JP2001110038A - Method of manufacturing magnetic recording medium - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、非磁性支持体上
に、真空薄膜形成技術により強磁性金属薄膜が磁性層と
して形成する磁気記録媒体の製造方法に関する。The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic recording medium in which a ferromagnetic metal thin film is formed as a magnetic layer on a nonmagnetic support by a vacuum thin film forming technique.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、磁気記録媒体としては、酸化物磁
性粉末や合金磁性粉末等の強磁性粉末と結合剤と、有機
溶剤等よりなる磁性塗料を非磁性支持体上に塗布するこ
とで磁性層が形成される、いわゆる塗布型の磁気記録媒
体が広く使用されている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a magnetic recording medium, a magnetic coating comprising a ferromagnetic powder such as an oxide magnetic powder or an alloy magnetic powder, a binder, and an organic solvent is applied to a non-magnetic support. A so-called coating type magnetic recording medium in which a layer is formed is widely used.
【０００３】これに対し、高密度記録、長時間記録への
要求の高まりとともに、Ｃｏ、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−
Ｃｒ合金、Ｃｏ−Ｏ等の強磁性金属磁性材料をめっきや
真空薄膜形成技術（真空蒸着法、スパッタリング法、イ
オンプレーティング法等）によってポリエステルフィル
ムやポリイミドフィルム等の非磁性支持体上に直接被着
させることで磁性層が形成される、いわゆる強磁性金属
薄膜型の磁気記録媒体が使用されてきている。そして、
このような強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体は、民生用
コンスーマービデオフォーマット（８ミリＨｉ−８方
式、ＤＶ方式）或いは業務用ビデオフォーマット（ＤＶ
ＣＡＭ）等において幅広く実用化されている。On the other hand, as the demand for high-density recording and long-time recording has increased, Co, Co-Ni alloys, Co-
A ferromagnetic metal magnetic material such as a Cr alloy or Co-O is directly coated on a non-magnetic support such as a polyester film or a polyimide film by plating or a vacuum thin film forming technique (a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, etc.). A magnetic recording medium of a so-called ferromagnetic metal thin film type, in which a magnetic layer is formed by being attached, has been used. And
Such a ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium is available in a consumer video format (8 mm Hi-8 format, DV format) or a professional video format (DV format).
CAM) and the like.
【０００４】この強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体は、
塗布型の磁気記録媒体に比べて抗磁力、角形比等の磁気
特性に優れ、短波長領域での電磁変換特性に優れるばか
りでなく、磁性層の厚みを極めて薄くすることが可能で
あるため、記録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さい
こと、磁性層中に非磁性材料である結合剤等を混入する
必要がないことから、磁性材料の充填密度を高めること
が可能である等、数々の利点を有している。This ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium is
Compared to the coating type magnetic recording medium, it has excellent magnetic properties such as coercive force, squareness ratio, etc., and not only excellent electromagnetic conversion characteristics in the short wavelength region, but also enables extremely thin magnetic layer, Because the thickness loss during recording demagnetization and reproduction is extremely small, and there is no need to mix a binder, which is a nonmagnetic material, into the magnetic layer, it is possible to increase the packing density of the magnetic material. Has the advantage of
【０００５】一般に、磁気記録媒体は、磁気信号の記録
・再生の過程で磁気ヘッドとの高速相対運動のもとにお
かれ、その際走行が円滑に、かつ安定な状態で行われな
ければならない。また、磁気ヘッドとの接触による磨耗
や損傷はなるべく少ないほうがよい。In general, a magnetic recording medium is subjected to high-speed relative movement with a magnetic head in the process of recording / reproducing a magnetic signal, and at that time, the running must be performed smoothly and in a stable state. . Also, it is better that the wear and damage due to contact with the magnetic head be as small as possible.
【０００６】しかしながら、上述の強磁性金属薄膜型の
磁気記録媒体では、磁性層表面の平滑性が極めて良好で
あるために、実質的な磁気ヘッドとの接触面積が大きく
なることから、凝着現象、いわゆるハリツキが起こり易
くなったり、摩擦係数が大きくなり、耐久性や走行性等
に欠点が多く、それらの改善が大きな課題となってい
る。However, in the above-mentioned ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium, since the surface smoothness of the magnetic layer is extremely good, a substantial contact area with the magnetic head is increased. In other words, so-called cracking tends to occur, the coefficient of friction increases, and there are many shortcomings in durability, running properties, and the like.
【０００７】そこで、例えば、上記磁気記録媒体の磁性
層、すなわち強磁性金属薄膜表面に潤滑剤を塗布して、
耐久性や走行性を改善することが試みられている。この
ような用途に使用される潤滑剤としては、例えば、有機
フッ素化合物が有効であることが知られている。Therefore, for example, a lubricant is applied to the magnetic layer of the magnetic recording medium, that is, the surface of the ferromagnetic metal thin film,
Attempts have been made to improve durability and running properties. As a lubricant used for such a purpose, for example, an organic fluorine compound is known to be effective.
【０００８】特に、特開平０５−１９４９７０号公報等
には、末端に水酸基或いはカルボキシル基を有するパー
フルオロポリエーテルのエステル化合物等を潤滑剤に用
いることにより、如何なる使用条件下でも良好な潤滑効
果を発揮する磁気記録媒体が開示されている。[0008] In particular, Japanese Patent Application Laid-Open No. 05-194970 and the like disclose that a perfluoropolyether ester compound having a hydroxyl group or a carboxyl group at the terminal is used as a lubricant to provide a good lubricating effect under any use conditions. A magnetic recording medium that performs is disclosed.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記強磁性
金属薄膜型の磁気記録媒体においては、より優れた耐久
性を確保する為に、強磁性金属薄膜上にカーボン保護膜
を形成する技術が確立されている。そして、前述のコン
スーマービデオフォーマットであるＤＶＣ用テープ、或
いは業務用ビデオフォーマットであるＤＶＣＡＭ用テー
プ、更にはテープストリーマ用途であるＡＩＴ用テープ
等に用いられる強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体として
は、強磁性金属薄膜の上にカーボン保護膜が形成された
磁気記録媒体が実用化されている。このようなカーボン
保護膜の実用化により、耐久性の確保は充分となり、今
後の強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体においては、この
カーボン保護膜の存在が不可欠になると思われる。By the way, in the magnetic recording medium of the ferromagnetic metal thin film type, a technique for forming a carbon protective film on the ferromagnetic metal thin film has been established in order to secure more excellent durability. Have been. The ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium used in the above-mentioned consumer video format DVC tape or professional video format DVCAM tape, and also in the tape streamer application AIT tape, etc. Magnetic recording media in which a carbon protective film is formed on a ferromagnetic metal thin film have been put to practical use. With the practical use of such a carbon protective film, the durability is sufficiently ensured, and it is considered that the presence of the carbon protective film will be indispensable in a future ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium.
【００１０】上記カーボン保護膜はＤＬＣ（diamond li
ke carbon）膜とも呼ばれ、マグネトロンスパッタ法、
イオンビームスパッタ法等のＰＶＤ（Physical Vapor D
eposition）法や、ＣＶＤ（Chemical Vapor Depositio
n）法等によって形成される。The above carbon protective film is made of diamond liquor (DLC).
ke carbon) film, magnetron sputtering method,
PVD (Physical Vapor D) such as ion beam sputtering
eposition) and CVD (Chemical Vapor Depositio)
n) It is formed by a method or the like.
【００１１】ここで、ＣＶＤ法によりカーボン保護膜を
形成する場合、ＰＶＤ法によりカーボン保護膜を形成す
る場合に比較して、高速成膜が可能であること、被覆率
が高いこと、及び省電力、省エネルギーであるといった
利点を有している。すなわち、ＣＶＤ法によりカーボン
保護膜を形成することにより、高速成膜が可能となり生
産性が向上する。また、カーボン保護膜の高い被覆率に
より、磁性薄膜層の耐食性や耐錆性が改善される。さら
に、省電力、省エネルギーにより地球環境に与える影響
を少なくすることができる。Here, when the carbon protective film is formed by the CVD method, high-speed film formation is possible, the coverage is high, and power saving is achieved as compared with the case where the carbon protective film is formed by the PVD method. And has the advantage of energy saving. That is, by forming the carbon protective film by the CVD method, high-speed film formation becomes possible and productivity is improved. Further, the corrosion resistance and rust resistance of the magnetic thin film layer are improved due to the high coverage of the carbon protective film. Further, the effect on the global environment can be reduced by power saving and energy saving.
【００１２】しかしながら、ＣＶＤ法によるカーボン保
護膜は、ＰＶＤ法によるカーボン保護膜と比較して、表
面のエネルギーが小さい。そのため、上述したように、
磁気記録媒体の耐久性や走行性を改善するべく、潤滑剤
を使用しようとすると、潤滑剤とカーボン保護膜との吸
着性が弱く、安定且つ良好な潤滑効果が発揮されない。
そのため、カーボン保護膜の存在を考慮した潤滑剤の設
計が必要となる。However, the surface energy of the carbon protective film formed by the CVD method is smaller than that of the carbon protective film formed by the PVD method. Therefore, as described above,
If a lubricant is used to improve the durability and running properties of the magnetic recording medium, the adsorbability between the lubricant and the carbon protective film is weak, and a stable and good lubricating effect is not exhibited.
Therefore, it is necessary to design a lubricant in consideration of the existence of the carbon protective film.
【００１３】そこで、本発明は、このような実情に鑑み
て提案されたものであり、長期に亘り潤滑効果が持続す
る潤滑剤を用いるとともに、保護膜と潤滑剤との密着安
定性性を高めることにより、優れた走行性及び耐久性を
実現した磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的
とする。Accordingly, the present invention has been proposed in view of the above circumstances, and uses a lubricant that has a long-lasting lubricating effect, and improves the adhesion stability between the protective film and the lubricant. Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a magnetic recording medium that achieves excellent running properties and durability.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気記録媒
体の製造方法は、非磁性支持体上に金属磁性薄膜よりな
る磁性層を形成し、この磁性層上に保護膜を形成する磁
気記録媒体の製造方法において、上記保護膜の表面に、
不活性ガス雰囲気中で紫外線を照射し、その後、上記保
護膜表面に、下記化５で示される末端に水酸基を有する
パーフルオロポリエーテルと長鎖カルボン酸とのエステ
ル化合物及び下記化６で示される長鎖飽和脂肪酸エステ
ルを含有する潤滑剤層を形成することを特徴とする。According to the method of manufacturing a magnetic recording medium of the present invention, a magnetic layer comprising a metal magnetic thin film is formed on a non-magnetic support, and a protective film is formed on the magnetic layer. In the method for manufacturing a medium, on the surface of the protective film,
Irradiation with ultraviolet light in an inert gas atmosphere, and then, on the surface of the protective film, an ester compound of a perfluoropolyether having a hydroxyl group at a terminal and a long-chain carboxylic acid represented by the following formula (5) and represented by the following formula (6) A lubricant layer containing a long-chain saturated fatty acid ester is formed.
【００１５】[0015]
【化５】 Embedded image
【００１６】[0016]
【化６】 Embedded image
【００１７】上述したような本発明に係る磁気記録媒体
の製造方法では、上記保護膜の表面に不活性ガス雰囲気
中で紫外線を照射しているので、保護膜と潤滑剤との密
着性が向上する。さらに、本発明に係る磁気記録媒体の
製造方法では、上記化５で示される化合物と上記化６で
示される化合物とを含有する潤滑剤が最外層に保持され
ているので、如何なる使用条件下においても密着性や潤
滑性が好適に保たれ、長期に至って良好な走行性及び耐
久性が確保される。In the method for manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention as described above, since the surface of the protective film is irradiated with ultraviolet rays in an inert gas atmosphere, the adhesion between the protective film and the lubricant is improved. I do. Further, in the method for producing a magnetic recording medium according to the present invention, since the lubricant containing the compound represented by the above formula (5) and the compound represented by the above formula (6) is held in the outermost layer, under any use conditions, In addition, good adhesion and lubricity are suitably maintained, and good running properties and durability are secured over a long period of time.
【００１８】また、本発明に係る磁気記録媒体の製造方
法は、非磁性支持体上に金属磁性薄膜よりなる磁性層を
形成し、この磁性層上に保護膜を形成する磁気記録媒体
の製造方法において、上記保護膜の表面に、不活性ガス
雰囲気中で紫外線を照射し、その後、上記保護膜表面
に、下記化７で示される末端にカルボキシル基を有する
パーフルオロポリエーテルと長鎖アルコールとのエステ
ル化合物及び下記化８で示される長鎖飽和脂肪酸エステ
ルを含有する潤滑剤層を形成することを特徴とする。The method of manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention is a method of manufacturing a magnetic recording medium in which a magnetic layer made of a metal magnetic thin film is formed on a nonmagnetic support, and a protective film is formed on the magnetic layer. In the above, the surface of the protective film is irradiated with ultraviolet light in an inert gas atmosphere, and then the surface of the protective film is mixed with a perfluoropolyether having a carboxyl group at a terminal represented by the following formula 7 and a long-chain alcohol. A lubricant layer containing an ester compound and a long-chain saturated fatty acid ester represented by the following formula 8 is formed.
【００１９】[0019]
【化７】 Embedded image
【００２０】[0020]
【化８】 Embedded image
【００２１】上述したような本発明に係る磁気記録媒体
製造方法では、上記古語膜の表面にに不活性ガス雰囲気
中で紫外線を照射しているので、保護膜と潤滑剤との密
着性が向上する。さらに、本発明に係る磁気記録媒体の
製造方法では、上記化７で示される化合物と上記化８で
示される化合物とを含有する潤滑剤が最外層に保持され
ているので、如何なる使用条件下においても密着性や潤
滑性が好適に保たれ、長期に至って良好な走行性及び耐
久性が確保される。In the method of manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention as described above, since the surface of the old language film is irradiated with ultraviolet rays in an inert gas atmosphere, the adhesion between the protective film and the lubricant is improved. I do. Further, in the method for producing a magnetic recording medium according to the present invention, the lubricant containing the compound represented by the above formula (7) and the compound represented by the above formula (8) is retained in the outermost layer. In addition, good adhesion and lubricity are suitably maintained, and good running properties and durability are secured over a long period of time.
【００２２】[0022]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る磁気記録媒体
の製造方法の実施の形態について詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of a method for manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention will be described in detail.
【００２３】〈第１の実施の形態〉図１に、本発明を適
用した磁気記録媒体の一例の断面図を示す。<First Embodiment> FIG. 1 is a sectional view showing an example of a magnetic recording medium to which the present invention is applied.
【００２４】この磁気記録媒体１は、図１に示すよう
に、非磁性支持体２上に磁性層３として強磁性金属薄膜
が形成され、この磁性層３上に最外層として保護膜４が
形成されてなる。In this magnetic recording medium 1, as shown in FIG. 1, a ferromagnetic metal thin film is formed as a magnetic layer 3 on a nonmagnetic support 2, and a protective film 4 is formed as an outermost layer on the magnetic layer 3. Be done.
【００２５】非磁性支持体２としては、例えば、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等の
ポリエステル類、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポ
リオレフィン類、セルローストリアセテート、セルロー
スダイアセテート等のセルロース誘導体、ポリ塩化ビニ
ル、ポリ塩化ビニリデン等のビニル系樹脂、ポリカーボ
ネート、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド等
のプラスチック、アルミニウム合金、チタン合金等の軽
金属、ガラス等のセラミックス等が挙げられる。さら
に、この非磁性支持体２の形態としては、フィルム、シ
ート、ディスク、カード、ドラム等の何れの形態でもよ
い。Examples of the nonmagnetic support 2 include polyesters such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate, polyolefins such as polyethylene and polypropylene, cellulose derivatives such as cellulose triacetate and cellulose diacetate, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride. And plastics such as polycarbonate, polyimide, polyamide and polyamide-imide; light metals such as aluminum alloys and titanium alloys; and ceramics such as glass. Further, the form of the nonmagnetic support 2 may be any form such as a film, a sheet, a disk, a card, and a drum.
【００２６】また、非磁性支持体２は、その表面に山状
突起やしわ状突起、粒状突起等の突起が１種以上形成さ
れ、表面粗さがコントロールされたものでも良い。The non-magnetic support 2 may be one in which at least one kind of projection such as a mountain-like projection, a wrinkle-like projection, or a granular projection is formed on the surface to control the surface roughness.
【００２７】具体的には、上記山状突起は、例えば、高
分子フィルム製膜時に粒径５０ｎｍ〜３００ｎｍ程度の
無機微粒子を内添させることにより形成され、高分子フ
ィルム表面からの高さが１０ｎｍ〜１００ｎｍ、密度が
約１×１０4個／ｍｍ2〜１×１０5 個／ｍｍ2とする。
この山状突起を形成するための無機微粒子としては、例
えば、炭酸カルシウム、シリカ、アルミナ等が好適であ
る。More specifically, the mountain-like projections are formed, for example, by adding inorganic fine particles having a particle size of about 50 nm to 300 nm at the time of forming a polymer film, and the height from the polymer film surface is 10 nm. １００100 nm, and the density is about 1 × 10 4 pieces / mm 2 to 1 × 10 5 pieces / mm 2 .
As the inorganic fine particles for forming the mountain-like projections, for example, calcium carbonate, silica, alumina and the like are preferable.
【００２８】上記しわ状突起は、例えば、特定の混合溶
媒を用いた樹脂の希薄溶液を塗布乾燥させることにより
形成される突起であって、その高さが０．０１μｍ〜１
０μｍ、好ましくは０．０３μｍ〜０．５μｍ、突起間
の最短間隔が０．１μｍ〜２０μｍとする。The wrinkle-shaped protrusions are formed, for example, by applying and drying a dilute solution of a resin using a specific mixed solvent, and have a height of 0.01 μm to 1 μm.
0 μm, preferably 0.03 μm to 0.5 μm, and the shortest interval between projections is 0.1 μm to 20 μm.
【００２９】このしわ状突起を形成するための樹脂とし
ては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチ
レンナフタレート等のポリエステル、ポリアミド、ポリ
スチロール、ポリカーボネート、ポリアクリレート、ポ
リスルホン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポ
リビニルブチラール、ポリフェニレンオキサイド、フェ
ノキシ樹脂等の単体、混合体または共重合体であり、可
溶性溶剤を有するものが適している。そして、これらの
樹脂をその良溶媒に樹脂濃度１ｐｐｍ〜１０００ｐｐｍ
で溶解させた溶液に、その樹脂の貧溶媒であって前記良
溶媒より高い沸点を有する溶媒を樹脂に対して１０倍量
〜１００倍量添加した溶液を、高分子フィルムの表面に
塗布・乾燥させることにより、非常に微細なしわ状突起
を有する薄膜を形成することができる。Examples of the resin for forming the wrinkle-like projections include polyester such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate, polyamide, polystyrene, polycarbonate, polyacrylate, polysulfone, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride and polyvinyl butyral. , Polyphenylene oxide, phenoxy resin, and the like, a simple substance, a mixture or a copolymer, and those having a soluble solvent are suitable. Then, these resins are added to the good solvent at a resin concentration of 1 ppm to 1000 ppm.
A solution obtained by adding a solvent which is a poor solvent for the resin and has a boiling point higher than that of the good solvent to the solution dissolved in the above by 10 times to 100 times the amount of the resin is applied to the surface of the polymer film and dried. By doing so, a thin film having very fine wrinkle-like projections can be formed.
【００３０】上記粒状突起は、アクリル樹脂等の有機超
微粒子またはシリカ、金属粉等の無機微粒子を球状ある
いは半球状に付着させることにより形成される。この粒
状突起の高さは、５ｎｍ〜５０ｎｍ、密度は１×１０6
個／ｍｍ2〜５×１０7個／ｍｍ2程度とする。The granular projections are formed by adhering organic ultrafine particles such as acrylic resin or inorganic fine particles such as silica or metal powder in a spherical or hemispherical shape. The height of the granular projections is 5 nm to 50 nm, and the density is 1 × 10 6.
Pieces / mm 2 to about 5 × 10 7 pieces / mm 2 .
【００３１】これらの突起の少なくとも１種以上を形成
することにより、磁性層３である強磁性金属薄膜の表面
性を制御することが可能であるが、２種以上を組み合わ
せることにより効果が増し、特に、山状突起を設けた非
磁性支持体２上にしわ状突起と粒状突起を形成すると、
耐久性や走行性が著しく改善される。この場合、突起全
体としての高さは、１０ｎｍ〜２００ｎｍの範囲内であ
ることが好ましく、その密度は１×１０5個／ｍｍ2〜１
×１０7個／ｍｍ2であることが好ましい。By forming at least one kind of these projections, it is possible to control the surface properties of the ferromagnetic metal thin film as the magnetic layer 3, but the effect is increased by combining two or more kinds. In particular, when wrinkle-like protrusions and granular protrusions are formed on the nonmagnetic support 2 provided with the mountain-like protrusions,
Durability and running properties are significantly improved. In this case, the height of the entire projection is preferably in the range of 10 nm to 200 nm, and the density thereof is 1 × 10 5 / mm 2 to 1
It is preferably × 10 7 pieces / mm 2 .
【００３２】また、上記磁性層３となる強磁性金属薄膜
としては、例えば、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の金属の他に、
Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合
金、Ｆｅ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎ
ｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合
金、Ｃｏ−Ｃｒ合金或いはこれらにＣｒ、Ａｌ等の金属
が含有された強磁性金属材料よりなるものが挙げられ
る。特に、Ｃｏ−Ｃｒ合金を使用した場合には、垂直磁
化膜が形成される。The ferromagnetic metal thin film serving as the magnetic layer 3 includes, for example, metals such as Fe, Co, and Ni,
Co-Ni alloy, Co-Pt alloy, Co-Ni-Pt alloy, Fe-Co alloy, Fe-Ni alloy, Fe-Co-N
An i-alloy, an Fe-Co-B alloy, a Co-Ni-Fe-B alloy, a Co-Cr alloy, or a ferromagnetic metal material containing a metal such as Cr or Al in these alloys may be used. In particular, when a Co—Cr alloy is used, a perpendicular magnetization film is formed.
【００３３】そして、上記磁性層３である強磁性金属薄
膜は、真空蒸着法やイオンプレーティング法、スパッタ
リング法等の真空薄膜形成技術により連続膜として形成
される。The ferromagnetic metal thin film as the magnetic layer 3 is formed as a continuous film by a vacuum thin film forming technique such as a vacuum deposition method, an ion plating method, and a sputtering method.
【００３４】上記真空蒸着法は、１×１０-2Ｐａ〜１×
１０-6Ｐａの真空下で強磁性金属材料を抵抗加熱、高周
波加熱、電子ビーム加熱等により蒸発させ、非磁性支持
体２上に蒸発金属（強磁性金属材料）を沈着させるもの
であり、一般に高い抗磁力を得るために非磁性支持体２
に対して上記強磁性金属材料を斜めに蒸着する斜方蒸着
が用いられる。さらに、より高い抗磁力を得るために酸
素雰囲気中で上記蒸着を行うものも含まれる。The above-mentioned vacuum deposition method is performed in the range of 1 × 10 −2 Pa to 1 ×
The ferromagnetic metal material is evaporated under a vacuum of 10 -6 Pa by resistance heating, high-frequency heating, electron beam heating, or the like, and the evaporated metal (ferromagnetic metal material) is deposited on the nonmagnetic support 2. Non-magnetic support 2 to obtain high coercive force
In contrast, oblique evaporation in which the ferromagnetic metal material is obliquely evaporated is used. Further, the above-mentioned vapor deposition in an oxygen atmosphere to obtain a higher coercive force is also included.
【００３５】上記イオンプレーティング法も真空蒸着法
の１種であり、１×１０-2Ｐａ〜１×１０-1Ｐａの不活
性ガス雰囲気中でＤＣグロー放電、ＲＦグロー放電を起
こして、放電中で上記磁性金属材料を蒸発させるという
ものである。The above-mentioned ion plating method is also a kind of the vacuum evaporation method, and causes a DC glow discharge and an RF glow discharge in an inert gas atmosphere of 1 × 10 −2 Pa to 1 × 10 −1 Pa. In this, the magnetic metal material is evaporated.
【００３６】上記スパッタリング法は、１×１０-1Ｐａ
〜１×１０Ｐａのアルゴンガスを主成分とする雰囲気中
でグロー放電を起こし、生じたアルゴンガスイオンでタ
ーゲット表面の原子をたたき出すというものであり、グ
ロー放電の方法により直流２極、３極スパッタ法や、高
周波スパッタ法、またはマグネトロン放電を利用したマ
グネトロンスパッタ法等がある。このスパッタリング法
による場合には、ＣｒやＷ、Ｖ等の下地膜を形成してお
いてもよい。In the above sputtering method, 1 × 10 -1 Pa
A glow discharge is caused in an atmosphere containing an argon gas as a main component of up to 1 × 10 Pa, and atoms of the target surface are knocked out by the generated argon gas ions. And a high-frequency sputtering method or a magnetron sputtering method using magnetron discharge. In the case of using this sputtering method, a base film such as Cr, W, and V may be formed.
【００３７】なお、上記いずれの方法においても、非磁
性支持体２上に予めＢｉ，Ｓｂ，Ｐｂ，Ｓｎ，Ｇａ，Ｉ
ｎ，Ｃｄ，Ｇｅ，Ｓｉ，Ｔｌ等の下地金属層を被着形成
しておき、その非磁性支持体２の表面に対して垂直方向
から成膜することにより、磁気異方性の配向がなく、面
内等方性に優れた磁性層３を形成することができ、磁気
記録媒体１を、例えば磁気ディスクとする場合には好適
である。また、このような手法により形成される強磁性
金属薄膜の膜厚は、０．０１μｍ〜１μｍであるのが好
ましい。In any of the above methods, Bi, Sb, Pb, Sn, Ga, I
By forming a base metal layer such as n, Cd, Ge, Si, Tl, etc. in advance and forming the film in a direction perpendicular to the surface of the nonmagnetic support 2, there is no orientation of magnetic anisotropy. The magnetic layer 3 having excellent in-plane isotropy can be formed, which is suitable when the magnetic recording medium 1 is, for example, a magnetic disk. The thickness of the ferromagnetic metal thin film formed by such a method is preferably 0.01 μm to 1 μm.
【００３８】保護膜４は、カーボンからなり、磁性層３
となる強磁性金属薄膜上に形成される。特に、保護膜４
として、比較的硬度の高いダイヤモンドライクカーボン
よりなるものが好ましく例示される。The protective film 4 is made of carbon and has a magnetic layer 3
Is formed on the ferromagnetic metal thin film. In particular, the protective film 4
A preferable example is a material made of diamond-like carbon having relatively high hardness.
【００３９】この保護膜４は、ＣＶＤ法等により形成さ
れる。ＣＶＤ法によって保護膜４を形成する場合には、
例えば、真空容器中に炭化水素ガス、あるいは炭化水素
と不活性ガスとの混合ガスを導入し、１０Ｐａ〜１００
Ｐａ程度の圧力に保持した状態で、真空容器内に放電さ
せて、炭化水素ガスのプラズマを発生させ、強磁性金属
薄膜上に保護膜４を形成する。This protective film 4 is formed by a CVD method or the like. When the protective film 4 is formed by the CVD method,
For example, a hydrocarbon gas or a mixed gas of a hydrocarbon and an inert gas is introduced into a vacuum vessel, and 10 Pa to 100 Pa.
With the pressure maintained at about Pa, a discharge is generated in the vacuum vessel to generate a hydrocarbon gas plasma, and the protective film 4 is formed on the ferromagnetic metal thin film.
【００４０】放電形式としては、外部電極方式、内部電
極方式のいずれでもよく、放電周波数については、実験
的に決めることができる。また、強磁性金属薄膜が形成
された非磁性支持体２側に配された電極に０〜−３ｋＶ
の電圧を印加することにより、保護膜４の硬度の増大及
び密着性を向上させることができる。The discharge type may be either an external electrode type or an internal electrode type, and the discharge frequency can be experimentally determined. Further, an electrode disposed on the nonmagnetic support 2 side on which the ferromagnetic metal thin film is formed has a voltage of 0 to -3 kV.
By applying the voltage, the hardness of the protective film 4 can be increased and the adhesion can be improved.
【００４１】保護膜４の材料となる上記炭化水素として
は、例えば、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペン
タン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、エチレン、アセ
チレン、プロペン、ブテン、ペンテン、ベンゼンなどを
用いることができる。As the above-mentioned hydrocarbon used as the material of the protective film 4, for example, methane, ethane, propane, butane, pentane, hexane, heptane, octane, ethylene, acetylene, propene, butene, pentene, benzene and the like can be used. it can.
【００４２】この保護膜４は、スペーシングロスを少な
くかつ、強磁性金属薄膜の磨耗防止の効果を得られるよ
う、その厚さが３ｎｍ〜１５ｎｍ程度、特に５ｎｍ〜１
０ｎｍ程度であることが好ましい。The protective film 4 has a thickness of about 3 nm to 15 nm, particularly 5 nm to 1 nm, so that the spacing loss is reduced and the effect of preventing abrasion of the ferromagnetic metal thin film is obtained.
It is preferably about 0 nm.
【００４３】また、この保護膜４の表面には、不活性ガ
ス雰囲気中で紫外線が照射される。すなわち、本手法で
は、詳細を後述する潤滑剤層を塗布する前に、保護層４
の表面に不活性ガス雰囲気中で紫外線を照射する。保護
膜４表面は、紫外線が照射されると紫外線の光子エネル
ギにより炭素−炭素結合や炭素−水素結合が切断され、
極性基が形成された状態となる。後述するような潤滑剤
は、極性基に吸着できるため、保護膜４に対して強固に
吸着することができる。The surface of the protective film 4 is irradiated with ultraviolet rays in an inert gas atmosphere. That is, in this method, before applying a lubricant layer, which will be described in detail later, before the protective layer 4 is applied.
Is irradiated with ultraviolet rays in an inert gas atmosphere. When the surface of the protective film 4 is irradiated with ultraviolet light, carbon-carbon bonds and carbon-hydrogen bonds are broken by photon energy of the ultraviolet light,
The polar group is formed. Since a lubricant as described later can be adsorbed to the polar group, it can be strongly adsorbed to the protective film 4.
【００４４】特に、保護膜４をＣＶＤ法により形成した
場合には、物理的気相成長法（ＰＶＤ法）によりカーボ
ン膜を形成した場合と比較して水素含有量が多いため、
炭素−水素結合が切断されてなる極性基がより多く存在
する。このため、保護膜４をＣＶＤ法により形成した場
合には、潤滑剤との吸着力を向上させうる極性基がより
多く存在することになり、潤滑剤と保護膜４との吸着力
がより向上することになる。In particular, when the protective film 4 is formed by the CVD method, the hydrogen content is larger than when the carbon film is formed by the physical vapor deposition method (PVD method).
There are more polar groups in which carbon-hydrogen bonds are broken. For this reason, when the protective film 4 is formed by the CVD method, there are more polar groups capable of improving the adsorbing force with the lubricant, and the adsorbing force between the lubricant and the protective film 4 is further improved. Will do.
【００４５】また、この手法では、保護膜４に対する紫
外線の照射を不活性ガス雰囲気中で行っている。仮に、
保護膜４に対する紫外線の照射を大気中で行うと、紫外
線によって発生するオゾン分子と、紫外線により生じた
極性基とが結合してしまい、いわゆる、ウィークバウン
ダリーレアー化してしまう結果、保護膜４と潤滑剤との
吸着力が低下してしまう。言い換えると、保護膜４に対
する紫外線の照射を不活性ガス雰囲気中で行うことによ
って、保護膜４表面に極性基を確実に形成することがで
き、保護膜４と潤滑剤との吸着力を確実に向上させるこ
とができる。なお、不活性ガスとしては、窒素、アルゴ
ン及び二酸化炭素を例示することができる。In this method, the protective film 4 is irradiated with ultraviolet rays in an inert gas atmosphere. what if,
When the protective film 4 is irradiated with ultraviolet light in the atmosphere, ozone molecules generated by the ultraviolet light and a polar group generated by the ultraviolet light are bonded to each other, resulting in a so-called weak boundary layer. Adsorption force with the lubricant is reduced. In other words, by irradiating the protective film 4 with ultraviolet rays in an inert gas atmosphere, a polar group can be reliably formed on the surface of the protective film 4 and the adsorbing force between the protective film 4 and the lubricant can be reliably improved. Can be improved. Note that examples of the inert gas include nitrogen, argon, and carbon dioxide.
【００４６】具体的に、紫外線としては、例えば、低圧
水銀ランプを使用して波長が１８５ｎｍ或いは２５４ｎ
ｍの紫外線を使用することが好ましい。波長が１８５ｎ
ｍの紫外線では、光子エネルギが１５５Ｋｃａｌ／ｍｏ
ｌとなり、波長が２５４ｎｍの紫外線では、光子エネル
ギが１１３Ｋｃａｌ／ｍｏｌとなる。このような低圧水
銀ランプを使用することによって、保護膜４に対して紫
外線を効率よく照射することができる。Specifically, as the ultraviolet light, for example, a low-pressure mercury lamp is used and the wavelength is 185 nm or 254 nm.
It is preferred to use m ultraviolet light. 185n wavelength
m, the photon energy is 155 Kcal / mo
1 and ultraviolet light having a wavelength of 254 nm has a photon energy of 113 Kcal / mol. By using such a low-pressure mercury lamp, the protective film 4 can be efficiently irradiated with ultraviolet rays.
【００４７】また、保護膜４表面に紫外線を照射する際
には、例えば、図２に示すような紫外線照射装置が使用
される。紫外線照射装置は、長尺状の磁気記録媒体を巻
回してなる供給ロール５及び巻取りロール６と、供給ロ
ール５及び巻取りロール６との間に配設された紫外線処
理部７とを備え、磁気記録媒体を供給ロール５から巻取
りロール６に向かって走行させるとともに紫外線処理部
７に順次搬入する。紫外線処理部７は、内部を密閉でき
る筐体８内に配設された複数のガイドロール９と、複数
のガイドロール９に架け合わされた磁気記録媒体の保護
膜４に対向するように配設された複数の光源ランプ１０
とを備える。また、紫外線処理部７は、筐体８にガス供
給口８ａ及びガス排出口８ｂが形成されてなり、ガス供
給口８ａから不活性ガスを導入することによって、筐体
８内を不活性ガス雰囲気とすることができる。When irradiating the surface of the protective film 4 with ultraviolet rays, for example, an ultraviolet irradiation apparatus as shown in FIG. 2 is used. The ultraviolet irradiation device includes a supply roll 5 and a take-up roll 6 formed by winding a long magnetic recording medium, and an ultraviolet processing unit 7 disposed between the supply roll 5 and the take-up roll 6. Then, the magnetic recording medium is caused to travel from the supply roll 5 toward the take-up roll 6 and is sequentially carried into the ultraviolet processing unit 7. The ultraviolet processing section 7 is provided so as to face a plurality of guide rolls 9 provided in a housing 8 capable of sealing the inside and the protective film 4 of the magnetic recording medium bridged over the plurality of guide rolls 9. A plurality of light source lamps 10
And Further, the ultraviolet ray processing unit 7 has a gas supply port 8a and a gas discharge port 8b formed in the case 8, and by introducing an inert gas from the gas supply port 8a, the inside of the case 8 is inert gas atmosphere. It can be.
【００４８】このように構成された紫外線照射装置で
は、筐体８内を不活性ガス雰囲気とした状態で、順次走
行する磁気記録媒体の保護膜４に対して光源ランプ１０
から紫外線を照射する。したがって、この紫外線照射装
置によれば、供給ロール５から巻取りロール６に向かっ
て磁気記録媒体を走行させることによって、保護膜４に
対して不活性ガス雰囲気中で紫外線を照射することがで
きる。In the ultraviolet irradiation apparatus thus configured, the light source lamp 10 is applied to the protective film 4 of the magnetic recording medium which travels sequentially while the inside of the housing 8 is in an inert gas atmosphere.
Irradiate ultraviolet rays. Therefore, according to this ultraviolet irradiation device, the protective film 4 can be irradiated with ultraviolet light in an inert gas atmosphere by running the magnetic recording medium from the supply roll 5 to the take-up roll 6.
【００４９】そして、特に、磁気記録媒体１において
は、最外層となる保護膜４上に下記化９で示される末端
に水酸基を有するパーフルオロポリエーテルと長鎖カル
ボン酸とのエステル化合物と、下記化１０にて示される
長鎖飽和脂肪酸エステルを含有する潤滑剤を塗布する。Particularly, in the magnetic recording medium 1, an ester compound of a perfluoropolyether having a hydroxyl group at a terminal and a long-chain carboxylic acid represented by the following formula 9 on the protective film 4 which is the outermost layer, A lubricant containing a long-chain saturated fatty acid ester represented by Chemical formula 10 is applied.
【００５０】[0050]
【化９】 Embedded image
【００５１】[0051]
【化１０】 Embedded image
【００５２】このような化９に示される化合物及び化１
０に示される化合物を有する潤滑剤は、如何なる使用条
件下においても密着性や潤滑性が好適に保たれ、且つ長
期に至り潤滑効果を持続する特性を有するものである。The compound represented by Chemical formula 9 and Chemical formula 1
The lubricant having the compound represented by No. 0 has properties such that the adhesion and the lubricity are suitably maintained under any use conditions and the lubricating effect is maintained for a long time.
【００５３】上記化９に示す末端に水酸基を有するパー
フルオロポリエーテルと長鎖カルボン酸とのエステル化
合物は、例えば、末端に水酸基を有するパーフルオロポ
リエーテルと長鎖カルボン酸クロリドとを、トルエン中
で塩基を触媒として反応させることによって得られる。The ester compound of a perfluoropolyether having a hydroxyl group at a terminal and a long-chain carboxylic acid shown in the above-mentioned chemical formula 9 can be obtained, for example, by mixing a perfluoropolyether having a hydroxyl group at a terminal with a long-chain carboxylic acid chloride in toluene. By reacting with a base as a catalyst.
【００５４】ここで、上記末端に水酸基を有するパーフ
ルオロポリエーテルとしては、水酸基を両末端に有する
ものが好ましく、例えば、ＨＯ−ＣＨ2ＣＦ2（ＯＣ
2Ｆ4）p（ＯＣＦ2）qＯＣＦ2ＣＨ2−ＯＨ（但し、化学
式中のｐ，ｑはいずれも１以上の整数を表す。）等が挙
げられる。上記の末端に水酸基を有するパーフルオロポ
リエーテルは、勿論、これらに限定されるわけではな
い。Here, the perfluoropolyether having a hydroxyl group at the terminal is preferably one having a hydroxyl group at both terminals, for example, HO-CH 2 CF 2 (OC
2 F 4) p (OCF 2 ) q OCF 2 CH 2 -OH ( Here, p in the formula, q represents an even integer of 1 or more either.), And the like. The above-mentioned perfluoropolyether having a hydroxyl group at the terminal is, of course, not limited to these.
【００５５】また、上記末端に水酸基を有するパーフル
オロポリエーテルの分子量は、特に制約されるものでは
ないが、実用的には６００〜５０００程度が好ましい。
分子量が大きすぎると、末端基の吸着基としての効果が
薄れると同時に、パーフルオロポリエーテル鎖が大きく
なる分、既存の炭化水素系溶媒に溶解しにくくなる。逆
に、分子量が小さすぎると、パーフルオロポリエーテル
鎖による潤滑効果が失われてしまう。The molecular weight of the perfluoropolyether having a hydroxyl group at the terminal is not particularly limited, but practically preferably about 600 to 5,000.
If the molecular weight is too large, the effect of the terminal group as an adsorptive group is diminished, and at the same time, the perfluoropolyether chain becomes large, so that it becomes difficult to dissolve in existing hydrocarbon solvents. Conversely, if the molecular weight is too small, the lubricating effect of the perfluoropolyether chain will be lost.
【００５６】なお、この末端に水酸基を有するパーフル
オロポリエーテルにおいては、パーフルオロポリエーテ
ル鎖が部分水素化されてもよい。すなわち、パーフルオ
ロポリエーテル鎖のフッ素原子の一部（５０％以下）を
水素原子で置換してもよい。この場合には、パーフルオ
ロポリエーテルとして部分水素化したパーフルオロポリ
エーテルを使用すればよい。In the perfluoropolyether having a hydroxyl group at the terminal, the perfluoropolyether chain may be partially hydrogenated. That is, a part (50% or less) of the fluorine atoms of the perfluoropolyether chain may be replaced with a hydrogen atom. In this case, a partially hydrogenated perfluoropolyether may be used as the perfluoropolyether.
【００５７】一方、上記長鎖カルボン酸クロリドとして
は、市販品、或いは合成品何れも使用可能である。この
ように、末端に水酸基を有するパーフルオロポリエーテ
ルと長鎖カルボン酸クロリドとを反応させて合成され
る、末端に水酸基を有するパーフルオロポリエーテルと
長鎖カルボン酸とのエステル化合物が、上記化９に示す
化合物である。On the other hand, as the above-mentioned long-chain carboxylic acid chloride, either a commercial product or a synthetic product can be used. Thus, an ester compound of a perfluoropolyether having a terminal hydroxyl group and a long-chain carboxylic acid, which is synthesized by reacting a perfluoropolyether having a terminal hydroxyl group with a long-chain carboxylic acid chloride, 9 is a compound.
【００５８】ここで、上記長鎖カルボン酸、つまり合成
材料の長鎖カルボン酸クロリドのカルボン酸部分は、カ
ルボン酸基を有する任意の構造で良く、例えば、分岐構
造、異性体構造、脂環構造、不飽和結合の有無によらず
選択することができる。また、この長鎖カルボン酸は、
分子量に関しても任意であるが、分子量が小さくなるに
伴って通常の炭化水素系の有機溶媒に溶解し難くなるこ
とから、少なくともアルキル基の炭素数が１０以上であ
ることが好ましい。The long-chain carboxylic acid, that is, the carboxylic acid portion of the long-chain carboxylic acid chloride of the synthetic material may have any structure having a carboxylic acid group, for example, a branched structure, an isomer structure, and an alicyclic structure. , Regardless of the presence or absence of unsaturated bonds. Also, this long-chain carboxylic acid is
The molecular weight is also arbitrary, but it is preferable that at least the alkyl group has 10 or more carbon atoms because it becomes difficult to dissolve in a general hydrocarbon-based organic solvent as the molecular weight decreases.
【００５９】また、上述したように、本発明に用いられ
る潤滑剤には、上記化９に示す化合物の他に、上記化１
０に示される長鎖飽和脂肪酸エステルが含有される。As described above, the lubricant used in the present invention includes, in addition to the compound represented by the above formula (9),
0 long-chain saturated fatty acid ester is contained.
【００６０】この長鎖飽和脂肪酸エステルとしては２つ
のアルキル基の炭素数の和が１５〜３５であるものが好
ましい。具体的には、ラウリン酸ヘキシル（Ｃ11Ｈ23Ｃ
ＯＯＣ6 Ｈ13）、ラウリン酸ヘプチル（Ｃ11Ｈ23ＣＯＯ
Ｃ7 Ｈ15）ラウリン酸オクチル（Ｃ11Ｈ23ＣＯＯＣ8 Ｈ
17）、ラウリン酸デシル（Ｃ11Ｈ23ＣＯＯＣ10Ｈ21）、
ミリスチン酸ヘプチル（Ｃ13Ｈ27ＣＯＯＣ7 Ｈ15）、ミ
リスチン酸オクチル（Ｃ13Ｈ27ＣＯＯＣ8 Ｈ17）、ミリ
スチン酸デシル（Ｃ13Ｈ27ＣＯＯＣ10Ｈ21）、パルミチ
ン酸ブチル（Ｃ15Ｈ31ＣＯＯＣ4 Ｈ9 ）、パルミチン酸
ヘプチル（Ｃ15Ｈ31ＣＯＯＣ7 Ｈ15）、パルミチン酸デ
シル（Ｃ15Ｈ31ＣＯＯＣ10Ｈ21）、ステアリン酸ブチル
（Ｃ17Ｈ35ＣＯＯＣ4 Ｈ9 ）、ステアリン酸ペンチル
（Ｃ17Ｈ31ＣＯＯＣ5 Ｈ11）、ステアリン酸ヘプチル
（Ｃ17Ｈ35ＣＯＯＣ7 Ｈ15）、ステアリン酸オクチル
（Ｃ17Ｈ35ＣＯＯＣ8 Ｈ17）、ステアリン酸デシル（Ｃ
17Ｈ35ＣＯＯＣ10Ｈ21）等が挙げられる。As the long-chain saturated fatty acid ester, those having a total of 15 to 35 carbon atoms in two alkyl groups are preferred. Specifically, hexyl laurate (C 11 H 23 C
OOC 6 H 13 ), heptyl laurate (C 11 H 23 COO)
C 7 H 15 octyl laurate (C 11 H 23 COOC 8 H
17 ), decyl laurate (C 11 H 23 COOC 10 H 21 ),
Heptyl myristate (C 13 H 27 COOC 7 H 15 ), octyl myristate (C 13 H 27 COOC 8 H 17 ), decyl myristate (C 13 H 27 COOC 10 H 21 ), butyl palmitate (C 15 H 31) COOC 4 H 9 ), heptyl palmitate (C 15 H 31 COOC 7 H 15 ), decyl palmitate (C 15 H 31 COOC 10 H 21 ), butyl stearate (C 17 H 35 COOC 4 H 9 ), stearic acid Pentyl (C 17 H 31 COOC 5 H 11 ), heptyl stearate (C 17 H 35 COOC 7 H 15 ), octyl stearate (C 17 H 35 COOC 8 H 17 ), decyl stearate (C
17 H 35 COOC 10 H 21 ).
【００６１】上記化１０に示す長鎖飽和脂肪酸エステル
中におけるＲI，ＲIIの炭素数の合計数は１５〜３５で
あることが好ましい。Ｒi，ＲIIの炭素数の合計数が１
５未満である場合、潤滑効果が乏しくスチル耐久性に効
果がなく、ＲI，ＲIIの炭素数の合計数が３５を越える
場合、有機溶媒への溶解性が小さくなり均一な潤滑剤塗
布層を形成するのが難しい。It is preferable that the total number of carbon atoms of R I and R II in the long-chain saturated fatty acid ester shown in Chemical formula 10 is 15 to 35. The total number of carbon atoms of R i and R II is 1
If it is less than 5, the lubricating effect is poor and there is no effect on the still durability. If the total number of carbon atoms of R I and R II exceeds 35, the solubility in the organic solvent becomes small and the uniform lubricant coating layer is formed. Is difficult to form.
【００６２】また、上記脂肪酸エステルが飽和脂肪酸エ
ステルから選ばれることが重要である。飽和脂肪酸エス
テルにより長期間の保存においても、初期の潤滑特性を
維持することができる。It is important that the fatty acid ester is selected from saturated fatty acid esters. Saturated fatty acid esters can maintain the initial lubricating properties even during long-term storage.
【００６３】ここで、磁気記録媒体１に使用される潤滑
剤においては、化９に示す末端に水酸基を有するパーフ
ルオロポリエーテルと長鎖カルボン酸とのエステル化合
物と、化１０に示す長鎖飽和脂肪酸エステルとの混合比
は、重量比で１０：９０〜９０：１０であるのが好まし
い。上記範囲を超えると、本発明による効果を得ること
が難しい。Here, the lubricant used for the magnetic recording medium 1 includes an ester compound of a perfluoropolyether having a hydroxyl group at a terminal and a long-chain carboxylic acid shown in Chemical formula 9 and a long-chain saturated compound shown in Chemical formula 10 The mixing ratio with the fatty acid ester is preferably from 10:90 to 90:10 by weight. Exceeding the above range makes it difficult to obtain the effects of the present invention.
【００６４】また、磁気記録媒体１において潤滑剤を最
外層に保持させる方法としては、保護膜４の表面に潤滑
剤をトップコートする方法が挙げられる。ここで、その
塗布量は、０．０５ｍｇ／ｍ2〜１００ｍｇ／ｍ2である
のが好ましく、０．１ｍｇ／ｍ2〜５０ｍｇ／ｍ2である
のがより好ましい。この塗布量があまり少なすぎると、
摩擦係数の低下、耐磨耗性及び耐久性の向上という効果
が表れず、また、この塗布量があまり多すぎると、摺動
部材と強磁性金属薄膜との間でハリツキ現象が起こり、
却って走行性が悪くなる。As a method of retaining the lubricant in the outermost layer in the magnetic recording medium 1, a method of top-coating the lubricant on the surface of the protective film 4 can be mentioned. Here, the coating amount is preferably from 0.05mg / m 2 ~100mg / m 2 , and more preferably 0.1mg / m 2 ~50mg / m 2 . If this amount is too small,
The effect of lowering the coefficient of friction, improving wear resistance and durability is not exhibited, and if this coating amount is too large, a shearing phenomenon occurs between the sliding member and the ferromagnetic metal thin film,
On the contrary, the running performance deteriorates.
【００６５】以上のように、本実施の形態に係る磁気記
録媒体１は、上述したような、密着性や潤滑性の点で非
常に優れた特性の潤滑剤の組み合わせを特定して用いて
いるので、良好な走行性及び耐久性が確保されたものと
なる。As described above, the magnetic recording medium 1 according to the present embodiment specifies and uses a combination of lubricants having extremely excellent characteristics in terms of adhesion and lubricity as described above. Therefore, good running performance and durability are ensured.
【００６６】また、この磁気記録媒体１においては、最
外層として、カーボンよりなる保護膜４が形成されてい
るとともに、その表面に紫外線が照射されているので、
用いられる潤滑剤と、保護膜４との密着性が向上し、更
に良好な耐久性を実現することができる。In this magnetic recording medium 1, a protective film 4 made of carbon is formed as the outermost layer, and the surface is irradiated with ultraviolet rays.
The adhesion between the used lubricant and the protective film 4 is improved, and more favorable durability can be realized.
【００６７】また、この磁気記録媒体１においては、磁
性層３を強磁性金属薄膜としていることから、高密度記
録、長時間記録にも十分対応可能である。Further, in the magnetic recording medium 1, since the magnetic layer 3 is made of a ferromagnetic metal thin film, it can sufficiently cope with high-density recording and long-time recording.
【００６８】さらに、本発明の磁気記録媒体１において
は、非磁性支持体２上の上記磁性層３が形成される面と
は反対側の面に、いわゆるバックコート層を形成しても
良い。このバックコート層は、結合剤樹脂と粉末成分と
を有機溶媒に混合分散させたバックコート用塗料を非磁
性支持体２に塗布することにより形成される。Further, in the magnetic recording medium 1 of the present invention, a so-called back coat layer may be formed on the surface of the non-magnetic support 2 opposite to the surface on which the magnetic layer 3 is formed. This back coat layer is formed by applying a back coat paint in which a binder resin and a powder component are mixed and dispersed in an organic solvent to the non-magnetic support 2.
【００６９】ここで、バックコート用塗料に使用される
結合剤樹脂としては、例えば、塩化ビニル−酢酸ビニル
系共重合体、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、塩
化ビニル−アクリロニトリル共重合体、アクリル酸エス
テル−アクリロニトリル共重合体、熱可塑性ポリウレタ
ンエラストマー、塩化ビニリデン−アクリロニトリル共
重合体、ブタジエン−アクリロニトリル共重合体、ポリ
アミド樹脂、ポリビニルブチラール、セルロース誘導
体、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹
脂、ポリウレタン硬化型樹脂、メラミン樹脂、アルキッ
ド樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ−ポリアミド樹脂、
ニトロセルロース−メラミン樹脂、高分子量ポリエステ
ル樹脂とイソシアネートプレポリマーの混合物、メタク
リル酸塩共重合体とジイソシアネートプレポリマーの混
合物、ポリエステルポリオールとポリイソシアネートと
の混合物、尿素ホルムアルデヒド樹脂、低分子量グリコ
ール／高分子量ジオール／トリフェニルメタントリイソ
シアネートとの混合物、ポリアミン樹脂及びこれらの混
合物等が挙げられる。The binder resin used in the backcoat paint includes, for example, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer, vinyl chloride-acrylonitrile copolymer, acrylic Acid ester-acrylonitrile copolymer, thermoplastic polyurethane elastomer, vinylidene chloride-acrylonitrile copolymer, butadiene-acrylonitrile copolymer, polyamide resin, polyvinyl butyral, cellulose derivative, polyester resin, phenol resin, epoxy resin, polyurethane-curable resin , Melamine resin, alkyd resin, silicone resin, epoxy-polyamide resin,
Nitrocellulose-melamine resin, mixture of high molecular weight polyester resin and isocyanate prepolymer, mixture of methacrylate copolymer and diisocyanate prepolymer, mixture of polyester polyol and polyisocyanate, urea formaldehyde resin, low molecular weight glycol / high molecular weight diol / Triphenylmethane triisocyanate, polyamine resins, and mixtures thereof.
【００７０】あるいは、粉末成分の分散性の改善を図る
ために、親水性極性基を有する結合剤樹脂を使用しても
よい。Alternatively, a binder resin having a hydrophilic polar group may be used in order to improve the dispersibility of the powder component.
【００７１】一方、上記粉末成分としては、導電性を付
与するためのカーボン系微粉末や表面粗度のコントロー
ル及び耐久性向上のために添加される無機顔料が挙げら
れる。上記カーボン系微粒子としては、例えば、ファー
ネスカーボン、チャネルカーボン、アセチレンカーボ
ン、サーマルカーボン、ランプカーボン等が例示され、
上記無機顔料としては、α−ＦｅＯＯＨ、α−Ｆｅ
2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3、ＴｉＯ2、ＺｎＯ、ＳｉＯ、ＳｉＯ2、
ＳｉＯ2・２Ｈ2Ｏ、Ａｌ2Ｏ3、ＣａＣＯ3、ＭｇＣＯ3、
Ｓｂ2Ｏ3等が挙げられる。On the other hand, examples of the powder component include carbon-based fine powder for imparting conductivity and inorganic pigments added for controlling surface roughness and improving durability. Examples of the carbon-based fine particles include furnace carbon, channel carbon, acetylene carbon, thermal carbon, and lamp carbon.
As the inorganic pigment, α-FeOOH, α-Fe
2 O 3 , Cr 2 O 3 , TiO 2 , ZnO, SiO, SiO 2 ,
SiO 2 · 2H 2 O, Al 2 O 3, CaCO 3, MgCO 3,
Sb 2 O 3 and the like.
【００７２】さらに、上記バックコート用塗料の有機溶
剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、
メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン
系溶剤、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エ
チル、酢酸グリコールモノエチルエーテル等のエステル
系溶剤、グリコールジメチルエーテル、グリコールモノ
エチルエーテル、ジオキサン等のグリコールエーテル系
溶剤、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水
素系溶剤、ヘキサン、ヘプタン等の脂肪族炭化水素溶
媒、メチレンクロライド、エチレンクロライド、四塩化
炭素、クロロホルム、エチレンクロロヒドリン、ジクロ
ルベンゼン等の塩素化炭化水素系溶媒等、汎用の溶剤を
用いることができる。Further, as the organic solvent of the back coat paint, for example, acetone, methyl ethyl ketone,
Methyl isobutyl ketone, ketone solvents such as cyclohexanone, methyl acetate, ethyl acetate, butyl acetate, ethyl lactate, ester solvents such as glycol acetate monoethyl ether, glycol dimethyl ether, glycol monoethyl ether, glycol ether solvents such as dioxane, Aromatic hydrocarbon solvents such as benzene, toluene, and xylene; aliphatic hydrocarbon solvents such as hexane and heptane; chlorinated carbonization such as methylene chloride, ethylene chloride, carbon tetrachloride, chloroform, ethylene chlorohydrin, and dichlorobenzene A general-purpose solvent such as a hydrogen-based solvent can be used.
【００７３】さらに、上記のバックコート層には潤滑剤
を併用してもよい。この場合、上記バックコート層中に
潤滑剤を内添する方法、あるいはバックコート層上に潤
滑剤を被着する方法がある。いずれにしても、上記潤滑
剤としては、脂肪酸、脂肪酸エステル、脂肪酸アミド、
金属石鹸、脂肪族アルコール、シリコーン系潤滑剤等、
従来周知の潤滑剤が使用できる。Further, a lubricant may be used in combination with the back coat layer. In this case, there is a method of internally adding a lubricant to the back coat layer, or a method of applying a lubricant on the back coat layer. In any case, the lubricants include fatty acids, fatty acid esters, fatty acid amides,
Metal soaps, fatty alcohols, silicone lubricants, etc.
Conventionally known lubricants can be used.
【００７４】以上のような本実施の形態に係る磁気記録
媒体１は、つぎのようにして作製される。The magnetic recording medium 1 according to the present embodiment as described above is manufactured as follows.
【００７５】先ず、非磁性支持体２上に、例えば真空蒸
着法により磁性層３となる強磁性金属薄膜を形成する。
その後、この磁性層３上に、例えばプラズマＣＶＤ法に
より保護膜４を形成する。さらに、この保護膜４の表面
に紫外線を照射する。そして、この保護膜４上に、上述
の潤滑剤を塗布して保護膜に潤滑剤を保持させて、磁気
記録媒体１が得られる。なお、必要に応じてバックコー
ト層等を形成しても勿論構わない。First, a ferromagnetic metal thin film serving as the magnetic layer 3 is formed on the nonmagnetic support 2 by, for example, a vacuum evaporation method.
Thereafter, a protective film 4 is formed on the magnetic layer 3 by, for example, a plasma CVD method. Further, the surface of the protective film 4 is irradiated with ultraviolet rays. Then, the above-described lubricant is applied on the protective film 4 to hold the lubricant on the protective film, and the magnetic recording medium 1 is obtained. It is needless to say that a back coat layer or the like may be formed as necessary.
【００７６】詳しくは、上記磁性層を形成する真空蒸着
装置としては、図３に示すような連続巻き取り式の真空
蒸着装置が挙げられる。More specifically, as a vacuum deposition apparatus for forming the magnetic layer, there is a continuous winding type vacuum deposition apparatus as shown in FIG.
【００７７】この真空蒸着装置は、いわゆる斜方蒸着用
として構成され、内部が例えば１×１０-3Ｐａ程度の真
空にされた真空室１１内に、例えば−２０℃程度に冷却
され、図中矢印Ａで示すように反時計回り方向に回転す
る冷却キャン１２と、これに対向するように強磁性金属
薄膜用の蒸着源１３が配置されてなるものである。This vacuum vapor deposition apparatus is configured for so-called oblique vapor deposition, and is cooled to, for example, about -20 ° C. in a vacuum chamber 11 in which the inside is evacuated to, for example, about 1 × 10 −3 Pa. The cooling can 12 rotates counterclockwise as shown by an arrow A, and the evaporation source 13 for a ferromagnetic metal thin film is disposed to face the cooling can 12.
【００７８】また、この真空蒸着装置においては、真空
室１１内に、図中の反時計回り方向に回転する供給ロー
ル１４と図中の反時計回り方向に回転する巻き取りロー
ル１５も配設されており、非磁性支持体１６は供給ロー
ル１４から図中矢印Ｂで示す方向に繰り出され、冷却キ
ャン１２の周面に沿って走行した後、巻き取りロール１
５に巻き取られる。In this vacuum evaporation apparatus, a supply roll 14 rotating in a counterclockwise direction in the drawing and a winding roll 15 rotating in a counterclockwise direction in the drawing are also provided in the vacuum chamber 11. The non-magnetic support 16 is unreeled from the supply roll 14 in the direction indicated by the arrow B in the drawing, travels along the peripheral surface of the cooling can 12, and
5 is wound up.
【００７９】なお、供給ロール１４と冷却キャン１２と
の間、及び冷却キャン１２と巻き取りロール１５との間
にはそれぞれガイドローラー１７、１８が配置され、供
給ロール１４から冷却キャン１２、及びこの冷却キャン
１２から巻き取りロール１５に従って走行する非磁性支
持体１６に所定のテンションをかけ、非磁性支持体１６
が円滑に走行するようになされている。Guide rollers 17 and 18 are arranged between the supply roll 14 and the cooling can 12 and between the cooling can 12 and the take-up roll 15, respectively. A predetermined tension is applied to the non-magnetic support 16 running from the cooling can 12 according to the take-up roll 15, and the non-magnetic support 16
Is designed to run smoothly.
【００８０】上記蒸着源１３は坩堝等の容器にＣｏ等の
強磁性金属材料が収容されたものであり、この真空蒸着
装置においては、この蒸着源１３の強磁性金属材料を加
熱、蒸発させるための電子ビーム発生源１９も配設され
ている。すなわち、上記電子ビーム発生源１９から電子
ビーム２０を蒸着源１３の強磁性金属材料に加速照射し
てこれを図中矢印Ｃで示すように加熱、蒸発させる。す
ると、強磁性金属材料は蒸着源１３と対向する冷却キャ
ン１２の周面に沿って走行する非磁性支持体１６上に被
着し、非磁性支持体１６上に強磁性金属薄膜が形成され
ることとなる。The evaporation source 13 is a container such as a crucible containing a ferromagnetic metal material such as Co. In this vacuum evaporation apparatus, the evaporation source 13 is used to heat and evaporate the ferromagnetic metal material of the evaporation source 13. Is also provided. In other words, the ferromagnetic metal material of the evaporation source 13 is acceleratedly irradiated with the electron beam 20 from the electron beam source 19, and the ferromagnetic metal material is heated and evaporated as shown by the arrow C in the figure. Then, the ferromagnetic metal material is deposited on the nonmagnetic support 16 running along the peripheral surface of the cooling can 12 facing the evaporation source 13, and a ferromagnetic metal thin film is formed on the nonmagnetic support 16. It will be.
【００８１】なお、上記真空蒸着装置においては、蒸着
源１３と冷却キャン１２との間に防着板２１を設け、こ
の防着板２１にシャッタ２２を位置調整可能に設けて、
非磁性支持体１６に対して所定の角度で入射する蒸着粒
子のみを通過させる。こうして斜め蒸着法によって強磁
性金属薄膜が形成されるようになされている。In the above-described vacuum vapor deposition apparatus, a deposition-preventing plate 21 is provided between the vapor deposition source 13 and the cooling can 12, and a shutter 22 is provided on the deposition-preventing plate 21 so as to be adjustable in position.
Only the vapor-deposited particles incident on the non-magnetic support 16 at a predetermined angle are passed. Thus, the ferromagnetic metal thin film is formed by the oblique deposition method.
【００８２】さらに、このような強磁性金属薄膜の蒸着
に際し、図示しない酸素ガス導入口を介して非磁性支持
体１６の表面近傍に酸素ガスを供給し、これによって強
磁性金属薄膜の磁性特性、耐久性及び耐候性の向上が図
られるようにすることが好ましい。また、蒸着源を加熱
するためには、上述のような電子ビームによる加熱手段
の他、例えば抵抗加熱手段、高周波加熱手段、レーザ加
熱手段等の公知の手段を使用できる。Further, at the time of depositing such a ferromagnetic metal thin film, oxygen gas is supplied to the vicinity of the surface of the nonmagnetic support 16 through an oxygen gas inlet (not shown), whereby the magnetic characteristics and It is preferable to improve durability and weather resistance. In addition, in order to heat the evaporation source, known means such as a resistance heating means, a high-frequency heating means, and a laser heating means can be used in addition to the above-described heating means using an electron beam.
【００８３】ここでは、斜め蒸着法によりＣｏからなる
強磁性金属薄膜を形成する例について説明したが、強磁
性金属薄膜を形成する方法としては、この方法の他に、
垂直蒸着法やスパッタリング法等の従来公知の薄膜形成
法が適用可能であり、また、この強磁性金属薄膜の材料
としては、Ｃｏの他にＮｉ、Ｆｅ等やこれらの合金が使
用可能である。また、このときの強磁性金属薄膜の厚さ
は、０．０１μｍ〜１μｍ程度が良い。Here, an example has been described in which a ferromagnetic metal thin film made of Co is formed by an oblique deposition method.
A conventionally known thin film forming method such as a vertical vapor deposition method or a sputtering method can be applied, and as a material of the ferromagnetic metal thin film, Ni, Fe, or an alloy thereof can be used in addition to Co. At this time, the thickness of the ferromagnetic metal thin film is preferably about 0.01 μm to 1 μm.
【００８４】つぎに、保護膜４の形成方法について説明
する。保護膜４は、ＣＶＤ法等により形成される。Next, a method for forming the protective film 4 will be described. The protection film 4 is formed by a CVD method or the like.
【００８５】ＣＶＤ法によって保護膜４を形成する場合
には、まず、真空容器中に炭化水素ガス、あるいは炭化
水素と不活性ガスとの混合ガスを導入し、１０Ｐａ〜１
００Ｐａ程度の圧力に保持した状態で、真空容器内に放
電させて、炭化水素ガスのプラズマを発生させ、強磁性
金属薄膜上に保護膜４を形成する。放電形式としては、
外部電極方式、内部電極方式のいずれでもよく、放電周
波数については、実験的に決めることができる。また、
強磁性金属薄膜が形成された非磁性支持体２側に配され
た電極に０〜−３ｋＶの電圧を印加することにより、保
護膜４の硬度の増大及び密着性を向上させることができ
る。In the case of forming the protective film 4 by the CVD method, first, a hydrocarbon gas or a mixed gas of a hydrocarbon and an inert gas is introduced into a vacuum vessel, and 10 Pa to 1 Pa.
While maintaining the pressure at about 00 Pa, discharge is performed in the vacuum vessel to generate a plasma of hydrocarbon gas, and the protective film 4 is formed on the ferromagnetic metal thin film. As a discharge type,
Either the external electrode method or the internal electrode method may be used, and the discharge frequency can be experimentally determined. Also,
By applying a voltage of 0 to -3 kV to the electrode disposed on the nonmagnetic support 2 side on which the ferromagnetic metal thin film is formed, the hardness of the protective film 4 can be increased and the adhesion can be improved.
【００８６】保護膜４の材料となる上記炭化水素として
は、例えば、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペン
タン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、エチレン、アセ
チレン、プロペン、ブテン、ペンテン、ベンゼンなどを
用いることができる。As the above-mentioned hydrocarbon which is a material of the protective film 4, for example, methane, ethane, propane, butane, pentane, hexane, heptane, octane, ethylene, acetylene, propene, butene, pentene, benzene and the like can be used. it can.
【００８７】この保護膜４は、スペーシングロスを少な
く、かつ、強磁性金属薄膜の磨耗防止の効果を得られる
よう、その厚さを３ｎｍ〜１５ｎｍ程度、特に５ｎｍ〜
１０ｎｍ程度とすることが好ましい。The protective film 4 has a thickness of about 3 nm to 15 nm, especially 5 nm to 5 nm, so that the spacing loss is reduced and the effect of preventing the ferromagnetic metal thin film from being worn is obtained.
Preferably, the thickness is about 10 nm.
【００８８】ここでは、ＣＶＤ法により保護膜を形成す
る例について説明したが、保護膜４を形成する方法とし
ては、この方法の他に、マグネトロンスパッタ法、イオ
ンビームスパッタ法、イオンビームプレーティング法等
の従来公知の薄膜形成方法を用いることができる。Here, an example in which the protective film is formed by the CVD method has been described. However, as a method of forming the protective film 4, in addition to this method, a magnetron sputtering method, an ion beam sputtering method, an ion beam plating method, or the like. And the like.
【００８９】〈第２の実施の形態〉つぎに、本発明の第
２の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る
磁気記録媒体は、図１に示された第１の実施の形態の磁
気記録媒体１と同様に、非磁性支持体上に磁性層として
強磁性金属薄膜、最外層として保護膜が順次形成されて
なる。そして、本実施の形態に係る磁気記録媒体は、特
に、最外層となる保護膜に、下記化１１で示される末端
にカルボキシル基を有するパーフルオロポリエーテルと
長鎖アルコールとのエステル化合物と、下記化１２にて
示される長鎖飽和脂肪酸エステルとを含有する潤滑剤が
保持されている。<Second Embodiment> Next, a second embodiment of the present invention will be described. The magnetic recording medium according to the present embodiment, like the magnetic recording medium 1 according to the first embodiment shown in FIG. 1, has a ferromagnetic metal thin film as a magnetic layer on a non-magnetic support and a protective layer as an outermost layer. Films are sequentially formed. The magnetic recording medium according to the present embodiment has, in particular, an outermost protective film, an ester compound of a perfluoropolyether having a carboxyl group at a terminal represented by the following formula 11 and a long-chain alcohol, A lubricant containing a long-chain saturated fatty acid ester represented by Chemical formula 12 is retained.
【００９０】[0090]
【化１１】 Embedded image
【００９１】[0091]
【化１２】 Embedded image
【００９２】このような化１１に示される化合物及び化
１２に示される化合物を有する潤滑剤は、如何なる使用
条件下においても密着性や潤滑性が好適に保たれ、且つ
長期に至り潤滑効果を持続する特性を有するものであ
る。The lubricant having the compound represented by the chemical formula (11) and the compound represented by the chemical formula (12) can maintain good adhesion and lubricity under any use conditions and maintain the lubricating effect for a long period of time. It has the following characteristics.
【００９３】なお、上記化１１及び化１２に示される潤
滑剤が用いられた磁気記録媒体は、図１に示した磁気記
録媒体１と略同様の構成を有するものであり、最外層に
保持される潤滑剤のみが異なる例であり、その他の磁性
層や保護膜等は同じ構成である。そこで、以下の説明で
は、潤滑剤についてのみ説明する。The magnetic recording medium using the lubricant shown in Chemical formulas 11 and 12 has substantially the same configuration as the magnetic recording medium 1 shown in FIG. 1, and is held in the outermost layer. This is an example in which only the lubricant is different, and the other magnetic layers, protective films, and the like have the same configuration. Therefore, in the following description, only the lubricant will be described.
【００９４】上記化１１に示す末端にカルボキシル基を
有するパーフルオロポリエーテルと長鎖アルコールとの
エステル化合物は、例えば、末端にカルボキシル基を有
するパーフルオロポリエーテルと長鎖アルコールとを、
無水トルエン中でｐ−トルエンスルホン酸や濃硫酸等を
触媒として反応させることによって得られるものであ
る。The ester compound of a perfluoropolyether having a carboxyl group at the terminal and a long-chain alcohol represented by the above formula 11 is, for example, a compound of perfluoropolyether having a carboxyl group at a terminal and a long-chain alcohol.
It is obtained by reacting in anhydrous toluene using p-toluenesulfonic acid, concentrated sulfuric acid or the like as a catalyst.
【００９５】ここで、上記末端にカルボキシル基を有す
るパーフルオロポリエーテルとしては、カルボキシル基
を両末端に有するものが好ましく、具体的には、ＨＯＯ
Ｃ−ＣＦ2（ＯＣ2Ｆ4）m（ＯＣＦ2）jＯＣＦ2−ＣＯＯ
Ｈ（但し、上記化学式中のｍ，ｊはいずれも１以上の整
数を表す。）等が挙げられる。上記の末端にカルボキシ
ル基を有するパーフルオロポリエーテルは、勿論、これ
らに限定されるわけではない。The perfluoropolyether having a carboxyl group at the terminal is preferably a compound having a carboxyl group at both terminals.
C-CF 2 (OC 2 F 4) m (OCF 2) j OCF 2 -COO
H (however, m and j in the above chemical formulas each represent an integer of 1 or more). The above-mentioned perfluoropolyether having a terminal carboxyl group is, of course, not limited to these.
【００９６】また、上記末端にカルボキシル基を有する
パーフルオロポリエーテルの分子量は、特に制約される
ものではないが、実用的には６００〜５０００程度が好
ましい。分子量が大きすぎると、末端基の吸着基として
の効果が薄れるとともに、パーフルオロポリエーテル鎖
が大きくなる分、既存の炭化水素系溶媒に溶解しにくく
なる。一方、分子量が小さすぎると、パーフルオロポリ
エーテル鎖による潤滑効果が失われてしまう。The molecular weight of the perfluoropolyether having a carboxyl group at the terminal is not particularly limited, but is practically preferably about 600 to 5,000. If the molecular weight is too large, the effect of the terminal group as an adsorbing group is diminished, and the perfluoropolyether chain becomes large, so that it becomes difficult to dissolve in an existing hydrocarbon solvent. On the other hand, if the molecular weight is too small, the lubricating effect of the perfluoropolyether chain will be lost.
【００９７】なお、上記末端にカルボキシル基を有する
パーフルオロポリエーテルにおいては、パーフルオロポ
リエーテル鎖が部分水素化されてもよい。すなわち、パ
ーフルオロポリエーテル鎖のフッ素原子の一部（５０％
以下）を水素原子で置換しても良い。この場合には、パ
ーフルオロポリエーテルとして部分水素化したパーフル
オロポリエーテルを使用すればよい。In the perfluoropolyether having a carboxyl group at the terminal, the perfluoropolyether chain may be partially hydrogenated. That is, a part of the fluorine atoms of the perfluoropolyether chain (50%
Below) may be replaced by a hydrogen atom. In this case, a partially hydrogenated perfluoropolyether may be used as the perfluoropolyether.
【００９８】一方、上記長鎖アルコールとしては、市販
品、或いは合成品何れも使用可能である。また、その分
子量が小さくなるに従って通常の有機溶媒に溶解し難く
なることから、少なくともその１個のアルキル基の炭素
数が６以上であることが好ましい。On the other hand, as the long-chain alcohol, either a commercial product or a synthetic product can be used. In addition, it is preferable that at least one of the alkyl groups has 6 or more carbon atoms because the molecular weight of the alkyl group becomes difficult to dissolve in an ordinary organic solvent as the molecular weight decreases.
【００９９】また、上述したように、本実施の形態で用
いられる上記潤滑剤には、上記化１１に示す化合物の他
に、上記化１２に示される長鎖飽和脂肪酸エステルが含
有される。この化１２に示される長鎖飽和脂肪酸エステ
ルは、第１の実施の形態において上述した長鎖飽和脂肪
酸エステルと同様なものを使用することができる。As described above, the lubricant used in the present embodiment contains a long-chain saturated fatty acid ester represented by Chemical Formula 12 in addition to the compound represented by Chemical Formula 11. As the long-chain saturated fatty acid ester shown in Chemical formula 12, the same as the long-chain saturated fatty acid ester described in the first embodiment can be used.
【０１００】ここで、本発明の磁気記録媒体に使用され
る潤滑剤においては、化１１に示す末端にカルボキシル
基を有するパーフルオロポリエーテルと長鎖アルコール
とのエステル化合物と、化１２に示す長鎖飽和脂肪酸エ
ステルとの混合比は、重量比で１０：９０〜９０：１０
であるのが好ましい。上記範囲を超えると本発明による
効果を得ることが難しい。Here, the lubricant used in the magnetic recording medium of the present invention includes an ester compound of perfluoropolyether having a carboxyl group at a terminal and a long-chain alcohol shown in Chemical formula 11; The mixing ratio with the chain saturated fatty acid ester is 10:90 to 90:10 by weight.
It is preferred that Exceeding the above range makes it difficult to obtain the effects of the present invention.
【０１０１】なお、潤滑剤を最外層に保持させる方法と
しても、上述した磁気記録媒体１における潤滑剤の場合
と同様であり、保護膜の表面に潤滑剤をトップコートす
る方法が挙げられる。ここで、その塗布量は、０．０５
ｍｇ／ｍ2〜１００ｍｇ／ｍ2であるのが好ましく、０．
１ｍｇ／ｍ2〜５０ｍｇ／ｍ2であるのがより好ましい。
この塗布量があまり少ないなすぎると、摩擦係数の低
下、耐磨耗性・耐久性の向上という効果が表れず、ま
た、塗布量があまり多すぎると、摺動部材と強磁性金属
薄膜との間でハリツキ現象が起こり、却って走行性が悪
くなる。The method of retaining the lubricant in the outermost layer is the same as that of the lubricant in the magnetic recording medium 1 described above, and includes a method of top-coating the lubricant on the surface of the protective film. Here, the coating amount is 0.05
is preferably from mg / m 2 ~100mg / m 2 , 0.
1 mg / m 2 and more preferably to 50 mg / m 2.
If the coating amount is too small, the effect of lowering the coefficient of friction and improving wear resistance and durability will not be exhibited, and if the coating amount is too large, the sliding member and the ferromagnetic metal thin film will not have the same effect. A cracking phenomenon occurs between the two, which results in poor running performance.
【０１０２】以上のように、本実施の形態に係る磁気記
録媒体は、上述したような、密着性や潤滑性の点で非常
に優れた特性の潤滑剤の組み合わせを特定して用いてい
るので、良好な走行性及び耐久性が確保されたものとな
る。As described above, the magnetic recording medium according to the present embodiment specifies and uses a combination of lubricants having extremely excellent characteristics in terms of adhesion and lubricity as described above. Thus, good running performance and durability are ensured.
【０１０３】また、この磁気記録媒体においては、最外
層として形成され、カーボンよりなる保護膜の表面に紫
外線が照射されているので、用いられる潤滑剤と、保護
膜との密着性が向上し、更に良好な耐久性を実現するこ
とができる。Further, in this magnetic recording medium, since the surface of the protective film made of carbon is formed as the outermost layer and the surface of the protective film is made of carbon, the adhesion between the lubricant used and the protective film is improved. Further, excellent durability can be realized.
【０１０４】また、この磁気記録媒体においては、磁性
層を強磁性金属薄膜としていることから、高密度記録、
長時間記録にも十分対応可能である。Further, in this magnetic recording medium, since the magnetic layer is formed of a ferromagnetic metal thin film, high density recording,
It can be used for long time recording.
【０１０５】[0105]
【実施例】以下、本発明の実施例について具体的な実験
結果に基づいて説明する。本実施例では、実際に磁気記
録媒体を製造し、その特性の評価を行った。EXAMPLES Examples of the present invention will be described below based on specific experimental results. In this example, a magnetic recording medium was actually manufactured and its characteristics were evaluated.
【０１０６】実験例１ 本実験例では、末端に水酸基を有するパーフルオロポリ
エーテルと長鎖カルボン酸とのエステル化合物と、長鎖
飽和脂肪酸エステルを含有する潤滑剤を使用した場合の
効果を以下のようにして確認した。 Experimental Example 1 In this experimental example, the effects of using an ester compound of a perfluoropolyether having a hydroxyl group at a terminal and a long-chain carboxylic acid and a lubricant containing a long-chain saturated fatty acid ester were as follows. I confirmed it.
【０１０７】（サンプルの作製） １．末端に水酸基を有するパーフルオロポリエーテルと
長鎖カルボン酸とのエステル化合物の合成 先ず、末端に水酸基を有するパーフルオロポリエーテル
として、分子量２０００のＨＯＣＨ2 ＣＦ2 （ＯＣ2 Ｆ
4 ）p （ＯＣＦ2 ）q ＯＣＦ2 ＣＨ2 ＯＨ（但し、化学
式中ｐ、ｑはそれぞれ１以上の整数を表す。）を用い、
このパーフルオロポリエーテルとモル比で２倍等量とな
るトリエチルアミンを有機溶媒中に溶解させ、この溶液
中に更にモル比で２倍等量のステアリン酸クロリドを３
０分かけて滴下した。(Preparation of Sample) Synthesis of ester compound of perfluoropolyether having a hydroxyl group at a terminal and long-chain carboxylic acid First, as a perfluoropolyether having a hydroxyl group at a terminal, HOCH 2 CF 2 having a molecular weight of 2000 (OC 2 F)
4 ) p (OCF 2 ) q OCF 2 CH 2 OH (where p and q each represent an integer of 1 or more in the chemical formula)
Triethylamine, which is twice the molar ratio of this perfluoropolyether, is dissolved in an organic solvent, and stearic acid chloride, which is twice the molar ratio, is further added to the solution.
It was added dropwise over 0 minutes.
【０１０８】滴下終了後、１時間撹拌し、続いて３０分
間加熱還流を行った。そして、冷却した後、蒸留水、希
塩酸水溶液の順で洗浄し、再度蒸留水により洗浄液が中
性になるまで洗浄した。続いて、有機溶媒を除去し、得
られた化合物をシリカゲルカラムクロマトグラフィーを
用いて精製してエステル化合物を得た。ここで、このエ
ステル化合物を化合物１とする。After completion of the dropwise addition, the mixture was stirred for 1 hour, and then heated under reflux for 30 minutes. And after cooling, it wash | cleaned in order of distilled water and dilute hydrochloric acid aqueous solution, and wash | cleaned again with distilled water until the washing | cleaning liquid became neutral. Subsequently, the organic solvent was removed, and the obtained compound was purified using silica gel column chromatography to obtain an ester compound. Here, this ester compound is referred to as Compound 1.
【０１０９】次に、上記化合物１と同様な合成方法によ
って、表１に示すような末端に水酸基を有するパーフル
オロポリエーテルと長鎖カルボン酸とのエステル化合物
である４種類の化合物２〜５を合成した。なお、表１中
ｐ、ｑ、ｎは、１以上の整数をそれぞれ表す。Next, four kinds of compounds 2 to 5 which are ester compounds of a perfluoropolyether having a terminal hydroxyl group and a long-chain carboxylic acid as shown in Table 1 were synthesized by the same synthesis method as that of the above-mentioned compound 1. Synthesized. In Table 1, p, q, and n each represent an integer of 1 or more.
【０１１０】[0110]
【表１】 [Table 1]
【０１１１】２．サンプルテープの作製 次に、磁気テープを以下のようにして作製した。先ず、
非磁性支持体である７．０μｍ厚のポリエチレンテレフ
タレートフィルムに、上述の真空蒸着装置を使用して斜
め蒸着法によりＣｏを被着させ、磁性層となる強磁性金
属薄膜を１８０ｎｍの厚さに形成した。[0111] 2. Preparation of Sample Tape Next, a magnetic tape was prepared as follows. First,
A ferromagnetic metal thin film serving as a magnetic layer is formed to a thickness of 180 nm on a 7.0 μm thick polyethylene terephthalate film, which is a nonmagnetic support, by oblique deposition using the above-described vacuum deposition apparatus. did.
【０１１２】次に、上記強磁性金属薄膜上に、エチレン
とアルゴンの混合ガスの高周波プラズマにより、電極
と、磁気記録媒体原反自身を対向電極として、原反に−
１．５ｋＶの直流電圧を印加し、放電を行い、上記強磁
性金属薄膜上に約８ｎｍの厚さのカーボン保護膜を形成
した。Next, on the ferromagnetic metal thin film, a high frequency plasma of a mixed gas of ethylene and argon was used to form an electrode and a magnetic recording medium raw material itself as a counter electrode.
A DC voltage of 1.5 kV was applied to perform discharge, and a carbon protective film having a thickness of about 8 nm was formed on the ferromagnetic metal thin film.
【０１１３】次に、ポリエチレンテレフタレートフィル
ムの強磁性金属薄膜が形成された面とは反対側の面に、
カーボン及びポリウレタン樹脂よりなる膜厚０．５μｍ
のバックコート層を形成した。Next, on the surface of the polyethylene terephthalate film opposite to the surface on which the ferromagnetic metal thin film is formed,
0.5 μm thickness of carbon and polyurethane resin
Was formed.
【０１１４】次に、図２に示したような紫外線照射装置
を用いて、下記表２に示すような条件でカーボン保護膜
に紫外線を照射した。なお、紫外線の波長は１８５ｎｍ
であり、紫外線の照射時間は磁気記録媒体のラインスピ
ードで制御した。Next, using a UV irradiation apparatus as shown in FIG. 2, the carbon protective film was irradiated with UV rays under the conditions shown in Table 2 below. The wavelength of the ultraviolet light is 185 nm.
The irradiation time of the ultraviolet rays was controlled by the line speed of the magnetic recording medium.
【０１１５】次に、下記表２に示される化合物をそれぞ
れヘキサン溶媒に溶解したものを、上記カーボン保護膜
上に塗布量が５ｍｇ／ｍ2となるように塗布して、１５
種類の磁気記録媒体を得た。Next, each of the compounds shown in the following Table 2 dissolved in a hexane solvent was applied onto the carbon protective film so that the coating amount was 5 mg / m 2 ,
Various types of magnetic recording media were obtained.
【０１１６】そして、これら１５種類の磁気記録媒体を
それぞれ６．３５ｍｍ幅に裁断して、実施例１〜実施例
８及び比較例１〜比較例７の１５種類のサンプルテープ
とした。Then, these 15 types of magnetic recording media were cut to a width of 6.35 mm, respectively, to obtain 15 types of sample tapes of Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 7.
【０１１７】ただし、比較例３〜比較例７のサンプルテ
ープについては、保護膜の表面に紫外線を照射しなかっ
た。However, with respect to the sample tapes of Comparative Examples 3 to 7, the surface of the protective film was not irradiated with ultraviolet rays.
【０１１８】[0118]
【表２】 [Table 2]
【０１１９】３．特性の評価 次に、上記実施例１〜実施例８と比較例１〜比較例７の
１５種類のサンプルテープの特性を評価した。ここで
は、耐久性と走行性を評価することとし、具体的には摩
擦係数、スチル耐久性及びシャトル耐久性を評価した。
これらを評価する際の環境条件としては、本発明者等が
検討した上で、最も厳しい条件と思われる条件を採用し
た。3. Evaluation of Characteristics Next, the characteristics of the 15 types of sample tapes of Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 7 were evaluated. Here, the durability and running performance were evaluated, and specifically, the friction coefficient, still durability and shuttle durability were evaluated.
As environmental conditions for evaluating these, the inventors considered the conditions and adopted the conditions considered to be the most severe conditions.
【０１２０】（１）摩擦係数の測定方法 摩擦係数の測定は、恒温槽中の環境条件を温度４０℃、
湿度８０％ＲＨに制御して、この恒温槽中で各サンプル
テープを１００パス走行させて測定した。なお、摩擦走
行１００パス目の数値を摩擦係数とした。(1) Method of Measuring Friction Coefficient The friction coefficient was measured by setting the environmental conditions in a thermostat at a temperature of 40 ° C.
The humidity was controlled at 80% RH, and the measurement was carried out by running each sample tape for 100 passes in this thermostat. In addition, the numerical value of the 100th pass of friction running was defined as the friction coefficient.
【０１２１】（２）スチル耐久性の測定方法 スチル耐久性の評価は、−５℃の恒温槽中で行い、市販
のデジタルビデオカムコーダー（ソニー社製、機種名：
ＤＣＲ−ＶＸ１０００）を用いて、各サンプルテープの
再生出力が３ｄＢ落ちるまでの時間を測定して行った。(2) Still Durability Measurement Method Still durability evaluation was performed in a thermostat at -5 ° C., and a commercially available digital video camcorder (manufactured by Sony Corporation, model name:
Using DCR-VX1000), the time required for the reproduction output of each sample tape to drop by 3 dB was measured.
【０１２２】（３）シャトル耐久性の測定方法 シャトル耐久性は、恒温槽中の環境条件を温度４０℃、
湿度２０％ＲＨに制御して、この恒温槽中で市販のデジ
タルビデオカムコーダー（ソニー社製、機種名：ＤＣＲ
−ＶＸ１０００）を用い、各サンプルテープを１００パ
スシャトル走行させ、１００パス走行後にその再生出力
が初期出力から何ｄＢ落ちるかを測定して評価した。(3) Method of Measuring Shuttle Durability Shuttle durability is determined by measuring the environmental conditions in a thermostat at a temperature of 40 ° C.
The humidity is controlled at 20% RH, and a commercially available digital video camcorder (model name: DCR, manufactured by Sony Corporation) is controlled in this thermostat.
-VX1000), each sample tape was run for 100 pass shuttles, and after running for 100 passes, how many dB the reproduction output dropped from the initial output was measured and evaluated.
【０１２３】なお、これらの評価は、潤滑剤を塗布した
直後と、各サンプルテープを温度４５℃、湿度８０％Ｒ
Ｈの環境下で３０日間保存した後に行った。潤滑剤を塗
布した直後の初期の耐久性及び走行性の測定結果を表
３、３０日間保存した後の保存後の耐久性及び走行性の
測定結果を表４に示す。These evaluations were carried out immediately after the lubricant was applied and at a temperature of 45 ° C. and a humidity of 80% R
The test was performed after storing for 30 days in an environment of H. Table 3 shows the measurement results of the initial durability and running properties immediately after the application of the lubricant, and Table 4 shows the measurement results of the durability and running properties after storage after storage for 30 days.
【０１２４】[0124]
【表３】 [Table 3]
【０１２５】[0125]
【表４】 [Table 4]
【０１２６】表３及び表４の結果から、ＣＶＤ法により
形成された保護膜表面に紫外線を照射し、さらに潤滑剤
として、末端に水酸基を有するパーフルオロポリエーテ
ルと長鎖カルボン酸とのエステル化合物と長鎖飽和脂肪
酸エステルとを組み合わせた潤滑剤を使用した実施例１
〜実施例８においては、何れも高温多湿、高温低湿或い
は低温等の様々な使用条件下において摩擦係数、スチル
耐久性及びシャトル耐久性の劣化が極めて少なく、非常
に良好な結果が得られていることがわかった。From the results shown in Tables 3 and 4, the surface of the protective film formed by the CVD method was irradiated with ultraviolet rays, and further, as a lubricant, an ester compound of a perfluoropolyether having a hydroxyl group at a terminal and a long-chain carboxylic acid. Example 1 Using a Lubricant Combined with a Long Chain Saturated Fatty Acid Ester
-In Example 8, the friction coefficient, still durability, and shuttle durability deteriorated very little under various use conditions such as high temperature and high humidity, high temperature and low humidity, and low temperature, and very good results were obtained. I understand.
【０１２７】一方、末端に水酸基を有するパーフルオロ
ポリエーテルと長鎖カルボン酸とのエステル化合物のみ
を含有する潤滑剤を用いた比較例１及び比較例２では、
様々な使用条件下において摩擦係数やスチル耐久性、シ
ャトル耐久性の劣化が非常に大きかった。また、保護膜
の表面に紫外線を照射しなかった比較例３〜比較例７で
は、様々な使用条件下において摩擦係数やスチル耐久
性、シャトル耐久性の劣化が大きく、良好な結果が得ら
れなかった。On the other hand, in Comparative Examples 1 and 2 using a lubricant containing only an ester compound of a perfluoropolyether having a hydroxyl group at a terminal and a long-chain carboxylic acid,
Under various conditions of use, the coefficient of friction, still durability, and shuttle durability deteriorated significantly. Further, in Comparative Examples 3 to 7 in which the surface of the protective film was not irradiated with ultraviolet rays, the friction coefficient, still durability, and shuttle durability were greatly deteriorated under various use conditions, and good results were not obtained. Was.
【０１２８】以上の結果より、保護膜表面に紫外線を照
射し、さらに潤滑剤として、末端に水酸基を有するパー
フルオロポリエーテルと長鎖カルボン酸とのエステル化
合物と、長鎖飽和脂肪酸エステルとを組み合わせること
により、潤滑剤が如何なる使用条件下においても密着性
や潤滑性が保たれ、且つ長期に亘り潤滑効果が持続する
ため、磁気記録媒体の良好な走行性及び耐久性が得られ
ることがわかった。From the above results, the surface of the protective film was irradiated with ultraviolet rays, and an ester compound of a perfluoropolyether having a terminal hydroxyl group and a long-chain carboxylic acid was combined with a long-chain saturated fatty acid ester as a lubricant. Thereby, it was found that good running property and durability of the magnetic recording medium can be obtained because the lubricant maintains the adhesion and lubricity under any use condition and the lubrication effect is maintained for a long period of time. .
【０１２９】実験例２ 本実験例においては、末端にカルボキシル基を有するパ
ーフルオロポリエーテルと長鎖アルコールとのエステル
化合物と、長鎖飽和脂肪酸エステルを含有する潤滑剤を
使用した場合の効果を以下のようにして確認した。 Experimental Example 2 In this experimental example, the effects of using an ester compound of a perfluoropolyether having a carboxyl group at a terminal and a long-chain alcohol and a lubricant containing a long-chain saturated fatty acid ester were as follows. Confirmed as follows.
【０１３０】（サンプルの作製） １．末端にカルボキシル基を有するパーフルオロポリエ
ーテルと長鎖アルコールとのエステル化合物の合成 先ず、末端にカルボキシル基を有するパーフルオロポリ
エーテルとして、分子量２０００のＨＯＯＣＣＦ2（Ｏ
Ｃ2 Ｆ4 ）p（ＯＣＦ2 ）qＯＣＦ2ＣＯＯＨ（但し、化
学式中ｐ、ｑはそれぞれ１以上の整数を表す。）を用
い、このパーフルオロポリエーテルとモル比で２倍等量
となるステアリルアルコールを無水トルエン中で少量の
ｐ−トルエンスルホン酸と濃硫酸を触媒として加熱還流
させた。このとき、生成される水分を除去しながら行っ
た。(Preparation of Sample) Synthesis of ester compound of perfluoropolyether having terminal carboxyl group and long-chain alcohol First, as a perfluoropolyether having terminal carboxyl group, HOOCCF 2 (O
Using C 2 F 4 ) p (OCF 2 ) q OCF 2 COOH (where p and q each represent an integer of 1 or more), the molar ratio of this perfluoropolyether is twice equivalent. Stearyl alcohol was heated to reflux in anhydrous toluene using a small amount of p-toluenesulfonic acid and concentrated sulfuric acid as catalysts. At this time, the reaction was performed while removing generated water.
【０１３１】反応終了後、トルエンを除去した後、得ら
れた化合物をシリカゲルカラムクロマトグラフィーを用
いて精製して、その後溶媒を除去し、エステル化合物を
得た。なお、ここで、このエステル化合物を化合物６と
する。After completion of the reaction, toluene was removed, and the obtained compound was purified by silica gel column chromatography, and then the solvent was removed to obtain an ester compound. Here, this ester compound is referred to as Compound 6.
【０１３２】次に、上記化合物６と同様な合成方法によ
って、表５に示すような末端にカルボキシル基を有する
パーフルオロポリエーテルと長鎖アルコールとのエステ
ル化合物である４種類の化合物７〜１０を合成した。な
お、表５中ｐ、ｑ、ｎは、１以上の整数をそれぞれ表
す。Next, four kinds of compounds 7 to 10 which are ester compounds of a perfluoropolyether having a terminal carboxyl group and a long-chain alcohol as shown in Table 5 were synthesized by the same synthesis method as that of the above-mentioned compound 6. Synthesized. In Table 5, p, q, and n each represent an integer of 1 or more.
【０１３３】[0133]
【表５】 [Table 5]
【０１３４】２．サンプルテープの作製 まず、前述の実験例１と同様にして、非磁性支持体上に
磁性層となる強磁性金属薄膜、カーボンからなる保護膜
をプラズマＣＶＤ法により形成し、バックコート層も形
成した。さらに、上記保護膜の表面を、下記表６に示さ
れるような条件で紫外線照射した。2. First, a ferromagnetic metal thin film to be a magnetic layer and a protective film made of carbon were formed on a nonmagnetic support by a plasma CVD method, and a back coat layer was formed in the same manner as in Experimental Example 1 described above. . Further, the surface of the protective film was irradiated with ultraviolet light under the conditions shown in Table 6 below.
【０１３５】次に、前述の実験例１と同様にして、保護
膜表面に、下記表６に示されるような潤滑剤をヘキサン
溶媒に溶解したものを、塗布量が５ｍｇ／ｍ2となるよ
うにそれぞれ塗布して１５種類の磁気記録媒体を得た。Next, in the same manner as in Experimental Example 1 described above, a solution in which a lubricant as shown in Table 6 below was dissolved in a hexane solvent was applied to the surface of the protective film so that the coating amount was 5 mg / m 2. To obtain 15 types of magnetic recording media.
【０１３６】そして、これら１５種類の磁気記録媒体を
それぞれ６．３５ｍｍ幅に裁断し、実施例９〜実施例１
６及び比較例８〜比較例１４の１５種類のサンプルテー
プを作製した。Then, these 15 types of magnetic recording media were cut into 6.35 mm widths, respectively.
Sixteen and fifteen types of sample tapes of Comparative Examples 8 to 14 were produced.
【０１３７】ただし、比較例１０〜比較例１４のサンプ
ルテープについては、保護膜の表面に紫外線を照射しな
かった。However, for the sample tapes of Comparative Examples 10 to 14, the surface of the protective film was not irradiated with ultraviolet rays.
【０１３８】[0138]
【表６】 [Table 6]
【０１３９】３．特性の評価 次に、上記実施例９〜実施例１６と比較例８〜１４の１
５種類のサンプルテープの特性を評価した。ここでは、
耐久性と走行性を評価することとし、具体的には摩擦係
数、スチル耐久性及びシャトル耐久性を前述の実験例１
と同様にして評価した。[0139] 3. Evaluation of Characteristics Next, one of Examples 9 to 16 and Comparative Examples 8 to 14 was used.
The characteristics of the five types of sample tapes were evaluated. here,
The durability and running performance were evaluated. Specifically, the friction coefficient, still durability, and shuttle durability were measured in the above-described Experimental Example 1.
The evaluation was performed in the same manner as described above.
【０１４０】なお、これらの評価は、前述の実験例１と
同様に潤滑剤を塗布した直後と、各サンプルテープを温
度４５℃、湿度８０％ＲＨの環境下で３０日間保存した
後に行った。潤滑剤を塗布した直後の初期の耐久性及び
走行性の結果を表７、３０日間保存した後の保存後の耐
久性及び走行性の結果を表８に示す。These evaluations were performed immediately after the lubricant was applied in the same manner as in Experimental Example 1 and after each sample tape was stored for 30 days in an environment at a temperature of 45 ° C. and a humidity of 80% RH. Table 7 shows the results of the initial durability and running properties immediately after the application of the lubricant, and Table 8 shows the results of the durability and running properties after storage after storage for 30 days.
【０１４１】[0141]
【表７】 [Table 7]
【０１４２】[0142]
【表８】 [Table 8]
【０１４３】表７及び表８の結果から、ＣＶＤ法により
形成された保護膜表面に紫外線を照射し、さらに潤滑剤
として、末端にカルボキシル基を有するパーフルオロポ
リエーテルと長鎖アルコールとのエステル化合物と長鎖
飽和脂肪酸エステルとを組み合わせた潤滑剤を使用した
実施例９〜実施例１６においては、何れも高温多湿、高
温低湿或いは低温等の様々な使用条件下において摩擦係
数、スチル耐久性及びシャトル耐久性の劣化が極めて少
なく、非常に良好な結果が得られていることがわかっ
た。From the results shown in Tables 7 and 8, the surface of the protective film formed by the CVD method was irradiated with ultraviolet rays, and further, as a lubricant, an ester compound of perfluoropolyether having a carboxyl group at a terminal and a long-chain alcohol. In Examples 9 to 16 using a lubricant in combination with a long chain saturated fatty acid ester, the friction coefficient, still durability and shuttle under various use conditions such as high temperature and high humidity, high temperature and low humidity, or low temperature It was found that the durability was extremely low and very good results were obtained.
【０１４４】一方、末端にカルボキシル基を有するパー
フルオロポリエーテルと長鎖アルコールとのエステル化
合物のみを含有する潤滑剤を用いた比較例８及び比較例
９では、様々な使用条件下において摩擦係数やスチル耐
久性、シャトル耐久性の劣化が非常に大きかった。ま
た、保護膜の表面に紫外線を照射しなかった比較例１０
〜比較例１４では、様々な使用条件下において摩擦係数
やスチル耐久性、シャトル耐久性の劣化が大きく、良好
な結果が得られなかった。On the other hand, in Comparative Examples 8 and 9 using a lubricant containing only an ester compound of a perfluoropolyether having a carboxyl group at the end and a long-chain alcohol, the friction coefficient and The deterioration of still durability and shuttle durability was extremely large. Comparative Example 10 in which the surface of the protective film was not irradiated with ultraviolet rays
In Comparative Example 14, the friction coefficient, still durability, and shuttle durability deteriorated greatly under various use conditions, and good results could not be obtained.
【０１４５】以上の結果より、保護膜表面に紫外線を照
射し、さらに潤滑剤として、末端にカルボキシル基を有
するパーフルオロポリエーテルと長鎖アルコールとのエ
ステル化合物と、長鎖飽和脂肪酸エステルとを組み合わ
せることにより、潤滑剤が如何なる使用条件下において
も密着性や潤滑性が保たれ、且つ長期に亘り潤滑効果が
持続するため、磁気記録媒体の良好な走行性及び耐久性
が得られることがわかった。From the above results, the surface of the protective film was irradiated with ultraviolet rays, and the ester compound of perfluoropolyether having a carboxyl group at the end and a long-chain alcohol was combined with a long-chain saturated fatty acid ester as a lubricant. Thereby, it was found that good running property and durability of the magnetic recording medium can be obtained because the lubricant maintains the adhesion and lubricity under any use condition and the lubrication effect is maintained for a long period of time. .
【０１４６】[0146]
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
係る磁気記録媒体の製造方法は、密着性や潤滑性の点で
非常に優れた特性の潤滑剤の組み合わせを特定して用い
ているので、走行性及び耐久性を向上させることができ
る。また、本発明に係る磁気記録媒体の製造方法では、
最外層として形成され、カーボンよりなる保護膜の表面
に紫外線を照射しているので、当該保護膜上に保持され
る潤滑剤と、保護膜との密着性が向上し、更に良好な耐
久性を実現することができる。As described in detail above, the method for manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention uses a combination of lubricants having extremely excellent characteristics in terms of adhesion and lubricity. As a result, running performance and durability can be improved. In the method for manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention,
Formed as the outermost layer and irradiating the surface of the protective film made of carbon with ultraviolet light, the adhesion between the lubricant held on the protective film and the protective film is improved, and further excellent durability is achieved. Can be realized.
【図１】本発明に係る磁気記録媒体の一例を示す断面図
である。FIG. 1 is a sectional view showing an example of a magnetic recording medium according to the present invention.
【図２】紫外線照射装置の一例を示す構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram illustrating an example of an ultraviolet irradiation device.
【図３】磁性層を形成する際に用いる真空蒸着装置の一
例を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating an example of a vacuum evaporation apparatus used when forming a magnetic layer.
１ 磁気記録媒体、 ２ 非磁性支持体、 ３ 磁性
層、 ４ 保護膜DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Magnetic recording medium, 2 Non-magnetic support, 3 Magnetic layer, 4 Protective film
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷田貝 洋 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 Ｆターム(参考） 4H104 BB32A BD07A CD04A LA20 PA16 5D006 AA01 AA02 AA06 EA03 FA05 5D112 AA07 AA11 BC01 BC02 BC05 FA09 GA19 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Hiroshi Yatakai 6-7-35 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo F-term in Sony Corporation (reference) 4H104 BB32A BD07A CD04A LA20 PA16 5D006 AA01 AA02 AA06 EA03 FA05 5D112 AA07 AA11 BC01 BC02 BC05 FA09 GA19
Claims (10)
磁性層を形成し、この磁性層上に保護膜を形成する磁気
記録媒体の製造方法において、 上記保護膜の表面に、不活性ガス雰囲気中で紫外線を照
射し、 その後、上記保護膜表面に、下記化１で示される末端に
水酸基を有するパーフルオロポリエーテルと長鎖カルボ
ン酸とのエステル化合物及び下記化２で示される長鎖飽
和脂肪酸エステルを含有する潤滑剤層を形成することを
特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 【化１】 【化２】 1. A method of manufacturing a magnetic recording medium comprising: forming a magnetic layer made of a metal magnetic thin film on a non-magnetic support; and forming a protective film on the magnetic layer. UV rays are irradiated in an atmosphere, and then, on the surface of the protective film, an ester compound of a perfluoropolyether having a terminal hydroxyl group and a long-chain carboxylic acid represented by the following chemical formula 1 and a long-chain saturated compound represented by the following chemical formula 2 A method for producing a magnetic recording medium, comprising forming a lubricant layer containing a fatty acid ester. Embedded image Embedded image
ポリエーテルと長鎖カルボン酸とのエステル化合物と、
上記長鎖飽和脂肪酸エステルとの混合比が、重量比で１
０：９０〜９０：１０であることを特徴とする請求項１
記載の磁気記録媒体の製造方法。2. An ester compound of a perfluoropolyether having a terminal hydroxyl group and a long-chain carboxylic acid,
The mixing ratio with the long-chain saturated fatty acid ester is 1 by weight.
The ratio is 0:90 to 90:10.
The manufacturing method of the magnetic recording medium according to the above.
ステルの上記ＲI，ＲI Iの炭素数の合計数が１５〜３５
であることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体の
製造方法。Wherein said R I of the long chain saturated fatty acid ester represented by the chemical formula 2, the total number of carbon atoms of R I I 15 to 35
2. The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein:
徴とする請求項１記載の磁気記録媒体の製造方法。4. The method according to claim 1, wherein said protective film is made of carbon.
形成されることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒
体の製造方法。5. The method according to claim 1, wherein the protective film is formed by a chemical vapor deposition method.
磁性層を形成し、この磁性層上に保護膜を形成する磁気
記録媒体の製造方法において、 上記保護膜の表面に、不活性ガス雰囲気中で紫外線を照
射し、 その後、上記保護膜表面に、下記化３で示される末端に
カルボキシル基を有するパーフルオロポリエーテルと長
鎖アルコールとのエステル化合物及び下記化４で示され
る長鎖飽和脂肪酸エステルを含有する潤滑剤層を形成す
ることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 【化３】 【化４】 6. A method for manufacturing a magnetic recording medium comprising: forming a magnetic layer made of a metal magnetic thin film on a nonmagnetic support; and forming a protective film on the magnetic layer. Irradiation with ultraviolet rays in an atmosphere, and then, on the surface of the protective film, an ester compound of a perfluoropolyether having a carboxyl group at a terminal and a long-chain alcohol represented by the following formula (3) and a long-chain saturated compound represented by the following formula (4) A method for producing a magnetic recording medium, comprising forming a lubricant layer containing a fatty acid ester. Embedded image Embedded image
フルオロポリエーテルと長鎖アルコールとのエステル化
合物と、上記長鎖飽和脂肪酸エステルとの混合比が、重
量比で１０：９０〜９０：１０であることを特徴とする
請求項６記載の磁気記録媒体の製造方法。7. The mixing ratio between the ester compound of perfluoropolyether having a carboxyl group at the terminal and a long-chain alcohol and the long-chain saturated fatty acid ester is 10:90 to 90:10 by weight. 7. The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 6, wherein:
ステルの上記ＲI，ＲI Iの炭素数の合計数が１５〜３５
であることを特徴とする請求項６記載の磁気記録媒体の
製造方法。8. The R I of the long chain saturated fatty acid ester represented by the chemical formula 4, the total number of carbon atoms of R I I 15 to 35
7. The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 6, wherein:
徴とする請求項６記載の磁気記録媒体の製造方法。9. The method according to claim 6, wherein the protective film is made of carbon.
り形成されることを特徴とする請求項６記載の磁気記録
媒体の製造方法。10. The method according to claim 6, wherein the protective film is formed by a chemical vapor deposition method.
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