JP2001110090A - 記録媒体とその製造方法、および光情報記録再生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 近視野光を用いた光メモリにおいて、光の利
用効率を高めるために近視野光ヘッドではなく、記録媒
体の構造に特徴をもつ記録媒体とその製造方法および、
この記録媒体を用いた光情報記録再生装置を提供するこ
と。 【解決手段】 近視野光を利用して近視野光ヘッドによ
り情報を記録再生する記録媒体６は、近視野光を生成す
る為に照射される照射光の波長に対して透明な媒体基板
３１と、媒体基板表面上に情報を記録するデータ記録部
３３と、データ記録部３３に照射光を集光するための集
光構造とからなる構成とした。特に、集光構造は、反射
膜が形成されたテーパー部３２と遮光部３４とから構成
されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、近視野光を利用し
て高密度な情報の再生及び記録を行うことができる記録
媒体とその製造方法、および光情報記録再生装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】試料表面においてナノメートルオーダの
微小な領域を観察するために走査型トンネル顕微鏡（Ｓ
ＴＭ）や原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）に代表される走査型
プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）が用いられている。ＳＰＭ
は、先端が先鋭化されたプローブを試料表面に走査さ
せ、プローブと試料表面との間に生じるトンネル電流や
原子間力などの相互作用を観察対象として、プローブ先
端形状に依存した分解能の像を得ることができるが、比
較的、観察する試料に対する制約が厳しい。

【０００３】そこでいま、試料表面に生成される近視野
光とプローブとの間に生じる相互作用を観察対象とする
ことで、試料表面の微小な領域の観察を可能にした近視
野光学顕微鏡が注目されている。近視野光学顕微鏡にお
いては、伝搬光を試料の表面に照射して近視野光を生成
し、生成された近視野光を先端が先鋭化されたプローブ
により散乱させ、その散乱光を従来の伝搬光検出と同様
に処理することで、従来の光学顕微鏡による観察分解能
の限界を打破し、より微小な領域の観察を可能としてい
る。また、試料表面に照射する光の波長を掃引すること
で、微小領域における試料の光学物性の観測をも可能と
している。

【０００４】顕微鏡としての利用だけでなく、光ファイ
バープローブを通して試料に向けて比較的強度の大きな
光を導入させることにより、光ファイバープローブの微
小開口にエネルギー密度の高い近視野光を生成し、その
近視野光によって試料表面の構造または物性を局所的に
変更させる高密度な光メモリ記録としての応用も可能で
ある。

【０００５】近視野光学顕微鏡に使用されるプローブと
して、例えば米国特許第5,294,790号に開示されている
ように、フォトリソグラフィ等の半導体製造技術によっ
てシリコン基板にこれを貫通する開口部を形成し、シリ
コン基板の一方の面には絶縁膜を形成して、開口部の反
対側の絶縁膜の上に円錐形状の光導波層を形成したカン
チレバー型光プローブが提案されている。このカンチレ
バー型光プローブにおいては、開口部に光ファイバーを
挿入し、光導波層の先端部以外を金属膜でコーティング
することで形成された微小開口に光を透過させることが
できる。

【０００６】更に、上述したプローブのように先鋭化さ
れた先端をもたない平面プローブの使用が提案されてい
る。平面プローブは、シリコン基板に異方性エッチング
によって逆ピラミッド構造の開口を形成したものであ
り、特にその頂点が数十ナノメートルの径を有して貫通
されている。そのような平面プローブは、半導体製造技
術を用いて同一基板上に複数作成すること、すなわちア
レイ化が容易であり、特に近視野光を利用した光メモリ
の再生及び記録に適した光メモリヘッドとして使用でき
る。この平面プローブを用いた光ヘッドとして、従来ハ
ードディスクで用いられているフライングヘッドに平面
プローブを有したものが提案されている。フライングヘ
ッドは記録媒体から約５０から１００ｎｍ浮上するよう
に空力設計される。このフライングヘッドの記録媒体側
に微小開口を形成して、近視野光を発生させ光記録およ
び再生を行うことができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近視野
光を利用した光メモリは、近視野光を利用している為
に、光の回折限界以下の超高密度な光メモリを実現でき
る反面、光の利用効率が低く、受光素子で受光される光
量が非常に弱いという課題があった。そしてこの課題を
解決するために、従来は、使用するレーザー光の強度を
強くしたり、近視野光ヘッドである平面プローブの逆ピ
ラミッド構造の中にボールレンズ等を充填したりしてい
た。

【０００８】しかし、レーザー光強度を高くすると発熱
や消費電力等の新たな問題が出てしまうという課題あ
る。また、ボールレンズを使った場合には、そのボール
レンズの位置合せが必要となり、コストアップの要因と
なる。さらにボールレンズの個々のばらつきにより、大
量生産した際に、全ての近視野光ヘッドにおいて開口部
に光の焦点を合わせることが困難であるという課題があ
る。

【０００９】そのため、近視野光を利用した超高密度メ
モリを実現する際に、小型低消費電力化、大量生産によ
る低価格化が困難である。よって、本発明は、光の利用
効率を高め、上述した従来の方法による問題点を解決す
るために、近視野光ヘッドではなく記録媒体の構造に特
徴をもつ記録媒体とその製造方法および、この記録媒体
を用いた光情報記録再生装置を提供することを目的とす
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】そこで、上記の課題を解
決するために、本発明に係る１番目の記録媒体は、近視
野光を利用して近視野光ヘッドにより情報を記録再生す
る記録媒体において、近視野光を生成する為に照射され
る照射光の波長に対して透明な媒体基板と、媒体基板表
面上に情報を記録するデータ記録部と、データ記録部に
照射光を集光するための集光構造とから構成されている
ことを特徴とする。

【００１１】この発明によれば、データ記録部に外部か
ら照射される照射光を集光する集光構造を記録媒体中に
持つため、その集光構造による集光効果により、データ
記録部に照射される光量が増大し、より強い近視野光が
データ記録部に生成され、この近視野光と近視野光ヘッ
ドを相互作用させて得られる伝播光の強度が増大する。

【００１２】また、本発明に係る２番目の記録媒体は、
１番目の記録媒体において、集光構造は媒体基板の厚さ
方向にテーパー形状を有する反射膜が形成されたテーパ
ー部と、データ記録部を除く領域に照射光を遮光する遮
光部とからなることを特徴とする。この発明によれば、
集光構造をテーパー形状とすることにより、記録媒体は
転写により作成することができるので、記録媒体の大量
生産が可能であり低コスト化が容易である。

【００１３】また、本発明に係る３番目の記録媒体は、
１番目または２番目の記録媒体において、反射膜が遮光
部をもかねていることを特徴とする。この発明によれ
ば、テーパー部に形成された反射膜と遮光部とが同一と
なり、記録媒体を製造する工程が１工程少なくなるの
で、より低コスト化ができる。また、本発明に係る４番
目の記録媒体は、１番目の記録媒体において、データ記
録部は媒体基板の両面に形成され、集光構造は媒体基板
の厚さ方向にテーパー形状を有する反射膜が形成された
テーパー部であることを特徴とする。

【００１４】この発明によれば、記録媒体の両面にデー
タ記録部を形成することができるので、1枚の記録媒体
あたりの容量を２倍に向上する事ができる。また、本発
明に係る５番目の記録媒体は、２番目または４番目の記
録媒体において、媒体基板の厚さ方向にテーパー形状を
有する反射膜が形成されたテーパー部は反射膜が形成さ
れた逆錘状のテーパー部であることを特徴とする。

【００１５】この発明によれば、テーパー部の形状を逆
四角錘形状としているので、反射膜が形成されたテーパ
ー部の４つの斜面によりデータ記録部に照射光を効率良
く集光させることができる。よって、光源からの光束を
より効率よく利用できることができる。また、本発明に
係る６番目の記録媒体は、２番目または４番目の記録媒
体において、媒体基板の厚さ方向にテーパー形状を有す
る反射膜が形成されたテーパー部は反射膜が形成された
Ｖ溝状のテーパー部であることを特徴とする。

【００１６】この発明によれば、同心円状に作成された
データ記録部を利用したトラッキング制御を行うことが
可能であり、より安定した信号再生を行うことができ
る。また、本発明に係る１番目の記録媒体の製造方法
は、近視野光を利用して近視野光ヘッドにより情報を記
録再生する記録媒体において、凸形状を作成する凸形状
作成工程と、凸形状を媒体基板に転写する転写工程と、
転写工程により作成された凹形状に反射膜および遮光部
を作成する反射膜・遮光部作成工程とからなることを特
徴とする。

【００１７】この発明によれば、テーパー形状を有する
媒体基板を転写により作成することができるので、一度
型を作ってしまえば、あとは転写をすることで記録媒体
の大量生産が可能であり低コスト化が容易である。ま
た、本発明に係る２番目の記録媒体の製造方法は、近視
野光を利用して近視野光ヘッドにより情報を記録再生す
る記録媒体において、凹形状を作成する凹形状作成工程
と、凹形状に反射膜および遮光部を作成する反射膜・遮
光部作成工程とからなることを特徴とする。

【００１８】この発明によれば、本発明に係る１番目の
記録媒体の製造方法の効果に加え、さらに、型を作成す
る工程をなくすことができるので、その分のコストダウ
ンが可能である。また、本発明に係る１番目の光情報記
録再生装置は、近視野光を利用して近視野光ヘッドによ
り情報を再生する光情報再生装置において、光源とレン
ズから構成される前記近視野光を生成する為に照射され
る照射光学系と、照射光の波長に対して透明な媒体基板
と記録再生される情報が形成される媒体基板表面上のデ
ータ記録部とデータ記録部に照射光を集光するための集
光構造とからなる記録媒体と、近視野光ヘッドとから構
成されていることを特徴とする。

【００１９】この発明によれば、データ記録部に外部か
ら照射される照射光を集光する集光構造を記録媒体中に
持つため、その集光構造による集光効果により、データ
記録部に照射される光量が増大し、より強い近視野光が
データ記録部に生成される。この近視野光と近視野光ヘ
ッドを相互作用させて得られる伝播光の強度が増大す
る。

【００２０】また、本発明に係る２番目の光情報記録再
生装置は、近視野光を利用して近視野光ヘッドにより情
報を記録再生する光情報再生装置において、光源とレン
ズから構成される前記近視野光を生成する為に照射され
る照射光学系と、照射光の波長に対して透明な媒体基板
と記録再生される情報が形成される媒体基板表面上のデ
ータ記録部とデータ記録部に前記照射光を集光するため
の集光構造とからなる記録媒体と、記録媒体から情報を
再生するための近視野光ヘッドと、記録媒体に情報を記
録するための近視野光ヘッドから構成されていることを
特徴とする。

【００２１】この発明によれば、記録媒体に記録された
情報の再生だけでなく、記録媒体への情報の記録を実現
することができる。さらに、情報の再生に用いる微小開
口と情報の記録に用いる記録用微小開口との位置関係を
データ記録部と一致させることにより、データ記録部か
らのデータの再生と同時に、再生しているデータ記録部
とは異なるデータ記録部にデータを記録することができ
る。

【００２２】また、本発明に係る３番目の光情報記録再
生装置は、１番目または２番目の光情報記録再生装置に
おいて、集光構造は反射膜が形成されたテーパー部と、
データ記録部を除く領域に前記照射光を遮光する遮光部
とからなることを特徴とする。この発明によれば、集光
構造をテーパー形状とすることにより、記録媒体は転写
により作成することができるので、記録媒体の大量生産
が可能であり、装置としての低コスト化ができる。

【００２３】また、本発明に係る４番目の光情報記録再
生装置は、３番目の光情報記録再生装置において、反射
膜が遮光部をもかねていることを特徴とする。この発明
によれば、テーパー部に形成された反射膜と遮光部が同
一となり、記録媒体を製造する工程が１工程少なくなる
ので記録媒体の大量生産・低コスト化が実現できる。

【００２４】また、本発明に係る５番目の光情報記録再
生装置は、１番目または２番目の光情報記録再生装置に
おいて、データ記録部は媒体基板の両面に形成され、集
光構造は反射膜が形成されたテーパー部であることを特
徴とする。この発明によれば、記録媒体の両面にデータ
記録部を形成することができるので、1枚の記録媒体あ
たりの容量を２倍に向上する事ができ、大容量の光情報
記録再生装置を提供できる。

【００２５】また、本発明に係る６番目の光情報記録再
生装置は、３番目あるいは５番目の光情報記録再生装置
において、反射膜が形成されたテーパー部は反射膜が形
成された逆錘状のテーパー部であることを特徴とする。
この発明によれば、テーパー部の形状を逆錘形状とし、
反射膜が形成されたテーパー部の複数の斜面によりデー
タ記録部に照射光を効率良く集光させることができる記
録媒体を用いているので、光源からの光束をより効率よ
く利用できるために、光源の出力を大きくする必要が無
く、光源の大出力化による消費電力の増大や発熱を抑え
る事ができ、装置の小型化・低消費電力化が容易とな
る。

【００２６】また、本発明に係る７番目の光情報記録再
生装置は、３番目あるいは５番目の光情報記録再生装置
において、反射膜が形成されたテーパー部は反射膜が形
成されたＶ溝状のテーパー部であることを特徴とする。
この発明によれば、同心円状に作成されたデータ記録部
を利用したトラッキング制御を行うことが可能であり、
より安定した信号再生を行うことができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の記録媒体および光
情報記録再生装置について、添付の図面を参照して詳細
に説明する。 （実施の形態１）図１は、実施の形態１による光情報記
録再生装置の構成図を示している。図１の光情報記録再
生装置において、近視野光ヘッド１は、シリコン基板２
にこれを貫通するテーパー開口部３が微小開口４を有し
て形成されている。微小開口４は、微小開口４の近傍に
生じている近視野光１１と相互作用を起こし、かつその
結果得られる伝播光１２を取り出せるように、例えば数
十ナノメートルの径を有している。

【００２８】テーパー開口部３は、例えば半導体製造プ
ロセスにおけるフォトリソグラフィやシリコン異方性エ
ッチングなどを用いた微細加工によって形成される。ま
た、シリコン基板２が、照射光９の波長に対して十分な
遮光性を有していない場合には、Ａｕ／Ｃｒ等の金属膜
等の遮光膜が必要であり、スパッタリングや真空蒸着に
よって得られる。

【００２９】記録媒体６に記録されたデータを読み出す
ために照射される照射光９は、光源７（例えば半導体レ
ーザー）とコリメートレンズ８から構成される照射光学
系により得られる。図３は、実施の形態１による記録媒
体の構造図を、図４は実施の形態１による記録媒体の斜
視図を示している。

【００３０】記録媒体６は、照射光９の波長に対して透
明な媒体基板３１に反射膜が形成された逆四角錘状のテ
ーパー部３２が形成されている。媒体基板３１の上面に
は、データ記録部３３か形成されており、このデータ記
録部３３を除く領域に照射光９を遮光する遮光部３４が
形成されている。テーパー部３２の反射膜は、データ記
録部３３に光を集光させることを目的としている。そし
て、遮光部３４は、照射光９や集光光束１０が反射膜が
形成されているテーパー部３２を透過し、データ記録部
３３に照射されないようにすることを目的としている。
このデータ記録部３３の大きさは、光の回折限界以下
（例えば100nm程度）である。

【００３１】ここで、各々のデータ記録部３３には、記
録されているデータは１ビットである必要はなく、複数
のビットを１つのデータ記録部３３形成しておいてもよ
い。次に、記録媒体６の製造方法の1例について説明す
る。図５は、記録媒体の製造方法を説明する図を示して
いる。この製造方法は、（１）凸形状を作成する凸形状
作成工程と、（２）凸形状を媒体基板に転写する転写工
程と、（３）転写工程により作成された凹形状に反射膜
および遮光部を作成する反射膜・遮光部作成工程と、
（４）記録再生される情報が形成される前記媒体基板表
面上のデータデータ記録部作成工程からなる。 （１）凸形状作成工程 まず、Ｓｉ基板５１の上面にＳｉＯ₂５２を熱酸化等に
より作成する。そしてこのＳｉＯ₂５２膜上部にフォト
レジスト５３膜を成膜し、記録媒体６のテーパー部３２
に相当する部分のみを残すようにフォトレジスト５３の
パターンを作成する（図５−ａ）。その後、等方性エッ
チングを行い、錘状の凸形状５４を作成し（図５−
ｂ）、不必要なフォトレジスト５３を除去する（図５−
ｃ）。 （２）転写工程 図５−ｃを型としてＰＭＭＡ等のプラスティックやガラ
ス基板等の媒体基板に図５−ｃの形状を転写する（図５
−ｄ、図５−ｅ）。 （３）反射膜・遮光部作成工程 形状が転写された媒体基板３１に反射膜が形成された逆
すい状のテーパー部３２と遮光部３４を作成するため
に、ＡｕやＣｒ等の金属膜を成膜し、テーパー部３２に
のみ金属膜が形成されるように、データ記録部３３以外
の部分の金属膜を除去する（図５−ｆ）。 （４）データ記録部作成工程 その後、データ記録部に波長以下のサイズのデータマー
クを記録するためのデータ記録層や波長以下のサイズの
データマーク形状を形成し記録媒体６とする。

【００３２】次に、図１に示す光情報記録再生装置に、
記録媒体６上を配置し、微小開口４において情報再生を
行う方法を説明する。ここで記録媒体６は、例えば円盤
状の平面基板であり、その上面に近視野光ヘッド１が配
置される。円盤状の記録媒体は、図示していないスピン
ドルモータ等により高速に回転させられている。近視野
光ヘッド１の微小開口４と微小開口４の近傍に生じてい
る近視野光１１とを相互作用させるために、微小開口４
と記録媒体６との間を微小開口４の径程度まで近接させ
る必要がある。そこで、近視野光ヘッド１と記録媒体６
との間に潤滑剤を充填し、近視野光ヘッド１を十分に薄
く形成することで、潤滑剤の表面張力を利用して近視野
光ヘッド１と記録媒体６との間隔を十分に小さく維持で
きる。更には、記録媒体６の撓みに対しても追従でき
る。また、図示しない近視野光ヘッド制御機構によっ
て、微小開口４を記録媒体６上の所望の位置に配置でき
るように近視野光ヘッド１の位置を制御できる。

【００３３】なお、近視野光ヘッド１と記録媒体６との
近接状態を、上記した潤滑剤によらずに、ハードディス
ク技術に用いられているフライングヘッドと同様にエア
ベアリングによって制御してもよいし、近視野光学顕微
鏡に用いられるＡＦＭ制御を行ってもよい。記録媒体６
に記録された情報の再生は、先ず、上記した制御によ
り、微小開口４を記録媒体６上の所望の情報再生位置に
移動させ、光源７とコリメートレンズ８によりデータ記
録部３３が形成されている面とは反対の面から照射光９
を記録媒体６に照射する。記録媒体６に照射された光束
は、反射膜が形成されたテーパー部３２と隣り合うテー
パー部との間に入射される。そして、これらテーパー部
の2つの斜面による集光効果により照射光９は集光光束
１０となり、データ記録部３３に照射される。そして、
再生位置となる微小開口４に近接した記録媒体６のデー
タ記録部において近視野光１１が生成される。このよう
な集光効果により、データ記録部３３に照射される光量
が増大し、より強い近視野光が生成される。

【００３４】この近視野光１１と微小開口４との相互作
用によって、そのデータ記録部の記録状態に依存した強
度や位相等の特性を伴った伝播光１２が、微小開口４を
介してテーパ開口部３上方へと取り出される。テーパー
部３２による集光効果による近視野光強度の増大によ
り、取り出された伝播光１２の光強度も増大する。そし
てこの伝播光１２は、受光部５へと導かれて電気信号に
変換され、図示しない信号処理部によってデータ記録部
の記録状態が判断される。

【００３５】受光部５に入射される光強度が増大する
と、より小さなデータマークサイズの再生可能が可能で
あり、より高密度なメモリを実現することができる。あ
るいは、伝播光強度の増大によりＳ／Ｎ比の向上が図
れ、より高速なデータ再生が可能となる。本実施の形態
では、このテーパー部３２の形状を逆四角錘形状として
いるので、図４に示すようにデータ記録部３３と遮光部
３４がチェッカーパターンのように配置されている。テ
ーパー部３２の形状を逆四角錐形状とすることで、反射
膜が形成されたテーパー部３２の４つの斜面によりデー
タ記録部３３に照射光９を効率良く集光させることがで
きる。

【００３６】更に、近視野光ヘッド１は、従来の半導体
製造プロセスによって形成できるため、近視野光ヘッド
１を同一シリコン基盤上に複数個配列させることが容易
となる。このようなマルチヘッドを作成することで、デ
ータ記録部に記録されたデータを複数個並列に読み出す
事が可能となり、さらなる高速データ再生が可能とな
る。

【００３７】また、図２は実施の形態１による他の光情
報記録再生装置の構成図である。図１の実施の形態１に
よる光情報記録再生装置の構成図において、照射光学系
が異なっている。他の部分については図１の実施の形態
と全く同じである。図２の実施の形態の照射光学系は、
光源７（例えば半導体レーザー）と、コリメータレンズ
７および集光レンズ１４から構成されている。光源７か
らの光束をコリメーターレンズ８で平行光束にしたの
ち、集光レンズ１３により照射光９として記録媒体６に
記録されたデータを読み出すために照射される。その
際、データ記録部３３に向かって集光された光束となる
のでデータ記録部３３に照射される光強度は、図１のよ
うな平行光束を照射する場合に比べ、増大する。さら
に、テーパー部３２の斜面に照射光が入射する角度がテ
ーパー部３２の斜面に対してより小さくなるので、反射
膜が形成されたテーパー部３２の斜面による集光効果が
大きくなる。

【００３８】よって、図1の実施の形態に比べて、受光
部５に入射される光強度がさらに増大し、より小さなデ
ータマークサイズの再生可能が可能であり、より高密度
なメモリを実現することができる。あるいは、伝播光強
度がより増大することでさらなるＳ／Ｎ比の向上が図
れ、より高速なデータ再生が可能となる。ここで、図1
および図２の実施の形態において、テーパー部３２に成
膜された反射膜が、照射光に対して十分な遮光性を有し
ている場合には、遮光部３４を省略することもできる。

【００３９】また、本実施の形態ではデータ記録部３３
の大きさを光の回折限界以下（例えば100nm程度）とし
ては、データ記録部３３の大きさはこのサイズに限定さ
れるものではなく、数μｍといった大きなサイズでもよ
い。よって、集光構造としてテーパー状の形状について
説明したが、データ記録部のサイズが数μｍといった大
きなサイズの場合には、集光構造として、集光機能を有
すればテーパー形状以外にもレンズ等でも同様の効果が
得られる。

【００４０】更に、本実施の形態では近視野光ヘッドと
して微小開口を有するテーパー開口部を持つ場合につい
て説明したが、近視野光と相互作用することにより伝播
光を得られる構造であればよく、テーパー開口部を持た
ない微小開口上部に受光素子が位置している様な構造
や、微小突起と受光素子の組み合わせたものでも良い。
以上説明したように、実施の形態１によれば、近視野光
を利用して近視野光ヘッドにより情報を記録再生する光
情報再生装置において、照射光の波長に対して透明な媒
体基板と媒体基板表面上に情報を記録するデータ記録部
とデータ記録部に照射光を集光するための集光構造であ
る反射膜が成膜された逆錘状のテーパー部とからなる記
録媒体を用いることにより、受光部に入射される光強度
が増大させることができ、より高密度なメモリやより高
速なデータ再生が可能となる。さらに、光源からの光束
をより効率よく利用できるために、光源の出力を大きく
する必要が無く、光源の大出力化による消費電力の増大
や発熱を抑える事ができる。それにより、装置の小型化
・低消費電力化が容易となる。

【００４１】また、記録媒体は、転写により作成するこ
とができるので、記録媒体の大量生産が可能であり、低
コスト化も容易である。更に、近視野光ヘッドは、半導
体製造プロセスを用いて形成できるため、大量生産に適
しており、近視野光ヘッドのアレイ化に対応でき、超高
速なデータ再生を行うことができる。 （実施の形態２）図６は、図１や図２の実施の形態１に
おける記録媒体の他の構造を表す記録媒体の斜視図であ
る。なお、実施の形態１と共通する部分には同一符号を
付し、実施の形態１と同じ部分に付いては、説明を省略
或いは一部簡単にする。

【００４２】図６は、実施の形態２による記録媒体の斜
視図を示している。記録媒体の端面をしめす構造図は図
３と全く同じである。実施の形態１での記録媒体との構
造の違いは、反射膜が形成された逆すい状のテーパー部
の代わりに、一方の長さが長いｖ溝状のテーパー部６２
となっている点である。また、データ記録部３３の幅
は、光の回折限界以下（例えば100nm程度）である。

【００４３】よって、実施の形態１の場合と同様に、記
録媒体６は、照射光の波長に対して透明な媒体基板６１
に反射膜が形成されたｖ溝のテーパー部６２が形成され
ている。媒体基板６１の上面には、データ記録部６３か
形成されており、このデータ記録部３３を除く領域に照
射光９を遮光する遮光部６４が形成されている。また、
この１方向が長いデータ記録部６３には、複数のビット
のデータが記録されている。

【００４４】次に、記録媒体６の製造方法の1例につい
て説明する。実施の形態１で説明した記録媒体６の製造
方法を用いても図６に示す記録媒体は製造可能である。
ここでは、他の製造方法について説明する。この製造方
法は、（１）凹形状を作成する凹形状作成工程と、
（２）凹形状に反射膜および遮光部を作成する反射膜・
遮光部作成工程と、（３）記録再生される情報が形成さ
れる前記媒体基板表面上のデータデータ記録部作成工程
からなる。 （１）凹部形状作成工程 図７は、実施の形態２による記録媒体の製造方法を説明
する図である。ＰＭＭＡ等のプラスティックやガラス基
板等の平行平面基板形状の媒体基板６１（図７−ａ）に
グレーティング作成等で用いられる超精密切削技術によ
り、凹部形状として、Ｖ溝状のテーパー部６２を切削す
ることにより作成する（図７−ｂ）。 （２）反射膜・遮光部作成工程 テーパー部６２の形状が切削された媒体基板６１に反射
膜が形成されたＶ溝状のテーパー部６２と遮光部６４を
作成するために、ＡｕやＣｒ等の金属膜を成膜し、テー
パー部６２にのみ金属膜が形成されるように、データ記
録部６３以外の部分の金属膜を除去する（図７−ｃ）。 （３）データ記録部作成工程 その後、データ記録部に波長以下のサイズのデータマー
クを記録するためのデータ記録層や波長以下のサイズの
データマーク形状を形成し記録媒体６とする。

【００４５】次に実施の形態１で説明した図１の光情報
記録再生装置に、以上に説明した図６の記録媒体を配置
し、微小開口４において情報再生を行う方法について説
明する。もちろん、図２の光情報記録再生装置を用いる
こともできる。記録媒体６は、例えば円盤状の平面基板
であり、その上面に近視野光メモリヘッド１が配置され
る。この円盤状の平面基板である記録媒体６は、図６に
示すようなＶ溝状のテーパー部６２を有しており、円盤
状の基板の回転方向に対して、ＣＤやアナログレコード
のように、このＶ溝状のテーパー部６２が作成されてお
り、データ記録部６３は記録媒体６の回転軸を中心とし
て同心円状に作成されている。このような記録媒体６を
用いた情報の再生方法は、実施の形態１と全く同様であ
るので、説明を省略する。

【００４６】また、近視野光ヘッド１をデータ記録部上
に正確に追跡させるトラッキング信号検出方法として、
３スポット型やウォブリング型等がある。ここでは、ウ
ォブリング型のトラッキング信号検出方法について説明
する。同心円状のデータ記録部６３が形成された記録媒
体６に対して、微小開口４を有する近視野光ヘッド１を
微小に揺動し、データ記録部上のデータピットを微小開
口４が通過する時に得られる各データピットからの信号
の差を取ることでトラッキング信号を得ることができ
る。このようにして、同心円状に作成されたデータ記録
部６３と遮光部６４を利用しトラッキング制御を行うこ
とも可能である。

【００４７】また、実施の形態１と同様に、本実施の形
態においてもデータ記録部３３の幅を光の回折限界以下
（例えば100nm程度）としているが、データ記録部３３
の大きさはこのサイズに限定されるものではなく、数μ
ｍといった大きなサイズでもよい。よって、集光構造と
してテーパー状の形状について説明したが、データ記録
部のサイズが数μｍといった大きなサイズの場合には、
集光構造として、集光機能を有すればテーパー形状以外
にもレンズ等でも同様の効果が得られる。

【００４８】更に、本実施の形態では近視野光ヘッドと
して微小開口を有するテーパー開口部を持つ場合につい
て説明したが、近視野光と相互作用することにより伝播
光を得られる構造であればよく、テーパー開口部を持た
ない微小開口上部に受光素子が位置している様な構造
や、微小突起と受光素子の組み合わせたものでも良い。
また、本実施の形態において、テーパー部６２に成膜さ
れた反射膜が、照射光に対して十分な遮光性を有してい
る場合には、遮光部６４を省略することもできる。

【００４９】以上説明したように、実施の形態２によれ
ば、近視野光を利用して近視野光ヘッドにより情報を記
録再生する光情報再生装置において、照射光の波長に対
して透明な媒体基板と媒体基板表面上に情報を記録する
データ記録部とデータ記録部に照射光を集光するための
集光構造である反射膜が成膜されたＶ溝状のテーパー部
とからなる記録媒体を用いることにより、受光部に入射
される光強度が増大させることがでる。

【００５０】よって、実施の形態１と同様に、より高密
度なメモリやより高速なデータ再生が可能となる。さら
に、光源からの光束をより効率よく利用できるために、
光源の出力を大きくする必要が無く、光源の大出力化に
よる消費電力の増大や発熱を抑える事ができる。それに
より、装置の小型化・低消費電力化が容易となる。ま
た、近視野光ヘッドは、半導体製造プロセスを用いて形
成できるため、大量生産に適しており、近視野光ヘッド
のアレイ化に対応でき、超高速なデータ再生を行うこと
ができる。

【００５１】更に実施の形態１の効果に加え、同心円状
に作成されたデータ記録部６３と遮光部６４を利用した
トラッキング制御を行うことも可能であり、より安定し
た信号再生を行うことができる。 （実施の形態３）図８は、実施の形態３による光情報記
録再生装置の構成図を示している。なお、実施の形態１
や実施の形態２と共通する部分には同一符号を付し、実
施の形態１や実施の形態２と同じ部分に付いては、説明
を省略或いは一部簡単にする。

【００５２】図８の光情報記録再生装置において、近視
野光ヘッド８１は、シリコン基板８２にこれを貫通する
テーパー開口部３と記録用テーパー開口部８３が微小開
口４と記録用微小開口８４をそれぞれ有して形成されて
いる。微小開口４は記録媒体６に記録された情報を読み
だすために用いられ、記録用微小開口８４は、記録媒体
６に情報を記録するために用いられている。

【００５３】記録媒体６に記録された情報を再生する為
の微小開口４は、微小開口４の近傍に生じている近視野
光１と相互作用を起こし、かつその結果得られる伝播光
１２を取り出せるように、例えば数十ナノメートルの径
を有している。記録媒体６に記録されたデータを読み出
すために照射される照射光９は、光源７（例えば半導体
レーザー）とコリメートレンズ８から構成される照射光
学系により得られる。

【００５４】また、記録用光源８５は、記録レンズ８６
により記録用テーパー開口部８３に光を照射する。そし
て記録媒体６に情報を記録する為の微小開口８４は、記
録用微小開口８４近傍に近視野光が生成されるように、
例えば数十ナノメートルの径を有している。この記録用
微小開口８４近傍の近視野光は、書き込み動作を行うこ
とで、記録媒体６に情報を記録するための書き込み光と
なる。

【００５５】テーパー開口部３および記録用テーパー開
口部８３は、例えば半導体製造プロセスにおけるフォト
リソグラフィやシリコン異方性エッチングなどを用いた
微細加工によって形成される。また、シリコン基板８２
が、照射光９や記録用光源８５の波長に対して十分な遮
光性を有していない場合には、Ａｕ／Ｃｒ等の金属膜等
の遮光膜が必要であり、スパッタリングや真空蒸着によ
って得られる。

【００５６】また、記録媒体の構造としては、図４の実
施の形態１で用いた記録媒体６や図６の実施の形態２で
用いた記録媒体６を用いることができる。ここで、情報
の記録を行う為には、データ記録部６４が情報の記録が
できるデータ記録層を有している必要がある。ここで
は、図６の記録媒体６を用いた場合の実施の形態につい
て説明する。

【００５７】図８の光情報記録再生装置において、視野
光メモリヘッド８１を図６の記録媒体６上に配置し、微
小開口４において情報再生を行う方法は、実施の形態２
の場合と全く同じであるので、説明を省略する。次に、
視野光メモリヘッド８１を記録媒体６上に配置し、記録
用微小開口８４において情報の記録を行う方法を説明す
る。

【００５８】情報の再生時と同様に、円盤状の記録媒体
は、図示していないスピンドルモータ等により高速に回
転させられている。そして、近視野光ヘッド８１の記録
用微小開口８４の近傍に生じている近視野光と記録媒体
６とを相互作用させるために、記録用微小開口８４と記
録媒体６との間を記録用微小開口８４の径程度まで近接
させる必要がある。そして、記録媒体６から情報の再生
をする時と同様な手法により、近視野光ヘッド８１と記
録媒体６との間隔を十分に小さく維持する。また、図示
しない近視野光ヘッド制御機構によって、記録用微小開
口８４を記録媒体６上の所望の位置に配置できるように
近視野光ヘッド８１の位置を制御する。

【００５９】記録媒体６に情報を記録するには、先ず、
上記した制御により、微小開口８４を記録媒体６のデー
タ記録部６３上の所望の情報記録位置に移動させる。そ
して、記録用光源８５と記録用レンズ８６を用いて、記
録用テーパー開口部８３に光を照射する。すると、記録
用微小開口８４近傍に近視野光が生成され、書き込み動
作を行うことにより、この近視野と記録媒体６との相互
作用により所望の位置に情報を記録する事ができる。

【００６０】さらに、情報の再生に用いる微小開口４と
情報の記録に用いる記録用微小開口８４との位置関係を
データ記録部と一致させることにより、データ記録部か
らのデータの再生と同時に、再生しているデータ記録部
とは異なるデータ記録部にデータを記録することができ
る。ここで、本実施の形態では、情報の記録と再生を１
つの近視野光ヘッドとして実現しているが、再生用の近
視野光ヘッドと記録用の近視野光ヘッドというように分
けることもできる。そうした場合には、情報の記録と再
生を同時に独立して行うこともできる。

【００６１】以上説明したように、実施の形態２と同様
に、近視野光を利用して近視野光ヘッドにより情報を記
録再生する光情報再生装置において、照射光の波長に対
して透明な媒体基板と媒体基板表面上に情報を記録する
データ記録部とデータ記録部に照射光を集光するための
集光構造である反射膜が成膜されたＶ溝状のテーパー部
とからなる記録媒体を用いることにより、受光部に入射
される光強度が増大させることがでる。

【００６２】さらに、本実施の形態によれば、実施の形
態１および実施の形態２における情報再生だけでなく、
情報の記録も同時に行うことがきる。 （実施の形態４）図９は、実施の形態４による光情報記
録再生装置で用いる記録媒体の構造図を示している。本
実施の形態の記録媒体は、図１や図２、図3の実施の形
態の記録媒体６としても用いることができる。

【００６３】図９の記録媒体６は、実施の形態１での記
録媒体(図３、図４)や実施の形態２での記録媒体（図
６）において、データ記録部を記録媒体の両面に配置す
る場合の実施の形態である。情報を再生する為の照射光
や情報を記録する為の記録光の波長に対して透明な媒体
基板９１に反射膜が形成されたテーパー部９２が媒体基
板９１を貫き形成されている。この反射膜は、情報を再
生する為の照射光や情報を記録する為の記録光の波長に
対して十分な遮光性を有している。そして、媒体基板９
１の上面には上部データ記録部９３が、媒体基板９１の
下面には下部データ記録部９４が形成されている。この
上部データ記録部９３と下部データ記録部９４のそれぞ
れの幅は用いる光の波長以下、例えば数十nm程度の大き
さである。

【００６４】このように上部データ記録部９３と下部デ
ータ記録部９４の幅を用いる光の波長程度以下の大きさ
にすると、媒体基板９１の下側から照射光を照射した場
合、下部データ記録部９４とその隣りの下部データ記録
部との間に照射された光は、テーパー部９２による集光
効果により上部データ記録部９３に照射され、この上部
データ記録部近傍に近視野光を生成する。

【００６５】それに反し、下部データ記録部９４に下側
から照射光が照射された場合には、下部データ記録部９
４の大きさが波長以下、例えば数十nm程度であるため
に、光の回折限界を越えているので、下部データ記録部
９４を透過し、媒体基板９１の上面まで光が伝播するこ
とができない。よって、媒体基板９１の下側から照射光
を照射すると、媒体基板９１の上面では、上部データ記
録部９３近傍に近視野光が生成され、それ以外の近視野
光や媒体基板を透過する伝播光はない。

【００６６】同様に、媒体基板９１の上側から照射光を
入射した場合には、下部データ記録部９４近傍にのみに
近視野光が生成されるだけとなる。よって、記録媒体表
面に生成された近視野光と、近視野光ヘッドの微小開口
との相互作用による伝播光を受光素子で受光することに
より、記録媒体に記録されている情報を再生することが
可能となる。よって、情報の記録面が両面となり、記録
媒体１枚あたりの記録容量が２倍となる。

【００６７】図１や図２、図５の実施の形態において、
説明した近視野光ヘッドと照射光学系を記録媒体の両側
に配置することにより、両面を同時に再生、あるいは記
録することが可能となる。以上説明したように、実施の
形態１、実施の形態２および実施の形態３と同様に、近
視野光を利用して近視野光ヘッドにより情報を記録再生
する光情報再生装置において、照射光の波長に対して透
明な媒体基板と媒体基板表面上に情報を記録するデータ
記録部とデータ記録部に照射光を集光するための集光構
造である反射膜が成膜されたテーパー部とからなる記録
媒体を用いることにより、受光部に入射される光強度が
増大させることがでる。そして実施の形態３で説明した
ように情報再生だけでなく、情報の記録も同時に行うこ
とができる。

【００６８】さらにその上、記録媒体の両面にデータ記
録部を形成することができるので、1枚の記録媒体あた
りの容量を２倍に向上する事が可能である。

【００６９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る１番
目の記録媒体によれば、データ記録部に外部から照射さ
れる照射光を集光する集光構造を記録媒体中に持つた
め、その集光構造による集光効果により、データ記録部
に照射される光量が増大し、より強い近視野光がデータ
記録部に生成され、この近視野光と近視野光ヘッドを相
互作用させて得られる伝播光の強度が増大する。

【００７０】よって、より小さなデータマークの再生が
可能であり、より高密度なメモリを実現することができ
る。あるいは、伝播光強度の増大によりＳ／Ｎ比の向上
が図れ、より高速なデータ再生が可能となる。さらに、
光源からの光束をより効率よく利用できるために、光源
の出力を大きくする必要が無く、光源の大出力化による
消費電力の増大や発熱を抑える事ができ、装置の小型化
・低消費電力化が容易となる。

【００７１】また、本発明に係る２番目の記録媒体によ
れば、１番目の記録媒体の効果に加え、集光構造をテー
パー形状とすることにより、記録媒体は転写により作成
することができるので、記録媒体の大量生産が可能であ
り低コスト化が容易である。また、本発明に係る３番目
の記録媒体によれば、１番目或いは２番目の記録媒体の
効果に加え、テーパー部に形成された反射膜が遮光部と
が同一となり、記録媒体を製造する工程が１工程少なく
なるので、より低コスト化ができる。

【００７２】また、本発明に係る４番目の記録媒体によ
れば、１番目の記録媒体の効果に加え、記録媒体の両面
にデータ記録部を形成することができるので、1枚の記
録媒体あたりの容量を２倍に向上する事ができる。記録
媒体１枚あたりの容量が２倍に増えても、記録媒体製造
コストのが極端に増えることはないので、記録媒体の単
位記録容量あたりの価格を安価にすることができる。

【００７３】また、本発明に係る５番目の記録媒体によ
れば、２番目あるいは４番目の記録媒体の効果に加え、
テーパー部の形状を逆四角錘形状としているので、反射
膜が形成されたテーパー部の４つの斜面によりデータ記
録部に照射光を効率良く集光させることができる。よっ
て、光源からの光束をより効率よく利用できるために、
光源の出力を大きくする必要が無く、光源の大出力化に
よる消費電力の増大や発熱を抑える事ができ、装置の小
型化・低消費電力化が容易となる。

【００７４】また、本発明に係る６番目の記録媒体によ
れば、２番目あるいは４番目の記録媒体の効果に加え、
同心円状に作成されたデータ記録部を利用したトラッキ
ング制御を行うことが可能であり、より安定した信号再
生を行うことができる。また、本発明に係る１番目の記
録媒体の製造方法によれば、テーパー形状を有する媒体
基板を転写により作成することができるので、一度型を
作ってしまえば、あとは転写をすることで記録媒体の大
量生産が可能であり低コスト化が容易である。

【００７５】また、転写に必要な型もシリコンプロセス
で作成でき、波長以下のサイズのデータピットの作成も
可能である。また、本発明に係る２番目の記録媒体の製
造方法によれば、本発明に係る１番目の記録媒体の製造
方法の効果に加え、さらに、型を作成する工程をなくす
ことができるので、その分のコストダウンが可能であ
る。

【００７６】また、本発明に係る１番目の光情報記録再
生装置によれば、データ記録部に外部から照射される照
射光を集光する集光構造を記録媒体中に持つため、その
集光構造による集光効果により、データ記録部に照射さ
れる光量が増大し、より強い近視野光がデータ記録部に
生成される。この近視野光と近視野光ヘッドを相互作用
させて得られる伝播光の強度が増大する。

【００７７】よって、より小さなデータマークの再生可
能が可能であり、より高密度なメモリを実現することが
できる。あるいは、伝播光強度の増大によりＳ／Ｎ比の
向上が図れ、より高速なデータ再生が可能となる。さら
に、光源からの光束をより効率よく利用できるために、
光源の出力を大きくする必要が無く、光源の大出力化に
よる消費電力の増大や発熱を抑える事ができ、装置の小
型化・低消費電力化が容易となる。

【００７８】その上、近視野光ヘッドは、従来の半導体
製造プロセスによって形成できるため、大量生産可能
で、低コスト化が容易である。また、近視野光ヘッドを
同一シリコン基盤上に複数個配列させたマルチヘッドの
作成が容易であり、データ記録部に記録されたデータを
複数個並列に読み出す事が可能となり、さらなる高速デ
ータ再生が可能となる。

【００７９】また、本発明に係る２番目の光情報記録再
生装置によれば、１番目の光情報記録再生装置の効果に
加え、記録媒体に記録された情報の再生だけでなく、記
録媒体への情報の記録を実現することができる。さら
に、情報の再生に用いる微小開口と情報の記録に用いる
記録用微小開口との位置関係をデータ記録部と一致させ
ることにより、データ記録部からのデータの再生と同時
に、再生しているデータ記録部とは異なるデータ記録部
にデータを記録することができる。

【００８０】また、記録用と再生用が独立した近視野光
ヘッドを用いる場合には、記録媒体への情報の記録と再
生を同時に独立して行うことが可能となり、情報の記録
再生がより高速にできる。また、本発明に係る３番目の
光情報記録再生装置によれば、１番目或いは２番目の光
情報記録再生装置の効果に加え、集光構造をテーパー形
状とすることにより、記録媒体は転写により作成するこ
とができるので、記録媒体の大量生産が可能であり、装
置としての低コスト化ができる。

【００８１】また、本発明に係る４番目の光情報記録再
生装置によれば、３番目の光情報記録再生装置の効果に
加え、テーパー部に形成された反射膜と遮光部が同一と
なり、記録媒体を製造する工程が１工程少なくなるので
記録媒体の大量生産・低コスト化が実現でき、装置とし
てのさらなる低コスト化ができる。また、本発明に係る
５番目の光情報記録再生装置によれば、１番目あるいは
２番目の光情報記録再生装置の効果に加え、記録媒体の
両面にデータ記録部を形成することができるので、1枚
の記録媒体あたりの容量を２倍に向上する事ができる。
記録媒体１枚あたりの容量が２倍に増えても、記録媒体
製造コストのが極端に増えることはないので、記録媒体
の単位記録容量あたりの価格を安価にすることができ
る。

【００８２】また、本発明に係る６番目の記録媒体によ
れば、３番目あるいは５番目の光情報記録再生装置の効
果に加え、テーパー部の形状を逆四角錘形状とし、反射
膜が形成されたテーパー部の４つの斜面によりデータ記
録部に照射光を効率良く集光させることができる記録媒
体を用いているので、光源からの光束をより効率よく利
用できるために、光源の出力を大きくする必要が無く、
光源の大出力化による消費電力の増大や発熱を抑える事
ができ、装置の小型化・低消費電力化が容易となる。

【００８３】また、本発明に係る７番目の記録媒体によ
れば、３番目あるいは５番目のいずづれかの光情報記録
再生装置の効果に加え、同心円状に作成されたデータ記
録部を利用したトラッキング制御を行うことが可能であ
り、より安定した信号再生を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１による光情報記録再生装
置を示す構成図である。

【図２】本発明の実施の形態１による他の光情報記録再
生装置を示す構成図である。

【図３】本発明の実施の形態１による記録媒体を示す構
造図である。

【図４】本発明の実施の形態１による記録媒体を示す斜
視図である。

【図５】本発明の実施の形態１による記録媒体の製造方
法をを示す図である。

【図６】本発明の実施の形態２による記録媒体を示す斜
視図である。

【図７】本発明の実施の形態２による記録媒体の製造方
法を示す図である。

【図８】本発明の実施の形態３による光情報記録再生装
置を示す構成図である。

【図９】本発明の実施の形態３による記録媒体を示す構
造図である。

【符号の説明】 １、８１ 近視野光ヘッド ２、８２ シリコン基板 ３ テーパー開口部 ４ 微小開口 ５ 受光素子 ６ 記録媒体 ７ 光源 ８ コリメートレンズ ９、１４ 照射光 １０、１５ 集光光束 １１ 近視野光 １２ 伝播光 １３ 集光レンズ ３１、６１、９１ 媒体基板 ３２、６２、９２ テーパー部 ３３、６３ データ記録部 ３４、６４ 遮光部 ５１ Ｓｉ基板 ５２ ＳｉＯ₂層 ５３ ホトレジスト ５４ 凸形状 ８３ 記録用テーパー開口部 ８４ 記録用微小開口 ８５ 記録用光源 ８６ 記録用レンズ ９３ 上部データ記録部 ９４ 下部データ記録部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 光岡 靖幸 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 前田 英孝 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 加藤 健二 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 新輪 隆 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 Ｆターム(参考） 5D029 JB32 JB50 KC01 MA14 MA50 5D119 AA43 CA20 JA43

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 近視野光を利用して近視野光ヘッドによ
   り情報を記録再生する記録媒体において、 前記近視野光を生成する為に照射される照射光の波長に
   対して透明な媒体基板と、 記録再生される情報が形成される前記媒体基板表面上の
   データ記録部と、 前記データ記録部に前記照射光を集光するための集光構
   造と、から構成されていることを特徴とする記録媒体。
2. 【請求項２】 前記集光構造は、前記媒体基板の厚さ方
   向にテーパー形状を有する反射膜が形成されたテーパー
   部と、 前記データ記録部を除く領域に前記照射光を遮光する遮
   光部とからなることを特徴とする請求項１記載の記録媒
   体。
3. 【請求項３】 前記反射膜が前記遮光部をもかねている
   ことを特徴とする請求項１あるいは請求項２記載の記録
   媒体。
4. 【請求項４】 前記データ記録部は前記媒体基板の両面
   に形成され、前記集光構造は前記媒体基板の厚さ方向に
   テーパー形状を有する反射膜が形成されたテーパー部で
   あることを特徴とする請求項１記載の記録媒体。
5. 【請求項５】 前記反射膜が形成されたテーパー部は、
   反射膜が形成された逆錘状のテーパー部であることを特
   徴とする請求項２あるいは請求項４記載の記録媒体。
6. 【請求項６】 前記反射膜が形成されたテーパー部は、
   反射膜が形成されたＶ溝状のテーパー部であることを特
   徴とする請求項２あるいは請求項４記載の記録媒体。
7. 【請求項７】 近視野光を利用して近視野光ヘッドによ
   り情報を記録再生する記録媒体において、 凸形状を作成する凸形状作成工程と、 前記凸形状を媒体基板に転写する転写工程と、 前記転写工程により作成された凹形状に反射膜および遮
   光部を作成する反射膜・遮光部作成工程と、 記録再生される情報が形成される前記媒体基板表面上の
   データ記録部作成工程からなることを特徴とする記録媒
   体の製造方法。
8. 【請求項８】 近視野光を利用して近視野光ヘッドによ
   り情報を記録再生する記録媒体において、 凹形状を作成する凹形状作成工程と、 前記凹形状に反射膜および遮光部を作成する反射膜・遮
   光部作成工程と、 記録再生される情報が形成される前記媒体基板表面上の
   データ記録部作成工程からなることを特徴とする記録媒
   体の製造方法。
9. 【請求項９】 近視野光を利用して近視野光ヘッドによ
   り情報を再生する光情報再生装置において、 光源とレンズから構成される前記近視野光を生成する為
   に照射される照射光学系と、 前記照射光の波長に対して透明な媒体基板と記録再生さ
   れる情報が形成される前記媒体基板表面上のデータ記録
   部と前記データ記録部に前記照射光を集光するための集
   光構造とからなる記録媒体と、 前記記録媒体から情報を再生するための少なくとも１つ
   の近視野光ヘッドとから構成されていることを特徴とす
   る光情報記録再生装置。
10. 【請求項１０】 近視野光を利用して近視野光ヘッドに
    より情報を記録再生する光情報再生装置において、 光源とレンズから構成される前記近視野光を生成する為
    に照射される照射光学系と、 前記照射光の波長に対して透明な媒体基板と記録再生さ
    れる情報が形成される前記媒体基板表面上のデータ記録
    部と前記データ記録部に前記照射光を集光するための集
    光構造とからなる記録媒体と、 前記記録媒体から情報を再生するための少なくとも１つ
    の近視野光ヘッドと、 前記記録媒体に情報を記録するための少なくとも１つの
    近視野光ヘッドから構成されていることを特徴とする光
    情報記録再生装置。
11. 【請求項１１】 前記集光構造は、前記媒体基板の厚さ
    方向にテーパー形状を有する反射膜が形成されたテーパ
    ー部と、 前記データ記録部を除く領域に前記照射光を遮光する遮
    光部とからなることを特徴とする請求項９あるいは請求
    項１０記載の光情報記録再生装置。
12. 【請求項１２】 前記反射膜が前記遮光部をもかねてい
    ることを特徴とする請求項１１記載の光情報記録再生装
    置。
13. 【請求項１３】 前記データ記録部は前記媒体基板の両
    面に形成され、前記集光構造は前記媒体基板の厚さ方向
    にテーパー形状を有する反射膜が形成されたテーパー部
    であることを特徴とする請求項９あるいは請求項１０記
    載の光情報記録再生装置。
14. 【請求項１４】 前記反射膜が形成されたテーパー部
    は、反射膜が形成された逆錘状のテーパー部であること
    を特徴とする請求項１１あるいは請求項１３記載の光情
    報記録再生装置。
15. 【請求項１５】 前記反射膜が形成されたテーパー部
    は、反射膜が形成されたＶ溝状のテーパー部であること
    を特徴とする請求項１１あるいは請求項１３記載の光情
    報記録再生装置。