JP2001015397A - 電子デバイス製造装置およびその制御方法 - Google Patents
電子デバイス製造装置およびその制御方法Info
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- JP2001015397A JP2001015397A JP11184495A JP18449599A JP2001015397A JP 2001015397 A JP2001015397 A JP 2001015397A JP 11184495 A JP11184495 A JP 11184495A JP 18449599 A JP18449599 A JP 18449599A JP 2001015397 A JP2001015397 A JP 2001015397A
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
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- General Factory Administration (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 前処理室にて試料に加熱や位置補正などの前
処理を施し、前処理された試料を移載室を介して複数の
処理室のうちの一つに搬送して加工処理を行うための装
置において、選択した処理室にトラブルが発生する可能
性を低減できるようにする。 【解決手段】 処理室4aにおける処理終了の予測時刻
から、その処理室4aのための前処理に要する前処理時
間と、前処理の終了後に前処理室3からその処理室4a
へ試料を搬送するのに要する搬送時間とを減算する。そ
の減算により得られた結果に対応する時刻に、前処理室
3に対して前処理要求を発行する。
処理を施し、前処理された試料を移載室を介して複数の
処理室のうちの一つに搬送して加工処理を行うための装
置において、選択した処理室にトラブルが発生する可能
性を低減できるようにする。 【解決手段】 処理室4aにおける処理終了の予測時刻
から、その処理室4aのための前処理に要する前処理時
間と、前処理の終了後に前処理室3からその処理室4a
へ試料を搬送するのに要する搬送時間とを減算する。そ
の減算により得られた結果に対応する時刻に、前処理室
3に対して前処理要求を発行する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は電子デバイス製造装
置およびその制御方法に関し、特に半導体製造装置や液
晶製造装置などを製造するための電子デバイス製造装置
およびその制御方法に関する。
置およびその制御方法に関し、特に半導体製造装置や液
晶製造装置などを製造するための電子デバイス製造装置
およびその制御方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、半導体や液晶などの電子デバ
イスを製造するための電子デバイス製造工程において
は、加熱や位置補正などを行う前処理室と、加工処理を
行う複数の処理室とを持つ電子デバイス製造装置が広く
利用されている。この種の電子デバイス製造装置は、図
4に示すように、移載室1を中央にして、複数のロード
ロック室2と、前処理室3と、複数の処理室4a〜4c
とが周方向に沿って設けられている。移載室1には、各
室2、3、4a〜4cとの間での試料の出し入れを実行
するロボットハンドでとしてのWアーム5が設置されて
いる。
イスを製造するための電子デバイス製造工程において
は、加熱や位置補正などを行う前処理室と、加工処理を
行う複数の処理室とを持つ電子デバイス製造装置が広く
利用されている。この種の電子デバイス製造装置は、図
4に示すように、移載室1を中央にして、複数のロード
ロック室2と、前処理室3と、複数の処理室4a〜4c
とが周方向に沿って設けられている。移載室1には、各
室2、3、4a〜4cとの間での試料の出し入れを実行
するロボットハンドでとしてのWアーム5が設置されて
いる。
【0003】このような構成において、ロードロック室
2から移載室1に取り出された試料は、前処理室3に搬
送されるのであるが、この前処理室3に搬送されるとす
ぐに、処理室4a〜4cのうちの次に搬送するいずれか
が選択され、その選択された特定の処理室に対応した条
件で、位置補正などの前処理や、あらかじめ設定された
条件での加熱といった前処理が行われる。そして前処理
が終了するとすぐに試料は前処理室3から移載室1に取
り出され、上記のように選択された処理室に搬送されて
加工処理される。
2から移載室1に取り出された試料は、前処理室3に搬
送されるのであるが、この前処理室3に搬送されるとす
ぐに、処理室4a〜4cのうちの次に搬送するいずれか
が選択され、その選択された特定の処理室に対応した条
件で、位置補正などの前処理や、あらかじめ設定された
条件での加熱といった前処理が行われる。そして前処理
が終了するとすぐに試料は前処理室3から移載室1に取
り出され、上記のように選択された処理室に搬送されて
加工処理される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のものでは、前処理室3での処理条件を決定す
るために特定の処理室4a〜4cを選択し、そして前処
理を開始した後に、選択した処理室にトラブルが発生し
て処理できなくなった場合は、その選択した処理室のト
ラブルが復旧するまで装置が停止してしまう。
うな従来のものでは、前処理室3での処理条件を決定す
るために特定の処理室4a〜4cを選択し、そして前処
理を開始した後に、選択した処理室にトラブルが発生し
て処理できなくなった場合は、その選択した処理室のト
ラブルが復旧するまで装置が停止してしまう。
【0005】また、処理室のトラブルが復旧したとして
も、たとえば前処理が加熱である場合は、加熱した試料
をトラブルの復旧中に移載室で長時間放置すると、その
試料が降温してしまい、その試料を処理室で処理できな
くなるおそれがある。本発明は上記従来の問題点を解決
するもので、選択した処理室にトラブルが発生する可能
性を低減できるようにすることを目的とする。また本発
明は、選択した処理室にトラブルが発生しても、装置の
停止による生産性の低下が発生しないようにすることを
目的とする。
も、たとえば前処理が加熱である場合は、加熱した試料
をトラブルの復旧中に移載室で長時間放置すると、その
試料が降温してしまい、その試料を処理室で処理できな
くなるおそれがある。本発明は上記従来の問題点を解決
するもので、選択した処理室にトラブルが発生する可能
性を低減できるようにすることを目的とする。また本発
明は、選択した処理室にトラブルが発生しても、装置の
停止による生産性の低下が発生しないようにすることを
目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明は、処理室における処理終了の予測時刻から、そ
の処理室のための前処理に要する前処理時間と、前処理
の終了後に前処理室からその処理室へ試料を搬送するの
に要する搬送時間とを減算して、その減算により得られ
た結果に対応する時刻に、前処理室に対して前処理要求
を発行するようにしたものである。
本発明は、処理室における処理終了の予測時刻から、そ
の処理室のための前処理に要する前処理時間と、前処理
の終了後に前処理室からその処理室へ試料を搬送するの
に要する搬送時間とを減算して、その減算により得られ
た結果に対応する時刻に、前処理室に対して前処理要求
を発行するようにしたものである。
【0007】このような構成であると、前処理の開始か
ら処理室への試料搬送までの作業を待ち時間なしに短時
間のうちに実行することができ、この作業中に処理室で
トラブルが発生する可能性を低減することができる。ま
た本発明は、前処理終了後の試料を搬送すべき処理室が
処理を行えない状態にある場合は、異なる処理室を選択
して再度前処理を行うようにしたものである。
ら処理室への試料搬送までの作業を待ち時間なしに短時
間のうちに実行することができ、この作業中に処理室で
トラブルが発生する可能性を低減することができる。ま
た本発明は、前処理終了後の試料を搬送すべき処理室が
処理を行えない状態にある場合は、異なる処理室を選択
して再度前処理を行うようにしたものである。
【0008】このような構成であると、前処理の開始か
ら処理室への試料搬送までの間に処理室でトラブルが発
生し、その処理室で処理を行えなくなっても、再度前処
理を行って、その試料を別の処理室で処理することがで
きる。また本発明は、処理室から前処理の要求が発行さ
れる以前にあらかじめ所定の条件で前処理室で前処理を
開始しておき、前処理が開始されて一定時間が経過後し
たかあるいは前処理の開始後にある条件が満たされた場
合に、前処理を続行しながら、処理室からの前処理要求
を待ち、その一方で、所定の処理室における処理終了の
予測時刻よりも、前処理室よりその処理室へ試料を搬送
するのに要する搬送時間だけ前の時刻に、前処理室に前
処理要求を発行するようにしたものである。
ら処理室への試料搬送までの間に処理室でトラブルが発
生し、その処理室で処理を行えなくなっても、再度前処
理を行って、その試料を別の処理室で処理することがで
きる。また本発明は、処理室から前処理の要求が発行さ
れる以前にあらかじめ所定の条件で前処理室で前処理を
開始しておき、前処理が開始されて一定時間が経過後し
たかあるいは前処理の開始後にある条件が満たされた場
合に、前処理を続行しながら、処理室からの前処理要求
を待ち、その一方で、所定の処理室における処理終了の
予測時刻よりも、前処理室よりその処理室へ試料を搬送
するのに要する搬送時間だけ前の時刻に、前処理室に前
処理要求を発行するようにしたものである。
【0009】このような構成であると、前処理の開始か
ら処理室への試料の搬送までの作業を待ち時間なしに短
時間のうちに実行することができ、この作業中に処理室
でトラブルが発生する可能性を低減することができる。
また本発明は、前処理を終了した試料を移載室を介して
処理室へ搬送しようとする時点で、許容時間を越えてい
た場合に、その試料を前処理室に戻して再度前処理を行
わせるようにしたものである。
ら処理室への試料の搬送までの作業を待ち時間なしに短
時間のうちに実行することができ、この作業中に処理室
でトラブルが発生する可能性を低減することができる。
また本発明は、前処理を終了した試料を移載室を介して
処理室へ搬送しようとする時点で、許容時間を越えてい
た場合に、その試料を前処理室に戻して再度前処理を行
わせるようにしたものである。
【0010】このような構成であると、前処理終了から
処理室に搬送するまでの時間が許容時間を越えていて
も、再度前処理を行えるので、その試料を再び処理室で
処理することができる。
処理室に搬送するまでの時間が許容時間を越えていて
も、再度前処理を行えるので、その試料を再び処理室で
処理することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】請求項1に記載の本発明は、前処
理室にて試料に加熱や位置補正などの前処理を施し、前
処理された試料を移載室を介して複数の処理室のうちの
一つに搬送して加工処理を行うための装置が、処理室に
おける処理終了の予測時刻から、その処理室のための前
処理に要する前処理時間と、前処理の終了後に前処理室
からその処理室へ試料を搬送するのに要する搬送時間と
を減算する手段と、この減算手段により得られた結果に
対応する時刻に、前処理室に対して前処理要求を発行す
る手段とを有するようにしたものである。
理室にて試料に加熱や位置補正などの前処理を施し、前
処理された試料を移載室を介して複数の処理室のうちの
一つに搬送して加工処理を行うための装置が、処理室に
おける処理終了の予測時刻から、その処理室のための前
処理に要する前処理時間と、前処理の終了後に前処理室
からその処理室へ試料を搬送するのに要する搬送時間と
を減算する手段と、この減算手段により得られた結果に
対応する時刻に、前処理室に対して前処理要求を発行す
る手段とを有するようにしたものである。
【0012】このようなものであると、前処理の開始か
ら処理室への試料搬送までの作業を待ち時間なしに短時
間のうちに実行することができ、この作業中に処理室で
トラブルが発生する可能性を低減することができる。請
求項2に記載の本発明は、前処理終了時に、前処理終了
後の試料を搬送すべき処理室が処理を行えない状態にあ
る場合は、異なる処理室を選択して再度前処理を行う手
段を有するようにしたものである。
ら処理室への試料搬送までの作業を待ち時間なしに短時
間のうちに実行することができ、この作業中に処理室で
トラブルが発生する可能性を低減することができる。請
求項2に記載の本発明は、前処理終了時に、前処理終了
後の試料を搬送すべき処理室が処理を行えない状態にあ
る場合は、異なる処理室を選択して再度前処理を行う手
段を有するようにしたものである。
【0013】このようなものであると、前処理の開始か
ら終了までの間に処理室でトラブルが発生し、その処理
室で処理を行えなくなっても、再度前処理を行って、そ
の試料を別の処理室で処理することができる。請求項3
に記載の本発明は、前処理終了後の試料を前処理室から
移載室を経て処理室に搬送する直前に、その処理室が処
理を行えない状態にある場合は、その試料を前処理室に
戻し、異なる処理室を選択して再度前処理を行う手段を
有するようにしたものである。
ら終了までの間に処理室でトラブルが発生し、その処理
室で処理を行えなくなっても、再度前処理を行って、そ
の試料を別の処理室で処理することができる。請求項3
に記載の本発明は、前処理終了後の試料を前処理室から
移載室を経て処理室に搬送する直前に、その処理室が処
理を行えない状態にある場合は、その試料を前処理室に
戻し、異なる処理室を選択して再度前処理を行う手段を
有するようにしたものである。
【0014】このようなものであると、前処理の開始か
ら処理室への試料搬送の直前までの間に処理室でトラブ
ルが発生し、その処理室で処理を行えなくなっても、再
度前処理を行って、その試料を別の処理室で処理するこ
とができる。請求項4に記載の本発明は、前処理室にて
試料に加熱や位置補正などの前処理を施し、前処理され
た試料を移載室を介して複数の処理室のうちの一つに搬
送して加工処理を行うための装置が、試料が前処理室に
搬送されたら、あらかじめ設定された条件で前処理を開
始させる手段と、この前処理の開始後一定時間が経過後
したかあるいは前処理の開始後にある条件が満たされた
かを判定し、その場合には、前処理を続行しながら、処
理室からの前処理要求を待つ手段と、処理室における処
理終了の予測時刻よりも、前処理室よりその処理室へ試
料を搬送するのに要する搬送時間だけ前の時刻に、前処
理室に前処理要求を発行する手段と、前処理要求を受け
取ると、前処理を終了して、前処理室の試料を移載室を
介して処理室へ搬送させる手段とを有するようにしたも
のである。
ら処理室への試料搬送の直前までの間に処理室でトラブ
ルが発生し、その処理室で処理を行えなくなっても、再
度前処理を行って、その試料を別の処理室で処理するこ
とができる。請求項4に記載の本発明は、前処理室にて
試料に加熱や位置補正などの前処理を施し、前処理され
た試料を移載室を介して複数の処理室のうちの一つに搬
送して加工処理を行うための装置が、試料が前処理室に
搬送されたら、あらかじめ設定された条件で前処理を開
始させる手段と、この前処理の開始後一定時間が経過後
したかあるいは前処理の開始後にある条件が満たされた
かを判定し、その場合には、前処理を続行しながら、処
理室からの前処理要求を待つ手段と、処理室における処
理終了の予測時刻よりも、前処理室よりその処理室へ試
料を搬送するのに要する搬送時間だけ前の時刻に、前処
理室に前処理要求を発行する手段と、前処理要求を受け
取ると、前処理を終了して、前処理室の試料を移載室を
介して処理室へ搬送させる手段とを有するようにしたも
のである。
【0015】このようなものであると、前処理の開始か
ら処理室への試料の搬送までの作業を待ち時間なしに短
時間のうちに実行することができ、この作業中に処理室
でトラブルが発生する可能性を低減することができる。
請求項5に記載の本発明は、前処理が終了してから試料
を処理室に搬送するまでの許容時間をあらかじめ設定す
る手段と、前処理を終了した試料を移載室を介して処理
室へ搬送しようとする時点で、前記許容時間を越えてい
た場合に、その試料を前処理室に戻して再度前処理を行
わせる手段とを有するようにしたものである。
ら処理室への試料の搬送までの作業を待ち時間なしに短
時間のうちに実行することができ、この作業中に処理室
でトラブルが発生する可能性を低減することができる。
請求項5に記載の本発明は、前処理が終了してから試料
を処理室に搬送するまでの許容時間をあらかじめ設定す
る手段と、前処理を終了した試料を移載室を介して処理
室へ搬送しようとする時点で、前記許容時間を越えてい
た場合に、その試料を前処理室に戻して再度前処理を行
わせる手段とを有するようにしたものである。
【0016】このようなものであると、前処理終了から
処理室に搬送するまでの時間が許容時間を越えていて
も、再度前処理を行えるので、その試料を再び処理室で
処理することができる。請求項6に記載の本発明は、前
処理室にて試料に加熱や位置補正などの前処理を施し、
前処理された試料を移載室を介して複数の処理室のうち
の一つに搬送して加工処理を行うに際し、処理室におけ
る処理終了の予測時刻から、その処理室のための前処理
に要する前処理時間と、前処理の終了後に前処理室から
その処理室へ試料を搬送するのに要する搬送時間とを減
算し、この減算により得られた結果に対応する時刻に、
前処理室に対して前処理要求を発行するものである。
処理室に搬送するまでの時間が許容時間を越えていて
も、再度前処理を行えるので、その試料を再び処理室で
処理することができる。請求項6に記載の本発明は、前
処理室にて試料に加熱や位置補正などの前処理を施し、
前処理された試料を移載室を介して複数の処理室のうち
の一つに搬送して加工処理を行うに際し、処理室におけ
る処理終了の予測時刻から、その処理室のための前処理
に要する前処理時間と、前処理の終了後に前処理室から
その処理室へ試料を搬送するのに要する搬送時間とを減
算し、この減算により得られた結果に対応する時刻に、
前処理室に対して前処理要求を発行するものである。
【0017】このようにすると、前処理の開始から処理
室への試料搬送までの作業を待ち時間なしに短時間のう
ちに実行することができ、この作業中に処理室でトラブ
ルが発生する可能性を低減することができる。請求項7
に記載の本発明は、前処理終了時に、前処理終了後の試
料を搬送すべき処理室が処理を行えない状態にある場合
は、異なる処理室を選択して再度前処理を行うものであ
る。
室への試料搬送までの作業を待ち時間なしに短時間のう
ちに実行することができ、この作業中に処理室でトラブ
ルが発生する可能性を低減することができる。請求項7
に記載の本発明は、前処理終了時に、前処理終了後の試
料を搬送すべき処理室が処理を行えない状態にある場合
は、異なる処理室を選択して再度前処理を行うものであ
る。
【0018】このようにすると、前処理の開始から終了
までの間に処理室でトラブルが発生し、その処理室で処
理を行えなくなっても、再度前処理を行って、その試料
を別の処理室で処理することができる。請求項8記載の
本発明は、前処理終了後の試料を前処理室から移載室を
経て処理室に搬送する直前に、その処理室が処理を行え
ない状態にある場合は、その試料を前処理室に戻し、異
なる処理室を選択して再度前処理を行うものである。
までの間に処理室でトラブルが発生し、その処理室で処
理を行えなくなっても、再度前処理を行って、その試料
を別の処理室で処理することができる。請求項8記載の
本発明は、前処理終了後の試料を前処理室から移載室を
経て処理室に搬送する直前に、その処理室が処理を行え
ない状態にある場合は、その試料を前処理室に戻し、異
なる処理室を選択して再度前処理を行うものである。
【0019】このようにすると、前処理の開始から処理
室への試料搬送の直前までの間に処理室でトラブルが発
生し、その処理室で処理を行えなくなっても、再度前処
理を行って、その試料を別の処理室で処理することがで
きる。請求項9に記載の本発明は、前処理室にて試料に
加熱や位置補正などの前処理を施し、前処理された試料
を移載室を介して複数の処理室のうちの一つに搬送して
加工処理を行うに際し、試料が前処理室に搬送された
ら、あらかじめ設定された条件で前処理を開始させ、こ
の前処理の開始後一定時間が経過後したかあるいは前処
理の開始後にある条件が満たされたかを判定し、その場
合には、前処理を続行しながら、処理室からの前処理要
求を待ち、処理室における処理終了の予測時刻よりも、
前処理室よりその処理室へ試料を搬送するのに要する搬
送時間だけ前の時刻に、前記前処理室に前処理要求を発
行し、前処理要求を受け取ると、前処理を終了して、前
処理室の試料を移載室を介して処理室へ搬送させるもの
である。
室への試料搬送の直前までの間に処理室でトラブルが発
生し、その処理室で処理を行えなくなっても、再度前処
理を行って、その試料を別の処理室で処理することがで
きる。請求項9に記載の本発明は、前処理室にて試料に
加熱や位置補正などの前処理を施し、前処理された試料
を移載室を介して複数の処理室のうちの一つに搬送して
加工処理を行うに際し、試料が前処理室に搬送された
ら、あらかじめ設定された条件で前処理を開始させ、こ
の前処理の開始後一定時間が経過後したかあるいは前処
理の開始後にある条件が満たされたかを判定し、その場
合には、前処理を続行しながら、処理室からの前処理要
求を待ち、処理室における処理終了の予測時刻よりも、
前処理室よりその処理室へ試料を搬送するのに要する搬
送時間だけ前の時刻に、前記前処理室に前処理要求を発
行し、前処理要求を受け取ると、前処理を終了して、前
処理室の試料を移載室を介して処理室へ搬送させるもの
である。
【0020】このようにすると、前処理の開始から処理
室への試料の搬送までの作業を待ち時間なしに短時間の
うちに実行することができ、この作業中に処理室でトラ
ブルが発生する可能性を低減することができる。請求項
10に記載の本発明は、前処理が終了してから試料を処
理室に搬送するまでの許容時間をあらかじめ設定し、前
処理を終了した試料を移載室を介して処理室へ搬送しよ
うとする時点で、前記許容時間を越えていた場合に、そ
の試料を前処理室に戻して再度前処理を行わせるもので
ある。
室への試料の搬送までの作業を待ち時間なしに短時間の
うちに実行することができ、この作業中に処理室でトラ
ブルが発生する可能性を低減することができる。請求項
10に記載の本発明は、前処理が終了してから試料を処
理室に搬送するまでの許容時間をあらかじめ設定し、前
処理を終了した試料を移載室を介して処理室へ搬送しよ
うとする時点で、前記許容時間を越えていた場合に、そ
の試料を前処理室に戻して再度前処理を行わせるもので
ある。
【0021】このようにすると、前処理終了から処理室
に搬送するまでの時間が許容時間を越えていても、再度
前処理を行えるので、その試料を再び処理室で処理する
ことができる。以下、本発明の第1の実施の形態につい
て、図1および図2を参照して説明する。
に搬送するまでの時間が許容時間を越えていても、再度
前処理を行えるので、その試料を再び処理室で処理する
ことができる。以下、本発明の第1の実施の形態につい
て、図1および図2を参照して説明する。
【0022】図1に示す電子デバイス製造装置において
は、試料を搬入搬出するWアーム5が設けられた移載室
1を中央にして、この移載室1の周囲には、ウェハやガ
ラス基板などの試料が入ったカセットの出し入れを行う
ロードロック室2と、試料にエッチングやスパッタリン
グなどの加工処理を施す複数の処理室4a〜4cと、処
理室4a〜4cでの加工処理の前に試料に位置補正や加
熱などの前処理を施す前処理室3とが設置されている。
は、試料を搬入搬出するWアーム5が設けられた移載室
1を中央にして、この移載室1の周囲には、ウェハやガ
ラス基板などの試料が入ったカセットの出し入れを行う
ロードロック室2と、試料にエッチングやスパッタリン
グなどの加工処理を施す複数の処理室4a〜4cと、処
理室4a〜4cでの加工処理の前に試料に位置補正や加
熱などの前処理を施す前処理室3とが設置されている。
【0023】移載室1とロードロック室2とは、マイク
ロコンピュータを主要部とする移載室・ロードロック室
制御部6によって管理されており、前処理室3は、マイ
クロコンピュータを主要部とする前処理室制御部7によ
って管理されており、処理室4a〜4cは、マイクロコ
ンピュータを主要部とする処理室制御部8a〜8cによ
って管理されている。
ロコンピュータを主要部とする移載室・ロードロック室
制御部6によって管理されており、前処理室3は、マイ
クロコンピュータを主要部とする前処理室制御部7によ
って管理されており、処理室4a〜4cは、マイクロコ
ンピュータを主要部とする処理室制御部8a〜8cによ
って管理されている。
【0024】移載室・ロードロック室制御部6と前処理
室制御部7と処理室制御部8a〜8cとは、マイクロコ
ンピュータを主要部とする全体制御部9によって管理さ
れている。複数の処理室4a〜4cではそれぞれ同じ加
工処理を施すことが可能であり、前処理室3で前処理の
完了した試料をWアーム5によってこれら複数の処理室
4a〜4cのいずれかに搬入して処理する。
室制御部7と処理室制御部8a〜8cとは、マイクロコ
ンピュータを主要部とする全体制御部9によって管理さ
れている。複数の処理室4a〜4cではそれぞれ同じ加
工処理を施すことが可能であり、前処理室3で前処理の
完了した試料をWアーム5によってこれら複数の処理室
4a〜4cのいずれかに搬入して処理する。
【0025】次に、図1の電子デバイス製造装置におけ
る処理方法を、図2のフローチャートにもとづいて説明
する。まずステップS1で試料が移載室1から前処理室
3に搬送されると、ステップS2では、前処理をすぐに
実行せずに、処理室4a〜4cからの前処理要求を待
つ。
る処理方法を、図2のフローチャートにもとづいて説明
する。まずステップS1で試料が移載室1から前処理室
3に搬送されると、ステップS2では、前処理をすぐに
実行せずに、処理室4a〜4cからの前処理要求を待
つ。
【0026】処理室4a〜4cの制御部8a〜8cは、
これら処理室4a〜4cにて試料の処理が開始される
と、その処理室における前回の処理に要した処理時間か
ら今回の処理終了時刻を予測する。そして、この予測さ
れた処理終了時刻から、その処理室のための前処理に要
する前処理時間と、前処理の終了後に前処理室3からそ
の処理室へ試料を搬送するのに要する搬送時間とを減算
して、その減算により得られた結果に対応する時刻に、
前処理室3に対して前処理要求を発行する。
これら処理室4a〜4cにて試料の処理が開始される
と、その処理室における前回の処理に要した処理時間か
ら今回の処理終了時刻を予測する。そして、この予測さ
れた処理終了時刻から、その処理室のための前処理に要
する前処理時間と、前処理の終了後に前処理室3からそ
の処理室へ試料を搬送するのに要する搬送時間とを減算
して、その減算により得られた結果に対応する時刻に、
前処理室3に対して前処理要求を発行する。
【0027】ステップS2で前処理室が特定の処理室た
とえば処理室4aからの前処理要求を受け取ると、ステ
ップS3で、要求のあった処理室4aに対応する前処理
条件を決定する。そして、ステップS4においてその条
件で前処理を実行する。前処理が終了すると、ステップ
S5で、要求のあった処理室4aがトラブル停止してい
るか否かを確認する。トラブル停止していれば、ステッ
プS2に戻り、他の処理室からの前処理要求を待つ。
とえば処理室4aからの前処理要求を受け取ると、ステ
ップS3で、要求のあった処理室4aに対応する前処理
条件を決定する。そして、ステップS4においてその条
件で前処理を実行する。前処理が終了すると、ステップ
S5で、要求のあった処理室4aがトラブル停止してい
るか否かを確認する。トラブル停止していれば、ステッ
プS2に戻り、他の処理室からの前処理要求を待つ。
【0028】ステップ5において、要求のあった処理室
4aがトラブル停止していなければ、ステップS6で、
試料を前処理室3から移載室1のWアーム5に搬送し、
このWアーム5を処理室4aの方に向ける。ステップS
7においては、要求のあった処理室4aがトラブル停止
しているか否かを再度確認する。このときにトラブル停
止していればステップS1に戻り、試料を移載室1から
前処理室3に戻して、前処理をやりなおす。
4aがトラブル停止していなければ、ステップS6で、
試料を前処理室3から移載室1のWアーム5に搬送し、
このWアーム5を処理室4aの方に向ける。ステップS
7においては、要求のあった処理室4aがトラブル停止
しているか否かを再度確認する。このときにトラブル停
止していればステップS1に戻り、試料を移載室1から
前処理室3に戻して、前処理をやりなおす。
【0029】ステップS7において要求のあった処理室
4aがトラブル停止していなければ、ステップS8で、
試料を移載室1からその処理室4aに搬送し、その処理
室4aにおいて処理を行う。上述のように、処理室4a
〜4cにおける処理終了の予測時刻から、その処理室の
ための前処理に要する前処理時間と、前処理の終了後に
前処理室からその処理室へ試料を搬送するのに要する搬
送時間とを減算して、その減算により得られた結果に対
応する時刻に、前処理室3に対して前処理要求を発行す
るため、前処理の開始から処理室への搬送までの作業を
待ち時間なしに短時間のうちに実行することができ、こ
の作業中に処理室でトラブルが発生する可能性を低減す
ることができる。
4aがトラブル停止していなければ、ステップS8で、
試料を移載室1からその処理室4aに搬送し、その処理
室4aにおいて処理を行う。上述のように、処理室4a
〜4cにおける処理終了の予測時刻から、その処理室の
ための前処理に要する前処理時間と、前処理の終了後に
前処理室からその処理室へ試料を搬送するのに要する搬
送時間とを減算して、その減算により得られた結果に対
応する時刻に、前処理室3に対して前処理要求を発行す
るため、前処理の開始から処理室への搬送までの作業を
待ち時間なしに短時間のうちに実行することができ、こ
の作業中に処理室でトラブルが発生する可能性を低減す
ることができる。
【0030】また、ステップS5において前処理の終了
時に該当処理室4aでトラブルが発生しているか否かを
判定し、さらにはステップS7で前処理の終わった試料
を移載室1から処理室4aに搬送する直前に再度トラブ
ル発生の有無を判定し、トラブルが発生している場合に
はステップS2〜S4によって別の処理室で処理を行う
ため、生産性の向上を図ることができる。
時に該当処理室4aでトラブルが発生しているか否かを
判定し、さらにはステップS7で前処理の終わった試料
を移載室1から処理室4aに搬送する直前に再度トラブ
ル発生の有無を判定し、トラブルが発生している場合に
はステップS2〜S4によって別の処理室で処理を行う
ため、生産性の向上を図ることができる。
【0031】次に、本発明の第2の実施の形態につい
て、図3を参照して説明する。まずステップS11で試
料が移載室1から前処理室3に搬送されると、ステップ
S12において、あらかじめ設定された条件によって前
処理の実行が開始される。ステップS13において、前
処理が開始されて一定時間が経過したか、あるいは、前
処理の開始後にある条件(たとえば、前処理が加熱処理
である場合は設定温度に到達したこと)が満たされたか
否かを判定し、その場合には、前処理を続行しながら、
ステップS14に移って、処理室4a〜4cからの前処
理要求を待つ。
て、図3を参照して説明する。まずステップS11で試
料が移載室1から前処理室3に搬送されると、ステップ
S12において、あらかじめ設定された条件によって前
処理の実行が開始される。ステップS13において、前
処理が開始されて一定時間が経過したか、あるいは、前
処理の開始後にある条件(たとえば、前処理が加熱処理
である場合は設定温度に到達したこと)が満たされたか
否かを判定し、その場合には、前処理を続行しながら、
ステップS14に移って、処理室4a〜4cからの前処
理要求を待つ。
【0032】処理室4a〜4cの制御部8a〜8cは、
これら処理室4a〜4cにて試料の処理が開始される
と、その処理室における前回の処理に要した処理時間か
ら今回の処理終了時刻を予測する。そして、この処理終
了の予測時刻よりも、前処理室よりその処理室へ試料を
搬送するのに要する搬送時間だけ前の時刻に、前処理室
3に前処理要求を発行する。
これら処理室4a〜4cにて試料の処理が開始される
と、その処理室における前回の処理に要した処理時間か
ら今回の処理終了時刻を予測する。そして、この処理終
了の予測時刻よりも、前処理室よりその処理室へ試料を
搬送するのに要する搬送時間だけ前の時刻に、前処理室
3に前処理要求を発行する。
【0033】ステップS14で前処理室3が特定の処理
室たとえば処理室4aからの前処理要求を受け取ると、
ステップS15で前処理を終了し、その終了した時刻を
記憶する。そして、ステップS16において、試料を前
処理室3から移載室1に搬送し、Wアーム5を処理室4
aの方に向ける。
室たとえば処理室4aからの前処理要求を受け取ると、
ステップS15で前処理を終了し、その終了した時刻を
記憶する。そして、ステップS16において、試料を前
処理室3から移載室1に搬送し、Wアーム5を処理室4
aの方に向ける。
【0034】ステップS17においては、要求のあった
処理室4aが次の試料を搬入できる状態になるまで待
つ。搬入できる状態になったら、ステップS18におい
て、ステップS15で記憶した時刻からの経過時間を算
出する。そして、あらかじめ設定された許容時間を越え
ていれば、再びステップS11に戻り、試料を移載室1
から前処理室3に戻して、前処理をやりなおす。
処理室4aが次の試料を搬入できる状態になるまで待
つ。搬入できる状態になったら、ステップS18におい
て、ステップS15で記憶した時刻からの経過時間を算
出する。そして、あらかじめ設定された許容時間を越え
ていれば、再びステップS11に戻り、試料を移載室1
から前処理室3に戻して、前処理をやりなおす。
【0035】ステップS18において、許容時間を越え
てなければ、ステップS19で、試料を移載室1から処
理室4aに搬送し、処理を行う。このように、処理室4
a〜4cから前処理の要求が発行される以前にあらかじ
め所定の条件で前処理室3で前処理を開始しておき、前
処理が開始されて一定時間が経過後したかあるいは前処
理の開始後にある条件が満たされた場合に、前処理を続
行しながら、処理室4a〜4cからの前処理要求を待
ち、その一方で、所定の処理室4aにおける処理終了の
予測時刻よりも、前処理室3よりその処理室4aへ試料
を搬送するのに要する搬送時間だけ前の時刻に、前処理
室3に前処理要求を発行するため、前処理の開始から処
理室4aへの搬送までの作業を待ち時間なしに短時間の
うちに実行することができ、この作業中に処理室4aで
トラブルが発生する可能性を低減することができる。
てなければ、ステップS19で、試料を移載室1から処
理室4aに搬送し、処理を行う。このように、処理室4
a〜4cから前処理の要求が発行される以前にあらかじ
め所定の条件で前処理室3で前処理を開始しておき、前
処理が開始されて一定時間が経過後したかあるいは前処
理の開始後にある条件が満たされた場合に、前処理を続
行しながら、処理室4a〜4cからの前処理要求を待
ち、その一方で、所定の処理室4aにおける処理終了の
予測時刻よりも、前処理室3よりその処理室4aへ試料
を搬送するのに要する搬送時間だけ前の時刻に、前処理
室3に前処理要求を発行するため、前処理の開始から処
理室4aへの搬送までの作業を待ち時間なしに短時間の
うちに実行することができ、この作業中に処理室4aで
トラブルが発生する可能性を低減することができる。
【0036】また、前処理が終了してから処理室の搬送
するまでの許容時間をあらかじめ設定しておき、この許
容時間を越えた場合には試料を前処理室3に戻して再度
前処理を行うため、その再度の前処理後の試料を処理室
4a〜4cで処理することができる。
するまでの許容時間をあらかじめ設定しておき、この許
容時間を越えた場合には試料を前処理室3に戻して再度
前処理を行うため、その再度の前処理後の試料を処理室
4a〜4cで処理することができる。
【0037】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、前処理室
にて試料に加熱や位置補正などの前処理を施し、前処理
された試料を移載室を介して複数の処理室の一つに搬送
して加工処理を行う時に、試料の前処理開始から処理室
に搬送されるまでの待ち時間がなくなるため、この間に
処理室でトラブルが発生する可能性を減らすことができ
る。
にて試料に加熱や位置補正などの前処理を施し、前処理
された試料を移載室を介して複数の処理室の一つに搬送
して加工処理を行う時に、試料の前処理開始から処理室
に搬送されるまでの待ち時間がなくなるため、この間に
処理室でトラブルが発生する可能性を減らすことができ
る。
【0038】また仮にこの間に処理室でトラブルが発生
しても、再度前処理を行えるので、その試料を別の処理
室で処理することができる。また、前処理終了から処理
室に搬送するまでの時間が許容時間を越えていても、再
度前処理を行えるので、その試料を再び処理室で処理す
ることができる。以上より、処理室がいかなるタイミン
グでトラブル停止しても、別の処理室で処理が行えるよ
うになり、装置の生産性を向上させることができる。
しても、再度前処理を行えるので、その試料を別の処理
室で処理することができる。また、前処理終了から処理
室に搬送するまでの時間が許容時間を越えていても、再
度前処理を行えるので、その試料を再び処理室で処理す
ることができる。以上より、処理室がいかなるタイミン
グでトラブル停止しても、別の処理室で処理が行えるよ
うになり、装置の生産性を向上させることができる。
【図1】本発明の実施の形態の電子デバイス製造装置の
構成図
構成図
【図2】本発明の第1の実施の形態の電子デバイス製造
装置の制御方法のフローチャート
装置の制御方法のフローチャート
【図3】本発明の第2の実施の形態の電子デバイス製造
装置の制御方法のフローチャート
装置の制御方法のフローチャート
【図4】従来の電子デバイス製造装置の構成図
1 移載室 3 前処理室 4a 処理室 4b 処理室 4c 処理室
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 戸泉 厚 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 楠元 寛史 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 3C042 RB32 RB38 RH01 RH05 RJ11 RL11 5F031 CA02 CA05 FA01 FA02 FA12 GA50 MA04 MA30 PA03 PA04 PA10 5F045 BB20 DQ17 EB08 EB11 EB17 EN04 GB17
Claims (10)
- 【請求項1】 前処理室にて試料に加熱や位置補正など
の前処理を施し、前処理された試料を移載室を介して複
数の処理室のうちの一つに搬送して加工処理を行うため
の装置であって、 処理室における処理終了の予測時刻から、その処理室の
ための前処理に要する前処理時間と、前処理の終了後に
前処理室からその処理室へ試料を搬送するのに要する搬
送時間とを減算する手段と、この減算手段により得られ
た結果に対応する時刻に、前処理室に対して前処理要求
を発行する手段とを有することを特徴とする電子デバイ
ス製造装置。 - 【請求項2】 前処理終了時に、前処理終了後の試料を
搬送すべき処理室が処理を行えない状態にある場合は、
異なる処理室を選択して再度前処理を行う手段を有する
ことを特徴とする請求項1記載の電子デバイス製造装
置。 - 【請求項3】 前処理終了後の試料を前処理室から移載
室を経て処理室に搬送する直前に、その処理室が処理を
行えない状態にある場合は、その試料を前処理室に戻
し、異なる処理室を選択して再度前処理を行う手段を有
することを特徴とする請求項1または2記載の電子デバ
イス製造装置。 - 【請求項4】 前処理室にて試料に加熱や位置補正など
の前処理を施し、前処理された試料を移載室を介して複
数の処理室のうちの一つに搬送して加工処理を行うため
の装置であって、 試料が前処理室に搬送されたら、あらかじめ設定された
条件で前処理を開始させる手段と、 この前処理の開始後一定時間が経過後したかあるいは前
処理の開始後にある条件が満たされたかを判定し、その
場合には、前処理を続行しながら、処理室からの前処理
要求を待つ手段と、 処理室における処理終了の予測時刻よりも、前処理室よ
りその処理室へ試料を搬送するのに要する搬送時間だけ
前の時刻に、前処理室に前処理要求を発行する手段と、 前処理要求を受け取ると、前処理を終了して、前処理室
の試料を移載室を介して処理室へ搬送させる手段とを有
することを特徴とする電子デバイス製造装置。 - 【請求項5】 前処理が終了してから試料を処理室に搬
送するまでの許容時間をあらかじめ設定する手段と、 前処理を終了した試料を移載室を介して処理室へ搬送し
ようとする時点で、前記許容時間を越えていた場合に、
その試料を前処理室に戻して再度前処理を行わせる手段
とを有することを特徴とする請求項4記載の電子デバイ
ス製造装置。 - 【請求項6】 前処理室にて試料に加熱や位置補正など
の前処理を施し、前処理された試料を移載室を介して複
数の処理室のうちの一つに搬送して加工処理を行うに際
し、 処理室における処理終了の予測時刻から、その処理室の
ための前処理に要する前処理時間と、前処理の終了後に
前処理室からその処理室へ試料を搬送するのに要する搬
送時間とを減算し、この減算により得られた結果に対応
する時刻に、前処理室に対して前処理要求を発行するこ
とを特徴とする電子デバイス製造装置の制御方法。 - 【請求項7】 前処理終了時に、前処理終了後の試料を
搬送すべき処理室が処理を行えない状態にある場合は、
異なる処理室を選択して再度前処理を行うことを特徴と
する請求項6記載の電子デバイス製造装置の制御方法。 - 【請求項8】 前処理終了後の試料を前処理室から移載
室を経て処理室に搬送する直前に、その処理室が処理を
行えない状態にある場合は、その試料を前処理室に戻
し、異なる処理室を選択して再度前処理を行うことを特
徴とする請求項6または7記載の電子デバイス製造装置
の制御方法。 - 【請求項9】 前処理室にて試料に加熱や位置補正など
の前処理を施し、前処理された試料を移載室を介して複
数の処理室のうちの一つに搬送して加工処理を行うに際
し、 試料が前処理室に搬送されたら、あらかじめ設定された
条件で前処理を開始させ、 この前処理の開始後一定時間が経過後したかあるいは前
処理の開始後にある条件が満たされたかを判定し、その
場合には、前処理を続行しながら、処理室からの前処理
要求を待ち、処理室における処理終了の予測時刻より
も、前処理室よりその処理室へ試料を搬送するのに要す
る搬送時間だけ前の時刻に、前記前処理室に前処理要求
を発行し、 前処理要求を受け取ると、前処理を終了して、前処理室
の試料を移載室を介して処理室へ搬送させることを特徴
とする電子デバイス製造装置の制御方法。 - 【請求項10】 前処理が終了してから試料を処理室に
搬送するまでの許容時間をあらかじめ設定し、 前処理を終了した試料を移載室を介して処理室へ搬送し
ようとする時点で、前記許容時間を越えていた場合に、
その試料を前処理室に戻して再度前処理を行わせること
を特徴とする請求項9記載の電子デバイス製造装置の制
御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11184495A JP2001015397A (ja) | 1999-06-30 | 1999-06-30 | 電子デバイス製造装置およびその制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11184495A JP2001015397A (ja) | 1999-06-30 | 1999-06-30 | 電子デバイス製造装置およびその制御方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001015397A true JP2001015397A (ja) | 2001-01-19 |
Family
ID=16154192
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11184495A Pending JP2001015397A (ja) | 1999-06-30 | 1999-06-30 | 電子デバイス製造装置およびその制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001015397A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2408647A (en) * | 2003-11-11 | 2005-06-01 | Fujitsu Ltd | Compressing colour images |
-
1999
- 1999-06-30 JP JP11184495A patent/JP2001015397A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2408647A (en) * | 2003-11-11 | 2005-06-01 | Fujitsu Ltd | Compressing colour images |
GB2408647B (en) * | 2003-11-11 | 2008-12-31 | Fujitsu Ltd | Colour image compressing method and device |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Effective date: 20040817 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050307 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050802 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20051129 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |