JP2000506263A - 重力方向のレーザスキャナ - Google Patents

重力方向のレーザスキャナ

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Abstract

(57)【要約】 振り子(66)に取り付けられたレーザ(76)と、振り子(66)の運動を減衰させるダンパ80)とを有するレーザスキャナ(50)。レーザスキャナ(50)は、遠隔制御装置(62)により制御され、レーザビームを所望のままに位置決めできる。重力および同時に高さに対してレーザスキャナ(50)を配向するため、水平レーザビームおよび垂直レーザビームの両方を投影できる。

Description

【発明の詳細な説明】 重力方向のレーザスキャナ発明の分野 本発明は、レーザビームを用いて垂直方向および水平方向の少なくとも一方の 方向を測定する機構に関する。発明の背景 重力に対する水平面を測定する分野に、従来技術が存在する。標準トランシッ ト、経緯儀および建設業者の水平器は、三脚取付け式光学装置である。正確であ るためには、このような装置は、三脚に対するユニットの極めて正確なレベリン グ(水平出し)を必要とする。器具マウントに使用される気泡水平器および電子 センサは、精巧で、高価で、かつユニットを新しい位置に移動させる度毎に非常 に手間がかかるものである。発明の概要 従って、レーザビームを、水平方向および垂直方向の少なくとも一方の方向に 向けるレーザスキャナであって、従来技術の欠点を解消できるレーザスキャナを 提供する。レーザスキャナは、ビームの方向を、水平面内で全360°に亘って 回転させることができる。水平レーザビームは、測量または整合(心合わせ)に 使用できる。 本発明の一実施形態のレーザスキャナは、所望の高さを確認できる振り子吊下 げレーザを有している。 本発明の他の形態では、レーザスキャナが遠隔制御される。 本発明の更に別の態様では、レーザスキャナに、レーザが取り付けられた振り 子の運動を減衰させる機構が設けられている。 本発明の更に別の態様では、ダンパが渦電流を利用して減衰作用を生じさせて いる。 本発明の更に別の態様では、振り子の運動を減衰させるため、レーザスキャナ が流体を利用したダンパを有している。 本発明の更に別の態様では、レーザスキャナが垂直ビームおよび水平ビームを 投影でき、レーザスキャナを垂直方向に整合させかつ同時に高さを測定すること ができる。 本発明の他の目的は、低コストの振り子型遠隔制御レーザ位置決め装置を提供 することにある。 本発明の更に別の目的は、高さの測定のための自動レベリング振り子型レーザ 装置を、大工、配管工、職人および商人に提供することにある。 本発明の発明性のある特徴および目的を以下に説明する。図面の簡単な説明 第1図は、慣用的な下げ振りの形態をなす本発明の一実施形態を示す部分断面 図である。 第2図は、基部が取り付けられるように構成された本発明の一実施形態を示す 正面図である。 第3図は、第2図の実施形態を90°だけ回転させた断面図である。 第4図は、第2図の実施形態の手持ち式遠隔制御装置を示す側面図である。 第5図は、第2図の実施形態の回路を示す概略図である。 第6図は、プラットホームから吊り下げるように構成された本発明の他の実施 形態を示す側断面図である。 第7図は、第6図の実施形態の振り子組立体を示す側断面図である。 第8図は、第6図の実施形態のハウジング組立体を示す側断面図である。 第9図は、第6図の実施形態のダッシャ組立体を示す側断面図である。 第10図は、異なる方向における本発明の実施形態を示す第6図と同様な図面 である。 第11図は、第6図に示す本発明の実施形態の部分拡大断面図である。 第12図は、本発明の他の実施形態を示す側断面図である。 第13図は、本発明の更に別の実施形態を示す側面図である。 第14図は、第13図に示す本発明の実施形態の側断面図である。好ましい実施形態の詳細な説明 実施形態I(第1図) レーザスキャナ20は、下げ振りおよび建設業者の水平器の両機能を有する新 しい道具である。この道具は2つのレーザビームを放射すべく整合された90° ビームスプリッタ光学素子24を備えた内部レーザ22(レーザダイオード)を 使用している。すなわち、下向きの垂直ビーム26は、吊下げ点28の真下の垂 直な位置にドットを投影し、これに垂直な水平ビーム30は、重力に対して真に 水平な方向に投影される。本体32を回転させるか、レーザスキャナ20の内部 でビームスプリッタ光学素子24を回転させることにより、90°スプリットビ ームが、重力に対して真に水平な平面を走査する。ビームの放射範囲内のあらゆ る表面上に高さ線(elevation line)を投影できる。ビームスプリッタ光学素子 24は、充電可能なバッテリ36により給電されるモータ34を用いて回転され る。理解されようが、スプリング巻上げ式モータを使用することもできる。 レーザスキャナ20の下向きビーム26は、伝統的な下げ振りに比べ、幾つか の重要な長所をもたらす。レーザスキャナ20は真の垂直マーク点を投影し、こ のため、下げ振りの尖点が、マークすべき対象物とどこで交差するかを見積もる 使用者の仕事が省略される。点が投影されるので、作業面から上方の下げ振りの 高さは厳格でなくてよい。 下向きビーム26はまた、長い糸およびこれに関連する風による誤差を招くこ となく、垂直基準を非常に高いところから投影することができる。レーザスキャ ナ20は短い糸で吊り下げることができ、投影されたビーム26は、ビーム強度 の範囲内で、あらゆる物の上に真の垂直点をマークする。 水平面の特徴(水平ビーム30)は、重力に対するあらゆる物のレベリングの 仕事を簡単化する。作業環境の中間にレーザスキャナ20を吊り下げることによ り、大工の水平器または建設業者の水平器を通常必要とするあらゆる作業を、せ いぜい巻尺程度のスケールを用いて成し遂げることができる。 水平面には、レーザスキャナ20の軸線に対して垂直なビームを回転させるこ とにより投影される。これは、種々の手段により達成できる。1つの方法は、1 つの特定点においてスキャナ20からレーザビームを発光させておくと同時に、 スキャナ20の全体を回転させることである。スキャナ本体32を回転させるの に、電気モータまたは巻上げばねモータを使用できる。他の方法は、スキャナ本 体32に対して垂直なビームを掃引(スイープ)することである。45°傾斜し た反射ミラー、90°ビームスプリッタ、或いは電気モータまたはスプリング駆 動モータを備えた別のレーザビームを回転させることにより、平面には投影され るであろう。スキャナ本体32は約360°の窓38を有し、該窓を通ってビー ムが投影される。 実施形態II(第2図〜第5図) 本発明のレーザスキャナ50の他の実施形態が第2図〜第5図に示されている 。第2図に示すように、レーザスキャナ50は基部52を有し、該基部52上に 、回転可能なハウジング54が取り付けられている。基部52は、例えば机面ま たは三脚の頂部のような安定面上に取り付けることを意図したものである。第2 図から、レーザスキャナ50が更に、レーザビームを投影するポート56と、幅 広の光源58とを有することが理解されよう。光源58は、後述のように、例え ば、ポート56から出るレーザ光の位置を容易に決定することを目的とするLE Dで構成できる。第2図の実施形態は更にアンテナ60を有し、該アンテナは、 遠隔制御装置62(第4図)を用いてレーザスキャナ50に送信するのに使用さ れる。 第3図を参照すると、レーザスキャナ50は枢着ピン64を有し、該枢着ピン から振り子66が吊り下げられている。枢着ピン64は、振り子66を紙面に垂 直な方向に枢動できるようにする。また、振り子66は、紙面に平行に枢動でき るようにする可撓性部材68を介して吊り下げられている。好ましい実施形態で は、可撓性部材68は、Kaptonの商標で市販されているポリイミドで形成される 。 使用できることは理解されよう。 振り子66は細長い本体70を有し、該本体の遠位端には横方向のレーザマウ ント72が設けられている。横方向のレーザマウント72は、レーザ光源を受け 入れることができる横方向ボア74を有している。好ましい実施形態では、レー ザ光源は、適当な光学素子を備えたレーザダイオードからなる。この好ましい実 施形態では、レーザは、650nmの波長をもつ赤色光を発生できる。光はポート 56を通って投影される。 レーザ76の下には調節ねじ78が設けられており、該調節ねじ78は、枢着 ピン64に対する振り子66の重心を調節すべく位置決めできる。 レーザ76の下には、ダンパ装置80も配置されている。ダンパ装置80は、 振り子66の基部に固定された銅ディスク82を有している。ダンパ装置80は 更に、ハウジング54に固定された磁石84を有している。磁石84は、永久磁 石または電磁石で構成できる。振り子66が枢着ピン64に対して揺動すると、 銅ディスク82は磁石84に対して2自由度で揺動する。この揺動により、銅デ ィスク82に渦電流が発生し、振り子66の揺動が減衰される。渦電流を発生さ せて、レーザスキャナ50の振り子66とハウジング54との間に減衰効果を生 じさせるのに他の構成部品および材料を使用できることは理解されよう。第3図 に示すように、ダンパ機構80は、鋼板86、88の間に包囲されている。銅デ ィスク82は、孔92を通る延長部90により振り子66から吊り下げられてい る。この実施形態では、孔92は、振り子66を±3°揺動できるようにするの が好ましい。 ダンパ装置80の下には回路基板94が配置されており、該回路基板94につ いては第5図に関連して詳述する。回路基板94の下にはモータ/ギア装置96 が配置されている。モータ/ギア装置96はモータ98を有し、該モータはDC モータが好ましい。モータ/ギア装置96には、ステップモータおよび他の形式 のモータを使用することもできる。回転可能なハウジング54内には、電池11 0も収容されている。 モータ/ギア装置96は更に、モータ98の軸に取り付けられた第1ギア10 0を有している。回転軸106には、第2および第3ギア102、104が取り 付けられている。ギア104は第4ギア108と噛み合っている。第4ギア10 8は固定されており、基部52に対して移動しない。従って、モータ98を付勢 すると、該モータ98、第2および第3ギア102、104、並びに回転ハウジ ング54の全体が基部52上でかつ第4ギア108の回りで回転する。 回転ハウジング54は、1組のボールベアリング112を介して基部52に取 り付けられている。第3図に示すように、第4固定ギア108が取り付けられた 固定軸114が、基部52の孔116を通って突出している。孔116は、軸1 14が±5°移動できるようにする。かくして、孔92により許容される移動と 相まって、振り子66は、ハウジング基部52に対してあらゆる方向に±約8° 整合できる。ほぼ球状の基部52の下部118は、孔116内での軸114の移 動限度まで、基部52の固定部分120に対して移動できる。 幅広光源58、レーザ76およびアンテナ60の全ては、図示の経跡(traces )により回路基板94に電気的に接続されている。幅広光源58は容易に視認で き、使用者がレーザ76の方向および該レーザから出る光の方向を決定する補助 をする。 第4図は、手持ち式遠隔制御装置62を示す。好ましい実施形態では、遠隔制 御装置62は、無線信号を使用してレーザスキャナ50の位置および運動を制御 する。 遠隔制御装置は、無線技術に限定する必要がないことは理解されよう。任意の 適当な電磁波(ラジオ、マイクロウェーブ、極低周波数、IR、可視光等)も使 用できる。超音波を含む音響通信も使用できる。いかなる遠隔制御も必要としな い音声指令システムを使用することもできる。 この好ましい実施形態では、遠隔制御装置62は、モータにより、回転ハウジ ング54を時計回り方向または反時計回り方向に駆動させるパンボタン(pan b-u tton)122を有している。遠隔制御装置62は更に、レーザダイオードオン/ オフスイッチ124および幅広光源126を有している。遠隔制御装置62は更 に、レーザスキャナ50のメモリに所望位置を記憶させるメモリボタン128と 、回転ハウジング54を記憶位置に戻す戻しボタン130とを有している。 ハウジング54の角速度は、パンボタン122を押すことにより、時計回り方 向または反時計回り方向に、低速から高速まで調節することができる。非常に低 速であれば、レーザを所望の方向に向けることを非常に容易にする。高速であれ ば、大きい角度で変化させるときに時間を節約できる。レーザを連続的に掃引す るユニットの場合には、連続掃引ボタン121が使用される。角速度はまた、掃 引ボタン121に関連してパンボタン122を使用することにより遠隔制御でき る。 第5図は、第3図の回路基板94に設けられる回路を示す概略図である。第5 図に示す回路は、RF受信器132に接続された前述の電池110を有している 。RF受信器132からの信号はデコーダ134で復号され、該デコーダは、デ ータおよび指令をマイクロプロセッサ136に供給する。この実施形態では、マ イクロプロセッサ136は、信号をHブリッジ138に供給する。Hブリッジ1 38は、DCモータ98を正転または逆転させるのに単一の電池の使用を可能に する。この好ましい実施形態では、パルス幅変調信号がマイクロプロセッサ13 6からHブリッジ138に送られ、モータ98を駆動する。また、方向信号がマ イクロプロセッサからHブリッジ138に送られ、モータ98が駆動される方向 を選択する。最後に、マイクロプロセッサ136はHブリッジ138に制動信号 を設定し、モータ98の回転を停止させる。モータ98はエンコーダを有し、該 エンコーダは、モータ98の位置を決定する目的で、エンコーダカウンタ140 に信号を送る。エンコーダカウンタ140はマイクロプロセッサ136と通信し てレーザ76の位置を所望通りに記憶する。最後に、第5図の回路には、幅広光 源58およびレーザ76に適当な電圧を供給する電圧調整器142が示されてい る。 本発明の実施形態の遠隔制御装置の特徴は、本発明に多くの長所を提供する。 第1に、レーザスキャナ50は、該スキャナまで歩く必要なくして遠隔制御でオ ン/オフできるため、レーザスキャナ50内に装填される電池の寿命を延長でき る。他の使用者は、レーザスキャナ50を所望位置に再位置決めするのに、スキ ャナまで戻る必要がない。 レーザスキャナ50は所望のままに回転できかつ所望の固定位置に保持できる ため、弱いレーザ光源を使用できかつ弱いレーザ光源でも使用者が識別できる。 レーザ光源が連続的に走査する場合には、使用者がレーザビームを識別できるよ うにするため、強いレーザ光源を使用しなければならない。また、レーザ光源は 所望位置に停止できるので、測定を行う前にレーザを固定位置に定めることがで き、従って、この実施形態では、レーザスキャナの振動を防止する高価な振動防 止機構を設計する必要がない。このような振動は、レーザ光が目標に当たるとき に、レーザ光の位置に差異を生じさせることがある。レーザスキャナ50は、レ ーザ光をオンにした状態で完全停止位置に位置決めされるので、レーザビームを 用いて水平位置または垂直位置を決定する前に振り子66を固定できる。 実施形態III(第6図〜第11図) 第6図は、本発明の他の実施形態を示すレーザスキャナ150の側断面図であ る。レーザスキャナ150は3つの副組立体からなる。これらの副組立体は、第 7図に示す振り子副組立体152、第8図に示すハウジング副組立体154およ び第9図に示すダッシャ副組立体156である。 第6図および第11図に示すように、振り子152は、その頂部がフィラメン ト158により支持されている。好ましい実施形態では、フィラメント158は ナイロンで形成される。フィラメント158の下には、1対の同心状チューブ、 すなわち振り子152の内側チューブ160および外側チューブ162がある。 フィラメント158は、内側チューブ160の閉鎖上端部164に取り付けられ ている。底板166が、内側チューブ160と外側チューブ162とを連結して いる。両チューブ160、162の間の環状空間には、ダンパ液170が充満さ れている。両チューブ160、162の底部にはウェイト172が取り付けられ ている。好ましい実施形態では、ウェイト172の底部の近くにダイオードレー ザ174が配置されている。レーザ174は、振り子152がフィラメント15 8により支持されたときに水平ビーム176を発生するように整合されている。 内側チューブ160の下端部内には、ダイオードレーザ174に給電する電池1 78が配置されている。フィラメント158および両チューブ間のダンパ液17 0を除く他の全ての振り子部品は、剛体として機能する。 第8図は、ハウジング副組立体154を示す側断面図である。ハウジング15 4は、カバーチューブ180と、端プラグ182と、ギア/モータ装置184と からなる。ギア/モータ装置184は、カバーチューブ180の上端部に配置さ れている。ギア/モータ装置184は、その出力軸186が下向きになるように 配向されている。軸186はカバーチューブ180と同心状である。端プラグ1 82は、ギア/モータ装置184をカバーチューブ180の上端部に取り付けて いる。これらの3つの部品は剛体として機能する。 第9図は、ダッシャ副組立体(dasher subassembly)156を示す側断面図で ある。ダッシャ156は、開放下端部188と、閉鎖上端部190とを備えた垂 直チューブである。閉鎖上端部190から上方に、短い円筒状の軸192が突出 している。軸192はダッシャ156と同心状である。軸192には、軸カップ リング194が取り付けられている。軸192およびカップリング194の内部 には、他の幾つかの小さい部品および特徴が存在するが、これらについては第1 1図に関連して後述する。ダッシャ156およびカップリング194は剛体とし て一体に機能する。 第11図には、3つの副組立体がいかにして一体連結されるかが示されている 。フィラメント158の上端部および振り子152は、ダッシャ組立体156の 上端部に取り付けられる。ダッシャ156は、振り子152の内側チューブ16 0と外側チューブ162との間の環状空間168内に配置される。ダッシャ組立 体156の軸カップリング194は、ギア/モータ装置の出力軸186にクラン プされる。これにより、振り子組立体152およびダッシャ組立体156がカバ ーチューブ180の内部に配置される。レーザダイオード174およびウェイト 172の下部のみがカバーチューブ180の下から突出している。これにより、 振り子152が風から保護される。風からの保護を一層高めるため、透明な管状 窓を付加することもできる。 第11図に示すように、ゴムダイアフラム196は、1つ以上のひだ(convo- lution)を備えた環状の形状を有している。ダイアフラム196の内径部は、ダ ッシャ156の上端部から突出する軸192の周囲をシールする。ダイアフラム 196の外径部は、振り子152の外側チューブ162の上端部をシールする。 ひだ付きダイアフラム196(第11図)は2つの機能を有している。第1の機 能は、液体170が振り子組立体152から漏洩しないようにすることである。 第2の機能は、ダッシャ組立体156と振り子152との間の捩りカップリング として作用することである。第11図に示すように、フィラメント158の上端 部は、端止め金具198内に保持される。この金具198は、フィラメント15 8を支持する。端止め金具198の下に配置されるコイルスプリング200は、 金具198を押し上げて軸カップリング194の底部に当接させた状態に保 持すべく予負荷されている。予負荷の大きさは振り子組立体152の重量より大 きいが、フィラメント158の破断強度より小さい。スプリング200は、フィ ラメント158を破断から保護するのに使用される。振り子152を下方に引っ 張ると、スプリング200が撓み、振り子152が下方に移動するであろう。振 り子152の頂部は、フィラメント158が破断する前にダッシャ156の頂部 に当たりかつ停止するであろう。 フィラメント158は、振り子152が垂直に吊り下げられることを妨げない ように、可撓性を有する必要がある。フィラメント158は、長くなればなるほ ど、可撓性が大きくなる。フィラメント158が長くなるほど、振り子152は 揺れ易くなる。この傾向は、フィラメント158を、小さな孔202に通すこと により低減させる。小さい孔202は、振り子152の横方向運動を拘束するこ とを補助する。 ひだ付きダイアフラム196は、フィラメント158が通る小さな孔202の 回りで心出しされている。振り子152が揺動するとき、振り子152は、孔2 02に非常に近い位置で枢動する傾向がある。この結果、ダイアフラム196が 振り子152に作用するいかなる横方向の力も、振り子152の角度に影響を与 えるほどのモーメントは殆ど引き起こさない。また、ダイアフラム196は枢動 点に近接して配置されているので、振り子152の角度が変化するときに、ダイ アフラム196に生じる撓みは極く僅かである。このため、振り子152に作用 するモーメントは最小である。 前述のように、ダイオードレーザ174は、振り子152がフィラメント15 8により支持されているときにビーム176を発生すべく、振り子152の他の 部品と整合されている。ダッシャ156および振り子152内に収容された液体 170は、振り子152の揺動を減衰すべく機能する。振り子152が揺動する と、液体170とダッシャ156との間には相対運動が生じる(第10図)。この 相対運動により、流体中に粘性牽引力が発生する。これらの力が、揺動振り子1 52のエネルギを消失させる。 通常の使用時には、レーザスキャナ150は、所望の高さで外部支持体に固定 される。ハウジングは垂直に対して約3°以内に整合される。垂直整合させるの に、ハウジング上に配置される1つ以上の気泡水平器を用いることができる(第 13図の実施形態参照)。第10図には、ハウジングと垂直との間に小さな整合 誤差があるレーザスキャナ150が示されている。ハウジング154が垂直に対 して数度以内に整合している限り、振り子152が垂直に自由に吊り下げられる ことが理解されよう。ギア/モータ装置184が付勢されると、その出力軸によ りダッシャ156が回転される。ダッシャ156の回転はダイアフラム196を 介して振り子152に伝達され、これによりレーザ174が回転される。 実施形態IV(第12図) 第12図は、本発明のレーザスキャナ220の他の実施形態を示す。この実施 形態は、多くの点で第6図〜第11図に関連して説明した実施形態と類似してお り、従って同じ参照番号が使用されている。しかしながら、この実施形態220 では、レーザ174が下向きに配向されており、従って垂直ビーム222が放射 される。光学素子224の使用により、水平ビーム176を得ることもできる。 従って、第1図に示した第1実施形態と同様に、この実施形態でも水平ビームお よび垂直ビームの両方が得られ、これにより、レーザスキャナ220を或る位置 から突出させかつ同時に高さを確認することができる。 実施形態V(第13図および第14図) 第13図および第14図には、本発明の更に別の実施形態が示されている。こ の実施形態は、上記幾つかの実施形態の多くの長所を有している。第13図に示 すように、レーザスキャナ250は、上方の固定ハウジング252と、下方の回 転ハウジング254とを有している。上方の固定ハウジング252は、クランプ 256により固定位置に固定される。上方の固定ハウジング252は、レーザス キャナ250へのコース配向の決定を補助する気泡水平器257を有している。 また、レーザスキャナ250が付勢されているときを表示するためのLED光源 258も使用されている。下方の回転ハウジング254の最下端部にはポート2 60が設けられており、該ポート260を通ってレーザダイオードからのレーザ ビーム262が投影される。 第14図から、レーザスキャナ250が、上方の固定ハウジング252に対す る下方の回転ハウジング254の回転を可能にするベアリング装置264を有し ていることが理解されよう。レーザスキャナ250は振り子266を有し、該振 り子には、前述の実施形態に関連して示したのと同じ態様でレーザ268が取り 付けられている。この実施形態は更に、第3図に示した磁気ダンパ機構と同様に 作動するダンパ機構270を有している。産業上の利用可能性 以上より、本発明は、遠隔制御装置を用いて正確かつ容易に作動できる経済的 なレーザスキャナを提供する。本発明のレーザスキャナは、高価な防振要素を用 いないで、振動のない円滑な作動を行うことができる。 添付図面および請求の範囲の記載から、本発明の他の他の特徴、実施形態およ び目的が理解されよう。請求の範囲に記載された本発明の精神および範囲内で、 他の実施形態を考え得ることは理解されよう。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 デュヴァル ユージーン エフ アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94301 パロアルト ホーソーン 120 ス イート 103 (72)発明者 リチャーズ グレゴリー エル アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94301 パロアルト ホーソーン 120 ス イート 103 (72)発明者 バーラム ミッチェル シー アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94301 パロアルト ホーソーン 120 ス イート 103 (72)発明者 アダムス ダニエル ティー アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94301 パロアルト ホーソーン 120 ス イート 103 (72)発明者 スコット ウィリアム エイ アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94301 パロアルト ホーソーン 120 ス イート 103 (72)発明者 シェイファー ディヴィッド シー アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94301 パロアルト ホーソーン 120 ス イート 103

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.ハウジングと、 該ハウジングに取り付けられたレーザと、 前記ハウジングに対して前記レーザを位置決めできる位置決め装置と、 該位置決め装置の方向を定めてレーザを位置決めするため遠隔制御すること ができる制御機構とを有することを特徴とするレーザ位置決め装置。 2.前記ハウジングから遠隔に配置され、前記制御機構を制御することができる 遠隔制御装置を有することを特徴とする請求の範囲第1項に記載のレーザ位置 決め装置。 3.前記レーザからのビームを2つのビームに分割できるスプリッタ光学素子を 有することを特徴とする請求の範囲第1項に記載のレーザ位置決め装置。 4.前記レーザからのビームを水平ビームと垂直ビームとに分割できるスプリッ タ光学素子を有することを特徴とする請求の範囲第1項に記載のレーザ位置決 め装置。 5.前記ハウジングが、下げ振りの形状をなしていることを特徴とする請求の範 囲第1項に記載のレーザ位置決め装置。 6.前記ハウジングは、該ハウジングをプラットホームの下に取り付けることが できるようにマウントを有することを特徴とする請求の範囲第1項に記載のレ ーザ位置決め装置。 7.前記ハウジングは、該ハウジングをプラットホームから吊り下げることがで きるようにマウントを有することを特徴とする請求の範囲第1項に記載のレー ザ位置決め装置。 8.前記ハウジングは、該ハウジングをプラットホームの頂部に取り付けること ができるようにマウントを有することを特徴とする請求の範囲第1項に記載の レーザ位置決め装置。 9.前記ハウジングが、基部と、該基部に回転可能に取り付けられた部分とを有 し、該回転可能部分が前記レーザを収容し、 前記基部が、該基部に対する前記回転可能部分の方向を調節できる機構を有 することを特徴とする請求の範囲第8項に記載のレーザ位置決め装置。 10.前記レーザの方向をおおよそ確認するのに使用できる光源を有することを特 徴とする請求の範囲第1項に記載のレーザ位置決め装置。 11.前記レーザをハウジング内に取り付けるための振り子を有することを特徴と する請求の範囲第1項に記載のレーザ位置決め装置。 12.前記振り子の運動を減衰させるダンパ機構を有することを特徴とする請求の 範囲第11項に記載のレーザ位置決め装置。 13.前記ダンパ機構は、渦電流を用いて前記振り子の運動を減衰させることを特 徴とする請求の範囲第12項に記載のレーザ位置決め装置。 14.前記ダンパ機構は、液体を用いて前記振り子の運動を減衰させることを特徴 とする請求の範囲第12項に記載のレーザ位置決め装置。 15.前記レーザをハウジングから吊り下げることができる可撓性部材を有するこ とを特徴とする請求の範囲第1項に記載のレーザ位置決め装置。 16.前記可撓性部材がポリイミドからなることを特徴とする請求の範囲第15項 に記載のレーザ位置決め装置。 17.前記可撓性部材がハウジングに枢着されていて、前記レーザが2自由度を有 することを特徴とする請求の範囲第15項に記載のレーザ位置決め装置。 18.ハウジングと、 該ハウジング内に取り付けられた振り子と、 該振り子に取り付けられたレーザとを有することを特徴とするレーザによる 高さ測定装置。 19.前記ハウジングが取り付けられる基部を有し、 該基部が支持面上に配置できることを特徴とする請求の範囲第18項に記載 のレーザによる高さ測定装置。 20.前記ハウジングが前記基部に対して回転可能に取り付けられていることを特 徴とする請求の範囲第19項に記載のレーザによる高さ測定装置。 21.前記基部に対してハウジングを回転させることができる遠隔制御装置を有す ることを特徴とする請求の範囲第19項に記載のレーザによる高さ測定装置。 22.前記レーザからのビームを垂直ビームと水平ビームとに分割できる光学素子 を有することを特徴とする請求の範囲第18項に記載のレーザによる高さ測定 装置。 23.前記基部が、前記ハウジングに対して位置決めできることを特徴とする請求 の範囲第18項に記載のレーザによる高さ測定装置。 24.前記可撓性部材がMylarからなることを特徴とする請求の範囲第15項に記 載のレーザによる高さ測定装置。 25.前記振り子を前記ハウジングに取り付ける可撓性部材を有することを特徴と する請求の範囲第18項に記載のレーザによる高さ測定装置。 26.前記可撓性部材が、ポリイミドまたはMylarのいずれか一方で作られている ことを特徴とする請求の範囲第25項に記載のレーザによる高さ測定装置。
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