JP2000321039A - 塗装欠陥検査装置及び方法 - Google Patents
塗装欠陥検査装置及び方法Info
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- JP2000321039A JP2000321039A JP11134563A JP13456399A JP2000321039A JP 2000321039 A JP2000321039 A JP 2000321039A JP 11134563 A JP11134563 A JP 11134563A JP 13456399 A JP13456399 A JP 13456399A JP 2000321039 A JP2000321039 A JP 2000321039A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 塗装欠陥の大きさを正確に測定できる塗装欠
陥検査装置及び方法を提供する。 【解決手段】 ＣＣＤカメラ６の画角に合わせて２台の
距離計２０ａ，２０ｂをセットし、ＣＣＤカメラ６とＣ
ＣＤカメラ６の画角方向にある被検査面上の２点との間
の距離を計測する。そして、計測された距離データに基
づいて、所定の計算式により、被検査面に対する撮影距
離と傾きの変化によるＣＣＤカメラ６の視野、ひいては
撮像された画像の１画素当たりの面積の大きさの変化を
補正し、検出された塗装欠陥の大きさ（面積）を補正す
る。
陥検査装置及び方法を提供する。 【解決手段】 ＣＣＤカメラ６の画角に合わせて２台の
距離計２０ａ，２０ｂをセットし、ＣＣＤカメラ６とＣ
ＣＤカメラ６の画角方向にある被検査面上の２点との間
の距離を計測する。そして、計測された距離データに基
づいて、所定の計算式により、被検査面に対する撮影距
離と傾きの変化によるＣＣＤカメラ６の視野、ひいては
撮像された画像の１画素当たりの面積の大きさの変化を
補正し、検出された塗装欠陥の大きさ（面積）を補正す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、自動車工
場において自動車の車体の塗装面の状態（塗装欠陥）を
光学的に検査するのに用いられる塗装欠陥検査装置及び
方法に関する。
場において自動車の車体の塗装面の状態（塗装欠陥）を
光学的に検査するのに用いられる塗装欠陥検査装置及び
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の塗装欠陥検査装置としては、例え
ば、特開平９−１８４７１３号公報や特開平１０−９６
６１５号公報などに記載されたものがある。
ば、特開平９−１８４７１３号公報や特開平１０−９６
６１５号公報などに記載されたものがある。
【０００３】同公報に記載された装置では、ラインを流
れる自動車の車体の塗装面を固定カメラとストライプ照
明を用いて撮像し、時系列的に撮像された複数のストラ
イプ画像（明暗パターン画像）を処理して、塗装面の欠
陥を検出し、その位置と大きさなどをモニタやプリンタ
に出力するようにしている。
れる自動車の車体の塗装面を固定カメラとストライプ照
明を用いて撮像し、時系列的に撮像された複数のストラ
イプ画像（明暗パターン画像）を処理して、塗装面の欠
陥を検出し、その位置と大きさなどをモニタやプリンタ
に出力するようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の塗装欠陥検査装置にあっては、検査用のカメ
ラが固定式であるため、ラインを流れる車体の被検査面
に対する撮影距離と傾きが逐次変化し、その結果、カメ
ラの視野、ひいては撮像された画像の１画素当たりの面
積の大きさも逐次変化するため、欠陥の大きさの判定に
誤差を生じるおそれがあった。すなわち、撮影距離と傾
きが変化すると、同じ大きさの欠陥を撮影しても、同じ
大きさにはならず、撮影距離が近くなるほど欠陥は大き
く撮影され、撮影距離が遠くなるほど欠陥は小さく撮影
されるため、欠陥の大きさを正確に測定することができ
ず、その判定に誤差を生じるおそれがあった。
うな従来の塗装欠陥検査装置にあっては、検査用のカメ
ラが固定式であるため、ラインを流れる車体の被検査面
に対する撮影距離と傾きが逐次変化し、その結果、カメ
ラの視野、ひいては撮像された画像の１画素当たりの面
積の大きさも逐次変化するため、欠陥の大きさの判定に
誤差を生じるおそれがあった。すなわち、撮影距離と傾
きが変化すると、同じ大きさの欠陥を撮影しても、同じ
大きさにはならず、撮影距離が近くなるほど欠陥は大き
く撮影され、撮影距離が遠くなるほど欠陥は小さく撮影
されるため、欠陥の大きさを正確に測定することができ
ず、その判定に誤差を生じるおそれがあった。
【０００５】本発明は、従来の塗装欠陥検査装置におけ
る上記課題に着目してなされたものであり、カメラの視
野の変化を考慮に入れて、欠陥の大きさを正確に測定す
ることができる塗装欠陥検査装置及び方法を提供するこ
とを目的とする。
る上記課題に着目してなされたものであり、カメラの視
野の変化を考慮に入れて、欠陥の大きさを正確に測定す
ることができる塗装欠陥検査装置及び方法を提供するこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、下
記の手段によって達成される。
記の手段によって達成される。
【０００７】（１）本発明に係る塗装欠陥検査装置は、
被検査物の被検査面の塗装欠陥を光学的に検出する塗装
欠陥検査装置において、被検査面上に所定の明暗パター
ンを形成する照明手段と、被検査物との間で相対移動し
ながら、前記照明手段によって被検査面上に形成された
明暗パターンを撮像する撮像手段と、前記撮像手段と該
撮像手段の画角方向にある被検査面上の二以上の点との
間の距離を測定する測距手段と、前記撮像手段によって
時系列的に撮像された複数の明暗パターンの画像データ
を処理して、被検査面の塗装欠陥を検出する処理手段
と、前記測距手段によって測定された距離データに基づ
いて、所定の計算式により、前記処理手段によって検出
された塗装欠陥の大きさを補正する補正手段と、前記処
理手段及び前記補正手段の結果を出力する出力手段とを
有することを特徴とする。
被検査物の被検査面の塗装欠陥を光学的に検出する塗装
欠陥検査装置において、被検査面上に所定の明暗パター
ンを形成する照明手段と、被検査物との間で相対移動し
ながら、前記照明手段によって被検査面上に形成された
明暗パターンを撮像する撮像手段と、前記撮像手段と該
撮像手段の画角方向にある被検査面上の二以上の点との
間の距離を測定する測距手段と、前記撮像手段によって
時系列的に撮像された複数の明暗パターンの画像データ
を処理して、被検査面の塗装欠陥を検出する処理手段
と、前記測距手段によって測定された距離データに基づ
いて、所定の計算式により、前記処理手段によって検出
された塗装欠陥の大きさを補正する補正手段と、前記処
理手段及び前記補正手段の結果を出力する出力手段とを
有することを特徴とする。
【０００８】（２）本発明に係る塗装欠陥検査装置は、
被検査物の被検査面の塗装欠陥を光学的に検出する塗装
欠陥検査装置において、被検査面上に所定の明暗パター
ンを形成する照明手段と、被検査物との間で相対移動し
ながら、前記照明手段によって被検査面上に形成された
明暗パターンを撮像する撮像手段と、被検査物の三次元
ＣＡＤデータと被検査物に対する前記撮像手段の動的相
対位置情報とに基づいてあらかじめ計算された各撮影時
点ごとの前記撮像手段と該撮像手段の画角方向にある被
検査面上の二以上の点との間の距離のデータを記憶する
記憶手段と、前記撮像手段によって時系列的に撮像され
た複数の明暗パターンの画像データを処理して、被検査
面の塗装欠陥を検出する処理手段と、前記記憶手段に記
憶されている距離データに基づいて、所定の計算式によ
り、前記処理手段によって検出された塗装欠陥の大きさ
を補正する補正手段と、前記処理手段及び前記補正手段
の結果を出力する出力手段とを有することを特徴とす
る。
被検査物の被検査面の塗装欠陥を光学的に検出する塗装
欠陥検査装置において、被検査面上に所定の明暗パター
ンを形成する照明手段と、被検査物との間で相対移動し
ながら、前記照明手段によって被検査面上に形成された
明暗パターンを撮像する撮像手段と、被検査物の三次元
ＣＡＤデータと被検査物に対する前記撮像手段の動的相
対位置情報とに基づいてあらかじめ計算された各撮影時
点ごとの前記撮像手段と該撮像手段の画角方向にある被
検査面上の二以上の点との間の距離のデータを記憶する
記憶手段と、前記撮像手段によって時系列的に撮像され
た複数の明暗パターンの画像データを処理して、被検査
面の塗装欠陥を検出する処理手段と、前記記憶手段に記
憶されている距離データに基づいて、所定の計算式によ
り、前記処理手段によって検出された塗装欠陥の大きさ
を補正する補正手段と、前記処理手段及び前記補正手段
の結果を出力する出力手段とを有することを特徴とす
る。
【０００９】（３）本発明に係る塗装欠陥検査方法は、
被検査物の被検査面の塗装欠陥を光学的に検出する塗装
欠陥検査方法において、被検査面上に所定の明暗パター
ンを形成する工程と、被検査物との間で相対移動させな
がら、撮像手段により被検査面上に形成された明暗パタ
ーンを撮像すると共に、前記撮像手段と該撮像手段の画
角方向にある被検査面上の二以上の点との間の距離を測
定する工程と、時系列的に撮像された複数の明暗パター
ンの画像データを処理して、被検査面の塗装欠陥を検出
する工程と、測定された距離データに基づいて、所定の
計算式により、検出された塗装欠陥の大きさを補正する
工程と、補正後の検出された塗装欠陥を出力する工程と
を有することを特徴とする。
被検査物の被検査面の塗装欠陥を光学的に検出する塗装
欠陥検査方法において、被検査面上に所定の明暗パター
ンを形成する工程と、被検査物との間で相対移動させな
がら、撮像手段により被検査面上に形成された明暗パタ
ーンを撮像すると共に、前記撮像手段と該撮像手段の画
角方向にある被検査面上の二以上の点との間の距離を測
定する工程と、時系列的に撮像された複数の明暗パター
ンの画像データを処理して、被検査面の塗装欠陥を検出
する工程と、測定された距離データに基づいて、所定の
計算式により、検出された塗装欠陥の大きさを補正する
工程と、補正後の検出された塗装欠陥を出力する工程と
を有することを特徴とする。
【００１０】（４）本発明に係る塗装欠陥検査方法は、
被検査物の被検査面の塗装欠陥を光学的に検出する塗装
欠陥検査方法において、被検査面上に所定の明暗パター
ンを形成する工程と、被検査物との間で相対移動させな
がら、撮像手段により被検査面上に形成された明暗パタ
ーンを撮像する工程と、時系列的に撮像された複数の明
暗パターンの画像データを処理して、被検査面の塗装欠
陥を検出する工程と、被検査物の三次元ＣＡＤデータと
被検査物に対する前記撮像手段の動的相対位置情報とに
基づいてあらかじめ計算された各撮影時点ごとの前記撮
像手段と該撮像手段の画角方向にある被検査面上の二以
上の点との間の距離のデータに基づいて、所定の計算式
により、検出された塗装欠陥の大きさを補正する工程
と、補正後の検出された塗装欠陥を出力する工程とを有
することを特徴とする。
被検査物の被検査面の塗装欠陥を光学的に検出する塗装
欠陥検査方法において、被検査面上に所定の明暗パター
ンを形成する工程と、被検査物との間で相対移動させな
がら、撮像手段により被検査面上に形成された明暗パタ
ーンを撮像する工程と、時系列的に撮像された複数の明
暗パターンの画像データを処理して、被検査面の塗装欠
陥を検出する工程と、被検査物の三次元ＣＡＤデータと
被検査物に対する前記撮像手段の動的相対位置情報とに
基づいてあらかじめ計算された各撮影時点ごとの前記撮
像手段と該撮像手段の画角方向にある被検査面上の二以
上の点との間の距離のデータに基づいて、所定の計算式
により、検出された塗装欠陥の大きさを補正する工程
と、補正後の検出された塗装欠陥を出力する工程とを有
することを特徴とする。
【００１１】
【発明の効果】本発明によれば、撮像手段と該撮像手段
の画角方向にある被検査面上の二以上の点との間の距離
のデータに基づいて、所定の計算式により、被検査面に
対する撮影距離と傾きの変化によるカメラの視野、ひい
ては撮像された画像の１画素当たりの面積の大きさの変
化を補正することで、検出された塗装欠陥の大きさを補
正するようにしたので、塗装欠陥の大きさを正確に測定
することができる。したがって、欠陥の修正レベルを検
査装置によって判定できるようになり、人による判定の
ばらつきがなくなるため、塗装品質の向上を図ることが
できる。
の画角方向にある被検査面上の二以上の点との間の距離
のデータに基づいて、所定の計算式により、被検査面に
対する撮影距離と傾きの変化によるカメラの視野、ひい
ては撮像された画像の１画素当たりの面積の大きさの変
化を補正することで、検出された塗装欠陥の大きさを補
正するようにしたので、塗装欠陥の大きさを正確に測定
することができる。したがって、欠陥の修正レベルを検
査装置によって判定できるようになり、人による判定の
ばらつきがなくなるため、塗装品質の向上を図ることが
できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を使って、本発明の実
施の形態を説明する。
施の形態を説明する。
【００１３】図１は、本発明の一実施の形態に係る塗装
欠陥検査装置の光学系の構成図であり、同図（Ａ）は、
ストライプ光源の設置例を示し、同図（Ｂ）は、ＣＣＤ
カメラの設置例を示している。また、図２は、ストライ
プ光源とＣＣＤカメラとの位置関係を示す図である。
欠陥検査装置の光学系の構成図であり、同図（Ａ）は、
ストライプ光源の設置例を示し、同図（Ｂ）は、ＣＣＤ
カメラの設置例を示している。また、図２は、ストライ
プ光源とＣＣＤカメラとの位置関係を示す図である。
【００１４】被測定物である自動車の車体１は、台車２
の上に載置された状態で、塗装ブースから検査ステージ
にコンベアによって搬送されてくる。検査ステージに
は、搬送されてきた車体１を取り囲むようにトンネル状
の取付スタンド３に複数の照明装置４が並べて設けられ
ており、これら各照明装置４の内側には同じくトンネル
状のストライプシートスタンド５が配置されている。ス
タンド３に取り付ける照明装置４の個数は、車体１の全
外周面１ａ上にくまなく明暗パターンが映し出されるよ
うな適当な値に設定されている。照明装置４とストライ
プシートスタンド５からストライプ光源（照明手段）が
構成されている。
の上に載置された状態で、塗装ブースから検査ステージ
にコンベアによって搬送されてくる。検査ステージに
は、搬送されてきた車体１を取り囲むようにトンネル状
の取付スタンド３に複数の照明装置４が並べて設けられ
ており、これら各照明装置４の内側には同じくトンネル
状のストライプシートスタンド５が配置されている。ス
タンド３に取り付ける照明装置４の個数は、車体１の全
外周面１ａ上にくまなく明暗パターンが映し出されるよ
うな適当な値に設定されている。照明装置４とストライ
プシートスタンド５からストライプ光源（照明手段）が
構成されている。
【００１５】各照明装置４には、例えば、直管型の蛍光
ランプが複数本取り付けられている。また、ストライプ
シートスタンド５は、例えば、蛍光ランプの光を散乱拡
散させて面光源と同様の光源を作り出す拡散板と、スト
ライプ（明暗縞）パターンを形成させるストライプシー
トとをスタンドに取り付けて構成されている。ストライ
プシートは、縦方向の黒色のストライプを横方向に所定
の間隔で施したものである（図２参照）。
ランプが複数本取り付けられている。また、ストライプ
シートスタンド５は、例えば、蛍光ランプの光を散乱拡
散させて面光源と同様の光源を作り出す拡散板と、スト
ライプ（明暗縞）パターンを形成させるストライプシー
トとをスタンドに取り付けて構成されている。ストライ
プシートは、縦方向の黒色のストライプを横方向に所定
の間隔で施したものである（図２参照）。
【００１６】各照明装置４からの光は、ストライプシー
トスタンド５によって拡散されて面状のストライプ（明
暗）パターンの光（ストライプ光）となって、車体１の
外周面（塗装面である被検査面）１ａ上に照射される。
その結果、車体１の外周面１ａ上にはストライプシート
スタンド５のストライプシートと同様のストライプ状の
明暗パターン（明暗模様）が映し出されることになる。
トスタンド５によって拡散されて面状のストライプ（明
暗）パターンの光（ストライプ光）となって、車体１の
外周面（塗装面である被検査面）１ａ上に照射される。
その結果、車体１の外周面１ａ上にはストライプシート
スタンド５のストライプシートと同様のストライプ状の
明暗パターン（明暗模様）が映し出されることになる。
【００１７】車体１の外周面１ａ上に形成された明暗パ
ターンは、複数（ここでは、Ｎ台）のカラーＣＣＤカメ
ラ（撮像手段）（以下単に「ＣＣＤカメラ」という）６
によって撮像される。ＣＣＤカメラ６もまた車体１を取
り囲むようにトンネル状のカメラスタンド７に取り付け
られている。ＣＣＤカメラ６の取付け個数と位置は、車
体１の全外周面１ａをくまなく撮像できるよう適当に設
定されている。すなわち、各ＣＣＤカメラ６は視野とし
て所定の撮像領域（部位）Ａを持っており、隣り合うＣ
ＣＤカメラ６の撮像領域Ａは連続していることになる。
したがって、設置されているすべてのＣＣＤカメラ６に
よって車体１の全外周面１ａがくまなく映し出されるこ
とになる。
ターンは、複数（ここでは、Ｎ台）のカラーＣＣＤカメ
ラ（撮像手段）（以下単に「ＣＣＤカメラ」という）６
によって撮像される。ＣＣＤカメラ６もまた車体１を取
り囲むようにトンネル状のカメラスタンド７に取り付け
られている。ＣＣＤカメラ６の取付け個数と位置は、車
体１の全外周面１ａをくまなく撮像できるよう適当に設
定されている。すなわち、各ＣＣＤカメラ６は視野とし
て所定の撮像領域（部位）Ａを持っており、隣り合うＣ
ＣＤカメラ６の撮像領域Ａは連続していることになる。
したがって、設置されているすべてのＣＣＤカメラ６に
よって車体１の全外周面１ａがくまなく映し出されるこ
とになる。
【００１８】各ＣＣＤカメラ６（カメラスタンド７）
は、例えば、車体１の移動方向Ｂのストライプシートス
タンド５の前方に配置されている（図２参照）。
は、例えば、車体１の移動方向Ｂのストライプシートス
タンド５の前方に配置されている（図２参照）。
【００１９】また、本実施の形態では、各ＣＣＤカメラ
６に対して１組（２台）の非接触計測式の距離計（測距
手段）２０ａ，２０ｂが取り付けられている。２台の距
離計２０ａ，２０ｂは、対応するＣＣＤカメラ６の画角
に合わせてセットされており、被検査面１ａとＣＣＤカ
メラ６との画角方向の距離を計測する。より詳細には、
対応するＣＣＤカメラ６とこのＣＣＤカメラ６の画角方
向にある被検査面１ａ上の２点Ｐ1 ，Ｐ2 との間の距離
Ｌ1 ，Ｌ2 をそれぞれ計測する（図４、図６参照）。こ
こで、Ｐ1 は、ＣＣＤカメラ６の一番手前側の横視野の
中央位置、Ｐ2は、ＣＣＤカメラ６の一番奥側の横視野
の中央位置、Ｌ1 は、ＣＣＤカメラ６と被検査面１ａ上
の点Ｐ1 との間の計測距離、Ｌ2 は、ＣＣＤカメラ６と
被検査面１ａ上の点Ｐ2 との間の計測距離である。すな
わち、距離計２０ａによって手前側の距離Ｌ1 が計測さ
れ、距離計２０ｂによって奥側の距離Ｌ2 が計測され
る。なお、ＣＣＤカメラ６の画角は、レンズとＣＣＤ素
子の大きさとであらかじめ幾何学的に決まっている。例
えば、３５ミリレンズと１／３インチＣＣＤ素子を使用
した場合、ＣＣＤカメラの画角は、横７.８度、縦５.９
度となる。
６に対して１組（２台）の非接触計測式の距離計（測距
手段）２０ａ，２０ｂが取り付けられている。２台の距
離計２０ａ，２０ｂは、対応するＣＣＤカメラ６の画角
に合わせてセットされており、被検査面１ａとＣＣＤカ
メラ６との画角方向の距離を計測する。より詳細には、
対応するＣＣＤカメラ６とこのＣＣＤカメラ６の画角方
向にある被検査面１ａ上の２点Ｐ1 ，Ｐ2 との間の距離
Ｌ1 ，Ｌ2 をそれぞれ計測する（図４、図６参照）。こ
こで、Ｐ1 は、ＣＣＤカメラ６の一番手前側の横視野の
中央位置、Ｐ2は、ＣＣＤカメラ６の一番奥側の横視野
の中央位置、Ｌ1 は、ＣＣＤカメラ６と被検査面１ａ上
の点Ｐ1 との間の計測距離、Ｌ2 は、ＣＣＤカメラ６と
被検査面１ａ上の点Ｐ2 との間の計測距離である。すな
わち、距離計２０ａによって手前側の距離Ｌ1 が計測さ
れ、距離計２０ｂによって奥側の距離Ｌ2 が計測され
る。なお、ＣＣＤカメラ６の画角は、レンズとＣＣＤ素
子の大きさとであらかじめ幾何学的に決まっている。例
えば、３５ミリレンズと１／３インチＣＣＤ素子を使用
した場合、ＣＣＤカメラの画角は、横７.８度、縦５.９
度となる。
【００２０】なお、各ＣＣＤカメラ６は、一定の時間間
隔（例えば、１／３０秒）ごとに、撮像領域Ａのストラ
イプ画像（明暗パターン画像ともいう）のデータを、後
述するカメラコントロールユニットを介して画像処理装
置に送るようになっている。このとき、車体１は一定の
ラインスピードで一定の方向に移動しているので、ＣＣ
Ｄカメラ６によって一定時間ごとに撮像されるストライ
プ画像は、車体１の外周面１ａ上の撮像部位Ａが一定時
間ごとにずれた画像となる。また、各ＣＣＤカメラ６に
取り付けられた２台の距離計２０ａ，２０ｂは、対応す
るＣＣＤカメラ６の撮像動作と連動して、同じタイミン
グで被検査面１ａとの距離Ｌ1 ，Ｌ2 をそれぞれ計測
し、結果を画像処理装置に送るようになっている。すな
わち、各撮影時点ごとにそれぞれストライプ画像のデー
タと計測距離Ｌ1 ，Ｌ2 のデータとが同時に画像処理装
置に取り込まれるようになっている。
隔（例えば、１／３０秒）ごとに、撮像領域Ａのストラ
イプ画像（明暗パターン画像ともいう）のデータを、後
述するカメラコントロールユニットを介して画像処理装
置に送るようになっている。このとき、車体１は一定の
ラインスピードで一定の方向に移動しているので、ＣＣ
Ｄカメラ６によって一定時間ごとに撮像されるストライ
プ画像は、車体１の外周面１ａ上の撮像部位Ａが一定時
間ごとにずれた画像となる。また、各ＣＣＤカメラ６に
取り付けられた２台の距離計２０ａ，２０ｂは、対応す
るＣＣＤカメラ６の撮像動作と連動して、同じタイミン
グで被検査面１ａとの距離Ｌ1 ，Ｌ2 をそれぞれ計測
し、結果を画像処理装置に送るようになっている。すな
わち、各撮影時点ごとにそれぞれストライプ画像のデー
タと計測距離Ｌ1 ，Ｌ2 のデータとが同時に画像処理装
置に取り込まれるようになっている。
【００２１】また、照明装置取付け用スタンド３の幅Ｃ
は、車体の大きさが異なるいろいろな車種に対応できる
ようにするため、一定の範囲で調整可能である（ストラ
イプシートスタンド５及びカメラスタンド７についても
同様）。
は、車体の大きさが異なるいろいろな車種に対応できる
ようにするため、一定の範囲で調整可能である（ストラ
イプシートスタンド５及びカメラスタンド７についても
同様）。
【００２２】また、ここでは、車体１を移動させる形態
を示したが、これに限定されるわけではない。例えば、
ストライプ光源（照明装置４（取付スタンド３）及びス
トライプシートスタンド５）とＣＣＤカメラ６（カメラ
スタンド７）を動かして車体１の外周面１ａ上の撮像部
位Ａを時間と共に変化させるようにしてもよい。
を示したが、これに限定されるわけではない。例えば、
ストライプ光源（照明装置４（取付スタンド３）及びス
トライプシートスタンド５）とＣＣＤカメラ６（カメラ
スタンド７）を動かして車体１の外周面１ａ上の撮像部
位Ａを時間と共に変化させるようにしてもよい。
【００２３】図３は、本装置の信号処理系の全体構成を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【００２４】Ｎ台のＣＣＤカメラ６はおのおの対応する
カメラコントロールユニット８に接続され、各カメラコ
ントロールユニット８はおのおの対応する画像処理装置
９に接続されている。また、各ＣＣＤカメラ６に取り付
けられた２台の距離計２０ａ，２０ｂは、対応するＣＣ
Ｄカメラ６のカメラコントロールユニット８と画像処理
装置９に接続されている。ＣＣＤカメラ６と距離計２０
ａ，２０ｂの動作は、どちらも、対応するカメラコント
ロールユニット８によって制御される。上記のように、
ＣＣＤカメラ６によって一定時間ごとに撮像された車体
外周面１ａ上のストライプ画像（明暗パターン画像）の
データは、ビデオ信号としてカメラコントロールユニッ
ト８を介して画像処理装置９に送られ、また、距離計２
０ａ，２０ｂによって計測された距離Ｌ1 ，Ｌ2 のデー
タは、撮像されたストライプ画像のデータと同時に同じ
タイミングで直接画像処理装置９に送られる。画像処理
装置９に取り込まれた同一時点のストライプ画像のデー
タと計測距離Ｌ1 ，Ｌ2 のデータは、互いに関連付けら
れて一時保存され、処理される。
カメラコントロールユニット８に接続され、各カメラコ
ントロールユニット８はおのおの対応する画像処理装置
９に接続されている。また、各ＣＣＤカメラ６に取り付
けられた２台の距離計２０ａ，２０ｂは、対応するＣＣ
Ｄカメラ６のカメラコントロールユニット８と画像処理
装置９に接続されている。ＣＣＤカメラ６と距離計２０
ａ，２０ｂの動作は、どちらも、対応するカメラコント
ロールユニット８によって制御される。上記のように、
ＣＣＤカメラ６によって一定時間ごとに撮像された車体
外周面１ａ上のストライプ画像（明暗パターン画像）の
データは、ビデオ信号としてカメラコントロールユニッ
ト８を介して画像処理装置９に送られ、また、距離計２
０ａ，２０ｂによって計測された距離Ｌ1 ，Ｌ2 のデー
タは、撮像されたストライプ画像のデータと同時に同じ
タイミングで直接画像処理装置９に送られる。画像処理
装置９に取り込まれた同一時点のストライプ画像のデー
タと計測距離Ｌ1 ，Ｌ2 のデータは、互いに関連付けら
れて一時保存され、処理される。
【００２５】各画像処理装置９は、処理手段及び補正手
段として機能するもので、ＣＣＤカメラ６によって撮像
された時系列の複数の静止ストライプ画像を処理して、
塗装欠陥の候補点を検出するとともに、距離計２０ａ，
２０ｂによって計測された距離Ｌ1 ，Ｌ2 のデータに基
づいて、検出された欠陥候補点の大きさを補正する機能
を有している。検出された欠陥候補点の位置と大きさ
（補正後の大きさ）などのデータは、内蔵メモリ（ＲＡ
Ｍなど）に記憶される。
段として機能するもので、ＣＣＤカメラ６によって撮像
された時系列の複数の静止ストライプ画像を処理して、
塗装欠陥の候補点を検出するとともに、距離計２０ａ，
２０ｂによって計測された距離Ｌ1 ，Ｌ2 のデータに基
づいて、検出された欠陥候補点の大きさを補正する機能
を有している。検出された欠陥候補点の位置と大きさ
（補正後の大きさ）などのデータは、内蔵メモリ（ＲＡ
Ｍなど）に記憶される。
【００２６】各画像処理装置９には、ホストコンピュー
タ１０が接続されている。ホストコンピュータ１０は、
処理手段として機能するもので、各画像処理装置９から
送られてくる欠陥候補点のデータを処理して、被検査面
１ａにおける塗装欠陥を最終的に認識（検出）するとと
もに、最終認識された塗装欠陥を集計して、所定の表示
形式に編集する（例えば、検出した欠陥の位置と大きさ
を対応する車種の展開図に表示する）機能を有してい
る。ホストコンピュータ１０の処理結果は、出力手段と
してのカラーモニタ１１やカラープリンタ１２に出力さ
れる。
タ１０が接続されている。ホストコンピュータ１０は、
処理手段として機能するもので、各画像処理装置９から
送られてくる欠陥候補点のデータを処理して、被検査面
１ａにおける塗装欠陥を最終的に認識（検出）するとと
もに、最終認識された塗装欠陥を集計して、所定の表示
形式に編集する（例えば、検出した欠陥の位置と大きさ
を対応する車種の展開図に表示する）機能を有してい
る。ホストコンピュータ１０の処理結果は、出力手段と
してのカラーモニタ１１やカラープリンタ１２に出力さ
れる。
【００２７】また、ホストコンピュータ１０には、コン
ベアを駆動するコンベアモータ１３の回転数に応じた数
のパルスを出力するパルスジェネレータ１４が接続され
ている。パルスジェネレータ１４から出力されるパルス
数はラインスピード（車体１の移動速度）に対応してお
り、これにより車体１の移動量を認識することができ
る。
ベアを駆動するコンベアモータ１３の回転数に応じた数
のパルスを出力するパルスジェネレータ１４が接続され
ている。パルスジェネレータ１４から出力されるパルス
数はラインスピード（車体１の移動速度）に対応してお
り、これにより車体１の移動量を認識することができ
る。
【００２８】さらに、ホストコンピュータ１０には、車
体１が検査ステージに入ったこと（車体ＩＮ）を検知す
るためのリミットスイッチ１５と、車体１が検査ステー
ジから出たこと（車体ＯＵＴ）を検知するためのリミッ
トスイッチ１６とが接続されている。ホストコンピュー
タ１０は、各リミットスイッチ１５，１６から車体ＩＮ
情報又は車体ＯＵＴ情報を入力すると、各画像処理装置
９に対して画像処理のＯＮ／ＯＦＦ信号（開始指令又は
終了指令）を出力する。
体１が検査ステージに入ったこと（車体ＩＮ）を検知す
るためのリミットスイッチ１５と、車体１が検査ステー
ジから出たこと（車体ＯＵＴ）を検知するためのリミッ
トスイッチ１６とが接続されている。ホストコンピュー
タ１０は、各リミットスイッチ１５，１６から車体ＩＮ
情報又は車体ＯＵＴ情報を入力すると、各画像処理装置
９に対して画像処理のＯＮ／ＯＦＦ信号（開始指令又は
終了指令）を出力する。
【００２９】なお、ここでは、リミットスイッチ１６を
設けて車体１が検査ステージから出たことを検知するよ
うにしているが、これに限られるわけではない。例え
ば、各ＣＣＤカメラ６からの画像情報をもとに、車体１
が検査ステージから出たことを検出するようにしてもよ
い。
設けて車体１が検査ステージから出たことを検知するよ
うにしているが、これに限られるわけではない。例え
ば、各ＣＣＤカメラ６からの画像情報をもとに、車体１
が検査ステージから出たことを検出するようにしてもよ
い。
【００３０】以上のように構成された本装置における欠
陥検出処理は、下記のようにして行われる。
陥検出処理は、下記のようにして行われる。
【００３１】まず、塗装欠陥の検出原理は、次のとおり
である。
である。
【００３２】塗装面に明暗パターンを形成すると、欠陥
部で光が乱反射し孤立点となって見える。そこで、これ
をＣＣＤカメラ６で撮像し、高速画像処理して、孤立点
（欠陥候補点）とその動きから欠陥の検出を行う。
部で光が乱反射し孤立点となって見える。そこで、これ
をＣＣＤカメラ６で撮像し、高速画像処理して、孤立点
（欠陥候補点）とその動きから欠陥の検出を行う。
【００３３】次に、処理の手順について説明すると、Ｃ
ＣＤカメラ６から被検査面１ａの撮像部位Ａの画像を取
り込み、欠陥部分を検出しやすくするため、所定の強調
処理（例えば、面積判定など）を行って、欠陥候補点を
抽出する。これを撮像時刻の異なる複数の明暗パターン
画像のすべてについて行う。この画像処理を一定時間ご
とに行うと実際の欠陥は車体１と共に移動するが誤検出
した点は動かないため、各画像から抽出した欠陥候補点
の追跡を行い、欠陥かどうか判定する。具体的には、抽
出した欠陥候補点の移動量がパルスジェネレータ１４の
出力から得られる車体１（撮像部位Ａ）の実際の移動量
と等しい場合に限り、その欠陥候補点が車体１の被検査
面１ａ上に実際に存在する欠陥であると決定する。この
ように欠陥候補点の動きを追跡処理することによって、
塗装欠陥を高精度に検出することができる。なお、ここ
では、各静止画像に対する上記の強調処理及び欠陥候補
点抽出処理は、画像処理装置９で行われ、また、時系列
の複数の画像に対する上記の最終的な欠陥決定処理は、
ホストコンピュータ１０で行われる。
ＣＤカメラ６から被検査面１ａの撮像部位Ａの画像を取
り込み、欠陥部分を検出しやすくするため、所定の強調
処理（例えば、面積判定など）を行って、欠陥候補点を
抽出する。これを撮像時刻の異なる複数の明暗パターン
画像のすべてについて行う。この画像処理を一定時間ご
とに行うと実際の欠陥は車体１と共に移動するが誤検出
した点は動かないため、各画像から抽出した欠陥候補点
の追跡を行い、欠陥かどうか判定する。具体的には、抽
出した欠陥候補点の移動量がパルスジェネレータ１４の
出力から得られる車体１（撮像部位Ａ）の実際の移動量
と等しい場合に限り、その欠陥候補点が車体１の被検査
面１ａ上に実際に存在する欠陥であると決定する。この
ように欠陥候補点の動きを追跡処理することによって、
塗装欠陥を高精度に検出することができる。なお、ここ
では、各静止画像に対する上記の強調処理及び欠陥候補
点抽出処理は、画像処理装置９で行われ、また、時系列
の複数の画像に対する上記の最終的な欠陥決定処理は、
ホストコンピュータ１０で行われる。
【００３４】また、検出された塗装欠陥の大きさの補正
は、次のようにして行われる。なお、ここでは、塗装欠
陥の大きさの補正は、欠陥候補点が抽出された段階で行
われる。
は、次のようにして行われる。なお、ここでは、塗装欠
陥の大きさの補正は、欠陥候補点が抽出された段階で行
われる。
【００３５】ＣＣＤカメラ６で正方格子を撮影した場
合、ＣＣＤカメラ６が被検査面１ａに対して傾いている
と、図６に示すように、手前側はＣＣＤカメラ６と被検
査面１ａ上の点Ｐ1 との距離Ｌ1 が短いため視野が小さ
く、奥側はＣＣＤカメラ６と被検査面１ａ上の点Ｐ2 と
の距離Ｌ2 が長いため視野が広くなる。その結果、手前
側では、画像の１画素当たりの面積が奥側よりも小さく
なる。また、ＣＣＤカメラ６で撮像された画像は、図７
に示すように、画像処理において、横画素数×縦画素数
の細かいピクセル（画素）ごとのデータとして扱われ
る。このとき、欠陥の大きさ（面積）は、欠陥画像に含
まれる画素数と１画素当たりの面積とを掛け算して求め
られるため、同じ大きさの欠陥であっても、手前側の欠
陥はより大きく撮影され、奥側の欠陥はより小さく撮影
されることになる。したがって、欠陥の大きさを正確に
測定するためには、ＣＣＤカメラ６の視野の変化を考慮
して、検出された欠陥面積を補正する必要がある。
合、ＣＣＤカメラ６が被検査面１ａに対して傾いている
と、図６に示すように、手前側はＣＣＤカメラ６と被検
査面１ａ上の点Ｐ1 との距離Ｌ1 が短いため視野が小さ
く、奥側はＣＣＤカメラ６と被検査面１ａ上の点Ｐ2 と
の距離Ｌ2 が長いため視野が広くなる。その結果、手前
側では、画像の１画素当たりの面積が奥側よりも小さく
なる。また、ＣＣＤカメラ６で撮像された画像は、図７
に示すように、画像処理において、横画素数×縦画素数
の細かいピクセル（画素）ごとのデータとして扱われ
る。このとき、欠陥の大きさ（面積）は、欠陥画像に含
まれる画素数と１画素当たりの面積とを掛け算して求め
られるため、同じ大きさの欠陥であっても、手前側の欠
陥はより大きく撮影され、奥側の欠陥はより小さく撮影
されることになる。したがって、欠陥の大きさを正確に
測定するためには、ＣＣＤカメラ６の視野の変化を考慮
して、検出された欠陥面積を補正する必要がある。
【００３６】図４と図５は、本実施の形態に係る、距離
計を２個使用した場合の面積変換（補正）の原理を説明
するための図面である。
計を２個使用した場合の面積変換（補正）の原理を説明
するための図面である。
【００３７】ＣＣＤカメラ６に取り付けられた２台の距
離計２０ａ，２０ｂによって被検査面１ａとＣＣＤカメ
ラ６との画角方向の距離（手前側：Ｌ1 、奥側：Ｌ2 ）
が計測される。ここでは、横視野をＸ、縦視野をＹでそ
れぞれ表す。
離計２０ａ，２０ｂによって被検査面１ａとＣＣＤカメ
ラ６との画角方向の距離（手前側：Ｌ1 、奥側：Ｌ2 ）
が計測される。ここでは、横視野をＸ、縦視野をＹでそ
れぞれ表す。
【００３８】まず、計測距離Ｌ1 から、下記の式によ
り、手前側の視野（Ｘ1 ,Ｙ1 ）を求める。
り、手前側の視野（Ｘ1 ,Ｙ1 ）を求める。
【００３９】Ｙ1 ＝Ｌ1 ×ｓｉｎ（縦画角／２）×２ Ｘ1 ＝Ｌ1 ×ｓｉｎ（横画角／２）×２ なお、計測距離Ｌ1 が規定値以外であれば（例えば、視
野が窓などにかかる場合）、当該計算は行わず、欠陥
（欠陥候補点）の面積は、後述するＳ2 のみで計算す
る。
野が窓などにかかる場合）、当該計算は行わず、欠陥
（欠陥候補点）の面積は、後述するＳ2 のみで計算す
る。
【００４０】また、計測距離Ｌ2 から、下記の式によ
り、奥側の視野（Ｘ2 ,Ｙ2 ）を求める。
り、奥側の視野（Ｘ2 ,Ｙ2 ）を求める。
【００４１】Ｙ2 ＝Ｌ2 ×ｓｉｎ（縦画角／２）×２ Ｘ2 ＝Ｌ2 ×ｓｉｎ（横画角／２）×２ なお、計測距離Ｌ2 が規定値以外であれば（例えば、視
野が窓などにかかる場合）、当該計算は行わず、欠陥
（欠陥候補点）の面積は、後述するＳ1 のみで計算す
る。
野が窓などにかかる場合）、当該計算は行わず、欠陥
（欠陥候補点）の面積は、後述するＳ1 のみで計算す
る。
【００４２】次に、上記で求めた各視野の値Ｘ1 ,Ｙ1 ,
Ｘ2 ,Ｙ2 により、下記の式を用いて、 Ｓ1 ＝（Ｘ1 ／横画素数）×（Ｙ1 ／縦画素数） Ｓ2 ＝（Ｘ2 ／横画素数）×（Ｙ2 ／縦画素数） 手前側と奥側の１画素当たりの大きさ（面積）Ｓ1 ,Ｓ2
をそれぞれ求める。
Ｘ2 ,Ｙ2 により、下記の式を用いて、 Ｓ1 ＝（Ｘ1 ／横画素数）×（Ｙ1 ／縦画素数） Ｓ2 ＝（Ｘ2 ／横画素数）×（Ｙ2 ／縦画素数） 手前側と奥側の１画素当たりの大きさ（面積）Ｓ1 ,Ｓ2
をそれぞれ求める。
【００４３】そして、欠陥（欠陥候補点）が存在する重
心座標（画素位置）（ｘ，ｙ）（図７参照）と、欠陥
（欠陥候補点）に含まれる画素数の検出値Ｑと、上記１
画素当たりの面積Ｓ1 ,Ｓ2 とから、下記の比例計算に
より、 欠陥真面積＝Ｑ×｛（Ｓ1 ×（縦画素数−ｙ）／縦画素
数＋Ｓ2 ×（ｙ／縦画素数）｝ 欠陥（欠陥候補点）の大きさを画素数から面積に変換し
て、補正された真の面積を得る。
心座標（画素位置）（ｘ，ｙ）（図７参照）と、欠陥
（欠陥候補点）に含まれる画素数の検出値Ｑと、上記１
画素当たりの面積Ｓ1 ,Ｓ2 とから、下記の比例計算に
より、 欠陥真面積＝Ｑ×｛（Ｓ1 ×（縦画素数−ｙ）／縦画素
数＋Ｓ2 ×（ｙ／縦画素数）｝ 欠陥（欠陥候補点）の大きさを画素数から面積に変換し
て、補正された真の面積を得る。
【００４４】なお、上記の計算式において、Ｙ1 とＹ2
を求める式は、ＣＣＤカメラ６に対して撮像部位（被検
査面１ａ）が横視野方向に直角時の視野になる場合を前
提としており、傾きがある実際の視野とは異なるため、
近似式となる。したがって、その傾きによる補正を加え
れば、もっと正確に欠陥（欠陥候補点）の大きさ（面
積）を求めることができる。
を求める式は、ＣＣＤカメラ６に対して撮像部位（被検
査面１ａ）が横視野方向に直角時の視野になる場合を前
提としており、傾きがある実際の視野とは異なるため、
近似式となる。したがって、その傾きによる補正を加え
れば、もっと正確に欠陥（欠陥候補点）の大きさ（面
積）を求めることができる。
【００４５】また、ここでは、各ＣＣＤカメラ６に対し
て２台の距離計２０ａ，２０ｂを使用しているが、使用
する距離計の個数はこれに限定されない。距離計の個数
を増やして同様な処理を行うことで、きめ細かな距離計
測や被検査面の形状予測が可能となり、被検査面が複雑
な形状になっても、各部位での１画素当たりの面積を正
確に求めることができる。例えば、図６において、４台
の距離計を使用して視野の４隅の点とＣＣＤカメラとの
距離を計測することで、より一層正確に欠陥の大きさ
（面積）を求めることができる。
て２台の距離計２０ａ，２０ｂを使用しているが、使用
する距離計の個数はこれに限定されない。距離計の個数
を増やして同様な処理を行うことで、きめ細かな距離計
測や被検査面の形状予測が可能となり、被検査面が複雑
な形状になっても、各部位での１画素当たりの面積を正
確に求めることができる。例えば、図６において、４台
の距離計を使用して視野の４隅の点とＣＣＤカメラとの
距離を計測することで、より一層正確に欠陥の大きさ
（面積）を求めることができる。
【００４６】また、ここでは、距離計２０を用いて各撮
影時点ごとにＣＣＤカメラ６と被検査面１ａとの距離を
計測するようにしているが、これに限定されるわけでは
ない。例えば、車体１の三次元ＣＡＤデータと、各撮影
時点におけるＣＣＤカメラ６と被検査面１ａとの相対位
置情報とに基づいて、あらかじめ、各撮影時点における
ＣＣＤカメラ６と被検査面１ａとの距離を求めておくこ
とで、距離計２０を使用する場合と同様の効果を得るこ
とができる。この場合、あらかじめ求めた距離データ
は、対応する画像処理装置９の内蔵メモリ（ＲＯＭな
ど）（記憶手段）に記憶しておく。
影時点ごとにＣＣＤカメラ６と被検査面１ａとの距離を
計測するようにしているが、これに限定されるわけでは
ない。例えば、車体１の三次元ＣＡＤデータと、各撮影
時点におけるＣＣＤカメラ６と被検査面１ａとの相対位
置情報とに基づいて、あらかじめ、各撮影時点における
ＣＣＤカメラ６と被検査面１ａとの距離を求めておくこ
とで、距離計２０を使用する場合と同様の効果を得るこ
とができる。この場合、あらかじめ求めた距離データ
は、対応する画像処理装置９の内蔵メモリ（ＲＯＭな
ど）（記憶手段）に記憶しておく。
【００４７】更には、車体１の三次元ＣＡＤデータと、
各撮影時点におけるＣＣＤカメラ６と被検査面１ａとの
相対位置情報とに基づいて、各撮影時点ごとにリアルタ
イムでＣＣＤカメラ６と被検査面１ａとの距離を計算す
るようにしてもよい。
各撮影時点におけるＣＣＤカメラ６と被検査面１ａとの
相対位置情報とに基づいて、各撮影時点ごとにリアルタ
イムでＣＣＤカメラ６と被検査面１ａとの距離を計算す
るようにしてもよい。
【００４８】図８と図９は、上記した欠陥検出処理の具
体的な手順を示すフローチャートである。
体的な手順を示すフローチャートである。
【００４９】まず、ステップＳ１１では、各画像処理装
置９で、対応するＣＣＤカメラ６から、撮影時刻の早い
方から順に、ある時刻ＴN （Ｎは、後述する比較枚数の
設定値）における被検査面１ａの撮像部位Ａのストライ
プ画像データを取り込み、このストライプ画像データを
内蔵メモリにカラー画像データとして記憶する。なお、
最初の撮影時刻においては、ＣＣＤカメラ６の撮像部位
Ａの位置を示すパルスジェネレータ１４からのパルス数
のカウント値を０にリセットしておく。このリセット処
理は、画像処理装置９と同期して動作するホストコンピ
ュータ１０によって行われる。
置９で、対応するＣＣＤカメラ６から、撮影時刻の早い
方から順に、ある時刻ＴN （Ｎは、後述する比較枚数の
設定値）における被検査面１ａの撮像部位Ａのストライ
プ画像データを取り込み、このストライプ画像データを
内蔵メモリにカラー画像データとして記憶する。なお、
最初の撮影時刻においては、ＣＣＤカメラ６の撮像部位
Ａの位置を示すパルスジェネレータ１４からのパルス数
のカウント値を０にリセットしておく。このリセット処
理は、画像処理装置９と同期して動作するホストコンピ
ュータ１０によって行われる。
【００５０】そして、ステップＳ１２では、各画像処理
装置９で、対応する２台の距離計２０ａ，２０ｂから、
同じ時刻ＴN における被検査面１ａとＣＣＤカメラ６と
の画角方向の計測距離（手前側：Ｌ1 、奥側：Ｌ2 ）の
データを取り込み、この計測距離データを内蔵メモリに
記憶する。
装置９で、対応する２台の距離計２０ａ，２０ｂから、
同じ時刻ＴN における被検査面１ａとＣＣＤカメラ６と
の画角方向の計測距離（手前側：Ｌ1 、奥側：Ｌ2 ）の
データを取り込み、この計測距離データを内蔵メモリに
記憶する。
【００５１】なお、前述したように、距離計２０ａ，２
０ｂで実際に距離計測を行うのではなく、あらかじめＣ
ＡＤデータなどにより被検査面１ａとＣＣＤカメラ６と
の距離を計算して内蔵メモリに記憶しておき、当該ステ
ップＳ１２でその距離データを読み出すようにしてもよ
い。あるいは、ＣＡＤデータなどにより、リアルタイム
で被検査面１ａとＣＣＤカメラ６との距離を計算するよ
うにしてもよい。
０ｂで実際に距離計測を行うのではなく、あらかじめＣ
ＡＤデータなどにより被検査面１ａとＣＣＤカメラ６と
の距離を計算して内蔵メモリに記憶しておき、当該ステ
ップＳ１２でその距離データを読み出すようにしてもよ
い。あるいは、ＣＡＤデータなどにより、リアルタイム
で被検査面１ａとＣＣＤカメラ６との距離を計算するよ
うにしてもよい。
【００５２】そして、ステップＳ１３では、各画像処理
装置９で、ステップＳ１２で取り込んだ計測距離Ｌ1 ，
Ｌ2 に基づいて、上記した所定の計算式により、対応す
るＣＣＤカメラ６の視野Ｘ1 ,Ｙ1 ,Ｘ2 ,Ｙ2 を計算
し、更には手前側と奥側の１画素当たりの大きさ（面
積）Ｓ1 ,Ｓ2 を計算する。
装置９で、ステップＳ１２で取り込んだ計測距離Ｌ1 ，
Ｌ2 に基づいて、上記した所定の計算式により、対応す
るＣＣＤカメラ６の視野Ｘ1 ,Ｙ1 ,Ｘ2 ,Ｙ2 を計算
し、更には手前側と奥側の１画素当たりの大きさ（面
積）Ｓ1 ,Ｓ2 を計算する。
【００５３】そして、ステップＳ１４では、各画像処理
装置９で、ステップＳ１１で取り込んだストライプ画
像、すなわち、原画像に対して、欠陥部（原画像に含ま
れている欠陥と思われる部分で、ここでは、欠陥候補点
とされる前段階の状態を意味する）を抽出しやすくする
ための所定の強調処理を行う。この強調処理によって、
原画像に含まれている欠陥と思われる部分（欠陥部）の
みが取り出されることになる。このような強調処理によ
る欠陥部の抽出は、周知の手法、例えば、面積判定、ス
ムージングなどによって行われる。そして、抽出した欠
陥部の位置、面積（大きさ）、色（欠陥と背景のＲＧＢ
値）、ｘｙ大きさ（横幅と縦長さ）を求める。
装置９で、ステップＳ１１で取り込んだストライプ画
像、すなわち、原画像に対して、欠陥部（原画像に含ま
れている欠陥と思われる部分で、ここでは、欠陥候補点
とされる前段階の状態を意味する）を抽出しやすくする
ための所定の強調処理を行う。この強調処理によって、
原画像に含まれている欠陥と思われる部分（欠陥部）の
みが取り出されることになる。このような強調処理によ
る欠陥部の抽出は、周知の手法、例えば、面積判定、ス
ムージングなどによって行われる。そして、抽出した欠
陥部の位置、面積（大きさ）、色（欠陥と背景のＲＧＢ
値）、ｘｙ大きさ（横幅と縦長さ）を求める。
【００５４】そして更には、特に、上記の欠陥抽出デー
タのうちの欠陥部の面積（大きさ）について、ステップ
Ｓ１３のカメラ視野計算結果に基づいて、その面積（大
きさ）の補正を行う。具体的には、前述したように、欠
陥部が存在する重心座標（ｘ，ｙ）と、欠陥部に含まれ
る画素数の検出値Ｑと、ステップＳ１３で求めた１画素
当たりの面積Ｓ1 ,Ｓ2 とから、上記した所定の計算式
（比例計算式）により、補正された真の面積を得る。
タのうちの欠陥部の面積（大きさ）について、ステップ
Ｓ１３のカメラ視野計算結果に基づいて、その面積（大
きさ）の補正を行う。具体的には、前述したように、欠
陥部が存在する重心座標（ｘ，ｙ）と、欠陥部に含まれ
る画素数の検出値Ｑと、ステップＳ１３で求めた１画素
当たりの面積Ｓ1 ,Ｓ2 とから、上記した所定の計算式
（比例計算式）により、補正された真の面積を得る。
【００５５】したがって、ステップＳ１４の処理結果と
して、欠陥部が抽出され、そしてその欠陥部の位置、面
積（視野で大きさ補正された真面積）、色（欠陥と背景
のＲＧＢ値）、ｘｙ大きさ（横幅と縦長さ）のデータ
（欠陥抽出データ）が取得される。これらのデータは、
各画像処理装置９の内蔵メモリに記憶される。
して、欠陥部が抽出され、そしてその欠陥部の位置、面
積（視野で大きさ補正された真面積）、色（欠陥と背景
のＲＧＢ値）、ｘｙ大きさ（横幅と縦長さ）のデータ
（欠陥抽出データ）が取得される。これらのデータは、
各画像処理装置９の内蔵メモリに記憶される。
【００５６】そして、ステップＳ１５では、比較対象と
なる取込み済み原画像の枚数を数えるカウンタの値ｉを
１に設定する。
なる取込み済み原画像の枚数を数えるカウンタの値ｉを
１に設定する。
【００５７】そして、ステップＳ１６では、ステップＳ
１４の処理を既に受けているｉ枚手前の時刻ＴN-i の原
画像から抽出された欠陥部と、今回新たにステップＳ１
４の処理を受けた時刻ＴN の原画像から抽出された欠陥
部との比較を行う。なお、まだ１枚の原画像しか取り込
まれていない一番最初の段階では、この比較処理は実際
には行うことができないが、２枚以上の原画像を取り込
んだ段階では、直前に撮像された原画像との比較が行わ
れることになる。
１４の処理を既に受けているｉ枚手前の時刻ＴN-i の原
画像から抽出された欠陥部と、今回新たにステップＳ１
４の処理を受けた時刻ＴN の原画像から抽出された欠陥
部との比較を行う。なお、まだ１枚の原画像しか取り込
まれていない一番最初の段階では、この比較処理は実際
には行うことができないが、２枚以上の原画像を取り込
んだ段階では、直前に撮像された原画像との比較が行わ
れることになる。
【００５８】そして、ステップＳ１７では、ホストコン
ピュータ１０で、パルスジェネレータ１４から出力され
るパルスをカウントし、このカウントされたパルス数に
基づいて撮像部位Ａの現在位置を算出し、比較対象であ
る時刻ＴN-i の位置と比較して、時刻ＴN に撮像された
原画像と時刻ＴN-i に撮像された原画像との間における
撮像部位Ａの移動量Ｄを算出する。
ピュータ１０で、パルスジェネレータ１４から出力され
るパルスをカウントし、このカウントされたパルス数に
基づいて撮像部位Ａの現在位置を算出し、比較対象であ
る時刻ＴN-i の位置と比較して、時刻ＴN に撮像された
原画像と時刻ＴN-i に撮像された原画像との間における
撮像部位Ａの移動量Ｄを算出する。
【００５９】そして、ステップＳ１８では、ホストコン
ピュータ１０で、Ｓ１４において原画像から抽出された
欠陥部の一つについて、時刻ＴN-i の原画像から抽出さ
れた欠陥部の位置と比較して、当該欠陥部の移動量ｄを
算出する。
ピュータ１０で、Ｓ１４において原画像から抽出された
欠陥部の一つについて、時刻ＴN-i の原画像から抽出さ
れた欠陥部の位置と比較して、当該欠陥部の移動量ｄを
算出する。
【００６０】そして、ステップＳ１９では、ステップＳ
１７で算出された撮像部位Ａの移動量ＤとステップＳ１
８で算出された欠陥部の移動量ｄとを比較して、撮像部
位Ａの移動量Ｄと欠陥部の移動量ｄとがほぼ等しいかど
うか判断する。欠陥部の移動量ｄが撮像部位Ａの移動量
Ｄとほぼ等しい場合（Ｓ１９：ＹＥＳ）には、ステップ
Ｓ２０に進み、欠陥部の移動量ｄが撮像部位Ａの移動量
Ｄとほぼ等しいとはいえない場合（Ｓ１９：ＮＯ）に
は、直ちにステップＳ２１に進む。
１７で算出された撮像部位Ａの移動量ＤとステップＳ１
８で算出された欠陥部の移動量ｄとを比較して、撮像部
位Ａの移動量Ｄと欠陥部の移動量ｄとがほぼ等しいかど
うか判断する。欠陥部の移動量ｄが撮像部位Ａの移動量
Ｄとほぼ等しい場合（Ｓ１９：ＹＥＳ）には、ステップ
Ｓ２０に進み、欠陥部の移動量ｄが撮像部位Ａの移動量
Ｄとほぼ等しいとはいえない場合（Ｓ１９：ＮＯ）に
は、直ちにステップＳ２１に進む。
【００６１】そして、ステップＳ２０では、撮像部位Ａ
の移動量Ｄとほぼ等しい移動量ｄを呈するステップＳ１
４で抽出された欠陥部を、可能性としてより確かな次の
段階を意味する欠陥候補点として登録する。この登録が
行われると、ステップＳ１４で取得された欠陥抽出デー
タを読み出して、これらも登録する。したがって、各時
刻の欠陥候補点記録データもまた、その欠陥候補点の位
置、面積（視野で大きさ補正された真面積）、色（欠陥
と背景のＲＧＢ値）、ｘｙ大きさ（横幅と縦長さ）のデ
ータからなる。
の移動量Ｄとほぼ等しい移動量ｄを呈するステップＳ１
４で抽出された欠陥部を、可能性としてより確かな次の
段階を意味する欠陥候補点として登録する。この登録が
行われると、ステップＳ１４で取得された欠陥抽出デー
タを読み出して、これらも登録する。したがって、各時
刻の欠陥候補点記録データもまた、その欠陥候補点の位
置、面積（視野で大きさ補正された真面積）、色（欠陥
と背景のＲＧＢ値）、ｘｙ大きさ（横幅と縦長さ）のデ
ータからなる。
【００６２】そして、ステップＳ２１では、ステップＳ
１８〜ステップＳ２０で処理の対象となった欠陥部が、
ステップＳ１４で抽出された欠陥部の中の最後のものか
どうか、換言すれば、抽出された欠陥部の中に、ステッ
プＳ１８〜ステップＳ２０で処理の対象となっていない
ものが他にないかどうか判断する。最後の欠陥部であれ
ば（Ｓ２１：ＹＥＳ）、ステップＳ２２に進み、最後の
欠陥部でなければ（Ｓ２１：ＮＯ）、ステップＳ１８に
戻り、ステップＳ１４において原画像から抽出された欠
陥部の他の一つについて移動量ｄを算出する。すなわ
ち、ステップＳ１８〜ステップＳ２０の処理は、Ｓ１４
において原画像から抽出された欠陥部のすべてに対して
行われる。
１８〜ステップＳ２０で処理の対象となった欠陥部が、
ステップＳ１４で抽出された欠陥部の中の最後のものか
どうか、換言すれば、抽出された欠陥部の中に、ステッ
プＳ１８〜ステップＳ２０で処理の対象となっていない
ものが他にないかどうか判断する。最後の欠陥部であれ
ば（Ｓ２１：ＹＥＳ）、ステップＳ２２に進み、最後の
欠陥部でなければ（Ｓ２１：ＮＯ）、ステップＳ１８に
戻り、ステップＳ１４において原画像から抽出された欠
陥部の他の一つについて移動量ｄを算出する。すなわ
ち、ステップＳ１８〜ステップＳ２０の処理は、Ｓ１４
において原画像から抽出された欠陥部のすべてに対して
行われる。
【００６３】そして、ステップＳ２２では、カウンタの
値ｉがＮかどうか判断する。カウンタ値ｉがＮであれば
（Ｓ２２：ＹＥＳ）、ステップＳ２４に進み、カウンタ
値ｉがＮでなければ（Ｓ２２：ＮＯ）、ステップＳ２３
に進む。そして、ステップＳ２３では、カウンタ値ｉを
１だけインクリメントして、ステップＳ１６に戻る。し
たがって、ステップＳ１６〜ステップＳ２１の処理は、
新規に取り込んだ時刻ＴN の原画像に対して、Ｎ枚前ま
でのすべての原画像を比較の対象として行われる。例え
ば、Ｎ＝５と設定されていた場合には、時刻ＴN におい
て撮像された原画像から抽出されたすべての欠陥部につ
いて、時刻ＴN-1 ，ＴN-2 ，ＴN-3 ，Ｔ N-4 ，ＴN-5 に
おいてそれぞれ撮像された原画像から抽出された欠陥部
との照合が行われ、おのおのの欠陥部について、欠陥候
補点とされた欠陥部の移動量ｄが各時刻における撮像部
位Ａの移動量Ｄとほぼ等しいか否かが判断される。
値ｉがＮかどうか判断する。カウンタ値ｉがＮであれば
（Ｓ２２：ＹＥＳ）、ステップＳ２４に進み、カウンタ
値ｉがＮでなければ（Ｓ２２：ＮＯ）、ステップＳ２３
に進む。そして、ステップＳ２３では、カウンタ値ｉを
１だけインクリメントして、ステップＳ１６に戻る。し
たがって、ステップＳ１６〜ステップＳ２１の処理は、
新規に取り込んだ時刻ＴN の原画像に対して、Ｎ枚前ま
でのすべての原画像を比較の対象として行われる。例え
ば、Ｎ＝５と設定されていた場合には、時刻ＴN におい
て撮像された原画像から抽出されたすべての欠陥部につ
いて、時刻ＴN-1 ，ＴN-2 ，ＴN-3 ，Ｔ N-4 ，ＴN-5 に
おいてそれぞれ撮像された原画像から抽出された欠陥部
との照合が行われ、おのおのの欠陥部について、欠陥候
補点とされた欠陥部の移動量ｄが各時刻における撮像部
位Ａの移動量Ｄとほぼ等しいか否かが判断される。
【００６４】そして、ステップＳ２４では、ステップＳ
２０で登録された欠陥候補点のすべてに対して、各欠陥
候補点が登録された回数をカウントする。
２０で登録された欠陥候補点のすべてに対して、各欠陥
候補点が登録された回数をカウントする。
【００６５】そして、ステップＳ２５では、すべての欠
陥候補点に対して、ステップＳ２４でカウントされた回
数があらかじめ設定されたカウント数Ｍ（ただし、Ｎ≧
Ｍ）以上であるかどうか判断する。そして、カウント数
が設定値Ｍ以上のものがあれば（Ｓ２５：ＹＥＳ）、ス
テップＳ２６で、そのカウント数が設定値Ｍ以上の欠陥
候補点を、最終的に、被検査面１ａに存在する欠陥であ
ると決定し、ステップＳ２７に進むが、設定値Ｍ以上の
ものがなければ、すなわち、すべて設定値Ｍ未満であれ
ば（Ｓ２５：ＮＯ）、ステップＳ１１に戻り、次の原画
像を取り込んで、同様の一連の処理を行う。
陥候補点に対して、ステップＳ２４でカウントされた回
数があらかじめ設定されたカウント数Ｍ（ただし、Ｎ≧
Ｍ）以上であるかどうか判断する。そして、カウント数
が設定値Ｍ以上のものがあれば（Ｓ２５：ＹＥＳ）、ス
テップＳ２６で、そのカウント数が設定値Ｍ以上の欠陥
候補点を、最終的に、被検査面１ａに存在する欠陥であ
ると決定し、ステップＳ２７に進むが、設定値Ｍ以上の
ものがなければ、すなわち、すべて設定値Ｍ未満であれ
ば（Ｓ２５：ＮＯ）、ステップＳ１１に戻り、次の原画
像を取り込んで、同様の一連の処理を行う。
【００６６】そして、ステップＳ２７では、終了指令が
出されているかどうか判断する。終了指令が有れば（Ｓ
２７：ＹＥＳ）、以上の一連の処理を終了し、終了指令
が無ければ（Ｓ２７：ＮＯ）、ステップＳ１１に戻り、
次の原画像を取り込んで、以上の一連の処理を行う。す
なわち、以上の一連の処理は、終了指令が発せられるま
で継続される。
出されているかどうか判断する。終了指令が有れば（Ｓ
２７：ＹＥＳ）、以上の一連の処理を終了し、終了指令
が無ければ（Ｓ２７：ＮＯ）、ステップＳ１１に戻り、
次の原画像を取り込んで、以上の一連の処理を行う。す
なわち、以上の一連の処理は、終了指令が発せられるま
で継続される。
【００６７】そして、欠陥の識別は、ステップＳ２６で
決定された欠陥に対応する各時刻の欠陥候補点記録デー
タをもとに、当該欠陥の色、大きさ（面積）、大きさ変
化度合い、縦横比を求め、これらの情報により欠陥の種
類を類推することで、行われる。
決定された欠陥に対応する各時刻の欠陥候補点記録デー
タをもとに、当該欠陥の色、大きさ（面積）、大きさ変
化度合い、縦横比を求め、これらの情報により欠陥の種
類を類推することで、行われる。
【００６８】したがって、本実施の形態によれば、ＣＣ
Ｄカメラ６と該ＣＣＤカメラ６の画角方向にある被検査
面１ａ上の２点Ｐ1 ，Ｐ2 との間の距離Ｌ1 ，Ｌ2 の計
測データに基づいて、所定の計算式により、被検査面１
ａに対する撮影距離と傾きの変化によるＣＣＤカメラ６
の視野、ひいては撮像された画像の１画素当たりの面積
の大きさの変化を補正することで、検出された塗装欠陥
の大きさを補正するようにしたので、塗装欠陥の大きさ
を正確に測定することができる。そのため、欠陥の修正
レベルを検査装置によって判定できるようになり、人に
よる判定のばらつきがなくなるため、塗装品質の向上を
図ることができる。
Ｄカメラ６と該ＣＣＤカメラ６の画角方向にある被検査
面１ａ上の２点Ｐ1 ，Ｐ2 との間の距離Ｌ1 ，Ｌ2 の計
測データに基づいて、所定の計算式により、被検査面１
ａに対する撮影距離と傾きの変化によるＣＣＤカメラ６
の視野、ひいては撮像された画像の１画素当たりの面積
の大きさの変化を補正することで、検出された塗装欠陥
の大きさを補正するようにしたので、塗装欠陥の大きさ
を正確に測定することができる。そのため、欠陥の修正
レベルを検査装置によって判定できるようになり、人に
よる判定のばらつきがなくなるため、塗装品質の向上を
図ることができる。
【図１】 本発明の一実施の形態に係る塗装欠陥検査装
置の光学系の構成図である。
置の光学系の構成図である。
【図２】 ストライプ光源とＣＣＤカメラとの位置関係
を示す図である。
を示す図である。
【図３】 図１の装置の信号処理系の全体構成を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図４】 本実施の形態に係る、距離計を２個使用した
場合の面積変換（補正）の原理を説明するための図面で
ある。
場合の面積変換（補正）の原理を説明するための図面で
ある。
【図５】 図４と同様の説明図である。
【図６】 正方格子を撮影した場合の視野を示す説明図
である。
である。
【図７】 画像処理用データの説明図である。
【図８】 図３の信号処理系における欠陥検出処理の具
体的な手順を示すフローチャートである。
体的な手順を示すフローチャートである。
【図９】 図８に続くフローチャートである。
１…車体（被検査物）、 ４…照明装置（照明手段）、 ５…ストライプシートスタンド（照明手段）、 ６…カラーＣＣＤカメラ（撮像手段）、 ９…画像処理装置（処理手段、補正手段）、 １０…ホストコンピュータ（処理手段）、 １１…モニタ（出力手段）、 １２…プリンタ（出力手段）、 ２０ａ，２０ｂ…距離計（測距手段）。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉田 清 神奈川県横浜市神奈川区宝町２番地 日産 自動車株式会社内 Ｆターム(参考） 2F065 AA02 AA22 AA58 AA61 BB05 BB24 CC11 DD03 EE11 FF04 GG03 GG15 GG17 HH02 JJ03 JJ16 JJ26 MM03 PP22 QQ23 QQ31 SS02 SS06 SS13 2G051 AA89 AB12 BA20 CA03 CA04 DA01 DA06 EA14 EA16 ED07 FA10
Claims (4)
- 【請求項１】 被検査物の被検査面の塗装欠陥を光学的
に検出する塗装欠陥検査装置において、 被検査面上に所定の明暗パターンを形成する照明手段
と、 被検査物との間で相対移動しながら、前記照明手段によ
って被検査面上に形成された明暗パターンを撮像する撮
像手段と、 前記撮像手段と該撮像手段の画角方向にある被検査面上
の二以上の点との間の距離を測定する測距手段と、 前記撮像手段によって時系列的に撮像された複数の明暗
パターンの画像データを処理して、被検査面の塗装欠陥
を検出する処理手段と、 前記測距手段によって測定された距離データに基づい
て、所定の計算式により 、前記処理手段によって検出された塗装欠陥の大きさを
補正する補正手段と、 前記処理手段及び前記補正手段の結果を出力する出力手
段と、 を有することを特徴とする塗装欠陥検査装置。 - 【請求項２】 被検査物の被検査面の塗装欠陥を光学的
に検出する塗装欠陥検査装置において、 被検査面上に所定の明暗パターンを形成する照明手段
と、 被検査物との間で相対移動しながら、前記照明手段によ
って被検査面上に形成された明暗パターンを撮像する撮
像手段と、 被検査物の三次元ＣＡＤデータと被検査物に対する前記
撮像手段の動的相対位置情報とに基づいてあらかじめ計
算された各撮影時点ごとの前記撮像手段と該撮像手段の
画角方向にある被検査面上の二以上の点との間の距離の
データを記憶する記憶手段と、 前記撮像手段によって時系列的に撮像された複数の明暗
パターンの画像データを処理して、被検査面の塗装欠陥
を検出する処理手段と、 前記記憶手段に記憶されている距離データに基づいて、
所定の計算式により、前記処理手段によって検出された
塗装欠陥の大きさを補正する補正手段と、 前記処理手段及び前記補正手段の結果を出力する出力手
段と、 を有することを特徴とする塗装欠陥検査装置。 - 【請求項３】 被検査物の被検査面の塗装欠陥を光学的
に検出する塗装欠陥検査方法において、 被検査面上に所定の明暗パターンを形成する工程と、 被検査物との間で相対移動させながら、撮像手段により
被検査面上に形成された明暗パターンを撮像すると共
に、前記撮像手段と該撮像手段の画角方向にある被検査
面上の二以上の点との間の距離を測定する工程と、 時系列的に撮像された複数の明暗パターンの画像データ
を処理して、被検査面の塗装欠陥を検出する工程と、 測定された距離データに基づいて、所定の計算式によ
り、検出された塗装欠陥の大きさを補正する工程と、 補正後の検出された塗装欠陥を出力する工程と、 を有することを特徴とする塗装欠陥検査方法。 - 【請求項４】 被検査物の被検査面の塗装欠陥を光学的
に検出する塗装欠陥検査方法において、 被検査面上に所定の明暗パターンを形成する工程と、 被検査物との間で相対移動させながら、撮像手段により
被検査面上に形成された明暗パターンを撮像する工程
と、 時系列的に撮像された複数の明暗パターンの画像データ
を処理して、被検査面の塗装欠陥を検出する工程と、 被検査物の三次元ＣＡＤデータと被検査物に対する前記
撮像手段の動的相対位置情報とに基づいてあらかじめ計
算された各撮影時点ごとの前記撮像手段と該撮像手段の
画角方向にある被検査面上の二以上の点との間の距離の
データに基づいて、所定の計算式により、検出された塗
装欠陥の大きさを補正する工程と、 補正後の検出された塗装欠陥を出力する工程と、 を有することを特徴とする塗装欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11134563A JP2000321039A (ja) | 1999-05-14 | 1999-05-14 | 塗装欠陥検査装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11134563A JP2000321039A (ja) | 1999-05-14 | 1999-05-14 | 塗装欠陥検査装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000321039A true JP2000321039A (ja) | 2000-11-24 |
Family
ID=15131268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11134563A Withdrawn JP2000321039A (ja) | 1999-05-14 | 1999-05-14 | 塗装欠陥検査装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000321039A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005031085A (ja) * | 2003-07-09 | 2005-02-03 | General Electric Co <Ge> | 製造部品のキズを解析し、識別するシステム及び方法 |
| JP2007523333A (ja) * | 2004-02-18 | 2007-08-16 | イスラ ヴィズィオーン ジュステーム アーゲー | 表面検査方法及びそのシステム |
| JP2007523334A (ja) * | 2004-02-18 | 2007-08-16 | イスラ ヴィズィオーン ジュステーム アーゲー | 欠陥位置特定方法及びマーキングシステム |
| US7429116B2 (en) | 2003-12-19 | 2008-09-30 | Carl Zeiss Smt Ag | Projection objective and method for its manufacture |
| JP4827744B2 (ja) * | 2004-02-18 | 2011-11-30 | イスラ ヴィズィオーン アーゲー | 検査路設定及び検査領域決定方法 |
| JP2013092465A (ja) * | 2011-10-26 | 2013-05-16 | Fukuoka Institute Of Technology | 三次元表面検査装置および三次元表面検査方法 |
| US8542346B2 (en) | 2006-12-01 | 2013-09-24 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optical system with an exchangeable, manipulable correction arrangement for reducing image aberrations |
| US8605253B2 (en) | 2006-07-03 | 2013-12-10 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Lithographic projection objective |
| JP2017009528A (ja) * | 2015-06-25 | 2017-01-12 | ダイハツ工業株式会社 | 不具合の許否判定方法 |
| WO2019244946A1 (ja) * | 2018-06-22 | 2019-12-26 | コニカミノルタ株式会社 | 欠陥判別方法、欠陥判別装置、欠陥判別プログラム及び記録媒体 |
| US10598482B2 (en) | 2016-06-13 | 2020-03-24 | Google Llc | Curved array of light-emitting elements for sweeping out an angular range |
-
1999
- 1999-05-14 JP JP11134563A patent/JP2000321039A/ja not_active Withdrawn
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2005031085A (ja) * | 2003-07-09 | 2005-02-03 | General Electric Co <Ge> | 製造部品のキズを解析し、識別するシステム及び方法 |
| US8944615B2 (en) | 2003-12-19 | 2015-02-03 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projection objective and method for its manufacture |
| US7429116B2 (en) | 2003-12-19 | 2008-09-30 | Carl Zeiss Smt Ag | Projection objective and method for its manufacture |
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| JP2007523334A (ja) * | 2004-02-18 | 2007-08-16 | イスラ ヴィズィオーン ジュステーム アーゲー | 欠陥位置特定方法及びマーキングシステム |
| JP2007523333A (ja) * | 2004-02-18 | 2007-08-16 | イスラ ヴィズィオーン ジュステーム アーゲー | 表面検査方法及びそのシステム |
| US10042265B2 (en) | 2006-07-03 | 2018-08-07 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Lithographic projection objective |
| US8605253B2 (en) | 2006-07-03 | 2013-12-10 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Lithographic projection objective |
| US9494868B2 (en) | 2006-07-03 | 2016-11-15 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Lithographic projection objective |
| US8542346B2 (en) | 2006-12-01 | 2013-09-24 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optical system with an exchangeable, manipulable correction arrangement for reducing image aberrations |
| US8659745B2 (en) | 2006-12-01 | 2014-02-25 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optical system with an exchangeable, manipulable correction arrangement for reducing image aberrations |
| JP2013092465A (ja) * | 2011-10-26 | 2013-05-16 | Fukuoka Institute Of Technology | 三次元表面検査装置および三次元表面検査方法 |
| JP2017009528A (ja) * | 2015-06-25 | 2017-01-12 | ダイハツ工業株式会社 | 不具合の許否判定方法 |
| US10598482B2 (en) | 2016-06-13 | 2020-03-24 | Google Llc | Curved array of light-emitting elements for sweeping out an angular range |
| WO2019244946A1 (ja) * | 2018-06-22 | 2019-12-26 | コニカミノルタ株式会社 | 欠陥判別方法、欠陥判別装置、欠陥判別プログラム及び記録媒体 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060801 |