JP2001188072A - Anisotropic conductive sheet, its manufacturing method, and connector - Google Patents
Anisotropic conductive sheet, its manufacturing method, and connectorInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、電子部品
などの回路装置相互間の電気的接続や、プリント回路基
板、半導体集積回路などの回路装置の検査装置などにお
けるコネクターとして好ましく用いられる異方導電性シ
ートおよびその製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an anisotropic connector preferably used as an electrical connection between circuit devices such as electronic parts and a test device for circuit devices such as printed circuit boards and semiconductor integrated circuits. The present invention relates to a conductive sheet and a method for manufacturing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】異方導電性エラストマーシートは、厚み
方向にのみ導電性を示すもの、または厚み方向に加圧さ
れたときに厚み方向にのみ導電性を示す加圧導電性の接
続用導電部を有するものであり、ハンダ付けあるいは機
械的嵌合などの手段を用いずにコンパクトな電気的接続
を達成することが可能であること、機械的な衝撃やひず
みを吸収してソフトな接続が可能であることなどの特長
を有することから、このような特長を利用して、例えば
電子計算機、電子式デジタル時計、電子カメラ、コンピ
ューターなどの分野において、回路装置、例えばプリン
ト回路基板をはじめ、フレキシブル基板や、ＭＣＭなど
の集積回路装置、液晶パネルなどの入出力装置などの相
互の間での電気的な接続を達成するためのコネクターと
して広く用いられている。また、キーボードや、タッチ
スイッチなどで、外力を検出するためのセンサーとして
も使用されている。2. Description of the Related Art An anisotropic conductive elastomer sheet has conductivity only in the thickness direction, or a pressurized conductive connecting portion which has conductivity only in the thickness direction when pressed in the thickness direction. It is possible to achieve a compact electrical connection without using means such as soldering or mechanical fitting, and it is possible to absorb mechanical shocks and strains and make soft connections Since it has such features as, for example, in the fields of electronic calculators, electronic digital watches, electronic cameras, computers, etc., circuit devices, such as printed circuit boards, flexible boards, etc. It is widely used as a connector for achieving electrical connection between integrated circuits such as MCMs and input / output devices such as liquid crystal panels. There. It is also used as a sensor for detecting external force with a keyboard, a touch switch, or the like.
【０００３】また、プリント回路基板、フレキシブル基
板、セラミック基板、ＴＡＢ用のキャリアテープなどの
種々の材質、あるいは方法で製造された電子回路用の基
板、半導体集積回路や複数の半導体集積回路を１つのモ
ジュールに組み込んだＭＣＭなどの電気的検査において
は、検査対象である回路装置の少なくとも一面に形成さ
れた被検査電極と、検査用回路基板の表面に形成された
検査用電極との電気的な接続を達成するために、回路装
置の被検査電極領域と検査用回路基板の検査用電極領域
との間に異方導電性エラストマーシートを介在させるこ
とが行われている。Also, various materials such as a printed circuit board, a flexible substrate, a ceramic substrate, a carrier tape for a TAB, or a substrate for an electronic circuit manufactured by a method, a semiconductor integrated circuit or a plurality of semiconductor integrated circuits are integrated into one. In an electrical inspection of an MCM or the like incorporated in a module, an electrical connection between an electrode to be inspected formed on at least one surface of a circuit device to be inspected and an inspection electrode formed on a surface of a circuit board for inspection. In order to achieve the above, an anisotropic conductive elastomer sheet is interposed between the inspected electrode region of the circuit device and the inspection electrode region of the inspection circuit board.
【０００４】従来、このような異方導電性エラストマー
シートとしては、種々の構造のものが知られており、例
えば特開昭５１−９３３９３号公報等には、金属粒子を
エラストマー中に均一に分散して得られる異方導電性エ
ラストマーシートが開示され、また、特開昭５３−１４
７７７２号公報等には、導電性磁性体粒子をエラストマ
ー中に不均一に分布させることにより、厚み方向に伸び
る多数の導電路形成部と、これらを相互に絶縁する絶縁
部とが形成されてなる異方導電性エラストマーシートが
開示され、更に、特開昭６１−２５０９０６号公報等に
は、導電路形成部の表面と絶縁部との間に段差が形成さ
れた異方導電性エラストマーシートが開示されている。Conventionally, as such an anisotropic conductive elastomer sheet, those having various structures are known. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 51-93393 discloses that metal particles are uniformly dispersed in an elastomer. Anisotropically conductive elastomer sheet obtained by the above method is disclosed.
No. 7772 and the like disclose the conductive magnetic particles in the elastomer in a non-uniform manner, thereby forming a large number of conductive path forming portions extending in the thickness direction and an insulating portion for insulating these from each other. An anisotropic conductive elastomer sheet is disclosed. Further, JP-A-61-250906 discloses an anisotropic conductive elastomer sheet in which a step is formed between the surface of a conductive path forming portion and an insulating portion. Have been.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、異方導
電性シートは、厚み方向に導電性を有する弾性高分子体
よりなるため、その使用方法や使用環境によっては、当
該異方導電性シートの表面が静電気を帯びて種々の問題
が生じる。例えば、異方導電性シートを回路装置の電気
的検査に用いる場合には、検査対象である回路装置（以
下、「被検査回路装置」ともいう。）と検査用回路基板
との間に異方導電性シートを介在させ、この異方導電性
シートを加圧することにより、被検査回路装置と検査用
回路基板との電気的接続を達成して電気的検査が行われ
るが、加圧動作および剥離動作によって電荷が発生しや
すく、多数の被検査回路装置の電気的検査を連続して行
うことにより、異方導電性シートの表面に電荷が蓄積さ
れ、高い電圧の静電気を帯びることになる。そして、当
該静電気が接続用電極に対して放電することにより、検
査用回路基板や異方導電性シートだけではなく、被検査
回路装置にまで悪影響を与えることがあり、その結果、
検査用回路基板や検査装置が故障したり、検査対象であ
る被検査回路装置を破壊するおそれがある。また、異方
導電性シートの表面に電荷が蓄積されて静電気を帯びる
と、当該静電気によって、被検査回路装置が異方導電性
シートに貼りつくため、検査作業を円滑に行うことが困
難となる。However, since the anisotropic conductive sheet is made of an elastic polymer having conductivity in the thickness direction, the surface of the anisotropic conductive sheet depends on the method of use and the environment of use. Is charged with static electricity, causing various problems. For example, when an anisotropic conductive sheet is used for electrical inspection of a circuit device, an anisotropic conductive sheet is placed between a circuit device to be inspected (hereinafter, also referred to as a “circuit device to be inspected”) and a circuit board for inspection. By pressurizing the anisotropic conductive sheet with the conductive sheet interposed, the electrical connection between the circuit device under test and the circuit board for inspection is achieved and the electrical inspection is performed. Electric charges are easily generated by the operation, and by continuously performing the electrical inspection of a large number of circuit devices to be inspected, the electric charges are accumulated on the surface of the anisotropic conductive sheet, so that high-voltage static electricity is charged. Then, by discharging the static electricity to the connection electrodes, not only the inspection circuit board and the anisotropic conductive sheet but also the circuit device to be inspected may be adversely affected.
There is a possibility that the inspection circuit board or the inspection device may break down, or the inspection target circuit device to be inspected may be destroyed. In addition, when charges are accumulated on the surface of the anisotropic conductive sheet and become charged with static electricity, the circuit device to be inspected adheres to the anisotropic conductive sheet due to the static electricity, so that it becomes difficult to perform the inspection work smoothly. .
【０００６】本発明は、以上のような事情に基づいてな
されたものであって、その目的は、静電気による接続用
導電部への悪影響が排除され、生産性の向上および安全
性の向上を図ることができる異方導電性シートおよびこ
のような異方導電性シートを容易に製造することができ
る方法を提供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to eliminate the adverse effect of static electricity on a connecting conductive portion, and to improve productivity and safety. An object of the present invention is to provide an anisotropic conductive sheet that can be manufactured and a method that can easily manufacture such an anisotropic conductive sheet.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の異方導電性シー
トは、厚み方向に導電性を有する弾性高分子物質よりな
る異方導電性のシート体を備え、電子部品の外部装置ま
たは端子に接続される接続用導電部と、アースに接続さ
れる少なくとも一つの除電用導電部とを有することを特
徴とする。The anisotropic conductive sheet according to the present invention comprises an anisotropic conductive sheet made of an elastic polymer material having conductivity in the thickness direction, and is provided on an external device or terminal of an electronic component. It is characterized by having a conductive part for connection to be connected and at least one conductive part for static elimination to be connected to the ground.
【０００８】上記の異方導電性シートにおいては、シー
ト体が、厚み方向に伸びる複数の接続用導電部が絶縁部
によって互いに絶縁された状態で配置されてなり、除電
用導電部が、このシート体における接続用導電部配置領
域以外のブランク領域に配置されていることが好まし
い。この場合においては、少なくとも一つの除電用導電
部が、ブランク領域内に分散した状態で配置された構成
とすることができる。また、少なくとも一つの除電用導
電部が、接続用導電部配置領域の周辺に配置された構成
とすることができる。In the above-described anisotropic conductive sheet, the sheet is formed by disposing a plurality of connecting conductive portions extending in the thickness direction in a state in which the conductive portions are insulated from each other by an insulating portion. It is preferable to be arranged in a blank area other than the connection conductive part arrangement area in the body. In this case, it is possible to adopt a configuration in which at least one conductive portion for static elimination is arranged in a dispersed state in the blank region. In addition, a configuration may be adopted in which at least one conductive part for static elimination is arranged around the connection conductive part arrangement region.
【０００９】本発明の異方導電性シートにおいては、除
電用導電部は、金属粒子、導電性金属酸化物、導電性の
ウィスカー、導電性有機物、カーボンブラックのうちか
ら選ばれた少なくとも一の導電性物質を含んでなるもの
を用いることができる。また、除電用導電部は、接続用
導電部と同一の構造を有するものとすることができる。
また、除電用導電部は、接続用導電部と同一の組成を有
するものとすることができる。また、除電用導電部は、
接続用導電部と同一のプロセスで製造されたものとする
ことができる。また、除電用導電部は、接続用導電部と
同時に製造されたものとすることができる。In the anisotropic conductive sheet of the present invention, the conductive portion for static elimination includes at least one conductive material selected from metal particles, conductive metal oxides, conductive whiskers, conductive organic substances, and carbon black. A substance containing an active substance can be used. Further, the conductive portion for static elimination may have the same structure as the conductive portion for connection.
Further, the conductive part for static elimination may have the same composition as the conductive part for connection. In addition, the conductive part for static elimination,
It can be manufactured by the same process as the connection conductive part. Further, the conductive portion for static elimination may be manufactured at the same time as the conductive portion for connection.
【００１０】本発明の異方導電性シートの製造方法は、
弾性高分子物質よりなり、厚み方向に伸びる複数の接続
用導電部が絶縁部によって互いに絶縁された状態で配置
されてなる異方導電性のシート体を用意し、このシート
体における接続用導電部配置領域以外のブランク領域に
厚み方向に伸びる貫通孔を形成し、この貫通孔内に導電
性物質を含有してなる除電用導電部形成材料を充填し、
この除電用導電部形成材料を硬化処理することにより、
除電用導電部を形成する工程を有することを特徴とす
る。[0010] The method for producing an anisotropic conductive sheet of the present invention comprises:
An anisotropically conductive sheet is prepared, in which a plurality of connecting conductive portions made of an elastic polymer material and extending in the thickness direction are arranged in a state insulated from each other by an insulating portion. Form a through hole extending in the thickness direction in the blank region other than the arrangement region, filling the conductive portion forming material for static elimination containing a conductive substance in this through hole,
By hardening the conductive portion forming material for static elimination,
A step of forming a conductive part for static elimination;
【００１１】本発明の異方導電性シートの製造方法は、
シート体を成形するための金型内において、接続用導電
部配置領域以外のブランク領域とされる個所に、あらか
じめ成形された、除電用導電部となるべき除電用導電部
材料を配置し、その後、この金型内に、硬化されて弾性
高分子物質となる高分子形成材料中に磁性を示す導電性
粒子が含有されてなるシート体形成材料を充填し、この
シート体形成材料に対して、平行磁場または強度分布を
有する平行磁場を当該シート体形成材料の厚み方向に作
用させると共に、当該シート体形成材料を硬化処理する
ことにより、シート体を形成する工程を有することを特
徴とする。[0011] The method for producing an anisotropic conductive sheet of the present invention comprises:
In the mold for forming the sheet body, at a place to be a blank area other than the connection conductive part arrangement area, a pre-formed, static electricity elimination conductive part material to be the charge elimination conductive part is arranged, and then Into this mold, a sheet-forming material containing conductive particles exhibiting magnetism in a polymer-forming material that is cured to become an elastic polymer substance is filled, and for this sheet-forming material, The method further includes a step of forming a sheet by applying a parallel magnetic field or a parallel magnetic field having an intensity distribution in a thickness direction of the sheet forming material, and curing the sheet forming material.
【００１２】本発明のコネクターは、上記の異方導電性
シートからなることを特徴とする。A connector according to the present invention comprises the above-described anisotropic conductive sheet.
【００１３】[0013]
【作用】本発明の異方導電性シートによれば、除電用導
電部を介してアースに接続されるので、静電気が除電用
導電部を介して除電される。その結果、シートの表面に
電荷が蓄積されることを抑制することができ、静電気に
よる接続用導電部への悪影響を排除することができ、従
って各種の電気的接続を達成するためのコネクターとし
て好適に用いることができる。According to the anisotropic conductive sheet of the present invention, since the sheet is connected to the ground via the conductive part for static elimination, static electricity is eliminated through the conductive part for static elimination. As a result, it is possible to suppress the accumulation of electric charges on the surface of the sheet, to eliminate the adverse effect of the static electricity on the connecting conductive portion, and thus to be suitable as a connector for achieving various electrical connections. Can be used.
【００１４】そして、除電用導電部が、ブランク領域内
に分散した状態で配置されていることにより、静電気が
除電用導電部を介して除電されるので、ブランク領域内
のすべての個所において、静電気を帯びることを十分に
抑制することができる。また、除電用導電部が、接続用
導電部配置領域の周辺に配置されていることにより、シ
ートの表面において静電気が放電する場合であっても、
除電用導電部において放電を生じさせて、当該除電用導
電部を介して速やかに除電することができるので、接続
用導電部に悪影響を与えることはない。Since the static elimination conductive portion is disposed in a dispersed state in the blank region, static electricity is eliminated through the static elimination conductive portion. Therefore, the static elimination is performed at all locations in the blank region. Can be sufficiently suppressed. Further, even if the static electricity discharging section is disposed around the connection conductive section arrangement area, even when static electricity is discharged on the surface of the sheet,
Since a discharge is caused in the conductive portion for static elimination and static electricity can be rapidly eliminated through the conductive portion for static elimination, there is no adverse effect on the conductive portion for connection.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。図１は、本発明の異方導電性シート
の一構成例を示す説明用断面図である。この異方導電性
シート１０におけるシート体２０は、それぞれ厚み方向
に伸びる複数の柱状の接続用導電部２１と、これらの接
続用導電部２１を互いに絶縁する絶縁部２２とにより構
成されている。これらの接続用導電部２１は、シート体
２０の面方向に沿って、接続すべき電極例えば被検査回
路装置の被検査電極のパターンに従って配置されてい
る。そして、このシート体２０における接続用導電部配
置領域１６以外のブランク領域１５には、少なくとも一
つの除電用導電部３０が配置されており、この除電用導
電部３０は、回路装置の被検査電極と対掌に配置された
接続用電極を有するコネクター装置に設けられたアース
端子に電気的に接続される。Embodiments of the present invention will be described below in detail. FIG. 1 is an explanatory cross-sectional view showing one configuration example of the anisotropic conductive sheet of the present invention. The sheet body 20 of the anisotropic conductive sheet 10 is composed of a plurality of columnar connecting conductive portions 21 extending in the thickness direction, and an insulating portion 22 for insulating the connecting conductive portions 21 from each other. These conductive portions for connection 21 are arranged along the surface direction of the sheet member 20 according to the pattern of the electrodes to be connected, for example, the electrodes to be inspected of the circuit device to be inspected. At least one static elimination conductive part 30 is arranged in the blank area 15 other than the connection conductive part arranging area 16 in the sheet member 20. Is electrically connected to a ground terminal provided on a connector device having a connection electrode arranged opposite to the palm.
【００１６】シート体２０としては、厚み方向に導電性
を有する異方導電性のものであれば種々の構成のものを
用いることができるが、弾性高分子物質よりなる基材中
に、導電性粒子が当該シート体２０の厚み方向に並ぶよ
う配向した状態で含有されてなるものを好適に用いるこ
とができる。As the sheet body 20, various structures can be used as long as the sheet body 20 is anisotropically conductive having conductivity in the thickness direction. What contains particles in a state of being oriented so as to be arranged in the thickness direction of the sheet body 20 can be suitably used.
【００１７】シート体２０の基材を構成する弾性高分子
物質としては、架橋構造を有する高分子物質が好まし
い。架橋高分子物質を得るために用いることのできる硬
化性の高分子物質形成材料としては、種々のものを用い
ることができ、その具体例としては、ポリブタジエンゴ
ム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、スチレン−ブタジ
エン共重合体ゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重
合体ゴムなどの共役ジエン系ゴムおよびこれらの水素添
加物、スチレン−ブタジエン−ジエンブロック共重合体
ゴム、スチレン−イソプレンブロック共重合体などのブ
ロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添加物、クロロ
プレン、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、エピクロ
ルヒドリンゴム、シリコーンゴム、エチレン−プロピレ
ン共重合体ゴム、エチレン−プロピレン−ジエン共重合
体ゴムなどが挙げられる。以上において、得られる異方
導電性シートに耐候性が要求される場合には、共役ジエ
ン系ゴム以外のものを用いることが好ましく、特に、成
形加工性および電気特性の観点から、シリコーンゴムを
用いることが好ましい。As the elastic polymer material constituting the base material of the sheet member 20, a polymer material having a crosslinked structure is preferable. Various materials can be used as the curable polymer substance forming material that can be used to obtain the crosslinked polymer substance, and specific examples thereof include polybutadiene rubber, natural rubber, polyisoprene rubber, and styrene- Conjugated diene rubbers such as butadiene copolymer rubber and acrylonitrile-butadiene copolymer rubber and hydrogenated products thereof, and block copolymers such as styrene-butadiene-diene block copolymer rubber and styrene-isoprene block copolymer Rubber and hydrogenated products thereof, chloroprene, urethane rubber, polyester-based rubber, epichlorohydrin rubber, silicone rubber, ethylene-propylene copolymer rubber, ethylene-propylene-diene copolymer rubber, and the like. In the above, when weather resistance is required for the obtained anisotropic conductive sheet, it is preferable to use a material other than the conjugated diene rubber, and particularly, from the viewpoint of moldability and electrical characteristics, use of silicone rubber Is preferred.
【００１８】シリコーンゴムとしては、液状シリコーン
ゴムを架橋または縮合したものが好ましい。液状シリコ
ーンゴムは、その粘度が歪速度１０-1ｓｅｃで１０5 ポ
アズ以下のものが好ましく、縮合型のもの、付加型のも
の、ビニル基やヒドロキシル基を含有するものなどのい
ずれであってもよい。具体的には、ジメチルシリコーン
生ゴム、メチルビニルシリコーン生ゴム、メチルフェニ
ルビニルシリコーン生ゴムなどを挙げることができる。Preferably, the silicone rubber is obtained by crosslinking or condensing a liquid silicone rubber. The liquid silicone rubber preferably has a viscosity of 10 5 poise or less at a strain rate of 10 −1 sec, and may be any of condensation type, addition type, and those containing a vinyl group or a hydroxyl group. Good. Specifically, dimethylsilicone raw rubber, methylvinylsilicone raw rubber, methylphenylvinylsilicone raw rubber and the like can be mentioned.
【００１９】これらの中で、ビニル基を含有する液状シ
リコーンゴム（ビニル基含有ポリジメチルシロキサン）
は、通常、ジメチルジクロロシランまたはジメチルジア
ルコキシシランを、ジメチルビニルクロロシランまたは
ジメチルビニルアルコキシシランの存在下において、加
水分解および縮合反応させ、例えば引続き溶解−沈殿の
繰り返しによる分別を行うことにより得られる。Among these, liquid group-containing silicone rubber (vinyl group-containing polydimethylsiloxane)
Is usually obtained by subjecting dimethyldichlorosilane or dimethyldialkoxysilane to hydrolysis and condensation reaction in the presence of dimethylvinylchlorosilane or dimethylvinylalkoxysilane, for example, followed by fractionation by repeated dissolution-precipitation.
【００２０】また、ビニル基を両末端に含有する液状シ
リコーンゴムは、オクタメチルシクロテトラシロキサン
のような環状シロキサンを触媒の存在下においてアニオ
ン重合し、重合停止剤として例えばジメチルジビニルシ
ロキサンを用い、その他の反応条件（例えば、環状シロ
キサンの量および重合停止剤の量）を適宜選択すること
により得られる。ここで、アニオン重合の触媒として
は、水酸化テトラメチルアンモニウムおよび水酸化ｎ−
ブチルホスホニウムなどのアルカリまたはこれらのシラ
ノレート溶液などを用いることができ、反応温度は、例
えば８０〜１３０℃である。The liquid silicone rubber containing vinyl groups at both ends is anionically polymerized with a cyclic siloxane such as octamethylcyclotetrasiloxane in the presence of a catalyst. For example, dimethyldivinylsiloxane is used as a polymerization terminator. (For example, the amount of the cyclic siloxane and the amount of the polymerization terminator) are appropriately selected. Here, as the catalyst for the anionic polymerization, tetramethylammonium hydroxide and n-hydroxide are used.
An alkali such as butylphosphonium or a silanolate solution thereof can be used, and the reaction temperature is, for example, 80 to 130 ° C.
【００２１】このようなビニル基含有ポリジメチルシロ
キサンは、その分子量Ｍｗ（標準ポリスチレン換算重量
平均分子量をいう。以下同じ。）が１００００〜４００
００のものであることが好ましい。また、得られるシー
ト体の耐熱性の観点から、分子量分布指数（標準ポリス
チレン換算重量平均分子量Ｍｗと標準ポリスチレン換算
数平均分子量Ｍｎとの比Ｍｗ／Ｍｎの値をいう。以下同
じ。）が２以下のものが好ましい。Such a vinyl group-containing polydimethylsiloxane has a molecular weight Mw (weight average molecular weight in terms of standard polystyrene; the same applies hereinafter) of 10,000 to 400.
00 is preferred. In addition, from the viewpoint of heat resistance of the obtained sheet body, the molecular weight distribution index (meaning the value of the ratio Mw / Mn between the standard polystyrene equivalent weight average molecular weight Mw and the standard polystyrene equivalent number average molecular weight Mn; the same applies hereinafter) is 2 or less. Are preferred.
【００２２】一方、ヒドロキシル基を含有する液状シリ
コーンゴム（ヒドロキシル基含有ポリジメチルシロキサ
ン）は、通常、ジメチルジクロロシランまたはジメチル
ジアルコキシシランを、ジメチルヒドロクロロシランま
たはジメチルヒドロアルコキシシランの存在下におい
て、加水分解および縮合反応させ、例えば引続き溶解−
沈殿の繰り返しによる分別を行うことにより得られる。On the other hand, a liquid silicone rubber containing hydroxyl groups (hydroxyl group-containing polydimethylsiloxane) is usually prepared by hydrolyzing dimethyldichlorosilane or dimethyldialkoxysilane in the presence of dimethylhydrochlorosilane or dimethylhydroalkoxysilane. And condensation reaction, for example,
It is obtained by performing fractionation by repeating precipitation.
【００２３】また、環状シロキサンを触媒の存在下にお
いてアニオン重合し、重合停止剤として、例えばジメチ
ルヒドロクロロシラン、メチルジヒドロクロロシランま
たはジメチルヒドロアルコキシシランなどを用い、その
他の反応条件（例えば、環状シロキサンの量および重合
停止剤の量）を適宜選択することによっても得られる。
ここで、アニオン重合の触媒としては、水酸化テトラメ
チルアンモニウムおよび水酸化ｎ−ブチルホスホニウム
などのアルカリまたはこれらのシラノレート溶液などを
用いることができ、反応温度は、例えば８０〜１３０℃
である。The cyclic siloxane is anionically polymerized in the presence of a catalyst, and a polymerization terminator such as dimethylhydrochlorosilane, methyldihydrochlorosilane or dimethylhydroalkoxysilane is used, and other reaction conditions (for example, the amount of cyclic siloxane And the amount of the polymerization terminator).
Here, as a catalyst for the anionic polymerization, alkali such as tetramethylammonium hydroxide and n-butylphosphonium hydroxide or a silanolate solution thereof can be used. The reaction temperature is, for example, 80 to 130 ° C.
It is.
【００２４】このようなヒドロキシル基含有ポリジメチ
ルシロキサンは、その分子量Ｍｗが１００００〜４００
００のものであることが好ましい。また、得られるシー
ト体の耐熱性の観点から、分子量分布指数が２以下のも
のが好ましい。本発明においては、上記のビニル基含有
ポリジメチルシロキサンおよびヒドロキシル基含有ポリ
ジメチルシロキサンの両者を併用することもできる。Such a hydroxyl group-containing polydimethylsiloxane has a molecular weight Mw of 10,000 to 400.
00 is preferred. Further, from the viewpoint of heat resistance of the obtained sheet body, those having a molecular weight distribution index of 2 or less are preferable. In the present invention, both the above-mentioned vinyl group-containing polydimethylsiloxane and hydroxyl group-containing polydimethylsiloxane can be used in combination.
【００２５】本発明においては、高分子物質形成材料を
硬化させるために適宜の硬化触媒を用いることができ
る。このような硬化触媒としては、有機過酸化物、脂肪
酸アゾ化合物、ヒドロシリル化触媒などを用いることが
できる。硬化触媒として用いられる有機過酸化物の具体
例としては、過酸化ベンゾイル、過酸化ビスジシクロベ
ンゾイル、過酸化ジクミル、過酸化ジターシャリーブチ
ルなどが挙げられる。硬化触媒として用いられる脂肪酸
アゾ化合物の具体例としては、アゾビスイソブチロニト
リルなどが挙げられる。ヒドロシリル化反応の触媒とし
て使用し得るものの具体例としては、塩化白金酸および
その塩、白金−不飽和基含有シロキサンコンプレック
ス、ビニルシロキサンと白金とのコンプレックス、白金
と１，３−ジビニルテトラメチルジシロキサンとのコン
プレックス、トリオルガノホスフィンあるいはホスファ
イトと白金とのコンプレックス、アセチルアセテート白
金キレート、環状ジエンと白金とのコンプレックスなど
の公知のものが挙げられる。硬化触媒の使用量は、高分
子物質形成材料の種類、硬化触媒の種類、その他の硬化
処理条件を考慮して適宜選択されるが、通常、高分子物
質形成材料１００重量部に対して０．０１〜０．０００
０１重量部であり、好ましくは０．１〜０．０００１重
量部である。In the present invention, an appropriate curing catalyst can be used to cure the polymer-forming material. As such a curing catalyst, an organic peroxide, a fatty acid azo compound, a hydrosilylation catalyst, or the like can be used. Specific examples of the organic peroxide used as the curing catalyst include benzoyl peroxide, bisdicyclobenzoyl peroxide, dicumyl peroxide, and ditertiary butyl peroxide. Specific examples of the fatty acid azo compound used as a curing catalyst include azobisisobutyronitrile. Specific examples of the catalyst which can be used as a catalyst for the hydrosilylation reaction include chloroplatinic acid and salts thereof, a siloxane complex containing a platinum-unsaturated group, a complex of vinylsiloxane and platinum, and platinum and 1,3-divinyltetramethyldisiloxane. And a complex of triorganophosphine or phosphite with platinum, acetylacetate platinum chelate, and a complex of cyclic diene and platinum. The amount of the curing catalyst used is appropriately selected in consideration of the type of the polymer substance-forming material, the type of the curing catalyst, and other curing treatment conditions. 01-0.000
01 parts by weight, preferably 0.1 to 0.0001 parts by weight.
【００２６】また、シート体２０の基材中には、必要に
応じて、通常のシリカ粉、コロイダルシリカ、エアロゲ
ルシリカ、アルミナなどの無機充填材を含有させること
ができる。このような無機充填材を含有させることによ
り、シート体２０を得るための成形材料のチクソトロピ
ー性が確保され、その粘度が高くなり、しかも、導電性
粒子の分散安定性が向上すると共に、高い強度を有する
シート体２０が得られる。このような無機充填材の使用
量は、特に限定されるものではないが、多量に使用する
と、磁場による導電性粒子の配向を十分に達成すること
ができなくなるため、好ましくない。The base material of the sheet member 20 may contain an inorganic filler such as ordinary silica powder, colloidal silica, airgel silica, alumina, etc., if necessary. By including such an inorganic filler, the thixotropy of the molding material for obtaining the sheet body 20 is ensured, the viscosity is increased, and the dispersion stability of the conductive particles is improved, and the strength is increased. Is obtained. The use amount of such an inorganic filler is not particularly limited, but using a large amount is not preferable because the orientation of the conductive particles cannot be sufficiently achieved by the magnetic field.
【００２７】シート体２０の基材中に含有される導電性
粒子としては、磁場を作用させることによって容易にシ
ート体２０の厚み方向に配向させることができる観点か
ら、磁性を示す導電性粒子を用いることが好ましい。こ
のような導電性粒子の具体例としては、ニッケル、鉄、
コバルトなどの磁性を示す金属の粒子若しくはこれらの
合金の粒子またはこれらの金属を含有する粒子、または
これらの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に金、
銀、パラジウム、ロジウムなどの導電性の良好な金属の
メッキを施したもの、あるいは非磁性金属粒子若しくは
ガラスビーズなどの無機物質粒子またはポリマー粒子を
芯粒子とし、当該芯粒子の表面に、ニッケル、コバルト
などの導電性磁性体のメッキを施したもの、あるいは芯
粒子に、導電性磁性体および導電性の良好な金属の両方
を被覆したものなどが挙げられる。これらの中でも、ニ
ッケル粒子を芯粒子とし、その表面に金などの導電性の
良好な金属のメッキを施したものを用いることが好まし
い。芯粒子の表面に導電性金属を被覆する手段として
は、特に限定されるものではないが、例えば化学メッキ
または電解メッキにより行うことができる。The conductive particles contained in the base material of the sheet member 20 include conductive particles exhibiting magnetism from the viewpoint that they can be easily oriented in the thickness direction of the sheet member 20 by applying a magnetic field. Preferably, it is used. Specific examples of such conductive particles include nickel, iron,
Particles of metals such as cobalt or particles of these alloys or particles containing these metals, or particles containing these metals, or these particles as core particles, gold on the surface of the core particles,
Silver, palladium, plated with a metal having good conductivity such as rhodium, or inorganic particles or polymer particles such as non-magnetic metal particles or glass beads as core particles, the surface of the core particles, nickel, Examples thereof include those obtained by plating a conductive magnetic material such as cobalt, and those obtained by coating core particles with both a conductive magnetic material and a metal having good conductivity. Among them, it is preferable to use nickel particles as core particles, the surfaces of which are plated with a metal having good conductivity such as gold. Means for coating the surface of the core particles with a conductive metal is not particularly limited, but may be, for example, chemical plating or electrolytic plating.
【００２８】導電性粒子として、金属の芯粒子の表面に
導電性金属が被覆されてなるものを用いる場合には、良
好な導電性が得られる観点から、粒子表面における導電
性金属の被覆率（芯粒子の表面積に対する導電性金属の
被覆面積の割合）が４０％以上であることが好ましく、
さらに好ましくは４５％以上、特に好ましくは４７〜９
５％である。また、導電性金属の被覆量は、芯粒子が金
属の粒子である場合には、０．５〜５０重量％であるこ
とが好ましく、より好ましくは１〜３０重量％、さらに
好ましくは３〜２５重量％、特に好ましくは４〜２０重
量％である。被覆される導電性金属が金である場合に
は、その被覆量は、芯粒子の２．５〜３０重量％である
ことが好ましく、より好ましくは３〜２０重量％、さら
に好ましくは３．５〜１５重量％、特に好ましくは４〜
１０重量％である。また、被覆される導電性金属が銀で
ある場合には、その被覆量は、芯粒子の３〜５０重量％
であることが好ましく、より好ましくは４〜４０重量
％、さらに好ましくは５〜３０重量％、特に好ましくは
６〜２０重量％である。一方、芯粒子がガラスビーズな
どの無機物質粒子またはポリマー粒子である場合には、
芯粒子の表面における導電性金属の被覆率が、７０％以
上であることが好ましく、更に好ましくは９０％以上で
ある。When the conductive particles are formed by coating the surface of a metal core particle with a conductive metal, the coverage of the conductive metal on the particle surface (from the viewpoint of obtaining good conductivity) ( Ratio of the conductive metal coating area to the surface area of the core particles) is preferably 40% or more,
More preferably 45% or more, particularly preferably 47 to 9%.
5%. When the core particles are metal particles, the coating amount of the conductive metal is preferably 0.5 to 50% by weight, more preferably 1 to 30% by weight, and still more preferably 3 to 25% by weight. %, Particularly preferably 4 to 20% by weight. When the conductive metal to be coated is gold, the coating amount is preferably 2.5 to 30% by weight of the core particles, more preferably 3 to 20% by weight, and further preferably 3.5. ~ 15% by weight, particularly preferably 4 ~
10% by weight. When the conductive metal to be coated is silver, the coating amount is 3 to 50% by weight of the core particles.
It is preferably 4 to 40% by weight, more preferably 5 to 30% by weight, particularly preferably 6 to 20% by weight. On the other hand, when the core particles are inorganic particles such as glass beads or polymer particles,
The coverage of the conductive metal on the surface of the core particles is preferably 70% or more, and more preferably 90% or more.
【００２９】また、導電性粒子の粒子径は、１〜１００
０μｍであることが好ましく、より好ましくは２〜５０
０μｍ、さらに好ましくは５〜３００μｍ、特に好まし
くは１０〜２００μｍである。また、導電性粒子の粒子
径分布（Ｄｗ／Ｄｎ）は、１〜１０であることが好まし
く、より好ましくは１．０１〜７、さらに好ましくは
１．０５〜５、特に好ましくは１．１〜４である。この
ような条件を満足する導電性粒子を用いることにより、
得られるシート体は、加圧変形が容易なものとなり、ま
た、当該導電性粒子間に十分な電気的接触が得られる。
また、導電性粒子の形状は、特に限定されるものではな
いが、高分子物質形成材料中に容易に分散させることが
できる点で、球状のもの、星形状のものあるいはこれら
が凝集した２次粒子による塊状のものであることが好ま
しい。The particle size of the conductive particles is 1 to 100.
0 μm, more preferably 2 to 50 μm.
0 μm, more preferably 5 to 300 μm, particularly preferably 10 to 200 μm. Further, the particle size distribution (Dw / Dn) of the conductive particles is preferably 1 to 10, more preferably 1.01 to 7, further preferably 1.05 to 5, and particularly preferably 1.1 to 1. 4. By using conductive particles that satisfy such conditions,
The obtained sheet body is easily deformed under pressure, and sufficient electric contact is obtained between the conductive particles.
In addition, the shape of the conductive particles is not particularly limited. However, since the conductive particles can be easily dispersed in the polymer substance-forming material, the conductive particles have a spherical shape, a star shape, or a secondary shape in which these are aggregated. It is preferably a lump formed by particles.
【００３０】また、導電性粒子の含水率は、５％以下で
あることが好ましく、より好ましくは３％以下、さらに
好ましくは２％以下、特に好ましくは１％以下である。
このような条件を満足する導電性粒子を用いることによ
り、高分子物質形成材料を硬化処理する際に気泡が生ず
ることが防止される。The water content of the conductive particles is preferably 5% or less, more preferably 3% or less, further preferably 2% or less, particularly preferably 1% or less.
By using the conductive particles satisfying such conditions, it is possible to prevent bubbles from being generated during the curing treatment of the polymer substance forming material.
【００３１】また、導電性粒子として、その表面がシラ
ンカップリング剤などのカップリング剤で処理されたも
のを適宜用いることができる。導電性粒子の表面がカッ
プリング剤で処理されることにより、当該導電性粒子と
弾性高分子物質との接着性が高くなり、その結果、得ら
れるシート体は、繰り返しの使用における耐久性が高い
ものとなる。カップリング剤の使用量は、導電性粒子の
導電性に影響を与えない範囲で適宜選択されるが、導電
性粒子表面におけるカップリング剤の被覆率（導電性芯
粒子の表面積に対するカップリング剤の被覆面積の割
合）が５％以上となる量であることが好ましく、より好
ましくは上記被覆率が７〜１００％、さらに好ましくは
１０〜１００％、特に好ましくは２０〜１００％となる
量である。As the conductive particles, those whose surfaces have been treated with a coupling agent such as a silane coupling agent can be appropriately used. By treating the surface of the conductive particles with the coupling agent, the adhesion between the conductive particles and the elastic polymer material is increased, and as a result, the obtained sheet body has high durability in repeated use. It will be. The amount of the coupling agent used is appropriately selected within a range that does not affect the conductivity of the conductive particles. However, the coverage of the coupling agent on the surface of the conductive particles (the ratio of the coupling agent to the surface area of the conductive core particles). (The ratio of the coating area) is preferably 5% or more, more preferably 7 to 100%, more preferably 10 to 100%, particularly preferably 20 to 100%. .
【００３２】この異方導電性シート１０における除電用
導電部３０は、主として異方導電性シート１０の表面が
静電気を帯びることを抑制する、或いは蓄積した電荷が
小さいうちに電気的に中和し、除電する機能を有する導
電部（以下、「帯電防止用導電部」という。）であり、
図２にも示すように、接続用導電部配置領域１６以外の
ブランク領域１５内に分散されて配置される。ここで、
接続用導電部配置領域１６とは、一つまたは複数の接続
用導電部２１がまとまって配置されている領域をいい、
ブランク領域１５とは、接続用導電部２１が存在しない
ある程度以上の面積領域をいう。図２では、帯電防止用
導電部３０とは別の除電用導電部４０が、便宜上、帯電
防止用導電部３０と併せて記されている。この除電用導
電部４０の詳細については後述する。The static elimination conductive portion 30 of the anisotropic conductive sheet 10 mainly suppresses the surface of the anisotropic conductive sheet 10 from being charged with static electricity, or neutralizes electrically while the accumulated electric charge is small. , A conductive portion having a function of removing static electricity (hereinafter, referred to as “antistatic conductive portion”);
As shown in FIG. 2, they are dispersed and arranged in the blank area 15 other than the connection conductive part arrangement area 16. here,
The connection conductive portion arrangement region 16 refers to a region where one or a plurality of connection conductive portions 21 are collectively arranged.
The blank region 15 refers to a region having a certain area or more in which the connecting conductive portion 21 does not exist. In FIG. 2, a static elimination conductive part 40 different from the antistatic conductive part 30 is described together with the antistatic conductive part 30 for convenience. The details of the charge eliminating conductive portion 40 will be described later.
【００３３】帯電防止用導電部３０が配置される間隔
は、異方導電性シート１０の用途あるいは大きさによっ
ても異なるが、例えばプリント回路基板の電気的検査用
に用いる場合には、帯電防止用導電部３０とこれに最も
近接した接続用導電部との離間距離の最大値および隣接
する帯電防止用導電部３０の離間距離ｄ１の最大値は、
４ｃｍ以下であることが好ましく、より好ましくは３ｃ
ｍ以下、さらに好ましくは２ｃｍ以下である。この離間
距離ｄ１の最大値が４ｃｍ以下であることにより、異方
導電性シート１０の表面が静電気を帯びることを十分に
抑制することができ、静電気による接続用電極２１への
悪影響を排除できる。また、同様の理由により、例えば
半導体集積回路の電気的検査用に用いる場合には、帯電
防止用導電部とこれに最も近接した接続用導電部との離
間距離の最大値および隣接する帯電防止用導電部の離間
距離の最大値は、１０ｍｍ以下であることが好ましく、
より好ましくは５ｍｍ以下、さらに好ましくは３ｍｍ以
下である。The interval at which the antistatic conductive portions 30 are arranged differs depending on the use or size of the anisotropic conductive sheet 10. The maximum value of the separation distance between the conductive portion 30 and the connection conductive portion closest thereto and the maximum value of the separation distance d1 of the adjacent antistatic conductive portion 30 are:
4 cm or less, more preferably 3 c
m, more preferably 2 cm or less. When the maximum value of the separation distance d1 is 4 cm or less, it is possible to sufficiently suppress the surface of the anisotropic conductive sheet 10 from being charged with static electricity, and it is possible to eliminate the adverse effect of the static electricity on the connection electrode 21. For the same reason, for example, when used for electrical inspection of a semiconductor integrated circuit, the maximum value of the separation distance between the antistatic conductive portion and the closest conductive portion and the adjacent antistatic conductive portion. The maximum value of the separation distance of the conductive portion is preferably 10 mm or less,
More preferably, it is 5 mm or less, still more preferably 3 mm or less.
【００３４】帯電防止用導電部３０は、例えば高分子物
質よりなる基材中に導電性物質が分散されて構成されて
おり、基材を構成する高分子物質としては、前述のシー
ト体２０の基材を構成する弾性高分子物質として例示し
たものを用いることができる。また、帯電防止用導電部
３０を構成する基材中に含有される導電性物質として
は、一般的には、金属結合により導電性を示す物質、余
剰電子の移動で電荷の移動が起こるもの、空孔の移動に
より電荷の移動が起こるもの、イオンを生成しそのイオ
ンが電荷を運ぶもの、主鎖に沿ってπ結合を持ちその相
互作用により導電性を示す物質、側鎖にある基の相互作
用により電荷の移動を起こす物質などから選ぶことがで
きる。The antistatic conductive portion 30 is formed by dispersing a conductive material in a base material made of, for example, a polymer material. The materials exemplified as the elastic polymer material constituting the base material can be used. In addition, as the conductive material contained in the base material constituting the antistatic conductive portion 30, generally, a material exhibiting conductivity by metal bonding, a material in which charge transfer occurs due to transfer of surplus electrons, The movement of electric charge by the movement of vacancies, the formation of ions and the transfer of charges by the ions, the substance that has π bonds along the main chain and exhibits conductivity by its interaction, the interaction of groups in the side chain It can be selected from substances that cause charge transfer by action.
【００３５】具体的には、白金、金、銀、銅、ニッケ
ル、コバルト、鉄、アルミニウム、マンガン、亜鉛、
錫、鉛、インジウム、モリブデン、ニオブ、タンタル、
クロムなどを含む金属粒子；二酸化銅、酸化亜鉛、酸化
錫などの導電性金属酸化物；チタン酸カリウムなどのウ
ィスカー；ゲルマニウム、珪素、インジウム燐、硫化亜
鉛などの半導体性物質、カーボンブラック、グラファイ
トなどの炭素系の物質；第４級アンモニウム塩、アミン
系化合物などの陽イオンを生成する物質、脂肪族スルホ
ン酸塩、高級アルコール硫酸エステル塩、高級アルコー
ルエチレンオキサイド付加硫酸エステル塩、高級アルコ
ール燐酸エステル塩、高級アルコールエチレンオキサイ
ド付加燐酸エステル塩、などの陰イオンを生成する物
質、ベタインなど陽イオンおよび陰イオンの両方を生成
する物質；ポリアセチレン系ポリマー、アクリル系ポリ
マー、ポリフェニレン系ポリマー、複素環ポリマー、ラ
ダーポリマー、ネットワークポリマー、イオン性ポリマ
ーなどの導電性高分子物質などをもちいることができ
る。以上において、イオンを生成する物質は、界面活性
剤として総称されることもある。また、ポリアセチレン
系ポリマー、アクリル系ポリマー、ポリフェニレン系ポ
リマー、ラダーポリマー、ネットワークポリマーなどの
ポリマーでは、金属イオンなどをドープすることにより
導電性をコントロールすることも可能である。Specifically, platinum, gold, silver, copper, nickel, cobalt, iron, aluminum, manganese, zinc,
Tin, lead, indium, molybdenum, niobium, tantalum,
Metal particles containing chromium, etc .; conductive metal oxides, such as copper dioxide, zinc oxide, tin oxide; whiskers, such as potassium titanate; semiconductor materials, such as germanium, silicon, indium phosphorus, zinc sulfide, carbon black, graphite, etc. Cation-generating substances such as quaternary ammonium salts and amine compounds, aliphatic sulfonates, higher alcohol sulfates, higher alcohol ethylene oxide addition sulfates, higher alcohol phosphates , Substances that generate both cations and anions, such as betaine; polyacetylene-based polymers, acrylic polymers, polyphenylene-based polymers, heterocyclic polymers, ladders Polymer, net Work polymer may be a conductive polymer material such as an ionic polymer. In the above, substances that generate ions may be collectively referred to as surfactants. In the case of polymers such as polyacetylene-based polymers, acrylic-based polymers, polyphenylene-based polymers, ladder polymers, and network polymers, the conductivity can be controlled by doping metal ions or the like.
【００３６】帯電防止用導電部３０は、その電気抵抗値
が１００ＭΩ以下であることが好ましく、より好ましく
は１０ＭΩ以下、さらに好ましくは１ＭΩ以下である。
帯電防止用導電部３０の電気抵抗値が１００ＭΩ以下で
あることにより、異方導電性シート１０の表面に生ずる
静電気を速やかに除電することができ、異方導電性シー
ト１０の表面が静電気を帯びることを抑制することがで
きる。The electric resistance of the antistatic conductive portion 30 is preferably 100 MΩ or less, more preferably 10 MΩ or less, and further preferably 1 MΩ or less.
When the electric resistance value of the antistatic conductive portion 30 is 100 MΩ or less, static electricity generated on the surface of the anisotropic conductive sheet 10 can be quickly eliminated, and the surface of the anisotropic conductive sheet 10 is charged with static electricity. Can be suppressed.
【００３７】また、帯電防止用導電部３０は、安定な導
通が確保できれば、その平面形状は特に制限はなく、例
えば、一辺が１００μｍから１ｍｍ程度の正方形、もし
くは直径が１００μｍから１ｍｍ程度の円形とすること
ができる。さらに、帯電防止用導電部３０の表面は、当
該帯電防止用導電部３０を囲む絶縁部２２の表面と同一
の高さ位置であることが好ましいが、厳密に同一である
必要なく、例えば１００μｍ〜５００μｍ程度の範囲で
高さ位置が異なっていても、帯電防止効果が損なわれた
り、あるいは検査時において電気的接続が妨げられたり
するものではない。The planar shape of the antistatic conductive portion 30 is not particularly limited as long as stable conduction can be ensured. For example, the antistatic conductive portion 30 may be a square having a side of about 100 μm to 1 mm or a circle having a diameter of about 100 μm to 1 mm. can do. Further, the surface of the antistatic conductive portion 30 is preferably at the same height position as the surface of the insulating portion 22 surrounding the antistatic conductive portion 30, but it is not required to be exactly the same, for example, 100 μm to Even if the height position is different in the range of about 500 μm, the antistatic effect is not impaired or the electrical connection is not hindered at the time of inspection.
【００３８】このような異方導電性シートは、例えば以
下の方法（イ）または（ロ）の方法によって製造するこ
とができる。Such an anisotropic conductive sheet can be manufactured, for example, by the following method (a) or (b).
【００３９】〔方法（イ）〕この方法（イ）において
は、図３に示すように、弾性高分子物質よりなり、厚み
方向に伸びる複数の接続用導電部２１が絶縁部２２によ
って互いに絶縁された状態で、目的とする配置パターン
に従って配置されてなるシート体２０を用意し、このシ
ート体２０に、図４に示すように、形成すべき帯電防止
用導電部３０の配置パターンに従って、ブランク領域１
５に複数の貫通孔２０Ｈを形成する。ここで、シート体
２０に貫通孔２０Ｈを形成する手段としては、レーザー
加工による手段、パンチなどを用いた打ち抜きによる手
段、ドリル加工による手段などを利用することができ
る。[Method (A)] In this method (A), as shown in FIG. 3, a plurality of connecting conductive portions 21 made of an elastic polymer material and extending in the thickness direction are insulated from each other by an insulating portion 22. In this state, a sheet body 20 arranged according to a target arrangement pattern is prepared, and a blank area is formed on the sheet body 20 according to the arrangement pattern of the antistatic conductive portions 30 to be formed as shown in FIG. 1
5, a plurality of through holes 20H are formed. Here, as means for forming the through holes 20H in the sheet body 20, means by laser processing, means by punching using a punch or the like, means by drilling, and the like can be used.
【００４０】一方、高分子形成材料中に導電性物質が分
散されてなる流動性の帯電防止用導電部形成材料３１を
調製し、図５に示すように、この帯電防止用導電部形成
材料３１をシート体２０における貫通孔２０Ｈ内に充填
する。その後、帯電防止用導電部形成材料３１を硬化処
理することにより、帯電防止用導電部３０が形成され、
図１に示す構成の異方導電性シート１０が製造される。On the other hand, a fluid antistatic conductive part forming material 31 in which a conductive substance is dispersed in a polymer forming material is prepared, and as shown in FIG. Is filled in the through holes 20H of the sheet member 20. Thereafter, the antistatic conductive portion forming material 31 is cured to form the antistatic conductive portion 30,
The anisotropic conductive sheet 10 having the configuration shown in FIG. 1 is manufactured.
【００４１】〔方法（ロ）〕この方法（ロ）において
は、図６に示すように、例えば上型５０およびこれと対
となる下型５５が、枠状のスペーサ５４を介して互いに
対向するよう配置されて構成された金型が用いられる。
上型５０においては、強磁性体基板５１の下面に、目的
とする異方導電性シート１０の接続用導電部２１の配置
パターンと対掌なパターンに従って強磁性体部分５２が
形成され、この強磁性体部分５２以外の個所には非磁性
体部分５３が形成されている。一方、下型５５において
は、強磁性体基板５６の上面に、目的とする異方導電性
シート１０の接続用導電部２１の配置パターンと同一の
パターンに従って強磁性体部分５７が形成され、この強
磁性体部分５７以外の個所には非磁性体部分５８が形成
されている。[Method (b)] In this method (b), as shown in FIG. 6, for example, an upper die 50 and a lower die 55 that is paired with the upper die 50 face each other with a frame-shaped spacer 54 interposed therebetween. A mold having such a configuration is used.
In the upper die 50, a ferromagnetic portion 52 is formed on the lower surface of the ferromagnetic substrate 51 in accordance with a pattern opposite to the arrangement pattern of the connection conductive portions 21 of the target anisotropic conductive sheet 10. A non-magnetic portion 53 is formed at a portion other than the magnetic portion 52. On the other hand, in the lower mold 55, a ferromagnetic portion 57 is formed on the upper surface of the ferromagnetic substrate 56 in accordance with the same pattern as the arrangement pattern of the connection conductive portions 21 of the target anisotropic conductive sheet 10. A non-magnetic portion 58 is formed in a portion other than the ferromagnetic portion 57.
【００４２】上型５０および下型５５の各々における強
磁性体基板５１、５６および強磁性体部分５２、５７を
構成する材料としては、鉄、ニッケル、コバルトまたは
これらの合金などを用いることができる。また、上型５
０および下型５５の各々における非磁性体部分５３、５
８を構成する材料としては、銅などの非磁性金属、ポリ
イミドなどの耐熱性樹脂などを用いることができる。As the material forming the ferromagnetic substrates 51 and 56 and the ferromagnetic portions 52 and 57 in each of the upper mold 50 and the lower mold 55, iron, nickel, cobalt, or an alloy thereof can be used. . In addition, upper mold 5
0 and the nonmagnetic portions 53, 5 in each of the lower molds 55
As a material constituting 8, a nonmagnetic metal such as copper, a heat-resistant resin such as polyimide, or the like can be used.
【００４３】この方法（ロ）においては、先ず、図７に
示すように、ブランク領域１５とされる金型内の領域に
おいて、形成すべき帯電防止用導電部３０の配置パター
ンに対応する位置に、あらかじめ成形された、帯電防止
用導電部３０となるべき帯電防止用導電部材料３０Ａを
配置する。そして、図８に示すように、金型内に、硬化
されて弾性高分子物質となる高分子形成材料中に磁性を
示す導電性粒子が含有されてなるペースト状のシート体
形成材料２０Ａを、帯電防止用導電部材料３０Ａを取り
囲むよう充填する。In this method (b), first, as shown in FIG. 7, in a region in the mold which is the blank region 15, a position corresponding to the arrangement pattern of the antistatic conductive portion 30 to be formed is set. An antistatic conductive part material 30A to be the antistatic conductive part 30, which is formed in advance, is arranged. Then, as shown in FIG. 8, in a mold, a paste-like sheet-forming material 20A in which conductive particles exhibiting magnetism are contained in a polymer-forming material that is cured to become an elastic polymer material, It is filled so as to surround the antistatic conductive portion material 30A.
【００４４】その後、図９に示すように、上型５０にお
ける強磁性体基板５１の上面および下型５５における強
磁性体基板５６の下面に一対の電磁石５９Ａ、５９Ｂを
配置し、当該電磁石５９Ａを作動させることにより、強
度分布を有する平行磁場、すなわち上型５０の強磁性体
部分５２とこれに対応する下型５５の強磁性体部分５７
との間において大きい強度を有する平行磁場をシート体
形成材料２０Ａの厚み方向に作用させる。その結果、シ
ート体形成材料２０Ａにおいては、当該シート体形成材
料２０Ａ中に分散されている導電性粒子が、上型５０の
強磁性体部分５２とこれに対応する下型５５の強磁性体
部分５７との間に位置する部分に集合すると共に、厚み
方向に並ぶよう配向する。Thereafter, as shown in FIG. 9, a pair of electromagnets 59A and 59B are arranged on the upper surface of the ferromagnetic substrate 51 in the upper die 50 and on the lower surface of the ferromagnetic substrate 56 in the lower die 55, and the electromagnet 59A is mounted. By operating, a parallel magnetic field having an intensity distribution, that is, the ferromagnetic portion 52 of the upper die 50 and the corresponding ferromagnetic portion 57 of the lower die 55
And a parallel magnetic field having a large intensity acts in the thickness direction of the sheet forming material 20A. As a result, in the sheet body forming material 20A, the conductive particles dispersed in the sheet body forming material 20A are composed of the ferromagnetic body part 52 of the upper mold 50 and the corresponding ferromagnetic body part of the lower mold 55. 57 and are oriented so as to be arranged in the thickness direction.
【００４５】そして、この状態において、シート体形成
材料２０Ａを硬化処理することにより、図１０に示すよ
うに、上型５０の強磁性体部分５２とこれに対応する下
型５５の強磁性体部分５７との間に配置された、弾性高
分子物質中に導電性粒子が密に充填された接続用導電部
２１と、導電性粒子が全くあるいは殆ど存在しない絶縁
部２２が形成され、図１に示す異方導電性シート１０が
製造される。Then, in this state, the sheet forming material 20A is subjected to a hardening treatment, so that the ferromagnetic portion 52 of the upper die 50 and the corresponding ferromagnetic portion of the lower die 55 are formed as shown in FIG. 57, a connecting conductive portion 21 densely filled with conductive particles in an elastic polymer material, and an insulating portion 22 containing no or almost no conductive particles are formed. The anisotropic conductive sheet 10 shown is manufactured.
【００４６】以上において、シート体形成材料２０Ａの
硬化処理は、平行磁場を作用させたままの状態で行うこ
ともできるが、平行磁場の作用を停止させた後に行うこ
ともできる。シート体形成材料２０Ａに作用される平行
磁場の強度は、平均で２００〜１００００ガウスとなる
大きさが好ましい。また、平行磁場を作用させる手段と
しては、電磁石の代わりに永久磁石を用いることもでき
る。永久磁石としては、上記の範囲の平行磁場の強度が
得られる点で、アルニコ（Ｆｅ−Ａｌ−Ｎｉ−Ｃｏ系合
金）、フェライトなどよりなるものが好ましい。シート
体形成材料２０Ａの硬化処理は、使用される材料によっ
て適宜選定されるが、通常、加熱処理によって行われ
る。具体的な加熱温度および加熱時間は、シート体形成
材料２０Ａを構成する高分子物質形成材料などの種類、
導電性粒子の移動に要する時間などを考慮して適宜選定
される。In the above description, the curing treatment of the sheet-forming material 20A can be performed with the parallel magnetic field applied, but can also be performed after the parallel magnetic field is stopped. It is preferable that the intensity of the parallel magnetic field applied to the sheet-forming material 20A be 200 to 10,000 Gauss on average. As a means for applying a parallel magnetic field, a permanent magnet can be used instead of an electromagnet. The permanent magnet is preferably made of alnico (Fe-Al-Ni-Co-based alloy), ferrite, or the like from the viewpoint that a parallel magnetic field strength within the above range can be obtained. The curing treatment of the sheet forming material 20A is appropriately selected depending on the material to be used, but is usually performed by a heating treatment. The specific heating temperature and heating time are determined by the type of the polymer material forming material constituting the sheet body forming material 20A,
It is appropriately selected in consideration of the time required for the movement of the conductive particles.
【００４７】以上のような異方導電性シート１０によれ
ば、帯電防止用導電部３０が、ブランク領域１５内に分
散された状態で配置されていることにより、例えば回路
装置の電気的検査において、加圧動作および剥離動作を
繰り返し行うことによってシートの表面に生じる静電気
を、帯電防止用導電部３０を介して除電することがで
き、その結果、ブランク領域１５内のすべての個所にお
いて、電荷がシートの表面に蓄積されることを十分に抑
制することができ、高い電位の静電気が生じることを防
止することができる。従って、静電気による接続用電極
２１への悪影響が排除され、高い生産性で、かつ高い安
全性で電気的検査を行うことができる。According to the anisotropic conductive sheet 10 as described above, since the antistatic conductive portions 30 are arranged in a state of being dispersed in the blank region 15, for example, in an electrical inspection of a circuit device, By repeating the pressing operation and the peeling operation, static electricity generated on the surface of the sheet can be eliminated through the antistatic conductive portion 30. As a result, in all places in the blank region 15, the electric charge is reduced. Accumulation on the surface of the sheet can be sufficiently suppressed, and generation of high potential static electricity can be prevented. Therefore, the adverse effect of the static electricity on the connection electrode 21 is eliminated, and the electrical inspection can be performed with high productivity and high safety.
【００４８】図１１は、本発明の異方導電性シートの他
の構成を示す説明用断面図である。この異方導電性シー
ト１０においては、それぞれ厚み方向に伸びる複数の柱
状の接続用導電部２１が絶縁部２２によって互いに絶縁
された状態で配置されており、少なくとも一つの除電用
導電部４０が接続用導電部配置領域１６の周辺に、接続
用導電部配置領域１６に近接して配置されている。FIG. 11 is an explanatory sectional view showing another structure of the anisotropic conductive sheet of the present invention. In the anisotropic conductive sheet 10, a plurality of columnar connecting conductive portions 21 each extending in the thickness direction are arranged in a state in which they are insulated from each other by an insulating portion 22, and at least one static elimination conductive portion 40 is connected. It is arranged in the vicinity of the conductive part arrangement region 16 for connection and close to the conductive part arrangement region 16 for connection.
【００４９】この異方導電性シート１０における除電用
導電部４０は、主として、当該異方導電性シート１０の
表面に生じた静電気が放電する場合に、放電を除電用導
電部４０自身において生じさせて除電することにより、
接続用導電部２１における静電放電を防止する機能を有
する導電部（以下、「防護用導電部」という。）であ
り、図２に示すように、通常は、特に静電気による影響
を受けやすいと予想される接続用導電部、すなわち接続
用導電部配置領域１６の周縁に位置し、ブランク領域１
５に近接する接続用導電部を取り囲むよう配置される。The static elimination conductive portion 40 of the anisotropic conductive sheet 10 mainly causes discharge to occur in the static elimination conductive portion 40 itself when static electricity generated on the surface of the anisotropic conductive sheet 10 is discharged. By removing electricity
It is a conductive part having a function of preventing electrostatic discharge in the connection conductive part 21 (hereinafter referred to as “protective conductive part”). As shown in FIG. 2, it is usually easily affected by static electricity. The conductive region for connection, which is expected, that is, the blank region 1
5 are arranged so as to surround the connection conductive portion adjacent to the connection conductive portion 5.
【００５０】防護用導電部４０が配置される間隔は、異
方導電性シート１０の用途あるいは大きさによっても異
なるが、例えばプリント回路基板の電気的検査用の異方
導電性シートの場合には、防護用導電部４０とこれに最
も接近した接続用導電部との離間距離ｄ２の最大値は、
１ｃｍ以下であることが好ましく、より好ましくは５ｍ
ｍ以下、さらに好ましくは３ｍｍ以下である。この離間
距離ｄ２の最大値が１ｃｍ以下であることにより、放電
を防護用導電部４０において確実に生じさせることがで
き、接続用導電部２１に静電気による悪影響を与えるこ
とはない。また、同様の理由により、例えば半導体集積
回路の電気的検査用の異方導電性シートの場合には、防
護用導電部とこれに最も接近した接続用導電部との離間
距離の最大値は、１ｍｍ以下であることが好ましく、よ
り好ましくは５００μｍ以下、さらに好ましくは２００
μｍ以下である。The interval at which the protective conductive portions 40 are arranged differs depending on the use or size of the anisotropic conductive sheet 10. For example, in the case of an anisotropic conductive sheet for electrical inspection of a printed circuit board, The maximum value of the separation distance d2 between the protective conductive part 40 and the connection conductive part closest to the protective conductive part 40 is
It is preferably 1 cm or less, more preferably 5 m
m, more preferably 3 mm or less. When the maximum value of the separation distance d2 is 1 cm or less, discharge can be reliably generated in the protective conductive portion 40, and the connection conductive portion 21 is not adversely affected by static electricity. For the same reason, for example, in the case of an anisotropic conductive sheet for electrical inspection of a semiconductor integrated circuit, the maximum value of the separation distance between the protective conductive portion and the connection conductive portion closest to the protective conductive portion is: It is preferably 1 mm or less, more preferably 500 μm or less, and still more preferably 200 μm or less.
μm or less.
【００５１】防護用導電部４０は、静電気の放電を当該
防護用導電部４０において生じさせて除電することによ
り接続用導電部２１を防護するという性質上、接続用導
電部２１に影響を与えることなく放電を完了させる必要
があり、上述した帯電防止用導電部３０より低い電気抵
抗値であることが望ましい。防護用導電部４０の電気抵
抗値は、１００ｋΩ以下であることが好ましく、より好
ましくは１ｋΩ以下、さらに好ましくは１０Ω以下であ
る。除電用導電部４０の電気抵抗値が１００ｋΩ以下で
あることにより、接続用導電部２１に影響を与えること
なく放電を完了させることができる。The protective conductive portion 40 has a property of protecting the connection conductive portion 21 by generating static electricity discharge in the protective conductive portion 40 and removing the static electricity, thereby affecting the connection conductive portion 21. It is necessary to complete the discharge without any change, and it is desirable that the electric resistance value is lower than that of the antistatic conductive portion 30 described above. The electrical resistance of the protective conductive part 40 is preferably 100 kΩ or less, more preferably 1 kΩ or less, and further preferably 10 Ω or less. When the electric resistance value of the conductive section for static elimination 40 is 100 kΩ or less, the discharge can be completed without affecting the conductive section for connection 21.
【００５２】また、防護用導電部４０の構成は、基本的
には、上述した帯電防止用導電部３０と同様であり、例
えば高分子物質よりなる基材中に導電性物質が分散され
て構成されているが、防護用導電部４０における導電性
物質としては、金属粒子、導電性金属酸化物、ウィスカ
ーを用いることが好ましい。これにより、上記の電気抵
抗値を有する除電用導電部を形成することができる。The structure of the protective conductive part 40 is basically the same as that of the antistatic conductive part 30 described above. For example, a conductive material is dispersed in a base material made of a polymer material. However, it is preferable to use metal particles, conductive metal oxides, and whiskers as the conductive material in the protective conductive portion 40. Thereby, the charge eliminating conductive portion having the above-described electric resistance value can be formed.
【００５３】このような異方導電性シート１０は、例え
ば上記の方法（イ）または方法（ロ）に準じて製造する
ことができる。上記の方法（イ）において、形成すべき
防護用導電部４０の配置パターンに従って、シート体２
０における接続用導電部配置領域１６の周辺に、貫通孔
２０Ｈを形成すればよい。また、上記の方法（ロ）にお
いて、金型における接続用導電部配置領域１６とされる
領域の周辺に近接する、形成すべき防護用導電部４０の
配置パターンに対応する個所に、予め成形された防護用
導電部材料を配置すればよい。Such an anisotropic conductive sheet 10 can be manufactured, for example, according to the above method (a) or method (b). In the above method (a), according to the arrangement pattern of the protective conductive portions 40 to be formed, the sheet 2
The through-hole 20H may be formed around the connection conductive portion arrangement region 16 at 0. Further, in the above method (b), the mold is formed in advance at a position corresponding to the arrangement pattern of the protective conductive portion 40 to be formed, which is close to the periphery of the connection conductive portion arrangement region 16 in the mold. What is necessary is just to arrange the protective conductive part material.
【００５４】以上のような異方導電性シート１０によれ
ば、防護用導電部４０が、接続用導電部配置領域１６の
周辺に、接続用導電部配置領域１６に近接して配置され
ていることにより、例えば回路装置の電気的検査におい
て、加圧動作および剥離動作を繰り返し行うことによっ
て異方導電性シート１０の表面が静電気を帯び、当該静
電気が放電する場合であっても、放電を防護用導電部４
０において生じさせて、当該防護用導電部４０を介して
速やかに除電することができる結果、接続用導電部２１
に与える影響が排除され、高い安全性で電気的検査を行
うことができる。According to the anisotropic conductive sheet 10 described above, the protective conductive portion 40 is arranged around the connection conductive portion arrangement region 16 and close to the connection conductive portion arrangement region 16. Thus, for example, in the electrical inspection of the circuit device, even if the surface of the anisotropic conductive sheet 10 is charged with static electricity by repeatedly performing the pressing operation and the peeling operation, and the static electricity is discharged, the discharge is protected. Conductive part 4
0, the static electricity can be quickly removed via the protective conductive portion 40, and as a result, the connection conductive portion 21
The electrical inspection can be performed with high safety.
【００５５】〔異方導電性シートの使用方法〕本発明の
異方導電性シートを、コネクターとして用いて回路装置
の電気的検査を行う場合について説明する。回路装置の
電気的検査は、図１２に示すように、被検査回路装置１
と基板６０との間に異方導電性シート１０を介在させ
て、被検査回路装置と検査用回路基板との電気的接続を
達成して電気的検査が行われる。基板６０は、被検査回
路装置１における被検査電極２と対掌なパターンに従っ
て配置された接続用電極６１と、異方導電性シート１０
における帯電防止用導電部３０と対掌なパターンに従っ
て配置された除電用電極６２とを表面に有し、接続用電
極６１に配線部６３を介して電気的に接続された、例え
ばピッチが２．５４ｍｍ、１．８０ｍｍ若しくは１．２
７ｍｍの格子点配列に従って配置された端子電極６４
と、除電用電極６２に配線部を介して電気的に接続され
たアース端子６５とを裏面に有する。この例において
は、異方導電性シート１０として、例えば図１に示す構
成を有するものが使用される。[Method of Using Anisotropic Conductive Sheet] A case where an electrical inspection of a circuit device is performed using the anisotropic conductive sheet of the present invention as a connector will be described. The electrical inspection of the circuit device is performed as shown in FIG.
With the anisotropic conductive sheet 10 interposed between the circuit board and the circuit board 60, electrical connection between the circuit device under test and the circuit board for inspection is achieved to perform the electrical inspection. The substrate 60 includes a connection electrode 61 disposed according to a pattern opposite to the electrode 2 to be inspected in the circuit device 1 to be inspected, and the anisotropic conductive sheet 10.
The surface has an antistatic conductive portion 30 and a charge removing electrode 62 arranged according to a pattern opposite to each other, and is electrically connected to the connecting electrode 61 via a wiring portion 63, for example, at a pitch of 2. 54mm, 1.80mm or 1.2
Terminal electrodes 64 arranged according to a 7 mm grid point array
And a ground terminal 65 electrically connected to the charge eliminating electrode 62 via a wiring portion on the back surface. In this example, as the anisotropic conductive sheet 10, for example, a sheet having a configuration shown in FIG. 1 is used.
【００５６】そして、この基板６０の表面上に、異方導
電性シート１０が、その接続用導電部２１が接続用電極
６１上に位置されると共に、帯電防止用導電部３０が除
電用電極６２上に位置されるよう配置され、この異方導
電性シート１０上に、被検査回路装置１が、その被検査
電極２が当該異方導電性シート１０の接続用導電部２１
上に接触するよう配置される。ここで、基板６０におけ
るアース端子６５は、適宜の手段により接地されており
除電経路が形成される。Then, on the surface of the substrate 60, the anisotropic conductive sheet 10, the connecting conductive portion 21 is positioned on the connecting electrode 61, and the antistatic conductive portion 30 is connected to the discharging electrode 62. The circuit device under test 1 is placed on the anisotropic conductive sheet 10, and the electrodes 2 to be tested are connected to the connection conductive portions 21 of the anisotropic conductive sheet 10.
It is arranged so that it contacts on the top. Here, the ground terminal 65 on the substrate 60 is grounded by an appropriate means, and a static elimination path is formed.
【００５７】そして、全体を厚み方向に加圧することに
より、異方導電性シート１０の接続用導電部２１にその
厚み方向に伸びる導電路が形成される結果、被検査回路
装置１の被検査電極２と基板６０の接続用電極６１との
間の電気的接続が達成され、この状態で所要の電気的検
査が行われる。そして、被検査回路装置１の電気的検査
が終了した後、この被検査回路装置１が別の被検査回路
装置に交換され、当該被検査回路装置に対して、上記と
同様の操作を繰り返すことによって電気的検査が行われ
る。When the whole is pressed in the thickness direction, a conductive path extending in the thickness direction is formed in the connecting conductive portion 21 of the anisotropic conductive sheet 10, and as a result, the electrode to be tested of the circuit device 1 to be tested is The electrical connection between the substrate 2 and the connection electrode 61 of the substrate 60 is achieved, and a required electrical test is performed in this state. Then, after the electrical test of the circuit device under test 1 is completed, the circuit device under test 1 is replaced with another circuit device under test, and the same operation as described above is repeated on the circuit device under test 1. Performs an electrical test.
【００５８】而して、本発明の異方導電性シートをコネ
クターとして用いることにより、多数の回路装置の電気
的検査を連続して行った場合であっても、電荷が異方導
電性シート１０の表面に蓄積し、静電気を帯びることが
抑制されるので、検査装置および異方導電性シート１０
への悪影響が排除されると共に、検査作業を中断して異
方導電性シート１０の除電作業を行うことが不要とな
り、その結果、高い時間的効率で、かつ高い安全性で多
数の回路装置の電気的検査を行うことができる。Thus, by using the anisotropic conductive sheet of the present invention as a connector, even if electrical inspection of many circuit devices is performed continuously, the electric charge of the anisotropic conductive sheet 10 can be reduced. The inspection device and the anisotropic conductive sheet 10 are prevented from accumulating on the surface of the sheet and being charged with static electricity.
In addition to eliminating the adverse effects on the anisotropic conductive sheet 10, it is not necessary to interrupt the inspection work and remove the charge of the anisotropic conductive sheet 10, and as a result, a large number of circuit devices can be manufactured with high time efficiency and high safety. An electrical test can be performed.
【００５９】本発明の異方導電性シートは、上記の実施
の形態に限定されるものではなく種々の変更を加えるこ
とが可能である。例えば、図１３に示すように、帯電防
止用導電部３０と防護用導電部４０の両者が配置されて
いてもよい。この異方導電性シート１０によれば、帯電
防止用導電部３０によって異方導電性シート１０の表面
が静電気を帯びることを抑制することができると共に、
シートの表面に生じた静電気が放電する場合であって
も、放電を防護用導電部４０において生じさせて除電す
ることができるので、静電気による接続用導電部２１へ
の悪影響を確実に排除することができる。この場合にお
いては、帯電防止用導電部３０と防護用導電部４０は、
各々の機能を厳密に区別する必要があるものでもなく、
当然に両方の機能を有することが可能となる。The anisotropic conductive sheet of the present invention is not limited to the above embodiment, but can be modified in various ways. For example, as shown in FIG. 13, both the antistatic conductive portion 30 and the protective conductive portion 40 may be arranged. According to the anisotropic conductive sheet 10, the antistatic conductive portion 30 can suppress the surface of the anisotropic conductive sheet 10 from being charged with static electricity, and
Even when the static electricity generated on the surface of the sheet is discharged, a discharge can be generated in the protective conductive part 40 and the static electricity can be removed, so that the adverse effect of the static electricity on the connecting conductive part 21 is reliably eliminated. Can be. In this case, the antistatic conductive part 30 and the protective conductive part 40 are
There is no need to strictly distinguish each function,
Naturally, it is possible to have both functions.
【００６０】また、図１４に示すように、シート体２０
の表面に導電性を有する除電層７５が設けられた構成と
することができる。この異方導電性シート１０において
は、除電用導電部３０は、除電層７５と電気的に接続さ
れることが好ましい。また、図１５に示すように、シー
ト体２０における絶縁部の一部もしくは全部を半導電性
を示す半導電性部分７６により構成することもできる。
ここで、「半導電性」とは、体積固有抵抗が１０-7〜１
０4 Ωｍの値を示すものをいい、異方導電性シート１０
の厚さとのかねあいで、表面固有抵抗が１０-1〜１０10
Ω／□の値を示すものをいう。以上のような構成である
ことにより、より一層、帯電防止効果を得ることができ
る。Further, as shown in FIG.
May be provided with a conductive charge eliminating layer 75 on the surface of the substrate. In the anisotropic conductive sheet 10, it is preferable that the charge eliminating conductive portion 30 is electrically connected to the charge eliminating layer 75. Further, as shown in FIG. 15, a part or the whole of the insulating portion of the sheet member 20 may be constituted by a semiconductive portion 76 exhibiting semiconductivity.
Here, “semiconductive” means that the volume resistivity is 10 −7 to 1
0 4 refers to show the value of [Omega] m, the anisotropic conductive sheet 10
Surface resistivity is 10 -1 to 10 10
It indicates the value of Ω / □. With the above configuration, the antistatic effect can be further improved.
【００６１】さらに、除電用導電部は、接続用導電部と
同様に、例えばニッケル粒子を厚み方向に配向させるこ
とにより形成することができる。この場合には、シート
体形成材料を金型内に充填し、このシート体形成材料に
対して厚み方向に平行磁場を作用させた後に、このシー
ト体形成材料を硬化処理することによって、除電用導電
部と接続用導電部とを同一のプロセスで、或いは同時に
製造することができる。この場合には、除電用導電部と
して使用される導電部を追加するだけでよいので、製造
工程の変更をせずに極めて容易に上記のような作用効果
を有する異方導電性シートを製造することができる。ま
た、この場合には、除電用導電部の電気抵抗値は、加圧
されていない時に１０ＭΩ以上となることがあるが、加
圧時には、電気抵抗値が大きくとも１０Ω以下、通常は
１Ω以下となるので、加圧時に除電されることにより、
異方導電性シートの表面に蓄積される電荷を安全なレベ
ルに保つことができる。Further, the conductive portion for static elimination can be formed, for example, by orienting nickel particles in the thickness direction, similarly to the conductive portion for connection. In this case, the sheet-forming material is filled in a mold, and a parallel magnetic field is applied to the sheet-forming material in the thickness direction. The conductive portion and the connecting conductive portion can be manufactured in the same process or simultaneously. In this case, it is only necessary to add a conductive part used as a conductive part for static elimination, so that an anisotropic conductive sheet having the above-described functions and effects can be manufactured very easily without changing the manufacturing process. be able to. In this case, the electrical resistance value of the conductive portion for static elimination may be 10 MΩ or more when not pressurized, but at the time of pressurization, the electrical resistance value is at most 10 Ω or less, usually 1 Ω or less. So, by removing electricity during pressurization,
The electric charge accumulated on the surface of the anisotropic conductive sheet can be kept at a safe level.
【００６２】また、除電用導電部を、例えば銅、アルミ
ニウム、鉄よりなる金属ワイヤーやピンなどにより形成
することも可能である。この場合には、シート体におけ
る、形成すべき除電用導電部の配置パターンに対応する
位置に、厚み方向に伸びる貫通孔を形成し、この貫通孔
内に金属ワイヤーやピンなどを機械的に嵌合させること
によって、若しくは単に金属ワイヤーやピンなどをつき
刺すことによって異方導電性シートが製造される。The conductive portion for static elimination can be formed of a metal wire or a pin made of, for example, copper, aluminum, or iron. In this case, a through-hole extending in the thickness direction is formed at a position corresponding to the arrangement pattern of the conductive portion for static elimination to be formed in the sheet body, and a metal wire, a pin, or the like is mechanically fitted into the through-hole. The anisotropic conductive sheet is manufactured by combining or simply piercing with a metal wire or a pin.
【００６３】また、接続用導電部の各々は、シート体の
表面から突出する状態で形成されていてもよい。また、
異方導電性シートは、例えば回路装置の電気的検査に用
いられる基板の表面に一体的に設けられていてもよい。Further, each of the connection conductive portions may be formed so as to protrude from the surface of the sheet member. Also,
The anisotropic conductive sheet may be provided integrally on a surface of a substrate used for, for example, electrical inspection of a circuit device.
【００６４】[0064]
【発明の効果】本発明の異方導電性シートによれば、除
電用導電部を介してアースに接続されるので、シートの
表面に生じた静電気が除電用導電部を介して外部との電
荷の移動が可能となることにより、シートの表面に生じ
た電荷が電気的に中和、すなわち除電される。その結
果、シートの表面が静電気を帯びることを抑制すること
ができ、静電気による接続用導電部への悪影響を排除す
ることができる。従って、本発明の異方導電性シート
を、プリント回路基板や半導体集積回路などの回路装置
の電気的検査においてコネクターとして用いる場合に
は、静電気による接続用導電部への悪影響が排除される
と共に、検査作業を中断して異方導電性シートの除電作
業を行うことが不要となるため、高い時間的効率で、か
つ高い安全性で回路装置の電気的検査を行うことができ
る。According to the anisotropic conductive sheet of the present invention, since the sheet is connected to the ground through the charge eliminating conductive portion, static electricity generated on the surface of the sheet is charged to the outside through the charge eliminating conductive portion. Transfer, the electric charge generated on the surface of the sheet is electrically neutralized, that is, the electric charge is eliminated. As a result, it is possible to suppress the surface of the sheet from being charged with static electricity, and it is possible to eliminate the adverse effect of the static electricity on the conductive portion for connection. Therefore, when the anisotropic conductive sheet of the present invention is used as a connector in an electrical inspection of a circuit device such as a printed circuit board or a semiconductor integrated circuit, the adverse effect on the connection conductive portion due to static electricity is eliminated, Since it is not necessary to interrupt the inspection work and remove the anisotropic conductive sheet, the electrical inspection of the circuit device can be performed with high time efficiency and high safety.
【００６５】本発明の異方導電性シートの製造方法によ
れば、静電気による接続用導電部への悪影響が排除さ
れ、高い時間的効率で、かつ高い安全性で回路装置の電
気的検査を行うことができる異方導電性シートを容易に
製造することができる。According to the method of manufacturing an anisotropic conductive sheet of the present invention, the adverse effect of the static electricity on the connecting conductive portion is eliminated, and the electrical inspection of the circuit device is performed with high time efficiency and high safety. The anisotropic conductive sheet which can be manufactured can be manufactured easily.
【図１】本発明の異方導電性シートの一構成例を示す説
明用断面図である。FIG. 1 is an explanatory cross-sectional view showing one configuration example of an anisotropic conductive sheet of the present invention.
【図２】本発明の異方導電性シートにおける除電用導電
部の一配置例を示す説明用平面図である。FIG. 2 is a plan view for explaining an example of an arrangement of a conductive part for static elimination in the anisotropic conductive sheet of the present invention.
【図３】シート体を示す説明用断面図である。FIG. 3 is an explanatory sectional view showing a sheet body.
【図４】シート体に貫通孔が形成された状態を示す説明
用断面図である。FIG. 4 is an explanatory cross-sectional view showing a state in which a through hole is formed in a sheet body.
【図５】シート体の貫通孔内に除電用導電部形成材料が
形成された状態を示す説明用断面図である。FIG. 5 is an explanatory cross-sectional view showing a state where a material for forming a conductive part for static elimination is formed in a through hole of a sheet member.
【図６】本発明の異方導電性シートを製造するために用
いられる金型の一構成例を示す説明用断面図である。FIG. 6 is an explanatory cross-sectional view showing one configuration example of a mold used for manufacturing the anisotropic conductive sheet of the present invention.
【図７】図５に示す金型内に帯電防止用導電部材料が配
置された状態を示す説明用断面図である。FIG. 7 is an explanatory cross-sectional view showing a state in which an antistatic conductive portion material is disposed in the mold shown in FIG. 5;
【図８】金型内において、帯電防止用導電部材料を取り
囲むようシート体形成材料が充填された状態を示す説明
用断面図である。FIG. 8 is an explanatory cross-sectional view showing a state in which a sheet-forming material is filled in a mold so as to surround an antistatic conductive portion material.
【図９】シート体形成材料に磁場を作用させた状態を示
す説明用断面図である。FIG. 9 is an explanatory cross-sectional view showing a state where a magnetic field is applied to a sheet forming material.
【図１０】シート体形成材料層が硬化処理されて、接続
用導電部および絶縁部が形成された状態を示す説明用断
面図である。FIG. 10 is an explanatory cross-sectional view showing a state in which a sheet-forming material layer is subjected to a curing treatment to form a conductive portion for connection and an insulating portion.
【図１１】本発明の異方導電性シートの他の構成例を示
す説明用断面図である。FIG. 11 is an explanatory cross-sectional view showing another configuration example of the anisotropic conductive sheet of the present invention.
【図１２】図１に示す異方導電性シートが、検査対象で
ある回路装置と基板との間に介在された状態を示す説明
用断面図である。FIG. 12 is an explanatory cross-sectional view showing a state where the anisotropic conductive sheet shown in FIG. 1 is interposed between a circuit device to be inspected and a substrate.
【図１３】帯電防止用導電部と防護用導電部が共に配置
されてなる異方導電性シートの一構成を示す説明用断面
図である。FIG. 13 is an explanatory cross-sectional view showing one configuration of an anisotropic conductive sheet in which an antistatic conductive portion and a protective conductive portion are arranged together.
【図１４】図１に示す異方導電性シートの表面に導電性
を有する層が形成された異方導電性シートの一構成例を
示す説明用断面図である。FIG. 14 is an explanatory cross-sectional view showing one configuration example of an anisotropic conductive sheet in which a layer having conductivity is formed on the surface of the anisotropic conductive sheet shown in FIG.
【図１５】図１に示す異方導電性シートにおいて、絶縁
部の全部を半導電性を示す半導電性部分とした場合の一
構成例を示す説明用断面図である。FIG. 15 is an explanatory cross-sectional view showing an example of a configuration in the case where all of the insulating portions in the anisotropic conductive sheet shown in FIG. 1 are semiconductive portions showing semiconductivity.
１ 回路装置 ２ 被検査電極 １０ 異方導電性シート １５ ブランク領域 １６ 接続用導電部配置領域 ２０ シート体 ２０Ａ シート体形成材料 ２０Ｈ 貫通孔 ２１ 接続用導電部 ２２ 絶縁部 ３０ 帯電防止用導電部 ３０Ａ 帯電防止用導電部材料 ３１ 帯電防止用導電部形成材料 ４０ 防護用導電部 ５０ 上型 ５１ 強磁性体基板 ５２ 強磁性体部分 ５３ 非磁性体部分 ５４ スペーサ ５５ 下型 ５６ 強磁性体基板 ５７ 強磁性体部分 ５８ 非磁性体部分 ５９Ａ、５９Ｂ 電磁石 ６０ 基板 ６１ 接続用電極 ６２ 除電用電極 ６３ 配線部 ６４ 端子電極 ６５ アース端子 ７５ 除電層 ７６ 半導電性部分 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Circuit device 2 Electrode to be inspected 10 Anisotropic conductive sheet 15 Blank area 16 Connection conductive part arrangement area 20 Sheet body 20A Sheet body forming material 20H Through hole 21 Connection conductive part 22 Insulating part 30 Antistatic conductive part 30A Charging Preventive conductive part material 31 Antistatic conductive part forming material 40 Protective conductive part 50 Upper die 51 Ferromagnetic substrate 52 Ferromagnetic part 53 Non-magnetic part 54 Spacer 55 Lower die 56 Ferromagnetic substrate 57 Ferromagnetic Part 58 Non-magnetic part 59A, 59B Electromagnet 60 Substrate 61 Connection electrode 62 Electrostatic discharge electrode 63 Wiring part 64 Terminal electrode 65 Ground terminal 75 Static elimination layer 76 Semi-conductive part
Claims (12)
質よりなる異方導電性のシート体を備え、外部装置また
は電子部品の端子に接続される接続用導電部と、アース
に接続される少なくとも一つの除電用導電部とを有する
ことを特徴とする異方導電性シート。An anisotropic conductive sheet made of an elastic polymer material having conductivity in the thickness direction is provided, and is connected to a conductive portion for connection connected to a terminal of an external device or an electronic component, and to ground. An anisotropic conductive sheet comprising at least one conductive part for static elimination.
続用導電部が絶縁部によって互いに絶縁された状態で配
置されてなり、除電用導電部が、このシート体における
接続用導電部配置領域以外のブランク領域に配置されて
いることを特徴とする請求項１に記載の異方導電性シー
ト。2. The sheet member, wherein a plurality of connection conductive portions extending in the thickness direction are arranged in a state in which they are insulated from each other by an insulating portion. The anisotropic conductive sheet according to claim 1, wherein the anisotropic conductive sheet is arranged in a blank region other than the blank region.
ンク領域内に分散した状態で配置されていることを特徴
とする請求項１または請求項２に記載の異方導電性シー
ト。3. The anisotropically conductive sheet according to claim 1, wherein at least one conductive portion for static elimination is arranged in a dispersed state in the blank region.
用導電部配置領域の周辺に配置されていることを特徴と
する請求項１〜請求項３のいずれかに記載の異方導電性
シート。4. The anisotropically conductive sheet according to claim 1, wherein at least one static elimination conductive portion is arranged around a connection conductive portion arrangement region. .
酸化物、導電性のウィスカー、導電性有機物、カーボン
ブラックのうちから選ばれた少なくとも一の導電性物質
を含んでなることを特徴とする請求項１〜請求項４のい
ずれかに記載の異方導電性シート。5. The conductive part for static elimination comprises at least one conductive substance selected from metal particles, conductive metal oxides, conductive whiskers, conductive organic substances, and carbon black. The anisotropic conductive sheet according to claim 1.
構造を有することを特徴とする請求項１〜請求項４のい
ずれかに記載の異方導電性シート。6. The anisotropic conductive sheet according to claim 1, wherein the conductive portion for static elimination has the same structure as the conductive portion for connection.
組成を有することを特徴とする請求項１〜請求項４のい
ずれかに記載の異方導電性シート。7. The anisotropic conductive sheet according to claim 1, wherein the conductive portion for static elimination has the same composition as the conductive portion for connection.
プロセスで製造されることを特徴とする請求項１〜請求
項４、請求項６および請求項７のいずれかに記載の異方
導電性シート。8. The method according to claim 1, wherein the conductive portion for static elimination is manufactured by the same process as the conductive portion for connection. One side conductive sheet.
製造されることを特徴とする請求項１〜請求項４、請求
項６および請求項７のいずれかに記載の異方導電性シー
ト。9. The anisotropic conductive member according to claim 1, wherein the conductive member for static elimination is manufactured simultaneously with the conductive member for connection. Sheet.
伸びる複数の接続用導電部が絶縁部によって互いに絶縁
された状態で配置されてなる異方導電性のシート体を用
意し、このシート体における接続用導電部配置領域以外
のブランク領域に厚み方向に伸びる貫通孔を形成し、こ
の貫通孔内に導電性物質を含有してなる除電用導電部形
成材料を充填し、この除電用導電部形成材料を硬化処理
することにより、除電用導電部を形成する工程を有する
ことを特徴とする異方導電性シートの製造方法。10. An anisotropically conductive sheet body comprising a plurality of connecting conductive portions made of an elastic polymer material and extending in the thickness direction and arranged in a state in which they are insulated from each other by an insulating portion, is provided. Forming a through hole extending in the thickness direction in a blank region other than the connection conductive portion arrangement region in the above, filling the through hole with a conductive material for forming a static elimination containing a conductive substance; A method for manufacturing an anisotropic conductive sheet, comprising a step of forming a conductive part for static elimination by curing a forming material.
いて、接続用導電部配置領域以外のブランク領域とされ
る個所に、あらかじめ成形された、除電用導電部となる
べき除電用導電部材料を配置し、その後、この金型内
に、硬化されて弾性高分子物質となる高分子形成材料中
に磁性を示す導電性粒子が含有されてなるシート体形成
材料を充填し、このシート体形成材料に対して、平行磁
場または強度分布を有する平行磁場を当該シート体形成
材料の厚み方向に作用させると共に、当該シート体形成
材料を硬化処理することにより、シート体を形成する工
程を有することを特徴とする異方導電性シートの製造方
法。11. A material for a conductive part for static elimination to be a conductive part for static elimination, which is formed in advance in a blank area other than the area for arranging the conductive part for connection in a mold for molding a sheet body. After that, the mold is filled with a sheet-forming material containing conductive particles exhibiting magnetism in a polymer-forming material which is cured to become an elastic high-molecular substance. A step of forming a sheet body by applying a parallel magnetic field or a parallel magnetic field having an intensity distribution to the material in the thickness direction of the sheet body forming material and curing the sheet body forming material. A method for producing an anisotropic conductive sheet.
の異方導電性シートからなることを特徴とするコネクタ
ー。12. A connector comprising the anisotropic conductive sheet according to any one of claims 1 to 9.
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| TW089118526A TW561266B (en) | 1999-09-17 | 2000-09-08 | Anisotropic conductive sheet, its manufacturing method, and connector |
| US09/662,122 US6690564B1 (en) | 1999-09-17 | 2000-09-14 | Anisotropically conductive sheet, production process thereof and connector |
| KR10-2000-0054406A KR100373967B1 (en) | 1999-09-17 | 2000-09-16 | Anisotropic Conductive Sheet, Method for Producing the Same and Connector |
| US10/600,657 US6841876B2 (en) | 1999-09-17 | 2003-06-23 | Anisotropically conductive sheet, production process thereof and connector |
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| JP37564899A Pending JP2001188072A (en) | 1999-09-17 | 1999-12-28 | Anisotropic conductive sheet, its manufacturing method, and connector |
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1999
- 1999-12-28 JP JP37564899A patent/JP2001188072A/en active Pending
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