JP2000338455A - 反射型空間光変調部の組み立て方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 画像品質の低下がなく、信頼性の高い反射型
空間光変調部の組み立て方法を提供する。 【解決手段】 表面に空気孔６Ａ₁、６Ａ₂、６Ａ₃、側
部にこれらの空気孔６Ａ₁、６Ａ₂、６Ａ₃と連通する空
気孔６Ｂ₁、６Ｂ₂を有する注入用ブロック６と固定プロ
ック８との間に弾性体１０を設け、固定ブロック８上に
液晶パネル１４を、フィルタ１５をプリズム１２の底部
に密着固定した後、液晶パネル１４をフィルタ１５に密
着させる。次に、画素電極１８ｒ₁、１８ｒ₂、１８ｒ₃
を駆動させた状態で、Ｒ光をフィルタ１５側から液晶パ
ネル１４に入射させ、画素電極１８ｒ ₁、１８ｒ₂、１８
ｒ₃で反射した出射光パターンがＲ光のＲに対応する画
素電極１８ｒ₁、１８ｒ₂、１８ｒ₃の配列パターンと同
じになっているかどうかを観察しながら液晶パネル１４
を調整して行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、反射型空間光変調
部の組み立て方法に係わり、特に反射型空間光変調部の
液晶パネルとホログラムカラーフィルタとを精度良く位
置合わせする反射型空間光変調部の組み立て方法に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、透過型や反射型の液晶表示素
子を用いた投射型表示装置が知られている。透過型の液
晶表示素子は、液晶を駆動する駆動回路及び配線が液晶
パネルの面内にあって、液晶パネルの表示領域全面に対
する光変調に係わる画素領域の占める割合（以下、開口
率という）が低い。透過型液晶表示素子は、画素数が増
し（高解像度）画素密度が上がると、開口率が低下する
ので、この透過型液晶表示素子を搭載した液晶プロジェ
クタでは高輝度な表示映像を得ることが困難であった。
そこで近年、高輝度、高解像度の液晶プロジェクタとし
て反射型空間光変調素子を用いた液晶プロジェクタが開
発され実用化している。

【０００３】反射型空間光変調素子は、大略、基板上に
所定のピッチを有してマトリクス状に形成された複数の
画素電極と、前記基板と前記画素電極の間に形成され、
前記画素電極を選択的に駆動する駆動回路と、前記画素
電極上に形成された液晶層からなる光変調層とを有して
いる。この反射型空間光変調素子の動作は、前記駆動回
路により前記光変調層に画像情報の書き込みを行うと共
に、前記光変調層側から読出し光を照射し、前記画像情
報に対応して光変調された情報光を放射することによっ
て行われる。

【０００４】従って、反射型空間光変調素子は、高輝
度、高解像度の投射型表示装置を提供するのに好適な液
晶表示素子として注目されている。また、特開平９-１
８９８０９号公報に提案されているホログラムカラーフ
ィルタを備えた反射型空間光変調素子は、光を回折によ
り微小面積に集光することができ、1枚の素子で高密度
カラー画像を表示することができることから注目されて
いる。

【０００５】以下に、従来のホログラムカラーフィルタ
を備えた反射型空間光変調素子について図４を用いて説
明する。なお、以下では、ホログラムカラーフィルタを
備えた反射型空間光変調素子を反射型空間光変調部とい
う。図４は、従来の反射型空間光変調部を示す概略断面
図である。

【０００６】反射型空間光変調部２４は、液晶パネル１
４と、ホログラムカラーフィルタ１５とから構成されて
いる。液晶パネル１４は、シリコン基板１６と、このシ
リコン基板１６上に形成されたアクティブマトリクス駆
動回路１７と、このアクティブマトリクス駆動回路１７
によって選択的に制御駆動される画素電極１８ｒ₁、１
８ｒ₂、１８ｒ₃、１８ｇ₁、１８ｇ₂、１８ｇ₃、１８
ｂ₁、１８ｂ₂、１８ｂ₃をマトリクス状に規則的に配列
せしめた画素電極層１８と、配向膜１９と、液晶層から
なる光変調層２０と、配向膜２１及び透明な共通電極層
２２を備えた薄板ガラス２３とを順次積層した構造を有
している。ここでは、画素電極１８ｒ₁、１８ｒ₂、１８
ｒ₃は、赤色（Ｒ）に対応し、画素電極１８ｇ₁、１８ｇ
₂、１８ｇ₃は、緑色（Ｇ）、画素電極１８ｂ₁、１８
ｂ₂、１８ｂ₃は、青色（Ｂ）に対応する。

【０００７】ホログラムカラーフィルタ１５は、単位ホ
ログラムレンズを規則的に配列したいわゆるホログラム
レンズアレイで構成されており、Ｒ、Ｇ、Ｂの三原色を
含んだ読み出し光（白色光）を各色光毎に回折・分光
し、液晶パネル１４内のＲに対応する画素電極１８
ｒ₁、１８ｒ₂、１８ｒ₃、Ｇに対応する画素電極１８
ｇ₁、１８ｇ₂、１８ｇ₃、Ｂに対応する画素電極１８
ｂ₁、１８ｂ₂、１８ｂ₃の位置へ集光する機能を有す
る。即ち、光束の主光線をＲに対応する画素電極１８ｒ
₁、１８ｒ₂、１８ｒ₃、Ｇに対応する画素電極１８ｇ₁、
１８ｇ₂、１８ｇ₃、Ｂに対応する画素電極１８ｂ₁、１
８ｂ₂、１８ｂ₃に入射させ、かつそのレンズ作用によっ
て光束をＲに対応する画素電極１８ｒ₁、１８ｒ₂、１８
ｒ₃、Ｇに対応する画素電極１８ｇ₁、１８ｇ ₂、１８
ｇ₃、Ｂに対応する画素電極１８ｂ₁、１８ｂ₂、１８ｂ₃
に集束させることができる。

【０００８】この反射型空間光変調部２４の動作は以下
のようにする。アクティブマトリクス駆動回路１７によ
り光変調層２０に画像情報の書き込みを行うと共に、ホ
ログラムカラーフィルタ１５側から所定の角度で読み出
し光を入射させ、各色光毎に回折・分光し、そのレンズ
作用によって液晶パネル１４内のＲに対応する画素電極
１８ｒ₁、１８ｒ₂、１８ｒ₃、Ｇに対応する画素電極１
８ｇ₁、１８ｇ₂、１８ｇ₃、Ｂに対応する画素電極１８
ｂ₁、１８ｂ₂、１８ｂ₃の位置へ集光する。この読み出
し光は、光変調層２０を通過する際、画像情報に対応し
て光変調された情報光として反射型空間光変調部２４の
ホログラムカラーフィルタ１５上方に放射され、この情
報光を投射光として図示しないスクリーン上に投射する
ことによって画像表示することができる。

【０００９】この反射型空間光変調部２４の組み立ては
以下のようにして行う。まず始めに、液晶パネル１４を
以下のようにして組み立てる。シリコン基板１６上にア
クティブマトリクス駆動回路１７と、画素電極層１８
と、配向膜１９とを順次形成する。薄板ガラス２３上に
共通電極層２２と、配向膜２１とを順次形成する。次
に、所定の間隙を有して配向膜１９と配向膜２１とを対
向配置し、シリコン基板１６と薄板ガラス２３とを貼り
合わせる。次に、この液晶パネル１４上に図示しない接
着剤を介してホログラムカラーフィルタ１５を載せ、こ
のホログラムカラーフィルタ１５上から加圧して貼り合
わせる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
反射型空間光変調部２４の組み立て方法は以下の問題点
を有していた。液晶パネル１４とホログラムカラーフィ
ルタ１５とを貼り合わせる際に、加圧するため液晶パネ
ル１４に反りを生じるためシリコン基板１６と薄板ガラ
ス２３との間隙が均一とならず、光変調層２０の厚さム
ラを生じる。このようになると、ホログラムカラーフィ
ルタ１５で回折・分光された各色光に対応する液晶パネ
ル１４内のＲに対応する画素電極１８ｒ₁、１８ｒ₂、１
８ｒ ₃、Ｇに対応する画素電極１８ｇ₁、１８ｇ₂、１８
ｇ₃、Ｂに対応する画素電極１８ｂ₁、１８ｂ₂、１８ｂ₃
の位置へ集光しなくなる。このため、各画素電極で反射
された反射光は、ホログラムカラーフィルタ１５の所定
のホログラムレンズアレイを通過しないので、色ズレや
光抜けを生じたりして画像品質を低下させていた。

【００１１】また、液晶パネル１４とホログラムカラー
フィルタ１５に加えられる力が不均一になると、これら
が互いに歪み、液晶パネル１４とホログラムカラーフィ
ルタ１５との間に隙間を生じ、この隙間が広い所では接
着剤が剥離し、液晶パネル１４とホログラムカラーフィ
ルタ１５とを均一に接着できなくなり、信頼性が低くな
るといった問題を生じていた。そこで、本発明は上記問
題に鑑みて成されたものであり、画像品質の低下がな
く、信頼性の高い反射型空間光変調部の組み立て方法を
提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の反射型空間光変
調部の組み立て方法の第１の発明は、３次元移動台上に
取り付けられ、かつ表面に複数の空気孔が形成された空
気注入用ブロックと、前記空気注入用ブロック上に弾性
体を介して載置された固定ブロックと、前記固定ブロッ
クの上方に配置されたプリズムとからなる組み立て装置
を用いて、少なくとも、基板上に順次形成され、マトリ
クス状に規則正しく配列された各色に対応する画素電極
からなる画素電極層，光変調層，薄板ガラスを有する液
晶パネルとホログラムカラーフィルタとを貼り合わせて
作製される反射型空間光変調部の組み立て方法におい
て、前記液晶パネルを前記固定ブロックの表面に固定す
る一方、前記ホログラムカラーフィルタを前記プリズム
の底部に固定した後、前記液晶パネル上に紫外線硬化型
接着剤を塗布し、前記固定ブロックを空気注入用ブロッ
クと共に上昇させて、前記液晶パネルを前記ホログラム
カラーフィルタに接触させる工程と、次に、前記空気注
入用ブロックの前記複数の空気孔から空気を注入して、
前記空気注入用ブロックの表面から空気を吹き出させ、
この空気圧で前記弾性体を押し上げることによって、前
記固定ブロックを押し上げて前記液晶パネルと前記ホロ
グラムカラーフィルタとを密着させる工程と、続いて、
前記各色の所定色の前記画素電極を選択的に駆動させた
状態で、前記所定色と同じ色光を入射光として、この入
射光の回折角が最大となる入射角で前記プリズムを介し
て前記ホログラムカラーフィルタ側から前記液晶パネル
に入射させ、選択的に駆動させた前記画素電極で反射さ
せた後、前記プリズムの上方から出射させた出射光のパ
ターンを観察して、この出射光のパターンが選択的に駆
動された前記画素電極の配列パターンと同じになるよう
に前記液晶パネルの位置調整する工程と、前記紫外線硬
化型接着剤を硬化する工程とからなることを特徴とす
る。第２の発明として、請求項１記載の反射型空間光変
調部の組み立て方法において、前記入射光は、単一光で
あることを特徴とする。第３の発明として、請求項１又
は２記載の反射型空間光変調部の組み立て方法におい
て、前記固定ブロックは、表面から側部に連通する複数
の孔を有したことを特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の実施形態について以下図
を参照しながら説明する。図１は、本発明の反射型空間
光変調部の組み立て方法に用いられる反射型空間光変調
部組み立て装置を示す概略断面図である。図２は、本発
明の反射型空間光変調部の組み立て方法を示す図であ
る。図１及び図２中、液晶パネル１４は、シリコン基板
１６、画素電極層１８、光変調層２０及び薄板ガラス２
３のみを示し、それ以外の構成を省略してある。また、
図２中、紫外線硬化型接着剤１３は省略してある。図３
は、本発明の反射型空間光変調部の組み立て方法におけ
る反射型空間光変調部の拡大図を示す図である。従来例
と同一構成には同一符号を付し、その説明を省略する。

【００１４】まず始めに、本発明の反射型空間光変調部
２４の組み立て方法に用いられる反射型空間光変調部組
み立て装置（以下略して、組み立て装置という）１につ
いて図１を用いて説明する。図１に示すように、この組
み立て装置１は、テーブル２と、このテーブル２上に順
次載置された固定台３と、回転テーブル４と、ＸＹテー
ブル５と、空気注入用ブロック６とからなる。空気注入
用ブロック６の表面には、複数の空気孔６Ａ₁、６Ａ₂、
６Ａ₃が形成され、またこの側部には第１空気孔６Ａ₁、
６Ａ₂、６Ａ₃と連通する複数の第２空気孔６Ｂ₁、６Ｂ₂
が形成されている。

【００１５】また、テーブル２と固定台３との間には固
定台３乃至空気注入用ブロック６を一体として上下動さ
せるエアシリンダー７が設けられている。更に、空気注
入ブロック６上には、中央部に開口部を有し、上部９
Ａ、９Ａの幅が下部９Ｂ、９Ｂの幅よりも小さい鍵状の
押えブロック９、９が固定されている。この開口部に
は、下部８Ｂの幅が上部８Ａよりも大きい凸状の固定ブ
ロック８が収容できるようになっている。この固定ブロ
ック８には、表面から側部に連通する複数の連通孔８Ｃ
₁、８Ｃ₂が形成されている。後述するように、この複数
の連通孔８Ｃ₁、８Ｃ₂は、シリコン基板１６や薄板ガラ
ス２３が微妙に反った場合にこの連通孔８Ｃ₁、８Ｃ₂か
ら空気を選択的に注入してこの反りを矯正して、シリコ
ン基板１６と薄板ガラス２３との間隙を一定にするため
のものである。

【００１６】空気注入用ブロック６上には、シリコンゴ
ム１０が設けられ、空気注入用ブロック６と固定ブロッ
ク８との間には、留金１１Ａ、１１Ｂが設けられ、この
留金１１Ａ、１１Ｂにより所定の間隙が形成されてい
る。押えブロック９、９は鍵状を有しているので、凸状
の固定ブロック８を下方から押し上げた際、この固定ブ
ロック８がブロック９、９の上部９Ａ、９Ａに接触する
ことによって停止させることができる。空気注入用プロ
ック６の空気孔６Ｂ₁、６Ｂ₂から注入された空気により
シリコンゴム１０と共に、固定ブロック８が押し上げら
れるようになっている。固定ブロック８の上方には、図
示しない支持台に固定された台形状のプリズム１２が設
けられ、このプリズム１２の底部１２Ａにはホログラム
カラーフィルタ１５が装着できるように平坦になってい
る。なお、空気注入用ブロック６の側部の一方の側、例
えば空気孔６Ｂ₁には、圧力計Ｔが取り付けられ、シリ
コンゴム１０と空気注入用ブロック６との間に抽入され
る空気圧を監視できるようになっている。

【００１７】次に、本発明の反射型空間光変調部２４の
組み立て方法について図１及び図２を用いて説明する。 （液晶パネルとホログラムカラーフィルタとの密着工
程）図１に示すように、液晶パネル１４のシリコン基板
１６側を下方に、薄板ガラス２３側を上方に向けて、こ
の液晶パネル１４を固定ブロック８の表面に固定する。
一方、台形状のプリズム１２の底部１２Ａに図示しない
オイルを用いてホログラムカラーフィルタ１５を密着固
定する。この後、液晶パネル１４上に紫外線を照射する
ことにより硬化する紫外硬化型接着剤１３を塗布する。

【００１８】次に、図２に示すように、図示しない駆動
装置を駆動して、エアシリンダー７を稼動させ、固定台
３、回転テーブル４、ＸＹテーブル５、空気注入用ブロ
ック６と共に固定ブロック８を上昇し、液晶パネル１４
がホログラムカラーフィルター１５と接触する位置で停
止する。この後、空気注入用ブロック６の空気孔６Ｂ₂
から空気を導入し、この空気孔６Ｂ₂と連通する空気孔
６Ａ₁、６Ａ₂、６Ａ₃を介して空気注入用ブロック６の
表面から空気を吹き出させ、シリコンゴム１０を押し上
げることによって、更に固定ブロック８を上方に上昇す
る。

【００１９】この空気圧の調整は、圧力計Ｔを見ながら
調整をするので、空気孔６Ａ₁、６Ａ₂、６Ａ₃を介して
空気注入用ブロック６の表面から吹き出る空気圧を最適
に保つことができる。

【００２０】（画素電極層とホログラムカラーフィルタ
との位置合わせ）次に、回転テーブル４やＸＹテーブル
５を用いて、ホログラムカラーフィルタ１５と液晶パネ
ル１４との粗調整を行う。ここでは、以下に説明するホ
ログラムカラーフィルタ１５と液晶パネル１４との微調
整に用いる単一の入射光としては赤色光（Ｒ光）を用い
ることにする。画素電極層１８のＲに対応する画素電極
１８ｒ₁、１８ｒ₂、１８ｒ₃を選択的に駆動させた状態
で、プリズム１２の傾斜部１２Ａ側からホログラムカラ
ーフィルタ１５で回折角が最大となる入射角でＲ光を入
射させ、このホログラムカラーフィルタ１５で回折させ
た後、光変調層２０を介して画素電極層１８で反射させ
た反射光を再び光変調層２０を通過させ、プリズム１２
の上方から出射するＲ光パターンを観察する。

【００２１】このプリズム１２から出射するＲ光のパタ
ーンがマトリクス状に規則正しく配列されたＲに対応す
る画素電極１８ｒ₁、１８ｒ₂、１８ｒ₃の配列パターン
と同じになるように、固定ブロック８に形成されている
連通孔８Ｃ₁、８Ｃ₂に空気を選択的に注入して液晶パネ
ル１４のシリコン基板１６と薄板ガラス２３との間隙を
一定にすると共に、画素電極層１８の画素電極１８
ｒ₁、１８ｒ₂、１８ｒ₃、１８ｇ₁、１８ｇ₂、１８ｇ₃、
１８ｂ₁、１８ｂ₂、１８ｂ₃とこれらに対応するホログ
ラムカラーフィルタ１５のホログラムレンズとの位置が
合うように微調整を行う。

【００２２】画素電極層１８の画素電極１８ｒ₁、１８
ｒ₂、１８ｒ₃、１８ｇ₁、１８ｇ₂、１８ｇ₃、１８ｂ₁、
１８ｂ₂、１８ｂ₃とホログラムカラーフィルタ１５のホ
ログラムレンズとの位置合わせが一致しない場合には、
プリズム１２から出射するＲ光パターンがＲ光と黒レベ
ルの混ざった斑模様となる。この場合は、出射光のパタ
ーンがマトリクス状に規則正しく配列されたＲに対応す
る画素電極１８ｒ₁、１８ｒ₂、１８ｒ₃の配列パターン
と同じになるまで上記した操作を繰り返して画素電極層
１８とホログラムカラーフィルタ１５との位置が合うよ
うにする。

【００２３】ここで、Ｒ光を入射光として用いた場合の
画素電極層１８とホログラムカラーフィルタ１５との位
置合わせを行うことができることについて説明する。Ｒ
光がホログラムカラーフィルタ１５に所定の入射角で入
射し、このホログラムカラーフィルタ１５によって所定
の回折角で回折される場合、入射角とこの回折が最大と
なる回折角との関係は一義的な関係にあるので、Ｒ光が
ホログラムカラーフィルタ１５で回折され、Ｒに対応し
た画素電極１８ｒ₁、１８ｒ₂、１８ｒ ₃を照射するよう
にしたとすると、画素電極１８ｒ₁、１８ｒ₂、１８ｒ₃
が駆動している場合には、画素電極１８ｒ₁、１８ｒ₂、
１８ｒ₃で反射されたＲ光の反射光が光変調層２０で光
変調された後、プリズム１２の上方から出射することに
なる。

【００２４】このように、Ｒ光がＲに対応する画素電極
１８ｒ₁、１８ｒ₂、１８ｒ₃を照射し、この画素電極１
８ｒ₁、１８ｒ₂、１８ｒ₃で反射されてプリズム１２の
上方から出射するＲ光パターンは画素電極１８ｒ₁、１
８ｒ₂、１８ｒ₃がマトリクス状に規則正しく配列されて
いるので、マトリクス状に規則正しく配列されたＲに対
応する画素電極１８ｒ₁、１８ｒ₂、１８ｒ₃の配列パタ
ーンと同じに観察される。この状態は、画素電極層１８
とホログラムカラーフィルタ１５との位置が合った場合
である。

【００２５】一方、Ｒ光が画素電極１８ｒ₁、１８ｒ₂、
１８ｒ₃以外の画素電極１８ｇ₁、１８ｇ₂、１８ｇ₃、１
８ｂ₁、１８ｂ₂、１８ｂ₃を照射した場合には、画素電
極１８ｇ₁、１８ｇ₂、１８ｇ₃、１８ｂ₁、１８ｂ₂、１
８ｂ₃は駆動していないので、これらの画素電極で反射
されるＲ光パターンは出射しない。即ち、ホログラムカ
ラーフィルタ１５で回折したＲ光がＲに対応する画素電
極１８ｒ₁、１８ｒ₂、１８ｒ₃を照射しないので、プリ
ズム１２の上方から出射するＲ光パターンがマトリクス
状に規則正しく配列されたＲに対応する画素電極１８ｒ
₁、１８ｒ₂、１８ｒ₃の配列パターンと異なって観察さ
れ、Ｒ光パターンと黒レベルパターンの混ざった斑模様
となる。この状態は、画素電極層１８とホログラムカラ
ーフィルタ１５との位置が合っていない場合である。

【００２６】このことを利用して、プリズム１２の上方
から出射するＲ光パターンが画素電極１８ｒ₁、１８
ｒ₂、１８ｒ₃の配列パタ−ンと同じであるかＲ光パター
ンと黒レベルパターンとが混ざった斑模様として観察さ
れるかどうかで、Ｒ光、Ｇ光、Ｂ光がそれぞれの色に対
応した画素電極１８ｒ₁、１８ｒ₂、１８ｒ₃、１８ｇ₁、
１８ｇ₂、１８ｇ₃、１８ｂ₁、１８ｂ₂、１８ｂ₃を照射
するようにホログラムカラーフィルタ１５とこれらから
なる画素電極層１８との位置合わせを行うことができ
る。また、Ｇ光やＢ光を入射光として用いた場合には、
画素電極１８ｒ₁、１８ｒ₂、１８ｒ₃、１８ｇ₁、１８ｇ
₂、１８ｇ₃、１８ｂ₁、１８ｂ₂、１８ｂ₃は、マトリク
ス状に規則的に配列されているので、Ｇ光がＧに対応し
た画素電極１８ｇ₁、１８ｇ₂、１８ｇ₃を、Ｂ光がＢに
対応した画素電極１８ｂ₁、１８ｂ₂、１８ｂ ₃を照射す
ることによって、前記と同様にして画素電極層１８とホ
ログラムカラーフィルタ１５との位置合わせを行うこと
ができる。

【００２７】（接着剤硬化工程）この後、紫外効果型接
着剤１３に紫外線を照射することによって硬化させ、ホ
ログラムカラーフィルタ１５を液晶パネル１４に固定し
て、反射型空間光変調部２４を組み立てる。更に、プリ
ズム１２の底部１２Ａを加熱してオイルを溶かしてプリ
ズム１２からホログラムカラーフィルタ１５を取り外し
た後、図示しない駆動装置を駆動させ、エアシリンダー
７を稼動させ、反射型空間光変調部２４が固定された固
定ブロック８を下降させ、この固定ブロック８から反射
型空間光変調部２４を取り外す。なお、前述したよう
に、図２中、紫外線硬化型接着剤１３を省略している。

【００２８】以上のように、本発明の実施形態によれ
ば、液晶パネル１４を固定ブロック８の表面に固定し、
一方ホログラムカラーフィルタ１５をプリズム１２の底
部１２Ａに固定し、固定ブロック８を上方に移動させて
ホログラムカラーフィルタ１５に接触した後、空気注入
用ブロック６の側部から空気を注入して、この表面から
空気を吹き出させ、この空気圧でシリコンゴム１０を押
し上げて液晶パネル１４とホログラムカラーフィルタ１
５を密着させ、Ｒ光、Ｇ光、Ｂ光のいずれか１つを入射
光として、この入射光に対応する色の画素電極１８
ｒ₁、１８ｒ₂、１８ｒ ₃、１８ｇ₁、１８ｇ₂、１８ｇ₃、
１８ｂ₁、１８ｂ₂、１８ｂ₃を選択的に駆動させた状態
で、この入射光の回折角が最大となる入射角でプリズム
１２を介してホログラムカラーフィルタ１５側から液晶
パネル１４に入射させ、この選択的に駆動させた画素電
極１８ｒ₁、１８ｒ₂、１８ｒ₃、１８ｇ₁、１８ｇ₂、１
８ｇ₃、１８ｂ₁、１８ｂ₂、１８ｂ₃で反射させた後、プ
リズム１２上方から出射する出射光パターンと画素電極
１８ｒ₁、１８ｒ₂、１８ｒ₃、１８ｇ₁、１８ｇ₂、１８
ｇ₃、１８ｂ₁、１８ｂ₂、１８ｂ₃の配列パターンとが同
じになるように液晶パネル１４を調整して組み立てるの
で、色ズレや光抜けを生じたりせず画像品質が高い反射
型空間光変調部２４を得ることができる。

【００２９】固定ブロック８に表面から側部に連通する
連通孔８Ｃ₁、８Ｃ₂を形成して、この連通孔８Ｃ₁、８
Ｃ₂に空気を選択的に注入して、液晶パネル１４の位置
調整を行って組み立てるので、液晶パネル１４に反りを
生じることがないため、シリコン基板１６と薄板ガラス
２３との間隙を均一になり、光変調層２０に厚さムラの
ない反射型空間光変調部２４を得ることができる。更
に、液晶パネル１４とホログラムカラーフィルタ１５に
加えられる力が均一になるので、液晶パネル１４及びホ
ログラムカラーフィルタ１５に反りのない信頼性の高い
反射型空間光変調部２４を得ることができる。

【００３０】

【発明の効果】本発明の反射型空間光変調部の組み立て
方法によれば、表面に複数の空気孔が形成された空気注
入用ブロックとこの空気注入用ブロック上に弾性体を介
して載置された固定ブロックと、この固定ブロックの上
方に配置されたプリズムとかなる組み立て装置を用い
て、液晶パネルを前記固定ブロックの表面に固定する一
方、ホログラムカラーフィルタを前記プリズムの底部に
固定した後、前記液晶パネル上に紫外線硬化型接着剤を
塗布し、前記固定ブロックを空気注入用ブロックと共に
上昇させて、前記液晶パネルと前記ホログラムカラーフ
ィルタとを接触させ、更に前記空気注入用ブロックの前
記複数の空気孔から空気を注入して、この表面から空気
を吹き出させ、この空気圧で前記弾性体を押し上げて液
晶パネルとホログラムカラーフィルタを密着させ、各色
の所定色の画素電極を選択的に駆動させた状態で、前記
所定色と同じ色光を入射光として、この入射光の回折各
が最大となる入射角でプリズムを介して前記ホログラム
カラーフィルタ側から前記液晶パネルに入射させ、選択
的に駆動させた前記画素電極で反射させた後、プリズム
上方から出射する出射光パターンと画素電極の配列パタ
ーンとが同じになるように前記液晶パネルの位置調整を
行い、更に紫外線硬化型接着剤を硬化させて前記液晶パ
ネルと前記ホログラムカラーフィルタとを貼り合わせて
作製するので、色ズレや光抜けを生じたりせず画像品質
が高い反射型空間光変調部を得ることができる。また、
前記固定ブロックに表面から側部に連通する複数の連通
孔を形成して、この複数の連通孔に空気を選択的に注入
して、前記液晶パネルの位置調整を行って組み立てるの
で、前記液晶パネルに反りを生じることがないため、シ
リコン基板と薄板ガラスとの間隙を均一になり、光変調
層に厚さムラのない反射型空間光変調部を得ることがで
きる。更に、前記液晶パネルと前記ホログラムカラーフ
ィルタとに加えられる力が均一になるので、前記液晶パ
ネル及び前記ホログラムカラーフィルタに反りのない信
頼性の高い反射型空間光変調部を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の反射型空間光変調部の組み立て方法に
用いられる反射型空間光変調部組み立て装置を示す概略
断面図である。

【図２】本発明の反射型空間光変調部の組み立て方法を
示す図である。

【図３】本発明の反射型空間光変調部の組み立て方法に
おける反射型空間光変調部の拡大図を示す図である。

【図４】従来の反射型空間光変調部を示す概略断面図で
ある。

【符号の説明】

１…反射型空間光変調部組み立て装置、２…テーブル、
３…固定台、４…回転テーブル、５…ＸＹテーブル、６
…空気注入用ブロック、６Ａ₁、６Ａ₂、６Ａ₃…第１空
気孔、６Ｂ₁、６Ｂ₂…第２空気孔、7…エアシリンダ
ー、８…固定ブロック、９…押えブロック、１０…シリ
コンゴム（弾性体）、１２…プリズム、１３…紫外線硬
化型接着剤、１４…液晶パネル、１５…ホログラムカラ
ーフィルタ、１６…シリコン基板、１７…アクティブマ
トリクス駆動回路（駆動回路）、１８…画素電極層、１
８ｒ₁、１８ｒ₂、１８ｒ₃、１８ｇ₁、１８ｇ₂、１８
ｇ₃、１８ｂ₁、１８ｂ₂、１８ｂ₃…画素電極、１９、２
１…配向膜、２０…光変調層、２２…共通電極、２３…
薄板ガラス、２４…反射型空間光変調部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】３次元移動台上に取り付けられ、かつ表面
   に複数の空気孔が形成された空気注入用ブロックと、前
   記空気注入用ブロック上に弾性体を介して載置された固
   定ブロックと、前記固定ブロックの上方に配置されたプ
   リズムとからなる組み立て装置を用いて、少なくとも、
   基板上に順次形成され、マトリクス状に規則正しく配列
   された各色に対応する画素電極からなる画素電極層，光
   変調層，薄板ガラスを有する液晶パネルとホログラムカ
   ラーフィルタとを貼り合わせて作製される反射型空間光
   変調部の組み立て方法において、 前記液晶パネルを前記固定ブロックの表面に固定する一
   方、前記ホログラムカラーフィルタを前記プリズムの底
   部に固定した後、前記液晶パネル上に紫外線硬化型接着
   剤を塗布し、前記固定ブロックを空気注入用ブロックと
   共に上昇させて、前記液晶パネルを前記ホログラムカラ
   ーフィルタに接触させる工程と、 次に、前記空気注入用ブロックの前記複数の空気孔から
   空気を注入して、前記空気注入用ブロックの表面から空
   気を吹き出させ、この空気圧で前記弾性体を押し上げる
   ことによって、前記固定ブロックを押し上げて前記液晶
   パネルと前記ホログラムカラーフィルタとを密着させる
   工程と、 続いて、前記各色の所定色の前記画素電極を選択的に駆
   動させた状態で、前記所定色と同じ色光を入射光とし
   て、この入射光の回折角が最大となる入射角で前記プリ
   ズムを介して前記ホログラムカラーフィルタ側から前記
   液晶パネルに入射させ、選択的に駆動させた前記画素電
   極で反射させた後、前記プリズムの上方から出射させた
   出射光のパターンを観察して、この出射光のパターンが
   選択的に駆動された前記画素電極の配列パターンと同じ
   になるように前記液晶パネルの位置調整する工程と、 前記紫外線硬化型接着剤を硬化する工程とからなること
   を特徴とする反射型空間光変調部の組み立て方法。
2. 【請求項２】前記入射光は、単一光であることを特徴と
   する請求項１記載の反射型空間光変調部の組み立て方
   法。
3. 【請求項３】前記固定ブロックは、表面から側部に連通
   する複数の連通孔を有したことを特徴とする請求項１又
   は２記載の反射型空間光変調部の組み立て方法。