JP2001124589A - 磁気式エンコーダを搭載した測量機 - Google Patents
磁気式エンコーダを搭載した測量機Info
- Publication number
- JP2001124589A JP2001124589A JP30111699A JP30111699A JP2001124589A JP 2001124589 A JP2001124589 A JP 2001124589A JP 30111699 A JP30111699 A JP 30111699A JP 30111699 A JP30111699 A JP 30111699A JP 2001124589 A JP2001124589 A JP 2001124589A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- surveying instrument
- magnet
- magnetic encoder
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C1/00—Measuring angles
- G01C1/02—Theodolites
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
- G01D5/2451—Incremental encoders
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】磁気式エンコーダを搭載し、かつバルクハウゼ
ンノイズを低減させて精度の維持が可能な測量機を提供
する。 【構成】回転磁気ドラム５３の外周面に等分割されたピ
ッチで磁化された多極磁気層５３ａと、該多極磁気層５
３ａに対向配置された、複数の磁気抵抗素子を備えた磁
気センサ５４とを備えた磁気式エンコーダが搭載された
トータルステーションにおいて、主要磁力線１１０が、
磁気センサ５４のセンサ面５４ｂに対して略平行、かつ
多極磁気層５３ａの磁力線３に対して垂直な方向に走る
ように、磁気センサ５４が装着されたアングル５６の背
面にシート磁石１１１を配置した。
ンノイズを低減させて精度の維持が可能な測量機を提供
する。 【構成】回転磁気ドラム５３の外周面に等分割されたピ
ッチで磁化された多極磁気層５３ａと、該多極磁気層５
３ａに対向配置された、複数の磁気抵抗素子を備えた磁
気センサ５４とを備えた磁気式エンコーダが搭載された
トータルステーションにおいて、主要磁力線１１０が、
磁気センサ５４のセンサ面５４ｂに対して略平行、かつ
多極磁気層５３ａの磁力線３に対して垂直な方向に走る
ように、磁気センサ５４が装着されたアングル５６の背
面にシート磁石１１１を配置した。
Description
【０００１】
【発明の技術分野】本発明は、トータルステーション、
セオドライトなどの測量機に適したエンコーダおよび磁
気式エンコーダを搭載した測量機に関する。
セオドライトなどの測量機に適したエンコーダおよび磁
気式エンコーダを搭載した測量機に関する。
【０００２】
【従来技術およびその問題点】従来のトータルステーシ
ョン、セオドライトなどの測量機の中には、測角手段と
して、インクリメンタル方式のエンコーダを搭載したも
のがある。従来は、エンコーダとして、安定性、精度な
どの点から光学式エンコーダが多用されていた。
ョン、セオドライトなどの測量機の中には、測角手段と
して、インクリメンタル方式のエンコーダを搭載したも
のがある。従来は、エンコーダとして、安定性、精度な
どの点から光学式エンコーダが多用されていた。
【０００３】光学式エンコーダと同様の角度測定手段と
して、磁気式エンコーダがある。磁気式エンコーダは、
通常、回転磁気ドラムと磁気センサを備え、回転磁気ド
ラムの外周面には、分割数Ｎ（Ｎは正の整数）にて等ピ
ッチで着磁された多極着磁層が形成され、この多極着磁
層に対向させて磁気センサが配置されている。磁気セン
サは、例えば多極着磁層のピッチよりも小さいピッチで
配置された４個の磁気抵抗素子を備え、磁気ドラムの回
転に従って変化する磁気抵抗素子の抵抗値を検知して、
磁気ドラムの回転角を多極着磁層のピッチ精度で検知
し、さらにこのピッチ間の角度を内挿演算によって検知
する構成である。測量機はその機能上かなりの高精度を
必要とするので、磁気ドラムの多極着磁層の分割数を増
やして着磁ピッチを可能な限り細かくし、磁気抵抗素子
数を増やすことが望まれる。
して、磁気式エンコーダがある。磁気式エンコーダは、
通常、回転磁気ドラムと磁気センサを備え、回転磁気ド
ラムの外周面には、分割数Ｎ（Ｎは正の整数）にて等ピ
ッチで着磁された多極着磁層が形成され、この多極着磁
層に対向させて磁気センサが配置されている。磁気セン
サは、例えば多極着磁層のピッチよりも小さいピッチで
配置された４個の磁気抵抗素子を備え、磁気ドラムの回
転に従って変化する磁気抵抗素子の抵抗値を検知して、
磁気ドラムの回転角を多極着磁層のピッチ精度で検知
し、さらにこのピッチ間の角度を内挿演算によって検知
する構成である。測量機はその機能上かなりの高精度を
必要とするので、磁気ドラムの多極着磁層の分割数を増
やして着磁ピッチを可能な限り細かくし、磁気抵抗素子
数を増やすことが望まれる。
【０００４】磁気抵抗素子を使用した磁気式エンコーダ
では、バルクハウゼンノイズが発生する。バルクハウゼ
ンノイズとは、強磁性体に磁界をかけたときの磁化曲線
において、急激な磁界変化を呈する磁化範囲では、不連
続な多極着磁層の移動（磁気ドラムの回転）にともな
い、磁化曲線に生じる微少振幅のノイズのことである。
バルクハウゼンノイズは、前記のように着磁ピッチを細
かく、磁気抵抗素子数を増やして高精度化を図れば図る
ほど生じやすく、影響が大きくなってしまう、という問
題がある。
では、バルクハウゼンノイズが発生する。バルクハウゼ
ンノイズとは、強磁性体に磁界をかけたときの磁化曲線
において、急激な磁界変化を呈する磁化範囲では、不連
続な多極着磁層の移動（磁気ドラムの回転）にともな
い、磁化曲線に生じる微少振幅のノイズのことである。
バルクハウゼンノイズは、前記のように着磁ピッチを細
かく、磁気抵抗素子数を増やして高精度化を図れば図る
ほど生じやすく、影響が大きくなってしまう、という問
題がある。
【０００５】
【発明の目的】本発明は、このような測量機における従
来技術の問題に鑑みてなされたもので、磁気式エンコー
ダを搭載し、かつバルクハウゼンノイズなどの誤差要因
を低減させて精度の維持が可能な測量機を提供すること
を目的とする。
来技術の問題に鑑みてなされたもので、磁気式エンコー
ダを搭載し、かつバルクハウゼンノイズなどの誤差要因
を低減させて精度の維持が可能な測量機を提供すること
を目的とする。
【０００６】
【発明の概要】この目的を達成する本発明は、回転磁気
ドラムの外周面に等分割されたピッチで磁化された多極
磁気層と、該多極磁気層に対向配置された、複数の磁気
抵抗素子を備えた磁気センサとを備えた磁気式エンコー
ダが搭載された測量機において、前記磁気センサの近傍
に、誤差を減少させる磁石を配置したこと、に特徴を有
する。また、本発明は、磁気式エンコーダの誤差要因に
はバルクハウゼンノイズが含まれることに鑑み、バルク
ハウゼンノイズは、ある方向に磁力を付与すると軽減す
る、という観点から、磁石を配置した。そして磁石は、
主要磁力線が、前記磁気センサのセンサ面に対して略平
行、かつ前記多極磁気層の磁力線に対して垂直な方向に
走るように配置した。この構成によれば、バルクハウゼ
ンノイズを効果的に減少させることができる。実施形態
の一つでは、前記磁気センサの背面に、シート磁石を配
置する。また、別の実施の形態では、前記磁気センサの
センサ面に、前記磁気抵抗素子を挟んで一対のシート磁
石を形成する。さらに別の実施の形態では、前記回転磁
気ドラムを回動自在に軸支する軸受けが固定された測量
機のシャーシまたはこのシャーシに対して装着されるカ
バーの一方または双方に磁石を装着する。磁石は永久磁
石または電磁石で構成できる。
ドラムの外周面に等分割されたピッチで磁化された多極
磁気層と、該多極磁気層に対向配置された、複数の磁気
抵抗素子を備えた磁気センサとを備えた磁気式エンコー
ダが搭載された測量機において、前記磁気センサの近傍
に、誤差を減少させる磁石を配置したこと、に特徴を有
する。また、本発明は、磁気式エンコーダの誤差要因に
はバルクハウゼンノイズが含まれることに鑑み、バルク
ハウゼンノイズは、ある方向に磁力を付与すると軽減す
る、という観点から、磁石を配置した。そして磁石は、
主要磁力線が、前記磁気センサのセンサ面に対して略平
行、かつ前記多極磁気層の磁力線に対して垂直な方向に
走るように配置した。この構成によれば、バルクハウゼ
ンノイズを効果的に減少させることができる。実施形態
の一つでは、前記磁気センサの背面に、シート磁石を配
置する。また、別の実施の形態では、前記磁気センサの
センサ面に、前記磁気抵抗素子を挟んで一対のシート磁
石を形成する。さらに別の実施の形態では、前記回転磁
気ドラムを回動自在に軸支する軸受けが固定された測量
機のシャーシまたはこのシャーシに対して装着されるカ
バーの一方または双方に磁石を装着する。磁石は永久磁
石または電磁石で構成できる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下図面に基づいて本発明を説明
する。図１は、本発明のエンコーダを適用したトータル
ステーションを、エンコーダの要部が見えるように一部
を切断して示した背面図、図２は同トータルステーショ
ンを、エンコーダの要部が見えるように一部を切断して
示した側面図である。
する。図１は、本発明のエンコーダを適用したトータル
ステーションを、エンコーダの要部が見えるように一部
を切断して示した背面図、図２は同トータルステーショ
ンを、エンコーダの要部が見えるように一部を切断して
示した側面図である。
【０００８】このトータルステーション１１は、周知の
通り、三脚等に装着するための底板１３、この１３に３
本の整準ねじ１５で支持された整準台１７、この整準台
１７に、鉛直軸１９を介して回転自在に軸支され、一対
の支柱を有するＵ字形状の架台（シャーシ）２１、この
架台２１の２本の支柱間に水平軸２３を介して回動自在
に軸支された視準望遠鏡２５を備えている。なお、水平
軸２３は、視準望遠鏡２５の左右に固定され、２本の支
柱に対して回動自在に支持されているが、図１には左側
の水平軸２３を示した。
通り、三脚等に装着するための底板１３、この１３に３
本の整準ねじ１５で支持された整準台１７、この整準台
１７に、鉛直軸１９を介して回転自在に軸支され、一対
の支柱を有するＵ字形状の架台（シャーシ）２１、この
架台２１の２本の支柱間に水平軸２３を介して回動自在
に軸支された視準望遠鏡２５を備えている。なお、水平
軸２３は、視準望遠鏡２５の左右に固定され、２本の支
柱に対して回動自在に支持されているが、図１には左側
の水平軸２３を示した。
【０００９】鉛直軸１９は、整準台１７に固定された鉛
直軸受け２７に回動自在に支持されている。そして架台
２１の支柱を連結する基部が、鉛直軸１９の上端部に固
定されている。水平軸２３は、架台２１の一対の支柱部
に固定された水平軸受け２９に回動自在に軸支されてい
る。このように視準望遠鏡２５は、水平軸２３、水平軸
受け２９を介して、架台２１に、互いに直交するする鉛
直軸１９および水平軸２３を軸として回動自在に支持さ
れている。
直軸受け２７に回動自在に支持されている。そして架台
２１の支柱を連結する基部が、鉛直軸１９の上端部に固
定されている。水平軸２３は、架台２１の一対の支柱部
に固定された水平軸受け２９に回動自在に軸支されてい
る。このように視準望遠鏡２５は、水平軸２３、水平軸
受け２９を介して、架台２１に、互いに直交するする鉛
直軸１９および水平軸２３を軸として回動自在に支持さ
れている。
【００１０】さらに、鉛直軸１９には、整準台１７に対
する鉛直軸１９（架台２１、視準望遠鏡２５）の回転角
（水平角）を測定する水平分度として磁気式エンコーダ
４１が装着され、水平軸２３には、架台２１に対する水
平軸２３（視準望遠鏡２５）の回転角（高度角）を測定
する垂直分度として磁気式エンコーダ５１が装着されて
いる。これらの磁気式エンコーダ４１、５１はそれぞ
れ、軸１９、２３に固定された磁気ドラム４３、５３
と、磁気ドラム４３、５３の外周面に形成された多極着
磁層に所定間隔で近接対向し、かつ軸１９、２３に対し
て約１８０゜対向位置に配置された２個の磁気センサ４
４、４５、磁気センサ５４、５５を備えている。
する鉛直軸１９（架台２１、視準望遠鏡２５）の回転角
（水平角）を測定する水平分度として磁気式エンコーダ
４１が装着され、水平軸２３には、架台２１に対する水
平軸２３（視準望遠鏡２５）の回転角（高度角）を測定
する垂直分度として磁気式エンコーダ５１が装着されて
いる。これらの磁気式エンコーダ４１、５１はそれぞ
れ、軸１９、２３に固定された磁気ドラム４３、５３
と、磁気ドラム４３、５３の外周面に形成された多極着
磁層に所定間隔で近接対向し、かつ軸１９、２３に対し
て約１８０゜対向位置に配置された２個の磁気センサ４
４、４５、磁気センサ５４、５５を備えている。
【００１１】また、詳細は図示しないが、磁気センサ４
４、４５、磁気センサ５４、５５の出力を検知して磁気
式エンコーダ４１、５１の回転角、つまり水平角、高度
角を求める演算手段を含む電子回路６１（図４参照）が
架台２１の基部に搭載されている。そして、トータルス
テーション１１を操作、制御するためのキーボードおよ
びキーボードによって入力されたデータ、測距結果など
を表示する表示器を備えた操作パネル３１、３２が、架
台２１の前後面に設けられている（図２参照）。
４、４５、磁気センサ５４、５５の出力を検知して磁気
式エンコーダ４１、５１の回転角、つまり水平角、高度
角を求める演算手段を含む電子回路６１（図４参照）が
架台２１の基部に搭載されている。そして、トータルス
テーション１１を操作、制御するためのキーボードおよ
びキーボードによって入力されたデータ、測距結果など
を表示する表示器を備えた操作パネル３１、３２が、架
台２１の前後面に設けられている（図２参照）。
【００１２】なお、図１、２において、符号３３はトー
タルステーション１１の持ち運びに利用するためのハン
ドグリップ、符号３４は、磁気式エンコーダ４１、不図
示のバッテリ等を保護するために架台２１に装着された
カバー、符号３５、３６は視準望遠鏡２５の接眼レン
ズ、対物レンズである。
タルステーション１１の持ち運びに利用するためのハン
ドグリップ、符号３４は、磁気式エンコーダ４１、不図
示のバッテリ等を保護するために架台２１に装着された
カバー、符号３５、３６は視準望遠鏡２５の接眼レン
ズ、対物レンズである。
【００１３】さらに図３、図４および図５を参照して、
本実施の形態の磁気式エンコーダの構成について説明す
る。磁気式エンコーダ４１、５１の基本構成は同一なの
で、一方の磁気式エンコーダ５１について説明する。図
３は、図１、２に示した磁気式エンコーダ５１の拡大正
面図、図４は図１における磁気式エンコーダ５１および
その周辺構造を拡大して示す断面図、図５は第１の磁気
センサ５４と多極着磁層５３ａとの関係を説明するため
の、第１の磁気センサ５４周辺の拡大図である。第１、
第２の磁気センサ５４、５５はそれぞれ、アングル５
６、５７に固定され、第１の磁気センサ５４はアングル
５６を介して架台２１に固定され、第２の磁気センサ５
５はアングル５７を介してベースプレート５８に固定さ
れている。
本実施の形態の磁気式エンコーダの構成について説明す
る。磁気式エンコーダ４１、５１の基本構成は同一なの
で、一方の磁気式エンコーダ５１について説明する。図
３は、図１、２に示した磁気式エンコーダ５１の拡大正
面図、図４は図１における磁気式エンコーダ５１および
その周辺構造を拡大して示す断面図、図５は第１の磁気
センサ５４と多極着磁層５３ａとの関係を説明するため
の、第１の磁気センサ５４周辺の拡大図である。第１、
第２の磁気センサ５４、５５はそれぞれ、アングル５
６、５７に固定され、第１の磁気センサ５４はアングル
５６を介して架台２１に固定され、第２の磁気センサ５
５はアングル５７を介してベースプレート５８に固定さ
れている。
【００１４】磁気ドラム５３の外周面には、分割数Ｎ
（Ｎは正の整数）にて等ピッチで着磁された多極着磁層
５３ａが形成されている。多極着磁層５３ａの磁極ピッ
チ（極の境界の間隔）をλとする。一方、この多極着磁
層５３ａに所定間隔で対向させて第１の磁気センサ５４
が配置されている。第１の磁気センサ５４は、平面基板
５４ａと、多極磁気層５３ａと対向する平面基板５４ａ
の一面に８個の磁気抵抗素子４ａ1、４ａ2、４ａ3、４
ａ4、４ｂ1、４ｂ2、４ｂ3、４ｂ4を備えている。そし
てこの磁気センサ５４は、磁気抵抗素子４ａ1〜４ａ4、
４ｂ1〜４ｂ4の中央に立てた垂線が磁気ドラム５３の回
転中心を通るように配置されている。なお、この磁気式
エンコーダ５１は、磁気ドラム５３が回転すると、多極
着磁層５３ａが発生する磁界３の変化に依存するλ／４
位相ずれた磁気抵抗素子４ａ1〜４ａ4、４ｂ1〜４ｂ4の
抵抗値の変化を検知して、磁気ドラム５３の回転角をλ
／４ピッチで検知するインクリメンタル方式の磁気式エ
ンコーダである。また、λ／４の間の角度は、内挿演算
によって求められる。
（Ｎは正の整数）にて等ピッチで着磁された多極着磁層
５３ａが形成されている。多極着磁層５３ａの磁極ピッ
チ（極の境界の間隔）をλとする。一方、この多極着磁
層５３ａに所定間隔で対向させて第１の磁気センサ５４
が配置されている。第１の磁気センサ５４は、平面基板
５４ａと、多極磁気層５３ａと対向する平面基板５４ａ
の一面に８個の磁気抵抗素子４ａ1、４ａ2、４ａ3、４
ａ4、４ｂ1、４ｂ2、４ｂ3、４ｂ4を備えている。そし
てこの磁気センサ５４は、磁気抵抗素子４ａ1〜４ａ4、
４ｂ1〜４ｂ4の中央に立てた垂線が磁気ドラム５３の回
転中心を通るように配置されている。なお、この磁気式
エンコーダ５１は、磁気ドラム５３が回転すると、多極
着磁層５３ａが発生する磁界３の変化に依存するλ／４
位相ずれた磁気抵抗素子４ａ1〜４ａ4、４ｂ1〜４ｂ4の
抵抗値の変化を検知して、磁気ドラム５３の回転角をλ
／４ピッチで検知するインクリメンタル方式の磁気式エ
ンコーダである。また、λ／４の間の角度は、内挿演算
によって求められる。
【００１５】８個の磁気抵抗素子４ａ1〜４ａ4、４ｂ1
〜４ｂ4は、図５に示すように、λ／４（またはλ×
（３／４））の位相差を有するＡ相、Ｂ相の二組に分け
られる。Ａ相の磁気抵抗素子４ａ1、４ａ2、４ａ3、４
ａ4と、Ｂ相の磁気抵抗素子４ｂ1、４ｂ2、４ｂ3、４ｂ
4それぞれの間隔はλ／２の等ピッチとなる。
〜４ｂ4は、図５に示すように、λ／４（またはλ×
（３／４））の位相差を有するＡ相、Ｂ相の二組に分け
られる。Ａ相の磁気抵抗素子４ａ1、４ａ2、４ａ3、４
ａ4と、Ｂ相の磁気抵抗素子４ｂ1、４ｂ2、４ｂ3、４ｂ
4それぞれの間隔はλ／２の等ピッチとなる。
【００１６】これらＡ相、Ｂ相の磁気抵抗素子４ａ1〜
４ａ4、４ｂ1〜４ｂ4は、図６に示すようにブリッジ結
線されている。そして、電子回路６１は、ブリッジ結線
された磁気抵抗素子間に定電圧Ｖを印加し、Ａ相の端子
ｅ0、ｅ１、およびＢ相の端子ｅ0′、ｅ1′に現れる電
圧に基づいて磁界の変化、つまり磁気ドラム５３の回転
角を検知する。
４ａ4、４ｂ1〜４ｂ4は、図６に示すようにブリッジ結
線されている。そして、電子回路６１は、ブリッジ結線
された磁気抵抗素子間に定電圧Ｖを印加し、Ａ相の端子
ｅ0、ｅ１、およびＢ相の端子ｅ0′、ｅ1′に現れる電
圧に基づいて磁界の変化、つまり磁気ドラム５３の回転
角を検知する。
【００１７】この実施例によれば、Ａ相の磁気抵抗素子
の抵抗値ａ1、ａ2、ａ3、ａ4は、磁気ドラム５３の回転
による磁界の変化によって、下記式のように変化する。 ａ1＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω) ａ2＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω＋π）＝Ｒ0−Ｒsin（Ｎω） ａ3＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω＋２π）＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω） ａ4＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω＋３π）＝Ｒ0−Ｒsin（Ｎω） ただし、ωは磁気ドラム５３の回転角、Ｒ0は無磁界の
ときの抵抗値、Ｒは抵抗比（係数）である。
の抵抗値ａ1、ａ2、ａ3、ａ4は、磁気ドラム５３の回転
による磁界の変化によって、下記式のように変化する。 ａ1＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω) ａ2＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω＋π）＝Ｒ0−Ｒsin（Ｎω） ａ3＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω＋２π）＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω） ａ4＝Ｒ0＋Ｒsin（Ｎω＋３π）＝Ｒ0−Ｒsin（Ｎω） ただし、ωは磁気ドラム５３の回転角、Ｒ0は無磁界の
ときの抵抗値、Ｒは抵抗比（係数）である。
【００１８】ここで、端子ｅ0と端子ｅ1の出力を差動増
幅すると、Ａ相の出力Ａoutは、 Ａout＝α×２×Ｒ×Ｖ／Ｒ0×sin（Ｎω） となる（ただし、αは増幅率）。
幅すると、Ａ相の出力Ａoutは、 Ａout＝α×２×Ｒ×Ｖ／Ｒ0×sin（Ｎω） となる（ただし、αは増幅率）。
【００１９】Ｂ相の磁気抵抗素子は、Ａ相の磁気抵抗素
子に対してπ／２ずらして配置してあるため、Ｂ相の出
力Ｂoutは、 Ｂout＝α×２×Ｒ×Ｖ／Ｒ0×cos（Ｎω） となる。
子に対してπ／２ずらして配置してあるため、Ｂ相の出
力Ｂoutは、 Ｂout＝α×２×Ｒ×Ｖ／Ｒ0×cos（Ｎω） となる。
【００２０】このＡ相の出力ＡoutおよびＢ相の出力Ｂo
utのゼロクロス点を検出すれば、磁気ドラム５３の回転
角をＮ／４単位で検出できる。つまり、分割数Ｎの４倍
まで検出ピッチを小さく、精度を高めることができる。
通常、測量機においては、Ｎ／４よりも小さい角度検出
が必要なため、分割数Ｎ以上の分割数が必要である。そ
こで、Ａ、Ｂ相に基づいた下記の内挿計算によってさら
に検出可能な分割数を増やしている。 tan-1（Ａout／Ｂout）
utのゼロクロス点を検出すれば、磁気ドラム５３の回転
角をＮ／４単位で検出できる。つまり、分割数Ｎの４倍
まで検出ピッチを小さく、精度を高めることができる。
通常、測量機においては、Ｎ／４よりも小さい角度検出
が必要なため、分割数Ｎ以上の分割数が必要である。そ
こで、Ａ、Ｂ相に基づいた下記の内挿計算によってさら
に検出可能な分割数を増やしている。 tan-1（Ａout／Ｂout）
【００２１】第２の磁気センサ５５も、第１の磁気セン
サ５４と同様の構成である。第１の磁気センサ５４との
相違は、位相調整可能に形成されている点にある。その
位相調整機構は、次の通りである。
サ５４と同様の構成である。第１の磁気センサ５４との
相違は、位相調整可能に形成されている点にある。その
位相調整機構は、次の通りである。
【００２２】第２の磁気センサ５５が固定されたベース
プレート５８は、一方の端部に形成された軸穴５８ａが
水平軸受け２９の外周に回動自在に嵌合され、水平軸受
け２９の外周と摺接しながら揺動、つまり、水平軸２３
の回転中心を回転中心として揺動可能に形成されてい
る。そしてベースプレート５８の自由端部には、回転中
心に向かって延びる長孔５８ｂと、長孔５８ｂを挟ん
で、円周方向に延びる一対の調整穴５８ｃが形成されて
いる。架台２１に回動自在に軸支された偏心ピン５９が
長孔５８ｂに嵌合し、固定ねじ６０が調整穴５８ｃを貫
通して架台２１にねじ込まれている。したがって、固定
ねじ６０を緩め、偏心ピン５９を回転させるとベースプ
レート５８が回転中心の周りを揺動し、第２の磁気セン
サ５５を多極着磁層５３ａと一定間隔を保持した円弧上
を移動させることができるので、これにより第２の磁気
センサ５５の位相を調整することができる。所望の位相
となる位置に第２の磁気センサ５５を移動したら、固定
ねじ６０をねじ込んでベースプレート５８を架台２１に
対して固定する。このように偏心ピン５９を回転させる
ことで、第２の磁気センサ５５の位相を容易に調整でき
る。
プレート５８は、一方の端部に形成された軸穴５８ａが
水平軸受け２９の外周に回動自在に嵌合され、水平軸受
け２９の外周と摺接しながら揺動、つまり、水平軸２３
の回転中心を回転中心として揺動可能に形成されてい
る。そしてベースプレート５８の自由端部には、回転中
心に向かって延びる長孔５８ｂと、長孔５８ｂを挟ん
で、円周方向に延びる一対の調整穴５８ｃが形成されて
いる。架台２１に回動自在に軸支された偏心ピン５９が
長孔５８ｂに嵌合し、固定ねじ６０が調整穴５８ｃを貫
通して架台２１にねじ込まれている。したがって、固定
ねじ６０を緩め、偏心ピン５９を回転させるとベースプ
レート５８が回転中心の周りを揺動し、第２の磁気セン
サ５５を多極着磁層５３ａと一定間隔を保持した円弧上
を移動させることができるので、これにより第２の磁気
センサ５５の位相を調整することができる。所望の位相
となる位置に第２の磁気センサ５５を移動したら、固定
ねじ６０をねじ込んでベースプレート５８を架台２１に
対して固定する。このように偏心ピン５９を回転させる
ことで、第２の磁気センサ５５の位相を容易に調整でき
る。
【００２３】次に、このトータルステーションに、バル
クハウゼンノイズを軽減することができる本発明を適用
した実施の形態について、図７〜図１０を参照して説明
する。これらの図は、水平軸２３の軸心Ｏ23で切断して
軸心Ｏ23よりも上部の構造を示す、図４同様の断面図で
ある。
クハウゼンノイズを軽減することができる本発明を適用
した実施の形態について、図７〜図１０を参照して説明
する。これらの図は、水平軸２３の軸心Ｏ23で切断して
軸心Ｏ23よりも上部の構造を示す、図４同様の断面図で
ある。
【００２４】図７に示した第１実施例は、第１の磁気セ
ンサ５４の背面に、シート磁石１１１を配置したことに
特徴を有する。シート磁石１１１は、主要磁力線１１０
が、第１の磁気センサ５４のセンサ面５４ｂ（図５参
照）に対してほぼ平行、かつ多極着磁層５３ａの磁力線
３に対して直交するように配置する。つまり、第１実施
例では、シート磁石１１１を磁極（Ｎ極、Ｓ極）が軸心
Ｏ23に沿って離反する方向に向け、センサ面５４ｂと平
行にして、第１の磁気センサ５４を挟んでアングル５６
に接着材などで固定してある。さらにシート磁石１１１
は、その外形を、全ての磁気抵抗素子４ａ1〜４ａ4、４
ｂ1〜４ｂ4を覆い得る大きさに形成してある。このシー
ト磁石１１１の配置および形状によって、主要磁力線１
１０が、全ての磁気抵抗素子４ａ1〜４ａ4、４ｂ1〜４
ｂ4のバルクハウゼンノイズを有効に減少させるように
作用する。
ンサ５４の背面に、シート磁石１１１を配置したことに
特徴を有する。シート磁石１１１は、主要磁力線１１０
が、第１の磁気センサ５４のセンサ面５４ｂ（図５参
照）に対してほぼ平行、かつ多極着磁層５３ａの磁力線
３に対して直交するように配置する。つまり、第１実施
例では、シート磁石１１１を磁極（Ｎ極、Ｓ極）が軸心
Ｏ23に沿って離反する方向に向け、センサ面５４ｂと平
行にして、第１の磁気センサ５４を挟んでアングル５６
に接着材などで固定してある。さらにシート磁石１１１
は、その外形を、全ての磁気抵抗素子４ａ1〜４ａ4、４
ｂ1〜４ｂ4を覆い得る大きさに形成してある。このシー
ト磁石１１１の配置および形状によって、主要磁力線１
１０が、全ての磁気抵抗素子４ａ1〜４ａ4、４ｂ1〜４
ｂ4のバルクハウゼンノイズを有効に減少させるように
作用する。
【００２５】図８に示した第２実施例は、第１の磁気セ
ンサ５４の平面基板５４ａに、磁気抵抗素子４ａ1〜４
ａ4、４ｂ1〜４ｂ4を挟む位置に一対のシート磁石１２
１、１２２を配置したことに特徴を有する。一対のシー
ト磁石１２１、１２２は、互いに異なる磁極Ｓ、Ｎが対
向するように配置して、主要磁力線１２０が、磁気セン
サ５４のセンサ面５４ｂに対してほぼ平行、かつ多極磁
気層５３ａの磁力線３に対して略直交する方向に発生す
るようにしてある。このシート磁石１２１、１２２は、
第１の磁気センサ５４とは別体として形成して平面基板
５４ａに接着材などで固定してあるが、第１の磁気セン
サ５４と一体に形成することも可能である。
ンサ５４の平面基板５４ａに、磁気抵抗素子４ａ1〜４
ａ4、４ｂ1〜４ｂ4を挟む位置に一対のシート磁石１２
１、１２２を配置したことに特徴を有する。一対のシー
ト磁石１２１、１２２は、互いに異なる磁極Ｓ、Ｎが対
向するように配置して、主要磁力線１２０が、磁気セン
サ５４のセンサ面５４ｂに対してほぼ平行、かつ多極磁
気層５３ａの磁力線３に対して略直交する方向に発生す
るようにしてある。このシート磁石１２１、１２２は、
第１の磁気センサ５４とは別体として形成して平面基板
５４ａに接着材などで固定してあるが、第１の磁気セン
サ５４と一体に形成することも可能である。
【００２６】図９、図１０に示した第３、第４実施例
は、永久磁石を、カバー３４または架台２１に装着した
ことに特徴を有する。第１、第２実施例は、永久磁石
が、シート磁石であること、このシート磁石を第１の磁
気センサ５４が装着されたアングル５６または第１の磁
気センサ５４自体に固定したことに特徴を有するが、第
３、第４実施例は、シート磁石でなくてもよいこと、第
１の磁気センサ５４およびアングル５６ではなく、これ
らが装着される測量機のシャーシ、カバーに装着したこ
とに特徴を有する。
は、永久磁石を、カバー３４または架台２１に装着した
ことに特徴を有する。第１、第２実施例は、永久磁石
が、シート磁石であること、このシート磁石を第１の磁
気センサ５４が装着されたアングル５６または第１の磁
気センサ５４自体に固定したことに特徴を有するが、第
３、第４実施例は、シート磁石でなくてもよいこと、第
１の磁気センサ５４およびアングル５６ではなく、これ
らが装着される測量機のシャーシ、カバーに装着したこ
とに特徴を有する。
【００２７】図９に示した第３実施例では、棒状の磁石
１３１をカバー３４の内面に装着してある。このカバー
３４は、架台２１に対して着脱可能であるから、カバー
３４を架台２１に装着したときに、磁石１３１の磁力線
１３０が、第１の磁気センサ５４のセンサ面５４ｂに対
してほぼ平行、かつ多極磁気層５３ａの磁力線３に対し
てほぼ直交する方向に発生するように配置してある。
１３１をカバー３４の内面に装着してある。このカバー
３４は、架台２１に対して着脱可能であるから、カバー
３４を架台２１に装着したときに、磁石１３１の磁力線
１３０が、第１の磁気センサ５４のセンサ面５４ｂに対
してほぼ平行、かつ多極磁気層５３ａの磁力線３に対し
てほぼ直交する方向に発生するように配置してある。
【００２８】図１０に示した第４実施例では、棒状の磁
石１４１を、架台２１に形成したくぼみにはめ込み固定
してある。この磁石１４１も、磁力線１３０が、気セン
サ５４のセンサ面５４ｂに対して略平行、かつ多極磁気
層５３ａの磁力線３に対して略直交する方向に発生する
ように位置および極性が設定されている。
石１４１を、架台２１に形成したくぼみにはめ込み固定
してある。この磁石１４１も、磁力線１３０が、気セン
サ５４のセンサ面５４ｂに対して略平行、かつ多極磁気
層５３ａの磁力線３に対して略直交する方向に発生する
ように位置および極性が設定されている。
【００２９】また本発明は、図９、図１０に示した実施
例の磁石１３１、１４１を両方とも装着してもよい。こ
れらの磁石１３１、１４１は、磁気センサ５４を挟んで
対向位置に配置されるので、対向側の極性をＮ、Ｓとす
ることでより安定した磁力線が発生し、バルクハウゼン
ノイズを効果的に減少させることができる。
例の磁石１３１、１４１を両方とも装着してもよい。こ
れらの磁石１３１、１４１は、磁気センサ５４を挟んで
対向位置に配置されるので、対向側の極性をＮ、Ｓとす
ることでより安定した磁力線が発生し、バルクハウゼン
ノイズを効果的に減少させることができる。
【００３０】以上図７〜図１０には、トータルステーシ
ョンの４個の磁気センサ４４、４５、５４、５５の内の
１個の磁気センサ５４にバルクハウゼンノイズ軽減用の
永久磁石を装着した実施例を示したが、他の磁気センサ
４４、４５、５５に対しても適用可能であり、通常適用
されることはいうまでもない。その場合、位置調整可能
な磁気センサ４５、５５に対しては、磁気センサ５５、
４５と一緒に移動する点で、第１、第２実施例の構成の
方が好ましい。
ョンの４個の磁気センサ４４、４５、５４、５５の内の
１個の磁気センサ５４にバルクハウゼンノイズ軽減用の
永久磁石を装着した実施例を示したが、他の磁気センサ
４４、４５、５５に対しても適用可能であり、通常適用
されることはいうまでもない。その場合、位置調整可能
な磁気センサ４５、５５に対しては、磁気センサ５５、
４５と一緒に移動する点で、第１、第２実施例の構成の
方が好ましい。
【００３１】また、本実施例ではバルクハウゼンノイズ
の低減について説明したが、本実施例のように磁界をか
けることにより、下記の効果がある。Ａ、Ｂ相の信号よ
りオシロスコープ上で確認できるリサージュ図形の真円
度が向上する。真円に近くなるということは、内挿演算
の信頼性が向上することになり、測角精度が向上する。
ただし、あまり強い磁界をかけるとＡ、Ｂ相の出力値が
小さくなるため、逆にノイズに弱くなることがある。し
たがって、０．５〜１０ガウス程度の磁界をかけるのが
好ましい。また、磁界をかける方法として永久磁石を使
用したが、電磁石を使用して、測角のときだけ通電して
磁界をかける構成にしてもよい。
の低減について説明したが、本実施例のように磁界をか
けることにより、下記の効果がある。Ａ、Ｂ相の信号よ
りオシロスコープ上で確認できるリサージュ図形の真円
度が向上する。真円に近くなるということは、内挿演算
の信頼性が向上することになり、測角精度が向上する。
ただし、あまり強い磁界をかけるとＡ、Ｂ相の出力値が
小さくなるため、逆にノイズに弱くなることがある。し
たがって、０．５〜１０ガウス程度の磁界をかけるのが
好ましい。また、磁界をかける方法として永久磁石を使
用したが、電磁石を使用して、測角のときだけ通電して
磁界をかける構成にしてもよい。
【００３２】以上、本発明をトータルステーションに適
用した実施例について説明したが、本発明は、レベル、
トランシットなど他の測量機に適用できることはいうま
でもない。
用した実施例について説明したが、本発明は、レベル、
トランシットなど他の測量機に適用できることはいうま
でもない。
【００３３】
【発明の効果】以上の説明から明らかな通り本発明は、
測量機に搭載した磁気式エンコーダの磁気センサ近傍
に、誤差を減少させる磁石を配置したので、外部磁気が
存在しても、微少な角度まで高精度の測角が可能にな
る。この磁石をシート磁石により形成し、磁気センサの
背面または磁気センサのセンサ面に形成すれば、磁気セ
ンサと一体として測量機に装着されるので、取付、位置
調整の手間が少なくなる。この磁石を、磁気センサが装
着される測量機本体、カバー等に対して装着すれば、大
きさ、形状の自由度が増すので、磁力の強い磁石の使用
が可能になり、磁気センサからの距離を離しても所定の
弱い磁界をかけることが可能になり、より効果的にバル
クハウゼンノイズを軽減することができる。
測量機に搭載した磁気式エンコーダの磁気センサ近傍
に、誤差を減少させる磁石を配置したので、外部磁気が
存在しても、微少な角度まで高精度の測角が可能にな
る。この磁石をシート磁石により形成し、磁気センサの
背面または磁気センサのセンサ面に形成すれば、磁気セ
ンサと一体として測量機に装着されるので、取付、位置
調整の手間が少なくなる。この磁石を、磁気センサが装
着される測量機本体、カバー等に対して装着すれば、大
きさ、形状の自由度が増すので、磁力の強い磁石の使用
が可能になり、磁気センサからの距離を離しても所定の
弱い磁界をかけることが可能になり、より効果的にバル
クハウゼンノイズを軽減することができる。
【図１】 本発明を適用した磁気式エンコーダを搭載し
たトータルステーションを、磁気式エンコーダの要部が
見えるように一部を切断して示した背面図である。
たトータルステーションを、磁気式エンコーダの要部が
見えるように一部を切断して示した背面図である。
【図２】 同トータルステーションを、磁気式エンコー
ダの要部が見えるように一部を切断して示した側面図で
ある。
ダの要部が見えるように一部を切断して示した側面図で
ある。
【図３】 図１、２に示した磁気式エンコーダの一実施
例を示す拡大正面図である。
例を示す拡大正面図である。
【図４】 図１、３に示した磁気式エンコーダの要部を
拡大して示す図である。
拡大して示す図である。
【図５】 同トータルステーションに搭載した磁気式エ
ンコーダの磁気ドラムと磁気センサとの関係を説明する
拡大図である。
ンコーダの磁気ドラムと磁気センサとの関係を説明する
拡大図である。
【図６】 同トータルステーションに搭載した磁気式エ
ンコーダの磁気抵抗素子の結線の一例を示す回路図であ
る。
ンコーダの磁気抵抗素子の結線の一例を示す回路図であ
る。
【図７】 （Ａ）は同トータルステーションの垂直分度
に適用した磁気式エンコーダの第１実施例を、水平軸の
軸心で縦断して軸心よりも上部の構造を示す部縦断断面
図であり、（Ｂ）は（Ａ）図の矢線７Ｂ方向から見たシ
ート磁石の構成を示す図である。
に適用した磁気式エンコーダの第１実施例を、水平軸の
軸心で縦断して軸心よりも上部の構造を示す部縦断断面
図であり、（Ｂ）は（Ａ）図の矢線７Ｂ方向から見たシ
ート磁石の構成を示す図である。
【図８】 （Ａ）は同トータルステーションの垂直分度
に適用した磁気式エンコーダの第２実施例を、水平軸の
軸心で縦断して軸心よりも上部の構造を示す部縦断断面
図であり、（Ｂ）は（Ａ）図の矢線８Ｂ方向から見たシ
ート磁石の構成を示す図である。
に適用した磁気式エンコーダの第２実施例を、水平軸の
軸心で縦断して軸心よりも上部の構造を示す部縦断断面
図であり、（Ｂ）は（Ａ）図の矢線８Ｂ方向から見たシ
ート磁石の構成を示す図である。
【図９】 同トータルステーションの垂直分度に適用し
た磁気式エンコーダの第３実施例を、水平軸の軸心で縦
断して軸心よりも上部の構造を示す部縦断断面図であ
る。
た磁気式エンコーダの第３実施例を、水平軸の軸心で縦
断して軸心よりも上部の構造を示す部縦断断面図であ
る。
【図１０】 同トータルステーションの垂直分度に適用
した磁気式エンコーダの第４実施例を、水平軸の軸心で
縦断して軸心よりも上部の構造を示す部縦断断面図であ
る。
した磁気式エンコーダの第４実施例を、水平軸の軸心で
縦断して軸心よりも上部の構造を示す部縦断断面図であ
る。
１１ トータルステーション １３ 底板 １５ 整準ねじ １７ 整準台 １９ 鉛直軸 ２１ 架台 ２３ 水平軸 ２５ 視準望遠鏡 ２７ 鉛直軸受け ２９ 水平軸受け ５１ 磁気式エンコーダ ５３ 磁気ドラム ５３ａ 多極着磁層 ３ 多極着磁層５３ａの磁力線 ５４ 第１の磁気センサ（検出部） ５４ｂ センサ面 ５５ 第２の磁気センサ（検出部） ４ａ1 ４ａ2 ４ａ3 ４ａ4 Ａ相の磁気抵抗素子 ４ｂ1 ４ｂ2 ４ｂ3 ４ｂ4 Ｂ相の磁気抵抗素子 １１０ 主要磁力線 １１１ シート磁石（永久磁石） １２１ １２２ シート磁石（永久磁石） １３１ １４１ 磁石（永久磁石） ６１ 電子回路（演算手段）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 見城 克彦 東京都練馬区東大泉二丁目５番２号 旭精 密株式会社内 Ｆターム(参考） 2F077 AA21 JJ01 JJ09 JJ23 NN03 NN26 PP14 QQ05 QQ10 TT06 TT16 TT21 TT42 UU21 VV21
Claims (9)
- 【請求項１】 回転磁気ドラムの外周面に等分割された
ピッチで磁化された多極磁気層と、該多極磁気層に対向
配置された、複数の磁気抵抗素子を備えた磁気センサと
を備えた磁気式エンコーダが搭載された測量機におい
て、 前記磁気センサの近傍に、誤差を減少させる磁石を配置
したこと、に特徴を有する磁気式エンコーダを搭載した
測量機。 - 【請求項２】 請求項１記載の磁気式エンコーダを搭載
した測量機において、前記誤差はバルクハウゼンノイズ
である磁気式エンコーダを搭載した測量機。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の磁気式エンコー
ダを搭載した測量機において、前記磁石は永久磁石であ
る磁気式エンコーダを搭載した測量機。 - 【請求項４】 請求項１から３のいずれか一項記載の磁
気式エンコーダを搭載した測量機において、前記磁石
は、主要磁力線が、前記磁気センサのセンサ面に対して
略平行、かつ前記多極磁気層の磁力線に対して垂直な方
向に走るように配置された磁石である磁気式エンコーダ
を搭載した測量機。 - 【請求項５】 請求項１から３のいずれか一項記載の磁
気式エンコーダを搭載した測量機において、前記磁石
は、前記磁気センサの背面に配置されたシート磁石であ
る磁気式エンコーダを搭載した測量機。 - 【請求項６】 請求項１から３のいずれか一項記載の磁
気式エンコーダを搭載した測量機において、前記磁石
は、前記磁気センサのセンサ面に、前記磁気抵抗素子を
挟んで一対形成されたシート磁石である磁気式エンコー
ダを搭載した測量機。 - 【請求項７】 請求項１から３のいずれか一項記載の磁
気式エンコーダを搭載した測量機において、前記磁石
は、前記回転磁気ドラムを回動自在に軸支する軸受けが
固定された測量機のシャーシに装着されている磁気式エ
ンコーダを搭載した測量機。 - 【請求項８】 請求項１から３のいずれか一項記載の磁
気式エンコーダを搭載した測量機において、前記磁石
は、前記回転磁気ドラムを回動自在に軸支する軸受けが
固定された測量機のシャーシに対して装着されるカバー
に対して装着されている磁気式エンコーダを搭載した測
量機。 - 【請求項９】 請求項１から３のいずれか一項記載の磁
気式エンコーダを搭載した測量機において、前記磁石
は、前記回転磁気ドラムが回動自在に軸支された軸受け
が固定された測量機のシャーシと、該シャーシに対して
装着されるカバーの両方に、前記磁気抵抗素子を挟んで
装着されている磁気式エンコーダを搭載した測量機。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30111699A JP2001124589A (ja) | 1999-10-22 | 1999-10-22 | 磁気式エンコーダを搭載した測量機 |
| US09/692,614 US6629371B1 (en) | 1999-10-22 | 2000-10-20 | Surveying instrument incorporating a magnetic incremental rotary encoder |
| DE10052150A DE10052150A1 (de) | 1999-10-22 | 2000-10-20 | Vermessungsinstrument mit einem magnetischen Inkremental-Drehcodierer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30111699A JP2001124589A (ja) | 1999-10-22 | 1999-10-22 | 磁気式エンコーダを搭載した測量機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001124589A true JP2001124589A (ja) | 2001-05-11 |
Family
ID=17893037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30111699A Withdrawn JP2001124589A (ja) | 1999-10-22 | 1999-10-22 | 磁気式エンコーダを搭載した測量機 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6629371B1 (ja) |
| JP (1) | JP2001124589A (ja) |
| DE (1) | DE10052150A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10210326B4 (de) * | 2002-03-08 | 2019-02-21 | Asm Automation Sensorik Messtechnik Gmbh | Magnetisieren von magnetischen Meßkörpern |
| US20040123684A1 (en) * | 2002-12-17 | 2004-07-01 | Excel Precision Corporation | Digital scale for linear or rotary stage |
| US20060174721A1 (en) * | 2002-12-17 | 2006-08-10 | Excel Precision Corporation | Digital scale for linear or rotary stage |
| SE0301830D0 (sv) * | 2003-06-23 | 2003-06-23 | Trimble Ab | A surveying instrument |
| DE10338265B3 (de) * | 2003-08-18 | 2005-04-07 | Balluff Gmbh | Positionsmeßsystem |
| CN100501835C (zh) * | 2005-09-30 | 2009-06-17 | 日立金属株式会社 | 磁性编码器 |
| JP4288676B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2009-07-01 | 日立金属株式会社 | 磁気エンコーダー |
| DE102007023385A1 (de) * | 2007-05-18 | 2008-11-20 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur berührungslosen Erfassung von Linear- oder Rotationsbewegungen |
| DE102012214916A1 (de) * | 2012-08-22 | 2014-03-20 | Robert Bosch Gmbh | Sensoranordnung zur Erfassung von Drehwinkeln an einem drehbewegten Bauteil |
| US11465771B2 (en) * | 2018-09-20 | 2022-10-11 | The Boeing Company | Flight control position sensor |
| CN114234023B (zh) * | 2022-01-26 | 2023-12-12 | 广东淮文科技工程有限公司 | 水利施工用坝坡倾斜角度测量装置及方法 |
Family Cites Families (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59217106A (ja) | 1983-05-26 | 1984-12-07 | Tokyo Optical Co Ltd | ホール素子を用いた測量機 |
| DE4211614C2 (de) * | 1992-04-07 | 1994-04-21 | Bosch Gmbh Robert | Meßeinrichtung zur Bestimmung eines Drehwinkels |
| EP0620416B1 (de) * | 1993-04-10 | 1997-01-02 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Magnetisches Messsystem |
| DE4316221C2 (de) * | 1993-05-14 | 1995-11-23 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| US5545985A (en) * | 1994-03-16 | 1996-08-13 | Campbell; Peter | Magnetoresistive position sensor including an encoder wherein the magnetization extends greater than 0.5 times the pole pitch below the surface |
| US6246233B1 (en) * | 1994-12-30 | 2001-06-12 | Northstar Technologies Inc. | Magnetoresistive sensor with reduced output signal jitter and temperature compensation |
| JP3516505B2 (ja) * | 1995-02-03 | 2004-04-05 | 株式会社ソキア | 測量機の目盛盤回転装置 |
| US5746005A (en) * | 1996-10-22 | 1998-05-05 | Powerhorse Corporation | Angular position sensor |
| DE19652562C2 (de) * | 1996-12-17 | 1999-07-22 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| US5949548A (en) * | 1997-01-22 | 1999-09-07 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Height sensing measurement device |
| JPH10232242A (ja) * | 1997-02-19 | 1998-09-02 | Mitsubishi Electric Corp | 検出装置 |
| DE19722016A1 (de) * | 1997-05-27 | 1998-12-03 | Bosch Gmbh Robert | Anordnung zur berührungslosen Drehwinkelerfassung |
| US6354010B1 (en) * | 1998-04-23 | 2002-03-12 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Surveying instrument |
| US6119355A (en) * | 1998-06-02 | 2000-09-19 | Trimble Navigation Limited | Audible tilt sensor calibration |
| US6138367A (en) * | 1998-08-14 | 2000-10-31 | Trimble Navigation Limited | Tilt prediction for total station |
| JP3562993B2 (ja) * | 1999-04-13 | 2004-09-08 | 三菱電機株式会社 | 磁気検出装置 |
| JP3564000B2 (ja) * | 1999-04-28 | 2004-09-08 | ペンタックス株式会社 | エンコーダ |
| JP2000314638A (ja) * | 1999-04-28 | 2000-11-14 | Asahi Optical Co Ltd | エンコーダ |
| JP2001124554A (ja) * | 1999-10-22 | 2001-05-11 | Asahi Optical Co Ltd | 磁気式エンコーダを備えた測量機 |
| JP2001343207A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-12-14 | Tokai Rika Co Ltd | 回転検出センサ |
| JP3930227B2 (ja) * | 2000-06-14 | 2007-06-13 | ペンタックス株式会社 | 磁気式エンコーダおよび磁気式エンコーダを搭載した測量機 |
-
1999
- 1999-10-22 JP JP30111699A patent/JP2001124589A/ja not_active Withdrawn
-
2000
- 2000-10-20 DE DE10052150A patent/DE10052150A1/de not_active Withdrawn
- 2000-10-20 US US09/692,614 patent/US6629371B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE10052150A1 (de) | 2001-04-26 |
| US6629371B1 (en) | 2003-10-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10309802B2 (en) | Angle sensors, systems, and methods | |
| JP2001012967A (ja) | エンコーダおよび磁気式エンコーダを搭載した測量機 | |
| US5598153A (en) | Capacitive angular displacement transducer | |
| JP3930227B2 (ja) | 磁気式エンコーダおよび磁気式エンコーダを搭載した測量機 | |
| JP3564000B2 (ja) | エンコーダ | |
| JP2000314638A (ja) | エンコーダ | |
| US20040160220A1 (en) | Arrangement for measuring the angular position of an object | |
| JP2001124589A (ja) | 磁気式エンコーダを搭載した測量機 | |
| US6600308B2 (en) | Magnetic encoder and method for reducing harmonic distortion thereof | |
| JPH11248486A (ja) | 回転シャフトの位置および速度のピックアップ | |
| JP2008151629A (ja) | 回転センサ | |
| JP2001124554A (ja) | 磁気式エンコーダを備えた測量機 | |
| US20100045287A1 (en) | Sensor | |
| JP3629242B2 (ja) | 磁気式エンコーダおよびその高調波誤差削減方法 | |
| US6070333A (en) | Electronic compass | |
| JPH11118517A (ja) | 回転体用センサ | |
| JP2004264136A (ja) | 位置検出装置 | |
| JP3814138B2 (ja) | 磁気エンコーダを内蔵した測量機 | |
| JP2001356016A (ja) | 磁気エンコーダを搭載した測量機 | |
| JP2503481B2 (ja) | 回転検出装置 | |
| US11598825B2 (en) | System for determining at least one rotation parameter of a rotating member | |
| JP2002174534A (ja) | 測量機に搭載される磁気式エンコーダ及びその加工方法 | |
| JP2002181588A (ja) | 磁気式エンコーダ | |
| JPS60170713A (ja) | 傾斜角センサ | |
| JP2003269959A (ja) | 測量機 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20050310 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060606 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20080425 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090128 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090303 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20090428 |