JP2001160674A - ボールマウント装置 - Google Patents
ボールマウント装置Info
- Publication number
- JP2001160674A JP2001160674A JP34298099A JP34298099A JP2001160674A JP 2001160674 A JP2001160674 A JP 2001160674A JP 34298099 A JP34298099 A JP 34298099A JP 34298099 A JP34298099 A JP 34298099A JP 2001160674 A JP2001160674 A JP 2001160674A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ball
- mounting
- plate
- work
- work holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、ボール吸着面とワークとの平行度確
保の手段を、部品の加工精度や組立精度のみに頼らず、
ボールマウントの際にワーク保持テーブルがマウントヘ
ッドのボール吸着面に倣うことのできる構造とするこ
と。 【解決手段】本発明は、次の解決手段を採用する。第１
に、ボール供給部と、ワーク保持テーブルと、ボール供
給部のボールを吸着してワーク保持テーブルに保持され
たワークにボールをマウントするマウントヘッドとを備
えたボールマウント装置とする。第２に、ワーク保持テ
ーブルが上下揺動可能なテーブルプレートを弾性体によ
り支持したものとする。
保の手段を、部品の加工精度や組立精度のみに頼らず、
ボールマウントの際にワーク保持テーブルがマウントヘ
ッドのボール吸着面に倣うことのできる構造とするこ
と。 【解決手段】本発明は、次の解決手段を採用する。第１
に、ボール供給部と、ワーク保持テーブルと、ボール供
給部のボールを吸着してワーク保持テーブルに保持され
たワークにボールをマウントするマウントヘッドとを備
えたボールマウント装置とする。第２に、ワーク保持テ
ーブルが上下揺動可能なテーブルプレートを弾性体によ
り支持したものとする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハや基板等の
ワークに半田ボールや半田バンプ等をマウントするボー
ルマウント装置の改良に関するもので、詳しくは、ワー
クを保持するワーク保持テーブルに特徴を有するボール
マウント装置である。
ワークに半田ボールや半田バンプ等をマウントするボー
ルマウント装置の改良に関するもので、詳しくは、ワー
クを保持するワーク保持テーブルに特徴を有するボール
マウント装置である。
【０００２】
【従来の技術】多数の微小半田ボールをウエハや基板等
のワークに一括搭載する場合、搭載精度を確保するため
マウントヘッドの半田ボール吸着面とワークとの平行度
が重要な要素であることが知られている。従来、この半
田ボール吸着面とワークとの平行度はマウントヘッドや
ワーク保持テーブルの部品の加工精度と組立精度によっ
て確保していた。
のワークに一括搭載する場合、搭載精度を確保するため
マウントヘッドの半田ボール吸着面とワークとの平行度
が重要な要素であることが知られている。従来、この半
田ボール吸着面とワークとの平行度はマウントヘッドや
ワーク保持テーブルの部品の加工精度と組立精度によっ
て確保していた。
【０００３】しかし、このような精度確保手段では、ボ
ールマウント装置の設置室内の温度変化や、ボールマウ
ント装置の稼働による装置内の温度変化により、半田ボ
ール吸着面とワークとの平行度に狂いが生じ、リメイン
ボール、位置ずれ、ミッシングボール等の搭載不良の一
因となることが判明した。この場合、リメインボールと
はワークにマウントされるべきボールがマウントヘッド
に残ってしまうことであり、位置ずれとはワークのマウ
ントされるべき位置からずれた位置にボールがマウント
されてしまうことであり、ミッシングボールとはワーク
のマウントされるべき位置にボールが存在しないことで
ある。
ールマウント装置の設置室内の温度変化や、ボールマウ
ント装置の稼働による装置内の温度変化により、半田ボ
ール吸着面とワークとの平行度に狂いが生じ、リメイン
ボール、位置ずれ、ミッシングボール等の搭載不良の一
因となることが判明した。この場合、リメインボールと
はワークにマウントされるべきボールがマウントヘッド
に残ってしまうことであり、位置ずれとはワークのマウ
ントされるべき位置からずれた位置にボールがマウント
されてしまうことであり、ミッシングボールとはワーク
のマウントされるべき位置にボールが存在しないことで
ある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、ボール吸着
面とワークとの平行度確保の手段を、部品の加工精度や
組立精度のみに頼らず、ボールマウントの際にワーク保
持テーブルがマウントヘッドのボール吸着面に倣うこと
のできる構造とすることにより、上記問題点を解決する
ことを目的とする。
面とワークとの平行度確保の手段を、部品の加工精度や
組立精度のみに頼らず、ボールマウントの際にワーク保
持テーブルがマウントヘッドのボール吸着面に倣うこと
のできる構造とすることにより、上記問題点を解決する
ことを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、ボール供給部と、ワーク保持テーブルと、
ボール供給部のボールを吸着してワーク保持テーブルに
保持されたワークにボールをマウントするマウントヘッ
ドとを備えたボールマウント装置において、ワーク保持
テーブルが上下揺動可能なテーブルプレートを弾性体に
より支持したものであることを特徴とするボールマウン
ト装置を提供しようとするものである。
決するため、ボール供給部と、ワーク保持テーブルと、
ボール供給部のボールを吸着してワーク保持テーブルに
保持されたワークにボールをマウントするマウントヘッ
ドとを備えたボールマウント装置において、ワーク保持
テーブルが上下揺動可能なテーブルプレートを弾性体に
より支持したものであることを特徴とするボールマウン
ト装置を提供しようとするものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、図面に従って、実施例と共
に本発明の実施の形態について説明する。実施例での半
田ボールマウント装置は、ウエハ供給部、フラックス転
写部、ボールマウント部、ワーク駆動機構とを有するも
のであるが、本発明は、ボールマウント部に特徴を有す
る半田ボールマウント装置である。図１は、本発明が実
施される半田ボールマウント装置のボールマウント部の
概略を示す正面図である。
に本発明の実施の形態について説明する。実施例での半
田ボールマウント装置は、ウエハ供給部、フラックス転
写部、ボールマウント部、ワーク駆動機構とを有するも
のであるが、本発明は、ボールマウント部に特徴を有す
る半田ボールマウント装置である。図１は、本発明が実
施される半田ボールマウント装置のボールマウント部の
概略を示す正面図である。
【０００７】ボールマウント部は、マウントヘッド１及
びその駆動機構と、ボール供給部２と、ワーク保持テー
ブル３と、その間に配置される余剰ボール除去装置４
と、ボール吸着ミス検査装置５と、ボール吸着ミス検査
装置５で余剰ボールが検知されたときにマウントヘッド
１下に侵入するボール排出装置６とで構成される。
びその駆動機構と、ボール供給部２と、ワーク保持テー
ブル３と、その間に配置される余剰ボール除去装置４
と、ボール吸着ミス検査装置５と、ボール吸着ミス検査
装置５で余剰ボールが検知されたときにマウントヘッド
１下に侵入するボール排出装置６とで構成される。
【０００８】マウントヘッド１下面には、ボール吸着面
となるバキュームプレート８が装着されている。バキュ
ームプレート８は、厚さ約０．１ミリメートルのステン
レスにエッチングで半田ボールを吸着するための多数の
吸着孔を開けたものを使用する。実施例では吸着孔の端
部で半田ボールを傷つけるのを防止するため、電解研摩
を行っている。
となるバキュームプレート８が装着されている。バキュ
ームプレート８は、厚さ約０．１ミリメートルのステン
レスにエッチングで半田ボールを吸着するための多数の
吸着孔を開けたものを使用する。実施例では吸着孔の端
部で半田ボールを傷つけるのを防止するため、電解研摩
を行っている。
【０００９】マウントヘッド１は図示されていないブロ
アモータにより、マウントヘッド内部が排気口より排気
され、圧力が低下し、バキュームプレートの各吸着孔に
真空圧を発生し、これにより半田ボールを各吸着孔に吸
着させる。
アモータにより、マウントヘッド内部が排気口より排気
され、圧力が低下し、バキュームプレートの各吸着孔に
真空圧を発生し、これにより半田ボールを各吸着孔に吸
着させる。
【００１０】マウントヘッド１には、ボール供給部２と
ワーク保持テーブル３との間を往復するＹ軸と、上下方
向に昇降するＺ軸の２軸の駆動機構が設けられる。図中
９はＺ軸駆動モータであり、図中１０はＹ軸駆動モータ
である。
ワーク保持テーブル３との間を往復するＹ軸と、上下方
向に昇降するＺ軸の２軸の駆動機構が設けられる。図中
９はＺ軸駆動モータであり、図中１０はＹ軸駆動モータ
である。
【００１１】ここにおけるＹ軸の駆動機構は、マウント
ヘッド１の移動の役割とともに、マウントヘッド１とワ
ークの位置決めにおいても利用される。Ｚ軸駆動機構
は、マウント時にマウントヘッド１下面がウエハに接触
し、図示しない荷重センサによる検知負荷荷重が予め設
定しておいた設定値に達したときに下降を停止するよう
設定されている。
ヘッド１の移動の役割とともに、マウントヘッド１とワ
ークの位置決めにおいても利用される。Ｚ軸駆動機構
は、マウント時にマウントヘッド１下面がウエハに接触
し、図示しない荷重センサによる検知負荷荷重が予め設
定しておいた設定値に達したときに下降を停止するよう
設定されている。
【００１２】ボール供給部２はパーツフィーダのような
構成をしており、マウントヘッド１に半田ボールを供給
するボールトレイ７には、バイブレータが取り付けられ
ている。バイブレータの振動により半田ボールを斜め上
方に跳ね上げ、上方からの観察では、半田ボールはボー
ルトレイ７内を廻るように移動する。
構成をしており、マウントヘッド１に半田ボールを供給
するボールトレイ７には、バイブレータが取り付けられ
ている。バイブレータの振動により半田ボールを斜め上
方に跳ね上げ、上方からの観察では、半田ボールはボー
ルトレイ７内を廻るように移動する。
【００１３】ボールトレイ７の上方にはボールストッカ
（図示されていない）からボールトレイ７内に半田ボー
ルを供給する供給口が進退自在に配置される。供給口の
先端にはボールトレイ７内のボール残量を検知するセン
サが取り付けられており、ボール残量不足を検知すると
ボールストッカより一定量の半田ボールを供給する。供
給口は、半田ボールの吸着時にはマウントヘッド１との
干渉を避けるためボールトレイ７外へ待避する構造とな
っている。
（図示されていない）からボールトレイ７内に半田ボー
ルを供給する供給口が進退自在に配置される。供給口の
先端にはボールトレイ７内のボール残量を検知するセン
サが取り付けられており、ボール残量不足を検知すると
ボールストッカより一定量の半田ボールを供給する。供
給口は、半田ボールの吸着時にはマウントヘッド１との
干渉を避けるためボールトレイ７外へ待避する構造とな
っている。
【００１４】余剰ボール除去装置４は、マウントヘッド
１に吸着された余剰ボールを除去するための除去ノズル
である。ボール吸着ミス検査装置５は、４台のラインＣ
ＣＤカメラによりマウントヘッド１のミッシングボー
ル、エキストラボール（余剰ボール）等の吸着ミスと、
搭載ミスであるリメインボールとを検知する。この場合
のミッシングボールとはマウントヘッド１の吸着される
べき位置にボールが存在しないことであり、エキストラ
ボールとはマウントヘッド１の一つの吸着孔に複数のボ
ールが装着されてしまったり、吸着孔以外の位置にボー
ルが付着してしまうことであり、リメインボールとはワ
ークにマウントされるべきボールがマウントヘッドに残
ったしまうことである。
１に吸着された余剰ボールを除去するための除去ノズル
である。ボール吸着ミス検査装置５は、４台のラインＣ
ＣＤカメラによりマウントヘッド１のミッシングボー
ル、エキストラボール（余剰ボール）等の吸着ミスと、
搭載ミスであるリメインボールとを検知する。この場合
のミッシングボールとはマウントヘッド１の吸着される
べき位置にボールが存在しないことであり、エキストラ
ボールとはマウントヘッド１の一つの吸着孔に複数のボ
ールが装着されてしまったり、吸着孔以外の位置にボー
ルが付着してしまうことであり、リメインボールとはワ
ークにマウントされるべきボールがマウントヘッドに残
ったしまうことである。
【００１５】ワーク保持テーブル３は、ワークであるウ
エハ１６を吸着保持するテーブルプレート１１を、下方
より圧縮バネ１２により上方へと付勢したものであっ
て、プレート押さえ１３によって上限位置が決められて
いる。すなわち、図２の右側引き出し図に示されるよう
にテーブルプレート１１の下面側に停止鍔１７を外側に
向かって形成し、プレート押さえ１３をテーブルプレー
ト１１のウエハ保持面側より大径で停止鍔１７より小径
の内周面を有するリング状に形成し、プレート押さえ１
３の内側下方よりテーブルプレート１１を圧縮バネ１２
により上方へ付勢して位置させ、プレート押さえ１３に
停止鍔１７が当接することにより上限位置を限定しよう
とするものである。
エハ１６を吸着保持するテーブルプレート１１を、下方
より圧縮バネ１２により上方へと付勢したものであっ
て、プレート押さえ１３によって上限位置が決められて
いる。すなわち、図２の右側引き出し図に示されるよう
にテーブルプレート１１の下面側に停止鍔１７を外側に
向かって形成し、プレート押さえ１３をテーブルプレー
ト１１のウエハ保持面側より大径で停止鍔１７より小径
の内周面を有するリング状に形成し、プレート押さえ１
３の内側下方よりテーブルプレート１１を圧縮バネ１２
により上方へ付勢して位置させ、プレート押さえ１３に
停止鍔１７が当接することにより上限位置を限定しよう
とするものである。
【００１６】図示の実施例では中央に一つの圧縮バネ１
２を設けたものであるが、圧縮バネ１２は、一つに限定
されるものではなく、周囲に数カ所設けることも可能で
ある。また、圧縮バネ１２は、テーブルプレート１１が
マウントヘッド１のバキュームプレート８に倣って上下
方向に揺動可能となるものであれば良く、他の弾性体を
利用することも可能である。
２を設けたものであるが、圧縮バネ１２は、一つに限定
されるものではなく、周囲に数カ所設けることも可能で
ある。また、圧縮バネ１２は、テーブルプレート１１が
マウントヘッド１のバキュームプレート８に倣って上下
方向に揺動可能となるものであれば良く、他の弾性体を
利用することも可能である。
【００１７】尚、テーブルプレート１１の停止鍔１７を
除いた外周面１４は球面とされ、プレート押さえ１３の
内周面は円筒形状とされている。このためテーブルプレ
ート１１が、バキュームプレート８に倣って傾いた状態
であっても、テーブルプレート１１の外周面１４がプレ
ート押さえ１３と接する水平方向での直径は変わらず、
テーブルプレート１１の外周面１４とプレート押さえ１
３の内周面は常に線接触で摺動可能とされている。従っ
て、テーブルプレート１１が傾いた場合にあっても、テ
ーブルプレート１１とプレート押さえ１３との脱落や水
平方向のずれが生じることはなく、テーブルプレート１
１とマウントヘッド１のバキュームプレート８との水平
方向のすれが生じることはない。尚、実施例でテーブル
プレート１１の外周面１４は、球面とされているが、テ
ーブルプレート１１の外周面１４とプレート押さえ１３
の内周面とが線接触で摺動可能であれば、球面に限定さ
れるものではない。また、テーブルプレート１１はプレ
ート押さえ１３に対し回り止め機構１８が、平面断面状
態で図２の左側引き出し図に示されるように設けられて
いる。
除いた外周面１４は球面とされ、プレート押さえ１３の
内周面は円筒形状とされている。このためテーブルプレ
ート１１が、バキュームプレート８に倣って傾いた状態
であっても、テーブルプレート１１の外周面１４がプレ
ート押さえ１３と接する水平方向での直径は変わらず、
テーブルプレート１１の外周面１４とプレート押さえ１
３の内周面は常に線接触で摺動可能とされている。従っ
て、テーブルプレート１１が傾いた場合にあっても、テ
ーブルプレート１１とプレート押さえ１３との脱落や水
平方向のずれが生じることはなく、テーブルプレート１
１とマウントヘッド１のバキュームプレート８との水平
方向のすれが生じることはない。尚、実施例でテーブル
プレート１１の外周面１４は、球面とされているが、テ
ーブルプレート１１の外周面１４とプレート押さえ１３
の内周面とが線接触で摺動可能であれば、球面に限定さ
れるものではない。また、テーブルプレート１１はプレ
ート押さえ１３に対し回り止め機構１８が、平面断面状
態で図２の左側引き出し図に示されるように設けられて
いる。
【００１８】テーブルプレート１１には、ウエハ吸着穴
１５か設けられており、図示されていないブロアモータ
を通して、テーブルプレート１１上面のウエハ吸着穴１
５から真空吸引を開始し、ウエハ１６をテーブルプレー
ト１１に吸着保持可能としている。
１５か設けられており、図示されていないブロアモータ
を通して、テーブルプレート１１上面のウエハ吸着穴１
５から真空吸引を開始し、ウエハ１６をテーブルプレー
ト１１に吸着保持可能としている。
【００１９】以下、半田ボールマウント装置の作動工程
について説明する。まず、供給用のウエハカセットから
１枚ずつロボットでウエハをワーク保持テーブル３に供
給する。ワーク保持テーブル３はフラックス供給部へ移
動し、ウエハ１６にフラックスを転写し、ボールマウン
ト位置へ移動する。
について説明する。まず、供給用のウエハカセットから
１枚ずつロボットでウエハをワーク保持テーブル３に供
給する。ワーク保持テーブル３はフラックス供給部へ移
動し、ウエハ１６にフラックスを転写し、ボールマウン
ト位置へ移動する。
【００２０】他方、マウントヘッド１は、ボール供給部
２の上方より下降して指定位置で停止し、半田ボールを
吸着する。マウントヘッド１内圧が所定圧力より低くな
った時点で、吸着完了と判断し、マウントヘッド１を上
昇させる。その後、余剰ボール除去装置４で余剰ボール
を除去して、ボール吸着ミス検査装置５へ移動する。
２の上方より下降して指定位置で停止し、半田ボールを
吸着する。マウントヘッド１内圧が所定圧力より低くな
った時点で、吸着完了と判断し、マウントヘッド１を上
昇させる。その後、余剰ボール除去装置４で余剰ボール
を除去して、ボール吸着ミス検査装置５へ移動する。
【００２１】ボール吸着ミスがあった場合、ミッシング
ボール又はエキストラボールなら再度ボール供給部２へ
移動し、吸着動作を繰り返す。連続してエキストラボー
ルがあった場合には、ボール排出装置６がマウントヘッ
ド１下へ侵入し、ボール排出装置６内へ吸着ボールを全
て排出した後、再度ボール供給部２へ移動し、吸着動作
を繰り返す。
ボール又はエキストラボールなら再度ボール供給部２へ
移動し、吸着動作を繰り返す。連続してエキストラボー
ルがあった場合には、ボール排出装置６がマウントヘッ
ド１下へ侵入し、ボール排出装置６内へ吸着ボールを全
て排出した後、再度ボール供給部２へ移動し、吸着動作
を繰り返す。
【００２２】異常がなかった場合には、マウントヘッド
１はボールマウント位置へ移動する。ボールマウント位
置では、ワーク保持テーブル３に設けられたＣＣＤカメ
ラでマウントヘッド１下面のアライメントマークを認識
して位置決めを行う。位置決め後マウントヘッド１は下
降し、マウントヘッド１下面がウエハ１６に接触し、図
示しない荷重センサによる検知負荷荷重が予め設定して
おいた設定値に達したときに下降を停止する。
１はボールマウント位置へ移動する。ボールマウント位
置では、ワーク保持テーブル３に設けられたＣＣＤカメ
ラでマウントヘッド１下面のアライメントマークを認識
して位置決めを行う。位置決め後マウントヘッド１は下
降し、マウントヘッド１下面がウエハ１６に接触し、図
示しない荷重センサによる検知負荷荷重が予め設定して
おいた設定値に達したときに下降を停止する。
【００２３】半田ボールを吸着した状態で、マウントヘ
ッド１が下降し、ウエハ１６に接触した時点から荷重セ
ンサの設定値に達したら下降を停止する。マウントヘッ
ド１の接触時から下降停止までのマウントヘッド１の下
降量分テーブルプレート１１は、マウントヘッド１のボ
ール吸着面であるバキュームプレート８に倣って下降で
きるため平行度の狂いを是正できる。
ッド１が下降し、ウエハ１６に接触した時点から荷重セ
ンサの設定値に達したら下降を停止する。マウントヘッ
ド１の接触時から下降停止までのマウントヘッド１の下
降量分テーブルプレート１１は、マウントヘッド１のボ
ール吸着面であるバキュームプレート８に倣って下降で
きるため平行度の狂いを是正できる。
【００２４】この時点で、半田ボールはマウントヘッド
１とウエハ１６で挟まれた状態にある。ここで吸着用の
バルブを切り換えて、マウントヘッド１内の圧力を大気
圧に解放するとマウントヘッド１から半田ボールが確実
に離れ、ウエハ１６上にマウントされる。マウントヘッ
ド１はその後上昇する。
１とウエハ１６で挟まれた状態にある。ここで吸着用の
バルブを切り換えて、マウントヘッド１内の圧力を大気
圧に解放するとマウントヘッド１から半田ボールが確実
に離れ、ウエハ１６上にマウントされる。マウントヘッ
ド１はその後上昇する。
【００２５】半田ボールのマウントが終了したワーク保
持テーブル３は、ウエハ供給部に戻るが、途中ＣＣＤカ
メラにより、ウエハ上の半田ボールのマウント状況を検
査する。検査の結果、マウントが良好ならば搬出用のウ
エハカセットへ、マウントが不良ならば不良用のウエハ
カセットへ、ロボットにより挿入する。
持テーブル３は、ウエハ供給部に戻るが、途中ＣＣＤカ
メラにより、ウエハ上の半田ボールのマウント状況を検
査する。検査の結果、マウントが良好ならば搬出用のウ
エハカセットへ、マウントが不良ならば不良用のウエハ
カセットへ、ロボットにより挿入する。
【００２６】
【発明の効果】本発明は、ボールマウント装置におい
て、ワーク保持テーブルが上下揺動可能なテーブルプレ
ートを弾性体により支持したものであるため、ボール吸
着面とウエハの平行度確保の手段を、部品の加工精度や
組立精度のみに頼らず、ボールマウントの際にワーク保
持テーブルがマウントヘッドのボール吸着面に倣うこと
により平行度を確保するものであるので、高度な部品の
加工精度や組立精度を要求しないで済む上、シビアな室
内温度コントロールや稼働による装置内温度の変化を気
にしないで済むこととなった。すなわち、室内温度や装
置内温度の変化によりボールマウント装置がワークへ搭
載ミスをすることがなくなった。
て、ワーク保持テーブルが上下揺動可能なテーブルプレ
ートを弾性体により支持したものであるため、ボール吸
着面とウエハの平行度確保の手段を、部品の加工精度や
組立精度のみに頼らず、ボールマウントの際にワーク保
持テーブルがマウントヘッドのボール吸着面に倣うこと
により平行度を確保するものであるので、高度な部品の
加工精度や組立精度を要求しないで済む上、シビアな室
内温度コントロールや稼働による装置内温度の変化を気
にしないで済むこととなった。すなわち、室内温度や装
置内温度の変化によりボールマウント装置がワークへ搭
載ミスをすることがなくなった。
【００２７】請求項２の発明の効果ではあるが、テーブ
ルプレートの外周にテーブルプレートの上昇を規制する
プレート押さえ手段を有し、テーブルプレート外周面と
プレート押さえ手段の内周面とを線接触で摺動可能とし
たため、スムーズな倣い動作を確保することができる。
ルプレートの外周にテーブルプレートの上昇を規制する
プレート押さえ手段を有し、テーブルプレート外周面と
プレート押さえ手段の内周面とを線接触で摺動可能とし
たため、スムーズな倣い動作を確保することができる。
【図１】半田ボールマウント装置マウント部の正面概略
図
図
【図２】ワーク保持テーブルの側面断面図
【図３】同平面図
１．．．．．．．．マウントヘッド ２．．．．．．．．ボール供給部 ３．．．．．．．．ワーク保持テーブル ４．．．．．．．．余剰ボール除去装置 ５．．．．．．．．ボール吸着ミス検査装置 ６．．．．．．．．ボール排出装置 ７．．．．．．．．ボールトレイ ８．．．．．．．．バキュームプレート ９．．．．．．．．Ｚ軸駆動モータ １０．．．．．．．Ｙ軸駆動モータ １１．．．．．．．テーブルプレート １２．．．．．．．圧縮バネ １３．．．．．．．プレート押さえ １４．．．．．．．外周面 １５．．．．．．．ウエハ吸着穴 １６．．．．．．．ウエハ １７．．．．．．．停止鍔 １８．．．．．．．回り止め機構
Claims (3)
- 【請求項１】ボール供給部と、ワーク保持テーブルと、
ボール供給部のボールを吸着してワーク保持テーブルに
保持されたワークにボールをマウントするマウントヘッ
ドとを備えたボールマウント装置において、ワーク保持
テーブルが上下揺動可能なテーブルプレートを弾性体に
より支持したものであることを特徴とするボールマウン
ト装置。 - 【請求項２】テーブルプレートの外周にテーブルプレー
トの上昇を規制するプレート押さえ手段を有し、テーブ
ルプレート外周面とプレート押さえ手段の内周面とを線
接触で摺動可能としたことを特徴とする請求項１記載の
ボールマウント装置。 - 【請求項３】テーブルプレートの形状を円形にしたこと
を特徴とする請求項１又は２に記載のボールマウント装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34298099A JP2001160674A (ja) | 1999-12-02 | 1999-12-02 | ボールマウント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34298099A JP2001160674A (ja) | 1999-12-02 | 1999-12-02 | ボールマウント装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001160674A true JP2001160674A (ja) | 2001-06-12 |
Family
ID=18358010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34298099A Pending JP2001160674A (ja) | 1999-12-02 | 1999-12-02 | ボールマウント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001160674A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20140263589A1 (en) * | 2013-03-14 | 2014-09-18 | Hitachi, Ltd. | Solder ball printing apparatus and solder ball printing method |
-
1999
- 1999-12-02 JP JP34298099A patent/JP2001160674A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20140263589A1 (en) * | 2013-03-14 | 2014-09-18 | Hitachi, Ltd. | Solder ball printing apparatus and solder ball printing method |
| US8919634B2 (en) * | 2013-03-14 | 2014-12-30 | Hitachi, Ltd. | Solder ball printing apparatus and solder ball printing method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5322822B2 (ja) | 半導体検査用ウエハプローバ及び検査方法 | |
| KR100576406B1 (ko) | 플럭스 저장장치 및 플럭스 전사방법 | |
| JPH11220294A (ja) | 電気部品搬送装置ならびにそれにおける保持具交換方法および装置 | |
| JP2019204929A (ja) | 搬送用治具及び交換方法 | |
| KR20200001966A (ko) | 얼라인먼트 장치, 반도체 웨이퍼 처리장치 및 얼라인먼트 방법 | |
| JP2004140058A (ja) | ウエハ搬送装置およびウエハ処理装置 | |
| JP4256132B2 (ja) | 板状物の搬送装置 | |
| JP2002057498A (ja) | 配線板作業システム | |
| JP2019192820A (ja) | ワーク処理装置及びボール搭載装置 | |
| JP2009170688A (ja) | ステージおよびこれを用いたボール搭載装置 | |
| CN111415862A (zh) | 工件的保持方法和工件的处理方法 | |
| JP2001160674A (ja) | ボールマウント装置 | |
| WO2019116506A1 (ja) | ワーク作業装置 | |
| JP4415326B2 (ja) | ボールマウント装置 | |
| JP4147368B2 (ja) | マウントヘッド | |
| JP3972164B2 (ja) | フラックスの貯留装置及び転写方法 | |
| JP3749054B2 (ja) | 部品実装装置 | |
| JP4243745B2 (ja) | ヘッドとワークの位置決め装置及び位置決め方法 | |
| JP4174920B2 (ja) | 転写ヘッド | |
| JP2008277612A (ja) | チップ移送装置 | |
| WO2023209953A1 (ja) | 部品突上げ装置及び部品実装装置 | |
| JP4894291B2 (ja) | 電子部品実装装置および電子部品実装方法 | |
| JP2004186382A (ja) | 電子部品実装方法 | |
| JP2004140057A (ja) | ウエハ位置決め装置 | |
| KR20230046252A (ko) | 전자 부품의 핸들링 장치, 전자 부품의 실장 장치 및 전자 부품의 실장 방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060421 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090421 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090825 |