JP2001208239A - 減圧弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ノズルフラッパ機構の繰り返し動作による変
形を抑制し、設定圧力の変化やフラッパの異常振動が起
こり難いようにする。 【解決手段】 ノズルフラッパ機構５７を、ノズル背圧
室に連通するようにハウジングに設けたノズル５９と、
第１ダイアフラムに固定した軸部材４７に円状の面領域
で当接する状態で支持したフラッパ６０とから構成す
る。ノズル５９の弁座５９ａを円錐状に形成し、フラッ
パ６０を、弁座５９ａに環状の線領域で当接可能な球体
６５と、球体６５を保持するとともに第１ダイアフラム
の変位方向に直交する方向に相対移動可能に軸部材４７
に支持させた基部６４とから構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、主要回路等から所
定の圧力で供給される流体を、設定されたより低い圧力
にして供給する減圧弁に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、減圧弁は、外部の主要回路から流
体が導入される一次側ポートと、この一次側ポートから
導入した流体を外部の副回路に供給する二次側ポートと
を連通する供給流路の流路開度を自立的に制御すること
で二次側ポートから出力する流体の圧力を予め設定され
た低い設定圧に制御する。減圧弁は、圧力設定用ばねに
よって生成する調整可能な付勢力と、二次側ポートの圧
力が導入されるフィードバック室の圧力によって生成す
る付勢力との差に応じてダイアフラム等の受圧体を変位
させ、この受圧体の変位によって供給流路に設けた流路
開閉部の弁体を変位させることで供給流路の流路開度を
調整する。

【０００３】減圧弁には、二次側ポートから外部に供給
する流体の消費量が変化しても二次側ポートにおける設
定圧力が変化しない流量特性が要求されている。ところ
が、上記のように、圧力設定用ばねの付勢力とフィード
バック室の圧力に基づく付勢力との差によって受圧体を
変位させる方式では、二次側ポートの圧力変化に応じて
受圧体を応答遅れなく大きく変位させることができなか
った。このため、二次側ポートから外部に供給される流
体の流量が多くなるほど、その圧力が設定圧力よりも低
くなっていくことが避けられなかった。

【０００４】このような問題を解消するため、一次側ポ
ートにおける圧力が導入されるパイロット室と二次側ポ
ートの圧力が導入される第２フィードバック室とを設
け、パイロット室の圧力に応じた付勢力と第２フィード
バック室の圧力に応じた付勢力との差によって変位する
第２の受圧体によって流路開閉部の弁体を変位させるよ
うにした精密型の減圧弁（例えば、特開平１０−１９８
４３３号公報）が種々提案されている。

【０００５】詳述すると、精密型の減圧弁は、圧力設定
ばねの付勢力とフィードバック室で生成する付勢力との
差に基づいてパイロット室の圧力を制御する。そして、
二次側ポートの圧力変化に応じて第２フィードバック室
とパイロット室との間に生成される大きな付勢力の差に
よって第２の受圧体を変位させ、流路開閉部の弁体を応
答遅れなく大きく変位させる。このことにより、二次側
ポートから外部に供給される流体量が増大しても、その
圧力ができるだけ設定圧力から低下しないよう│するこ
とができる。│このような精密型の減圧弁は、圧力設定
ばねの付勢力とフィードバック室の圧│に応じた付勢力
との差に応じた受圧体の変位に基づいてパイロット室の
圧力を制御するためのノズルフラッパ機構を備えてい
る。

【０００６】ノズルフラッパ機構は、例えば図１２に示
すように、パイロット室９０とフィードバック室９１と
の間に設けられたブリード室９２にパイロット室９０を
連通するように設けられたノズル９３と、ブリード室９
２に設けられノズル９３の弁座９３ａに接離可能なフラ
ッパ９４とからなる。フラッパ９４は、ノズル９３に設
けられたパイロット室９０からブリード室９２への放出
流路９５の流路開度を調整する。このノズルフラッパ機
構では、フラッパ９４は、スプリング９６によって上向
きに付勢され、圧力設定ばね９７によって下向きに付勢
されている受圧部材９８の下面９８ａに常時当接してい
る。そして、圧力設定ばね９７の下向きの付勢力と、フ
ィードバック室９１の圧力に基づいてダイアフラム９９
に加わる上向きの付勢力との差に応じて受圧部材９８の
変位位置が調整される。さらに、受圧部材９８の変位位
置に応じてノズル９３の弁座９３ａに対するフラッパ９
４の位置関係、即ち、放出流路９５の流路開度が調整さ
れることで、フィードバック室９１の圧力に基づいてパ
イロット室９０の圧力が調整される。

【０００７】ところで、フラッパ９４は数μｍの変位範
囲で変位する。そして、例えば、一次側ポートに０．５
ＭＰａの圧力が供給されている状態では、フラッパ９４
が数μｍ変位することで二次側ポートの圧力が０．１Ｍ
Ｐａ変化する。従って、例えば、フラッパ９４が当接す
る受圧部材９８の下面９８ａが凹んで、ダイアフラム９
９の変位位置とフラッパ９４の変位位置との関係が当初
の関係から変化するようなことがあると、設定圧力が変
化したりフラッパ９４が異常振動する。

【０００８】又、減圧弁のハウジング、受圧部材９８、
ノズル９３等には寸法ばらつきがあり、又、組立後の組
立誤差がある。このため、減圧弁の製造時点において
も、フラッパ９４がノズル９３の弁座９３ａに正しい位
置関係で当接せず、放出流路９５が閉状態とならないこ
とがある。

【０００９】そこで、部品の寸法ばらつき、組み立て誤
差に拘らず、フラッパ９４が弁座９３ａに対して正しい
位置関係で接離するように、フラッパ９４は球体に形成
され、スプリング９６によって受圧部材９８に常に当接
するように付勢されている。一方、受圧部材９８は、フ
ラッパ９４が当接する下面９８ａが平坦面とされてい
る。従って、部品の寸法ばらつきや組立誤差により、ノ
ズル９３と受圧部材９８の位置関係がダイアフラム９９
の変位方向に直交する方向でずれても、受圧部材９８に
よってフラッパ９４の位置が弁座９３ａに対してずれる
ことはなく弁座９３ａに対し正しい位置関係で接離す
る。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】従って、上記のような
ノズルフラッパ機構では、図１２に示すように、球体で
あるフラッパ９４が受圧部材９８の平坦な下面９８ａに
点接触する状態で当接する。又、フラッパ９４が弁座９
３ａに当接する状態では、圧力設定ばね９７の付勢力が
フラッパ９４に加わることになるが、その大きさは例え
ば最大２５０Ｎである。このため、減圧弁に主要回路の
圧力が供給されておらずフラッパ９４が弁座９３ａに当
接する状態では、フラッパ９４から受圧部材９８の下面
９８ａの１点に大きな反力が加わった状態となる。そし
て、フラッパ９４が受圧部材９８に繰り返し押し付けら
れると、図１３に示すように、受圧部材９８の下面９８
ａが１点で変形して凹んだ状態となる。この凹み量は例
えば４μｍ程度に達することが確認されている。尚、フ
ラッパ９４及び受圧部材９８は共に硬化処理を施されて
いるが、球体であるフラッパ９４と受圧部材９８の平坦
な下面９８ａとが繰り返し互いに力を加え合う状態では
平坦な下面９８ａが変形する。

【００１１】受圧部材９８の下面９８ａのフラッパ９４
の当接部に凹みができると、ダイアフラム９９の変位位
置とフラッパ９４の変位位置との関係が当初の関係から
変化する。その結果、フィードバック室９１の圧力に対
する放出流路９５の流路開度の関係が当初の関係から変
化し、設定圧力が当初の設定圧力から変化する。又、フ
ラッパ９４が当接する下面９８ａの当接部に不規則な凹
みができると、フラッパ９４の支持状態が不安定となっ
てフラッパ９４が異常振動することがある。

【００１２】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであって、その目的は、ノズルフラッパ機構
の繰り返し動作による変形を抑制し、設定圧力の変化、
フラッパの異常振動が起こり難いようにすることができ
る減圧弁を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め、請求項１に記載の発明は、一次側ポートから二次側
ポートへの流路開度を調整する供給側弁部を設け、前記
一次側ポートに連通されたパイロット室の圧力と前記二
次側ポートに連通された第１フィードバック室の圧力と
の差に基づいて変位する第１受圧体を設け、前記二次側
ポートに連通された第２フィードバック室の圧力と予め
定められた設定圧力を設定するため圧力設定部から加え
られる付勢力との差に基づいて変位する第２受圧体を設
け、前記第２受圧体の変位によって動作し前記パイロッ
ト室から流体を放出する放出流路の流路開度を調整する
ノズルフラッパ機構を設け、前記ノズルフラッパ機構に
て調整される前記パイロット室の圧力と前記第１フィー
ドバック室の圧力との差に基づく前記第１受圧体の変位
によって前記供給側弁部を開閉動作させ、前記圧力設定
部の付勢力に対応した設定圧力に二次側圧力が制御され
るように前記一次側ポートから前記二次側ポートへの流
路開度を調整する減圧弁において、前記ノズルフラッパ
機構を、前記パイロット室に連通するように設けたノズ
ルと、前記第２受圧体に対し線接触又は面接触する状態
で支持したフラッパとから構成した減圧弁である。

【００１４】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、前記フラッパを、前記第１受圧体の変
位方向に直交する全方向に相対移動可能に支持した。請
求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明におい
て、前記ノズルの弁座を略円錐状に形成し、前記フラッ
パを、該弁座に環状の線領域で当接可能な球体と、該球
体を保持するとともに前記第１受圧体の変位方向に直交
する全方向に相対移動可能に該受圧体に支持させた基部
とから構成した。

【００１５】（作用）請求項１に記載の発明によれば、
圧力設定部からの付勢力によってノズルフラッパ機構の
フラッパがノズルの弁座に当接するとき、フラッパから
第２受圧体に反力が作用する。ここで、フラッパが線接
触又は面接触する状態で第２受圧体に支持されているの
で、フラッパからの反力が第２受圧体の１点に集中して
加わらない。従って、第２受圧体が変形し難いので、第
２受圧体の変位位置と放出流路の開度との関係が変化し
難い。尚、フラッパがノズルの弁座に当接するときに
は、放出流路を閉塞するために少なくとも環状の線領域
で当接する。このため、弁座の変形は問題にしていな
い。

【００１６】請求項２に記載の発明によれば、請求項１
に記載の発明の作用に加えて、部品寸法のばらつきや組
立誤差等により、フラッパの中心軸線と弁座の中心軸線
とが、第２受圧体の変位方向に対し直交する方向にずれ
ていても、ずれがなくなる位置までフラッパが移動して
弁座に当接する。従って、フラッパの中心軸線と弁座の
中心軸線とが、第２受圧体の変位方向に対し直交する方
向にずれていても、放出流路が確実に閉塞される。

【００１７】請求項３に記載の発明によれば、請求項２
に記載の発明の作用に加えて、部品寸法のばらつきや組
立誤差等により、ノズルの弁座の中心軸線に対してフラ
ッパの変位方向が傾いていても、球体が弁座に対し環状
の線領域で当接する。従って、ノズルの弁座の中心軸線
に対してフラッパの変位方向が傾いていても、放出流路
が確実に閉塞される。

【００１８】

【発明の実施の形態】（第１の実施の形態）以下、本発
明を空圧制御用の減圧弁に具体化した第１の実施の形態
を図１〜図３に従って説明する。

【００１９】図１に示すように、減圧弁１０は、そのハ
ウジング１１が第１ボディ１２、第２ボディ１３、第３
ボディ１４、ボトムキャップ１５、カバー１６及びボン
ネット１７で形成されている。

【００２０】第１ボディ１２には、外部の主要回路等か
ら一次側圧力の流体が供給される一次側ポート１９と、
一次側圧力よりも低い二次側圧力に制御した流体を外部
の副回路等に供給するための二次側ポート２０とが形成
されている。又、第１ボディ１２の内部には、一次側ポ
ート１９から二次側ポート２０への流路開度を調整する
供給側弁部２１が設けられている。供給側弁部２１は、
流路開度を全閉状態と所定の全開状態との間で連続的に
調整するように形成されている。供給側弁部２１は、第
１ボディ１２に一体形成された供給側弁座２２と、この
供給側弁座２２に対し接離するように設けられた供給側
弁体２３と、この供給側弁体２３を供給側弁座２２に当
接するように付勢する第１圧縮コイルばね２４とからな
る。供給側弁体２３は、一次側ポート１９に連通するよ
うに第１ボディ１２の下部に設けられた孔に嵌合された
ボトムキャップ１５によって保持されている。第１圧縮
コイルばね２４は、ボトムキャップ１５と供給側弁体２
３の間に設けられている。

【００２１】第１ボディ１２の上部には二次側ポート２
０に連通する嵌合孔が設けられ、この嵌合孔に第２ボデ
ィ１３が嵌合されている。又、第１ボディ１２の下側に
はカバー１６が固定されている。第１ボディ１２及び第
２ボディ１３には、供給側弁部２１を迂回して二次側ポ
ート２０を第１ボディ１２の下部に案内する排気流路２
５が形成されている。又、カバー１６には、排気流路２
５を外部に連通する排気ポート２６が形成されている。

【００２２】第１ボディ１２と第２ボディ１３との間に
は、二次側ポート２０の排気流路２５に対する連通状態
を調整する排気側弁部２７が形成されている。排気側弁
部２７は、第１ボディ１２に一体形成された排気側弁座
２８と、この排気側弁座２８に接離可能に保持された排
気側弁体２９と、この排気側弁体２９を排気側弁座２８
に当接するように付勢する第２圧縮コイルばね３０とか
らなる。排気側弁体２９は、第２ボディ１３の下部に設
けられた凹部内に保持されている。第２圧縮コイルばね
３０は、第２ボディ１３と排気側弁体２９との間に設け
られている。

【００２３】第２ボディ１３には、上下方向に延びるロ
ッド３１が上下方向に変位可能に支持されている。ロッ
ド３１は、排気側弁体２９に対し相対変位可能に挿通
し、その下端が供給側弁体２３の上面に当接可能なよう
に形成されている。又、ロッド３１には、排気側弁体２
９の下面に当接するＥリング３２がその軸上に固定され
ている。Ｅリング３２は、図１に示すように、供給側弁
座２２に当接した状態の供給側弁体２３の上面にロッド
３１の下端が当接するときに、排気側弁座２８に当接し
た状態の排気側弁体２９の下面に当接する位置に設けら
れている。

【００２４】第２ボディ１３の上側には凹部が設けら
れ、凹部内の上部に第３ボディ１４が嵌合されている。
第２ボディ１３の凹部の下部には、第２ボディ１３及び
第３ボディ１４によって区画される流路開度制御室３３
が形成されている。流路開度制御室３３には、該流路開
度制御室３３を上下に変位可能な第１受圧体としてのピ
ストン３４が設けられている。ピストン３４は、流路開
度制御室３３をその下側の第１フィードバック室３５と
上側のノズル背圧室３６とに区画する。ピストン３４
は、第１フィードバック室３５に設けられた第３圧縮コ
イルばね３７によって上方に移動するように付勢されて
いる。

【００２５】第１フィードバック室３５は、第１ボディ
１２及び第２ボディ１３に設けられた第１フィードバッ
ク通路３８によって二次側ポート２０内に連通されてい
る。ノズル背圧室３６は、第１ボディ１２、第２ボディ
１３及び第３ボディ１４に渡って設けられたパイロット
通路３９によって一次側ポート１９に連通されている。
パイロット通路３９上には、ノズル背圧室３６の圧力を
一次側ポート１９の圧力よりも小さくするオリフィス４
０が設けられている。

【００２６】ピストン３４は、流路開度制御室３３にお
ける所定の変位位置からノズル背圧室３６側に変位する
ときに、供給側弁体２３を供給側弁座２２に当接させた
ままでロッド３１のＥリング３２によって排気側弁体２
９を排気側弁座２８から離間させる。反対に、ピストン
３４は、前記変位位置から第１フィードバック室３５側
に変位するときに、排気側弁体２９を排気側弁座２８に
当接させたままでロッド３１の下端によって供給側弁体
２３を供給側弁座２２から離間させるように設けられて
いる。

【００２７】第３ボディ１４の上側にはボンネット１７
が固定されている。そして、第３ボディ１４の上側に開
口する凹部と、ボンネット１７の下側に開口する凹部と
により圧力調整室４１が形成されている。圧力調整室４
１には、第３ボディ１４の上端面とボンネット１７の下
端面とによって外周縁が支持された第１ダイアフラム４
２と、第３ボディ１４の凹部の底面と同底面に固定され
た環状の固定部材４３とによって外周縁が支持された第
２ダイアフラム４４とが設けられている。

【００２８】第１ダイアフラム４２には、その上面に上
側受圧部材４５が当接され、その下面に下側受圧部材４
６の上面が当接されている。第２ダイアフラム４４に
は、その上面に下側受圧部材４６の下面が当接され、そ
の下面に軸部材４７が当接されている。軸部材４７は、
第２ダイアフラム４４及び第１ダイアフラム４２の各中
央孔を貫通するとともに下側受圧部材４６及び上側受圧
部材４５を貫通し、その上端に螺合するナット４７ａに
よって第１ダイアフラム４２及び第２ダイアフラム４４
を挟持している。そして、軸部材４７は、上側受圧部材
４５及び下側受圧部材４６と共に第１ダイアフラム４２
及び第２ダイアフラム４４に固定されている。本実施の
形態では、第１ダイアフラム４２、上側受圧部材４５、
下側受圧部材４６及び軸部材４７が第２受圧体を構成す
る。

【００２９】圧力調整室４１には、その下部に第１ダイ
アフラム４２、第２ダイアフラム４４及び第３ボディ１
４で区画された第２フィードバック室４８が形成され、
その上部に第１ダイアフラム４２とボンネット１７とで
区画される圧力設定室４９が形成されている。第２フィ
ードバック室４８は、第３ボディ１４及び第２ボディ１
３に渡って設けられた第２フィードバック通路５０によ
って第１フィードバック室３５に連通されている。圧力
設定室４９は、ボンネット１７に設けられた連通路４９
ａによってハウジング１１の外部に連通されている。

【００３０】圧力設定室４９には、鉛直方向に中心軸線
が一致するようにボンネット１７の上部に螺合された雄
ねじ軸５１の下端に当接する板部材５２と、この板部材
５２と上側受圧部材４５との間に介在され第１ダイアフ
ラム４２に下向きの付勢力を加える第４圧縮コイルばね
５３とが収容されている。雄ねじ軸５１の上端には、雄
ねじ軸５１の位置を調整して、第４圧縮コイルばね５３
が第１ダイアフラム４２に加える付勢力を調整するハン
ドル５４が設けられている。本実施の形態では、雄ねじ
軸５１、板部材５２、第４圧縮コイルばね５３及びハン
ドル５４等が圧力設定部を構成する。

【００３１】又、第３ボディ１４の凹部の底側に設けら
れた小径部内には、第２ダイアフラム４４によって区画
されるブリード室５５が形成されている。ブリード室５
５は、第３ボディ１４及び第２ボディ１３に渡って設け
られたブリードポート５６によってハウジング１１の外
部に連通されている。

【００３２】ブリード室５５とノズル背圧室３６との間
には、ノズル背圧室３６をブリード室５５に連通可能な
ノズルフラッパ機構５７が設けられている。ノズルフラ
ッパ機構５７は、ノズル背圧室３６をブリード室５５に
連通する放出流路５８を備えたノズル５９と、ブリード
室５５内に配置された軸部材４７の下端に保持されたフ
ラッパ６０とからなる。

【００３３】図２に示すように、ブリード室５５に開口
するノズル５９の放出流路５８の開口部には、内周面が
円錐状に形成された弁座５９ａが形成されている。フラ
ッパ６０は、軸部材４７の下部に設けられた保持部６１
に保持されている。保持部６１は、軸部材４７に一体で
形成された円板部６２と、この円板部６２に外嵌された
筒部６３とからなる。筒部６３の内周面における下端周
縁には、その中心軸線側に延出されたつば状の係止部６
３ａが形成されている。係止部６３ａは、円板部６２の
下面から下方に所定距離だけ離間した位置に設けられて
いる。

【００３４】フラッパ６０は、図２，３に示すように、
保持部６１に保持される基部６４と、この基部６４に保
持された球体６５とからなる。基部６４は回転切削可能
な略円柱状に形成され、その一端面に開口する凹部６７
と、その他端側の外周面に沿って形成されたつば部６８
とを備えている。基部６４の外径は、筒部６３の係止部
６３ａの内径よりも小さく形成され、係止部６３ａの内
径は、つば部６８の外径よりも小さく形成されている。
又、つば部６８の外径は、筒部６３の内径よりも小さく
形成されている。

【００３５】凹部６７は、その開口部側を形成する円柱
状の大径部６７ａ及び小径部６７ｂと、円錐状の底部６
７ｃとからなる。大径部６７ａ、小径部６７ｂ及び底部
６７ｃは、各中心軸線が一致するように形成されてい
る。球体６５は、ノズル５９の弁座５９ａに対し環状の
線領域で当接する外径に形成されている。そして、球体
６５は、底部６７ｃに環状の線領域で当接するとともに
大径部６７ａと小径部６７ｂとの段差部に環状の線領域
で当接した状態で大径部６７ａに嵌合されることで、基
部６４に保持されている。即ち、球体６５は、基部６４
に対し２つの円環状の線領域で当接する状態で支持され
ている。

【００３６】そして、フラッパ６０は、基部６４のつば
部６８が、保持部６１の円板部６２の下面と係止部６３
ａとの間に全周に渡って係止されることで、軸部材４７
の下面に対して基部６４の上面が円形状に面接触する状
態で支持されている。同時に、フラッパ６０は、図２に
矢印Ａで示すように、第１及び第２ダイアフラム４２，
４４の変位方向に直交する全方向に相対移動可能な状態
で軸部材４７に支持されている。

【００３７】フラッパ６０は、第４圧縮コイルばね５３
から第１ダイアフラム４２に下向きの付勢力が加えられ
ていない状態では、第１及び第２ダイアフラム４２，４
４によって、ノズル５９の弁座５９ａから離間した位置
に保持されている。そして、ノズルフラッパ機構５７
は、第４圧縮コイルばね５３の下向きの付勢力と第２フ
ィードバック室４８の圧力に基づく上向きの付勢力との
差である下向きの付勢力に応じた流路開度でノズル背圧
室３６をブリード室５５に連通する。

【００３８】次に、以上のように構成された減圧弁の作
用について説明する。 （非動作時）第４圧縮コイルばね５３から第１ダイアフ
ラム４２に付勢力が加わらないように雄ねじ軸５１の位
置を調整した状態で、一次側ポート１９に主要回路の高
い圧力を供給すると、一次側ポート１９の空気がパイロ
ット通路３９を通ってノズル背圧室３６に導入される。
ノズル背圧室３６に導入された空気は、フラッパ６０が
弁座５９ａから離間しているノズル５９を通ってブリー
ド室５５に放出され、ブリードポート５６を通ってハウ
ジング１１の外部に放出される。このとき、パイロット
通路３９に設けたオリフィス４０によって一次側ポート
１９からノズル背圧室３６に導入される空気の流量が制
限されることから、ノズル背圧室３６の圧力は大気圧と
殆ど同等の大きさとなる。このため、ピストン３４は第
３圧縮コイルばね３７の付勢力によって上方に位置し、
ロッド３１の下端は供給側弁座２２に当接した供給側弁
体２３から上方に離間した位置に配置される。同時に、
Ｅリング３２によって排気側弁体２９が排気側弁座２８
から離間した位置に配置され、二次側ポート２０が排気
流路２５に連通される。その結果、非動作時には、一次
側ポート１９から二次側ポート２０の流路開度が閉状態
とされるとともに、二次側ポート２０に連通する空圧回
路の圧力が「０」とされる。 （圧力設定時）一次側ポート１９に主要回路の高い圧力
を供給したままの状態で、ハンドル５４を操作して雄ね
じ軸５１を下方に移動させると、第４圧縮コイルばね５
３から第１ダイアフラム４２に加わる付勢力が増大す
る。そして、第１ダイアフラム４２の変位に伴って軸部
材４７が下方に変位し、フラッパ６０が弁座５９ａに接
近する。すると、一次側ポート１９からノズル背圧室３
６に導入されている空気の、ブリード室５５への放出量
が減少し、ノズル背圧室３６の圧力が上昇する。このた
め、ピストン３４が第３圧縮コイルばね３７の上向きの
付勢力に抗して下方に変位し、ロッド３１の下端が供給
側弁体２３に当接する。同時に、Ｅリング３２によって
排気側弁座２８から離間されていた排気側弁体２９が排
気側弁座２８に当接し、二次側ポート２０と排気流路２
５とが連通されなくなる。

【００３９】ノズル背圧室３６の圧力がさらに増大する
と、ピストン３４はさらに第１圧縮コイルばね２４の付
勢力に抗して下方に変位し、供給側弁体２３が供給側弁
座２２から離間する。その結果、一次側ポート１９から
二次側ポート２０への流路開度が閉状態から開状態とな
り、一次側ポート１９から二次側ポート２０に空気が供
給される。

【００４０】二次側ポート２０に供給された空気は、第
１フィードバック通路３８によって第１フィードバック
室３５に導入され、さらに第１フィードバック室３５か
ら第２フィードバック通路５０によって第２フィードバ
ック室４８に導入される。すると、第２フィードバック
室４８の圧力が増大し、第１ダイアフラム４２に加わる
下向きの付勢力が減少するため、第１ダイアフラム４２
が上方に変位してフラッパ６０が弁座５９ａから離間す
るように変位する。このため、ノズル背圧室３６からブ
リード室５５を通って外部に放出される空気量が増大
し、ノズル背圧室３６の圧力が減少する。すると、ピス
トン３４に加わる上向きの付勢力が増大するため、ピス
トン３４が上方に変位する。その結果、供給側弁体２３
が供給側弁座２２に当接して一次側ポート１９から二次
側ポート２０の流路開度が閉状態となり、二次側ポート
２０の圧力が設定圧力に制御された状態で一次側ポート
１９と二次側ポート２０との連通が遮断される。

【００４１】以上のように二次側ポート２０の設定圧力
が設定された状態で二次側ポート２０の圧力が設定圧力
から下降又は上昇すると、減圧弁１０は以下の動作を繰
り返し行なって二次側ポート２０の圧力を設定圧力に維
持する。 （圧力下降時）二次側ポート２０から供給する空気が消
費され、二次側ポート２０の圧力が設定圧力から減少す
ると、第１フィードバック通路３８、第１フィードバッ
ク室３５及び第２フィードバック通路５０を介して連通
する第２フィードバック室４８の圧力が減少する。する
と、第１ダイアフラム４２に加わる下向きの付勢力が増
大して第１ダイアフラム４２が下方に変位し、フラッパ
６０が弁座５９ａに接近するように変位する。このた
め、ノズル背圧室３６からブリード室５５を通って外部
に放出される空気量が減少してノズル背圧室３６の圧力
が増大し、ピストン３４に加わる下向きの付勢力が増大
する。このため、ピストン３４が下方に変位して供給側
弁体２３が供給側弁座２２から離間し、一次側ポート１
９から二次側ポート２０への流路開度が閉状態から開状
態とされる。その結果、一次側ポート１９から二次側ポ
ート２０に空気が供給され、二次側ポート２０から供給
される空気の圧力が設定圧力に向かって増大する。 （圧力上昇時）二次側ポート２０の圧力が設定圧力から
上昇すると、第２フィードバック室４８の圧力が上昇す
る。すると、第１ダイアフラム４２に加わる下向きの付
勢力が減少して第１ダイアフラム４２が上方に変位し、
フラッパ６０が弁座５９ａから離間するように変位す
る。このため、ノズル背圧室３６からブリード室５５を
通って外部に放出される空気量が増大してノズル背圧室
３６の圧力が減少し、ピストン３４に加わる下向きの付
勢力が減少する。このため、ピストン３４が上方に変位
して供給側弁体２３が供給側弁座２２に当接するととも
に、Ｅリング３２によって排気側弁体２９が排気側弁座
２８から離間する位置に変位する。その結果、一次側ポ
ート１９から二次側ポート２０への流路開度が開状態か
ら閉状態となるとともに、二次側ポート２０が排気流路
２５を介して外部に連通される。このため、一次側ポー
ト１９から二次側ポート２０に空気が供給されなくなる
とともに二次側ポート２０から空気が排気ポート２６を
介して外部に放出され、二次側ポート２０の圧力が設定
圧力に向かって減少する。

【００４２】以上のようにして、二次側ポート２０の圧
力は、設定圧力からの変化を打ち消すように自立的に調
整され、二次側ポート２０から供給する空気の消費量が
変化しても設定圧力に維持されるように制御される。

【００４３】以上詳述した本実施の形態の減圧弁は、以
下に記載する各効果を有する。 （１） ノズルフラッパ機構５７を、ハウジング１１に
設けたノズル５９と、軸部材４７に支持したフラッパ６
０とから構成した。そして、ノズル５９の弁座５９ａに
当接する球体６５を支持するフラッパ６０の基部６４
を、軸部材４７の下面に対し円形状に面接触させた状態
で支持するようにした。従って、一次側ポート１９に主
要回路の圧力が供給されず、第４圧縮コイルばね５３の
付勢力によってフラッパ６０の球体６５がノズル５９の
弁座５９ａに大きな付勢力で押圧されたときに、フラッ
パ６０からの反力が軸部材４７の１点に集中して加わら
ない。

【００４４】このため、フラッパ６０が繰り返し弁座５
９ａに押圧されても球体６５又は軸部材４７が変形し難
く、第１ダイアフラム４２の変位位置とフラッパ６０の
変位位置との関係が当初の関係から変化し難い。その結
果、設定圧力の変化やフラッパ６０の異常振動が起き難
いようにすることができる。

【００４５】（２） フラッパ６０を軸部材４７に設け
た保持部６１によって、第１ダイアフラム４２の変位方
向に直交する全方向に相対移動可能に支持した。従っ
て、部品寸法のばらつきや組立誤差等により、フラッパ
６０の中心軸線とノズル５９の弁座５９ａの中心軸線と
が第１ダイアフラム４２の変位方向に直交する方向にず
れていても、フラッパ６０が同方向にずれをなくす位置
まで移動して弁座５９ａに当接する。

【００４６】その結果、部品の寸法ばらつきや組立誤差
がある状態で構成される減圧弁１０であっても、二次側
ポート２０から供給する空気の消費が急激に増大したと
きに、供給する空気の圧力を設定圧力から大きく低下し
ないように制御することができる。

【００４７】（３） ノズル５９の弁座５９ａを円錐状
に形成し、フラッパ６０を、弁座５９ａに環状の線領域
で当接可能な球体６５と、この球体６５を保持するとと
もに第１ダイアフラム４２の変位方向に直交する方向に
相対移動可能に軸部材４７に支持させた基部６４とから
構成した。従って、部品の寸法ばらつきや組立誤差等に
よって弁座５９ａの中心軸線に対してフラッパ６０の中
心軸線が傾いていても、フラッパ６０の球体６５が弁座
５９ａに当接して放出流路５８を閉塞する。

【００４８】（４） 球体６５を、基部６４に設けた凹
部６７内の円錐状の底部６７ｃと、大径部６７ａ及び小
径部６７ｂとの段差部とにそれぞれ環状の線領域で当接
する状態で保持した。従って、フラッパ６０が弁座５９
ａに大きな付勢力で押圧されたときに、球体６５からの
反力が２つの位置で環状に分散して基部６４に加わる。
このため、フラッパ６０が繰り返し弁座５９ａに押圧さ
れても基部６４が変形し難く、第１ダイアフラム４２と
球体６５との位置関係が当初の位置関係から変化し難
い。その結果、設定圧力の変化やフラッパ６０の異常振
動が起き難いようにすることができる。

【００４９】（５） 基部６４を回転切削可能な略円柱
状に形成したので、容易に高い寸法精度を得ることがで
きる。従って、球体６５を確実に保持することができる
寸法精度の基部６４を高い歩留まりで製造することがで
きる。

【００５０】（第２の実施の形態）次に、本発明を具体
化した第２の実施の形態を図４に従って説明する。尚、
本実施の形態は、前記第１の実施の形態のピストン３４
を第３ダイアフラム７０及び受圧部材７１，７２に変更
したことのみが第１の実施の形態と異なる。従って、第
１の実施の形態と同じ構成については、符号を同じにし
てその説明を省略し、第３ダイアフラム７０及び受圧部
材７１，７２のみについて詳述する。

【００５１】流路開度制御室３３には、第１の実施の形
態におけるピストン３４の代わりに、第２ボディ１３及
び第３ボディ１４によって外周縁が支持され、該流路開
度制御室３３を上下に変位可能な第３ダイアフラム７０
が設けられている。第３ダイアフラム７０には、その上
面に上側受圧部材７１が当接され、その下面に下側受圧
部材７２が当接されている。上側受圧部材７１には下側
受圧部材７２が嵌合固定されるとともに前記ロッド３１
の上端が固定されている。下側受圧部材７２と流路開度
制御室３３の底面との間には、第３ダイアフラム７０を
上方に移動させるように付勢する第３圧縮コイルばね３
７が設けられている。本実施の形態では、第３ダイアフ
ラム７０、上側受圧部材７１及び下側受圧部材７２が第
１受圧体を構成する。

【００５２】流路開度制御室３３の下部には、第３ダイ
アフラム７０の下面と第２ボディ１３とで区画される第
１フィードバック室３５が形成されている。又、流路開
度制御室３３の上部には、第３ダイアフラム７０の上
面、第２ボディ１３及び第３ボディ１４で区画されるノ
ズル背圧室３６が形成されている。

【００５３】第３ダイアフラム７０は、流路開度制御室
３３における所定の変位位置からノズル背圧室３６側に
変位するときに、供給側弁体２３を供給側弁座２２に当
接させたままでロッド３１のＥリング３２によって排気
側弁体２９を排気側弁座２８から離間させる。反対に、
第３ダイアフラム７０は、前記変位位置から第１フィー
ドバック室３５側に変位するときに、排気側弁体２９を
排気側弁座２８に当接させたままでロッド３１の下端に
よって供給側弁体２３を供給側弁座２２から離間させる
ように設けられている。

【００５４】本実施の形態の減圧弁１０は、第３ダイア
フラム７０及び受圧部材７１，７２以外の部材が前記第
１の実施の形態の減圧弁１０の各部材と共通であって、
ピストン３４を第３ダイアフラム７０及び受圧部材７
１，７２に置き換えることで構成されている。

【００５５】以上のように構成された減圧弁は、前記第
１の実施の形態の減圧弁と同様の作用を有する。以上詳
述した本実施の形態は、前記第１の実施の形態における
（１）〜（３）に記載した各効果と、以下に記載する効
果とを有する。

【００５６】（４） 第１の実施の形態の減圧弁１０の
ピストン３４以外の部分を共通化し、ピストン３４を第
３ダイアフラム７０及び受圧部材７１，７２に置き換え
るだけで構成できるようにした。従って、ピストン駆動
方式の減圧弁とダイアフラム駆動方式の減圧弁とを製造
するにあたって、部品管理を容易にし、又、ピストン３
４、第３ダイアフラム７０及び受圧部材７１，７２以外
の部品原価を安くすることができる。

【００５７】（第３の実施の形態）次に、本発明を具体
化した第３の実施の形態を図５に従って説明する。尚、
本実施の形態は、前記第１の実施の形態の減圧弁１０に
電磁弁７３を新たに加えたことのみが第１の実施の形態
と異なる。従って、第１の実施の形態と同じ構成につい
ては、符号を同じにしてその説明を省略し、電磁弁７３
のみについて詳述する。

【００５８】ノズル背圧室３６に一次側ポート１９を連
通するパイロット通路３９上には、このパイロット通路
３９の開閉を行う電磁弁７３が設けられている。本実施
の形態では、電磁弁７３は常時開型の２ポート２位置切
換弁であって、単動ソレノイド駆動のスプリングリター
ン式である。

【００５９】電磁弁７３は、第２ボディ１３の外側に固
定されるとともに、第２ボディ１３の外側面に開口する
ように分断された両パイロット通路３９ａ，３９ｂに図
示しない２つの各ポートがそれぞれ連通されることで減
圧弁１０に一体化されている。

【００６０】以上のように構成された減圧弁は、前記第
１の実施の形態の減圧弁と同様の作用の他、以下の作用
をも有する。一次側ポート１９に主要回路の圧力が供給
され、二次側ポート２０から設定圧力となるように制御
された状態で空気が供給されている状態で、電磁弁７３
に通電して開弁状態から閉弁状態に切り換えると、開状
態であるノズル５９の放出流路５８を介してノズル背圧
室３６の圧力がブリード室５５に放出される。すると、
ピストン３４が上向きの付勢力によって上方に変位する
ため、供給側弁体２３が供給側弁座２２に当接するとと
もに、排気側弁体２９が排気側弁座２８から離間する。
このため、一次側ポート１９から二次側ポート２０への
流路開度が閉状態となるとともに、二次側ポート２０が
排気流路２５に連通される。その結果、一次側ポート１
９に主要回路から圧力が供給されたままの状態で、ハン
ドル５４を操作して設定圧力を変更することなく二次側
圧力が「０」となる。二次側圧力が「０」となると第２
フィードバック室４８の圧力も「０」となり、第４圧縮
コイルばね５３の付勢力によってフラッパ６０がノズル
５９の弁座５９ａに押圧される。

【００６１】以上詳述した本実施の形態は、前記第１の
実施の形態における（１）〜（３）に記載した各効果
と、以下に記載する効果とを有する。 （５） 一次側ポート１９をノズル背圧室３６に連通す
るパイロット通路３９上にパイロット通路３９を開閉す
る電磁弁７３を設けた。従って、一次側ポート１９に主
要回路の圧力を供給したままで一次側ポート１９からノ
ズル背圧室３６への空気の導入を停止し、ブリードポー
ト５６からの空気の放出を行うことなく二次側ポート２
０からの空気の供給を停止することができる。

【００６２】従来の減圧弁において、主要回路から一次
側ポートとの間に電磁弁を設けて一次側ポートへの空気
の導入を停止すると、二次側圧力が「０」となったとき
にフラッパが受圧部材側の１点に当接する。従って、繰
り返し電磁弁を作動させると受圧部材の変形が促進され
るため、電磁弁を二次側ポート２０と空圧機器との間に
設けて空圧機器への流体の供給を停止するようにしてい
た。しかし、この場合、フラッパ６０が二次側圧力に応
じた距離だけノズル５９の弁座５９ａから離間した状態
となるので、一次側ポート１９からノズル背圧室３６に
供給される流体の一部が放出流路５８を介して常時外部
に放出される。このため、空圧機器に流体を供給してい
ないにも拘らず主要回路の圧力が消費される欠点があっ
た。

【００６３】一方、本実施の形態では、電磁弁７３によ
ってノズル背圧室３６への一次側圧力の導入を停止した
ときに、ノズル５９の弁座５９ａに当接したフラッパ６
０からの反力が軸部材４７の１点に集中して加わらな
い。このため、パイロット通路３９上に設けた電磁弁７
３を繰り返し作動させて二次側ポート２０からの空気の
供給を停止させても、フラッパ６０によって軸部材４７
が殆ど変形しない。このため、第１ダイアフラム４２と
フラッパ６０との位置関係が当初の関係から変化しな
い。その結果、ノズルフラッパ機構５７の繰り返し動作
による変形を抑制し、設定圧力の変化やフラッパの異常
振動が起こり難いようにしながら、主要回路の空気が消
費されない状態で減圧弁１０から副回路への供給停止を
行うことができる。

【００６４】（６） 電磁弁７３を減圧弁１０に一体化
して設けたので、減圧弁の他に電磁弁を用意して接続す
る必要がなく、設置を容易に行うことができる。又、必
要な設置面積が小さくてすむ。

【００６５】以下、上記実施の形態以外の実施の形態を
列挙する。 ○ 上記第１の実施の形態では、第２フィードバック室
４８とノズル背圧室３６との間に、第１ダイアフラム４
２に連動する第２ダイアフラム４４によって区画され、
第１ダイアフラム４２に固定された軸部材４７の下部が
配置されるブリード室５５を設けた。そして、ノズル背
圧室３６とブリード室５５とを連通するように設け、軸
部材４７を介して動作するノズルフラッパ機構５７から
放出された空気をブリード室５５からハウジング１１の
外部に放出するようにした。これを、ブリード室５５を
設けず、ノズル背圧室３６と第２フィードバック室４８
とを連通するように設けたノズルフラッパ機構を第１ダ
イアフラム４２によって動作させる構成としてもよい。

【００６６】この構成では、ノズル背圧室３６の圧力が
第２フィードバック室４８を介して二次側ポート２０側
に放出されることでノズル背圧室３６の圧力が調整さ
れ、一次側ポート１９から二次側ポート２０への流路開
度が調整されて二次側ポート２０の圧力が制御される。
従って、圧力制御の応答性がある程度低下する代わり
に、二次側ポート２０の空気を消費しているときには主
要回路の空気を消費することなく圧力制御を行うことが
できる。

【００６７】○ 上記各実施の形態では、ノズル５９の
弁座５９ａを円錐状に形成し、フラッパ６０を、弁座５
９ａに当接可能な球体６５と、この球体６５を保持する
とともに第１ダイアフラム４２の変位方向に直交する方
向に移動可能に軸部材４７に対させた基部６４とから構
成した。これを、図６（ａ），（ｂ）に示すように、弁
座５９ａに当接する球状部７４ａと、軸部材４７に保持
されるためのつば部７４ｂとが一体に形成されたフラッ
パ７４としてもよい。この場合には、フラッパ７４が軸
部材４７の下面に対し円形状に面接触する状態で支持さ
れる。

【００６８】又、図７（ａ），（ｂ）に示すように、弁
座５９ａに当接する円錐部７５ａと、軸部材４７に保持
されるためのつば部７５ｂとが一体に形成されたフラッ
パ７５としてもよい。この場合には、フラッパ７５が軸
部材４７の下面に対し円形状に面接触する状態で支持さ
れる。

【００６９】○ ノズルフラッパ機構を、図８（ａ），
（ｂ）に示すように、環状の突出部７６ａの先端に弁座
７６ｂが形成されたノズル７６と、弁座７６ｂに当接す
る円柱部７７ａ、及び、軸部材４７に保持されるための
つば部７７ｂが一体に形成されたフラッパ７７とから構
成してもよい。この場合には、フラッパ７７が軸部材４
７の下面に対し円形状に面接触する状態で支持される。

【００７０】○ フラッパを、図９（ａ），（ｂ）に示
すように、弁座５９ａに当接する弁体としての球体６５
と、この球体６５に外嵌する状態で組み合わされ、球体
６５を軸部材４７の下面に当接させた状態で保持すると
ともに軸部材４７に対して移動可能に支持される筒状の
基部７８とからなるフラッパ７９としてもよい。この場
合には、フラッパ７９が軸部材４７の下面に対し環状に
面接触する状態で支持される。

【００７１】ここで、球体６５を基部７８の上側開口部
から突出させ、突出させた球体６５を軸部材４７の下面
に設けた円錐状の凹部内に対し環状に線接触する状態で
軸部材４７に支持してもよい。この構成であっても、球
体６５から軸部材４７の下面に加わる反力が１点に集中
しないので、軸部材４７がフラッパ７９によって変形し
難い。尚、この場合には、フラッパ７９を第１ダイアフ
ラム４２の変位方向に直交する全方向に相対移動させる
ことはできない。

【００７２】○ ノズルフラッパ機構を、図１０
（ａ），（ｂ）に示すように、環状の突出部８０の先端
に弁座８０ａが形成されたノズル８１と、円錐状の内周
面８２ａが弁座８０ａに当接する円柱部８２と、軸部材
４７に保持されるためのつば部８３とが一体に形成され
たフラッパ８４とから構成してもよい。この場合には、
フラッパ８４が軸部材４７の下面に対し円形状に面接触
する状態で支持される。

【００７３】○ 上記実施の形態では、軸部材４７の保
持部６１の下面を平坦面としたが、図１１（ａ）に示す
ように、球体６５の頂点に対応する部分に凹部６１ａを
設けてもよい。この場合にも、前記各実施の形態と同様
に、フラッパ６０からの反力が軸部材４７の下面に対し
環状に面接触する状態で支持されるので、軸部材４７が
変形し難い。

【００７４】○ 上記実施の形態では、基部６４を回転
切削で形成可能な略円柱体としたが、図１１（ｂ）に示
すように、球体６５を保持する図示しない凹部を備えた
直方体の基部８５としてもよい。この場合、その下端側
の外周面周縁に設けた枠状のつば部８５ａを係止するよ
うに形成した軸部材の保持部で支持する。

【００７５】○ 上記各実施の形態では、ノズルフラッ
パ機構のノズル５９をハウジング１１に組み付け固定す
るものとしたが、ハウジングに一体で形成したノズルで
あってもよい。

【００７６】○ 上記各実施の形態では、圧力設定部
を、第１ダイアフラム４２を付勢する付勢力を発生する
第４圧縮コイルばね５３と、ハンドル５４によって操作
され第４圧縮コイルばね５３が発生する付勢力を調整す
る雄ねじ軸５１等とによって構成した。これを、例え
ば、導入される流体の圧力によって第１ダイアフラム４
２を付勢する付勢力を発生する調圧室と、この調圧室に
導入する流体の圧力を調整する比例電磁式圧力制御弁等
からなる流体制御回路とによって構成してもよい。この
場合には、二次側ポートから供給する流体の設定圧力を
遠隔操作によって制御したり、二次側ポートから供給さ
れる流体によって作動する流体圧機器の制御状態に関す
る情報に基づいて設定圧力自体を好適に自動調整したり
することができる。

【００７７】○ 上記各実施の形態では、流体としての
空気の圧力を制御する減圧弁としたが、空気以外の気体
の圧力を制御する減圧弁に実施してもよい。以下、特許
請求の範囲に記載した各発明の外に前述した各実施の形
態から把握される技術的思想をその効果とともに記載す
る。

【００７８】（１） 請求項３に記載の発明において、
前記球体は、前記基部に設けられた凹部内の円錐状の内
周面に対し円環状に線接触する状態で支持されている。
このような構成によれば、一定期間の経過後にも基部の
内周面が球体によって変形し難く、球体と受圧部材との
位置関係が当初の位置関係から変化しない。

【００７９】（２） 請求項３に記載の発明において、
前記基部は回転切削可能な略円柱体である。このような
構成によれば、容易に高い寸法精度で加工形成すること
ができ、球体を確実に保持することができる基部を高い
歩留まりで製造することができる。

【００８０】（３） 請求項１〜請求項３のいずれか一
項に記載の発明において、前記パイロット室に前記一次
側ポートを連通するパイロット通路を開閉制御し、該一
次側ポートからパイロット室への流体の導入を許容又は
禁止する電磁弁を一体に設けた。このような構成によれ
ば、ノズルフラッパ機構の繰り返し動作による変形を抑
制し、設定圧力の変化やフラッパの異常振動が起こり難
いようにしながら、主要回路の空気が消費されない状態
で減圧弁から副回路等への供給停止を行うことができ
る。又、減圧弁の他に電磁弁を用意して接続する必要が
なく、設置を容易に行うことができる。又、必要な設置
面積が小さくてすむ。

【００８１】

【発明の効果】請求項１〜請求項３に記載の発明によれ
ば、ノズルフラッパ機構の繰り返し動作による変形を抑
制し、設定圧力の変化やフラッパの異常振動が起き難い
ようにする。

【００８２】加えて請求項２又は請求項３に記載の発明
によれば、部品の寸法ばらつきや組立誤差がある状態で
構成される減圧弁であっても、パイロット室からの流体
の放出を停止して、二次側ポートの設定圧力からの低下
を極力抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１の実施の形態の減圧弁を示す概略断面
図。

【図２】 ノズルフラッパ機構を示す断面図。

【図３】 フラッパを示す斜視図。

【図４】 第２の実施の形態の減圧弁を示す概略断面
図。

【図５】 第３の実施の形態の減圧弁を示す概略断面
図。

【図６】 （ａ）は別例のノズルフラッパ機構を示す断
面図、（ｂ）はそのフラッパを示す斜視図。

【図７】 （ａ）は別例のノズルフラッパ機構を示す断
面図、（ｂ）はそのフラッパを示す斜視図。

【図８】 （ａ）は別例のノズルフラッパ機構を示す断
面図、（ｂ）はそのフラッパを示す斜視図。

【図９】 （ａ）は別例のノズルフラッパ機構を示す断
面図、（ｂ）はそのフラッパを示す斜視図。

【図１０】 （ａ）は別例のノズルフラッパ機構を示す
断面図、（ｂ）はそのフラパを示す斜視図。

【図１１】 （ａ）は別例のノズルフラッパ機構を示す
断面図、（ｂ）は別例のフラッパを示す斜視図。

【図１２】 従来のノズルフラッパ機構を示す概略断面
図。

【図１３】 受圧体の凹みを示す模式断面図。

【符号の説明】

１０…減圧弁、１９…一次側ポート、２０…二次側ポー
ト、２１…供給側弁部、３４…第１の実施の形態におけ
る第１受圧体としてのピストン、３５…第１フィードバ
ック室、３６…パイロット室としてのノズル背圧室、４
２…第２受圧体を構成する第１ダイアフラム、４５…同
じく上側受圧部材、４６…同じく下側受圧部材、４７…
同じく軸部材、４８…第２フィードバック室、５１…圧
力設定部を構成する雄ねじ軸、５２…同じく板部材、５
３…同じく第４圧縮コイルばね、５４…同じくハンド
ル、５７…ノズルフラッパ機構、５８…放出流路、５９
…ノズル、５９ａ…弁座、６０…フラッパ、６４…基
部、６５…球体、７０…第２の実施の形態における第１
受圧体を構成する第３ダイアフラム、７１…同じく上側
受圧部材、７２…同じく下側受圧部材、７４…フラッ
パ、７５…フラッパ、７６…ノズル、７７…フラッパ、
７８…基部、７９…フラッパ、８１…ノズル、８４…フ
ラッパ、８５…基部。

フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H056 AA03 AA07 BB10 BB24 CA07 CB03 CB07 CC15 DD02 DD04 EE06 GG02 3H059 AA07 AA11 AA14 BB05 BB14 CA13 CD05 CD13 CE01 DD14 EE13 FF04 3H066 EA05 EA12 5H316 BB02 DD01 DD07 DD20 EE02 EE10 EE12 HH10 HH11 HH15 HH16 JJ01 JJ13 KK02 LL05 LL10

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一次側ポートから二次側ポートへの流路
   開度を調整する供給側弁部を設け、前記一次側ポートに
   連通されたパイロット室の圧力と前記二次側ポートに連
   通された第１フィードバック室の圧力との差に基づいて
   変位する第１受圧体を設け、前記二次側ポートに連通さ
   れた第２フィードバック室の圧力と予め定められた設定
   圧力を設定するため圧力設定部から加えられる付勢力と
   の差に基づいて変位する第２受圧体を設け、前記第２受
   圧体の変位によって動作し前記パイロット室から流体を
   放出する放出流路の流路開度を調整するノズルフラッパ
   機構を設け、前記ノズルフラッパ機構にて調整される前
   記パイロット室の圧力と前記第１フィードバック室の圧
   力との差に基づく前記第１受圧体の変位によって前記供
   給側弁部を開閉動作させ、前記圧力設定部の付勢力に対
   応した設定圧力に二次側圧力が制御されるように前記一
   次側ポートから前記二次側ポートへの流路開度を調整す
   る減圧弁において、 前記ノズルフラッパ機構を、前記パイロット室に連通す
   るように設けたノズルと、前記第２受圧体に対し線接触
   又は面接触する状態で支持したフラッパとから構成した
   減圧弁。
2. 【請求項２】 前記フラッパを、前記第１受圧体の変位
   方向に直交する全方向に相対移動可能に支持した請求項
   １に記載の減圧弁。
3. 【請求項３】 前記ノズルの弁座を略円錐状に形成し、
   前記フラッパを、該弁座に環状の線領域で当接可能な球
   体と、その球体を保持するとともに前記第１受圧体の変
   位方向に直交する全方向に相対移動可能に該受圧体に支
   持させた基部とから構成した請求項２に記載の減圧弁。