JP2001185986A - 圧電振動子及び圧電発振器とこれらの封止方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子ビームによる封止時の蓋体の変形を防止
して、高品質な圧電振動子及び圧電発振器を得ることが
できる封止方法と、この封止方法により製造される圧電
振動子及び圧電発振器を提供すること。 【解決手段】 圧電振動素子３１と、前記圧電振動素子
を収納するためのベース３２と、前記圧電振動素子がベ
ースに収納された状態で前記ベースを密封するための金
属製の蓋体３３とを備え、前記蓋体３３の厚みｄを０．
０２ｍｍ乃至０．０５ｍｍ程度に設定するようにした、
圧電振動子の封止方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電振動素子を収
納するためのベース部と、このベース部を密封するため
の蓋体とを接合して、圧電振動素子を封止した圧電振動
子または圧電発振器とその封止方法の改良に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】図１０は、一般的な圧電振動子の一例を
示す一部切断斜視図である。

【０００３】この圧電振動子１０は、板状の圧電振動素
子１１を収納する空間部１２ａが形成された箱状のベー
ス１２と、空間部１２ａを密封するようにベース１２に
接合された板状の蓋体１３を備えている。圧電振動素子
１１は、一端部１１ａが空間部１２ａ内に一体に設けた
段部に配設されている電極１４上に図示しない接着剤を
介して接続固定され、他端部１１ｂが自由端とされてい
る。ベース１２と蓋体１３は、封止材（ロウ材）１５を
介して接合されている。

【０００４】ここで、圧電振動素子１１の材料として
は、例えば水晶が用いられ、ベース１２の材料として
は、アルミナ等のセラミックが用いられ、蓋体１３の材
料としては、コバール等の金属あるいはアルミナ等のセ
ラミックが用いられる。また、封止材１５の材料として
は、低融点ガラスまたは銀ロウや半田、ＡｕＳｎあるい
はニッケル等が用いられる。 すなわち、圧電振動子１
０は、具体的には、図１１のフローチャートに示されて
いる工程により、製造される。

【０００５】図において、先ず、アルミナ等のセラミッ
ク材料により、ベース１２が形成され、圧電振動子１０
に対応するように、電極部が例えばメッキ等により形成
される（ＳＴ１）。

【０００６】このベース１２の電極部に、励振電極や接
続電極がベース蒸着により形成された圧電振動素子１１
が、図１０に示すように導電性接着剤を介してマウント
される（ＳＴ２）。次に、圧電振動素子１１の表面に電
子ビーム等を当てて、重さ調整することにより、周波数
調整を行う（ＳＴ３）。

【０００７】次いで、上記ベース１２上に図１０に示す
ように蓋体１３を載せて、例えば蓋体１３の表面に対し
て、上方から後述するようにして電子ビームを照射する
ことにより、封止を行う（ＳＴ４）。

【０００８】封止完了後には、蓋体１３の表面等に印刷
等の手段により必要な文字等を記入するマーキングを行
い（ＳＴ５）、検査工程へ送られる（ＳＴ６）。そし
て、必要な検査により合格判定されることで、圧電振動
子または圧電発振器が完成する。

【０００９】ところで、ＳＴ４の封止工程は蓋体１３の
表面に電子ビームを照射することにより、行われてい
る。そして、このような電子ビームによる封止は、図１
２に示すような電子ビームの照射装置１６が用いられ
る。

【００１０】図において、電子ビーム照射装置１６は、
電子ビームＥを照射するための電子銃１７と、電子銃１
７から発射された電子ビームＥを収束させる収束レンズ
１９ａと、収束させた電子ビームＥに所定の磁界を加え
てその照射方向を制御する偏向器１９ｂとを備えてい
る。

【００１１】これにより、電子ビーム照射装置１６は、
偏向器１９ｂの機能に基づいて、試料に対して適切に電
子ビームＥを照射することができるようになっている。

【００１２】このような電子ビーム照射装置１６を用い
て、上記封止工程は、図１３に示すように行われてい
る。

【００１３】先ず、所定の形状に形成した蓋体１３の接
合面側に封止材１５を配置する。この封止材１５は例え
ば銀ロウである。そして、ベース１２上に、封止材１５
が配置された蓋体１３の接合面を向けて載置する。

【００１４】ここで、ベース１２の上記蓋体１３に対す
る接合面には、複数の種類の金属を積層することにより
形成した金属被覆層１２ｅが設けられている。この金属
被覆層１２ｅは、上から金（Ａｕ）による被覆層１２
ｄ、ニッケル（Ｎｉ）による被覆層１２ｂ、タングステ
ン（Ｗ）によるタングステン被覆層１２ｃとでなってい
る。

【００１５】この状態で、蓋体１３の表面に対して、上
方より電子ビームＥが照射されて封止材１５と金（Ａ
ｕ）による被覆層１２ｄ及びニッケル（Ｎｉ）による被
覆層１２ｂとが加熱溶融されて、ベース１２と蓋体１３
が接合される。

【００１６】具体的には、電子ビームＥを蓋体１３の上
面に対して照射し、加熱された熱がビーム照射位置の直
下の封止材１５と金（Ａｕ）による被覆層１２ｄ及びニ
ッケル（Ｎｉ）による被覆層１２ｂとに伝えられ、この
電子ビームＥが照射された領域Ｐを中心として蓋体１３
の下面とベース１２の上端面との間で溶融されて固定さ
れる。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな電子ビームを用いた封止方法によると、図１４に示
すような不都合が生じることがある。

【００１８】すなわち、蓋体１３の表面に上方から電子
ビームＥを照射すると、蓋体１３が図示するように変形
することがある。つまり、図１４の下部に拡大して示す
ように、電子ビームＥが照射された蓋体１３表面に端部
１３ａが上方に折れ曲がるように変形して蓋体１３とベ
ース１２との間に間隔ＳＵが生じてしまう。

【００１９】また、これにより、後述する理由で錆が発
生し、製品の品質を損なうという問題があった。

【００２０】そこで、このような蓋体１３の変形を極力
防止するために、次のような方法も考えられる。

【００２１】図１５は、圧電振動子１０の上記封止工程
において使用される封止治具の一例を示す概略分解斜視
図であり、図１６は、この封止治具２０により、ベース
１２と蓋体１３とを保持した状態を示す概略断面図であ
る。

【００２２】これらの図において、この封止治具２０
は、圧電振動子１０のベース１２を収容する位置決め穴
２３を有する位置決め治具２２と、ベース１２に載置さ
れる蓋体１３を、図において上から押さえて支持するた
めの押さえ手段としての押さえ板２１を備えている。

【００２３】位置決め治具２２は、封止治具２０の本体
であり、上面に位置決め穴２３が開口している。この位
置決め穴２３は、ベース１２の外形に沿って、僅かに大
きく形成されており、ベース１２を収容した状態で動か
ないように保持できるようになっている。蓋体１３も位
置決め穴２３によりガイドされる。

【００２４】押さえ手段としての押さえ板２１は、例え
ば平板なプレートでなり、貫通穴２４を備えている。こ
の貫通穴２４は、後述するように、ベース１２の外形よ
りも僅かに小さく形成されており、ベース１２との間に
蓋体１３を挟んだ状態にて、上方から押さえることで、
ベース１２と蓋体１３とが互いに位置ずれしないように
保持する。

【００２５】これにより、押さえ板２１が、蓋体１３に
対して、上から加重をかけて押さえることによって、蓋
体１３の端部の変形を防止するようにしたものである。

【００２６】しかしながら、このような方法は、上述し
た複数部材でなる治具を特別に用意する必要がある。し
かも、このような封止治具２０を用いて、封止を試みて
も、蓋体１３の変形を、確実には抑制することができな
かった。

【００２７】本発明の目的は、上記課題を解消して、電
子ビームによる封止時の蓋体の変形を防止して、高品質
な圧電振動子及び圧電発振器を得ることができる封止方
法と、この封止方法により製造される圧電振動子及び圧
電発振器を提供することである。

【００２８】

【課題を解決するための手段】上記目的は、請求項１の
発明によれば、圧電振動素子と、前記圧電振動素子を収
納するためのベースと、前記圧電振動素子がベースに収
納された状態で前記ベースを密封するための金属製の蓋
体とを備え、蓋体表面に電子ビームを照射することによ
り封止する圧電振動子の封止方法において、前記蓋体の
厚みに関して、蓋体が大気圧によりたわむ限界厚みより
も厚く、かつ蓋体表面に照射される電子ビームの熱を蓋
体を構成する金属材料の融点以下に設定した状態にて、
蓋体の裏面のロウ材に、このロウ材を溶融することがで
きる温度が伝達することを妨げることがない程度の厚み
に設定するようにした、圧電振動子の封止方法により、
達成される。

【００２９】請求項１の構成によれば、本発明の封止方
法では、先ず、圧電振動子の蓋体の厚みに関して、蓋体
が大気圧によりたわむ限界厚みよりも厚く、かつ蓋体表
面に照射される電子ビームの熱を蓋体を構成する金属材
料の融点以下に設定している。これは、上述したよう
に、電子ビームによる封止工程にて、蓋体の変形が生じ
る原因について、本発明者等が種々検討したところ、蓋
体の変形は、電子ビームが照射されることにより、蓋体
の表面が溶融することに起因して、反りを生じることが
判明した。すなわち、蓋体を構成する金属材料の融点以
上に加熱すると、このような反りを生じるものと考えら
れる。また、電子ビームの熱量が適切であっても、蓋体
の厚みが薄過ぎると、封止後に大気圧中で蓋体の変形を
生じてしまうことも確認できたからである。

【００３０】そして、このような変形が、蓋体とベース
との間に隙間をつくってしまう。また、蓋体表面の電子
ビームが照射された箇所に、蓋体を構成する金属材料の
融点よりも高い熱が作用することで、この表面が溶けた
跡が残り、このような隙間や表面の溶けた跡の凹凸部
に、雰囲気中の湿度に基づく水分が凝固すると、蒸発し
にくく、錆が発生する原因となることが判明した。そし
て、蓋体の上記表面が溶融するために、蓋体のメッキが
はげて、素材の金属が露出することも、錆を生じる原因
となる。

【００３１】また、請求項１の構成では、蓋体の裏面の
ロウ材に、このロウ材を溶融することができる温度が伝
達することを妨げることがない程度の厚みに設定してい
る。これは、電子ビームによる封止工程では、蓋体の表
面に照射された電子ビームの熱により、蓋体の接合面で
ある裏面側のロウ材が溶融することで、接合が行われる
ことに基づく。したがって、蓋体の厚みが必要以上に厚
いと、ロウ材が十分に溶融できないために、適切に接合
が行われない。

【００３２】請求項２の発明は、請求項１の構成におい
て、前記蓋体がコバールの板材でなり、この蓋体の厚み
を０．０２ｍｍ乃至０．０５ｍｍ程度の厚みに設定し、
この蓋体表面に電子ビームを照射することにより、蓋体
とベースとを封止するようにしたことを特徴とする。

【００３３】請求項２の構成によれば、通常の封止用の
電子ビームを照射した場合に、コバール製の蓋体の厚み
が０．０２ｍｍ乃至０．０５ｍｍ程度に設定されること
で、適切な封止を行うことができる。すなわち、蓋体の
厚みを０．０２ｍｍ未満とすると、大気圧によりつぶれ
て変形してしまう。また、蓋体の厚みを０．０５ｍｍよ
り厚くすると、電子ビームの熱がロウ材の融点以上の熱
としてロウ材に伝わることが妨げられる。

【００３４】請求項３の発明は、請求項２の構成におい
て、前記ベース上に前記蓋体を載置した状態で、その大
きさが縦２．０ｍｍ乃至３．５ｍｍ程度、横２．２ｍｍ
乃至５．０ｍｍ程度に設定したことを特徴とする。

【００３５】請求項４の発明は、請求項１ないし３のい
ずれかの構成において、前記蓋体のベースとの接合面に
は、銀（Ａｇ）ロウをクラッドして配置したことを特徴
とする。

【００３６】また、上記目的は、請求項５の発明によれ
ば、圧電振動素子と、前記圧電振動素子を収納するため
のベースと、前記圧電振動素子がベースに収納された状
態で前記ベースを密封するための金属製の蓋体とを備
え、蓋体表面に電子ビームを照射することにより封止し
た圧電振動子において、前記蓋体の厚みに関して、蓋体
が大気圧によりたわむ限界厚みよりも厚く、かつ蓋体表
面に照射される電子ビームの熱を蓋体を構成する金属材
料の融点以下に設定した状態にて、蓋体の裏面のロウ材
に、このロウ材を溶融することができる温度が伝達する
ことを妨げることがない程度の厚みに設定した、圧電振
動子により、達成される。

【００３７】請求項５の構成によれば、圧電振動子の蓋
体の厚みをこのように構成することにより、請求項１の
場合と同様に適切に封止された高精度な圧電振動子を得
ることができる。

【００３８】請求項６の発明は、請求項５の構成におい
て、前記蓋体がコバールの板材でなり、この蓋体の厚み
を０．０２ｍｍ乃至０．０５ｍｍ程度の厚みに設定し、
この蓋体表面に電子ビームを照射することにより、蓋体
とベースとを封止したことを特徴とする。

【００３９】請求項７の発明は、請求項６の構成におい
て、前記ベース上に前記蓋体を載置した状態で、その大
きさが縦２．０ｍｍ乃至３．５ｍｍ、横２．２ｍｍ乃至
５．０ｍｍ程度に設定したことを特徴とする。

【００４０】請求項８の発明は、請求項５ないし７のい
ずれかの構成において、前記蓋体のベースとの接合面に
は、銀（Ａｇ）ロウをクラッドして配置したことを特徴
とする。

【００４１】また、上記目的は、請求項９の発明によれ
ば、圧電振動素子と、表面に形成した導電パターンに集
積回路を実装するとともに前記圧電振動素子を収納する
ためのベースと、前記圧電振動素子がベースに収納され
た状態で前記ベースを密封するための金属製の蓋体とを
備え、前記蓋体表面に電子ビームを照射することにより
封止する圧電発振器の封止方法において、前記蓋体の厚
みに関して、蓋体が大気圧によりたわむ限界厚みよりも
厚く、かつ蓋体表面に照射される電子ビームの熱を蓋体
を構成する金属材料の融点以下に設定した状態にて、蓋
体の裏面のロウ材に、このロウ材を溶融することができ
る温度が伝達することを妨げることがない程度の厚みに
設定するようにした、圧電発振器の封止方法により、達
成される。

【００４２】請求項９の構成によれば、圧電発振器にお
いても、請求項１と共通する構成を採用することによ
り、封止の際の蓋体の変形を防止することができる。

【００４３】さらに、上記目的は、請求項１０の発明に
よれば、圧電振動素子と、表面に形成した導電パターン
に集積回路を実装するとともに前記圧電振動素子を収納
するためのベースと、前記圧電振動素子がベースに収納
された状態で前記ベースを密封するための金属製の蓋体
とを備え、前記蓋体表面に電子ビームを照射することに
より封止した圧電発振器において、前記蓋体の厚みに関
して、蓋体が大気圧によりたわむ限界厚みよりも厚く、
かつ蓋体表面に照射される電子ビームの熱を蓋体を構成
する金属材料の融点以下に設定した状態にて、蓋体の裏
面のロウ材に、このロウ材を溶融することができる温度
が伝達することを妨げることがない程度の厚みに設定し
た圧電発振器により、達成される。

【００４４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を図面に基づいて説明する。

【００４５】図１は、本発明の圧電振動子の実施形態を
示す斜視図である。

【００４６】この圧電振動子３０は、板状の圧電振動素
子３１を収納する空間部３２ａが形成された箱状のベー
ス３２と、空間部３２ａを密封するようにベース３２に
接合された板状の蓋体３３を備えている。

【００４７】ベース３２には、図２に示すように電極３
４が設けられており、圧電振動素子３１は、一端部３１
ａが空間部３２ａ内に配設されている電極３４上に導電
性接着剤４２を介して接続固定されていて、他端部３１
ｂは自由端となっている。これにより、電極３４から印
加される駆動電圧によって、所定の振動数で振動できる
ようになっている。

【００４８】ベース３２と蓋体３３は、封止材３５を介
して接合されている。ここで、圧電振動素子３１の材料
としては、例えば水晶が用いられ、ベース３２の材料と
しては、例えばアルミナ等のセラミックが用いられる。

【００４９】上記蓋体３３は、金属材料で形成されてお
り、好ましくは、例えばアルミナ等のセラミックの線膨
張係数に近いコバールや４２アロイ等により形成され
る。この実施形態では、特にコバールを用いると好まし
い。

【００５０】ベース３２の上端面である接合面上には、
金属被覆層４１が設けられている。この金属被覆層４１
は複数種類の金属を層状に積層して形成されており、例
えば、図１の一部に拡大して示すように、順次下からタ
ングステン層３２ｂ、ニッケルメッキ３２ｃ、金メッキ
３２ｄでなっている。

【００５１】ここで、例えば、タングステン層３２ｂの
厚みは、１０ないし３０μｍ、ニッケルメッキ３２ｃの
厚みは、６ないし８μｍ、金メッキ３２ｄの厚みは、
０．５ないし２μｍである。

【００５２】図３は、圧電振動子３０に関して、ベース
３２上に蓋体３３を被せて封止する前の状態を示してい
る。図において、ベース３２内には圧電振動素子３１等
の図示が省略されているが、これらの構成は図１及び図
２と同様である。

【００５３】つまり、図３は、蓋体３３をベース３２上
に載置して封止する直前の状態であり、この蓋体３３の
構成について、さらに詳しく説明する。

【００５４】蓋体３３は、上述したように、コバールに
より形成されており、その下面であるベース３２との接
合面に封止材３５が配置されている。封止材３５は、例
えば銀（Ａｇ）ロウであり、その厚みは、１５μｍ程度
である。

【００５５】また、蓋体３３は、ベース３２の上端外周
とほぼ一致した外周を備えている（図１参照）。このた
め、圧電振動子３０は上面から見た場合には、蓋体３３
も、この蓋体３３を被せたベース３２も例えば、ほぼ長
方形を呈している。そして、この長方形状において、特
に、その大きさが縦２．０ｍｍ乃至３．５ｍｍ程度、横
２．２ｍｍ乃至５．０ｍｍ程度に設定されている。この
大きさについてはさらに後述する。

【００５６】また、図３の下部に示すように、本実施形
態の圧電振動子３０では、蓋体３３の厚みｄは、蓋体を
コバールで形成した場合、蓋体３３が大気圧によりたわ
む限界厚みよりも厚く、かつ蓋体３３表面に照射される
電子ビームの熱を蓋体３３を構成する金属材料，すなわ
ちコバールの融点以下、例えば、摂氏１４５０度以下程
度に設定した状態にて、蓋体３３の裏面の銀ロウ３５
に、この銀ロウ３５を溶融することができる温度が伝達
することを妨げることがない程度の厚みに設定される。
具体的には、蓋体３３の厚みｄを０．０２ｍｍ乃至０．
０５ｍｍ程度に設定している。

【００５７】図４は、本発明の圧電発振器の実施形態の
構造を示す概略断面図である。

【００５８】図４において、図２と同一の符号を付した
箇所は同じ構成である。

【００５９】図において、圧電発振器５０のベース３２
では、図１と比べると、内部に段部を設けて、一段低い
内部空間５２が設けられている。そして、ベース３２の
上面に形成した導電パターン上に集積回路５１を実装し
て、上記内部空間５２に収容し、電極部５３と接続して
いる。これにより、圧電振動素子３１に所定の駆動電圧
を与えて、振動させ、その出力を上記集積回路５１に入
力することにより、所定の周波数の信号を取り出すよう
になっている。

【００６０】この圧電発振器５０においても、ベース３
２の上端面には、図１と同じ金属被覆層が形成されてお
り、蓋体３３の下面には、図示しない封止材として銀ロ
ウ等のロウ材が設けられており、後述するように圧電振
動子３０と共通の封止方法が適用されるようになってい
る。

【００６１】次にこの封止方法について説明する。本発
明では、圧電振動子３０は、図１１で説明した製造工程
を経て製造され、図１及び図２の圧電振動子３０も図４
の圧電発振器５０も同じ封止方法により封止される。

【００６２】図５は、圧電振動子３０の蓋体３３の表面
に対して、上方より電子ビームＥを照射して封止する様
子を示している。

【００６３】この場合、電子ビームを蓋体３３の表面に
照射する電子ビーム照射装置は、図１２にて、説明した
構成のものをそのまま利用することができ、図１３で説
明したのと同様に蓋体３３の表面に対して、その上方か
ら照射される。しかしながら、図１５で説明したよう
な、蓋体を上方から押さえる特別の治具等を利用するこ
となく封止することが可能である。

【００６４】図６は、このような封止方法において、圧
電振動子３０のベース３２の接合面である上端部から、
蓋体３３の厚みｄの距離に基づいて、蓋体３３の表面ま
での距離を横軸にとり、コバールで形成されたこの蓋体
３３の温度を測定した図である。

【００６５】この図に示されているように、銀ロウであ
るロウ材３５の融点温度、摂氏７００度を越える温度を
グラフの距離０の位置（蓋体３３の接合面の箇所）で確
保するように電子ビームＥの出力を設定した場合、蓋体
３３の厚みｄがほぼ０．０５ｍｍを越えると、蓋体３３
の表面では、コバールの融点摂氏１４５０度を越えるこ
とがわかる。このため、蓋体３３の厚みｄがほぼ０．０
５ｍｍを越えると、蓋体３３の変形の原因になる程度に
温度が上昇する。

【００６６】また、図７、図８、図９は、縦横の長さが
それぞれ所定の大きさの圧電振動子３０（蓋体３３）に
関して、電子ビームを照射して封止した時の蓋体３３の
厚みと蓋体３３の変形量もしくは撓み量（図１４のＴで
示す）の関係をグラフにまとめたものである。

【００６７】ここで、図７は、圧電振動子３０の縦横比
が３．２ｍｍ×５．０ｍｍ、図８は、圧電振動子３０の
縦横比が２．５ｍｍ×３．２ｍｍ、図９は、圧電振動子
３０の縦横比が２．０ｍｍ×２．５ｍｍで、いずれも、
圧電振動子３０の大きさについて上述した縦２．０ｍｍ
乃至３．５ｍｍ程度、横２．２ｍｍ乃至５．０ｍｍ程度
の範囲内のものである。

【００６８】これらの図を参照して判明するように、蓋
体３３の大きさがいずれの場合であっても、厚みｄがほ
ぼ０．０２ｍｍ以上であれば、蓋体３３が大気圧の影響
を受けて変形する変形量を２０μｍ以下とすることがで
きる。この変形量は、製品の性能を阻害しない基準とな
る量である。

【００６９】したがって、蓋体３３の厚みｄが０．０２
乃至０．０５ｍｍの範囲であれば、電子ビームを用いた
封止を行った場合に、特別な治具を必要とすることな
く、高品質な圧電振動子３０を得ることができる。

【００７０】しかも、従来の蓋体の厚みｄが０．１５ｍ
ｍ程度であった場合と比較すると、０．０５ｍｍの場合
は、必要とされる熱量は、半分程度となり、製品の製造
コストをその分低く抑えることができる。

【００７１】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、電
子ビームによる封止時の蓋体の変形を防止して、高品質
な圧電振動子及び圧電発振器を得ることができる封止方
法と、この封止方法により製造される圧電振動子及び圧
電発振器を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の圧電振動子の実施形態を示す斜視図。

【図２】図１の圧電振動子の概略断面図。

【図３】図１及び図２の圧電振動子の封止直前の状態を
示す概略断面図。

【図４】本発明の圧電発振器の実施形態を示す概略断面
図。

【図５】図１及び図２の圧電振動子の封止後の状態を示
す概略断面図。

【図６】図１及び図２の圧電振動子の蓋体の厚みと蓋体
の表面温度との関係を示すグラフ。

【図７】図１及び図２の圧電振動子の蓋体の厚みと蓋体
の変形量との関係を示すグラフ。

【図８】図１及び図２の圧電振動子の蓋体の厚みと蓋体
の変形量との関係を示すグラフ。

【図９】図１及び図２の圧電振動子の蓋体の厚みと蓋体
の変形量との関係を示すグラフ。

【図１０】一般的な圧電振動子の一例を示す一部切断斜
視図。

【図１１】図１０の圧電振動子の製造工程の概略を示す
フローチャート。

【図１２】図１０の圧電振動子の封止工程で利用する電
子ビーム装置の構成を示す概略図。

【図１３】図１０の圧電振動子の封止工程の要部を示す
拡大図。

【図１４】図１０の圧電振動子を電子ビームにより封止
した状態を示す概略側断面図。

【図１５】図１０の圧電振動子を電子ビームにより封止
する場合に使用される位置決め治具を示す概略分解斜視
図。

【図１６】図１５の位置決め治具を使用して圧電振動子
を封止する様子を示す概略断面図。

【符号の説明】

３０ 圧電振動子 ３１ 圧電振動素子 ３２ ベース（収納部） ３２ａ 内部空間 ３２ｂ タングステン被覆部（タングステンメタライ
ズ） ３２ｃ ニッケル被覆部（ニッケルメッキ） ３２ｄ 金被覆部（金メッキ） ３３ 蓋体 ３４ 電極 ３５ 封止材 ４１ 金属被覆部 ４２ 導電性接着剤

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電振動素子と、 前記圧電振動素子を収納するためのベースと、 前記圧電振動素子がベースに収納された状態で前記ベー
   スを密封するための金属製の蓋体とを備え、蓋体表面に
   電子ビームを照射することにより封止する圧電振動子の
   封止方法において、 前記蓋体の厚みに関して、蓋体が大気圧によりたわむ限
   界厚みよりも厚く、かつ蓋体表面に照射される電子ビー
   ムの熱を蓋体を構成する金属材料の融点以下に設定した
   状態にて、蓋体の裏面のロウ材に、このロウ材を溶融す
   ることができる温度が伝達することを妨げることがない
   程度の厚みに設定するようにしたことを特徴とする、圧
   電振動子の封止方法。
2. 【請求項２】 前記蓋体がコバールの板材でなり、 この蓋体の厚みを０．０２ｍｍ乃至０．０５ｍｍ程度の
   厚みに設定し、 この蓋体表面に電子ビームを照射することにより、蓋体
   とベースとを封止するようにした、請求項１に記載の圧
   電振動子の封止方法。
3. 【請求項３】 前記ベース上に前記蓋体を載置した状態
   で、その大きさが縦２．０ｍｍ乃至３．５ｍｍ程度、横
   ２．２ｍｍ乃至５．０ｍｍ程度に設定した、請求項２に
   記載の圧電振動子の封止方法。
4. 【請求項４】 前記蓋体のベースとの接合面には、銀
   （Ａｇ）ロウをクラッドして配置した、請求項１ないし
   ３のいずれかに記載の圧電振動子の封止方法。
5. 【請求項５】 圧電振動素子と、 前記圧電振動素子を収納するためのベースと、 前記圧電振動素子がベースに収納された状態で前記ベー
   スを密封するための金属製の蓋体とを備え、蓋体表面に
   電子ビームを照射することにより封止した圧電振動子に
   おいて、 前記蓋体の厚みに関して、蓋体が大気圧によりたわむ限
   界厚みよりも厚く、かつ蓋体表面に照射される電子ビー
   ムの熱を蓋体を構成する金属材料の融点以下に設定した
   状態にて、蓋体の裏面のロウ材に、このロウ材を溶融す
   ることができる温度が伝達することを妨げることがない
   程度の厚みに設定したことを特徴とする、圧電振動子。
6. 【請求項６】 前記蓋体がコバールの板材でなり、 この蓋体の厚みを０．０２ｍｍ乃至０．０５ｍｍ程度の
   厚みに設定し、 この蓋体表面に電子ビームを照射することにより、蓋体
   とベースとを封止した、請求項５に記載の圧電振動子。
7. 【請求項７】 前記ベース上に前記蓋体を載置した状態
   で、その大きさが縦２．０ｍｍ乃至３．５ｍｍ、横２．
   ２ｍｍ乃至５．０ｍｍ程度に設定した、請求項６に記載
   の圧電振動子。
8. 【請求項８】 前記蓋体のベースとの接合面には、銀
   （Ａｇ）ロウをクラッドして配置した、請求項５ないし
   ７のいずれかに記載の圧電振動子。
9. 【請求項９】 圧電振動素子と、 表面に形成した導電パターンに集積回路を実装するとと
   もに前記圧電振動素子を収納するためのベースと、 前記圧電振動素子がベースに収納された状態で前記ベー
   スを密封するための金属製の蓋体とを備え、 前記蓋体表面に電子ビームを照射することにより封止す
   る圧電発振器の封止方法において、 前記蓋体の厚みに関して、蓋体が大気圧によりたわむ限
   界厚みよりも厚く、かつ蓋体表面に照射される電子ビー
   ムの熱を蓋体を構成する金属材料の融点以下に設定した
   状態にて、蓋体の裏面のロウ材に、このロウ材を溶融す
   ることができる温度が伝達することを妨げることがない
   程度の厚みに設定するようにしたことを特徴とする、圧
   電発振器の封止方法。
10. 【請求項１０】 圧電振動素子と、 表面に形成した導電パターンに集積回路を実装するとと
    もに前記圧電振動素子を収納するためのベースと、 前記圧電振動素子がベースに収納された状態で前記ベー
    スを密封するための金属製の蓋体とを備え、 前記蓋体表面に電子ビームを照射することにより封止し
    た圧電発振器において、 前記蓋体の厚みに関して、蓋体が大気圧によりたわむ限
    界厚みよりも厚く、かつ蓋体表面に照射される電子ビー
    ムの熱を蓋体を構成する金属材料の融点以下に設定した
    状態にて、蓋体の裏面のロウ材に、このロウ材を溶融す
    ることができる温度が伝達することを妨げることがない
    程度の厚みに設定したことを特徴とする、圧電発振器。