JP2001233451A - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
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- JP2001233451A JP2001233451A JP2000045539A JP2000045539A JP2001233451A JP 2001233451 A JP2001233451 A JP 2001233451A JP 2000045539 A JP2000045539 A JP 2000045539A JP 2000045539 A JP2000045539 A JP 2000045539A JP 2001233451 A JP2001233451 A JP 2001233451A
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- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
- B65G49/066—Transporting devices for sheet glass being suspended; Suspending devices, e.g. clamps, supporting tongs
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
- B65G2249/045—Details of suction cups suction cups
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 大面積の基板を撓ませることなく確実に安定
して搬送することができる基板搬送装置を提供する。 【解決手段】 基板搬送装置１１を、基部１２から垂設
された固定アーム１３と、水平方向のほぼ一直線上に位
置するように固定アームに設けられた複数の吸引保持部
１４とを備えたもの、さらに、基部から各固定アームの
吸引保持部配設面に対向するように可動アーム１６を垂
設し、可動アームは固定アームの吸引保持部配設面の対
向位置から、固定アームから離れるようにほぼ水平位置
まで回動可能であり、かつ、可動アームは固定アームの
吸引保持部配設面と対向する面に押圧ピン１７、あるい
は、吸引保持部を備えるものとする。
して搬送することができる基板搬送装置を提供する。 【解決手段】 基板搬送装置１１を、基部１２から垂設
された固定アーム１３と、水平方向のほぼ一直線上に位
置するように固定アームに設けられた複数の吸引保持部
１４とを備えたもの、さらに、基部から各固定アームの
吸引保持部配設面に対向するように可動アーム１６を垂
設し、可動アームは固定アームの吸引保持部配設面の対
向位置から、固定アームから離れるようにほぼ水平位置
まで回動可能であり、かつ、可動アームは固定アームの
吸引保持部配設面と対向する面に押圧ピン１７、あるい
は、吸引保持部を備えるものとする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板搬送装置に係
り、特に大面積の基板を撓みなく搬送でき、省スペース
化の可能な基板搬送装置に関する。
り、特に大面積の基板を撓みなく搬送でき、省スペース
化の可能な基板搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、フラットディスプレイとして液晶
表示装置、プラズマ表示装置等が実用化されており、こ
れらのフラットディスプレイは基板上に種々の加工を行
うことにより作製される。そして、フラットディスプレ
イにおける大サイズ化、および、製造コスト低減を目的
とした製造ラインの高生産化に対応するために、基板の
大面積化が要求されている。
表示装置、プラズマ表示装置等が実用化されており、こ
れらのフラットディスプレイは基板上に種々の加工を行
うことにより作製される。そして、フラットディスプレ
イにおける大サイズ化、および、製造コスト低減を目的
とした製造ラインの高生産化に対応するために、基板の
大面積化が要求されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな基板の大面積化に対応して製造ラインを構築すると
なると、各工程の装置が大型化されるとともに、従来の
水平搬送方式による各工程間の基板搬送が問題となる。
すなわち、フラットディスプレイを構成する基板は、例
えば、ガラス基板等のように良好な光透過性を備えるも
のであるが、厚みの面から剛性が低く、周辺部を保持し
て水平状態で搬送する従来の水平搬送方式で搬送した場
合、大面積のガラス基板ほど自重により撓みが生じて搬
送が困難になるという問題がある。また、従来の水平搬
送方式では、基板の大面積化が進むほど、搬送装置の大
型化が必要となり、同時に、搬送に要するスペースも大
きくなるという問題もある。
うな基板の大面積化に対応して製造ラインを構築すると
なると、各工程の装置が大型化されるとともに、従来の
水平搬送方式による各工程間の基板搬送が問題となる。
すなわち、フラットディスプレイを構成する基板は、例
えば、ガラス基板等のように良好な光透過性を備えるも
のであるが、厚みの面から剛性が低く、周辺部を保持し
て水平状態で搬送する従来の水平搬送方式で搬送した場
合、大面積のガラス基板ほど自重により撓みが生じて搬
送が困難になるという問題がある。また、従来の水平搬
送方式では、基板の大面積化が進むほど、搬送装置の大
型化が必要となり、同時に、搬送に要するスペースも大
きくなるという問題もある。
【０００４】本発明は、上述のような実情に鑑みてなさ
れたものであり、大面積の基板を撓ませることなく確実
に安定して搬送することができる基板搬送装置を提供す
ることを目的とする。
れたものであり、大面積の基板を撓ませることなく確実
に安定して搬送することができる基板搬送装置を提供す
ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために、本発明の基板搬送装置は、基部と、該基部か
ら垂設された固定アームと、水平方向のほぼ一直線上に
位置するように固定アームに設けられた複数の吸引保持
部と、を備えるような構成とした。
るために、本発明の基板搬送装置は、基部と、該基部か
ら垂設された固定アームと、水平方向のほぼ一直線上に
位置するように固定アームに設けられた複数の吸引保持
部と、を備えるような構成とした。
【０００６】また、本発明の基板搬送装置は、前記基部
から固定アームの吸引保持部配設面に対向するように可
動アームを垂設し、該可動アームは前記固定アームの吸
引保持部配設面と対向する面に押圧部を備え、前記可動
アームは、前記固定アームの吸引保持部と該可動アーム
の押圧部とが対向する位置からほぼ水平位置まで、前記
固定アームから離れるように回動可能であるような構成
とした。
から固定アームの吸引保持部配設面に対向するように可
動アームを垂設し、該可動アームは前記固定アームの吸
引保持部配設面と対向する面に押圧部を備え、前記可動
アームは、前記固定アームの吸引保持部と該可動アーム
の押圧部とが対向する位置からほぼ水平位置まで、前記
固定アームから離れるように回動可能であるような構成
とした。
【０００７】また、本発明の基板搬送装置は、前記基部
から固定アームの吸引保持部配設面に対向するように垂
設された可動アームを備え、該可動アームは前記固定ア
ームの吸引保持部配設面と対向する面に吸引保持部を備
え、前記可動アームは、前記固定アームの吸引保持部と
該可動アームの吸引保持部とが対向する位置からほぼ水
平位置まで、前記固定アームから離れるように回動可能
であるような構成とした。
から固定アームの吸引保持部配設面に対向するように垂
設された可動アームを備え、該可動アームは前記固定ア
ームの吸引保持部配設面と対向する面に吸引保持部を備
え、前記可動アームは、前記固定アームの吸引保持部と
該可動アームの吸引保持部とが対向する位置からほぼ水
平位置まで、前記固定アームから離れるように回動可能
であるような構成とした。
【０００８】さらに、上述の基板搬送装置において、前
記基部は水平軸を中心に回動可能であるような構成とし
た。
記基部は水平軸を中心に回動可能であるような構成とし
た。
【０００９】上記のような本発明では、基部から垂設さ
れた複数の固定アームの吸引保持部によって基板を保持
し、あるいは、固定アームの吸引保持部と可動アームの
押圧ピンまたは吸引保持部とによって基板を挟持するよ
うに保持するので、基板は垂直状態で搬送され、自重に
よる基板の撓みを生じることがない。
れた複数の固定アームの吸引保持部によって基板を保持
し、あるいは、固定アームの吸引保持部と可動アームの
押圧ピンまたは吸引保持部とによって基板を挟持するよ
うに保持するので、基板は垂直状態で搬送され、自重に
よる基板の撓みを生じることがない。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を図面を参照して詳細に説明する。
を図面を参照して詳細に説明する。
【００１１】第１の実施形態 図１は、本発明の基板搬送装置の一実施形態を示す正面
図であり、図２は図１に示される基板搬送装置の右側面
図である。図１および図２において、本発明の基板搬送
装置１は、基部２と、この基部２から垂設された複数
（図示例では２個）の固定アーム３と、水平方向（図１
の矢印ａ方向）の一直線上に位置するように各固定アー
ム３に設けられた吸引保持部４とを備えている。
図であり、図２は図１に示される基板搬送装置の右側面
図である。図１および図２において、本発明の基板搬送
装置１は、基部２と、この基部２から垂設された複数
（図示例では２個）の固定アーム３と、水平方向（図１
の矢印ａ方向）の一直線上に位置するように各固定アー
ム３に設けられた吸引保持部４とを備えている。
【００１２】基部２は、軸方向が垂直方向に配設されて
いる垂直部材２Ａと、この垂直部材２Ａの下端部に軸方
向を水平方向に配設されている水平部材２Ｂとからなっ
ている。固定アーム３は、上記の水平部材２Ｂの両端の
下面から垂設されており、この固定アーム３の前面３ａ
の所定位置に吸引保持部４が設けられている。
いる垂直部材２Ａと、この垂直部材２Ａの下端部に軸方
向を水平方向に配設されている水平部材２Ｂとからなっ
ている。固定アーム３は、上記の水平部材２Ｂの両端の
下面から垂設されており、この固定アーム３の前面３ａ
の所定位置に吸引保持部４が設けられている。
【００１３】吸引保持部４は、固定アーム３の内部に形
成されている吸引路（図示せず）に接続された吸引管４
ａの先端部に柔軟性を有する保持部材４ｂが装着された
ものである。この吸引保持部４の形状は、基板の上端部
の保持に適した横長の楕円形状となっている。
成されている吸引路（図示せず）に接続された吸引管４
ａの先端部に柔軟性を有する保持部材４ｂが装着された
ものである。この吸引保持部４の形状は、基板の上端部
の保持に適した横長の楕円形状となっている。
【００１４】吸引保持部４による基板の保持、解放は、
吸引路を介して接続されている吸引装置（図示せず）の
ＯＮ，ＯＦＦ、あるいは、吸引経路の途中に配設した開
閉弁の操作により行うことができる。
吸引路を介して接続されている吸引装置（図示せず）の
ＯＮ，ＯＦＦ、あるいは、吸引経路の途中に配設した開
閉弁の操作により行うことができる。
【００１５】このような基板搬送装置１では、図２に示
されるように、基板Ｓ（仮想線で示す）が吸引保持部４
の保持部材４ｂによって、その上端部近傍（例えば、基
板Ｓの品質に影響を与えないような基板外周から１０ｍ
ｍ程度の範囲）を吸引保持され搬送される。したがっ
て、基板Ｓは垂直状態で搬送され、自重による基板の撓
みを生じることがない。
されるように、基板Ｓ（仮想線で示す）が吸引保持部４
の保持部材４ｂによって、その上端部近傍（例えば、基
板Ｓの品質に影響を与えないような基板外周から１０ｍ
ｍ程度の範囲）を吸引保持され搬送される。したがっ
て、基板Ｓは垂直状態で搬送され、自重による基板の撓
みを生じることがない。
【００１６】尚、図示例では、固定アーム３は２個であ
るが、３個以上であってもよく、また、水平方向に長い
固定アームを１個垂設し、これに複数の吸引保持部４を
設けてもよい。さらに、保持部材４ｂの形状は、図示例
では横長の楕円形状であるが、これに限定されるもので
はなく、例えば、小面積の円形状の保持部材を水平方向
に複数隣接して配設してもよい。
るが、３個以上であってもよく、また、水平方向に長い
固定アームを１個垂設し、これに複数の吸引保持部４を
設けてもよい。さらに、保持部材４ｂの形状は、図示例
では横長の楕円形状であるが、これに限定されるもので
はなく、例えば、小面積の円形状の保持部材を水平方向
に複数隣接して配設してもよい。
【００１７】第２の実施形態 図３は、本発明の基板搬送装置の他の実施形態を示す正
面図であり、図４は図３に示される基板搬送装置の右側
面図である。図３および図４において、本発明の基板搬
送装置１１は、基部１２と、この基部１２から垂設され
た複数（図示例では２個）の固定アーム１３と、水平方
向（図３の矢印ａ方向）の一直線上に位置するように各
固定アーム１３に設けられた吸引保持部１４と、押圧部
としての押圧ピン１７を装着した可動アーム１６を備え
ている。
面図であり、図４は図３に示される基板搬送装置の右側
面図である。図３および図４において、本発明の基板搬
送装置１１は、基部１２と、この基部１２から垂設され
た複数（図示例では２個）の固定アーム１３と、水平方
向（図３の矢印ａ方向）の一直線上に位置するように各
固定アーム１３に設けられた吸引保持部１４と、押圧部
としての押圧ピン１７を装着した可動アーム１６を備え
ている。
【００１８】基部１２は、軸方向が垂直方向に配設され
ている垂直部材１２Ａと、この垂直部材１２Ａの下端部
に軸方向を水平方向に配設されている水平部材１２Ｂと
からなっている。固定アーム１３は、上記の水平部材１
２Ｂの両端の下面から垂設されており、この固定アーム
１３の前面１３ａの所定位置に吸引保持部１４が設けら
れている。
ている垂直部材１２Ａと、この垂直部材１２Ａの下端部
に軸方向を水平方向に配設されている水平部材１２Ｂと
からなっている。固定アーム１３は、上記の水平部材１
２Ｂの両端の下面から垂設されており、この固定アーム
１３の前面１３ａの所定位置に吸引保持部１４が設けら
れている。
【００１９】吸引保持部１４は、上述の基板搬送装置１
の吸引保持部４と同様の構造であるので、ここでの説明
は省略する。この吸引保持部１４による基板の保持、解
放は、吸引路を介して接続されている吸引装置（図示せ
ず）のＯＮ，ＯＦＦ、あるいは、吸引経路の途中に配設
した開閉弁の操作により行うことができる。
の吸引保持部４と同様の構造であるので、ここでの説明
は省略する。この吸引保持部１４による基板の保持、解
放は、吸引路を介して接続されている吸引装置（図示せ
ず）のＯＮ，ＯＦＦ、あるいは、吸引経路の途中に配設
した開閉弁の操作により行うことができる。
【００２０】可動アーム１６は、基部１２の水平部材１
２Ｂの前面側に配設された２個のロータリーアクチュエ
ーター１５の回転軸１５ａに装着されている。この可動
アーム１６は、ロータリーアクチュエーター１５の駆動
により、固定アーム１３の吸引保持部配設面１３ａに対
向する位置と、図４に仮想線で示した水平位置との間で
回動可能とされている。また、固定アーム１３の吸引保
持部配設面１３ａに対向する可動アーム１６の押圧面１
６ａには、保持部材１４ｂと対向するように押圧ピン１
７が配設されている。押圧ピン１７は、保持対象の基板
表面を傷つけることのない材質で先端部が構成されてい
ることが好ましい。
２Ｂの前面側に配設された２個のロータリーアクチュエ
ーター１５の回転軸１５ａに装着されている。この可動
アーム１６は、ロータリーアクチュエーター１５の駆動
により、固定アーム１３の吸引保持部配設面１３ａに対
向する位置と、図４に仮想線で示した水平位置との間で
回動可能とされている。また、固定アーム１３の吸引保
持部配設面１３ａに対向する可動アーム１６の押圧面１
６ａには、保持部材１４ｂと対向するように押圧ピン１
７が配設されている。押圧ピン１７は、保持対象の基板
表面を傷つけることのない材質で先端部が構成されてい
ることが好ましい。
【００２１】このような基板搬送装置１１では、まず、
図４に示されるように、可動アーム１６が水平位置にあ
る状態で、基板Ｓ（仮想線で示す）が吸引保持部１４の
保持部材１４ｂによって上端部近傍（例えば、基板Ｓの
品質に影響を与えないような基板外周より１０ｍｍ程度
の範囲）を吸引保持される。その後、可動アーム１６が
固定アーム１３の保持部配設面１３ａに対向する位置に
回動されて、基板Ｓは保持部材１４ｂと押圧ピン１７と
で挟持するように垂直状態で保持される。したがって、
基板Ｓは垂直状態で搬送され、自重による基板の撓みを
生じることがない。
図４に示されるように、可動アーム１６が水平位置にあ
る状態で、基板Ｓ（仮想線で示す）が吸引保持部１４の
保持部材１４ｂによって上端部近傍（例えば、基板Ｓの
品質に影響を与えないような基板外周より１０ｍｍ程度
の範囲）を吸引保持される。その後、可動アーム１６が
固定アーム１３の保持部配設面１３ａに対向する位置に
回動されて、基板Ｓは保持部材１４ｂと押圧ピン１７と
で挟持するように垂直状態で保持される。したがって、
基板Ｓは垂直状態で搬送され、自重による基板の撓みを
生じることがない。
【００２２】尚、図示例では、固定アーム１３は２個で
あるが、３個以上であってもよく、また、水平方向に長
い固定アームを１個垂設し、これに複数の吸引保持部１
４と可動アーム１６（ロータリーアクチュエーター１
５）を設けてもよい。さらに、保持部材１４ｂの形状
は、図示例では基板の上端部の保持に適した横長の楕円
形状であるが、これに限定されるものではなく、例え
ば、小面積の円形状の保持部材を水平方向に複数隣接し
て配設してもよい。
あるが、３個以上であってもよく、また、水平方向に長
い固定アームを１個垂設し、これに複数の吸引保持部１
４と可動アーム１６（ロータリーアクチュエーター１
５）を設けてもよい。さらに、保持部材１４ｂの形状
は、図示例では基板の上端部の保持に適した横長の楕円
形状であるが、これに限定されるものではなく、例え
ば、小面積の円形状の保持部材を水平方向に複数隣接し
て配設してもよい。
【００２３】第３の実施形態 図５は、本発明の基板搬送装置の他の実施形態を示す正
面図であり、図６は図５に示される基板搬送装置の右側
面図である。図５および図６において、本発明の基板搬
送装置２１は、基部２２と、この基部２２から垂設され
た複数（図示例では２個）の固定アーム２３と、水平方
向（図５の矢印ａ方向）の一直線上に位置するように各
固定アーム２３に設けられた吸引保持部２４と、吸引保
持部２８を装着した可動アーム２６を備えている。
面図であり、図６は図５に示される基板搬送装置の右側
面図である。図５および図６において、本発明の基板搬
送装置２１は、基部２２と、この基部２２から垂設され
た複数（図示例では２個）の固定アーム２３と、水平方
向（図５の矢印ａ方向）の一直線上に位置するように各
固定アーム２３に設けられた吸引保持部２４と、吸引保
持部２８を装着した可動アーム２６を備えている。
【００２４】基部２２は、軸方向が垂直方向に配設され
ている垂直部材２２Ａと、この垂直部材２２Ａの下端部
に軸方向を水平方向に配設されている水平部材２２Ｂと
からなっている。固定アーム２３は、上記の水平部材２
２Ｂの両端の下面から垂設されており、この固定アーム
２３の前面２３ａの所定位置に吸引保持部２４が設けら
れている。尚、吸引保持部２４は、上述の基板搬送装置
１の吸引保持部４と同様の構造であるので、ここでの説
明は省略する。
ている垂直部材２２Ａと、この垂直部材２２Ａの下端部
に軸方向を水平方向に配設されている水平部材２２Ｂと
からなっている。固定アーム２３は、上記の水平部材２
２Ｂの両端の下面から垂設されており、この固定アーム
２３の前面２３ａの所定位置に吸引保持部２４が設けら
れている。尚、吸引保持部２４は、上述の基板搬送装置
１の吸引保持部４と同様の構造であるので、ここでの説
明は省略する。
【００２５】可動アーム２６は、基部２２の水平部材２
２Ｂの前面側に配設された２個のロータリーアクチュエ
ーター２５の回転軸２５ａに装着されている。この可動
アーム２６は、ロータリーアクチュエーター２５の駆動
により、固定アーム２３の吸引保持部配設面２３ａに対
向する位置と、図６に仮想線で示した水平位置との間で
回動可能とされている。また、固定アーム２３の吸引保
持部配設面２３ａに対向する可動アーム２６の保持面２
６ａには、保持部材２４ｂと対向するように吸引保持部
２８が配設されている。吸引保持部２８は、吸引管２９
に接続された吸引管２８ａの先端部に柔軟性を有する保
持部材２８ｂが装着されたものである。
２Ｂの前面側に配設された２個のロータリーアクチュエ
ーター２５の回転軸２５ａに装着されている。この可動
アーム２６は、ロータリーアクチュエーター２５の駆動
により、固定アーム２３の吸引保持部配設面２３ａに対
向する位置と、図６に仮想線で示した水平位置との間で
回動可能とされている。また、固定アーム２３の吸引保
持部配設面２３ａに対向する可動アーム２６の保持面２
６ａには、保持部材２４ｂと対向するように吸引保持部
２８が配設されている。吸引保持部２８は、吸引管２９
に接続された吸引管２８ａの先端部に柔軟性を有する保
持部材２８ｂが装着されたものである。
【００２６】上記の吸引保持部２４、２８による基板の
保持、解放は、吸引路、吸引管２９を介して接続されて
いる吸引装置（図示せず）のＯＮ，ＯＦＦ、あるいは、
吸引経路の途中に配設した開閉弁の操作により行うこと
ができる。
保持、解放は、吸引路、吸引管２９を介して接続されて
いる吸引装置（図示せず）のＯＮ，ＯＦＦ、あるいは、
吸引経路の途中に配設した開閉弁の操作により行うこと
ができる。
【００２７】このような基板搬送装置２１では、まず、
図６に示されるように、可動アーム２６が水平位置にあ
る状態で、基板Ｓ（仮想線で示す）が吸引保持部２４の
保持部材２４ｂによって、その上端部近傍（例えば、基
板Ｓの品質に影響を与えないような基板外周より１０ｍ
ｍ程度の範囲）を吸引保持される。その後、可動アーム
２６が固定アーム２３の保持部配設面２３ａに対向する
位置に回動されて、基板Ｓの上端部近傍が保持部材２８
ｂによって吸引保持される。すなわち、基板Ｓは保持部
材２４ｂと保持部材２８ｂとで挟持するように垂直状態
で保持される。したがって、基板Ｓは垂直状態で搬送さ
れ、自重による基板の撓みを生じることがない。
図６に示されるように、可動アーム２６が水平位置にあ
る状態で、基板Ｓ（仮想線で示す）が吸引保持部２４の
保持部材２４ｂによって、その上端部近傍（例えば、基
板Ｓの品質に影響を与えないような基板外周より１０ｍ
ｍ程度の範囲）を吸引保持される。その後、可動アーム
２６が固定アーム２３の保持部配設面２３ａに対向する
位置に回動されて、基板Ｓの上端部近傍が保持部材２８
ｂによって吸引保持される。すなわち、基板Ｓは保持部
材２４ｂと保持部材２８ｂとで挟持するように垂直状態
で保持される。したがって、基板Ｓは垂直状態で搬送さ
れ、自重による基板の撓みを生じることがない。
【００２８】尚、図示例では、固定アーム２３は２個で
あるが、３個以上であってもよく、また、水平方向に長
い固定アームを１個垂設し、これに複数の吸引保持部２
４と可動アーム２６（ロータリーアクチュエーター２
５）を設けてもよい。さらに、保持部材２４ｂ、２８ｂ
の形状は、図示例では基板の上端部の保持に適した横長
の楕円形状であるが、これに限定されるものではなく、
例えば、小面積の円形状の保持部材を水平方向に複数隣
接して配設してもよい。
あるが、３個以上であってもよく、また、水平方向に長
い固定アームを１個垂設し、これに複数の吸引保持部２
４と可動アーム２６（ロータリーアクチュエーター２
５）を設けてもよい。さらに、保持部材２４ｂ、２８ｂ
の形状は、図示例では基板の上端部の保持に適した横長
の楕円形状であるが、これに限定されるものではなく、
例えば、小面積の円形状の保持部材を水平方向に複数隣
接して配設してもよい。
【００２９】第４の実施形態 図７は、本発明の基板搬送装置の他の実施形態を示す正
面図であり、図８は図７に示される基板搬送装置の右側
面図である。図７および図８において、本発明の基板搬
送装置３１は、基部３２と、この基部３２から垂設され
た複数（図示例では２個）の固定アーム３３と、水平方
向（図７の矢印ａ方向）の一直線上に位置するように各
固定アーム３３に設けられた吸引保持部３４と、吸引保
持部３８を装着した可動アーム３６を備えている。
面図であり、図８は図７に示される基板搬送装置の右側
面図である。図７および図８において、本発明の基板搬
送装置３１は、基部３２と、この基部３２から垂設され
た複数（図示例では２個）の固定アーム３３と、水平方
向（図７の矢印ａ方向）の一直線上に位置するように各
固定アーム３３に設けられた吸引保持部３４と、吸引保
持部３８を装着した可動アーム３６を備えている。
【００３０】基部３２は、軸方向が垂直方向に配設され
ている垂直部材３２Ａと、この垂直部材３２Ａの両側か
ら水平方向に回動可能に配設された水平部材３２Ｂとか
らなっている。固定アーム３３は、上記の水平部材３２
Ｂの両端の下面から垂設されており、この固定アーム３
３の前面３３ａの所定位置に吸引保持部３４が設けられ
ている。
ている垂直部材３２Ａと、この垂直部材３２Ａの両側か
ら水平方向に回動可能に配設された水平部材３２Ｂとか
らなっている。固定アーム３３は、上記の水平部材３２
Ｂの両端の下面から垂設されており、この固定アーム３
３の前面３３ａの所定位置に吸引保持部３４が設けられ
ている。
【００３１】吸引保持部３４は、上述の基板搬送装置１
の吸引保持部４と同様の構造であるので、ここでの説明
は省略する。また、ロータリーアクチュエーター３５、
可動アーム３６、吸引保持部３８、吸引管３９は、上述
の基板搬送装置２１と同様の構造であるので、ここでの
説明は省略する。
の吸引保持部４と同様の構造であるので、ここでの説明
は省略する。また、ロータリーアクチュエーター３５、
可動アーム３６、吸引保持部３８、吸引管３９は、上述
の基板搬送装置２１と同様の構造であるので、ここでの
説明は省略する。
【００３２】上記の吸引保持部３４、３８による基板の
保持、解放は、吸引路、吸引管３９を介して接続されて
いる吸引装置（図示せず）のＯＮ，ＯＦＦ、あるいは、
吸引経路の途中に配設した開閉弁の操作により行うこと
ができる。
保持、解放は、吸引路、吸引管３９を介して接続されて
いる吸引装置（図示せず）のＯＮ，ＯＦＦ、あるいは、
吸引経路の途中に配設した開閉弁の操作により行うこと
ができる。
【００３３】このような基板搬送装置３１では、まず、
図８に示されるように、可動アーム３６が水平位置にあ
る状態で、基板Ｓ（仮想線で示す）が吸引保持部３４の
保持部材３４ｂによって、その上端部近傍（例えば、基
板Ｓの品質に影響を与えないような基板外周より１０ｍ
ｍ程度の範囲）を吸引保持される。その後、可動アーム
３６が固定アーム３３の保持部配設面３３ａに対向する
位置に回動されて、基板Ｓの上端部近傍が保持部材３８
ｂによって吸引保持される。すなわち、基板Ｓは保持部
材３４ｂと保持部材３８ｂとで挟持するように垂直状態
で保持される。したがって、基板Ｓは垂直状態で搬送さ
れ、自重による基板の撓みを生じることがない。そし
て、図９に示されるように、基板Ｓを載置する部材５０
の載置面５０ａが垂直状態から所定の角度傾斜している
場合、基部３２の水平部材３２Ｂが所定の角度回動し
て、基板Ｓを載置面５０ａにほぼ平行となる状態にす
る。その後、上記の吸引保持と逆の操作により、基板Ｓ
の吸引保持を停止することにより、部材５０に基板Ｓを
載置することができる。
図８に示されるように、可動アーム３６が水平位置にあ
る状態で、基板Ｓ（仮想線で示す）が吸引保持部３４の
保持部材３４ｂによって、その上端部近傍（例えば、基
板Ｓの品質に影響を与えないような基板外周より１０ｍ
ｍ程度の範囲）を吸引保持される。その後、可動アーム
３６が固定アーム３３の保持部配設面３３ａに対向する
位置に回動されて、基板Ｓの上端部近傍が保持部材３８
ｂによって吸引保持される。すなわち、基板Ｓは保持部
材３４ｂと保持部材３８ｂとで挟持するように垂直状態
で保持される。したがって、基板Ｓは垂直状態で搬送さ
れ、自重による基板の撓みを生じることがない。そし
て、図９に示されるように、基板Ｓを載置する部材５０
の載置面５０ａが垂直状態から所定の角度傾斜している
場合、基部３２の水平部材３２Ｂが所定の角度回動し
て、基板Ｓを載置面５０ａにほぼ平行となる状態にす
る。その後、上記の吸引保持と逆の操作により、基板Ｓ
の吸引保持を停止することにより、部材５０に基板Ｓを
載置することができる。
【００３４】尚、図示例では、固定アーム３３は２個で
あるが、３個以上であってもよく、また、水平方向に長
い固定アームを１個垂設し、これに複数の吸引保持部３
４と可動アーム３６（ロータリーアクチュエーター３
５）を設けてもよい。さらに、保持部材３４ｂ、３８ｂ
の形状は、図示例では基板の上端部の保持に適した横長
の楕円形状であるが、これに限定されるものではなく、
例えば、小面積の円形状の保持部材を水平方向に複数隣
接して配設してもよい。
あるが、３個以上であってもよく、また、水平方向に長
い固定アームを１個垂設し、これに複数の吸引保持部３
４と可動アーム３６（ロータリーアクチュエーター３
５）を設けてもよい。さらに、保持部材３４ｂ、３８ｂ
の形状は、図示例では基板の上端部の保持に適した横長
の楕円形状であるが、これに限定されるものではなく、
例えば、小面積の円形状の保持部材を水平方向に複数隣
接して配設してもよい。
【００３５】図１０は、本発明の基板搬送装置を備えた
基板搬送部の一例を示す斜視図である。図１０において
基板搬送部１０１は、平行軌道１１０，１１０上を往復
移動可能な駆動部１０２と、駆動部１０２に対して矢印
ａ方向に上下動可能で、かつ、矢印ｂ方向に旋回可能な
駆動部１０３と、この駆動部１０３に接続され、矢印ｃ
方向に出入可能な支持軸１０４と、この支持軸１０４の
先端部に、上述の本発明の基板搬送装置１の基部２を装
着した構成である。そして、基板搬送装置１の固定アー
ム３に設けられた吸引保持部４は図示しない吸引経路を
介して図示しない吸引装置に接続されている。
基板搬送部の一例を示す斜視図である。図１０において
基板搬送部１０１は、平行軌道１１０，１１０上を往復
移動可能な駆動部１０２と、駆動部１０２に対して矢印
ａ方向に上下動可能で、かつ、矢印ｂ方向に旋回可能な
駆動部１０３と、この駆動部１０３に接続され、矢印ｃ
方向に出入可能な支持軸１０４と、この支持軸１０４の
先端部に、上述の本発明の基板搬送装置１の基部２を装
着した構成である。そして、基板搬送装置１の固定アー
ム３に設けられた吸引保持部４は図示しない吸引経路を
介して図示しない吸引装置に接続されている。
【００３６】このような基板搬送部１０１は、駆動部１
０２が所定位置に停止し、駆動部１０３が昇降、旋回し
て所定位置に停止し、支持軸１０４を基板Ｓ方向に押し
出すことにより、基板Ｓ（仮想線で示す）の上端部近傍
を吸引保持部４の保持部材４ｂによって吸引保持する。
次いで、駆動部１０２の移動、駆動部１０３の昇降、旋
回、支持軸１０４の出入により、基板搬送装置１を所望
の位置に移動することにより基板Ｓを搬送する。そし
て、保持部材４ｂによる吸引保持を停止することによ
り、所定位置に基板Ｓを載置することができる。この基
板搬送の間、基板Ｓは垂直状態で基板搬送装置１に保持
されているので、自重による撓みを生じることがない。
基板Ｓが垂直状態で搬送されるので、基板搬送の省スペ
ース化が可能である。
０２が所定位置に停止し、駆動部１０３が昇降、旋回し
て所定位置に停止し、支持軸１０４を基板Ｓ方向に押し
出すことにより、基板Ｓ（仮想線で示す）の上端部近傍
を吸引保持部４の保持部材４ｂによって吸引保持する。
次いで、駆動部１０２の移動、駆動部１０３の昇降、旋
回、支持軸１０４の出入により、基板搬送装置１を所望
の位置に移動することにより基板Ｓを搬送する。そし
て、保持部材４ｂによる吸引保持を停止することによ
り、所定位置に基板Ｓを載置することができる。この基
板搬送の間、基板Ｓは垂直状態で基板搬送装置１に保持
されているので、自重による撓みを生じることがない。
基板Ｓが垂直状態で搬送されるので、基板搬送の省スペ
ース化が可能である。
【００３７】尚、基板搬送部１０１では、基板搬送装置
として上述の基板搬送装置１を使用しているが、他の基
板搬送装置１１，２１，３１等、本発明の基板搬送装置
であればいずれであってもよい。本発明で搬送の対象と
なる基板は、特に制限はなく、ガラス基板、金属基板、
樹脂基板等の平板状の全ての基板が対象となる。
として上述の基板搬送装置１を使用しているが、他の基
板搬送装置１１，２１，３１等、本発明の基板搬送装置
であればいずれであってもよい。本発明で搬送の対象と
なる基板は、特に制限はなく、ガラス基板、金属基板、
樹脂基板等の平板状の全ての基板が対象となる。
【００３８】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば基
板は、基部から垂設された複数の固定アームの吸引保持
部によって垂直状態で保持され、あるいは、固定アーム
の吸引保持部と可動アームの押圧ピンまたは吸引保持部
とによって挟持するように垂直状態で保持され搬送され
るので、自重による基板の撓みを防止することができ、
大面積の基板でも安定して搬送することができ、また、
基板の大面積化による搬送装置の大型化を避けることが
でき、さらに、従来の水平搬送方式に比べて、基板の大
面積化による基板搬送スペースの増大が発生しないの
で、省スペース化が可能であるという効果が奏される。
板は、基部から垂設された複数の固定アームの吸引保持
部によって垂直状態で保持され、あるいは、固定アーム
の吸引保持部と可動アームの押圧ピンまたは吸引保持部
とによって挟持するように垂直状態で保持され搬送され
るので、自重による基板の撓みを防止することができ、
大面積の基板でも安定して搬送することができ、また、
基板の大面積化による搬送装置の大型化を避けることが
でき、さらに、従来の水平搬送方式に比べて、基板の大
面積化による基板搬送スペースの増大が発生しないの
で、省スペース化が可能であるという効果が奏される。
【図１】本発明の基板搬送装置の一実施形態を示す正面
図である。
図である。
【図２】図１に示される基板搬送装置の右側面図であ
る。
る。
【図３】本発明の基板搬送装置の他の実施形態を示す正
面図である。
面図である。
【図４】図３に示される基板搬送装置の右側面図であ
る。
る。
【図５】本発明の基板搬送装置の他の実施形態を示す正
面図である。
面図である。
【図６】図５に示される基板搬送装置の右側面図であ
る。
る。
【図７】本発明の基板搬送装置の他の実施形態を示す正
面図である。
面図である。
【図８】図７に示される基板搬送装置の右側面図であ
る。
る。
【図９】図７に示される基板搬送装置の基部回動状態を
示す右側面図である。
示す右側面図である。
【図１０】本発明の基板搬送装置を備えた基板搬送部の
一例を示す斜視図である。
一例を示す斜視図である。
１，１１，２１，３１…基板搬送装置 ２，１２，２２，３２…基部 ３，１３，２３，３３…固定アーム ４，１４，２４，３４…吸引保持部 １５，２５，３５…ロータリアクチュエーター １６，２６，３６…可動アーム １７…押圧ピン（押圧部） ２８，３８…吸引保持部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 甘田 晶 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 金沢 正晴 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 3C007 DS05 DS06 ET02 FS01 FT06 FU02 FU06 GU03 HS27 NS09 3F061 AA03 AA04 BB02 BD04 CA01 CB02 CC03 CC11 DB04 DC03 5F031 CA05 FA02 GA16 GA24 GA42 GA58 PA18
Claims (4)
- 【請求項１】 基部と、該基部から垂設された固定アー
ムと、水平方向のほぼ一直線上に位置するように固定ア
ームに設けられた複数の吸引保持部と、を備えることを
特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項２】 前記基部から固定アームの吸引保持部配
設面に対向するように可動アームを垂設し、該可動アー
ムは前記固定アームの吸引保持部配設面と対向する面に
押圧部を備え、前記可動アームは、前記固定アームの吸
引保持部と該可動アームの押圧部とが対向する位置から
ほぼ水平位置まで、前記固定アームから離れるように回
動可能であることを特徴とする請求項１に記載の基板搬
送装置。 - 【請求項３】 前記基部から固定アームの吸引保持部配
設面に対向するように垂設された可動アームを備え、該
可動アームは前記固定アームの吸引保持部配設面と対向
する面に吸引保持部を備え、前記可動アームは、前記固
定アームの吸引保持部と該可動アームの吸引保持部とが
対向する位置からほぼ水平位置まで、前記固定アームか
ら離れるように回動可能であることを特徴とする請求項
１に記載の基板搬送装置。 - 【請求項４】 前記基部は水平軸を中心に回動可能であ
ることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに
記載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
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| JP2000045539A JP4394797B2 (ja) | 2000-02-23 | 2000-02-23 | 基板搬送装置 |
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| JP2001233451A true JP2001233451A (ja) | 2001-08-28 |
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| JP2008004601A (ja) * | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Nec Electronics Corp | 基板搬送装置およびそれを用いた基板搬送方法 |
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| JP2010131701A (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-17 | Ihi Corp | ウェブハンドリング装置および方法 |
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| WO2013024502A1 (ja) * | 2011-08-12 | 2013-02-21 | 川崎重工業株式会社 | 板材の搬送装置及び板材の搬送方法 |
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| JP2020116719A (ja) * | 2019-01-28 | 2020-08-06 | 株式会社ディスコ | 搬送機構、被加工物の搬送方法及び加工装置 |
| CN113830558A (zh) * | 2021-09-18 | 2021-12-24 | 甘肃光轩高端装备产业有限公司 | 玻璃基板的传输装置 |
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|---|---|---|---|---|
| KR101462597B1 (ko) * | 2013-01-11 | 2014-11-18 | 주식회사 에스에프에이 | 글라스 면취시스템 |
| KR101447128B1 (ko) * | 2013-12-31 | 2014-10-07 | 엠에스테크놀러지 주식회사 | 기판이송장치 |
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| JPH04242954A (ja) * | 1991-01-08 | 1992-08-31 | Fujitsu Ltd | ウェーハチャック |
| JPH05211226A (ja) * | 1991-05-29 | 1993-08-20 | Ryoden Semiconductor Syst Eng Kk | エアピンセット |
| JPH0621198A (ja) * | 1992-07-03 | 1994-01-28 | Nippon Steel Corp | ピンセット |
| JPH08274154A (ja) * | 1995-03-30 | 1996-10-18 | Nec Kyushu Ltd | 半導体ウェハの挾持装置 |
| JPH115627A (ja) * | 1997-06-12 | 1999-01-12 | Dainippon Printing Co Ltd | 基板搬送システム |
-
2000
- 2000-02-23 JP JP2000045539A patent/JP4394797B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
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| JP7313766B2 (ja) | 2019-01-28 | 2023-07-25 | 株式会社ディスコ | 搬送機構、被加工物の搬送方法及び加工装置 |
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