JP2001209018A - モニタ付き光変調器 - Google Patents
モニタ付き光変調器Info
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Abstract
かも変調光(通信光)の状態を正確に把握することので
きる、小型かつ低コストのモニタ付き光変調器を提供す
ることにある。 【解決手段】 伝搬する光波が互いに干渉するように構
成された2本の分岐光導波路12b、12cを結合する
3dB方向性結合器13と、該3dB方向性結合器13
の光出力のうちの所望の光出力をモニタ光として検出す
る光検出器10とを有する。
Description
るモニタ付き光変調器に関し、特に伝搬する光波が互い
に干渉する2本の分岐光導波路を備えたマッハツェンダ
干渉系型のモニタ付き光変調器に関する。
レーザダイオード自体を直接制御することにより変調を
行う直接変調方式と、半導体レーザ光を外部(または内
部)で変調する外部変調方式(または内部変調方式)が
ある。前者の変調方式は主に通信速度が10Gbps程
度までの低速光通信に用いられ、それを超える高速光通
信に後者の変調方式が用いられる。
マッハツェンダ干渉系型の光変調器がある。このマッハ
ツェンダ干渉系型の光変調器は、駆動電圧のプッシュプ
ルな印加によりノイズ成分における同相成分を相殺する
ことで外乱に対して安定でS/Nの良好な変調特性を得
ることができることから、特に、超高速光通信システム
における外部変調器としてよく用いられている。
渉系型の光変調器の構成を示す。このマッハツェンダ干
渉系型の光変調器は、電気光学効果を有する光学基板8
1表面上に埋め込み型の光導波路82が設けられてい
る。光導波路82は、入力導波路82aがY分岐構造の
分岐部を介して2つの光導波路82b、82cに分岐さ
れ、さらにこれら分岐光導波路82b、82cがY分岐
構造の結合部を介して出力導波路82dに結合されてお
り、これによりマッハツェンダ干渉系型の導波路が構成
されている。分岐光導波路82b、82c上には、さら
に光学バッファ層89および所定のパターンの進行波型
電極84が設けられている。
力された単一直線偏光は、Y分岐部で等分されて光導波
路82b、82cにそれぞれ進む。このとき、光導波路
82b、82cには、図14(b)に示すように、進行
波型電極84に電圧を印加することによって発生した電
界が、光導波路82b、82cに対して垂直で互いに逆
向きに印加されている。そのため、各光導波路82b、
82cでは光学基板81の有する電気光学効果によって
その屈折率が変化するが、各光導波路82b、82cに
おける屈折率変化は、変化量が同等で、符号が正負逆に
作用する。したがって、屈折率変化による位相変調は光
導波路82b、82cに対してプッシュプルに働くこと
となる。これら光導波路82b、82cでそれぞれ位相
変調(±φ/2)を受けた光波は、Y結合部にて合波干
渉して出力導波路82dに進み、出力端から出力され
る。この場合、出力光は、総位相変調量φに対してco
s2(φ/2)で変化する。例えば、光導波路82b、8
2cを導波する光波の合波干渉に際し、同相の場合(φ
=2nπ)に出力が最大となり、逆相(φ=(2n+1)
π)の場合に出力は最小となる(n=0,1,2…)。
系型の光変調器では、一般に、光強度変調を行うに当た
って、初期動作点を最大出力と最小出力の中間位置(π
/2位相状態)に設定することが好ましい。そこで、図
15に示すように、高周波電源87に加えて、DC電源
85およびバイアス回路86を設け、初期動作点を調整
できるようにしたものが提案されている。この構成によ
れば、駆動電圧である変調信号(AC)電圧に加えて、
バイアス設定用の直流(DC)電圧が進行波電極84に
印加され、これにより光学基板が持つ電気光学効果によ
り光導波路の屈折率が変化して位相がシフトされる。図
15(b)に、DC電圧が0の場合の出力特性を示す。
は、動作点の経時変化(DCドリフト現象)が生じるた
めに、安定した変調特性を長期に渡って維持できないと
いう問題がある。このDCドリフト現象は、例えばニオ
ブ酸リチウム結晶を光学基板に用いた場合によくみられ
る。
光として取り出して検出し、その検出結果をフィードバ
ックすることにより、DCドリフトによる電界の変化に
追従して電圧を補正するものが提案されている。一例と
して、図16に、特許第2738078号公報に記載さ
れているモニタ付き光変調器の構成を示す。
調器の出力光の一部をモニタ光として取り出してフィー
バックする構造が設けられている以外は、前述の図15
(a)に示した光変調器とほぼ同様の構造のものであ
る。図16中、同じ構成には同じ符号を付している。
た高周波電源87、DC電源85およびバイアス回路8
6からなるもので、DCバイアスによる初期動作点の調
整が可能に構成されている。入力導波路82aにはシン
グルモード光ファイバ92が結合されており、半導体レ
ーザ91から発せられた光がシングルモード光ファイバ
91を介して入力導波路82aに導かれる。出力導波路
82dにはシングルモード光ファイバ93が結合され、
このシングルモード光ファイバ93がファイバカップラ
94を介してシングルモード光ファイバ95、96に分
岐されている。出力導波路82dから出力された変調光
(信号光)は、ファイバカップラ94にて分岐され、そ
れぞれシングルモード光ファイバ95、96から出力さ
れる。各シングルモード光ファイバ95、96から出力
される変調光(信号光)は、それぞれ光検出器97、9
8にて検出される。ここで、光検出器97は通信相手先
の光検出器である。光検出器98の出力は信号処理・制
御回路99に入力されている。
号光)はファイバカップラ94にて2つに分岐されて、
一方が通信相手先の光検出器97にて受光されるととも
に、他方が光検出器98にて受光される。信号処理・制
御回路99は、光検出器98の検出結果を基に動作点の
ずれを検知して入力信号電源90へフィードバックし、
DCドリフトなどによる電界の変化に追従するように入
力信号電源90のDCバイアスの調整を行う。
他に、基板放射光をモニタするものも提案されている。
図17に、その概略構成を示す。
調器の出力光の一部をモニタ光として取り出してフィー
バックする構造に代えて、基板放射光をモニタ光として
取り出してフィーバックする構造が設けられた以外は、
上述の図16に示した光変調器とほぼ同様の構造のもの
である。図17中、同じ構成には同じ符号を付してい
る。
の結合部を介して出力導波路82dに結合された部分で
は、図18に示すように、導波路を伝搬する光の一部が
洩れ出し、この洩れ出した光が光学基板81の側面の出
力導波路82dの端面近傍から放射光100として出射
される。この放射光100の光パワーの総和と位相は、
出力導波路82dから出力される変調光(信号光)と相
補的な関係にある。図17に示したモニタ付き光変調器
では、その放射光100がモニタ光として利用される。
には信号光用光ファイバ101が結合され、光学基板8
1の側面の出力導波路82dの端面近傍には、放射光1
00をモニタ光として取り出すためのモニタ光用光ファ
イバ102が結合されている。これらの光ファイバ10
1、102はホルダ103により固定されている。
号光)が信号光用光ファイバ101を介して通信相手先
の光検出器97にて受光されるとともに、放射光100
がモニタ光用光ファイバ102を介して光検出器98に
て受光される。信号処理・制御回路99は、光検出器9
8の検出結果を基に動作点のずれを検知して入力信号電
源90へフィードバックし、DCドリフトなどによる電
界の変化に追従するように入力信号電源90のDCバイ
アスの調整を行う。光検出器98の出力をモニタするこ
とで、通信時の変調状態を知ることもできる。
た従来のモニタ付き光変調器には以下のような問題があ
る。
ては、変調光(信号光)の一部がファイバカップラによ
って分岐されてモニタ光として用いられるため、送信さ
れる光信号のパワーがそのモニタ光として分岐された分
だけ減少する。そのため、通信相手先までの光ファイバ
による伝送距離が短くなってしまうという問題がある。
また、ファイバカップラを必要とすることから、その分
だけ装置の低コスト化および小型化の面で不利なものと
なる。
ては、モニタ光として基板放射光が用いられる。この基
板放射光は、マッハツェンダ干渉系の合波干渉部(出口
側のY分岐部)において逆位相時(消光時)に光導波路
から基板中に放射されるものであり、広がって進むた
め、素子端部ではその放射光の一部しか受光することが
できない。そのため、素子端部において受光できる光パ
ワーは小さい。一般に、受光器の受光感度(最低受光パ
ワーレベル)と受光帯域(最高応答周波数)とはトレー
ドオフの関係にあるため、受光できる光パワーが小さい
場合は、高感度の受光器を使用することが必要となり、
その分、高価な受光器が必要となったり、受光帯域の制
限を受けたりすることとなる。
合は、変調光(通信光)の状態を正確には把握すること
はできないばかりか、場合によってはその基板放射光が
ノイズ光成分となって通信品質を劣化させることもあっ
た。
決し、好適な初期動作点を実現することができ、しか
も、変調光(通信光)の状態を正確に把握することので
きる、小型かつ低コストのモニタ付き光変調器を提供す
ることにある。
め、第1の発明のモニタ付き光変調器は、伝搬する光波
が互いに干渉するように構成された2本の分岐光導波路
を結合する3dB方向性結合器と、前記3dB方向性結
合器の光出力のうちの所望の光出力をモニタ光として検
出する光検出手段とを有することを特徴とする。
する光波が互いに干渉するように構成された2本の分岐
光導波路を結合する2入力2出力のマルチモード干渉型
の光導波路と、前記マルチモード干渉型の光導波路の光
出力のうちの所望の光出力をモニタ光として検出する光
検出手段とを有することを特徴とする。
光としての光出力が入力されて伝搬される出力光導波路
と、前記出力光導波路の出力側端面に結合された光ファ
イバとをさらに有するものとしてもよい。
されて伝搬される出力光導波路と、前記出力光導波路の
一部に設けられた、導波光を外部の1点に集光させて取
り出すためのクレーティングカップラとをさらに有する
ものとしてもよい。
力されて伝搬される出力光導波路と、前記出力光導波路
の一部に設けられた、導波光を外部に取り出すためのV
字形の溝とをさらに有するものとしてもよい。
力されて伝搬される出力光導波路と、端面の一部が前記
出力光導波路の出力側端面と結合された二次元光導波路
と、前記二次元光導波路の一部を構成する、光路変換の
ための曲面導波路とをさらに有するものとしてもよい。
力されて伝搬される出力光導波路と、端面の一部が前記
出力光導波路の出力側端面と結合された二次元光導波路
と、前記二次元光導波路の一部に設けられた、光路変換
のための反射ミラーとをさらに有するものとしてもよ
い。
力されて伝搬される、所定の曲がり半径を有する曲がり
光導波路をさらに有するものとしてもよい。
力されて伝搬される、くの字状に折れ曲った出力光導波
路と、前記出力光導波路の折れ曲った部分に設けられ、
その導波光を反射する反射ミラーとをさらに有するもの
としてもよい。
力されて伝搬される第1の出力光導波路と、前記第1の
出力光導波路の一部に設けられた光路変換のためのクレ
ーティングと、前記クレーティングにて光路変換された
導波光が伝搬される第2の出力光導波路とをさらに有す
るものとしてもよい。
2本の分岐光導波路が3dB方向性結合器または2入力
2出力のマルチモード干渉型の光導波路で結合されたも
のにおいては、予め動作点をπ/2位相をずらすよう制
御することができる。
ード干渉型の光導波路を用いたものにおいては、消光時
(光出力OFFの状態)における光パワーを出力光導波
路を介して取り出すことができるので、そのほとんどを
モニタ光として検出することができ、また、従来のよう
に基板放射光がノイズ光成分となって通信品質の劣化を
招くこともない。
される2つの光出力は互いに逆位相(マルチモード干渉
型の光導波路の場合は同位相)の関係で、しかも等パワ
ーの関係にある。したがって、これらの光出力の一方を
モニタすることによって、他方の光出力の状態を位相や
消光比等の劣化のない良好な状態で検知することができ
る。この場合、モニタ用光検出器として、従来用いられ
ていたような高感度のもの(高価なもの)を用いる必要
はない。
なものにおいては、光変調デバイスの変調光(信号光)
が出力される面とは異なる面からモニタ光を取り出すこ
とができる。したがって、モニタ光を検出するための光
検出器が変調光を伝搬する光ファイバと干渉するといっ
た問題は生じない。
(信号光)の一部がモニタ光として用いられることはな
い。したがって、従来のような、送信される光信号パワ
ーが減少するといった問題は生じない。また、装置の低
コスト化および小型化の面で不利なるファイバカップラ
も必要としない。
図面を参照して説明する。
施形態のモニタ付き光変調器の概略構成図である。この
モニタ付き光変調器は、電気光学効果を有する光学基板
11表面上に光導波路12が設けられ、さらにその上に
光学バッファ層19および所定のパターンの進行波型電
極14が設けられた構成となっている。
分岐構造の導波路を介して2つの分岐光導波路12b、
12cに分岐され、さらにこれら分岐光導波路12b、
12cが3dB方向性結合器13を介してそれぞれ出力
光導波路12d、12eと接続された、マッハツェンダ
干渉系型の導波路構造になっている。この構造によれ
ば、各出力光導波路12d、12eの端面から出力され
る2つの光出力のうちの所望の光出力を取り出すことが
できる。本形態では、出力光導波路12dから出力され
る光出力がモニタ光として光検出器(PD)10にて検
出されるようになっている。
12cと重なるように設けられた電極14a(接地電
極)と、その外周に沿って設けられ、一部が分岐光導波
路12bと重なるように設けられた電極14b(信号電
極)と、これら電極を囲むように設けられた電極14c
(接地電極)とからなる。電極14bは、一端が終端器
18を介して電極14a、14cと接続され、他端が電
源回路17を介して電極14a、14cと接続されてい
る。
を模式的に示す。入力光導波路12aに入力された光
は、Y分岐部で等分されて分岐光導波路12b、12c
にそれぞれ進む。このとき、進行波型電極14に信号電
圧を印加することによって発生した電界は分岐光導波路
12b、12cに対して垂直で互いに逆向きに印加され
ており、光波は分岐光導波路12b、12cでそれぞれ
位相変調(±φ/2)を受ける。分岐光導波路12b、
12cでそれぞれ位相変調(±φ/2)を受けた光波
は、3dB方向性結合器13にて合波干渉して出力光導
波路12d、12eにそれぞれ進み、各導波路の出力端
からそれぞれ主信号、反転信号として出力される。これ
ら光出力のうち、出力光導波路12dから出力される光
出力(反転信号)がモニタ光として光検出器10によっ
て検出される。
号電圧に対する出力光変化を示す。図3に示すように、
各出力光導波路12d、12eの光出力は、互いに反転
した関係にあり、その光出力強度も同じである。したが
って、これら出力光導波路12d、12eの光出力の一
方をモニタすることによって、他方の光出力の状態を知
ることができる。本形態のモニタ付き光変調器は、その
ことを利用する。すなわち、出力光導波路12eの光出
力(主信号)を通信相手先へ送出するとともに、出力光
導波路12dの光出力(反転信号)をモニタ光として光
検出器10により検出する。これにより、通信時の変調
状態を知ることができる。
へフィードバックすることも可能である。この場合は、
光検出器10の出力を不図示の信号処理・制御回路に入
力し、信号処理・制御回路が、光検出器10の検出結果
を基に動作点のずれを検知して電源回路17へフィード
バックし、DCドリフトなどによる電界の変化に追従す
るように電源回路17のDCバイアスの調整を行う。こ
の調整により、出力光導波路12d、12eの光出力
は、互いの出力強度が印加信号電圧0において同一にな
るゼロクロス状態を安定してとることができ、良好な変
調特性を得ることができる。この場合、電源回路17
は、図15に示したようなDC電源およびバイアス回路
を含んだ構成とされる。
調器用デバイスの具体的な構成および作製手順について
説明する。以下の説明は、ZカットY軸伝搬のニオブ酸
リチウム結晶基板方位を用いてチタン拡散法により光導
波路を作製した例である。
構成において、光学基板11にZカットY軸伝搬のニオ
ブ酸リチウム結晶基板を用いる。ニオブ酸リチウム結晶
基板11上に、幅6〜10μm、膜厚60〜110nm
のチタン薄膜パターンを形成し、そのチタン薄膜パター
ンを酸素及び水蒸気を含んだガス雰囲気中(場合によっ
ては、窒素やアルゴン等の不活性ガスも含む)で950
〜1100℃の温度で6〜15時間程度の間、熱拡散す
ることによって光導波路12を形成する。光導波路12
の一部として形成される3dB方向性結合器13のパタ
ーンは、例えば波長1.55μm帯であれば、3dB方
向性結合器を構成する2つの光導波路の間隙を7μm以
下、結合長を10mm以下にすることが望ましい。
法、CVD法、スパッタリング法などの既知の手法を用
いて、厚さ0.5〜2.5μm程度のSiO2膜からな
る光学バッファ層19を形成する。この光学バッファ層
19は、光波を効率良く閉じ込めるためのものである。
SiO2膜の屈折率は1.5程度であり、これは光導波
路12を構成するチタン拡散光導波路(12a〜12
e)の屈折率よりも小さい。この光学バッファ層19の
形成に際しては、酸素欠損を補うとともに誘電体層の電
気抵抗を高くするために、酸素雰囲気中で500〜80
0℃で熱処理を行うことが好ましい。なお、SiO2膜
に代えて、導波光の吸収がなく、かつ基板11よりも屈
折率が小さい誘電体(Al2O3やITOなど)を光学バ
ッファ層19として使用することもできる。
成技術を用いて、光学バッファ層19及び光学基板11
上に、例えば厚さ0.1μm程度の金属層(チタン−金
など)を線幅6〜12μmの所望の形状にパターニング
することで下地金属を形成し、さらに金メッキ技術を用
いて厚さ10〜40μmの厚膜に肉付けすることにより
電極14a〜14cを形成して、光変調器用デバイスを
完成する。
いても、図1に示した光変調器の光学基板11にZカッ
トY軸伝搬のニオブ酸リチウム結晶基板を用いる。ま
ず、ニオブ酸リチウム結晶の光学基板11上に、フォト
レジストを塗布し、露光技術によって所定のレジストパ
ターンを形成する。このレジストパターンは、光導波路
12入出力の直線光導波路12a、12d、12eおよ
び干渉系を構成する光導波路12b、12cの部分のパ
ターンを形成するためのもので、7μm幅の導波路パタ
ーンを形成できる形状になっている。さらに、このレジ
ストパターンは、干渉系の終端部の方向性結合器13の
部分において、2μmの間隔を有する2本の直線パター
ンが1.3mmの長さにわたって隣接した光導波路パタ
ーンを形成できる形状になっている。
タ法によって膜厚84nmのチタン薄膜を堆積させ、ア
セトンなどの有機溶媒を用いてリフトオフしてチタン薄
膜よりなる光導波路パターンを形成する。そして、この
光導波路パターンを水蒸気を含んだ酸素雰囲気中で、1
045℃で8時間、熱拡散を行って、単一モードチタン
拡散光導波路(光導波路12)を作製する。
mのSiO2 膜よりなる光学バッファ層19をCVD法
により形成し、SiO2 膜の組成欠損を補うため、酸素
雰囲気中で700℃8時間の熱処理を行う。
された基板11上に、蒸着法を用いてチタン−金からな
る金属薄膜をそれぞれ厚さ0.02μmと0.1μmに
成膜し、その後、露光技術を用いて+電極線の線幅9μ
m、電極間隔26μmの電極パターンを形成する。さら
にその上にレジストを塗布し、再度、露光技術によって
特定形状の電極パターンを残すように全厚さが30μm
程度のレジストパターンを形成する。そして、このレジ
ストパターンをマスクとして、上記電極パターン上に電
界金メッキ法によって厚さ26μmに厚膜化した電極を
形成し、その後、レジストパターンを除去して進行波型
電極14を完成する。
は、干渉部を構成する光導波路12b、12cを伝搬し
た光が3dB方向性結合器13によって結合される構成
となっていたが、この3dB方向性結合器13に代え
て、2×2ポートのマルチモード干渉器(MMI:Mult
i-Mode Interference)光導波路を用いることもでき
る。
MMI型導波路を備えるモニタ付き光変調器の構成図で
ある。図4中、図1に示した構成と同じものには同じ符
号を付している。なお、同じ構成についての詳細な説明
は、ここでは省略する。
た構成と同様に、電気光学効果を有する光学基板11上
に光導波路12が設けられ、さらにその上に光学バッフ
ァ層19および所定のパターンの進行波型電極14が設
けられている。光導波路12は、入力光導波路12aが
Y分岐構造の導波路を介して2つの分岐光導波路12
b、12cに分岐され、さらにこれら分岐光導波路12
b、12cが2入力2出力のMMI型導波路23で結合
されて出力光導波路12d、12eと接続された、マッ
ハツェンダ干渉系型の導波路である。MMI導波路23
は、例えば、光導波路幅Wが6〜9μm、光導波路間隙
Gが10〜25μm、マルチモード光導波路部分の幅W
mが28〜45μm、長さLmが2〜6mmとなってい
る。この他、図4には示されていないが、第1の実施形
態で説明した進行波型電極、変調のための回路などを備
える。
50:50の等パワーの光波に分岐分離する、(2)作
製トレランスが大きい、(3)波長依存性が小さい、と
いう3つの特徴を有している。第58回応用物理学会学
術講演会講演予稿集(1997年10月、P1117)
の4a−ZB−8の「Ti:LiNbO3を用いた小型
MMIカプラ」の記載から分かるように、MMI型導波
路は解析的な計算によって設計することができ、その作
製トレランスは方向性結合器と比べて緩い、という特徴
も持つ。
原理説明図である。MMI型導波路は、一方の細幅の入
力導波路から入力された単一モードの光波を、広幅の光
導波路部分においてマルチモード(高次モード)に変換
した後、2つの出力導波路の界分布と漸近させること
で、スムーズにシングルモードに変換し、等パワーの光
波に分岐分離する。
岐光導波路12bから入力された光波が等パワーの光波
に分岐分離されると同時に、分岐光導波路12cから入
力された光波が等パワーの光波に分岐分離される。これ
ら分岐分離された光波は合波されてMMI型導波路23
の各出力導波路を伝搬してそれぞれ出力光導波路12
d、12eから出力される。この構造によれば、各出力
光導波路12d、12eから出力される2つの光出力の
うちの所望の光出力を変調光として取り出すことができ
る。本形態では、出力光導波路12dから出力される光
出力がモニタ光として光検出器10にて検出される。
2eの出力光は、位相および光出力強度が同じであるの
で、これら出力光導波路12d、12eの一方の光出力
をモニタすることによって、他方の光出力の状態を知る
ことができる。本形態のモニタ付き光変調器は、そのこ
とを利用する。すなわち、出力光導波路12eの光出力
(主信号)を通信相手先へ送出するとともに、出力光導
波路12dの光出力(反転信号)をモニタ光として光検
出器10により検出する。これにより、通信時の変調状
態を知ることができる。
へフィードバックすることも可能である。この場合は、
光検出器10の出力を不図示の信号処理・制御回路に入
力するようにする。そして、信号処理・制御回路が、光
検出器10の検出結果を基に動作点のずれを検知して電
源回路へフィードバックし、DCドリフトなどによる電
界の変化に追従するように電源回路のDCバイアスの調
整を行う。この調整により、出力光導波路12d、12
eの光出力は、互いの出力強度が印加信号電圧0におい
て同一になるゼロクロス状態を安定してとることがで
き、良好な変調特性を得ることができる。
波路構造を有する光変調器では、Y分岐部分において放
射光が少なからず発生するため、その放射光が合波・結
合部において再結合し変調特性に悪影響を与えることが
考えられる。本形態のように、合波・結合部がMMI型
導波路により構成されるものにおいては、放射光の影響
がMMI型導波路の広幅の光導波路部分(マルチモード
部)において低減される。これにより、通信品質はさら
に向上する。
1:1で分離するため、変調光(信号光)とモニタ光が
1:1で対応することとなり、変調光の状態を容易かつ
正確に検出することができる。
モニタ付き光変調器において、導波光(モニタ光)を光
検出器へ導くための光路変換素子として種々の構造のも
のを適用することができる。以下に、本発明に適用可能
ないくつかの光路変換素子の構造を挙げる。なお、以下
に説明する実施形態3〜10は、いずれも上述した第1
の実施形態のものの適用例であるが、これらの構成は上
述した第2の実施形態にも適用することができる。
施形態であるモニタ付き光変調器の構成を示す。このモ
ニタ付き光変調器は、モニタ光を光検出器へ導くための
光ファイバ1が設けられた以外は、前述の図1に示した
ものと同様の構成である。光ファイバ1は、一端面が出
力光導波路12dの端面に結合されており、出力光導波
路12dの光出力がモニタ光としてこの光ファイバ1を
介して光検出器10に入力される。
1に示した構成のものと比べてモニタ光を効率良く検出
することができ、しかもその製造工程はほぼ同じ工程で
すむ。また、光ファイバ1の取り回しによって、モニタ
付き光変調器を収容するPKG(パッケージ)内におけ
る光検出器の配置位置がある程度自由になる。さらに、
モニタ光が光検出器に至るまでの光路は、主信号である
光出力の光路と同等であるので、主信号に対する位相反
転状態を損なうことなく維持したままモニタすることが
できる。
施形態であるモニタ付き光変調器の構成を示す。このモ
ニタ付き光変調器も、モニタ光を光検出器へ導く構造が
異なる以外は、前述の図1に示したものと同様の構成で
ある。
グカップラ9が設けられている。このクレーティングカ
ップラ9の周期やパターンを適当に変調することによ
り、導波光を外部の1点に集光させて取り出すことがで
きる(D.Heitman and C. Ortiz, IEEE J. Quantum Elec
tron, QE-17, 7, p1257, July 1981参照)。本形態で
は、出力光導波路12dを伝搬する光がクレーティング
カップラ9にて基板表面に対して垂直な方向へ取り出さ
れ、光学基板11の上方に配置された光検出器10の受
光面上の1点に集光される。
率変調形やレリーフ形のグレーティング構造が適用可能
で、光導波路にグレーティングを形成する際に湾曲した
構造にすることで集光機能を持たせることができる。グ
レーティングのパターニングには、レジストマスクを用
いる周知のフォトリソグラフィによる方法の他、西原、
春名、栖原共著「光集積回路」(オーム社)第7章p.21
5-p.230に記載されているような、コヒーレントな二つ
の光波を干渉させたときに生じる干渉縞を利用する二光
束干渉法や、所望のパターンを電子ビームにより描画す
る電子ビーム描画法などを用いることができる。
検出器10を光学基板11の基板表面上に設置すること
ができるので、光検出器10が光学基板11側面に配置
される電気コネクタや光ファイバの実装の妨げとなるこ
とがない。よって、光検出器の設置について、設計や制
作上の自由度が大きくなる。
施形態であるモニタ付き光変調器の構成を示す。このモ
ニタ付き光変調器も、モニタ光を光検出器へ導く構造が
異なる以外は、前述の図1に示したものと同様の構成で
ある。
が設けられており、出力光導波路12dを伝搬する光
(モニタ光)がそのV字形の溝8にて光学基板11裏面
側へ反射されるようになっている。このようなV字形の
溝8は、例えば、AlをマスクとしてArガスイオンビ
ームエッチングにより作製することができる(応用物理
学会、90年春期、29p−F−8参照)。また、その
V字形の溝の作製に際しては、拡散炉において400
℃、4時間のアニールを行うことで、エッチング等によ
る導波路のダメージを回復させることができる。
られており、V字形の溝8にて反射された光(モニタ
光)がこの光検出器10にて受光される。この構造によ
れば、光検出器10は光学基板11裏面に設けられるた
め、光検出器10が光学基板11表面上に設けられる光
導波路や電源回路などと干渉することはない。よって、
光検出器の設置について、設計や制作上の自由度が大き
くなる。
の溝8を用いたものについて説明したが、このV字形の
溝8の代わりに、Λ字形のリッジを形成しても同様の効
果を得られる。
は導波路面に垂直)な凹みをつけ、その凹みの形状を適
当なものに選ぶことで所望の光路変換特性を得ることが
できる。ここでは、そのような構造を利用してモニタ光
を光検出器へ導くようにしたものについて説明する。
ニタ付き光変調器の構成を示す。このモニタ付き光変調
器も、モニタ光を光検出器へ導く構造が異なる以外は、
前述の図1に示したものと同様の構成である。
波路12dの端面と結合された二次元光導波路(スラブ
導波路)6が設けられている。二次元光導波路6の一部
には、上述の凹み形状を有するデフレクタ7が設けられ
ている。このようなデフレクタ7を有する二次元光導波
路6は、例えばガラス基板に所定の直径および深さを有
する凹みを作り、その上からエポキシをデポジットする
ことで形成することができる(S.Sottini他、J. Opt. S
oc. Am., 70, 10, 1230, 1980参照)。
導波路12dを伝搬する光(モニタ光)は二次元光導波
路6へ進み、デフレクタ7にて概ね偏向角45°で偏向
され、二次元光導波路6を伝搬して光学基板11の側面
に設けられた光検出器10にて受光される。この構造に
よれば、出力光導波路12dを伝搬する光(モニタ光)
をデフレクタ7により所望の方向に偏向して取り出すこ
とができるため、光検出器10を光学基板11側面の所
望の位置に設けることができる。よって、光検出器10
を電気コネクタや変調光を送出するための光ファイバと
干渉しないような箇所に設けることができる。
0が光学基板11側面に直接固着されているが、この光
検出器10をPKG本体の側面に予め固着しておき、光
変調器用デバイスをPKGの所定の位置にセットするこ
とで、その光変調器用デバイスからのモニタ光が光検出
器10にて受光されるようにしてもよい。光検出器10
をPKG本体側に設ける場合、本形態のようにモニタ光
を光学基板11側面から取り出す方が、モニタ光を主信
号である出力光が出力される端部から取り出す場合よ
り、レイアウト的に好適である。
実施形態であるモニタ付き光変調器の構成を示す。この
モニタ付き光変調器も、モニタ光を光検出器へ導く構造
が異なる以外は、前述の図1に示したものと同様の構成
である。
波路12dの端面と結合された二次元光導波路(スラブ
導波路)5が設けられている。二次元光導波路5の一部
には、反射ミラー4が設けられている。この反射ミラー
4は、出力光導波路12dを伝搬してくる光(モニタ
光)を光学基板11の側面に設けられた光検出器10の
方向へ反射するもので、二次元光導波路5の屈折率とは
異なる屈折率の材料を用いて形成される。例えば、金属
Tiの無拡散などを利用して二次元光導波路5中に低屈
折領域を形成することで反射ミラー4を形成することが
できる。また、穴開け加工により二次元光導波路5中に
穴を開けることによってこの反射ミラー4を形成しても
よい。
導波路12dを伝搬する光(モニタ光)は二次元光導波
路5に進み、反射ミラー4にて反射される。この反射ミ
ラー4で反射された光は二次元光導波路5を光検出器1
0方向へ進み、その導波路端面から出力されて光検出器
10にて受光される。この構造によれば、出力光導波路
12dを伝搬する光(モニタ光)を反射ミラー4および
二次元スラブ導波路5により所望の方向へ光路変換して
取り出すことができるため、上述の第6の実施形態の場
合と同様、光検出器10を光学基板11側面の所望の位
置に設けることができる。よって、光検出器10を電気
コネクタや変調光を送出するための光ファイバと干渉し
ないような箇所に設けることができる。また、反射ミラ
ー4による光路変換は、一般に波長依存性が小さいた
め、その点で設計上の自由度も向上することになる。
の場合と同様、モニタ光を光学基板11側面から取り出
す構成のため、光検出器10をPKG本体側に設ける場
合に、レイアウト的に好適である。
実施形態であるモニタ付き光変調器の構成を示す。この
モニタ付き光変調器は、出力光導波路12dが曲がり光
導波路により構成されている以外は、前述の図1に示し
たものと同様の構成である。
的に折れ曲げられた光導波路で、その出力側端面は、光
学基板11の出力光導波路12eの端面が形成される面
とは異なる面(側面)に設けられている。光検出器10
は、光学基板11の側面の所定の位置に固着されてお
り、出力光導波路12dの端面から出力される光を検出
する。
法により作製することができる。光変調器用デバイスの
サイズの縮小化を考えると、光路変換素子は小さい方が
望ましいことから、曲がり光導波路は曲がり半径を小さ
くしてより小さいサイズにすることが望ましい。導波路
の曲がり半径を小さくする場合は、曲がり部分を高屈折
率に作製する。
曲がり光導波路によりモニタ光を所望の方向へ導いて取
り出すことができ、光検出器10を光学基板11側面の
所望の位置に設けることができる。よって、光検出器1
0を電気コネクタや変調光を送出するための光ファイバ
やコネクタと干渉しないような箇所に設けることができ
る。
の場合と同様、モニタ光を光学基板11側面から取り出
す構成のため、光検出器10をPKG本体側に設ける場
合に、レイアウト的に好適である。
実施形態であるモニタ付き光変調器の構成を示す。この
モニタ付き光変調器も、モニタ光を光検出器へ導く構造
が異なる以外は、前述の図1に示したものと同様の構成
である。
ったパターンになっており、その折れ曲った部分に反射
ミラー3が設けられている。反射ミラー3は、出力光導
波路12dを伝搬する光(モニタ光)を光検出器10の
方向へ反射(90°反射)するもので、出力光導波路1
2dの屈折率とは異なる屈折率の材料を用いて形成され
る。例えば、金属Tiの無拡散などを利用して低屈折領
域を形成することで反射ミラー3を形成することができ
る。また、穴開け加工により穴を開けることによってこ
の反射ミラー3を形成してもよい。
導波路12dを伝搬する光(モニタ光)は反射ミラー3
にて反射されて光検出器10方向へ進み、出力光導波路
12dの端面から出力されて光検出器10にて受光され
る。この構造によれば、出力光導波路12dを伝搬する
光(モニタ光)を所望の方向へ導いて取り出すことがで
きる。そのため、光検出器10を光学基板11側面の所
望の位置に設けることができる。よって、光検出器10
を電気コネクタや変調光を送出するための光ファイバと
干渉しないような箇所に設けることができる。また、反
射ミラー3による光路変換は、波長依存性が小さいた
め、その点で設計上の自由度も向上することになる。
の場合と同様、モニタ光を光学基板11側面から取り出
す構成のため、光検出器10をPKG本体側に設ける場
合に、レイアウト的に好適である。
0の実施形態であるモニタ付き光変調器の構成を示す。
このモニタ付き光変調器も、モニタ光を光検出器へ導く
構造が異なる以外は、前述の図1に示したものと同様の
構成である。
としてグレーティング2が設けられ、このグレーティン
グ2にて光路変換された導波光が出力光導波路12fを
伝搬するように構成されている。出力光導波路12fの
端面は、光学基板11の、出力光導波路12eの端面が
形成される面とは異なる面(側面)に設けられている。
光検出器10は、光学基板11の側面の所定の位置に固
着されており、出力光導波路12fの端面から出力され
る光を検出する。
の実施形態の場合と同様、屈折率変調形やレリーフ形の
グレーティング構造が適用可能で、そのパターニングに
は、レジストマスクを用いる周知のフォトリソグラフィ
による方法、二光束干渉法、電子ビーム描画法などを用
いることができる。また、光導波路上への誘電体薄膜の
堆積やドーピングなどにより周期的な屈折率分布を形成
してもよい。
導波路12dを伝搬する光(モニタ光)はグレーティン
グ2にて光路変換されて出力光導波路12fを進み、光
検出器10にて受光される。この構造によれば、光検出
器10を光学基板11側面の所望の位置に設けることが
できるので、光検出器10を電気コネクタや変調光を送
出するための光ファイバと干渉しないような箇所に設け
ることができる。
の場合と同様、モニタ光を光学基板11側面から取り出
す構成のため、光検出器10をPKG本体側に設ける場
合に、レイアウト的に好適である。
モニタ光である光出力は、変調光である光出力の状態を
位相や消光比等の劣化のない良好な状態で検知すること
ができるので、変調(通信)状態をより正確に把握する
ことができる。
ラや高感度の光検出器(高感度=高価)を用いる必要は
ないので、その分、従来のものより装置の低コスト化、
コンパクト化を図ることができる。
板放射光による通信品質の劣化を招く恐れはないので、
通信品質の向上を図ることができる。
の概略構成図である。
伝搬を示す模式図である。
に対する出力光変化を示す波形図である。
路を備えるモニタ付き光変調器の概略構成図である。
調器の概略構成図である。
調器の概略構成図である。
調器の概略構成図である。
調器の概略構成図である。
変調器の概略構成図である。
変調器の概略構成図である。
変調器の概略構成図である。
光変調器の概略構成図である。
光変調器の構成を示す図で、(b)はそのマッハツェン
ダ干渉系光を構成する光導波路に加わる電界の状態を示
す模式図である。
ェンダ干渉系型の光変調器の構成を示す図で、(b)は
DC電圧が0の場合の出力特性を示す特性図である。
ブロック図である。
ブロック図である。
射光を説明するための模式図である。
Claims (10)
- 【請求項1】 伝搬する光波が互いに干渉するように構
成された2本の分岐光導波路を結合する3dB方向性結
合器と、 前記3dB方向性結合器の光出力のうちの所望の光出力
をモニタ光として検出する光検出手段とを有することを
特徴とするモニタ付き光変調器。 - 【請求項2】 伝搬する光波が互いに干渉するように構
成された2本の分岐光導波路を結合する2入力2出力の
マルチモード干渉型の光導波路と、 前記マルチモード干渉型の光導波路の光出力のうちの所
望の光出力をモニタ光として検出する光検出手段とを有
することを特徴とするモニタ付き光変調器。 - 【請求項3】 請求項1または2に記載のモニタ付き光
変調器において、 前記モニタ光としての光出力が入力されて伝搬される出
力光導波路と、 前記出力光導波路の出力側端面に結合された光ファイバ
とをさらに有することを特徴とするモニタ付き光変調
器。 - 【請求項4】 請求項1または2に記載のモニタ付き光
変調器において、 前記モニタ光としての光出力が入力されて伝搬される出
力光導波路と、 前記出力光導波路の一部に設けられた、導波光を外部の
1点に集光させて取り出すためのクレーティングカップ
ラとをさらに有することを特徴とするモニタ付き光変調
器。 - 【請求項5】 請求項1または2に記載のモニタ付き光
変調器において、 前記モニタ光としての光出力が入力されて伝搬される出
力光導波路と、 前記出力光導波路の一部に設けられた、導波光を外部に
取り出すためのV字形の溝とをさらに有することを特徴
とするモニタ付き光変調器。 - 【請求項6】 請求項1または2に記載のモニタ付き光
変調器において、 前記モニタ光としての光出力が入力されて伝搬される出
力光導波路と、 端面の一部が前記出力光導波路の出力側端面と結合され
た二次元光導波路と、 前記二次元光導波路の一部を構成する、光路変換のため
の曲面導波路とをさらに有することを特徴とするモニタ
付き光変調器。 - 【請求項7】 請求項1または2に記載のモニタ付き光
変調器において、 前記モニタ光としての光出力が入力されて伝搬される出
力光導波路と、 端面の一部が前記出力光導波路の出力側端面と結合され
た二次元光導波路と、 前記二次元光導波路の一部に設けられた、光路変換のた
めの反射ミラーとをさらに有することを特徴とするモニ
タ付き光変調器。 - 【請求項8】 請求項1または2に記載のモニタ付き光
変調器において、 前記モニタ光としての光出力が入力されて伝搬される、
所定の曲がり半径を有する曲がり光導波路をさらに有す
ることを特徴とするモニタ付き光変調器。 - 【請求項9】 請求項1または2に記載のモニタ付き光
変調器において、 前記モニタ光としての光出力が入力されて伝搬される、
くの字状に折れ曲った出力光導波路と、 前記出力光導波路の折れ曲った部分に設けられ、その導
波光を反射する反射ミラーとをさらに有することを特徴
とするモニタ付き光変調器。 - 【請求項10】 請求項1または2に記載のモニタ付き
光変調器において、 前記モニタ光としての光出力が入力されて伝搬される第
1の出力光導波路と、 前記第1の出力光導波路の一部に設けられた光路変換の
ためのクレーティングと、 前記クレーティングにて光路変換された導波光が伝搬さ
れる第2の出力光導波路とをさらに有することを特徴と
するモニタ付き光変調器。
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US09/768,453 US6668103B2 (en) | 2000-01-26 | 2001-01-25 | Optical modulator with monitor having 3-dB directional coupler or 2-input, 2-output multimode interferometric optical waveguide |
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---|---|---|---|
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---|---|
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003233047A (ja) * | 2002-02-07 | 2003-08-22 | Fujitsu Ltd | 光導波路デバイス及び光変調器 |
JP2006301612A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-11-02 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光変調器 |
JP2007052465A (ja) * | 2006-11-28 | 2007-03-01 | Fujitsu Ltd | 光導波路デバイス及び光デバイス |
JP2007163941A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 4相位相変調回路 |
US7280713B2 (en) | 2002-05-15 | 2007-10-09 | Fujitsu Limited | Optical modulator, optical waveguide device and acousto-optic tunable filter apparatus |
US7386198B2 (en) | 2003-04-16 | 2008-06-10 | Fujitsu Limited | Optical waveguide device |
JP2009014826A (ja) * | 2007-07-02 | 2009-01-22 | Anritsu Corp | モニタフォトディテクタ付き光変調器 |
JP2009134047A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Fujitsu Ltd | 光変調装置 |
JP4911529B2 (ja) * | 2005-02-22 | 2012-04-04 | 日本碍子株式会社 | 光変調器 |
US9069193B2 (en) | 2011-06-01 | 2015-06-30 | Nec Corporation | Optical waveguide device, optical interferometer, and method for producing optical waveguide device |
JP2016012036A (ja) * | 2014-06-30 | 2016-01-21 | 住友大阪セメント株式会社 | 光デバイス |
WO2022210855A1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子とそれを用いた光変調デバイス並びに光送信装置 |
Families Citing this family (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6381380B1 (en) * | 1998-06-24 | 2002-04-30 | The Trustees Of Princeton University | Twin waveguide based design for photonic integrated circuits |
US6330388B1 (en) | 1999-01-27 | 2001-12-11 | Northstar Photonics, Inc. | Method and apparatus for waveguide optics and devices |
US20020063935A1 (en) * | 2000-03-03 | 2002-05-30 | Price Alistair J. | Optical transmission systems including upconverter apparatuses and methods |
WO2002014305A2 (en) * | 2000-08-17 | 2002-02-21 | Lumera Corporation | Design and synthesis of advanced nlo materials for electro-optic applications |
EP1306703A1 (en) * | 2001-10-23 | 2003-05-02 | Corning O.T.I. S.p.A. | Optical devices for communication |
US6904186B2 (en) * | 2001-11-16 | 2005-06-07 | Ngk Insulators, Ltd. | Optical modulators and a method for modulating light |
US6973232B2 (en) * | 2002-02-12 | 2005-12-06 | Bookham Technology, Plc | Waveguide mode stripper for integrated optical components |
US20030185514A1 (en) * | 2002-03-29 | 2003-10-02 | Bendett Mark P. | Method and apparatus for tapping a waveguide on a substrate |
US7440179B2 (en) * | 2002-05-29 | 2008-10-21 | Alphion Corporation | SOA-MZI device fault isolation |
US6882758B2 (en) * | 2002-07-09 | 2005-04-19 | Bookham Technology Plc | Current tuned Mach-Zehnder optical attenuator |
WO2004068221A1 (ja) * | 2003-01-30 | 2004-08-12 | Fujitsu Limited | 光変調器 |
JP3985159B2 (ja) * | 2003-03-14 | 2007-10-03 | 日本電気株式会社 | 利得クランプ型半導体光増幅器 |
US20050111777A1 (en) * | 2003-10-14 | 2005-05-26 | Stenger Vincent E. | Monolithic integrated photonic interconnect device |
WO2005099421A2 (en) * | 2004-04-14 | 2005-10-27 | The Trustees Of Princeton University | Monolithic wavelength stabilized asymmetric laser |
US7709815B2 (en) * | 2005-09-16 | 2010-05-04 | Mapper Lithography Ip B.V. | Lithography system and projection method |
US7184207B1 (en) | 2005-09-27 | 2007-02-27 | Bookham Technology Plc | Semiconductor optical device |
US7333689B2 (en) * | 2005-09-30 | 2008-02-19 | The Trustees Of Princeton University | Photonic integrated devices having reduced absorption loss |
US7343061B2 (en) * | 2005-11-15 | 2008-03-11 | The Trustees Of Princeton University | Integrated photonic amplifier and detector |
JP5070853B2 (ja) * | 2006-07-19 | 2012-11-14 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光デバイス |
US7826693B2 (en) | 2006-10-26 | 2010-11-02 | The Trustees Of Princeton University | Monolithically integrated reconfigurable optical add-drop multiplexer |
US7764851B2 (en) * | 2007-11-01 | 2010-07-27 | Ngk Insulators, Ltd. | Optical modulators |
US7783138B2 (en) * | 2007-11-16 | 2010-08-24 | Jds Uniphase Corporation | Free-space integrated photodetector with reduced phase tracking error |
US8131124B2 (en) * | 2008-04-22 | 2012-03-06 | Jamshid Nayyer | Optical guided mode spatial switches and their fabrication |
EP2386069A4 (en) * | 2009-01-09 | 2012-07-18 | Hewlett Packard Development Co | OPTICAL MOTOR FOR POINT TO POINT COMMUNICATIONS |
US7991254B2 (en) * | 2009-04-07 | 2011-08-02 | Corning Incorporated | Optical package with multi-component mounting frame |
US8064745B2 (en) * | 2009-11-24 | 2011-11-22 | Corning Incorporated | Planar waveguide and optical fiber coupling |
KR101872745B1 (ko) | 2010-04-28 | 2018-06-29 | 후아웨이 테크놀러지 컴퍼니 리미티드 | 양방향 광전자 소자의 누화 저감 |
US8625935B2 (en) * | 2010-06-15 | 2014-01-07 | Luxtera, Inc. | Method and system for integrated power combiners |
CN102714542B (zh) * | 2010-06-25 | 2015-08-19 | Hoya美国公司 | 双向光电子设备中的串扰减小 |
KR101819010B1 (ko) | 2010-09-06 | 2018-01-16 | 후아웨이 테크놀러지 컴퍼니 리미티드 | 양방향 광전자 소자의 누화 저감 |
GB201020972D0 (en) | 2010-12-10 | 2011-01-26 | Oclaro Technology Ltd | Assembly for monitoring output characteristics of a modulator |
KR101845514B1 (ko) * | 2010-12-17 | 2018-04-04 | 삼성전자주식회사 | 소형 광 변조기 및 이를 포함하는 광 송신기 |
CN103858035A (zh) | 2011-10-28 | 2014-06-11 | Hoya美国公司 | 波导衬底上用于衰减光源的光波导分路器 |
JP2014092759A (ja) * | 2012-11-06 | 2014-05-19 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 偏波制御素子 |
JP2014194478A (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-09 | Fujitsu Optical Components Ltd | 光デバイスおよび送信機 |
DE102016222873A1 (de) * | 2016-11-21 | 2018-05-24 | Sicoya Gmbh | Photonisches Bauelement |
CN113281945A (zh) * | 2021-06-22 | 2021-08-20 | 北京世维通科技股份有限公司 | Mz型光强度调制器总成及制备方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0718964B2 (ja) * | 1987-06-29 | 1995-03-06 | 日本電信電話株式会社 | 集積光デバイスおよびその製造方法 |
US4820009A (en) * | 1987-08-13 | 1989-04-11 | Trw Inc. | Electrooptical switch and modulator |
CA2009352C (en) * | 1989-02-07 | 1995-02-28 | Masao Kawachi | Guided-wave optical branching components and optical switches |
US5016958A (en) * | 1989-02-07 | 1991-05-21 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Optical switch having a phase change region therein |
US4936645A (en) * | 1989-08-24 | 1990-06-26 | Hoechst Celanese Corp. | Waveguide electrooptic light modulator with low optical loss |
FR2658315A1 (fr) * | 1990-02-14 | 1991-08-16 | France Etat | Separateur de polarisations pour lumiere guidee. |
JPH0534650A (ja) | 1991-05-10 | 1993-02-12 | Fujitsu Ltd | モニタ付分岐干渉型光変調器 |
JPH05173101A (ja) | 1991-12-26 | 1993-07-13 | Sony Corp | 光制御装置 |
US5249243A (en) * | 1992-05-21 | 1993-09-28 | Siemens Components, Inc. | Apparatus and method for cascade coupled integrated optical phase modulator for linearization of signal transfer |
US5524076A (en) * | 1994-01-28 | 1996-06-04 | Northern Telecom Limited | Chirp control of a Mach-Zehnder optical modulator using non-equal power splitting |
JPH10221664A (ja) | 1997-02-12 | 1998-08-21 | Fujitsu Ltd | 光変調器 |
US6091864A (en) * | 1997-04-10 | 2000-07-18 | Ortel Corporation | Linear optical modulator for providing chirp-free optical signals |
JP3717639B2 (ja) | 1997-07-25 | 2005-11-16 | 富士通株式会社 | 光変調器モジュール |
JP2001154164A (ja) * | 1999-11-25 | 2001-06-08 | Nec Corp | 光変調器および光変調方法 |
-
2000
- 2000-01-26 JP JP2000017189A patent/JP2001209018A/ja active Pending
-
2001
- 2001-01-25 US US09/768,453 patent/US6668103B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003233047A (ja) * | 2002-02-07 | 2003-08-22 | Fujitsu Ltd | 光導波路デバイス及び光変調器 |
US7315676B2 (en) | 2002-05-15 | 2008-01-01 | Fujitsu Limited | Optical modulator, optical waveguide device and acousto-optic tunable filter apparatus |
US7280713B2 (en) | 2002-05-15 | 2007-10-09 | Fujitsu Limited | Optical modulator, optical waveguide device and acousto-optic tunable filter apparatus |
US7289703B2 (en) | 2002-05-15 | 2007-10-30 | Fujitsu Limited | Optical modulator, optical waveguide device and acousto-optic tunable filter apparatus |
US7787717B2 (en) | 2003-04-16 | 2010-08-31 | Fujitsu Limited | Optical waveguide device |
US7386198B2 (en) | 2003-04-16 | 2008-06-10 | Fujitsu Limited | Optical waveguide device |
JP4911529B2 (ja) * | 2005-02-22 | 2012-04-04 | 日本碍子株式会社 | 光変調器 |
JP2006301612A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-11-02 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光変調器 |
JP2007163941A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 4相位相変調回路 |
JP2007052465A (ja) * | 2006-11-28 | 2007-03-01 | Fujitsu Ltd | 光導波路デバイス及び光デバイス |
JP4719135B2 (ja) * | 2006-11-28 | 2011-07-06 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光導波路デバイス及び光デバイス |
JP2009014826A (ja) * | 2007-07-02 | 2009-01-22 | Anritsu Corp | モニタフォトディテクタ付き光変調器 |
JP2009134047A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Fujitsu Ltd | 光変調装置 |
US9069193B2 (en) | 2011-06-01 | 2015-06-30 | Nec Corporation | Optical waveguide device, optical interferometer, and method for producing optical waveguide device |
JP2016012036A (ja) * | 2014-06-30 | 2016-01-21 | 住友大阪セメント株式会社 | 光デバイス |
WO2022210855A1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子とそれを用いた光変調デバイス並びに光送信装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20010009594A1 (en) | 2001-07-26 |
US6668103B2 (en) | 2003-12-23 |
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