JP2001147385A

JP2001147385A - 空間光変調器

Info

Publication number: JP2001147385A
Application number: JP33190299A
Authority: JP
Inventors: Kazunaga Horiuchi; 一永堀内
Original assignee: Fuji Xerox Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Business Innovation Corp
Priority date: 1999-11-22
Filing date: 1999-11-22
Publication date: 2001-05-29

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単にしかも安価に製作できる空間光変調器
を提供する。【解決手段】空中を伝搬して来た光源６からの光６ａ
をマイクロミラー５で反射させる際、データ等に応じて
光変調を行う空間光変調器１０であって、流動性と所定
の反射率を有したフルイド１を容器２に収容し、容器２
の両側に配置された波動源３ａ，３ｂによりフルイド１
に波動４を生じさせ、フルイド１の表面に傾斜角を持っ
た２つの反射面からなるフルイドミラー５を形成する。
このフルイドミラー５の反射面の一つに光源６からの光
６ａを入射し、フルイドミラー５の生成と消滅を波動源
３ａ，３ｂにより制御すれば、光変調が行われる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、空間光変調器に関
し、特に、流動的な性質を持つ物体（以下、フルイドと
いう）を用いて形成されたミラーを構成要素にした空間
光変調器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】空間光変調器は、入射光の進行方向を変
える機能を有し、例えば、レーザ光の通過と遮断を行う
オン／オフ制御装置として使用されている。従来より用
いられている代表的な空間光変調器には、超音波でレー
ザを偏向させる超音波光変調器がある。また、最近で
は、微小サイズのミラー（以下、マイクロミラーとい
う）をライン状またはマトリクス状に配列し、各マイク
ロミラーの傾斜角を制御して入射光を偏向するミラー方
式の空間光変調器が提案されている。このミラー方式の
空間光変調器は、例えば、特開平６−１８０４２８号公
報に示されており、導電体の表面に反射面を形成したマ
イクロミラーを回転可能に軸支し、このマイクロミラー
に駆動電極を対向配置してコンデンサを形成し、マイク
ロミラーの導電体と前記駆動電極の間に電圧を印加した
際の静電力による吸引力を用いてミラーの傾斜角を制御
するようにしている。また、他のミラー方式の空間光変
調器が、例えば、特開平１０−１９７８１９号公報に示
されており、微小サイズのピエゾ素子に電圧を印加した
際の物理的な変位を用いてマイクロミラーの傾斜角を変
化させるようにしている。これらのマイクロミラー装置
は、ＲＧＢの３原色の光のそれぞれを画像情報に基づい
て光変調を施す方式のプロジェクタや、レーザ光を偏向
させて走査光を生成する方式のプリンタヘの利用が有望
視されている。

【０００３】図７は、従来の空間光変調器を示す。ま
た、図８は図７の空間光変調器を用いた投射方式の大画
面ディスプレィ（テレビ用、プロジェクタ用等）を示
す。ここに示す空間光変調器は、上記したように、マイ
クロミラーと電極を対向配置する方式に属するもので、
デジタルマイクロミラー（ＤＭＤ：Digital Micromirro
rDevice）の構成になっている。図７に示すように、シ
リコン基板１０１上には、バー状の一対のアドレス電極
１０２ａ，１０２ｂが形成されており、このアドレス電
極１０２ａ，１０２ｂ上にアルミ膜を用いた十数μｍ角
程度のマイクロミラー１０３が対向配置されている。マ
イクロミラー１０３は、その１つの対角線にヒンジ１０
４ａ，１０４ｂが取り付けられている。このヒンジ１０
４ａ，１０４ｂは、シリコン基板１０１に立設された支
柱１０５ａ，１０５ｂにより回転可能に支持されてい
る。また、マイクロミラー１０３の他の対角線の端部の
下方のシリコン基板１０１上には、ランディングパッド
１０６（反対側の他の１つは不図示）が配設されてい
る。

【０００４】図７において、電極１０２ａとマイクロミ
ラー１０３との間に所定の電圧を印加（電極１０２ｂに
は印加せず）すると、両者は生じた静電気により互いに
吸引するように作用する。この結果、マイクロミラー１
０３は水平位置から図の手前方向に回転し、最終的に
は、マイクロミラー１０３の対角部がランディングパッ
ド１０６に当接して停止する。この回転により、マイク
ロミラー１０３には、例えば１０°程度の傾きが生じ
る。一方、電極１０２ｂとマイクロミラー１０３との間
に所定の電圧を印加（電極１０２ａには印加せず）する
と、マイクロミラー１０３は電極１０２ａに印加したと
きと逆の方向へ回転する。このように、電極１０２ａ，
１０２ｂへの電圧印加を選択することにより、ヒンジ１
０４ａ，１０４ｂを中心にして左または右に回転し、そ
の回転範囲は＋１０°〜−１０°となる。マイクロミラ
ー１０３の左向きと右向きの２動作は、２値デジタルの
１，０に相当することから、ＤＭＤと呼ばれる。

【０００５】図７の構成の空間光変調器をディスプレィ
の画素数分（例えば、８００×６００画素）だけ用意
し、これを１枚の基板内にマトリクス状に形成すると、
図８に示すように、画像の１フレーム分を処理できる１
個のＤＭＤチップ１０７が得られる。このＤＭＤチップ
１０７を光路内に設けたカラー大画面ディスプレィの構
成は、図７に示すように、光源２０１、該光源２０１の
出射光路上に配設されたコンデンサレンズ２０２、該コ
ンデンサレンズ２０２の出射光路上に配設された回転カ
ラーフィルタ２０３、該回転カラーフィルタ２０３を回
転させる駆動源となるモータ２０４、回転カラーフィル
タ２０３を透過してきた光をＤＭＤチップ１０７に入射
させる集光レンズ２０５、ＤＭＤチップ１０７から反射
してきた光をスクリーン２０７に所定の大きさに投影及
び合焦させるズームレンズ２０６を備えて構成されてい
る。ＤＭＤチップ１０７は、各画素単位でマイクロミラ
ー１０３を＋１０°の位置に回転させることによって入
射光をズームレンズ２０６へ反射させ、−１０°の位置
に回転させることによって不図示の光吸収部材（ズーム
レンズ２０６の光路外に配置）へ反射させる。

【０００６】図８において、回転カラーフィルタ２０３
は、ＲＧＢの３色の色フィルタ２０３Ｒ，２０３Ｂ，２
０３Ｇが１２０°間隔に配設されており、１回転／１フ
レームの速度で回転する。回転カラーフィルタ２０３を
回転させると、光源２０１からの白色光は、Ｒ→Ｇ→Ｂ
→Ｒ→Ｇ→Ｂ→・・・の繰り返しによる色の光となって
回転カラーフィルタ２０３からを出射され、集光レンズ
２０５を通してＤＭＤチップ１０７の全面に入射する。
ＤＭＤチップ１０７の全ての空間光変調器の電極１０２
ａ，１０２ｂの電圧印加は、ＲＧＢの各色の画像情報に
基づいて行われ、Ｒの光が入射されたときにはＲの画像
情報に同期して入射光をスクリーン２０７へ反射させ、
或いは光吸収部材へ反射させる。ＤＭＤチップ１０７か
らのＲＧＢの各色の反射光は順次スクリーン２０７に到
達し、多色のカラー画像として見ることができる。

【０００７】このように、ＤＭＤ方式の空間光変調器
は、全画素をデジタル的に制御でき、しかもミラーの減
光率を低くすることができるため、大型の投射式ディス
プレィに採用するには最適である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の空間光
変調器によると、ミラーが微小なため、その製作には、
高価な微細加工機械を必要としたり、回転機構等の複雑
な構造設計が必要になる等の問題がある。このため、空
間光変調器をプロジェクターやプリンターに用いた場
合、そのコストアップは避けられない。

【０００９】したがって、本発明の目的は、簡単にしか
も安価に製作できる空間光変調器を提供することにあ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するため、画像信号等の情報に応じて変調された変
調光を所定の方向に出射する空間光変調器において、波
動を受けて表面にマイクロミラーを形成するフルイド、
弾性変形部材等のマイクロミラー形成媒体を収容する収
容手段と、前記マイクロミラー形成媒体に波動を付与す
ることにより、前記マイクロミラー形成媒体の表面に前
記マイクロミラーを形成させる波動源と、前記マイクロ
ミラーに入射光を出射して前記変調光として反射させる
光源を備えたことを特徴とする空間光変調器を提供す
る。

【００１１】この構成によれば、波動源の駆動により収
容手段に収容されたマイクロミラー形成媒体に波動を生
じさせると、この波動の波打ち現象によってマイクロミ
ラー形成媒体の所定の位置にマイクロミラーが形成され
る。このマイクロミラーを変調、すなわち波動源を画像
信号等の情報に応じて駆動すれば、空間光変調が行われ
る。したがって、空間光変調器を簡単かつ安価に製作す
ることができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。本発明の空間光変調器は、流動的
な性質を持つと共に表面反射が可能な物体（以下、フル
イドという）あるいは弾性変形部材に波動を駆動源によ
り生じさせ、この波動により反射斜面を有したマイクロ
ミラーをフルイドあるいは弾性変形部材の表面に形成
し、このマイクロミラーの斜面に光を入射させ、マイク
ロミラーの生成と消滅を繰り返し、或いはマイクロミラ
ーの形状を変化させて、光の出射方向を変えることによ
り、光変調を行う構成にしている。そして、フルイドに
は水銀、反射率の高い金属粉を混ぜた水性溶液、非水性
溶液、親水性ゲル、疎水性ゲル、親水性オイル、疎水性
オイル等を用いることができる。また、弾性変形部材に
は、表面に金属反射膜が形成されたナイロン、ポリエチ
レン、ポリイミド等のポリマーシートを用いることがで
きる。

【００１３】図１は本発明の空間光変調器の実施の形態
を示す。図１の（ａ）において、空間光変調器はｍ×ｎ
の画素ｄ_mnを有し（説明のため、ｍ＝３、ｎ＝３とす
る）、フルイド槽２にフルイド１が収容され、画素列ｍ
（ｍ＝１，２，３）の間に仕切板１ａ₁，１ａ₂が配置
されている。画素列ｍの両端に波動源（圧電素子）３ａ
₁〜３ａ₃，３ｂ₁〜３ｂ₃がフルイド１に接触した状
態で設けられている。画素ｄ_mnの○は「１」の画素を表
し、×は「０」の画素を表わしている。図１の（ｂ）に
おいて、画素ｄ₂₂の位置にフルイドミラー５が形成さ
れ、光源（図示せず）よりの入射光６ａがフルイドミラ
ー５によって反射されることにより反射光７ａがスクリ
ーン（図示せず）へ投射される。他の引用数字は、図１
の（ａ）の引用数字と共通する。

【００１４】図１の（ｃ）において、波動源３ａ（３ａ
₁，３ａ₂，３ａ₃）は、パルス発生器３３からのパル
スが遅延回路３２を介して印加されることにより、フル
イド１にフルイドミラー５を形成するための波動を加え
る。パルス発生器３３は、駆動回路３１によって画素信
号「１」あるいは「０」に応じて駆動され、遅延回路３
２はラスタ信号（ｎ＝１，２，３）のｎの値に反比例し
た遅延量を駆動回路３１から入力してパルス発生器３３
からのパルスに与える。

【００１５】以上の構成において、画素ｄ₁₁の位置に対
応する画素信号「１」とラスタ信号ｎ＝１が駆動回路３
１に入力されると、駆動回路３１は画素信号「１」によ
ってパルス発生器３３を駆動してパルスを発生させる。
駆動回路３１は、設定されている遅延量の中からラスタ
信号ｎ＝１の値に基づいて、最大の遅延量を選択して遅
延回路３２に与える。パルス発生器３３からのパルス
は、その遅延量だけ遅延回路３２で遅延させられて波動
源３ａ₁に印加される。これによって、波動源３ａ₁は
フルイド１に波動を加える。一方、画素列ｍ＝１の反対
側の波動源３ｂ₁は、遅延の無いパルスが加えられるこ
とによって、フルイド１に波動を加えると、その波動は
フルイド１を伝搬して画素ｄ₁₁の位置に到達する。その
伝搬時間（前述した最大の遅延量）だけ遅延させられた
波動源３ａ₁からの波動は、波動源３ｂ₁からの波動と
等位相で画素ｄ₁₁位置で干渉し、そこにフルイドミラー
５を形成する。このフルイドミラー５に入射光６ａを照
射すると、出射光７ａが得られ、スクリーンにその画素
ｄ₁₁を表示することができる。

【００１６】一方、画素ｄ₂₁の位置では、画素信号が
「０」であるため、波動源３ａ₂，３ｂ₂は共に駆動さ
れない。また、画素ｄ₃₁の位置では、画素信号が「１」
であるため、波動源３ａ₃，３ｂ₃は、波動源３ａ₁，
３ｂ₁と同じように駆動される。このようにして、ラス
タ信号ｎ＝１の各画素ｄ₁₁〜ｄ₃₁の位置におけるフルイ
ドミラー５の形成の制御が行われる。次に、ラスタ信号
ｎ＝２，ｎ＝３の各画素ｄ₁₂〜ｄ₃₂，ｄ₁₃〜ｄ₃₃の位置
においても同じ制御が繰り返されることにより、１フレ
ームの画像表示が終了する。

【００１７】以上の実施の形態では、画素信号「１」あ
るいは「０」に応じて各画素位置のフルイドミラーの形
成を制御したが、画素信号に関係なく各画素位置にフル
イドミラーを形成し、画素信号「１」あるいは「０」に
応じて入射信号の入射の制御を行うようにしても良い。

【００１８】図２は本発明の空間光変調器のフルイドミ
ラーの形成の実施の形態を示す。（ａ）はフルイドミラ
ーによる空間光変調器１０を示し、フルイド１は容器２
に収容され、容器２の両側には圧電素子による波動源３
ａ，３ｂが配置されている。波動源３ａ，３ｂを駆動し
てフルイド１の表面近傍に波動４を水平方向に生じさせ
ると、この波動４の干渉により、フルイドミラー５が形
成される。このフルイドミラー５は、波動源３ａ，３ｂ
を構成する圧電素子の駆動電圧、駆動時間、及びフルイ
ド１の材質に応じて形状が制御される。

【００１９】フルイドミラー５の形成時に、そのミラー
面に光源６からの光が入射すれば、ミラー面の角度に応
じて所定の方向へ反射する。そして、波動源３ａ，３ｂ
の電源をオフにすれば、波動４が消失し、これによりフ
ルイドミラー５も消失する。したがって、波動源３ａ，
３ｂを画像情報や各種のデータに基づいてオン／オフす
る駆動を行えば、フルイドミラー５の形成と消失（或い
は、出射方向が変化するような形状変化）の状態を選択
でき、光が有る状態と無い状態の出射光（変調光）７を
任意に生成できる。

【００２０】図２の（ｂ）は、空間光変調器のフルイド
ミラーの形成の第２の構成を示し、容器２の底部に板状
の圧電素子による波動源８を設けている。波動源８によ
りフルイド１内の垂直方向に波動９を生じさせ、この波
動９のエネルギーにより、フルイド１の表面にフルイド
ミラー５が形成される。光の入射・反射経路の形成及び
光変調の方法は、図２の（ａ）で説明した通りである。
図２の（ｂ）の空間光変調器は、波動源８を微小化して
マトリクス状に配設すれば、微小間隔に複数のフルイド
ミラー５を同時に形成することができ、図７に示した様
なディスプレィに利用できる。

【００２１】図２の（ｃ）は、空間光変調器のフルイド
ミラーの形成の第３の構成を示す。超音波振動子による
波動源１１をフルイド１の上方の空中に配置し、この波
動源１１により超音波の波動１２を発生させ、この波動
１２がフルイド１の表面に衝突した際の音波エネルギー
により、フルイド１の表面には、窪んだフルイドミラー
１３が形成される。この場合、光源６の位置は、フルイ
ドミラー１３のミラー面に入射し、同一ミラー面で反射
するように設定する。この構成では、波動源１１をフル
イド１から離して設置できるので、波動源１１を個別に
扱うことができ、位置合わせ等の調整、保守点検等が容
易になる。

【００２２】図３はフルイドミラーにおける光反射を示
す。図３の（ａ）の場合、光源６からの入射光１４は、
フルイドミラー５の光源６側のミラー面５ａに垂線に対
する入射角αで入射し、同一角度αで出射光７が出射す
る。また、図３の（ｂ）の場合、フルイドミラー１３の
入射光１４に対面するミラー面１３ａに入射角αで入射
し、ミラー面１３ａの垂線に対して同一角度αで出射光
７が出射する。

【００２３】図４はフルイドミラーの形成の他の実施の
形態を示す。図２の空間光変調器では、フルイドミラー
が単一の波面から構成されていたが、波動源の制御によ
り複数の波面を複合したミラー面にすることができる。
例えば、図４の（ａ）のようなフルイドミラー１５の形
状にすれば、光の収束効果が得られる。したがって、入
射光１４がどの位置にあっても出射光７は同一点になる
ので、光源の位置を厳格に設定する必要がなくなり、調
整が容易になるという特徴がある。また、図４の（ｂ）
のようなフルイドミラー１６の形状にすれば、光の拡散
効果が得られる。この場合、入射光１４の位置によって
出射光７の方向が異なるので、同時に複数の入射光１４
を入射させた場合でも、複数の入射光１４のそれぞれの
出射光７を異なった位置に導くことができるので、１つ
のフルイドミラーで複数の光路の光変調を行わせること
が可能になる。図４の（ｂ）のフルイドミラー１６を形
成するとき、図４の（ｃ）に示す電圧ｖ₁〜ｖ₄を時間
ｔ₁〜ｔ₄において圧電素子に印加すれば良い。

【００２４】図５は本発明の空間光変調器の他の実施の
形態を示す。図５の（ａ）は、波動源８で発生した振動
を多角形の外形を成した金属、プラスチック等の波動伝
搬部材１８内に伝搬させる構成にしている。波動伝搬部
材１８は、図２の（ｂ）に示すように、波動源８に一体
化してフルイド１内に浸漬する。波動伝搬部材１８の波
動源８の対向面１８ａ，１８ｂ，１８ｃからは、波動１
７ａ，１７ｂ，１７ｃが同時に発生し、これがフルイド
１の表面に到達して、同時に複数の凸面又は凹面のフル
イドミラー５が形成される。

【００２５】図５の（ｂ）は、特に、図７に示したＤＭ
Ｄチップに用いるのに適し、マトリクス状に多数のフル
イドミラー５を形成することができる。マトリクス部材
１９をフルイド表面の近傍のフルイド１内に浸漬し、マ
トリクス部材１９のそれぞれにより仕切られた領域の直
下に圧電素子による波動源（不図示）をマトリクス状に
配置した構成にしている。マトリクス部材１９は、プラ
スチック、金属等を加工して作られる。

【００２６】具体的には、図２の（ｂ）の波動源８をマ
トリクス状に分割し、分割した微細波動源のそれぞれが
中心になるように仕切られた形状のマトリクス部材１９
をフルイド１内（表面近傍）に配置すれば良い。これに
より、隣接するフルイドミラー５の干渉が避けられ、各
フルイドミラー５の大きさや形状を精密に制御すること
ができる。フルイドミラー５のそれぞれの発生は、フル
イドミラー５のそれぞれに対応して配置された波動源の
それぞれをトランジスタ等により、画素単位に駆動する
ことにより可能になる。

【００２７】図６は、フルイドミラーの形成条件を改良
するフルイドの構成を示す。フルイドミラーは、（ｉ）
その表面での光反射特性が良いこと、（ii）フルイド内
の波動の伝播性が良いこと、及び、(iii) 波動による物
質表面の波打ち現象（フルイドの表面にフルイドミラー
以外の波紋が生じること）の少ないことが望ましい。こ
れらの条件を満たすため、図６の（ａ）のように、フル
イド１の表面を表面改質膜２１で被覆したり、図６の
（ｂ）のように、フルイド１の表面に表面改質粒子２２
を露出させたりすると良い。また、フルイド表面を複合
構造膜２５で被覆しても良く、図６の（ｃ）では、フル
イド１とは特性の異なるフルイド２４と表面改質膜２３
からなる複合構造膜２５をフルイド１の中間に配置し、
図６の（ｄ）では、フルイド１とは特性の異なるフルイ
ド２７を表面改質膜２６の両面に配置した複合構造膜２
５をフルイド１の表面に配置している。

【００２８】上記実施の形態において、高弾性率を持つ
振動伝達部材（ＳｉＣ、アルミナ、プラスチック等）を
波動源とフルイド間に追加配置する構成にしても良い。
この構成によれば、波動源からフルイドへの連続的な波
動エネルギーの供給が振動伝達部材を通して行われるの
で、波動エネルギーの伝達ロスを軽減させた効率的なフ
ルイドミラーが得られる。

【００２９】上記実施の形態において、光変調装置をデ
ィスプレィに利用する場合を主に説明したが、本発明は
ディスプレィ分野に限定されるものではなく、例えば、
光ファイバ、光導波路等へ光変調信号を入力する光変調
としても利用可能である。

【００３０】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明の空間光変調
器によれば、フルイド収容手段にマイクロミラー形成媒
体を収容し、波動源による波動を前記マイクロミラー形
成媒体に付与してマイクロミラー形成媒体の表面にマイ
クロミラーを形成するようにしたので、光が入射される
マイクロミラーを波動源で制御することにより、空間光
変調器を簡単かつ安価に製作することが可能になる。さ
らに、波動源の位置、形状等を実施状況に応じて選択で
きるので、マイクロミラーを電気的な制御のみで形成で
きるので、調整や修正が容易に行える。また、微細加工
が不要であるので、生産性や歩留りに影響を与えること
がない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の空間光変調器の実施の形態を示す説明
図である。

【図２】本発明の空間光変調器のフルイドミラーの形成
の実施の形態を示す模式図である。

【図３】本発明のフルイドミラーにおける光反射の説明
図である。

【図４】フルイドミラーの形成の他の実施の形態の光反
射の説明図および駆動波形図である。

【図５】波動によるフルイドミラーの形成に利用できる
波動伝搬部材およびマトリクス部材を示す構成図であ
る。

【図６】フルイドミラーの形成条件を改良するフルイド
の構成を示す断面図である。

【図７】従来の空間光変調器を示す斜視図である。

【図８】図７の空間光変調器を用いた投射方式の大画面
ディスプレィを示す構成図である。

【符号の説明】

１，２４，２７フルイド２容器３ａ，３ａ₁〜３ａ₃，３ｂ，３ｂ₁〜３ｂ₃，８，１
１波動源４，９，１２，１７ａ，１７ｂ，１７ｃ波動５，１３，１５，１６フルイドミラー５ａ，１３ａミラー面６光源１８波動伝搬部材１９マトリクス部材２１，２３，２６表面改質膜２２表面改質粒子２４波動が流動しやすい材料２５複合構造膜２６中間層

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】画像信号等の情報に応じて変調された変
調光を所定の方向に出射する空間光変調器において、波動を受けて表面にマイクロミラーを形成するフルイ
ド、弾性変形部材等のマイクロミラー形成媒体を収容す
る収容手段と、前記マイクロミラー形成媒体に波動を付与することによ
り、前記マイクロミラー形成媒体の表面に前記マイクロ
ミラーを形成させる波動源と、前記マイクロミラーに入射光を出射して前記変調光とし
て反射させる光源を備えたことを特徴とする空間光変調
器。
【請求項２】前記マイクロミラー形成媒体は、水銀、
金属粉を混ぜた水性溶液、非水性溶液、親水性ゲル、疎
水性ゲル、親水性オイル、疎水性オイルから選択された
１つのフルイド材料であることを特徴とする請求項１記
載の空間光変調器。
【請求項３】前記波動源は、圧電素子であることを特
徴とする請求項１記載の空間光変調器。
【請求項４】前記波動源は、ラスタラインに沿った画
素数と等しい個数だけアレイ状に前記収容手段の側壁に
配設されていることを特徴とする請求項１又は３記載の
空間光変調器。
【請求項５】前記波動源は、ラスタラインに沿った画
素数とラスタライン数の積に等しい個数だけマトリクス
状に前記収容手段の底部、又は上方に設置されることを
特徴とする請求項１記載の空間光変調器。
【請求項６】前記波動源は、進行方向の異なる複数の
波動を同時に発生させる波動伝達部材を介して前記マイ
クロミラー形成媒体に波動を加えることを特徴とする請
求項１記載の空間光変調器。
【請求項７】前記収容手段は、前記マトリクス状に配
置された前記駆動源に対応した形状のマトリクス部材を
有することを特徴とする請求項５記載の空間光変調器。
【請求項８】前記収容手段は、前記マイクロミラーの
反射特性を高め、前記波動の伝搬特性を高め、あるいは
前記波動による波打ち現象を改善するための媒体を前記
マイクロミラー形成媒体の表面に収容することを特徴と
する請求項１記載の空間光変調器。
【請求項９】前記マイクロミラー形成媒体は、表面に
金属反射膜が形成されたナイロン、ポリエチレン、ポリ
イミド等のポリマーシートであることを特徴とする請求
項１記載の空間光変調器。