JP2001215197A - Method and apparatus for inspecting transparent sheet - Google Patents
Method and apparatus for inspecting transparent sheetInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、盛上がりの厚み
や角度に拘わらず欠陥などを検出することができる透明
シートの検査方法および装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for inspecting a transparent sheet capable of detecting a defect or the like irrespective of the thickness or angle of a swell.
【０００２】[0002]
【従来の技術】今日、産業の各分野において、様々な透
明シートが使用されている。このような透明シートは、
所定の品質要求を満たしているかどうかを確認するた
め、製造時に異物検査などの品質検査が行われる。2. Description of the Related Art Today, various transparent sheets are used in various fields of industry. Such a transparent sheet,
In order to confirm whether or not a predetermined quality requirement is satisfied, a quality inspection such as a foreign substance inspection is performed during manufacturing.
【０００３】従来の透明シートの品質検査装置として
は、図１４に示すように、帯状の透明シート１を搬送す
るシート搬送ラインの上方に、ほぼ垂直下方へ向けて図
示しないＣＣＤセンサが搭載されたラインセンサカメラ
２を透明シート１の幅方向へ複数台配設すると共に、透
明シート１のラインセンサカメラ２による撮影領域へ向
けて斜め下方から光を照射するように光源３を配したも
のがある。ラインセンサカメラ２にはＡ／Ｄ変換装置４
を介して画像処理装置５が接続されている。As a conventional transparent sheet quality inspection apparatus, as shown in FIG. 14, a CCD sensor (not shown) is mounted substantially vertically downward above a sheet transport line for transporting a strip-shaped transparent sheet 1. Some line sensor cameras 2 are arranged in the width direction of the transparent sheet 1 and light sources 3 are arranged so as to irradiate light from obliquely downward toward a shooting area of the transparent sheet 1 by the line sensor camera 2. . The line sensor camera 2 has an A / D converter 4
The image processing apparatus 5 is connected via the.
【０００４】このような構成によれば、透明シート１へ
向けて光源３により斜め下方から光を照射し、ラインセ
ンサカメラ２で真上から垂直に透明シート１の画像を撮
像させることにより、透明シート１に欠陥などがない場
合には、光源３からの光は透明シート１を透過してライ
ンセンサカメラ２の視野外域へ出射される。そして、透
明シート１に欠陥などがある場合には、光源３からの光
は欠陥で屈折されてラインセンサカメラ２の視野内域に
入ることとなる。よって、ラインセンサカメラ２からの
映像は、全体が暗視野で欠陥部分が明点の画像となる。
ラインセンサカメラ２からの映像はＡ／Ｄ変換装置４へ
送られてＡ／Ｄ変換され、Ａ／Ｄ変換された信号が画像
処理装置５へ送られて画像処理され、欠陥の有無が判定
される。According to such a configuration, the transparent sheet 1 is irradiated with light from obliquely downward by the light source 3 and the line sensor camera 2 picks up an image of the transparent sheet 1 vertically from directly above. When there is no defect or the like in the sheet 1, the light from the light source 3 passes through the transparent sheet 1 and is emitted to a region outside the field of view of the line sensor camera 2. If the transparent sheet 1 has a defect or the like, the light from the light source 3 is refracted by the defect and enters the visual field of the line sensor camera 2. Therefore, the image from the line sensor camera 2 is an image in which the whole is dark field and the defective portion is a bright point.
The image from the line sensor camera 2 is sent to the A / D converter 4 for A / D conversion, and the A / D converted signal is sent to the image processor 5 for image processing to determine whether there is a defect. You.
【０００５】なお、光源３は、透明シート１の上方に配
設しても良い。この場合には、ラインセンサカメラ２か
らの映像は、全体が明視野で欠陥部分が暗点の画像とな
る。The light source 3 may be disposed above the transparent sheet 1. In this case, the image from the line sensor camera 2 is an image in which the entirety is a bright field and a defective portion is a dark spot.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の透明シートの検査手段では、光源３からの光
を斜めの一方向から透明シート１上のラインセンサカメ
ラ２による撮影領域へ向けて照射しているので、欠陥や
欠陥周辺の気泡の盛上がりの厚みや角度によってライン
センサカメラ２で検出される光量が異なってしまい、光
量の少ないものについては欠陥と判定できないことがあ
った。However, in such a conventional transparent sheet inspection means, the light from the light source 3 is radiated from one oblique direction to the image sensing area of the transparent sheet 1 by the line sensor camera 2. Therefore, the amount of light detected by the line sensor camera 2 differs depending on the thickness and angle of the defect and the rise of bubbles around the defect, and an object with a small amount of light may not be determined to be a defect.
【０００７】そこで、本発明の目的は、上記の問題点を
解消し、盛上がりの厚みや角度に拘わらず欠陥などを検
出することのできる透明シートの検査方法および装置を
提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for inspecting a transparent sheet capable of solving the above-mentioned problems and detecting defects and the like irrespective of the thickness and angle of the rise.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に記載された発明では、撮像手段による透
明シート上の撮影領域を透明シートの反対側から透過し
て前記撮像手段の視野外域へ出射する光を、同時に複数
の方向から照射させ、前記透明シート上の欠陥によって
前記撮像手段の視野内域へ向け屈折された前記光を前記
撮像手段で検出することを特徴としている。In order to solve the above problem, according to the first aspect of the present invention, a photographing area on the transparent sheet by the image pickup means is transmitted from the opposite side of the transparent sheet to the image pickup means. Light emitted to the outside of the field of view is irradiated simultaneously from a plurality of directions, and the light refracted toward the inside of the field of view of the image pickup means due to a defect on the transparent sheet is detected by the image pickup means.
【０００９】このように構成された請求項１にかかる発
明によれば、盛上がりの厚みや角度に拘わらず欠陥を検
出することが可能となる。なお、撮像手段としては、例
えば、ＣＣＤセンサが好適に用いられる。According to the first aspect of the present invention, it is possible to detect a defect irrespective of the thickness or angle of the swell. Note that, for example, a CCD sensor is suitably used as the imaging unit.
【００１０】請求項２に記載された発明では、前記撮像
手段による透明シート上の撮影領域の手前側に、前記透
明シートの両面から同時に圧縮空気を均等に吹き付けて
除塵を行わせることを特徴としている。[0010] The invention according to claim 2 is characterized in that dust is removed by simultaneously blowing compressed air uniformly from both sides of the transparent sheet to a front side of a photographing area on the transparent sheet by the imaging means. I have.
【００１１】このように構成された請求項２にかかる発
明によれば、検査直前に除塵を行わせてより正確な検査
結果を得ることができ、且つ、透明シートの両面から均
等に圧縮空気を吹き付けることにより、透明シートの歪
みの発生を防止でき、また、検査位置がズレることを防
止することができる。According to the second aspect of the present invention, dust can be removed immediately before the inspection to obtain a more accurate inspection result, and compressed air can be uniformly discharged from both sides of the transparent sheet. Spraying can prevent the transparent sheet from being distorted and prevent the inspection position from shifting.
【００１２】請求項３に記載された発明では、透明シー
トへ向けて配設された撮像手段と、該撮像手段による前
記透明シート上の撮影領域を透明シートの反対側から透
過して前記撮像手段の視野外域へ出射する光を、同時に
複数の方向から照射可能な光源とを備えたことを特徴と
している。According to the third aspect of the present invention, there is provided an image pickup means arranged toward the transparent sheet, and a photographing area on the transparent sheet by the image pickup means is transmitted from the opposite side of the transparent sheet to the image pickup means. And a light source capable of simultaneously irradiating the light out of the visual field from a plurality of directions.
【００１３】このように構成された請求項３にかかる発
明によれば、請求項１と同様の作用効果を得ることがで
きる。According to the third aspect of the present invention, the same function and effect as those of the first aspect can be obtained.
【００１４】請求項４に記載された発明では、前記光源
が、前記透明シートを挟んで前記撮像手段と反対側に配
設されると共に、前記光源が、発光体と、該発光体から
前記撮像手段の視野内域へ直接向かう光を遮蔽する遮蔽
板と、前記発光体からの光の方向を複数の方向へ分散さ
せる曲面状の反射鏡とを備えたことを特徴としている。[0014] In the invention described in claim 4, the light source is disposed on the opposite side of the image pickup means with the transparent sheet interposed therebetween, and the light source comprises: a light emitter; The light-emitting device is characterized in that it comprises a shielding plate that shields light that directly goes into the field of view of the means, and a curved reflecting mirror that disperses the direction of the light from the light emitter in a plurality of directions.
【００１５】このように構成された請求項４にかかる発
明によれば、少ない発光体で効率良く方向の異なる複数
の光を同時に照射することが可能となる。According to the fourth aspect of the present invention, it is possible to efficiently irradiate a plurality of lights having different directions simultaneously with a small number of light emitters.
【００１６】請求項５に記載された発明では、前記撮像
手段による透明シート上の撮影領域の手前側に、前記透
明シートの両面から同時に圧縮空気を均等に吹き付ける
除塵装置を配設したことを特徴としている。According to a fifth aspect of the present invention, a dust remover for blowing compressed air from both sides of the transparent sheet at the same time is disposed in front of a photographing area on the transparent sheet by the imaging means. And
【００１７】このように構成された請求項５にかかる発
明によれば、請求項２と同様の作用効果を得ることがで
きる。According to the fifth aspect of the present invention, the same function and effect as those of the second aspect can be obtained.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態１】以下、本発明の具体的な実施の
形態１について、図示例と共に説明する。First Embodiment A first embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１９】図１〜図９は、この発明の実施の形態１を
示すものである。1 to 9 show a first embodiment of the present invention.
【００２０】まず、構成を説明すると、透明シートの製
造ラインは、図１に示すように、上流側に透明シート１
１を巻戻す巻戻機１２と、別の透明シート１３を巻戻す
巻戻機１４とがそれぞれ設けられている。そして、巻戻
機１２，１４の下流側には２層の透明シート１１，１３
を積層する上下の積層用ローラを備えた積層装置１５が
設けられている。更に、積層装置１５の下流側には積層
された透明シート１６を引取る引取用ローラ１７が設け
られ、引取用ローラ１７の下流側には透明シート１６を
巻取る巻取機１８が設けられている。First, the construction will be described. As shown in FIG. 1, the transparent sheet production line includes a transparent sheet 1 on the upstream side.
A rewinding machine 12 for rewinding 1 and a rewinding machine 14 for rewinding another transparent sheet 13 are provided. Then, on the downstream side of the rewinding machines 12, 14, two layers of transparent sheets 11, 13 are provided.
There is provided a laminating apparatus 15 having upper and lower laminating rollers for laminating. Further, a take-up roller 17 for taking up the laminated transparent sheets 16 is provided downstream of the laminating device 15, and a take-up machine 18 for taking up the transparent sheet 16 is provided downstream of the take-up rollers 17. I have.
【００２１】なお、図１中、符号１９は透明シート１３
の糊面に付着したゴミなどの異物、符号２０は透明シー
ト１１，１３間に異物１９を挟み込んだことによりでき
た欠陥である。In FIG. 1, reference numeral 19 denotes the transparent sheet 13.
Reference numeral 20 denotes a defect caused by the foreign material 19 being sandwiched between the transparent sheets 11 and 13.
【００２２】上記透明シート１６は、例えば、精密機器
製造時に使用されるフォトマスクの保護フィルムなどと
して用いられる。この保護フィルムに要求される異物１
９の最小測定物の大きさは１８ミクロン程度であり、１
８ミクロン程度の異物１９を糊面内に挟み込むと５０ミ
クロン以上の欠陥２０が形成されることが確認されてい
る。The transparent sheet 16 is used, for example, as a protective film for a photomask used in the manufacture of precision equipment. Foreign matter 1 required for this protective film
The size of the smallest measured object of 9 is about 18 microns, and 1
It has been confirmed that a defect 20 of 50 μm or more is formed when a foreign substance 19 of about 8 μm is sandwiched in the glue surface.
【００２３】そして、この実施の形態１のものでは、上
記製造ラインの積層装置１５と引取用ローラ１７との間
に検査装置２２が設けられる。In the first embodiment, an inspection device 22 is provided between the laminating device 15 and the take-off roller 17 on the production line.
【００２４】この検査装置２２では、帯状の透明シート
１３の上方に、ほぼ垂直下方へ向けてラインセンサカメ
ラ（撮像手段）２３を配設する。このラインセンサカメ
ラ２３は、例えば、２０４８ビットの画素を有する図示
しないＣＣＤセンサが搭載された、分解能が０．０５５
ｍｍで視野が約１２ｍｍのものであり、幅寸法が１２０
ｍｍで、５０ｍ／ｍｉｎのライン速度で搬送される透明
シート１３の場合には、幅方向へ１２台直列に配設され
る。In the inspection apparatus 22, a line sensor camera (imaging means) 23 is disposed above the strip-shaped transparent sheet 13 so as to extend substantially vertically downward. The line sensor camera 23 has, for example, a CCD sensor (not shown) having 2048-bit pixels and a resolution of 0.055.
mm, a field of view of about 12 mm, and a width of 120 mm.
In the case of the transparent sheet 13 conveyed at a line speed of 50 m / min in mm, 12 sheets are arranged in series in the width direction.
【００２５】そして、図３に示すように、透明シート１
６におけるラインセンサカメラ２３の撮影領域２４を反
対側から透過して、ラインセンサカメラ２３の視野外域
２５（視野の外側領域）へ出射する光を、同時に複数の
方向から照射可能な光源２６を配設する。Then, as shown in FIG.
6 is provided with a light source 26 that transmits the light from the imaging area 24 of the line sensor camera 23 from the opposite side to the outside field 25 (outside the field) of the line sensor camera 23 from a plurality of directions at the same time. Set up.
【００２６】この光源２６は、透明シート１６を挟んで
ラインセンサカメラ２３と反対側（図１では下側）に配
設される。The light source 26 is disposed on the opposite side of the transparent sheet 16 from the line sensor camera 23 (the lower side in FIG. 1).
【００２７】光源２６は、ラインセンサカメラ２３の視
野内域２７（視野の内側領域）へ直接向かう光を遮蔽す
る黒色の遮蔽板２８を備えている。この遮蔽板２８は透
明シート１６下面（ラインセンサカメラ２３とは反対側
の面）のラインセンサカメラ２３による撮影領域２４の
直下位置（直近位置）に配設され、透明シート１６の幅
方向へ延びる帯状をしている。The light source 26 is provided with a black shielding plate 28 for shielding light that directly goes to the visual field inner region 27 (the visual field inner region) of the line sensor camera 23. The shielding plate 28 is disposed on the lower surface of the transparent sheet 16 (on the side opposite to the line sensor camera 23), at a position immediately below (immediately below) the shooting area 24 by the line sensor camera 23, and extends in the width direction of the transparent sheet 16. It has a belt shape.
【００２８】また、光源２６は、遮蔽板２８の下方（透
明シート１６に対して遮蔽板２８よりも離れた位置）で
且つ遮蔽板２８に対しライン方向前後に位置をずらせて
並列に配設された複数（２本）の発光体２９を備えてい
る。この発光体２９には、透明シート１６の幅方向へ延
びる棒状の高周波蛍光灯などを用いる。The light source 26 is disposed below the shielding plate 28 (at a position distant from the shielding plate 28 with respect to the transparent sheet 16) and in parallel to the shielding plate 28 in the line direction. A plurality of (two) light emitting bodies 29. As the luminous body 29, a bar-shaped high-frequency fluorescent lamp extending in the width direction of the transparent sheet 16 is used.
【００２９】更に、光源２６は、発光体２９の下方（透
明シート１６に対して発光体２９よりも離れた位置）に
発光体２９からの光の方向を複数の方向へ分散させる曲
面状の反射鏡３０を備えている。この反射鏡３０は内面
を鏡面加工され、図４に示すように、発光体２９からの
光をどの部分で反射しても透明シート１６上のラインセ
ンサカメラ２３による撮影領域２４に集光されるよう反
射角度を計算された特殊な形状をしている。Further, the light source 26 has a curved reflection below the luminous body 29 (at a position farther away from the luminous body 29 with respect to the transparent sheet 16) for dispersing the direction of light from the luminous body 29 in a plurality of directions. A mirror 30 is provided. The inner surface of the reflecting mirror 30 is mirror-finished, and as shown in FIG. 4, no matter where the light from the illuminant 29 is reflected, the light is focused on the shooting area 24 by the line sensor camera 23 on the transparent sheet 16. It has a special shape with a calculated reflection angle.
【００３０】そして、ラインセンサカメラ２３には、Ａ
／Ｄ変換装置３１および画像処理装置３２を備えた制御
装置３３が接続されている。The line sensor camera 23 has A
A control device 33 including an / D conversion device 31 and an image processing device 32 is connected.
【００３１】また、上記の欠陥２０は、図５に示すよう
な平面形状と、図６に示すような断面形状をしており、
異物１９による核部と核部の周囲に形成される気泡部３
４とで構成されている。また、図７中、符号３５は発光
体２９による照射光の照射角度、符号３６は欠陥２０の
盛上がりの角度である。The defect 20 has a planar shape as shown in FIG. 5 and a cross-sectional shape as shown in FIG.
The core part due to the foreign matter 19 and the bubble part 3 formed around the core part
4. In FIG. 7, reference numeral 35 denotes an irradiation angle of irradiation light from the light emitter 29, and reference numeral 36 denotes an angle at which the defect 20 rises.
【００３２】次に、この実施の形態１の作用について説
明する。Next, the operation of the first embodiment will be described.
【００３３】発光体２９を発光させると、発光体２９か
ら照射された光は、遮蔽板２８によってラインセンサカ
メラ２３の視野内域２７へ直接向かう光が遮断される。
そして、その他の光は、直接、或いは、反射鏡３０で反
射されて透明シート１６におけるラインセンサカメラ２
３の撮影領域２４へ集中される。この際、反射鏡３０で
反射させることにより、方向の異なる複数の光を同時に
照射することが可能となる。When the light-emitting body 29 emits light, the light emitted from the light-emitting body 29 is blocked by the shielding plate 28 from going directly to the visual field 27 of the line sensor camera 23.
Then, the other light is reflected directly or on the reflecting mirror 30 and is reflected on the line sensor camera 2 on the transparent sheet 16.
3 is focused on the shooting area 24. At this time, by reflecting the light with the reflecting mirror 30, it is possible to simultaneously irradiate a plurality of lights having different directions.
【００３４】そして、透明シート１６の良品部では、照
明光は、ラインセンサカメラ２３の撮影領域２４を入射
方向と同じ角度でラインセンサカメラ２３の視野外域２
５へと透過される。Then, in the non-defective part of the transparent sheet 16, the illuminating light illuminates the photographing area 24 of the line sensor camera 23 at the same angle as the incident direction.
5 is transmitted.
【００３５】一方、透明シート１６に欠陥２０がある
と、欠陥２０の異物１９と気泡部３４との境界部分で光
が散乱および屈折されるため、照明光は、ラインセンサ
カメラ２３による視野内域２７へ向けて進行され、ライ
ンセンサカメラ２３で強く受光される。On the other hand, if the transparent sheet 16 has the defect 20, the light is scattered and refracted at the boundary between the foreign matter 19 of the defect 20 and the bubble portion 34. 27, and is strongly received by the line sensor camera 23.
【００３６】即ち、図７に示すように照射光の照射角度
３５と欠陥２０の盛上がりの角度３６を定義すると、透
明シート１６に対して垂直に向けられたラインセンサカ
メラ２３の視野内域２７へ屈折光が進行する照射角度３
５と盛上がりの角度３６との関係が、計算上、図８に示
すように一義的に定められるので、方向の異なる複数の
光を同時に照射することにより、盛上がりの厚みや角度
に拘わらず様々な欠陥２０を検出することが可能とな
る。例えば、照射角度３５が２０度から３０度の光は、
盛上がりの角度３６が４度から５度の欠陥２０で反射さ
れてラインセンサカメラ２３の視野内域２７へ進行さ
れ、照射角度３５が３０度から４０度の光は、盛上がり
の角度３６が５度から６度の欠陥２０で反射されてライ
ンセンサカメラ２３の視野内域２７へ進行されることと
なる。That is, as shown in FIG. 7, when the irradiation angle 35 of the irradiation light and the swelling angle 36 of the defect 20 are defined, the light enters the visual field inner region 27 of the line sensor camera 23 which is oriented perpendicular to the transparent sheet 16. Irradiation angle 3 at which refracted light travels
Since the relationship between 5 and the swell angle 36 is uniquely determined in the calculation as shown in FIG. 8, by simultaneously irradiating a plurality of lights having different directions, various irrespective of the thickness and angle of the swell. The defect 20 can be detected. For example, light with an irradiation angle 35 of 20 degrees to 30 degrees
The rising angle 36 is reflected by the defect 20 having a degree of 4 to 5 degrees and travels to the inner area 27 of the field of view of the line sensor camera 23. The light having an irradiation angle 35 of 30 to 40 degrees has a rising angle 36 of 5 degrees. The light is reflected by the defect 20 at 6 degrees from the first direction and travels to the visual field 27 of the line sensor camera 23.
【００３７】この場合、ラインセンサカメラ２３からの
映像は、全体が暗視野で欠陥２０部分が明点の画像とな
る。ラインセンサカメラ２３からの映像はＡ／Ｄ変換装
置３１へ送られてＡ／Ｄ変換され（図９（ａ）の画像を
参照）、Ａ／Ｄ変換された信号が画像処理装置３２へ送
られて画像処理（図９（ｂ）の画像を参照）され、欠陥
２０の有無が判定される。In this case, the image from the line sensor camera 23 is an image in which the entirety is dark field and the defect 20 is a bright point. The image from the line sensor camera 23 is sent to the A / D converter 31 and A / D converted (see the image in FIG. 9A), and the A / D converted signal is sent to the image processing device 32. Image processing (see the image in FIG. 9B) to determine the presence or absence of the defect 20.
【００３８】より具体的には、画像処理装置３２は、各
ラインセンサカメラ２３の全ての画素の信号の平均値を
計算で求める。次に、画像処理装置３２は、各画素の信
号の値から前記平均値を引いた値と予め設定されたしき
い値とを比較し、しきい値を超えた値を１、しきい値を
超えない値を０に２値化する。そして、１の値を持つ画
素部分を欠陥２０と判定する。この判定結果は、例え
ば、平米当たりの欠陥数としてオペレーターに表示さ
れ、その欠陥数が過大な場合には警報を発生させるなど
する。More specifically, the image processing device 32 calculates an average value of signals of all pixels of each line sensor camera 23 by calculation. Next, the image processing device 32 compares a value obtained by subtracting the average value from the value of the signal of each pixel with a preset threshold value. The value not exceeding is binarized to 0. Then, a pixel portion having a value of 1 is determined as a defect 20. This determination result is displayed to the operator as, for example, the number of defects per square meter, and if the number of defects is excessive, an alarm is generated.
【００３９】このように、ラインセンサカメラ２３によ
る透明シート１６上の撮影領域２４を透明シート１６の
反対側から透過して前記ラインセンサカメラ２３の視野
外域２５へ出射する光を、同時に複数の方向から照射さ
せ、透明シート１６上の欠陥２０によってラインセンサ
カメラ２３の視野内域２７へ向け屈折された光をライン
センサカメラ２３で検出することにより、盛上がりの厚
みや角度に拘わらず欠陥２０を検出することが可能とな
り、検査の精度を上げることができる。As described above, the light transmitted through the photographing area 24 on the transparent sheet 16 by the line sensor camera 23 from the opposite side of the transparent sheet 16 and emitted to the outside field 25 of the line sensor camera 23 is simultaneously transmitted in a plurality of directions. Irrespective of the thickness and angle of the swelling, the line sensor camera 23 detects the light refracted by the defect 20 on the transparent sheet 16 toward the visual field 27 of the line sensor camera 23. And the accuracy of inspection can be improved.
【００４０】また、光源２６を、発光体２９と、発光体
２９からラインセンサカメラ２３の視野内域２７へ直接
向かう光を遮蔽する遮蔽板２８と、発光体２９からの光
の方向を複数の方向へ分散させる曲面状の反射鏡３０と
で構成することにより、少ない発光体２９で効率良く方
向の異なる複数の光を同時に照射することが可能とな
る。The light source 26 includes a light-emitting body 29, a shielding plate 28 for blocking light directly from the light-emitting body 29 to the visual field 27 of the line sensor camera 23, and a plurality of light-emitting directions from the light-emitting body 29. With the configuration including the curved reflecting mirror 30 dispersing in the direction, it is possible to efficiently irradiate a plurality of lights in different directions simultaneously with a small number of light emitters 29.
【００４１】特に、遮蔽板２８を、透明シート１６下面
（ラインセンサカメラ２３とは反対側の面）のラインセ
ンサカメラ２３による撮影領域２４の直下位置（直近位
置）に配設し、発光体２９を、遮蔽板２８の下方（透明
シート１６に対して遮蔽板２８よりも離れた位置）で且
つ遮蔽板２８に対しライン方向前後に位置をずらせて複
数（２本）並列に配設することにより、一層光源２６の
構成を簡略化することができる。In particular, the shielding plate 28 is disposed on the lower surface of the transparent sheet 16 (the surface opposite to the line sensor camera 23) immediately below (immediately below) the shooting area 24 by the line sensor camera 23, and the luminous body 29 is provided. Are arranged in parallel with each other at a position below the shielding plate 28 (at a position farther than the shielding plate 28 with respect to the transparent sheet 16) and at a position in front of and behind the shielding plate 28 in the line direction. The structure of the light source 26 can be further simplified.
【００４２】なお、この検査装置２２では、光源２６か
ら常時光を照射してオンラインで欠陥２０を検出するこ
とが可能である。In this inspection device 22, it is possible to detect the defect 20 on-line by constantly irradiating light from the light source 26.
【００４３】[0043]
【発明の実施の形態２】図１０〜図１３は、この発明の
実施の形態２を示すものである。なお、実施の形態１と
同一ないし均等な部分については、同一の符号を付して
説明する。Second Embodiment FIGS. 10 to 13 show a second embodiment of the present invention. The same or equivalent parts as those in the first embodiment will be described with the same reference numerals.
【００４４】まず、構成を説明すると、この実施の形態
２のものでは、ラインセンサカメラ２３による撮影領域
２４の手前側（上流側）に、透明シート１６の両面から
ほぼ３０度の角度で同時に同領域に対して圧縮空気を均
等に（同圧力で）吹き付け可能な、上下のエアノズル４
０と、エアポンプ４１と、圧縮空気をクラス１０００程
度に清浄化可能なエアフィルタ４２とからなる除塵装置
４３を配設している。First, the structure will be described. In the second embodiment, the front side (upstream side) of the photographing area 24 by the line sensor camera 23 is simultaneously set at an angle of about 30 degrees from both sides of the transparent sheet 16. Upper and lower air nozzles 4 capable of blowing compressed air evenly (at the same pressure) to the area
0, an air pump 41, and an air filter 42 that can clean compressed air to a class of about 1000 are provided.
【００４５】次に、この実施の形態２の作用について説
明する。Next, the operation of the second embodiment will be described.
【００４６】ラインセンサカメラ２３による撮影領域２
４の手前側（上流側）に、エアノズル４０を設けること
により、検査直前に除塵を行わせてより正確な検査結果
を得ることができ、且つ、除塵装置４３により透明シー
ト１６の両面から同時に圧縮空気を均等に吹き付けるこ
とにより、透明シート１６が圧縮空気により歪んだり検
査位置がズレたりすることを防止ことができる。Photographing area 2 by line sensor camera 23
By providing the air nozzle 40 on the near side (upstream side) of the transparent sheet 4, dust can be removed immediately before the inspection to obtain a more accurate inspection result, and the dust removing device 43 simultaneously compresses both sides of the transparent sheet 16. By blowing the air evenly, it is possible to prevent the transparent sheet 16 from being distorted by the compressed air and from shifting the inspection position.
【００４７】即ち、図１３に示すように、エアノズル４
０を上下の一方にのみ設けた場合には、透明シート１６
が歪んで品質が劣化したりバタ付いたりして検査位置が
ズレてしまうこととなるが、この実施の形態２によれ
ば、このようなことがない。That is, as shown in FIG.
0 is provided only on one of the upper and lower sides.
However, according to the second embodiment, such a problem does not occur.
【００４８】上記以外の部分については、実施の形態１
と同様の構成を備えており、同様の作用・効果を得るこ
とができる。The other parts are the same as those in the first embodiment.
, And the same operation and effect can be obtained.
【００４９】[0049]
【発明の効果】以上説明してきたように、請求項１の発
明によれば、撮像手段による透明シート上の撮影領域
を、透明シートの反対側から透過して、撮像手段の視野
外域へ出射する光を、複数の方向から同時に照射するこ
とにより、透明シート上の欠陥で屈折され撮像手段の視
野内域へ偏向された光を撮像手段で検出することによ
り、盛上がりの厚みや角度に拘わらず欠陥を検出するこ
とが可能となる。As described above, according to the first aspect of the present invention, the photographing area on the transparent sheet by the imaging means is transmitted from the opposite side of the transparent sheet and emitted to the outside of the visual field of the imaging means. By irradiating light simultaneously from a plurality of directions, the light refracted by the defect on the transparent sheet and deflected into the visual field of the image pickup means is detected by the image pickup means. Can be detected.
【００５０】請求項２の発明によれば、撮像手段による
撮影領域の手前側に、透明シートの両面から同時に圧縮
空気を均等に吹き付けて除塵を行わせることにより、検
査直前に除塵を行わせてより正確な検査結果を得ること
ができ、且つ、透明シートの両面から均等に圧縮空気を
吹き付けることにより、透明シートの歪みを防止し、且
つ、検査位置がズレることを防止することができる。According to the second aspect of the present invention, dust is removed immediately before the inspection by simultaneously blowing compressed air evenly from both sides of the transparent sheet to the front side of the imaging area by the imaging means. A more accurate inspection result can be obtained, and by blowing compressed air uniformly from both sides of the transparent sheet, distortion of the transparent sheet can be prevented, and the inspection position can be prevented from shifting.
【００５１】請求項３の発明によれば、透明シートへ向
けて配設された撮像手段と、透明シートにおける撮像手
段の撮影領域を透明シートの反対側から透過して、撮像
手段の視野外域へ出射する光を、複数の方向から同時に
照射する光源とを備えたことにより、請求項１と同様の
作用効果を得ることができる。According to the third aspect of the present invention, the imaging means disposed toward the transparent sheet, and the imaging area of the imaging means in the transparent sheet is transmitted from the opposite side of the transparent sheet to the outside of the visual field of the imaging means. By providing the light source for irradiating the emitted light simultaneously from a plurality of directions, it is possible to obtain the same operation and effect as the first aspect.
【００５２】請求項４の発明によれば、光源が、透明シ
ートを挟んで撮像手段と反対側に配設されると共に、光
源が、撮像手段の視野外域の光を遮蔽する遮蔽板と、該
遮蔽板と位置をずらせて配設された発光体と、該発光体
からの光の方向を複数の方向へ分散させる曲面状の反射
鏡とを備えたことにより、少ない発光体で効率良く方向
の異なる複数の光を同時に照射することが可能となる。According to the fourth aspect of the present invention, the light source is disposed on the opposite side of the image pickup means with the transparent sheet therebetween, and the light source is provided with a shielding plate for shielding light outside the visual field of the image pickup means; By providing a light-emitting body arranged at a position shifted from the shielding plate, and a curved reflecting mirror for dispersing the direction of light from the light-emitting body in a plurality of directions, the direction of the light can be efficiently reduced with a small number of light-emitting bodies. It is possible to simultaneously irradiate a plurality of different lights.
【００５３】請求項５の発明によれば、撮像手段による
撮影領域の手前側に、透明シートの両面から均等に圧縮
空気を吹き付ける除塵装置を配設したことにより、請求
項２と同様の作用効果を得ることができる、という実用
上有益な効果を発揮し得る。According to the fifth aspect of the present invention, the dust removing device for uniformly blowing compressed air from both sides of the transparent sheet is provided in front of the photographing area by the image pickup means, so that the same operation and effect as in the second aspect are provided. Can be obtained, which is a practically useful effect.
【図１】本発明の実施の形態１のライン全体図である。FIG. 1 is an overall line diagram according to a first embodiment of the present invention.
【図２】図１の検査装置の拡大斜視図である。FIG. 2 is an enlarged perspective view of the inspection device of FIG.
【図３】図２の拡大側面図である。FIG. 3 is an enlarged side view of FIG. 2;
【図４】反射鏡の部分拡大図である。FIG. 4 is a partially enlarged view of a reflecting mirror.
【図５】欠陥の平面図である。FIG. 5 is a plan view of a defect.
【図６】欠陥の側方断面図である。FIG. 6 is a side sectional view of a defect.
【図７】照射角度と欠陥の盛上がりの角度の説明図であ
る。FIG. 7 is an explanatory diagram of an irradiation angle and an angle of a rise of a defect.
【図８】垂直に配置された撮像手段へ向かう屈折透過光
が発生するための入射角（照射角）と欠陥の盛上がりの
角度との関係を示すグラフである。FIG. 8 is a graph showing a relationship between an incident angle (irradiation angle) for generating refracted transmitted light toward a vertically arranged imaging unit and an angle at which a defect rises.
【図９】（ａ）はＡ／Ｄ変換された検査画像であり、
（ｂ）は２値化画像である。9A is an A / D converted inspection image, and FIG.
(B) is a binarized image.
【図１０】本発明の実施の形態２の装置構成を示す斜視
図である。FIG. 10 is a perspective view showing an apparatus configuration according to a second embodiment of the present invention.
【図１１】図１０の概略側面図である。FIG. 11 is a schematic side view of FIG.
【図１２】エアノズル部分の拡大図である。FIG. 12 is an enlarged view of an air nozzle portion.
【図１３】エアノズルが１個の場合の場合の図１２と同
様の図である。FIG. 13 is a view similar to FIG. 12 in the case of one air nozzle.
【図１４】従来例の装置構成図である。FIG. 14 is a diagram showing the configuration of a conventional device.
１６ 透明シート ２０ 欠陥 ２３ 撮像手段（ラインセンサカメラ） ２４ 撮影領域 ２５ 視野外域 ２６ 光源 ２７ 視野内域 ２８ 遮蔽板 ２９ 発光体 ３０ 反射鏡 ４３ 除塵装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 16 Transparent sheet 20 Defect 23 Imaging means (line sensor camera) 24 Imaging area 25 Outer field of view 26 Light source 27 Inner field of view 28 Shielding plate 29 Light emitter 30 Reflector 43 Dust removal device
Claims (5)
透明シートの反対側から透過して前記撮像手段の視野外
域へ出射する光を、同時に複数の方向から照射させ、 前記透明シート上の欠陥によって前記撮像手段の視野内
域へ向け屈折された前記光を前記撮像手段で検出するこ
とを特徴とする透明シートの検査方法。1. A defect on the transparent sheet, which is radiated simultaneously from a plurality of directions with light that passes through a photographing area on the transparent sheet by the imaging means from an opposite side of the transparent sheet and is emitted to a region outside the field of view of the imaging means. The method for inspecting a transparent sheet, wherein the light refracted toward an inner area of the visual field of the image pickup means by the image pickup means is detected by the image pickup means.
域の手前側に、前記透明シートの両面から同時に圧縮空
気を均等に吹き付けて除塵を行わせることを特徴とする
請求項１記載の透明シートの検査方法。2. A transparent sheet according to claim 1, wherein compressed air is simultaneously and uniformly blown from both sides of said transparent sheet toward a front side of a photographing area on said transparent sheet by said image pickup means to remove dust. Inspection method.
と、該撮像手段による前記透明シート上の撮影領域を透
明シートの反対側から透過して前記撮像手段の視野外域
へ出射する光を、同時に複数の方向から照射可能な光源
とを備えたことを特徴とする透明シートの検査装置。3. An image pickup means arranged toward a transparent sheet, and a light which passes through a photographing area on the transparent sheet by the image pickup means from an opposite side of the transparent sheet and is emitted to a region outside the visual field of the image pickup means. And a light source capable of simultaneously irradiating from a plurality of directions.
撮像手段と反対側に配設されると共に、前記光源が、発
光体と、該発光体から前記撮像手段の視野内域へ直接向
かう光を遮蔽する遮蔽板と、前記発光体からの光の方向
を複数の方向へ分散させる曲面状の反射鏡とを備えたこ
とを特徴とする請求項３記載の透明シートの検査装置。4. The light source is disposed on the opposite side of the image pickup means with the transparent sheet interposed therebetween, and the light source is directed to a light emitter and directly from the light emitter to an area within the visual field of the image pickup means. The inspection apparatus for a transparent sheet according to claim 3, further comprising a shielding plate for shielding light, and a curved reflecting mirror for dispersing the direction of the light from the light emitter in a plurality of directions.
域の手前側に、前記透明シートの両面から同時に圧縮空
気を均等に吹き付ける除塵装置を配設したことを特徴と
する請求項３ないし４のいずれかに記載の透明シートの
検査装置。5. A dust removing device for blowing compressed air from both sides of said transparent sheet evenly at the front side of a photographing area on said transparent sheet by said image pickup means. The transparent sheet inspection apparatus according to any one of the above.
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|---|---|---|---|
| JP2000024111A JP2001215197A (en) | 2000-02-01 | 2000-02-01 | Method and apparatus for inspecting transparent sheet |
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