JP2001067642A - Magnetic recording medium - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To stably and normally execute recording and reproducing by forming a magnetic layer consisting essentially of a CoPt alloy and/or a CoPtCr alloy, a first metal layer for preventing the permeation of oxygen and a carbon protective layer from a side of a substrate in this order. SOLUTION: A magnetic disk 1 comprises a first metal layer 3, a base layer 4, a magnetic layer 5, a second metal layer 6 and a carbon protective film 7 formed successively into thin film shape respectively on the main surface of a substrate 2. The first metal layer 3 and the second metal layer 6 are formed by utilizing a metal material preventing the permeation of oxygen, such as Cr, Ti, Cu, Mo, Pd and Pt, alone or in combination. The base layer 4 and the magnetic layer 5 are formed into thin film shapes utilizing a material consisting essentially of for example Cr and a material consisting essentially of CoPt alloy and/or CoPtCr alloy respectively. The magnetic layer 5 consists essentially of these materials and preferably contains oxygen.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に少なくと
も磁性層とカーボン保護膜とを備える磁気ディスクに関
する。[0001] The present invention relates to a magnetic disk having at least a magnetic layer and a carbon protective film on a substrate.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来から、例えばコンピュータ等の情報
処理装置における外部記憶装置として、ハードディスク
ドライブ（以下、ＨＤＤと称する。）が広く用いられて
いる。磁気記録の分野では、磁気信号の高記録密度化が
進められており、特にＨＤＤでは、年率６０％程度で記
録密度が向上している。これに伴って、ＨＤＤは、製品
サイクルが益々短くなってきており、低価格化を進める
ことが次第に困難となってきている。2. Description of the Related Art Conventionally, a hard disk drive (hereinafter referred to as an HDD) has been widely used as an external storage device in an information processing apparatus such as a computer. In the field of magnetic recording, higher recording densities of magnetic signals are being promoted, and particularly in HDDs, the recording density is improving at an annual rate of about 60%. Along with this, the product cycle of HDDs is becoming shorter and shorter, and it is becoming increasingly difficult to lower prices.

【０００３】ＨＤＤには、情報信号を磁気的に記録する
磁気記録媒体として、磁気ディスクが備えられている。
従来のＨＤＤでは、この磁気ディスクの基板に、例えば
アルミニウムやガラス等の材料が用いられている。しか
しながら、従来のＨＤＤでは、製品価格のうちで基板の
材料費が占める割合が３０％〜５０％と高く、低コスト
化を阻む要因となっている。The HDD is provided with a magnetic disk as a magnetic recording medium for magnetically recording information signals.
In a conventional HDD, a material such as aluminum or glass is used for the substrate of the magnetic disk. However, in the conventional HDD, the ratio of the material cost of the substrate to the product price is as high as 30% to 50%, which is a factor preventing cost reduction.

【０００４】また、従来のＨＤＤでは、製品として出荷
する前に、磁気ディスクに対してサーボ信号等を記録す
る、いわゆる初期化作業が必要である。しかしながら、
ＨＤＤの高記録密度化に伴って、トラック密度が上昇す
るために、初期化作業にかかる時間、ひいては初期化コ
ストが増大してしまうといった問題が生じている。Further, in the conventional HDD, a so-called initialization operation for recording a servo signal or the like on a magnetic disk before shipping as a product is required. However,
As the recording density of the HDD increases, the track density increases, which causes a problem that the time required for the initialization work and the initialization cost increase.

【０００５】そこで、近年では、磁気ディスクの基板を
プラスチック等の樹脂材料によって作製することが検討
されている。このようなプラスチック基板は、金型を用
いた射出成形によって、低コストで大量に作製すること
ができるため、ＨＤＤのコストダウンに貢献できるとし
て期待されている。Therefore, in recent years, it has been considered to manufacture a substrate of a magnetic disk using a resin material such as plastic. Since such a plastic substrate can be manufactured in large quantities at low cost by injection molding using a mold, it is expected to contribute to the cost reduction of the HDD.

【０００６】また、近年では、プラスチック基板に対し
て予めサーボ信号等に対応した凹凸形状を形成してお
き、この凹凸形状を利用してサーボ信号等を検出する構
成とする提案がなされている。これにより、製品出荷前
の初期化作業が不要となり、初期化コストを大幅に低減
することができる。In recent years, a proposal has been made in which a concavo-convex shape corresponding to a servo signal or the like is formed in advance on a plastic substrate, and a servo signal or the like is detected using the concavo-convex shape. This eliminates the need for an initialization operation before shipping the product, and can significantly reduce the initialization cost.

【０００７】このような凹凸形状は、プラスチック基板
を射出成形する際に、比較的容易に且つ高精度に形成す
ることができる。また、このような凹凸形状は、サーボ
信号等の検出に用いるだけでなく、隣接する記録トラッ
ク同士をトラック方向に分割するように形成しておくこ
とにより、オフトラック特性を向上させるために用いる
ことができる。これにより、磁気ディスクの記録再生特
性を向上させることができる。[0007] Such an uneven shape can be formed relatively easily and with high precision when a plastic substrate is injection-molded. In addition, such an uneven shape is used not only for detecting a servo signal or the like but also for improving off-track characteristics by forming adjacent recording tracks so as to be divided in the track direction. Can be. Thereby, the recording / reproducing characteristics of the magnetic disk can be improved.

【０００８】ところで、ＨＤＤには、磁気信号の記録及
び／又は再生（以下、記録再生という。）を行う磁気ヘ
ッドが組み込まれたスライダが、上述したような磁気デ
ィスクの主面に対向するようにして配設されている。そ
して、ＨＤＤでは、高速で回転する磁気ディスク上に、
微小な間隙を保ってスライダを浮上させた状態で、この
磁気ディスクに対して磁気信号の記録再生を行う。In the HDD, a slider in which a magnetic head for recording and / or reproducing a magnetic signal (hereinafter, referred to as recording / reproducing) is built so as to face the main surface of the magnetic disk as described above. It is arranged. Then, in the HDD, on a magnetic disk rotating at a high speed,
Recording and reproduction of a magnetic signal are performed on the magnetic disk while the slider flies while maintaining a small gap.

【０００９】ＨＤＤは、近年、より一層の小型化・大容
量化を図ることが要求されている。この要求に対応する
ために、ＨＤＤは、さらなる高記録密度化を達成するこ
とが必要となり、スライダの浮上量を小さくして、磁気
ヘッドと磁気ディスクとの間隙を極力狭めることが必要
となる。しかしながら、スライダの浮上量を小さくした
場合に、磁気ヘッドと磁気ディスクとが接触又は衝突し
てしまうことによって、正常な記録再生動作を維持する
ことが困難となる虞が生じる。In recent years, HDDs have been required to be further reduced in size and increased in capacity. In order to meet this demand, it is necessary for the HDD to achieve a higher recording density, and it is necessary to reduce the flying height of the slider and to reduce the gap between the magnetic head and the magnetic disk as much as possible. However, when the flying height of the slider is reduced, the magnetic head and the magnetic disk may come into contact with or collide with each other, which may make it difficult to maintain a normal recording / reproducing operation.

【００１０】そこで、磁気ディスクには、その最表面、
すなわち磁性層の上層側に、カーボン保護膜が形成され
ている。これにより、磁気ディスクは、磁気ヘッドが接
触又は衝突した場合であっても、それによる損傷を防止
又は低減することが可能となり、正常な記録再生動作を
維持することができる。また、カーボン保護膜は、磁性
層が空気中の酸素や水分と反応して変質してしまうこと
を防止する機能を有している。Therefore, the magnetic disk has the outermost surface,
That is, the carbon protective film is formed on the upper side of the magnetic layer. Thus, even when the magnetic head comes into contact with or collides with the magnetic disk, it is possible to prevent or reduce damage due to the magnetic head, and to maintain a normal recording / reproducing operation. Further, the carbon protective film has a function of preventing the magnetic layer from being changed in quality by reacting with oxygen or moisture in the air.

【００１１】[0011]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うな磁気ディスクでは、例えば、Ｃｏ系合金材料によっ
て磁性層を形成した場合に、Ｃｏ元素がカーボン保護膜
の上に溶出し、突起物が形成されてしまうといった問題
があった。そして、記録再生を行う際に、この突起物に
スライダが衝突することによってスライダが損傷を被っ
たり、カーボン保護膜上に溶出したＣｏ元素が磁気ヘッ
ドに付着してしまうなどして、正常な記録再生動作を行
うことが不能になってしまう虞があった。In the magnetic disk as described above, for example, when a magnetic layer is formed from a Co-based alloy material, the Co element elutes on the carbon protective film, and a protrusion is formed. There was a problem that would be done. When performing recording and reproduction, the slider may be damaged by the collision of the slider with the protrusion, or the Co element eluted on the carbon protective film may adhere to the magnetic head. There is a possibility that the reproduction operation cannot be performed.

【００１２】そこで、本発明は、磁性層に含まれる元素
がカーボン保護膜の上に溶出してしまうことを防止し、
安定して正常な記録再生を行うことが可能な磁気記録媒
体を提供することを目的とする。Accordingly, the present invention prevents the elements contained in the magnetic layer from being eluted onto the carbon protective film,
It is an object of the present invention to provide a magnetic recording medium capable of performing normal recording and reproduction stably.

【００１３】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明の発明者は、上述
した目的を達成するために鋭意検討を重ねた結果、Ｃｏ
元素がカーボン保護膜の上に溶出してしまうのは、カー
ボン保護膜に極く微細な穴が形成されてしまうことが原
因であるという知見を得るに至った。すなわち、カーボ
ン保護膜は、空気中の酸素と反応することによってＣＯ
₂として僅かずつ放出され、この放出が進行すると、極
く微細な穴が形成されてしまう。この場合に、磁性層中
に含まれるＣｏ元素が空気に露出することになり、空気
中の酸素や水分と反応して、カーボン保護膜上に溶出し
てしまう。The inventor of the present invention has made intensive studies to achieve the above-mentioned object, and as a result,
It has been found that the element is eluted on the carbon protective film due to the formation of extremely fine holes in the carbon protective film. That is, the carbon protective film reacts with oxygen in the air to produce CO2.
It is released little by little as _{2, and} as this release progresses, extremely fine holes are formed. In this case, the Co element contained in the magnetic layer is exposed to the air, and reacts with oxygen and moisture in the air to elute on the carbon protective film.

【００１４】そこで、本発明に係る磁気記録媒体は、基
板上に、ＣｏＰｔ合金及び／又はＣｏＰｔＣｒ合金を主
成分とする磁性層と、酸素の透過を防止する第１の金属
層と、カーボン保護膜とを備える。そして、上記基板側
から、上記磁性層と、第１の金属層と、カーボン保護膜
とが、この順で形成されている。Therefore, the magnetic recording medium according to the present invention comprises, on a substrate, a magnetic layer mainly composed of a CoPt alloy and / or a CoPtCr alloy, a first metal layer for preventing oxygen from permeating, and a carbon protective film. And The magnetic layer, the first metal layer, and the carbon protective film are formed in this order from the substrate side.

【００１５】以上のように構成された本発明に係る磁気
記録媒体は、磁性層とカーボン保護膜との間に第１の金
属層を備えていることによって、カーボン保護膜に穴が
形成されてしまった場合でも、磁性層中に含まれる元素
が空気中の酸素や水分と反応してしまうことを防止する
ことができる。そのため、磁性層中に含まれるＣｏ元素
のカーボン保護膜上への溶出を防止することができる。In the magnetic recording medium according to the present invention having the above-described structure, the first metal layer is provided between the magnetic layer and the carbon protective film, so that a hole is formed in the carbon protective film. Even in the case where the magnetic layer has been lost, it is possible to prevent the elements contained in the magnetic layer from reacting with oxygen or moisture in the air. Therefore, elution of the Co element contained in the magnetic layer onto the carbon protective film can be prevented.

【００１６】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら詳細に説明する。以下では、本
発明を適用した磁気記録媒体として、図１に示すような
磁気ディスク１について説明する。磁気ディスク１は、
例えばハードディスクドライブに備えられて回転駆動さ
れ、磁気ヘッドによって磁気信号の記録再生が行われる
磁気記録媒体である。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. Hereinafter, a magnetic disk 1 as shown in FIG. 1 will be described as a magnetic recording medium to which the present invention is applied. The magnetic disk 1
For example, it is a magnetic recording medium provided in a hard disk drive and driven to rotate, and a magnetic head records and reproduces a magnetic signal.

【００１７】磁気ディスク１は、図１に示すように、基
板２の主面上に、第１の金属層３と、下地層４と、磁性
層５と、第２の金属層６と、カーボン保護膜７とが順次
薄膜状に形成されてなる。As shown in FIG. 1, a magnetic disk 1 has a first metal layer 3, an underlayer 4, a magnetic layer 5, a second metal layer 6, and a carbon The protective film 7 is sequentially formed in a thin film shape.

【００１８】基板２は、硬質材料によって全体略円板形
状に形成されている。また、基板２には、主面上に所定
のパターンで微細な凹凸形状が形成されている。磁気デ
ィスク１では、この凹凸形状が、記録トラックの位置や
番号等を示すように構成されている。そして、記録再生
装置は、磁気ディスク１に対して記録再生を行う際に、
基板２に形成された凹凸形状を検出することにより、記
録トラックの位置や番号を検出する。また、磁気ディス
ク１においては、凹凸形状の凸部と凹部とに異なる磁気
特性を付与し、記録再生装置によって凹凸形状の磁気特
性が検出される構成としてもよい。The substrate 2 is formed of a hard material into a substantially disk shape. On the main surface of the substrate 2, fine irregularities are formed in a predetermined pattern. The magnetic disk 1 is configured such that the concavo-convex shape indicates the position, number, or the like of the recording track. Then, when performing recording and reproduction on the magnetic disk 1,
By detecting the uneven shape formed on the substrate 2, the position and number of the recording track are detected. The magnetic disk 1 may have a configuration in which different magnetic characteristics are given to the convex and concave portions of the concave and convex shape, and the magnetic characteristics of the concave and convex shape are detected by the recording / reproducing device.

【００１９】磁気ディスク１は、このように基板２に凹
凸形状が形成されていることにより、実際に磁気信号の
記録再生を行う前に必要となる、記録トラックを設定す
る作業、すなわち初期化作業を不要とすることができ
る。なお、本発明を適用する磁気記録媒体としては、基
板２に凹凸形状が形成された構成に限定されるものでは
なく、例えば、基板２が全体略平坦に形成されていても
よい。Since the magnetic disk 1 has the unevenness formed on the substrate 2 in this manner, an operation for setting a recording track, that is, an initialization operation, which is necessary before actually recording and reproducing a magnetic signal, is performed. Can be eliminated. Note that the magnetic recording medium to which the present invention is applied is not limited to the configuration in which the substrate 2 is formed with the uneven shape. For example, the substrate 2 may be formed substantially flat overall.

【００２０】基板２を形成する材料としては、例えばポ
リカーボネート樹脂、アクリル樹脂、ポリオレフィン樹
脂、エポキシ樹脂等の各種樹脂材料や、合成石英ガラス
等のガラス材料を用いることができる。また、例えばア
ルミニウムやステンレス合金等の各種金属材料を用いて
もよい。As a material for forming the substrate 2, for example, various resin materials such as polycarbonate resin, acrylic resin, polyolefin resin and epoxy resin, and glass materials such as synthetic quartz glass can be used. Further, various metal materials such as aluminum and a stainless alloy may be used.

【００２１】なお、基板２は、特に、上述したような樹
脂材料によって形成されていることが望ましい。これに
より、基板２は、詳細を後述するように、射出成形法を
用いて製造することができ、簡便且つ効率よく大量生産
することができるとともに、上述した凹凸形状を容易に
形成することができる。そのため、磁気ディスク１の製
造工程が複雑となることがなく、製造コストを安価に抑
えることができる。また、磁気ディスク１は、基板２が
樹脂材料によって形成されることにより、軽量化を図る
ことができる。これにより、この磁気ディスクを回転駆
動する記録再生装置の消費電力を低減することができ
る。It is desirable that the substrate 2 is formed of the above-described resin material. As a result, the substrate 2 can be manufactured using the injection molding method, as will be described in detail later, can be easily and efficiently mass-produced, and can easily form the above-mentioned uneven shape. . Therefore, the manufacturing process of the magnetic disk 1 does not become complicated, and the manufacturing cost can be reduced. Further, the weight of the magnetic disk 1 can be reduced because the substrate 2 is formed of a resin material. This makes it possible to reduce the power consumption of the recording / reproducing apparatus that drives the magnetic disk to rotate.

【００２２】第１の金属層３及び第２の金属層６は、酸
素の透過を防止する金属材料によって薄膜状に形成され
ている。このような金属材料としては、例えば、Ｃｒ，
Ｔｉ，Ｃｕ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ｐｔ等を挙げることができ
る。第１の金属層３及び第２の金属層６は、これらの金
属材料が単独で用いられていてもよいし、複合して用い
られていてもよい。The first metal layer 3 and the second metal layer 6 are formed in a thin film of a metal material that prevents oxygen from permeating. Such metal materials include, for example, Cr,
Examples include Ti, Cu, Mo, Pd, and Pt. For the first metal layer 3 and the second metal layer 6, these metal materials may be used alone or in combination.

【００２３】なお、第１の金属層３は、後述する実験例
で述べるように、１０ｎｍ以上且つ１００ｎｍ以下の厚
さで形成されていることが望ましい。また、第２の金属
層６は、後述する実験例で述べるように、２ｎｍ以上且
つ１０ｎｍ以下の厚さで形成されていることが望まし
い。The first metal layer 3 is desirably formed to a thickness of 10 nm or more and 100 nm or less, as described in an experimental example described later. The second metal layer 6 is desirably formed with a thickness of 2 nm or more and 10 nm or less, as described in an experimental example described later.

【００２４】下地層４は、例えばＣｒを主成分とする材
料によって、薄膜状に形成されている。また、磁性層５
は、ＣｏＰｔ合金及び／又はＣｏＰｔＣｒ合金を主成分
とする材料によって薄膜状に形成されている。磁気ディ
スク１においては、記録再生装置の磁気ヘッドによっ
て、この磁性層５に対して磁気信号の記録再生が行われ
る。The underlayer 4 is formed in a thin film shape using, for example, a material mainly containing Cr. The magnetic layer 5
Is formed in a thin film shape from a material containing a CoPt alloy and / or a CoPtCr alloy as a main component. In the magnetic disk 1, recording and reproduction of a magnetic signal are performed on the magnetic layer 5 by a magnetic head of a recording and reproducing device.

【００２５】磁気ディスク１では、下地層４を備えてい
ることによって、磁性層５の保磁力を向上させることが
できるようになる。これにより、磁気ディスク１は、高
密度で磁気信号を記録した場合であっても、安定して確
実に記録再生を行うことができるようになる。Since the magnetic disk 1 has the underlayer 4, the coercive force of the magnetic layer 5 can be improved. Thus, the magnetic disk 1 can perform stable and reliable recording and reproduction even when magnetic signals are recorded at a high density.

【００２６】磁性層５は、ＣｏＰｔ合金及び／又はＣｏ
ＰｔＣｒ合金を主成分とする材料によって薄膜状に形成
されている。磁気ディスク１においては、記録再生装置
の磁気ヘッドによって、この磁性層５に対して磁気信号
の記録再生が行われる。The magnetic layer 5 is made of a CoPt alloy and / or CoPt alloy.
It is formed in a thin film shape from a material mainly composed of a PtCr alloy. In the magnetic disk 1, recording and reproduction of a magnetic signal are performed on the magnetic layer 5 by a magnetic head of a recording and reproducing device.

【００２７】なお、磁性層５は、上述した材料を主成分
とするとともに、酸素が導入されていることが望まし
い。これにより、ノイズが低減して、記録再生時のＳ／
Ｎを向上させることができる。磁性層５は、特に、基板
２がプラスチック等の樹脂材料によって形成されている
場合に、このように酸素が導入されていることが重要と
なる。以下では、この点について説明する。It is desirable that the magnetic layer 5 contains the above-mentioned material as a main component and has oxygen introduced therein. As a result, noise is reduced, and S / S
N can be improved. It is important that the oxygen is introduced into the magnetic layer 5 particularly when the substrate 2 is formed of a resin material such as plastic. Hereinafter, this point will be described.

【００２８】磁気ディスク１を製造する場合には、基板
２上に磁性層５を成膜するに際して、基板２を２００℃
程度以上に加熱することによって、磁性層５の磁気特性
を向上させ、記録再生時のＳ／Ｎを向上させることがで
きる。ところが、基板２を樹脂材料によって作製する場
合には、樹脂材料のガラス転移温度が低いため、このよ
うに基板２を加熱して磁性層５を成膜することができな
い。When the magnetic disk 1 is manufactured, when forming the magnetic layer 5 on the substrate 2, the substrate 2 is kept at 200 ° C.
By heating to a degree or more, the magnetic characteristics of the magnetic layer 5 can be improved, and the S / N during recording and reproduction can be improved. However, when the substrate 2 is made of a resin material, the magnetic layer 5 cannot be formed by heating the substrate 2 as described above because the glass transition temperature of the resin material is low.

【００２９】しかしながら、磁気ディスク１では、上述
したように、磁性層５中に酸素が導入されて形成される
ことによって、基板２を加熱せずに磁性層５が成膜され
た場合でも、記録再生時のＳ／Ｎを向上させることがで
きる。However, since the magnetic disk 1 is formed by introducing oxygen into the magnetic layer 5 as described above, even when the magnetic layer 5 is formed without heating the substrate 2, recording is performed. The S / N at the time of reproduction can be improved.

【００３０】カーボン保護層７は、炭素を主成分とする
材料によって薄膜状に形成されており、磁性層５に対す
る保護膜としての機能を有している。すなわち、磁気デ
ィスク１においては、磁性層５の上層側にカーボン保護
膜７が形成されていることにより、例えば磁気ヘッドが
接触又は衝突した場合であっても、磁性層５の損傷を最
小限に抑えることができる。また、カーボン保護膜７
は、磁性層５が空気中の酸素や水分と反応して変質した
り劣化したりすることを防止する機能を有している。The carbon protective layer 7 is formed in a thin film from a material containing carbon as a main component, and has a function as a protective film for the magnetic layer 5. That is, in the magnetic disk 1, since the carbon protective film 7 is formed on the upper layer side of the magnetic layer 5, damage to the magnetic layer 5 can be minimized even when, for example, a magnetic head comes into contact or collision. Can be suppressed. Also, the carbon protective film 7
Has a function of preventing the magnetic layer 5 from changing or deteriorating by reacting with oxygen or moisture in the air.

【００３１】以上のように構成された磁気ディスク１
は、磁性層５とカーボン保護膜７との間に第２の金属層
６を備えている。以下では、このように第２の金属層６
を備えていることによる効果について説明する。The magnetic disk 1 configured as described above
Has a second metal layer 6 between the magnetic layer 5 and the carbon protective film 7. In the following, the second metal layer 6
The effect obtained by providing is described.

【００３２】磁気ディスク１において、カーボン保護膜
７は、空気中の酸素と反応することによってＣＯ₂とし
て僅かずつ放出されてしまう。この放出が進行すると、
カーボン保護膜７には、極く微細な穴が形成されてしま
うことがある。このとき、第２の金属層６が備えられて
いないと、磁性層５がカーボン保護膜７に形成された穴
によって空気に露出することになる。そして、磁性層５
中に含まれるＣｏ元素が空気中の酸素や水分と反応し
て、カーボン保護膜７上に溶出してしまう。In the magnetic disk 1, the carbon protective film 7 is gradually released as CO ₂ by reacting with oxygen in the air. As this release progresses,
Very fine holes may be formed in the carbon protective film 7. At this time, if the second metal layer 6 is not provided, the magnetic layer 5 will be exposed to the air through the hole formed in the carbon protective film 7. And the magnetic layer 5
The Co element contained therein reacts with oxygen and moisture in the air and elutes on the carbon protective film 7.

【００３３】このように、磁性層５中のＣｏ元素がカー
ボン保護膜７上に溶出すると、記録再生を行う際に、溶
出物により形成された突起物にスライダが衝突して損傷
を被ったり、溶出物が磁気ヘッドに付着してしまうなど
して、正常な記録再生動作を行うことが不能になってし
まう。As described above, when the Co element in the magnetic layer 5 elutes on the carbon protective film 7, the slider collides with the protrusion formed by the eluted material during recording and reproduction, causing damage, Normal recording / reproducing operations cannot be performed because the eluted substances adhere to the magnetic head.

【００３４】しかしながら、磁気ディスク１は、酸素の
透過を防止する金属材料によって形成された第２の金属
層６を備えていることにより、カーボン保護膜７に穴が
形成されてしまった場合でも、磁性層５中に含まれる元
素が空気中の酸素や水分と反応してしまうことを防止す
ることができる。そのため、磁性層５中に含まれるＣｏ
元素のカーボン保護膜７上への溶出を防止することがで
きる。したがって、磁気ディスク１は、安定して正常な
記録再生を行うことが可能となる。However, since the magnetic disk 1 includes the second metal layer 6 formed of a metal material for preventing oxygen from permeating, even if a hole is formed in the carbon protective film 7, It is possible to prevent the elements contained in the magnetic layer 5 from reacting with oxygen or moisture in the air. Therefore, Co contained in the magnetic layer 5
Elution of the element onto the carbon protective film 7 can be prevented. Therefore, the magnetic disk 1 can perform stable normal recording and reproduction.

【００３５】また、磁気ディスク１は、上述したような
突起物がカーボン保護膜７上に形成されないために、高
記録密度化に対応してスライダの浮上量を小さくして記
録再生が行う用途に特に適した磁気記録媒体として用い
ることができる。Since the magnetic disk 1 does not have the above-mentioned protrusions formed on the carbon protective film 7, the magnetic disk 1 is used for recording and reproduction by reducing the flying height of the slider in response to the increase in recording density. It can be used as a particularly suitable magnetic recording medium.

【００３６】一方、磁気ディスク１においては、基板２
と下地層４との間に第１の金属層３を備えている。以下
では、このように第１の金属層３を備えていることによ
る効果について説明する。On the other hand, in the magnetic disk 1, the substrate 2
A first metal layer 3 is provided between the first metal layer 3 and the underlayer 4. In the following, effects provided by providing the first metal layer 3 as described above will be described.

【００３７】磁気ディスク１において、下地層４を例え
ばＣｒによって形成した場合に、この下地層４の内部応
力が大きくなってしまい、下地層４にクラックが形成さ
れやすくなってしまう。そのため、下地層４を例えばＣ
ｒによって形成する場合には、高い圧力で成膜する必要
が生じる。この場合に、下地層４は、比較的粗である膜
構造となる。When the underlayer 4 of the magnetic disk 1 is made of, for example, Cr, the internal stress of the underlayer 4 increases, and cracks are easily formed in the underlayer 4. Therefore, the underlayer 4 is made of, for example, C
In the case of forming by r, it is necessary to form a film at a high pressure. In this case, the underlayer 4 has a relatively rough film structure.

【００３８】磁気ディスク１においては、第１の金属層
３が備えられていないと、空気中の酸素や水分が下地層
４を透過して磁性層５に到達してしまうことがある。こ
の場合に、磁性層５中に含まれる元素は、酸素や水分と
反応して溶出してしまい、磁性層５の磁気特性が変質又
は劣化してしまう虞があった。In the magnetic disk 1, if the first metal layer 3 is not provided, oxygen and moisture in the air may pass through the underlayer 4 and reach the magnetic layer 5. In this case, the element contained in the magnetic layer 5 reacts with oxygen or moisture and elutes, and the magnetic properties of the magnetic layer 5 may be altered or deteriorated.

【００３９】しかしながら、磁気ディスク１は、酸素の
透過を防止する金属材料によって形成された第１の金属
層３を備えていることにより、下地層４が粗な膜構造を
有する場合であっても、磁性層５中に含まれる元素が空
気流の酸素や水分と反応してしまうことを防止すること
ができる。したがって、磁気ディスク１は、磁性層５の
磁気特性を維持して、安定して正常な記録再生を行うこ
とが可能となる。However, since the magnetic disk 1 is provided with the first metal layer 3 formed of a metal material for preventing oxygen from permeating, even if the underlayer 4 has a rough film structure. In addition, it is possible to prevent elements contained in the magnetic layer 5 from reacting with oxygen or moisture in the air flow. Therefore, the magnetic disk 1 can stably perform normal recording and reproduction while maintaining the magnetic characteristics of the magnetic layer 5.

【００４０】なお、磁気ヘッド１は、下地層４の膜構造
が密である場合などのように、磁性層５中の元素が基板
２側から溶出してしまう虞のない場合には、第１の金属
層３を備えずに構成されていてもよい。When the element in the magnetic layer 5 is not likely to elute from the substrate 2 side, as in the case where the film structure of the underlayer 4 is dense, the magnetic head 1 has the first structure. May not be provided.

【００４１】つぎに、上述した磁気ディスク１の製造方
法について説明する。なお、以下の説明では、磁気ディ
スク１の基板２を射出成形法を用いて樹脂材料によって
作製する場合について説明する。Next, a method of manufacturing the magnetic disk 1 will be described. In the following description, a case where the substrate 2 of the magnetic disk 1 is made of a resin material using an injection molding method will be described.

【００４２】磁気ディスク１の基板２を作製する際に
は、先ず、図２に示すように、ガラス原盤１０を用意す
る。このガラス原盤１０は、アルカリ性溶液、酸性溶
液、又は流水超音波等によって洗浄しておく。次に、こ
のガラス原盤１０上に、フォトレジスト溶液をスピンコ
ータ等を用いて塗布する。次に、このフォトレジスト溶
液を１０００℃以下程度の温度でベークする。これによ
り、図３に示すように、ガラス原盤１０上に、所定の膜
厚でフォトレジスト層１１が形成される。When manufacturing the substrate 2 of the magnetic disk 1, first, as shown in FIG. 2, a glass master 10 is prepared. The glass master 10 is cleaned with an alkaline solution, an acidic solution, or running water ultrasonic waves. Next, a photoresist solution is applied onto the glass master 10 using a spin coater or the like. Next, the photoresist solution is baked at a temperature of about 1000 ° C. or less. Thereby, as shown in FIG. 3, a photoresist layer 11 having a predetermined thickness is formed on the glass master 10.

【００４３】次に、図４に示すように、ガラス原盤１０
上に形成されたフォトレジスト層１１に対して、所定の
カッティングデータに基づいてレーザ光を照射すること
により、最終的に完成する磁気ディスク１における基板
２の凹凸形状に対応したパターンで露光を行う。これに
より、フォトレジスト層１１には、レーザ光が照射され
た位置に、露光部１１ａが形成される。このとき、照射
するレーザ光としては、例えば、波長４４２ｎｍのＨｅ
−Ｃｄレーザや、波長４１２ｎｍのＫｒレーザ等を用い
ることができる。Next, as shown in FIG.
By irradiating the photoresist layer 11 formed thereon with laser light based on predetermined cutting data, exposure is performed in a pattern corresponding to the concavo-convex shape of the substrate 2 on the magnetic disk 1 to be finally completed. . Thus, an exposed portion 11a is formed on the photoresist layer 11 at a position where the laser beam has been irradiated. At this time, the laser light to be applied is, for example, He having a wavelength of 442 nm.
A -Cd laser, a Kr laser having a wavelength of 412 nm, or the like can be used.

【００４４】次に、露光部１１ａが形成されたフォトレ
ジスト層１１に対して、アルカリ性の現像液等を用いて
現像処理を施す。これにより、フォトレジスト層１１の
露光部１１ａが溶出し、結果として、図５に示すよう
に、このフォトレジスト層１１に所定のパターンで凹凸
形状が形成される。Next, the photoresist layer 11 on which the exposed portions 11a are formed is subjected to development processing using an alkaline developer or the like. As a result, the exposed portions 11a of the photoresist layer 11 are eluted, and as a result, as shown in FIG. 5, irregularities are formed in the photoresist layer 11 in a predetermined pattern.

【００４５】次に、フォトレジスト層１１上に、導電化
層を形成し、さらにＮｉ等を用いて鍍金処理を施す。こ
れにより、図６に示すように、フォトレジスト層１１上
に、鍍金層１２が形成される。Next, a conductive layer is formed on the photoresist layer 11, and plating is performed using Ni or the like. Thus, a plating layer 12 is formed on the photoresist layer 11, as shown in FIG.

【００４６】次に、鍍金層１２を、フォトレジスト層１
１が形成されたガラス原盤１０から剥離するとともに、
剥離した鍍金層１２の表面上に残っているフォトレジス
トをアルカリ溶液や有機溶剤等により洗浄して除去す
る。また、この鍍金層１２の裏面に対して研磨加工を施
すことにより、鍍金層１２を所望の厚さに整える。これ
により、鍍金層１２は、図７に示すように、射出成形法
で用いるスタンパ２０として完成する。Next, the plating layer 12 is formed on the photoresist layer 1.
While peeling from the glass master 10 on which 1 was formed,
The photoresist remaining on the surface of the peeled plating layer 12 is removed by washing with an alkaline solution or an organic solvent. In addition, the plating layer 12 is adjusted to a desired thickness by subjecting the back surface of the plating layer 12 to polishing. Thereby, as shown in FIG. 7, the plating layer 12 is completed as the stamper 20 used in the injection molding method.

【００４７】磁気ディスク１の基板２は、例えば、以上
のようにして作製されたスタンパ２０を用いて、樹脂材
料を射出成形することで作製される。なお、射出成形法
を用いて基板２を作製する工程は、従来のＣＤ（Compac
t Disc）等のような光ディスクにおける基板の作製工程
と同一又は同等であるため、説明を省略する。また、磁
気ディスク１の基板２が凹凸形状を有さない構成とする
場合には、フォトレジスト層１１に対して露光及び現像
を施さずに鍍金層１２を形成すればよい。或いは、ガラ
ス原盤１０上に直接鍍金層１２を形成すればよい。The substrate 2 of the magnetic disk 1 is manufactured, for example, by injection molding a resin material using the stamper 20 manufactured as described above. In addition, the step of manufacturing the substrate 2 using the injection molding method is the same as the conventional CD (Compac
t Disc) is the same as or similar to the process of manufacturing a substrate in an optical disc such as tDisc), and a description thereof will be omitted. In the case where the substrate 2 of the magnetic disk 1 does not have an uneven shape, the plating layer 12 may be formed without exposing and developing the photoresist layer 11. Alternatively, the plating layer 12 may be formed directly on the glass master 10.

【００４８】次に、射出成形によって作製された基板２
上に、上述したような各層を順次所定の厚さで薄膜状に
成膜する。この成膜工程では、例えば、図８に示すよう
なインライン型スパッタリング装置３０を用いることに
より、生産性を向上させることができる。Next, the substrate 2 manufactured by injection molding
On each of the above layers, the above-described layers are sequentially formed into a thin film at a predetermined thickness. In this film forming step, for example, the productivity can be improved by using an in-line type sputtering apparatus 30 as shown in FIG.

【００４９】このインライン型スパッタリング装置３０
は、一列に並んだ５つのチャンバー３１ａ〜３１ｅを備
えており、各チャンバー３１ａ〜３１ｅ毎に、チャンバ
ー内の大気を排出して内部を高真空に保つための排気装
置３２ａ〜３２ｅと、例えばアルゴンガス等のスパッタ
ガスを導入するためのガス導入口３３ａ〜３３ｅとをそ
れぞれ備えている。そして、インライン型スパッタリン
グ装置３０は、基板２上に各層を成膜する際に、各チャ
ンバー３１ａ〜３１ｅの内部がそれぞれ排気装置３２ａ
〜３２ｅによって高真空に保たれるとともに、ガス導入
口３３ａ〜３３ｅからスパッタガスが導入される。This in-line type sputtering apparatus 30
Is provided with five chambers 31a to 31e arranged in a line, and for each of the chambers 31a to 31e, an exhaust device 32a to 32e for exhausting the atmosphere in the chamber and keeping the inside at a high vacuum, and for example, argon Gas inlets 33a to 33e for introducing a sputtering gas such as a gas are provided. When forming each layer on the substrate 2, the in-line type sputtering apparatus 30 sets the inside of each of the chambers 31 a to 31 e to the exhaust device 32 a.
While high vacuum is maintained by means of .about.32e, sputtering gas is introduced from gas introduction ports 33a.about.33e.

【００５０】また、このインライン型スパッタリング装
置３０には、チャンバー３１ｂの内部に、ターゲット電
源から整合回路を介して電力が供給されるカソード３４
ｂと、このカソード３４ｂに接触した状態で保持されて
いるバッキングプレート（図示せず。）とが配されてい
る。そして、このバッキングプレート上にターゲットが
設置される。なお、磁気ディスク１を作製する際には、
例えば、このチャンバー３１ｂをカーボン保護膜７の成
膜に用いるとして、Ｃからなるターゲットを配する。In the in-line type sputtering apparatus 30, a cathode 34 to which power is supplied from a target power supply via a matching circuit is provided inside the chamber 31b.
b and a backing plate (not shown) held in contact with the cathode 34b. Then, a target is set on the backing plate. When manufacturing the magnetic disk 1,
For example, assuming that the chamber 31b is used for forming the carbon protective film 7, a C target is provided.

【００５１】チャンバー３１ｃの内部には、チャンバー
３１ｂと同様に、カソード３４ｃとバッキングプレート
とが配されている。また、このバッキングプレート上に
ターゲットが設置される。なお、磁気ディスク１を作製
する際には、例えば、このチャンバー３１ｃを磁性層５
の成膜に用いるとして、ＣｏＰｔ合金又はＣｏＰｔＣｒ
合金からなるターゲットを配する。なお、磁気ディスク
１を、磁性層５中に酸素が導入された構成とする場合に
は、例えば、ＣｏＰｔＣｒ−Ｏ合金のように、酸素を含
むターゲットを配する。As in the chamber 31b, a cathode 34c and a backing plate are arranged inside the chamber 31c. A target is set on the backing plate. When manufacturing the magnetic disk 1, for example, the chamber 31c is
CoPt alloy or CoPtCr
A target made of an alloy is provided. When the magnetic disk 1 has a configuration in which oxygen is introduced into the magnetic layer 5, a target containing oxygen, such as a CoPtCr-O alloy, is provided.

【００５２】チャンバー３１ｄの内部には、チャンバー
３１ｂと同様に、カソード３４ｄとバッキングプレート
とが配されている。また、このバッキングプレート上に
ターゲットが設置される。なお、磁気ディスク１を作製
する際には、例えば、このチャンバー３１ｄを下地層４
の成膜に用いるとして、例えばＣｒ等からなるターゲッ
トを配する。A cathode 34d and a backing plate are arranged inside the chamber 31d, as in the chamber 31b. A target is set on the backing plate. When manufacturing the magnetic disk 1, for example, the chamber 31d is
For example, a target made of Cr or the like is provided for use in the film formation.

【００５３】チャンバー３１ｅの内部には、チャンバー
３１ｂと同様に、カソード３４ｅとバッキングプレート
とが配されている。また、このバッキングプレート上に
ターゲットが設置される。なお、磁気ディスク１を作製
する際には、例えば、このチャンバー３１ｅを第１の金
属層３及び第２の金属層６の成膜に用いるとして、例え
ばＴｉ等からなるターゲットを配する。Inside the chamber 31e, similarly to the chamber 31b, a cathode 34e and a backing plate are arranged. A target is set on the backing plate. When the magnetic disk 1 is manufactured, for example, a target made of Ti or the like is provided, assuming that the chamber 31e is used for forming the first metal layer 3 and the second metal layer 6, for example.

【００５４】また、インライン型スパッタリング装置３
０は、基板２を保持するパレット３５を備えている。パ
レット３５は、各チャンバー３１ａ〜３１ｅの間を移動
可能とされている。そして、インライン型スパッタリン
グ装置３０を用いて基板２上に各層を成膜する際には、
この基板２をパレット３５によって保持した状態で、成
膜する各層に対応したチャンバーへとパレット３５を移
動させる。Further, the in-line type sputtering apparatus 3
0 has a pallet 35 for holding the substrate 2. The pallet 35 is movable between the respective chambers 31a to 31e. When forming each layer on the substrate 2 using the in-line type sputtering apparatus 30,
With the substrate 2 held by the pallet 35, the pallet 35 is moved to a chamber corresponding to each layer to be formed.

【００５５】以上のように構成されたインライン型スパ
ッタリング装置３０を用いて、基板２上に各層を成膜す
る際には、先ず、パレット３５に基板２を保持させて、
この基板２をチャンバー３１ａの内部に導入する。そし
て、排気装置３２ａ〜３２ｅにより、各チャンバー３１
ａ〜３１ｅの内部を高真空状態とする。その後、ガス導
入口３３ａ〜３３ｅからスパッタガスを導入し、各チャ
ンバー３１ａ〜３１ｅの内部を所定のガス圧とする。When depositing each layer on the substrate 2 using the in-line type sputtering apparatus 30 configured as described above, first, the substrate 2 is held on the pallet 35,
The substrate 2 is introduced into the chamber 31a. Then, each of the chambers 31 is exhausted by the exhaust devices 32a to 32e.
The insides of a to 31e are brought into a high vacuum state. Thereafter, a sputtering gas is introduced from the gas introduction ports 33a to 33e, and the inside of each of the chambers 31a to 31e is set to a predetermined gas pressure.

【００５６】そして、基板２を保持したパレット３５
を、成膜する各層に対応したチャンバー内へと移動さ
せ、基板２をターゲットと対向させた状態で、ターゲッ
トをスパッタリングする。これにより、基板２上には、
各チャンバーに配されたターゲットに対応した薄膜が成
膜される。そして、各層の成膜が完了する毎に、パレッ
ト３５を次のチャンバー内へと移動させてスパッタリン
グを施すことにより、基板２上に第１の金属層３と、下
地層４と、磁性層５と、第２の金属層６と、カーボン保
護膜７とを、所望とする厚さで順次成膜する。これによ
り、基板２上に各層が順次積層されてなる磁気ディスク
１が完成する。The pallet 35 holding the substrate 2
Is moved into a chamber corresponding to each layer to be formed, and the target is sputtered with the substrate 2 facing the target. Thereby, on the substrate 2,
A thin film corresponding to a target arranged in each chamber is formed. Each time the film formation of each layer is completed, the pallet 35 is moved into the next chamber and subjected to sputtering, so that the first metal layer 3, the underlayer 4 and the magnetic layer 5 are formed on the substrate 2. And a second metal layer 6 and a carbon protective film 7 are sequentially formed in a desired thickness. Thus, the magnetic disk 1 in which each layer is sequentially laminated on the substrate 2 is completed.

【００５７】＜実験例＞つぎに、上述と同様にして、射
出成形法によって作製した基板２を用いて磁気ディスク
１を実際に作製した場合の実験例について説明する。<Experimental Example> Next, an experimental example in which the magnetic disk 1 is actually manufactured using the substrate 2 manufactured by the injection molding method as described above will be described.

【００５８】本実験例では、基板２を形成する材料とし
て、ＺＥＯＮＥＸ（日本ゼオン株式会社製）を用いた。
また、基板２には、上述と同様にして、凹凸形状を有す
るスタンパを用いることにより、同心円状の凹凸パター
ンを形成した。この凹凸パターンは、凹部の深さを２０
０ｎｍとし、凸部のトラック幅を３．２μｍとした。ま
た、このようにして作製した基板２を、ＡＦＭ（Atomic
Force Microscope）によって測定したところ、基板２
の表面における中心線平均粗さＲａは２ｎｍ以下であ
り、ほぼ１ｎｍ程度であった。また、最大突起高さＲ
_maxは、２５ｎｍ以下であった。In this experimental example, ZEONEX (manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd.) was used as a material for forming the substrate 2.
In addition, a concentric concavo-convex pattern was formed on the substrate 2 by using a stamper having a concavo-convex shape in the same manner as described above. This concavo-convex pattern has a concave depth of 20
0 nm, and the track width of the projection was 3.2 μm. In addition, the substrate 2 manufactured in this manner is connected to an AFM (Atomic
When measured by Force Microscope,
The center line average roughness Ra on the surface was 2 nm or less, and was about 1 nm. Also, the maximum protrusion height R
_max was 25 nm or less.

【００５９】そして、上述したインライン型スパッタリ
ング装置３０を用いることにより、基板２上に各層を成
膜した。Each layer was formed on the substrate 2 by using the in-line type sputtering apparatus 30 described above.

【００６０】このとき、チャンバー３１ｂには、カーボ
ン保護膜７の成膜に用いるために、Ｃからなるターゲッ
トを配した。また、チャンバー３１ｃには、磁性層５の
成膜に用いるために、（Ｃｏ₇₅Ｐｔ₁₂Ｃｒ₁₃）₉₂−Ｏ₈
からなるターゲットを配した。また、チャンバー３１ｄ
には、下地層４の成膜に用いるために、Ｃｒからなるタ
ーゲットを配した。また、チャンバー３１ｅには、第１
の金属層３及び第２の金属層６の成膜に用いるために、
Ｔｉからなるターゲットを配した。なお、各ターゲット
としては、６インチターゲットを用いた。また、各チャ
ンバーにおけるスパッタリングを開始する前の圧力を、
２×１０^-5Ｐａ以下程度とした。At this time, a target made of C was disposed in the chamber 31b for use in forming the carbon protective film 7. Further, (Co ₇₅ Pt ₁₂ Cr ₁₃ ) ₉₂ —O ₈ is used in the chamber 31 c for use in forming the magnetic layer 5.
A target consisting of Also, the chamber 31d
A target made of Cr was provided for use in forming the underlayer 4. The first chamber 31e has
For use in forming the metal layer 3 and the second metal layer 6 of
A target made of Ti was provided. In addition, as each target, a 6-inch target was used. Also, the pressure before starting sputtering in each chamber,
It was about 2 × 10 ⁻⁵ Pa or less.

【００６１】そして、パレット３５に基板２を保持させ
て、チャンバー３１ｅ、チャンバー３１ｄ、チャンバー
３１ｃ、チャンバー３１ｅ、チャンバー３１ｂへと順次
移動させてスパッタリングを行うことによって、基板２
上に、第１の金属層３と、下地層４と、磁性層５と、第
２の金属層６と、カーボン保護膜７とを順次成膜した。
このとき、各層の成膜速度は、それぞれ、１．５ｎｍ／
ｓｅｃ、２ｎｍ／ｓｅｃ、２ｎｍ／ｓｅｃ、１．５ｎｍ
／ｓｅｃ、０．５ｎｍ／ｓｅｃとした。Then, the substrate 2 is held on the pallet 35 and sequentially moved to the chambers 31e, 31d, 31c, 31e, and 31b to perform sputtering.
A first metal layer 3, a base layer 4, a magnetic layer 5, a second metal layer 6, and a carbon protective film 7 were sequentially formed thereon.
At this time, the deposition rate of each layer was 1.5 nm /
sec, 2 nm / sec, 2 nm / sec, 1.5 nm
/ Sec and 0.5 nm / sec.

【００６２】また、チャンバー３１ｂ，３１ｃ，３１
ｄ，３１ｅ内に導入するスパッタガスとしてアルゴンガ
スを用い、各チャンバー内におけるアルゴンガスの圧力
を、それぞれ０．５Ｐａ，０．１３〜１．３Ｐａ程度，
０．１〜２．５Ｐａ程度，０．１〜２．５Ｐａ程度とし
た。また、基板２上に各層を成膜する際には、この基板
２の温度を室温程度に保って行った。The chambers 31b, 31c, 31
d, 31e, an argon gas was used as a sputtering gas, and the pressure of the argon gas in each chamber was set to about 0.5 Pa, about 0.13 to 1.3 Pa, respectively.
It was about 0.1 to 2.5 Pa and about 0.1 to 2.5 Pa. In forming each layer on the substrate 2, the temperature of the substrate 2 was kept at about room temperature.

【００６３】そして、本実験例では、以上のようにして
磁気ディスク１を作製するに際して、下地層４と、磁性
層５と、カーボン保護膜７とが、それぞれ、３０ｎｍ〜
１００ｎｍ程度、２４ｎｍ、１３ｎｍの厚さとなるよう
に成膜した。また、第１の金属層３及び第２の金属層６
を成膜する際には、チャンバー３１ｅに導入するアルゴ
ンガスの流量や、成膜時間などを制御することにより、
これら第１の金属層３及び第２の金属層６の厚さを変え
て、複数のサンプル磁気ディスクを作製した。In this experimental example, when fabricating the magnetic disk 1 as described above, the underlayer 4, the magnetic layer 5, and the carbon protective film 7 each have a thickness of 30 nm or less.
The film was formed to have a thickness of about 100 nm, 24 nm, and 13 nm. In addition, the first metal layer 3 and the second metal layer 6
Is formed by controlling the flow rate of the argon gas introduced into the chamber 31e, the film formation time, and the like.
By changing the thicknesses of the first metal layer 3 and the second metal layer 6, a plurality of sample magnetic disks were manufactured.

【００６４】そして、このように作製した複数のサンプ
ル磁気ディスクの表面に、それぞれフッ素系潤滑剤を塗
布した。Then, a fluorine-based lubricant was applied to the surface of each of the plurality of sample magnetic disks manufactured as described above.

【００６５】第１の実験：第２の金属層６の効果 まず、第２の金属層６が形成されていることによる効果
を確認するために、上述したようにして作製した複数の
サンプル磁気ディスクに対して、以下のような第１の実
験を行った。なお、この第１の実験では、第１の金属層
３の厚さを０ｎｍとしたサンプル磁気ディスク、すなわ
ち、第１の金属層３が形成されていないサンプル磁気デ
ィスクを用いた。また、この第１の実験では、第２の金
属層６の厚さを０ｎｍ〜１５ｎｍと変えて作製した複数
のサンプル磁気ディスクを用いた。なお、第２の金属層
６の厚さを０ｎｍとしたサンプル磁気ディスク、すなわ
ち、第１の金属層３及び第２の金属層６が形成されてお
らず、従来と同様な構造を有するサンプル磁気ディスク
を標準ディスクとした。 First experiment: Effect of second metal layer 6 First, in order to confirm the effect due to the formation of the second metal layer 6, a plurality of sample magnetic disks manufactured as described above were used. , The following first experiment was conducted. In the first experiment, a sample magnetic disk in which the thickness of the first metal layer 3 was 0 nm, that is, a sample magnetic disk in which the first metal layer 3 was not formed was used. In the first experiment, a plurality of sample magnetic disks manufactured by changing the thickness of the second metal layer 6 to 0 nm to 15 nm were used. In addition, the sample magnetic disk in which the thickness of the second metal layer 6 was 0 nm, that is, the sample magnetic disk having the same structure as the conventional one, in which the first metal layer 3 and the second metal layer 6 were not formed. The disc was made a standard disc.

【００６６】このようなサンプル磁気ディスクについ
て、電磁変換測定器を用いて、磁気ヘッドにより磁気信
号の記録再生を行い、再生時の出力を測定した。この測
定に際しては、記録信号波長を１５０ｋＦＣＩとした。With respect to such a sample magnetic disk, recording and reproduction of a magnetic signal were performed by a magnetic head using an electromagnetic conversion measuring device, and the output during reproduction was measured. In this measurement, the recording signal wavelength was set to 150 kFCI.

【００６７】また、これらのサンプル磁気ディスクをそ
れぞれ純水に浸して２時間放置した後、この純水中に溶
出したＣｏイオンの濃度を測定した。Each of these sample magnetic disks was immersed in pure water and allowed to stand for 2 hours, and then the concentration of Co ions eluted in the pure water was measured.

【００６８】以上の結果をまとめて図９に示す。なお、
図９において、再生時の出力は、各サンプル磁気ディス
クについて、第１の金属層３及び第２の金属層６が形成
されていない標準ディスクと比較した再生出力の低減割
合を示している。FIG. 9 summarizes the above results. In addition,
In FIG. 9, the output at the time of reproduction indicates a reduction ratio of the reproduction output of each sample magnetic disk as compared with a standard disk on which the first metal layer 3 and the second metal layer 6 are not formed.

【００６９】図９に示す結果から明らかであるように、
標準ディスクを浸した純水のＣｏイオン濃度が３０００
ｐｐｍ程度となったのに対して、第２の金属層６を２ｎ
ｍ以上の厚さで形成したサンプル磁気ディスクを浸した
純水のＣｏイオン濃度が、５００ｐｐｍ以下となり、磁
性層５からのＣｏ元素の溶出量が１／６以下程度まで大
幅に低減されていることが分かる。As is clear from the results shown in FIG.
Co ion concentration of pure water immersed in standard disc is 3000
ppm, the second metal layer 6
The Co ion concentration of pure water in which a sample magnetic disk formed with a thickness of at least m is immersed is 500 ppm or less, and the elution amount of Co element from the magnetic layer 5 is significantly reduced to about 1/6 or less. I understand.

【００７０】また、図９に示す結果から、第２の金属層
６を１０ｎｍを超える厚さで形成したサンプル磁気ディ
スクは、標準ディスクと比較した再生出力の低減割合が
３ｄＢを超えて著しいことが分かる。これは、第２の金
属層６の厚さが増大するに伴って、磁性層５と磁気ヘッ
ドとのスペーシングロスが増大し、再生出力が低減して
しまうことが原因であると考えられる。From the results shown in FIG. 9, it is clear that the sample magnetic disk in which the second metal layer 6 is formed with a thickness exceeding 10 nm has a remarkable reduction ratio of the reproduction output exceeding 3 dB as compared with the standard disk. I understand. This is considered to be due to the fact that as the thickness of the second metal layer 6 increases, the spacing loss between the magnetic layer 5 and the magnetic head increases, and the reproduction output decreases.

【００７１】したがって、第２の金属層６は、２ｎｍ以
上且つ１０ｎｍ以下の厚さで形成することが望ましい。Therefore, it is desirable that the second metal layer 6 be formed with a thickness of 2 nm or more and 10 nm or less.

【００７２】第２の実験：第１の金属層３の効果 つぎに、第１の金属層３が形成されていることによる効
果を確認するために、上述したようにして作製した複数
のサンプル磁気ディスクに対して、以下のような第１の
実験を行った。なお、この第２の実験では、第２の金属
層６の厚さを０ｎｍとしたサンプル磁気ディスク、すな
わち、第２の金属層６が形成されていないサンプル磁気
ディスクを用いた。また、この第２の実験では、第１の
金属層３の厚さを５ｎｍ〜１５０ｎｍと変えて作製した
複数のサンプル磁気ディスクを用いた。 Second Experiment: Effect of First Metal Layer 3 Next, in order to confirm the effect due to the formation of the first metal layer 3, a plurality of sample magnets manufactured as described above were manufactured. The following first experiment was performed on the disc. In this second experiment, a sample magnetic disk in which the thickness of the second metal layer 6 was 0 nm, that is, a sample magnetic disk in which the second metal layer 6 was not formed was used. In the second experiment, a plurality of sample magnetic disks manufactured by changing the thickness of the first metal layer 3 to 5 nm to 150 nm were used.

【００７３】このようなサンプル磁気ディスクについ
て、上述した第１の実験と同様に、それぞれ純水に浸し
て２時間放置した後、この純水中に溶出したＣｏイオン
の濃度を測定した。その結果を、図１０に示す。For such a sample magnetic disk, as in the first experiment described above, each was immersed in pure water and allowed to stand for 2 hours, and then the concentration of Co ions eluted in the pure water was measured. The result is shown in FIG.

【００７４】図１０に示す結果から明らかであるよう
に、第２の金属層６を形成せずに第１の金属層３だけを
形成して作製したサンプル磁気ディスクは、この第２の
金属層６の厚さを大きくしても、上述した第１の実験の
ときのような大きな効果が得られないことが分かる。し
たがって、磁気ディスク１においては、第２の金属層６
を設けずに第１の金属層３を設けるだけでは磁性層５中
の元素の溶出を十分に防止することができないことが分
かる。As is evident from the results shown in FIG. 10, the sample magnetic disk manufactured by forming only the first metal layer 3 without forming the second metal layer 6 has the same structure as the second metal layer. It can be seen that even if the thickness of No. 6 is increased, a great effect as in the first experiment described above cannot be obtained. Therefore, in the magnetic disk 1, the second metal layer 6
It can be understood that elution of elements in the magnetic layer 5 cannot be sufficiently prevented only by providing the first metal layer 3 without providing.

【００７５】第３の実験：第１の金属層３と第２の金属
層６との相乗効果 つぎに、第１の金属層３と第２の金属層６との両方が形
成されている場合の効果を確認するために、上述したよ
うにして作製した複数のサンプル磁気ディスクに対し
て、以下のような第３の実験を行った。なお、この第３
の実験では、第２の金属層６の厚さを３ｎｍとし、第１
の金属層３の厚さを０ｎｍ〜１５０ｎｍと変えて作製し
た複数のサンプル磁気ディスクを用いた。なお、第１の
金属層３の厚さを０ｎｍとしたサンプル磁気ディスクに
は、この第１の金属層３が形成されておらず、第２の金
属層６だけが３ｎｍの厚さで形成されていることにな
る。 Third experiment: first metal layer 3 and second metal
Synergistic effect with layer 6 Next, in order to confirm the effect when both the first metal layer 3 and the second metal layer 6 are formed, a plurality of sample magnets manufactured as described above were used. The following third experiment was performed on the disc. Note that this third
In the experiment, the thickness of the second metal layer 6 was set to 3 nm,
A plurality of sample magnetic disks manufactured by changing the thickness of the metal layer 3 from 0 nm to 150 nm were used. In the sample magnetic disk in which the thickness of the first metal layer 3 was 0 nm, the first metal layer 3 was not formed, and only the second metal layer 6 was formed with a thickness of 3 nm. Will be.

【００７６】このようなサンプル磁気ディスクについ
て、上述した第１の実験と同様に、それぞれ純水に浸し
て２時間放置した後、この純水中に溶出したＣｏイオン
の濃度を測定した。その結果を、図１１に示す。As in the first experiment described above, the sample magnetic disk was immersed in pure water and allowed to stand for 2 hours, and then the concentration of Co ions eluted in the pure water was measured. The result is shown in FIG.

【００７７】図１１に示す結果から明らかであるよう
に、第１の金属層３と第２の金属層６との両方を形成し
て作製したサンプル磁気ディスクは、第１の金属層３だ
けが形成されているサンプル磁気ディスクと比較して、
純水中に溶出したＣｏイオンの濃度がさらに大きく低減
されていることが分かる。すなわち、磁性層５中の元素
の溶出が大幅に抑制されている。As is clear from the results shown in FIG. 11, in the sample magnetic disk manufactured by forming both the first metal layer 3 and the second metal layer 6, only the first metal layer 3 was used. Compared to the formed sample magnetic disk,
It can be seen that the concentration of Co ions eluted in pure water has been further reduced. That is, elution of the element in the magnetic layer 5 is largely suppressed.

【００７８】そして、第１の金属層３の厚さが１０ｎｍ
以上である場合に、純水中に溶出したＣｏイオンの濃度
が１００ｐｐｍ以下となり、第１の金属層３を形成しな
い場合の２５０ｐｐｍと比較して、磁性層５からのＣｏ
元素の溶出量が２／５以下程度まで大幅に低減されてい
ることが分かる。また、第１の金属層３の厚さが１００
ｎｍを超える場合には、純水中に溶出したＣｏイオンの
濃度に減少が見られなくなり、下限に達していることが
分かる。Then, the thickness of the first metal layer 3 is 10 nm.
In this case, the concentration of Co ions eluted in pure water becomes 100 ppm or less, and the Co ions from the magnetic layer 5 are compared with 250 ppm when the first metal layer 3 is not formed.
It can be seen that the elution amount of the element is greatly reduced to about 2/5 or less. Further, the thickness of the first metal layer 3 is 100
When it exceeds nm, it can be seen that the concentration of Co ions eluted in pure water no longer decreases and reaches the lower limit.

【００７９】したがって、第１の金属層３は、１０ｎｍ
以上且つ１００ｎｍ以下の厚さで形成することが望まし
い。これにより、磁気ディスク１においては、第１の金
属層３と第２の金属層６との相乗効果により、磁性層５
中の元素の溶出を大幅に低減することができる。Therefore, the first metal layer 3 has a thickness of 10 nm.
It is desirable to form it with a thickness of not less than 100 nm. Thereby, in the magnetic disk 1, the magnetic layer 5 is formed by the synergistic effect of the first metal layer 3 and the second metal layer 6.
The elution of the elements therein can be greatly reduced.

【００８０】第４の実験：第２の金属層６の材料 つぎに、第２の金属層６を形成する材料の違いによる効
果を確認するために、上述したようにして作製した複数
のサンプル磁気ディスクに対して、以下のような第４の
実験を行った。なお、この第４の実験では、第１の金属
層３を形成せず、第２の金属層６の厚さを３ｎｍとし
て、この第２の金属層６を形成する材料を変えて作製し
た複数のサンプル磁気ディスクを用いた。なお、この材
料としては、各サンプル磁気ディスクについて、それぞ
れ、Ｔｉ，Ｃｒ，Ｃｕ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ｐｔを用いた。ま
た、このように第２の金属層６の材料を変えて形成する
に際しては、上述したインライン型スパッタリング装置
３０のチャンバー３１ｅのターゲット材料を変えること
によって、各サンプル磁気ディスクを作製した。 Fourth Experiment: Material of Second Metal Layer 6 Next, in order to confirm the effect due to the difference in the material forming the second metal layer 6, a plurality of sample magnets manufactured as described above were used. The following fourth experiment was performed on the disc. In the fourth experiment, the first metal layer 3 was not formed, and the thickness of the second metal layer 6 was set to 3 nm. Was used. As the material, Ti, Cr, Cu, Mo, Pd, and Pt were used for each sample magnetic disk. When forming the second metal layer 6 by changing the material in this way, each sample magnetic disk was manufactured by changing the target material of the chamber 31e of the in-line type sputtering apparatus 30 described above.

【００８１】このようなサンプル磁気ディスクについ
て、上述した第１の実験と同様に、それぞれ純水に浸し
て２時間放置した後、この純水中に溶出したＣｏイオン
の濃度を測定した。その結果を、図１２に示す。As in the first experiment described above, the sample magnetic disk was immersed in pure water and allowed to stand for 2 hours, and then the concentration of Co ions eluted in the pure water was measured. The result is shown in FIG.

【００８２】図１２に示す結果から明らかであるよう
に、第２の金属層６を形成する材料として上述したよう
な材料を用いた場合には、いずれも純水中に溶出したＣ
ｏイオンの濃度が２００ｐｐｍ〜３００ｐｐｍ程度であ
る。これにより、第１の実験における標準ディスク、す
なわち、第１の金属層３及び第２の金属層６が形成され
ていない従来構造のサンプル磁気ディスクの結果が３０
００ｐｐｍ程度であったことと比較すると、磁性層５中
の元素の溶出を、いずれの場合も十分に抑制しているこ
とが分かる。As is clear from the results shown in FIG. 12, when the above-described materials are used as the material for forming the second metal layer 6, the C
The concentration of o ions is about 200 ppm to 300 ppm. Thereby, the result of the standard disk in the first experiment, that is, the result of the sample magnetic disk having the conventional structure in which the first metal layer 3 and the second metal layer 6 are not formed is 30.
Compared to about 00 ppm, it can be seen that the elution of the element in the magnetic layer 5 is sufficiently suppressed in each case.

【００８３】したがって、第２の金属層６は、Ｔｉ，Ｃ
ｒ，Ｃｕ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ｐｔから選ばれる少なくとも１
種の材料により形成されていることが望ましい。なお、
この結果から、第２の金属層６と同等の機能及び効果を
示す第１の金属層３についても、同様に、Ｔｉ，Ｃｒ，
Ｃｕ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ｐｔから選ばれる少なくとも１種の
材料により形成されていることが望ましいことが分か
る。Therefore, the second metal layer 6 is made of Ti, C
at least one selected from r, Cu, Mo, Pd, and Pt
It is desirable to be formed of a kind of material. In addition,
From these results, the first metal layer 3 having the same function and effect as the second metal layer 6 also has Ti, Cr,
It can be seen that it is desirable to be formed of at least one material selected from Cu, Mo, Pd, and Pt.

【００８４】[0084]

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る磁気
記録媒体は、磁性層とカーボン保護膜との間に第１の金
属層を備えていることによって、カーボン保護膜に穴が
形成されてしまった場合でも、磁性層中に含まれる元素
が空気中の酸素や水分と反応してしまうことを防止する
ことができる。そのため、磁性層中に含まれるＣｏ元素
のカーボン保護膜上への溶出を防止することができる。
したがって、本発明に係る磁気記録媒体は、高記録密度
化を実現するためにスライダの浮上量を小さくした場合
でも、このスライダが突起物に衝突してしまうことがな
く、また、カーボン保護膜上に溶出した磁性層中の元素
が磁気ヘッドに付着してしまうことがないため、安定し
て正常な記録再生を行うことが可能となる。As described above, the magnetic recording medium according to the present invention is provided with the first metal layer between the magnetic layer and the carbon protective film, so that a hole is formed in the carbon protective film. Even in the case of an accident, it is possible to prevent the elements contained in the magnetic layer from reacting with oxygen or moisture in the air. Therefore, elution of the Co element contained in the magnetic layer onto the carbon protective film can be prevented.
Therefore, even when the flying height of the slider is reduced in order to realize a higher recording density, the magnetic recording medium according to the present invention does not cause the slider to collide with the protrusions, Since the element in the magnetic layer eluted in the magnetic head does not adhere to the magnetic head, it is possible to perform stable normal recording and reproduction.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明を適用した磁気ディスクの概略断面図で
ある。FIG. 1 is a schematic sectional view of a magnetic disk to which the present invention is applied.

【図２】同磁気ディスクを製造方法を説明するための図
であり、ガラス原盤の概略断面図である。FIG. 2 is a view for explaining a method of manufacturing the magnetic disk, and is a schematic sectional view of a glass master.

【図３】同製造方法を説明するための図であり、ガラス
原盤上にフォトレジスト層を形成した状態を示す概略断
面図である。FIG. 3 is a diagram for explaining the manufacturing method, and is a schematic cross-sectional view showing a state where a photoresist layer is formed on a glass master.

【図４】同製造方法を説明するための図であり、フォト
レジスト層に露光部を形成した状態を示す概略断面図で
ある。FIG. 4 is a diagram for explaining the manufacturing method, and is a schematic cross-sectional view showing a state where an exposed portion is formed on a photoresist layer.

【図５】同製造方法を説明するための図であり、露光部
を溶出させた状態を示す概略断面図である。FIG. 5 is a diagram for explaining the manufacturing method, and is a schematic cross-sectional view showing a state where an exposed portion is eluted.

【図６】同製造方法を説明するための図であり、フォト
レジスト層上に鍍金層を形成した状態を示す概略断面図
である。FIG. 6 is a diagram for explaining the same manufacturing method, and is a schematic cross-sectional view showing a state where a plating layer is formed on a photoresist layer.

【図７】同製造方法を説明するための図であり、鍍金層
をガラス原盤から剥離したスタンパを示す概略断面図で
ある。FIG. 7 is a diagram for explaining the manufacturing method, and is a schematic cross-sectional view showing a stamper in which a plating layer is peeled from a glass master.

【図８】同製造方法に用いられるインライン型スパッタ
装置の一構成例を示す概略図である。FIG. 8 is a schematic view showing one configuration example of an in-line type sputtering apparatus used in the manufacturing method.

【図９】本発明を適用して製造したサンプル磁気ディス
クにおける、磁性層とカーボン保護膜との間に設けた金
属層の厚さと、純水中に溶出したＣｏイオンの濃度、及
び再生出力の低減割合との関係を示す図である。FIG. 9 shows the thickness of a metal layer provided between a magnetic layer and a carbon protective film, the concentration of Co ions eluted in pure water, and the reproduction output of a sample magnetic disk manufactured by applying the present invention. It is a figure showing the relation with a reduction rate.

【図１０】本発明を適用して製造したサンプル磁気ディ
スクにおける、基板と下地層との間に設けた金属層の厚
さと、純水中に溶出したＣｏイオンの濃度との関係を示
す図である。FIG. 10 is a diagram showing the relationship between the thickness of a metal layer provided between a substrate and an underlayer and the concentration of Co ions eluted in pure water in a sample magnetic disk manufactured by applying the present invention. is there.

【図１１】本発明を適用して製造したサンプル磁気ディ
スクにおいて、磁性層とカーボン保護膜との間に金属層
を設けた場合における、基板と下地層との間に設けた金
属層の厚さと、純水中に溶出したＣｏイオンの濃度との
関係を示す図である。FIG. 11 shows the thickness of a metal layer provided between a substrate and a base layer when a metal layer is provided between a magnetic layer and a carbon protective film in a sample magnetic disk manufactured by applying the present invention. FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the concentration of Co ions eluted in pure water.

【図１２】本発明を適用して製造したサンプル磁気ディ
スクにおける、磁性層とカーボン保護膜との間に設けた
金属層を形成する材料と、純水中に溶出したＣｏイオン
の濃度との関係を示す図である。FIG. 12 shows a relationship between a material forming a metal layer provided between a magnetic layer and a carbon protective film and a concentration of Co ions eluted in pure water in a sample magnetic disk manufactured by applying the present invention. FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 磁気ディスク、２ 基板、３ 第１の金属層、４
下地層、５ 磁性層、６ 第２の金属層、７ カーボン
保護膜DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Magnetic disk, 2 substrates, 3rd metal layer, 4
Underlayer, 5 magnetic layer, 6 second metal layer, 7 carbon protective film

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 基板上に、ＣｏＰｔ合金及び／又はＣｏ
ＰｔＣｒ合金を主成分とする磁性層と、酸素の透過を防
止する第１の金属層と、カーボン保護膜とを備え、 上記基板側から、上記磁性層と、第１の金属層と、カー
ボン保護膜とが、この順で形成されていることを特徴と
する磁気記録媒体。1. A CoPt alloy and / or CoPt alloy on a substrate.
A magnetic layer having a PtCr alloy as a main component, a first metal layer for preventing oxygen from permeating, and a carbon protective film; and from the substrate side, the magnetic layer, the first metal layer, A magnetic recording medium, wherein the films are formed in this order. 【請求項２】 上記第１の金属層は、Ｃｒ，Ｔｉ，Ｃ
ｕ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ｐｔから選ばれる少なくとも１種の材
料により形成されていることを特徴とする請求項１記載
の磁気記録媒体。2. The method according to claim 1, wherein the first metal layer comprises Cr, Ti, C
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic recording medium is formed of at least one material selected from u, Mo, Pd, and Pt. 【請求項３】 上記第１の金属層は、２ｎｍ以上且つ１
０ｎｍ以下の厚さで形成されていることを特徴とする請
求項１記載の磁気記録媒体。3. The method according to claim 1, wherein the first metal layer has a thickness of 2 nm or more and 1 nm or more.
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic recording medium is formed with a thickness of 0 nm or less. 【請求項４】 上記基板と磁性層との間には、酸素の透
過を防止する第２の金属層を備えることを特徴とする請
求項１記載の磁気記録媒体。4. The magnetic recording medium according to claim 1, further comprising a second metal layer between the substrate and the magnetic layer for preventing oxygen from permeating. 【請求項５】 上記第２の金属層は、Ｃｒ，Ｔｉ，Ｃ
ｕ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ｐｔから選ばれる少なくとも１種の材
料により形成されていることを特徴とする請求項４記載
の磁気記録媒体。5. The method according to claim 1, wherein the second metal layer comprises Cr, Ti, C
The magnetic recording medium according to claim 4, wherein the magnetic recording medium is formed of at least one material selected from u, Mo, Pd, and Pt. 【請求項６】 上記第２の金属層は、１０ｎｍ以上且つ
１００ｎｍ以下の厚さで形成されていることを特徴とす
る請求項４記載の磁気記録媒体。6. The magnetic recording medium according to claim 4, wherein said second metal layer has a thickness of 10 nm or more and 100 nm or less. 【請求項７】 上記基板は、樹脂材料によって形成され
ていることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体。7. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein said substrate is formed of a resin material.