JP2000339779A - 情報記録媒体の原盤、該原盤製造方法、および該原盤作製用の露光装置 - Google Patents
情報記録媒体の原盤、該原盤製造方法、および該原盤作製用の露光装置Info
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Abstract
面と情報領域の境界にレジストが残りやすい問題)の問
題を解決し、かつ、上記の露光時間の短縮を実現し、さ
らにはスタンパ剥離時のレジスト除去がしやすく、ミラ
ー面と情報領域の境界の欠陥が少ない情報記録媒体の原
盤、および該情報記録媒体の原盤の作成方法、2.スタ
ンパ剥離時のレジスト除去がしやすく、ミラー面と情報
領域の境界の欠陥が少ない情報記録媒体の原盤を作成で
きる露光装置の提供。 【解決手段】 深さの異なるピット及びグルーブが形成
された円盤状の基板上に記録層を有する情報記録媒体作
製用の原盤であって、内周ミラー面および/または外周
ミラー面と情報領域の間にミラー面と情報領域を分離す
る深い溝が作成されたものであることを特徴とする情報
記録媒体の原盤、該原盤製造方法、および該原盤作製用
の露光装置。
Description
Disk Recordable)等の情報記録媒体
(光ディスク)、その型であるスタンパ、原盤、及びそ
の製造方法と製造装置である露光装置に係わる。特に、
深さの異なるピットとグルーブを同一面上に持つ情報記
録媒体とその型であるスタンパ、原盤及びその製造方法
と製造装置である露光装置に係わる。
k Recordable)等の光ディスクは、円盤状
のガラス板にフォトレジスト膜を形成し、これを露光装
置で回転させながらレーザー光を照射してフォトレジス
ト膜にらせん状の潜像を形成し、これを現像して潜像部
分を溶解して、ピット、グルーブを形成し、これに導電
膜をつけ電鋳してスタンパを作る。スタンパを型として
成形板を多量に複製する。これに色素等の記録剤を塗布
し、反射層、保護層を形成して光ディスクは作成され
る。
ブのみが形成され、ここにCDライターで情報が後で記
録されるが、ハイブリッドCD−Rは、一部に露光装置
で情報が予め記録される。このハイブリッドCD−Rの
作成法を図1に説明する。中間層を問に挟んでガラス枚
1上に2層のフォトレジスト2,12を形成し、深いピ
ットと浅いグルーブを露光光量で作り分け、上層フォト
レジスト12の上面から下層フォトレジスト2の下面ま
での探さの深いピットと、上層フォトレジスト12の上
面から下層フォトレジスト2の上面までの深さの浅いグ
ルーブを持つスタンパ7を作成する。これを成形して図
1と同様に全面に記録剤9を塗布し、反射層10、保護
層11を形成して一部に露光装置で情報が予め記録され
たハイブリッドCD−Rが作成される(図1参照)。
6μm、幅約0.3〜0.7μm、フォトレジスト膜と
同じ深さの台形状のグルーブが情報領域15に形成さ
れ、情報領域15の内側の内周ミラー面16と外側の外
周ミラー面は露光されず、グルーブは形成されない。ま
た、ハイブリッドCD−R記録領域10に台形状のグル
ーブが形成され、ROM13は、予め記録される情報の
変調信号が、デジタル変調器20に入力され、ピット1
3が形成される。
ー光3をアナログ変調器22で光量制御信号21により
光量を調整し、デジタル変調器24でデジタル信号23
によりパルス光に変調し(ピットの場合。)、ビームエ
キスパンダー27で太くしたレーザー光3を対物レンズ
20で集光してガラス板1上のフォトレジスト2に照射
する。ガラス板1はターンテーブル29で回転しながら
一定速度で移動するので、図3のように一定ピッチでら
せん状に潜像4が形成される。これを現像すれば、ピッ
ト、グルーブが形成する。
0.3〜0.7μm、フォトレジスト膜厚と同じ探さの
台形状のグルーブが情報領域15に形成され、情報領域
15の内側の内周ミラー面16と、外側の外周ミラー面
17は露光されず、グルーブは形成されない。また、ハ
イブリッドCD−RCD−Rは、記録領域19に台形状の
グルーブ14が形成され、ROM領域18は、予め記録
される情報の変調信号が、デジタル変調器24に入力さ
れ、ピット13が形成される。
特許のハイブリッドCD−Rに関する部分は、図1のよ
うに原盤のミラー面のレジストを露光と現像で取り除い
てしまい、ミラー面の平坦化とスタンパ剥錐後のレジス
ト除去の簡略化を実現している。中間層6を介して2層
レジストを形成した原盤では、ガラス剥離時に図2のよ
うにスタンパの情報領域15との境界のミラー面にレジ
ストが残る。このような場合この残ったレジストをアセ
トン等の溶剤で除去しようとすると、図2のように境界
にレジスト、中間層材料が残ってしまう場合がある。
のレジストの除去を露光と現像で実現しているが、実際
に露光で完全に除去するためには大きな露光光量が必要
でまた、ピッチを小さくしなければならないため、ミラ
ー面全体のレジストを完全に除去する、ためには長大な
露光時間が必要であった。
することにある。 1.前記ミラー面のレジストの除去(特にミラー面と情
報領域の境界にレジストが残りやすい問題)の問題を解
決し、かつ、上記の露光時間の短縮を実現し、さらには
スタンパ剥離時のレジスト除去がしやすく、ミラー面と
情報領域の境界の欠陥が少ない情報記録媒体の原盤、お
よび該情報記録媒体の原盤の作成方法を提供すること、
および 2.スタンパ剥離時のレジスト除去がしやすく、ミラー
面と情報領域の境界の欠陥が少ない情報記録媒体の原盤
を作成できる露光装置を提供すること。
媒体の原盤、情報記録媒体の原盤作製用の露光装置、お
よび情報記録媒体の原盤の製造方法を提供することによ
り、解決することができた。 1.深さの異なるピット及びグルーブが形成された円盤
状の基板上に記録層を有する情報記録媒体作製用の原盤
であって、内周ミラー面および/または外周ミラー面と
情報領域の間にミラー面と情報領域を分離する深い溝が
作成されたものであることを特徴とする情報記録媒体の
原盤。 2.前記の「深い溝」とは、ピットと同じ深さが望まし
いが、グルーブ深さより深ければ効果がある。フォトレ
ジスト膜が形成された円盤状のガラス板を回転させなが
ら集光したレーザー光をらせん状に露光して前記フォト
レジスト膜に情報を記録し、かつ内周ミラー面、情報領
域、外周ミラー面を、情報領域のピッチの1/2以下の
ピッチ、情報領域のピッチ、情報領域のピッチの1/2
以下とピッチを切り換えて連続的に露光する機能を有す
ることを特徴とする情報記録媒体の原盤作製用の露光装
置。 3.フォトレジスト膜が形成された円盤状のガラス枚を
回転させながら集光したしたレーザー光をらせん状に露
光して前記フォトレジスト膜に情報を記録し、かつ内周
ミラー面、情報領域、外周ミラー面を、情報領域のピッ
チの1/2以下のピッチ、情報領域のピッチ、情報領域
のピッチの1/2以下とピッチを切り換えて連続的に露
光することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載
の情報記録媒体の原盤の製造方法。
明する。本発明の第1の実施例を図4に示す。露光工程
以外の情報記録媒体の作成工程は、従来例(図1参照)
と同様である。Niスタンパ7上に下層ポジ型フォトレ
ジスト膜2として、ポジ型フォトレジストを塗布して形
成し、中間層としてPVA6を形成し、さらに上層フォ
トレジスト膜12としてポジ型フォトレジストを塗布す
る。これを内周からグルーブは低い光量で、ピットは高
い光量で露光する。この時、最内周グルーブ露光開始時
に3秒間以上横送りを停止させたまま回転させながら露
光し、その後グルーブの露光を開始する。また、最外周
グルーブ終了後にも、回転させながら3秒間以上横送り
を停止させたまま露光する。これにより、光量をそのま
までも、同じトラックを繰り返し露光することになるの
で、ガラス板面まで露光され、ミラー面と、情報領域を
分離する深い溝35、36を作成できる。これにより、
図4のように、ガラス剥維後のレジスト除去でミラー面
と情報領域の境界にレジスト残りが発生することを抑え
られる。この方法により作成されたCD−Rハイブリッ
ドディスクを図7に示す。ミラー面と情報領域の境界、
特に内側の境界33にレジスト残りが発生すると塗布ム
ラを発生させる原因になっていたが、これをなくすこと
ができる。
のフォトレジストが形成された原盤を内周ミラー面16
の途中から情報記録媒体のピッチの約1/2以下で露光
開始する。露光開始位置は、ミラー面と情報領域の境界
のレジスト残りをなくすためだけであれば、最内周グル
ーブより1mm以上内周からスタートすればよいが、記
録剤の塗布性をよくするため、記録剤が塗布される半径
より内側からスタートする。CD−Rの場合には約20
mmから記録材が塗布され、20mmの少し内側から情
報領域のピッチの約1/2以下で露光開始し、情報領域
でピッチを切り換える。これにより、グルーブと同じ深
さのミラー面17を情報領域の開始位置まで作成するこ
とができる。
録媒体のピッチの約1/2以下にしで情報領域の終了位
置から1mm以上露光する。これにより、グルーブと同
じ探さのミラー面を外周に作成することができる。倍速
露光した場合、半径19mmから61mmまで露光する
と、ミラー面作成に要する時間は、約9分増加するだけ
である。図5のように、ガラス剥離後のレジスト除去で
境界部33、34中間層が除去されているので、ミラー
面と情報領域の境界にレジスト残りが発生することを抑
えられる。この方法により作成されたCD−Rハイブリ
ッドディスクは、ミラー面と情報領域の境界、特に内側
の境界35にレジスト残りがなく、また、平坦性が良
い。
のフォトレジスト2、12が形成された原盤を第2の実
施例と同様に内周ミラー面の途中から情報記録媒体のピ
ッチの約1/2以下で露光開始する。情報領域との境界
まで露光し、ここでピッチを情報領域のピッチに切り換
える前に3秒間以上横送りを停止させたまま回転させな
がら露光し、その後グルーブの露光を開始する。これに
より、情報領域と内周ミラー面の境界にギャップ35を
作成でき、さらに、グルーブと同じ深さのミラー面を内
周に作成することができる。
せながら3秒間以上横送りを停止させたまま露光し、そ
の後ピッチを情報記録媒体のピッチの約1/2以下に切
り換えて情報領域の終了位置から1以上露光する。これ
により、情報領域と外周ミラー面の境界にギャップ36
を作成でき、さらに、グルーブと同じ探さのミラー面を
外周に作成することができる。この時の露光機のピッチ
の制御を図9に示す。この制御方法により、第2の実施
例と同様10分以下の露光時間の増加でグルーブ探さの
ミラー面とギャップを作成でき、レジスト除去時のレジ
スト残りをなくし、高品質なCD−Rハイブリッドディ
スクを作成できる。
基板剥離時のレジスト除去工程でスタンパのミラー面の
情報領域との境界にレジストが残りにくく、スタンパの
レジスト除去後にレジスト等が残ることを防げる。これ
により、スタンパ歩留まりの改善と、情報記録媒体の高
品質化が計れる。 請求項2 ピットと略同じ探さの溝を設けたので、ガラス基板剥離
時のレジスト除去工程で境界部に中間層が残らないの
で、スタンパのレジスト除去後にレジスト等が残ること
を防げ、かつ、ピットと略同じ深さの溝なのでその作成
が容易である。 請求項3 情報領域との境界部のミラー面をグルーブと略同じ深さ
にしたので、ガラス剥離時にスタンパのミラー面の情報
領域との境界に中間層が残らないので、スタンパのレジ
スト除去後にレジスト等が残ることを防げる。かつ、グ
ルーブと略同じ深さのミラー面をレジストが残る可能性
のある境界部だけにしたので、短時間で作成できる。 請求項4〜5 短時間に情報領域の境界部の上層レジストと中間層を現
像工程で除去できる原盤を作製できる。 請求項6〜7 グルーブ深さのミラー面と、ピット深さのミラー面と情
報領域を分離するギャップを短時間で作製できる。
る。
ト、中間層材料が残存することを説明した図である。 (a)ガラス板剥離時の状態。 (b)レジストの除去途中工程の状態。 (c)情報領域境界にレジスト、中間層材料が残存した
状態。
録媒体〔ミラー面16の情報領域との境界部にグルーブ
と同じ深さのミラー面37(通常のミラー面は深さ0)
と深い溝35(ピットと同じ深さを有する。)〕。
媒体。
した図である。
Claims (7)
- 【請求項1】 深さの異なるピット及びグルーブが形成
された円盤状の基板上に記録層を有する情報記録媒体作
製用の原盤であって、内周ミラー面および/または外周
ミラー面と情報領域の間にミラー面と情報領域を分離す
る深い溝が作成されたものであることを特徴とする情報
記録媒体の原盤。 - 【請求項2】 ミラー面と情報領域を分離する深い溝の
探さが、ピットと略同じ探さである請求項1記載の情報
記録媒体の原盤。 - 【請求項3】 深さの異なるピット及びグルーブが形成
された円盤状の基板上に記録層を有する情報記録媒体の
原盤であって、内周ミラー面および/または外周ミラー
面の少なくとも一部をグルーブと略同じ探さにする請求
項1〜2のいずれかに記載の情報記録媒体の原盤。 - 【請求項4】 フォトレジスト膜が形成された円盤状の
ガラス基板を回転させながら集光したしたレーザー光を
らせん状に露光して前記フォトレジスト膜に情報を記録
し、かつ内周ミラー面、情報領域、外周ミラー面を、情
報領域のピッチの1/2以下のピッチ、情報領域のピッ
チ、情報領域のピッチの1/2以下とピッチを切り換え
て連続的に露光する機能を有することを特徴とする情報
記録媒体の原盤作製用の露光装置。 - 【請求項5】 ピッチとピッチを切り替える際に所定時
間円盤状のガラス基板の送りを停止させる手段を有する
請求項4記載の情報記録媒体の原盤作製用の露光装置。 - 【請求項6】 フォトレジスト膜が形成された円盤状の
ガラス枚を回転させながら集光したしたレーザー光をら
せん状に露光して前記フォトレジスト膜に情報を記録
し、かつ内周ミラー面、情報領域、外周ミラー面を、情
報領域のピッチの1/2以下のピッチ、情報領域のピッ
チ、情報領域のピッチの1/2以下とピッチを切り換え
て連続的に露光することを特徴とする請求項1〜3のい
ずれかに記載の情報記録媒体の原盤の製造方法。 - 【請求項7】 ピッチとピッチを切り換える際に所定時
間送りを停止する請求項6記載の情報記録媒体の原盤の
製造方法。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP14402799A JP3672766B2 (ja) | 1999-05-24 | 1999-05-24 | 情報記録媒体の原盤、該原盤製造方法、および該原盤作製用の露光装置 |
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---|---|---|---|
JP14402799A JP3672766B2 (ja) | 1999-05-24 | 1999-05-24 | 情報記録媒体の原盤、該原盤製造方法、および該原盤作製用の露光装置 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3672766B2 (ja) |
-
1999
- 1999-05-24 JP JP14402799A patent/JP3672766B2/ja not_active Expired - Fee Related
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