JP2001059496A

JP2001059496A - ターボ分子ポンプ

Info

Publication number: JP2001059496A
Application number: JP2000177240A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Shiokawa; 篤志塩川; Takuji Sofugawa; 拓司曽布川; Hiroyuki Kawasaki; 裕之川崎; Matsutaro Miyamoto; 松太郎宮本
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 1999-06-14
Filing date: 2000-06-13
Publication date: 2001-03-06
Anticipated expiration: 2020-06-13
Also published as: JP3812635B2

Abstract

(57)【要約】【課題】万一ロータが破壊した場合でも、ロータの破
片でチャンバや処理中の製品を傷つけることなく、ター
ボ分子ポンプを交換することで速やかに装置を再使用可
能な状態にすることが可能な安全性の高いターボ分子ポ
ンプを提供する。【解決手段】ポンプケーシング１４内部に、ロータＲ
とステータＳにより翼排気部Ｌ_１及び／又は溝排気部Ｌ
_２が構成されたターボ分子ポンプにおいて、前記ポンプ
ケーシング１４の吸気口１４ａ側に、前記ロータ及び／
またはステータの破片が吸気口を抜けて飛散するのを防
止する飛散防止部材５０が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、高速回転するロー
タにより気体の排気を行うようにしたターボ分子ポンプ
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のターボ分子ポンプの一例を図１７
に示す。このターボ分子ポンプは、ポンプケーシング１
４の内部に、ロータ（回転部）Ｒとステータ（固定部）
Ｓにより翼排気部Ｌ_１及び溝排気部Ｌ_２が構成されてい
る。ステータＳは、基部１５と、その中央に立設された
固定筒状部１６と、翼排気部Ｌ_１及び溝排気部Ｌ_２の固
定側部分とから主に構成されている。また、ロータＲ
は、固定筒状部１６の内部に挿入された主軸１０と、そ
れに取り付けられた回転筒状部１２から主に構成されて
いる。

【０００３】すなわち、主軸１０と固定筒状部１６の間
には駆動用モータ１８と、その上下に上部ラジアル磁極
２０及び下部ラジアル磁極２２が設けられている。そし
て、主軸１０の下部には、主軸１０の下端のターゲット
ディスク２４ａと、ステータＳ側の上下の電磁石２４ｂ
を有するアキシャル軸受２４が配置されている。このよ
うな構成によって、ロータＲが５軸の能動制御を受けな
がら高速回転するようになっている。

【０００４】回転筒状部１２の上部外周には、回転翼３
０が一体に設けられて羽根車を構成し、ポンプケーシン
グ１４の内面には、回転翼３０と交互に配置される固定
翼３２が設けられ、これらが、高速回転する回転翼３０
と静止している固定翼３２との相互作用によって排気を
行う翼排気部Ｌ_１を構成している。

【０００５】さらに、翼排気部Ｌ_１の下方にはねじ溝排
気部Ｌ_２が設けられている。すなわち、回転筒状部１２
には、外周面にねじ溝３４ａが形成されたねじ溝部３４
が固定筒状部１６を囲むように設けられ、一方、ステー
タＳには、このねじ溝部３４の外周を囲むねじ溝部スペ
ーサ３６が配置されている。ねじ溝排気部Ｌ_２は、高速
回転するねじ溝部３４のねじ溝３４ａのドラッグ作用に
よって排気を行う。固定翼３２は、その外周縁部におい
て、固定翼スペーサ３８どうし、または固定翼スペーサ
３８と溝部スペーサ３６とで挟持固定されている。

【０００６】このように翼排気部Ｌ_１の下流側にねじ溝
排気部Ｌ_２を有することで、広い流量範囲に対応可能な
広域型ターボ分子ポンプが構成されている。この例で
は、ねじ溝排気部Ｌ_２のねじ溝をロータＲ側に形成した
例を示しているが、ねじ溝をステータＳ側に形成しても
よい。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】このようなターボ分子
ポンプにおいて、腐食などによりロータＲの破壊が生
じ、壊れたロータＲの破片がポンプケーシング１４の吸
気口１４ａ側に飛び出すことがある。そして、ターボ分
子ポンプの吸気口１４ａにフランジ１４ｂを介して接続
されている処理装置のチャンバ内に、大きな運動エネル
ギを持った回転筒状部１２あるいは回転翼３０の破片が
入り込むと、処理装置の破壊や処理途中の製品への損害
をもたらすだけでなく、全体の真空系が破壊されて有害
な処理ガスの外部放出を招く事故に繋がりかねない。

【０００８】本発明は上記に鑑み、万一ロータが破壊し
た場合でも、ロータの破片でチャンバや処理中の製品を
傷つけることなく、ターボ分子ポンプを交換することで
速やかに装置を再使用可能な状態にすることが可能な安
全性の高いターボ分子ポンプを提供することを目的とす
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、ポンプケーシング内部に、ロータとステータにより
翼排気部及び／又は溝排気部が構成されたターボ分子ポ
ンプにおいて、前記ポンプケーシングの吸気口側に、前
記ロータ及び／またはステータの破片が吸気口を抜けて
飛散するのを防止する飛散防止部材が設けられているこ
とを特徴とするターボ分子ポンプである。

【００１０】これにより、ロータが破壊した時に、回転
筒状部や回転翼のようなロータの破片及び固定翼のよう
なステータの破片は飛散防止部材に遮られ、あるいは吸
気口方向への運動エネルギを失うので、吸気口側に接続
された処理装置のチャンバ自体やその内部の機器、被処
理物等を傷つけることが防止される。飛散防止部材は、
ケーシング等の固定側に設けてもよく、あるいはロータ
に設けてもよい。

【００１１】請求項２に記載の発明は、前記翼排気部を
構成する回転翼または固定翼の少なくとも一部が前記飛
散防止部材を構成していることを特徴とする請求項１に
記載のターボ分子ポンプである。これにより、回転翼ま
たは固定翼の少なくとも一部に遮蔽機能を持たせること
ができる。

【００１２】請求項３に記載の発明は、前記吸気口の内
壁面から内方に突出する突起部を有することを特徴とす
る請求項１又は２に記載のターボ分子ポンプである。こ
れにより、ロータの破片を突起部に衝突させることで、
該ロータの破片が吸気口の周辺部から飛散することを阻
止し、あるいはその運動エネルギを小さくすることがで
きる。

【００１３】請求項４に記載の発明は、前記飛散防止部
材が、高強度材及び／又は高エネルギ吸収材で構成され
ていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記
載のターボ分子ポンプである。高強度材としては、アル
ミニウムよりも強度が高い、例えばステンレス鋼やチタ
ン合金等が挙げられる。また、高エネルギ吸収材として
は、鉛等の比較的柔軟な金属材料、高分子素材、あるい
はこれらの複合素材を用いて、衝撃を吸収し易い形状
（例えば、ハニカム構造や単なる球形状の集合体）に構
成したもの等が挙げられる。

【００１４】請求項５に記載の発明は、前記飛散防止部
材が、衝撃吸収構造を有していることを特徴とする請求
項１乃至４のいずれかに記載のターボ分子ポンプであ
る。これにより、ロータの破片が飛散防止部材に衝突し
た時における該ロータの破片の運動エネルギの吸収効果
をより一層高めて、吸気口側に接続された処理装置のチ
ャンバ等を防護する機能を向上させることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。なお、図１７に示す従来のターボ
分子ポンプの場合と同一の構成部材には同一符号を付し
てその説明を省略する。

【００１６】図１及び図２は、この発明の第１の実施の
形態のターボ分子ポンプを示すもので、この実施の形態
では、ポンプケーシング１４の吸気口１４ａ側に、飛散
防止部材を構成する保護カバー５０が設置されている。
この保護カバー５０は、吸気口１４ａの中央部に配置さ
れ、ロータＲを構成する回転筒状部１２の直上方を覆う
円板状の遮蔽体５２と、遮蔽体５２の外側に同心に配置
され、ポンプケーシング１４の吸気口１４ａと同じ大き
さの開口を有するリング状のリム板５６と、遮蔽体５２
の外周面から放射状に延びて遮蔽体５２とリム板５６と
を連結する複数（図では３本）の支持棒５４とから構成
されている。図では、保護カバー５０は、リム板５６の
下面に形成された段差５６ａを吸気口１４ａ側のフラン
ジ１４ｂに嵌着することで、ポンプケーシング１４に固
定されているが、フランジ１４ｂ側に段差を設け、保護
カバー５０をその段差に嵌め込んでボルトで固定しても
よく、また、単にこの段差に嵌め込んでポンプケーシン
グ１４とチャンバとの間に挟み込むだけでもよい。

【００１７】この実施の形態において、軸方向の最上段
に位置する固定翼３２ａは、例えばステンレス鋼やチタ
ン合金等のようなアルミニウムよりも強度の高い材料で
構成され、他の固定翼３２は、アルミニウムで構成され
ている。これにより、固定翼３２ａも飛散防止部材を構
成している。

【００１８】このように構成したターボ分子ポンプにお
いて、ロータＲが腐食等の原因で回転中に破壊した時
に、回転筒状部１２や回転翼３０のようなロータＲの破
片は、保護カバー５０の遮蔽体５２に衝突し、それによ
って吸気口１４ａ側への運動エネルギが失われるので、
吸気口１４ａ側に接続されたチャンバ等を傷つけること
が防止され、あるいはその程度が軽減される。なお、こ
の例では、遮蔽体５２は回転筒状部１２のみを覆ってい
るが、回転翼３０の一部まで覆うようにしてもよい。

【００１９】また、軸方向の最上段に位置する固定翼３
２ａがアルミニウムよりも強度の高い材料で構成されて
いるので、これにアルミニウム製の回転翼３０などが衝
突しても破壊されず、あるいは破壊の程度が低い。従っ
て、この固定翼３２ａは、そのような破片がさらに吸気
口１４ａに向かって飛散することを防止する飛散防止部
材としての役割を果たす。

【００２０】なお、上述した実施の形態においては、最
上段の固定翼３２ａのみを高強度材で構成した例を示し
ており、他の段の固定翼、更には、例えば１段と４段の
ような任意の段の固定翼を高強度材で構成してもよい。
また、以下の各実施の形態においても、これと同様な構
成が備えられている。

【００２１】また、この実施の形態にあっては、飛散防
止部材としての保護カバー５０を設け、更に軸方向の最
上段に位置する固定翼３２ａをアルミニウムよりも強度
の高い材料で構成して、この固定翼３２ａも飛散防止部
材としての役割を果たすようにした例を示しているが、
どちらか一方を備えるようにしてもよいことは勿論であ
る。このことは、以下の各実施の形態においても同様で
ある。

【００２２】図３は、この発明の第２の実施の形態のタ
ーボ分子ポンプを示すものである。この実施の形態は、
第１の実施の形態における保護カバー５０の円板状の遮
蔽体５２の代わりに、略円柱状の遮蔽体５８を使用した
ものである。遮蔽体５８は、その約下半分が回転筒状部
１２の中央の設けられた凹部１３内に入り込むように配
置されている。他の構成は、第１の実施の形態と同様で
ある。

【００２３】この実施の形態のターボ分子ポンプによれ
ば、遮蔽体５８とロータＲの間の隙間がより小さくなっ
て、破片の飛散する可能性を減少させて、処理チャンバ
側を防護する機能を向上させている。また、この例で
は、遮蔽体５８は、ロータＲが異常回転したときの姿勢
維持機能をも有しており、これにより、ロータＲとステ
ータＳの接触を最小限に抑えて破片の発生自体を減少さ
せることができる。

【００２４】図４及び図５は、この発明の第３の実施の
形態のターボ分子ポンプを示すもので、この実施の形態
は、飛散防止部材として、衝撃吸収構造を有するものを
使用した例を示す。すなわち、飛散防止部材としての保
護カバー５０の中央部に略円板状で下方に突出する軸部
７０ａを有する遮蔽体７０を設け、この遮蔽体７０の軸
部７０ａの周囲に金属製パイプ７２をコイル状に二重に
巻き付けて構成した衝撃吸収部材７４を配置し、この衝
撃吸収部材７４の周囲を上方に開口したカップ状の衝撃
吸収部材カバー７６で囲繞し、更に遮蔽体７０の周縁部
と衝撃吸収部材カバー７６のフランジとをボルト７８で
締結したものである。衝撃吸収部材カバー７６は、回転
筒状部１２の中央の設けられた凹部１３内に入り込むよ
うに配置されている。

【００２５】この実施の形態のターボ分子ポンプによれ
ば、回転翼３０や回転筒状部１２のようなロータＲの破
片が、飛散防止部材としての保護カバー５０の遮蔽体７
０や衝撃吸収部材カバー７６に衝突した際に、衝撃吸収
部材７４が軸方向及び径方向のいずれにも容易に変形あ
るいは破壊して衝撃を吸収することで、この破片の運動
エネルギをより一層吸収して、処理チャンバ側を防護す
る機能を向上させることができる。

【００２６】ここで、衝撃吸収部材としては、この他
に、比較的柔軟な金属材料、高分子材料、あるいはこれ
らの複合素材を用いて、衝撃を吸収しやすい形状（例え
ば、ハニカム構造や単なる球形状の集合体）に構成した
ものを使用してもよい。この場合、腐食性ガスなどを排
気することを考慮して、素材自身に耐食性のある素材を
選ぶか、または表面にニッケルコーティング等の耐食性
表面処理を行うことが好ましい。

【００２７】図６及び図７は、この発明の第４の実施の
形態のターボ分子ポンプを示すもので、この実施の形態
は、第１の実施の形態に以下の構成を付加したものであ
る。すなわち、ポンプケーシング１４の吸気口１４ａの
内壁面には、保護カバー５０と共に飛散防止部材を構成
する複数（図では３個）の突起部６０が、円周方向に沿
って所定間隔ごとに内方に向けて突出し、ロータＲの回
転翼３０の外周縁部を覆うように設けられている。な
お、この実施の形態では、突起部６０をポンプケーシン
グ１４の吸気口１４ａの内壁面に設けた例を示している
が、保護カバー５０のリム板５６に設けてもよい。

【００２８】この実施の形態のターボ分子ポンプによれ
ば、ロータＲの回転翼３０や回転筒状部１２から発生し
た破片が保護カバー５０の遮蔽体５２だけでなく突起部
６０にも衝突するので、吸気口１４ａ側へ持ち込まれる
運動エネルギを更に小さくすることができる。

【００２９】図８は、この発明の第５の実施の形態のタ
ーボ分子ポンプを示すもので、この実施の形態では、飛
散防止部材６２が、ロータＲの主軸１０の上端に、回転
筒状部１２の吸気口１４ａ側の一部を覆うように取り付
けられている。すなわち、この飛散防止部材６２は、回
転筒状部１２の凹部１３の形状に沿ってカップ状に形成
され、上端には回転筒状部１２の平坦な上面に沿って延
びるフランジ部６２ａが形成され、底部にはねじ穴が形
成されている。主軸１０の頂部には、外面に雄ねじが形
成された固定部１０ａが設けられ、飛散防止部材６２は
この固定部１０ａに雄ねじを螺合することにより、主軸
１０に締結されている。なお、ボルト等の他の任意の締
結手段を介して、飛散防止部材６２を主軸１０または回
転筒状部１２に締結するようにしてもよい。

【００３０】この実施の形態のターボ分子ポンプによれ
ば、飛散防止部材６２がロータＲに取り付けられている
ので、それを配置するためにポンプケーシング１４の吸
気口１４ａを横切るような障害物を設ける必要が無い。
従って、排気速度が低下することがない。さらに、飛散
防止部材６２がロータＲのうちの破断して飛散しやすい
箇所である回転筒状部１２の凹部１３を覆うように取り
付けられているので、破片の飛散を効率的に防止するこ
とができる。また、この例では、飛散防止部材６２は回
転筒状部１２を覆っているが、回転翼３０の一部を覆う
ようにしてもよい。

【００３１】図９乃至図１１は、この発明の第６の実施
の形態のターボ分子ポンプを示すもので、この実施の形
態は、第５の実施の形態における飛散防止部材６２に衝
撃吸収構造を付加したしたものであり、他の構成は、第
５の実施の形態とほぼ同様である。

【００３２】すなわち、この実施の形態は、上方に開口
した飛散防止部材６２の内部に、図１１に示す半円環状
の金属製パイプ８０を互いに対峙させつつ上下に積層し
て構成した衝撃吸収部材８２を配置し、更に主軸１０を
上方に延長させてその上端部に雄ねじを刻設し、この雄
ねじに衝撃吸収部材押えとしてのナット８４を締付ける
ことで、衝撃吸収部材８２の脱出を防止するようにした
ものである。この実施の形態にあっては、ナット８４を
締付けて、衝撃吸収部材８２を介して飛散防止部材６２
のフランジ部６２ａの下面を回転筒状部１２に圧接させ
ることで、飛散防止部材６２を固定している。

【００３３】これにより、回転翼３０や回転筒状部１２
のようなロータＲの破片が、飛散防止部材６２に衝突し
た際に、飛散防止部材６２が軸方向及び径方向のいずれ
にも容易に変形あるいは破壊して衝撃を吸収すること
で、この破片の運動エネルギをより一層吸収して、処理
チャンバ側を防護する機能を向上させることができる。

【００３４】なお、このように、半円環状のパイプ８０
を使用して衝撃吸収部材８２を構成したのは生産性を高
めるためであり、完全なリング状のパイプや、一端が開
いたリング状のパイプ、更にはコイル状のものを使用し
てもよいことは勿論である。また、衝撃吸収部材とし
て、比較的柔軟な金属材料、高分子材料、あるいはこれ
らの複合素材を用いて、衝撃を吸収しやすい形状に構成
したものを使用してもよいことは前述と同様である。

【００３５】図１２は、この発明の第７の実施の形態の
ターボ分子ポンプを示すものである。この実施の形態
は、第５の実施の形態におけるカップ状の飛散防止部材
６２の代わりに、円板状の飛散防止部材６４を使用し、
この飛散防止部材６４を回転筒状部１２の凹部１３内に
収納したものである。他の構成は、第５の実施の形態と
同様である。通常、上側部１２ａは回転筒状部１２のハ
ブ部１２ｂと一体であるので、このようにハブ部１２ｂ
を押さえるだけでも破片の飛散防止効果を有する。従っ
て、この実施の形態によれば、図８に示す第５の実施の
形態に比べ低コストで目的を達成することができる。

【００３６】図１３は、この発明の第８の実施の形態の
ターボ分子ポンプを示すもので、この実施の形態は、図
８に示す第５の実施の形態における飛散防止部材６２を
ボルト６６を介して回転筒状部１２に締結するととも
に、以下の構成を付加したものである。すなわち、ポン
プケーシング１４の吸気口１４ａの内壁面に、飛散防止
部材６２と共に飛散防止部材を構成する複数（図では３
個）の突起部６０が、円周方向に沿って所定間隔ごとに
内方に向けて突出し、ロータＲの回転翼３０の外周縁部
を覆うようになっている。

【００３７】この実施の形態のターボ分子ポンプによれ
ば、ロータＲの回転翼３０や回転筒状部１２のような破
片が飛散防止部材６２とともに突起部６０にも衝突する
ので、吸気口１４ａ側へ伝達される運動エネルギを更に
小さくすることができる。また、全ての実施の形態にお
いて、突起部を含めた飛散防止部材はステンレス鋼やチ
タン合金等の高強度材で構成した方が望ましい。

【００３８】図１４及び図１５は、この発明の第９の実
施の形態のターボ分子ポンプを示すもので、この実施の
形態は第８の実施の形態における回転筒状部１２に締結
されている飛散防止部材６２に衝撃吸収構造を付加した
ものである。他の構成は第８の実施の形態とほぼ同様で
ある。

【００３９】すなわち、この実施の形態は、回転筒状部
１２の凹部１３内に軸部９０ａを有するサポート９０を
ボルト９２を介して立設し、飛散防止部材６２の内部
に、図１１に示す半円環状の金属製パイプ８０を互いに
対峙させつつ上下に積層するとともに、このパイプ８０
と飛散防止部材６２との間に、例えばフッ素ゴム製のＯ
リング９４を介在させて構成した衝撃吸収部材９６を配
置し、サポート９０の上部に刻設した雄ねじに衝撃吸収
部材押えとしてのナット９８を締付けることで、衝撃吸
収部材９６の脱出を防止するようにしたものである。こ
の実施の形態にあっては、飛散防止部材６２の軸方向の
動きはパイプ８０によって、径方向の動きはＯリング９
４によってそれぞれ規制され、これにより、軸方向、径
方向ともに、ロータ若しくはステータの破片の衝撃を吸
収することができる。

【００４０】また、図１５に示すように、回転筒状部１
２の凹部１３の周囲には凸部１２ｃが形成され、飛散防
止部材６２のフランジ部６２ａの周縁部下面には、この
凸部１２ｃと嵌合する凹部６２ｂを区画形成する凸条部
６２ｃが形成されている。これにより、回転筒状部１２
の凸部１２ｃに飛散防止部材６２の凹部６２ｂを嵌合さ
せることで、この芯出しを行うとともに、この径方向の
移動を規制するようになっている。

【００４１】この実施の形態のターボ分子ポンプによれ
ば、ロータＲの回転翼３０や回転筒状部１２のような破
片が飛散防止部材６２に衝突した際に、衝撃吸収構造内
部の衝撃吸収部材９６が変形あるいは破壊されることに
よって、この破片の運動エネルギをより一層吸収するこ
とが可能となり、さらに突起部６０にも衝突するので、
吸気口側へ伝達される運動エネルギをさらに小さくする
ことができる。

【００４２】図１６は、この発明の第１０の実施の形態
のターボ分子ポンプを示すもので、この実施の形態は、
軸方向の最上段に位置する回転翼３０ａを他の回転翼３
０と別体として、例えばステンレス鋼やチタン合金等の
ようなアルミニウムよりも強度の高い材料で、他の回転
翼３０はアルミニウムでそれぞれ構成し、軸方向の最上
段に位置する回転翼３０ａをボルト１００を介して主軸
１０に直結し、これによって、回転翼３０ａで飛散防止
部材を構成したものである。

【００４３】つまり、軸方向の最上段に位置する回転翼
３０ａがアルミニウムよりも強度の高い材料で構成され
ているので、これにアルミニウム製の回転翼３０などが
衝突しても破壊されず、あるいは破壊の程度が低い。従
って、この回転翼３０ａは、そのような破片がさらに吸
気口１４ａに向かって飛散することを防止する飛散防止
部材としての役割を果たす。

【００４４】上記においては、本発明の種々の構成を翼
排気部Ｌ_１とねじ溝排気部Ｌ_２を有する広域型ターボ分
子ポンプに適用したが、それぞれの趣旨に従い、本発明
の構成を翼排気部Ｌ_１のみ、あるいはねじ溝排気部Ｌ_２
のみを有するポンプに採用してもよい。また、上述した
いくつかの実施の形態の構成を適宜に組み合わせて用い
てもよいことは言うまでもない。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ロータが回転中に破壊した際に発生する回転筒状部や回
転翼等の破片は、飛散防止部材に衝突することにより吸
気口から飛散することが防止され、あるいは運動エネル
ギを失い、吸気口側に接続された処理チャンバやその内
部の機器、被処理物等を傷つけることが防止される。従
って、万一ロータが破壊した場合でも、チャンバ等の破
損やさらには真空系の破壊に繋がるような事故の発生を
防止して、安全性の高いターボ分子ポンプを提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態のターボ分子ポンプ
を示す断面図である。

【図２】図１の平面図である。

【図３】本発明の第２の実施の形態のターボ分子ポンプ
を示す断面図である。

【図４】本発明の第３の実施の形態のターボ分子ポンプ
を示す断面図である。

【図５】図４の要部拡大図である。

【図６】本発明の第４の実施の形態のターボ分子ポンプ
を示す断面図である。

【図７】図６の平面図である。

【図８】本発明の第５の実施の形態のターボ分子ポンプ
を示す断面図である。

【図９】本発明の第６の実施の形態のターボ分子ポンプ
を示す断面図である。

【図１０】図９の要部拡大図である。

【図１１】図９のターボ分子ポンプに使用されている衝
撃吸収部材を構成する金属製パイプを示す平面図であ
る。

【図１２】本発明の第７の実施の形態のターボ分子ポン
プを示す断面図である。

【図１３】本発明の第８の実施の形態のターボ分子ポン
プを示す断面図である。

【図１４】本発明の第９の実施の形態のターボ分子ポン
プを示す断面図である。

【図１５】図１４の要部拡大図である。

【図１６】本発明の第１０の実施の形態のターボ分子ポ
ンプを示す断面図である。

【図１７】従来のターボ分子ポンプを示す断面図であ
る。

【符号の説明】

１０主軸１２回転筒状部１３凹部１４ポンプケーシング１４ａ吸気口１６固定筒状部１８駆動用モータ３０回転翼３２固定翼３４ねじ溝部３６ねじ溝部スペーサ３８固定翼スペーサ５０保護カバー（飛散防止部材）５２，５８，７０遮蔽体５４支持棒５６リム板６０突起部（飛散防止部材）６２，６４飛散防止部材７２，８０金属製パイプ７４，８２，９６衝撃吸収部材７６衝撃吸収部材カバー９０サポートＬ_１翼排気部Ｌ_２溝排気部ＲロータＳステータ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者川崎裕之東京都大田区羽田旭町11番１号株式会社荏原製作所内 (72)発明者宮本松太郎東京都大田区羽田旭町11番１号株式会社荏原製作所内Ｆターム(参考） 3H031 DA02 EA09 FA31 3H034 AA02 BB01 BB08 CC01 CC04 DD02 DD28 EE17

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ポンプケーシング内部に、ロータとステ
ータにより翼排気部及び／又は溝排気部が構成されたタ
ーボ分子ポンプにおいて、前記ポンプケーシングの吸気口側に、前記ロータ及び／
またはステータの破片が吸気口を抜けて飛散するのを防
止する飛散防止部材が設けられていることを特徴とする
ターボ分子ポンプ。
【請求項２】前記翼排気部を構成する回転翼または固
定翼の少なくとも一部が前記飛散防止部材を構成してい
ることを特徴とする請求項１に記載のターボ分子ポン
プ。
【請求項３】前記吸気口の内壁面から内方に突出する
突起部を有することを特徴とする請求項１又は２に記載
のターボ分子ポンプ。
【請求項４】前記飛散防止部材が、高強度材及び／又
は高エネルギ吸収材で構成されていることを特徴とする
請求項１乃至３のいずれかに記載のターボ分子ポンプ。
【請求項５】前記飛散防止部材が、衝撃吸収構造を有
していることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに
記載のターボ分子ポンプ。