JP2001246744A - Piezoelectric type ink-jet printer head - Google Patents
Piezoelectric type ink-jet printer headInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電式のインクジ
ェットプリンタヘッドのうち、特に、圧電アクチェータ
に積層型の圧電アクチェータを使用した圧電式インクジ
ェットプリンタヘッドに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric ink jet printer head, and more particularly to a piezoelectric ink jet printer head using a laminated piezoelectric actuator as a piezoelectric actuator.
【０００２】[0002]
【従来の技術】先行技術としての米国特許第５，４０
２，１５９号明細書は、複数個のノズル及びこの各ノズ
ルごとの圧力室を備えたキャビティープレートと、前記
各圧力室ごとに形成された駆動電極及び隣接する圧力室
に共通するコモン電極により圧電シートを挟んで積層状
に形成したプレート型の圧電アクチェータとからなり、
この圧電アクチェータは、前記キャビティープレート
に、このキャビティープレートにおける各圧力室を当該
圧電アクチェータにて塞ぐように積層されている圧電式
インクジェットプリンタヘッドを提案している。BACKGROUND OF THE INVENTION U.S. Pat.
No. 2,159 discloses a plurality of nozzles and a cavity plate having a pressure chamber for each nozzle, a driving electrode formed for each of the pressure chambers, and a common electrode common to adjacent pressure chambers. It consists of a plate-type piezoelectric actuator formed in a laminated manner with a piezoelectric sheet interposed,
This piezoelectric actuator proposes a piezoelectric ink jet printer head which is laminated on the cavity plate so that each pressure chamber in the cavity plate is closed by the piezoelectric actuator.
【０００３】また、この先行技術の圧電式インクジェッ
トプリンタヘッドにおいては、米国特許第５，４０２，
１５９号明細書におけるＦＩＧ．１５に記載されている
ように、前記圧電アクチェータの積層面と直交する側面
に、少なくとも前記各駆動電極に電気的に導通する側面
電極を設けて、前記各駆動電極を、この各側面電極を介
して外部に接続するように構成している。Further, in this prior art piezoelectric ink jet printer head, US Pat.
159 in the specification. As described in 15, a side electrode that is electrically connected to at least each of the drive electrodes is provided on a side surface orthogonal to the lamination surface of the piezoelectric actuator, and each of the drive electrodes is connected to each other through the side electrode. It is configured to connect to the outside.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、このように、
プレート型圧電アクチェータの積層面と直交する側面
に、各駆動電極に対する外部への接続用の側面電極を設
けることは、この圧電アクチェータを、キャビティープ
レートに対して、その各圧力室を塞ぐように積層した場
合に、この圧電アクチェータの側面に設けた各側面電極
が、キャビティープレートに対して接触するか、接触す
るおそれが大きくなり、キャビティープレートが金属製
であるとき、この各側面電極間に電気的ショートが発生
することになる。However, as described above,
Providing a side electrode for connection to each drive electrode to the outside on the side surface orthogonal to the lamination surface of the plate type piezoelectric actuator, the piezoelectric actuator is provided to the cavity plate so as to close each pressure chamber. When stacked, each side electrode provided on the side of this piezoelectric actuator comes into contact with or is likely to come into contact with the cavity plate. When the cavity plate is made of metal, the This causes an electrical short.
【０００５】そこで、先行技術においては、キャビティ
ープレートを、電気的な絶縁性を有するアルミナセラミ
ック等の非導電性材料製にするか、或いは、キャビティ
ープレートと圧電アクチェータとの間に絶縁性シートを
挟むことにより、各側面電極間に電気的ショートが発生
することを防止している。Therefore, in the prior art, the cavity plate is made of a non-conductive material such as alumina ceramic having electrical insulation, or an insulating sheet is provided between the cavity plate and the piezoelectric actuator. , The occurrence of an electrical short between the side electrodes is prevented.
【０００６】しかし、前者のように、キャビティープレ
ートを、アルミナセラミック等の非導電性材料製にする
ことは、所定の強度を保持することのためにキャビティ
ープレートの大型化を招来する。これに加えて、材料費
及び加工工程のアップ、ひいては、価格の可成りのアッ
プを招来するという問題がある。However, when the cavity plate is made of a non-conductive material such as alumina ceramic as in the former case, the cavity plate becomes large in size to maintain a predetermined strength. In addition to this, there is a problem that material costs and processing steps are increased, and as a result, prices are considerably increased.
【０００７】また、後者のように、キャビティープレー
トと圧電アクチェータとの間に絶縁性シートを挟むこと
は、キャビティープレートを金属製にでき、前者よりも
小型化及び低価格化を図ることができる。しかし、その
反面、絶縁性シートを挟む分だけ部品点数が多くなり、
この分、小型化及び低価格化を充分に達成することがで
きない。しかも、インクの漏れが発生する箇所が多くな
るという問題がある。[0007] In addition, by sandwiching an insulating sheet between the cavity plate and the piezoelectric actuator as in the latter case, the cavity plate can be made of metal, and the size and cost can be reduced compared to the former. it can. However, on the other hand, the number of parts increases by the amount of sandwiching the insulating sheet,
For this reason, size reduction and cost reduction cannot be sufficiently achieved. In addition, there is a problem that the number of locations where ink leakage occurs increases.
【０００８】本発明は、このような問題を解消すること
を技術的課題とするものである。An object of the present invention is to solve such a problem.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本発明は、「複数個のノズル及びこの各ノズルご
との圧力室を備えたキャビティープレートと、前記各圧
力室ごとに形成された駆動電極及び隣接する圧力室に共
通するコモン電極により圧電シートを挟んで積層状に形
成したプレート型の圧電アクチェータとからなり、この
圧電アクチェータは、前記キャビティープレートに、こ
のキャビティープレートにおける各圧力室を当該圧電ア
クチェータにて塞ぐように積層され、且つ、前記圧電ア
クチェータの積層面と直交する側面に、少なくとも前記
各駆動電極に電気的に導通する側面電極が設けられてい
る圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記
キャビティープレートのうち前記圧電アクチェータが接
触する面に、前記圧電アクチェータにおける各側面電極
をキャビティープレートに対して非接触にする凹所が設
けられている。」ことを特徴とする。In order to achieve the technical object, the present invention provides a cavity plate having a plurality of nozzles and a pressure chamber for each of the nozzles, and a cavity plate formed for each of the pressure chambers. And a plate-type piezoelectric actuator formed by laminating a piezoelectric sheet with a driving electrode and a common electrode common to adjacent pressure chambers, and the piezoelectric actuator is provided in the cavity plate, and in each of the cavity plates. A piezoelectric ink-jet printer that is stacked so as to close the pressure chamber with the piezoelectric actuator, and has a side electrode that is electrically connected to at least each of the drive electrodes on a side surface that is orthogonal to the stacking surface of the piezoelectric actuator. In the head, the surface of the cavity plate with which the piezoelectric actuator contacts Recesses for the non-contact is provided to each side electrodes in electrostatic actuators relative to the cavity plate. "It is characterized.
【００１０】[0010]
【発明の作用・効果】この構成において、圧電アクチェ
ータをキャビティープレートに対して積層した場合に、
この圧電アクチェータの側面における各側面電極が、キ
ャビティープレートに対して接触することを、その間に
絶縁性シートを挟むことなく、前記凹所によって確実に
阻止することができる。In this configuration, when the piezoelectric actuator is stacked on the cavity plate,
The contact between the side electrodes on the side surface of the piezoelectric actuator and the cavity plate can be reliably prevented by the recess without interposing an insulating sheet therebetween.
【００１１】従って、本発明によると、キャビティープ
レートを、絶縁性シートを使用することなく、金属製に
することができるから、更なる小型化及び低価格化を、
インクの漏れ箇所を多くすることなく、確実に達成でき
る効果を有する。Therefore, according to the present invention, since the cavity plate can be made of metal without using an insulating sheet, further reduction in size and cost can be achieved.
This has the effect that it can be reliably achieved without increasing the number of ink leakage points.
【００１２】また、請求項２に記載したように、前記圧
電アクチェータのうちキャビティープレートが接触する
積層面と反対側の積層面に、前記各側面電極に電気的に
導通する表面電極が設けられている。According to a second aspect of the present invention, a surface electrode which is electrically connected to each of the side electrodes is provided on a laminated surface of the piezoelectric actuator opposite to a laminated surface with which the cavity plate contacts. ing.
【００１３】これにより、前記圧電アクチェータのうち
キャビティープレートが接触する積層面と反対側の積層
面に対して、外部機器に対する接続用のフレキシブルフ
ラットケーブルを重ねて押圧することで、このフレキシ
ブルフラットケーブルにおける各配線パターンを、前記
各表面電極に対して、簡単な構造で確実に接続すること
ができる。With this arrangement, the flexible flat cable for connection to an external device is overlapped and pressed against the laminated surface of the piezoelectric actuator opposite to the laminated surface with which the cavity plate is in contact. Can be securely connected to the surface electrodes with a simple structure.
【００１４】特に、請求項３に記載したように、凹所
が、圧電アクチェータの側面に沿って延びる長い形態で
あることにより、一つの凹所で複数個の側面電極を絶縁
状態にできるから、この凹所を各側面電極の箇所ごとに
設ける場合よりも、低価格化を図ることができる。In particular, since the recess has a long form extending along the side surface of the piezoelectric actuator, a plurality of side electrodes can be insulated by one recess. The cost can be reduced as compared with the case where the recess is provided for each side electrode.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
について説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１６】図１〜図７は、第１の実施の形態を示す。1 to 7 show a first embodiment.
【００１７】この図において、符号１０は、金属板製の
キャビティープレートを、符号２０は、このキャビティ
ープレート１０に対して積層されるプレート型の圧電ア
クチェータを、そして、符号３０は、外部機器との接続
のために前記圧電アクチェータ２０に対して重ね接合さ
れるフレキシブルフラットケーブルを各々示す。In this figure, reference numeral 10 denotes a cavity plate made of a metal plate, reference numeral 20 denotes a plate-type piezoelectric actuator laminated on the cavity plate 10, and reference numeral 30 denotes an external device. 2 shows flexible flat cables which are overlap-joined to the piezoelectric actuator 20 for connection to the piezoelectric actuator.
【００１８】前記キャビティープレート１０は、図５及
び図６に示すように構成されている。The cavity plate 10 is configured as shown in FIGS.
【００１９】すなわち、ノズルプレート１１、二枚のマ
ニホールドプレート１２、スペーサプレート１３及びベ
ースプレート１４の四枚の薄い金属板を積層した構造で
ある。That is, it has a structure in which four thin metal plates of a nozzle plate 11, two manifold plates 12, a spacer plate 13 and a base plate 14 are laminated.
【００２０】前記ノズルプレート１１には、微小径のイ
ンク噴出用のノズル１５が、当該ノズルプレート１１に
おける長手方向の中心線１１ａに沿って、微小ピッチＰ
の間隔で多数個穿設されている。前記二枚のマニホール
ドプレート１２には、インク通路１２ａが、前記ノズル
１５の列の両側に沿って延びるように穿設され、このイ
ンク通路１２ａは、この両マニホールドプレート１２に
対する前記ノズルプレート１１及び前記スペーサプレー
ト１３の積層により密閉される構造になっている。The nozzle plate 11 is provided with nozzles 15 for ejecting ink having a small diameter along a longitudinal center line 11a of the nozzle plate 11 at a fine pitch P.
Many are drilled at intervals of. In the two manifold plates 12, ink passages 12a are formed so as to extend along both sides of the row of the nozzles 15, and the ink passages 12a are formed in the nozzle plate 11 and the nozzle plate 11 for the two manifold plates 12. The structure is sealed by the lamination of the spacer plates 13.
【００２１】また、前記ベースプレート１４には、その
長手中心線１４ａに対して直交する方向に延びる細幅の
圧力室１６の多数個が穿設されている。この各圧力室１
６は、その先端１６ａが前記長手中心線１４ａ上に位置
し、これから一つおきに互いに逆方向に延びるように交
互に設けられている。この各圧力室１６の先端１６ａ
は、前記ノズルプレート１１におけるノズル１５に、前
記スペーサプレート１３及び両マニホールドプレート１
２に穿設されている微小径の貫通孔１７を介して連通し
ている一方、前記各圧力室１６の他端１６ｂは、前記ス
ペーサプレート１３に穿設した貫通孔１８を介して、前
記両マニホールドプレート１２におけるインク通路１２
ａに連通している。The base plate 14 is provided with a plurality of narrow pressure chambers 16 extending in a direction perpendicular to the longitudinal center line 14a. Each of these pressure chambers 1
Numerals 6 are alternately provided such that their tips 16a are located on the longitudinal center line 14a and alternately extend in the opposite direction from the longitudinal center line 14a. The tip 16a of each pressure chamber 16
Is provided on the nozzle 15 of the nozzle plate 11 with the spacer plate 13 and the two manifold plates 1.
2, while the other end 16b of each of the pressure chambers 16 is connected to a corresponding one of the pressure chambers 16 through a through hole 18 formed in the spacer plate 13. Ink passage 12 in manifold plate 12
a.
【００２２】これにより、前記スペーサプレート１３及
び前記ベースプレート１４の一端部に穿設の供給孔１９
ａ，１９ｂから前記インク通路１２ａ内に流入したイン
クは、このインク通路１２ａから前記各圧力室１６内に
前記各貫通孔１８を通って分配されたのち、この各圧力
室１６内から前記貫通孔１７を通って、当該圧力室１６
に対応するノズル１５に至るという構成になっている。Thus, supply holes 19 formed at one end of the spacer plate 13 and the base plate 14 are formed.
a and 19b are distributed into the pressure chambers 16 from the ink passages 12a through the through holes 18, and then from the pressure chambers 16 to the ink holes 12a. 17 through the pressure chamber 16
Is reached.
【００２３】なお、前記各圧力室１６には、その他端１
６ｂに隣接する部分に板厚さを部分的に薄くした流量規
制用の絞り部１６ｃが設けられ、また、その略中央の部
分に補強のために板厚さを部分的に薄くした繋ぎ片１６
ｄが一体的に設けられている。Each of the pressure chambers 16 has another end 1.
6b is provided with a flow restricting throttle portion 16c whose thickness is partially reduced in a portion adjacent to 6b, and a connecting piece 16 whose thickness is partially reduced for reinforcement at a substantially central portion thereof.
d is provided integrally.
【００２４】一方、前記圧電アクチェータ２０は、図７
に示すように、三枚の圧電シート２１，２２，２３を積
層した構造で、前記各圧電シート２１，２２，２３のう
ち最下段の圧電シート２１の上面には、前記キャビティ
ープレート１０における各圧力室１６の箇所ごとに細幅
の駆動電極２４が、当該駆動電極２４の一端部２４ａが
前記圧電アクチェータ２０における両積層面２０ａ，２
０ｂと直交する左右両側面２０ｃに露出するように形成
されている。On the other hand, the piezoelectric actuator 20 is
As shown in FIG. 3, the three piezoelectric sheets 21, 22, and 23 are stacked, and the uppermost piezoelectric sheet 21 of the piezoelectric sheets 21, 22, and 23 is provided on the upper surface of the cavity plate 10. The drive electrode 24 having a narrow width is provided at each location of the pressure chamber 16, and one end 24 a of the drive electrode 24 is provided at both of the laminated surfaces 20 a and 2
It is formed so as to be exposed on both left and right side surfaces 20c orthogonal to 0b.
【００２５】次段の圧電シート２２の上面には、複数個
の圧力室１６の複数個に対して共通のコモン電極２５
が、当該コモン電極２５の一部２５ａが前記圧電アクチ
ェータ２０における左右両側面２０ｃに露出するように
形成されている。On the upper surface of the next stage piezoelectric sheet 22, a common electrode 25 common to a plurality of pressure chambers 16 is provided.
However, a portion 25 a of the common electrode 25 is formed so as to be exposed on both left and right side surfaces 20 c of the piezoelectric actuator 20.
【００２６】前記最上段の圧電シート２３の上面には、
前記各駆動電極２４の各々に対する表面電極２６と、前
記コモン電極２５に対する表面電極２７とが、前記圧電
アクチェータ２０における左右両側面２０ｃに沿って並
ぶように設けられている。On the upper surface of the uppermost piezoelectric sheet 23,
A surface electrode 26 for each of the drive electrodes 24 and a surface electrode 27 for the common electrode 25 are provided so as to be aligned along both left and right side surfaces 20 c of the piezoelectric actuator 20.
【００２７】なお、符号２４′及び２５′は、捨てパタ
ーンの電極である。Reference numerals 24 'and 25' indicate discarded pattern electrodes.
【００２８】また、前記圧電アクチェータ２０における
上下両積層面２０ａ，２０ｂと直交する左右両側面２０
ｃには、各駆動電極２４と、その表面電極２６とを電気
的に接続する側面電極２８が形成されていることに加え
て、前記コモン電極２５と、その表面電極２７とを電気
的に接続する側面電極２９が形成されている。The left and right side surfaces 20 orthogonal to the upper and lower laminated surfaces 20a and 20b of the piezoelectric actuator 20 are also provided.
c, a side electrode 28 for electrically connecting each drive electrode 24 and its surface electrode 26 is formed, and in addition, the common electrode 25 and the surface electrode 27 are electrically connected. Side electrode 29 is formed.
【００２９】なお、図示の実施の形態は、圧電アクチェ
ータ２０として、駆動電極２４を設けた圧電シート２１
と、コモン電極２５を設けた圧電シート２２とを一つの
対として、これを一対だけ積層した場合であったが、本
発明においては、これに限らず、駆動電極２４を設けた
圧電シート２１と、コモン電極２５を設けた圧電シート
２２とからなる対を複数対積層したものに構成しても良
い。In the illustrated embodiment, a piezoelectric sheet 21 provided with a drive electrode 24 is used as the piezoelectric actuator 20.
And the piezoelectric sheet 22 provided with the common electrode 25 as one pair, and this is a case where only one pair is laminated. However, the present invention is not limited to this, and the piezoelectric sheet 21 provided with the drive electrode 24 may be Alternatively, a plurality of pairs including the piezoelectric sheet 22 provided with the common electrode 25 may be stacked.
【００３０】そして、このような構成のプレート型の圧
電アクチェータ２０は、前記キャビティープレート１０
に対して、当該圧電アクチェータ２０における下側の積
層面２０ｂにより前記キャビティープレート１０におけ
る各圧力室１６を塞ぐように積層される。また、この圧
電アクチェータ２０における上側の積層面２０ａには、
前記フレキシブルフラットケーブル３０が重ね押圧され
ることにより、このフレキシブルフラットケーブル３０
における各種の配線パターン（図示せず）が、前記各表
面電極２６，２７に電気的に接合される。The plate-type piezoelectric actuator 20 having such a configuration is provided with the cavity plate 10.
On the other hand, the piezoelectric actuators 20 are laminated so that the pressure chambers 16 in the cavity plate 10 are closed by the lower laminated surface 20b of the piezoelectric actuator 20. Further, on the upper laminated surface 20a of the piezoelectric actuator 20,
When the flexible flat cable 30 is overlapped and pressed, the flexible flat cable 30
Are electrically connected to the surface electrodes 26 and 27, respectively.
【００３１】この構成において、前記圧電アクチェータ
２０における各駆動電極２４のうち任意の駆動電極２４
と、コモン電極２５との間に電圧を印加することによ
り、圧電シート２１，２２のうち前記電圧を印加した駆
動電極２４の部分に圧電による積層方向の歪みが発生
し、この歪みにて前記各駆動電極２４に対応する圧力室
１６の内容積が縮小されることにより、この圧力室１６
内のインクが、ノズル１５から液滴状に噴出して、所定
の印字が行われる。In this configuration, any one of the driving electrodes 24 in the piezoelectric actuator 20 is selected.
And a common electrode 25, a voltage is applied between the piezoelectric sheet 21 and the drive electrode 24 to which the voltage is applied. By reducing the internal volume of the pressure chamber 16 corresponding to the drive electrode 24, the pressure chamber 16
The ink inside is ejected from the nozzle 15 in the form of droplets, and predetermined printing is performed.
【００３２】ところで、前記圧電アクチェータ２０を、
前記キャビティープレート１０に対して、当該圧電アク
チェータ２０における下側の積層面２０ｂにより前記キ
ャビティープレート１０における各圧力室１６を塞ぐよ
うに積層する場合、この圧電アクチェータ２０の側面２
０ｃに形成されている各側面電極２８，２９が、金属製
のキャビティープレート１０に対して接触するか、或い
は接触するおそれが増大し、この各側面電極２８，２９
相互間に電気ショートが発生する。By the way, the piezoelectric actuator 20 is
When the piezoelectric actuator 20 is stacked on the cavity plate 10 such that the lower stacking surface 20b of the piezoelectric actuator 20 closes each pressure chamber 16 in the cavity plate 10, the side surface 2 of the piezoelectric actuator 20 is
Each of the side electrodes 28 and 29 formed at 0c is in contact with or more likely to contact the metal cavity plate 10, and the respective side electrodes 28 and 29 are increased.
An electrical short occurs between each other.
【００３３】そこで、前記金属製のキャビティープレー
ト１０におけるベースプレート１４のうち前記圧電アク
チェータ２０における左右両側面２０ｃに該当する部分
に、、各側面電極２８，２９をキャビティープレート１
０に対して非接触にする凹所の一つの実施の形態である
ところの打ち抜き孔４１，４２を、側面２０ｃに沿って
延びるように穿設する。Therefore, side electrodes 28 and 29 are provided on the base plate 14 of the metal cavity plate 10 at portions corresponding to the left and right side surfaces 20c of the piezoelectric actuator 20, respectively.
Punching holes 41 and 42, which are one embodiment of the recess that is not in contact with 0, are formed so as to extend along the side surface 20c.
【００３４】この打ち抜き孔４１，４２の穿設により、
前記圧電アクチェータ２０における左右両側面２０ｃの
各側面電極２８，２９がキャビティープレート１０に対
して接触することを回避できるから、この各側面電極２
８，２９の相互間に電気ショートが発生することを確実
に阻止できる。By piercing the punched holes 41 and 42,
Since the side electrodes 28 and 29 on the left and right side surfaces 20c of the piezoelectric actuator 20 can be prevented from contacting the cavity plate 10, the side electrodes 2
It is possible to reliably prevent an electric short circuit from occurring between 8, 8 and 29.
【００３５】この場合において、前記打ち抜き孔４１，
４２は、各側面電極２８，２９の箇所ごとに設ける構成
しても良いが、図示したように、側面２０ｃに沿って延
びる長溝孔に構成することにより、各側面電極２８，２
９の箇所ごとに設ける場合よりも、低価格化を図ること
ができる。また、前記各側面電極２８，２９をキャビテ
ィープレート１０に対して非接触にする凹所を、前記し
たように、ベースプレート１４に穿設した打ち抜き孔４
１，４２にすることにより、前記凹所を設けることが、
打ち抜きプレス加工によって容易にできる。In this case, the punched holes 41,
42 may be provided for each of the side electrodes 28 and 29. However, as shown in the figure, a long groove extending along the side surface 20c may be used to form the side electrodes 28 and 29.
The cost can be reduced as compared with the case where the unit is provided for every nine locations. Further, as described above, the recess for making the side electrodes 28 and 29 non-contact with the cavity plate 10 is formed in the punched hole 4 formed in the base plate 14.
1, 42, by providing the recess,
It can be easily done by stamping and pressing.
【００３６】次に、図８は、第２の実施の形態を示す。Next, FIG. 8 shows a second embodiment.
【００３７】この第２の実施の形態は、前記各側面電極
２８，２９をキャビティープレート１０に対して非接触
にする凹所として、前記したように、打ち抜き孔４１，
４２に構成することに代えて、キャビティープレート１
０におけるベースプレート１４に凹み形成した凹み溝４
３にしたものである。In the second embodiment, as described above, the recesses for making the side electrodes 28 and 29 out of contact with the cavity plate 10 are used as the recesses 41 and
42 instead of the cavity plate 1
0, the concave groove 4 formed in the base plate 14
3
【００３８】この凹み溝４３を、各側面電極２８，２９
のごとに設けるか、或いは、圧電アクチェータ２０の側
面２０ｃに沿って延びるように設けることにより、前記
と同様に、各側面電極２８，２９の相互間に電気ショー
トが発生することを確実に阻止できる。また、凹み溝４
３にしたことにより、前記打ち抜き孔を穿設する場合よ
りも強度の低下を回避できる。The recessed groove 43 is formed in each of the side electrodes 28 and 29.
In this case, or by extending the piezoelectric actuator 20 along the side surface 20c of the piezoelectric actuator 20, it is possible to reliably prevent an electric short circuit between the side electrodes 28 and 29 as described above. . In addition, the concave groove 4
By setting 3, it is possible to avoid a decrease in strength as compared with the case where the punched hole is formed.
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す分解斜視図で
ある。FIG. 1 is an exploded perspective view showing a first embodiment of the present invention.
【図２】前記図１においてキャビティープレートと圧電
アクチェータとの一端部を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing one end of a cavity plate and a piezoelectric actuator in FIG. 1;
【図３】前記図２のIII −III 視拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged sectional view taken along line III-III of FIG. 2;
【図４】前記図３においてキャビティープレートと圧電
アクチェータとを積層した状態の拡大断面図である。FIG. 4 is an enlarged sectional view showing a state in which a cavity plate and a piezoelectric actuator are stacked in FIG. 3;
【図５】前記キャビティープレートの分解斜視図であ
る。FIG. 5 is an exploded perspective view of the cavity plate.
【図６】前記キャビティープレートの部分的拡大斜視図
である。FIG. 6 is a partially enlarged perspective view of the cavity plate.
【図７】前記圧電アクチェータの分解斜視図である。FIG. 7 is an exploded perspective view of the piezoelectric actuator.
【図８】本発明の第２の実施の形態を示す部分的拡大斜
視図である。FIG. 8 is a partially enlarged perspective view showing a second embodiment of the present invention.
１０ キャビティープレート １１ ノズルプレート １２ マニホールドプレート １３ スペーサプレート １４ ベースプレート １５ ノズル １６ 圧力室 ２０ 圧電アクチェータ ２１，２２，２３ 圧電シート ２４ 駆動電極 ２５ コモン電極 ２６，２７ 表面電極 ２８，２９ 側面電極 ３０ フレキシブルフラットケー
ブル ４１，４２ 打ち抜き孔 ４３ 凹み溝DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Cavity plate 11 Nozzle plate 12 Manifold plate 13 Spacer plate 14 Base plate 15 Nozzle 16 Pressure chamber 20 Piezoelectric actuator 21, 22, 23 Piezoelectric sheet 24 Drive electrode 25 Common electrode 26, 27 Surface electrode 28, 29 Side electrode 30 Flexible flat cable 41, 42 punched hole 43 concave groove
Claims (4)
力室を備えたキャビティープレートと、前記各圧力室ご
とに形成された駆動電極及び隣接する圧力室に共通する
コモン電極により圧電シートを挟んで積層状に形成した
プレート型の圧電アクチェータとからなり、この圧電ア
クチェータは、前記キャビティープレートに、このキャ
ビティープレートにおける各圧力室を当該圧電アクチェ
ータにて塞ぐように積層され、且つ、前記圧電アクチェ
ータの積層面と直交する側面に、少なくとも前記各駆動
電極と電気的に導通する側面電極が設けられている圧電
式インクジェットプリンタヘッドにおいて、 前記キャビティープレートのうち前記圧電アクチェータ
が接触する面に、前記圧電アクチェータにおける各側面
電極をキャビティープレートに対して非接触にする凹所
が設けられていることを特徴とする圧電式インクジェッ
トプリンタヘッド。A piezoelectric sheet is formed by a plurality of nozzles, a cavity plate having pressure chambers for each nozzle, a driving electrode formed for each pressure chamber, and a common electrode common to adjacent pressure chambers. It is composed of a plate-type piezoelectric actuator formed so as to be sandwiched therebetween, and the piezoelectric actuator is laminated on the cavity plate so as to close each pressure chamber in the cavity plate with the piezoelectric actuator, and In a piezoelectric inkjet printer head in which at least a side electrode that is electrically connected to each of the drive electrodes is provided on a side surface orthogonal to a lamination surface of the piezoelectric actuator, a surface of the cavity plate that contacts the piezoelectric actuator is provided. The side electrodes of the piezoelectric actuator are each provided with a cavity plate. A piezoelectric ink jet printer head, wherein a concave portion is provided to make contact with the piezoelectric ink jet printer.
クチェータのうちキャビティープレートが接触する積層
面と反対側の積層面に、前記各側面電極の各々に電気的
に導通する表面電極が設けられていることを特徴とする
圧電式インクジェットプリンタヘッド。2. The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein a surface electrode which is electrically connected to each of said side electrodes is provided on a laminated surface of said piezoelectric actuator opposite to a laminated surface with which a cavity plate contacts. A piezoelectric ink jet printer head characterized in that:
凹所が、圧電アクチェータの側面に沿って延びる長い形
態であることを特徴とする圧電式インクジェットプリン
タヘッド。3. A piezoelectric ink jet printer head according to claim 1, wherein said recess has a long form extending along a side surface of the piezoelectric actuator.
て、前記凹所が、打ち抜き孔又は凹み溝の形態であるこ
とを特徴とする圧電式インクジェットプリンタヘッド。4. A piezoelectric ink jet printer head according to claim 1, wherein said recess is in the form of a punched hole or a recessed groove.
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