JP2001135080A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JP2001135080A JP31538399A JP31538399A JP2001135080A JP 2001135080 A JP2001135080 A JP 2001135080A JP 31538399 A JP31538399 A JP 31538399A JP 31538399 A JP31538399 A JP 31538399A JP 2001135080 A JP2001135080 A JP 2001135080A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】データ転送速度を落とすことなく,低い周波数
で動作可能な半導体記憶装置を実現する。 【解決の手段】 DRAM動作のロウアドレスストロー
ブ動作とカラムアドレスストローブ動作の2つのクロッ
クで一連の動作を終了できる構成とする。ロウアドレス
ストローブ信号(/RAS)をローレベルとするクロッ
ク信号CLKの立ち上がりエッジから、第1の遅延素子
24で決まる遅延時間後にセンスアンプ起動信号SEを
ハイレベルにし、センスアンプ列12を活性化するタイ
ミングを発生する。また、カラムアドレスストローブ信
号(/CAS)がローレベルとなるCLK信号の立ち上
がりエッジから読み出し及び書き込み動作を開始し、読
み出しおよび書き込みが終了したことを検知して、セン
スアンプ起動信号SEをローレベル、ビット線プリチャ
ージ信号EQPRをハイレベルにし、プリチャージ動作
を開始するタイミングを得る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体記憶装置に
係り、特に、比較的低速なクロック周波数を用いて、2
サイクルのクロック信号でロウアドレス及びカラムアド
レスをラッチでき且つページ動作を行えるDRAM型の
半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体記憶装置の1つであるダイナミッ
クRAM(DRAM)は、キャパシタ上の電荷の有無の
かたちで情報の書き込み及び読み出しを行うものであ
り、書きこみ後電荷が次第に減少するため、数ミリ秒ご
とにリフレッシュつまり情報を読み出して再書き込みす
る操作が必要であり、回路が複雑なるという問題があ
る。
【0003】従来のDRAM装置の回路動作の一例につ
いて図面を参照しながら説明する。ここでは例えばDR
AM装置はスイッチングトランジスタとしてのMOSF
ETとキャパシタとで構成されている。そして、MOS
FETのゲート電極がワード線に接続され、ソースドレ
インの一方がビット線に接続されると共に、他の一方が
キャパシタの一方の電極に接続されており、クロック信
号によってワード線及びビット線の電位を制御すること
により、センスアンプによってキャパシタ上の電荷の検
出を行うように構成されている。
【0004】図11(a)および(b)は特開平1−149
767号に記載された従来のDRAM装置のデータI/O
のタイミングチャートであって、図11(a)は、読み
出し動作を示し、図11(b)は書き込み動作を示して
いる。図11(a)に示すように、読み出し動作時に
は、まず、第1のクロック信号であるCLKの立ち上が
りエッジで、第2のクロック信号である/RAS(ロウ
アドレスストローブ)信号を立ち下げることにより、こ
れまでプリチャージ状態にあったロウ系の回路が活性化
されてメモリ動作が開始され、ロウアドレスがラッチさ
れる。これにより、選択されたワード線に接続されてい
るメモリセルが活性化されるとともに、選択されたビッ
ト線対に接続されたセンスアンプが活性化される。
【0005】続いて、第1のクロック信号であるCLK
の次の立ち上がりエッジで、第3のクロック信号である
/CAS(コラムアドレスストローブ)信号を立ち下げ
ることにより、読み出し動作が開始され、コラムアドレ
スがラッチされる。このとき、ライトイネーブル信号/
WEをハイレベルとして書き込みを禁止状態(ディスエ
ーブル)とすることにより、選択されたメモリセルが接
続されているビット線対に読み出された電位差を増幅し
て有効データを確定し、さらにリードアンプ等を介して
外部に出力する。さらに、第1のクロック信号であるC
LKの次の立ち上がりエッジで/RAS信号、/CAS
信号をハイレベルにすることにより、ロウ系の回路がプ
リチャージ状態にされ、次の動作の準備が行われる。
【0006】一方、図11(b)に示すように、書き込
み動作時にも同様に、まず1のクロック信号であるCL
Kの立ち上がりエッジで、/RAS信号を立ち下げてロ
ウアドレスをラッチする。これにより、選択されたワー
ド線に接続されているメモリセルが活性化されるととも
に、選択されたビット線対に接続されたセンスアンプが
活性化される。第2のクロック信号であるCLKの次の
立ち上がりエッジで/CAS信号を立ち下げてコラムア
ドレスをラッチする。このとき、ライトイネーブル信号
/WEをローレベルとして、書き込み動作を許可状態
(イネーブル)としておき、選択されたメモリセルに保
持させる有効データをライトアンプ等から入力する。さ
らに、第1のクロック信号であるCLKの次の立ち上が
りエッジで/RAS信号、/CAS信号をハイレベルに
することにより、ロウ系の回路がプリチャージ状態にさ
れ、次の動作の準備が行われる。
【0007】なお、本明細書において、信号名の前に付
加されている記号”/”は反転を表し、ローレベルのと
きに活性状態(ローアクティブ)となる信号を表す。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のDRAM装置は、読み出し及び書き込み動作
の際にRAS、CAS、プリチャージサイクルの3サイ
クルが必要となるため、高い動作周波数が必要となり、
消費電力の増加を引き起こす。特に、DRAMの動作周
波数がシステムの周波数を決定しているような場合には
問題となる。
【0009】本発明は、前記従来の問題を解決し、デー
タ転送速度を落とすことなく,低い周波数で動作可能な
半導体記憶装置を実現することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本発明は、DRAM動作のロウアドレスストローブ
動作とカラムアドレスストローブ動作の2つのクロック
で一連の動作を終了できる構成とする。
【0011】具体的に、本発明に係る半導体記憶装置
は、複数のメモリセルを有するメモリセルアレイと、外
部からのロウアドレス信号により選択される複数のワー
ド線と、外部からの複数のカラムアドレス信号により選
択的に活性化される複数のビット線と、前記複数のビッ
ト線ごとに読み出されたデータを増幅するセンスアンプ
とを備えた半導体記憶装置において、クロック信号の第
1のエッジをトリガにして、第1の制御信号の活性化状
態に対応して前記ロウアドレス信号をラッチするロウア
ドレスラッチ手段と、前記第1の制御信号の活性化状態
に対応して前記第1のエッジから、内部回路動作で決ま
る所定期間経過後に前記センスアンプを活性化するセン
スアンプ活性化手段と、前記クロック信号の前記第1の
エッジに後続する第2のエッジをトリガにして、第2の
制御信号の活性化状態に応じて前記カラムアドレス信号
をラッチするカラムアドレスラッチ手段と、前記第2の
制御信号の活性化状態に応じて、前記第2のエッジか
ら、内部回路動作で決まる所定期間後に前記ビット線に
対してプリチャージを行うプリチャージ信号を生成する
プリチャージ信号生成手段とを具備したことを特徴とす
る。
【0012】本発明の第2では、請求項1に記載の半導
体記憶装置において、前記第1及び第2のエッジは前記
クロック信号が第1のレベルから第2のレベルに遷移す
るエッジであり、前記クロック信号、前記第1及び第2
の制御信号はそれぞれ外部から入力され、前記第2のエ
ッジをトリガにして、前記メモリセルにデータを書き込
むか否かを制御する書き込み制御信号の状態を判定し、
判定結果が、第1の状態の場合には書き込み動作を許可
する一方、前記第1の状態と異なる第2の状態の場合に
は読み出し動作を許可する制御手段を具備したことを特
徴とする。
【0013】本発明の第3では、請求項1に記載の半導
体記憶装置において、前記第2のエッジをトリガにし
て、前記第1の制御信号の状態を判定し、判定結果が、
第1の状態の場合にはページモード動作を禁止し、前記
第2のエッジが含まれるクロックサイクルにおいて前記
ビット線に対するプリチャージを許可し、次の動作に備
える一方、前記第1の状態と異なる第2の状態の場合に
はページモード動作を許可し、前記第2のエッジが含ま
れるクロックサイクルにおいて前記ビット線に対するプ
リチャージを禁止するタイミング制御手段を具備したこ
とを特徴とする。
【0014】本発明の第4では、請求項1に記載の半導
体記憶装置において、前記第1及び第2のエッジは前記
クロック信号が第1のレベルから第2のレベルに遷移す
るエッジであり、前記第2のエッジをトリガにして、第
3の制御信号を第1の状態に設定し、読み出し動作もし
くは書き込み動作が終了した際に前記第3の制御信号を
前記第1の状態と異なる第2の状態に設定する機能を有
し、前記第3の制御信号が第2の状態に設定された期間
から所定期間後に前記ビット線に対するプリチャージを
開始するようにしたことを特徴とする。
【0015】本発明の第5では、請求項4に記載の半導
体記憶装置において、さらに、前記センスアンプとデー
タ入出力回路の間に配設され、前記センスアンプのデー
タを読み書きする複数のリードライトアンプと、前記リ
ードライトアンプを制御するカラム制御回路とを具備
し、前記カラム制御回路は、前記第2のエッジをトリガ
として、前記第2の制御信号の活性化状態に応じて前記
リード・ライトアンプの動作を制御するリード・ライト
アンプ制御信号を発生し、前記リード・ライトアンプ制
御信号は、前記複数のリード・ライトアンプのうち最も
遅れて信号を受け取るリード・ライトアンプを経由し
て、前記カラム制御回路に戻され、前記カラム制御回路
に戻されたリード・ライトアンプ制御信号により、前記
第3の制御信号を前記第2の状態に設定するようにした
ことを特徴とする。
【0016】本発明の第6では、請求項1に記載の半導
体記憶装置において、さらに、前記センスアンプを活性
化するための内部クロックと、前記クロック信号の第1
のエッジをトリガにして、第1の制御信号の活性化状態
に対応して、前記第1のエッジから、所定期間経過後に
前記内部クロックを所定の状態にする第1の内部クロッ
ク発生装置と、前記第1の制御信号を前記クロック信号
に同期してラッチする第2の内部クロック発生装置とを
有し、前記第1の内部クロック発生装置は第1のフュー
ズ素子を介して前記内部クロックに結合され、前記第2
の内部クロック発生装置は第2のフューズ素子を介して
前記内部クロックに結合され、製造工程中または製造後
に、必要に応じて第1のフューズ素子もしくは第2のフ
ューズ素子が切断可能なように形成されていることを特
徴とする。
【0017】本発明の第7では、請求項6に記載の半導
体記憶装置では、前記第1のフューズ素子もしくは第2
のフューズ素子の接続状態は、配線工程で使用するリソ
グラフィ・マスクのオプションにより決定されるように
したことを特徴とする。
【0018】
【発明の実施の形態】次に、本発明の一実施形態につい
て図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の一実
施形態に係る半導体記憶装置の機能ブロック構成を示し
ている。図1に示すように、それぞれがデータを保持す
る複数のメモリセル(図示せず)を有するメモリセルア
レイ11と、前記メモリセルアレイ11と接続された、
例えば256本のブロックが32ブロック配置されるワ
ード線WLと、メモリセルアレイ11と接続された、例
えば1024対のビット線対BL、/BLと、前記ビッ
ト線対BL、/BLごとに設けられ、読み出されたメモ
リセルの微小電位を増幅してデータ値を確定するセンス
アンプ列12とが配置される。
【0019】ロウ系の回路として、各ワード線WLに
は、ワード線WLごとに設けられ、内部ロウアドレス信
号RAに基づいてワード線WLを選択するロウデコーダ
列13が接続され、前記ロウデコーダー列13には、ロ
ウアドレス端子からのロウアドレス信号RADDをラッ
チしてロウデコーダー列13に出力するロウアドレスラ
ッチ回路14が接続される。
【0020】また、カラム系の回路として、各ビット線
対BL、/BLには、センスアンプ列12が接続され、
前記センスアンプ列12とリード・ライトアンプ・カラ
ムデコーダ列15はメインデータ線MBLを介して接続
される。前記リード・ライトアンプ・カラムデコーダ列
15は内部カラムアドレス信号CAに基づいて所定のセ
ンスアンプと接続する機能を持つ。前記リード・ライト
アンプ・カラムデコーダ列15には、カラムアドレス端
子からのカラムアドレス信号CADDをラッチしてリー
ド・ライトアンプ・カラムデコーダー列15に出力する
カラムアドレスラッチ回路16が接続される。ここで、
ロウアドレス端子とカラムアドレス端子は共通端子であ
ってもよい。
【0021】リード・ライトアンプ・カラムデコーダ列
15には、データ出力回路17及びデータ入力回路18
がそれぞれ内部DI/DOを介して接続されており、読
み出し動作時には、リード・ライトアンプ・カラムデコ
ーダ列15を通じてデータ出力回路17に読み出された
内部データがデータ出力信号DOとしてデータ出力端子
に出力され、書き込み動作時には、データ入力回路18
がデータ入力端子から入力されるデータ入力信号DIを
リード・ライトアンプ・コラムデコーダ列15に出力す
る。ここで、データ入力端子と、データ出力端子は共通
端子であってもよい。リード・ライトアンプ・カラムデ
コーダ列15内には複数のライトアンプと,複数のリー
ドアンプとそれに接続される複数の第1群のデータラッ
チ回路及びさらに第1群のデータラッチ回路の出力をラ
ッチする第2群のデータラッチ回路が含まれる。この第
2群のデータラッチ回路の出力が内部DOに接続され
る。ライトアンプには内部DIが接続される。
【0022】また、データ出力端子には、データ出力禁
止手段として、OE端子からの出力イネーブル信号OE
が接続される。コマンド入力回路19には、外部制御端
子であるCLK(外部クロック)端子、/RAS(ロウ
アドレスストローブ)端子、/CAS(カラムアドレス
ストローブ)端子、/WE(ライトイネーブル)端子が
接続され、内部制御信号である、内部クロックCLK
C、内部ロウアドレスストローブ信号/RAS、内部カ
ラムアドレスストローブ信号CAS、内部ライトイネー
ブル信号WEを出力する。
【0023】そしてさらに、本実施例の特徴として、装
置の読み出し動作及び書き込み動作を規制するための種
々の制御信号を出力するタイミング制御回路100、動
作制御回路101、ロウ制御回路102、カラム制御回
路103を備えている。
【0024】タイミング制御回路100には、コマンド
入力回路19から出力された、内部クロックCLKC、
内部ロウアドレスストローブ信号/RAS、内部カラム
アドレスストローブ信号CASが入力され、DRAMの
ロウ動作のイネーブル信号である内部動作タイミング制
御クロックIRASが出力される。
【0025】動作制御回路101には、コマンド入力回
路19から出力された、内部ライトイネーブル信号W
E、タイミング制御回路100から出力された内部動作
タイミング制御クロックIRASが入力されており、読
み出し動作のために、読み出し動作フラグRENF及
び、読み出し制御信号RENが、書き込み動作のため
に、書き込み動作フラグWENF及び、書き込み制御信
号WENが、前記データ入力回路18に入力データ取り
込みフラグNWRENが出力される。
【0026】ロウ制御回路102には、タイミング制御
回路100から出力された内部動作タイミング制御クロ
ックIRASが入力されており、センスアンプ列12に
はセンスアンプ起動信号SE及びビット線プリチャージ
信号EQPRが、ロウデコーダー列13には、ワード線
ブロック活性化信号XBKが、それぞれ出力される。
【0027】カラム制御回路103には、タイミング制
御回路100から出力された内部動作タイミング制御ク
ロックIRASが、動作制御回路101から出力された
読み出し動作フラグRENF、読み出し制御信号RE
N、書き込み動作フラグWENF及び、書き込み制御信
号WENが入力され、リード・ライトアンプ・カラムデ
コーダー列15に、ライトアンプ活性信号WECON、
出力データラッチ信号DLCHA、DLCH1、リード
アンプ活性信号/MSE、メインデータ線プリチャージ
信号/PRM、カラムデコーダー列とメインデータ線M
BLを接続するカラム接続イネーブル信号YPAENが
出力される。このうちリードアンプ活性信号/MSE、
メインデータ線プリチャージ信号/PRM、カラム接続
イネーブル信号YPAENは、タイミング制御のため、
リード・ライトアンプ・カラムデコーダー列15内を走
り、最遠点からカラム制御回路103に再び入力され
る。またセンスアンプ列12に、センスアンプ選択イネ
ーブル信号/MBTENが出力される。またタイミング
制御回路100にカラム動作フラグYENが返される。
前記出力データラッチ信号DLCHAは前記第1群のデ
ータラッチ回路のラッチ制御信号、出力データラッチ信
号DLCH1は前記第2群のデータラッチ回路のラッチ
制御信号である。
【0028】図2は、本実施例に係るタイミング制御回
路100の回路構成の一例を示している。図2に示すよ
うにタイミング制御回路100には、内部クロックCL
KC、内部ロウアドレスストローブ信号/RAS、内部
カラムアドレスストローブ信号CASが入力され、内部
ロウアドレスストローブ信号/RASが第1のインバー
ター素子21に入力され、前記第1のインバーター素子
21の出力が、第1のディレイ(D)フリップフロップ
23に入力される。第1のDフリップフロップ23は、
ロード・ホールド(LH)端子がローレベルの際にデー
タの取り込みが可能となり、ハイレベルの際にはデータ
の取り込みが禁止されるロード・ホールド・リセット機
能を有する。また前記第1のDフリップフロップ23の
クロック(CK)端子には内部クロックCLKCが入力
され、内部クロックCLKCの立ち上がりエッジに同期
してデータをラッチする。前記第1のDフリップフロッ
プ23のLH端子は、第1のAND素子22の出力に接
続され、前記第1のAND素子22の入力は内部ロウア
ドレスストローブ信号/RASと内部カラムアドレスス
トローブ信号CASに接続される。第1のDフリップフ
ロップ23のリセット(R)端子はIRASリセット信
号のRSTPに接続される。
【0029】第1のDフリップフロップ23の出力の立
ち上がりエッジを所定の遅延期間遅らせるために、出力
端子には、第1の遅延素子24の入力端子と、内部動作
タイミング制御クロックIRASを出力する第2のAN
D素子25の入力端子に接続される。遅延素子24の出
力端子は第2のAND素子25の他方の入力端子に接続
される。
【0030】またタイミング制御回路100にはカラム
動作フラグYENが入力される。カラム動作フラグYE
Nは第2の遅延素子26に入力され、前記第2の遅延素
子26の出力は第2のインバータ素子27の入力及び第
1のNOR素子28の入力に接続される。前記第2のイ
ンバータ素子27の出力は第3の遅延素子29の入力に
接続され、前記第3の遅延素子29の出力は前記第1の
NOR素子28の入力に接続される。前記第1のNOR
素子28の入力はさらにクロック同期式である第2のD
フリップフロップ30の出力が接続される。前記第2の
Dフリップフロップ30のD端子には前記第1のインバ
ーター素子21の出力が接続され、CK端子は内部クロ
ックCLKCに接続される。
【0031】図3は、本実施例に係る動作制御回路10
1の回路構成の一例を示している。図3に示すように動
作制御回路101には、内部クロックCLKC、内部カ
ラムアドレスストローブ信号CAS、内部動作タイミン
グ制御クロックIRAS、内部ライトイネーブル信号W
Eが入力される。本動作制御回路21が出力する読み出
し制御信号REN及び書き込み制御信号WENについ
て、これらの信号をリセットするリセット回路が含まれ
る。前記リセット回路は、第4の遅延素子31、第3の
インバーター素子32、第1のOR素子33からなり、
内部クロックCLKCが、前記第4の遅延素子31及び
第1のOR素子33に入力され、前記第4の遅延素子3
1の出力が前記第3のインバータ32に入力され、前記
第3のインバータ32の出力が、前記第1のOR素子3
3に入力される構成をなす。第1のNAND素子34の
出力端子は前記入力データ取り込みフラグNWRENに
接続され、3つの入力端子はそれぞれ内部カラムアドレ
スストローブ信号CAS、内部動作タイミング制御クロ
ックIRAS、内部ライトイネーブル信号WEに接続さ
れる。第2のNAND素子35の3つの入力端子はそれ
ぞれ内部カラムアドレスストローブ信号CAS、内部動
作タイミング制御クロックIRAS、内部ライトイネー
ブル信号WEに接続され、出力端子は、第3のDフリッ
プフロップ36及び第4のDフリップフロップ37に接
続される。前記第3のDフリップフロップ36は、ロー
アクティブセット機能付きの同期型フリップフロップで
あり、NS端子がローレベルの際にはクロックに無関係
にNQ端子がローレベルにされる。またデータの取り込
みはCK端子の立ち上がりエッジに同期して行われる。
NQ端子はCK端子の立ち上がりに同期してD端子の逆
相を出力する端子である。前記第3のDフリップフロッ
プ36のNQ端子は第1のワンショット回路303の入
力端子に、CK端子は内部クロックCLKCに、NS端
子は前記第1のOR素子33の出力端子に接続される。
前記第4のDフリップフロップ37は、同期型フリップ
フロップでデータの取り込みはCK端子の立ち上がりエ
ッジに同期して行われる。前記第4のDフリップフロッ
プ37のNQ端子は書き込み動作フラグWENFに、C
K端子は内部クロックCLKCにそれぞれ接続される。
第3のNAND素子38の3つの入力端子はそれぞれ内
部カラムアドレスストローブ信号CAS、内部動作タイ
ミング制御クロックIRAS、第4のインバーター素子
39を介して内部ライトイネーブル信号WEに接続さ
れ、出力端子は、第5のDフリップフロップ300及び
第6のDフリップフロップ301に接続される。前記第
5のDフリップフロップ300は、前記第3のDフリッ
プフロップ36と同様の機能を有する。前記第5のDフ
リップフロップ300のNQ端子は第2のワンショット
回路302の入力端子に、CK端子は内部クロックCL
KCに、NS端子は前記第1のOR素子33の出力端子
に接続される。前記第6のDフリップフロップ301
は、同期型フリップフロップでデータの取り込みはCK
端子の立ち上がりエッジに同期して行われる。前記第6
のDフリップフロップ301のNQ端子は読み込み動作
フラグRENFに、CK端子は内部クロックCLKCに
それぞれ接続される。第1のワンショット回路303の
出力端子は書き込み制御信号WENに接続される。第2
のワンショット回路302の出力端子は読み出し制御信
号RENに接続される。
【0032】図4は、第1のワンショット回路303の
回路構成の一例を示している。図4に示すように第1の
ワンショット回路303は、第5の遅延素子41、第5
のインバーター素子42、第3のAND素子43から構
成される。入力端子Iは、前記第5の遅延素子41、前
記第3のAND素子43の入力端子に接続され、前記第
5の遅延素子41の出力端子は、前記第5のインバータ
ー素子42の入力端子に接続される。前記第5のインバ
ーター素子42の出力端子は前記第3のAND素子43
の入力端子に接続され、前記第3のAND素子43の出
力端子は、前記第1のワンショット回路303の出力端
子Oとなる。前記第1のワンショット回路303は、入
力端子Iの立ち上がりエッジから前記第5の遅延素子4
1で決まる遅延時間τのパルスを発生する回路構成をな
す。
【0033】前記第2のワンショット回路等本明細書に
に示されるワンショット回路は図4に示される回路と同
様の構成をなし、遅延時間τは目的に応じて設定され
る。図5は、本実施例に係るカラム制御回路103の回
路構成の一例を示している。図5に示すようにカラム制
御回路103には、読み出し動作フラグRENF及び、
読み出し制御信号REN、書き込み動作フラグWENF
及び、書き込み制御信号WEN、内部動作タイミング制
御クロックIRASが入力される。書き込み制御信号W
ENが第6の遅延素子50に入力され、前記第6の遅延
素子50の出力は第1のセットリセットフリップフロッ
プ(以後SRフリップフロップと略す)51のS(セッ
ト)入力に接続される。前記第1のSRフリップフロッ
プの出力Qは第7の遅延素子52及び第2のOR素子5
3に入力される。また前記第7の遅延素子52の出力は
前記第2のOR素子53に入力される。さらに前記第2
のOR素子53の出力は第8の遅延素子54及び第3の
OR素子55に入力される。また前記第8の遅延素子5
4の出力は前記第3のOR素子55に入力される。読み
出し制御信号RENは第3のワンショット回路56に入
力される。前記第3のワンショット回路56の出力は第
2のSRフリップフロップ57のS入力に入力される。
【0034】前記第3のOR素子55及び前記第2のS
Rフリップフロップ57の各出力は第2のNOR素子5
8に入力される。前記第2のNOR素子58の出力は前
記センスアンプ選択イネーブル信号/MBTENであ
る。センスアンプ選択イネーブル信号/MBTENは、
前記センスアンプ列12に入力され、センスアンプとメ
インデータ線MBLを接続するゲートのスイッチトラン
ジスタ(図示せず)のイネーブル信号の機能を持つ。本
信号は、センスアンプ列12のブロック内を通過し、本
図5に示されるカラム制御回路103に再び入力され
る。
【0035】再び入力された前記センスアンプ選択イネ
ーブル信号/MBTENは第6のインバーター素子59
に入力され、本素子の出力は、第4のOR素子500及
び第3のSRフリップフロップ501のS入力に入力さ
れる。前記第4のOR素子500にはさらに第7のイン
バーター素子502を介して前記内部動作タイミング制
御クロックIRASが入力され、出力は前記第1のSR
フリップフロップ51、前記第2のSRフリップフロッ
プ57及び第4のSRフリップフロップ503のR(リ
セット)端子に入力される。前記第4のSRフリップフ
ロップ503のS端子は書き込み制御信号WENが入力
され、出力端子Qは第3のNOR素子504に入力され
る。第4のAND素子505には書き込み動作フラグW
ENF及び第8のインバーター素子506を介して前記
センスアンプ選択イネーブル信号/MBTENが入力さ
れ、出力は前記第3のNOR素子504に入力される。
前記第3のNOR素子504の出力は第4のNAND素
子522に入力される。前記第4のNAND素子522
の出力はバッファ素子507、508、509に入力さ
れる。バッファ素子507の出力がカラム動作フラグY
EN、バッファ素子508の出力がメインデータ線プリ
チャージ信号/PRM、バッファ素子509の出力がカ
ラム接続イネーブル信号YPAENとなる。前記第4の
NAND素子506の出力はさらに第5のAND素子5
10に入力され、出力はライトアンプ活性信号WECO
Nとなり、他方の入力には書き込み動作フラグWENF
が入力される。
【0036】第6のAND素子511には読み出し動作
フラグRENF及び第3のSRフリップフロップ501
の出力Qが入力され、出力端子は第9の遅延素子512
及び第9のインバーター素子523を介して第5のOR
素子513に入力される。前記第9の遅延素子512の
出力は第10のインバーター素子514に入力される。
前記第6のインバーター素子514の出力はリードアン
プ活性信号/MSEとしてリード・ライトアンプ・カラ
ムデコーダ列15に入力される。入力後リードアンプ活
性信号/MSEはリード・ライトアンプ・カラムデコー
ダ列15のブロック内を通過し、本図5に示されるカラ
ム制御回路103に再び入力される。再び入力された前
記リードアンプ活性信号/MSEは、第10の遅延素子
515に入力され、前記第10の遅延素子515の出力
は第11のインバーター素子516に入力される。前記
第11のインバーター素子516の出力は出力データラ
ッチ信号DLCHAとしてリード・ライトアンプ・カラ
ムデコーダ列15に入力される。入力後出力データラッ
チ信号DLCHAはリード・ライトアンプ・カラムデコ
ーダ列15のブロック内を通過し、本図5に示されるカ
ラム制御回路103に再び入力される。再び入力された
前記出力データラッチ信号DLCHAは、前記第5のO
R素子513及び第6のOR素子517に入力される。
前記第6のOR素子517には、さらに第12のインバ
ーター素子518を介して読み出し動作フラグRENF
及び前記第7のインバーター素子502の出力が入力さ
れる。前記第5のOR素子513の出力は出力データラ
ッチ信号DLCH1であり、リード・ライトアンプ・カ
ラムデコーダ列15に入力される。入力後出力データラ
ッチ信号DLCH1はリード・ライトアンプ・カラムデ
コーダ列15のブロック内を通過し、本図5に示される
カラム制御回路103に再び入力される。再び入力され
た前記出力データラッチ信号DLCH1は、第13のイ
ンバーター素子519に入力される。前記第13のイン
バーター素子519の出力は第4のNOR素子520に
入力される。前記第4のNOR素子520の入力にはさ
らに読み出し制御信号REN及び第7のAND素子52
1の出力が入力される。前記第4のNOR素子520の
出力は前記第4のNAND素子522に入力される。前
記第7のAND素子521には前記読み出し動作フラグ
RENF及び前記第6のインバーター素子59の出力が
入力される。
【0037】図6は本発明に係るロウ制御回路102の
の回路構成の一例を示している。第11の遅延素子61
及び第5のNAND素子62には内部動作タイミング制
御クロックIRASが入力され、前記第11の遅延素子
61の出力は前記第5のNAND素子62に入力され
る。さらに前記第5のNAND素子62の出力は第12
の遅延素子63及び第8のAND素子64に入力され、
前記第12の遅延素子63の出力は前記第8のAND素
子64に入力される。第5のSRフリップフロップ66
のS(セット)端子には前記第8のAND素子64の出
力が、R(リセット)端子には内部動作タイミング制御
クロックIRASが入力される。前記第4のSRフリッ
プフロップ66の出力はビット線プリチャージ信号EQ
PRとなる。またさらに第14のインバーター素子67
を介してワード線ブロック活性化信号XBKとなる。ま
た前記第8のAND素子64の出力は第15のインバー
ター素子65を介してセンスアンプ起動信号SEとな
る。
【0038】図7は本発明に係るリード・ライトアンプ
・カラムデコーダ列15の内部ブロック構成を示してい
る。リード・ライトアンプ・カラムデコーダ列15はカ
ラム単位ブロック70が複数個配置される構成となる。
71はカラムデコーダ、72はリードアンプ、73は前
記第1群のデータラッチ回路、74は前記第2群のデー
タラッチ回路、75はライトアンプ、76はメインデー
タ線プリチャージ回路である。カラムデコーダ71はメ
インデータ線MBLと、リードアンプ72及びライトア
ンプ75に接続され、カラム接続イネーブル信号YPA
ENはハイレベルの際にメインデータ線MBLとリード
アンプ72及びイトアンプ75を選択的に接続する機能
を持つ。リードアンプの出力端子は第1群のデータラッ
チ回路73に入力され、さらに第1群のデータラッチ回
路73の出力は第2群のデータラッチ回路74に入力さ
れる。ライトアンプの入力には内部データ入力信号の内
部DIが、第2群のデータラッチ回路74の出力には内
部データ出力信号の内部DOが接続される。第1群デー
タラッチ回路73及び第2群のデータラッチ回路74は
制御信号がハイレベルの際にデータを保持し、ローレベ
ルの際に入力データを出力する機能を持つ。メインデー
タ線プリチャージ回路76はメインデータ線プリチャー
ジ信号/PRMがローレベルの際にメインデータ線を所
定のレベルにプリチャージする機能を有する。
【0039】カラム接続イネーブル信号YPAENは全
カラムデコーダ71に入力され、最遠部からカラム制御
回路103に戻される構成となる。この構成によりカラ
ム制御回路103にデータが戻された際には全カラムデ
コーダ71が所定の動作状態にある。
【0040】同様にリードアンプ活性化信号/MSEは
全リードアンプ72に入力され、最遠部からカラム制御
回路103に戻される構成となる。この構成によりカラ
ム制御回路103にデータが戻された際には全リードア
ンプ72が所定の動作状態にある。
【0041】同様に出力データラッチ信号DLCHAは
全第1群のデータラッチ回路73に入力され、最遠部か
らカラム制御回路103に戻される構成となる。この構
成によりカラム制御回路103にデータが戻された際に
は全第1群のデータラッチ回路73が所定の動作状態に
ある。
【0042】同様に出力データラッチ信号DLCH1は
全第2群のデータラッチ回路74に入力され、最遠部か
らカラム制御回路103に戻される構成となる。この構
成によりカラム制御回路103にデータが戻された際に
は全第1群のデータラッチ回路74が所定の動作状態に
ある。
【0043】同様にライトアンプ活性化信号WECON
は全ライトアンプ75に入力され、最遠部からカラム制
御回路103に戻される構成となる。この構成によりカ
ラム制御回路103にデータが戻された際には全リード
アンプ75が所定の動作状態にある。
【0044】以下前記のように構成された半導体記憶装
置の動作タイミングを説明する。図8は本発明による半
導体記憶装置の動作タイミングを示している。詳しい内
部動作を説明する前に各動作の入力信号のタイミングを
説明する。前記コマンド入力回路19の外部制御端子で
ある前記CLK端子、/RAS端子、/CAS端子、/
WE端子に印加する入力波形を示している。またADD
は、前記ロウアドレス端子RADD及び前記カラムアド
レス端子CADDをマルチプレクサ方式で入力した場合
のアドレス端子を示している。DI/DOは、データ入
力信号DI及びデータ出力信号DOの入出力波形を示し
ている。tA〜tLはクロック端子に入力される波形の
立ち上がりエッジで区切られたタイミングを示してい
る。
【0045】タイミングtA〜tBは通常の書き込み動
作を示している。タイミングtAのクロックの立ち上が
りエッジに前記/RAS端子をローレベル、前記/CA
S端子をハイレベルにし、前記ロウアドレス端子RAD
Dにロウアドレスを入力することで、ロウ選択動作が行
われる。次のタイミングtBのクロックの立ち上がりエ
ッジに前記/RAS端子をハイレベル、前記/CAS端
子をローレベルに、前記/WE端子にローレベルを印加
し、前記カラムアドレス端子CADDにカラムアドレス
を入力し、データ入力端子に書き込みデータ入力信号D
Iを入力することでカラム選択動作及び書き込み動作が
行われ、その後プリチャージ動作が行われる。
【0046】またタイミングtC〜tDおよびtK〜t
Lは通常の読み出し動作を示している。タイミングtC
のクロックの立ち上がりエッジに前記/RAS端子をロ
ーレベル、前記/CAS端子をハイレベルにし、前記ロ
ウアドレス端子RADDにロウアドレスを入力すること
で、ロウ選択動作が行われる。次のタイミングtDのク
ロックの立ち上がりエッジに前記/RAS端子をハイレ
ベル、前記/CAS端子をローレベルに、前記/WE端
子にハイレベルを印加し、前記カラムアドレス端子CA
DDにカラムアドレスを入力することで、カラム選択動
作及び読み出し動作が行われ、その後ビット線プリチャ
ージ動作が行われる。データ出力端子に読み出しデータ
出力信号DOが出力される。
【0047】このように本発明による半導体記憶装置は
クロック信号CLKの2つのサイクルで読み出し及び書
き込み動作を完結する事が出来る。またタイミングtE
〜tJは書き込み・読み出し混合のページモード動作を
示している。タイミングtEのクロックの立ち上がりエ
ッジに前記/RAS端子をローレベル、前記/CAS端
子をハイレベルにし、前記ロウアドレス端子RADDに
ロウアドレスを入力することで、ロウ選択動作が行われ
る。次のタイミングtFはページ読み出しのタイミング
で、クロックの立ち上がりエッジに前記/RAS端子を
ロウレベルに保持し、前記/CAS端子をローレベル
に、前記/WE端子にハイレベルを印加し、前記カラム
アドレス端子CADDにカラムアドレスを入力すること
で、カラム選択動作及び書き込み動作が行われ、データ
出力端子に読み出しデータ出力信号DOが出力される。
この際、ビット線プリチャージ動作は行われない。次の
タイミングtGはページ読み出しのためのダミーサイク
ルであり、クロックの立ち上がりエッジに前記/RAS
端子をローレベル固定、前記/CAS端子をハイレベル
にする。次のタイミングtHはページ書き込みのサイク
ルであり、クロックの立ち上がりエッジに前記/RAS
端子をロウレベルに保持し、前記/CAS端子をローレ
ベルに、前記/WE端子にローレベルを印加し、前記カ
ラムアドレス端子CADDにカラムアドレスを入力し、
データ入力端子に書き込みデータ入力信号DIを入力す
ることで、カラム選択動作及び書き込み動作が行われ
る。次のタイミングtIはページ読み出しのタイミング
であり、印加するのはタイミングtFと同様である。さ
らに次のタイミングtJは、tFページ読み出しのタイ
ミングである。このタイミングに示すようにページ動作
の終了にはクロックの立ち上がりエッジで前記/RAS
端子をハイレベルにする。
【0048】以下、前記のように構成された半導体記憶
装置の各動作における内部回路のタイミングの説明を行
う。図9は本実施例による半導体装置における通常の書
き込み動作及び読み出し動作のタイミングチャートを示
している。まず読み出し動作について図1〜図9を参照
しながら説明する。図9のタイミング図に示すように読
み出し動作時にはクロックCLKの立ち上がりエッジよ
り前に/RAS端子をローレベルにする。/RAS端子
に入力された信号は前記コマンド制御回路19に入力さ
れ内部ロウアドレスストローブ信号/RASとして出力
される。この時、前記コマンド制御回路19に入力され
る前記/CAS端子はハイレベルにされている。このク
ロックCLKの立ち上がりエッジに/RAS端子がロー
レベルで、/CAS端子がハイレベルの1クロックのタ
イミングをRASタイミングと呼ぶ。
【0049】このRASタイミングの時点まで前記第1
のNOR素子28の入力はすべてローレベルであるの
で、前記第1のDフリップフロップ23は、R端子がハ
イレベルでリセット状態となっており、Q端子はローレ
ベルを出力している。よって内部動作タイミング制御ク
ロックIRASはローレベルであり、よって第5のSR
フリップフロップ66のS端子はハイレベルで、ワード
線ブロック活性化信号XBKはローレベルでワード線W
Lは非活性状態、センスアンプ起動信号SEはローレベ
ル、ビット線プリチャージ信号EQPRはハイレベルで
ビット線プリチャージ状態にある。
【0050】前記のように/RAS端子がローレベルに
なった時点で、前記第1のDフリップフロップ23のL
H端子はローレベルとなり、ロード状態(データ受付状
態)となる。前記内部クロックCLKCはCLK端子に
バッファ接続されており、同相のクロック信号となる。
この内部クロックCLKCの立ち上がりエッジで、前記
第2のDフリップフロップ30の出力がハイレベルにな
り、IRASリセット信号RSTPはローレベルとなり
前記第1のDフリップフロップ23のリセット状態は解
除される。その後前記第1のDフリップフロップ23の
Q端子にはD端子入力状態であるハイレベルが出力され
る。前記第1の遅延素子24と前記第2のAND素子2
5により前記第1の遅延素子で決まる時間τ1だけ遅延
して前記内部動作タイミング制御クロックIRASがハ
イレベルになる。
【0051】内部動作タイミング制御クロックIRAS
がハイレベルにされると、前記ロウ制御回路102にお
いて、第6のSRフリップフロップ66のR端子がハイ
レベルになり、Q端子はローレベルを出力する。ビット
線プリチャージ信号EQPRがローレベルにされ、ビッ
ト線のプリチャージが解除される。ワード線ブロック活
性化信号XBKがハイレベルにされる。これにより所定
のワード線WLが活性化され、その結果、前記ワード線
WLに接続されている所定個のメモリセルから各メモリ
セルに接続されている各ビット線対BL、/BLに各メ
モリセルから微小の電位差が発生する。
【0052】この後、前記ロウ制御回路102内の第1
1の遅延素子61で決まる時間τ2の後にセンスアンプ
起動信号SEがハイレベルにされ、前記センスアンプ列
12内のセンスアンプが活性化される。この時間τ2の
期間は各ビット線対BL、/BLに各メモリセルから微
小の電位差がセンスアンプの感度に対して十分に出力さ
れるための期間である。
【0053】センスアンプが活性化されると各ビット線
対BL、/BLに読み出された電位差が増幅される。次
に図6に示すように通常の読み出し動作及び書き込み動
作の際には、次のクロックCLKの立ち上がりエッジま
でに/RAS端子はハイレベルに、/CAS端子をロー
レベルにされる。/WE端子は読み出し動作の際はハイ
レベルにされる。これによりカラム動作が行われる。こ
のクロックCLKの立ち上がりエッジに/RAS端子が
ハイレベルで、/CAS端子がローレベル、/WE端子
がハイレベルの1クロックのタイミングをCAS読み出
しタイミングと呼ぶ。
【0054】前記内部カラムアドレスストローブ信号C
ASはハイレベルに、前記内部ライトイネーブル信号W
Eはローレベルになり、第3のNAND素子38の出力
がローレベルとなる。内部クロックCLKCの立ち上が
りエッジで第5のDフリップフロップ300および第6
のDフリップフロップ301のD端子のデータが取り込
まれ、それぞれNQ端子にハイレベルが出力される。第
5のDフリップフロップ300の出力はワンショット回
路302に入力され、読み出し制御信号RENは、前記
ワンショット回路302で決まる時間τ3のワンショッ
トパルスとなる。第6のDフリップフロップ301の出
力である読み出し動作フラグRENFはハイレベルとな
る。
【0055】読み出し制御信号RENがハイレベルにさ
れると、第4のNOR素子520の出力はローレベル、
第4のNAND素子の出力はハイレベルになり、前記カ
ラム動作フラグYEN、メインデータ線プリチャージ信
号/PRM、カラム接続イネーブル信号YPAENがハ
イレベルとなる。メインデータ線プリチャージ信号/P
RMがハイレベルにされると、メインデータ線プリチャ
ージ回路76が非活性とされ、リードアンプとセンスア
ンプを接続するメインデータ線MBLのプリチャージが
解除される。またカラム接続イネーブル信号YPAEN
がハイレベルにされると、カラムアドレスラッチ16の
出力するカラムアドレス信号CAに基づいて所定のリー
ドアンプ72と所定のメインデータ線MBLが接続され
る。
【0056】一方、読み出し制御信号RENに接続され
る第3のワンショット回路56の出力により第2のSR
フリップフロップ57はセットされ、ハイレベルを出力
する。よって第2のNOR素子58からセンスアンプ選
択イネーブル信号/MBTENがローレベルになる。
【0057】このセンスアンプ選択イネーブル信号/M
BTENがローレベルにされると、選択された所定のメ
インデータ線MBLと所定のセンスアンプの接続が行わ
れる。接続が行われると、活性化されている各センスア
ンプから各メインデータ線MBLに電位差が発生する。
前記センスアンプ選択イネーブル信号/MBTENはセ
ンスアンプ列12内を通過し、所定のセンスアンプとメ
インデータ線MBLの接続を行った後、再びカラム制御
回路103に戻る。
【0058】戻ったセンスアンプ選択イネーブル信号/
MBTENにより第3のSRフリップフロップ501が
セットされ、ハイレベルが出力される。これを受け第9
の遅延素子512で決まる遅延時間の後にリードアンプ
活性信号/MSEがハイレベルにされる。この第9の遅
延素子512の遅延時間は、各センスアンプのデータが
各メインデータ線MBLにリードアンプで読み出し可能
な電位まで読み出される期間に決められる。
【0059】リードアンプ活性信号/MSEがハイレベ
ルにされ、前記リード・ライトアンプ・カラムデコーダ
列15内のリードアンプ72が活性化されデータが読み
出される。リードアンプ活性信号/MSEはリード・ラ
イトアンプ・カラムデコーダ列15内を通過し、全リー
ドアンプを活性化した後にカラム制御回路103に戻
る。
【0060】また第3のSRフリップフロップ501が
セットされると、出力データラッチ信号DLCH1がロ
ーレベルにされ、は前記第2群のデータラッチ回路74
のラッチが解除され、データスルーの状態となる。出力
データラッチ信号DLCHAはこの時点ではローレベル
にあるので、前記第1群のデータラッチ回路73はスル
ーの状態にあり、リードアンプのデータを出力してい
る。このデータを受ける前記第2群のデータラッチ回路
74はラッチが解除され、内部DOを介してデータ出力
回路17に読み出しデータが出力される。ここで出力イ
ネーブル信号OEがハイレベルにされるとデータ出力端
子DOにデータが出力される。
【0061】カラム制御回路103に戻ったリードアン
プ活性信号/MSEから第10の遅延素子515で決ま
る期間の後に、出力データラッチ信号DLCHAはハイ
レベルにされ、リードアンプのデータが前記第1群のデ
ータラッチ回路73にラッチされる。出力データラッチ
信号DLCHAは、リード・ライトアンプ・カラムデコ
ーダ列15内を通過し、前記第1群のデータラッチ回路
73の全データラッチ回路をラッチ状態にした後にカラ
ム制御回路103に戻る。
【0062】カラム制御回路103に戻った出力データ
ラッチ信号DLCHAにより出力データラッチ信号DL
CH1がハイレベルにされる。前記第1群のデータラッ
チ回路73のラッチしたデータが前記第2群のデータラ
ッチ回路74にラッチされ、出力データが保持される。
出力データラッチ信号DLCH1は、リード・ライトア
ンプ・カラムデコーダ列15内を通過し、前記第2群の
データラッチ回路74の全データラッチ回路をラッチ状
態にした後にカラム制御回路103に戻る。
【0063】出力データラッチ信号DLCH1がカラム
制御回路103に戻った時点でカラム動作が終了し、前
記第13のインバーター素子519、第4のNOR素子
520及び第4のNAND素子522より前記カラム動
作フラグYEN、メインデータ線プリチャージ信号/P
RM、カラム接続イネーブル信号YPAENがローレベ
ルとなる。これを受けメインデータ線プリチャージ回路
76が活性化されてリードアンプとセンスアンプを接続
するメインデータ線MBLのプリチャージが開始され、
またリードアンプとセンスアンプの選択が解除される。
前記カラム動作フラグYENがハイレベルにされると、
前記第2の遅延素子26で決まる時間τ4の後に前記第
1のNOR素子28の出力に前記第3の遅延素子29で
決まる期間ハイレベルのパルス信号が出力される。この
信号は前記第1のDフリップフロップ23のリセット端
子に接続されているため前記内部動作タイミング制御ク
ロックIRASがローレベルにされる。
【0064】この前記内部動作タイミング制御クロック
IRASがローレベルにされると次のようにロウ動作が
終了する。まず第4のSRフリップフロップ66のS端
子が第12の遅延素子63で決まる期間τ5の後にハイ
レベルとなり、第4のSRフリップフロップ66のQ端
子はハイレベルになる。よってワード線ブロック活性化
信号XBKがローレベルとなり、ワード線WLがローレ
ベルにされメモリセルへの再書き込み動作が終了する。
またセンスアンプ起動信号SEはローレベルになりセン
スアンプが非活性となる。またビット線プリチャージ信
号EQPRはハイレベルとなり、ビット線対BL、/B
Lがプリチャージ状態にされ、次の動作の準備が行われ
る。
【0065】次のクロックの立ち上がりエッジで読み出
し動作フラグRENFがローレベルにされる。次に書き
込み動作について図1〜図9を参照しながら説明する。
読み出し動作と同様にクロックCLKの立ち上がりエッ
ジに/RAS端子がローレベルで、/CAS端子がハイ
レベルのRASタイミングを入力し、ワード線WLの選
択等ロウアドレスの選択を行う。このタイミングは前記
の読み出し動作の場合と同様であるので略す。
【0066】次に図9に示すように次のクロックCLK
の立ち上がりエッジまでに/RAS端子はハイレベル
に、/CAS端子をローレベルにされる。/WE端子は
書き込み動作の際はローレベルにされる。これによりカ
ラム動作が行われる。このクロックCLKの立ち上がり
エッジに/RAS端子がハイレベルで、/CAS端子が
ローレベル、/WE端子がローレベルの1クロックのタ
イミングをCAS書き込みタイミングと呼ぶ。
【0067】前記内部カラムアドレスストローブ信号C
AS及び前記内部ライトイネーブル信号WEはハイレベ
ルにになり、第2のNAND素子35の出力がローレベ
ルとなる。内部クロックCLKCの立ち上がりエッジで
第3のDフリップフロップ36および第4のDフリップ
フロップ37のD端子のデータが取り込まれ、それぞれ
NQ端子にハイレベルが出力される。第3のDフリップ
フロップ36の出力はワンショット回路303に入力さ
れ、書き込み制御信号WENは、前記ワンショット回路
303で決まる時間τ6のワンショットパルスとなる。
第4のDフリップフロップ37の出力である書き込み動
作フラグWENFはハイレベルとなる。
【0068】書き込み制御信号WENがハイレベルにさ
れると、第4のSRフリップフロップ503がセットさ
れ、前記第4のNAND素子522の出力がハイレベル
となり、前記カラム動作フラグYEN、メインデータ線
プリチャージ信号/PRM、カラム接続イネーブル信号
YPAENがハイレベルとなる。また前記書き込み動作
フラグWENFもハイレベルとなるためライトアンプ活
性信号WECONもまたハイレベルとなる。
【0069】メインデータ線プリチャージ信号/PRM
がハイレベルにされると、メインデータ線プリチャージ
回路76が非活性とされ、ライトアンプとセンスアンプ
を接続するメインデータ線MBLのプリチャージが解除
される。またカラム接続イネーブル信号YPAENがハ
イレベルにされると、カラムデコーダ71によりカラム
アドレスラッチ16の出力するカラムアドレス信号CA
に基づいて所定のライトアンプ75と所定のメインデー
タ線MBLが選択される。
【0070】またカラムアドレス信号CADDによって
決まる前記リード・ライトアンプ・カラムデコーダ列1
5内の所定のライトアンプ75が活性化され、前記デー
タ入力信号DIにのデータが所定のライトアンプ75に
接続される所定のメインデータ線MBLに出力される。
【0071】また書き込み制御信号WENがハイレベル
にされると、第6の遅延素子50で決まる時間τ7の後
に前記第1のSRフリップフロップ51がセットされ、
Q端子にはハイレベルが出力される。これを受け前記セ
ンスアンプ選択イネーブル信号/MBTENがハイレベ
ルにされ、メインデータ線MBLと、センスアンプ群と
が接続される。ここで前記第6の遅延素子50の遅延時
間は活性化された所定のライトアンプ75のデータが十
分にメインデータ線MBLに出力されるまでの期間とす
る。
【0072】前記センスアンプ選択イネーブル信号/M
BTENはセンスアンプ列12内を通過し、所定のセン
スアンプとメインデータ線MBLの接続を行った後、再
びカラム制御回路103に戻る。
【0073】戻された前記センスアンプ選択イネーブル
信号/MBTENにより前記第1のSRフリップフロッ
プ51及び第4のSRフリップフロップ503がリセッ
トされる。リセットされた後、前記第7の遅延素子52
及び第8の遅延素子54で決まる時間の後に前記第3の
OR素子55の出力がローレベルとなる。これを受け前
記センスアンプ選択イネーブル信号/MBTENがハイ
レベルとなる。
【0074】これを受けて前記第5のAND素子505
の出力がローレベルとなり、前記第3のNOR素子50
4の出力がハイレベルとなり前記カラム動作フラグYE
N、メインデータ線プリチャージ信号/PRM、カラム
接続イネーブル信号YPAEN、ライトアンプ活性信号
WECONがローレベルとなる。これを受けライトアン
プ75とセンスアンプを接続するメインデータ線MBL
のプリチャージが開始され、ライトアンプとセンスアン
プの選択が解除され、さらにライトアンプ75が非活性
となり、カラム動作が終了する。
【0075】前記カラム動作フラグYENがハイレベル
にされると、前記第2の遅延素子26で決まる時間の後
に前記第1のNOR素子28の出力に前記第3の遅延素
子29で決まる期間τ4の後にハイレベルのパルス信号
が出力される。この信号は前記第1のDフリップフロッ
プ23のリセット端子に接続されているため前記内部動
作タイミング制御クロックIRASがローレベルにされ
る。
【0076】この前記内部動作タイミング制御クロック
IRASがローレベルにされると次のようにロウ動作が
終了する。まず第4のSRフリップフロップ66のS端
子が第12の遅延素子63で決まる期間τ5の後にハイ
レベルとなり、第4のSRフリップフロップ66のQ端
子はハイレベルになる。よってワード線ブロック活性化
信号XBKがローレベルとなり、ワード線WLがローレ
ベルにされメモリセルへの再書き込み動作が終了する。
またセンスアンプ起動信号SEはローレベルになりセン
スアンプが非活性となる。またビット線プリチャージ信
号EQPRはハイレベルとなり、ビット線対BL、/B
Lがプリチャージ状態にされ、次の動作の準備が行われ
る。
【0077】一方ページモードを実現するためには、C
AS読み出しタイミングまたはCAS書き込みタイミン
グの際に/RAS端子をローレベルに保持すれは、前記
第1のDフリップフロップ23がリセットされず、前記
内部動作タイミング制御クロックIRASがローレベル
にされることなく、よってセンスアンプ活性信号SEは
ハイレベルに保持され、ワード線ブロック活性化信号X
BKはハイレベルに保持され、ワード線WLは選択状態
に保持される。連続したCAS読み出しタイミングまた
はCAS書き込みタイミングを行うことが可能となり、
ページモードを実現することができる。
【0078】以上説明したように、本実施形態による
と、クロック信号CLKの第1の立ち上がりエッジでロ
ウアドレス信号RADDをラッチするとともに、第2の
立ち上がりエッジでカラムアドレス信号CADDをラッ
チすることにより、DRAM装置の読み出し動作及び書
き込み動作を行うことができる。
【0079】また、クロック信号CLKの第1の立ち上
がりエッジから、第1の遅延素子24により決まる所定
の遅延時間後に内部動作タイミング制御クロックIRA
Sをハイレベルにすることにより、ビット線対BL、/
BLがプリチャージされるマージンを得ている。
【0080】また、クロック信号CLKの第2の立ち上
がりエッジで、カラム動作が開始される際にカラム動作
フラグYENがハイレベルにされる。そして、読み出し
動作の際には、センスアンプとメインデータ線の接続か
らメインアンプの活性までの期間、及びメインアンプの
活性からデータラッチまでの期間、データラッチの終了
からカラム動作フラグYENを立ち下げるまでの期間
は、制御する信号をカラム制御回路103に再び返すこ
とで各動作のタイミング関係を規定している。また書き
込み動作の際には、ライトアンプ活性化からセンスアン
プとメインデータ線を接続するまでの期間を第6の遅延
素子50で決まる期間を規定し、メインデータ線の接続
からカラム動作フラグYENを立ち下げるまでの期間は
制御する信号をカラム制御回路103に再び返すことで
規定している。このカラム動作を規定するカラム動作フ
ラグYENの立ち下がりより内部動作タイミング制御ク
ロックIRASがローレベルにされ、ロウ動作が終了さ
れ、ビット線対BL、/BLをプリチャージするタイミ
ングを得ている。
【0081】さらにクロック信号CLKの第2の立ち上
がりエッジで/RAS端子をローレベルに保持すること
でカラム動作フラグYENが立ち下がった場合でも内部
動作タイミング制御クロックIRASがローレベルにさ
れない構成とすることで、ページモード動作を実現して
いる。
【0082】従って、本実施例による半導体記憶装置
は、2クロックの動作で読み出し動作及び書き込み動作
を完結することが出来る。よってシステム全体のクロッ
ク周波数を下げてもデータ転送レートを落とすことがな
い。システムのクロック周波数を下げることでシステム
設計が容易となり、消費電流も抑えることが出来る。
【0083】図10は本発明の第2の実施形態における
タイミング制御回路100の回路図である。 図10内
の記号21〜30で示される素子群は構成・接続状態が
図2の構成と同様であるので説明は省略する。図2の構
成と異なるのは、図10には図2の回路に対して、第7
のDフリップフロップ1000、第1のフューズ素子1
001、第2のフューズ素子1002が設けられている
点である。
【0084】第2のAND素子25の出力は第2のフュ
ーズ素子1002を介して内部動作タイミング制御クロ
ックIRASに接続される。第7のDフリップフロップ
1000はクロック同期式のDフリップフロップで、入
力は第1のインバーター素子21の出力に、クロック端
子は内部クロック信号CLKCに、出力は第1のフュー
ズ素子1001に接続される。第1のフューズ素子10
01の他方の端子は内部動作タイミング制御クロックI
RASに接続される。
【0085】第1のフューズ素子1001及び第2のフ
ューズ素子1002は冗長救済等のレーザーリペア工程
で必要に応じてどちらか一方が切断される。
【0086】以上のように構成された半導体記憶装置に
ついてその動作を説明する。第2のフューズ素子100
2を切断した際には、読み出し動作および書き込み動作
のタイミングは従来の実施例のタイミングを実現でき
る。/RAS端子をローレベルにしてクロック端子CL
Kを立ち上げると、内部動作タイミング制御クロックI
RASが即座にハイレベルにされ、センスアンプが活性
化される。/RAS端子をハイレベルにしてクロック端
子CLKを立ち上げると、内部動作タイミング制御クロ
ックIRASがローレベルにされ、ビット線プリチャー
ジ動作が開始される。
【0087】また、第1のフューズ素子1001を切断
した際には、読み出し動作および書き込み動作のタイミ
ングは第1の実施例で示したような2つのクロックでの
動作を実現できる。
【0088】以上の構成にすることにより、本発明によ
る半導体記憶装置の動作クロックの周波数を必要に応じ
て変更することが出来る。よって広い周波数のシステム
に対応した半導体記憶装置を提供することが出来る。
【0089】なお、前記第1のフューズ素子1001及
び第2のフューズ素子1002は、半導体製造のリソグ
ラフィ工程で用いるマスクパターンを複数用意し、いず
れのマスクパターンを用いて形成するかで、前記第1の
フューズ素子1001及び第2のフューズ素子1002
のうちのいずれを接続するか、接続状態を規定すること
によって実現してもよい。
【0090】なお、第1の実施形態において、クロック
の同期タイミングを立ち上がりの時点としたが、立ち下
がりの時点をクロックの同期タイミングとしてもよい。
【0091】
【発明の効果】以上のように、本発明による半導体記憶
装置は、カラム動作が開始した際に立ち上がり、カラム
動作が終了した際に立ち下がる信号を設け、その信号が
立ち下がった時点から所定期間後に、ビット線のプリチ
ャージ動作を開始し、またロウ動作に関して遅延素子を
設け、ロウ動作の開始を遅らせることにより、ビット線
のプリチャージ動作の期間を実現し、2クロックでの通
常動作を行うことが出来る。データの読み出し、書き込
みに関して、必要なクロック数が少なくなることで、消
費する電力を抑えることが可能となる。よってデータ転
送レートを落とすことなく,低い周波数の動作が可能と
なる。
【0092】また、周波数の低いクロックを用いること
で、本発明による半導体記憶装置を用いたシステムの設
計を容易にすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置を示
す機能ブロック図である。
【図2】本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置にお
けるタイミング制御回路を示す回路図である。
【図3】本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置にお
ける動作制御回路を示す回路図である。
【図4】本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置にお
けるワンショット回路を示す回路図である。
【図5】本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置にお
けるカラム制御回路を示す回路図である。
【図6】本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置にお
けるロウ制御回路を示す回路図である。
【図7】本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置にお
けるリード・ライトアンプ・カラムデコーダ列15の内
部ブロック構成を示す。
【図8】本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置にお
ける書き込み・読み出し・ページモード動作を示すタイ
ミング図である。
【図9】本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置にお
ける書き込み・読み出し動作時の内部タイミング図であ
る。
【図10】本発明の第2の実施形態に係る半導体記憶装
置におけるタイミング制御回路を示す回路図である。
【図11】従来の半導体記憶装置の書き込み動作及び読
み出し動作を示すタイミング図である。
【符号の説明】
11 メモリセルアレイ 12 センスアンプ列 13 カラムデコーダー列 14 ロウアドレスラッチ回路 15 リード・ライトアンプ・カラムデコーダー列 16 カラムアドレスラッチ回路 17 データ出力回路 18 データ入力回路 19 コマンド入力回路 100 タイミング制御回路 101 動作制御回路 102 ロウ制御回路 103 カラム制御回路 21 第1のインバーター素子 22 第1のAND素子 23 第1のDフリップフロップ 24 第1の遅延素子 25 第2のAND素子 26 第2の遅延素子 27 第2のインバーター素子 28 第1のNOR素子 29 第3の遅延素子 30 第2のDフリップフロップ 31 第4の遅延素子 32 第3のインバーター素子 33 第1のOR素子 34 第1のNAND素子 35 第2のNAND素子 36 第3のDフリップフロップ 37 第4のDフリップフロップ 38 第3のNAND素子 39 第4のインバーター素子 300 第5のDフリップフロップ 301 第6のDフリップフロップ 302 第2のワンショット回路 303 第1のワンショット回路 41 第5の遅延素子 42 第5のインバーター素子 43 第3のAND素子 50 第6の遅延素子 51 第1のSRフリップフロップ 52 第7の遅延素子 53 第2のOR素子 54 第8の遅延素子 55 第3のOR素子 56 第3のワンショット回路 57 第2のSRフリップフロップ 58 第2のNOR素子 59 第6のインバーター素子 500 第4のOR素子 501 第3のSRフリップフロップ 502 第7のインバーター素子 503 第4のSRフリップフロップ 504 第3のNOR素子 505 第4のAND素子 506 第8のインバーター素子 507 バッファ素子 508 バッファ素子 509 バッファ素子 510 第5のAND素子 511 第6のAND素子 512 第9の遅延素子 513 第5のOR素子 514 第10のインバーター素子 515 第10の遅延素子 516 第11のインバーター素子 517 第6のOR素子 518 第12のインバーター素子 519 第13のインバーター素子 520 第4のNOR素子 521 第7のAND素子 522 第4のNAND素子 523 第9のインバーター素子 61 第11の遅延素子 62 第5のNAND素子 63 第12の遅延素子 65 第15のインバーター素子 64 第8のAND素子 66 第5のSRフリップフロップ 67 第14のインバーター素子 1000 第7のDフリップフロップ 1001 第1のフューズ素子 1002 第2のフューズ素子 WL ワード線 BL、/BL ビット線対 RA 内部ロウアドレス信号 RADD ロウアドレス信号 MBL メインデータ線 CA 内部カラムアドレス信号 CADD カラムアドレス信号 DO データ出力信号 DI データ入力信号 OE 出力イネーブル信号 CLK 外部クロック信号 CLKC 内部クロック信号 /RAS 内部ロウアドレスストローブ信号 CAS 内部カラムアドレスストローブ信号 WE 内部ライトイネーブル信号 IRAS 内部動作タイミング制御クロック RENF 読み出し動作フラグ REN 読み出し制御信号 WENF 書き込み動作フラグ WEN 書き込み制御信号 NWREN 入力データ取り込みフラグ SE センスアンプ起動信号 EQPR ビット線プリチャージ信号 XBK ワード線ブロック活性化信号 WECON ライトアンプ活性化信号 DLCHA、DLCH1 出力データラッチ信号 /MSE リードアンプ活性化信号 /PRM メインデータ線プリチャージ信号 YPAEN カラム接続イネーブル信号 YEN カラム動作フラグ RSTP IRASリセット信号 /MBTEN センスアンプ選択イネーブル信号
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤本 知則 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 5B024 AA01 BA07 BA09 BA21 BA23 CA07 CA15 CA27

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数のメモリセルを有するメモリセルアレ
    イと、外部からのロウアドレス信号により選択される複
    数のワード線と、外部からのカラムアドレス信号により
    選択的に活性化される複数のビット線と、前記複数のビ
    ット線ごとに読み出されたデータを増幅するセンスアン
    プとを備えた半導体記憶装置において、 クロック信号の第1のエッジをトリガにして、第1の制
    御信号の活性化状態に対応して前記ロウアドレス信号を
    ラッチするロウアドレスラッチ手段と、 前記第1の制御信号の活性化状態に対応して前記第1の
    エッジから、内部回路動作で決まる所定期間経過後に前
    記センスアンプを活性化するセンスアンプ活性化手段
    と、 前記クロック信号の前記第1のエッジに後続する第2の
    エッジをトリガにして、第2の制御信号の活性化状態に
    応じて前記カラムアドレス信号をラッチするカラムアド
    レスラッチ手段と、 前記第2の制御信号の活性化状態に応じて、前記第2の
    エッジから、内部回路動作で決まる所定期間後に前記ビ
    ット線に対してプリチャージを行うプリチャージ信号を
    生成するプリチャージ信号生成手段とを具備したことを
    特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】前記第1及び第2のエッジは前記クロック
    信号が第1のレベルから第2のレベルに遷移するエッジ
    であり、 前記クロック信号、前記第1及び第2の制御信号はそれ
    ぞれ外部から入力され、 前記第2のエッジをトリガにして、前記メモリセルにデ
    ータを書き込むか否かを制御する書き込み制御信号の状
    態を判定し、判定結果が、第1の状態の場合には書き込
    み動作を許可する一方、前記第1の状態と異なる第2の
    状態の場合には読み出し動作を許可する制御手段を具備
    したことを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装
    置。
  3. 【請求項3】前記第2のエッジをトリガにして、前記第
    1の制御信号の状態を判定し、判定結果が、第1の状態
    の場合にはページモード動作を禁止し、前記第2のエッ
    ジが含まれるクロックサイクルにおいて前記ビット線に
    対するプリチャージを許可し、次の動作に備える一方、
    前記第1の状態と異なる第2の状態の場合にはページモ
    ード動作を許可し、前記第2のエッジが含まれるクロッ
    クサイクルにおいて前記ビット線に対するプリチャージ
    を禁止するタイミング制御手段を具備したことを特徴と
    する請求項1に記載の半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】前記第1及び第2のエッジは前記クロック
    信号が第1のレベルから第2のレベルに遷移するエッジ
    であり、 前記第2のエッジをトリガにして、第3の制御信号を第
    1の状態に設定し、読み出し動作もしくは書き込み動作
    が終了した際に前記第3の制御信号を前記第1の状態と
    異なる第2の状態に設定する機能を有し、前記第3の制
    御信号が第2の状態に設定された期間から所定期間後に
    前記ビット線に対するプリチャージを開始するようにし
    たことを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】さらに、前記センスアンプとデータ入出力
    回路の間に配設され、前記センスアンプのデータを読み
    書きする複数のリードライトアンプと、前記リードライ
    トアンプを制御するカラム制御回路とを具備し、 前記カラム制御回路は、前記第2のエッジをトリガとし
    て、前記時第2の制御信号の活性化状態に応じて前記リ
    ード・ライトアンプの動作を制御するリード・ライトア
    ンプ制御信号を発生し、前記リード・ライトアンプ制御
    信号は、前記複数のリード・ライトアンプのうち最も遅
    れて信号を受け取るリード・ライトアンプを経由して前
    記カラム制御回路に戻され、 前記カラム制御回路に戻されたリード・ライトアンプ制
    御信号により、前記第3の制御信号を前記第2の状態に
    設定するようにしたことを特徴とする請求項4に記載の
    半導体記憶装置。
  6. 【請求項6】さらに、前記センスアンプを活性化するた
    めの内部クロックと、前記クロック信号の第1のエッジ
    をトリガにして、第1の制御信号の活性化状態に対応し
    て、前記第1のエッジから、所定期間経過後に前記内部
    クロックを所定の状態にする第1の内部クロック発生装
    置と、 前記第1の制御信号を前記クロック信号に同期してラッ
    チする第2の内部クロック発生装置とを有し、 前記第1の内部クロック発生装置は第1のフューズ素子
    を介して前記内部クロックに結合され、前記第2の内部
    クロック発生装置は第2のフューズ素子を介して前記内
    部クロックに結合され、 製造工程中または製造後に、必要に応じて第1のフュー
    ズ素子もしくは第2のフューズ素子が切断可能なように
    形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導
    体記憶装置。
  7. 【請求項7】前記第1のフューズ素子もしくは第2のフ
    ューズ素子の接続状態は、配線工程で使用するリソグラ
    フィ・マスクのオプションにより決定されるようにした
    ことを特徴とする請求項6に記載の半導体記憶装置。
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