JP2001011624A - 真空蒸着装置 - Google Patents
真空蒸着装置Info
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- JP2001011624A JP2001011624A JP11187034A JP18703499A JP2001011624A JP 2001011624 A JP2001011624 A JP 2001011624A JP 11187034 A JP11187034 A JP 11187034A JP 18703499 A JP18703499 A JP 18703499A JP 2001011624 A JP2001011624 A JP 2001011624A
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- rotating
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- rotating shaft
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被蒸着ワ−クの真空蒸着において被蒸着ワ−
クがの回転停止を防ぎ、自公転の回転速度を個別に設定
できる真空蒸着装置を提供する。 【解決手段】 内部に蒸着源2を有する真空槽1中に水
平面内に回転可能な環状歯車8が設けられ、この環状歯
車8には求心状に伝動機構の回転により回転する被蒸着
ワ−ク保持部を有するワ−クカセット18が固着されて
いる。真空槽1外部に設けられた第1の電動機23の回
転軸と、環状歯車8に取り付けられた各伝動機構の入力
軸11に係合されているスプロケット15間にはチェ−
ン27が環状に巻掛けらている。また、真空槽1外部に
第1の電動機23とは別個独立に設けられた第2の電動
機34の回転軸と被蒸着ワ−ク22が装着されてい環状
歯車8は公転フレ−ム体回転機構を介し噛合されてい
る。これにより被蒸着ワ−ク22の自公転の回転停止を
防ぎ、自公転の回転速度を個別に設定できる。
クがの回転停止を防ぎ、自公転の回転速度を個別に設定
できる真空蒸着装置を提供する。 【解決手段】 内部に蒸着源2を有する真空槽1中に水
平面内に回転可能な環状歯車8が設けられ、この環状歯
車8には求心状に伝動機構の回転により回転する被蒸着
ワ−ク保持部を有するワ−クカセット18が固着されて
いる。真空槽1外部に設けられた第1の電動機23の回
転軸と、環状歯車8に取り付けられた各伝動機構の入力
軸11に係合されているスプロケット15間にはチェ−
ン27が環状に巻掛けらている。また、真空槽1外部に
第1の電動機23とは別個独立に設けられた第2の電動
機34の回転軸と被蒸着ワ−ク22が装着されてい環状
歯車8は公転フレ−ム体回転機構を介し噛合されてい
る。これにより被蒸着ワ−ク22の自公転の回転停止を
防ぎ、自公転の回転速度を個別に設定できる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の被蒸着物の
表面に、同時に、かつ、均一に蒸着膜を形成し得る真空
蒸着装置に関する。
表面に、同時に、かつ、均一に蒸着膜を形成し得る真空
蒸着装置に関する。
【0002】
【従来の技術】複数の被蒸着物に、同時に、かつ均一に
蒸着膜を形成するために被蒸着物を真空槽内で自公転さ
せる方式の真空蒸着装置としては、図4、図5、図6
(a)、(b)に示される真空蒸着装置が知られている
(特開平10−212580号公報)。 この真空槽1
00内には蒸着源101が配置され、水平面内で回転可
能に公転フレーム102が設置されている。
蒸着膜を形成するために被蒸着物を真空槽内で自公転さ
せる方式の真空蒸着装置としては、図4、図5、図6
(a)、(b)に示される真空蒸着装置が知られている
(特開平10−212580号公報)。 この真空槽1
00内には蒸着源101が配置され、水平面内で回転可
能に公転フレーム102が設置されている。
【0003】公転フレーム102は、環状フレーム10
3とこの環状フレーム103の外周に被嵌され固定部材
により環状フレーム103と一体に固定された環状歯車
104とから構成されている。
3とこの環状フレーム103の外周に被嵌され固定部材
により環状フレーム103と一体に固定された環状歯車
104とから構成されている。
【0004】環状フレ−ム103には複数のワ−クカセ
ット105が求心状に取り付けられて、環状フレーム1
03の内側には、間隔をおいて外周に歯列を形成した環
状の固定歯車106が環状フレーム103とやや軸方向
位置を垂直方向にずらせて同心的に配置されている。
ット105が求心状に取り付けられて、環状フレーム1
03の内側には、間隔をおいて外周に歯列を形成した環
状の固定歯車106が環状フレーム103とやや軸方向
位置を垂直方向にずらせて同心的に配置されている。
【0005】また、環状歯車104は、図示を省略した
回転軸に固着された小歯車107と噛合う減速歯車10
8に噛合されており、電動機109により回転軸が回転
するとこれにつれて回転(公転)するようになってい
る。
回転軸に固着された小歯車107と噛合う減速歯車10
8に噛合されており、電動機109により回転軸が回転
するとこれにつれて回転(公転)するようになってい
る。
【0006】さらに、環状フレーム103上には、遊動
歯車110、110、……110を固着させた複数の出
力軸が等間隔で、かつ各遊動歯車110を固定歯車10
6と噛合わせた状態で立設されている。
歯車110、110、……110を固着させた複数の出
力軸が等間隔で、かつ各遊動歯車110を固定歯車10
6と噛合わせた状態で立設されている。
【0007】これらの各遊動歯車110の出力軸は、被
蒸着ワーク111を自転させる機構に連結されており、
各出力軸の回転によりこれと連結した複数の被蒸着ワー
ク111が自転するようになっている。
蒸着ワーク111を自転させる機構に連結されており、
各出力軸の回転によりこれと連結した複数の被蒸着ワー
ク111が自転するようになっている。
【0008】公転フレーム102上に装着されるワーク
カセット105内の複数の被蒸着ワーク111は、公転
フレーム102により真空槽100内で公転するととも
に出力軸により駆動されて自転し、これによって被蒸着
ワーク111表面には万遍なく蒸着膜が形成される。
カセット105内の複数の被蒸着ワーク111は、公転
フレーム102により真空槽100内で公転するととも
に出力軸により駆動されて自転し、これによって被蒸着
ワーク111表面には万遍なく蒸着膜が形成される。
【0009】図6(a)は、この真空蒸着装置の公転フ
レーム102と遊動歯車110の出力軸の駆動機構を構
成する部材のみを示した平面図で、蒸着作業を行ってい
ない状態を示したものである。
レーム102と遊動歯車110の出力軸の駆動機構を構
成する部材のみを示した平面図で、蒸着作業を行ってい
ない状態を示したものである。
【0010】ところで、蒸着作業の際には、蒸着源10
1を加熱するため公転フレーム102は、加熱されて外
周方向に熱膨張し、環状歯車104は減速歯車108に
強く押付けられ、その反力で公転フレーム102は、減
速歯車108と反対方向に押し出され、環状フレーム1
03上に取付けられた遊動歯車110も公転フレーム1
02の中心から遠ざかる方向に変位する。
1を加熱するため公転フレーム102は、加熱されて外
周方向に熱膨張し、環状歯車104は減速歯車108に
強く押付けられ、その反力で公転フレーム102は、減
速歯車108と反対方向に押し出され、環状フレーム1
03上に取付けられた遊動歯車110も公転フレーム1
02の中心から遠ざかる方向に変位する。
【0011】その結果、図6(b)に示すように、固定
歯車106と遊動歯車110の噛合いが外れて、この遊
動歯車110は公転フレーム102が回転しても自転し
なくなってしまうという問題があった。
歯車106と遊動歯車110の噛合いが外れて、この遊
動歯車110は公転フレーム102が回転しても自転し
なくなってしまうという問題があった。
【0012】また、回転軸に連結する小歯車107近傍
の公転フレーム102外周の歯列は、小歯車107に強
く押付けられるため、回転軸が変形したり、軸受けが破
損したりするという問題もあった。公転フレーム102
中心位置を予め熱膨張した後の状態を想定して設定する
ことも可能ではあるが、それには非常に手間がかかると
いう問題があった。
の公転フレーム102外周の歯列は、小歯車107に強
く押付けられるため、回転軸が変形したり、軸受けが破
損したりするという問題もあった。公転フレーム102
中心位置を予め熱膨張した後の状態を想定して設定する
ことも可能ではあるが、それには非常に手間がかかると
いう問題があった。
【0013】さらに、かかる従来の真空蒸着装置では、
被蒸着ワ−ク111の自転速度は公転速度により決定さ
れてしまうため、公転速度だけ、または自転速度だけを
変更させたい場合、大掛かりな改造が必要になるという
問題があった。
被蒸着ワ−ク111の自転速度は公転速度により決定さ
れてしまうため、公転速度だけ、または自転速度だけを
変更させたい場合、大掛かりな改造が必要になるという
問題があった。
【0014】また、一部の被蒸着ワーク保持部が回転停
止したり伝動機構が回転停止したりなどの不具合が発生
すると、全部の被蒸着ワ−ク111の自転と公転が停止
してしまい、被蒸着ワ−ク111全数が蒸着不良となる
という問題があった。
止したり伝動機構が回転停止したりなどの不具合が発生
すると、全部の被蒸着ワ−ク111の自転と公転が停止
してしまい、被蒸着ワ−ク111全数が蒸着不良となる
という問題があった。
【0015】また、さらに、回転フレームを含めた回転
部分全体の負荷と、伝動機構の入力軸から被蒸着ワ−ク
111の自転機構に至るまでの回転伝達に要する負荷
を、回転軸に連結した小歯車107だけで受けているた
め摩耗が激しく寿命が短かいという問題もあった。
部分全体の負荷と、伝動機構の入力軸から被蒸着ワ−ク
111の自転機構に至るまでの回転伝達に要する負荷
を、回転軸に連結した小歯車107だけで受けているた
め摩耗が激しく寿命が短かいという問題もあった。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる従来の
難点を解消すべくなされたもので、環状歯車の熱膨張が
被蒸着ワーク保持部の回転停止の原因となることを解消
し、また一部の被蒸着物の自転速度と公転速度の個別制
御を可能にし、一部のワークカセットまたは、伝動機構
の回転停止が発生しても、全体の回転停止に至らず他の
被蒸着ワークの自公転を維持することのできる被蒸着物
自公転機構を備えた真空蒸着装置を提供することを目的
とするものである。
難点を解消すべくなされたもので、環状歯車の熱膨張が
被蒸着ワーク保持部の回転停止の原因となることを解消
し、また一部の被蒸着物の自転速度と公転速度の個別制
御を可能にし、一部のワークカセットまたは、伝動機構
の回転停止が発生しても、全体の回転停止に至らず他の
被蒸着ワークの自公転を維持することのできる被蒸着物
自公転機構を備えた真空蒸着装置を提供することを目的
とするものである。
【0017】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明においては、内部に蒸着源を加熱する加熱手
段を備えた真空槽と、前記加熱手段の上方の真空槽頂部
を気密に貫通して配置された第1の回転軸と、前記第1
の回転軸を中心に水平面内で回転可能に保持された公転
フレーム体と、前記公転フレーム体上に所定の間隔をお
いて回転可能に立設された複数の伝導輪と、前記各伝導
輪と前記第1の回転軸に巻掛けられ前記第1の回転軸の
回転により各伝導輪を回転させる伝動輪回転機構と、前
記各伝導輪の近傍に一端が前記公転フレーム体の内側に
固着され他端が前記公転フレーム体の中心に向くよう配
置されるとともに、前記伝導輪と伝動機構を介して連結
されて前記伝導輪の回転により自転する被蒸着ワーク保
持部を有する被蒸着ワーク保持体と、前記真空槽の周辺
に近い頂部を貫通して配置された第2の回転軸と、前記
第2の回転軸と前記公転フレーム体間に介在して前記第
2の回転軸の回転を伝達して前記公転フレーム体を回転
させる公転フレーム体回転機構とを具備することを特徴
としている。
に、本発明においては、内部に蒸着源を加熱する加熱手
段を備えた真空槽と、前記加熱手段の上方の真空槽頂部
を気密に貫通して配置された第1の回転軸と、前記第1
の回転軸を中心に水平面内で回転可能に保持された公転
フレーム体と、前記公転フレーム体上に所定の間隔をお
いて回転可能に立設された複数の伝導輪と、前記各伝導
輪と前記第1の回転軸に巻掛けられ前記第1の回転軸の
回転により各伝導輪を回転させる伝動輪回転機構と、前
記各伝導輪の近傍に一端が前記公転フレーム体の内側に
固着され他端が前記公転フレーム体の中心に向くよう配
置されるとともに、前記伝導輪と伝動機構を介して連結
されて前記伝導輪の回転により自転する被蒸着ワーク保
持部を有する被蒸着ワーク保持体と、前記真空槽の周辺
に近い頂部を貫通して配置された第2の回転軸と、前記
第2の回転軸と前記公転フレーム体間に介在して前記第
2の回転軸の回転を伝達して前記公転フレーム体を回転
させる公転フレーム体回転機構とを具備することを特徴
としている。
【0018】この構成により、自転と公転の速度を個別
に設定することができる。ここで、被蒸着ワーク保持体
としては、少なくとも1つ以上の被蒸着ワークを保持で
きるカセットやホルダ−等が例示される。また、伝動輪
回転機構としてはチェ−ン、ベルト、ロ−プ等の巻き掛
け式の伝導機構が例示され、伝動輪としてはスプロケッ
ト、プ−リ、歯車等の回転体が例示される。
に設定することができる。ここで、被蒸着ワーク保持体
としては、少なくとも1つ以上の被蒸着ワークを保持で
きるカセットやホルダ−等が例示される。また、伝動輪
回転機構としてはチェ−ン、ベルト、ロ−プ等の巻き掛
け式の伝導機構が例示され、伝動輪としてはスプロケッ
ト、プ−リ、歯車等の回転体が例示される。
【0019】また、チェ−ン、ベルト、ロ−プ等の巻き
掛け式の伝導機構に係合されて押圧し、これらの伝導機
構に一定の張力を付与するバネや分銅等を用いたテンシ
ョン機構を設けることにより環状歯車が熱膨脹を起こし
ても伝導輪との係合が解除されないようにすることもで
きる。
掛け式の伝導機構に係合されて押圧し、これらの伝導機
構に一定の張力を付与するバネや分銅等を用いたテンシ
ョン機構を設けることにより環状歯車が熱膨脹を起こし
ても伝導輪との係合が解除されないようにすることもで
きる。
【0020】さらに、前記伝導輪は、回転軸に環状の伝
導輪本体を被嵌させるとともに、シャーピンにより両者
を固定させて構成することが望ましい。
導輪本体を被嵌させるとともに、シャーピンにより両者
を固定させて構成することが望ましい。
【0021】このようにシャーピンで回転軸と伝導輪本
体とを固定することにより、例えば、被蒸着ワーク保持
部内の一つの被蒸着ワークの回転が停止して大きい回転
抵抗が発生した場合には、シャ−ピンが折れて伝動輪が
空転するため他の被蒸着ワークの回転には何ら影響を及
ぼさない。
体とを固定することにより、例えば、被蒸着ワーク保持
部内の一つの被蒸着ワークの回転が停止して大きい回転
抵抗が発生した場合には、シャ−ピンが折れて伝動輪が
空転するため他の被蒸着ワークの回転には何ら影響を及
ぼさない。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【0023】図1は本実施例の真空蒸着装置の側面図で
あり、図2は図1に示した真空蒸着装置の平面図であ
り、図3は図1に示した真空蒸着装置の伝動機構を示す
要部の拡大断面図である。
あり、図2は図1に示した真空蒸着装置の平面図であ
り、図3は図1に示した真空蒸着装置の伝動機構を示す
要部の拡大断面図である。
【0024】図1に示すように、この実施の態様に係る
真空蒸着装置は、真空槽1内の底部に蒸着源2を加熱す
る加熱ヒ−タ(図示せず。)を有し、この真空槽1は真
空処理装置(図示せず。)に接続されて、所定圧力に減
圧可能にされている。
真空蒸着装置は、真空槽1内の底部に蒸着源2を加熱す
る加熱ヒ−タ(図示せず。)を有し、この真空槽1は真
空処理装置(図示せず。)に接続されて、所定圧力に減
圧可能にされている。
【0025】また、真空槽1の側壁の中間部分には支持
フレ−ム3が固設され、この支持フレーム3上には、上
面にV字状の溝5が削設された環状の歯車支持レ−ル4
が水平に配設されている。
フレ−ム3が固設され、この支持フレーム3上には、上
面にV字状の溝5が削設された環状の歯車支持レ−ル4
が水平に配設されている。
【0026】さらに、歯車支持レ−ル4のV状の溝5よ
り内方の内縁部上には後述する環状歯車8のガイド6が
固定されている。
り内方の内縁部上には後述する環状歯車8のガイド6が
固定されている。
【0027】また歯車支持レ−ル4のV状の溝5内に
は、移動可能なベアリングボ−ル7をV状の溝5との間
に介在させて歯車支持レ−ル4と同心的に略歯車支持レ
−ル4と同形状の環状歯車8が載置され、この環状歯車
8はその内周面をガイド6によって規制されつつ、歯車
支持レ−ル4上を周方向に回転可能とされている。
は、移動可能なベアリングボ−ル7をV状の溝5との間
に介在させて歯車支持レ−ル4と同心的に略歯車支持レ
−ル4と同形状の環状歯車8が載置され、この環状歯車
8はその内周面をガイド6によって規制されつつ、歯車
支持レ−ル4上を周方向に回転可能とされている。
【0028】この環状歯車8は、環状体の外周に歯列を
形成させたもので、その下部には環状フレ−ム9が固定
部材により固着されている。この環状歯車8と環状フレ
−ム9で公転フレ−ム体が構成される。環状フレ−ム9
には、図2に示すように、周方向に16等分した位置の
15箇所に被蒸着ワーク22を回転させるための伝動機
構がブラケットを介し固定されている。
形成させたもので、その下部には環状フレ−ム9が固定
部材により固着されている。この環状歯車8と環状フレ
−ム9で公転フレ−ム体が構成される。環状フレ−ム9
には、図2に示すように、周方向に16等分した位置の
15箇所に被蒸着ワーク22を回転させるための伝動機
構がブラケットを介し固定されている。
【0029】図3に示すように、この被蒸着ワーク22
を回転させる伝動機構は、一端にカサ歯車10が固着さ
れた回転可能な入力軸11と、一端にカサ歯車10が固
着され、他端に偏心ピン12を設けられた回転可能な前
記入力軸11と直交する出力軸13と、入力軸11と出
力軸13とを収納するケ−ス14とから構成されてお
り、入力軸11に固着されたカサ歯車10と出力軸13
に固着されたカサ歯車10とが噛合することにより入力
軸11の回転を出力軸13に伝達するように構成されて
いる。
を回転させる伝動機構は、一端にカサ歯車10が固着さ
れた回転可能な入力軸11と、一端にカサ歯車10が固
着され、他端に偏心ピン12を設けられた回転可能な前
記入力軸11と直交する出力軸13と、入力軸11と出
力軸13とを収納するケ−ス14とから構成されてお
り、入力軸11に固着されたカサ歯車10と出力軸13
に固着されたカサ歯車10とが噛合することにより入力
軸11の回転を出力軸13に伝達するように構成されて
いる。
【0030】同図に示されるように、各伝動機構のスプ
ロケット15(伝動輪)は入力軸11に被嵌され、シャ
ーピン17により互いに固定されている。
ロケット15(伝動輪)は入力軸11に被嵌され、シャ
ーピン17により互いに固定されている。
【0031】各伝動機構の出力軸13の端面には、2本
の偏心ピン12が軸心を挟んで突設され、一方、この出
力軸13と連結されるべきワ−クカセット入力軸18a
はその端面が出力軸13の端面と接近されており、ワ−
クカセット入力軸18aの端面に嵌合した曲がりキー1
9を出力軸13端面の両偏心ピン12に係合させて伝動
機構の出力軸13に装着されている。これによって、出
力軸13の回転はワ−クカセット入力軸18aに伝達さ
れる。
の偏心ピン12が軸心を挟んで突設され、一方、この出
力軸13と連結されるべきワ−クカセット入力軸18a
はその端面が出力軸13の端面と接近されており、ワ−
クカセット入力軸18aの端面に嵌合した曲がりキー1
9を出力軸13端面の両偏心ピン12に係合させて伝動
機構の出力軸13に装着されている。これによって、出
力軸13の回転はワ−クカセット入力軸18aに伝達さ
れる。
【0032】また、各ワ−クカセット18(被蒸着ワ−
ク保持体)は、図1に示されるように、環状フレーム9
の内側に等間隔で求心状に設置されており、環状フレ−
ム9にブラケットを介し取り付いるクランプ機構20と
ケ−ス14に取り付けたア−ム21の端部の吊り下げ部
で位置決め固定されている。
ク保持体)は、図1に示されるように、環状フレーム9
の内側に等間隔で求心状に設置されており、環状フレ−
ム9にブラケットを介し取り付いるクランプ機構20と
ケ−ス14に取り付けたア−ム21の端部の吊り下げ部
で位置決め固定されている。
【0033】さらに、ワ−クカセット18内部には伝動
機構の出力軸13の回転を被蒸着ワ−ク22に伝達す
る、図示を省略した被蒸着ワ−ク保持部を有している。
機構の出力軸13の回転を被蒸着ワ−ク22に伝達す
る、図示を省略した被蒸着ワ−ク保持部を有している。
【0034】図1に示すように、真空槽1外部の中央上
方に動力源である第1の電動機23が配設され、真空槽
1の中央頂部をシール機構を介して第1の電動機23に
連結する回転軸導入ユニット24が貫通設置されてい
る。
方に動力源である第1の電動機23が配設され、真空槽
1の中央頂部をシール機構を介して第1の電動機23に
連結する回転軸導入ユニット24が貫通設置されてい
る。
【0035】さらに回転軸導入ユニット24の下端には
回転軸25(第1の回転軸)が連結され、その先端の前
述したスプロケット15とほぼ同一高さの位置には、駆
動スプロケット26が固着されている。この駆動スプロ
ケット26の回転中心は常温時の環状歯車8の中心と一
致させてある。
回転軸25(第1の回転軸)が連結され、その先端の前
述したスプロケット15とほぼ同一高さの位置には、駆
動スプロケット26が固着されている。この駆動スプロ
ケット26の回転中心は常温時の環状歯車8の中心と一
致させてある。
【0036】図2に示すように、回転軸25の駆動スプ
ロケット26と、各伝動機構の入力軸11に結合された
スプロケット15には、チェ−ン27(伝動輪回転機
構)が巻掛けられている。これによって、回転軸25が
回転するとチェーン27を介して各伝導機構のスプロケ
ット15が回転し、これによってワークカセット18が
回転する。
ロケット26と、各伝動機構の入力軸11に結合された
スプロケット15には、チェ−ン27(伝動輪回転機
構)が巻掛けられている。これによって、回転軸25が
回転するとチェーン27を介して各伝導機構のスプロケ
ット15が回転し、これによってワークカセット18が
回転する。
【0037】なお、駆動スプロケット26とスプロケッ
ト15間のチェーン27には、チェ−ン27の張力を一
定に保持するテンション機構が配設されている。
ト15間のチェーン27には、チェ−ン27の張力を一
定に保持するテンション機構が配設されている。
【0038】この実施例で用いられたテンション機構
は、環状歯車8取り付けられたテンションユニット28
と、環状歯車8に取り付けられたロッド29に軸受けを
介して取り付けられて軸方向に摺動する移動ブロック3
0と、移動ブロック30に一端が引掛けられているバネ
31と、移動ブロック30にねじ込み固定された軸にチ
ェ−ン27の必要巻掛け長さを一定に保つように軸受け
を介し取り付られたテンションスプロケット32と、ロ
ッド29に固定された軸に軸受けを介し取り付られた負
荷受けスプロケット33とで構成されている。
は、環状歯車8取り付けられたテンションユニット28
と、環状歯車8に取り付けられたロッド29に軸受けを
介して取り付けられて軸方向に摺動する移動ブロック3
0と、移動ブロック30に一端が引掛けられているバネ
31と、移動ブロック30にねじ込み固定された軸にチ
ェ−ン27の必要巻掛け長さを一定に保つように軸受け
を介し取り付られたテンションスプロケット32と、ロ
ッド29に固定された軸に軸受けを介し取り付られた負
荷受けスプロケット33とで構成されている。
【0039】また、図1に示すように、真空槽1外部の
左上方に第2の電動機34が配設され、第2の電動機3
4の回転軸には小プ−リ35が取付けられ、また、この
第2電動機34と水平方向に間隔をおいて、大プーリ3
7と小歯車39が取付けられた第2の回転軸が、第2の
電動機34の回転軸と平行に配設され、小プーリ35、
大プーリ37間にはベルト36が掛け渡されている。
左上方に第2の電動機34が配設され、第2の電動機3
4の回転軸には小プ−リ35が取付けられ、また、この
第2電動機34と水平方向に間隔をおいて、大プーリ3
7と小歯車39が取付けられた第2の回転軸が、第2の
電動機34の回転軸と平行に配設され、小プーリ35、
大プーリ37間にはベルト36が掛け渡されている。
【0040】大プーリ37の取付けられた第2の回転軸
は、真空槽1の頂部を気密に貫通する回転軸導入ユニッ
ト38の一端に連結されている。
は、真空槽1の頂部を気密に貫通する回転軸導入ユニッ
ト38の一端に連結されている。
【0041】回転軸導入ユニット38の真空槽1内にあ
る出力軸には小歯車39が取付けられ、この小歯車39
は減速歯車40の公転フレ−ム体回転機構を介して環状
歯車8に噛合されている。
る出力軸には小歯車39が取付けられ、この小歯車39
は減速歯車40の公転フレ−ム体回転機構を介して環状
歯車8に噛合されている。
【0042】次に上記構成の真空蒸着装置の動作につい
て説明する。
て説明する。
【0043】まず、真空槽1内に、所定の手順で被蒸着
ワ−ク22、蒸着源2等をセットし、必要に応じて予め
蒸着源2の加熱等を行った後、真空槽1内を所定の減圧
状態にする。
ワ−ク22、蒸着源2等をセットし、必要に応じて予め
蒸着源2の加熱等を行った後、真空槽1内を所定の減圧
状態にする。
【0044】次に、第1の電動機23と第2の電動機3
4とを駆動させる。
4とを駆動させる。
【0045】第1の電動機23が駆動すると回転軸25
が回転する。すると、回転軸25に取付けられた駆動ス
プロケット26はチェーン27を介して、各伝動機構の
スプロケット15を介して入力軸11を回転させ、この
入力軸11に連結する被蒸着ワーク保持部を回転(自
転)させる。このときチェーン27には、図1及び図2
に示すようなテンション機構が設けられているので、チ
ェ−ン27の熱変化による伸縮や、経時的な伸びが発生
してもテンションスプロケット32が最適位置へ移動し
て、チェーン27がスプロケット15から外れたり、強
く張り過ぎたりするのを防止する作用をする。
が回転する。すると、回転軸25に取付けられた駆動ス
プロケット26はチェーン27を介して、各伝動機構の
スプロケット15を介して入力軸11を回転させ、この
入力軸11に連結する被蒸着ワーク保持部を回転(自
転)させる。このときチェーン27には、図1及び図2
に示すようなテンション機構が設けられているので、チ
ェ−ン27の熱変化による伸縮や、経時的な伸びが発生
してもテンションスプロケット32が最適位置へ移動し
て、チェーン27がスプロケット15から外れたり、強
く張り過ぎたりするのを防止する作用をする。
【0046】一方、第2の電動機34が駆動すると、そ
の回転は小プ−リ35からベルト36を介して大プ−リ
37に伝達され、さらに小歯車39から減速歯車40を
介して環状歯車8に伝達される。環状歯車8は環状フレ
ーム9と一体に固着されているので、環状フレーム9に
取付けられた被蒸着ワーク保持部は、環状歯車8の回転
につれて公転することになる。
の回転は小プ−リ35からベルト36を介して大プ−リ
37に伝達され、さらに小歯車39から減速歯車40を
介して環状歯車8に伝達される。環状歯車8は環状フレ
ーム9と一体に固着されているので、環状フレーム9に
取付けられた被蒸着ワーク保持部は、環状歯車8の回転
につれて公転することになる。
【0047】上記のように、この真空蒸着装置は、被蒸
着ワーク保持部の公転と自転を、別系統の駆動源により
行わせるため、各独立した回転速度の制御が可能とな
り、自転、公転の回転速度の組合せを変えることによ
り、被蒸着ワ−ク22の品種、特性、形状の違い等に応
じて最適な条件下で蒸着を行うことができる。
着ワーク保持部の公転と自転を、別系統の駆動源により
行わせるため、各独立した回転速度の制御が可能とな
り、自転、公転の回転速度の組合せを変えることによ
り、被蒸着ワ−ク22の品種、特性、形状の違い等に応
じて最適な条件下で蒸着を行うことができる。
【0048】さらに、図3に示すように本実施例の伝動
機構では、万一、ワ−クカセット18内部の被蒸着ワ−
ク保持部や伝動機構の不具合により被蒸着ワ−ク保持部
が回転不能になって、入力軸11に大きな負荷が加えら
れたような場合には、まず、強度的に弱いシャ−ピン1
7が折れスプロケット15のみが空転するようになる。
これによって、一つの被蒸着ワ−ク保持部に不具合が
発生してその被蒸着ワ−ク保持部が回転を停止しても、
これにより他の被蒸着ワ−ク保持部まで停止するような
ことはなく、不具合の発生したワ−クカセット18以外
の被蒸着ワ−ク22の自転、公転は蒸着を終了するまで
継続される。
機構では、万一、ワ−クカセット18内部の被蒸着ワ−
ク保持部や伝動機構の不具合により被蒸着ワ−ク保持部
が回転不能になって、入力軸11に大きな負荷が加えら
れたような場合には、まず、強度的に弱いシャ−ピン1
7が折れスプロケット15のみが空転するようになる。
これによって、一つの被蒸着ワ−ク保持部に不具合が
発生してその被蒸着ワ−ク保持部が回転を停止しても、
これにより他の被蒸着ワ−ク保持部まで停止するような
ことはなく、不具合の発生したワ−クカセット18以外
の被蒸着ワ−ク22の自転、公転は蒸着を終了するまで
継続される。
【0049】したがって、このような場合、折れたシャ
−ピン17の交換は一連の蒸着作業終了後に行えばよ
く、蒸着途中に真空を破壊し、対処後再排気し、蒸着を
続けるといった、生産性を大きく損なう作業もなくな
る。また、被蒸着ワ−ク保持部が回転不能になった場合
に多かった被蒸着ワ−ク22全数の蒸着不良を引き起こ
すことがなくなる。
−ピン17の交換は一連の蒸着作業終了後に行えばよ
く、蒸着途中に真空を破壊し、対処後再排気し、蒸着を
続けるといった、生産性を大きく損なう作業もなくな
る。また、被蒸着ワ−ク保持部が回転不能になった場合
に多かった被蒸着ワ−ク22全数の蒸着不良を引き起こ
すことがなくなる。
【0050】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではない。
のではない。
【0051】例えば、上記において、テンション機構を
具備する場合のみを記載したが具備しない場合もあり得
る。
具備する場合のみを記載したが具備しない場合もあり得
る。
【0052】また、上記では、各伝動機構の入力軸11
にスプロケット15が軸受けを介し被嵌され、シャーピ
ン17により互いに固定されている場合のみを記載した
が、スプロケット15の回転が入力軸11に伝達されれ
ばシャ−ピン17以外で係合させてもよい。
にスプロケット15が軸受けを介し被嵌され、シャーピ
ン17により互いに固定されている場合のみを記載した
が、スプロケット15の回転が入力軸11に伝達されれ
ばシャ−ピン17以外で係合させてもよい。
【0053】また、伝動輪回転機構としてチェ−ン27
を、伝動輪としてスプロケット15を使用しているが、
例えば、伝動輪回転機構としてベルトやロ−プを使用す
ることができ、伝動輪としてプ−リや歯車を使用しても
よい。さらに、テンション機構においてバネ31を使用
しているが分銅を使用してもよい。
を、伝動輪としてスプロケット15を使用しているが、
例えば、伝動輪回転機構としてベルトやロ−プを使用す
ることができ、伝動輪としてプ−リや歯車を使用しても
よい。さらに、テンション機構においてバネ31を使用
しているが分銅を使用してもよい。
【0054】さらに、伝動機構の出力軸13に被蒸着ワ
−ク保持部を有さないワ−クカセット18とを連結させ
ることにより被蒸着ワ−ク22が装着されているワ−ク
カセット18自体を回転させてもよい。また、本実施例
では伝動機構の入力軸11と出力軸13を直交させてい
るが、スプロケット15の回転を棒状の一軸により伝達
し、スプロケット15と係合されている軸とは逆の軸端
に被蒸着ワーク22を有するか否かに関わらずワ−クカ
セット18を取り付けてもよい。
−ク保持部を有さないワ−クカセット18とを連結させ
ることにより被蒸着ワ−ク22が装着されているワ−ク
カセット18自体を回転させてもよい。また、本実施例
では伝動機構の入力軸11と出力軸13を直交させてい
るが、スプロケット15の回転を棒状の一軸により伝達
し、スプロケット15と係合されている軸とは逆の軸端
に被蒸着ワーク22を有するか否かに関わらずワ−クカ
セット18を取り付けてもよい。
【0055】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば次
のような優れた効果を奏することができる。
のような優れた効果を奏することができる。
【0056】環状歯車の熱膨張による回転停止トラブル
がなくなり生産性が向上し、環状歯車と伝動機構の入力
歯車との位置出し作業が不要である。
がなくなり生産性が向上し、環状歯車と伝動機構の入力
歯車との位置出し作業が不要である。
【0057】また、被蒸着物の各品種、特性、形状の違
い等で要求される蒸着の最適条件に、自転、公転の速度
設定を組み合わせることが容易にでき、自公転回転系の
トラブルにより蒸着途中に真空を破壊し、対処後再排気
し、蒸着を続けるという生産性を大きく損なう作業がな
くなる。さらにこの作業を行った場合に多かった被蒸着
ワ−ク全数の蒸着不良を引き起こすことがなくなる。
い等で要求される蒸着の最適条件に、自転、公転の速度
設定を組み合わせることが容易にでき、自公転回転系の
トラブルにより蒸着途中に真空を破壊し、対処後再排気
し、蒸着を続けるという生産性を大きく損なう作業がな
くなる。さらにこの作業を行った場合に多かった被蒸着
ワ−ク全数の蒸着不良を引き起こすことがなくなる。
【0058】また、万一、一部の伝動機構の入力軸以降
の回転伝達部で回転停止が発生しても、他の被蒸着ワ−
クの自公転は継続されるため、蒸着不良は自転が停止し
たワ−クカセットの被蒸着ワ−クのみの最小限にとどめ
ることができる。
の回転伝達部で回転停止が発生しても、他の被蒸着ワ−
クの自公転は継続されるため、蒸着不良は自転が停止し
たワ−クカセットの被蒸着ワ−クのみの最小限にとどめ
ることができる。
【0059】さらに、小歯車は公転のみの負荷しか受け
ないため、摩耗が少なくなり寿命が延びる。
ないため、摩耗が少なくなり寿命が延びる。
【図1】本実施例の真空蒸着装置の側面図
【図2】本実施例の真空蒸着装置の平面図
【図3】本実施例の真空蒸着装置の伝動機構を示す要部
の拡大断面図
の拡大断面図
【図4】従来技術の真空蒸着装置の側面図
【図5】従来技術の真空蒸着装置の平面図
【図6】従来技術の問題点説明図
1、100……真空槽、 2、101……蒸着源、
8、104………環状歯車、 9、103………環状フ
レ−ム、 10……カサ歯車、 11……入力軸、 1
2……偏心ピン、 13……出力軸、 14……ケ−
ス、 15……スプロケット、 16……軸受け、 1
7……シャ−ピン、 18、105……ワ−クカセッ
ト、 18a……ワ−クカセット入力軸、 19……曲
がりキ−、22、111……被蒸着ワ−ク、 23……
…第1の電動機、 24、38……回転軸導入ユニッ
ト、 25……回転軸、 26……駆動スプロケット、
27……チェ−ン、 28……テンションユニット、
30……移動ブロック、 31……バネ、 32……
テンションスプロケット、 33……負荷受けスプロケ
ット、 34………第2の電動機、
8、104………環状歯車、 9、103………環状フ
レ−ム、 10……カサ歯車、 11……入力軸、 1
2……偏心ピン、 13……出力軸、 14……ケ−
ス、 15……スプロケット、 16……軸受け、 1
7……シャ−ピン、 18、105……ワ−クカセッ
ト、 18a……ワ−クカセット入力軸、 19……曲
がりキ−、22、111……被蒸着ワ−ク、 23……
…第1の電動機、 24、38……回転軸導入ユニッ
ト、 25……回転軸、 26……駆動スプロケット、
27……チェ−ン、 28……テンションユニット、
30……移動ブロック、 31……バネ、 32……
テンションスプロケット、 33……負荷受けスプロケ
ット、 34………第2の電動機、
Claims (3)
- 【請求項1】 内部に蒸着源を加熱する加熱手段を備え
た真空槽と、 前記真空槽上部を貫通する第1の回転軸と、 前記第1の回転軸を中心に水平面内で回転可能に保持さ
れた公転フレーム体と、 前記公転フレーム体上に所定の間隔をおいて回転可能に
立設された複数の伝導輪と、 前記各伝導輪と前記第1の回転軸に巻掛けられ前記第1
の回転軸の回転により各伝導輪を回転させる伝動輪回転
機構と、 前記各伝導輪の近傍の前記公転フレーム体に一端が前記
公転フレーム体の内側に固着され他端が前記公転フレー
ム体の中心に向くよう配置されるとともに、前記伝導輪
と伝動機構を介して連結されて前記伝導輪の回転により
自転する被蒸着ワーク保持部を有する被蒸着ワーク保持
体と、 前記第1の回転軸と離れた位置で真空槽上部を貫通する
第2の回転軸と、 前記第2の回転軸と前記公転フレーム体間に介在して前
記第2の回転軸の回転を伝達して前記公転フレーム体を
回転させる公転フレーム体回転機構とを具備することを
特徴とする真空蒸着装置。 - 【請求項2】 前記伝動輪回転機構の張力を一定に保持
するテンション機構を具備することを特徴とする請求項
1記載の真空蒸着装置。 - 【請求項3】 前記伝導輪は、回転軸に環状の伝導輪本
体を被嵌させ、シャーピンによりこれらを固定してなる
ことを特徴とする請求項1及び2記載の真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11187034A JP2001011624A (ja) | 1999-06-30 | 1999-06-30 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11187034A JP2001011624A (ja) | 1999-06-30 | 1999-06-30 | 真空蒸着装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001011624A true JP2001011624A (ja) | 2001-01-16 |
Family
ID=16199031
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11187034A Pending JP2001011624A (ja) | 1999-06-30 | 1999-06-30 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001011624A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109852935A (zh) * | 2019-04-15 | 2019-06-07 | 浙江世宏实业有限公司 | 一种用于化妆品管的镀彩装置 |
-
1999
- 1999-06-30 JP JP11187034A patent/JP2001011624A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109852935A (zh) * | 2019-04-15 | 2019-06-07 | 浙江世宏实业有限公司 | 一种用于化妆品管的镀彩装置 |
CN109852935B (zh) * | 2019-04-15 | 2023-08-22 | 浙江世宏实业有限公司 | 一种用于化妆品管的镀彩装置 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040420 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061019 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070213 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070703 |