JP2001052601A

JP2001052601A - バリアリブ製造方法及び装置

Info

Publication number: JP2001052601A
Application number: JP22622399A
Authority: JP
Inventors: Ryoji Taura; 良治田浦; Hiroaki Shimazutsu; 博章島筒; Junichi Iifushi; 順一飯伏; Tadashi Rokkaku; 正六角
Original assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Current assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date: 1999-08-10
Filing date: 1999-08-10
Publication date: 2001-02-23

Abstract

(57)【要約】【課題】精度の良いバリアリブを簡便で迅速且つ安定
して製造すること。【解決手段】バリアリブ成形型６５の表面に、ガラス
基板７５とバリアリブペースト刷込み装置８０を密着さ
せ、刷込み装置８０からバリアリブペースト８５を加圧
（Ｐ１）とバキューム吸引（負圧ｑ１）しながら、バリ
アリブ成形型６５を溝６６の長さ方向に沿って移動させ
て、バリアリブ成形型６５の溝６６内に刷り込む。刷り
込み完了後、ガラス基板７５とバリアリブ成形型６５を
加圧して密着させ、この状態でバリアリブペースト８５
を硬化させ、硬化後に、ガラス基板７５からバリアリブ
成形型６５を離型する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は基板上にバリアリブ
を製造する方法及び装置に関し、例えば、セル障壁によ
り形成された複数の放電用空間を備えてなるプラズマデ
ィスプレイパネル（以下、ＰＤＰと記す）のセル障壁
（以下、バリアリブあるいはリブと記す）の製造に適用
して有用なものである。

【０００２】

【従来の技術】図１４にＰＤＰの構成例を示す。図示の
ＰＤＰでは、リア基板１０上にデータ電極１１を介して
白色誘電体層１２が配置され、この白色誘電体層１２の
表面にバリアリブ（セル障壁）５が接着されている。バ
リアリブ５の表面にはＲ、Ｇ、Ｂ、各蛍光層１３が塗ら
れており、プラズマ発光でカラー発光する。一方、フロ
ント基板２０には透明電極２３を介して透明誘電体層２
２が配置され、透明誘電体層２２の表面は保護層２１で
被覆されている。このフロント基板２０の一式をリア基
板１０と一体化することにより、ＰＤＰとなる。

【０００３】図１５に、バリアリブ５の形状及び寸法の
一例を示す。個々のバリアリブ５は、例えば、高さ0.2
ｍｍ、幅0.04〜0.08ｍｍ、長さ６００ｍｍであり、数千
本等、多数のバリアリブ５がピッチ0.2 ｍｍ程度で全体
として微細な凹凸形状をなして白色誘電体層１２上に設
けられる。バリアリブ５は、バリアリブ５間の各溝内で
発光する光を相互に遮断するためのものであり、適度な
硬さや密度を有し、絶縁効果も必要とされる。そのた
め、バリアリブ５の材質は主にセラミックやガラス粉末
で構成される。

【０００４】次に、バリアリブ製造方法の従来例とし
て、印刷法及び型使用法について説明する。

【０００５】［従来例１（印刷法）］ＰＤＰのバリアリ
ブ製造方法として、従来、ガラス基板上にガラスペース
トをスクリーン印刷法によりパターニングし、その後、
焼成する印刷法が知られている。その際、バリアリブに
必要な高さを得るために、印刷と乾燥を数十回繰り返す
ことによって、ガラスペーストを積層する方法が取られ
ている。

【０００６】［従来例２（ガラス型使用法：特開平09−
012336号公報）］また、ＰＤＰのバリアリブ製造方法の
従来例として、特開平09−012336号公報に開示されたガ
ラス型を使用する方法が知られており、図１６（ａ）〜
（ｅ）に示す。このガラス型使用法では、同図（ａ）に
示すように、まず、ガラス型３０にリブ形状に相当する
凹部３１を予め多数形成しておき、各凹部３１にバリア
リブペースト（低融点ガラス微粉）３５を塗布する。バ
リアリブペースト３５には、微量の光硬化性樹脂を含有
してある。その後、同図（ｂ）に示すように、余剰のバ
リアリブペーストをスクレーパ等でかきとってガラス型
３０の表面を平坦にし、型凹部のみにバリアリブペース
ト３５を付着させる。その後、同図（ｃ）に示すよう
に、ガラス基板３８をガラス型３０に重ねる。これを反
転させ、型凹部のバリアリブペースト形成側をガラス基
板３８に密着させ、次いで、紫外線等を照射して、バリ
アリブペーストを硬化させる。硬化後、同図（ｄ）に示
すように、ガラス型３０をガラス基板３８から剥離さ
せ、ガラス基板３８上にバリアリブ５を転写させる。次
いで、同図（ｅ）に示すように、焼成を行うことによ
り、バリアリブ５の完成となる。

【０００７】ガラス型３０は、サンドブラスト法とエッ
チング処理で成形され、その後、離型材形成処理を行な
って製作される。

【０００８】［従来例３（フイルム型使用法：特開平08
−273537号公報）］ＰＤＰのバリアリブ製造方法の他の
従来例として、特開平08−273537号公報に開示されたフ
イルム型を使用する方法が知られており、図１７及び図
１８に示す。このフイルム型使用法は、図１７に示すよ
うな回転型５０に設けた凹部４２ａを利用して、型材４
５でフィルム４０上に凹部４１と凸部４２を作成し、こ
れをフィルム型４３としてバリアリブを製造するもので
ある。型材４５は硬化性樹脂材である。ここで、５１と
５２はフィルム４０に対するライン保持ロール、５３は
型材４５の原料タンク、５４は型材塗布ロールである。
型材４５は回転型５０の凹部４２ａに流し込まれ、硬化
装置５５にて硬化されてフィルム４０上に凸部４２とし
て転写される。

【０００９】このようなフィルム型４３をバリアリブ成
形型として用い、図１８（ａ）に示すように、バリアリ
ブペースト４８をブレード４９で刷り込む。その後、同
図（ｂ）に示すように反転させてバリアリブペースト４
８をガラス基板４７に転写し、フィルム型４３を剥離す
る。これにより、ガラス基板４７上にバリアリブ５が形
成される。フィルム型４３の剥離後、ガラス基板４７上
のバリアリブ５を硬化させる。ここで、４１はフィルム
型４３の凹部、４２は凸部を示す。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】［印刷法の欠点］印刷
法の場合、製造装置は特殊でなく工程が容易であるとい
う利点がある反面、工程数が多くなるという欠点があ
る。また、スクリーン印刷によるバリアリブの形状が焼
成前に崩れ、しかも、印刷の繰り返し回数が増えるにつ
れて形状精度が悪化するという傾向があるため、精巧さ
に劣るという欠点がある。

【００１１】［ガラス型使用法の欠点］ガラス型３０を
使用する場合、ガラス型３０の成形はサンドブラスト法
とエッチング処理で行ない、その後、離型材形成処理を
行なってガラス型３０を製作する成形方法であるため、
型成形が容易でないという欠点がある。また、バリアリ
ブペースト（低融点ガラス微粉）３５とガラス型３０が
ガラスという同一材のため両者は接着しやすく、バリア
リブペースト３５を紫外線硬化した後の離型が困難とな
り、バリアリブ５の欠損やガラス型３０が破損しやすい
という欠点がある。更に、ガラス型３０に塗布した離型
剤は一回のバリアリブ成形で剥離され易いという欠点が
ある。また、凹型の寸法が微細なため、実際には離型材
を充分塗ることは困難である。これらのため、ガラス型
３０を使用したバリアリブ製造方法は、量産機としては
効果的な方法とは言えない。

【００１２】特に、バリアリブ５の上述した形状及び寸
法から、ガラス型３０の溝は深さ0.2 ｍｍ、幅0.12〜0.
16ｍｍと微細の上、数百ｍｍ〜１０００ｍｍ以上と長い
ため、多数の溝内にバリアリブペースト３５を途中に抜
けなく、安定に刷り込むことは困難である。

【００１３】［フィルム型使用法の欠点］フィルム型４
３を使用する場合、フィルム型４３の製作方法は、ガラ
ス型３０の場合より比較的容易であり、また、量産向き
でもあるという利点がある。また、型材４５が樹脂材で
あるから、ガラス型３０の場合よりも離型性が良いとい
う利点もある。

【００１４】しかしながら、フィルム型４３を使用した
方法の場合、フィルム型４３でガラス基板４７上にバリ
アリブペースト４８を転写するのみであり、この状態で
バリアリブペースト４８を硬化させないため、フィルム
型４３の剥離時に、ガラス基板４７上に転写形成したバ
リアリブ５が欠損しやすいという欠点がある。ここで、
バリアリブペースト４８を紫外線等により硬化させない
のは、フィルム型４３がフィルム４０及び樹脂の型材４
５で形成されているので、耐熱性が悪いためと思われ
る。

【００１５】また、フィルム型４３の基材がフィルム材
で柔らかいため、微細な型形状精度が狂いやすいという
欠点もある。

【００１６】特に、バリアリブ５の上述した形状及び寸
法から、フィルム型４３の溝は深さ0.2 ｍｍ、幅0.12〜
0.16ｍｍと微細の上、数百ｍｍ〜１０００ｍｍ以上と長
いため、多数の溝内にバリアリブペースト４８を途中に
抜けなく、安定に刷り込むことは困難である。

【００１７】本発明は、上述のような従来技術の欠点に
鑑み、精度の良いバリアリブを簡便で迅速且つ安定して
製造し得る方法及び装置を提供することを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明では下記の方法及
び装置により上記課題を解決する。

【００１９】請求項１に係る発明は、バリアリブを基板
上に製造する方法において、基板とバリアリブ形状に対
応した凹凸型を有するバリアリブ成形型を密着させ、バ
リアリブ成形型をその溝の長さ方向に沿って移動させな
がら、バリアリブ成形型の溝内に加圧力とバキューム吸
引力を用いてバリアリブペーストを刷り込むことを特徴
とするバリアリブ製造方法である。

【００２０】請求項２に係る発明は、請求項１におい
て、バリアリブ成形型の表面に、基板とバリアリブペー
スト刷込み装置を密着させ、バリアリブペースト刷込み
装置からバリアリブペーストを加圧及びバキューム吸引
しながらバリアリブ成形型の溝内に刷り込むことを特徴
とするバリアリブ製造方法である。

【００２１】請求項３に係る発明は、請求項１におい
て、バリアリブペーストの刷り込み完了後に、基板とバ
リアリブ成形型を加圧して密着させ、この状態でバリア
リブペーストを硬化させ、バリアリブペーストの硬化後
に、基板からバリアリブ成形型を離型することを特徴と
するバリアリブ製造方法である。

【００２２】請求項４に係る発明は、請求項１におい
て、バリアリブペーストとして、ガラスとセラミック粉
末をベースに、紫外線等の光により連鎖硬化する光硬化
型エポキシ樹脂組成物を添加したペースト状材料を使用
し、バリアリブペーストは未硬化状態でバリアリブ成形
型に刷り込み、光硬化させてバリアリブを強化してから
離型することを特徴とするバリアリブ製造方法である。

【００２３】請求項５に係る発明は、請求項１におい
て、未硬化時のバリアリブペーストに気泡が混入しない
ように、バリアリブペーストをタンクから無空気状態で
バリアリブペースト刷込み装置に供給することを特徴と
するバリアリブ製造方法である。

【００２４】請求項６に係る発明は、請求項１におい
て、バリアリブペースト刷込み装置内を減圧して負圧を
発生させ、この負圧によりバリアリブペーストをタンク
からバリアリブペースト刷込み装置に供給することを特
徴とするバリアリブ製造方法である。

【００２５】請求項７に係る発明は、バリアリブを基板
上に製造する装置において、バリアリブ形状に対応した
凹凸を有するバリアリブ成形型と、バリアリブ成形型を
保持しその溝の長さ方向に沿って移動させる装置と、バ
リアリブ成形型の表面に密着されるバリアリブペースト
刷込み装置と、基板をバリアリブ成形型に密着させて保
持する装置と、バリアリブペースト刷込み装置からバリ
アリブ成形型の溝内に向けてバリアリブペーストを加圧
するバリアリブペースト加圧装置と、バリアリブペース
ト加圧装置よりもバリアリブ成形型の移動方向の後方に
配置され、バリアリブ成形型の溝内のバリアリブペース
トをバキューム吸引するバリアリブペースト吸引装置を
具備することを特徴とするバリアリブ製造装置である。

【００２６】請求項８に係る発明は、請求項７におい
て、バリアリブペースト刷込み装置は回転型ローラを備
えたものであることを特徴とするバリアリブ製造装置で
ある。

【００２７】請求項９に係る発明は、請求項７におい
て、バリアリブペースト加圧装置が空気袋であることを
特徴とするバリアリブ製造装置である。

【００２８】請求項１０に係る発明は、請求項７におい
て、バリアリブペースト刷込み装置はバリアリブ成形型
の溝のみに対応したバリアリブペースト吐出孔を備えた
ものであることを特徴とするバリアリブ製造装置であ
る。

【００２９】請求項１１に係る発明は、請求項７におい
て、バリアリブ成形型上の余剰のバリアリブペーストを
かき取る装置と、基板をバリアリブ成形型に押しつける
装置と、基板とバリアリブ成形型の間のバリアリブペー
ストを硬化させる装置と、基板からバリアリブ成形型を
離型する装置と、バリアリブ成形型が離型された基板を
搬送する装置と、バリアリブペーストをバリアリブペー
スト刷込み装置に補給する装置を備えたことを特徴とす
るバリアリブ製造装置である。

【００３０】請求項１２に係る発明は、請求項７におい
て、バリアリブ成形型は樹脂材で製作されたものである
ことを特徴とするバリアリブ製造装置である。

【００３１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態例を説明する。

【００３２】［実施形態例１：バリアリブ成形型製造方
法の例］バリアリブ成形型としては、精度が良く、か
つ、バリアリブペースト（バリアリブ材）の離型性が良
好な型を使用することが望ましい。また、型材質は基本
的には限定されないが、樹脂材製、なかでも耐熱性の良
いフッ素系樹脂が良い。このようなバリアリブ成形型の
製造方法の例を、図１に基づいて説明する。なお、バリ
アリブ成形型の溝方向両端は閉じられている。

【００３３】まず、図１（ａ）に示すようなひな型６０
を用意する。このひな型６０は溝部６１と凸部６２を多
数備えており、実際のバリアリブ形状とほぼ一致した形
状となっている。ひな型６０の形成は、機械加工による
方式でも良いし、特願平10−228979号で発明者が提案し
た「リソグラフィーとＮｉメッキ法」を利用したＮｉメ
ッキ型でもよい。また、これら以外の方式でも精度よく
加工でき、強度のある型であれば何ら問題ない。

【００３４】ここで、リソグラフィーとＮｉメッキ法を
利用してひな型６０を形成する場合は、例えば、基材上
にレジスト材や軟質材等からなる型材を所定厚さで塗布
し、この型材の上に所定間隔（バリアリブの間隔に相
当）でマスクパターンを複数貼り付け、型材及びマスク
パターンに対して紫外線を照射した後に洗浄する。これ
により、マスクパターンで保護されない部分の型材は除
去され、保護された部分の型材は縦壁となって残存し、
この間に溝ができる。次に、基材及び残存型材（縦壁）
の上方から、所定厚さのニッケルメッキが得られるま
で、ニッケルメッキ処理を施す。その後、電解エッチン
グ処理を施して、残存型材（縦壁）を溶融除去する。こ
れにより、基材上にニッケルメッキにより形成されたひ
な型が作製される。このひな型は、高精度、高強度、低
コスト、製作容易、繰り返し使用可能等の利点がある。
また、ニッケルメッキ処理に用いるニッケル内に、アク
リル材やテフロン材等の樹脂を分散させたものを用いる
ことにより、より精巧で堅牢となり、離型性の良いひな
型が得られ、耐久性が向上する。

【００３５】上記いずれかの方法で作製したひな型６０
に、図１（ｂ）に示すように、樹脂材６５ａを重ね、加
熱して樹脂材６５ａを柔らかくした後、加圧・鍛造し
て、同図（ｃ）示すように、ひな型６０とは凹凸が逆と
なったバリアリブ成形型６５を製作する。ここで、６６
は凹部、６７は凸部である。

【００３６】このバリアリブ成形型６５の溝部（凹部）
にバリアリブペーストを刷り込み、ガラス基板７０を重
ねてバリアリブペーストを硬化した後、剥離してバリア
リブ成形型６５を外すと、ガラス基板７０に数百ｍｍ〜
１０００ｍｍ以上と長いバリアリブ７５が形成される。

【００３７】ここで、バリアリブ成形型６５に使用する
樹脂材６５ａとしては、鍛造成形性、耐熱性、離型性が
求められるが、これらの条件を満足できるものであれば
良い。フッ素樹脂系のものがこれらの条件を良く満足す
るので、本例ではＰＴＦＥ（例えば、商品名テフロン）
材を使用している。ＰＴＦＥ材を使用した場合、微細な
凹凸形状が正確に転写でき、型成形が容易である。ま
た、繰り返して同一型を成形できる利点もある。更に、
ＰＴＦＥ材には若干の変形性があるため、ガラス基板７
０との密着性が良く、バリアリブペーストの刷り込みが
容易であり、また、離型性も良好で特別な離型剤処理は
不要であり、繰り返し使用しても性能が落ちることも無
い。ＰＴＦＥ材の場合は、３５０度位に加熱すると軟化
する。

【００３８】また、樹脂材製のバリアリブ成形型を使用
すると、変形性があるため、ガラス基板７０が平坦さを
若干欠いた場合でも、これに追従して良く密着性する。

【００３９】［実施形態例２：バリアペースト刷込み方
法の例］次に、図２〜図４を参照して、バリアペースト
の刷込み方法の例を説明する。この例では、バリアリブ
ペーストはガラス粉末とセラミック粉末をベースに、紫
外線等により連鎖硬化する光硬化型エポキシ樹脂組成物
を添加したペースト状材料を使用している。

【００４０】例えば、ガラス粉末とセラミック粉末に紫
外線硬化溶剤を２０パーセント位入れて練ったものをバ
リアリブペーストとして使用する。このようにガラスと
セラミック粉末をベースに、紫外線等により連鎖硬化す
る光硬化型エポキシ樹脂組成物を添加したペースト状材
料をバリアリブペーストとして使用する場合は、バリア
リブペーストが未硬化の状態でバリアリブ成形型に刷り
込み、光硬化させてバリアリブ７５を強化してから、離
型すると良い。

【００４１】まず、実施形態例１で製作した樹脂材製の
バリアリブ成形型６５を使用し、図２に示すように、型
６５の上に密着してバリアリブペースト刷込み装置８０
をセットする。バリアリブペースト刷込み装置８０の一
端（図では左端）には、型６５の上に密着してガラス基
板７０をセットする。更に、バリアリブペースト刷込み
装置８０には、バリアリブペースト８５を加圧充填する
バリアリブペースト加圧室８５ａが備えられ、このバリ
アリブペースト加圧室８５ａより基端側に、バリアリブ
ペースト８５をバキューム吸引するバリアリブペースト
吸引部分８２が備えられている。

【００４２】このような構成で行うバリアリブペースト
の刷込み工程を以下説明する。

【００４３】図２は刷込み開始時の状態を示しており、
樹脂材製のバリアリブ成形型６５の溝部６６の一端（左
先端）に、バリアリブペースト加圧室８５ａ下面の吐出
孔（刷込み部）が接するようにバリアリブペースト刷込
み装置８０を配置する。ここでバリアリブペースト刷込
み装置８０とガラス基板７０はバリアリブ成形型６５に
密着している。

【００４４】図３（ａ）は、図２の刷込み開始時の状態
で、圧力Ｐ１で加圧しながら、他方で負圧ｑ１でバキュ
ーム吸引を開始した状態を示しており、バリアリブペー
スト８５はバリアリブ成形型６５の各溝内に刷込まれ
る。

【００４５】図３（ｂ）はバリアリブ成形型６５を左方
へ移動開始した状態であり、溝部６６内に刷込まれたバ
リアリブペースト８５が溝部６６内に残る様子を示して
いる。

【００４６】図４はバリアリブ成形型６５の移動を更に
進めた状態であり、バリアリブペースト刷込み装置８０
の下部分では、バリアリブペースト８５がバキューム吸
引部分８２まで刷り込まれた状態を保持しつつ、刷り込
みが進行する様子を示している。

【００４７】ここで、加圧だけの場合は圧力が大き過ぎ
るとバリアリブペーストが漏れて吹き出たり、バキュー
ム吸引だけの場合は溝の途中でバリアリブペーストが途
切れて抜けが生じたりするが、加圧とバキューム吸引し
ながらバリアリブペースト８５を刷り込むことにより、
これらの問題ががなくなる。バキューム吸引の負圧ｑ１
は略真空で良く、加圧力はＰ１はバリアリブペーストが
漏れ出ない程度に抑えると良い。例えば、加圧力Ｐ１：
負圧ｑ１＝２：１等とされる。

【００４８】図５を参照して、バリアリブペースト８５
の刷込み長さＬを説明する。図５（ａ）において、バリ
アリブ成形型６５に設けた溝部６６にバリアリブペース
トを刷り込むが、溝部表面をガラス基板７０で密閉した
状態で、加圧力Ｐ１およびバキューム圧力ｑ１を作用さ
せるため、この溝６６内に刷込まれる長さＬは、下式
（１）に示す計算式で求められる。（Ｐ１−ｑ１）δ₁・δ₂＝τ×２（δ₁ ＋δ₂ ）×ＬＬ＝ΔＰ・δ₁・δ₂／（τ×2(δ₁ ＋δ₂ ）） …式(1) ここで、τはバリアリブペーストの粘性抵抗、ΔＰは加
圧力Ｐ１とバキューム圧力ｑ１の差圧である。また、δ
₁ とδ₂ は図５（ｂ）に示すように、それぞれ溝部６６
の縦寸法と横寸法である。

【００４９】式（１）より、刷込み長さＬは、差圧ΔＰ
と溝寸法δ₁ 、δ₂ が大きく、バリアリブペーストの粘
性抵抗τが小さい程、バリアリブペーストを長く刷り込
める。しかし、溝６６の寸法・形状はバリアリブ形状が
決まっているため、容易には変更できない。そのため、
条件調整が可能な差圧ΔＰを利用する。つまり、加圧し
ながら他方でバキューム吸引することにより、差圧ΔＰ
を大きくすることにより、刷込み長さＬを長くしてい
る。

【００５０】［実施形態例３：バリアリブペースト刷込
み装置の例１］図６にバリアリブペースト刷込み装置の
第１例８０ａを示す。図６（ａ）は側面断面図、同図
（ｂ）はかきとり部を拡大して示す断面図である。バリ
アリブ成形型６５の溝６６部分の表面に、ガラス基板７
０を押し付けながらバリアリブペースト刷込み装置８０
ａをセットする。１１０はバリアリブ成形型６５のホル
ダーである。

【００５１】このバリアリブペースト刷込み装置８０ａ
のバリアリブペースト加圧室８５ａには、バリアリブペ
ースト供給装置９２があり、バリアリブペースト８５を
加圧装置９０、具体的には空気袋（エアバッグ）で加圧
供給する機構となっている。空気袋（バリアリブペース
ト加圧装置）９０は上方からばねで抑えられ、適宜な加
圧兼減圧機（図示省略）に接続されている。

【００５２】また、バリアリブペースト刷込み装置８０
ａの図示右側（バリアリブ成形型６５の移動方向後寄
り）には、バリアリブ成形型６５の溝６６からバリアリ
ブペースト８５をバキューム吸引するためのバキューム
室８２及び吸引孔８３と吸引ホース８３ａが設けられて
いる。バキューム室８２は装置下面に開口し、吸引孔８
３に連通している。吸引孔８３は吸引ホース８３ａを介
して吸引機（図示省略）に接続されている。

【００５３】バリアリブペースト刷込み装置８０ａは溝
６６の配列方向（紙面に直角方向）に長い。これに伴
い、バリアリブペースト加圧室８５ａの下面には、多数
の溝６６部分に接するように長孔（幅は、例えば１ｍｍ
程度）が明けられている。また、吸引孔８３も、バリア
リブペースト加圧室８５ａと同じ多数の溝６６部分に接
するように長孔（幅は，例えば１ｍｍ程度）が明けられ
ている。

【００５４】この空気袋（バリアリブペースト加圧装
置）９０とバリアリブペースト吸引装置（８２、８３、
８３ａ及び吸引機）により、バリアリブペースト供給装
置９２内のバリアリブペースト８５をバリアリブ成形型
６５の多数の溝６６に刷り込む。その際、バリアリブ成
形型６５を移動させながら、順次刷り込みを行う。

【００５５】上記構造のバリアリブペースト刷込み装置
８０ａにより、基本的には、バリアリブペースト８５は
溝６６のみに刷り込まれる。

【００５６】しかし、バリアリブ成形型６５の一部の凸
部にバリアリブペースト８５が付着することが考えられ
る。この場合の対策として、図６（ｂ）に示すように、
付着したバリアリブペーストをかき取る装置として、溝
６６の配列方向（紙面に直角方向）に長いかき取り板９
４を、バリアリブペースト加圧室８５ａより前方にて、
バリアリブペースト刷込み装置８０ａに設けてある。こ
のかき取り板９４はバリアリブ成形型６５の凸部に付着
したバリアリブペーストをかき取るスクレーパであるか
ら、かき取り板加圧装置９３により、かき取り板９４の
押し付け力を調整しながらかき取るようにしてある。か
きとられたバリアリブペーストは隙間部９４ａから負圧
等により排出される。

【００５７】更に、未硬化時のバリアリブペーストに気
泡等が混入しないように、バリアリブペースト刷込み装
置８０ａへのバリアリブペースト供給を無空気状態で行
なう構成としている。そのため、脱泡された状態でバリ
アリブペーストを貯蔵するバリアリブペースト補給タン
ク９５がバリアリブペースト刷込み装置８０ａに備えら
れ、バリアリブペースト供給装置９２内のバリアリブペ
ースト８５も脱泡されており、バリアリブペースト補給
タンク９５からバリアリブペースト供給装置９２に至る
バリアリブペーストの通路の空気から遮断されている。

【００５８】また、バリアリブペースト８５は使用中に
減少してくるため、定期的に補給する必要がある。この
バリアリブペースト補給も無空気状態で行なう構成とし
ている。具体的には、バリアリブペースト補給装置はバ
リアリブペースト補給タンク９５、バルブ９１、バリア
リブペースト補給孔９６から構成されるが、補給方法の
詳細については後述する。

【００５９】以上のように、バリアリブペースト８５を
加圧しながら溝６６内に押し込み、同時に他方からバキ
ューム吸引することによって、バリアリブペースト８５
がバリアリブ成形型６５の溝６６にスムーズに刷り込ま
れ、欠陥の無い良好な刷り込みが行なわれる。

【００６０】［実施形態例４：バリアリブペースト刷込
み装置の例２］図７にバリアリブペースト刷込み装置の
第２例として、回転型ローラ８８を使用した装置８０ｂ
を示す。

【００６１】このバリアリブペースト刷込み装置８０ｂ
では、バリアリブペースト加圧室８５ａ内の下部に、ス
ポンジ等の弾性材料で作製したローラ８８を回転可能に
備えている。ローラ８８は、バリアリブ成形型６５の溝
６６に対応して凹凸が形成されたものでも、このような
凹凸がないものでも良い。

【００６２】ローラ８８はバリアリブ成形型６５の移動
方向と同方向または逆方向に回転される。

【００６３】また、バリアリブペースト加圧室８５ａに
は、先のバリアリブペースト刷込み装置８０ａと同様、
バリアリブペースト供給装置９２があり、バリアリブペ
ースト８５を加圧装置９０、具体的には空気袋（エアバ
ッグ）で加圧供給する機構となっている。空気袋（バリ
アリブペースト加圧装置）９０は上方からばねで抑えら
れ、適宜な加圧兼減圧機（図示省略）に接続されてい
る。

【００６４】また、バリアリブペースト刷込み装置８０
ｂの図示右側（バリアリブ成形型６５の移動方向後寄
り）には、バリアリブ成形型６５の溝６６からバリアリ
ブペースト８５をバキューム吸引するためのバキューム
室８２及び吸引孔８３が設けられている。また、装置後
方の下部に、シール材８９を配してある。バキューム室
８２は装置下面に開口し、吸引孔８３に連通している。
吸引孔８３は吸引ホース（図示省略）を介して吸引機
（図示省略）に接続されている。

【００６５】更に、バリアリブペースト刷込み装置８０
ｂの左端には、ガラス基板７０をバキュームにより保持
する保持装置１００を配してある。

【００６６】バリアリブペースト刷込み装置８０ｂは溝
６６の配列方向（紙面に直角方向）に長い。これに伴
い、バリアリブペースト加圧室８５ａの下面には、多数
の溝６６部分に接するように長孔（幅は、例えば１ｍｍ
程度）が明けられている。また、吸引孔８３も、バリア
リブペースト加圧室８５ａと同じ多数の溝６６部分に接
するように長孔（幅は，例えば１ｍｍ程度）が明けられ
ている。

【００６７】バリアリブペースト刷込み装置８０ｂも、
先のバリアリブペースト刷込み装置８０ａと同様、バリ
アリブ成形型６５の溝６６部分の表面に、ガラス基板７
０を押し付けながらセットする。

【００６８】上述したローラ８８と、空気袋（バリアリ
ブペースト加圧装置）９０と、バリアリブペースト吸引
装置（８２、８３、８３ａ及び吸引機）により、バリア
リブペースト供給装置９２内のバリアリブペースト８５
をバリアリブ成形型６５の多数の溝６６に刷り込む。そ
の際、バリアリブ成形型６５を移動させながら、順次刷
り込みを行う。

【００６９】ここで、刷り込みは、回転するローラ８８
により行なわれ、溝６６内に強制的にバリアリブペース
ト８５を刷込む。

【００７０】上記構造のバリアリブペースト刷込み装置
８０ｂにより、基本的には、バリアリブペースト８５は
溝６６のみに刷り込まれる。また、このバリアリブペー
スト刷込み装置８０ｂでは、バリアリブペースト８５の
粘性が高い場合でも、回転刷り込み型のローラ８８で強
制的に刷込めるため、確実な刷り込みが行なえる。

【００７１】しかし、バリアリブペースト刷込み装置８
０ｂの場合も、バリアリブ成形型６５の一部の凸部にバ
リアリブペースト８５が付着することが考えられる。こ
の場合の対策として、図７に示すように、溝６６の配列
方向（紙面に直角方向）に長いかき取り板９４を、バリ
アリブペースト加圧室８５ａより前方にて、バリアリブ
ペースト刷込み装置８０ｂに設けてある。このかき取り
板９４はバリアリブ成形型６５の凸部に付着したバリア
リブペーストをかき取るスクレーパであるから、かき取
り板加圧装置９３により、かき取り板９４の押し付け力
を調整しながらかき取るようにしてある。かきとられた
バリアリブペーストは隙間部９４ａから負圧等により排
出される。

【００７２】更に、未硬化時のバリアリブペーストに気
泡等が混入しないように、バリアリブペースト刷込み装
置８０ｂへのバリアリブペースト供給を無空気状態で行
なう構成としている。そのため、脱泡された状態でバリ
アリブペーストを貯蔵するバリアリブペースト補給タン
ク９５がバリアリブペースト刷込み装置８０ｂに備えら
れ、バリアリブペースト供給装置９２内のバリアリブペ
ースト８５も脱泡されており、バリアリブペースト補給
タンク９５からバリアリブペースト供給装置９２に至る
バリアリブペーストの通路の空気から遮断されている。

【００７３】また、バリアリブペースト８５は使用中に
減少してくるため、定期的に補給する必要がある。この
バリアリブペースト補給も無空気状態で行なう構成とし
ている。具体的には、バリアリブペースト補給装置はバ
リアリブペースト補給タンク９５、バルブ９１、バリア
リブペースト補給孔９６から構成されるが、補給方法の
詳細については後述する。

【００７４】以上のように、バリアリブペースト８５を
加圧しながら溝６６内に押し込み、同時に他方からバキ
ューム吸引し、更にローラ８８で強制的に刷り込むこと
によって、バリアリブペースト８５がバリアリブ成形型
６５の溝６６にスムーズに刷り込まれ、欠陥の無い良好
な刷り込みが行なわれる。

【００７５】［実施形態例５：バリアリブ成形型の溝内
のみへの刷込み方法の例］図８〜図１０に、バリアリブ
成形型６５の溝６６のみに確実にバリアリブペースト８
５を刷込むための方法及び構造例を、バリアリブペース
ト刷込み部の拡大図として示す。図８は平面断面図、図
９は側面断面図、図１０は正面断面図を示す。

【００７６】図８〜図１０に示すように、バリアリブペ
ースト刷込み装置８０（バリアリブペースト刷込み装置
８０ａとバリアリブペースト刷込み装置８０ｂ両方）の
バリアリブペースト加圧室８５ａの下面に、バリアリブ
成形型６５の各溝６６のみに対応した刷込み孔８６を形
成したバリアリブペースト制限板材８４を設けてある。
バリアリブペースト８５はこの刷込み孔８６からバリア
リブ成形型６５の溝６６のみに加圧供給され、溝６６以
外の凸部には付着しにくい構成としてある。

【００７７】ここで、バリアリブペースト制限板材８４
は溝６６の配列方向（紙面に直角方向）に長く、多数の
溝６６に対応して刷込み孔８６を多数形成してある。

【００７８】本例では、制限板材カセット８１により、
バリアリブペースト制限板材８４をバリアリブペースト
加圧室８５ａの下面に取り付けている。また、制限板材
カセット８１をバリアリブペースト制限板材８４を補強
するための治具として用いてもいる。その理由は、バリ
アリブペースト制限板材８４に設ける刷込み孔８６が例
えば直径0.15ｍｍ以下と微細なため、通常の機械加工で
はバリアリブペースト制限板材８４が薄くないと加工で
きないので、本例では、薄いバリアリブペースト制限板
材８４を複数枚積層して用い、この積層物をバリアリブ
ペースト加圧室８５ａの下面に取り付けているためであ
る。

【００７９】勿論、レーザ加工やエッチング処理等によ
り、１枚の厚いバリアリブペースト制限板材８４に微細
な刷込み孔８６を形成しても良い。

【００８０】バリアリブペースト制限板材８４は必ずし
も用いる必要はない。

【００８１】［実施形態例６：バリアリブペーストの補
給方法の例］図１１に、常に脱泡されたエアー混入の無
いバリアリブペーストを補給するための方法及び構造の
例を断面図で示す。図１１（ａ）は加圧刷込み中の状態
図、同図（ｂ）は補給開始時の状態図、同図（ｃ）は補
給中の状態図を示す。

【００８２】図１１（ａ）に示すものは、バリアリブペ
ースト制限板材８４を介してバリアリブペースト８５を
加圧装置９０で刷り込んでいる状況である。ここで加圧
装置９０としてエアバック等のようにエアーで膨らむ方
式のものを利用している。

【００８３】加圧しながら刷り込むとき、バリアリブペ
ースト８５が所定値まで減少したら、これを適宜なセン
サで検出して、図１１（ｂ）に示すようにバルブ９１を
開き、バリアリブペースト補給タンク９５からバリアリ
ブペースト８５を流入しやすくする。

【００８４】更に、バルブ９１の開きに同期して、図１
１（ｂ）（ｃ）に示すようにエアバック等の加圧装置９
０を減圧させる。これにより，バリアリブペースト加圧
室８５ａに負圧が発生する。この負圧及びバリアリブペ
ースト補給タンク９５の圧力（自重含む加圧）の作用
で、バリアリブペーストがバリアリブペースト補給タン
ク９５から加圧室８５ａ内に補給する。所定量の補給が
完了したら、これを適宜なセンサで検出して、バルブ９
１を閉じ、補給経路を遮断した後、図１１（ａ）のよう
に再び加圧装置９０で加圧しながら、他方でバキューム
吸引を行って、バリアリブペースト８５を刷り込む。

【００８５】以上により、常にエアー混入の無い、脱泡
されたバリアリブペースト８５を供給でき、刷り込み精
度が向上する。

【００８６】［実施形態例７：量産可能なバリアリブ製
造装置の例］図１２と図１３に、量産可能としたバリア
リブ製造装置の構成例を示す。図１２は刷込み開始時の
状態を示す側面図、図１３は刷込みが完了し、バリアリ
ブペーストを硬化している状態を示す側面図である。

【００８７】まず、図１２において、装置構成を説明す
る。架台１２０にモータ１２２で駆動されるリニアガイ
ドシステム１２１を組み込んである。このリニアガイド
システム１２１に型ホルダ１１０を取り付け、バリアリ
ブ成形型６５（ここではテフロン製の型を使用した）を
セットする。このバリアリブ成形型６５上にバリアリブ
ペースト刷込み装置８０（バリアリブペースト刷込み装
置８０ａ、バリアリブペースト刷込み装置８０ｂのどち
らでの良い）を密着させる。同時に、バリアリブ成形型
６５上にガラス基板７０が密着可能なように、ガラス基
板受けガイド１０２上にガラス基板７０をセットし、ガ
ラス基板保持装置１００で保持する。

【００８８】バリアリブペースト刷込み装置８０には、
先の実施形態例で説明したバリアリブペースト加圧、吸
引、補給、かき取り用等のの各装置が組み込まれてい
る。

【００８９】図１２の状態でバリアリブペーストの刷り
込みを開始するが、刷り込みながらバリアリブ成形型６
５をリニアガイドシステム１２１で図示左側に逐次移動
して行く。

【００９０】バリアリブペーストをバリアリブ成形型６
５の溝６６に刷り込みながら、バリアリブ成形型６５は
移動し、図１３に示すように、図示左端まで移動して刷
り込み完了となる。

【００９１】刷り込みが完了したら、バリアリブペース
ト刷込み装置８０は適宜な昇降装置により上昇してバリ
アリブ成形型６５から離れる。

【００９２】その後、ガラス基板押え装置１０５に設け
てある押え治具１０１が適宜な昇降装置により下降し
て、図１３に示すように、ガラス基板７０をバリアリブ
成形型６５に押し付け加圧する。

【００９３】このようにガラス基板７０を押し付け加圧
した状態で、バリアリブペースト硬化用装置、例えば紫
外線ランプ（ＵＶランプ）１０９等で、バリアリブペー
ストを照射し、硬化させる。

【００９４】ここで、バリアリブペーストにはガラスと
セラミックの粉末材をベースに、紫外線等により連鎖硬
化する光硬化型エポキシ樹脂組成物を添加して、ペース
ト状とした材料を使用しているのでバリアリブ成形型６
５内のバリアリブペーストは速やかに（例えば、１分程
度で）硬化する。

【００９５】バリアリブペーストが硬化したのち、ガラ
ス基板押え装置１０５の押え治具１０１を開放し、ガラ
ス基板保持装置１００でガラス基板７０を吸引しなが
ら、ガラス基板押え装置１０５を上昇させることによ
り、ガラス基板７０はバリアリブ成形型６５から離れて
上昇する。

【００９６】この時、バリアリブ成形型６５の溝６６に
刷り込まれたバリアリブペーストは硬化しており、更
に、この硬化時にガラス基板７０と密着していたので、
ガラス基板７０と接していた部分がガラス基板７０に強
固に接着される。そのため、ガラス基板７０の上昇によ
り、バリアリブ成形型６５の溝６６内のバリアリブペー
ストはガラス基板７０と共にバリアリブ成形型から剥離
される。

【００９７】バリアリブ成形型６５をフッ素樹脂（ここ
ではテフロン使用）で製作した場合は、バリアリブペー
ストとの離型性が特に良く、離型材を施しておかなくて
も良好な離型が行なえる。

【００９８】ガラス基板７０の離型後、次のガラス基板
と交換し、リニアガイドシステム１２１を後退させ、再
び図１２のようにセットすることにより、以下同様の工
程を繰り返してバリアリブの量産が行なえる。

【００９９】本発明は、ＰＤＰのバリアリブに限ること
なく、各種のリブ製造に適用可能である。

【０１００】

【発明の効果】請求項１に係る発明の方法によれば、基
板とバリアリブ形状に対応した凹凸型を有するバリアリ
ブ成形型を密着させ、バリアリブ成形型をその溝の長さ
方向に沿って移動させながら、バリアリブ成形型の溝内
に加圧力とバキューム吸引力を用いてバリアリブペース
トを刷り込むので、バリアリブ成形型の微細な溝内に途
中で抜けを生じることなく、安定且つ確実に、高い刷り
込み精度でバリアリブペーストを刷り込むことができ、
バリアリブを高い精度で基板上に製造することができ
る。

【０１０１】請求項２に係る発明の方法によれば、バリ
アリブ成形型の表面に、基板とバリアリブペースト刷込
み装置を密着させ、バリアリブペースト刷込み装置から
バリアリブペーストを加圧及びバキューム吸引しながら
バリアリブ成形型の溝内に刷り込むので、バリアリブ成
形型の微細な溝内に途中で抜けを生じることなく、バリ
アリブペースト刷込み装置により安定且つ確実に、高い
刷り込み精度でバリアリブペーストを刷り込むことがで
き、バリアリブを高い精度で基板上に製造することがで
きる。

【０１０２】請求項３に係る発明の方法によれば、バリ
アリブペーストの刷り込み完了後に、基板とバリアリブ
成形型を加圧して密着させ、この状態でバリアリブペー
ストを硬化させ、バリアリブペーストの硬化後に、基板
からバリアリブ成形型を離型するので、バリアリブを損
傷することなく基板上に製造することができる。

【０１０３】請求項４に係る発明の方法によれば、バリ
アリブペーストとして、ガラスとセラミック粉末をベー
スに、紫外線等の光により連鎖硬化する光硬化型エポキ
シ樹脂組成物を添加したペースト状材料を使用し、バリ
アリブペーストは未硬化状態でバリアリブ成形型に刷り
込み、光硬化させてバリアリブを強化してから離型する
ので、バリアリブを損傷することなく基板上に製造する
ことができる。

【０１０４】請求項５に係る発明の方法によれば、未硬
化時のバリアリブペーストに気泡が混入しないように、
バリアリブペーストをタンクから無空気状態でバリアリ
ブペースト刷込み装置に供給するので、エアー混入の無
い脱泡されたバリアリブペーストを刷り込むことがで
き、刷り込み精度が向上してバリアリブを高い精度で基
板上に製造することができる。

【０１０５】請求項６に係る発明の方法によれば、バリ
アリブペースト刷込み装置内を減圧して負圧を発生さ
せ、この負圧によりバリアリブペーストをタンクからバ
リアリブペースト刷込み装置に供給するので、エアー混
入の無い脱泡されたバリアリブペーストを補給でき、刷
り込み精度が向上してバリアリブを高い精度で基板上に
製造することができる。

【０１０６】請求項７に係る発明の装置によれば、バリ
アリブ形状に対応した凹凸を有するバリアリブ成形型
と、バリアリブ成形型を保持しその溝の長さ方向に沿っ
て移動させる装置と、バリアリブ成形型の表面に密着さ
れるバリアリブペースト刷込み装置と、基板をバリアリ
ブ成形型に密着させて保持する装置と、バリアリブペー
スト刷込み装置からバリアリブ成形型の溝内に向けてバ
リアリブペーストを加圧するバリアリブペースト加圧装
置と、バリアリブペースト加圧装置よりもバリアリブ成
形型の移動方向の後方に配置され、バリアリブ成形型の
溝内のバリアリブペーストをバキューム吸引するバリア
リブペースト吸引装置を具備するので、バリアリブ成形
型の微細な溝内に途中で抜けを生じることなく、安定且
つ確実に、高い刷り込み精度でバリアリブペーストを刷
り込むことができ、バリアリブを高い精度で基板上に製
造することができる。

【０１０７】請求項８に係る発明の装置によれば、バリ
アリブペースト刷込み装置は回転型ローラを備えたもの
であることを特徴とするので、ローラが強制的にバリア
リブペーストを刷り込むから、バリアリブ成形型の微細
な溝内に途中で抜けを生じることなく、安定且つ確実
に、高い刷り込み精度でバリアリブペーストを刷り込む
ことができ、バリアリブを高い精度で基板上に製造する
ことができる。

【０１０８】請求項９に係る発明の装置によれば、バリ
アリブペースト加圧装置が空気袋であるので、簡単な構
成でバリアリブペーストを加圧することができる。

【０１０９】請求項１０に係る発明の装置によれば、バ
リアリブペースト刷込み装置はバリアリブ成形型の溝の
みに対応したバリアリブペースト吐出孔を備えたもので
あるので、バリアリブ成形型の溝以外の凸部にバリアリ
ブペーストを刷り込むことがなく、バリアリブを高い精
度で基板上に製造することができる。

【０１１０】請求項１１に係る発明の装置によれば、バ
リアリブ成形型上の余剰のバリアリブペーストをかき取
る装置と、基板をバリアリブ成形型に押しつける装置
と、基板とバリアリブ成形型の間のバリアリブペースト
を硬化させる装置と、基板からバリアリブ成形型を離型
する装置と、バリアリブ成形型が離型された基板を搬送
する装置と、バリアリブペーストをバリアリブペースト
刷込み装置に補給する装置を備えたので、バリアリブ成
形型の溝以外の凸部に付着したバリアリブペーストを除
去することができ、バリアリブを高い精度で基板上に製
造することができる。

【０１１１】請求項１２に係る発明の装置によれば、バ
リアリブ成形型は樹脂材で製作されたものであるので、
基板の平坦さが多少不均一であっても、変形してこれに
追従し、安定且つ確実に基板に密着することができ、バ
リアリブを高い精度で基板上に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態例１として、バリアリブ成形
型製造方法の例を示す図である。

【図２】本発明の実施形態例２として、バリアペースト
刷込み方法の例を示す図である。

【図３】本発明の実施形態例２として、バリアペースト
刷込み方法の例を示す図である。

【図４】本発明の実施形態例２として、バリアペースト
刷込み方法の例を示す図である。

【図５】本発明の実施形態例２として、バリアリブペー
ストの刷込み長さ説明する図である。

【図６】本発明の実施形態例３として、バリアリブペー
スト刷込み装置の例を示す図である。

【図７】本発明の実施形態例４として、回転型ローラを
備えたバリアリブペースト刷込み装置の例を示す図であ
る。

【図８】本発明の実施形態例５として、バリアリブ成形
型の溝内のみへの刷込み方法の例を示す図である。

【図９】本発明の実施形態例５として、バリアリブ成形
型の溝内のみへの刷込み方法の例を示す図である。

【図１０】本発明の実施形態例５として、バリアリブ成
形型の溝内のみへの刷込み方法の例を示す図である。

【図１１】本発明の実施形態例６として、バリアリブペ
ーストの補給方法の例を示す図である。

【図１２】本発明の実施形態例６として、量産に適した
バリアリブ製造装置の例を示す図である。

【図１３】本発明の実施形態例６として、量産に適した
バリアリブ製造装置の例を示す図である。

【図１４】ＰＤＰの構造例を示す図である。

【図１５】バリアリブの形状例を示す図である。

【図１６】従来のガラス型使用法を示す図である。

【図１７】従来のフィルム型使用法を示す図である。

【図１８】従来のフィルム型使用法を示す図である。

【符号の説明】

５バリアリブ１０リア基板１１データ電極１２白色誘電体層１３蛍光層２０フロント基板２１保護層２２透明誘電体層２３透明電極３０ガラス型３１凹部３５バリアリブペースト３８ガラス基板４０フイルム４１凹部４２凸部４２ａ凹部４３フイルム型４５型材４７ガラス基板４８バリアリブペースト４９ブレード５０回転型５１、５２ライン保持ロール５３原料タンク５４型材塗布ロール５５硬化装置６０ひな型６１溝部６２凸部６５バリアリブ成形型６５ａ樹脂材６６凹部（溝部）６７凸部７０ガラス基板７５バリアリブ８０バリアリブペースト刷込み装置８０ａバリアリブペースト刷込み装置８０ｂバリアリブペースト刷込み装置８１制限板材カセット８２バリアリブペースト吸引部分（バキューム室）８３吸引孔８３ａ吸引ホース８４バリアリブペースト制限板材８５バリアリブペースト８５ａバリアリブペースト加圧室８６刷込み孔８８回転型ローラ８９シール材９０バリアリブペースト加圧装置（空気袋）９１バルブ９２バリアリブペースト供給装置９３かき取り板加圧装置９４かき取り板９５バリアリブペースト補給タンク９６バリアリブペースト補給孔１００ガラス基板保持装置１０１押え治具１０２ガラス基板受ガイド１０５ガラス基板押え装置１０９紫外線ランプ１１０バリアリブ成形型ホルダ１２０架台１２１リニアガイドシステム１２２モータ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者飯伏順一広島県広島市西区観音新町四丁目６番22号三菱重工業株式会社広島研究所内 (72)発明者六角正広島県広島市安佐南区祇園三丁目２番１号三菱重工業株式会社広島工機工場内Ｆターム(参考） 5C027 AA09 5C040 FA01 FA04 GB03 GB14 GF02 GF19 JA12 JA20 JA40 KA09 KA16 MA23 MA26

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】バリアリブを基板上に製造する方法にお
いて、基板とバリアリブ形状に対応した凹凸型を有する
バリアリブ成形型を密着させ、バリアリブ成形型をその
溝の長さ方向に沿って移動させながら、バリアリブ成形
型の溝内に加圧力とバキューム吸引力を用いてバリアリ
ブペーストを刷り込むことを特徴とするバリアリブ製造
方法。
【請求項２】バリアリブ成形型の表面に、基板とバリ
アリブペースト刷込み装置を密着させ、バリアリブペー
スト刷込み装置からバリアリブペーストを加圧及びバキ
ューム吸引しながらバリアリブ成形型の溝内に刷り込む
ことを特徴とする請求項１に記載のバリアリブ製造方
法。
【請求項３】バリアリブペーストの刷り込み完了後
に、基板とバリアリブ成形型を加圧して密着させ、この
状態でバリアリブペーストを硬化させ、バリアリブペー
ストの硬化後に、基板からバリアリブ成形型を離型する
ことを特徴とする請求項１に記載のバリアリブ製造方
法。
【請求項４】バリアリブペーストとして、ガラスとセ
ラミック粉末をベースに、紫外線等の光により連鎖硬化
する光硬化型エポキシ樹脂組成物を添加したペースト状
材料を使用し、バリアリブペーストは未硬化状態でバリ
アリブ成形型に刷り込み、光硬化させてバリアリブを強
化してから離型することを特徴とする請求項１に記載の
バリアリブ製造方法。
【請求項５】未硬化時のバリアリブペーストに気泡が
混入しないように、バリアリブペーストをタンクから無
空気状態でバリアリブペースト刷込み装置に供給するこ
とを特徴とする請求項１に記載のバリアリブ製造方法。
【請求項６】バリアリブペースト刷込み装置内を減圧
して負圧を発生させ、この負圧によりバリアリブペース
トをタンクからバリアリブペースト刷込み装置に供給す
ることを特徴とする請求項１に記載のバリアリブ製造方
法。
【請求項７】バリアリブを基板上に製造する装置にお
いて、バリアリブ形状に対応した凹凸を有するバリアリ
ブ成形型と、バリアリブ成形型を保持しその溝の長さ方
向に沿って移動させる装置と、バリアリブ成形型の表面
に密着されるバリアリブペースト刷込み装置と、基板を
バリアリブ成形型に密着させて保持する装置と、バリア
リブペースト刷込み装置からバリアリブ成形型の溝内に
向けてバリアリブペーストを加圧するバリアリブペース
ト加圧装置と、バリアリブペースト加圧装置よりもバリ
アリブ成形型の移動方向の後方に配置され、バリアリブ
成形型の溝内のバリアリブペーストをバキューム吸引す
るバリアリブペースト吸引装置を具備することを特徴と
するバリアリブ製造装置。
【請求項８】バリアリブペースト刷込み装置は回転型
ローラを備えたものであることを特徴とする請求項７に
記載のバリアリブ製造装置。
【請求項９】バリアリブペースト加圧装置が空気袋で
あることを特徴とする請求項７に記載のバリアリブ製造
装置。
【請求項１０】バリアリブペースト刷込み装置はバリ
アリブ成形型の溝のみに対応したバリアリブペースト吐
出孔を備えたものであることを特徴とする請求項７に記
載のバリアリブ製造装置。
【請求項１１】バリアリブ成形型上の余剰のバリアリ
ブペーストをかき取る装置と、基板をバリアリブ成形型
に押しつける装置と、基板とバリアリブ成形型の間のバ
リアリブペーストを硬化させる装置と、基板からバリア
リブ成形型を離型する装置と、バリアリブ成形型が離型
された基板を搬送する装置と、バリアリブペーストをバ
リアリブペースト刷込み装置に補給する装置を備えたこ
とを特徴とする請求項７に記載のバリアリブ製造装置。
【請求項１２】バリアリブ成形型は樹脂材で製作され
たものであることを特徴とする請求項７に記載のバリア
リブ製造装置。