータ１を設け、モータ１のロータ12をウェーブジ
ェネレータとして機能させた構成にしている。また、ロ
ータ12は少なくとも２個の磁極をもつ希土類磁石とし、
転動体22の面にテフロン（登録商標）、二硫化モリブデ
ン、ＳｉＣ，Ｓｉ3 Ｎ4 、ＢＮとＤＬＣ(Diamond Like
Carbon) の少なくとも一つを被膜している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は工作機や分析装置な
どに使用される回転ステージ装置に関するものである。
どに使用される回転ステージ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、遊星歯車減速機を用いた回転ステ
ージは種々のタイプが提案されているが、その一つとし
て図５のようなものがある。図５は従来の回転ステージ
を示す側断面図である。図において、１はモータ、２は
遊星歯車減速機、３は回転テーブルである。モータ１は
ステータ１１、ロータ１２および回転軸１３からなり、
遊星歯車減速機２はウェーブジェネレータ２０とフレク
スプライン２１とサーキュラスプライン２３とからな
る。なお、歯車の歯は図示していない。モータ１の回転
軸１３は遊星歯車減速機２の入力側に直列に連結されて
おり、遊星歯車減速機の出力側であるフレクスプライン
２１に回転テーブル３が連結されている。モータ１が回
転すると、遊星歯車減速機２の減速比に応じて回転テー
ブル３が回転する。
ージは種々のタイプが提案されているが、その一つとし
て図５のようなものがある。図５は従来の回転ステージ
を示す側断面図である。図において、１はモータ、２は
遊星歯車減速機、３は回転テーブルである。モータ１は
ステータ１１、ロータ１２および回転軸１３からなり、
遊星歯車減速機２はウェーブジェネレータ２０とフレク
スプライン２１とサーキュラスプライン２３とからな
る。なお、歯車の歯は図示していない。モータ１の回転
軸１３は遊星歯車減速機２の入力側に直列に連結されて
おり、遊星歯車減速機の出力側であるフレクスプライン
２１に回転テーブル３が連結されている。モータ１が回
転すると、遊星歯車減速機２の減速比に応じて回転テー
ブル３が回転する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の方式
ではモータと遊星歯車減速機か直列に連結しているの
で、軸長が長くなるために小型化が難しく、限られたス
ペースに配置できない問題がある。また、モータ寸法や
減速機寸法を小さくすると、トルク不足や歯車の強度不
足により、回転ステージを位置決めできない問題が生ず
る。そこで、本発明は位置決め精度が高く、小型の回転
ステージを提供することを目的とする。
ではモータと遊星歯車減速機か直列に連結しているの
で、軸長が長くなるために小型化が難しく、限られたス
ペースに配置できない問題がある。また、モータ寸法や
減速機寸法を小さくすると、トルク不足や歯車の強度不
足により、回転ステージを位置決めできない問題が生ず
る。そこで、本発明は位置決め精度が高く、小型の回転
ステージを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、本発明はウェーブジェネレータとフレクスプライン
とサーキュラスプラインとからなる遊星歯車減速機と、
前記遊星歯車減速機を駆動するモータと、前記遊星歯車
減速機の出力側に設けた回転テーブルとからなる回転ス
テージにおいて、前記遊星歯車減速機の内部にアウター
ロータ方式のモータを設け、前記モータのロータを前記
ウェーブジェネレータとして機能させた構成にしてい
る。また、前記ロータは少なくとも２個の磁極をもつ希
土類磁石とし、転動体面にテフロン、二硫化モリブデ
ン、ＳｉＣ，Ｓｉ３Ｎ４、ＢＮとＤＬＣ(Diamond Like
Carbonの略) の少なくとも一つを被膜してもよい。
め、本発明はウェーブジェネレータとフレクスプライン
とサーキュラスプラインとからなる遊星歯車減速機と、
前記遊星歯車減速機を駆動するモータと、前記遊星歯車
減速機の出力側に設けた回転テーブルとからなる回転ス
テージにおいて、前記遊星歯車減速機の内部にアウター
ロータ方式のモータを設け、前記モータのロータを前記
ウェーブジェネレータとして機能させた構成にしてい
る。また、前記ロータは少なくとも２個の磁極をもつ希
土類磁石とし、転動体面にテフロン、二硫化モリブデ
ン、ＳｉＣ，Ｓｉ３Ｎ４、ＢＮとＤＬＣ(Diamond Like
Carbonの略) の少なくとも一つを被膜してもよい。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の回転ステージを図
に基づいて説明する。図１は本発明の回転ステージを示
す側断面図、図２は図１Ａ−Ａ’線における断面図であ
る。図において、１はモータ、２はＫＨＶ型の遊星歯車
減速機、３は回転テーブルである。モータ１は、ＫＨＶ
型の遊星歯車減速機２の中央部分にアウターロータ方式
として設けられており、１１はステータで１２はロータ
である。ロータ１２は、Ｎｄ−Ｆｅ−ＢやＳｍＣｏ等の
高保磁力をもつ希土類永久磁石からなり、２個の磁極を
もつ楕円形状をしている。ＫＨＶ型の遊星歯車減速機２
は、ウェーブジェネレータ（ロータ１２）、フレクスプ
ライン２１、サーキュラスプライン２３および転動体２
２とからなる。フレクスプライン２１は、２００枚の外
歯車をもち、弾性変形しながら回転する。サーキュラス
プライン２３は、２０２枚の内歯車を有しており固定さ
れている。したがって、減速比は（２００−２０２）／
２００＝−１／１００となる。転動体２２は、ロータ１
２のトルクをフレクスプライン２１に伝達する。転動体
２２およびロータ１２の表面には、テフロン、二硫化モ
リブデン、ＳｉＣ、Ｓｉ3 Ｎ4 、ＢＮとＤＬＣ(Diamond
Like Carbonの略) 等の摺動膜２４を被膜し、潤滑性を
向上させている。つぎに、本発明の回転ステージの動作
について図３を用いて説明する。図３は回転ステージの
動作を説明する模式図である。いま、巻線１１１に電圧
を印加してロータ１２を時計方向に回転させる。ロータ
１２が時計方向に回転すると、サーキュラスプライン２
３を固定しているので、ロータ１２（ウェーブジェネレ
ー夕）の回転により、フレクスプライン２１は弾性変形
しながら、順次サーキュラスプライン２３とかみ合って
その位置を変える。楕円形のロータ１２が回転すると、
長円部により転動体２２をフレクスプライン２１に押し
つけるため、トルクが伝わる。フレクスプライン２１は
サーキュラスブライン２３より歯数が少ないので、歯数
差だけ減速され、ロータ（ウエーブジェネレータ）１２
の回転方向と逆方向の反時計方向に回転する。すなわ
ち、ロータ１２が１回転するとフレクスプライン２１の
位置２１ａは、１／１００だけ回転するので、フレクス
プライン２１に取り付けられている回転テーブル３も、
ロータ１回転に対して１／１００回転することになる。
また、図４に示すように１／１００に減速されたテーブ
ルは図示しないモータエンコーダを取り付けることで細
割でき、高分解の位置決めが可能である。さらに、従来
のモータに減速機を連結する構成に比べて、本発明の回
転テーブルは、減速機のウェーブジェネレータとモータ
ロータを兼用し、減速機にモータを内包する構成なの
で、モータの軸方向の寸法が不要となり、小型化でき
る。
に基づいて説明する。図１は本発明の回転ステージを示
す側断面図、図２は図１Ａ−Ａ’線における断面図であ
る。図において、１はモータ、２はＫＨＶ型の遊星歯車
減速機、３は回転テーブルである。モータ１は、ＫＨＶ
型の遊星歯車減速機２の中央部分にアウターロータ方式
として設けられており、１１はステータで１２はロータ
である。ロータ１２は、Ｎｄ−Ｆｅ−ＢやＳｍＣｏ等の
高保磁力をもつ希土類永久磁石からなり、２個の磁極を
もつ楕円形状をしている。ＫＨＶ型の遊星歯車減速機２
は、ウェーブジェネレータ（ロータ１２）、フレクスプ
ライン２１、サーキュラスプライン２３および転動体２
２とからなる。フレクスプライン２１は、２００枚の外
歯車をもち、弾性変形しながら回転する。サーキュラス
プライン２３は、２０２枚の内歯車を有しており固定さ
れている。したがって、減速比は（２００−２０２）／
２００＝−１／１００となる。転動体２２は、ロータ１
２のトルクをフレクスプライン２１に伝達する。転動体
２２およびロータ１２の表面には、テフロン、二硫化モ
リブデン、ＳｉＣ、Ｓｉ3 Ｎ4 、ＢＮとＤＬＣ(Diamond
Like Carbonの略) 等の摺動膜２４を被膜し、潤滑性を
向上させている。つぎに、本発明の回転ステージの動作
について図３を用いて説明する。図３は回転ステージの
動作を説明する模式図である。いま、巻線１１１に電圧
を印加してロータ１２を時計方向に回転させる。ロータ
１２が時計方向に回転すると、サーキュラスプライン２
３を固定しているので、ロータ１２（ウェーブジェネレ
ー夕）の回転により、フレクスプライン２１は弾性変形
しながら、順次サーキュラスプライン２３とかみ合って
その位置を変える。楕円形のロータ１２が回転すると、
長円部により転動体２２をフレクスプライン２１に押し
つけるため、トルクが伝わる。フレクスプライン２１は
サーキュラスブライン２３より歯数が少ないので、歯数
差だけ減速され、ロータ（ウエーブジェネレータ）１２
の回転方向と逆方向の反時計方向に回転する。すなわ
ち、ロータ１２が１回転するとフレクスプライン２１の
位置２１ａは、１／１００だけ回転するので、フレクス
プライン２１に取り付けられている回転テーブル３も、
ロータ１回転に対して１／１００回転することになる。
また、図４に示すように１／１００に減速されたテーブ
ルは図示しないモータエンコーダを取り付けることで細
割でき、高分解の位置決めが可能である。さらに、従来
のモータに減速機を連結する構成に比べて、本発明の回
転テーブルは、減速機のウェーブジェネレータとモータ
ロータを兼用し、減速機にモータを内包する構成なの
で、モータの軸方向の寸法が不要となり、小型化でき
る。
【０００６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば遊星
歯車減速機内にアウターロータ方式のモータを設け、遊
星歯車減速機のウェーブジェネレータを永久磁石からな
るロータとして兼用したので、トルク不足や歯車の強度
不足をまねくことがなく、小型で位置決め精度の高い回
転ステージを得る効果がある。
歯車減速機内にアウターロータ方式のモータを設け、遊
星歯車減速機のウェーブジェネレータを永久磁石からな
るロータとして兼用したので、トルク不足や歯車の強度
不足をまねくことがなく、小型で位置決め精度の高い回
転ステージを得る効果がある。
【図１】本発明の回転ステージの構造を示す側断面図で
ある。
ある。
【図２】図１Ａ−Ａ’線における断面図である。
【図３】本発明の回転ステージの動作を説明する模式図
である。
である。
【図４】本発明のモータ回転信号と回転テーブルの回転
信号を示すタイムチャートである。
信号を示すタイムチャートである。
【図５】従来の回転ステージの構造を示す側断面図であ
る。
る。
１ モータ １１ ステータ １１１ 巻線 １２ ロータ（ウェーブジェネレータ） １３ 回転軸 １４ ロータ ２ 遊星歯車減速機 ２０ ウェーブジェネレータ ２１ フレクスプライン ２２ 転動体 ２３ サーキュラスプライン ２４ 摺動膜 ３ 回転テーブル
Claims (3)
- 【請求項１】ウェーブジェネレータとフレクスプライン
とサーキュラスプラインとからなる遊星歯車減速機と、
前記遊星歯車減速機を駆動するモータと、前記遊星歯車
減速機の出力側に設けた回転テーブルとからなる回転ス
テージにおいて、前記遊星歯車減速機の内部にアウター
ロータ方式のモータを設け、前記モータのロータを前記
ウェーブジェネレータとして機能させたことを特徴とす
る回転ステージ。 - 【請求項２】前記ロータは少なくとも２個の磁極をもつ
希土類磁石からなることを特徴とする請求項１記載の回
転ステージ。 - 【請求項３】 前記ロータの転動体面にテフロン、二硫
化モリブデン、ＳｉＣ，Ｓｉ3 Ｎ4 、ＢＮとＤＬＣの少
なくとも一つを被膜したことを特徴とする請求項１また
は２記載の回転ステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000066135A JP2001254789A (ja) | 2000-03-10 | 2000-03-10 | 回転ステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000066135A JP2001254789A (ja) | 2000-03-10 | 2000-03-10 | 回転ステージ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001254789A true JP2001254789A (ja) | 2001-09-21 |
Family
ID=18585545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000066135A Pending JP2001254789A (ja) | 2000-03-10 | 2000-03-10 | 回転ステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001254789A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006003847A1 (ja) * | 2004-07-02 | 2006-01-12 | Honda Motor Co., Ltd. | 減速機付き駆動装置 |
| JP2007155076A (ja) * | 2005-12-08 | 2007-06-21 | Nabtesco Corp | 車輪駆動装置 |
| KR100798087B1 (ko) * | 2004-07-02 | 2008-01-28 | 혼다 기켄 고교 가부시키가이샤 | 감속기 장착 구동 장치 |
| JP2011229393A (ja) * | 2011-06-07 | 2011-11-10 | Yaskawa Electric Corp | 減速機付きモータ |
| DE10222695B4 (de) * | 2001-05-23 | 2015-09-24 | Harmonic Drive Ag | Schmierfreie Wellengetriebevorrichtung |
| JP2016029877A (ja) * | 2014-07-24 | 2016-03-03 | 日本電産シンポ株式会社 | 電動機付き減速機 |
| WO2019026857A1 (ja) * | 2017-07-31 | 2019-02-07 | 日本電産シンポ株式会社 | 車輪駆動装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60132166U (ja) * | 1984-02-15 | 1985-09-04 | 株式会社安川電機 | 減速機付アウタ−ロ−タ形モ−タ |
| JPS6323046A (ja) * | 1986-05-22 | 1988-01-30 | アルカテル・エスパ−ス | 真空中で使用するための広域走査駆動機構 |
| JPH0522906U (ja) * | 1991-09-02 | 1993-03-26 | エスエムシー株式会社 | 波動減速機構を有する減速駆動装置 |
| JPH08111963A (ja) * | 1994-10-11 | 1996-04-30 | Nippondenso Co Ltd | 二軸出力型電動機 |
| JP2000009191A (ja) * | 1998-06-19 | 2000-01-11 | Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd | カップ型波動歯車装置 |
-
2000
- 2000-03-10 JP JP2000066135A patent/JP2001254789A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60132166U (ja) * | 1984-02-15 | 1985-09-04 | 株式会社安川電機 | 減速機付アウタ−ロ−タ形モ−タ |
| JPS6323046A (ja) * | 1986-05-22 | 1988-01-30 | アルカテル・エスパ−ス | 真空中で使用するための広域走査駆動機構 |
| JPH0522906U (ja) * | 1991-09-02 | 1993-03-26 | エスエムシー株式会社 | 波動減速機構を有する減速駆動装置 |
| JPH08111963A (ja) * | 1994-10-11 | 1996-04-30 | Nippondenso Co Ltd | 二軸出力型電動機 |
| JP2000009191A (ja) * | 1998-06-19 | 2000-01-11 | Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd | カップ型波動歯車装置 |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10222695B4 (de) * | 2001-05-23 | 2015-09-24 | Harmonic Drive Ag | Schmierfreie Wellengetriebevorrichtung |
| WO2006003847A1 (ja) * | 2004-07-02 | 2006-01-12 | Honda Motor Co., Ltd. | 減速機付き駆動装置 |
| KR100798087B1 (ko) * | 2004-07-02 | 2008-01-28 | 혼다 기켄 고교 가부시키가이샤 | 감속기 장착 구동 장치 |
| US7409891B2 (en) | 2004-07-02 | 2008-08-12 | Honda Motor Co., Ltd. | Drive unit with reducer |
| JP4787753B2 (ja) * | 2004-07-02 | 2011-10-05 | 本田技研工業株式会社 | 減速機付き駆動装置 |
| JP2007155076A (ja) * | 2005-12-08 | 2007-06-21 | Nabtesco Corp | 車輪駆動装置 |
| JP2011229393A (ja) * | 2011-06-07 | 2011-11-10 | Yaskawa Electric Corp | 減速機付きモータ |
| JP2016029877A (ja) * | 2014-07-24 | 2016-03-03 | 日本電産シンポ株式会社 | 電動機付き減速機 |
| WO2019026857A1 (ja) * | 2017-07-31 | 2019-02-07 | 日本電産シンポ株式会社 | 車輪駆動装置 |
| JPWO2019026857A1 (ja) * | 2017-07-31 | 2020-05-28 | 日本電産シンポ株式会社 | 車輪駆動装置 |
| JP7248223B2 (ja) | 2017-07-31 | 2023-03-29 | 日本電産シンポ株式会社 | 車輪駆動装置 |
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070202 |
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| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100621 |
|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100715 |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100727 |
|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100928 |
|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101015 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110202 |