JP2001044524A - 積層圧電体 - Google Patents
積層圧電体Info
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- JP2001044524A JP2001044524A JP11214849A JP21484999A JP2001044524A JP 2001044524 A JP2001044524 A JP 2001044524A JP 11214849 A JP11214849 A JP 11214849A JP 21484999 A JP21484999 A JP 21484999A JP 2001044524 A JP2001044524 A JP 2001044524A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】分極処理の前後で残留する内部応力をなくし、
クラックの発生を抑え、製品の信頼性を向上した積層圧
電体を提供することにある。 【解決手段】積層圧電体１は、圧電体層２と、該圧電体
層２の主面に形成された電極層３とを交互に積層すると
ともに、該電極層３を各圧電体層２毎に互いに異なる端
面方向に延出させることで前記各電極層３の一部が互い
に対向してなり、該対向した領域Ｄでは、互いに隣接す
る各圧電体層２の分極方向が逆方向になるように形成し
た積層圧電体において、領域Ｄ以外の領域Ｅにおける各
圧電体層２の分極方向が一定方向となるように構成し
た。
クラックの発生を抑え、製品の信頼性を向上した積層圧
電体を提供することにある。 【解決手段】積層圧電体１は、圧電体層２と、該圧電体
層２の主面に形成された電極層３とを交互に積層すると
ともに、該電極層３を各圧電体層２毎に互いに異なる端
面方向に延出させることで前記各電極層３の一部が互い
に対向してなり、該対向した領域Ｄでは、互いに隣接す
る各圧電体層２の分極方向が逆方向になるように形成し
た積層圧電体において、領域Ｄ以外の領域Ｅにおける各
圧電体層２の分極方向が一定方向となるように構成し
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電体層と電極層
を交互に積層した積層圧電体に関する。
を交互に積層した積層圧電体に関する。
【０００２】
【従来技術】従来より、誘電体の機械的共振を利用した
共振子，フィルタとして、複数の圧電体層を積層した積
層圧電体は、例えば、特開平９−２７５３２５に開示さ
れている。
共振子，フィルタとして、複数の圧電体層を積層した積
層圧電体は、例えば、特開平９−２７５３２５に開示さ
れている。
【０００３】この積層圧電体は、図４に示すように、圧
電体層３４と圧電体層３４の主面に形成された電極層３
６とを交互に積層するとともに、電極層３６を各圧電体
層３４に互いに異なる端面方向に延出させることで、積
層された圧電体層３４（以下、圧電体ブロック３５とい
う）の主面中央で各電極層３６が互いに対向する領域Ｄ
を形成している。
電体層３４と圧電体層３４の主面に形成された電極層３
６とを交互に積層するとともに、電極層３６を各圧電体
層３４に互いに異なる端面方向に延出させることで、積
層された圧電体層３４（以下、圧電体ブロック３５とい
う）の主面中央で各電極層３６が互いに対向する領域Ｄ
を形成している。
【０００４】また、圧電体ブロック３５の両端の略全面
には、圧電体層３４の１つおきに、圧電体層３４の端面
側に引出された電極層３６と接続する外部電極３８，４
０が形成されており、これらの外部電極３８，４０に直
流電圧３７を印加することにより各圧電体層３４に分極
処理が施されている。
には、圧電体層３４の１つおきに、圧電体層３４の端面
側に引出された電極層３６と接続する外部電極３８，４
０が形成されており、これらの外部電極３８，４０に直
流電圧３７を印加することにより各圧電体層３４に分極
処理が施されている。
【０００５】このとき、圧電体ブロック３５の内部にお
いては、隣合う電極層３６間に１〜２ＫＶ／ｍｍの直流
電圧３７を約２０〜３０秒間ほど印加して行われるが、
各電極層３６と互いに対向する領域Ｄに直流電圧が交互
に逆方向にかかるため、隣接する圧電体層３４の分極方
向は、各電極層３６と対向する領域Ｄで互いに逆方向に
分極されることになる。
いては、隣合う電極層３６間に１〜２ＫＶ／ｍｍの直流
電圧３７を約２０〜３０秒間ほど印加して行われるが、
各電極層３６と互いに対向する領域Ｄに直流電圧が交互
に逆方向にかかるため、隣接する圧電体層３４の分極方
向は、各電極層３６と対向する領域Ｄで互いに逆方向に
分極されることになる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな圧電体ブロック３５の領域Ｄのみで分極される構成
の積層圧電体においては、圧電体ブロック３５の分極前
と分極後で、圧電体ブロック３５の領域Ｄとそれ以外の
領域Ｅで厚み変化の差が生じる。従って、このような積
層圧電体を共振子として使用する場合に、共振子自体が
高周波振動を続けると、この厚み変化の差が圧電体ブロ
ック３５の内部ストレスを生み、圧電体層中に存在する
微細な欠陥を起点として、圧電体ブロック３５の領域Ｄ
と領域Ｅの境界においてクラックが生じて共振特性が変
化したり、クラック部でショート不良が発生する問題が
あった。
うな圧電体ブロック３５の領域Ｄのみで分極される構成
の積層圧電体においては、圧電体ブロック３５の分極前
と分極後で、圧電体ブロック３５の領域Ｄとそれ以外の
領域Ｅで厚み変化の差が生じる。従って、このような積
層圧電体を共振子として使用する場合に、共振子自体が
高周波振動を続けると、この厚み変化の差が圧電体ブロ
ック３５の内部ストレスを生み、圧電体層中に存在する
微細な欠陥を起点として、圧電体ブロック３５の領域Ｄ
と領域Ｅの境界においてクラックが生じて共振特性が変
化したり、クラック部でショート不良が発生する問題が
あった。
【０００７】本発明は上述の問題点に鑑みて案出された
ものであり、その目的は、積層圧電体の分極処理の前後
で残留する内部応力を無くし、クラックの発生を抑え、
製品の信頼性を向上させた積層圧電体を提供することに
ある。
ものであり、その目的は、積層圧電体の分極処理の前後
で残留する内部応力を無くし、クラックの発生を抑え、
製品の信頼性を向上させた積層圧電体を提供することに
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに本発明の積層圧電体は、分極処理された圧電体層と
電極層とを交互に積層させ、各圧電体層を挟んで各電極
層を対向させるとともに、各電極層を交互に異なる端面
方向に延出させた積層圧電体であって、前記隣接する各
圧電体層は電極層に挟された領域の分極方向が逆方向、
その他の領域の分極方向が同一方向となるように構成し
たことにある。
めに本発明の積層圧電体は、分極処理された圧電体層と
電極層とを交互に積層させ、各圧電体層を挟んで各電極
層を対向させるとともに、各電極層を交互に異なる端面
方向に延出させた積層圧電体であって、前記隣接する各
圧電体層は電極層に挟された領域の分極方向が逆方向、
その他の領域の分極方向が同一方向となるように構成し
たことにある。
【０００９】本発明によれば、隣接する各圧電体層は電
極層に挟された領域（以下、対向領域という）の分極方
向が逆方向となるようにし、対向領域以外の分極方向が
同一方向となるようにしたため、対向領域とそれ以外の
領域で、分極処理前後の積層圧電体における厚み変化が
略同じとなり、これにより、対向領域とそれ以外の領域
における境界で積層圧電体に残留する内部応力がかかる
ことがなく、クラックの発生を抑え、クラックに伴うシ
ョート不良を有効に防止できるとともに、共振特性に影
響を与えない積層圧電体を提供することができる。
極層に挟された領域（以下、対向領域という）の分極方
向が逆方向となるようにし、対向領域以外の分極方向が
同一方向となるようにしたため、対向領域とそれ以外の
領域で、分極処理前後の積層圧電体における厚み変化が
略同じとなり、これにより、対向領域とそれ以外の領域
における境界で積層圧電体に残留する内部応力がかかる
ことがなく、クラックの発生を抑え、クラックに伴うシ
ョート不良を有効に防止できるとともに、共振特性に影
響を与えない積層圧電体を提供することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の積層圧電体を図１〜３に
基づいて説明する。図１は積層圧電体１の形態を説明す
る斜視図であり、図２は積層圧電体１の内部構成を説明
するＡ−Ａ線断面図である。本発明の積層圧電体１は図
１，図２に示すように、圧電体層２の主面に形成された
電極層３を交互に積層して圧電体ブロック２０を形成し
てなる。また、電極層３を各圧電体層２毎に交互に異な
る端面方向に延出させることで各電極層３に挟まれた領
域の対向領域Ｄとそれ以外の領域Ｅが形成される。
基づいて説明する。図１は積層圧電体１の形態を説明す
る斜視図であり、図２は積層圧電体１の内部構成を説明
するＡ−Ａ線断面図である。本発明の積層圧電体１は図
１，図２に示すように、圧電体層２の主面に形成された
電極層３を交互に積層して圧電体ブロック２０を形成し
てなる。また、電極層３を各圧電体層２毎に交互に異な
る端面方向に延出させることで各電極層３に挟まれた領
域の対向領域Ｄとそれ以外の領域Ｅが形成される。
【００１１】また、圧電体ブロック２０の両端の略全面
には、圧電体層２の１つおきに、圧電体層２の端面側に
引出された電極層３と接続する外部電極４，５が形成さ
れている。
には、圧電体層２の１つおきに、圧電体層２の端面側に
引出された電極層３と接続する外部電極４，５が形成さ
れている。
【００１２】圧電体層２は、短冊状に形成され、５０〜
３００μｍ程度の厚みを有し、圧電体層２の材料として
は、例えば、チタン酸鉛（ＰＴ），ジルコン酸チタン酸
鉛（ＰＺＴ）等を主成分とするものが用いられる。な
お、振動モードとして、例えば、拡がり振動や伸び振動
等が用いられる。
３００μｍ程度の厚みを有し、圧電体層２の材料として
は、例えば、チタン酸鉛（ＰＴ），ジルコン酸チタン酸
鉛（ＰＺＴ）等を主成分とするものが用いられる。な
お、振動モードとして、例えば、拡がり振動や伸び振動
等が用いられる。
【００１３】圧電体ブロック２０は圧電体層２−１〜２
−５が積層されており、その分極方向としては、対向領
域Ｄにおいては、例えば、隣接する圧電体層２−１，２
−２の分極方向が逆方向になるように形成され、また、
領域Ｅにおいては、分極方向が、圧電体層２−１〜２−
５が同一方向（図では下方向）に揃えられて形成されて
いる。従って、領域Ｅの分極方向が同一方向であるか
ら、各圧電体層２−１〜２−５が同じ方向に向いている
必要があり、その方向は問わない。
−５が積層されており、その分極方向としては、対向領
域Ｄにおいては、例えば、隣接する圧電体層２−１，２
−２の分極方向が逆方向になるように形成され、また、
領域Ｅにおいては、分極方向が、圧電体層２−１〜２−
５が同一方向（図では下方向）に揃えられて形成されて
いる。従って、領域Ｅの分極方向が同一方向であるか
ら、各圧電体層２−１〜２−５が同じ方向に向いている
必要があり、その方向は問わない。
【００１４】電極層３は振動を発生させる振動電極とし
て用いられ、その材質として、例えばＡｇ、Ａｇ−Ｐｄ
等の導電性の高いもので形成されている。
て用いられ、その材質として、例えばＡｇ、Ａｇ−Ｐｄ
等の導電性の高いもので形成されている。
【００１５】外部電極４，５は、その材質として電極層
３と同様に導電性の高い材料で形成されている。また、
外部電極４，５は不図示の直流電圧の印加が可能に構成
され圧電体ブロック２０の対向領域Ｄで互いに隣接する
各圧電体層２−１〜２−５の分極方向が逆方向になるよ
うに分極処理が施される。
３と同様に導電性の高い材料で形成されている。また、
外部電極４，５は不図示の直流電圧の印加が可能に構成
され圧電体ブロック２０の対向領域Ｄで互いに隣接する
各圧電体層２−１〜２−５の分極方向が逆方向になるよ
うに分極処理が施される。
【００１６】このような構成の積層圧電体の動作につい
て説明する。圧電体層２の振動モードとして拡がり振動
を利用したもので説明する。即ち、圧電体ブロック２０
の両主面の中央部で保持させ、また、圧電体ブロック２
０の両端に形成した外部電極４，５から電源に接続させ
て駆動を行う。外部電極４，５間に交流電圧を印加する
と、全ての電極層３間に狭持された圧電体層２−１〜２
−５に、それぞれ交流電圧が印加される。これにより、
各圧電体層２−１〜２−５の分極に応じて厚み方向に膨
張収縮が発生し、同時に平面方向にも拡がり振動が発生
するのである。
て説明する。圧電体層２の振動モードとして拡がり振動
を利用したもので説明する。即ち、圧電体ブロック２０
の両主面の中央部で保持させ、また、圧電体ブロック２
０の両端に形成した外部電極４，５から電源に接続させ
て駆動を行う。外部電極４，５間に交流電圧を印加する
と、全ての電極層３間に狭持された圧電体層２−１〜２
−５に、それぞれ交流電圧が印加される。これにより、
各圧電体層２−１〜２−５の分極に応じて厚み方向に膨
張収縮が発生し、同時に平面方向にも拡がり振動が発生
するのである。
【００１７】次に本発明の積層圧電体の製造例について
説明する。圧電体セラミックからなるグリーンシート
（圧電体層）を成型し、グリーンシートの両主面にスク
リーン印刷法によりＡｇ−Ｐｄからなる電極層３を印刷
する。このとき、印刷パターンは、グリーンシートの端
面側に延出して電極層３が印刷される。その後、電極層
３が印刷されたグリーンシートを積層する。この場合、
印刷された電極層３とグリーンシートが交互に積層され
るように形成し、さらに電極層３を各グリーンシート毎
に交互いに異なる端面方向に延出させて各電極層３が互
いに対向するように配設する。
説明する。圧電体セラミックからなるグリーンシート
（圧電体層）を成型し、グリーンシートの両主面にスク
リーン印刷法によりＡｇ−Ｐｄからなる電極層３を印刷
する。このとき、印刷パターンは、グリーンシートの端
面側に延出して電極層３が印刷される。その後、電極層
３が印刷されたグリーンシートを積層する。この場合、
印刷された電極層３とグリーンシートが交互に積層され
るように形成し、さらに電極層３を各グリーンシート毎
に交互いに異なる端面方向に延出させて各電極層３が互
いに対向するように配設する。
【００１８】次に、圧着工程を経て、所望の圧電体の大
きさにカットして圧電体ブロック２０を成型し、１１０
０℃の条件で一体焼成させる。焼き上がり品では側面に
は各電極層３が露出しており、また、端面には圧電体層
の１層おきに電極層３が露出している。
きさにカットして圧電体ブロック２０を成型し、１１０
０℃の条件で一体焼成させる。焼き上がり品では側面に
は各電極層３が露出しており、また、端面には圧電体層
の１層おきに電極層３が露出している。
【００１９】次に、焼き上がった圧電体ブロック２０の
一次分極処理を行う。圧電体ブロック２０の両主面に導
電性ゴム製の平面電極を押し付けて挟み、平面電極間に
１〜２ＫＶ／ｍｍの直流電圧を印加する。これにより、
例えば、図２の誘電体ブロック２０両端に形成される下
側矢印の方向に分極が得られるようになる。
一次分極処理を行う。圧電体ブロック２０の両主面に導
電性ゴム製の平面電極を押し付けて挟み、平面電極間に
１〜２ＫＶ／ｍｍの直流電圧を印加する。これにより、
例えば、図２の誘電体ブロック２０両端に形成される下
側矢印の方向に分極が得られるようになる。
【００２０】次に、圧電体ブロック２０の端面に外部電
極４，５をスパッタリング法で被着形成する。これによ
り、圧電体ブロック２０の各端面を経由して各電極層３
が圧電体層２の１層おきに接続される。
極４，５をスパッタリング法で被着形成する。これによ
り、圧電体ブロック２０の各端面を経由して各電極層３
が圧電体層２の１層おきに接続される。
【００２１】次に、圧電体ブロック２０の両端面に形成
された外部電極４，５間に電圧を印加して二次分極処理
を行う。このときの分極方向は、圧電体ブロック２０の
対向領域Ｄで互いに隣接する各圧電体層２−１〜２−５
が逆方向になる。即ち、図２に示すように圧電体層２−
１は上向き，圧電体層２−２は下向き，圧電体層２−３
は上向き・・・・となる。これにより、積層圧電体が製
造される。
された外部電極４，５間に電圧を印加して二次分極処理
を行う。このときの分極方向は、圧電体ブロック２０の
対向領域Ｄで互いに隣接する各圧電体層２−１〜２−５
が逆方向になる。即ち、図２に示すように圧電体層２−
１は上向き，圧電体層２−２は下向き，圧電体層２−３
は上向き・・・・となる。これにより、積層圧電体が製
造される。
【００２２】次に、一，二次分極処理による厚みの変化
について、図３を参照して模式的に説明する。図３の横
軸は分極電圧Ｖであり、縦軸は厚み変化ΔＴである。一
次分極処理により所定の電圧をかけると厚みの変化は０
→ａ→ｂの奇跡となる。このとき、圧電体ブロック２０
の領域Ｄ，Ｅともに分極後の厚みがｂの位置の厚み変化
となる。
について、図３を参照して模式的に説明する。図３の横
軸は分極電圧Ｖであり、縦軸は厚み変化ΔＴである。一
次分極処理により所定の電圧をかけると厚みの変化は０
→ａ→ｂの奇跡となる。このとき、圧電体ブロック２０
の領域Ｄ，Ｅともに分極後の厚みがｂの位置の厚み変化
となる。
【００２３】この状態で、二次分極が行われる。厚みの
変化は、圧電体ブロック２０の対向領域Ｄのみで変化が
生じる。その厚みの変化は例えばｂ→ｃ→ｄ→ｅの軌跡
となる。即ち、二次分極の電圧が一次分極の電圧と逆極
性の層では、一旦、分極の反転に伴って厚みが初期状態
に戻るために、ｃ点を経由してｄ点で分極が完了し、そ
の後、電圧を切るとｅ点に至るがこれはｂ点と略同じ位
置になる。これにより、分極の向きに差があるが、内部
の変形は同じ、即ち、二次分極後による領域Ｄの厚みの
変化が一次分極後による領域Ｅの厚み変化と略同じにな
る積層圧電体が製造できる。その結果、圧電体ブロック
２０の領域Ｄ，Ｅの境界でかかる残留する内部応力がな
くなる。
変化は、圧電体ブロック２０の対向領域Ｄのみで変化が
生じる。その厚みの変化は例えばｂ→ｃ→ｄ→ｅの軌跡
となる。即ち、二次分極の電圧が一次分極の電圧と逆極
性の層では、一旦、分極の反転に伴って厚みが初期状態
に戻るために、ｃ点を経由してｄ点で分極が完了し、そ
の後、電圧を切るとｅ点に至るがこれはｂ点と略同じ位
置になる。これにより、分極の向きに差があるが、内部
の変形は同じ、即ち、二次分極後による領域Ｄの厚みの
変化が一次分極後による領域Ｅの厚み変化と略同じにな
る積層圧電体が製造できる。その結果、圧電体ブロック
２０の領域Ｄ，Ｅの境界でかかる残留する内部応力がな
くなる。
【００２４】なお、本発明では積層圧電体における共振
子の例について説明したが、これに限定されることな
く、積層アクチュエータとして用いることもできる。こ
の場合、電極層３の引き出しは外部電極から直接とって
も良いし、上下面に適当な端子電極を設けても良い。特
に、図２の長手方向を大きくとれば、大きな変位量が容
易に得られるアクチュエータが達成できる。
子の例について説明したが、これに限定されることな
く、積層アクチュエータとして用いることもできる。こ
の場合、電極層３の引き出しは外部電極から直接とって
も良いし、上下面に適当な端子電極を設けても良い。特
に、図２の長手方向を大きくとれば、大きな変位量が容
易に得られるアクチュエータが達成できる。
【００２５】本発明の構成によれば、分極処理された圧
電体層２と電極層３とを交互に積層させ、各圧電体層２
−１〜２−５を挟んで各電極層３を対向させるととも
に、各電極層３を交互に異なる端面方向に延出させた積
層圧電体１であって、前記隣接する各圧電体層２−１〜
２−５は電極層３に挟された対向領域Ｄの分極方向が逆
方向、その他の領域Ｅの分極方向が同一方向となるよう
に構成したため、対向領域Ｄと領域Ｅで分極処理前後の
積層圧電体１における厚み変化が略同じとなり、これに
より、対向領域Ｄと領域Ｅの境界において積層圧電体１
に残留する内部応力がかかることがなく、クラックの発
生を抑え、クラックに伴うショート不良を有効に防止で
きるとともに、共振特性に影響を与えない積層圧電体１
を提供することができる。
電体層２と電極層３とを交互に積層させ、各圧電体層２
−１〜２−５を挟んで各電極層３を対向させるととも
に、各電極層３を交互に異なる端面方向に延出させた積
層圧電体１であって、前記隣接する各圧電体層２−１〜
２−５は電極層３に挟された対向領域Ｄの分極方向が逆
方向、その他の領域Ｅの分極方向が同一方向となるよう
に構成したため、対向領域Ｄと領域Ｅで分極処理前後の
積層圧電体１における厚み変化が略同じとなり、これに
より、対向領域Ｄと領域Ｅの境界において積層圧電体１
に残留する内部応力がかかることがなく、クラックの発
生を抑え、クラックに伴うショート不良を有効に防止で
きるとともに、共振特性に影響を与えない積層圧電体１
を提供することができる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、隣
接する各圧電体層は電極層に挟された対向領域の分極方
向が逆方向となるようにし、対向領域以外の分極方向が
同一方向となるようにしたため、対向領域とそれ以外の
領域で、分極処理前後の積層圧電体における厚み変化が
略同じとなり、これにより、対向領域とそれ以外の領域
における境界で積層圧電体に残留する内部応力がかかる
ことがなく、クラックの発生を抑え、クラックに伴うシ
ョート不良を有効に防止できるとともに、共振特性に影
響を与えない積層圧電体を提供することができる。従っ
て、積層圧電体の信頼性が飛躍的に向上することができ
る。
接する各圧電体層は電極層に挟された対向領域の分極方
向が逆方向となるようにし、対向領域以外の分極方向が
同一方向となるようにしたため、対向領域とそれ以外の
領域で、分極処理前後の積層圧電体における厚み変化が
略同じとなり、これにより、対向領域とそれ以外の領域
における境界で積層圧電体に残留する内部応力がかかる
ことがなく、クラックの発生を抑え、クラックに伴うシ
ョート不良を有効に防止できるとともに、共振特性に影
響を与えない積層圧電体を提供することができる。従っ
て、積層圧電体の信頼性が飛躍的に向上することができ
る。
【図１】本発明の積層圧電体の実施形態を示す斜視図で
ある。
ある。
【図２】本発明の積層圧電体の内部構成を説明するＡ−
Ａ線断面図である。
Ａ線断面図である。
【図３】本発明の積層圧電体を分極処理したときの厚み
の変化を説明する図である。
の変化を説明する図である。
【図４】従来の積層圧電体を説明する断面図である。
１・・・積層圧電体 ２・・・圧電体層 ２０・・・誘電体ブロック ３・・・電極層 ４，５・・・外部電極 Ｄ・・・対向領域（電極層が対向する領域） Ｅ・・・対向領域以外の領域
Claims (1)
- 【請求項１】 分極処理された圧電体層と電極層とを交
互に積層させ、各圧電体層を挟んで各電極層を対向させ
るとともに、各電極層を交互に異なる端面方向に延出さ
せた積層圧電体であって、前記隣接する各圧電体層は電
極層に挟された領域の分極方向が逆方向、その他の領域
の分極方向が同一方向であることを特徴とする積層圧電
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11214849A JP2001044524A (ja) | 1999-07-29 | 1999-07-29 | 積層圧電体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11214849A JP2001044524A (ja) | 1999-07-29 | 1999-07-29 | 積層圧電体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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-
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009241393A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータ及び液体移送装置、並びに、圧電アクチュエータの製造方法 |
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| US8186812B2 (en) | 2008-03-31 | 2012-05-29 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator, liquid transporting apparatus, and method for manufacturing piezoelectric actuator |
| WO2010035437A1 (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-01 | 株式会社村田製作所 | 圧電積層体 |
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