JP2001021039A - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
- Publication number
- JP2001021039A JP2001021039A JP11193307A JP19330799A JP2001021039A JP 2001021039 A JP2001021039 A JP 2001021039A JP 11193307 A JP11193307 A JP 11193307A JP 19330799 A JP19330799 A JP 19330799A JP 2001021039 A JP2001021039 A JP 2001021039A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lid
- shaft
- closing
- gas spring
- worm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
- Fluid-Damping Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 蓋開閉時の人体への危険性を除き、蓋開閉機
構を簡単にまた安価にする。 【解決手段】 成膜チャンバ１２に回転自在に支持され
ている軸１４と一体に回転するように一端が連結されて
おり、他端が成膜チャンバ１２に開閉可能に蓋１８に連
結されている一対のアーム１６に、それぞれガススプリ
ング２２を取付け、それぞれのガススプリング２２のシ
ャフト２２ａを成膜チャンバ１２に連結し、軸１４に
は、これと一体回転するように軸心が連結されているウ
ォームホイール２８と、ウォームホイール２８とセルフ
ロックするようにかみ合っている円筒ウォーム３０とに
より構成されるウォームギア２６を収納するギアボック
ス２４を設け、円筒ウォーム３０の軸心にはギアボック
ス２４外に突出する蓋開閉ハンドル３２を一体に回転す
るように連結する。
構を簡単にまた安価にする。 【解決手段】 成膜チャンバ１２に回転自在に支持され
ている軸１４と一体に回転するように一端が連結されて
おり、他端が成膜チャンバ１２に開閉可能に蓋１８に連
結されている一対のアーム１６に、それぞれガススプリ
ング２２を取付け、それぞれのガススプリング２２のシ
ャフト２２ａを成膜チャンバ１２に連結し、軸１４に
は、これと一体回転するように軸心が連結されているウ
ォームホイール２８と、ウォームホイール２８とセルフ
ロックするようにかみ合っている円筒ウォーム３０とに
より構成されるウォームギア２６を収納するギアボック
ス２４を設け、円筒ウォーム３０の軸心にはギアボック
ス２４外に突出する蓋開閉ハンドル３２を一体に回転す
るように連結する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、チャンバに回転自
在に支持されている軸に一体に回転するように連結され
ているアームを介して前記チャンバに開閉可能に蓋が設
けられている半導体製造装置に関する。
在に支持されている軸に一体に回転するように連結され
ているアームを介して前記チャンバに開閉可能に蓋が設
けられている半導体製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５及び図６は従来の半導体製造装置を
示しており、半導体製造装置５０及び７０は図５に示さ
れるように、チャンバ５２に回転自在に支持されている
軸５４に一体に回転するようにアーム５６の一端が連結
されており、アーム５６の他端はチャンバ５２の蓋５８
に取付けられている。チャンバ５２にはガススプリング
６０の一端が、アーム５６にはガススプリング６０の他
端がそれぞれ取付けられており、ガススプリング６０の
シャフト６０ａが伸縮することによりアーム５６が回転
して蓋５８が開閉するように構成されている。蓋５８に
は把手６２が設けられている。
示しており、半導体製造装置５０及び７０は図５に示さ
れるように、チャンバ５２に回転自在に支持されている
軸５４に一体に回転するようにアーム５６の一端が連結
されており、アーム５６の他端はチャンバ５２の蓋５８
に取付けられている。チャンバ５２にはガススプリング
６０の一端が、アーム５６にはガススプリング６０の他
端がそれぞれ取付けられており、ガススプリング６０の
シャフト６０ａが伸縮することによりアーム５６が回転
して蓋５８が開閉するように構成されている。蓋５８に
は把手６２が設けられている。
【０００３】蓋５８を開閉する際には、まず、ガスプリ
ング６０により蓋５８の開閉を行うが、ガススプリング
６０の力のみでは完全に蓋５８が開閉しないので、足り
ない分は、作業者が手６４で把手６２を持って行う。
ング６０により蓋５８の開閉を行うが、ガススプリング
６０の力のみでは完全に蓋５８が開閉しないので、足り
ない分は、作業者が手６４で把手６２を持って行う。
【０００４】また、図６に示されるものは、チャンバ７
２に回転自在に支持されている軸７４に一体に回転する
ようにアーム８３の一端が連結されており、アーム８３
の他端はチャンバ７２の蓋８４に取付けられている。ま
た、軸７４にはこれと一体に回転するようにシリンダア
ーム７６の一端が連結されており、シリンダアーム７６
の他端はエアシリンダ７８のシャフト７８ａにこれと一
体に上下動するように連結されている。エアシリンダ７
８には、これを駆動させる弁の開閉を電気信号によって
制御する電磁弁８０と、エアシリンダ７８の駆動状況を
検知するセンサ８２とが設けられている。
２に回転自在に支持されている軸７４に一体に回転する
ようにアーム８３の一端が連結されており、アーム８３
の他端はチャンバ７２の蓋８４に取付けられている。ま
た、軸７４にはこれと一体に回転するようにシリンダア
ーム７６の一端が連結されており、シリンダアーム７６
の他端はエアシリンダ７８のシャフト７８ａにこれと一
体に上下動するように連結されている。エアシリンダ７
８には、これを駆動させる弁の開閉を電気信号によって
制御する電磁弁８０と、エアシリンダ７８の駆動状況を
検知するセンサ８２とが設けられている。
【０００５】蓋８４を開く際には、まず、電磁弁８０に
より弁を開いてエアシリンダ７８のシャフト７８ａを上
方へ駆動させて、シリンダアーム７６の他端を上昇させ
ることによりシリンダアーム７６の一端を反時計方向へ
回転させる。これにより、シリンダアーム７６と一体に
軸７４が回転し、これと一体にアーム８３の一端が回転
するため蓋８４が開く。また、蓋８４を閉じる際には、
エアシリンダ７８のシャフト７８ａを下方へ駆動させ、
各部材を上記とは逆方向へ回転させることにより行うこ
とができる。
より弁を開いてエアシリンダ７８のシャフト７８ａを上
方へ駆動させて、シリンダアーム７６の他端を上昇させ
ることによりシリンダアーム７６の一端を反時計方向へ
回転させる。これにより、シリンダアーム７６と一体に
軸７４が回転し、これと一体にアーム８３の一端が回転
するため蓋８４が開く。また、蓋８４を閉じる際には、
エアシリンダ７８のシャフト７８ａを下方へ駆動させ、
各部材を上記とは逆方向へ回転させることにより行うこ
とができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のものでは次のような課題がある。すなわち、図５に
示されるものでは、蓋５８の開閉時に手６４で把手６２
を持つため、蓋５８の近くに手を近づけることになり、
蓋５８に手が挟まれる危険がある。また、作業者は、蓋
５８開時に蓋５８の近くにいなければならないため、蓋
５８を開けた際にチャンバ５２内からＮ２ガスが流出
し、人体へ悪影響を及ぼす危険性がある。
来のものでは次のような課題がある。すなわち、図５に
示されるものでは、蓋５８の開閉時に手６４で把手６２
を持つため、蓋５８の近くに手を近づけることになり、
蓋５８に手が挟まれる危険がある。また、作業者は、蓋
５８開時に蓋５８の近くにいなければならないため、蓋
５８を開けた際にチャンバ５２内からＮ２ガスが流出
し、人体へ悪影響を及ぼす危険性がある。
【０００７】また、図６に示されるものでは、エアシリ
ンダ７８、センサ８２及び電磁弁８０などを使用するた
め、コストが高くなるとともに機構が複雑になるという
問題がある。
ンダ７８、センサ８２及び電磁弁８０などを使用するた
め、コストが高くなるとともに機構が複雑になるという
問題がある。
【０００８】本発明は、このような課題を解決するため
になされたものであり、安全で、低コストで、且つ構造
の簡単な半導体製造装置を提供することを目的としてい
る。
になされたものであり、安全で、低コストで、且つ構造
の簡単な半導体製造装置を提供することを目的としてい
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明は、チャンバに回転自在に支持されてい
る軸と一体に回転するように連結されたアームを介して
前記チャンバに開閉可能に蓋が設けられている半導体製
造装置において、前記蓋は、前記アームを回転可能なガ
ススプリングと前記軸を回転可能なウォームギアとによ
り開閉するように構成されていることを特徴とするもの
である。
ために、本発明は、チャンバに回転自在に支持されてい
る軸と一体に回転するように連結されたアームを介して
前記チャンバに開閉可能に蓋が設けられている半導体製
造装置において、前記蓋は、前記アームを回転可能なガ
ススプリングと前記軸を回転可能なウォームギアとによ
り開閉するように構成されていることを特徴とするもの
である。
【００１０】これにより、蓋開閉に要する力の上限近く
までをガススプリングの力を使い、残りの力をウォーム
ギアの力を使うことによって蓋の開閉を行うことができ
る。
までをガススプリングの力を使い、残りの力をウォーム
ギアの力を使うことによって蓋の開閉を行うことができ
る。
【００１１】また、ガススプリングを用いて蓋の開閉を
行う際、蓋閉モーメント＞ガススプリングの蓋開モーメ
ントの場合は蓋が閉まる動作が行われ、蓋閉モーメント
＜ガススプリングの蓋開モーメントの場合は蓋が開く動
作が行われるが、ウォームギアを、ウォームホイールの
方からウォームを回そうとしてもウォームが回転しない
（この作用をセルフロックという）ように構成すれば、
上記状態時であっても蓋を静止状態に保持しておくこと
ができるので、あらゆる角度（０〜９０°）の蓋開閉状
態で蓋を静止させることができる。
行う際、蓋閉モーメント＞ガススプリングの蓋開モーメ
ントの場合は蓋が閉まる動作が行われ、蓋閉モーメント
＜ガススプリングの蓋開モーメントの場合は蓋が開く動
作が行われるが、ウォームギアを、ウォームホイールの
方からウォームを回そうとしてもウォームが回転しない
（この作用をセルフロックという）ように構成すれば、
上記状態時であっても蓋を静止状態に保持しておくこと
ができるので、あらゆる角度（０〜９０°）の蓋開閉状
態で蓋を静止させることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１は本発明を実施したの半導体
製造装置１０の正面図を示し、図２は図１の側面図を示
す。搬送チャンバ１１に隣接して設けられる成膜チャン
バ（チャンバ）１２に、軸１４が回転自在に支持されて
おり、軸１４には、これと一体に回転するように軸方向
に所定間隔をあけて一対のアーム１６の一端が連結され
ている。一対のアーム１６の他端は蓋１８に連結されて
おり、蓋１８は、軸１４と一体に回転するアーム１６と
ともに回転して成膜チャンバ１２を開閉する。
製造装置１０の正面図を示し、図２は図１の側面図を示
す。搬送チャンバ１１に隣接して設けられる成膜チャン
バ（チャンバ）１２に、軸１４が回転自在に支持されて
おり、軸１４には、これと一体に回転するように軸方向
に所定間隔をあけて一対のアーム１６の一端が連結され
ている。一対のアーム１６の他端は蓋１８に連結されて
おり、蓋１８は、軸１４と一体に回転するアーム１６と
ともに回転して成膜チャンバ１２を開閉する。
【００１３】一対のアーム１６には、それぞれガススプ
リング２２が取付けられており、それぞれのガススプリ
ング２２のシャフト２２ａは成膜チャンバ１２に連結さ
れている。軸１４の右端部には、ギアボックス２４が設
けられており、ギアボックス２４内には、図３及び図４
に示されるような、軸１４を回転可能なウォームギア２
６が収納されている。
リング２２が取付けられており、それぞれのガススプリ
ング２２のシャフト２２ａは成膜チャンバ１２に連結さ
れている。軸１４の右端部には、ギアボックス２４が設
けられており、ギアボックス２４内には、図３及び図４
に示されるような、軸１４を回転可能なウォームギア２
６が収納されている。
【００１４】ウォームギア２６は、軸１４と一体回転す
るように軸心が連結されているウォームホイール２８
と、ウォームホイール２８とセルフロックするようにか
み合っている円筒ウォーム３０とにより構成されてお
り、円筒ウォーム３０の軸心にはギアボックス２４外に
突出する蓋開閉ハンドル３２が一体に回転するように連
結されている。
るように軸心が連結されているウォームホイール２８
と、ウォームホイール２８とセルフロックするようにか
み合っている円筒ウォーム３０とにより構成されてお
り、円筒ウォーム３０の軸心にはギアボックス２４外に
突出する蓋開閉ハンドル３２が一体に回転するように連
結されている。
【００１５】次に、本実施の形態の蓋開閉方法について
説明する。蓋を開く際には、まず、ガススプリング２２
を駆動させシャフト２２ａを延ばしてアーム１６の他端
を上方に押上げる。これにより、アーム１６は軸１４を
中心として回転し、蓋１８が開く。ガススプリング２２
の力が上限まで使われた時点で、ウォームギア２６のセ
ルフロックにより蓋１８が静止し、蓋１８を開く残りの
動作は、蓋開閉ハンドル３２を蓋１８開方向に回転させ
てウォームギア２６を駆動させ、軸１４を回転させるこ
とにより行う。
説明する。蓋を開く際には、まず、ガススプリング２２
を駆動させシャフト２２ａを延ばしてアーム１６の他端
を上方に押上げる。これにより、アーム１６は軸１４を
中心として回転し、蓋１８が開く。ガススプリング２２
の力が上限まで使われた時点で、ウォームギア２６のセ
ルフロックにより蓋１８が静止し、蓋１８を開く残りの
動作は、蓋開閉ハンドル３２を蓋１８開方向に回転させ
てウォームギア２６を駆動させ、軸１４を回転させるこ
とにより行う。
【００１６】次に、蓋１８を閉じる際には、まず、ガス
スプリング２２を駆動させシャフト２２ａを縮めてアー
ム１６の他端を下方に引き下げる。これにより、アーム
１６は軸１４を中心として回転し、蓋１８が閉じる。ガ
ススプリング２２の力が上限まで使われた時点で、ウォ
ームギア２６のセルフロックにより蓋１８が静止し、蓋
１８を閉じる残りの動作は、蓋開閉ハンドル３２を蓋１
８閉方向に回転させてウォームギアを駆動させ、軸１４
を回転させることにより行う。
スプリング２２を駆動させシャフト２２ａを縮めてアー
ム１６の他端を下方に引き下げる。これにより、アーム
１６は軸１４を中心として回転し、蓋１８が閉じる。ガ
ススプリング２２の力が上限まで使われた時点で、ウォ
ームギア２６のセルフロックにより蓋１８が静止し、蓋
１８を閉じる残りの動作は、蓋開閉ハンドル３２を蓋１
８閉方向に回転させてウォームギアを駆動させ、軸１４
を回転させることにより行う。
【００１７】このように、電気的な制御がなくてもウォ
ームギア２６のセルフロックにより蓋１８を開けたい角
度で静止させることができるので、蓋１８の開閉に限っ
ては電気的な故障は一切起こらない。
ームギア２６のセルフロックにより蓋１８を開けたい角
度で静止させることができるので、蓋１８の開閉に限っ
ては電気的な故障は一切起こらない。
【００１８】また、蓋１８の重量の変化には、ガススプ
リング２２を交換することによって対応することができ
る。
リング２２を交換することによって対応することができ
る。
【００１９】
【発明の効果】 以上説明したように、本発明のうち請
求項１記載の発明は、蓋開閉に要する力の上限近くまで
をガススプリングの力を使い、残りの力をウォームギア
の力を使うことによって蓋の開閉を行うことができるの
で、蓋に手を触れることがなく、また蓋から体を遠ざけ
ることができるので、危険を回避することができる。
求項１記載の発明は、蓋開閉に要する力の上限近くまで
をガススプリングの力を使い、残りの力をウォームギア
の力を使うことによって蓋の開閉を行うことができるの
で、蓋に手を触れることがなく、また蓋から体を遠ざけ
ることができるので、危険を回避することができる。
【００２０】また、蓋の開閉に限っては電気的制御を行
わないため、コストを低減することができる。
わないため、コストを低減することができる。
【００２１】 また、蓋の開閉を行う機構を構成するの
に、アーム及び成膜チャンバへのガススプリングの取付
けとシャフトへのウォームギアの取付けだけで済むの
で、製造を簡略化することができる。
に、アーム及び成膜チャンバへのガススプリングの取付
けとシャフトへのウォームギアの取付けだけで済むの
で、製造を簡略化することができる。
【図１】本発明を実施した半導体製造装置の平面図であ
る。
る。
【図２】図１の側面図である。
【図３】ギアボックス内の正面図である。
【図４】図３の４−４断面図である。
【図５】従来の半導体製造装置の側面図である。
【図６】従来の半導体製造装置の側面図である。
１２ 成膜チャンバ（チャンバ） １４ 軸 １６ アーム １８ 蓋 ２２ ガススプリング ２２ａ シャフト ２４ ギアボックス ３２ 蓋開閉ハンドル
Claims (1)
- 【請求項１】 チャンバに回転自在に支持されている軸
と一体に回転するように連結されたアームを介して前記
チャンバに開閉可能に蓋が設けられている半導体製造装
置において、 前記蓋は、前記アームを回転可能なガススプリングと前
記軸を回転可能なウォームギアとにより開閉するように
構成されていることを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11193307A JP2001021039A (ja) | 1999-07-07 | 1999-07-07 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11193307A JP2001021039A (ja) | 1999-07-07 | 1999-07-07 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001021039A true JP2001021039A (ja) | 2001-01-26 |
Family
ID=16305744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11193307A Withdrawn JP2001021039A (ja) | 1999-07-07 | 1999-07-07 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001021039A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1500851A2 (en) | 2003-07-22 | 2005-01-26 | TS Corporation | Apparatus for opening and closing cover |
| FR2885663A1 (fr) * | 2005-05-10 | 2006-11-17 | Leroy Somer Moteurs | Reducteur et motoreducteur comportant un systeme d'etancheite |
| US7661386B2 (en) | 2001-02-09 | 2010-02-16 | Tokyo Electron Limited | Film forming device |
| JP2012032232A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Shimadzu Corp | 分析装置のカバー開閉機構 |
-
1999
- 1999-07-07 JP JP11193307A patent/JP2001021039A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7661386B2 (en) | 2001-02-09 | 2010-02-16 | Tokyo Electron Limited | Film forming device |
| US8128751B2 (en) | 2001-02-09 | 2012-03-06 | Tokyo Electron Limited | Film-forming apparatus |
| EP1500851A2 (en) | 2003-07-22 | 2005-01-26 | TS Corporation | Apparatus for opening and closing cover |
| US7213481B2 (en) | 2003-07-22 | 2007-05-08 | Ts Corporation | Apparatus for opening and closing cover |
| CN100365320C (zh) * | 2003-07-22 | 2008-01-30 | Ts株式会社 | 盖子打开及关闭装置 |
| US7381145B2 (en) | 2003-07-22 | 2008-06-03 | Ts Corporation | Apparatus for opening and closing cover |
| FR2885663A1 (fr) * | 2005-05-10 | 2006-11-17 | Leroy Somer Moteurs | Reducteur et motoreducteur comportant un systeme d'etancheite |
| JP2012032232A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Shimadzu Corp | 分析装置のカバー開閉機構 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20061003 |