JP2001136726A - リニアモータ駆動の移動装置におけるブレーキ装置 - Google Patents

リニアモータ駆動の移動装置におけるブレーキ装置

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JP2001136726A
JP2001136726A JP31942599A JP31942599A JP2001136726A JP 2001136726 A JP2001136726 A JP 2001136726A JP 31942599 A JP31942599 A JP 31942599A JP 31942599 A JP31942599 A JP 31942599A JP 2001136726 A JP2001136726 A JP 2001136726A
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cylinder
brake
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mover
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Toru Takada
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 コイル8と固定マグネット6とをエアギャッ
プを隔てて対向するように配設し、励磁時にコイル8を
有するヘッドストック3が前記固定マグネット6に沿っ
て移動自在となるように構成したリニアモータ駆動の移
動装置において、簡便な構造で十分な制動力を持つ制動
機構を具備したリニアモータ駆動の移動装置を提供す
る。 【解決手段】 ヘッドストック3を支持するため、その
走行方向と平行に配置したエアシリンダ16と、エアシ
リンダ16に流体圧を供給するコンプレッサ17と、コ
ンプレッサ17からエアシリンダ16に接続する流路中
に設けた2ポート電磁弁18と、リニアモータの通常動
作時には前記調整弁手段を開にする信号を出力し、リニ
アモータの電源遮断時又は緊急停止時には2ポート電磁
弁18を閉にするように制御する制御装置12とを備え
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば工作機械や
産業機械に適用するリニアモータ駆動の移動装置におけ
るブレーキ装置の構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】リニアモータとは、周知のように、装置
における固定した側の部材に取り付けた固定子と、可動
する側の部材に取り付けた可動子とを、エアギャップを
隔てて対向するように配設することにより、励磁時に可
動方向へ直線的な駆動力を発生するように構成したもの
である。このリニアモータによる駆動方式を採用する従
来の移動装置においては、電気的に急減速や急停止をす
ることは当然可能であるが、停電、断線等によるリニア
モータの電源遮断時又は緊急停止時に、電気的制御が不
能となって可動する側(以後、可動子側と称する)の部
材が惰性走行状態に至るという問題があるため、電気的
制御手段と別に機械的ブレーキ手段を設けることが一般
的である。
【0003】この機械的ブレーキ手段としては、可動子
側の部材にシリンダにて駆動するブレーキを設け、固定
した側(以後、固定子側と称する)の部材に設けた外部
摩擦部材に前記ブレーキの摩擦部材を押圧して前記可動
子側の部材を制動させるという方法がある。この場合、
シリンダにて大きな制動力を得ることができる反面、流
体移動に要する時間が電気信号と比較して長いため、応
答性が悪いという問題があった。また、可動子側の部材
に電磁石とバネ等の弾性体とを利用した電磁ブレーキを
設け、リニアモータの電源遮断時又は緊急停止時に、固
定子側の外部摩擦部材に対して電磁ブレーキの摩擦部材
を前記弾性体の弾性力にて押圧して前記可動子側の部材
を制動させるという方法もあるが、このブレーキの作動
時においては、前記電磁ブレーキの摩擦部材は大きな面
圧を保持しなければならず、いきおい、移動装置全体の
大型化を招来するという問題があった。
【0004】そこで、先行技術としての特開平10−1
12971号公報では、可動子側の部材である走行スラ
イダに、電磁石やバネ等の弾性体を介して、摩擦部材を
備えた強磁性板を配設する一方、固定子側部材に摩擦係
合部材を配設し、リニアモータの電源遮断時又は緊急停
止時に、前記電磁石に吸着していた前記強磁性板を、前
記電磁石から離脱させ、前記強磁性板と固定子である固
定マグネットとの間に作用する吸引力により前記摩擦部
材を前記摩擦係合部材に押圧して前記走行スライダを制
動させることを提案している。この先行技術では、前記
強磁性板と前記固定マグネットとの間の吸引力が常に作
用しているから、リニアモータの通常動作開始時に前記
摩擦部材を前記摩擦係合部材から離脱させるための外部
アクチュエータ手段も、前記走行グライダに配設するよ
うに構成している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記先行技術
の構成では、可動子側の部材である前記走行スライダ
に、電磁石、弾性体、摩擦部材及び強磁性板を配設する
うえに、外部アクチュエータ手段をも配設するから、機
械的ブレーキ手段としての部品点数の増加によるコスト
の増大という問題を招来していた。しかも、前記部品点
数の増加は前記走行スライダ重量の増大を招き、ひいて
はリニアモータへの電気的負荷の増大を招くから、容量
の大きなリニアモータを適用せざるを得なくなり、結果
としてさらにコストが増大するという問題があった。ま
た、前記部品点数の増加は前記走行スライダの大型化も
引き起こすことになり、移動装置全体が大型化するとい
う問題も招来していた。
【0006】本発明は、これらの問題を解消するととも
に、簡便な構造で十分な制動力を持つリニアモータ駆動
の移動装置におけるブレーキ装置を提供することを技術
的課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため、請求項1に記載の発明のリニアモータ駆動の移
動装置におけるブレーキ装置は、可動子と固定子とをエ
アギャップを隔てて対向するように配設し、励磁時に前
記可動子側に取り付けた部材が前記固定子に沿って移動
自在となるように構成したリニアモータ駆動の移動装置
において、前記可動子側の部材を支持するため、その走
行方向と平行に配置したシリンダと、該シリンダに流体
圧を供給する供給源と、供給源からシリンダに接続する
流路中に設けた調整弁手段と、前記リニアモータの通常
動作時には前記調整弁手段を開にする信号を出力し、前
記リニアモータの電源遮断時又は緊急停止時には前記調
整弁手段を閉にするように制御する制御手段とを備えた
ものである。
【0008】他方、請求項2に記載の発明のリニアモー
タ駆動の移動装置におけるブレーキ装置は、可動子と固
定子とをエアギャップを隔てて対向するように配設し、
励磁時に前記可動子側に取り付けた部材が前記固定子に
沿って移動自在となるように構成したリニアモータ駆動
の移動装置において、前記可動子側の部材を支持するた
め、その走行方向と平行に配置した複動型シリンダと、
該シリンダの両ポートに連結した流路中に設けた調整弁
手段と、前記リニアモータの通常動作時には前記調整弁
手段を開にする信号を出力し、前記リニアモータの電源
遮断時又は緊急停止時には前記調整弁手段を閉にするよ
うに制御する制御手段とを備えたものである。
【0009】そして、請求項3に記載の発明は、請求項
1又は請求項2に記載のリニアモータ駆動の移動装置に
おけるブレーキ装置において、前記可動子側の部材に
は、前記リニアモータの電源遮断時又は緊急停止時に、
前記固定子側の部材に押圧する電磁ブレーキ手段を備え
たものである。
【0010】
【発明の効果】請求項1に記載の発明の構成によると、
前記リニアモータの通常動作時には、前記制御手段から
の信号にて前記調整弁手段を開にして前記シリンダに流
体圧を供給することによって、前記可動子側の部材に対
する負荷の変動に拘らず前記可動子側の部材を安定的に
作動させる、いわゆるカウンタバランスとして機能し、
前記リニアモータの電源遮断時又は緊急停止時には、前
記制御手段からの信号が途絶えたことに呼応して前記調
整弁手段を閉にして前記シリンダ内に電源遮断直前又は
緊急停止直前の流体圧を保持し前記シリンダを静止させ
ることによって、前記シリンダにて支持する前記可動子
側の部材を確実に静止させることができるという効果を
有する。
【0011】通常の動作時に装置のカウンタバランサと
して機能するシリンダを利用して、ブレーキ作動させる
から、前記従来技術のように、機械的ブレーキ手段とし
ての種々の部品を配設しなくて良く、部品コストを低減
できるとともに、前記可動子側の部材を軽量化できると
いう効果を有する。また、前記可動子側の部材を軽量化
できることで、容量の大きなリニアモータを適用する必
要はなくなるから、この点でもコストの低減を図ること
ができ、移動装置全体の小型化を図ることもできるので
ある。
【0012】次に、請求項2に記載の発明は、請求項1
に記載の発明が前記供給源から前記調整弁手段を経て前
記シリンダへ向かって一定方向に流体圧を供給するよう
に構成しているのに対し、前記複動型シリンダの両ポー
トと前記調整弁手段とを結ぶ閉鎖系の流路に流体を充填
し、前記複動型シリンダのピストンを挟んで前記流体が
前記流路内を自在に移動できるように構成するものであ
る。
【0013】この構成により、前記リニアモータの通常
動作時には、前記制御手段からの信号にて前記調整弁手
段を開にして前記流体が前記流路内を移動自在にし、前
記可動子側の部材が作動すると、前記流体が前記複動型
シリンダに対する抵抗として働くから、前記可動子側の
部材のダンパーとして機能する。そして、前記リニアモ
ータの電源遮断時又は緊急停止時には、請求項1に記載
の発明と同様に、前記制御手段からの信号が途絶えたこ
とに呼応して前記調整弁手段を閉にして前記複動型シリ
ンダ内に流体圧を保持し前記シリンダを静止させること
によって、前記シリンダにて支持する前記可動子側の部
材を確実に静止させることができるという効果を有す
る。
【0014】通常の動作時に装置のカウンタバランサと
して機能するシリンダを利用して、ブレーキ作動させる
から、従来技術のような機械的ブレーキ手段としての種
々の部品を配設しなくて良く、請求項1に記載の発明と
同様に、部品コストを低減できるとともに、前記可動子
側の部材を軽量化できる。また、前記可動子側の部材を
軽量化できることで、容量の大きなリニアモータを適用
する必要はなくなるから、コストの低減を図ることがで
きると共に移動装置全体の小型化を図ることができるこ
とも、請求項1に記載の発明と同様である。
【0015】また、請求項3に記載の発明では、前記制
御手段からの信号が途絶えたことに呼応して、前記電磁
ブレーキ手段を前記固定子側の部材に押圧することで、
前記可動子側の部材を減速させるから、前記電磁ブレー
キ手段は、請求項1又は請求項2に記載の前記ブレーキ
装置に対する補助的ブレーキ手段として、前記可動子側
の部材を静止させることの安全性及び信頼性を向上させ
ることができるのである。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明における実施の形態
を図面に基づいて説明する。
【0017】図1及び図2は、本発明における第1実施
形態であり、金属を切削又は研削加工する工作機械1に
おいて、固定子側の部材をコラム2と、可動子側の部材
を主軸4を搭載したヘッドストック3とし、当該ヘッド
ストック3を垂直方向に駆動するための駆動方式として
リニアモータを適用したものである。
【0018】前記工作機械1は、前記コラム2と前記ヘ
ッドストック3と前記コラム2を支持するベッド5とか
ら成る。下向き開口の断面略コ字状に形成したコラム2
は、前記ベッド5上に開口側の両下端を固定しており、
このコラム2の中空部左右両内側面には、極性を交互に
とった多数の永久磁石セグメントから成る固定子として
の固定マグネット6,6と、後述する電磁ブレーキ手段
と摩擦係合するための摩擦係合部材7,7とを設けてい
る。そして、前記コラム2の中空部には、主軸4を搭載
する前記ヘッドストック3を、図示しない直動案内手段
によって上下自在となるように構成している。
【0019】前記ヘッドストック3の左右両側面には可
動子としてのコイル8,8を設けており、該コイル8,
8に励磁電流を電源9からコントローラ10を介して供
給することで、エアギャップを隔てて対向している前記
固定マグネット6,6との相互作用によって前記ヘッド
ストック3の垂直方向にリニアモータ推力を発生するよ
うに構成している。
【0020】また、前記コラム2の上面には、エアシリ
ンダ16を、該エアシリンダ16の作動方向が前記コラ
ム2の上面と直交するように配設している。そして、前
記エアシリンダ16のピストンロッド16aを前記コラ
ム2の上面に貫通させ、貫通した前記ピストンロッド1
6aにて前記コラム2の中空部に位置する前記ヘッドス
トック3を支持するように構成している。前記エアシリ
ンダ16の下方のヘッド側ポート16bは、前記エアシ
リンダ16に高圧エアを供給するためのエア供給源とし
てのコンプレッサ17と連結しており、このヘッド側ポ
ート16bからコンプレッサ17までを接続する流路中
には、調整弁手段である2ポート電磁弁18及び電気フ
ィードバック式レギュレータ19とを設けている。当該
2ポート電磁弁18及び当該電気フィードバック式レギ
ュレータ19は、マイクロコンピュータ等からなる制御
装置12に電気的に接続され、制御されている。前記エ
アシリンダ16の上方のキャップ側ポート16cは大気
に開放している。符号20は圧力計である。
【0021】前記ヘッドストック3の下面のうちその左
右両側面寄りには、電磁ブレーキ11,11を設けてい
る。前記コントローラ10及び当該電磁ブレーキ11,
11は、前記制御装置12に電気的に接続され、制御さ
れている。前記各電磁ブレーキ11は、内装する摩擦部
材13の接触又は離脱するに際し、電磁石14の吸引力
を利用するもので、リニアモータの通常動作時には、前
記電磁石14によって前記摩擦部材13を前記各電磁ブ
レーキ11内に吸引して保持する一方、リニアモータの
電源遮断時又は緊急停止時には、前記電磁石14による
吸引力がなくなるため、前記摩擦部材13を、ばね15
の弾性力により、前記各電磁ブレーキ11と対向する位
置にある前記コラム3の前記摩擦係合部材10に押圧す
るものである。
【0022】この構成において、前記リニアモータの通
常動作時には、前記コイル8,8に、励磁電流を電源9
からコントローラ10を介して供給し、エアギャップを
隔てて対向する前記固定マグネット6,6との相互作用
によって、前記ヘッドストック3の垂直方向にリニアモ
ータ推力を発生させて、前記ヘッドストック3を上下動
可能にする。前記通電によって、前記各電磁ブレーキ1
1は前記電磁石14にて前記摩擦部材13を吸引保持し
ており、前記電磁弁18は開放状態となっている。
【0023】そして、前記レギュレータ19に、前記コ
ントローラ10から前記制御装置12を介して、そのと
きの前記ヘッドストック3の状態あるいはコントローラ
10の負荷、若しくはヘッドストック3の状態とコント
ローラ10の負荷に応じた電気信号を送り、前記コンプ
レッサ17からの高圧エアを、前記レギュレータ19に
て前記電気信号に応じて圧力調節し、前記高圧エアを前
記エアシリンダ16に供給している。前記コントローラ
10の電気的制御により前記ヘッドストック3を上下動
又は静止させると、再び高圧エアを、前記レギュレータ
19にて圧力調節した後、前記エアシリンダ16に供給
するのである。このようにして、請求項1に記載の前記
ブレーキ装置は、前記ピストンロッド16aにて支持す
る前記ヘッドストック3を、その負荷の変動に拘らず安
定的に作動させる、いわゆるカウンタバランスとして機
能するのである。
【0024】一方、前記リニアモータの電源遮断時又は
緊急停止時には、リニアモータは推力を失い、前記ヘッ
ドストック3が自由落下状態に入る。これと同時に、前
記各電磁ブレーキ11及び前記電磁弁18への通電(電
気信号)が途絶えるので、電磁弁18が閉鎖状態に切り
替わり、前記エアシリンダ16内に前記高圧エアを密閉
保持して、前記ピストンロッド16aを迅速に静止させ
ることができる。さらに、通電(電気信号)が途絶えた
ことにより、前記各電磁ブレーキ11が、前記電磁石1
4によって吸引保持していた前記摩擦部材13,13
を、前記ばね15の弾性力により、前記各電磁ブレーキ
11と対向する前記コラム3の前記摩擦係合部材7に押
圧して、前記ヘッドストック3を確実に停止させること
ができる。
【0025】このようにして、前記ピストンロッド16
aに支持される前記ヘッドストック3は、第1実施形態
のブレーキ装置により、急減速して確実に静止状態とな
ることができるのである。加えて、前記電磁ブレーキ1
1は、前記したように、第1実施形態のブレーキ装置に
対する補助的ブレーキ手段として、前記ヘッドストック
3を静止させることの安全性及び信頼性を増大させるこ
とができる。
【0026】この電磁ブレーキ手段は、第1実施形態の
ブレーキ装置のように、圧縮性を有する流体(第1実施
形態では空気)を適用し、可動子側の部材を垂直方向に
移動させる場合に有効である。第1実施形態のような場
合では、ブレーキ作動時に、主軸4を搭載した前記ヘッ
ドストック3の自重で、前記エアシリンダ16内のロッ
ド側下室に密閉保持された空気が圧縮され、前記ヘッド
ストック3がブレーキ作動後に下降するおそれがあるか
らである。
【0027】前記ヘッドストック3は、前記エアシリン
ダ16にて支持するのみで、機械的ブレーキ手段として
の種々の部品を配設しなくてよいから、部品コストを低
減できるとともに、前記ヘッドストック3を軽量化でき
る。前記ヘッドストック3を軽量化できることで、容量
の大きなリニアモータを適用する必要はなくなるから、
この点でもコストの低減を図ることができる。さらに、
前記ヘッドストック3を大型化しなくてよいから、移動
装置全体の小型化を図ることもできるのである。
【0028】第1実施形態では、固定子として固定マグ
ネット6を、可動子としてコイル7を設けるという構成
としたが、このような磁気回路の構成は、直接直線運動
をする一般的なリニアモータのものであればどのような
構成でもよく、その種類を問わない。また、前記電磁ブ
レーキ11を前記ヘッドストック3の下面のうちその左
右両側面寄りに二箇所設けているが、前記ヘッドストッ
ク3の左右両側面に設けてもよい。あるいは、シリンダ
16のピストンロッド16aを保持するブレーキを設け
てもよい。さらに、調節装置としての前記電磁弁18及
び前記レギュレータ19に代えて電磁比例弁又は電気・
油圧サーボバルブを適用してもよい。
【0029】図3は、第1実施形態の変形例を示してい
る。この図において、第1実施形態と構成が同様なもの
は、図1及び図2と同じ番号を付している。
【0030】この変形例では、エアシリンダ16を油圧
シリンダ21に変更し、ピストンロッド21aはヘッド
ストック3に連結されている。油圧シリンダ21におけ
る下方のヘッド側ポート21bは油管路26を介して空
気・油変換器22に接続され、該油管路26の途中に2
ポート電磁弁18と油圧計20′とが接続されている。
空気・油変換器22における空気圧側の管路中には電気
フィードバック式レギュレータ19が接続されている。
そして、前記油圧シリンダ21の上方のキャップ側ポー
ト21cはアキュームレータ23に油管路27を介して
接続されている。
【0031】また、オイルが流通する油管路26,27
には、熱交換器24a,24bを各々配設し、該各熱交
換器24a,24bをオイルクーラ25と連結して、オ
イルの移動による発熱を前記各熱交換器24a,24b
と前記オイルクーラ25とにより速やかに冷却するよう
に構成している。前記オイルクーラ25は、制御装置1
2に電気的に接続され、制御されている。
【0032】この第1実施形態の変形例では、シリンダ
へ供給する流体を高圧エアではなく空油変換器22を利
用して非圧縮性のオイルに変更している。このように構
成することにより、ブレーキ作動時に、主軸4を搭載し
た前記ヘッドストック3の自重で、前記油圧シリンダ2
1内のロッド側下室に密閉保持されたオイルは圧縮され
ないから、前記ヘッドストック3がブレーキ作動後に下
降することを防止できるのである。
【0033】ところで、本発明では、シリンダへの動力
伝達に対してエア又はオイルのどちらを適用してもよい
し、もちろん前記したように両者を併用してもよい。こ
のことは、後述する第2実施形態についても同様であ
る。
【0034】図4は、本発明における第2実施形態であ
り、金属を切削又は研削加工する工作機械31におい
て、固定子側の部材を水平なベッド32と、可動子側の
部材をテーブル33とし、当該テーブル33を水平方向
に駆動するための駆動方式としてリニアモータを適用し
たものである。ここで、当該実施形態では複動型シリン
ダへの動力伝達にオイルを適用している。
【0035】前記工作機械31は、前記ベッド32と前
記テーブル33とから成り、前記ベッド32の上面に
は、極性を交互にとった多数の永久磁石セグメントから
成る固定子としての固定マグネット34と、電磁ブレー
キ手段と摩擦係合するための摩擦係合部材35とを配設
している。そして、前記ベッド32の上面には、図示し
ない直動案内手段によって図4の左右方向に移動自在と
なるようにテーブル33を配置する。このテーブル33
の下面には可動子としてのコイル36を設け、該コイル
36に励磁電流を電源37からコントローラ38を介し
て供給することで、エアギャップを隔てて対向している
前記固定マグネット34との相互作用によって前記テー
ブル33の水平方向にリニアモータ推力を発生するよう
に構成している。
【0036】前記テーブル33の前後両側面には、電磁
ブレーキ39,39を設けており、前記コントローラ3
8及び当該電磁ブレーキ39,39は、制御装置40に
電気的に接続され、制御されている。前記各電磁ブレー
キ39は、前記した第1実施形態及びその変形例と同様
に、内装する摩擦部材の接触又は離脱するに際し、電磁
石の吸引力を利用するものである。
【0037】また、前記ベッド32内には、複動型油圧
シリンダ41を、該複動型油圧シリンダ41の作動方向
が水平方向となるように設けている。そして、前記複動
型油圧シリンダ41のピストンロッド41aは、支持片
42を介して、前記ベッド32の上方に位置する前記テ
ーブル33に連結されている。
【0038】前記複動型油圧シリンダ41は、ヘッド側
ポート41bから途中調整弁手段である複数の2ポート
電磁弁43(当該実施形態では二つ)を介してキャップ
側ポート41cまでを連結して、この連結した閉鎖系の
流路46にオイルを充填し、前記複動型油圧シリンダ4
1のピストン41dを挟んで前記オイルが前記流路内を
自在に移動できるように構成したものである。前記流路
46中の前記二つの2ポート電磁弁43の間には、熱交
換器44を配設し、該熱交換器44をオイルクーラ45
と連結して、オイルの移動による発熱を前記熱交換器4
4と前記オイルクーラ45とにより速やかに冷却するよ
うに構成している。流路46中には、アキュームレータ
23が配設されてピストン41dの移動に伴う体積変化
を吸収している。尚、前記2ポート電磁弁43と前記オ
イルクーラ45とは、前記制御装置40に電気的に接続
され、制御されている。
【0039】この構成において、前記リニアモータの通
常動作時には、まず、前記コイル36に、励磁電流を電
源37からコントローラ38を介して供給し、エアギャ
ップを隔てて対向する前記固定マグネット34,34と
の相互作用によって、前記テーブル33の水平方向にリ
ニアモータ推力を発生させて、前記テーブル33を水平
動可能にする。通常の作動時には通電によって、前記各
電磁ブレーキ39は前記摩擦部材を吸引保持しており、
前記電磁弁43は開放状態となっている。また、前記複
動型油圧シリンダ41や前記流路46内のオイルは、前
記テーブル33の動きに応じて移動自在となっている。
【0040】そして、前記コントローラ38の電気的制
御により前記テーブル33を水平動させると、前記テー
ブル33に連動するピストン41dにより前記複動型油
圧シリンダ41の左右両油室内のオイルが前記流路46
を介して行き来する。また、前記テーブル33を静止さ
せると、油圧シリンダ41の左右両油室内の油圧がバラ
ンスするように、前記流路46を介してオイル移動す
る。このように、前記オイルが前記複動型油圧シリンダ
41に対する抵抗として働くから、前記テーブル33の
ダンパーとして機能するのである。
【0041】一方、前記リニアモータの電源遮断時又は
緊急停止時には、リニアモータは推力を失い、前記テー
ブル33が惰性走行状態に入る。これと同時に、前記各
電磁ブレーキ39及び前記電磁弁43への通電(電気信
号)が途絶えるので、前記電磁弁43が閉鎖状態に切り
替わり、前記複動型油圧シリンダ41内に前記オイルを
密閉保持して、前記ピストンロッド41aを迅速に静止
させる。同時に、前記通電(電気信号)が途絶えたこと
により、前記各電磁ブレーキ39に内装する摩擦部材
を、前記各電磁ブレーキ39と対向する前記ベッド32
の前記摩擦係合部材35に押圧して、前記テーブル33
を確実に停止させることができる。このようにして、前
記ピストンロッド44a及び前記支持片42に支持され
る前記テーブル33は、第2実施形態のブレーキ装置に
より、急減速して確実に静止状態となることができるの
である。加えて、前記電磁ブレーキ39は、前記した第
1実施形態の場合と同様に、第2実施形態のブレーキ装
置に対する補助的ブレーキ手段として、前記テーブル3
3を静止させることの安全性及び信頼性を増大させるこ
とができる。
【0042】前記テーブル33は、前記複動型油圧シリ
ンダ41にて支持するのみで、機械的ブレーキ手段とし
ての種々の部品を配設しなくてよいから、前記した第1
実施形態と同様に、部品コストを低減できるとともに、
前記テーブル33を軽量化できる。また、前記テーブル
33を軽量化できることで、容量の大きなリニアモータ
を適用する必要はなくなるから、この点でも、第1実施
形態と同様に、コストの低減を図ることができる。さら
に、前記テーブル33を大型化しなくてよいから、移動
装置全体の小型化を図ることができることも、第1実施
形態の場合と同様である。尚、油圧シリンダ41の代わ
りにロッドレスシリンダを用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明における第1実施形態を示す概略図であ
る。
【図2】図1における部分拡大図である。
【図3】第1実施形態の変形例を示す概略図である。
【図4】本発明における第2実施形態を示す概略図であ
る。
【符号の説明】
1 工作機械 2 コラム 3 ヘッドストック 6 固定子としての固定マグネット 7,35 摩擦係合部材 8 可動子としてのコイル 10 コントローラ 11,39 電磁ブレーキ 12 制御装置 16 エアシリンダ 16a ピストンロッド 17 コンプレッサ 18 2ポート電磁弁 19 電気フィードバック式レギュレータ 21 油圧シリンダ 22 空油変換器 23 アキュームレータ 32 ベッド 33 テーブル 41 複動型油圧シリンダ 41d ピストン 43 2ポート電磁弁

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 可動子と固定子とをエアギャップを隔て
    て対向するように配設し、励磁時に前記可動子側に取り
    付けた部材が前記固定子に沿って移動自在となるように
    構成したリニアモータ駆動の移動装置において、 前記可動子側の部材を支持するため、その走行方向と平
    行に配置したシリンダと、該シリンダに流体圧を供給す
    る供給源と、供給源からシリンダに接続する流路中に設
    けた調整弁手段と、前記リニアモータの通常動作時には
    前記調整弁手段を開にする信号を出力し、前記リニアモ
    ータの電源遮断時又は緊急停止時には前記調整弁手段を
    閉にするように制御する制御手段とを備えたことを特徴
    とするリニアモータ駆動の移動装置におけるブレーキ装
    置。
  2. 【請求項2】 可動子と固定子とをエアギャップを隔て
    て対向するように配設し、励磁時に前記可動子側に取り
    付けた部材が前記固定子に沿って移動自在となるように
    構成したリニアモータ駆動の移動装置において、 前記可動子側の部材を支持するため、その走行方向と平
    行に配置した複動型シリンダと、該シリンダの両ポート
    に連結した流路中に設けた調整弁手段と、前記リニアモ
    ータの通常動作時には前記調整弁手段を開にする信号を
    出力し、前記リニアモータの電源遮断時又は緊急停止時
    には前記調整弁手段を閉にするように制御する制御手段
    とを備えたことを特徴とするリニアモータ駆動の移動装
    置におけるブレーキ装置。
  3. 【請求項3】 前記可動子側の部材には、前記リニアモ
    ータの電源遮断時又は緊急停止時に、前記固定子側の部
    材に押圧する電磁ブレーキ手段を備えたことを特徴とす
    る請求項1又は請求項2に記載のリニアモータ駆動の移
    動装置におけるブレーキ装置。
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