JP2001119252A - ゲート接地アンプおよびパターン情報読み取り装置およびその駆動方法 - Google Patents

ゲート接地アンプおよびパターン情報読み取り装置およびその駆動方法

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JP2001119252A
JP2001119252A JP29630799A JP29630799A JP2001119252A JP 2001119252 A JP2001119252 A JP 2001119252A JP 29630799 A JP29630799 A JP 29630799A JP 29630799 A JP29630799 A JP 29630799A JP 2001119252 A JP2001119252 A JP 2001119252A
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fet
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Kazufumi Yamaguchi
和文 山口
Takahiko Murata
隆彦 村田
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 MOS−FETによる自己バイアス型ゲート
接地アンプにおいて、ダイナミックレンジの拡大とS/
Nアップを可能にすること。 【解決手段】 ドライブ用MOS−FET1、前記ドラ
イブ用MOS−FETのソース、ゲート、ドレインにそ
れぞれ接続したソース抵抗5、ゲート電圧保持用コンデ
ンサ4、タップ付きの負荷抵抗2および前記ドライブ用
MOS−FETのゲートと負荷抵抗のタップ間に接続し
たゲート電圧設定用スイッチ3からゲート接地アンプを
構成し、基準信号入力に対する前記ドライブ用MOS−
FET1のドレイン電圧をゲート電圧に対して閾値電圧
分下げることによりダイナミックレンジを拡大する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はMOS−FETによ
る低入力インピーダンスのアンプ、およびこのアンプを
内蔵したパターン情報読み取り装置に関する。
【0002】
【従来の技術】MOS−FETの高い入力インピーダン
スと良好なスイッチ特性を活かして、パターン情報を読
み取る装置が開発されている。一般に、これらの装置は
アレイ状に配列した検知素子と前記検知素子の信号を順
次読み取る走査部からなる情報読み取り部と、情報読み
取り部からの信号を増幅するためのアンプ部からなる。
当然、S/Nアップと周辺回路の簡略化のために情報読
み取り部とアンプ部を同一のICチップに内蔵すること
が必要である。そのためには両部分が同一のICプロセ
スで作成できなければならない。よって、これらのパタ
ーン情報読み取りに適したMOS−FETによる高速で
動作し、且つ簡便なアンプが求められている。
【0003】パターン情報読み取り装置ではアレイ状に
配列した検知素子からの信号を順次、共通の信号ライン
に出力されるため共通信号ラインの容量は極めて大きく
なる。信号ラインの容量が大きい場合、この信号を高速
で増幅するためにはゲート接地型のMOSアンプが適当
である。
【0004】図8に示すようなドライブ用MOS−FE
T1、負荷用MOS−FET42、ドライブ用MOS−
FET1のドレイン・ゲート間に接続したゲート電圧設
定スイッチ3、ゲート電圧保持用コンデンサ4およびソ
ース抵抗5からなる自己バイアス型のMOSゲート接地
アンプが特開平7−245533号に開示されている。
入力される信号は基準電流と信号電流からなる交番信号
であり、入力端子6に入力される。制御端子10に入力
される制御信号によって基準電流のタイミングでゲート
電圧設定スイッチ3をオンさせることにより、コンデン
サ4にゲート電圧を設定し、信号電流のタイミングでス
イッチ3をオフすることによりコンデンサ4に保持され
た電圧に基づく出力電圧を端子7に得ることができる。
【0005】このアンプではドライブ用MOS−FET
1のドレイン・ゲート間をスイッチでオンさせるので、
基準電流に対する出力電圧が入出力特性における能動動
作範囲の中央に近い電圧にバイアスされるために、出力
電圧のダイナミックレンジが狭くなる欠点がある。昨
今、省エネルギーの関点からLSIの電源電圧が低くな
る傾向にあるので、低い電源電圧でも十分広いダイナミ
ックレンジが得られるアンプが求められている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】MOS−FETからな
る自己バイアスゲート接地アンプの出力電圧のダイナミ
ックレンジが狭い。特に、低い電源電圧の場合に問題で
あり、ダイナミックレンジが狭い場合、出力電圧の振幅
が制限され、各種の情報読み取り装置において重要な特
性であるS/Nが低下する。
【0007】前記自己バイアス型ゲート接地アンプが基
準電流と検知信号に基づく信号電流を受け、読み取り信
号の周期でゲート電圧設定スイッチをオン、オフさせた
場合、そのスパイクノイズにより出力信号のS/Nが低
下する。
【0008】
【課題を解決するための手段】実施の形態1における本
発明のゲート接地アンプは、ドライブ用MOS−FE
T、タップ付きの負荷抵抗、MOS−FETによるゲー
ト電圧設定スイッチ、ゲート電圧保持用コンデンサおよ
びソース抵抗からなり、前記ドライブ用MOS−FET
のソースにソース抵抗を、前記ドライブ用MOS−FE
Tのゲートにゲート電圧保持用コンデンサと前記ゲート
電圧設定用スイッチの一方の電極を、前記ドライブ用M
OS−FETのドレインには負荷抵抗を、負荷抵抗のタ
ップには前記ゲート電圧設定用スイッチの他方の電極を
それぞれ接続した回路構成である。
【0009】前記ドライブ用MOS−FETのソースに
基準電流と信号電流からなる交番信号を入力し、基準信
号の出力タイミングでゲート電圧設定用スイッチをオン
状態にすることによってゲート電圧を設定し、これをコ
ンデンサによって保持し、信号電流の入力タイミングで
前記スイッチをオフにしてドライブ用MOS−FETの
ドレインから増幅された出力電圧を得る。本実施の形態
によれば基準信号に対する前記ドレイン電圧つまり出力
電圧を前記ゲート電圧に比べて、最大でMOS−FET
の閾値電圧分だけ低い電圧に設定でき、ダイナミックレ
ンジを拡大できる。
【0010】実施の形態2における本発明のゲート接地
アンプは、ドライブ用MOS−FET、負荷抵抗、定電
圧回路、MOS−FETによるゲート電圧設定スイッ
チ、ゲート電圧保持用コンデンサおよびソース抵抗から
なり、前記ドライブ用MOS−FETのソースにソース
抵抗を、前記ドライブ用MOS−FETのゲートにゲー
ト電圧保持用コンデンサと前記ゲート電圧設定スイッチ
の一方の電極を、前記ドライブ用MOS−FETのドレ
インには正電源に向かって順に定電圧回路と負荷抵抗を
直列に接続し、定電圧回路と負荷抵抗の接続点にはゲー
ト電圧設定用スイッチの他方の電極をそれぞれ接続した
回路構成である。
【0011】前記ドライブ用MOS−FETのソースに
基準電流と信号電流からなる交番電流を入力し、基準電
流の出力タイミングでゲート電圧設定用スイッチをオン
状態にすることによってゲート電圧を設定し、コンデン
サによって保持し、信号電流の入力タイミングで前記ス
イッチをオフにしてドライブ用MOS−FETのドレイ
ンから出力電圧を得る。本実施の形態においても実施の
形態1の場合と同様にダイナミックレンジが拡大でき
る。
【0012】実施の形態3におけるパターン情報読み取
り装置は、アレイ状に配列した検知素子群、前記検知素
子のそれぞれに接続した電圧電流変換用MOS−FET
とアクセス用MOS−FET、前記アクセス用MOS−
FETのソース電極を共通に接続してなる共通信号ライ
ン、走査回路からなる情報検知読み取り部と、参照用電
圧源、電圧電流変換用MOS−FETとアクセス用MO
S−FETからなり、参照用信号電流を共通信号ライン
に出力する参照用信号電流発生部と、共通信号ラインか
らの信号を受けて動作するゲート接地アンプ部を備えて
いる。本パターン読み取り装置は信号読み取り前に、参
照用電圧源に基づく信号電流をゲート接地アンプに入力
すると同時にゲート接地アンプのゲート電圧設定用スイ
ッチをオンさせることによりゲート電圧を設定した後、
検知素子からの信号電流を走査信号に従ってアクセス用
MOS−FETを介して共通信号ラインに導きゲート接
地アンプの出力端子に増幅されたパターン情報を得るこ
とができる。
【0013】
【発明の実施の形態】本発明はライン容量の大きな信号
ラインから信号を受けて高速で動作する自己バイアス型
のゲート接地アンプに関するものであり、特に出力電圧
のダイナミックレンジを拡大することを可能にするもの
である。低い電源電圧の場合にも高いS/Nで信号を出
力できる。また、本発明は検知素子のアレイ、走査回
路、前記ゲート接地アンプからなるパターン情報読み取
り装置およびその駆動方法に関する。
【0014】以下、本発明の実施の形態について図面を
参照しながら説明する。本実施の形態ではドライブ用M
OS−FETとしてnチャンネル型を用いているが、電
源ライン、グランドラインの接続を交換すればpチャン
ネル型MOS−FETを用いることもできる。
【0015】(実施の形態1)図1(a)は本発明の実
施の形態1におけるゲート接地アンプの等価回路であ
る。ドライブ用MOS−FET1、タップ付き負荷抵抗
2、MOS−FETによるゲート電圧設定スイッチ3、
ゲート電圧保持用コンデンサ4およびソース抵抗5から
なる。本実施の形態はドライブ用MOS−FET1のソ
ースにソース抵抗5を、ドライブ用MOS−FET1の
ゲートにゲート電圧保持用コンデンサ4とゲート電圧設
定用スイッチ3の一方の電極を、ドライブ用MOS−F
ET1のドレインにはタップ付き負荷抵抗2を、タップ
付き負荷抵抗2のタップにはゲート電圧設定用スイッチ
3の他方の電極をそれぞれ接続した回路構成である。タ
ップ付き負荷抵抗2としては拡散抵抗、薄膜抵抗または
MOS−FETのソース・ドレイン間抵抗を用いること
ができる。6は信号入力(Iin)端子、7は電圧出力
(Vout)端子、8は正電源ラインVdd、9はグラ
ンドラインVss、10はゲート電圧設定用スイッチ3
の制御端子である。本回路は基本的にはゲート電圧保持
用コンデンサ4によりゲートバイアス電圧が与えられた
ドライブ用MOS−FET1とソース抵抗5は定電流回
路を構成し、信号入力端子6に信号電流が入力されると
ドライブMOS−FET1のドレイン電流が減少し、そ
の結果、負荷抵抗における電圧降下が減少して電圧出力
端子7に現れる出力電圧が増大する。
【0016】図1(b)は動作タイミング図である。制
御パルスCPが制御端子10に入力され、Iinは基準
電流Irefと信号電流Isigの交番信号であり信号
入力端子6に入力され、Voutは電圧出力端子7に現
れる出力信号である。基準電流Irefの入力タイミン
グでゲート電圧設定用スイッチ3をオンさせることによ
りタップ付き負荷抵抗2のタップとMOS−FET1の
ゲートおよびゲート電圧保持用コンデンサ4の端子を同
一の電圧にし、信号電流の入力タイミングでゲート電圧
設定スイッチ3をオフすることにより、ゲート電圧保持
用コンデンサ4に保持された電圧に基づく出力電圧を電
圧出力端子7に得ることができる。ここでは、ゲート電
圧設定スイッチ3はpチャンネル型MOS−FETであ
るから、”L”でオンする。
【0017】本発明ではタップ付き負荷抵抗2のタップ
とMOS−FET1のゲートとを基準電流のタイミング
で短絡させるため、出力信号の基準信号レベルはMOS
−FETのゲート電圧よりも低く設定できる。そのため
に、MOS−FET1のドレイン・ゲート間を短絡させ
る場合(特開平7−245533号)に比べて、出力信
号のダイナミックレンジをMOS−FET1の閾値電圧
Vtだけ広くできる。つまり、リニアな増幅をさせるた
めには負荷抵抗のタップの位置はMOS−FET1が飽
和領域で動作する範囲に限定しなければならないので、
Vd>Vg−Vtになる範囲に設定する。
【0018】図2はタップ付き負荷抵抗2を15kΩと
し、そのタップ位置を正電源側から11kΩの位置に設
け、ゲート電圧が1.6Vに設定された場合の入力電流
に対する出力電圧の関係を示す。試作したデバイスの場
合、基準電流0.43mAとしてゲート電圧設定スイッ
チ3を短絡させることによりゲート電圧を1.6Vに設
定できた。P点(1.6V)は負荷抵抗のタップの電圧
Vtapとゲート電圧Vgが一致する点を示す。基準電
流におけるMOS−FET1のドレイン電圧つまり出力
電圧Voutは実験の結果、P点より約0.6V低い電
圧、つまり約1V(Q点)になった。その結果、出力電
圧の最大値を3.0Vとすると、出力電圧のダイナミッ
クレンジは2.0Vになる。一方、従来例のようにMO
S−FET1のドレイン・ゲート間を短絡させてゲート
電圧を設定した場合、のダイナミックレンジは1.4V
である。よって、本実施の形態によりダイナミックレン
ジが43%増大した。電源電圧を低くした場合、出力電
圧の上限が抑えられるために本発明の効果は更に大きく
なる。
【0019】図3は試作デバイスにおいて、基準電流値
に対して設定されるゲート電圧Vg(プロットa)およ
びMOS−FET1のドレイン電圧Vd(プロットb)
つまり出力信号の基準値をプロットしたものである。基
準電流の増大と共に、両プロット共、それぞれの電圧は
増大し、出力電圧のダイナミックレンジが狭くなると同
時に、両プロットの間隔が狭くなっている。なお、点線
はドレイン電圧の上限である。
【0020】例えば、従来例のようにゲート電圧設定用
スイッチ3でゲート・ドレイン間を短絡した場合のダイ
ナミックレンジは設定ゲート電圧が1.4V、1.6
V、1.8Vの場合について、それぞれ1.6V、1.
4V、1.2Vになる。本実施の形態のようにゲート電
圧設定用スイッチ3でゲートと負荷抵抗のタップを短絡
した場合のダイナミックレンジは設定ゲート電圧が1.
4V、1.6V、1.8Vの場合について、それぞれ
2.3V、2.0V、1.7Vになり、いずれの設定ゲ
ート電圧の場合でも従来例の場合に比べて約43%ダイ
ナミックレンジが拡大された。
【0021】(実施の形態2)図4(a)は本発明の実
施の形態2におけるゲート接地アンプの等価回路であ
る。ドライブ用MOS−FET1、負荷抵抗21、定電
圧回路22、MOS−FETによるゲート電圧設定スイ
ッチ3、ゲート電圧保持用コンデンサ4およびソース抵
抗5からなり、ドライブ用MOS−FET1のソースに
ソース抵抗5を、ドライブ用MOS−FET1のゲート
にゲート電圧保持用コンデンサ4とゲート電圧設定用ス
イッチ3の一方の電極を、ドライブ用MOS−FET1
のドレインには正電源8に向かって順に定電圧回路22
と負荷抵抗21とを直列に接続し、定電圧回路22と負
荷抵抗21の接続点にはゲート電圧設定用スイッチ3の
他方の電極をそれぞれ接続した回路構成である。nチャ
ンネル型MOSトランジスタまたはpチャンネル型MO
Sトランジスタによって形成した定電圧回路を、それぞ
れ図4(b)および図4(c)に示す。共に、ウエル拡
散層とソースおよびドレイン拡散層との間の順方向電圧
降下を利用したものである。
【0022】図1(b)と同様に、ドライブ用MOS−
FET1のソースに基準電流Irefと信号電流Isi
gからなる交番信号を入力し、その基準電流Irefの
入力タイミングでゲート電圧設定用スイッチ3をオン状
態にすることによってゲート電圧を設定し、ゲート電圧
保持用コンデンサ4によって保持し、信号電流の入力タ
イミングで前記ゲート電圧設定スイッチ3をオフにして
ドライブ用MOS−FET1のドレインから信号電圧を
出力させる。
【0023】図5は負荷抵抗11kΩ、定電圧回路とし
てウエル拡散層とソース、ドレイン拡散層との間のp/
n接合ダイオードを用い、ゲート電圧が1.6Vに設定
された場合の入力電流に対する出力電圧を示す。試作し
たデバイスの場合、基準電流0.45mAとしてゲート
電圧設定スイッチ3を短絡させることによりゲート電圧
を1.6Vに設定できた。P点(1.6V)はゲート電
圧と、定電圧ダイオードのアノード側の電圧が一致する
点を示す。基準電流におけるMOS−FET1のドレイ
ン電圧つまり出力電圧Voutは定電圧ダイオードの電
圧降下分の約0.65V低い電圧、Q点になった。出力
電圧VoutはQ点を起点として、入力信号電流に対し
て直線性は良好である。出力電圧の最大値を2.8Vと
すると出力電圧のダイナミックレンジは1.85Vであ
る。従来例におけるMOS−FET1のドレイン・ゲー
ト間を短絡させる場合に比べて、ダイナミックレンジが
約32%増大している。
【0024】(実施の形態3)図6は本発明の実施の形
態3におけるゲート接地アンプ部と、パターン情報読み
取り部を備えたパターン読み取り装置の等価回路であ
る。30は実施の形態1で説明したゲート接地アンプで
ある。31a、31b、31cは検知素子によって発生
した電圧信号源である。32a、32b、32cは電圧
電流変換用MOS−FETであり、33a、33b、3
3cはアクセス用MOS−FETである。34はアクセ
ス用MOS−FETのソース電極を共通に接続してなる
共通信号ラインであり、ゲート接地アンプのドライブ用
MOS−FET1のソース電極に接続している。35は
順次読み取るための走査用信号を発生させる走査回路で
ある。電源36は検知素子の基準レベルの電圧に相当す
る電圧を発生させる参照用電圧源、37は前記電流電圧
変換用MOS−FET32a、32b、32cと同等の
特性の電圧電流変換用MOS−FET、38は前記アク
セス用MOS−FET33a、33b、33cと同等の
特性のアクセス用MOS−FETであり、これらの回路
はゲート接地アンプのゲート電圧を設定するためのパイ
ロット信号を発生させる回路である。端子39、40は
それぞれ走査回路を動作させるためのスタートパルス、
クロックパルスの入力端子である。
【0025】本実施の形態3では検知素子の基準電流に
近い参照用電流を発生させる参照用電圧源36、電圧電
流変換用MOS−FET37、アクセス用MOS−FE
T38によって、パターン情報読みとり前にゲート接地
アンプがリニア動作する適切なゲート電圧を設定するこ
とができる。実施の形態1または実施の形態2では図1
(b)のタイミングチャートに示すように、各検知素子
31a、31b、31cからの信号出力毎に、その前後
半でゲート電圧設定用スイッチ用3をオン、オフさせて
ゲート電圧を設定していたが、本実施の形態では、アレ
イ状に配列した検知素子31a、31b、31cからの
信号を読み取る前に、アクセス用MOS−FET38を
オンにし、パイロット信号電流をゲート接地アンプ30
に入力し、更にそのタイミングでゲート電圧設定スイッ
チをオンさせることによりコンデンサ4に適切なゲート
バイアス電圧を与えるものである。
【0026】図7は実施の形態3のパターン読み取り装
置の動作を示すタイミングチャートである。PPはアク
セス用MOS−FET33cのゲートに印加するパイロ
ットパルス、CPはゲート電圧設定スイッチ3のゲート
に印加する制御パルス、Iinは共通信号ライン34に
現れる入力信号電流、Voutは電圧出力端子7に現れ
る出力信号電圧を示す。STは読み出しスタートのタイ
ミングを示す。読み出しスタート前に、パルスPPによ
って、参照用電圧源に対応する参照用電流を発生させて
ゲート接地アンプに入力し、制御パルスCPによってM
OS−FETスイッチ3を導通させることにより、ゲー
ト電圧保持用コンデンサ4に適切なゲート電圧を設定す
る。その後、パルスCPおよびパルスPPが非アクティ
ブになり、コンデンサに設定されたゲート電圧に基づい
てゲート接地アンプ30が動作してパターン読み取り装
置の読み取り動作がスタートする。この動作においては
読み出しクロック毎にMOS−FETスイッチ3のオ
ン、オフ動作は無い。よって、高速読み出しにおいて特
に問題となる出力信号のスパイクノイズが大幅に低減で
きる。
【0027】
【発明の効果】本発明の自己バイアス型のゲート接地ア
ンプは、パターン情報を読み出し装置に内蔵でき、ライ
ン容量が大きくても高速で増幅できると同時に、出力電
圧のダイナミックレンジの拡大により出力信号のS/N
を向上させることが可能になる。
【0028】また、パターン情報読み出し装置におい
て、予め読み出し前に参照用電源に基づいてゲート接地
アンプのゲート電圧を設定でき、高速読み出し時におけ
るスパイクノイズを低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1におけるゲート接地アン
プの等価回路図とタイミング図
【図2】本発明の実施の形態1における入力電流に対す
る出力電圧特性を示す図
【図3】本発明の実施の形態1において、入力電流に対
して設定されるドライブ用MOS−FETのゲート電圧
とドレイン電圧を示す図
【図4】本発明の実施の形態2におけるゲート接地アン
プの等価回路図
【図5】本発明の実施の形態2における入力電流に対す
る出力電圧特性を示す図
【図6】本発明の実施の形態3におけるパターン情報読
み取り装置の等価回路図
【図7】本発明の実施の形態3におけるパターン情報読
み取り装置の動作を示すタイミングチャート
【図8】従来のゲート接地アンプ図
【符号の説明】
1 ドライブ用MOS−FET 2 タップ付き負荷抵抗 3 ゲート電圧設定用スイッチ 4 ゲート電圧保持用コンデンサ 5 ソース抵抗 21 負荷抵抗 22 定電圧回路 30 ゲート接地アンプ 31a,31b,31c 検知素子によって発生した電
圧信号源 32a,32b,32c,37 電流電圧変換用MOS
−FET 33a,33b,33c,38 アクセス用MOS−F
ET 36 参照用電圧源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5C051 AA01 BA03 DB01 DB08 DB14 DB15 DE02 DE03 EA00 5J091 AA01 CA32 CA41 FA20 HA10 HA17 HA20 HA25 HA29 HA39 KA11 KA27 SA00 TA02 TA06

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ドライブ用MOS−FET、前記ドライ
    ブ用MOS−FETのソース、ゲート、ドレインにそれ
    ぞれ接続したソース抵抗、ゲート電圧保持用コンデン
    サ、タップ付き負荷抵抗および前記ドライブ用MOS−
    FETのゲートと前記負荷抵抗のタップ間に接続したゲ
    ート電圧設定用スイッチからなり、前記ドライブ用MO
    S−FETのソース電極およびドレイン電極をそれぞれ
    入力端子、出力端子とすることを特徴とするゲート接地
    アンプ。
  2. 【請求項2】 ドライブ用MOS−FET、前記ドライ
    ブ用MOS−FETのソース、ゲート、ドレインにそれ
    ぞれ接続したソース抵抗、ゲート電圧保持用コンデン
    サ、正電源に向かって順に接続した定電圧回路と負荷抵
    抗および前記ドライブ用MOS−FETのゲートと、定
    電圧回路と負荷抵抗の接続点の間に接続したゲート電圧
    設定用スイッチからなり、前記ドライブ用MOS−FE
    Tのソース電極およびドレイン電極をそれぞれ入力端
    子、出力端子とすることを特徴とするゲート接地アン
    プ。
  3. 【請求項3】 アレイ状に配列した検知素子群と、前記
    検知素子のそれぞれに接続した電圧電流変換用MOS−
    FETとアクセス用MOS−FET、前記アクセス用M
    OS−FETのソース電極を共通に接続してなる共通信
    号ライン、走査回路からなる情報検知読み取り部と、参
    照用電圧源、電圧電流変換用MOS−FETとアクセス
    用MOS−FETからなり、参照用信号電流を共通信号
    ラインに出力する参照用信号電流発生部と、共通信号ラ
    インからの信号を入力端子に受けて動作するゲート接地
    アンプとを備えたことを特徴とするパターン情報読み取
    り装置。
  4. 【請求項4】 信号読み取り前に、参照用電圧源に基づ
    く信号電流を共通信号ラインを介してゲート接地アンプ
    に入力すると同時にゲート接地アンプのゲート電圧設定
    用スイッチをオンさせることによりゲート電圧を設定し
    た後、各検知素子からの信号を前記共通信号ラインを介
    してゲート接地アンプに入力することを特徴とする請求
    項3に記載のパターン情報読み取り装置の駆動方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN110324016A (zh) * 2018-03-28 2019-10-11 精工爱普生株式会社 恒流电路、半导体装置及其制造方法、电子设备

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CN110324016A (zh) * 2018-03-28 2019-10-11 精工爱普生株式会社 恒流电路、半导体装置及其制造方法、电子设备
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