JP2001158626A - 多孔質ガラス母材を焼結する方法および装置 - Google Patents
多孔質ガラス母材を焼結する方法および装置Info
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
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Abstract
(57)【要約】
【課題】偏芯や湾曲を引き起こすことなく、多孔質ガラ
ス母材を焼結することができる方法を提供する。 【解決手段】多孔質ガラス母材を焼結する方法は、反応
容器２４内で、自在継手１０の一端に接続したＸＹステ
ージ２０に多孔質ガラス母材２１を吊り下げつつ自在継
手固定締具１５で自在継手１０を緊締し、自在継手１０
の他端に連結されたモータ１１を回転しながら、水平方
向および軸方向に対する母材２１の中心軸とモータ１１
の回転軸とのずれを測定した後、ＸＹステージ２０の移
動と固定締具１５の再緊締をして、母材２１の中心軸と
モータ１１の回転軸とを水平方向および軸方向で一致さ
せ、反応容器２４の外周に配置した加熱炉２５を母材が
回転しながら通過するというものである。
ス母材を焼結することができる方法を提供する。 【解決手段】多孔質ガラス母材を焼結する方法は、反応
容器２４内で、自在継手１０の一端に接続したＸＹステ
ージ２０に多孔質ガラス母材２１を吊り下げつつ自在継
手固定締具１５で自在継手１０を緊締し、自在継手１０
の他端に連結されたモータ１１を回転しながら、水平方
向および軸方向に対する母材２１の中心軸とモータ１１
の回転軸とのずれを測定した後、ＸＹステージ２０の移
動と固定締具１５の再緊締をして、母材２１の中心軸と
モータ１１の回転軸とを水平方向および軸方向で一致さ
せ、反応容器２４の外周に配置した加熱炉２５を母材が
回転しながら通過するというものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバの原材
料である多孔質ガラス母材を焼結する装置に関するもの
である。
料である多孔質ガラス母材を焼結する装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバは、出発ロッドにガラス微粒
子の堆積したコア部とクラッド部とを有する多孔質ガラ
ス母材を、塩素ガス雰囲気下約１５００℃に加熱するこ
とにより、焼結して脱水および透明ガラス化した後、線
引きしたものである。
子の堆積したコア部とクラッド部とを有する多孔質ガラ
ス母材を、塩素ガス雰囲気下約１５００℃に加熱するこ
とにより、焼結して脱水および透明ガラス化した後、線
引きしたものである。
【０００３】焼結には、周囲に加熱炉の配置された反応
容器内に挿入された多孔質ガラス母材を、モータにより
回転させつつ加熱炉を通過させる焼結装置が用いられ
る。多孔質ガラス母材の中心軸と、モータの回転軸と
が、同一方向を向いていなかったり、水平方向でずれて
いたりすると、焼結の際に加熱むらを生じる結果、偏芯
や湾曲を引き起こす。
容器内に挿入された多孔質ガラス母材を、モータにより
回転させつつ加熱炉を通過させる焼結装置が用いられ
る。多孔質ガラス母材の中心軸と、モータの回転軸と
が、同一方向を向いていなかったり、水平方向でずれて
いたりすると、焼結の際に加熱むらを生じる結果、偏芯
や湾曲を引き起こす。
【０００４】これを線引きして得られる、モードフィー
ルド径が約９μｍ、外径が１２５μｍである汎用のステ
ップインデックス型シングルモード光ファイバを接続す
る際、コア部が非常に細いため、僅かな偏芯でコア部同
士の接続のずれを起こし、大きな接続損失を招いてしま
う。また、湾曲していると線引きした光ファイバの径が
変動するので、湾曲をバーナ等で加熱し真直に修正する
必要があり操作が煩雑なうえ、加熱によるガラスの蒸散
のためコア部とクラッド部との厚さの比が長手方向で変
化し、光ファイバ特性が不均一になってしまう。
ルド径が約９μｍ、外径が１２５μｍである汎用のステ
ップインデックス型シングルモード光ファイバを接続す
る際、コア部が非常に細いため、僅かな偏芯でコア部同
士の接続のずれを起こし、大きな接続損失を招いてしま
う。また、湾曲していると線引きした光ファイバの径が
変動するので、湾曲をバーナ等で加熱し真直に修正する
必要があり操作が煩雑なうえ、加熱によるガラスの蒸散
のためコア部とクラッド部との厚さの比が長手方向で変
化し、光ファイバ特性が不均一になってしまう。
【０００５】また、振回りによる偏芯を抑制するため
に、特開平０５−４３２５５号公報には出発ロッドを嵌
合しその中心軸方向に耐熱ピンで２箇所以上固定する方
法が開示されている。さらに特開平０６−１５７０４８
号公報には嵌合部と押し付け手段とで出発ロッドの上端
部を挟み込む方法が開示されている。しかし、これらの
方法では偏芯を抑制するのに充分でなかった。
に、特開平０５−４３２５５号公報には出発ロッドを嵌
合しその中心軸方向に耐熱ピンで２箇所以上固定する方
法が開示されている。さらに特開平０６−１５７０４８
号公報には嵌合部と押し付け手段とで出発ロッドの上端
部を挟み込む方法が開示されている。しかし、これらの
方法では偏芯を抑制するのに充分でなかった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記の課題を
解決するためなされたもので、偏芯や湾曲を引き起こす
ことなく、多孔質ガラス母材を焼結することができる方
法および装置を提供することを目的とする。
解決するためなされたもので、偏芯や湾曲を引き起こす
ことなく、多孔質ガラス母材を焼結することができる方
法および装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めになされた本発明の多孔質ガラス母材を焼結する方法
は、実施例に対応する図１を参照して説明すると、反応
容器２４内で、自在継手１０の一端に接続したＸＹステ
ージ２０に多孔質ガラス母材２１を吊り下げつつ自在継
手固定締具１５で自在継手１０を緊締し、自在継手１０
の他端に連結されたモータ１１を回転しながら、水平方
向および軸方向に対する母材２１の中心軸とモータ１１
の回転軸とのずれを測定した後、ＸＹステージ２０の移
動と固定締具１５の再緊締をして、母材２１の中心軸と
モータ１１の回転軸とを水平方向および軸方向で一致さ
せ、反応容器２４の外周に配置した加熱炉２５を母材が
回転しながら通過するというものである。
めになされた本発明の多孔質ガラス母材を焼結する方法
は、実施例に対応する図１を参照して説明すると、反応
容器２４内で、自在継手１０の一端に接続したＸＹステ
ージ２０に多孔質ガラス母材２１を吊り下げつつ自在継
手固定締具１５で自在継手１０を緊締し、自在継手１０
の他端に連結されたモータ１１を回転しながら、水平方
向および軸方向に対する母材２１の中心軸とモータ１１
の回転軸とのずれを測定した後、ＸＹステージ２０の移
動と固定締具１５の再緊締をして、母材２１の中心軸と
モータ１１の回転軸とを水平方向および軸方向で一致さ
せ、反応容器２４の外周に配置した加熱炉２５を母材が
回転しながら通過するというものである。
【０００８】この測定が、定点から多孔質ガラス母材２
１までの距離の複数箇所での測定であることが好まし
い。
１までの距離の複数箇所での測定であることが好まし
い。
【０００９】この測定が、レーザ測距計２７による測定
であることが好ましい。
であることが好ましい。
【００１０】本発明の多孔質ガラス母材焼結装置１は、
外周に加熱炉２５の配置された反応容器２４内で多孔質
ガラス母材２１が自在継手１０の一端で吊り下げられ、
自在継手１０の他端がモータ１１に連結された多孔質ガ
ラス母材焼結装置であって、ＸＹステージ２０を介して
母材２１が自在継手１０に接続され、自在継手１０が自
在継手固定締具１５を有している。
外周に加熱炉２５の配置された反応容器２４内で多孔質
ガラス母材２１が自在継手１０の一端で吊り下げられ、
自在継手１０の他端がモータ１１に連結された多孔質ガ
ラス母材焼結装置であって、ＸＹステージ２０を介して
母材２１が自在継手１０に接続され、自在継手１０が自
在継手固定締具１５を有している。
【００１１】ＸＹステージ２０は、母材２１の中心軸と
モータ１１の回転軸との水平方向でのずれを一致させる
ものである。自在継手固定締具１５は、母材２１の中心
軸とモータ１１の回転軸との軸方向でのずれを一致させ
るものである。
モータ１１の回転軸との水平方向でのずれを一致させる
ものである。自在継手固定締具１５は、母材２１の中心
軸とモータ１１の回転軸との軸方向でのずれを一致させ
るものである。
【００１２】多孔質ガラス母材焼結装置１は、反応容器
２４の側面に、定点から多孔質ガラス母材２１までの距
離の測定器２７が配置されていてもよい。
２４の側面に、定点から多孔質ガラス母材２１までの距
離の測定器２７が配置されていてもよい。
【００１３】測定器２７がレーザ測距計であると、母材
２１に接触することなく距離を測定でき、母材２１を傷
つけることがないため好ましい。
２１に接触することなく距離を測定でき、母材２１を傷
つけることがないため好ましい。
【００１４】測定器２７が複数配置されていると、測定
された距離から、母材２１の中心軸とモータ１１の回転
軸との水平方向のずれや軸方向のずれが正確に算出でき
るので、一層好ましい。
された距離から、母材２１の中心軸とモータ１１の回転
軸との水平方向のずれや軸方向のずれが正確に算出でき
るので、一層好ましい。
【００１５】ＸＹステージ２０は、図２に示すように、
母材２１を把持しＸ方向に移動させるための螺合棒３５
を有するリング３２と、その外側にあってＸ方向移動用
のリング３２を把持しＹ方向に移動させるための別なリ
ング３３とを有している。
母材２１を把持しＸ方向に移動させるための螺合棒３５
を有するリング３２と、その外側にあってＸ方向移動用
のリング３２を把持しＹ方向に移動させるための別なリ
ング３３とを有している。
【００１６】自在継手１０が直列に複数連結されていて
もよい。
もよい。
【００１７】自在継手１０やＸＹステージ２０は、耐熱
性や耐塩素特性を持つ材質であれば特に限定されない。
このような材質として例えばセラミックスが挙げられ
る。
性や耐塩素特性を持つ材質であれば特に限定されない。
このような材質として例えばセラミックスが挙げられ
る。
【００１８】多孔質ガラス母材の焼結装置を用いて焼結
すると、偏芯や湾曲が起こらない。
すると、偏芯や湾曲が起こらない。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を詳細に説
明する。図１に、本発明を適用する多孔質ガラス母材焼
結装置の実施例の斜視図を示す。
明する。図１に、本発明を適用する多孔質ガラス母材焼
結装置の実施例の斜視図を示す。
【００２０】多孔質ガラス母材焼結装置１は、図１に示
すとおり、外周に加熱炉２５が配置された石英製の反応
容器２４を有している。反応容器２４の上部には、中央
に孔の開いた蓋２２が載置されている。この孔には、反
応容器２４内に挿入された多孔質ガラス母材２１を吊り
下げている自在継手１０の接続された支持棒１２が貫通
している。支持棒１２の上端は、支持棒１２を回転させ
るモータ１１に繋がっている。モータ１１は焼結時には
支持棒１２を回転させながら降下させるものである。
すとおり、外周に加熱炉２５が配置された石英製の反応
容器２４を有している。反応容器２４の上部には、中央
に孔の開いた蓋２２が載置されている。この孔には、反
応容器２４内に挿入された多孔質ガラス母材２１を吊り
下げている自在継手１０の接続された支持棒１２が貫通
している。支持棒１２の上端は、支持棒１２を回転させ
るモータ１１に繋がっている。モータ１１は焼結時には
支持棒１２を回転させながら降下させるものである。
【００２１】自在継手１０は、上側かすがい１３、下側
かすがい１８、および球１４とからなっている。上側か
すがい１３の下端の湾曲したふたまたが、球１４を挟み
込んでいる。上側かすがい１３のふたまたと斜交いに配
置された下側かすがい１８のふたまたも球１４を挟み込
んでいる。帯状の自在継手固定締具１５の一端が有する
孔に、歯形１７を有する他端が挿入され、両方のふたま
たを跨いで自在継手固定締具１５が取り巻いている。歯
形１７に係合して、自在継手固定締具１５を締緩するね
じ１６が装着されている。自在継手固定締具１５によ
り、上側かすがい１３と下側かすがい１８とが固定され
ている。
かすがい１８、および球１４とからなっている。上側か
すがい１３の下端の湾曲したふたまたが、球１４を挟み
込んでいる。上側かすがい１３のふたまたと斜交いに配
置された下側かすがい１８のふたまたも球１４を挟み込
んでいる。帯状の自在継手固定締具１５の一端が有する
孔に、歯形１７を有する他端が挿入され、両方のふたま
たを跨いで自在継手固定締具１５が取り巻いている。歯
形１７に係合して、自在継手固定締具１５を締緩するね
じ１６が装着されている。自在継手固定締具１５によ
り、上側かすがい１３と下側かすがい１８とが固定され
ている。
【００２２】下側かすがい１８の下端には、母材２１の
中心軸とモータ１１の回転軸との水平方向のずれを一致
させるＸＹステージ２０が取り付けられている。ＸＹス
テージは、図２に示すように、母材２１を把持している
Ｘ方向移動用リング３２と、その外側でＸ方向移動用リ
ング３２を把持しているＹ方向移動用リング３３とを有
している。
中心軸とモータ１１の回転軸との水平方向のずれを一致
させるＸＹステージ２０が取り付けられている。ＸＹス
テージは、図２に示すように、母材２１を把持している
Ｘ方向移動用リング３２と、その外側でＸ方向移動用リ
ング３２を把持しているＹ方向移動用リング３３とを有
している。
【００２３】Ｘ方向螺合棒３５がＸ方向移動用リング３
２とＹ方向移動用リング３３とに螺合している。Ｘ方向
ガイド棒３４がＸ方向移動用リング３２に貫入してお
り、Ｘ方向ガイド棒３４の両端はＹ方向移動用リング３
３に固定されている。
２とＹ方向移動用リング３３とに螺合している。Ｘ方向
ガイド棒３４がＸ方向移動用リング３２に貫入してお
り、Ｘ方向ガイド棒３４の両端はＹ方向移動用リング３
３に固定されている。
【００２４】Ｙ方向螺合棒３７がＹ方向移動用リング３
３と下側かすがい１８とに螺合している。Ｙ方向ガイド
棒３６がＹ方向移動用リング３３に貫入しており、Ｙ方
向ガイド棒３６の両端は下側かすがい１８に固定されて
いる。
３と下側かすがい１８とに螺合している。Ｙ方向ガイド
棒３６がＹ方向移動用リング３３に貫入しており、Ｙ方
向ガイド棒３６の両端は下側かすがい１８に固定されて
いる。
【００２５】反応容器２４の側面であって多孔質ガラス
母材２１の太径部分の上端近傍の高さのところに、レー
ザ測距計２７へ接続したレーザ光源２８と受光器２９と
が配置されている。また、母材２１の太径部分の下端近
傍の高さのところにも同様に別なレーザ光源２８と受光
器２９とが配置されている。
母材２１の太径部分の上端近傍の高さのところに、レー
ザ測距計２７へ接続したレーザ光源２８と受光器２９と
が配置されている。また、母材２１の太径部分の下端近
傍の高さのところにも同様に別なレーザ光源２８と受光
器２９とが配置されている。
【００２６】反応容器２４の底近傍に塩素ガスとヘリウ
ムガスの混合ガス導入管２６が配置され、反応容器２４
の上端近傍に排気管２３が配置されている。
ムガスの混合ガス導入管２６が配置され、反応容器２４
の上端近傍に排気管２３が配置されている。
【００２７】この多孔質ガラス母材焼結装置１は、以下
のように使用する。先ず、モータ１１の駆動により、多
孔質ガラス母材２１を回転させる。ふたつのレーザ測距
計２７を用い、三角測量の原理により、距離を算出す
る。この距離から母材２１の振れ幅が算出される。２箇
所で測定した距離が、母材２１の回転中に周期に合わせ
て変化していると、多孔質ガラス母材２１の中心軸とモ
ータ１１の回転軸とが、軸方向または水平方向でずれて
いることが分かる。
のように使用する。先ず、モータ１１の駆動により、多
孔質ガラス母材２１を回転させる。ふたつのレーザ測距
計２７を用い、三角測量の原理により、距離を算出す
る。この距離から母材２１の振れ幅が算出される。２箇
所で測定した距離が、母材２１の回転中に周期に合わせ
て変化していると、多孔質ガラス母材２１の中心軸とモ
ータ１１の回転軸とが、軸方向または水平方向でずれて
いることが分かる。
【００２８】ずれているときは、モータ１１の駆動を停
止し、ずれを修復する。
止し、ずれを修復する。
【００２９】多孔質ガラス母材２１の中心軸とモータ１
１の回転軸とが軸方向でずれているときには、自在継手
固定締具１５が有するねじ１６を回して自在継手固定締
具１５を緩め、母材２１の中心軸の軸方向のずれを修復
した後、ねじ１６を逆に回して自在継手固定締具１５を
締め付け、上側かすがい１３と下側かすがい１８とを再
緊締して固定する。
１の回転軸とが軸方向でずれているときには、自在継手
固定締具１５が有するねじ１６を回して自在継手固定締
具１５を緩め、母材２１の中心軸の軸方向のずれを修復
した後、ねじ１６を逆に回して自在継手固定締具１５を
締め付け、上側かすがい１３と下側かすがい１８とを再
緊締して固定する。
【００３０】多孔質ガラス母材２１の中心軸とモータ１
１の回転軸とが水平方向でずれているときには、ＸＹス
テージ２０のＸ方向螺合棒３５を回転させてＸ方向移動
用リング３２を移動させたり、Ｙ方向螺合棒３７を回転
させてＹ方向移動用リング３３を移動させたりすること
により、母材２１の中心軸の水平方向のずれを修復す
る。
１の回転軸とが水平方向でずれているときには、ＸＹス
テージ２０のＸ方向螺合棒３５を回転させてＸ方向移動
用リング３２を移動させたり、Ｙ方向螺合棒３７を回転
させてＹ方向移動用リング３３を移動させたりすること
により、母材２１の中心軸の水平方向のずれを修復す
る。
【００３１】再び、モータ１１を駆動させ、レーザ測距
計２７により多孔質ガラス母材２１の上下２箇所での距
離を測定し、母材２１の中心軸とモータ１１の回転軸の
ずれを算出する。母材２１の中心軸とモータ１１の回転
軸が一致してずれがなくなるまで、すなわち算出された
距離から導かれる母材２１の振れ幅が母材２１の外径と
一致するまで、ずれの修復を繰り返し行う。
計２７により多孔質ガラス母材２１の上下２箇所での距
離を測定し、母材２１の中心軸とモータ１１の回転軸の
ずれを算出する。母材２１の中心軸とモータ１１の回転
軸が一致してずれがなくなるまで、すなわち算出された
距離から導かれる母材２１の振れ幅が母材２１の外径と
一致するまで、ずれの修復を繰り返し行う。
【００３２】ずれがなくなって、母材２１の中心軸とモ
ータ１１の回転軸とが水平方向および軸方向で一致した
ところで、焼結を開始する。混合ガス導入管２６から、
塩素ガスとヘリウムガスとを反応容器２４内へ導入す
る。排気管２３に繋がっている排気扇（不図示）を駆動
させ、排気を開始する。加熱炉２５により多孔質ガラス
母材２１を約１５００℃に加熱する。モータ１１を駆動
させ、多孔質ガラス母材２１を回転させながら降下させ
る。多孔質ガラス母材２１が加熱源２５を通過すると、
焼結され、脱水および透明ガラス化される。
ータ１１の回転軸とが水平方向および軸方向で一致した
ところで、焼結を開始する。混合ガス導入管２６から、
塩素ガスとヘリウムガスとを反応容器２４内へ導入す
る。排気管２３に繋がっている排気扇（不図示）を駆動
させ、排気を開始する。加熱炉２５により多孔質ガラス
母材２１を約１５００℃に加熱する。モータ１１を駆動
させ、多孔質ガラス母材２１を回転させながら降下させ
る。多孔質ガラス母材２１が加熱源２５を通過すると、
焼結され、脱水および透明ガラス化される。
【００３３】なお、多孔質ガラス母材２１反応容器２４
の底まで挿入後、上昇させることにより加熱源２５を通
過させてもよい。
の底まで挿入後、上昇させることにより加熱源２５を通
過させてもよい。
【００３４】上記実施例に従い、外付け蒸着法により製
造した直径２００ｍｍ、長さ２０００ｍｍの多孔質ガラ
ス母材５０本を継手に装着する毎にずれの修復を行った
後、焼結したところ、焼結後の偏芯率は、平均で０．０
４％、最大で０．１１％と極僅かであり、湾曲したもの
はなかった。
造した直径２００ｍｍ、長さ２０００ｍｍの多孔質ガラ
ス母材５０本を継手に装着する毎にずれの修復を行った
後、焼結したところ、焼結後の偏芯率は、平均で０．０
４％、最大で０．１１％と極僅かであり、湾曲したもの
はなかった。
【００３５】比較のために、ずれの修復を行わなかった
こと以外は同様にして、母材を５０本焼結したところ、
偏芯率は、平均で０．１２％、最大で０．３２％であ
り、バーナ等で修正する必要のある湾曲を有するものが
２６本あった。
こと以外は同様にして、母材を５０本焼結したところ、
偏芯率は、平均で０．１２％、最大で０．３２％であ
り、バーナ等で修正する必要のある湾曲を有するものが
２６本あった。
【００３６】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明の多
孔質ガラス母材焼結装置を用いると、偏芯や湾曲を引き
起こすことなく、多孔質ガラス母材を焼結することがで
きる。焼結後に線引きして得られた光ファイバは、偏芯
率が小さく、接続損失も小さい。またコア部とクラッド
部の厚さの比や光ファイバ特性が均一で、高品質であ
る。
孔質ガラス母材焼結装置を用いると、偏芯や湾曲を引き
起こすことなく、多孔質ガラス母材を焼結することがで
きる。焼結後に線引きして得られた光ファイバは、偏芯
率が小さく、接続損失も小さい。またコア部とクラッド
部の厚さの比や光ファイバ特性が均一で、高品質であ
る。
【図１】本発明を適用する多孔質ガラス母材焼結装置の
実施例の斜視図である。
実施例の斜視図である。
【図２】本発明を適用する多孔質ガラス母材焼結装置の
実施例の要部斜視図である。
実施例の要部斜視図である。
１は多孔質ガラス母材焼結装置、１０は自在継手、１１
はモータ、１２は支持棒、１３は上側かすがい、１４は
球、１５は自在継手固定締具、１６はねじ、１７は歯
形、１８は下側かすがい、２０はＸＹステージ、２１は
多孔質ガラス母材、２２は蓋、２３は排気管、２４は反
応容器、２５は加熱炉、２６はガス導入管、２７はレー
ザ測距計、２８はレーザ光源、２９は受光器、３２はＸ
方向移動用リング、３３はＹ方向移動用リング、３４は
Ｘ方向ガイド棒、３５はＸ方向螺合棒、３６はＹ方向ガ
イド棒、３７はＹ方向螺合棒である。
はモータ、１２は支持棒、１３は上側かすがい、１４は
球、１５は自在継手固定締具、１６はねじ、１７は歯
形、１８は下側かすがい、２０はＸＹステージ、２１は
多孔質ガラス母材、２２は蓋、２３は排気管、２４は反
応容器、２５は加熱炉、２６はガス導入管、２７はレー
ザ測距計、２８はレーザ光源、２９は受光器、３２はＸ
方向移動用リング、３３はＹ方向移動用リング、３４は
Ｘ方向ガイド棒、３５はＸ方向螺合棒、３６はＹ方向ガ
イド棒、３７はＹ方向螺合棒である。
Claims (7)
- 【請求項１】 反応容器内で、自在継手の一端に接続
したＸＹステージに多孔質ガラス母材を吊り下げつつ自
在継手固定締具で該自在継手を緊締し、該自在継手の他
端に連結されたモータを回転しながら、水平方向および
軸方向に対する該母材の中心軸と該モータの回転軸との
ずれを測定した後、該ＸＹステージの移動と該固定締具
の再緊締をして、該母材の中心軸と該モータの回転軸と
を水平方向および軸方向で一致させ、該反応容器の外周
に配置した加熱炉を該母材が回転しながら通過すること
により多孔質ガラス母材を焼結する方法。 - 【請求項２】 前記測定が、定点から該多孔質ガラス
母材までの距離の複数箇所での測定であることを特徴と
する請求項１に記載の多孔質ガラス母材を焼結する方
法。 - 【請求項３】 前記測定が、レーザ測距計による測定
であることを特徴とする請求項１または２に記載の多孔
質ガラス母材を焼結する方法。 - 【請求項４】 外周に加熱炉の配置された反応容器内
で多孔質ガラス母材が自在継手の一端で吊り下げられ、
該自在継手の他端がモータに連結された多孔質ガラス母
材焼結装置であって、ＸＹステージを介して該母材が該
自在継手に接続され、該自在継手が自在継手固定締具を
有していることを特徴とする多孔質ガラス母材焼結装
置。 - 【請求項５】 請求項４に記載の反応容器の側面に、
定点から多孔質ガラス母材までの距離の測定器が配置さ
れていることを特徴とする多孔質ガラス母材焼結装置。 - 【請求項６】 前記測定器が、レーザ測距計であるこ
とを特徴とする請求項５に記載の多孔質ガラス母材焼結
装置。 - 【請求項７】 前記測定器が、複数配置されているこ
とを特徴とする請求項５または６に記載の多孔質ガラス
母材焼結装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34161699A JP2001158626A (ja) | 1999-12-01 | 1999-12-01 | 多孔質ガラス母材を焼結する方法および装置 |
| EP07075824A EP1894898B1 (en) | 1999-12-01 | 2000-12-01 | Method for modifying a glass base material for an optical fiber |
| EP00126272A EP1106584B1 (en) | 1999-12-01 | 2000-12-01 | Method and apparatus for manufacturing a preform for an optical fibre |
| DE60037098T DE60037098T2 (de) | 1999-12-01 | 2000-12-01 | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen einer Vorform für optische Fasern |
| KR1020000072378A KR100615545B1 (ko) | 1999-12-01 | 2000-12-01 | 광 파이버용 모재의 제조방법 및 장치 |
| US09/727,386 US20020020193A1 (en) | 1999-12-01 | 2000-12-01 | Method for manufacturing base material for optical fiber, apparatus therefor, and base material manufactured by the same |
| US10/934,473 US20050147367A1 (en) | 1999-12-01 | 2004-09-07 | Method for manufacturing base material for optical fiber, apparatus therefor, and base material manufactured by the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34161699A JP2001158626A (ja) | 1999-12-01 | 1999-12-01 | 多孔質ガラス母材を焼結する方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001158626A true JP2001158626A (ja) | 2001-06-12 |
Family
ID=18347471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34161699A Pending JP2001158626A (ja) | 1999-12-01 | 1999-12-01 | 多孔質ガラス母材を焼結する方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001158626A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9108877B2 (en) | 2012-07-18 | 2015-08-18 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Glass base material elongation method |
| CN110494399A (zh) * | 2017-03-31 | 2019-11-22 | 住友电气工业株式会社 | 光纤母材悬架构造、悬架方法及光纤制造方法及悬架方法 |
| CN116062984A (zh) * | 2023-02-17 | 2023-05-05 | 长飞光纤光缆股份有限公司 | 一种用于外部气相沉积法的沉积腔 |
-
1999
- 1999-12-01 JP JP34161699A patent/JP2001158626A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9108877B2 (en) | 2012-07-18 | 2015-08-18 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Glass base material elongation method |
| CN110494399A (zh) * | 2017-03-31 | 2019-11-22 | 住友电气工业株式会社 | 光纤母材悬架构造、悬架方法及光纤制造方法及悬架方法 |
| CN110494399B (zh) * | 2017-03-31 | 2022-04-19 | 住友电气工业株式会社 | 光纤母材悬架构造、悬架方法及光纤制造方法及悬架方法 |
| CN116062984A (zh) * | 2023-02-17 | 2023-05-05 | 长飞光纤光缆股份有限公司 | 一种用于外部气相沉积法的沉积腔 |
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