JP2001015295A - Ｘ線発生装置 - Google Patents
Ｘ線発生装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、Ｘ線管の胴部がモールド部内に納
められたものであっても、Ｘ線管の最適動作温度の維持
を確実ならしめるようにしたＸ線発生装置を提供するこ
とを目的とする。 【解決手段】 本発明によるＸ線発生装置１は、Ｘ線管
３のターゲット５は胴部７に収容されており、この胴部
７は、モールド部１７内に格納させるので、外気の熱変
動の影響を受け難く、高温ではあるが、熱的には安定し
た状態が保たれる。これに対して、電子銃４側は、外気
の熱変動の影響を受ける結果、熱的に安定させる必要が
ある。そこで、ファンによる不安定な送風冷却ではな
く、筺体Ｓの電子銃４側の部分において、その周囲に冷
却配管３０を配置させ、その配管３０内を冷媒が流動す
るようにし、電子銃４側の温度を素早く安定させること
を実現させた。つまり、この発明は、電子銃４側におい
て、外気に触れている部分の熱的安定化を図り、配管３
０内での冷媒量や流速の調整によって、Ｘ線管３の最適
動作温度を維持させるようにしたものである。
められたものであっても、Ｘ線管の最適動作温度の維持
を確実ならしめるようにしたＸ線発生装置を提供するこ
とを目的とする。 【解決手段】 本発明によるＸ線発生装置１は、Ｘ線管
３のターゲット５は胴部７に収容されており、この胴部
７は、モールド部１７内に格納させるので、外気の熱変
動の影響を受け難く、高温ではあるが、熱的には安定し
た状態が保たれる。これに対して、電子銃４側は、外気
の熱変動の影響を受ける結果、熱的に安定させる必要が
ある。そこで、ファンによる不安定な送風冷却ではな
く、筺体Ｓの電子銃４側の部分において、その周囲に冷
却配管３０を配置させ、その配管３０内を冷媒が流動す
るようにし、電子銃４側の温度を素早く安定させること
を実現させた。つまり、この発明は、電子銃４側におい
て、外気に触れている部分の熱的安定化を図り、配管３
０内での冷媒量や流速の調整によって、Ｘ線管３の最適
動作温度を維持させるようにしたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線発生装置に係
り、特に、マイクロフォーカスＸ線源として利用するた
めのＸ線発生装置に関するものである。
り、特に、マイクロフォーカスＸ線源として利用するた
めのＸ線発生装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、このような分野の技術として、特
開平６−１６２９７４号公報，特開平６−８４４９０号
公報，特開平６−３６７２０号公報及び特開平５−２９
０７６８号公報がある。これら公報に記載されたＸ線発
生装置には、Ｘ線管から発生した高熱を外部に放出させ
て、安定した動作特性を維持するための手段が開示され
ている。具体的には、ターゲット支持体内に冷却通路を
形成し、この通路内に冷却水を通すことで、熱の発生源
となるターゲットを冷却させる。
開平６−１６２９７４号公報，特開平６−８４４９０号
公報，特開平６−３６７２０号公報及び特開平５−２９
０７６８号公報がある。これら公報に記載されたＸ線発
生装置には、Ｘ線管から発生した高熱を外部に放出させ
て、安定した動作特性を維持するための手段が開示され
ている。具体的には、ターゲット支持体内に冷却通路を
形成し、この通路内に冷却水を通すことで、熱の発生源
となるターゲットを冷却させる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来のＸ線発生装置には、次のような課題が存在して
いる。すなわち、ターゲット支持体を冷却する構造を採
用しているため、モールドタイプのＸ線管には、適用し
難く、ターゲット支持体を包み込むようなモールド成形
をした場合には、冷却パイプとターゲット支持体との接
触を維持させ難く、所望の冷却効率を得にくいといった
問題点があった。
た従来のＸ線発生装置には、次のような課題が存在して
いる。すなわち、ターゲット支持体を冷却する構造を採
用しているため、モールドタイプのＸ線管には、適用し
難く、ターゲット支持体を包み込むようなモールド成形
をした場合には、冷却パイプとターゲット支持体との接
触を維持させ難く、所望の冷却効率を得にくいといった
問題点があった。
【０００４】本発明は、上述の課題を解決するためにな
されたもので、特に、Ｘ線管の胴部がモールド部内に納
められたものであっても、Ｘ線管の最適動作温度の維持
を確実ならしめるようにしたＸ線発生装置を提供するこ
とを目的とする。
されたもので、特に、Ｘ線管の胴部がモールド部内に納
められたものであっても、Ｘ線管の最適動作温度の維持
を確実ならしめるようにしたＸ線発生装置を提供するこ
とを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る本発明の
Ｘ線発生装置は、筺体内の電子銃から発射させた電子を
ターゲットに衝突させ、この衝突により発生したＸ線
を、Ｘ線出射窓を介して外部に出射させる構造をもつＸ
線管と、ターゲットを内部に収容するＸ線管の胴部を包
囲し且つ格納させる電気絶縁性のモールド部と、電子銃
を内部に収容させる筺体の電子銃側の部分においてその
周囲に配置させた電子銃冷却用の第１の冷却配管とを備
えたことを特徴とする。
Ｘ線発生装置は、筺体内の電子銃から発射させた電子を
ターゲットに衝突させ、この衝突により発生したＸ線
を、Ｘ線出射窓を介して外部に出射させる構造をもつＸ
線管と、ターゲットを内部に収容するＸ線管の胴部を包
囲し且つ格納させる電気絶縁性のモールド部と、電子銃
を内部に収容させる筺体の電子銃側の部分においてその
周囲に配置させた電子銃冷却用の第１の冷却配管とを備
えたことを特徴とする。
【０００６】このＸ線発生装置においては、Ｘ線管のタ
ーゲットは胴部に収容されており、この胴部は、高圧に
帯電するので電気的シール性を配慮して電気絶縁性のモ
ールド部内に格納される。また、電子銃側の筺体部分
は、グランド電位を維持させ、モールド部から露出する
ように配置させている。この場合、胴部は、モールド部
内に格納させるので、外気の熱変動の影響を受け難く、
高温ではあるが、熱的には安定した状態が保たれる。こ
れに対して、電子銃側は、外気の熱変動の影響を受ける
結果、熱的に安定させる必要がある。そこで、ファンに
よる不安定な送風冷却ではなく、筺体の電子銃側の部分
において、その周囲に冷却配管を配置させ、その配管内
を冷媒が流動するようにし、電子銃側の温度を素早く安
定させることを実現させた。つまり、この発明は、電子
銃側において、外気に触れている部分の熱的安定化を図
り、配管内での冷媒量や流速の調整によって、Ｘ線管の
最適動作温度を維持させるようにしたものである。
ーゲットは胴部に収容されており、この胴部は、高圧に
帯電するので電気的シール性を配慮して電気絶縁性のモ
ールド部内に格納される。また、電子銃側の筺体部分
は、グランド電位を維持させ、モールド部から露出する
ように配置させている。この場合、胴部は、モールド部
内に格納させるので、外気の熱変動の影響を受け難く、
高温ではあるが、熱的には安定した状態が保たれる。こ
れに対して、電子銃側は、外気の熱変動の影響を受ける
結果、熱的に安定させる必要がある。そこで、ファンに
よる不安定な送風冷却ではなく、筺体の電子銃側の部分
において、その周囲に冷却配管を配置させ、その配管内
を冷媒が流動するようにし、電子銃側の温度を素早く安
定させることを実現させた。つまり、この発明は、電子
銃側において、外気に触れている部分の熱的安定化を図
り、配管内での冷媒量や流速の調整によって、Ｘ線管の
最適動作温度を維持させるようにしたものである。
【０００７】請求項２記載のＸ線発生装置において、モ
ールド部の端部に配置した金属製の前面パネルと、モー
ルド部とＸ線管の筺体と前面パネルとにより形成した電
気絶縁オイル収容部と、Ｘ線管の筺体に形成させると共
に前面パネルの外表面に接触固定させるフランジ部とを
備えると好ましい。このような構成を採用した場合、モ
ールド部とＸ線管の間に充填させたオイルは、ターゲッ
トの影響により高温になるが、モールド部の端面に配置
させた金属製の前面パネルがオイルに接触するので、前
面パネルによる放熱を促進させることが可能になってい
る。
ールド部の端部に配置した金属製の前面パネルと、モー
ルド部とＸ線管の筺体と前面パネルとにより形成した電
気絶縁オイル収容部と、Ｘ線管の筺体に形成させると共
に前面パネルの外表面に接触固定させるフランジ部とを
備えると好ましい。このような構成を採用した場合、モ
ールド部とＸ線管の間に充填させたオイルは、ターゲッ
トの影響により高温になるが、モールド部の端面に配置
させた金属製の前面パネルがオイルに接触するので、前
面パネルによる放熱を促進させることが可能になってい
る。
【０００８】請求項３記載のＸ線発生装置において、第
１の冷却配管は、パイプとして形成し、熱伝導性の有る
接着剤を介して筺体に固定させると好ましい。このよう
に、冷却配管としてパイプを利用すると、パイプの表面
を筺体に接触固定させ難いこともあるので、熱伝導性の
接着剤を、筺体とパイプとの間や隣接するパイプ間に充
填させることができ、電子銃側でのパイプの這い回しを
確実なものとし、しかも、接着剤によって冷却面積の拡
大化も図られる。
１の冷却配管は、パイプとして形成し、熱伝導性の有る
接着剤を介して筺体に固定させると好ましい。このよう
に、冷却配管としてパイプを利用すると、パイプの表面
を筺体に接触固定させ難いこともあるので、熱伝導性の
接着剤を、筺体とパイプとの間や隣接するパイプ間に充
填させることができ、電子銃側でのパイプの這い回しを
確実なものとし、しかも、接着剤によって冷却面積の拡
大化も図られる。
【０００９】請求項４記載のＸ線発生装置において、前
面パネルの外表面に接触させて前面パネル冷却用の第２
の冷却配管を配置させると好ましい。このように、第２
の冷却配管を前面パネルに配置させることで、前面パネ
ルによる放熱を促進させることができ、オイルを冷却す
ることによって、ターゲットの間接的な冷却が可能とな
る。
面パネルの外表面に接触させて前面パネル冷却用の第２
の冷却配管を配置させると好ましい。このように、第２
の冷却配管を前面パネルに配置させることで、前面パネ
ルによる放熱を促進させることができ、オイルを冷却す
ることによって、ターゲットの間接的な冷却が可能とな
る。
【００１０】請求項５記載のＸ線発生装置において、第
２の冷却配管は、パイプとして形成し、熱伝導性の有る
接着剤を介して前面パネルに固定させると好ましい。こ
のように、冷却配管としてパイプを利用すると、パイプ
の表面を金属製の前面パネルに接触固定させ難いことも
あるので、熱伝導性の接着剤を、前面パネルとパイプと
の間や隣接するパイプ間に充填させることができ、前面
パネル側でのパイプの這い回しを確実なものとし、しか
も、接着剤によって冷却面積の拡大化も図られる。
２の冷却配管は、パイプとして形成し、熱伝導性の有る
接着剤を介して前面パネルに固定させると好ましい。こ
のように、冷却配管としてパイプを利用すると、パイプ
の表面を金属製の前面パネルに接触固定させ難いことも
あるので、熱伝導性の接着剤を、前面パネルとパイプと
の間や隣接するパイプ間に充填させることができ、前面
パネル側でのパイプの這い回しを確実なものとし、しか
も、接着剤によって冷却面積の拡大化も図られる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明によるＸ
線発生装置の好適な一実施形態について詳細に説明す
る。
線発生装置の好適な一実施形態について詳細に説明す
る。
【００１２】図１は、本発明に係るＸ線発生装置を示す
斜視図である。同図に示すＸ線発生装置１は、金属製の
ケース２内にＸ線管３を収容すると共に、高電圧発生装
置を内蔵しないタイプのものであり、コンパクト化及び
軽量化を達成させている。すなわち、高熱発生源である
トランスや高圧発生回路や制御回路などが内蔵された高
電圧変換ユニット（図示せず）とＸ線発生装置１とを切
り離した構成にすることで、軽量コンパクト化と同時に
メンテナンスも容易となり、Ｘ線管３を試料に近接させ
た場合でも、試料に対する熱の影響を少なくすることが
でき、極めて利便性が向上する。
斜視図である。同図に示すＸ線発生装置１は、金属製の
ケース２内にＸ線管３を収容すると共に、高電圧発生装
置を内蔵しないタイプのものであり、コンパクト化及び
軽量化を達成させている。すなわち、高熱発生源である
トランスや高圧発生回路や制御回路などが内蔵された高
電圧変換ユニット（図示せず）とＸ線発生装置１とを切
り離した構成にすることで、軽量コンパクト化と同時に
メンテナンスも容易となり、Ｘ線管３を試料に近接させ
た場合でも、試料に対する熱の影響を少なくすることが
でき、極めて利便性が向上する。
【００１３】図２に示すように、ケース２内に収容され
るＸ線管３は、非破壊検査等に利用されるマイクロフォ
ーカスＸ線管として構成され、Ｘ線管３には、サイドウ
ィンドタイプのものとエンドウィンドタイプのものとが
あるが、これはエンドウィンドタイプである。このＸ線
管３は、電子を放出する電子銃４と、電子の衝突により
Ｘ線を発生させるターゲット５とを主たる構成部品とし
て、筺体Ｓ内に収容させている。
るＸ線管３は、非破壊検査等に利用されるマイクロフォ
ーカスＸ線管として構成され、Ｘ線管３には、サイドウ
ィンドタイプのものとエンドウィンドタイプのものとが
あるが、これはエンドウィンドタイプである。このＸ線
管３は、電子を放出する電子銃４と、電子の衝突により
Ｘ線を発生させるターゲット５とを主たる構成部品とし
て、筺体Ｓ内に収容させている。
【００１４】この筺体Ｓは複数の部分に分割され、横方
向に延びてターゲット５を収容するガラス製の胴部７
と、電子銃４を収容する金属製の電子銃収容部８と、胴
部７と電子銃収容部８とを連結させる金属製のヘッド部
９とからなる。すなわち、電子銃収容部８は、電子銃４
側で筺体Ｓの一部をなし、ヘッド部９及び胴部７は、タ
ーゲット５側で筺体Ｓの一部をなし、各部材７，８，９
は相互に接続固定されて一つの筺体Ｓを構成する。
向に延びてターゲット５を収容するガラス製の胴部７
と、電子銃４を収容する金属製の電子銃収容部８と、胴
部７と電子銃収容部８とを連結させる金属製のヘッド部
９とからなる。すなわち、電子銃収容部８は、電子銃４
側で筺体Ｓの一部をなし、ヘッド部９及び胴部７は、タ
ーゲット５側で筺体Ｓの一部をなし、各部材７，８，９
は相互に接続固定されて一つの筺体Ｓを構成する。
【００１５】また、電子銃収容部８の頂部には、セラミ
ックス製のステム１１が嵌め込まれており、ヘッド部９
の端面には、ターゲット５に対面するようにＸ線出射窓
１４が形成されている。電子銃４は、ヒーター電極１５
ａ，カソード１５ｂ，グリッド電極１５ｃ，フォーカス
電極１５ｄからなり、電子銃収容部８内で支柱１５ｅを
介して固定されている。また、ターゲット５の先端は約
２５°で斜めにカットされ、ターゲット部材５ｂがロウ
付けされている。
ックス製のステム１１が嵌め込まれており、ヘッド部９
の端面には、ターゲット５に対面するようにＸ線出射窓
１４が形成されている。電子銃４は、ヒーター電極１５
ａ，カソード１５ｂ，グリッド電極１５ｃ，フォーカス
電極１５ｄからなり、電子銃収容部８内で支柱１５ｅを
介して固定されている。また、ターゲット５の先端は約
２５°で斜めにカットされ、ターゲット部材５ｂがロウ
付けされている。
【００１６】そこで、ヒーター電極１５ａでカソード電
極１５ｂが加熱されると、一定の温度でカソード電極１
５ｂから電子が放出される。放出した電子は、グリッド
電極１５ｃで加速され、フォーカス電極１５ｄで収束さ
れて、ターゲット５に衝突する。そして、この衝突によ
って、電子はＸ線と熱とに変換され、発生したＸ線は、
Ｘ線出射窓１４を介して外部に放出される。
極１５ｂが加熱されると、一定の温度でカソード電極１
５ｂから電子が放出される。放出した電子は、グリッド
電極１５ｃで加速され、フォーカス電極１５ｄで収束さ
れて、ターゲット５に衝突する。そして、この衝突によ
って、電子はＸ線と熱とに変換され、発生したＸ線は、
Ｘ線出射窓１４を介して外部に放出される。
【００１７】このようなＸ線管３の胴部７は、図３に示
すように、電気絶縁性の樹脂モールド材で成形した直方
体のモールド部１７内に収容され、このモールド部１７
の両端には金属（真鍮にニッケル，クロム又は銅等がメ
ッキされたもの）製の前面パネル１８及び背面パネル１
９が固着されている。前面パネル１８は、接着剤等によ
ってモールド部１７との一体化が図られ、背面パネル１
９は、モールド成形時に型枠として利用され、モールド
部１７と一体成形させている。また、モールド部１７に
は、Ｘ線管３の胴部７を前面パネル１８側から差し込む
ための開口２０が形成されている。
すように、電気絶縁性の樹脂モールド材で成形した直方
体のモールド部１７内に収容され、このモールド部１７
の両端には金属（真鍮にニッケル，クロム又は銅等がメ
ッキされたもの）製の前面パネル１８及び背面パネル１
９が固着されている。前面パネル１８は、接着剤等によ
ってモールド部１７との一体化が図られ、背面パネル１
９は、モールド成形時に型枠として利用され、モールド
部１７と一体成形させている。また、モールド部１７に
は、Ｘ線管３の胴部７を前面パネル１８側から差し込む
ための開口２０が形成されている。
【００１８】更に、この開口２０内にＸ線管３の胴部７
を差し込んでＸ線管３を前面パネル１８に固定した際、
モールド部１７の内壁面と前面パネル１８の内壁面と胴
部７の外壁面とで、所望の電気絶縁オイル収容部２１が
形成される。この収容部２１内には電気絶縁オイル２２
が充填され、このオイル２２によって、ターゲット５の
高電圧がモールド部１７を介し外部に伝わらないように
している。
を差し込んでＸ線管３を前面パネル１８に固定した際、
モールド部１７の内壁面と前面パネル１８の内壁面と胴
部７の外壁面とで、所望の電気絶縁オイル収容部２１が
形成される。この収容部２１内には電気絶縁オイル２２
が充填され、このオイル２２によって、ターゲット５の
高電圧がモールド部１７を介し外部に伝わらないように
している。
【００１９】そして、モールド部１７とＸ線管３の間に
充填させたオイル２２は、ターゲット５の影響により高
温になる。しかし、モールド部１７の端面に配置させた
金属製の前面パネル１８をオイル２２に接触させるよう
にしたことで、金属製の前面パネル１８によるオイル２
２の放熱効果が高められる。更に、モールド部１７の放
熱効果を向上させるために、モールド部１７の上面に当
接させるようにして上板２６を配置させている。背面パ
ネル１９も同様の放熱効果を有することは言うまでもな
い。
充填させたオイル２２は、ターゲット５の影響により高
温になる。しかし、モールド部１７の端面に配置させた
金属製の前面パネル１８をオイル２２に接触させるよう
にしたことで、金属製の前面パネル１８によるオイル２
２の放熱効果が高められる。更に、モールド部１７の放
熱効果を向上させるために、モールド部１７の上面に当
接させるようにして上板２６を配置させている。背面パ
ネル１９も同様の放熱効果を有することは言うまでもな
い。
【００２０】なお、Ｘ線管３は、ヘッド部９に設けたフ
ランジ部２３を、前面パネル１８に当接させるようにネ
ジ２５を介して固定され（図２参照）、オイル２２は、
Ｘ線管３を前面パネル１８に固定した後に、所定の箇所
から充填される。また、背面パネル１９には、別体の高
電圧変換ユニットから延びるプラグＰを差し込むための
コネクタ部２４がナット２７によって内側から締め付け
るように固定され、コネクタ部２４は、連結部２８を介
してターゲット５の後端部５ａに接続されている。
ランジ部２３を、前面パネル１８に当接させるようにネ
ジ２５を介して固定され（図２参照）、オイル２２は、
Ｘ線管３を前面パネル１８に固定した後に、所定の箇所
から充填される。また、背面パネル１９には、別体の高
電圧変換ユニットから延びるプラグＰを差し込むための
コネクタ部２４がナット２７によって内側から締め付け
るように固定され、コネクタ部２４は、連結部２８を介
してターゲット５の後端部５ａに接続されている。
【００２１】ここで、Ｘ線管３のターゲット５は胴部７
に収容され、この胴部７は、高圧に帯電するので電気的
シールを配慮して電気絶縁性のモールド部１７内に格納
される。また、電子銃４側の電子銃収容部８は、グラン
ド電位になっており、モールド部１７から露出させてい
る。この場合、胴部７は、モールド部１７内に格納させ
るので、外気の熱変動の影響を受け難く、高温ではある
が、熱的には安定した状態が保たれる。これに対して、
電子銃４側は、モールド部１７から発散される熱の影響
を受ける。その結果、Ｘ線管３においては、モールド部
１７から露出した部分を熱的に安定させる必要がある。
に収容され、この胴部７は、高圧に帯電するので電気的
シールを配慮して電気絶縁性のモールド部１７内に格納
される。また、電子銃４側の電子銃収容部８は、グラン
ド電位になっており、モールド部１７から露出させてい
る。この場合、胴部７は、モールド部１７内に格納させ
るので、外気の熱変動の影響を受け難く、高温ではある
が、熱的には安定した状態が保たれる。これに対して、
電子銃４側は、モールド部１７から発散される熱の影響
を受ける。その結果、Ｘ線管３においては、モールド部
１７から露出した部分を熱的に安定させる必要がある。
【００２２】そこで、図１，図３及び図４に示すよう
に、電子銃４を包囲する電子銃収容部８の表面に接触さ
せるように、第１の冷却配管の一例をなす銅製の冷却パ
イプ３０を螺旋状に這い回し、この冷却パイプ３０内に
冷媒（例えば、水や油など）を流動させる。
に、電子銃４を包囲する電子銃収容部８の表面に接触さ
せるように、第１の冷却配管の一例をなす銅製の冷却パ
イプ３０を螺旋状に這い回し、この冷却パイプ３０内に
冷媒（例えば、水や油など）を流動させる。
【００２３】例えば、冷却パイプ３０の一端は、ジョイ
ント部３１を介してビニールパイプ３２に接続され、冷
却パイプ３０の他端は、ジョイント部３３を介してビニ
ールパイプ３４に接続されている。また、ケース２の背
面側には、上側に冷媒流入用のパイプエンド３５が固定
され、下側に冷媒流出用のパイプエンド３６が固定さ
れ、それぞれのパイプエンド３５，３６は、Ｔ字状に構
成され、ケース２の外で一口であるが、ケース２内で二
股に分岐させている。そこで、上側のパイプエンド３５
に一方のビニールパイプ３２の端部を固定させ、下側の
パイプエンド３６に他方のビニールパイプ３４を固定さ
せる。
ント部３１を介してビニールパイプ３２に接続され、冷
却パイプ３０の他端は、ジョイント部３３を介してビニ
ールパイプ３４に接続されている。また、ケース２の背
面側には、上側に冷媒流入用のパイプエンド３５が固定
され、下側に冷媒流出用のパイプエンド３６が固定さ
れ、それぞれのパイプエンド３５，３６は、Ｔ字状に構
成され、ケース２の外で一口であるが、ケース２内で二
股に分岐させている。そこで、上側のパイプエンド３５
に一方のビニールパイプ３２の端部を固定させ、下側の
パイプエンド３６に他方のビニールパイプ３４を固定さ
せる。
【００２４】その結果、図示しない冷媒ポンプからの循
環供給や水道管からの直接供給によって、上側のパイプ
エンド３５を介して流入した冷媒は、冷却パイプ３０内
を流動しながら、電子銃４側の電子銃収容部８を冷却
し、パイプエンド３６を介して外部に排出される。この
ように、電子銃４の周囲を、冷媒が流動することによっ
て、電子銃４側の温度を素早く安定させることができ
る。そして、冷媒の温度を管理しながら、冷却パイプ３
０内での冷媒量や流速を、ポンプ制御をもって調節する
ことにより、Ｘ線管３の最適動作温度を確実に維持させ
る。
環供給や水道管からの直接供給によって、上側のパイプ
エンド３５を介して流入した冷媒は、冷却パイプ３０内
を流動しながら、電子銃４側の電子銃収容部８を冷却
し、パイプエンド３６を介して外部に排出される。この
ように、電子銃４の周囲を、冷媒が流動することによっ
て、電子銃４側の温度を素早く安定させることができ
る。そして、冷媒の温度を管理しながら、冷却パイプ３
０内での冷媒量や流速を、ポンプ制御をもって調節する
ことにより、Ｘ線管３の最適動作温度を確実に維持させ
る。
【００２５】同様に、前面パネル１８の外表面に接触さ
せるように、第２の冷却配管の一例をなす銅製の冷却パ
イプ４０を這い回し、この冷却パイプ４０内に冷媒（例
えば、水や油等）を流動させる。この這い回しの一例と
して、ヘッド部９の左右において、冷却パイプ４０を、
ヘッド部９に添わせながらＵ字状に折り曲げて反転させ
ており、左右をつなぐように、冷却パイプ４０は、フラ
ンジ部２３の周面に添わせるようにして前面パネル１８
に接触させている。
せるように、第２の冷却配管の一例をなす銅製の冷却パ
イプ４０を這い回し、この冷却パイプ４０内に冷媒（例
えば、水や油等）を流動させる。この這い回しの一例と
して、ヘッド部９の左右において、冷却パイプ４０を、
ヘッド部９に添わせながらＵ字状に折り曲げて反転させ
ており、左右をつなぐように、冷却パイプ４０は、フラ
ンジ部２３の周面に添わせるようにして前面パネル１８
に接触させている。
【００２６】このように這い回された冷却パイプ４０の
一端は、ジョイント部４１を介してビニールパイプ４２
に接続され、冷却パイプ４０の他端は、ジョイント部４
３を介してビニールパイプ４４に接続されている。そし
て、上側のパイプエンド３５に一方のビニールパイプ４
２の端部を固定させ、下側のパイプエンド３６に他方の
ビニールパイプ４４を固定させる。
一端は、ジョイント部４１を介してビニールパイプ４２
に接続され、冷却パイプ４０の他端は、ジョイント部４
３を介してビニールパイプ４４に接続されている。そし
て、上側のパイプエンド３５に一方のビニールパイプ４
２の端部を固定させ、下側のパイプエンド３６に他方の
ビニールパイプ４４を固定させる。
【００２７】その結果、上側のパイプエンド３５を介し
て流入した冷媒は、冷却パイプ４０内を流動しながら、
前面パネル１８及びヘッド部９を冷却し、パイプエンド
３６を介して外部に排出される。このように、前面パネ
ル１８を冷却することは、前面パネル１８による放熱を
促進させることができ、オイル２２を冷却することによ
って、ターゲット５の間接的な冷却も可能にしている。
て流入した冷媒は、冷却パイプ４０内を流動しながら、
前面パネル１８及びヘッド部９を冷却し、パイプエンド
３６を介して外部に排出される。このように、前面パネ
ル１８を冷却することは、前面パネル１８による放熱を
促進させることができ、オイル２２を冷却することによ
って、ターゲット５の間接的な冷却も可能にしている。
【００２８】また、図２〜図４に示すように、螺旋状の
冷却パイプ３０を包み込むように、伝熱性の接着剤Ｒを
電子銃収容部８に塗布させてもよい。これは、冷却パイ
プ３０の表面を電子銃収容部８に接触固定させ難いこと
もあるから、熱伝導性の良好な接着剤Ｒを電子銃収容部
８と冷却パイプ３０との間や隣接する冷却パイプ３０間
に充填させている。従って、電子銃４側での冷却パイプ
３０の這い回しを確実なものとし、しかも、接着剤Ｒに
よって冷却面積の拡大化も図られている。
冷却パイプ３０を包み込むように、伝熱性の接着剤Ｒを
電子銃収容部８に塗布させてもよい。これは、冷却パイ
プ３０の表面を電子銃収容部８に接触固定させ難いこと
もあるから、熱伝導性の良好な接着剤Ｒを電子銃収容部
８と冷却パイプ３０との間や隣接する冷却パイプ３０間
に充填させている。従って、電子銃４側での冷却パイプ
３０の這い回しを確実なものとし、しかも、接着剤Ｒに
よって冷却面積の拡大化も図られている。
【００２９】同様に、冷却パイプ４０を包み込むよう
に、伝熱性の接着剤Ｒをヘッド部９に塗布させてもよ
い。これは、冷却パイプ４０の表面を金属製の前面パネ
ル１８に接触固定させ難いこともあるから、熱伝導性の
良好な接着剤Ｒを前面パネル１８と冷却パイプ４０との
間や隣接する冷却パイプ４０間に充填させている。従っ
て、前面パネル１８側での冷却パイプ４０の這い回しを
確実なものとし、しかも、接着剤Ｒによって冷却面積の
拡大化も図られている。なお、ここで、利用される導電
性の接着剤Ｒとしては、金属粉を含有させた接着剤やシ
リコーン系の接着剤などがある。また、導電性の塗料で
あってもよい。
に、伝熱性の接着剤Ｒをヘッド部９に塗布させてもよ
い。これは、冷却パイプ４０の表面を金属製の前面パネ
ル１８に接触固定させ難いこともあるから、熱伝導性の
良好な接着剤Ｒを前面パネル１８と冷却パイプ４０との
間や隣接する冷却パイプ４０間に充填させている。従っ
て、前面パネル１８側での冷却パイプ４０の這い回しを
確実なものとし、しかも、接着剤Ｒによって冷却面積の
拡大化も図られている。なお、ここで、利用される導電
性の接着剤Ｒとしては、金属粉を含有させた接着剤やシ
リコーン系の接着剤などがある。また、導電性の塗料で
あってもよい。
【００３０】本発明は、前述した実施形態に限定される
ものではなく、例えば、第１の冷却配管としては、内部
に冷媒通路を蛇行させるように形成させた銅製のキャッ
プ状冷却部材であってもよい。このようなキャップ形状
は、冷却部材を電子銃収容部８に被せるように装着させ
ることを考慮したものである。また、第２の冷却配管と
しては、内部に冷媒通路をもった銅製の前面パネル１８
であってもよい。
ものではなく、例えば、第１の冷却配管としては、内部
に冷媒通路を蛇行させるように形成させた銅製のキャッ
プ状冷却部材であってもよい。このようなキャップ形状
は、冷却部材を電子銃収容部８に被せるように装着させ
ることを考慮したものである。また、第２の冷却配管と
しては、内部に冷媒通路をもった銅製の前面パネル１８
であってもよい。
【００３１】
【発明の効果】本発明によるＸ線発生装置は、以上のよ
うに構成されているため、次のような効果を得る。すな
わち、筺体内の電子銃から発射させた電子をターゲット
に衝突させ、この衝突により発生したＸ線を、Ｘ線出射
窓を介して外部に出射させる構造をもつＸ線管と、ター
ゲットを内部に収容するＸ線管の胴部を包囲し且つ格納
させる電気絶縁性のモールド部と、電子銃を内部に収容
させる筺体の電子銃側の部分においてその周囲に配置さ
せた電子銃冷却用の第１の冷却配管とを備えたことによ
り、Ｘ線管の胴部がモールド部内に納められたものであ
っても、Ｘ線管の最適動作温度の維持を確実にすること
ができる。
うに構成されているため、次のような効果を得る。すな
わち、筺体内の電子銃から発射させた電子をターゲット
に衝突させ、この衝突により発生したＸ線を、Ｘ線出射
窓を介して外部に出射させる構造をもつＸ線管と、ター
ゲットを内部に収容するＸ線管の胴部を包囲し且つ格納
させる電気絶縁性のモールド部と、電子銃を内部に収容
させる筺体の電子銃側の部分においてその周囲に配置さ
せた電子銃冷却用の第１の冷却配管とを備えたことによ
り、Ｘ線管の胴部がモールド部内に納められたものであ
っても、Ｘ線管の最適動作温度の維持を確実にすること
ができる。
【図１】本発明に係るＸ線発生装置の一実施形態を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図２】図１のＸ線発生装置に適用させるＸ線管を示す
断面図である。
断面図である。
【図３】Ｘ線発生装置の断面図である。
【図４】Ｘ線発生装置の断面図である。
１…Ｘ線発生装置、３…Ｘ線管、４…電子銃、５…ター
ゲット、７…胴部、８…電子銃収容部、９…ヘッド部、
１４…Ｘ線出射窓、１７…モールド部、１８…前面パネ
ル、２１…電気絶縁オイル収容部、２３…フランジ部、
３０…冷却パイプ（第１の冷却配管）、４０…冷却パイ
プ（第２の冷却配管）、Ｓ…筺体、Ｒ…接着剤。
ゲット、７…胴部、８…電子銃収容部、９…ヘッド部、
１４…Ｘ線出射窓、１７…モールド部、１８…前面パネ
ル、２１…電気絶縁オイル収容部、２３…フランジ部、
３０…冷却パイプ（第１の冷却配管）、４０…冷却パイ
プ（第２の冷却配管）、Ｓ…筺体、Ｒ…接着剤。
Claims (5)
- 【請求項１】 筺体内の電子銃から発射させた電子をタ
ーゲットに衝突させ、この衝突により発生したＸ線を、
Ｘ線出射窓を介して外部に出射させる構造をもつＸ線管
と、 前記ターゲットを内部に収容する前記Ｘ線管の胴部を包
囲し且つ格納させる電気絶縁性のモールド部と、 前記電子銃を内部に収容させる前記筺体の電子銃側の部
分においてその周囲に配置させた電子銃冷却用の第１の
冷却配管とを備えたことを特徴とするＸ線発生装置。 - 【請求項２】 前記モールド部の端部に配置した金属製
の前面パネルと、前記モールド部と前記Ｘ線管の前記筺
体と前記前面パネルとにより形成した電気絶縁オイル収
容部と、 前記Ｘ線管の前記筺体に形成させると共に前記前面パネ
ルの外表面に接触固定させるフランジ部とを備えたこと
を特徴とする請求項１記載のＸ線発生装置。 - 【請求項３】 前記第１の冷却配管は、パイプとして形
成し、熱伝導性の有る接着剤を介して前記筺体に固定さ
せたことを特徴とする請求項１又は２記載のＸ線発生装
置。 - 【請求項４】 前記前面パネルの外表面に接触させて前
面パネル冷却用の第２の冷却配管を配置させたことを特
徴とする請求項２又は３記載のＸ線発生装置。 - 【請求項５】 前記第２の冷却配管は、パイプとして形
成し、熱伝導性の有る接着剤を介して前記前面パネルに
固定させたことを特徴とする請求項４記載のＸ線発生装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18605399A JP4347456B2 (ja) | 1999-06-30 | 1999-06-30 | Ｘ線発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18605399A JP4347456B2 (ja) | 1999-06-30 | 1999-06-30 | Ｘ線発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001015295A true JP2001015295A (ja) | 2001-01-19 |
| JP4347456B2 JP4347456B2 (ja) | 2009-10-21 |
Family
ID=16181581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18605399A Expired - Fee Related JP4347456B2 (ja) | 1999-06-30 | 1999-06-30 | Ｘ線発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4347456B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007066655A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Hamamatsu Photonics Kk | Ｘ線源 |
| JP2011119084A (ja) * | 2009-12-02 | 2011-06-16 | Life Technology Research Institute Inc | Ｘ線発生装置及び携帯型非破壊検査装置 |
| KR101040536B1 (ko) * | 2009-05-15 | 2011-06-16 | 경희대학교 산학협력단 | 나노구조 물질 기반 ｘ-선관을 위한 게이트-집속전극 일체형 전극 구조 |
-
1999
- 1999-06-30 JP JP18605399A patent/JP4347456B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007066655A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Hamamatsu Photonics Kk | Ｘ線源 |
| KR101040536B1 (ko) * | 2009-05-15 | 2011-06-16 | 경희대학교 산학협력단 | 나노구조 물질 기반 ｘ-선관을 위한 게이트-집속전극 일체형 전극 구조 |
| JP2011119084A (ja) * | 2009-12-02 | 2011-06-16 | Life Technology Research Institute Inc | Ｘ線発生装置及び携帯型非破壊検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4347456B2 (ja) | 2009-10-21 |
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