JP4289304B2 - Piezoelectric actuator, inkjet printer head, and manufacturing method thereof - Google Patents

Description

本発明は、圧電アクチュエータ、これを用いたインクジェットプリンタヘッド、及びこれらを製造する方法に関するものである。 The present invention relates to a piezoelectric actuator , an ink jet printer head using the same, and a method for manufacturing the same.

先行技術としての米国特許第５，４０２，１５９号明細書は、複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティープレートと、前記各圧力室ごとに形成された駆動電極及び隣接する圧力室に共通するコモン電極により圧電シートを挟んで積層したプレート型の圧電アクチュエータとからなり、この圧電アクチュエータを、前記キャビティープレートに、当該圧電アクチュエータにおける各駆動電極が各圧力室に対応するように積層してなる圧電式インクジェットプリンタヘッドを提案している。 U.S. Pat. No. 5,402,159 as prior art describes a cavity plate having a plurality of nozzles and pressure chambers for each nozzle, a drive electrode formed for each pressure chamber, and an adjacent one. A plate-type piezoelectric actuator having a piezoelectric sheet sandwiched between common electrodes common to the pressure chambers. The piezoelectric actuator corresponds to the cavity plate, and each drive electrode in the piezoelectric actuator corresponds to each pressure chamber. In this way, a piezoelectric ink jet printer head that is laminated is proposed.

特開２００３−４９９９９８号公報JP 2003-499998 A

この先行技術の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいては、前記米国特許第５，４０２，１５９号明細書におけるＦＩＧ．１５に記載されているように、前記圧電アクチュエータにおける表裏両表面と直交する側面に、少なくとも前記各駆動電極に電気的に導通する側面電極を形成して、前記各駆動電極を、この各側面電極を介して外部に接続するように構成している。 In this prior art piezoelectric ink jet printer head, the FIG. 15, side electrodes that are electrically connected to at least the drive electrodes are formed on the side surfaces orthogonal to the front and back surfaces of the piezoelectric actuator, and the drive electrodes are connected to the side electrodes. It is configured to connect to the outside via

本発明は、外部接続のための配線パターンと圧電アクチュエータの表面電極との電気的接合性を向上した圧電アクチュエータ、これを用いたインクジェットプリンタヘッド、及びこれらを製造する方法を提供することを技術的課題とするものである。 The present invention is technically to provide a piezoelectric actuator with an improved electrical connection of the surface electrode of the wiring pattern and the piezoelectric actuator for the external connection, an ink jet printer head using the same, and methods of making these It is to be an issue.

本請求項１にかかる発明の圧電アクチュエータは、電極間に圧電シートを挟んで積層して構成され、表面に、前記電極に電気的に接続された表面電極を備え、その表面電極に、外部機器に対する接続用の配線パターンが電気的に接続される圧電アクチュエータであって、前記配線パターンは、前記圧電アクチュエータに重ね接合されるフレキシブルフラットケーブルに設けられており、前記電極、圧電シート及び表面電極を焼成して一体化した積層体の、前記配線パターンが電気的に接続される表面電極上に、金属メッキ層が形成されている。 The piezoelectric actuator according to the first aspect of the present invention is configured by laminating a piezoelectric sheet between electrodes, and has a surface electrode electrically connected to the electrode on the surface, and the surface electrode includes an external device. The wiring pattern for connection to the piezoelectric actuator is electrically connected, and the wiring pattern is provided on a flexible flat cable that is lap-joined to the piezoelectric actuator, and the electrode, the piezoelectric sheet, and the surface electrode are connected to the piezoelectric actuator. A metal plating layer is formed on the surface electrode of the laminated body that is baked and integrated, to which the wiring pattern is electrically connected.

この圧電アクチュエータを使用するインクジェットプリンタヘッドとしては、複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティープレートと、前記各圧力室ごとの駆動電極及び隣接する圧力室に共通するコモン電極を圧電シートを挟んで積層しかつ前記駆動電極及びコモン電極に電気的に接続された表面電極を表面に備えた圧電アクチュエータと、前記表面電極に電気的に接続された、外部機器に対する接続用の配線パターンとからなり、前記配線パターンは、前記圧電アクチュエータの前記キャビティープレートとは反対側の面に重ね接合されるフレキシブルフラットケーブルに設けられており、前記圧電アクチュエータを、前記キャビティープレートに、当該圧電アクチュエータにおける各駆動電極が各圧力室に対応するように積層してなるインクジェットプリンタヘッドが好適である。 As an inkjet printer head using this piezoelectric actuator, a cavity plate having a plurality of nozzles and a pressure chamber for each nozzle, a drive electrode for each pressure chamber, and a common electrode common to adjacent pressure chambers A piezoelectric actuator provided on the surface with a surface electrode electrically connected to the drive electrode and the common electrode, and for connection to an external device electrically connected to the surface electrode The wiring pattern is provided on a flexible flat cable that is overlapped and bonded to a surface of the piezoelectric actuator opposite to the cavity plate, and the piezoelectric actuator is attached to the cavity plate. to respond to the drive electrodes each pressure chamber in the piezoelectric actuator Ink jet printer head formed by laminating such is preferred.

上記構成において、前記圧電アクチュエータは、好ましくは前記圧電シートに絶縁シートがさらに積層され、その絶縁シート上に前記表面電極が形成されている。さらに、好ましくは前記電極と前記表面電極とは、前記圧電シート及び絶縁シートの積層方向に形成された側面電極により電気的に接続されている。   In the above-described configuration, the piezoelectric actuator preferably has an insulating sheet further laminated on the piezoelectric sheet, and the surface electrode is formed on the insulating sheet. Further, preferably, the electrode and the surface electrode are electrically connected by a side electrode formed in the stacking direction of the piezoelectric sheet and the insulating sheet.

また、好ましくは、前記圧電シートを挟む前記電極のうち一方は、複数個の駆動電極であり、他方は駆動電極の複数個に共通のコモン電極であって、前記表面電極は、前記各駆動電極及びコモン電極にそれぞれ対応して、前記圧電アクチュエータの表面に配列して設けられている。アクチュエータにおける前記電極、圧電シート及び表面電極を焼成して一体化した積層体の、前記配線パターンが電気的に接続される表面電極上に、金属メッキ層が形成されている。 Preferably, one of the electrodes sandwiching the piezoelectric sheet is a plurality of drive electrodes, the other is a common electrode common to a plurality of drive electrodes, and the surface electrode is the drive electrode. And arranged on the surface of the piezoelectric actuator corresponding to the common electrode and the common electrode, respectively. A metal plating layer is formed on the surface electrode to which the wiring pattern is electrically connected, of the laminate in which the electrode, the piezoelectric sheet and the surface electrode in the actuator are integrated by firing.

前記圧電アクチュエータの製造方法としては、前記電極、圧電シート及び表面電極を焼成して一体化した後、前記配線パターンが電気的に接続される表面電極上に、金属メッキ層を電気メッキにより形成する。   As a method of manufacturing the piezoelectric actuator, after the electrodes, the piezoelectric sheet, and the surface electrode are sintered and integrated, a metal plating layer is formed on the surface electrode to which the wiring pattern is electrically connected by electroplating. .

さらに、好ましくは複数の前記表面電極の相互間を電気的に接続する細幅の電極パターンを形成し、前記表面電極に、前記細幅の電極パターンを介して通電して前記電気メッキを行い、その後、前記細幅の電極パターンを除去する。   Further, preferably, a narrow electrode pattern that electrically connects a plurality of the surface electrodes is formed, and the electroplating is performed by energizing the surface electrode through the narrow electrode pattern, Thereafter, the narrow electrode pattern is removed.

また、前記圧電アクチュエータそのものは、前記電極のうち一方としての複数個の駆動電極を形成した圧電シートと、前記電極の他方としての、駆動電極の複数個に共通のコモン電極を形成した圧電シートと、前記表面電極を形成した絶縁シートとを積層し、焼成して一体化する。   The piezoelectric actuator itself includes a piezoelectric sheet having a plurality of drive electrodes as one of the electrodes, and a piezoelectric sheet having a common electrode common to a plurality of drive electrodes as the other of the electrodes. The insulating sheet on which the surface electrode is formed is laminated and baked to be integrated.

さらに具体的には、一つの圧電アクチュエータを構成する圧電シートの複数個を並べて一体化した第１素材シートにおける表面のうち前記各圧電シートの箇所に複数個の駆動電極を形成する工程と、同じく一つの圧電アクチュエータを構成する圧電シートの複数個を並べて一体化した第２素材シートにおける表面のうち前記各圧電シートの箇所に前記駆動電極の複数個に対応するコモン電極を形成する工程と、一つの圧電アクチュエータを構成する絶縁シートの複数個を並べて一体化した第３素材シートにおける表面のうち前記各絶縁シートの箇所に前記各駆動電極の各々に対応する表面電極を形成する工程と、複数の前記表面電極の相互間を電気的に接続する細幅の電極パターンを形成する工程と、前記第１素材シート及び第２素材シートの少なくとも一枚ずつを交互に積層し、これに前記第３素材シートを積層して積層体を形成する工程と、前記駆動電極及びコモン電極の各一端部を、前記積層体の積層方向に延びる側面電極によって前記表面電極に電気的に接続する工程と、前記積層体を焼成する工程と、前記焼成工程の後、前記配線パターンが電気的に接続される前記表面電極に、前記細幅の電極パターンを介して通電して金属メッキ層を電気メッキにより形成する工程と、前記金属メッキ層を形成した後、前記積層体を前記各圧電アクチュエータ間の境界線に沿って前記各圧電アクチュエータごとに切断するとともに、該切断動作にともない前記細幅の電極パターンを除去する工程とからなる。 More specifically, in the same manner as the step of forming a plurality of drive electrodes at the location of each piezoelectric sheet in the surface of the first material sheet in which a plurality of piezoelectric sheets constituting one piezoelectric actuator are arranged and integrated. Forming a common electrode corresponding to a plurality of the drive electrodes at a position of each piezoelectric sheet in a surface of a second material sheet obtained by arranging and integrating a plurality of piezoelectric sheets constituting one piezoelectric actuator ; Forming a surface electrode corresponding to each of the drive electrodes at a location of each of the insulating sheets among the surfaces of the third material sheet integrated with a plurality of insulating sheets constituting one piezoelectric actuator ; Forming a narrow electrode pattern for electrically connecting the surface electrodes to each other; and the first material sheet and the second material sheet A step of alternately laminating at least one sheet and laminating the third material sheet thereon to form a laminated body, and a side surface extending in the laminating direction of the laminated body at each end of the drive electrode and the common electrode The step of electrically connecting to the surface electrode by an electrode, the step of firing the laminate, and the narrow electrode pattern on the surface electrode to which the wiring pattern is electrically connected after the firing step forming by electro-plating a metal plating layer is energized through the after forming the metal plating layer, cutting the laminate to each of said piezoelectric actuators along the boundary lines between the respective piezoelectric actuators And a step of removing the narrow electrode pattern in accordance with the cutting operation.

そして、インクジェットプリンタヘッドとしては、上記圧電アクチュエータを、前記キャビティープレートに、当該圧電アクチュエータにおける各駆動電極が各圧力室に対応するように積層し、前記フレキシブルフラットケーブルが重ね押圧されることにより、前記配線パターンと前記表面電極を電気的に接合することで製造される。 And as an ink jet printer head, the piezoelectric actuator is laminated on the cavity plate so that each drive electrode in the piezoelectric actuator corresponds to each pressure chamber, and the flexible flat cable is pressed repeatedly. It is manufactured by electrically joining the wiring pattern and the surface electrode .

本発明の圧電アクチュエータ及びインクジェットプリンタヘッドは、以上のように、電極、圧電シート及び表面電極を焼成して一体化した積層体の、前記配線パターンが電気的に接続される表面電極上に、金属メッキ層を形成するので、各配線パターンの、前記各表面電極に対する電気的接合性を大幅に向上できる。 As described above, the piezoelectric actuator and the ink jet printer head according to the present invention are formed by stacking the electrode, the piezoelectric sheet, and the surface electrode on the surface electrode to which the wiring pattern is electrically connected. Since the plating layer is formed, the electrical bondability of each wiring pattern to each surface electrode can be greatly improved.

以下、本発明の実施の形態を図面について説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１〜図７は、圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す。   1 to 7 show a piezoelectric ink jet printer head.

この図において、符号１０は、金属板製のキャビティープレートを、符号２０は、このキャビティープレート１０に対して積層されるプレート型の圧電アクチュエータを、そして、符号４０は、外部機器との接続のために前記圧電アクチュエータ２０に対して重ね接合されるフレキシブルフラットケーブルを各々示す。 In this figure, reference numeral 10 denotes a cavity plate made of a metal plate, reference numeral 20 denotes a plate-type piezoelectric actuator laminated on the cavity plate 10, and reference numeral 40 denotes a connection with an external device. For this reason, each of the flexible flat cables to be lap bonded to the piezoelectric actuator 20 is shown.

前記キャビティープレート１０は、図５及び図６に示すように構成されている。   The cavity plate 10 is configured as shown in FIGS.

すなわち、ノズルプレート１１、二枚のマニホールドプレート１２、スペーサプレート１３及びベースプレート１４の五枚の薄い金属板を積層した構造である。   That is, it is a structure in which five thin metal plates of a nozzle plate 11, two manifold plates 12, a spacer plate 13, and a base plate 14 are laminated.

前記ノズルプレート１１には、微小径のインク噴出用のノズル１５が、当該ノズルプレート１１における長手方向の中心線１１ａに沿って、微小ピッチＰの間隔で多数個穿設されている。前記二枚のマニホールドプレート１２には、インク通路１２ａが、前記ノズル１５の列の両側に沿って延びるように穿設され、このインク通路１２ａは、この両マニホールドプレート１２に対する前記ノズルプレート１１及び前記スペーサプレート１３の積層により密閉される構造になっている。   In the nozzle plate 11, a large number of nozzles 15 for ejecting ink with a small diameter are formed at intervals of a minute pitch P along the longitudinal center line 11 a of the nozzle plate 11. The two manifold plates 12 are formed with ink passages 12a extending along both sides of the row of the nozzles 15. The ink passages 12a are connected to the nozzle plates 11 and the two manifold plates 12, respectively. The structure is sealed by stacking the spacer plates 13.

また、前記ベースプレート１４には、その長手中心線１４ａに対して直交する方向に延びる細幅の圧力室１６の多数個が穿設されている。この各圧力室１６は、その先端１６ａが前記長手中心線１４ａ上に位置し、これから一つおきに互いに逆方向に延びるように交互に設けられている。この各圧力室１６の先端１６ａは、前記ノズルプレート１１におけるノズル１５に、前記スペーサプレート１３及び両マニホールドプレート１２に穿設されている微小径の貫通孔１７を介して連通している一方、前記各圧力室１６の他端１６ｂは、前記スペーサプレート１３に穿設した貫通孔１８を介して、前記両マニホールドプレート１２におけるインク通路１２ａに連通している。   The base plate 14 is provided with a plurality of narrow pressure chambers 16 extending in a direction perpendicular to the longitudinal center line 14a. The pressure chambers 16 are alternately provided so that the tips 16a thereof are located on the longitudinal center line 14a and every other chamber extends in opposite directions. The tip 16a of each pressure chamber 16 communicates with the nozzle 15 in the nozzle plate 11 through a small-diameter through hole 17 formed in the spacer plate 13 and both manifold plates 12. The other end 16 b of each pressure chamber 16 communicates with the ink passage 12 a in both the manifold plates 12 through a through hole 18 formed in the spacer plate 13.

これにより、前記スペーサプレート１３及び前記ベースプレート１４の一端部に穿設の供給孔１９ａ，１９ｂから前記インク通路１２ａ内に流入したインクは、このインク通路１２ａから前記各圧力室１６内に前記各貫通孔１８を通って分配されたのち、この各圧力室１６内から前記貫通孔１７を通って、当該圧力室１６に対応するノズル１５に至るという構成になっている。   As a result, the ink that has flowed into the ink passage 12a from the supply holes 19a and 19b formed at one end of the spacer plate 13 and the base plate 14 passes through the ink passage 12a into the pressure chambers 16 respectively. After being distributed through the holes 18, the nozzles 15 corresponding to the pressure chambers 16 are reached from the pressure chambers 16 through the through holes 17.

一方、前記圧電アクチュエータ２０は、図７に示すように、二枚の圧電シート２１，２２と、一枚の絶縁シート２３とを積層した構造で、前記各圧電シート２１，２２のうち最下段の圧電シート２１の上面には、前記キャビティープレート１０における各圧力室１６の箇所ごとに細幅の駆動電極２４が、当該駆動電極２４の一端部２４ａが前記圧電アクチュエータ２０における表裏両積層面２０ａ，２０ｂと直交する左右両側面２０ｃに露出するように形成されている。 On the other hand, the piezoelectric actuator 20 has a structure in which two piezoelectric sheets 21 and 22 and one insulating sheet 23 are laminated, as shown in FIG. On the upper surface of the piezoelectric sheet 21, a narrow driving electrode 24 is provided for each location of each pressure chamber 16 in the cavity plate 10, and one end 24 a of the driving electrode 24 is formed on both the front and back laminated surfaces 20 a of the piezoelectric actuator 20. It is formed so as to be exposed on the left and right side surfaces 20c orthogonal to 20b.

次段の圧電シート２２の上面には、複数個の圧力室１６の複数個に対して共通のコモン電極２５が、当該コモン電極２５の一端部２５ａが前記圧電アクチュエータ２０における左右両側面２０ｃに露出するように形成されている。 A common electrode 25 common to a plurality of the plurality of pressure chambers 16 is exposed on the upper surface of the piezoelectric sheet 22 at the next stage, and one end portion 25a of the common electrode 25 is exposed to the left and right side surfaces 20c of the piezoelectric actuator 20. It is formed to do.

前記最上段の絶縁シート２３の上面には、前記各駆動電極２４の各々に対する表面電極２６と、前記コモン電極２５に対する表面電極２７とが、前記圧電アクチュエータ２０における左右両側面２０ｃに沿って並ぶように設けられている。 On the upper surface of the uppermost insulating sheet 23, a surface electrode 26 for each of the drive electrodes 24 and a surface electrode 27 for the common electrode 25 are arranged along the left and right side surfaces 20 c of the piezoelectric actuator 20. Is provided.

なお、符号２８及び２９は、捨てパターンの電極である。   Note that reference numerals 28 and 29 are electrodes of a discarded pattern.

そして、前記圧電アクチュエータ２０における表裏両表面２０ａ，２０ｂと直交する左右両側面２０ｃには、前記各駆動電極２４の一端部２４ａの部位に、第１の凹み溝３０が、前記コモン電極２５の一端部２５ａの部位の部位に、第２の凹み溝３１が各々積層方向に延びるように設けられ、この各第１の凹み溝３０内には、前記各駆動電極２４とその各々の表面電極２６とを電気的に接続する側面電極３２が、前記第２の凹み溝３１内には、前記コモン電極２５と表面電極２７とを電気的に接続する側面電極３３が各々形成されている。 In the left and right side surfaces 20c perpendicular to the front and back surfaces 20a and 20b of the piezoelectric actuator 20, a first recessed groove 30 is formed at one end portion 24a of each drive electrode 24 and one end of the common electrode 25. Second recessed grooves 31 are provided in the portion 25a so as to extend in the stacking direction, and in each of the first recessed grooves 30, the drive electrodes 24 and the surface electrodes 26 thereof are provided. Side electrodes 32 that electrically connect the common electrode 25 and the surface electrode 27 are formed in the second recessed groove 31, respectively.

なお、図示の形態は、圧電アクチュエータ２０として、駆動電極２４を設けた圧電シート２１と、コモン電極２５を設けた圧電シート２２とを一つの対として、これを一対だけ積層した場合であったが、本発明においては、これに限らず、駆動電極２４を設けた圧電シート２１と、コモン電極２５を設けた圧電シート２２とからなる対を複数対積層したものに構成しても良い。 In the illustrated embodiment, the piezoelectric actuator 20 is a case where the piezoelectric sheet 21 provided with the drive electrode 24 and the piezoelectric sheet 22 provided with the common electrode 25 are paired, and only one pair is laminated. In the present invention, the present invention is not limited to this, and a plurality of pairs of the piezoelectric sheet 21 provided with the drive electrode 24 and the piezoelectric sheet 22 provided with the common electrode 25 may be laminated.

そして、このような構成のプレート型の圧電アクチュエータ２０は、前記キャビティープレート１０に対して、当該圧電アクチュエータ２０における各駆動電極２４が前記キャビティープレート１０における各圧力室１６の各々に対応するように積層される。また、この圧電アクチュエータ２０における上側の表面２０ａには、前記フレキシブルフラットケーブル４０が重ね押圧されることにより、このフレキシブルフラットケーブル４０における各種の配線パターン（図示せず）が、前記各表面電極２６，２７に電気的に接合される。 In the plate-type piezoelectric actuator 20 having such a configuration, each drive electrode 24 in the piezoelectric actuator 20 corresponds to each pressure chamber 16 in the cavity plate 10 with respect to the cavity plate 10. Is laminated. Further, when the flexible flat cable 40 is pressed against the upper surface 20a of the piezoelectric actuator 20, various wiring patterns (not shown) in the flexible flat cable 40 are transferred to the surface electrodes 26, 27 is electrically joined.

この構成において、前記圧電アクチュエータ２０における各駆動電極２４のうち任意の駆動電極２４と、コモン電極２５との間に電圧を印加することにより、圧電シート２１，２２のうち前記電圧を印加した駆動電極２４の部分に圧電による積層方向の歪みが発生し、この歪みにて前記各駆動電極２４に対応する圧力室１６の内容積が縮小されることにより、この圧力室１６内のインクが、ノズル１５から液滴状に噴出して、所定の印字が行われる。 In this configuration, by applying a voltage between an arbitrary drive electrode 24 among the drive electrodes 24 in the piezoelectric actuator 20 and the common electrode 25, the drive electrode to which the voltage is applied among the piezoelectric sheets 21 and 22. A distortion in the stacking direction due to piezoelectricity is generated in the portion 24, and the internal volume of the pressure chamber 16 corresponding to each drive electrode 24 is reduced by this distortion. Are ejected in the form of droplets, and predetermined printing is performed.

前記構成の圧電アクチュエータ２０においては、その側面２０ｃにおける各側面電極３２，３３は、当該側面２０ｃに設けた凹み溝３０，３１内に形成されていることにより、各側面電極３２，３３を、側面２０ｃから突出しないようにできるか、或いは、側面２０ｃからの突出を小さくすることができる。その結果、圧電アクチュエータ２０の製造中とか、この圧電アクチュエータ２０の組み立て中に、その各側面電極３２，３３にハンドラー又は治具等が接触することに起因して、前記各側面電極３２，３３を損傷することを確実に低減できる。 In the piezoelectric actuator 20 having the above-described configuration, the side electrodes 32 and 33 on the side surface 20c are formed in the recessed grooves 30 and 31 provided on the side surface 20c. The protrusion from 20c can be prevented, or the protrusion from the side face 20c can be reduced. As a result, during the manufacture of the piezoelectric actuator 20 or during the assembly of the piezoelectric actuator 20, the side electrodes 32 and 33 are caused to come into contact with the side electrodes 32 and 33 due to the contact of the handlers or jigs. Damage can be reliably reduced.

そして、前記した構成の圧電アクチュエータ２０は、以下に述べるような方法で製造される。 The piezoelectric actuator 20 having the above-described configuration is manufactured by the method described below.

図８〜図１３は、第１の製造方法を示す。   8 to 13 show a first manufacturing method.

この図８において、符号２１０は、前記一つの圧電アクチュエータ２０における圧電シート２１の複数個をマトリックス状に並べて一体化してなる第１素材シート（セラミックグリーンシート）を示し、この第１素材シート２１０の表面のうち各圧電シート２１の箇所に、複数個の駆動電極２４と、捨てパターンの電極２８とを、この材料である導電性ペーストをスクリーン印刷したのち乾燥することで形成する。 In FIG. 8, reference numeral 210 denotes a first material sheet (ceramic green sheet) formed by arranging and integrating a plurality of piezoelectric sheets 21 in the one piezoelectric actuator 20 in a matrix shape. A plurality of drive electrodes 24 and discarded pattern electrodes 28 are formed on the surface of each piezoelectric sheet 21 by screen-printing a conductive paste made of this material and then drying.

また、符号２２０は、同じく前記一つの圧電アクチュエータ２０における圧電シート２２の複数個をマトリックス状に並べて一体化してなる第２素材シート（セラミックグリーンシート）を示し、この第２素材シート２２０の表面のうち各圧電シート２２の箇所に、コモン電極２５と、捨てパターンの電極２９とを、その材料である導電性ペーストをスクリーン印刷したのち乾燥することで形成する。 Similarly, reference numeral 220 denotes a second material sheet (ceramic green sheet) obtained by arranging and integrating a plurality of piezoelectric sheets 22 in the one piezoelectric actuator 20 in a matrix shape. Among them, the common electrode 25 and the discarded pattern electrode 29 are formed on each piezoelectric sheet 22 by screen-printing a conductive paste as the material and then drying.

更にまた、符号２３０は、前記一つの圧電アクチュエータ２０における絶縁シート２３の複数個をマトリックス状に並べて一体化してなる第３素材シート（セラミックグリーンシート）を示し、この第３素材シート２３０の表面のうち各絶縁シート２３の箇所に、表面電極２６，２７を、その材料である導電性ペーストをスクリーン印刷したのち乾燥することで形成する。 Further, reference numeral 230 indicates a third material sheet (ceramic green sheet) formed by arranging and integrating a plurality of insulating sheets 23 in the one piezoelectric actuator 20 in a matrix, and on the surface of the third material sheet 230. Of these, the surface electrodes 26 and 27 are formed on the respective insulating sheets 23 by screen-printing a conductive paste as a material thereof and then drying.

なお、これら各素材シート２１０，２２０，２３０の周囲には、余白部が一体的に設けられている。   In addition, a blank portion is integrally provided around each of the material sheets 210, 220, and 230.

次いで、前記第１素材シート２１０，第２素材シート２２０及び第３素材シート２３０を、図９及び図１０に示すように、その順番で積層したのち、積層方向にプレスすることで一体化して、一枚の積層体Ａにする。   Next, as shown in FIGS. 9 and 10, the first material sheet 210, the second material sheet 220, and the third material sheet 230 are laminated in that order, and then integrated by pressing in the laminating direction, A single laminate A is formed.

次いで、この積層体Ａのうち各圧電シート２１，２２及び且つ絶縁シート２３間の境界線Ａ１，Ａ２上で、且つ、前記各表面電極２６，２７の箇所の各々に、貫通孔（スルーホール）３００，３１０を穿設して、この貫通孔３００，３１０内に、前記各駆動電極２４の一端部２４ａ及びコモン電極２５の一端部２５ａを露出する。   Next, through holes (through holes) are formed on the boundary lines A1 and A2 between the piezoelectric sheets 21 and 22 and the insulating sheet 23 in the laminated body A, and at the positions of the surface electrodes 26 and 27, respectively. 300 and 310 are bored, and one end 24 a of each drive electrode 24 and one end 25 a of the common electrode 25 are exposed in the through holes 300 and 310.

なお、これらの貫通孔３００，３１０は、ポンチによる打ち抜きにて穿設する。また、これらの貫通孔３００，３１０は、前記第１、第２及び第３素材シート２１０，２２０，２３０を積層する前において、これらの各々に予め穿設しておくようにしても良い。   The through holes 300 and 310 are formed by punching with a punch. In addition, these through holes 300 and 310 may be previously drilled in each of the first, second and third material sheets 210, 220 and 230 before being laminated.

次いで、前記積層体Ａを、高い温度で焼成したのち、高速回転するダイシングカッター（図示せず）にて各境界線Ａ１，Ａ２に沿って切断することにより、図１１及び図１２に示すように、各圧電アクチュエータ２０ごとに分割する。 Next, the laminate A is fired at a high temperature, and then cut along the boundary lines A1 and A2 with a dicing cutter (not shown) that rotates at high speed, as shown in FIGS. Then, each piezoelectric actuator 20 is divided.

この切断により圧電アクチュエータ２０の左右両側面２０ｃには、前記貫通孔２００，３１０による凹み溝３０，３１が積層方向に延びるように設けられる。 Due to this cutting, the left and right side surfaces 20c of the piezoelectric actuator 20 are provided with recessed grooves 30, 31 by the through holes 200, 310 so as to extend in the stacking direction.

次いで、前記圧電アクチュエータ２０の左右両側面２０ｃにおける各凹み溝３０３１内に、図１３に示すように、側面電極３２，３３を形成することにより、図１２に示す構造の圧電アクチュエータ２０の完成品にできる。 Next, as shown in FIG. 13, side electrodes 32 and 33 are formed in the respective recessed grooves 3031 on the left and right side surfaces 20c of the piezoelectric actuator 20, thereby completing the piezoelectric actuator 20 having the structure shown in FIG. it can.

なお、前記側面電極３２，３３は、各凹み溝３０，３１内に対する金属の真空蒸着又はスパッタリング、或いは導電性ペーストの塗布等にて形成することはいうまでもない。   Needless to say, the side electrodes 32 and 33 are formed by vacuum deposition or sputtering of metal in the recessed grooves 30 and 31 or application of a conductive paste.

次に、図１４〜図１６は、第２の形態による製造方法を示す。   Next, FIGS. 14 to 16 show a manufacturing method according to the second embodiment.

この製造方法は、前記積層体Ａに穿設した各貫通孔３００，３１０内に、図１４に示すように、導電性ペースト３２′，３３′を充填して乾燥し、次いで、前記積層体Ａを、高い温度で焼成したのち、各境界線Ａ１，Ａ２に沿って各圧電アクチュエータ２０ごとに切断するとき、前記各貫通孔３００，３１０内における前記導電性ペースト３２′，３３′を左右二つ割りに切断するものである。 In this manufacturing method, as shown in FIG. 14, conductive pastes 32 'and 33' are filled in the through holes 300 and 310 drilled in the laminate A and dried, and then the laminate A Is cut at each of the piezoelectric actuators 20 along the boundary lines A1 and A2, and then the conductive pastes 32 'and 33' in the through holes 300 and 310 are divided into left and right parts. To cut.

これにより、図１５及び図１６に示すように、圧電アクチュエータ２０の側面２０ｃにおける各側面電極３２，３３を、側面２０ｃに設けた凹み溝３０，３１内に形成することができる。 Accordingly, as shown in FIGS. 15 and 16, the side electrodes 32 and 33 on the side surface 20c of the piezoelectric actuator 20 can be formed in the recessed grooves 30 and 31 provided on the side surface 20c.

この方法によると、前記第１の製造方法にように、各側面電極３２，３３を、切断後における各圧電アクチュエータごとに形成する場合よりも低コストを図ることができる。 According to this method, as in the first manufacturing method, the cost can be reduced compared to the case where the side electrodes 32 and 33 are formed for each piezoelectric actuator after cutting.

更にまた、図１７〜図１９は、第３の形態による製造方法を示す。   Furthermore, FIGS. 17 to 19 show a manufacturing method according to the third embodiment.

この製造方法は、前記第３素材シート２３０の表面に、図１７に示すように、各表面電極２６，２７を、導電性ペーストのスクリーン印刷にて形成するとき同時に、この各表面電極２６，２７の相互間を電気的に接続する細幅Ｗ０の電極パターン３４０，３５０を、各境界線Ａ１，Ａ２に沿って延びるように形成し、この第３素材シート２３０を、前記第１及び第２素材シート２１０，２２０に対して積層して一体化する。   In this manufacturing method, as shown in FIG. 17, the surface electrodes 26 and 27 are formed on the surface of the third material sheet 230 by screen printing of a conductive paste. Electrode patterns 340 and 350 having a narrow width W0 that electrically connect each other are formed so as to extend along the boundary lines A1 and A2, and the third material sheet 230 is formed of the first and second materials. The sheets 210 and 220 are laminated and integrated.

次いで、貫通孔３００，３１０を穿設し、この貫通孔３００，３１０内に、図１８に示すように、導電性ペースト３２′，３３′を充填して乾燥したのち、前記積層体Ａを、高い温度で焼成する。   Next, through holes 300 and 310 are drilled, and the through holes 300 and 310 are filled with conductive pastes 32 'and 33' and dried, as shown in FIG. Bake at high temperature.

次いで、前記積層体Ａを、メッキ液中に浸漬し、この状態で各表面電極２６，２７に、細幅の電極パターン３４０，３５０を介して通電して電気メッキを行うことにより、図１９に示すように、前記各表面電極２６，２７の表面に、金属メッキ層２６′，２７′を形成する。   Next, the laminate A is immersed in a plating solution, and in this state, the surface electrodes 26 and 27 are energized through the narrow electrode patterns 340 and 350 to perform electroplating. As shown, metal plating layers 26 'and 27' are formed on the surfaces of the surface electrodes 26 and 27, respectively.

この金属メッキ層２６′，２７′は、例えば、ニッケルメッキ層を下地としてその上に金メッキ層を形成するもので、この金属メッキ層２６′，２７′の形成により、前記フレキシブルフラットケーブル４０における各配線パターンの、前記各表面電極２６，２７に対する電気的接合性を大幅に向上できる。   The metal plating layers 26 ′ and 27 ′ are formed, for example, by forming a gold plating layer thereon with a nickel plating layer as a base. By forming the metal plating layers 26 ′ and 27 ′, each of the flexible flat cables 40 is formed. The electrical bonding property of the wiring pattern to the surface electrodes 26 and 27 can be greatly improved.

次いで、前記積層体Ａを、高速回転するダイシングカッター（図示せず）にて各境界線Ａ１，Ａ２に沿って各圧電アクチュエータ２０ごとに切断する際して、この切断を行う前記ダイシングカッターの切削幅Ｗ１を、前記電気メッキのために形成した前記電極パターン３４０，３５０の幅寸法Ｗ０よりも大きくする。 Next, when the laminate A is cut for each piezoelectric actuator 20 along each boundary line A1, A2 with a dicing cutter (not shown) that rotates at high speed, the cutting of the dicing cutter that performs this cutting is performed. The width W1 is made larger than the width dimension W0 of the electrode patterns 340 and 350 formed for the electroplating.

これにより、積層体Ａを各圧電アクチュエータ２０ごとに切断すると同時に、前記電極パターン３４０，３５０を除去することができるから、各表面電極２６，２７及び各側面電極３２，３３の相互間を電気的に独立化できるのである。 Thus, since the laminate A can be cut for each piezoelectric actuator 20 and the electrode patterns 340 and 350 can be removed simultaneously, the surface electrodes 26 and 27 and the side electrodes 32 and 33 are electrically connected to each other. Can be independent.

なお、この第３の実施の形態による製造方法においては、各側面電極３２，３３を、貫通孔３００，３１０内への導電性ペーストの充填にて形成することに代えて、前記第１の実施の形態による製造方法と同様に、各圧電アクチュエータ２０ごとに切断したあとで、凹み溝３０，３１内に金属の真空蒸着等にて形成するようにしても良いことはいうまでもない。 In the manufacturing method according to the third embodiment, instead of forming the side electrodes 32 and 33 by filling the through holes 300 and 310 with the conductive paste, the first embodiment is performed. Similarly to the manufacturing method according to the embodiment, it is needless to say that the piezoelectric actuators 20 may be formed in the recessed grooves 30 and 31 by metal vacuum deposition or the like after being cut.

圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows a piezoelectric inkjet printer head. 前記図１においてキャビティープレートと圧電アクチュエータとの一端部を示す拡大斜視図である。FIG. 2 is an enlarged perspective view showing one end portions of a cavity plate and a piezoelectric actuator in FIG. 1. 前記図２のIII −III 視拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged sectional view taken along the line III-III in FIG. 2. 前記図３においてキャビティープレートと圧電アクチュエータとを積層した状態の拡大断面図である。FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of a state where a cavity plate and a piezoelectric actuator are stacked in FIG. 3. 前記キャビティープレートの分解斜視図である。2 is an exploded perspective view of the cavity plate. FIG. 前記キャビティープレートの部分的拡大斜視図である。FIG. 4 is a partially enlarged perspective view of the cavity plate. 前記圧電アクチュエータの分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of the piezoelectric actuator . 第１の製造方法における各素材シートを示す斜視図である。It is a perspective view which shows each raw material sheet | seat in a 1st manufacturing method. 前記各素材シートの積層体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the laminated body of each said raw material sheet. 前記図９のＸ−Ｘ視拡大断面図である。FIG. 10 is an enlarged sectional view taken along line XX of FIG. 9. 前記図９の積層体から分割した圧電アクチュエータを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the piezoelectric actuator divided | segmented from the laminated body of the said FIG. 前記図１１のXII −XII 視断面図である。FIG. 12 is a sectional view taken along line XII-XII in FIG. 11. 前記圧電アクチュエータに側面電極を形成したときの断面図である。It is sectional drawing when a side electrode is formed in the said piezoelectric actuator . 第２の製造方法における積層体を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the laminated body in a 2nd manufacturing method. 前記図１４の積層体から分割した圧電アクチュエータを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the piezoelectric actuator divided | segmented from the laminated body of the said FIG. 前記図１５のXVI −XVI 視断面図である。FIG. 16 is a cross-sectional view taken along the line XVI-XVI in FIG. 15. 第３の製造方法における積層体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the laminated body in a 3rd manufacturing method. 前記図１７のXVIII −XVIII 視断面図である。FIG. 18 is a cross-sectional view taken along the line XVIII-XVIII in FIG. 17. 前記第３の製造方法において金属メッキ層を形成した状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state in which the metal plating layer was formed in the said 3rd manufacturing method.

１０ キャビティープレート
１５ ノズル
１６ 圧力室
２０ 圧電アクチュエータ
２１，２２ 圧電シート
２３ 絶縁シート
２４ 駆動電極
２５ コモン電極
２６，２７ 表面電極
２６′，２７′ 金属メッキ層
３２，３３ 側面電極
３２′，３３′ 導電性ペースト
４０ フレキシブルフラットケーブル
２１０ 第１素材シート
２２０ 第２素材シート
２３０ 第３素材シートＡ 積層体
Ａ１，Ａ２ 境界線
３００，３１０ 貫通孔
３４０，３５０ 細幅の電極パターン DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Cavity plate 15 Nozzle 16 Pressure chamber 20 Piezoelectric actuator 21, 22 Piezoelectric sheet 23 Insulating sheet 24 Drive electrode 25 Common electrode 26, 27 Surface electrode 26 ', 27' Metal plating layer 32, 33 Side electrode 32 ', 33' Conductivity Paste 40 Flexible flat cable 210 First material sheet 220 Second material sheet 230 Third material sheet A Laminate A1, A2 Boundary lines 300, 310 Through holes 340, 350 Narrow electrode pattern

Claims (15)

電極間に圧電シートを挟んで積層して構成され、表面に、前記電極に電気的に接続された表面電極を備え、その表面電極に、外部機器に対する接続用の配線パターンが電気的に接続される圧電アクチュエータであって、
前記配線パターンは、前記圧電アクチュエータに重ね接合されるフレキシブルフラットケーブルに設けられており、
前記電極、圧電シート及び表面電極を焼成して一体化した積層体の、前記配線パターンが電気的に接続される表面電極上に、金属メッキ層が形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 It is composed by laminating a piezoelectric sheet between electrodes, and has a surface electrode electrically connected to the electrode on the surface, and a wiring pattern for connection to an external device is electrically connected to the surface electrode. A piezoelectric actuator,
The wiring pattern is provided on a flexible flat cable that is lap-joined to the piezoelectric actuator,
A piezoelectric actuator, wherein a metal plating layer is formed on a surface electrode to which the wiring pattern is electrically connected, of a laminate obtained by firing and integrating the electrode, the piezoelectric sheet, and the surface electrode. 前記圧電シートに絶縁シートがさらに積層され、その絶縁シート上に前記表面電極が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータ。   The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein an insulating sheet is further laminated on the piezoelectric sheet, and the surface electrode is formed on the insulating sheet. 前記電極と前記表面電極とは、前記圧電シート及び絶縁シートの積層方向に形成された側面電極により電気的に接続されていることを特徴とする請求項２に記載の圧電アクチュエータ。   The piezoelectric actuator according to claim 2, wherein the electrode and the surface electrode are electrically connected by a side electrode formed in a stacking direction of the piezoelectric sheet and the insulating sheet. 前記圧電シートを挟む前記電極のうち一方は、複数個の駆動電極であり、他方は駆動電極の複数個に共通のコモン電極であって、前記表面電極は、前記各駆動電極及びコモン電極にそれぞれ対応して、前記圧電アクチュエータの表面に配列して設けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。 One of the electrodes sandwiching the piezoelectric sheet is a plurality of drive electrodes, and the other is a common electrode common to the plurality of drive electrodes, and the surface electrode is connected to each of the drive electrodes and the common electrode, respectively. Correspondingly, the piezoelectric actuator according to any one of claims 1 to 3 , wherein the piezoelectric actuator is arranged on the surface of the piezoelectric actuator. 複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティープレートと、前記各圧力室ごとの駆動電極及び隣接する圧力室に共通するコモン電極を圧電シートを挟んで積層しかつ前記駆動電極及びコモン電極に電気的に接続された表面電極を表面に備えた圧電アクチュエータと、前記表面電極に電気的に接続された、外部機器に対する接続用の配線パターンとからなり、前記圧電アクチュエータを、前記キャビティープレートに、当該圧電アクチュエータおける各駆動電極が各圧力室に対応するように積層してなるインクジェットプリンタヘッドであって、
前記配線パターンは、前記圧電アクチュエータの前記キャビティープレートとは反対側の面に重ね接合されるフレキシブルフラットケーブルに設けられており、
前記圧電アクチュエータにおける前記電極、圧電シート及び表面電極を焼成して一体化した積層体の、前記配線パターンが電気的に接続される表面電極上に、金属メッキ層が形成されており、前記配線パターンと前記表面電極が電気的に接合されていることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。 A plurality of nozzles and a cavity plate having a pressure chamber for each nozzle, a driving electrode for each pressure chamber, and a common electrode common to adjacent pressure chambers are stacked with a piezoelectric sheet interposed therebetween, and the driving electrode and a piezoelectric actuator provided with the electrical connection surface electrode surface to a common electrode, the surface electrode is electrically connected to, composed of a wiring pattern for connection to an external device, the piezoelectric actuator, the An ink jet printer head in which each drive electrode in the piezoelectric actuator is laminated on a cavity plate so as to correspond to each pressure chamber,
The wiring pattern is provided on a flexible flat cable that is overlapped and bonded to the surface of the piezoelectric actuator opposite to the cavity plate,
A metal plating layer is formed on a surface electrode to which the wiring pattern is electrically connected in a laminate obtained by firing and integrating the electrode, the piezoelectric sheet and the surface electrode in the piezoelectric actuator, and the wiring pattern An ink jet printer head , wherein the surface electrode is electrically joined . 前記圧電アクチュエータは、前記圧電シートの前記キャビティープレートとは反対側に絶縁シートがさらに積層され、その絶縁シート上に前記表面電極が形成されていることを特徴とする請求項５に記載のインクジェットプリンタヘッド。 6. The inkjet according to claim 5 , wherein the piezoelectric actuator further includes an insulating sheet laminated on a side of the piezoelectric sheet opposite to the cavity plate, and the surface electrode is formed on the insulating sheet. Printer head. 前記圧力室は２列に形成され、前記駆動電極に対応する前記表面電極及び前記コモン電極に対応する前記表面電極は２列に形成されていることを特徴とする請求項５または６に記載のインクジェットプリンタヘッド。 The pressure chamber is formed in two rows, according to claim 5 or 6 wherein the surface electrode and the surface electrode corresponding to the common electrode is characterized in that it is formed in two rows corresponding to the driving electrode Inkjet printer head. 電極間に圧電シートを挟んで積層して構成され、表面に、前記電極に電気的に接続された表面電極を備え、その表面電極に、外部機器に対する接続用の配線パターンが電気的に接続される圧電アクチュエータの製造方法において、
前記配線パターンは、前記圧電アクチュエータに重ね接合されるフレキシブルフラットケーブルに設けられており、
前記電極、圧電シート及び表面電極を焼成して一体化した後、前記配線パターンが電気的に接続される表面電極上に、金属メッキ層を電気メッキにより形成することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 It is composed by laminating a piezoelectric sheet between electrodes, and has a surface electrode electrically connected to the electrode on the surface, and a wiring pattern for connection to an external device is electrically connected to the surface electrode. In the manufacturing method of the piezoelectric actuator
The wiring pattern is provided on a flexible flat cable that is lap-joined to the piezoelectric actuator,
After the electrodes, the piezoelectric sheet and the surface electrode are fired and integrated, a metal plating layer is formed by electroplating on the surface electrode to which the wiring pattern is electrically connected. Method. 複数の前記表面電極の相互間を電気的に接続する細幅の電極パターンを形成し、前記表面電極に、前記細幅の電極パターンを介して通電して前記電気メッキを行い、その後、前記細幅の電極パターンを除去することを特徴とする請求項８に記載の圧電アクチュエータの製造方法。 A narrow electrode pattern for electrically connecting a plurality of the surface electrodes is formed, and the electroplating is performed by energizing the surface electrode through the narrow electrode pattern, and then the fine electrode pattern is formed. 9. The method of manufacturing a piezoelectric actuator according to claim 8 , wherein the electrode pattern having a width is removed. 前記電極のうち一方としての複数個の駆動電極を形成した圧電シートと、前記電極の他方としての、駆動電極の複数個に共通のコモン電極を形成した圧電シートと、前記表面電極を形成した絶縁シートとを積層し、焼成して一体化することを特徴とする請求項８または９に記載の圧電アクチュエータの製造方法。 A piezoelectric sheet having a plurality of drive electrodes as one of the electrodes, a piezoelectric sheet having a common electrode common to a plurality of drive electrodes as the other of the electrodes, and an insulation having the surface electrode formed The method for manufacturing a piezoelectric actuator according to claim 8 or 9 , wherein the sheet is laminated and fired to be integrated. 電極間に圧電シートを挟んで積層して構成され、表面に、前記電極に電気的に接続された表面電極を備え、その表面電極に、外部機器に対する接続用の配線パターンが電気的に接続される圧電アクチュエータの製造方法において、
前記配線パターンは、前記圧電アクチュエータに重ね接合されるフレキシブルフラットケーブルに設けられており、
一つの圧電アクチュエータを構成する圧電シートの複数個を並べて一体化した第１素材シートにおける表面のうち前記各圧電シートの箇所に複数個の駆動電極を形成する工程と、
同じく一つの圧電アクチュエータを構成する圧電シートの複数個を並べて一体化した第２素材シートにおける表面のうち前記各圧電シートの箇所に前記駆動電極の複数個に対応するコモン電極を形成する工程と、
一つの圧電アクチュエータを構成する絶縁シートの複数個を並べて一体化した第３素材シートにおける表面のうち前記各絶縁シートの箇所に前記各駆動電極の各々に対応する表面電極を形成する工程と、
複数の前記表面電極の相互間を電気的に接続する細幅の電極パターンを形成する工程と、
前記第１素材シート及び前記第２素材シートの少なくとも一枚ずつを交互に積層し、これに前記第３素材シートを積層して積層体を形成する工程と、
前記駆動電極及びコモン電極の各一端部を、前記積層体の積層方向に延びる側面電極によって前記表面電極に電気的に接続する工程と、
前記積層体を焼成する工程と、
前記焼成工程の後、前記配線パターンが電気的に接続される前記表面電極に、前記細幅の電極パターンを介して通電して金属メッキ層を電気メッキにより形成する工程と、
前記金属メッキ層を形成した後、前記積層体を前記各圧電アクチュエータ間の境界線に沿って前記各圧電アクチュエータごとに切断するとともに、該切断動作にともない前記細幅の電極パターンを除去する工程と
からなることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 It is composed by laminating a piezoelectric sheet between electrodes, and has a surface electrode electrically connected to the electrode on the surface, and a wiring pattern for connection to an external device is electrically connected to the surface electrode. In the manufacturing method of the piezoelectric actuator
The wiring pattern is provided on a flexible flat cable that is lap-joined to the piezoelectric actuator,
A step of forming a plurality of drive electrodes at the location of each of the piezoelectric sheets in the surface of the first material sheet in which a plurality of piezoelectric sheets constituting one piezoelectric actuator are arranged and integrated;
Forming a common electrode corresponding to a plurality of the drive electrodes at the location of each piezoelectric sheet of the surface of the second material sheet in which the plurality of piezoelectric sheets constituting the same piezoelectric actuator are arranged and integrated;
Forming a surface electrode corresponding to each of the drive electrodes at a location of each of the insulating sheets among the surfaces of the third material sheet integrated with a plurality of insulating sheets constituting one piezoelectric actuator ; and
Forming a narrow electrode pattern for electrically connecting the surface electrodes to each other;
Alternately laminating at least one of the first material sheet and the second material sheet, and laminating the third material sheet to form a laminate;
Electrically connecting one end of each of the drive electrode and the common electrode to the surface electrode by a side electrode extending in the stacking direction of the stacked body;
Firing the laminate;
After the firing step, forming a metal plating layer by electroplating by energizing the surface electrode to which the wiring pattern is electrically connected via the narrow electrode pattern;
After forming the metal plating layer, cutting the laminated body for each piezoelectric actuator along a boundary line between the piezoelectric actuators, and removing the narrow electrode pattern in accordance with the cutting operation; A method for manufacturing a piezoelectric actuator comprising: 複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティープレートと、前記各圧力室ごとの駆動電極及び隣接する圧力室に共通するコモン電極を圧電シートを挟んで積層しかつ前記駆動電極及びコモン電極に電気的に接続された表面電極を表面に備えた圧電アクチュエータと、前記表面電極に電気的に接続された、外部機器に対する接続用の配線パターンを有する前記圧電アクチュエータに重ね接合されるフレキシブルフラットケーブルとからなり、前記圧電アクチュエータを、前記キャビティープレートに、当該圧電アクチュエータにおける各駆動電極が各圧力室に対応するように積層するインクジェットプリンタヘッドの製造方法であって、
前記圧電アクチュエータにおける前記駆動電極、コモン電極、圧電シート及び表面電極を焼成して一体化した積層体を形成した後、前記配線パターンが電気的に接続される表面電極上に、金属メッキ層を形成し、その後、前記配線パターンと前記表面電極を電気的に接合することを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法。 A plurality of nozzles and a cavity plate having a pressure chamber for each nozzle, a driving electrode for each pressure chamber, and a common electrode common to adjacent pressure chambers are stacked with a piezoelectric sheet interposed therebetween, and the driving electrode And a piezoelectric actuator having a surface electrode electrically connected to the common electrode on the surface and a piezoelectric actuator having a wiring pattern for connection to an external device electrically connected to the surface electrode. A method of manufacturing an inkjet printer head comprising a flexible flat cable , wherein the piezoelectric actuator is laminated on the cavity plate so that each drive electrode in the piezoelectric actuator corresponds to each pressure chamber,
After firing and integrating the drive electrode, common electrode, piezoelectric sheet and surface electrode in the piezoelectric actuator to form a laminated body, a metal plating layer is formed on the surface electrode to which the wiring pattern is electrically connected And thereafter electrically connecting the wiring pattern and the surface electrode . 複数の前記表面電極の相互間を電気的に接続する細幅の電極パターンを形成し、前記表面電極に、前記細幅の電極パターンを介して通電して前記電気メッキを行い、その後、前記細幅の電極パターンを除去することを特徴とする請求項１２に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。 A narrow electrode pattern for electrically connecting a plurality of the surface electrodes is formed, and the electroplating is performed by energizing the surface electrode through the narrow electrode pattern, and then the fine electrode pattern is formed. 13. The method of manufacturing an ink jet printer head according to claim 12 , wherein the electrode pattern having a width is removed. 前記駆動電極を形成した圧電シートと、前記コモン電極を形成した圧電シートと、前記表面電極を形成した絶縁シートとを積層し、焼成して一体化することを特徴とする請求項１２または１３に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。 A piezoelectric sheet forming the drive electrodes, and the piezoelectric sheet forming the common electrode, wherein laminating the insulating sheet to form a surface electrode, be integrated by firing to claim 12 or 13, characterized in A method for manufacturing the inkjet printer head according to claim. 複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティープレートと、前記各圧力室ごとの駆動電極及び隣接する圧力室に共通するコモン電極を圧電シートを挟んで積層しかつ前記駆動電極及びコモン電極に電気的に接続された表面電極を表面に備えた圧電アクチュエータと、前記表面電極に電気的に接続された、外部機器に対する接続用の配線パターンを有する前記圧電アクチュエータに重ね接合されるフレキシブルフラットケーブルとからなるインクジェットプリンタヘッドの製造方法であって、
一つの圧電アクチュエータを構成する圧電シートの複数個を並べて一体化した第１素材シートにおける表面のうち前記各圧電シートの箇所に複数個の駆動電極を形成する工程と、
同じく一つの圧電アクチュエータを構成する圧電シートの複数個を並べて一体化した第２素材シートにおける表面のうち前記各圧電シートの箇所に前記駆動電極の複数個に対応するコモン電極を形成する工程と、
一つの圧電アクチュエータを構成する絶縁シートの複数個を並べて一体化した第３素材シートにおける表面のうち前記各絶縁シートの箇所に前記各駆動電極の各々に対応する表面電極を形成する工程と、
複数の前記表面電極の相互間を電気的に接続する細幅の電極パターンを形成する工程と、
前記第１素材シート及び第２素材シートの少なくとも一枚ずつを交互に積層し、これに前記第３素材シートを積層して積層体を形成する工程と、
前記駆動電極及びコモン電極の各一端部を、前記積層体の積層方向に延びる側面電極によって前記表面電極に電気的に接続する工程と、
前記積層体を焼成する工程と、
前記焼成工程の後、前記配線パターンが電気的に接続される前記表面電極に、前記細幅の電極パターンを介して通電して金属メッキ層を電気メッキにより形成する工程と、
前記金属メッキ層を形成した後、前記積層体を前記各圧電アクチュエータ間の境界線に沿って前記各圧電アクチュエータごとに切断するとともに、該切断動作にともない前記細幅の電極パターンを除去する工程と
前記圧電アクチュエータを、前記キャビティープレートに、当該圧電アクチュエータにおける各駆動電極が各圧力室に対応するように積層する工程と
前記圧電アクチュエータに前記フレキシブルフラットケーブルを重ね押圧することにより、前記配線パターンと前記表面電極を電気的に接合する工程と、
からなることを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法。

A plurality of nozzles and a cavity plate having a pressure chamber for each nozzle, a driving electrode for each pressure chamber, and a common electrode common to adjacent pressure chambers are stacked with a piezoelectric sheet interposed therebetween, and the driving electrode And a piezoelectric actuator having a surface electrode electrically connected to the common electrode on the surface and a piezoelectric actuator having a wiring pattern for connection to an external device electrically connected to the surface electrode. An inkjet printer head manufacturing method comprising a flexible flat cable ,
A step of forming a plurality of drive electrodes at the location of each of the piezoelectric sheets in the surface of the first material sheet in which a plurality of piezoelectric sheets constituting one piezoelectric actuator are arranged and integrated;
Forming a common electrode corresponding to a plurality of the drive electrodes at the location of each piezoelectric sheet of the surface of the second material sheet in which the plurality of piezoelectric sheets constituting the same piezoelectric actuator are arranged and integrated;
Forming a surface electrode corresponding to each of the drive electrodes at a location of each of the insulating sheets among the surfaces of the third material sheet integrated with a plurality of insulating sheets constituting one piezoelectric actuator ; and
Forming a narrow electrode pattern for electrically connecting the surface electrodes to each other;
Alternately laminating at least one of the first material sheet and the second material sheet, and laminating the third material sheet to form a laminate;
Electrically connecting one end of each of the drive electrode and the common electrode to the surface electrode by a side electrode extending in the stacking direction of the stacked body;
Firing the laminate;
After the firing step, forming a metal plating layer by electroplating by energizing the surface electrode to which the wiring pattern is electrically connected via the narrow electrode pattern;
After forming the metal plating layer, cutting the laminated body for each piezoelectric actuator along a boundary line between the piezoelectric actuators , and removing the narrow electrode pattern in accordance with the cutting operation; Laminating the piezoelectric actuator on the cavity plate such that each drive electrode of the piezoelectric actuator corresponds to each pressure chamber;
Electrically bonding the wiring pattern and the surface electrode by overlappingly pressing the flexible flat cable to the piezoelectric actuator;
An ink jet printer head manufacturing method comprising:

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