JP2000318184A - Ink jet recording apparatus and color filter producing apparatus having the same - Google Patents
Ink jet recording apparatus and color filter producing apparatus having the sameInfo
- Publication number
- JP2000318184A JP2000318184A JP13036299A JP13036299A JP2000318184A JP 2000318184 A JP2000318184 A JP 2000318184A JP 13036299 A JP13036299 A JP 13036299A JP 13036299 A JP13036299 A JP 13036299A JP 2000318184 A JP2000318184 A JP 2000318184A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- liquid
- ink jet
- head
- path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドにインクを循環させつつインクジェットヘッドから
インクを吐出させるインクジェット記録装置、およびそ
のインクジェット記録装置を用いてインクにより透明基
板を着色することでカラーフィルタを製造するカラーフ
ィルタ製造装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording apparatus for discharging ink from an ink jet head while circulating the ink in the ink jet head, and a color filter by coloring a transparent substrate with the ink using the ink jet recording apparatus. The present invention relates to a color filter manufacturing apparatus to be manufactured.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来から、インクジェット記録方式は、
情報処理システムの出力手段、例えば複写機、ファクシ
ミリ、電子タイプライタ、ワードプロセッサ、ワークス
テーションなどの出力端末としてのプリンタ、あるいは
パーソナルコンピュータ、ホストコンピュータ、光ディ
スク装置、ビデオ装置などに具備されるハンディまたは
ポータブルのプリンタの記録方式として利用されてい
る。2. Description of the Related Art Conventionally, an ink jet recording system has
Output means of the information processing system, for example, a copying machine, a facsimile, an electronic typewriter, a word processor, a printer as an output terminal such as a workstation, or a personal computer, a host computer, an optical disk device, a handy or portable device provided in a video device, etc. It is used as a recording method for printers.
【０００３】このインクジェット記録方式は、インクを
微小な液滴としてノズル（以下、吐出口ともいう）から
吐出して文字や図形などの記録を行うもので、高精細な
画像の出力、高速記録の手段としてすぐれた利点を有す
る。また、インクジェット記録方式を適用した記録装置
（以下、インクジェット記録装置ともいう）はノンイン
パクト型の記録装置であって、騒音が少ないこと、多色
のインクを使うことによってカラー画像の記録も容易で
あること、さらに装置本体の小型化や、画像の高密度化
も容易であることなどの特長を有しており、近年、急速
に普及しつつあるものである。[0003] This ink jet recording system records ink such as characters and figures by discharging ink as fine liquid droplets from nozzles (hereinafter also referred to as discharge ports). It has excellent advantages as a means. A recording apparatus to which the ink jet recording method is applied (hereinafter, also referred to as an ink jet recording apparatus) is a non-impact type recording apparatus. In addition, it has features such as miniaturization of the apparatus body and easy increase in the density of images, and has been rapidly spreading in recent years.
【０００４】また、近年、パーソナルコンピュータの発
達、特に携帯用のパーソナルコンピュータの発達に伴
い、液晶ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレ
イの需要が増加する傾向にある。しかしながら、さらな
る普及のためには液晶ディスプレイのコストダウンが必
要であり、特にコスト的に比重の高いカラーフィルタの
コストダウンに対する要求が高まっている。従来から、
カラーフィルタが要求される特性を満足しつつコストダ
ウンの要求に応えるべく種々の方法が試みられている
が、いまだ全ての要求特性を満足する方法は確立されて
いない。以下では、カラーフィルタの製造方法につい
て、いくつか説明する。以下の説明で用いるＲ，Ｇ，Ｂ
はそれぞれ赤，緑，青を表わす。In recent years, with the development of personal computers, especially portable personal computers, the demand for liquid crystal displays, especially color liquid crystal displays, has been increasing. However, for further spread, it is necessary to reduce the cost of the liquid crystal display. In particular, there is an increasing demand for reducing the cost of a color filter having a high specific gravity. Traditionally,
Various methods have been tried to meet the demand for cost reduction while satisfying the required characteristics of the color filter, but no method has yet been established that satisfies all the required characteristics. Hereinafter, several methods for manufacturing a color filter will be described. R, G, B used in the following description
Represents red, green, and blue, respectively.
【０００５】第１のカラーフィルタの製造方法としては
染色法がある。染色法は、ガラス基板上に染色用の材料
である水溶性高分子材料を塗布し、その水溶性高分子材
料をフォトリソグラフィー工程により所望の形状にパタ
ーニングした後、得られたパターンを染色浴に浸漬する
ことでガラス基板上に着色されたパターンを得るもので
ある。これを３回繰り返すことによりガラス基板上に
Ｒ，Ｇ，Ｂのカラーフィルタ層が得られる。The first color filter manufacturing method is a dyeing method. In the dyeing method, a water-soluble polymer material as a material for dyeing is applied on a glass substrate, and the water-soluble polymer material is patterned into a desired shape by a photolithography process. By immersing, a colored pattern is obtained on a glass substrate. By repeating this three times, R, G, and B color filter layers can be obtained on the glass substrate.
【０００６】第２のカラーフィルタの製造方法としては
顔料分散法があり、顔料分散法は、近年、最も多く用い
られている方法である。この顔料分散法は、基板上に顔
料を分散して感光性樹脂層を形成し、この感光性樹脂層
をパターニングすることにより単色のパターンを得るも
のである。さらに、この工程を３回繰り返すことによ
り、基板上にＲ，Ｇ，Ｂのカラーフィルタ層が形成され
る。As a second method for producing a color filter, there is a pigment dispersion method, and the pigment dispersion method is the most frequently used method in recent years. In the pigment dispersion method, a pigment is dispersed on a substrate to form a photosensitive resin layer, and the photosensitive resin layer is patterned to obtain a monochromatic pattern. Further, by repeating this process three times, R, G, and B color filter layers are formed on the substrate.
【０００７】第３のカラーフィルタの製造方法としては
電着法がある。電着法は、基板上に透明電極をパターニ
ングした後、その基板を、顔料、樹脂、電解液などの入
った電着塗装液に浸漬して基板上に所望の色を電着させ
るものである。この工程を３回繰り返して基板上にＲ，
Ｇ，Ｂを塗り分けた後、樹脂を熱硬化させることにより
基板上に表色層が形成される。As a third method of manufacturing a color filter, there is an electrodeposition method. In the electrodeposition method, after a transparent electrode is patterned on a substrate, the substrate is immersed in an electrodeposition coating solution containing a pigment, a resin, an electrolytic solution, and the like, and a desired color is electrodeposited on the substrate. . This process is repeated three times, and R,
After separately applying G and B, the resin is thermally cured to form a color layer on the substrate.
【０００８】第４のカラーフィルタの製造方法としては
印刷法がある。印刷法は、熱硬化型の樹脂に顔料を分散
させ、その樹脂を用いて印刷を３回繰り返すことにより
Ｒ，Ｇ，Ｂを基板上に塗り分けた後、樹脂を熱硬化させ
ることで基板上に着色層を形成するものである。また、
上記のいずれの方法においても着色層の表面に保護層を
形成するのが一般的である。As a fourth method of manufacturing a color filter, there is a printing method. In the printing method, a pigment is dispersed in a thermosetting resin, and the printing is repeated three times using the resin to separately apply R, G, and B on the substrate, and then the resin is thermally cured to be applied on the substrate. To form a colored layer. Also,
In any of the above methods, a protective layer is generally formed on the surface of the colored layer.
【０００９】これらの方法に共通している点は、Ｒ，
Ｇ，Ｂの３色を着色するために同―の工程を３回繰り返
す必要があり、コストが高くなることである。また、工
程が多いほど歩溜まりが低下するという問題点を有して
いる。さらに、電着法においては、形成可能なパターン
形状が限定されるため、現状の技術ではＴＦＴ方式のカ
ラー液晶ディスプレイを製造する際には適用できない。
また、印刷法では、解像性、平滑性が悪いためファイン
ピッチのパターンを形成できない。What is common to these methods is that R,
The same process must be repeated three times to color the three colors G and B, which increases the cost. In addition, there is a problem that the yield decreases as the number of processes increases. Further, in the electrodeposition method, since the pattern shape that can be formed is limited, the current technology cannot be applied when manufacturing a TFT type color liquid crystal display.
In the printing method, a fine pitch pattern cannot be formed due to poor resolution and smoothness.
【００１０】これらの欠点を補うべく特開昭５９−７５
２０５号公報、特開昭６３−２３５９０１号公報、特開
昭６３−２９４５０３号公報、あるいは特開平１−２１
７３０２号公報などには、インクジェット記録方式を用
いてカラーフィルタを製造する方法が記載されている。To compensate for these drawbacks, Japanese Patent Application Laid-Open No.
No. 205, JP-A-63-235901, JP-A-63-294503, or JP-A-1-21
No. 7302 describes a method of manufacturing a color filter using an ink jet recording method.
【００１１】その中で、インクジェット記録方式でカラ
ーフィルタを作製する方法としては、透明基板上に所定
の規則性がある開口部を有するように遮光膜を設け、そ
の開口部に露出した透明基板上にインクジェットヘッド
からインクを吐出して着色を行うなどの方法が記載され
ている。Among them, as a method of manufacturing a color filter by an ink jet recording method, a light shielding film is provided so as to have an opening having a predetermined regularity on a transparent substrate, and the transparent substrate is exposed to the opening. Discloses a method of discharging ink from an inkjet head to perform coloring.
【００１２】インクジェット記録方式によるカラーフィ
ルタは、必要な部分にのみ着色を行うので材料コストを
低くすることができ、さらに、３色同時に着色が可能で
あるため、製造工程が短く、ゴミの影響を受けにくい。
また、製造装置のコストを押さえることができるなどの
理由から、低材料費、高歩留まりが期待でき、他の製造
方法と比較してより低コストのカラーフィルタの製造が
可能である。A color filter using an ink jet recording system can reduce material costs by coloring only necessary portions, and can simultaneously color three colors. Therefore, the manufacturing process is short, and the influence of dust is reduced. Hard to receive.
In addition, low material cost and high yield can be expected because the cost of the manufacturing apparatus can be suppressed, and a color filter can be manufactured at a lower cost than other manufacturing methods.
【００１３】一方、従来のインクジェット記録装置にお
いてインク吐出を安定させる方法として、インクジェッ
トヘッドへ供給するインク中の溶存気体を除去する方法
が知られている。その方法の中で、インクジェット記録
用のインクの脱気方法として、気体透過性のある膜を介
してインク中の溶存気体を透過させてインクから溶存気
体を除去する方法が、特開平５−１７７１２号公報に記
載されている。その特開平５−１７７１２号公報の中
で、圧電素子を用いたインクジェット記録装置において
インクを脱気することによる効果は、圧縮室にあるイン
クに急激な圧縮の繰り返しを行ってもキャビテーション
が発生せず、キャビテーションが原因で発生するインク
の不吐出などの印字不良が発生しないということであ
る。そのため、インクの脱気装置としては、気体透過性
のある膜をチューブ状にし、そのチューブ内にインクを
通過させると共にチューブの外部を真空にして、インク
中の溶存気体をチューブ外に除去することによりインク
を脱気するものを用いていた。そのときの脱気装置の使
用方法としては、チューブ外部の真空度は０．１ａｔｍ
（７６Torr）以下であり、また、脱気装置を通過した後
のインクの脱気レベルについては特開平５−１７７１２
号公報に特に記載されていない。On the other hand, as a method of stabilizing ink ejection in a conventional ink jet recording apparatus, a method of removing dissolved gas in ink supplied to an ink jet head is known. Among the methods, as a method of degassing ink for ink jet recording, a method of removing dissolved gas from ink by passing dissolved gas in the ink through a gas permeable film is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 5-17712. No., published in Japanese Unexamined Patent Publication No. In Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 5-17712, the effect of degassing ink in an ink jet recording apparatus using a piezoelectric element is that cavitation occurs even if the ink in the compression chamber is repeatedly subjected to rapid compression. That is, printing defects such as non-ejection of ink caused by cavitation do not occur. Therefore, as an ink deaerator, a gas-permeable membrane is formed into a tube, and the ink is passed through the tube and the outside of the tube is evacuated to remove the dissolved gas in the ink outside the tube. Used for degassing the ink. At that time, the degree of vacuum outside the tube is 0.1 atm.
(76 Torr) or less, and the deaeration level of the ink after passing through the deaerator is described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-17712.
No particular mention is made in the publication.
【００１４】また、膜沸騰を利用してインクを吐出する
インクジェット記録方式においても、インクを脱気する
ことによる効果が確認されている。その効果としては、
脱気したインクをインクジェットヘッドに供給すること
により、吐出不良の原因となる気泡をインクジェットヘ
ッドへ送り込むことを防止でき、また、膜沸騰により生
じ、残存する泡を溶かし込む作用により、インクジェッ
トヘッド内に吐出不安定の原因となる泡の残留を防止で
き、インクの不吐出を防止できたり、連続吐出時に、一
回に吐出するインク滴の大きさが、溶存気体を脱気しな
い場合と比較して大幅に安定することが確認されてい
る。Also, in an ink jet recording system in which ink is ejected using film boiling, the effect of degassing the ink has been confirmed. The effect is
By supplying the degassed ink to the inkjet head, it is possible to prevent bubbles that cause ejection failure from being sent to the inkjet head, and to dissolve the remaining bubbles generated by film boiling and into the inkjet head. It is possible to prevent bubbles that may cause ejection instability, prevent non-ejection of ink, and reduce the size of ink droplets ejected at one time during continuous ejection compared to the case where dissolved gas is not degassed. It has been confirmed to be significantly stable.
【００１５】インクジェット記録方式を用いたカラーフ
ィルタ製造装置においては、ごくわずかなインク吐出量
の変化があった場合でも、透明基板上のインク量の違い
によって、吐出量の変化がすじムラとなって見えてしま
い、不良品となってしまう。そのため、吐出量の安定性
に対しても、通常のインクジェット記録装置より高いレ
ベルのものが求められる。そこで、吐出量の変動により
生じるすじムラなどの不良を防止して、吐出の安定化を
実現するために、カラーフィルタ製造装置のインクジェ
ットヘッドにインクを供給する供給経路で、空気の滞留
する部分を極力無くし、さらに、その供給経路の途中に
脱気装置を組み込み、脱気されたインクをインクジェッ
トヘッドへ供給する試みがなされている。In a color filter manufacturing apparatus using an ink jet recording method, even if there is a slight change in the ink discharge amount, the change in the discharge amount becomes streaky due to the difference in the ink amount on the transparent substrate. It will be visible and will be defective. Therefore, a higher level of ejection amount stability than that of a normal inkjet recording apparatus is required. Therefore, in order to prevent defects such as streak unevenness caused by fluctuations in the discharge amount and to stabilize the discharge, in the supply path for supplying ink to the ink jet head of the color filter manufacturing apparatus, a portion where air stays is defined. Attempts have been made to eliminate as much as possible and further incorporate a deaerator in the middle of the supply path to supply the deaerated ink to the ink jet head.
【００１６】また、インクジェットヘッドからインクを
吐出させる動作を行いながらインククジェットヘッド内
でインクを連続的に流動させることにより、インクジェ
ットヘッド内で発生した気泡や汚染物を除去する方法
が、特開昭５１−７７０３６号公報、特開昭５５−５３
５７０号公報、特開昭５５−１２１０７４号公報、特開
昭６１−１００４６１号公報のそれぞれに記載されてい
る。特開昭５１−７７０３６号公報、特開昭５５−５３
５７０号公報および特開昭５５−１２１０７４号公報に
記載されている方法は、１つのインクタンクで、あるい
は２つのインクタンク間でポンプを用いてインクを加圧
あるいは吸引することにより、インクジェットヘッド内
でインクを循環させるものである。特開昭６１−１００
４６１号公報に記載されているインクジェット記録装置
は、１つのインクタンクをインクジェットヘッドのオリ
フィス面より高い位置に配置し、インクタンクの高さ
と、インクジェットヘッドのオリフィス面との水頭差に
よってインクジェットヘッド内でインクを循環させ、イ
ンクジェットヘッド内を循環したインクがインク流出路
によりもう一方のインクタンクに導かれるように構成さ
れたものである。A method of removing air bubbles and contaminants generated in an ink jet head by continuously flowing ink in an ink jet head while performing an operation of discharging ink from the ink jet head has been disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. HEI 10-163,873. JP-A-51-77036, JP-A-55-533.0
570, JP-A-55-121074, and JP-A-61-100461. JP-A-51-77036 and JP-A-55-53.
The method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 570-570 and Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 55-121074 uses a pump in a single ink tank or between two ink tanks to pressurize or suck ink to thereby form an ink jet head. Is used to circulate the ink. JP-A-61-100
In the ink jet recording apparatus described in Japanese Patent No. 461, one ink tank is disposed at a position higher than the orifice surface of the ink jet head, and the height of the ink tank and the head difference between the orifice surface of the ink jet head cause a difference in the ink jet head. The ink is circulated, and the ink circulated in the ink jet head is guided to the other ink tank through the ink outflow path.
【００１７】さらに、インクジェットヘッドのオリフィ
スからインクを排出することなく、インクジェットヘッ
ド内のオリフィス近傍で、脱気されたインクを確保する
ためのインクジェットヘッド用のインク供給システム
が、特許第２６７８２４１号公報に示されている。この
特許第２６７８２４１号公報に示されたインクジェット
ヘッド用のインク供給システムには、第１貯蔵手段およ
び第２貯蔵手段と、インクから溶解ガスを取り出して除
去する脱気手段と、インク噴射ヘッドからインクを放出
するためのオリフィス手段と、第１貯蔵手段から脱気手
段を経由しオリフィス手段の近傍を通過して第２貯蔵手
段へと延在するインク通路手段とが備えられている。イ
ンク通路手段は、第１貯蔵手段から脱気手段を経由しオ
リフィス手段の近傍を通過して第２貯蔵手段までインク
が連続的に流れることを可能にするものである。このイ
ンク通路手段を通してオリフィス手段にインクを供給
し、オリフィス手段の領域で、脱気されたインクを確保
することにより、インクジェットヘッドのオリフィスか
らインクを排出させることなく、インクジェットヘッド
内のオリフィス近傍で、脱気されたインクを確保する。Japanese Patent No. 2678241 discloses an ink supply system for an ink jet head for securing degassed ink near the orifice in the ink jet head without discharging ink from the orifice of the ink jet head. It is shown. The ink supply system for an ink jet head disclosed in Japanese Patent No. 2678241 includes a first storage unit and a second storage unit, a deaeration unit for extracting and removing a dissolved gas from the ink, and an ink jet head. And an ink passage means extending from the first storage means via the deaeration means, near the orifice means and extending to the second storage means. The ink passage means enables the ink to flow continuously from the first storage means to the second storage means through the deaeration means and near the orifice means. By supplying ink to the orifice means through the ink passage means and securing the degassed ink in the area of the orifice means, without discharging ink from the orifice of the inkjet head, near the orifice in the inkjet head, Secure the degassed ink.
【００１８】上記のインクジェットヘッド用のインク供
給システムにおいて、より具体的には、インクジェット
ヘッド内に第１貯蔵手段と第２貯蔵手段と脱気手段とが
備えられ、インクジェットヘッドの往復移動によって、
第１貯蔵手段と第２貯蔵手段との間にインクの液面高さ
の違いを生じさせる。そして、その液面高さの違いによ
る水頭圧差を利用してインク供給経路内にインクの流動
を連続的に生じさせ、オリフィス近傍で、脱気されたイ
ンクを確保していた。In the above-described ink supply system for an ink jet head, more specifically, a first storage means, a second storage means, and a deaeration means are provided in the ink jet head.
A difference in ink level between the first storage means and the second storage means is caused. Then, the flow of the ink is continuously generated in the ink supply path by using the difference in the head pressure due to the difference in the liquid level, and the degassed ink is secured near the orifice.
【００１９】カラーフィルタ製造装置にインクジェット
ヘッドを用いた場合では、インクジェットヘッドを通常
のプリンタに用いた場合と異なり、透明基板上に規則性
をもって配列された所定の開口部に向けてインクジェッ
トヘッドからインクを吐出することで着色を行うので、
カラーフィルタ製造装置におけるインクの着弾精度は、
一般のプリンタにおける精度と比較してほぼ一桁高い値
が要求される。When an ink jet head is used in the color filter manufacturing apparatus, unlike the case where the ink jet head is used in a normal printer, the ink is moved from the ink jet head toward predetermined openings regularly arranged on a transparent substrate. Is colored by discharging
The landing accuracy of ink in the color filter manufacturing equipment is
A value almost one order of magnitude higher than the accuracy of a general printer is required.
【００２０】そのため、カラーフィルタ製造装置の構成
は、通常のインクジェット方式のプリンタのものとは異
なっている。通常のプリンタの場合では、搬送される被
記録媒体の上をインクジェットヘッドが被記録媒体の搬
送方向と直角な方向に往復走査しながらインクを吐出し
て、画像の記録を行うのが一般的である。Therefore, the structure of the color filter manufacturing apparatus is different from that of a normal ink jet printer. In the case of a normal printer, it is general that an ink jet head ejects ink while reciprocatingly scanning a recording medium to be conveyed in a direction perpendicular to the conveying direction of the recording medium to record an image. is there.
【００２１】一方、カラーフィルタ製造装置は、その要
求される精度から、インクジェットヘッドを固定し、そ
のインクジェットヘッドの下方で、ステージ上に載置さ
れた透明基板をＸ−Ｙ方向に走査させながらインクの吐
出を行うように構成されている。On the other hand, the color filter manufacturing apparatus fixes an ink jet head from the required accuracy, and scans a transparent substrate placed on a stage below the ink jet head in the X-Y direction. Is discharged.
【００２２】また、通常のプリンタの場合で、紙など、
インクを吸収する被記録媒体に記録を行うときには、被
記録媒体がインクを吸収することにより被記録媒体の表
面に凹凸が生じてしまう。このため、インクジェットヘ
ッドのインク吐出面から、被記録媒体である紙などの表
面までの距離は、一定以上近づけることはできず、吐出
口面から被記録媒体までの距離は一般的に１ｍｍ程度で
あった。In the case of a normal printer, paper or the like
When recording is performed on a recording medium that absorbs ink, the recording medium absorbs the ink, causing irregularities on the surface of the recording medium. For this reason, the distance from the ink ejection surface of the ink jet head to the surface of a recording medium such as paper cannot be made closer than a certain value, and the distance from the ejection port surface to the recording medium is generally about 1 mm. there were.
【００２３】一方、カラーフィルタ製造装置では被記録
媒体としてガラス基板などの透明基板を用いており、こ
の透明基板では、紙などインク吸収性のある被記録媒体
のようにインク滴が付着することで凹凸を生じることが
ない。従って、インク滴の吐出方向がずれてしまう、い
わゆるよれと呼ばれる現象の影響を極力少なくしてイン
クの着弾位置の精度をより高めるために、インクジェッ
トヘッドの吐出口面と、透明基板の表面との間隔を３０
０μｍ以下まで狭くしてインクの吐出を行うようにす
る。On the other hand, in a color filter manufacturing apparatus, a transparent substrate such as a glass substrate is used as a recording medium. On this transparent substrate, ink droplets adhere to a recording medium such as paper which absorbs ink. No irregularities occur. Therefore, in order to increase the accuracy of the ink landing position by minimizing the influence of the phenomenon called so-called skew in which the ejection direction of the ink droplet is shifted, the ejection port surface of the inkjet head and the surface of the transparent substrate are 30 intervals
The ink is ejected by narrowing it to 0 μm or less.
【００２４】カラーフィルタ製造装置において、より生
産性を上げるためには、１台の製造装置で、透明基板に
着色する複数種の色のインク、通常の場合はＲ（赤），
Ｇ（緑），Ｂ（青）の３種類の色のインクを同時に着色
できるように３つのインクジェットヘッドを一組のイン
クジェットヘッドユニットとし、そのインクジェットヘ
ッドユニットを１台あるいは複数台搭載可能としてい
る。そのため、１つのインクジェットヘッドユニット内
で、３つのインクジェットヘッドの相対的な位置ずれが
ミクロンオーダとなるように、それぞれのインクジェッ
トヘッドに対して非常に高精度な位置決めを行う必要が
ある。また、透明基板上に所定の規則性で配列された開
口部に露出している透明基板上にインクジェットヘッド
からインクを吐出して透明基板の着色を行うためには、
透明基板上の開口部に対する各インクジェットヘッドの
位置合わせ、すなわちインクジェットヘッドユニットの
位置合わせもミクロンオーダで行う必要がある。さら
に、インクジェットヘッドユニットを複数搭載するよう
なカラーフィルタ製造装置においては、透明基板の開口
部に対する全てのインクジェットヘッドの位置ずれがミ
クロンオーダになるように非常に高精度な位置決めを行
う必要がある。In order to further increase the productivity in the color filter manufacturing apparatus, a single manufacturing apparatus can use a plurality of types of inks for coloring a transparent substrate, usually R (red),
The three inkjet heads are a set of inkjet head units so that three types of inks of G (green) and B (blue) can be colored simultaneously, and one or a plurality of the inkjet head units can be mounted. Therefore, it is necessary to perform extremely high-precision positioning with respect to each of the inkjet heads so that the relative displacement between the three inkjet heads is on the order of microns in one inkjet head unit. Further, in order to color the transparent substrate by discharging ink from an inkjet head onto the transparent substrate exposed to the openings arranged in a predetermined regularity on the transparent substrate,
The alignment of each inkjet head with respect to the opening on the transparent substrate, that is, the alignment of the inkjet head unit also needs to be performed on the order of microns. Further, in a color filter manufacturing apparatus in which a plurality of ink jet head units are mounted, it is necessary to perform extremely high-precision positioning so that all the ink jet heads are misaligned with respect to the opening of the transparent substrate on the order of microns.
【００２５】そのため、インクジェットヘッドユニット
には、３つのインクジェットヘッドの相対的な位置を自
動あるいは手動により調整するような位置調整機構が備
えられている。また、複数のインクジェットヘッドユニ
ットを有するカラーフィルタ製造装置には、透明基板上
の開口部に対するインクジェットヘッドの位置合わせが
可能な位置合わせ機構が、各インクジェットヘッドユニ
ットごとにそれぞれ独立して備えられている。For this purpose, the ink jet head unit is provided with a position adjusting mechanism for automatically or manually adjusting the relative positions of the three ink jet heads. Further, in a color filter manufacturing apparatus having a plurality of inkjet head units, an alignment mechanism capable of aligning the inkjet head with respect to the opening on the transparent substrate is independently provided for each inkjet head unit. .
【００２６】近年、カラーフィルタ用の基板は大型化の
傾向にあり、カラーフィルタ用基板の大きさは、従来で
３６０×４６５ｍｍ程度であったが、近年では５５０×
６５０ｍｍ、あるいは６００×７２０ｍｍ程度にまで大
型化している。さらに近い将来には、カラーフィルタ用
基板の一辺が１ｍにまで達することが予想されている。
ここで、このような大型の基板に対して、インクジェッ
トヘッドを固定し、基板を平面的に走査させながらほぼ
基板の全域に着色を行うようにし、かつ、インクジェッ
ト記録装置全体の大きさを必要以上に大きくしないため
には、基板が載置されるＸＹステージの移動範囲に対し
て、その移動範囲のほぼ中央部にインクジェットヘッド
を配置させる必要がある。In recent years, the size of a substrate for a color filter has been increasing, and the size of a substrate for a color filter has been about 360 × 465 mm in the past, but has recently been about 550 × 465 mm.
The size has been increased to about 650 mm or about 600 × 720 mm. In the near future, one side of the color filter substrate is expected to reach 1 m.
Here, an ink jet head is fixed to such a large substrate, coloring is performed over substantially the entire area of the substrate while scanning the substrate in a plane, and the size of the entire ink jet recording apparatus is more than necessary. In order not to increase the size of the XY stage, it is necessary to dispose the inkjet head substantially at the center of the moving range of the XY stage on which the substrate is placed.
【００２７】このように大型のカラーフィルタを製造す
る装置では、インクジェットヘッドが製造装置のほぼ中
央部に固定されたままであると、インクジェットヘッド
を交換したり、インクジェットヘッドの位置を手動で調
整したりする作業が非常に困難であり、場合によっては
これらの作業ができないような装置となってしまうとい
う問題点がある。また、インクジェットヘッドの交換
や、インクジェットヘッドの位置の調整という作業を人
手により行わず、自動によって行うようにした場合であ
っても、インクジェットヘッドの交換を自動で行うため
の機構や、インクジェットヘッドの相対な位置合わせを
自動で行うための機構をカラーフィルタ製造装置に搭載
する必要がある。その結果、装置自体が複雑になり、ま
た、それらの機構により装置が重くなったりするため、
製造装置の精度を高く保つことが困難になるというおそ
れがある。従って、インクジェットヘッドを手動で交換
する際や、インクジェットヘッドの位置を手動で調整す
る際には、インクジェットヘッドユニット全体を装置の
中央部から、基板が搭載されるＸＹステージの走査領域
の外側にまで移動させ、インクジェットヘッドユニット
全体を作業の行いやすい位置に配置させるような構成と
する必要がある。In the apparatus for manufacturing a large-sized color filter as described above, if the ink-jet head is fixed at a substantially central portion of the manufacturing apparatus, the ink-jet head is replaced or the position of the ink-jet head is manually adjusted. Is very difficult, and there is a problem that the device may not be able to perform these operations in some cases. In addition, even if the operation of replacing the inkjet head or adjusting the position of the inkjet head is not performed manually, but is performed automatically, a mechanism for automatically replacing the inkjet head, or a mechanism for replacing the inkjet head, It is necessary to mount a mechanism for automatically performing relative positioning on the color filter manufacturing apparatus. As a result, the device itself becomes complicated, and because of the mechanism, the device becomes heavy,
There is a risk that it will be difficult to keep the accuracy of the manufacturing apparatus high. Therefore, when manually replacing the inkjet head or manually adjusting the position of the inkjet head, the entire inkjet head unit is moved from the center of the apparatus to the outside of the scanning area of the XY stage on which the substrate is mounted. It is necessary to adopt a configuration in which the inkjet head unit is moved and the entire inkjet head unit is arranged at a position where the work can be easily performed.
【００２８】[0028]
【発明が解決しようとする課題】本出願人は、カラーフ
ィルタ製造装置において、インクジェットヘッドへイン
クを供給する供給経路の途中に脱気装置を組み込み、脱
気されたインクをインクジェットヘッドへ供給すること
により、インクジェットヘッドの吐出量の変動により生
じるすじムラ等の不良を防止して、カラーフィルタを安
定して製造できるように試みた。そのカラーフィルタ製
造装置では、インク供給経路に気体透過性のないステン
レスチューブを用いことが理想的であるが、インクジェ
ットヘッドの位置合わせや交換作業を行うためにはイン
ク供給経路に柔軟性を持たせておく必要があるため、イ
ンク供給用のチューブとしては、柔軟性のある樹脂のチ
ューブ、中でも気体透過性が低く、またインクに対する
耐性を有するポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）チュー
ブを用いた。このＰＶＤＦチューブはＰＴＦＥチューブ
などと比較して、気体の透過性ははるかに少ないが、時
間とともにわずかずつ気体がチューブを透過し、チュー
ブ内の脱気されたインクの溶存酸素量もわずかずつ上昇
していく。SUMMARY OF THE INVENTION In the color filter manufacturing apparatus, the present applicant incorporates a deaerator in the supply path for supplying the ink to the inkjet head, and supplies the deaerated ink to the inkjet head. Accordingly, an attempt was made to prevent defects such as stripe unevenness caused by fluctuations in the ejection amount of the inkjet head, and to stably manufacture a color filter. In the color filter manufacturing equipment, it is ideal to use a stainless tube with no gas permeability for the ink supply path. However, in order to perform the alignment and replacement of the inkjet head, the ink supply path must be flexible. Therefore, as a tube for supplying ink, a flexible resin tube, particularly, a polyvinylidene fluoride (PVDF) tube having low gas permeability and resistance to ink was used. This PVDF tube has much lower gas permeability than a PTFE tube or the like, but the gas permeates the tube little by little over time, and the dissolved oxygen amount of the degassed ink in the tube also rises little by little. To go.
【００２９】従って、溶存酸素量が常に一定値以下のイ
ンクをインクジェットヘッドに供給するために、溶存酸
素計によりインク中の溶存酸素量をモニタしながら、溶
存酸素量が一定値を超えた場合にインクジェットヘッド
からインクを押し出す加圧回復動作を実施することによ
って、脱気装置から供給された、より高レベルに脱気さ
れたインクをインクジェットヘッドに供給するようにし
た。ここで、透明基板への着色中にインクジェットヘッ
ドからインクを押し出すことはできないため、インク着
色動作以外の時にインクジェットヘッドからインクを押
し出すようにした。実際には、基板一枚を着色するごと
に約１０ｃｃのインクをインクジェットヘッドから押し
出した。インクを押し出した後には、インクジェットヘ
ッドの吐出口面にインク滴が残ってしまい、そのままの
状態ではインクの吐出ができないだけでなく、吐出口面
に残ったインク滴がオリフィスにかかってしまった場合
には、インクの吐出方向がオリフィスの中心軸方向から
ずれてしまう、よれと呼ばれる現象を引き起こしてしま
う。その結果、所望の位置にインク滴を着弾させること
ができなくなり、隣の画素の異なる色のインクと混ざり
合ってしまう混色と呼ばれる現象を引き起こすことで不
良品が発生してしまう。Therefore, in order to always supply ink having an amount of dissolved oxygen equal to or less than a certain value to the ink jet head, while the amount of dissolved oxygen in the ink is monitored by a dissolved oxygen meter, when the amount of dissolved oxygen exceeds a certain value, By performing a pressure recovery operation for pushing out the ink from the inkjet head, the ink degassed to a higher level and supplied from the deaerator is supplied to the inkjet head. Here, since the ink cannot be pushed out from the inkjet head while coloring the transparent substrate, the ink is pushed out from the inkjet head at times other than the ink coloring operation. In practice, about 10 cc of ink was extruded from the inkjet head each time one substrate was colored. When ink droplets remain on the ejection port surface of the inkjet head after extruding the ink, not only ink cannot be ejected as it is, but also the ink droplet remaining on the ejection port surface hits the orifice In this case, the ink discharge direction deviates from the direction of the center axis of the orifice, which causes a phenomenon called “skewing”. As a result, ink droplets cannot be landed at a desired position, and a phenomenon called color mixing in which ink of different colors is mixed with the adjacent pixels causes a defective product.
【００３０】さらに、インクジェットヘッドにより透明
基板の着色を行う際にはインクジェットヘッドの吐出口
面と透明基板との間の距離は、前述したように３００μ
ｍ以下と非常に接近しているため、吐出口面に残ったイ
ンクが透明基板に付着してしまい、不良となってしま
う。これらのことを防止するために、インクをインクジ
ェットヘッドから押し出した後には、インクジェットヘ
ッドの吐出口面に残ったインク滴を完全に払拭する必要
がある。Further, when coloring the transparent substrate with the ink jet head, the distance between the discharge port surface of the ink jet head and the transparent substrate is 300 μm as described above.
m or less, the ink remaining on the ejection opening surface adheres to the transparent substrate, resulting in a defect. In order to prevent these problems, it is necessary to completely wipe off the ink droplets remaining on the ejection port surface of the inkjet head after the ink is pushed out from the inkjet head.
【００３１】従って、このようなカラーフィルタ製造装
置では、インクをインクジェットヘッドから押し出して
しまう分だけ余計にインクが必要となり、基板上の必要
な部分のみを着色して着色材料の消費量を減らすことが
可能なインクジェット記録方式によるカラーフィルタ製
造装置の利点を生かすことができない。また、インク押
し出しと、その後に吐出口面に残ったインク滴の払拭の
ために余計な時間が必要となるため、基板１枚当たりに
かかる生産時間が長くなってしまい、生産タクトがより
長くなってしまうという問題点があった。Therefore, in such a color filter manufacturing apparatus, an extra amount of ink is required for pushing out the ink from the ink jet head, and only a necessary portion on the substrate is colored to reduce the consumption of the coloring material. It is not possible to take advantage of the color filter manufacturing apparatus using the ink jet recording method which can perform the above. Further, since extra time is required for extruding the ink and wiping the ink droplets remaining on the discharge port surface thereafter, the production time per substrate becomes longer, and the production tact becomes longer. There was a problem that would.
【００３２】上記の問題点を解消するために、従来のイ
ンクジェット記録装置で実施されていたようにインクを
吐出している動作中にインクジェットヘッド内でインク
を循環させ、その時に、脱気装置を通過して脱気された
インクをインクジェットヘッド内で循環させることで、
常時、高レベルに脱気されたインクをインクジェットヘ
ッドに供給することにより、インクジェットヘッドの吐
出の安定性の確保と、無駄なインク消費量の削滅、さら
に、生産タクトの短縮を実現しようと試みた。In order to solve the above problem, the ink is circulated in the ink jet head during the operation of discharging the ink as in the conventional ink jet recording apparatus. By circulating the degassed ink through the inkjet head,
By constantly supplying high-level degassed ink to the inkjet head, we have attempted to ensure the stability of inkjet head ejection, reduce wasteful ink consumption, and shorten production tact time. Was.
【００３３】しかしながら、そのようなカラーフィルタ
製造装置においては、インクジェットヘッドあるいはイ
ンクジェットヘッドユニット全体の高精度の位置決めが
必要であり、それらの位置決めを行う際には、インクジ
ェットヘッド、またはインクジェットヘッドユニット全
体を移動させる必要がある。その際、インクジェットヘ
ッドへインクを供給する、柔軟性を有するチューブもイ
ンクジェットヘッドと共に移動し、そのチューブが変形
する。このとき、上述したようにインクジェットヘッド
内でインクを常に循環させるために、変形したチューブ
内でもインクが常時流れており、チューブの変形の仕方
によっては、インクジェットヘッド内の圧力が高まり、
オリフィスからインクが押し出されてしまう可能性があ
る。前述したように、インクジェットヘッドのインク吐
出口面にわずかでもインク滴があると、インクの吐出方
向が曲がってしまうという、よれが生じたり、基板上に
インク滴が付着して不良品が発生したりする可能性があ
る。However, in such a color filter manufacturing apparatus, it is necessary to precisely position the ink jet head or the entire ink jet head unit. You need to move it. At that time, a flexible tube for supplying ink to the inkjet head also moves together with the inkjet head, and the tube is deformed. At this time, as described above, in order to constantly circulate the ink in the inkjet head, the ink is constantly flowing even in the deformed tube, and depending on the way in which the tube is deformed, the pressure in the inkjet head increases,
Ink may be pushed out of the orifice. As described above, even a small amount of ink droplets on the ink ejection port surface of the inkjet head may cause the ink ejection direction to bend, resulting in curling or ink droplets adhering to the substrate, resulting in defective products. Or there is a possibility.
【００３４】また、インクジェットヘッドが、ある一定
の回数以上だけインクの吐出を行うと、インクジェット
ヘッド内の変化により、インクジェットヘッドからイン
クを吐出できなくなってしまうという場合があり、その
場合には、インクジェットヘッドを交換する必要があ
る。インクジェットヘッドを交換する場合には、インク
供給経路の途中でインク供給系とインクジェットヘッド
とを切り離す必要があり、従来のカラーフィルタ製造装
置では、インク供給系とインクジェットヘッドとの間の
カプラ部によってインク供給系からインクジェットヘッ
ドを切り離していた。このようにカプラ部でインクジェ
ットヘッドを切り離すとき、インクジェットヘッド内で
インクが循環するようにインク供給系路内でインクが流
れたままであると、切り離した部分、すなわちカプラ部
からインクが流出し、装置内がインクで汚れてしまうだ
けでなく、装置の電気回路にインクがかかってしまった
場合など、装置を破壊してしまう可能性がある。If the ink-jet head discharges ink a certain number of times or more, it may become impossible to discharge ink from the ink-jet head due to a change in the ink-jet head. The head needs to be replaced. When replacing the ink jet head, it is necessary to disconnect the ink supply system and the ink jet head in the middle of the ink supply path.In a conventional color filter manufacturing apparatus, the ink is supplied by a coupler between the ink supply system and the ink jet head. The inkjet head was separated from the supply system. As described above, when the ink jet head is separated by the coupler unit, if the ink continues to flow in the ink supply system so that the ink circulates in the ink jet head, the separated portion, that is, the ink flows out of the coupler unit, and the device In addition to the inside being stained with ink, there is a possibility that the device may be destroyed, for example, when the ink is applied to the electric circuit of the device.
【００３５】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、本発明の目的は、吐出量の安定化のために、
一定レベルに脱気されたインクが循環によりインクジェ
ットヘッドに確実に供給されるように構成されたインク
ジェット記録装置で、インクジェットヘッドの取付け位
置の調整やインクジェットヘッドの交換を行うためにイ
ンクジェットヘッドを移動させる際や、インクジェット
ヘッドを交換する際に、インクジェットヘッドの吐出口
からインクがたれたり、インクジェットヘッドやインク
経路からインクが流れっ放しになったりすることが防止
され、装置内がインクで汚れたり、装置が損傷したりす
ることのないインクジェット記録装置および、そのイン
クジェット記録装置を有するカラーフィルタ製造装置を
提供することにある。The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to stabilize the discharge amount.
An ink jet recording apparatus configured so that the ink degassed to a certain level is reliably supplied to the ink jet head by circulation, and moves the ink jet head to adjust the mounting position of the ink jet head or replace the ink jet head. When replacing the inkjet head, the ink is prevented from dripping from the discharge port of the inkjet head, and the ink is prevented from flowing away from the inkjet head and the ink path, and the inside of the device is stained with ink, An object of the present invention is to provide an ink jet recording apparatus which does not damage the apparatus and a color filter manufacturing apparatus having the ink jet recording apparatus.
【００３６】また、本発明の目的は、インクジェットヘ
ッドを移動させる際やインクジェットヘッドを交換する
際などに、インクジェットヘッドの吐出口からインクが
たれたり、インクジェットヘッドやインク経路からイン
クが流れっ放しになったりすることが防止されたインク
ジェット記録装置をカラーフィルタ製造装置で用いるこ
とで、カラーフィルタ用の基板に液体がかかることによ
り不良品が発生することがなく、また、装置内を汚した
り、装置が損傷したりすることのない、高歩留りで、か
つ低価格のカラーフィルタを製造することが可能なカラ
ーフィルタ製造装置を提供することにある。Another object of the present invention is to prevent ink from dripping from an ejection port of an ink-jet head or to allow ink to flow from an ink-jet head or an ink path when the ink-jet head is moved or when the ink-jet head is replaced. By using the ink jet recording apparatus, which is prevented from becoming distorted, in a color filter manufacturing apparatus, a defective product is not generated due to a liquid applied to a substrate for a color filter, and the inside of the apparatus is contaminated, An object of the present invention is to provide a color filter manufacturing apparatus capable of manufacturing a high-yield and low-cost color filter without damaging the color filter.
【００３７】[0037]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、液体が通る液体通過経路および、該液体
通過経路内の液体の一部を吐出する吐出口を有するイン
クジェットヘッドに供給するための液体を貯留するタン
クと、前記タンクに貯留された液体を前記インクジェッ
トヘッドに供給するための第１の液体経路と、前記イン
クジェットヘッドの前記液体通過経路を通過した液体が
流れ込む第２の液体経路とを有し、前記タンクから前記
第１の液体経路、前記インクジェットヘッドの前記液体
通過経路、前記第２の液体経路の順で液体が連続的に流
れるように構成されたインクジェット記録装置におい
て、少なくとも前記液体通過経路内の液体の連続的な流
れを停止させる停止手段をさらに有する。To achieve the above object, the present invention provides an ink jet head having a liquid passage through which a liquid passes and a discharge port for discharging a part of the liquid in the liquid passage. For storing the liquid stored in the tank, a first liquid path for supplying the liquid stored in the tank to the ink jet head, and a second liquid into which the liquid passing through the liquid passage path of the ink jet head flows. An ink jet recording apparatus having a liquid path, wherein the liquid flows continuously from the tank in the order of the first liquid path, the liquid passage path of the ink jet head, and the second liquid path. And a stop means for stopping a continuous flow of the liquid in at least the liquid passage path.
【００３８】具体的には、前記第２の液体経路の、前記
インクジェットヘッド側と反対側の先端から流れ出た液
体を前記タンクに戻すための液体戻し経路をさらに有す
る。More specifically, the apparatus further includes a liquid return path for returning the liquid flowing out from the tip of the second liquid path on the side opposite to the ink jet head to the tank.
【００３９】また、前記第２の液体経路の、前記インク
ジェットヘッド側と反対側の先端と、前記タンクに貯留
された液体の上面との水頭差によって前記タンクから前
記第１の液体経路、前記インクジェットヘッドの前記液
体通過経路、前記第２の液体経路の順で液体が連続的に
流れるように構成されていることが好ましい。The head of the second liquid path, which is opposite to the ink jet head, and the upper surface of the liquid stored in the tank have a head difference between the tank and the first liquid path. It is preferable that the liquid is configured to flow continuously in the order of the liquid passage path of the head and the second liquid path.
【００４０】また、本発明は、液体が通る液体通過経路
および、該液体通過経路内の液体の一部を吐出する吐出
口を有するインクジェットヘッドに供給するための液体
を貯留する第１のタンクと、前記第１のタンクに貯留さ
れた液体を前記インクジェットヘッドに供給するための
第１の液体経路と、前記インクジェットヘッドの前記液
体通過経路を通過した液体が流れ込む第２の液体経路
と、前記第２の液体経路の、前記インクジェットヘッド
側と反対側の先端から流れ出た液体を貯留する第２のタ
ンクとを有し、前記第１のタンクから前記第１の液体経
路、前記インクジェットヘッドの前記液体通過経路、前
記第２の液体経路、前記第２のタンクの順で液体が連続
的に流れるように構成されたインクジェット記録装置に
おいて、少なくとも前記液体通過経路内の液体の連続的
な流れを停止させる停止手段をさらに有する。According to the present invention, there is provided a first tank for storing a liquid to be supplied to an ink jet head having a liquid passage through which a liquid passes and a discharge port for discharging a part of the liquid in the liquid passage. A first liquid path for supplying the liquid stored in the first tank to the ink jet head, a second liquid path into which the liquid that has passed through the liquid passage path of the ink jet head flows, A second tank for storing the liquid flowing out from the front end of the second liquid path opposite to the ink jet head side, wherein the first liquid path from the first tank to the liquid of the ink jet head In an ink jet recording apparatus configured so that liquid continuously flows in the order of a passage path, the second liquid path, and the second tank, at least Further comprising a stopping means for stopping the continuous flow of liquid serial in the liquid passing route.
【００４１】さらに、前記第２のタンクに貯留された液
体を前記第１のタンクに供給するタンク間液体供給手段
を有することが好ましい。さらに、前記第２の液体経路
の、前記インクジェットヘッド側と反対側の先端と、前
記第１のタンクに貯留された液体の上面との水頭差によ
って前記第１のタンクから前記第１の液体経路、前記イ
ンクジェットヘッドの前記液体通過経路、前記第２の液
体経路、前記第２のタンクの順で液体が連続的に流れる
ように構成されていることが好ましい。Further, it is preferable to have an inter-tank liquid supply means for supplying the liquid stored in the second tank to the first tank. Further, the first liquid path from the first tank is formed by a head difference between a tip of the second liquid path on the side opposite to the ink jet head side and an upper surface of the liquid stored in the first tank. It is preferable that the liquid is configured to flow continuously in the order of the liquid passage path, the second liquid path, and the second tank of the inkjet head.
【００４２】さらに、前記第１の液体経路の途中に備え
られ、前記第１の液体経路を通る液体に溶存する気体を
該液体から除去する脱気装置を有することが好ましい。
さらに、前記インクジェットヘッドの前記液体通過経路
の少なくとも一部が、前記インクジェットヘッドの前記
吐出口の近傍に配置されていることが好ましい。Further, it is preferable that a degassing device is provided in the middle of the first liquid path and removes a gas dissolved in the liquid passing through the first liquid path from the liquid.
Further, it is preferable that at least a part of the liquid passage of the ink jet head is disposed near the discharge port of the ink jet head.
【００４３】さらに、前記第１のインク経路、前記イン
クジェットヘッドの前記液体通過経路、および前記第２
の液体経路でインクを流動させつつ前記インクジェット
ヘッドから被記録媒体に向けてインクを吐出させる際に
前記インクジェットヘッドが固定される支持部材と、前
記インクジェットヘッドの前記吐出口近傍の一平面上で
前記被記録媒体を移動させる移動手段とをさらに有する
ことが好ましい。Further, the first ink path, the liquid passage path of the ink jet head, and the second ink path.
A support member to which the ink jet head is fixed when the ink is ejected from the ink jet head toward the recording medium while flowing the ink in the liquid path; and It is preferable to further include moving means for moving the recording medium.
【００４４】さらに、前記第１のタンクから前記第１の
液体経路、前記インクジェットヘッドの前記液体通過経
路、前記第２の液体経路の順で液体が連続的に流れる状
態で前記インクジェットヘッドの前記吐出口から液体を
強制的に排出させるために、前記第１のインク経路内の
液体を前記インクジェットヘッドに向けて強制的に送る
ための加圧手段を有し、前記停止手段は、前記加圧手段
により前記吐出口から液体を強制的に排出させた直後に
前記液体通過経路内の液体の連続的な流れを停止させる
ものである。Further, the discharge of the ink jet head in a state where the liquid continuously flows from the first tank in the order of the first liquid path, the liquid passage path of the ink jet head, and the second liquid path. A pressurizing unit for forcibly sending the liquid in the first ink path toward the inkjet head in order to forcibly discharge the liquid from the outlet; and the stopping unit includes the pressurizing unit. Thus, the continuous flow of the liquid in the liquid passage is stopped immediately after the liquid is forcibly discharged from the discharge port.
【００４５】さらに、前記インクジェットヘッドの吐出
口面を払拭する払拭手段を有し、前記停止手段が、前記
払拭手段によりインクジェットヘッドの吐出口面を払拭
する動作中に前記液体通過経路内の液体の連続的な流れ
を停止させるものである。この場合、前記払拭手段によ
りインクジェットヘッドの吐出口面を払拭する動作の終
了後、前記液体通過経路内で液体が連続的に流れるよう
に前記停止手段を制御する制御手段をさらに有すること
が好ましい。The ink jet head further includes wiping means for wiping the discharge port surface of the ink jet head, and the stopping means removes the liquid in the liquid passage path during the operation of wiping the discharge port surface of the ink jet head by the wiping means. It stops continuous flow. In this case, it is preferable that the apparatus further includes a control unit that controls the stop unit so that the liquid continuously flows in the liquid passage after the operation of wiping the ejection port surface of the inkjet head by the wiping unit.
【００４６】さらに、前記インクジェットヘッドの取付
け位置を調整する際に前記停止手段により前記液体通過
経路内の液体の連続的な流れを停止させることが好まし
く、前記インクジェットヘッドを別のインクジェットヘ
ッドに交換する際には、前記停止手段により前記液体通
過経路内、前記第１および第２の液体経路内の液体の連
続的な流れを停止させることが好ましい。Further, when adjusting the mounting position of the ink jet head, it is preferable to stop the continuous flow of the liquid in the liquid passage path by the stopping means, and replace the ink jet head with another ink jet head. In this case, it is preferable that the stop means stops the continuous flow of the liquid in the liquid passage and the first and second liquid paths.
【００４７】さらに、前記インクジェットヘッドが、被
記録媒体を移動させつつ前記インクジェットヘッドから
前記被記録媒体に向けて液体を吐出する際に前記被記録
媒体の移動範囲の中央部の上方に配置され、前記インク
ジェットヘッドを別のインクジェットヘッドに交換する
際、または前記インクジェットヘッドの取付け位置を調
整する際に前記移動範囲の端部の上方、または前記移動
範囲の外側上方に配置されるものであることが好まし
い。この場合、前記被記録媒体の前記移動範囲の中央部
の上方から前記移動範囲の端部の上方、または前記移動
範囲の外側上方に前記インクジェットヘッドを移動させ
る際に、前記停止手段が、前記液体通過経路内の液体の
連続的な流れを停止させるものであることが好ましい。Further, the inkjet head is disposed above a central portion of a moving range of the recording medium when ejecting a liquid from the inkjet head toward the recording medium while moving the recording medium, When replacing the inkjet head with another inkjet head, or when adjusting the mounting position of the inkjet head, the inkjet head may be disposed above an end of the moving range or above and outside the moving range. preferable. In this case, when the inkjet head is moved from above a central portion of the moving range of the recording medium to above an end portion of the moving range or above and outside the moving range, the stopping unit may be configured to stop the liquid by using the liquid. It is preferable to stop the continuous flow of the liquid in the passage.
【００４８】上記のとおりの発明では、液体を貯留する
タンクまたは第１のタンクから第１の液体経路、インク
ジェットヘッドの液体通過経路、第２の液体経路の順で
液体が連続的に流れるように構成されたインクジェット
記録装置に、前記液体通過経路内の液体の連続的な流れ
を停止させる停止手段が備えられたことにより、例えば
インクジェットヘッドの状態を回復させるために加圧手
段により吐出口から液体を強制的に排出させた直後に停
止手段によって前記液体通過経路内の液体の連続的な流
れを停止させることで、インクジェットヘッドの吐出口
から液体が流れっ放しになることが防止される。また、
インクジェットヘッドの吐出口面を払拭手段により払拭
する動作中において、停止手段によって前記液体通過経
路内の液体の連続的な流れを停止させることにより、イ
ンクジェットヘッドのノズル先端に形成されたメニスカ
スが破壊されてもインクジェットヘッドの吐出口から液
体が流れっ放しになることが防止される。さらに、イン
クジェット記録装置に取り付けられたインクジェットヘ
ッドの取付け位置を調整する際にも、停止手段によって
前記液体通過経路内の液体の連続的な流れを停止させる
ことにより、インクジェットヘッドに接続されたチュー
ブなどに圧力が加わってチューブが変形しても、インク
ジェットヘッドの吐出口から液体がたれることや、吐出
口から液体が流れっ放しになることが防止される。さら
に、インクジェットヘッドを交換する際には、停止手段
によって前記液体通過経路内や、第１および第２の液体
経路内の液体の連続的な流れを停止させることにより、
例えば第１および第２の液体経路の途中で液体供給経路
からインクジェットヘッドを切り離しても、第１の液体
経路や第２の液体経路から液体が流れっ放しになること
が防止される。さらに、インクジェットヘッドを交換可
能、または前記インクジェットヘッドの取付け位置を調
整可能な位置にインクジェットヘッドを移動させる際
に、停止手段によって前記液体通過経路内の液体の連続
的な流れを停止させることにより、インクジェットヘッ
ドに接続されたチューブなどがインクジェットヘッドと
共に移動してそのチューブが変形しても、インクジェッ
トヘッドの吐出口から液体がたれることや、吐出口から
液体が流れっ放しになることが防止される。従って、イ
ンクジェットヘッドの吐出口から流れ出た液体により装
置が汚れたり、装置が損傷したりすることが防止され、
また、インクジェット記録装置における液体の消費量を
最小限にとどめることができる。In the invention as described above, the liquid flows continuously from the tank storing the liquid or the first tank in the order of the first liquid path, the liquid passage path of the ink jet head, and the second liquid path. Since the configured ink jet recording apparatus is provided with a stopping means for stopping a continuous flow of the liquid in the liquid passage, for example, the liquid is discharged from the discharge port by the pressurizing means in order to recover the state of the ink jet head. By stopping the continuous flow of the liquid in the liquid passage by the stopping means immediately after forcibly discharging the liquid, it is possible to prevent the liquid from flowing away from the discharge port of the inkjet head. Also,
During the operation of wiping the ejection port surface of the inkjet head by the wiping unit, the continuous flow of the liquid in the liquid passage is stopped by the stopping unit, so that the meniscus formed at the nozzle tip of the inkjet head is destroyed. However, it is possible to prevent the liquid from flowing away from the ejection port of the inkjet head. Further, even when adjusting the mounting position of the inkjet head attached to the inkjet recording apparatus, by stopping the continuous flow of the liquid in the liquid passage path by the stopping means, such as a tube connected to the inkjet head Even if the tube is deformed due to the pressure applied to the ink jet head, it is possible to prevent the liquid from dripping from the discharge port of the inkjet head and prevent the liquid from flowing away from the discharge port. Further, when replacing the ink jet head, by stopping the continuous flow of the liquid in the liquid passage path or the first and second liquid paths by the stopping means,
For example, even if the inkjet head is disconnected from the liquid supply path in the middle of the first and second liquid paths, it is possible to prevent the liquid from flowing away from the first liquid path and the second liquid path. Furthermore, when the inkjet head is replaceable, or when moving the inkjet head to a position where the mounting position of the inkjet head can be adjusted, by stopping the continuous flow of the liquid in the liquid passage path by the stopping means, Even if a tube connected to the inkjet head moves with the inkjet head and deforms, the liquid is prevented from dripping from the ejection port of the inkjet head or flowing out from the ejection port. You. Therefore, the device is prevented from being contaminated by the liquid flowing out from the discharge port of the inkjet head, and the device is prevented from being damaged,
Further, it is possible to minimize the consumption of the liquid in the ink jet recording apparatus.
【００４９】また、本発明のカラーフィルタ製造装置
は、上述したインクジェット記録装置を有し、前記イン
クジェット記録装置の前記インクジェットヘッドからイ
ンクを吐出させてカラーフィルタを製造する。A color filter manufacturing apparatus according to the present invention includes the above-described ink jet recording apparatus, and manufactures a color filter by discharging ink from the ink jet head of the ink jet recording apparatus.
【００５０】上記の発明のカラーフィルタ製造装置で
は、上述したようなインクジェット記録装置を用いるこ
とにより、上記のようにインクジェットヘッドの吐出口
面の払拭、インクジェットヘッドの取付け位置の調整、
およびインクジェットヘッドの交換などを行う際にイン
クジェットヘッドや供給経路からインクなどの液体が流
れ出たり、インクが流れっ放しになったりすることが停
止手段によって防止されるので、カラーフィルタ用の基
板にインクがかかることによる不良品の発生がなくな
り、カラーフィルタの歩留まりが高くなる。また、イン
クジェットヘッドから流れ出たインクによってカラーフ
ィルタ製造装置の内部が汚れたり、装置が損傷したりす
ることが防止されるので、カラーフィルタのコストが抑
えられ、低価格のカラーフィルタをより確実に製造する
ことができる。In the color filter manufacturing apparatus of the present invention, by using the above-described ink jet recording apparatus, it is possible to wipe the discharge port surface of the ink jet head, adjust the mounting position of the ink jet head as described above,
Stopping means prevents liquid such as ink from flowing out of the ink jet head or the supply path or leaving ink flowing out when replacing the ink jet head, etc. As a result, defective products are not generated, and the yield of color filters is increased. In addition, since the inside of the color filter manufacturing apparatus is prevented from being stained or damaged by the ink flowing out of the ink jet head, the cost of the color filter is reduced, and a low-cost color filter is manufactured more reliably. can do.
【００５１】[0051]
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
【００５２】〈カラーフィルタ製造装置の全体の構成〉
図１は、本発明の一実施形態のカラーフィルタ製造装置
を示す斜視図である。図２は、図１に示されるＸＹステ
ージ周辺の斜視図であり、図３は、図１に示されるヘッ
ドユニットを構成するインクジェットヘッドおよび、検
出光学系の配置図である。本実施形態のカラーフィルタ
製造装置は、インクジェット方式を用いたものであり、
インクジェットヘッドからインクなどの液体を吐出させ
て透明基板を着色するインクジェット記録装置を有して
いる。<Overall Configuration of Color Filter Manufacturing Apparatus>
FIG. 1 is a perspective view showing a color filter manufacturing apparatus according to one embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view of the vicinity of the XY stage shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a layout diagram of an ink jet head and a detection optical system constituting the head unit shown in FIG. The color filter manufacturing apparatus of the present embodiment uses an inkjet method,
It has an ink jet recording apparatus for discharging a liquid such as ink from an ink jet head to color a transparent substrate.
【００５３】本実施形態のカラーフィルタ製造装置で
は、図１に示すように、装置搭載用の定盤６０１およ
び、搬入搬出装置６１８がサーマルチャンバ６１７の内
部に配置されている。定盤６０１の上面には、後述する
ように位置決め装置６３１などの装置が搭載されてい
る。これらの定盤６０１、定盤６０１上の装置および、
搬入搬出装置６１８がサーマルチャンバ６１７によって
覆われている。サーマルチャンバ６１７内の温度は厳密
に管理されており、サーマルチャンバ６１７の内部でカ
ラーフィルタが製造される。搬入搬出装置６１８は、サ
ーマルチャンバ６１７の外部からサーマルチャンバ６１
７の内部へのガラス基板の搬入および、サーマルチャン
バ６１７の内部からサーマルチャンバ６１７の外部への
ガラス基板の搬出を行うものである。In the color filter manufacturing apparatus of the present embodiment, as shown in FIG. 1, a surface plate 601 for mounting the apparatus and a loading / unloading device 618 are arranged inside a thermal chamber 617. A device such as a positioning device 631 is mounted on the upper surface of the surface plate 601 as described later. These surface plate 601, devices on the surface plate 601, and
The carry-in / carry-out device 618 is covered by the thermal chamber 617. The temperature in the thermal chamber 617 is strictly controlled, and a color filter is manufactured inside the thermal chamber 617. The loading / unloading device 618 is connected to the thermal chamber 61 from outside the thermal chamber 617.
7 is carried in, and the glass substrate is carried out from the inside of the thermal chamber 617 to the outside of the thermal chamber 617.
【００５４】図１および図２に示すように、定盤６０１
は、定盤６０１の外部から定盤６０１への振動を遮断す
る除振台６０２により支持されている。定盤６０１で
は、図１に示すように、定盤６０１の上面と平行な一方
向をＸ方向とし、定盤６０１の上面と平行、かつ、Ｘ方
向と直行する方向をＹ方向とする。Ｙ方向に搬入搬出装
置６１８および定盤６０１が並んでいる。また、定盤６
０１の上面に対して垂直な方向をＺ方向とする。As shown in FIG. 1 and FIG.
Are supported by an anti-vibration table 602 that blocks vibration from the outside of the surface plate 601 to the surface plate 601. In the surface plate 601, as shown in FIG. 1, one direction parallel to the upper surface of the surface plate 601 is defined as an X direction, and a direction parallel to the upper surface of the surface plate 601 and orthogonal to the X direction is defined as a Y direction. The carry-in / carry-out device 618 and the surface plate 601 are arranged in the Y direction. In addition, surface plate 6
The direction perpendicular to the upper surface of the 01 is defined as the Z direction.
【００５５】定盤６０１上の位置決め装置６３１は、定
盤６０１の上面に配置されたＸＹステージ６０３、ＸＹ
ステージ６０３上に搭載されたチルトステージ６０４
や、Ｚ方向検出用光学系６０８などから構成されてい
る。チルトステージ６０４の上面には、図１３に基づい
て後述するようにブラックマトリクスおよび樹脂組成物
層が形成された、被記録媒体であるガラス基板１が搭載
されている。The positioning device 631 on the surface plate 601 includes an XY stage 603 and an XY stage
Tilt stage 604 mounted on stage 603
And a Z-direction detecting optical system 608. On the upper surface of the tilt stage 604, a glass substrate 1 as a recording medium on which a black matrix and a resin composition layer are formed as described later with reference to FIG. 13 is mounted.
【００５６】ＸＹステージ６０３は、大きなストローク
でガラス基板１をＸ方向およびＹ方向に移動させる移動
手段である。このＸＹステージ６０３によって、ヘッド
ユニット６０６に搭載されたインクジェットヘッドの吐
出口近傍の一平面上、ここではＸ方向およびＹ方向と平
行な一平面上でガラス基板１が移動させられる。チルト
ステージ６０４は、チルトステージ６０４上のガラス基
板１のＺ方向の位置決めおよび、Ｘ，Ｙ方向に平行な面
に対するガラス基板１の傾きθの調整を行うものであ
る。Ｚ方向検出用光学系６０８は、ガラス基板１のＺ方
向の位置を検出するためのものである。The XY stage 603 is moving means for moving the glass substrate 1 in a large stroke in the X and Y directions. The glass substrate 1 is moved by the XY stage 603 on one plane near the ejection port of the ink jet head mounted on the head unit 606, here on one plane parallel to the X direction and the Y direction. The tilt stage 604 is for positioning the glass substrate 1 on the tilt stage 604 in the Z direction and adjusting the inclination θ of the glass substrate 1 with respect to a plane parallel to the X and Y directions. The Z-direction detecting optical system 608 is for detecting the position of the glass substrate 1 in the Z-direction.
【００５７】また、定盤６０１上には、インクなどの液
体を吐出するヘッドユニット６０６をＸ方向に移動させ
るためのヘッドステージ６１０が搭載されている。ヘッ
ドユニット６０６には、インクをガラス基板に向けて吐
出してそのガラス基板を着色するインクジェットヘッド
が備えられている。本実施形態のカラーフィルタ製造装
置では、ヘッドユニット６０６のインクジェットヘッド
の内部でインクを常に流動させ、流動するインクのうち
の一部をインクジェットヘッドの吐出口から吐出させて
ガラス基板を着色させる。ヘッドユニット６０６のイン
クジェットヘッドには、微小な吐出口の他に、後述する
ようにインクジェットヘッドの内部にインクを供給する
ための供給口および、インクジェットヘッドの内部から
インクジェットヘッドの外部へとインクを排出させるた
めの排出口や、それらの供給口および排出口と連通する
インク循環経路が形成されている。A head stage 610 for moving a head unit 606 for discharging a liquid such as ink in the X direction is mounted on the surface plate 601. The head unit 606 includes an inkjet head that discharges ink toward a glass substrate to color the glass substrate. In the color filter manufacturing apparatus of the present embodiment, the ink is constantly flowed inside the ink jet head of the head unit 606, and a part of the flowing ink is discharged from the discharge port of the ink jet head to color the glass substrate. The ink jet head of the head unit 606 has a supply port for supplying ink to the inside of the ink jet head, as described later, and a discharge port for discharging ink from the inside of the ink jet head to the outside of the ink jet head, as described later. And an ink circulation path communicating with the supply port and the discharge port.
【００５８】ヘッドステージ６１０は、支柱６１１によ
って定盤６０１の上面に支持されている。ヘッドステー
ジ６１０の上面には、ヘッドユニット６０６を支持する
支持アーム６１３が２つ、Ｘ方向に移動可能に載置され
ている。本実施形態のカラーフィルタ製造装置では、ヘ
ッドユニット６０６を２つ搭載するために、このように
支持アーム６１３が２つ備えられている。それぞれの支
持アーム６１３は、ヘッドステージ６１０からＹ方向と
平行に搬入搬出装置６１８側に突出しており、それらの
突出部分のそれぞれの下面にヘッドθモータ６１２が取
り付けられ、ヘッドθモータ６１２の下面にヘッドユニ
ット６０６が取り付けられている。ヘッドθモータ６１
２は、ヘッドユニット６０６全体を回転させるためのも
のである。ヘッドユニット６０６に搭載されたインクジ
ェットヘッドからガラス基板１に向けてインクを吐出さ
せる際にヘッドユニット６０６が固定される支持部材が
支柱６１１およびヘッドステージ６１０などから構成さ
れている。The head stage 610 is supported on the upper surface of the surface plate 601 by a column 611. On the upper surface of the head stage 610, two support arms 613 supporting the head unit 606 are mounted so as to be movable in the X direction. In the color filter manufacturing apparatus of the present embodiment, two support arms 613 are provided in order to mount two head units 606 in this manner. Each support arm 613 protrudes from the head stage 610 to the carry-in / carry-out device 618 side in parallel with the Y direction. A head unit 606 is attached. Head θ motor 61
Numeral 2 is for rotating the entire head unit 606. A support member to which the head unit 606 is fixed when ink is ejected from the inkjet head mounted on the head unit 606 toward the glass substrate 1 includes a column 611, a head stage 610, and the like.
【００５９】それぞれの支持アーム６１３の上面には、
三方弁や溶存酸素計などが組み込まれた弁ボックス６１
４が搭載されている。支持アーム６１３、ヘッドユニッ
ト６０６および弁ボックス６１４は一体となって、ヘッ
ドステージ６１０によりヘッドステージ６１０の中央部
からＸ方向に沿ってヘッドステージ６１０の端部まで移
動可能となっている。従って、支持アーム６１３、ヘッ
ドユニット６０６および弁ボックス６１４をヘッドステ
ージ６１０の端部に移動させることで、ヘッドユニット
６０６の取付け作業、交換作業および、ヘッドユニット
６０６に備えられたインクジェットヘッドの位置を調整
する作業を作業者が行うことが可能となっている。ま
た、このようにヘッドユニット６０６が２つ搭載された
ヘッドステージ６１０においては、これら２つのヘッド
ユニット６０６におけるＸ方向の相対位置がミクロンオ
ーダで位置決めされるような機構となっている。On the upper surface of each support arm 613,
Valve box 61 incorporating a three-way valve and dissolved oxygen meter
4 are mounted. The support arm 613, the head unit 606, and the valve box 614 are integrally movable by the head stage 610 from the center of the head stage 610 to the end of the head stage 610 along the X direction. Therefore, by moving the support arm 613, the head unit 606, and the valve box 614 to the end of the head stage 610, the work of mounting and exchanging the head unit 606 and the position of the inkjet head provided in the head unit 606 are adjusted. It is possible for the worker to perform the work to be performed. Further, the head stage 610 on which the two head units 606 are mounted has a mechanism in which the relative positions in the X direction of the two head units 606 are positioned on the order of microns.
【００６０】さらに、定盤６０１の上面におけるヘッド
ステージ６１０の、搬入搬出装置６１８側と反対側の部
分には、回復系ユニット６１５および洗浄系ユニット６
１６が配置されている。回復系ユニット６１５には、ヘ
ッドユニット６０６のインクジェットヘッドのキャッピ
ングを行ったり、そのインクジェットヘッドから吐出さ
れたインクを受けたりするためのキャップや、インクジ
ェットヘッドのノズル面に付着したインク滴を払拭する
払拭手段であるワイピングブレードなどが備えられてい
る。この回復系ユニット６１５はヘッドユニット６０６
の真下まで移動可能となっており、回復系ユニット６１
５によってヘッドユニット６０６のインクジェットヘッ
ドを回復させる動作が行われる。洗浄系ユニット６１６
は、回復系ユニット６１５に備えられたキャップおよび
クリーニングブレードを洗浄するためのものである。Further, the recovery system unit 615 and the cleaning system unit 6
16 are arranged. The recovery unit 615 includes a cap for capping the ink jet head of the head unit 606, receiving ink ejected from the ink jet head, and wiping ink droplets attached to the nozzle surface of the ink jet head. A wiping blade as a means is provided. The recovery unit 615 includes the head unit 606
Of the recovery unit 61
5, the operation of recovering the ink jet head of the head unit 606 is performed. Cleaning unit 616
Is for cleaning the cap and the cleaning blade provided in the recovery system unit 615.
【００６１】サーマルチャンバ６１７の外部からサーマ
ルチャンバ６１７の内部へと搬入されたガラス基板は、
搬入搬出装置６１８によってチルトステージ６０４上へ
と搬送される。また、ヘッドユニット６０６のインクジ
ェットヘッドにより着色されたガラス基板は、搬入搬出
装置６１８によってサーマルチャンバ６１７の外部へと
搬出される。The glass substrate carried into the thermal chamber 617 from the outside of the thermal chamber 617 is
It is transported onto the tilt stage 604 by the loading / unloading device 618. The glass substrate colored by the inkjet head of the head unit 606 is carried out of the thermal chamber 617 by the carry-in / carry-out device 618.
【００６２】一方、ヘッドユニット６０６には、図３に
示されるインクジェットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１
２０ｃが備えられている。インクジェットヘッド１２０
ａは赤色のインクを吐出するものであり、インクジェッ
トヘッド１２０ｂは、緑色のインクを吐出するものであ
り、インクジェットヘッド１２０ｃは、青色のインクを
吐出するものである。インクジェットヘッド１２０ａ，
１２０ｂ，１２０ｃのそれぞれからインクを吐出させる
ための位置にヘッドユニット６０６を配置させた際に、
インクジェットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃの
近傍に、Ｚ方向検出用光学系６０８を構成するＺ方向検
出光学素子６０８ａ，６０８ｂ，６０８ｃや、アライメ
ント検出用光学系６０７および着弾位置検出用光学系６
０９が配置されるようにそれらの光学素子や光学系が設
けられている。On the other hand, the head unit 606 includes the inkjet heads 120a, 120b, 1 shown in FIG.
20c is provided. Inkjet head 120
a is for ejecting red ink, the inkjet head 120b is for ejecting green ink, and the inkjet head 120c is for ejecting blue ink. Inkjet heads 120a,
When the head unit 606 is arranged at a position for discharging ink from each of the heads 120b and 120c,
In the vicinity of the inkjet heads 120a, 120b, and 120c, the Z-direction detection optical elements 608a, 608b, and 608c that constitute the Z-direction detection optical system 608, the alignment detection optical system 607, and the landing position detection optical system 6
The optical element and the optical system are provided so that 09 is arranged.
【００６３】さらに、図１に示すように、インクジェッ
トヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃのそれぞれにイ
ンクを供給するインク供給ユニット６１９はサーマルチ
ャンバ６１７の外部に配置されている。図１では、イン
ク供給ユニット６１９が１つしか示されていないが、ヘ
ッドユニット６０６の数に対応してインク供給ユニット
６１９も２つ備えられており、１つのヘッドユニット６
０６に１つのインク供給ユニット６１９が対応してい
る。Further, as shown in FIG. 1, an ink supply unit 619 for supplying ink to each of the ink jet heads 120a, 120b and 120c is arranged outside the thermal chamber 617. Although only one ink supply unit 619 is shown in FIG. 1, two ink supply units 619 are provided corresponding to the number of head units 606, and one head unit 619 is provided.
One ink supply unit 619 corresponds to 06.
【００６４】インク供給ユニット６１９には、第２のタ
ンクとしてのメインタンク３０１ａ，３０１ｂ，３０１
ｃ、メインポンプ３０２、第１のタンクとしてのサブタ
ンク４０１ａ，４０２ｂ，４０１ｃ、およびメイン脱気
装置５１１ａ，５１１ｂ，５１１ｃが備えられている。
インクジェットヘッド１２０ａには、メインタンク３０
１ａ、サブタンク４０１ａおよびメイン脱気装置５１１
ａが対応しており、インクジェットヘッド１２０ｂに
は、メインタンク３０１ｂ、サブタンク４０１ｂおよび
メイン脱気装置５１１ｂが対応している。また、インク
ジェットヘッド１２０ｃには、メインタンク３０１ｃ、
サブタンク４０１ｃおよびメイン脱気装置５１１ｃが対
応している。サブタンク４０１ａ，４０２ｂ，４０１ｃ
やメイン脱気装置５１１ａ，５１１ｂ，５１１ｃのそれ
ぞれは、サーマルチャンバ６１７に形成された穴６２１
を通ったチューブ束６２０によって弁ボックス６１４と
連結されている。チューブ束６２０は、インク供給ユニ
ット６１９からヘッドユニット６０６に向けてインクを
供給するチューブと、ヘッドユニット６０６から排出さ
れたインクをヘッドユニット６０６に戻すチューブとか
ら構成されている。In the ink supply unit 619, main tanks 301a, 301b and 301 as second tanks are provided.
c, a main pump 302, sub tanks 401a, 402b, and 401c as first tanks, and main deaerators 511a, 511b, and 511c.
The main tank 30 is provided in the inkjet head 120a.
1a, sub tank 401a and main deaerator 511
The main tank 301b, the sub tank 401b, and the main deaerator 511b correspond to the inkjet head 120b. The inkjet head 120c has a main tank 301c,
The sub tank 401c and the main deaerator 511c correspond. Sub tanks 401a, 402b, 401c
Each of the main deaerators 511a, 511b, and 511c has a hole 621 formed in the thermal chamber 617.
It is connected to the valve box 614 by a tube bundle 620 passing therethrough. The tube bundle 620 includes a tube that supplies ink from the ink supply unit 619 to the head unit 606, and a tube that returns the ink discharged from the head unit 606 to the head unit 606.
【００６５】さらに、弁ボックス６１４の、ヘッドユニ
ット６０６側の側面からは、ヘッドユニット６０６にイ
ンクを供給するためのチューブ束が延びており、そのチ
ューブ束の先端にはカプラ部６２６を介して複数のイン
ク供給チューブ６２５の一端が接続されている。それぞ
れのインク供給チューブ６２５の他端には、インクジェ
ットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃのうち、それ
ぞれのインク供給チューブ６２５に対応するインクジェ
ットヘッドヘッドが独立して接続されている。インク供
給ユニット６１９、チューブ束６２０、弁ボックス６１
４、ヘッドユニット６０６、弁ボックス６１４とヘッド
ユニット６０６との間のチューブや、定盤６０１上のＸ
Ｙステージ６０３、チルトステージ６０４およびヘッド
ステージ６１０などからインクジェット記録装置が構成
されている。Further, a tube bundle for supplying ink to the head unit 606 extends from a side surface of the valve box 614 on the side of the head unit 606, and a plurality of tubes are provided at the tip of the tube bundle via a coupler 626. Of the ink supply tube 625 is connected. The other end of each ink supply tube 625 is independently connected to an ink jet head corresponding to each ink supply tube 625 among the ink jet heads 120a, 120b, and 120c. Ink supply unit 619, tube bundle 620, valve box 61
4. The head unit 606, the tube between the valve box 614 and the head unit 606, and the X on the surface plate 601.
An ink jet recording apparatus includes the Y stage 603, the tilt stage 604, the head stage 610, and the like.
【００６６】このようにそれぞれの構成部品が接続され
ていることで、インク供給ユニット６１９からインクジ
ェットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃのそれぞれ
に向けてインクが供給される。従って、このカラーフィ
ルタ製造装置では、インク供給ユニット６１９や弁ボッ
クス６１４および、インク供給ユニット６１９からヘッ
ドユニット６０６までのインク供給経路を構成するチュ
ーブなどによってインク供給系が構成されている。この
インク供給系については、図７に基づいて詳細に説明す
る。By connecting the respective components as described above, ink is supplied from the ink supply unit 619 to each of the ink jet heads 120a, 120b, and 120c. Therefore, in this color filter manufacturing apparatus, an ink supply system is configured by the ink supply unit 619, the valve box 614, and a tube constituting an ink supply path from the ink supply unit 619 to the head unit 606. This ink supply system will be described in detail with reference to FIG.
【００６７】また、インクジェットヘッド１２０ａ，１
２０ｂ，１２０ｃのそれぞれには、電気信号用のケーブ
ル（不図示）の一端が独立して接続されており、電気信
号用のケーブルの他端は、サーマルチャンバ６１７の外
部に配置された制御手段としての制御ユニット（不図
示）に接続されている。制御ユニットはパソコンなどか
ら構成されており、その制御ユニットによってインクジ
ェットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃのそれぞれ
から独立にインクを吐出させることができるように構成
されている。さらに、弁ボックス６１４からは、弁ボッ
クス６１４内の三方弁を駆動するための、その三方弁に
一端が接続されたケーブル（不図示）と、弁ボックス６
１４内の溶存酸素計のセンサに一端が接続されたケーブ
ル（不図示）とが束になったケーブル束が出ている。そ
のケーブル束は、チューブ束６２０と同様に穴６２１を
通って、サーマルチャンバ６１７の外部の前記制御ユニ
ットに接続されている。The ink jet heads 120a, 1
One end of an electric signal cable (not shown) is independently connected to each of 20b and 120c, and the other end of the electric signal cable is used as control means arranged outside the thermal chamber 617. Is connected to a control unit (not shown). The control unit is composed of a personal computer or the like, and is configured such that the control unit can eject ink independently from each of the inkjet heads 120a, 120b, and 120c. Further, from the valve box 614, a cable (not shown) having one end connected to the three-way valve for driving the three-way valve in the valve box 614;
There is a cable bundle in which a sensor (not shown) having one end connected to the sensor of the dissolved oxygen meter in 14 is bundled. The cable bundle is connected to the control unit outside the thermal chamber 617 through the hole 621 similarly to the tube bundle 620.
【００６８】〈ヘッドユニットの構成〉図４は、図１に
示したヘッドユニット６０６の上面図であり、図５は、
ヘッドユニット６０６の正面図であり、図６は、ヘッド
ユニット６０６の側面図である。インクジェットヘッド
１２０ａはアーム５１ａに固定され、アーム５１ａは調
整板５２ａに固定されている。インクジェットヘッド１
２０ｂはアーム５１ｂに固定され、アーム５１ｂは調整
板５２ｂに固定されている。インクジェットヘッド１２
０ｃはアーム５１ｃに固定され、アーム５１ｃは調整板
５２ｃに固定されている。また、調整板５２ａは固定ブ
ロック５３ａを介して調整板５２ｂに固定され、調整板
５２ｃは固定ブロック５３ｃを介して調整板５２ｂに固
定されており、調整板５３ａ，５３ｂ，５３ｃが一体と
なっている。<Structure of Head Unit> FIG. 4 is a top view of the head unit 606 shown in FIG. 1, and FIG.
FIG. 6 is a front view of the head unit 606, and FIG. 6 is a side view of the head unit 606. The ink jet head 120a is fixed to the arm 51a, and the arm 51a is fixed to the adjustment plate 52a. Inkjet head 1
20b is fixed to the arm 51b, and the arm 51b is fixed to the adjustment plate 52b. Inkjet head 12
0c is fixed to the arm 51c, and the arm 51c is fixed to the adjustment plate 52c. The adjustment plate 52a is fixed to the adjustment plate 52b via the fixed block 53a, and the adjustment plate 52c is fixed to the adjustment plate 52b via the fixed block 53c. The adjustment plates 53a, 53b, 53c are integrated. I have.
【００６９】インクジェットヘッド１２０ａの描画方向
（Ｙ方向）と直行する方向（Ｘ方向）の位置合わせは、
インクジェットヘッド１２０ｂのＸ方向の位置を基準と
してマイクロメータ５５ａによって行われる。インクジ
ェットヘッド１２０ｃの描画方向（Ｙ方向）と直行する
方向（Ｘ方向）の位置合わせは、インクジェットヘッド
１２０ｂのＸ方向の位置を基準としてマイクロメータ５
５ａによって行われる。また、インクジェットヘッド１
２０ａの、描画面（Ｘ−Ｙ面）と平行な平面内での回転
方向の位置合わせは、インクジェットヘッド１２０ｂ
の、描画面（Ｘ−Ｙ面）と平行な平面内での回転角を基
準としてマイクロメータ５５ａによって行われる。イン
クジェットヘッド１２０ｃの、描画面（Ｘ−Ｙ面）と平
行な平面内での回転方向の位置合わせは、インクジェッ
トヘッド１２０ｂの、描画面（Ｘ−Ｙ面）と平行な平面
内での回転角を基準としてマイクロメータ５５ｃによっ
て行われる。Positioning in the direction (X direction) orthogonal to the drawing direction (Y direction) of the ink jet head 120a is as follows.
This is performed by the micrometer 55a with reference to the position of the inkjet head 120b in the X direction. Positioning of the inkjet head 120c in the direction (X direction) perpendicular to the drawing direction (Y direction) is performed by using the micrometer 5 based on the position of the inkjet head 120b in the X direction.
5a. In addition, the inkjet head 1
Positioning of the rotating head 20a in a rotation direction in a plane parallel to the drawing surface (XY plane) is performed by the inkjet head 120b.
Is performed by the micrometer 55a based on the rotation angle in a plane parallel to the drawing plane (XY plane). Positioning of the inkjet head 120c in the rotation direction in a plane parallel to the drawing plane (XY plane) is performed by adjusting the rotation angle of the inkjet head 120b in a plane parallel to the drawing plane (XY plane). The measurement is performed by the micrometer 55c as a reference.
【００７０】マイクロメータ５４ａによりインクジェッ
トヘッド１２０ａのＸ方向の位置合わせを行った後に、
インクジェットヘッド１２０ｂに対するインクジェット
ヘッド１２０ａのＸ方向の位置がロックねじ５６ａによ
って固定される。同じように、マイクロメータ５４ｃに
よりインクジェットヘッド１２０ｃのＸ方向の位置合わ
せを行った後に、インクジェットヘッド１２０ｂに対す
るインクジェットヘッド１２０ｃのＸ方向の位置がロッ
クねじ５６ｃによって固定される。また、マイクロメー
タ５５ａによりインクジェットヘッド１２０ａの前記回
転方向の位置合わせを行った後に、インクジェットヘッ
ド１２０ｂに対するインクジェットヘッド１２０ａの回
転方向の相対位置がロックねじ５７ａによって固定され
る。同じように、マイクロメータ５５ｃによりインクジ
ェットヘッド１２０ｃの前記回転方向の位置合わせを行
った後に、インクジェットヘッド１２０ｂに対するイン
クジェットヘッド１２０ｃの回転方向の相対位置がロッ
クねじ５７ｃによって固定される。After positioning the ink jet head 120a in the X direction by the micrometer 54a,
The position of the inkjet head 120a in the X direction with respect to the inkjet head 120b is fixed by the lock screw 56a. Similarly, after the position of the inkjet head 120c in the X direction is adjusted by the micrometer 54c, the position of the inkjet head 120c in the X direction with respect to the inkjet head 120b is fixed by the lock screw 56c. After the position of the inkjet head 120a in the rotation direction is adjusted by the micrometer 55a, the relative position of the inkjet head 120a in the rotation direction with respect to the inkjet head 120b is fixed by the lock screw 57a. Similarly, after the positioning of the inkjet head 120c in the rotation direction is performed by the micrometer 55c, the relative position of the inkjet head 120c in the rotation direction with respect to the inkjet head 120b is fixed by the lock screw 57c.
【００７１】このようなヘッドユニット６０６の構成に
関しては、特開平９−４９９１９号公報に詳細に記載さ
れている。上記のように、インクジェットヘッド１２０
ｂに対するインクジェットヘッド１２０ａ，１２０ｃの
相対的な位置合わせでは、マイクロメータ５４ａ，５４
ｃ，５５ａ，５５ｃを用いることによってミクロンオー
ダの調整を行うようにしている。The configuration of such a head unit 606 is described in detail in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-49919. As described above, the ink jet head 120
In relative alignment of the inkjet heads 120a and 120c with respect to the micrometers 54a and 54c,
By using c, 55a, and 55c, adjustment on the order of microns is performed.
【００７２】ヘッドユニット６０６にインクジェットヘ
ッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃを組み込む作業は、
カラーフィルタ製造装置上ではなく、専用のヘッドユニ
ット組立治具によって行われる。そのヘッドユニット組
立治具によりインクジェットヘッド１２０ａ，１２０
ｂ，１２０ｃを組み込んだ後に、インクジェットヘッド
間の厳密な相対位置合わせが、ヘッドユニット６０６を
カラーフィルタ製造装置または位置合わせ専用の装置に
搭載した状態で行われる。The operation for incorporating the ink jet heads 120a, 120b, and 120c into the head unit 606 is as follows.
This is performed not by the color filter manufacturing apparatus but by a dedicated head unit assembly jig. The inkjet heads 120a, 120
After assembling b and 120c, strict relative alignment between the inkjet heads is performed in a state where the head unit 606 is mounted on a color filter manufacturing apparatus or a dedicated alignment apparatus.
【００７３】このヘッドユニット６０６に対しては、イ
ンクジェットヘッド１２０ａ，１２０ｃの描画方向と直
行する方向（Ｙ方向）の位置合わせと、描画面（Ｘ−Ｙ
面）と平行な平面内の回転方向（Ｚ方向の軸回り）の位
置合わせとだけでなく、インクジェットヘッドの６自由
度の位置合わせを行っている。すなわち、Ｚ方向の位置
合わせおよび、Ｘ方向の軸回りの位置合わせは、専用の
ヘッドユニット組立治具でのユニット組立時にインクジ
ェットヘッド１２０ａ〜１２０ｃのそれぞれが固定され
たアーム５１ａ〜５１ｃを調整板５２ａ〜５２ｃに取り
付ける際に、インクジェットヘッド１２０ａ〜１２０ｃ
のそれぞれの吐出口面を、平面度が高い超平面を有する
治具に押し当てて取付けねじを締めることにより行う。
ここで、ロックねじ５６ａを用いてＹ方向の位置合わせ
と同時に行うこともできる。また、Ｘ方向の位置合わせ
および、Ｙ方向の軸回りの位置合わせは、ロックねじ５
７ａを用いてＺ方向の軸回りの位置合わせと同時に行う
ことができる。このＸ方向の位置合わせおよび、Ｙ方向
の軸回りの位置合わせは、それぞれのインクジェットヘ
ッドに電気信号を送ってインクジェットヘッドからイン
クを吐出させる際に吐出タイミングを電気的に調整する
ことによって行ってもよい。With respect to the head unit 606, alignment in the direction (Y direction) orthogonal to the drawing direction of the ink jet heads 120a and 120c, and the drawing surface (XY)
In addition to the alignment in the rotation direction (around the axis in the Z direction) in a plane parallel to the surface, the alignment of the ink jet head is performed with six degrees of freedom. In other words, the positioning in the Z direction and the positioning about the axis in the X direction are performed by adjusting the arms 51a to 51c to which the inkjet heads 120a to 120c are fixed at the time of unit assembly with a dedicated head unit assembling jig. To 52c, the inkjet heads 120a to 120c
Is pressed against a jig having an ultra-flat surface with a high degree of flatness, and the mounting screw is tightened.
Here, the alignment can be performed simultaneously with the alignment in the Y direction using the lock screw 56a. The alignment in the X direction and the alignment around the axis in the Y direction are performed using the lock screw 5.
7a can be performed simultaneously with the positioning around the axis in the Z direction. The alignment in the X direction and the alignment around the axis in the Y direction may be performed by sending electric signals to the respective inkjet heads and electrically adjusting the ejection timing when the inkjet heads eject ink. Good.
【００７４】このように組立および位置合わせが行われ
たヘッドユニット６０６は、図１に示したヘッドθモー
タ６１２の底面に、図４に示されるねじ穴５９，６０を
用いて吊り下げられて固定されている。The head unit 606 thus assembled and aligned is suspended and fixed to the bottom surface of the head θ motor 612 shown in FIG. 1 using the screw holes 59 and 60 shown in FIG. Have been.
【００７５】図１〜図６を参照して説明した本実施形態
のカラーフィルタ製造装置では、上述したようにインク
ジェットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃのそれぞ
れが位置合わせされた後にカラーフィルタ製造装置に搭
載されたヘッドユニット６０６の位置の調整を行う時に
は、チルトステージ６０４の上面にダミー基板（不図
示）を搭載する。そして、アライメント検出用光学系６
０７を用いてダミー基板のＸ，Ｙ，θ方向のアライメン
トを行い、ヘッドユニット６０６の位置を評価するため
にインクジェットヘッド１２０ａ〜１２０ｃによってダ
ミー基板に評価用のパターンを描画する。さらに、ＸＹ
ステージ６０３を移動させ、インクジェットヘッド１２
０ａ〜１２０ｃから吐出されたインクの着弾位置を着弾
位置検出用光学系６０９によって測定する。これによ
り、チルトステージ６０４上のダミー基板の座標と、イ
ンクジェットヘッド１２０ａ〜１２０ｃから吐出された
インクの着弾位置の座標値を正確に測定することができ
る。ダミー基板におけるこれらの座標値は、ダミー基板
の代わりに、ダミー基板と異なる別の基板をチルトステ
ージ６０４上に搭載した場合でも変化しないので、装置
組立時やインクジェットヘッド交換時など、装置のシス
テムパラメータが変化した時に、ダミー基板を用いてそ
れらの座標値を測定すればよい。あるいは、着弾位置を
他の装置で測定しておき、この測定値が本実施形態のカ
ラーフィルタ製造装置において再現されるようにしても
よい。In the color filter manufacturing apparatus according to the present embodiment described with reference to FIGS. 1 to 6, the ink jet heads 120a, 120b, and 120c are mounted on the color filter manufacturing apparatus after being aligned as described above. When adjusting the position of the head unit 606, a dummy substrate (not shown) is mounted on the upper surface of the tilt stage 604. Then, the alignment detection optical system 6
07, the dummy substrate is aligned in the X, Y, and θ directions, and a pattern for evaluation is drawn on the dummy substrate by the inkjet heads 120a to 120c to evaluate the position of the head unit 606. Furthermore, XY
The stage 603 is moved, and the inkjet head 12 is moved.
The landing position of the ink ejected from 0a to 120c is measured by the landing position detecting optical system 609. This makes it possible to accurately measure the coordinates of the dummy substrate on the tilt stage 604 and the coordinates of the landing positions of the ink ejected from the inkjet heads 120a to 120c. These coordinate values of the dummy substrate do not change even when another substrate different from the dummy substrate is mounted on the tilt stage 604 instead of the dummy substrate. When these values change, their coordinate values may be measured using a dummy substrate. Alternatively, the landing position may be measured by another device, and the measured value may be reproduced in the color filter manufacturing apparatus of the present embodiment.
【００７６】また、カラーフィルタを製造する時には、
ガラス基板１をチルトステージ６０４に搭載すると、ア
ライメント検出用光学系６０７によりガラス基板１とイ
ンクジェットヘッド１２０ａ〜１２０ｃのそれぞれとの
Ｘ，Ｙ，θの３方向での位置ずれ量が検出される。その
アライメント検出用光学系６０７による検出結果に基づ
き、θ成分のずれをチルトステージ６０４により補正
し、Ｘ方向のずれはＸＹステージ６０３のＸ方向の位置
を合わせることにより補正する。また、Ｙ方向（印字走
査方向）のずれは、ＸＹステージ６０３のＹ方向の位置
を合わせるか、あるいはインクジェットヘッド１２０ａ
〜１２０ｃの吐出タイミングを制御することにより行
う。When manufacturing a color filter,
When the glass substrate 1 is mounted on the tilt stage 604, the alignment detection optical system 607 detects the amount of positional deviation between the glass substrate 1 and each of the inkjet heads 120a to 120c in the X, Y, and θ directions. Based on the detection result by the alignment detection optical system 607, the shift of the θ component is corrected by the tilt stage 604, and the shift in the X direction is corrected by adjusting the position of the XY stage 603 in the X direction. Further, the displacement in the Y direction (print scanning direction) can be adjusted by adjusting the position of the XY stage 603 in the Y direction or by using the inkjet head 120a.
The control is performed by controlling the ejection timing of .about.120c.
【００７７】さらに、本実施形態のカラーフィルタ製造
装置では、インクジェットヘッドを交換する際にヘッド
ユニット６０６ごと交換する構成となっている。その
際、図１に示したように２つの支持アーム６１３がヘッ
ドステージ６１０のほぼ中央に位置している状態から、
ヘッドステージ６１０によって２つのヘッドユニット６
０６が互いに離れる方向、すなわちＸ方向にそれぞれの
ヘッドユニット６０６を移動させ、それぞれのヘッドユ
ニット６０６を、Ｘ方向におけるヘッドステージ６１０
の端部に配置させてから、ヘッドユニット６０６を別の
異なるヘッドユニットに交換する。また、それぞれのヘ
ッドユニット６０６がＸ方向におけるヘッドステージ６
１０の端部に位置している状態で、必要に応じて、ヘッ
ドユニット６０６に取り付けられたマイクロメータ５４
ａ，５４ｃ，５５ａ，５５ｃによってインクジェットヘ
ッド同士の相対的な位置の微調整を行う。Further, the color filter manufacturing apparatus of the present embodiment has a configuration in which the entire head unit 606 is replaced when the inkjet head is replaced. At this time, as shown in FIG. 1, the state where the two support arms 613 are located substantially at the center of the head stage 610 is changed to
Two head units 6 by the head stage 610
06 are moved away from each other, that is, in the X direction, and each head unit 606 is moved to the head stage 610 in the X direction.
After replacing the head unit 606 with another different head unit. Further, each head unit 606 is a head stage 6 in the X direction.
10, the micrometer 54 attached to the head unit 606, if necessary.
Fine adjustment of the relative positions of the inkjet heads is performed by a, 54c, 55a, and 55c.
【００７８】〈インク供給系の構成〉図７は、図１に示
したカラーフィルタ製造装置のインク供給系の構成を示
す模式図である。図７では、図１に示したインク供給系
のうち、インクジェットヘッド１２０ａにインクなどの
液体を供給するためのインク供給系が示されている。イ
ンクジェットヘッド１２０ｂおよび１２０ｃのためのイ
ンク供給系は、図７に示されるインク供給系と同様のも
のである。<Structure of Ink Supply System> FIG. 7 is a schematic diagram showing the structure of the ink supply system of the color filter manufacturing apparatus shown in FIG. FIG. 7 shows an ink supply system for supplying a liquid such as ink to the inkjet head 120a among the ink supply systems shown in FIG. The ink supply system for the inkjet heads 120b and 120c is similar to the ink supply system shown in FIG.
【００７９】図７に示すように、本実施形態のカラーフ
ィルタ製造装置のインク供給系には、インクジェットヘ
ッド１２０ａに供給するためのインクを貯留する第１の
タンクとしてのサブタンク４０１ａと、サブタンク４０
１ａに供給するためのインクを貯留する第２のタンクと
してのメインタンク３０１ａとが備えられている。メイ
ンタンク３０１ａの内部には、メインタンク３０１ａ内
のインクの残量を検知するためのインク残量センサ３５
０が備えられている。As shown in FIG. 7, the ink supply system of the color filter manufacturing apparatus of this embodiment includes a sub tank 401a as a first tank for storing ink to be supplied to the ink jet head 120a, and a sub tank 40.
A main tank 301a is provided as a second tank for storing ink to be supplied to 1a. An ink remaining amount sensor 35 for detecting the remaining amount of ink in the main tank 301a is provided inside the main tank 301a.
0 is provided.
【００８０】メインタンク３０１ａ内部の底面にはチュ
ーブ３５１の一端が配置され、チューブ３５１の他端は
ジョイント３７１によりチューブ３５２の一端と接続さ
れている。ジョイント３７１には、大気連通用のチュー
ブ３５７の一端が接続され、チューブ３５７の他端に二
方弁３０４が接続されている。二方弁３０４によってチ
ューブ３５７の他端部が開閉される。チューブ３５２の
他端にはメインポンプ３０２が接続されている。メイン
ポンプ３０２としては、インクの進行方向に向ってチュ
ーブを押し潰しながらインクを送り出すチューブポンプ
が用いられている。そのメインポンプ３０２にチューブ
３５３の一端が接続され、チューブ３５３の他端に、捕
捉粒子径２μｍのフィルタ３１１を介してチューブ３５
４の一端が接続されている。チューブ３５４の他端に
は、ジョイント３７２を介してチューブ３５５の一端が
接続されている。ジョイント３７２にはチューブ３７３
を介してカプラプラグ３７４が取り付けられている。チ
ューブ３５５の他端にはサブの脱気装置３２１が接続さ
れており、その脱気装置３２１にはチューブ３２３を介
して真空ポンプ３２２が接続されている。One end of a tube 351 is arranged on the bottom inside the main tank 301a, and the other end of the tube 351 is connected to one end of a tube 352 by a joint 371. One end of a tube 357 for communicating with the atmosphere is connected to the joint 371, and the two-way valve 304 is connected to the other end of the tube 357. The other end of the tube 357 is opened and closed by the two-way valve 304. The main pump 302 is connected to the other end of the tube 352. As the main pump 302, a tube pump that sends out ink while crushing the tube in the direction in which the ink travels is used. One end of a tube 353 is connected to the main pump 302, and the other end of the tube 353 is connected to the other end of the tube 353 via a filter 311 having a trapped particle diameter of 2 μm.
4 is connected to one end. One end of a tube 355 is connected to the other end of the tube 354 via a joint 372. Tube 373 for joint 372
The coupler plug 374 is attached via the. The other end of the tube 355 is connected to a sub deaerator 321, to which a vacuum pump 322 is connected via a tube 323.
【００８１】脱気装置３２１の内部には、気体透過性を
有する中空糸を複数本束ねたものが備えられている。脱
気装置３２１内の中空糸の中にインクを通過させて、中
空糸の外部から真空ポンプ３２２で真空引きすることに
よってインク中に溶け込んでいる気体がインクから取り
除かれる。中空糸を構成する中空糸脱気膜として、ポリ
（４−メチルペンテン−１）が用いられている。脱気装
置３２１では、真空ポンプ３２２によって３２±２Torr
の真空度で、脱気装置３２１を通過するインクの脱気を
行っている。The inside of the deaerator 321 is provided with a bundle of a plurality of hollow fibers having gas permeability. The ink dissolved in the ink is removed from the ink by passing the ink through the hollow fiber in the deaerator 321 and evacuating the outside of the hollow fiber with the vacuum pump 322. Poly (4-methylpentene-1) is used as a hollow fiber degassing membrane constituting a hollow fiber. In the deaerator 321, 32 ± 2 Torr by a vacuum pump 322.
The ink passing through the degassing device 321 is degassed at a degree of vacuum.
【００８２】さらに、脱気装置３２１にはチューブ３５
６の一端が接続されている。チューブ３５６の他端は、
タンク間供給経路切り替え手段である三方弁４０３を介
して、チューブ４５３の一端および、チューブ４５４の
一端と接続されている。チューブ４５４の他端はサブタ
ンク４０１ａの内部と連通している。従って、メインタ
ンク３０１ａからサブタンク４０１ａへのインクの供給
は、チューブ３５１，３５２，３５３，３５４，３５
５，３５６，４５４を通して行われる。これらのチュー
ブや、それぞれのチューブと接続されたメインポンプ３
０２などの構成部品からタンク間液体供給手段が構成さ
れており、そのタンク間液体供給手段によって、メイン
タンク３０１ａに貯留された液体がサブタンク４０１ａ
に供給される。よって、メインタンク３０１ａから、チ
ューブ３５１、メインポンプ３０２、フィルタ３１１、
脱気装置３２１、三方弁４０３およびチューブ４５４を
通ってサブタンク４０１ａに至るまでの間のインク経路
によってタンク間供給経路が構成されている。Further, the tube 35 is provided in the deaerator 321.
6 is connected to one end. The other end of the tube 356
It is connected to one end of a tube 453 and one end of a tube 454 via a three-way valve 403 serving as an inter-tank supply path switching unit. The other end of the tube 454 communicates with the inside of the sub tank 401a. Therefore, the supply of ink from the main tank 301a to the sub tank 401a is performed by the tubes 351, 352, 353, 354, 35
5,356,454. These tubes and the main pump 3 connected to each tube
The liquid stored in the main tank 301a is supplied to the sub tank 401a by the liquid supply means between tanks.
Supplied to Therefore, the tube 351, the main pump 302, the filter 311,
An inter-tank supply path is constituted by an ink path from the deaerator 321, the three-way valve 403, and the tube 454 to the sub tank 401 a.
【００８３】前述したカプラプラグ３７４にはカプラソ
ケット３７５が接続可能であるが、図７では、カプラソ
ケット３７５がカプラプラグ３７４から取り外された状
態が示されている。カプラプラグ３７４は、カプラプラ
グ３７４に何も接続されていない状態で先端が閉じる機
構となっているものである。一方、カプラソケット３７
５にはチューブ３７６の一端が接続され、チューブ３７
６の他端に吸引ポンプ３７７が接続されている。その吸
引ポンプ３７７にはチューブ３７８を介して廃液タンク
３７９が接続されている。カプラソケット３７５、チュ
ーブ３７６、吸引ポンプ３７７、チューブ３７８および
廃液タンク３７９からインク吸引装置が構成されてい
る。そのインク吸引装置は、インク供給経路内のインク
を抜く際にカプラプラグ３７４に接続される。Although the coupler socket 375 can be connected to the above-described coupler plug 374, FIG. 7 shows a state where the coupler socket 375 is removed from the coupler plug 374. The coupler plug 374 has a mechanism in which the tip is closed in a state where nothing is connected to the coupler plug 374. On the other hand, the coupler socket 37
5 is connected to one end of a tube 376.
A suction pump 377 is connected to the other end of 6. A waste liquid tank 379 is connected to the suction pump 377 via a tube 378. The coupler socket 375, the tube 376, the suction pump 377, the tube 378, and the waste liquid tank 379 constitute an ink suction device. The ink suction device is connected to the coupler plug 374 when draining ink in the ink supply path.
【００８４】サブタンク４０１ａの底部にはチューブ４
５１の一端が接続され、チューブ４５１の他端に流量計
４５６を介してチューブ４５５の一端が接続されてい
る。チューブ４５５の他端にはメイン脱気装置５１１ａ
が接続されている。メイン脱気装置５１１ａにはチュー
ブ５８０を介して真空メータ５２１が接続され、真空メ
ータ５２１にはチューブ５８１を介して真空ポンプ５２
２が接続されている。The tube 4 is provided at the bottom of the sub tank 401a.
One end of the tube 455 is connected to one end of the tube 451 via a flow meter 456 to the other end of the tube 451. At the other end of the tube 455 is a main deaerator 511a.
Is connected. A vacuum meter 521 is connected to the main deaerator 511a via a tube 580, and the vacuum pump 52 is connected to the vacuum meter 521 via a tube 581.
2 are connected.
【００８５】メイン脱気装置５１１ａには、さらに、チ
ューブ５７１を介して溶存気体測定装置である溶存酸素
計５２０の下部が接続されている。溶存酸素計５２０に
は、測定手段であるセンサ５２３、およびマグネチック
スターラー５３４が備えられている。溶存酸素計５２０
の上部にはチューブ５７２の一端が接続され、チューブ
５７１の他端にはジョイント５７７を介してチューブ５
７３および５７４のそれぞれの一端が接続されている。
チューブ５７４の他端には三方弁５０４が接続されてお
り、三方弁５０４には、さらに、チューブ５５３およ
び、バイパス路であるチューブ５７５のそれぞれの一端
が接続されている。The lower part of the dissolved oxygen meter 520, which is a dissolved gas measuring device, is further connected to the main deaerator 511a via a tube 571. The dissolved oxygen meter 520 is provided with a sensor 523 as a measuring means and a magnetic stirrer 534. Dissolved oxygen meter 520
Is connected to one end of a tube 572, and the other end of the tube 571 via a joint 577.
One end of each of 73 and 574 is connected.
The other end of the tube 574 is connected to a three-way valve 504, and the three-way valve 504 is further connected to one end of each of a tube 553 and a tube 575 that is a bypass.
【００８６】一方、ジョイント５７７によりチューブ５
７１および５７４と接続されたチューブ５７３の他端に
は三方弁５０２が接続されている。この三方弁５０２に
は、さらに、チューブ５７６および４５２のそれぞれの
一端が接続されている。チューブ５７６の他端には三方
弁５０５が接続されており、三方弁５０５にはチューブ
５７５の他端および、チューブ５５４の一端が接続され
ている。三方弁５０４と５０５とから液体供給経路切り
替え手段が構成されている。チューブ５５３の他端には
カプラ５５５を介してチューブ５５１の一端が接続さ
れ、チューブ５５４の他端にはカプラ５５６を介してチ
ューブ５５２の一端が接続されている。On the other hand, the tube 5
A three-way valve 502 is connected to the other end of the tube 573 connected to 71 and 574. One end of each of the tubes 576 and 452 is connected to the three-way valve 502. A three-way valve 505 is connected to the other end of the tube 576, and the other end of the tube 575 and one end of the tube 554 are connected to the three-way valve 505. The three-way valves 504 and 505 constitute a liquid supply path switching unit. One end of a tube 551 is connected to the other end of the tube 553 via a coupler 555, and one end of a tube 552 is connected to the other end of the tube 554 via a coupler 556.
【００８７】チューブ５５１および５５２のそれぞれの
他端には、チューブ５５１および５５２をインクジェッ
トヘッド１２０ａに接続するためのコネクタ５６１が接
続されている。インクジェットヘッド１２０ａには、上
述したように供給口および排出口が設けられており、イ
ンクジェットヘッド１２０ａの、供給口および排出口が
設けられた部分にコネクタ５６１が取り付けられてい
る。これにより、インクジェットヘッド１２０ａの供給
口がチューブ５５１と連通し、インクジェットヘッド１
２０ａの排出口がチューブ５５２と連通している。A connector 561 for connecting the tubes 551 and 552 to the ink jet head 120a is connected to the other end of each of the tubes 551 and 552. The supply port and the discharge port are provided in the inkjet head 120a as described above, and the connector 561 is attached to a portion of the inkjet head 120a where the supply port and the discharge port are provided. Thereby, the supply port of the inkjet head 120a communicates with the tube 551, and the inkjet head 1a
The outlet of 20a communicates with the tube 552.
【００８８】インクジェットヘッド１２０ａの内部に
は、インクジェットヘッド１２０ａの供給口からインク
ジェットヘッド１２０ａ内に流れ込んだインクが、イン
クジェットヘッド１２０ａの排出口からインクジェット
ヘッド１２０ａの外部に排出されるように液体通過経路
としてのインク循環経路１２１ａが形成されている。イ
ンクジェットヘッド１２０ａにおけるインク循環経路１
２１ａの近傍の部分には複数のノズルが配置されてお
り、複数のノズルのそれぞれに、インク循環経路１２１
ａ内を流れる液体をインクジェットヘッド１２０ａから
吐出させるための熱エネルギーを発生する電気熱変換体
が備えられている。これにより、インク循環経路１２１
ａを流れるインクの一部が電気熱変換体の駆動によって
インクジェットヘッド１２０ａのそれぞれのノズル先端
の吐出口（オリフィス）から吐出される。Inside the ink jet head 120a, a liquid passage is provided so that the ink flowing into the ink jet head 120a from the supply port of the ink jet head 120a is discharged from the discharge port of the ink jet head 120a to the outside of the ink jet head 120a. Are formed. Ink circulation path 1 in inkjet head 120a
A plurality of nozzles are arranged in a portion near 21a, and each of the plurality of nozzles is provided with an ink circulation path 121.
An electrothermal converter for generating thermal energy for discharging the liquid flowing through the ink jet head a from the inkjet head 120a is provided. Thereby, the ink circulation path 121
A part of the ink flowing through a is discharged from the discharge port (orifice) at the tip of each nozzle of the inkjet head 120a by driving the electrothermal transducer.
【００８９】インク吐出時にインクジェットヘッド１２
０ａに供給されるインクはインクジェットヘッド１２０
ａの外部のインク経路や、インクジェットヘッド１２０
ａのインク循環経路１２１ａ内を常に流動している。こ
こで、インクジェットヘッド１２０ａに供給されるイン
クの量に比べて、インクジェットヘッド１２０ａから吐
出されるインクの量は非常に少ないため、インクジェッ
トヘッド１２０ａから吐出されなかったインクは、イン
クジェットヘッド１２０ａの排出口からチューブ５５２
に排出される。At the time of ink ejection, the ink jet head 12
0a is supplied to the inkjet head 120.
a and the ink path outside the ink jet head 120.
a is always flowing in the ink circulation path 121a. Here, the amount of ink ejected from the inkjet head 120a is very small compared to the amount of ink supplied to the inkjet head 120a. From tube 552
Is discharged.
【００９０】チューブ５５１および５５２の他端にコネ
クタ５６１を介してインクジェットヘッド１２０ａが接
続されている際に、カプラ５５５および５５６でチュー
ブ５５１および５５２のそれぞれを、チューブ５５３お
よび５５４から切り離すことによって、インクジェット
ヘッド１２０ａがインク供給系から分離される。カプラ
５５５および５５６としては、カプラ５５５および５５
６のそれぞれでチューブ同士を切り離した状態でカプラ
５５５および５５６の端部が閉じることなく、開放状態
のままであるものが用いられている。これにより、カプ
ラ５５５および５５６によりチューブ同士を接続した際
に、カプラ５５５および５５６の内部に入り込む空気の
抜けがよくなる。When the ink jet head 120a is connected to the other ends of the tubes 551 and 552 via the connector 561, the tubes 551 and 552 are separated from the tubes 553 and 554 by couplers 555 and 556, respectively. The head 120a is separated from the ink supply system. Couplers 555 and 556 include couplers 555 and 55
6, the ends of the couplers 555 and 556 are not closed and the open state is maintained in a state where the tubes are separated from each other. Thereby, when the tubes are connected to each other by the couplers 555 and 556, the air that enters the insides of the couplers 555 and 556 can be easily removed.
【００９１】カプラ５５５には脱着センサ５５７が取り
付けられ、カプラ５５６には脱着センサ５５８が取り付
けられている。脱着センサ５５７によって、カプラ５５
５によりチューブ同士が接続されているか否かが検知さ
れ、脱着センサ５５８によって、カプラ５５６によりチ
ューブ同士が接続されているか否かが検知される。これ
により、カプラ５５５および５５６のそれぞれでチュー
ブ同士が確実に接続されない状態でインク供給系を稼動
しないようにカラーフィルタ製造装置が構成されてい
る。A detachable sensor 557 is attached to the coupler 555, and a detachable sensor 558 is attached to the coupler 556. By the attachment / detachment sensor 557, the coupler 55
5 detects whether or not the tubes are connected to each other, and the desorption sensor 558 detects whether or not the tubes are connected to each other by the coupler 556. Thus, the color filter manufacturing apparatus is configured so that the ink supply system does not operate in a state where the tubes are not securely connected with each of the couplers 555 and 556.
【００９２】一方、三方弁５０２に接続されたチューブ
４５２の他端には、三方弁４０３に接続されたチューブ
４５３の他端、およびチューブ４５７の一端がジョイン
ト４７１を介して接続されている。チューブ４５７の他
端は、インク戻り弁としての二方弁４０６を介してチュ
ーブ４５８の一端と接続され、チューブ４５８の他端
は、第３の液体経路としてのチューブ４５９の上部の内
部に差し込まれている。チューブ４５９の内径はチュー
ブ４５８の外径よりも大きくなっている。このチューブ
４５９は、後述するようにサブタンク４０１ａ内のイン
クが所定の量に達した際にサブタンク４０１ａ内のイン
クをメインタンク３０１ａ内に戻す第４の液体経路とし
ても用いられており、第３の液体経路と第４の液体経路
の一部とが共通となっている。チューブ４５９の下部
は、メインタンク３０１ａの上面からメインタンク３０
１ａの内部に差し込まれている。On the other hand, the other end of the tube 452 connected to the three-way valve 502 is connected to the other end of the tube 453 connected to the three-way valve 403 and one end of the tube 457 via a joint 471. The other end of the tube 457 is connected to one end of the tube 458 via a two-way valve 406 as an ink return valve, and the other end of the tube 458 is inserted into the upper part of the tube 459 as a third liquid path. ing. The inner diameter of the tube 459 is larger than the outer diameter of the tube 458. The tube 459 is also used as a fourth liquid path for returning the ink in the sub tank 401a to the main tank 301a when the ink in the sub tank 401a reaches a predetermined amount, as described later. The liquid path and a part of the fourth liquid path are common. The lower part of the tube 459 extends from the upper surface of the main tank 301a to the main tank 30a.
1a.
【００９３】それぞれのチューブのサイズとしては、チ
ューブ５５１，５５２，５５３，５５４が外径φ４ｍ
ｍ、内径φ２ｍｍであり、チューブ４５９が外径φ１２
ｍｍ、内径φ８ｍｍである。それ以外の、図７に示した
チューブのサイズは、全て外径φ６ｍｍ、内径φ４ｍｍ
である。また、チューブの材質としては、チューブ３５
１，３５２，３５３，３５４，３５５，３７６，３７
８，４５９が、特殊ポリオレフィン系樹脂を用いたＰＮ
チューブ（ニッタ・ムアー社製）であり、真空系で用い
るチューブ３２３，５８０，５８１はウレタンチューブ
である。それ以外の、図７に示したチューブは全てＰＶ
ＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）チューブであり、このＰ
ＶＤＦチューブとして、材料としてより柔軟性のあるＥ
ＬＦアトケムジャパン社のＫＹＮＥＲ２８００を用いた
株式会社イワセ社製のＥＸＬＯＮ ＰＶＤＦチューブを
用いた。The size of each tube is such that the tubes 551, 552, 553, and 554 have an outer diameter of 4 m.
m, inner diameter φ2 mm, tube 459 has outer diameter φ12
mm, inner diameter φ8 mm. Other than that, the sizes of the tubes shown in FIG.
It is. The material of the tube is tube 35
1,352,353,354,355,376,37
8,459 is PN using special polyolefin resin
Tubes (manufactured by Nitta Moore) and tubes 323, 580, and 581 used in a vacuum system are urethane tubes. The other tubes shown in FIG. 7 are all PV
This is a DF (polyvinylidene fluoride) tube.
As a VDF tube, more flexible material E
An EXLON PVDF tube manufactured by Iwase Co., Ltd. using KYNER2800 manufactured by LF Atochem Japan was used.
【００９４】次に、上述したインク供給系におけるイン
クの供給経路に配置された構成部品について説明する。Next, components arranged in the ink supply path in the above-described ink supply system will be described.
【００９５】サブタンク４０１ａには、チューブ４５１
を通してインクを流量計４５６に向けて圧送するための
タービン４０２ａと、タービン４０２ａを駆動するため
の加圧モータ４０２とが備えられている。加圧モータ４
０２およびタービン４０２ａによって、加圧手段が構成
されていて、この加圧手段の駆動および停止が制御ユニ
ットにより制御される。また、サブタンク４０１ａ側面
の、底面から所定の高さの位置にはドレイン４０４が設
けられている。このドレイン４０４は、上端が大気に開
放されたやや大径（外径φ１２ｍｍ／内径φ８ｍｍ）の
チューブ４５９の途中と接続されている。チューブ４５
９の下端はメインタンク３０１ａの内部に導かれてい
る。また、チューブ４５９の上部には、ジョイント４７
１にチューブ４５７および二方弁４０６を介して一端が
接続されたチューブ４５８の他端部が差し込まれてい
る。A tube 451 is provided in the sub tank 401a.
And a pressurizing motor 402 for driving the turbine 402a. Pressurizing motor 4
02 and the turbine 402a constitute a pressurizing means, and the driving and stopping of the pressurizing means are controlled by the control unit. In addition, a drain 404 is provided on a side surface of the sub tank 401a at a predetermined height from the bottom surface. This drain 404 is connected to the middle of a slightly large-diameter (outer diameter φ12 mm / inner diameter φ8 mm) tube 459 whose upper end is open to the atmosphere. Tube 45
The lower end of 9 is guided inside the main tank 301a. In addition, a joint 47 is provided above the tube 459.
The other end of the tube 458, which is connected to one end via a tube 457 and a two-way valve 406, is inserted.
【００９６】このチューブ４５８の、インクジェットヘ
ッド１２０ａ側と反対側となるチューブ４５９側の先端
は、サブタンク４０１ａ内のインクがドレイン４０４か
ら流れ出る液面の高さから所定の距離δだけ低い位置に
配置されている。本実施形態では、サブタンク４０１ａ
内のインクがドレイン４０４から流れ出る液面の高さか
ら３００ｍｍ下にチューブ４５８の先端が配置されてい
る。また、サブタンク４０１ａ内のインクの液面に対す
るチューブ４５８の先端の高さは、チューブ４５９への
差込量を変えることで簡単に変更可能となっている。The tip of the tube 458 on the side of the tube 459 opposite to the side of the ink jet head 120a is located at a position lower by a predetermined distance δ from the level of the liquid surface in which the ink in the sub tank 401a flows out from the drain 404. ing. In the present embodiment, the sub tank 401a
The tip of the tube 458 is arranged 300 mm below the level of the liquid level at which the ink inside flows out of the drain 404. The height of the tip of the tube 458 with respect to the ink level in the sub tank 401a can be easily changed by changing the amount of insertion into the tube 459.
【００９７】この距離δの３００ｍｍという設定値はイ
ンクの粘度によって決まる値で、この値を大きくし過ぎ
るとインクジェットヘッド１２０ａのノズルから空気を
吸い込んで吐出不能となる恐れがある。また、小さくし
過ぎると、インクの循環量が少なくなるので、インクジ
ェットヘッド１２０ａ内で十分に脱気されたインクを確
保できなくなり、吐出の安定化を実現できなくなる恐れ
がある。従って、インクの粘度により距離δの値を最適
値に設定する必要があり、色によってインクの粘度が異
なれば距離δの設定値を色ごとに変化させることが望ま
しい。本実施形態では、インクの粘度が３色ともほぼ同
じであるため、距離δを全ての色で同じ設定値としてい
る。The set value of the distance δ of 300 mm is determined by the viscosity of the ink. If the value is set too large, air may be sucked from the nozzles of the ink jet head 120a and the ejection may not be possible. On the other hand, if the size is too small, the amount of circulating ink will be small, so that it is not possible to secure sufficiently degassed ink in the inkjet head 120a, and it may not be possible to realize stable ejection. Therefore, it is necessary to set the value of the distance δ to an optimum value depending on the viscosity of the ink, and it is desirable to change the set value of the distance δ for each color if the viscosity of the ink differs depending on the color. In the present embodiment, since the viscosity of the ink is substantially the same for all three colors, the distance δ is set to the same value for all colors.
【００９８】また、サブタンク４０１ａには、サブタン
ク４０１ａ内のインクの液位が一定の高さ以下とならな
いように、サブタンク４０１ａ内のインクの残量を検知
する残量センサ４０５が設けられている。これにより、
サブタンク４０１ａ内のインクがタービン４０２ａによ
って圧送されたり、サブタンク４０１ａ内の液面の高さ
と、チューブ４５８の先端の高さとの差である水頭差に
よってサブタンク４０１ａ内のインクがチューブ４５８
の先端から流れ出たりすることによりサブタンク４０１
ａ内の液位が下がり、サブタンク４０１ａが空になるこ
とでインクの供給経路内に空気が圧送されることが防止
される。本実施形態では、サブタンク４０１ａ内のイン
クがドレイン４０４を通ってメインタンク３０１ａへ流
れ出るインクの高さから１０ｍｍ下がった液位で残量セ
ンサ４０５がインクの液面を検知するような構成となっ
ている。また、サブタンク４０１ａ内のインクがドレイ
ン４０４に流れ出す液面の高さは、インクジェットヘッ
ド１２０ａの吐出口面（ノズル面）から２５ｍｍだけ下
の位置になるように設定されている。The sub-tank 401a is provided with a remaining amount sensor 405 for detecting the remaining amount of ink in the sub-tank 401a so that the liquid level of the ink in the sub-tank 401a does not become lower than a certain level. This allows
The ink in the sub-tank 401a is pumped by the turbine 402a, or the ink in the sub-tank 401a is reduced by the head difference between the liquid level in the sub-tank 401a and the height of the tip of the tube 458.
Of the sub tank 401
When the liquid level in a is lowered and the sub tank 401a is emptied, air is prevented from being pumped into the ink supply path. In the present embodiment, the remaining amount sensor 405 detects the liquid level of the ink at a liquid level that is 10 mm lower than the height of the ink flowing from the sub tank 401a to the main tank 301a through the drain 404. I have. The height of the liquid surface at which the ink in the sub-tank 401a flows to the drain 404 is set at a position 25 mm below the discharge port surface (nozzle surface) of the inkjet head 120a.
【００９９】残量センサ４０５がインクの液面を検知す
ると、メインポンプ３０２の駆動によりメインタンク３
０１ａからサブタンク４０１ａにインクが補充される。
この補充の際の三方弁４０３では、チューブ３５６から
三方弁４０３に向かって流れるインクをチューブ４５４
にのみ、すなわち図７の矢印Ａの方向にのみに流す状態
になっている。メインポンプ３０２は、ドレイン４０４
からインクが流れ出るまで一定時間の間だけ駆動する。When the remaining amount sensor 405 detects the ink level, the main pump 302 is driven to drive the main tank 3.
From 01a, the ink is replenished to the sub tank 401a.
In the three-way valve 403 during the replenishment, the ink flowing from the tube 356 toward the three-way valve 403 is supplied to the tube 454.
, Ie, only in the direction of arrow A in FIG. The main pump 302 has a drain 404
It is driven only for a certain period of time until ink flows out of the printer.
【０１００】流量計４５６は、サブタンク４０１ａから
圧送されたインクの流量を測定するものであり、流量計
４５６としては、瞬時流量および積算流量のいずれも測
定可能なものを用いている。The flow meter 456 measures the flow rate of the ink pressure-fed from the sub-tank 401a, and the flow meter 456 is capable of measuring both the instantaneous flow rate and the integrated flow rate.
【０１０１】メイン脱気装置５１１ａは、脱気装置３２
１と同様に、インク中に溶け込んでいる気体を取り除く
ものあり、メイン脱気装置５１１ａ内には、気体透過性
を有する中空糸を複数本束ねたものが備えられている。
その中空糸の中にインクを通過させると共に真空ポンプ
５２２により中空糸の外部から真空引きすることによっ
て、インク中に溶け込んでいる気体が取り除かれる。メ
イン脱気装置５１１ａでは、中空糸を構成する中空糸脱
気膜としてフッ素樹脂（四フッ化エチレン）が用いられ
ている。メイン脱気装置５１１ａには、インクの出入り
口となるポート以外に真空引きをするためのポートが備
えられており、そのポートにはチューブ５８０、真空メ
ータ５２１およびチューブ５８１を介して真空ポンプ５
２２が接続されている。これにより、メイン脱気装置５
１１ａは真空ポンプ５２２によって真空度１０±２Torr
でインクの脱気を行う。The main deaerator 511a is provided with the deaerator 32.
As in the case of 1, there is a device for removing the gas dissolved in the ink. The main deaerator 511a is provided with a bundle of a plurality of hollow fibers having gas permeability.
By passing the ink through the hollow fiber and evacuating the hollow fiber from the outside by the vacuum pump 522, the gas dissolved in the ink is removed. In the main deaerator 511a, a fluororesin (ethylene tetrafluoride) is used as a hollow fiber deaeration film constituting a hollow fiber. The main deaerator 511a is provided with a port for evacuating other than a port serving as an ink inlet / outlet port. The port is connected to the vacuum pump 5 via a tube 580, a vacuum meter 521, and a tube 581.
22 are connected. Thereby, the main deaerator 5
11a is a vacuum degree of 10 ± 2 Torr by a vacuum pump 522.
To degas the ink.
【０１０２】溶存酸素計５２０は、メイン脱気装置５１
１ａを通過してきたインクの脱気レベルを測定するため
のものである。図８は、溶存酸素計５２０の詳細を示す
断面図である。図８に示すように、溶存酸素計５２０で
は、気体透過性の低い樹脂（例えばＰＶＤＦ）、あるい
はステンレスからなる容器５２８の下部の側面に、チュ
ーブ継手５２７ａによりチューブ５７１が接続されてい
る。容器５２８の上面にはチューブ継手５２７ｂにより
チューブ５７２が接続されている。そして、容器５２８
側面の、チューブ５７１と異なる位置には、センサ５２
３がセンサ固定治具５２９によって、容器５２８内のイ
ンクが漏れないように、センサ５２３がほぼ水平となっ
て固定されている。容器５２８内部の形状としては、容
器５２８内の空気がインクと共にチューブ５７２へ抜け
やすいように上部がテーパ状になっている。これによ
り、容器５２８内に空気が入ったとしても、サブタンク
４０１ａから圧送されたインクがチューブ５７１を通し
て容器５２８内に底部から入って、容器５２８内の空気
が容器５２８の上部からチューブ５７２に流れ込みやす
くなる。The dissolved oxygen meter 520 is connected to the main deaerator 51.
This is for measuring the degassing level of the ink passing through 1a. FIG. 8 is a cross-sectional view showing details of the dissolved oxygen meter 520. As shown in FIG. 8, in the dissolved oxygen meter 520, a tube 571 is connected to a lower side surface of a container 528 made of a resin having low gas permeability (for example, PVDF) or stainless steel by a tube joint 527a. The tube 572 is connected to the upper surface of the container 528 by a tube joint 527b. Then, the container 528
The sensor 52 is located at a position different from the tube 571 on the side surface.
The sensor 523 is fixed substantially horizontally by a sensor fixing jig 529 so that the ink inside the container 528 does not leak. The inside of the container 528 has a tapered upper portion so that the air in the container 528 easily escapes to the tube 572 together with the ink. Accordingly, even if air enters the container 528, the ink pumped from the sub-tank 401a enters the container 528 from the bottom through the tube 571, and the air in the container 528 easily flows into the tube 572 from the top of the container 528. Become.
【０１０３】センサ５２３は、ポーラロ式の酸素電極を
用いたものである。センサ５２３の測定原理により、セ
ンサ５２３の、容器５２８内部の先端の電極部で酸素が
消費されるので、正確な溶存気体量の測定を行うために
は、後述する溶存酸素計の測定原理から、センサ５２３
の先端部付近の液体を撹拌する必要がある。The sensor 523 uses a polaro-type oxygen electrode. Oxygen is consumed at the electrode portion at the tip inside the container 528 of the sensor 523 according to the measurement principle of the sensor 523. Therefore, in order to measure the amount of dissolved gas accurately, from the measurement principle of the dissolved oxygen meter described later, Sensor 523
It is necessary to agitate the liquid in the vicinity of the tip.
【０１０４】本実施形態では、インクジェットヘッド１
２０ａからインクを吐出させている間、インク供給経路
内でインクを循環させているが、その循環量は数ｍｌ／
ｍｉｎの微量であり、また、インクジェットヘッド１２
０ａで吐出により消費されるインクの量はごくわずかで
あり、容器５２８内でインクの流れはほとんど生じてい
ない。従って、容器５２８内には、液体を攪拌するため
の、磁石が内蔵された回転子５２６が入れられている。
また、容器５２８の底面には、回転子５２６を回転させ
るためのマグネチックスターラー５２４が備えられてい
る。このマグネチックスターラー５２４によって、回転
子５２６が容器５２８内の底面に接した状態で回転子５
２６が回転させられる。このようにして容器５２８内の
インクを常に撹拌することで、インク中の溶存酸素量を
正確に測定することができる。In this embodiment, the ink jet head 1
While the ink is being ejected from the ink supply path 20a, the ink is circulated in the ink supply path.
min, and the ink jet head 12
At 0a, the amount of ink consumed by ejection is very small, and almost no ink flow occurs in the container 528. Therefore, a rotor 526 having a built-in magnet for stirring the liquid is placed in the container 528.
Further, a magnetic stirrer 524 for rotating the rotor 526 is provided on the bottom surface of the container 528. The magnetic stirrer 524 allows the rotor 526 to be in contact with the bottom of the
26 is rotated. By constantly stirring the ink in the container 528 in this manner, the amount of dissolved oxygen in the ink can be accurately measured.
【０１０５】〈溶存酸素計の測定原理〉図７および図８
に示した溶存酸素計５２０として用いたポーラロ式の溶
存酸素計は、一般的に隔膜式溶存酸素電極と呼ばれてい
るものであり、酸素の還元を測定原理として用いてい
る。<Measurement principle of dissolved oxygen meter> FIGS. 7 and 8
The polaro-type dissolved oxygen meter used as the dissolved oxygen meter 520 described above is generally called a diaphragm type dissolved oxygen electrode, and uses oxygen reduction as a measurement principle.
【０１０６】図９は、ポーラロ式の溶存酸素計の測定原
理を説明するための模式図である。図９に示すように、
ポーラロ式の溶存酸素計は、酸素電極５３７ａと低電圧
電源５３３と直流電流計５３８とで構成されている。酸
素電極５３７ａでは、電極ボディ５３７の一端が開口し
ており、その電極ボディ５３７の開口部が隔膜５３４で
覆われることで電極ボディ５３７の一端が塞がれてい
る。電極ボディ５３７の内部には、銀からなる棒状の陽
極５３２が備えられている。陽極５３２の隔膜５３５側
の端部には、白金からなる陰極５３１が備えられてい
る。また、電極ボディ５３７内には電解液５３６が満た
され、その電解液５３６に陰極５３１および陽極５３２
が浸っている。このような酸素電極５３７ａが、隔膜５
３５を下方に向けて容器５３９内の測定液５３４に浸さ
れている。陰極５３１および陽極５３２は、容器５３９
の外部の定電圧電源５３３および直流電流計５３８と電
気的に接続されている。FIG. 9 is a schematic diagram for explaining the measurement principle of a polaro-type dissolved oxygen meter. As shown in FIG.
The polaro-type dissolved oxygen meter includes an oxygen electrode 537a, a low-voltage power supply 533, and a DC ammeter 538. In the oxygen electrode 537a, one end of the electrode body 537 is open, and one end of the electrode body 537 is closed by covering the opening of the electrode body 537 with the diaphragm 534. Inside the electrode body 537, a bar-shaped anode 532 made of silver is provided. At the end of the anode 532 on the diaphragm 535 side, a cathode 531 made of platinum is provided. The electrode body 537 is filled with an electrolytic solution 536, and the electrolytic solution 536 is filled with a cathode 531 and an anode 532.
Is soaked. Such an oxygen electrode 537a serves as the diaphragm 5
It is immersed in the measurement liquid 534 in the container 539 with the 35 facing downward. The cathode 531 and the anode 532 are
Are electrically connected to an external constant voltage power supply 533 and a DC ammeter 538.
【０１０７】このような溶存酸素計では、陰極５３１と
陽極５３２との間に、酸素を還元するために必要な定電
圧（例えば、６００〜７００ｍＶ）を低電圧電源５３３
により予めかけておく。測定液５３４中の酸素が隔膜５
３５を透過して電解液５３６に溶け込むと、溶け込んだ
酸素は陰極５３１で水酸基に還元され、溶存酸素計の回
路中に還元電流が流れる。このときの陽極５３２での化
学反応は下記の式（１）で表わされ、陰極５３１での化
学反応は下記の式（２）で表わされる。In such a dissolved oxygen meter, a constant voltage (for example, 600 to 700 mV) required for reducing oxygen is supplied between the cathode 531 and the anode 532 by the low-voltage power supply 533.
In advance. The oxygen in the measurement liquid 534 is
When the oxygen permeates through the electrolyte solution 536 after passing through 35, the dissolved oxygen is reduced to hydroxyl groups at the cathode 531 and a reduction current flows through the circuit of the dissolved oxygen meter. At this time, the chemical reaction at the anode 532 is represented by the following equation (1), and the chemical reaction at the cathode 531 is represented by the following equation (2).
【０１０８】 陽極：４Ａｇ ＋ ４ＯＨ- → ２Ａｇ2Ｏ ＋ ２Ｈ2Ｏ・・・・・（１） 陰極：Ｏ2 ＋ ２Ｈ2Ｏ ＋ ４ｅ → ４ＯＨ-・・・・・・・・・（２）[0108] anode: 4Ag + 4OH - → 2Ag 2 O + 2H 2 O ····· (1) cathode: O 2 + 2H 2 O + 4e → 4OH - ········· (2)
【０１０９】上記の式（２）で示される還元電流は測定
液５３４中の酸素濃度に比例する。例えば測定液５３４
中の酸素が増すと、隔膜５３５を透過して電解液５３６
に溶け込む酸素の量が多くなり、直流電流計５３８に流
れる還元電流が電解液５３６中の酸素濃度に比例して大
きくなる。ここで、測定中の測定液５３４では、隔膜５
３５付近が酸素濃度が低い低濃度領域５３４ａとなって
おり、低濃度領域５３４ａの外側が、低濃度領域５３４
ａよりも酸素濃度が高い中濃度領域５３４ｂとなってい
る。そして、中濃度領域５３４ｂの外側が、中濃度領域
５３４ｂよりも酸素濃度が高い高濃度領域５３４ｃとな
っている。このように、溶存酸素計は、溶存酸素計の回
路中を流れる還元電流を測定し、その還元電流の測定値
を酸素濃度に換算することによって測定液５３４の酸素
濃度の測定を行っている。The reduction current represented by the above formula (2) is proportional to the oxygen concentration in the measurement liquid 534. For example, the measurement liquid 534
When the oxygen content increases, the electrolyte 536 permeates through the diaphragm 535.
The amount of oxygen dissolved in the electrolyte increases, and the reduction current flowing through the DC ammeter 538 increases in proportion to the oxygen concentration in the electrolyte 536. Here, in the measurement liquid 534 under measurement, the diaphragm 5
35 is a low concentration region 534a having a low oxygen concentration, and the outside of the low concentration region 534a is a low concentration region 534.
The medium concentration region 534b has a higher oxygen concentration than a. The outside of the middle concentration region 534b is a high concentration region 534c having a higher oxygen concentration than the middle concentration region 534b. As described above, the dissolved oxygen meter measures the reduction current flowing in the circuit of the dissolved oxygen meter, and converts the measured value of the reduction current into the oxygen concentration to measure the oxygen concentration of the measurement liquid 534.
【０１１０】上述したように、ポーラロ式の酸素電極
は、陰極として白金、陽極として銀、電解液としてアル
カリ溶液を用い、外部電極による酸素の定電位電解を用
いた酸素電極である。このポーラロ式に対して、隔膜式
の溶存酸素計のもう一つの測定方法であるガルバニ式で
は、陽極として白金、陰極として鉛、電解液としてアル
カリ溶液を用い、外部電極を用いないで酸素電極自身の
電池反応による電圧を利用し、酸素の定電位電解を用い
ている。As described above, the polaro-type oxygen electrode is an oxygen electrode using platinum as a cathode, silver as an anode, an alkaline solution as an electrolyte, and constant potential electrolysis of oxygen by an external electrode. In contrast to the polaro method, the galvanic method, which is another measurement method of a dissolved oxygen meter of the diaphragm type, uses platinum as the anode, lead as the cathode, an alkaline solution as the electrolyte, and the oxygen electrode itself without using an external electrode. And the constant potential electrolysis of oxygen is used by utilizing the voltage due to the battery reaction.
【０１１１】ポーラロ式はガルバニ式と比較して、次に
説明する利点を有している。第１の利点としては測定の
再現性がよい。第２の利点としては、沈殿物の発生が少
ないので長期的に測定が安定している。第３の利点とし
ては電圧を酸素電極にかけているので温度の影響が小さ
い。これらの利点により、本実施形態ではポーラロ式の
溶存酸素計を用いている。The Polaro system has the following advantages over the Galvanic system. The first advantage is good reproducibility of measurement. The second advantage is that the measurement is stable for a long period of time because the generation of precipitates is small. A third advantage is that the voltage is applied to the oxygen electrode, so that the influence of temperature is small. Due to these advantages, a polaro-type dissolved oxygen meter is used in this embodiment.
【０１１２】次に、図８に示したように、センサ５２３
をほぼ水平となるように容器５２８に取り付けたことに
ついて説明する。図９に示した溶存酸素計を長時間使用
していると、陽極５３２の表面に塩化銀の層が形成さ
れ、その塩化銀の層が陽極５３２から剥離して、陰極５
３１と隔膜５３５との間に入る。このように、陰極５３
１と隔膜５３５との間に塩化銀が入り込むと、溶存酸素
計の安定した性能が得られなくなってしまう。従って、
隔膜５３５を下方に向けて酸素電極５３７ａを取り付け
る方法では、塩化銀が陰極５３１と隔膜５３５との間に
入り込みやすいので、この取り付け方法は、長期にわた
って使用する場合、望ましいものでない。また、これと
は逆に隔膜５３５を上方に向けて酸素電極５３７ａを取
り付けようとすると、酸素電極５３７ａを容器５３９の
底面に取り付けることになり、図８に示した溶存酸素計
５２０の場合、センサ５２３を容器５２８の底面に取り
付けなければならない。しかしながら、容器５２８内の
底部では、回転子５２６で撹拌を行うので、容器５２８
の底面でセンサ５２３とマグネチックスターラー５２４
とを並べる必要があり、容器５２８が大きくなる。容器
５２８が大きくなると容器５２８内に滞留するインクの
量が多くなってしまい望ましくない。従って、図８に示
した溶存酸素計５２０では、センサ５２３の寿命が長
く、かつ、容器５２８内部の容積が小さくなるように、
センサ５２３がほぼ水平に容器５２８に取り付けられて
いる。Next, as shown in FIG.
A description will be given of the fact that is attached to the container 528 so as to be substantially horizontal. When the dissolved oxygen meter shown in FIG. 9 is used for a long time, a layer of silver chloride is formed on the surface of the anode 532, and the silver chloride layer is peeled off from the anode 532, and the cathode 5
31 and between the diaphragm 535. Thus, the cathode 53
If silver chloride enters between the membrane 1 and the diaphragm 535, stable performance of the dissolved oxygen meter cannot be obtained. Therefore,
In the method of mounting the oxygen electrode 537a with the diaphragm 535 facing downward, silver chloride easily enters between the cathode 531 and the diaphragm 535, so this mounting method is not desirable when used for a long time. Conversely, if the oxygen electrode 537a is mounted with the diaphragm 535 facing upward, the oxygen electrode 537a is mounted on the bottom surface of the container 539. In the case of the dissolved oxygen meter 520 shown in FIG. 523 must be attached to the bottom of the container 528. However, since the stirring is performed by the rotor 526 at the bottom in the container 528, the container 528
Sensor 523 and magnetic stirrer 524 on the bottom
Must be arranged, and the container 528 becomes large. If the container 528 is large, the amount of ink staying in the container 528 increases, which is not desirable. Therefore, in the dissolved oxygen meter 520 shown in FIG.
A sensor 523 is mounted on the container 528 substantially horizontally.
【０１１３】〈三方弁の切り替え動作〉次に、図７に示
した三方弁５０２，５０４，５０５の切り替え動作につ
いて図１０〜図１２を参照して説明する。三方弁５０
２，５０４，５０５の切り替え動作は制御ユニットによ
って制御される。<Switching Operation of Three-Way Valve> Next, the switching operation of the three-way valves 502, 504, and 505 shown in FIG. 7 will be described with reference to FIGS. Three-way valve 50
The switching operation of 2,504,505 is controlled by the control unit.
【０１１４】図１０は、図７に示したインクジェットヘ
ッド１２０ａからインクを吐出する際の三方弁５０２，
５０４，５０５の状態を示す図である。FIG. 10 shows a three-way valve 502 for discharging ink from the ink jet head 120a shown in FIG.
It is a figure which shows the state of 504,505.
【０１１５】図１０に示すように、インクジェットヘッ
ド１２０ａからインクを吐出する際には、三方弁５０２
によってチューブ４５２とチューブ５７６とが連通し、
チューブ５７３の三方弁５０２側の端部は閉じた状態と
なる。三方弁５０５では、チューブ５７６とチューブ５
５４とが連通し、チューブ５７５の三方弁５０５側の端
部が閉じた状態となる。三方弁５０４では、チューブ５
５３とチューブ５７４とが連通し、チューブ５７５の三
方弁５０４側の端部が閉じた状態となる。As shown in FIG. 10, when ink is ejected from the ink jet head 120a, the three-way valve 502 is used.
The tube 452 and the tube 576 communicate with each other,
The end of the tube 573 on the three-way valve 502 side is in a closed state. In the three-way valve 505, the tubes 576 and 5
And the end of the tube 575 on the side of the three-way valve 505 is closed. In the three-way valve 504, the tube 5
The tube 53 communicates with the tube 53, and the end of the tube 575 on the three-way valve 504 side is closed.
【０１１６】従って、インクの吐出時には、サブタンク
４０１ａからメイン脱気装置５１１ａに向って流れるイ
ンクは、溶存酸素計５２０を通過した後に、チューブ５
７２、ジョイント５７７、チューブ５７４、三方弁５０
４およびチューブ５５３などを通してインクジェットヘ
ッド１２０ａの供給口に供給される。インクジェットヘ
ッド１２０ａにインクが供給された後に、インクジェッ
トヘッド１２０ａから吐出されずにインクジェットヘッ
ド１２０ａの外部に排出されたインクは、チューブ５５
２、カプラ５５６、チューブ５５４、三方弁５０５、チ
ューブ５７６、三方弁５０２、チューブ４５２、ジョイ
ント４７１、チューブ４５７、二方弁４０６およびチュ
ーブ４５８，４５９を通してメインタンク３０１ａの内
部に流れ込む。Therefore, when the ink is ejected, the ink flowing from the sub tank 401a toward the main deaerator 511a passes through the dissolved oxygen meter 520 and then flows into the tube 5a.
72, joint 577, tube 574, three-way valve 50
The ink is supplied to the supply port of the inkjet head 120a through the nozzle 4 and the tube 553. After the ink is supplied to the inkjet head 120a, the ink discharged from the inkjet head 120a without being ejected from the inkjet head 120a is a tube 55
2. Flow into the main tank 301a through the coupler 556, the tube 554, the three-way valve 505, the tube 576, the three-way valve 502, the tube 452, the joint 471, the tube 457, the two-way valve 406, and the tubes 458, 459.
【０１１７】サブタンク４０１ａから、チューブ４５
１、流量計４５６、チューブ４５５、メイン脱気装置５
１１ａ、チューブ５７１、溶存酸素計５２０、チューブ
５７２，５７４，５５３，５５１を通ってインクジェッ
トヘッド１２０ａに至るまでのインク経路によって、サ
ブタンク４０１ａ内に貯留されたインクをインクジェッ
トヘッド１２０ａに供給するための第１の液体経路が構
成されている。また、チューブ５５２，５５４，５７
６，４５２，４５７，４５８や、それらのチューブに間
を接続する構成部品などから第２の液体経路が構成さ
れ、この第２の液体経路の、インクジェットヘッド１２
０ａ側と反対側の端部に相当する、チューブ４５８の端
部が第３の液体経路としてのチューブ４５９の差し込ま
れている。さらに、第２の液体経路の、インクジェット
ヘッド１２０ａ側と反対側の先端、すなわちチューブ４
５８の先端から流れ出たインクをサブタンク４０１ａに
戻すための液体戻し経路が、チューブ４５９と、メイン
タンク３０１ａと、上述したタンク間供給経路とから構
成されている。From the sub tank 401a, the tube 45
1. Flow meter 456, tube 455, main deaerator 5
11a, a tube for supplying the ink stored in the sub-tank 401a to the inkjet head 120a by an ink path through the tube 571, the dissolved oxygen meter 520, the tubes 572, 574, 553, and 551 to the inkjet head 120a. One liquid path is configured. In addition, tubes 552, 554, 57
6, 452, 457, 458 and components for connecting the tubes to each other, and a second liquid path is formed.
The end of the tube 458 corresponding to the end opposite to the 0a side is inserted into the tube 459 as the third liquid path. Further, the tip of the second liquid path on the side opposite to the inkjet head 120a side, that is, the tube 4
A liquid return path for returning the ink flowing out from the tip of the nozzle 58 to the sub tank 401a includes the tube 459, the main tank 301a, and the above-described inter-tank supply path.
【０１１８】図１１は、インクジェットヘッド１２０ａ
を避けてインクを循環させるために、インクをバイパス
する際の三方弁５０２，５０４，５０５の状態を示す図
である。三方弁５０２，５０４，５０５を、図１１に示
す状態にした後に、後述するようにインクをインク供給
系に充填する動作や、インク供給系のインクを交換する
動作などが行われる。FIG. 11 shows an ink jet head 120a.
FIG. 10 is a diagram showing the state of the three-way valves 502, 504, and 505 when ink is bypassed in order to circulate the ink while avoiding the problem. After setting the three-way valves 502, 504, and 505 to the state shown in FIG. 11, an operation of filling the ink supply system with ink and an operation of replacing ink in the ink supply system are performed as described later.
【０１１９】図１１に示すように、インクのバイパス時
には、三方弁５０２によってチューブ４５２とチューブ
５７６とが連通し、チューブ５７３の三方弁５０２側の
端部は閉じた状態となる。三方弁５０５では、チューブ
５７６とチューブ５７５とが連通し、チューブ５５４の
三方弁５０５側の端部は閉じた状態となる。三方弁５０
４では、チューブ５７５とチューブ５７４とが連通し、
チューブ５５３の三方弁５０４側の端部は閉じた状態と
なる。As shown in FIG. 11, when ink is bypassed, the tube 452 and the tube 576 are communicated by the three-way valve 502, and the end of the tube 573 on the three-way valve 502 side is closed. In the three-way valve 505, the tube 576 and the tube 575 communicate with each other, and the end of the tube 554 on the three-way valve 505 side is closed. Three-way valve 50
In 4, the tube 575 communicates with the tube 574,
The end of the tube 553 on the three-way valve 504 side is in a closed state.
【０１２０】従って、インクのバイパス時では、サブタ
ンク４０１ａからメイン脱気装置５１１ａに向って流れ
るインクは、溶存酸素計５２０を通過した後に、チュー
ブ５７２、ジョイント５７７、チューブ５７４、三方弁
５０４、チューブ５７５、三方弁５０５、チューブ５７
６、三方弁５０２およびチューブ４５２をこの順番で通
過してメインタンク３０１ａの内部に送り込まれる。そ
の場合とインクの流れが反対の場合、三方弁４０３、チ
ューブ４５３，４５２をこの順番で通過して三方弁５０
２に向って流れるインクはチューブ５７６、三方弁５０
５、チューブ５７５、三方弁５０４、チューブ５７４な
どを通して溶存酸素計５２０の内部に送り込まれる。三
方弁５０２，５０４，５０５がこのようなバイパス状態
にあるときでは、インクジェットヘッド１２０ａはメイ
ンタンク３０１ａおよびサブタンク４０１ａとインク供
給路によってつながっていない。Therefore, at the time of ink bypass, the ink flowing from the sub tank 401a to the main deaerator 511a passes through the dissolved oxygen meter 520, and then flows through the tube 572, the joint 577, the tube 574, the three-way valve 504, and the tube 575. , Three-way valve 505, tube 57
6. After passing through the three-way valve 502 and the tube 452 in this order, it is fed into the main tank 301a. In this case and when the ink flow is opposite, the three-way valve 403 and the tubes 453 and 452 are passed in this order, and the three-way valve 50
The ink flowing toward 2 is supplied to the tube 576 and the three-way valve 50.
5, is sent into the dissolved oxygen meter 520 through the tube 575, the three-way valve 504, the tube 574, and the like. When the three-way valves 502, 504, and 505 are in such a bypass state, the inkjet head 120a is not connected to the main tank 301a and the sub tank 401a by the ink supply path.
【０１２１】図１２は、後述するようにインクジェット
ヘッド１２０ａの供給口および排出口の両側に向けてイ
ンク供給経路内のインクを加圧する際の三方弁５０２，
５０４，５０５の状態を示す図である。FIG. 12 shows a three-way valve 502 for pressurizing the ink in the ink supply path toward both sides of the supply port and the discharge port of the ink jet head 120a as described later.
It is a figure which shows the state of 504,505.
【０１２２】後述するようにサブタンク４０１ａ内のイ
ンクをインクジェットヘッド１２０ａの供給口および排
出口の両側に向けて加圧する際には、図１２に示すよう
に、三方弁５０２によってチューブ５７３とチューブ５
７６とが連通し、チューブ４５２の三方弁５０２側の端
部は閉じた状態となる。三方弁５０５では、チューブ５
７６とチューブ５５４とが連通し、チューブ５７５の三
方弁５０５側の端部が閉じた状態となる。三方弁５０４
では、チューブ５７４とチューブ５５３とが連通し、チ
ューブ５７５の三方弁５０４側の端部が閉じた状態とな
る。As described later, when the ink in the sub tank 401a is pressurized toward both sides of the supply port and the discharge port of the ink jet head 120a, as shown in FIG.
76, and the end of the tube 452 on the three-way valve 502 side is closed. In the three-way valve 505, the tube 5
The tube 76 communicates with the tube 554, and the end of the tube 575 on the three-way valve 505 side is closed. Three-way valve 504
Then, the tube 574 and the tube 553 communicate with each other, and the end of the tube 575 on the three-way valve 504 side is closed.
【０１２３】サブタンク４０１ａ内のインクをインクジ
ェットヘッド１２０ａに向けて加圧するには、サブタン
ク４０１ａに備えられたタービン４０２ａを回転させ
る。図１２に示した状態でタービン４０２ａを回転させ
ると、サブタンク４０１ａ内のインクはチューブ４５１
を通してメイン脱気装置５１１ａに向けて送り出され
る。送り出されたインクは、メイン脱気装置５１１ａお
よび溶存酸素計５２０を通過した後に、ジョイント５７
７でチューブ５７４および５７３に分岐される。ジョイ
ント５７７でチューブ５７４および５７３のそれぞれに
分岐されたインクは、それぞれの供給経路を通してイン
クジェットヘッド１２０ａに送り込まれる。To pressurize the ink in the sub tank 401a toward the ink jet head 120a, the turbine 402a provided in the sub tank 401a is rotated. When the turbine 402a is rotated in the state shown in FIG. 12, the ink in the sub tank 401a is
Through the main deaerator 511a. The sent ink passes through the main deaerator 511 a and the dissolved oxygen meter 520, and then passes through the joint 57.
At 7, it branches to tubes 574 and 573. The ink branched to each of the tubes 574 and 573 by the joint 577 is sent to the inkjet head 120a through each supply path.
【０１２４】上述したように、これらの三方弁５０２，
５０４，５０５は、図７に示したインク供給経路におけ
るインクの流れを切り替えるものであるが、これらの三
方弁５０２，５０４，５０５から、図７に示したインク
供給経路、およびインクジェットヘッド１２０内のイン
ク循環経路１２１ａにおけるインクの連続的な流れ、す
なわちそれぞれのインク流路内におけるインクの流動を
停止させる停止手段が構成されている。従って、三方弁
５０２，５０４，５０５の動作によって、サブタンク４
０１ａに貯留された液体をインクジェットヘッド１２０
ａに供給するための前記第１の液体経路内、インクジェ
ットヘッド１２０ａ内のインク循環経路１２１ａ内や、
インク循環経路１２１ａを通過した液体が流れ込む前記
第２の液体経路内のインクの流動が停止される。As described above, these three-way valves 502,
Numerals 504 and 505 switch the flow of ink in the ink supply path shown in FIG. 7. Stop means for stopping the continuous flow of ink in the ink circulation path 121a, that is, the flow of ink in each ink flow path, is configured. Therefore, the operation of the three-way valves 502, 504, and 505 causes the sub tank 4
01a to the inkjet head 120
a in the first liquid path for supplying the ink to the ink circulation path 121a in the inkjet head 120a,
The flow of the ink in the second liquid path into which the liquid that has passed through the ink circulation path 121a flows is stopped.
【０１２５】このように三方弁５０２，５０４，５０５
の動作によりインクの流れを停止させる動作は、後述す
るようにインクジェットヘッド１２０ａの吐出口から液
体を強制的に排出させた直後や、インクジェットヘッド
１２０ａの吐出口面をワイピングブレードにより払拭す
る動作中、インクジェットヘッド１２０ａの取付け位置
を調整する際、およびインクジェットヘッド１２０ａを
交換する際に行われる。さらに、インクジェットヘッド
１２０ａを有するヘッドユニット６０６を、ガラス基板
１の、ＸＹステージ６０３による移動範囲の中央部の上
方、すなわち装置の中央部から、前記移動範囲の端部の
上方、または前記移動範囲の外側上方、すなわちインク
ジェットヘッド１２０ａを交換可能、またはインクジェ
ットヘッド１２０ａの取付け位置が調整可能となるよう
な装置の端部に移動させる際にも、三方弁５０２，５０
４，５０５の動作によってインクジェットヘッド１２０
内のインク循環経路１２１ａ、およびインク供給経路に
おけるインクの連続的な流れが停止される。Thus, the three-way valves 502, 504, 505
The operation of stopping the flow of ink by the operation described above is performed immediately after the liquid is forcibly discharged from the ejection port of the inkjet head 120a as described later, or during the operation of wiping the ejection port surface of the inkjet head 120a with the wiping blade, This is performed when adjusting the mounting position of the inkjet head 120a and when replacing the inkjet head 120a. Further, the head unit 606 having the inkjet head 120a is moved from above the center of the range of movement of the glass substrate 1 by the XY stage 603, that is, from the center of the apparatus, to above the end of the range of movement or above the range of movement. The three-way valves 502 and 50 are also used to move the ink jet head 120a to the upper side outside, that is, to the end of the apparatus where the mounting position of the ink jet head 120a can be changed or the mounting position of the ink jet head 120a can be adjusted.
The operation of the ink jet head 120 by the operation of 4,505
The continuous flow of ink in the ink circulation path 121a and the ink supply path is stopped.
【０１２６】〈インク供給系の動作〉次に、図７に示し
たインク供給系の動作について、図７および図１０を参
照して説明する。本実施形態では、インクジェットヘッ
ド１２０ａがインクを吐出しているときであっても、吐
出していない時であっても、後述するようなインク供給
系のインク充填時および交換時の動作を除く通常時に、
三方弁５０２，５０４，５０５を、図１０に示した吐出
時の状態に切り替えると共に、三方弁４０３では、チュ
ーブ３５６とチューブ４５４とが連通し、チューブ４５
３の三方弁４０３側の端部が閉じた状態となっている。
従って、三方弁４０３では、チューブ３５６から三方弁
４０３に向かって流れるインクがチューブ４５４の方
向、すなわち図７の矢印Ａの方向に流れる。二方弁４０
６は開いた状態となり、チューブ４５７とチューブ４５
８とが連通している。<Operation of Ink Supply System> Next, the operation of the ink supply system shown in FIG. 7 will be described with reference to FIGS. 7 and 10. In the present embodiment, even when the inkjet head 120a is ejecting ink or not ejecting ink, a normal operation excluding the operation at the time of ink filling and replacement of an ink supply system as described later is performed. Sometimes
The three-way valves 502, 504, and 505 are switched to the state at the time of discharge shown in FIG. 10, and the three-way valve 403 communicates with the tubes 356 and 454,
3, the end on the three-way valve 403 side is in a closed state.
Accordingly, in the three-way valve 403, ink flowing from the tube 356 toward the three-way valve 403 flows in the direction of the tube 454, that is, in the direction of arrow A in FIG. Two-way valve 40
6 is in the open state, and the tubes 457 and 45
8 is in communication.
【０１２７】このような状態では、サブタンク４０１ａ
内のインクの液面の高さと、チューブ４５８の先端の高
さとの水頭差δによって、サブタンク４０１ａからチュ
ーブ４５１、流量計４５６、チューブ４５５、メイン脱
気装置５１１ａ、チューブ５７１、溶存酸素計５２０、
チューブ５７２，５７４、三方弁５０４、チューブ５５
３、カプラ５５５、チューブ５５１およびコネクタ５６
１を介してインクジェットヘッド１２０ａに流れ込み、
インクジェットヘッド１２０ａのインク循環経路１２１
ａによりインクジェットヘッド１２０ａのノズル面近傍
を通過する。ここで、インクジェットヘッド１２０ａの
吐出口から吐出されるインクとして消費されないインク
は、インクジェットヘッド１２０ａの排出口から再びコ
ネクタ５６１、チューブ５５２、カプラ５５６、チュー
ブ５５４、三方弁５０５、チューブ５７６、三方弁５０
２、チューブ４５２、ジョイント４７１、チューブ４５
７、通常は開状態になっている二方弁４０６、チューブ
４５８をこの順番で流れる。そして、チューブ４５８の
先端から流れ出たインクはチューブ４５９の内壁をつた
ってメインタンク３０１ａへと流れ込む。In such a state, the sub tank 401a
Depending on the water head difference δ between the liquid level of the ink inside and the height of the tip of the tube 458, the tube 451, the flow meter 456, the tube 455, the main deaerator 511a, the tube 571, the dissolved oxygen meter 520,
Tubes 572, 574, three-way valve 504, tube 55
3, coupler 555, tube 551 and connector 56
1 flows into the inkjet head 120a via
Ink circulation path 121 of inkjet head 120a
a passes near the nozzle surface of the inkjet head 120a. Here, the ink that is not consumed as the ink ejected from the ejection port of the inkjet head 120a is again supplied from the ejection port of the inkjet head 120a to the connector 561, the tube 552, the coupler 556, the tube 554, the three-way valve 505, the tube 576, and the three-way valve 50.
2, tube 452, joint 471, tube 45
7. The two-way valve 406, which is normally open, and the tube 458 flow in this order. Then, the ink flowing out from the tip of the tube 458 flows along the inner wall of the tube 459 and flows into the main tank 301a.
【０１２８】サブタンク４０１ａ内のインクが減少し、
残量センサ４０５によってサブタンク４０１ａ内の液面
を検知すると、メインポンプ３０２を一定時間駆動させ
てメインタンク３０１ａ内のインクをサブタンク４０１
ａ内に供給し、サブタンク４０１ａ内のインクがドレイ
ン４０４からオーバーフローして、チューブ４５９の内
壁をつたい落ちるまで、サブタンク４０１ａ内にインク
を補充する。このときのサブタンク４０１ａ内の液面高
さの変化量は１０ｍｍ程度であり、その変化量は、イン
ク循環のための水頭差δ（本実施形態では３００ｍｍ）
と比較すると遥かに小さな値となっているため、サブタ
ンク４０１ａ内の液面の変化がインクの循環量に影響を
与えることはない。The ink in the sub tank 401a decreases,
When the liquid level in the sub tank 401a is detected by the remaining amount sensor 405, the main pump 302 is driven for a certain period of time to remove the ink in the main tank 301a from the sub tank 401a.
a, the ink in the sub-tank 401a is replenished until the ink in the sub-tank 401a overflows from the drain 404 and falls down the inner wall of the tube 459. At this time, the amount of change in the liquid level in the sub tank 401a is about 10 mm, and the amount of change is the head difference δ for ink circulation (300 mm in this embodiment).
Since the value is much smaller than that of, the change in the liquid level in the sub tank 401a does not affect the ink circulation amount.
【０１２９】このようにサブタンク４０１ａ内の液面高
さと、チューブ４５８の先端の高さとの水頭差δを利用
することで、インク供給系をインクが循環するような構
成になっている。これにより、インクジェットヘッド１
２０ａ内には、常にメイン脱気装置５１１ａを通過して
溶存気体を充分に除去されたインクが循環しながら供給
されており、必要に応じて吐出信号によってインクジェ
ットヘッド１２０ａからインクを吐出させ、透明ガラス
基板上に着色を行う。As described above, the ink is circulated through the ink supply system by utilizing the head difference δ between the liquid level in the sub tank 401a and the height of the tip of the tube 458. Thereby, the ink jet head 1
Ink 20a is always supplied with ink from which the dissolved gas has been sufficiently removed by passing through the main deaerator 511a while circulating. The ink is ejected from the inkjet head 120a by an ejection signal as needed, and Coloring is performed on a glass substrate.
【０１３０】上述したように、常時、インクジェットヘ
ッド１２０ａ内を、脱気されたインクが循環するように
構成しても、例えば装置のメンテナンスなどで、インク
経路内をインクが循環したままインクを吐出させないで
長時間放置しておくと、インクジェットヘッド１２０ａ
のノズル内のインクにおけるメニスカスの状態が微妙に
変化し、吐出開始時だけわずかに吐出量が多くなった
り、一定時間吐出できなかったりして、吐出不良を生じ
る場合がある。また、装置のわずかなトラブルによりイ
ンク経路内のインク中の溶存酸素量が、ある一定値を越
えてしまった場合、吐出の不安定を引き起こす可能性が
生じる。As described above, even if the degassed ink is always circulated in the ink jet head 120a, the ink is ejected while the ink is circulated in the ink path due to, for example, maintenance of the apparatus. If left unattended for a long time, the inkjet head 120a
The state of the meniscus of the ink in the nozzle may slightly change, and the discharge amount may increase slightly only at the start of discharge, or the discharge may not be performed for a certain period of time, resulting in defective discharge. In addition, if the amount of dissolved oxygen in the ink in the ink path exceeds a certain value due to a slight trouble of the apparatus, there is a possibility that the ejection becomes unstable.
【０１３１】これらのことを防止するために、一定時間
以上インクを循環したまま放置した場合、あるいは、溶
存酸素量が、ある一定値を越えてしまったような場合
は、加圧モータ４０２を駆動してタービン４０２ａを回
転させ、タービン４０２ａによって、サブタンク４０１
ａ内のインクをチューブ４５１に向けて圧送し、インク
をインクジェットヘッド１２０ａへと送り込む加圧回復
の動作を行う。加圧時のインク供給経路におけるそれぞ
れの弁の状態は、前述したインクを循環させている状態
とまったく同じであるが、タービン４０２ａによる加圧
を停止すると直ちに三方弁５０２を、図１２に示した両
側加圧時の状態に切り替える。これによってインクジェ
ットヘッド１２０ａからメインタンク３０１ａへと戻る
経路がなくなり、インクの循環が停止する。これは、加
圧回復によってインクジェットヘッド１２０ａのノズル
からインクを排出することで、ノズル内に形成されてい
たインクのメニスカスが破壊され、インクジェットヘッ
ド１２０ａ内をインクが循環したままではインクがノズ
ルから流れっぱなしになる可能性があるので、これを防
止するためである。また、サブタンク４０１ａ内の液面
の高さはインクジェットヘッド１２０ａのノズル面より
２５〜３５ｍｍ低い位置にあるので、このとき、インク
ジェットヘッド１２０ａには負圧が働き、ノズルからイ
ンクが出っ放しになることはない。従って、インクによ
り装置内が汚れたり、インクによって装置が損傷したり
するということが防止される。In order to prevent these problems, if the ink is left circulating for a predetermined time or more, or if the amount of dissolved oxygen exceeds a certain value, the pressurizing motor 402 is driven. To rotate the turbine 402a, and the sub-tank 401
The ink in a is pressure-fed toward the tube 451, and the pressure recovery operation of feeding the ink to the inkjet head 120a is performed. The state of each valve in the ink supply path at the time of pressurization is exactly the same as the state in which the ink is circulated, but the three-way valve 502 is shown in FIG. 12 immediately after the pressurization by the turbine 402a is stopped. Switch to the state when both sides are pressurized. As a result, there is no path from the inkjet head 120a to the main tank 301a, and the circulation of the ink is stopped. This is because the meniscus of the ink formed in the nozzle is destroyed by discharging the ink from the nozzle of the inkjet head 120a by the pressure recovery, and the ink flows from the nozzle while the ink circulates in the inkjet head 120a. This is to prevent this because it may be left unattended. In addition, since the height of the liquid surface in the sub tank 401a is 25 to 35 mm lower than the nozzle surface of the ink jet head 120a, at this time, a negative pressure acts on the ink jet head 120a and ink is released from the nozzles. Never. Therefore, it is possible to prevent the inside of the apparatus from being stained by the ink and to prevent the apparatus from being damaged by the ink.
【０１３２】また、加圧回復が終了した後には、インク
ジェットヘッド１２０ａのノズル面にインク滴が付着し
た状態となり、このインク滴を除去ために、ワイピング
ブレードでインクジェットヘッド１２０ａのノズル面を
払拭する必要がある。そのときも、加圧回復終了時と同
様に、三方弁５０２を、図１２に示した両側加圧時の状
態にして、インクジェットヘッド１２０ａ内の循環を停
止するようにする。これは、ワイピングブレードによっ
てノズル面を払拭することによって、ノズル内に形成さ
れていたインクのメニスカスが破壊されるので、インク
ジェットヘッド１２０ａ内をインクが循環したままでは
インクがノズルから流れっばなしになる可能性があるか
らである。また、ワイピングブレードに付着していたイ
ンク滴、あるいはワイピングブレードの洗浄水をインク
ジェットヘッド１２０ａのノズルが吸い込んで、吐出開
始直後における吐出不良を生じることを防止するためで
もある。After the completion of the pressure recovery, ink droplets are attached to the nozzle surface of the ink jet head 120a. In order to remove the ink droplets, it is necessary to wipe the nozzle surface of the ink jet head 120a with a wiping blade. There is. At this time, similarly to the end of the pressurization recovery, the three-way valve 502 is set to the state at the time of the both-side pressurization shown in FIG. 12 to stop the circulation in the inkjet head 120a. This is because the meniscus of the ink formed in the nozzle is destroyed by wiping the nozzle surface with the wiping blade, so that the ink flows from the nozzle without the ink circulating in the inkjet head 120a. This is because there is a possibility. It is also to prevent the nozzles of the inkjet head 120a from sucking the ink droplets adhered to the wiping blade or the cleaning water of the wiping blade and causing a discharge failure immediately after the start of the discharge.
【０１３３】ワイピング動作を終了した後に、三方弁５
０２を、図１０に示した描画時の位置に切り替えると、
再び、サブタンク４０１ａ内の液面の高さと、チューブ
４５８の先端の高さとの差δにより、インクジェットヘ
ッド１２０ａ内をインクが循環する。このとき、インク
ジェットヘッド１２０ａへ供給されるインクの脱気レベ
ルは、溶存酸素計５２０によって常にモニタされる。こ
のように、脱気されたインクがインクジェットヘッド１
２０ａ内を常に循環しているので、インクを循環させて
いなかったときにはインクジェットヘッド１２０ａ内に
脱気インクを供給するためにカラーフィルタ基板一枚を
描画するごとに一回程度の加圧回復の動作が必要であっ
た場合と比較して、本実施形態では、通常にカラーフィ
ルタ基板を描画している最中に、加圧回復なしで連続的
に複数枚のカラーフィルタ基板の描画が可能になり、イ
ンクの消費量を大幅に削減することや、加圧回復及びワ
イピングのための時間が不要となることのため、基板一
枚当たりに要する時間（タクト）およびコストを大幅に
削減できる。After the wiping operation is completed, the three-way valve 5
02 is switched to the position at the time of drawing shown in FIG.
Again, the ink circulates inside the inkjet head 120a due to the difference δ between the liquid level in the sub tank 401a and the height of the tip of the tube 458. At this time, the deaeration level of the ink supplied to the inkjet head 120a is constantly monitored by the dissolved oxygen meter 520. In this manner, the degassed ink is supplied to the inkjet head 1.
When the ink is not circulated, the pressure recovery operation is performed once every time one color filter substrate is drawn in order to supply the deaerated ink to the ink jet head 120a because the ink is not circulated. In this embodiment, it is possible to continuously draw a plurality of color filter substrates without recovering the pressure during the normal drawing of the color filter substrate, as compared with the case where Since the amount of ink consumption is greatly reduced, and the time for pressure recovery and wiping is not required, the time (tact) and cost required for one substrate can be significantly reduced.
【０１３４】また、装置のトラブルや、インクジェット
ヘッド交換などのために、長時間インクの循環を停止し
て、溶存酸素量が大幅に上昇した場合は、三方弁５０
４，５０５を、図１１に示したバイパス時の状態に切り
替えた後に、加圧モータ４０２駆動してタービン４０２
ａを回転させ、サブタンク４０１ａ内のインクを圧送
し、メイン脱気装置５１１ａ内でより脱気されたインク
を送り出す。このときサブタンク４０１ａ内のインクは
加圧モータ４０２およびタービン４０２ａにより急激に
減少させられるので、メインポンプ３０２を同時に動作
させて、メインタンク３０１ａからサブタンク４０１ａ
にインクを供給しながら加圧モータ４０２によりインク
を圧送する。これにより、サブタンク４０１ａ内のイン
クの残量を気にすることなく、加圧モータ４０２により
インクを送り続けることができる。また、メインタンク
３０１ａから、メインポンプ３０２によってサブタンク
４０１ａへと供給されるインクは脱気装置３２１を通過
しているので、そのインクは、サブタンク４０１ａに供
給された段階で、ある程度脱気されたインクとなってい
る。If the circulation of ink is stopped for a long time due to a trouble of the apparatus or replacement of the ink jet head, and the amount of dissolved oxygen increases significantly, the three-way valve 50 is used.
4, 505 are switched to the state at the time of the bypass shown in FIG.
is rotated, the ink in the sub tank 401a is pumped, and the ink degassed in the main deaerator 511a is sent out. At this time, since the ink in the sub tank 401a is rapidly reduced by the pressurizing motor 402 and the turbine 402a, the main pump 302 is operated at the same time, and the main tank 301a is moved from the sub tank 401a.
The ink is pressure-fed by the pressurizing motor 402 while the ink is supplied. Accordingly, the ink can be continuously sent by the pressurizing motor 402 without worrying about the remaining amount of the ink in the sub tank 401a. Further, since the ink supplied from the main tank 301a to the sub-tank 401a by the main pump 302 passes through the deaerator 321, the ink is degassed to some extent at the stage when the ink is supplied to the sub-tank 401a. It has become.
【０１３５】溶存酸素量が、ある一定値以下になった
ら、三方弁５０４，５０５を、図１０に示した描画時の
状態に戻し、加圧モータ４０２を再度回転させ、より脱
気されたインクをインクジェットヘッド１２０ａに送り
込む。これは、前述した加圧回復の動作とまったく同じ
動作である。このとき、前述したのと同様に、サブタン
ク４０１ａ内のインクが急激に減少するので、メインポ
ンプ３０２を同時に動作させ、メインタンク３０１ａか
らサブタンク４０１ａへインクを供給する。また、イン
クジェットヘッド１２０ａに供給されたインクは、ノズ
ルから排出されるインクと、インクジェットヘッド１２
０ａ内を循環してチューブ５５２，５５４，５７６，４
５２，４５７，４５８を通過した後にチューブ４５８の
先端から排出され、チューブ４５９の内壁をつたってメ
インタンク３０１へと戻されるインクとに分かれる。こ
こで、本実施形態では、インクジェットヘッド１２０ａ
のノズルから排出されるインクと、メインタンク３０１
ａに戻されるインクとの比率は、ほぼ１：１である。こ
の加圧回復の動作が終了した直後は、前述したのと同様
に三方弁５０２を、図１２に示した両側加圧時の状態に
切り替え、ワイピングの動作を行った後に、三方弁５０
２を、図１０に示した描画時の状態に切り替えて、イン
クジェットヘッド１２０ａ内をインクが循環する状態に
戻す。When the amount of dissolved oxygen falls below a certain fixed value, the three-way valves 504 and 505 are returned to the state at the time of drawing shown in FIG. Is sent to the inkjet head 120a. This is exactly the same operation as the above-described operation of the pressure recovery. At this time, as described above, since the ink in the sub-tank 401a rapidly decreases, the main pump 302 is simultaneously operated to supply the ink from the main tank 301a to the sub-tank 401a. Further, the ink supplied to the inkjet head 120a includes the ink discharged from the nozzle and the inkjet head 12a.
And circulates through tubes 0a, 552, 554, 576, 4
After passing through the tubes 52, 457, and 458, the ink is discharged from the tip of the tube 458, and is separated into ink that returns along the inner wall of the tube 459 to the main tank 301. Here, in the present embodiment, the inkjet head 120a
Ink discharged from the nozzle of the main tank 301
The ratio with the ink returned to a is approximately 1: 1. Immediately after the pressurization recovery operation is completed, the three-way valve 502 is switched to the state at the time of both-side pressurization shown in FIG. 12 and the wiping operation is performed.
2 is switched to the drawing state shown in FIG. 10 to return to a state in which the ink circulates in the inkjet head 120a.
【０１３６】このように、インクジェットヘッド１２０
ａ内を常に一定値以下の溶存酸素量のインクが循環する
ように、溶存酸素計５２０における測定値を基にインク
供給系の動作を切り替える。これにより、インクジェッ
トヘッド１２０ａの吐出の安定化が実現される。Thus, the ink jet head 120
The operation of the ink supply system is switched based on the value measured by the dissolved oxygen meter 520 so that the ink having a dissolved oxygen amount equal to or less than a certain value always circulates in the area a. Accordingly, the ejection of the inkjet head 120a is stabilized.
【０１３７】また、インクがインクジェットヘッド１２
０ａを循環した後に流れ込む、戻りのチューブ４５８の
先端を、メインタンク３０１ａへとつながる太いチュー
ブ４５９の上部に差し込んであるため、チューブ４５８
の差し込む深さを変更することで、サブタンク４０１ａ
内の液面に対するチューブ４５８の先端の高さを調整す
ることが可能となっている。これにより、チューブ４５
８の先端の高さを調整して循環のための水頭差を決定す
る機構が簡単で、かつ、水頭差の変更も非常に容易に行
うことができ、インク循環のための水頭差を変更する機
構のための必要なスペースをほとんど要しない。Further, when the ink is applied to the ink jet head 12
Since the tip of the return tube 458 that flows after circulating Oa is inserted into the upper part of the thick tube 459 that leads to the main tank 301a, the tube 458
By changing the insertion depth of the sub tank 401a
The height of the tip of the tube 458 with respect to the liquid level inside can be adjusted. Thereby, the tube 45
The mechanism for determining the head difference for circulation by adjusting the height of the tip of 8 is simple, and the head difference can be changed very easily, and the head difference for ink circulation is changed. Requires very little space for the mechanism.
【０１３８】さらに、このようにチューブ４５８の先端
の高さを調整することで、インクを連続的に流すための
水頭差を変更してインクの循環量を簡単に調整すること
が可能となっていることによって、より多くの種類のイ
ンクに対して対応可能となる。さらに、このように水頭
圧を利用してインクジェットヘッド１２０ａにインクを
供給するインクジェット記録装置では、インクジェット
ヘッドからインクが出っ放しにならないように簡単に構
成することができ、インクで装置内を汚したり、インク
によって装置が損傷したりすることを防止することがで
きる。Further, by adjusting the height of the tip of the tube 458 in this manner, it is possible to easily adjust the ink circulation amount by changing the head difference for continuously flowing the ink. This makes it possible to deal with more types of ink. Further, the ink jet recording apparatus that supplies the ink to the ink jet head 120a using the head pressure can be simply configured so that the ink does not come off from the ink jet head, and the inside of the apparatus is contaminated with the ink. And that the device is not damaged by the ink.
【０１３９】上述したように、本実施形態のインクジェ
ット記録装置では、インクジェットヘッド１２０ａのイ
ンク循環経路１２１ａを通過したインクが流れ込む第２
の液体経路の、インクジェットヘッド１２０ａと反対側
の先端と、サブタンク４０１ａに貯留されたインクの上
面との水頭差によってサブタンク４０１ａから、メイン
脱気装置５１１ａが備えられた第１の液体経路、インク
循環経路１２１ａ、第２の液体経路の順で液体が連続的
に流れるようにインク供給系が構成されている。このこ
とにより、メイン脱気装置５１１ａを通過することで一
定レベルに脱気されたインクが常にインクジェットヘッ
ド１２０ａに供給され、インクジェットヘッド１２０ａ
の吐出量が安定する。また、このように連続的にインク
ジェットヘッド１２０ａのインク循環経路１２１ａにイ
ンクを流すようにしてインクを循環させることにより、
従来のようにインクジェットヘッドや液体供給経路を回
復させるためにインクジェットヘッドから液体を押し出
す頻度を減らすことができ、インクジェット記録装置に
おけるインクの消費量を最小限にとどめることができ
る。As described above, in the ink jet recording apparatus of this embodiment, the second ink into which the ink having passed through the ink circulation path 121a of the ink jet head 120a flows.
The first liquid path provided with the main deaerator 511a from the sub tank 401a due to the head difference between the top end of the ink stored in the sub tank 401a and the front end of the liquid path opposite to the inkjet head 120a. The ink supply system is configured so that the liquid flows continuously in the order of the path 121a and the second liquid path. As a result, the ink degassed to a certain level by passing through the main deaerator 511a is always supplied to the ink jet head 120a, and the ink jet head 120a
Discharge amount becomes stable. Further, by circulating the ink by continuously flowing the ink through the ink circulation path 121a of the inkjet head 120a,
As in the related art, it is possible to reduce the frequency of pushing out the liquid from the inkjet head to recover the inkjet head and the liquid supply path, and it is possible to minimize the consumption of ink in the inkjet recording apparatus.
【０１４０】〈インク充填時の動作〉次に、図７に示し
たインク供給系にインクを充填するときの動作について
説明する。<Operation when Filling Ink> Next, the operation when filling the ink supply system shown in FIG. 7 with ink will be described.
【０１４１】まず、インク供給系にインクを充填すると
きには、二方弁３０４，４０６を閉じ、三方弁５０２，
５０４，５０５を、図１１に示したバイパス時の状態に
切り替える。また、三方弁４０３では、チューブ３５６
とチューブ４５３とが連通し、チューブ４５４の三方弁
４０３側の端部が閉じた状態となっている。従って、三
方弁４０３では、チューブ３５６から三方弁４０３に向
かって流れるインクがチューブ４５３の方向、すなわち
図７の矢印Ｂの方向に流れる。First, when filling the ink supply system with ink, the two-way valves 304 and 406 are closed, and the three-way valves 502 and
504 and 505 are switched to the state at the time of bypass shown in FIG. In the three-way valve 403, the tube 356
And the tube 453 communicate with each other, and the end of the tube 454 on the three-way valve 403 side is closed. Accordingly, in the three-way valve 403, ink flowing from the tube 356 toward the three-way valve 403 flows in the direction of the tube 453, that is, in the direction of arrow B in FIG.
【０１４２】この状態で第１の工程として、メインポン
プ３０２を動作させ、メインタンク３０１ａ内のインク
をチューブ３５１および３５２を通してくみ上げると、
インクは、チューブ３５３、フィルタ３１１、チューブ
３５４，３５５、脱気装置３２１、チューブ３５６、三
方弁４０３、チューブ４５３，４５２、三方弁５０２、
チューブ５７６、三方弁５０５、チューブ５７５、三方
弁５０４、チューブ５７４，５７２、溶存酸素計５２
０、チューブ５７１、メイン脱気装置５１１ａ、チュー
ブ４５５、流量計４５６、チューブ４５１、サブタンク
４０１ａ、ドレイン４０４、チューブ４５９をこの順番
で通過し、インク供給経路のほぼ全体にインクが行き渡
る。このとき、メインポンプ３０２の流量は、２００cc
/minに設定する。また、脱気装置３２１用の真空ポンプ
３２２は、脱気装置３２１内の真空度が約３２±２Torr
となるように運転し、メイン脱気装置５１１ａ用の真空
ポンプ５２２は、メイン脱気装置５１１ａ内の真空度が
約１０Torrとなるように運転する。In this state, as a first step, when the main pump 302 is operated and the ink in the main tank 301a is pumped up through the tubes 351 and 352,
The ink is supplied to the tube 353, the filter 311, the tubes 354, 355, the deaerator 321, the tube 356, the three-way valve 403, the tubes 453, 452, the three-way valve 502,
Tube 576, three-way valve 505, tube 575, three-way valve 504, tubes 574, 572, dissolved oxygen meter 52
0, the tube 571, the main deaerator 511a, the tube 455, the flow meter 456, the tube 451, the sub-tank 401a, the drain 404, and the tube 459 in this order, and the ink spreads over almost the entire ink supply path. At this time, the flow rate of the main pump 302 is 200 cc.
Set to / min. The vacuum pump 322 for the deaerator 321 has a degree of vacuum in the deaerator 321 of about 32 ± 2 Torr.
, And the vacuum pump 522 for the main deaerator 511a is operated such that the degree of vacuum in the main deaerator 511a is about 10 Torr.
【０１４３】上記のような第１の工程によってインク供
給系にインクを充填した直後は、脱気装置３２１を通過
したインクが、チューブ３５６、三方弁４０３、チュー
ブ４５３，４５２、三方弁５０２、チューブ５７６、三
方弁５０５、チューブ５７５、三方弁５０４、チューブ
５７４，５７２、溶存酸素計５２０、チューブ５７１、
メイン脱気装置５１１ａに行き渡る。メイン脱気装置５
１１ａを通過したインクはさらに脱気されており、脱気
されたインクがチューブ４５５、流量計４５６、チュー
ブ４５１、サブタンク４０１ａの各々の内部に満たされ
る。Immediately after the ink is filled in the ink supply system in the first step as described above, the ink that has passed through the deaerator 321 is supplied to the tube 356, the three-way valve 403, the tubes 453, 452, the three-way valve 502, the tube 576, three-way valve 505, tube 575, three-way valve 504, tubes 574, 572, dissolved oxygen meter 520, tube 571,
It reaches the main deaerator 511a. Main deaerator 5
The ink that has passed through 11a is further degassed, and the degassed ink fills each of the tube 455, the flow meter 456, the tube 451, and the sub tank 401a.
【０１４４】ところが、図８に示したように、溶存酸素
計５２０を構成する容器５２８の内部には、センサ５２
３の先端部のためのスペースや、回転子５２６が回転す
るためのスペースとして、ある程度の容積が必要とさ
れ、この容器５２８内の容積が約１０ｍｌとなってい
る。また、チューブ５７１から容器５２８の内部に送り
込まれた空気がチューブ５７２を通して容器５２８の外
部に抜けやすくなるように、容器５２８でのチューブ５
７１および５７２の接続位置が決定されている。従っ
て、前述したようにチューブ５７１が容器５２８の下部
に接続され、チューブ５７２が容器５２８の上部に接続
されている。そのため、上述したインクの充填時にチュ
ーブ５７２から容器５２８の内部に入った空気が全てチ
ューブ５７１に抜けていかず、一部の空気が容器５２８
の内部に残ってしまう。However, as shown in FIG. 8, the inside of the container 528 constituting the dissolved oxygen meter 520 has a sensor 52
A certain amount of volume is required as a space for the distal end of No. 3 and a space for rotating the rotor 526, and the volume in the container 528 is about 10 ml. In addition, the tube 5 in the container 528 is provided so that air sent from the tube 571 to the inside of the container 528 can easily escape through the tube 572 to the outside of the container 528.
The connection positions of 71 and 572 have been determined. Therefore, the tube 571 is connected to the lower part of the container 528, and the tube 572 is connected to the upper part of the container 528, as described above. Therefore, all the air that has entered the inside of the container 528 from the tube 572 at the time of filling the ink does not escape to the tube 571, and some of the air is removed from the container 528.
Will remain inside.
【０１４５】従って、一定時間、メインポンプ３０２を
運転させてインク供給系にインクを充填してからメイン
ポンプ３０２を停止した後に、二方弁４０６を開けた状
態にする。そして、第２の工程として、加圧モータ４０
２を駆動させ、前述したインクの充填時におけるインク
の流れとは逆向きにインクを送る。ここで、メインポン
プ３０２としては、メインポンプ３０２が運転停止の状
態のときに、メインポンプ３０２に接続されたチューブ
内のインクの流れを遮断する構造のものを用いている。
従って、サブタンク４０１ａから送られるインクは、ジ
ョイント４７１でチューブ４５３の方向へは流れず、チ
ューブ４５７、二方弁４０６およびチューブ４５８，４
５９を通ってメインタンク３０１ａに戻される。Therefore, after the main pump 302 is operated for a certain period of time to fill the ink supply system with ink and then the main pump 302 is stopped, the two-way valve 406 is opened. Then, as a second step, the pressing motor 40
2 is driven to send the ink in a direction opposite to the flow of the ink at the time of filling the ink. Here, as the main pump 302, one having a structure that shuts off the flow of ink in a tube connected to the main pump 302 when the operation of the main pump 302 is stopped is used.
Therefore, the ink sent from the sub tank 401a does not flow in the direction of the tube 453 at the joint 471, and the tube 457, the two-way valve 406, and the tubes 458, 4
59, and is returned to the main tank 301a.
【０１４６】この第２の工程によって、サブタンク４０
１ａから流量計４５６、メイン脱気装置５１１ａ、溶存
酸素計５２０、三方弁５０４，５０５，５０２および二
方弁４０６を通ってメインタンク３０１ａに至るインク
の経路内から、ほぼ完全に空気が取り除かれる。また、
このようにして脱気されたインクは、メイン脱気装置５
１１ａから溶存酸素計５２０、三方弁５０４，５０５，
５０２を通過してチューブ４５２，４５７、二方弁４０
６、チューブ４５８を経てメインタンク３０１ａ内へ、
あるいは、さらにメイン脱気装置５１１ａへと循環され
る。これによりインク経路内は、チューブ５７３を除い
て、脱気されたインクで全て満たされることとなる。こ
のような第１および第２の工程の循環動作を数回繰り返
すことによって、循環されるインクがメイン脱気装置５
１１ａを何回か通過することとなり、インクの脱気レベ
ルが上がる。上述した第１および第２の工程における動
作は制御ユニットによって制御される。In the second step, the sub tank 40
Air is almost completely removed from the ink path from 1a through the flow meter 456, the main deaerator 511a, the dissolved oxygen meter 520, the three-way valves 504, 505, 502 and the two-way valve 406 to the main tank 301a. . Also,
The ink thus degassed is supplied to the main degasser 5
From 11a, dissolved oxygen meter 520, three-way valves 504, 505,
502, tubes 452, 457, two-way valve 40
6, into the main tank 301a via the tube 458,
Alternatively, it is further circulated to the main deaerator 511a. Thus, the inside of the ink path is completely filled with the degassed ink except for the tube 573. By repeating such a circulating operation of the first and second steps several times, the circulated ink is supplied to the main deaerator 5.
11a several times, the ink degassing level rises. The operations in the first and second steps described above are controlled by the control unit.
【０１４７】次に、インクが充填されていない残りの部
分に、脱気されたインクを充填するために、三方弁５０
２，５０４，５０５を、図１２に示したようにインクジ
ェットヘッド１２０ａの供給口および排出口の両側に向
けてインクを加圧するための状態に切り替える。そし
て、加圧モータ４０２を駆動してサブタンク４０１ａか
らインクを送り出すと、チューブ５７３，５５３，５５
４，５５１，５５２やインクジェットヘッド１２０ａ内
に、脱気されたインクが充填される。Next, the remaining portion not filled with ink is filled with degassed ink by a three-way valve 50.
2, 504 and 505 are switched to a state for pressurizing the ink toward both sides of the supply port and the discharge port of the inkjet head 120a as shown in FIG. When the ink is sent from the sub tank 401a by driving the pressurizing motor 402, the tubes 573, 553, 55
4, 551, 552 and the inkjet head 120a are filled with degassed ink.
【０１４８】このように、本実施形態では、インクジェ
ットヘッド１２０ａの近傍でインクジェットヘッド１２
０ａを通らない経路を経由してインクを循環させること
のできる液体循環経路を設けることによって、メイン脱
気装置５１１ａとインクジェットヘッド１２０ａとの間
のインクを無駄に捨てずに、インクの消費を最小限にと
どめて効率的にインク供給系全体に、脱気されたインク
を満たすことができる。As described above, in the present embodiment, the inkjet head 12 is located near the inkjet head 120a.
By providing a liquid circulation path through which ink can be circulated via a path that does not pass through Oa, ink consumption between the main deaerator 511a and the inkjet head 120a is minimized without wasteful disposal. As a result, the entire ink supply system can be efficiently filled with the degassed ink.
【０１４９】〈インク交換時の動作〉次に、図７に示さ
れるインク供給系でインクを交換する時の動作について
説明する。インク供給経路内のインクの交換は、コネク
タ５６１の接続を切り離すことなく実現される。<Operation at the time of ink replacement> Next, the operation at the time of ink replacement in the ink supply system shown in FIG. 7 will be described. The replacement of the ink in the ink supply path is realized without disconnecting the connection of the connector 561.
【０１５０】まず、インク供給系からインクを抜く動作
について説明する。二方弁３０４を開き、二方弁４０６
を閉じて、三方弁５０２，５０４，５０５を、図１１に
示したバイパス時の状態に切り替える。また、三方弁４
０３では、チューブ３５６とチューブ４５３とが連通
し、チューブ３５６からチューブ４５３に向かって、図
７の矢印Ｂの方向にインクが流れる状態にする。この状
態でメインポンブ３０２を動作させると、二方弁３０４
の、何も接続されていない口から空気が吸い込まれる。
二方弁３０４から吸い込まれた空気は、チューブ３５
７，３５２、メインポンプ３０２、チューブ３５３、フ
ィルタ３１１、チューブ３５４，３５５、脱気装置３２
１、チューブ３５６、三方弁４０３、チューブ４５３，
４５２、三方弁５０２、チューブ５７６、三方弁５０
５、チューブ５７５、三方弁５０４、チューブ５７４，
５７２、溶存酸素計５２０、チューブ５７１、メイン脱
気装置５１１ａ、チューブ４５５、流量計４５６、チュ
ーブ４５１をこの順番で通過してサブタンク４０１ａの
内部に流し込まれる。First, the operation of removing ink from the ink supply system will be described. Open the two-way valve 304 and the two-way valve 406
Is closed, and the three-way valves 502, 504, and 505 are switched to the state at the time of bypass shown in FIG. In addition, three-way valve 4
At 03, the tube 356 and the tube 453 communicate with each other, and the ink flows from the tube 356 toward the tube 453 in the direction of arrow B in FIG. When the main pump 302 is operated in this state, the two-way valve 304
However, air is sucked in from an unconnected port.
The air sucked from the two-way valve 304 is supplied to the tube 35.
7, 352, main pump 302, tube 353, filter 311, tubes 354, 355, deaerator 32
1, tube 356, three-way valve 403, tube 453,
452, three-way valve 502, tube 576, three-way valve 50
5, tube 575, three-way valve 504, tube 574,
572, the dissolved oxygen meter 520, the tube 571, the main deaerator 511a, the tube 455, the flow meter 456, and the tube 451 in this order, and are poured into the sub tank 401a.
【０１５１】このようにインク供給系に空気が流し込ま
れることにより、インク経路の内部にあったインクはサ
ブタンク４０１ａの内部へ流し込まれる。サブタンク４
０１ａでは、チューブ４５１からサブタンク４０１ａ内
にインクが流し込まれることでインクの液位が上昇し、
サブタンク４０１ａ内のインクがドレイン４０４および
チューブ４５９を通してメインタンク３０１ａの内部へ
流し込まれる。従って、サブタンク４０１ａ内のドレイ
ン４０４よりも低い部分のインクを除いて、インク経路
内のインクがほぼ全てメインタンク３０１ａに流し込ま
れ、インク経路内に残されたインクのほとんどがメイン
タンク３０１ａに回収される。As the air is flowed into the ink supply system, the ink inside the ink path is flowed into the sub tank 401a. Sub tank 4
In 01a, the ink level rises by flowing the ink from the tube 451 into the sub tank 401a,
The ink in the sub tank 401a flows into the main tank 301a through the drain 404 and the tube 459. Therefore, except for the portion of the ink lower than the drain 404 in the sub tank 401a, almost all of the ink in the ink path flows into the main tank 301a, and most of the ink remaining in the ink path is collected in the main tank 301a. You.
【０１５２】サブタンク４０１ａ内に残されたインクを
回収するためには、カプラプラグ３７４にカプラソケッ
ト３７５を接続する。そして、吸引ポンプ３７７を駆動
することによって、サブタンク４０１ａ内のインクが、
チューブ４５１、流量計４５６、チューブ４５５、メイ
ン脱気装置５１１ａ、チューブ５７１、溶存酸素計５２
０、チューブ５７２，５７４、三方弁５０４、チューブ
５７５、三方弁５０５、チューブ５７６、三方弁５０
２、チューブ４５２，４５３、三方弁４０３、チューブ
３５６、脱気装置３２１、チューブ３５５，３７３、カ
プラプラグ３７４、カプラソケット３７５、チューブ３
７６、吸引ポンプ３７７、チューブ３７８をこの順番で
通過して廃液タンク３７９に流し込まれる。To collect the ink remaining in the sub tank 401a, a coupler socket 375 is connected to the coupler plug 374. Then, by driving the suction pump 377, the ink in the sub tank 401a is
Tube 451, flow meter 456, tube 455, main deaerator 511a, tube 571, dissolved oxygen meter 52
0, tubes 572, 574, three-way valve 504, tube 575, three-way valve 505, tube 576, three-way valve 50
2, tubes 452, 453, three-way valve 403, tube 356, deaerator 321, tubes 355, 373, coupler plug 374, coupler socket 375, tube 3
76, the suction pump 377, and the tube 378 in this order, and are poured into the waste liquid tank 379.
【０１５３】上記の動作により、メインタンク３０１ａ
や、三方弁５０４および５０５からインクジェットヘッ
ド１２０ａまでの間のチューブ５５３，５５４，５５
１，５５２および、チューブ５７３以外のインク経路
は、ほぼ完全にインクが抜けた状態となる。その後、メ
インタンク３０１ａごと別のメインタンクに交換する
か、メインタンク３０１ａ内のインクを入れ換えること
によってインクが交換される。By the above operation, the main tank 301a
And tubes 553, 554, 55 between the three-way valves 504 and 505 and the inkjet head 120a.
The ink paths other than the ink passages 1 and 552 and the tube 573 are in a state where the ink is almost completely removed. Thereafter, the ink is replaced by replacing the main tank 301a with another main tank or by replacing the ink in the main tank 301a.
【０１５４】さらにその後、インク供給系のインク経路
内に、入れ換えた新しいインクを充填する際には、前述
したようなインクを充填する動作を行う。そのインクの
充填動作を行う際には、チューブ５７３およびチューブ
５５３，５５４，５５１，５５２や、インクジェットヘ
ッド１２０ａの内部には交換前のインクが残されたまま
であるが、残されたインクは、ある程度脱気されて残っ
ており、交換前のインクで満たされたインク経路には空
気が入り込んでいない。しかし、インク抜きの動作を行
う最中にチューブ５７３に空気が入り込んだ場合には、
次に説明する動作によりチューブ５７３内の空気を排除
することができる。Thereafter, when the replaced new ink is filled in the ink path of the ink supply system, the above-described ink filling operation is performed. When performing the ink filling operation, the ink before replacement remains in the tube 573, tubes 553, 554, 551, and 552, and the inside of the inkjet head 120a. No air has entered the ink path which has been degassed and has been filled with the ink before replacement. However, if air enters the tube 573 during the ink removal operation,
The air in the tube 573 can be removed by the operation described below.
【０１５５】二方弁３０４を閉じ、二方弁４０６を開
き、三方弁５０２，５０４，５０５を、図１２に示した
両側加圧時の状態に切り替える。そして、わずかな時間
だけ加圧モータ４０２を駆動してサブタンク４０１ａ内
のインクをチューブ４５１へ加圧し、チューブ５７３内
の空気を、三方弁５０２を通してチューブ５７６の内部
へ送り込む。次に、三方弁５０２，５０４，５０５をバ
イパス時の状態に切り替え、加圧モータ４０２を駆動す
ることによって、チューブ５７６内の空気が、三方弁５
０２、チューブ４５２，４５７，４５８と経由してメイ
ンタンク３０１ａの内部に送り込まれる。これにより、
インク供給路内は全て、空気が一切含まれていない状態
となる。また、このとき、チューブ５７３に残っている
交換前のインクが、交換後の新しいインクと混じり合っ
てしまうが、チューブ５７３内の残っていたインクはイ
ンク供給系の総インク量に対してごくわずかな量であ
り、また、全く異なる色ではなく、濃度や色が若干異な
る程度の違いであるため、カラーフィルタを形成する際
に特に問題となるレベルではない。The two-way valve 304 is closed, the two-way valve 406 is opened, and the three-way valves 502, 504, and 505 are switched to the state when both sides are pressurized as shown in FIG. Then, the pressurizing motor 402 is driven for a short time to pressurize the ink in the sub tank 401a to the tube 451, and the air in the tube 573 is sent into the tube 576 through the three-way valve 502. Next, the three-way valves 502, 504, and 505 are switched to the state at the time of bypass, and the pressurizing motor 402 is driven so that the air in the tube 576 is released from the three-way valve 5
02, and is fed into the main tank 301a via the tubes 452, 457, and 458. This allows
The inside of the ink supply path is completely free of air. At this time, the ink before replacement remaining in the tube 573 is mixed with the new ink after replacement. However, the remaining ink in the tube 573 is very small with respect to the total ink amount of the ink supply system. In addition, the color and the color are not completely different colors, but have slightly different densities and colors. Therefore, this is not a level that is particularly problematic when forming a color filter.
【０１５６】その後、三方弁５０２，５０４，５０５
を、図１２に示した両側加圧時の状態に切り替えて加圧
モータ４０２を駆動することによって、チューブ５５
３，５５４，５５１，５５２、およびインクジェットヘ
ッド１２０ａの内部に残っている交換前のインクがイン
クジェットヘッド１２０ａの吐出口から押し出される。
このとき、インク供給経路中に空気が一切存在しないの
で、インクジェットヘッド１２０ａに空気が送り込まれ
ないだけでなく、インクジェットヘッド１２０ａには、
高いレベルに脱気されたインクが供給されることとな
る。Thereafter, the three-way valves 502, 504, 505
Is switched to the state in which both sides are pressurized as shown in FIG.
3, 554, 551, 552 and the ink before replacement remaining inside the inkjet head 120a are pushed out from the ejection openings of the inkjet head 120a.
At this time, since no air exists in the ink supply path, not only is the air not sent to the inkjet head 120a, but also
A high level of degassed ink will be supplied.
【０１５７】また、インクを交換する際にインクジェッ
トヘッド１２０ａを取り外す必要がないので、インクジ
ェットヘッド取り付け直後に、そのインクジェットヘッ
ドの位置合わせの操作を行う必要がない。Further, since there is no need to remove the ink jet head 120a when exchanging ink, there is no need to perform an operation for positioning the ink jet head immediately after the ink jet head is attached.
【０１５８】〈インクジェットヘッド交換時の動作〉次
に、インクジェットヘッドを交換する際の動作について
説明する。上述したカラーフィルタ製造装置およびイン
クジェット記録装置で１つのインクジェットヘッドを一
定期間使い続けると、インクジェットヘッドからインク
を吐出できなくなり、インクジェットヘッドを交換する
必要が生じる。その場合、以下で説明する交換方法によ
ってインクジェットヘッドが交換される。<Operation When Replacing Inkjet Head> Next, the operation when replacing the inkjet head will be described. If one ink jet head is continuously used for a certain period in the above-described color filter manufacturing apparatus and ink jet recording apparatus, ink cannot be ejected from the ink jet head, and it becomes necessary to replace the ink jet head. In that case, the inkjet head is replaced by a replacement method described below.
【０１５９】上述したように本実施形態のカラーフィル
タ製造装置およびインクジェット記録装置では、インク
ジェットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃの高精度
の位置決めを実現するため、図４〜６に示したようにイ
ンクジェットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃがヘ
ッドユニット６０６として一体になるように構成されて
いるので、インクジェットヘッドを交換する場合には装
置上からインクジェットヘッドを単体で取り外すことが
できない。そのため、インクジェットヘッドの交換を行
う際には、このヘッドユニット６０６ごと交換を行う。
従って、インクジェットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１
２０ｃを交換する際には、インク供給経路の途中でイン
ク供給系からインクジェットヘッドを切り離す必要があ
り、図１に示したカプラ部６２６でヘッドユニット６０
６とインク供給系との切り離しを行う。As described above, in the color filter manufacturing apparatus and the ink jet recording apparatus according to the present embodiment, in order to realize high-precision positioning of the ink jet heads 120a, 120b and 120c, as shown in FIGS. , 120b, and 120c are configured as a single unit as the head unit 606, so that when replacing the inkjet head, the inkjet head cannot be removed alone from the apparatus. Therefore, when replacing the inkjet head, the entire head unit 606 is replaced.
Therefore, the inkjet heads 120a, 120b, 1
When replacing the ink jet head 20c, it is necessary to disconnect the ink jet head from the ink supply system in the middle of the ink supply path, and the coupler unit 626 shown in FIG.
6 and the ink supply system.
【０１６０】このヘッドユニット６０６は、通常の稼働
時において、図１に示すようにガラス基板１のほぼ全域
に着色することが可能となるように、装置のほぼ中央
部、すなわちガラス基板１の上方に配置されている。従
って、ヘッドユニット６０６を交換する際には、交換作
業が容易に行えるように、装置の端部、すなわちガラス
基板１の上方とは異なる位置にヘッドステージ６１０に
よってヘッドユニット６０６を移動させる。ここで、ヘ
ッドユニット６０６と共に弁ボックス６１４も装置の端
部に移動し、弁ボックス６１４の移動によりチューブ束
６２０が曲げられて変形する。このとき、ヘッドユニッ
ト６０６のそれぞれのインクジェットヘッド内、および
チューブ束６２０のそれぞれのチューブ内をインクが循
環したままであると、チューブが曲げられ、その内部の
容積変化によりインクジェットヘッドのノズルからイン
クがたれてしまうことがある。ヘッドユニット６０６の
インクジェットヘッドからインクがたれると、たれたイ
ンクにより装置内が汚してしまうだけでなく、装置の電
気回路にインクがかかってしまった場合などに装置を破
壊してしまうおそれがある。The head unit 606 is arranged at a substantially central portion of the apparatus, that is, above the glass substrate 1 so that it can be colored over almost the entire area of the glass substrate 1 as shown in FIG. Are located in Therefore, when replacing the head unit 606, the head unit 606 is moved by the head stage 610 to an end of the apparatus, that is, a position different from the position above the glass substrate 1, so that the replacement operation can be easily performed. Here, the valve box 614 moves to the end of the apparatus together with the head unit 606, and the tube bundle 620 is bent and deformed by the movement of the valve box 614. At this time, if the ink is kept circulating in each of the ink jet heads of the head unit 606 and each of the tubes of the tube bundle 620, the tubes are bent, and the volume of the tubes changes, so that the ink from the nozzles of the ink jet head is discharged. May be drowned. When ink is dripped from the inkjet head of the head unit 606, not only the inside of the device is stained by the dripped ink, but also the device may be destroyed when the ink is applied to the electric circuit of the device. .
【０１６１】従って、ヘッドステージ６１０によってヘ
ッドユニット６０６を移動させる前に、三方弁５０２
を、図１２に示した両側加圧時の状態と同じ状態に切り
換えて、インクジェットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１
２０ｃ内のそれぞれのインク循環経路におけるインクの
循環を停止させておく。ヘッドユニット６０６が交換位
置に移動した後に、カプラ部６２６でヘッドユニット６
０６を切り離す作業が行われる。上述したようにカプラ
部６２６として使用されているカプラ５５５，５５６
は、インク供給系の配管内に入り込んだ空気の通りをよ
くするために、切り離したときにカプラの端部が閉じる
機構が着いていないものを使用している。そのため、イ
ンクの循環を停止しただけの状態でカプラ部６２６でヘ
ッドユニット６０６を切り離すと、カプラ部６２６はサ
ブタンク４０１ａ，４０１ｂ，４０１ｃ内のそれぞれの
インクの液面より高い位置に配置されているので、イン
ク供給経路内にカプラ部６２６から空気が入り込んでし
まう。このようなインク供給経路内への空気の流入を防
止するために、ヘッドユニット６０６の交換を行うとき
には、ヘッドユニット６０１を移動させる前に三方弁５
０２だけでなく三方弁５０４，５０５を、図１１に示し
たバイパス時の状態と同じ状態に切り換えておく。これ
により、カプラ部６２６でヘッドユニット６０６を切り
離しても、カプラ部６２６からインク供給系路内に空気
が入り込むことがない。Therefore, before the head unit 606 is moved by the head stage 610, the three-way valve 502 is moved.
Are switched to the same state as the state when both sides are pressurized as shown in FIG. 12, and the inkjet heads 120a, 120b, 1
The ink circulation in each ink circulation path in 20c is stopped. After the head unit 606 is moved to the replacement position, the head unit 6
The work of separating 06 is performed. The couplers 555 and 556 used as the coupler unit 626 as described above.
In order to improve the passage of the air that has entered the piping of the ink supply system, the one that does not have a mechanism for closing the end of the coupler when disconnected is used. Therefore, when the head unit 606 is separated by the coupler unit 626 in a state where the circulation of the ink is merely stopped, the coupler unit 626 is disposed at a position higher than the liquid level of each ink in the sub tanks 401a, 401b, and 401c. Then, air enters from the coupler unit 626 into the ink supply path. In order to prevent such air from flowing into the ink supply path, when replacing the head unit 606, the three-way valve 5 is required before the head unit 601 is moved.
Not only 02 but also the three-way valves 504 and 505 are switched to the same state as the state at the time of the bypass shown in FIG. Thus, even if the head unit 606 is separated by the coupler unit 626, air does not enter the ink supply path from the coupler unit 626.
【０１６２】一方、カプラ部６２６でインク供給系から
ヘッドユニット６０６を切り離したとき、図７に示した
インク供給経路においてコネクタ５６１からカプラ５５
５までの間のインク、およびコネクタ５６１からカプラ
５５６までの間のインクは、インクジェットヘッド１２
０ａの吐出口面（ノズル面）よりも高い位置にあるの
で、インクジェットヘッド１２０ａのノズルからたれ落
ちてくる。従って、ヘッドユニット６０６を交換する位
置の下には、インクジェットヘッド１２０ａ，１２０
ｂ，１２０ｃのそれぞれのノズルからたれ落ちたインク
を受ける不図示の受容器を配置しておけばよい。On the other hand, when the head unit 606 is disconnected from the ink supply system by the coupler section 626, the connector 561 is connected to the coupler 55 in the ink supply path shown in FIG.
5 and the ink between the connector 561 and the coupler 556
Since it is located at a position higher than the discharge port surface (nozzle surface) of the ink jet head 120a, it drops from the nozzle of the inkjet head 120a. Therefore, below the position where the head unit 606 is replaced, the inkjet heads 120a, 120
A receiver (not shown) for receiving ink dripped from the nozzles b and 120c may be provided.
【０１６３】インク供給系から切り離したヘッドユニッ
ト６０６をさらに放って置くと、インクジェットヘッド
１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃのノズルからインクがた
れ続けるので、それぞれのインクジェットヘッドにチュ
ーブを介して接続されているカプラの端部、図７におい
てはカプラ５５５，５５６のインクジェットヘッド１２
０ａ側の端部を密閉するように、それらのカプラの端部
に栓をはめ込む。これにより、インクジェットヘッド１
２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃのそれぞれのノズルからイ
ンクがたれ落ちることが停止される。次に、インクジェ
ットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃのそれぞれの
ノズル面に残ったインク滴を手動で拭き取り、その後、
ヘッドユニット６０６をヘッドθモータ６１２の下部か
ら切り離し、ヘッドユニット６０６を装置の本体から取
り外す。When the head unit 606 separated from the ink supply system is further released, ink continues to drip from the nozzles of the ink jet heads 120a, 120b, and 120c. At the end, in FIG. 7, the inkjet heads 12 of the couplers 555 and 556
Plugs are inserted into the ends of the couplers so as to seal the ends on the 0a side. Thereby, the ink jet head 1
The dripping of the ink from the nozzles 20a, 120b, and 120c is stopped. Next, the ink droplets remaining on the respective nozzle surfaces of the inkjet heads 120a, 120b, and 120c are manually wiped off, and then,
The head unit 606 is separated from the lower part of the head θ motor 612, and the head unit 606 is removed from the main body of the apparatus.
【０１６４】次に、インクジェットヘッド１２０ａ，１
２０ｂ，１２０ｃとは異なる別の新しいインクジェット
ヘッドが３つ搭載されたヘッドユニット６０６をヘッド
θモータ６１２の下部に取り付ける。次に、取り付けら
れたヘッドユニット６０６から延びるチューブ先端のカ
プラ部６２６の端部をカプラ部６２６の弁ボックス６１
４側の端部に接続し、ヘッドユニット６０６のそれぞれ
のインクジェットヘッドと装置本体とを、不図示の電気
信号用のケーブルを介して電気的に接続する。カプラ部
６２６でチューブ同士を接続する際に、カプラ部６２６
に入った空気により、ヘッドユニット６０６に搭載され
たインクジェットヘッドのノズルからインク滴がわずか
に押し出される。この、押し出されたインク滴を手動で
ふき取った後、再び、図７に示したような装置の中央部
にヘッドステージ６１０によってヘッドユニット６０６
を移動させる。ヘッドステージ６１０によってヘッドユ
ニット６０６を移動させる際には、三方弁５０２は、図
１２に示した両側加圧時の状態と同じ状態、三方弁５０
４，５０５は、図１１に示したバイパス時の状態と同じ
状態に保たれている。このようなインクジェット方式の
カラーフィルタ製造装置におけるインクジェットヘッド
の交換作業では、三方弁５０２，５０４，５０５によっ
てそれぞれの流路内でのインクの流動が停止されること
により、インクジェットヘッドを液体供給経路から切り
離しても液体供給経路内に必要以上に空気が入り込むこ
とがない。Next, the ink jet heads 120a, 1
A head unit 606 on which three other new inkjet heads different from 20b and 120c are mounted is mounted below the head θ motor 612. Next, the end of the coupler 626 at the tip of the tube extending from the attached head unit 606 is connected to the valve box 61 of the coupler 626.
Then, each of the inkjet heads of the head unit 606 is electrically connected to the apparatus main body via an electric signal cable (not shown). When connecting tubes with the coupler section 626, the coupler section 626
The ink that has entered slightly extrudes ink droplets from the nozzles of the inkjet head mounted on the head unit 606. After manually wiping out the ejected ink droplets, the head unit 606 is again moved to the center of the apparatus as shown in FIG.
To move. When the head unit 606 is moved by the head stage 610, the three-way valve 502 is in the same state as the state when both sides are pressurized shown in FIG.
4, 505 is maintained in the same state as the state at the time of the bypass shown in FIG. In the operation of replacing the inkjet head in such an inkjet type color filter manufacturing apparatus, the three-way valves 502, 504, and 505 stop the flow of the ink in the respective flow paths, thereby moving the inkjet head from the liquid supply path. Even if it is cut off, air does not enter the liquid supply path more than necessary.
【０１６５】ヘッドステージ６１０によってヘッドユニ
ット６０６を装置のほぼ中央部の所定の位置に移動させ
た後、三方弁５０４，５０５のみを、図１０に示した描
画時の状態と同じ状態に切り換え、加圧モータ４０２を
駆動させてインクジェットヘッド１２０ａの供給口およ
び排出口の両側に向けてインクを加圧する。これによ
り、カプラ部５５５，５５６をはめ込むときにインク供
給系路内に入り込んで、インク供給経路内におけるカプ
ラ部の周辺に取り残された空気が、チューブ５５１，５
５２を通じてインクジェットヘッド１２０ａ内に流れ込
み、その空気がインクジェットヘッド１２０ａのノズル
から排出される。その結果、インク供給経路内に入り込
んだ空気はすべてインク供給経路およびインクジェット
ヘッド１２０ａの外部へと排出される。After the head unit 606 is moved to a predetermined position substantially in the center of the apparatus by the head stage 610, only the three-way valves 504 and 505 are switched to the same state as at the time of drawing shown in FIG. The pressure motor 402 is driven to pressurize the ink toward both sides of the supply port and the discharge port of the inkjet head 120a. As a result, when the coupler sections 555 and 556 are fitted, the air that enters the ink supply path and is left around the coupler section in the ink supply path is removed from the tubes 551 and 5.
The air flows into the inkjet head 120a through 52, and the air is discharged from the nozzles of the inkjet head 120a. As a result, all the air that has entered the ink supply path is discharged to the outside of the ink supply path and the inkjet head 120a.
【０１６６】次に、ヘッドユニット６０６に搭載された
新しい３つのインクジェットヘッドの位置出しのため
に、それらのインクジェットヘッドからインクを吐出し
てドットパターンを描画し、描画されたドットパターン
の位置を読み取ることによって、それぞれのヘッドユニ
ット６０６の新しい３つのインクジェットヘッドのアラ
イメント作業を行う。このとき、各インクジェットヘッ
ドの位置調整は、ヘッドユニット６０６に搭載されてい
るマイクロメータ５４ａ，５４ｃ，５５ａ，５５ｃのダ
イヤルを回すことによって行う。Next, in order to position three new ink jet heads mounted on the head unit 606, ink is ejected from these ink jet heads to draw dot patterns, and the positions of the drawn dot patterns are read. Thus, alignment work of three new inkjet heads of each head unit 606 is performed. At this time, the position of each inkjet head is adjusted by turning the dial of the micrometers 54a, 54c, 55a, and 55c mounted on the head unit 606.
【０１６７】ヘッドユニット６０６が、図７に示したよ
うに装置の中央部の位置にあるままでは、マイクロメー
タ５４ａ，５４ｃ，５５ａ，５５ｃによってそれぞれの
インクジェットヘッドの位置を調整することができない
ので、そのときも、ヘッドステージ６１０によってヘッ
ドユニット６０６を、ヘッドユニット６０６を交換した
位置と同等な位置、すなわち装置の端部ヘと移動させ
る。このとき、三方弁５０２は、図１２に示した両側加
圧時の状態と同じ状態のままであり、インクはインク供
給経路内を循環していないので、ヘッドユニット６０６
が移動してもノズルからインク滴がたれたりすることは
ない。If the head unit 606 remains at the central position of the apparatus as shown in FIG. 7, the positions of the respective ink jet heads cannot be adjusted by the micrometers 54a, 54c, 55a and 55c. Also at this time, the head stage 610 moves the head unit 606 to a position equivalent to the position where the head unit 606 is replaced, that is, to the end of the apparatus. At this time, the three-way valve 502 remains in the same state as shown in FIG. 12 when both sides are pressurized, and the ink does not circulate in the ink supply path.
The ink droplets do not drip from the nozzles even when the nozzles move.
【０１６８】このように、ドットパターンの描画とその
位置の読みとり、さらにマイクロメータによる位置調整
を数回繰り返すことにより、各インクジェットヘッドの
位置決めを行う。次に、三方弁５０２を両側加圧時の状
態から描画時の状態に戻し、インク供給経路内とインク
ジェットヘッド内でインクを循環させる。このインクジ
ェットヘッドの交換と、インクジェットヘッドの取り付
け位置の調整の作業を行っている間（２時間程度）、イ
ンク供給経路内は、インクが循環しないままで放置され
ている状態にあるので、前述したようにインクを加圧モ
ータ４０２により圧送させて循環させる動作などを行っ
て、それぞれのインクジェットヘッド内とインク供給系
路内のインクの溶存酸素量を下げた状態にし、その後、
サブタンク４０１ａ内のインクの液面と、チューブ４５
８の先端高さとの差による水頭差によって、インクジェ
ットヘッド内を、脱気されたインクが循環する状態とし
て、カラーフィルタの描画作業に入る。As described above, the position of each ink jet head is determined by repeating the drawing of the dot pattern, reading of the position thereof, and position adjustment by the micrometer several times. Next, the three-way valve 502 is returned from the state when both sides are pressed to the state when drawing, and the ink is circulated in the ink supply path and the ink jet head. While the replacement of the ink jet head and the adjustment of the mounting position of the ink jet head are being performed (about 2 hours), the inside of the ink supply path is in a state where the ink is not circulated. In such a manner, the ink is pressure-fed by the pressurizing motor 402 to circulate the ink, and the like, so that the dissolved oxygen amount of the ink in each inkjet head and the ink in the ink supply path is reduced, and then,
The liquid level of the ink in the sub tank 401a and the tube 45
Due to the difference in head caused by the difference between the tip height of the ink jet head and the ink jet head 8, the decolorized ink is circulated in the ink jet head, and the color filter drawing operation is started.
【０１６９】以上で説明した本実施形態のインクジェッ
ト記録装置およびカラーフィルタ製造装置では、サブタ
ンク４０１ａから第１の液体経路、インクジェットヘッ
ド１２０ａのインク通過経路１２１ａ、第２の液体経路
の順でインクが連続的に流れるように構成された液体供
給経路に、インク通過経路１２１ａ内のインクの連続的
な流れを停止させるための三方弁５０２，５０４，５０
５から構成された停止手段が備えられた。これにより、
インクジェットヘッド１２０ａの状態を回復させるため
に加圧モータ４０２の駆動により吐出口からインクを強
制的に排出させた直後に三方弁５０２，５０４，５０５
によってインク通過経路１２１ａ内の液体の連続的な流
れを停止させることで、インクジェットヘッド１２０ａ
の吐出口からインクが流れっ放しになることが防止され
る。In the ink jet recording apparatus and the color filter manufacturing apparatus of the present embodiment described above, ink is continuously supplied from the sub tank 401a to the first liquid path, the ink passage path 121a of the ink jet head 120a, and the second liquid path. Three-way valves 502, 504, and 50 for stopping the continuous flow of ink in the ink passage path 121a to the liquid supply path configured to flow continuously.
5 was provided. This allows
Immediately after the ink is forcibly discharged from the discharge port by driving the pressure motor 402 to recover the state of the ink jet head 120a, the three-way valves 502, 504, and 505 are used.
The continuous flow of the liquid in the ink passage 121a is stopped by the
Is prevented from flowing out of the ink from the ejection port of the ink jet printer.
【０１７０】また、インクジェットヘッド１２０ａの吐
出口面をワイピングブレードにより払拭する動作中にお
いて、三方弁５０２，５０４，５０５によってインク通
過経路１２１ａ内のインクの連続的な流れを停止させる
ことにより、インクジェットヘッド１２０ａのノズル先
端に形成されたメニスカスが破壊されてもインクジェッ
トヘッド１２０ａの吐出口からインクが流れっ放しにな
ることが防止される。さらに、インクジェットヘッド１
２０ａの取付け位置を調整する際にも、三方弁５０２，
５０４，５０５によってインク通過経路１２１ａ内のイ
ンクの連続的な流れを停止させることにより、インクジ
ェットヘッド１２０ａに接続されたチューブなどに圧力
が加わってチューブが変形しても、インクジェットヘッ
ド１２０ａの吐出口から液体がたれることや、吐出口か
ら液体が流れっ放しになることが防止される。Further, during the operation of wiping the ejection opening surface of the ink jet head 120a by the wiping blade, the three-way valves 502, 504, and 505 stop the continuous flow of the ink in the ink passage 121a, so that the ink jet head 120a is stopped. Even if the meniscus formed at the tip of the nozzle 120a is destroyed, it is possible to prevent the ink from flowing away from the ejection port of the inkjet head 120a. Furthermore, the ink jet head 1
When adjusting the mounting position of the 20a, the three-way valve 502,
By stopping the continuous flow of the ink in the ink passage 121a by 504 and 505, even if the tube is deformed by applying pressure to the tube or the like connected to the ink jet head 120a, the ink is discharged from the discharge port of the ink jet head 120a. It is possible to prevent the liquid from dripping and from flowing away from the discharge port.
【０１７１】さらに、インクジェットヘッド１２０ａを
交換する際には、三方弁５０２，５０４，５０５によっ
てインク通過経路１２１ａ内や、第１および第２の液体
経路内のインクの連続的な流れを停止させることによ
り、第１および第２の液体経路の途中で液体供給経路か
らインクジェットヘッド１２０ａを切り離しても、第１
の液体経路や第２の液体経路からインクが流れっ放しに
なることが防止される。When the ink jet head 120a is replaced, the three-way valves 502, 504, and 505 are used to stop the continuous flow of ink in the ink passage 121a and the first and second liquid paths. Accordingly, even if the inkjet head 120a is separated from the liquid supply path in the middle of the first and second liquid paths, the first
The ink is prevented from flowing away from the liquid path and the second liquid path.
【０１７２】さらに、インクジェットヘッド１２０ａを
交換可能、またはインクジェットヘッド１２０ａの取付
け位置を調整可能な位置にインクジェットヘッド１２０
ａを移動させる際に、三方弁５０２，５０４，５０５に
よってインク通過経路１２１ａのインクの連続的な流れ
を停止させることにより、インクジェットヘッドに接続
されたチューブなどがインクジェットヘッドと共に移動
してそのチューブが変形しても、インクジェットヘッド
１２０ａの吐出口からインクがたれることや、吐出口か
らインクが流れっ放しになることが防止される。従っ
て、インクジェットヘッド１２０ａの吐出口から流れ出
た液体により装置が汚れたり、装置が損傷したりするこ
とが防止され、また、インクジェット記録装置における
液体の消費量を最小限にとどめることができる。Further, the ink jet head 120a can be replaced or the ink jet head 120a can be adjusted to a position at which the ink jet head 120a can be mounted.
When a is moved, the three-way valves 502, 504, and 505 stop the continuous flow of the ink in the ink passage 121a, so that the tube or the like connected to the ink-jet head moves together with the ink-jet head, and the tube moves. Even if it is deformed, it is possible to prevent the ink from dripping from the ejection port of the inkjet head 120a and prevent the ink from flowing away from the ejection port. Therefore, it is possible to prevent the apparatus from being stained or damaged by the liquid flowing out from the ejection port of the inkjet head 120a, and it is possible to minimize the consumption of the liquid in the inkjet recording apparatus.
【０１７３】また、このようなインクジェット記録装置
を用いたカラーフィルター製造装置では、上述したよう
にインクジェットヘッド１２０ａの吐出口面の払拭、イ
ンクジェットヘッド１２０ａの取付け位置の調整、およ
びインクジェットヘッド１２０ａの交換などを行う際に
インクジェットヘッド１２０ａや供給経路からインクが
流れ出たり、インクが流れっ放しになったりすることが
三方弁５０２，５０４，５０５の動作によって防止され
るので、カラーフィルタ用の基板にインクがかかること
による不良品の発生がなくなり、カラーフィルタの歩留
まりが高くなる。また、インクジェットヘッド１２０ａ
から流れ出たインクによってカラーフィルタ製造装置の
内部が汚れたり、装置が損傷したりすることが防止され
るので、カラーフィルタのコストが抑えられ、低価格の
カラーフィルタをより確実に製造することができる。Further, in the color filter manufacturing apparatus using such an ink jet recording apparatus, as described above, wiping of the discharge port surface of the ink jet head 120a, adjustment of the mounting position of the ink jet head 120a, replacement of the ink jet head 120a, etc. When the three-way valves 502, 504, and 505 prevent the ink from flowing out of the ink jet head 120a and the supply path and the ink from flowing out when the ink is discharged, the ink is discharged onto the color filter substrate. This eliminates the occurrence of defective products and increases the yield of color filters. In addition, the inkjet head 120a
It is possible to prevent the inside of the color filter manufacturing apparatus from being stained by the ink flowing out of the apparatus or to prevent the apparatus from being damaged, so that the cost of the color filter can be reduced and a low-cost color filter can be manufactured more reliably. .
【０１７４】〈カラーフィルタの製造方法〉図１に示さ
れる本実施形態のカラーフィルタ製造装置を用いたカラ
ーフィルタの製造方法について図１３を参照して説明す
る。<Method of Manufacturing Color Filter> A method of manufacturing a color filter using the color filter manufacturing apparatus of the present embodiment shown in FIG. 1 will be described with reference to FIG.
【０１７５】図１３は、図１に示されるカラーフィルタ
製造装置を用いたカラーフィルタの製造方法を説明する
ための図である。本実施形態のカラーフィルタ製造装置
によるカラーフィルタの製造方法では、図１３に示され
る図（ａ）〜図（ｆ）の工程を経てカラーフィルタが製
造される。図１３（ｃ）および（ｅ）の中のｈνは、照
射する光の強度を示している。FIG. 13 is a diagram for explaining a method of manufacturing a color filter using the color filter manufacturing apparatus shown in FIG. In the method for manufacturing a color filter by the color filter manufacturing apparatus of the present embodiment, the color filter is manufactured through the steps shown in FIGS. 13A to 13F shown in FIG. Hv in FIGS. 13C and 13E indicates the intensity of the irradiated light.
【０１７６】本実施形態においては、カラーフィルタを
製造するための基板として一般にガラス基板が用いられ
るが、液晶用カラーフィルタとしての透明性、機械的強
度などの必要特性を有するものであればガラス基板に限
定されるものではない。In this embodiment, a glass substrate is generally used as a substrate for manufacturing a color filter. However, a glass substrate may be used as long as it has necessary characteristics such as transparency and mechanical strength as a liquid crystal color filter. However, the present invention is not limited to this.
【０１７７】まず、図１３（ａ）において、ガラス基板
１の表面に、遮光部であるブラックマトリクス２を形成
する。ブラックマトリクス２には開口部が形成されてい
て、その開口部がガラス基板１の表面で光透過部７とな
っている。First, in FIG. 13A, a black matrix 2 as a light shielding portion is formed on the surface of a glass substrate 1. An opening is formed in the black matrix 2, and the opening serves as a light transmitting portion 7 on the surface of the glass substrate 1.
【０１７８】次に、図１３（ｂ）において、ブラックマ
トリクス２が形成されたガラス基板１の表面上に、光を
照射するか、あるいは光を照射すると共と加熱すること
により硬化可能であり、かつインク受容性を有する樹脂
組成物を塗布し、必要に応じてプリベークを行って樹脂
組成物層３を形成する。ガラス基板１の表面に樹脂組成
物を塗布する方法として、スピンコート、ロールコー
ト、バーコート、スプレーコート、ディップコートなど
の塗布方法を用いることができ、特に限定されるもので
はない。Next, in FIG. 13 (b), the surface of the glass substrate 1 on which the black matrix 2 is formed can be cured by irradiating light or by heating together with the irradiation of light. In addition, a resin composition having ink receptivity is applied, and prebaking is performed as necessary to form a resin composition layer 3. As a method of applying the resin composition to the surface of the glass substrate 1, an application method such as spin coating, roll coating, bar coating, spray coating, or dip coating can be used, and is not particularly limited.
【０１７９】次に、図１３（ｃ）において、樹脂組成物
層３の、ブラックマトリクス２に対応する部分を、フォ
トマスク４を使用して予めパターン露光を行うことによ
り、樹脂組成物層３の一部を硬化させて、インクを吸収
しない非着色部５を形成する。この非着色部５は、ブラ
ックマトリクス２に形成された複数の開口部を１つずつ
区分けするように形成されている。Next, in FIG. 13C, a portion of the resin composition layer 3 corresponding to the black matrix 2 is subjected to pattern exposure using a photomask 4 in advance, so that the resin composition layer 3 The non-colored portion 5 that does not absorb ink is formed by partially curing the ink. The non-colored portion 5 is formed so as to divide the plurality of openings formed in the black matrix 2 one by one.
【０１８０】次に、図１３（ｄ）において、図１に示し
たカラーフィルタ製造装置のヘッドユニット６０６を用
いて、樹脂組成物層３に対してＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ
（青）の各色を一度に着色し、必要に応じてガラス基板
１上のインクの乾燥を行う。このとき、樹脂組成物層３
では、Ｒ（赤）に対応する領域にＲのインクが、Ｇ
（緑）に対応する領域にＧのインクが、Ｂ（青）に対応
する領域にＢのインクがヘッドユニット６０６から吐出
される。このヘッドユニット６０６による樹脂組成物層
３の着色は１つの工程で一度に行われる。Next, in FIG. 13D, R (red), G (green), and B (color) are applied to the resin composition layer 3 using the head unit 606 of the color filter manufacturing apparatus shown in FIG.
Each color of (blue) is colored at a time, and the ink on the glass substrate 1 is dried as necessary. At this time, the resin composition layer 3
Then, the R ink is placed in the area corresponding to R (red),
G ink is ejected from the head unit 606 to an area corresponding to (green), and B ink is ejected to an area corresponding to B (blue). The coloring of the resin composition layer 3 by the head unit 606 is performed in one step at a time.
【０１８１】図１３（ｃ）に示したフォトマスク４とし
ては、前述したように、樹脂組成物層３の、ブラックマ
トリクス２に対応する部分を硬化させるために開口部を
有したものを用いる。この際、ブラックマトリクス２に
接する部分での着色剤の色抜けを防止するために比較的
多くのインクを付与することが必要である。そのため
に、フォトマスク４としては、図１３（ｃ）に示される
ようにブラックマトリクス２の幅よりも狭い開口部を有
するマスクを用いることが好ましい。As described above, the photomask 4 shown in FIG. 13C has an opening for curing the portion of the resin composition layer 3 corresponding to the black matrix 2. At this time, it is necessary to apply a relatively large amount of ink in order to prevent the colorant from missing in a portion in contact with the black matrix 2. Therefore, as the photomask 4, it is preferable to use a mask having an opening narrower than the width of the black matrix 2 as shown in FIG.
【０１８２】着色に使用するインクとしては、色素系、
顔料系のどちらのものも使用可能であり、また、液状イ
ンク、ソリッドインク共に使用可能である。As the ink used for coloring, pigments,
Both types of pigments can be used, and both liquid inks and solid inks can be used.
【０１８３】本実施形態で使用するインクジェット方式
としては、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用
いたバブルジェットタイプ、あるいは圧電素子を用いた
ピエゾジェットタイプなどが使用可能であり、着色面積
および着色パターンを任意に設定することができる。As the ink jet method used in the present embodiment, a bubble jet type using an electrothermal converter or a piezo jet type using a piezoelectric element can be used as an energy generating element. Can be set arbitrarily.
【０１８４】また、本実施形態では、基板上にブラック
マトリクスが形成された例を示しているが、ブラックマ
トリクスは、硬化可能な樹脂組成物層を形成後、あるい
は着色後に樹脂組成物層上に形成されたものであっても
特に問題はなく、そのブラックマトリクスが形成される
形態は本実施形態に限定されるものではない。また、ブ
ラックマトリクスの形成方法としては、基板上にスパッ
タもしくは蒸着により金属薄膜を形成し、その金属薄膜
をフォトリソグラフィー工程によりパターニングするこ
とが好ましいが、この形成方法に限定されるものではな
い。In this embodiment, an example is shown in which a black matrix is formed on a substrate. However, the black matrix is formed on the resin composition layer after forming a curable resin composition layer or after coloring. Even if it is formed, there is no particular problem, and the form in which the black matrix is formed is not limited to this embodiment. As a method for forming a black matrix, it is preferable to form a metal thin film on a substrate by sputtering or vapor deposition, and pattern the metal thin film by a photolithography process, but it is not limited to this method.
【０１８５】次に、図１３（ｅ）において、光照射の
み、熱処理のみ、または光照射および熱処理を行って硬
化可能な樹脂組成物層３を硬化させる。これにより、ガ
ラス基板１の表面に、画素を構成する赤色着色部６ａ、
緑色着色部６ｂおよび青色着色部６ｃが形成される。Next, in FIG. 13E, the curable resin composition layer 3 is cured by performing only light irradiation, only heat treatment, or light irradiation and heat treatment. Thereby, on the surface of the glass substrate 1, the red colored portions 6a constituting the pixels are formed.
A green colored portion 6b and a blue colored portion 6c are formed.
【０１８６】次に、図１３（ｆ）において、赤色着色部
６ａ，緑色着色部６ｂ，青色着色部６ｃ、および非着色
部５の表面全体に、必要に応じて保護層８を形成する。
なお、図１３（ｃ）および（ｅ）において光の強度をｈ
νで示したが、熱処理の場合は、強度がｈνの光の代わ
りに熱を加える。保護層８としては、光硬化タイプ、熱
硬化タイプあるいは光熱併用タイプの樹脂組成物を用い
て形成するか、あるいは無機材料を用いて蒸着またはス
パッタによって形成することができ、カラーフィルタと
した場合の透明性を有し、その後のＩＴＯ（Indium Tin
Oxide）形成プロセス、配向膜形成プロセスなどに十分
耐えうるものであればよい。Next, in FIG. 13F, a protective layer 8 is formed on the entire surface of the red coloring portion 6a, the green coloring portion 6b, the blue coloring portion 6c, and the entire surface of the non-coloring portion 5 as necessary.
In FIGS. 13C and 13E, the light intensity is h.
Although indicated by ν, in the case of heat treatment, heat is applied instead of light having an intensity of hν. The protective layer 8 can be formed by using a resin composition of a photo-curing type, a thermo-setting type, or a combination of light and heat, or can be formed by vapor deposition or sputtering using an inorganic material. It has transparency, and the subsequent ITO (Indium Tin
Oxide) Any material can be used as long as it can withstand the formation process and the alignment film formation process.
【０１８７】〈カラーフィルタの構成〉次に、上述した
カラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィ
ルタについて説明する。図１４は、本実施形態のカラー
フィルタ製造装置により製造されたカラーフィルタのカ
ラーパターンを示す図である。<Structure of Color Filter> Next, a color filter manufactured by the above-described method for manufacturing a color filter will be described. FIG. 14 is a diagram illustrating a color pattern of a color filter manufactured by the color filter manufacturing apparatus of the present embodiment.
【０１８８】図１４に示すように、Ｒ（赤），Ｇ
（緑），Ｂ（青）のインクにより着色された赤色着色部
６ａ，緑色着色部６ｂ，青色着色部６ｃのそれぞれが、
一つの画素（フィルタエレメント）を構成しており、各
画素の形状はほぼ長方形をしている。各画素の大きさは
全て同じで、一方の辺の長さａが１５０μｍであり、他
方の辺の長さｂが６０μｍである。一つの画素の長手方
向をＸ方向とし、Ｘ方向と直角な方向をＹ方向とする
と、Ｘ方向のピッチｃが３００μｍ、Ｙ方向のピッチｄ
が１００μｍである。そして、Ｘ方向には同じ色の画素
が一直線上に配列され、Ｙ方向には、隣り合う画素の色
が異なるように、本実施形態ではＲ，Ｇ，Ｂの順で並ん
だ３つの画素がＹ方向に繰り返すように、それぞれの画
素が配列されている。また、この図１４に示されるカラ
ーフィルタのパターンは、図１３（ａ）の工程で形成さ
れたブラックマトリクス２のパターンに相当する。画素
の個数は、Ｘ方向に４８０個、Ｙ方向に１９２０個（各
色６４０個）である。As shown in FIG. 14, R (red), G
Each of the red coloring portion 6a, the green coloring portion 6b, and the blue coloring portion 6c colored with the (green) and B (blue) inks,
One pixel (filter element) is formed, and the shape of each pixel is substantially rectangular. The size of each pixel is the same, the length a of one side is 150 μm, and the length b of the other side is 60 μm. Assuming that the longitudinal direction of one pixel is the X direction and the direction perpendicular to the X direction is the Y direction, the pitch c in the X direction is 300 μm, and the pitch d in the Y direction is d.
Is 100 μm. In the present embodiment, three pixels arranged in the order of R, G, and B are arranged such that pixels of the same color are arranged on a straight line in the X direction and adjacent pixels have different colors in the Y direction. Each pixel is arranged so as to repeat in the Y direction. The color filter pattern shown in FIG. 14 corresponds to the pattern of the black matrix 2 formed in the step of FIG. The number of pixels is 480 in the X direction and 1920 in the Y direction (640 for each color).
【０１８９】図１５は、図１に示した本実施形態のカラ
ーフィルタ製造装置により製造されたカラーフィルタの
画面全体の大きさを示す図である。図１５に示すよう
に、カラーフィルタの画面全体の大きさは、一方の辺の
長さｅが１４４ｍｍ、他方の辺の長さｆが１９２ｍｍ、
対角線の長さｇが２４０ｍｍとなっており、９．４イン
チサイズの液晶パネル用に対応している。FIG. 15 is a diagram showing the size of the entire screen of a color filter manufactured by the color filter manufacturing apparatus of this embodiment shown in FIG. As shown in FIG. 15, the size of the entire screen of the color filter is such that the length e of one side is 144 mm, the length f of the other side is 192 mm,
The length g of the diagonal line is 240 mm, which corresponds to a 9.4 inch size liquid crystal panel.
【０１９０】[0190]
【発明の効果】以上説明したように本発明は、インクジ
ェットヘッド内の液体通過経路を液体が連続的に流れる
ようにインクジェットヘッドへの液体供給経路が構成さ
れたインクジェット記録装置に、前記液体通過経路内の
液体の連続的な流れを停止する停止手段が備えられたこ
とにより、インクジェットヘッドの吐出口から液体を強
制的に排出させた直後や、インクジェットヘッドの吐出
口面を払拭手段により払拭する動作中、インクジェット
ヘッドの取付け位置を調整する際、インクジェットヘッ
ドを交換する際などに、吐出口やインク供給経路から液
体が流れ出たり、流れっ放しになったりすることを停止
手段によって防止することができ、流れ出た液体によっ
て装置が汚れたり、装置が損傷したりすることを防止す
ることができるという効果がある。また、インクジェッ
ト記録装置における液体の消費量を最小限にとどめるこ
とができるという効果がある。As described above, the present invention relates to an ink jet recording apparatus in which a liquid supply path to an ink jet head is configured so that liquid continuously flows through a liquid passage path in the ink jet head. Since the stop means for stopping the continuous flow of the liquid in the ink jet head is provided, immediately after the liquid is forcibly discharged from the discharge port of the ink jet head, or the operation of wiping the discharge port surface of the ink jet head by the wiping means. The stopping means can prevent the liquid from flowing out or leaving the discharge port or ink supply path when adjusting the mounting position of the inkjet head, replacing the inkjet head, etc. Can prevent the device from being stained or damaged by the escaping liquid. There is a cormorant effect. Further, there is an effect that the consumption of liquid in the ink jet recording apparatus can be minimized.
【０１９１】また、上記のようなインクジェット記録装
置を用いたカラーフィルタ製造装置では、上述のように
インクジェットヘッドの吐出口面の払拭、インクジェッ
トヘッドの取付け位置の調整、およびインクジェットヘ
ッドの交換などを行う際に停止手段によってインクジェ
ットヘッドや供給経路から液体が流れ出たり、液体が流
れっ放しになったりすることが防止されるので、カラー
フィルタ用の基板にインクなどの液体がかかることによ
る不良品の発生がなくなり、カラーフィルタの歩留まり
が高くなるという効果がある。また、インクジェットヘ
ッドから流れ出た液体によってカラーフィルタ製造装置
の内部が汚れたり、装置が損傷したりすることが防止さ
れるので、カラーフィルタのコストが抑えられ、低価格
のカラーフィルタをより確実に製造することができると
いう効果がある。さらに、インクジェット方式のカラー
フィルタ製造装置におけるインクジェットヘッドの交換
作業で、インクジェットヘッドを液体供給経路から切り
離しても液体供給経路内に必要以上に空気が入り込むこ
とがないという効果がある。また、インクジェットヘッ
ドの吐出口から液体がたれることなくインクジェットヘ
ッドを移動させることができるので、インクジェットヘ
ッドの交換作業、インクジェットヘッドの取付け位置を
調整する作業を装置端部で行うことができ、それらの作
業を、より簡単で確実に行うことができるという効果が
ある。Further, in the color filter manufacturing apparatus using the above-described ink jet recording apparatus, as described above, wiping of the discharge port surface of the ink jet head, adjustment of the mounting position of the ink jet head, replacement of the ink jet head, and the like are performed. In this case, the stopping means prevents liquid from flowing out of the ink jet head or the supply path, and prevents the liquid from flowing away, thereby causing defective products due to the liquid such as ink splashing on the color filter substrate. Is eliminated, and the yield of the color filter is increased. In addition, since the inside of the color filter manufacturing device is prevented from being stained or damaged by the liquid flowing out of the ink jet head, the cost of the color filter is suppressed, and the low-cost color filter is manufactured more reliably. There is an effect that can be. Further, there is an effect that air does not unnecessarily enter the liquid supply path even when the ink jet head is separated from the liquid supply path in the replacement operation of the ink jet head in the ink jet type color filter manufacturing apparatus. In addition, since the ink jet head can be moved without liquid dripping from the discharge port of the ink jet head, the work of replacing the ink jet head and the work of adjusting the mounting position of the ink jet head can be performed at the end of the apparatus. Has the effect that the above operation can be performed more simply and reliably.
【図１】本発明の一実施形態のカラーフィルタ製造装置
を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a color filter manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図２】図１に示されるＸＹステージ周辺の斜視図であ
る。FIG. 2 is a perspective view around the XY stage shown in FIG. 1;
【図３】図１に示されるヘッドユニットを構成するイン
クジェットヘッドおよび、検出光学系の配置図である。FIG. 3 is a layout diagram of an ink jet head and a detection optical system that constitute the head unit shown in FIG. 1;
【図４】図１に示したヘッドユニットの上面図である。FIG. 4 is a top view of the head unit shown in FIG. 1;
【図５】図１に示したヘッドユニットの正面図である。FIG. 5 is a front view of the head unit shown in FIG. 1;
【図６】図１に示したヘッドユニットの側面図である。FIG. 6 is a side view of the head unit shown in FIG.
【図７】図１に示したカラーフィルタ製造装置のインク
供給系の構成を示す模式図である。FIG. 7 is a schematic diagram illustrating a configuration of an ink supply system of the color filter manufacturing apparatus illustrated in FIG.
【図８】図７に示した溶存酸素計の詳細を示す断面図で
ある。FIG. 8 is a sectional view showing details of a dissolved oxygen meter shown in FIG. 7;
【図９】ポーラロ式の溶存酸素計の測定原理を説明する
ための模式図である。FIG. 9 is a schematic diagram for explaining a measurement principle of a polaro-type dissolved oxygen meter.
【図１０】図７に示したインクジェットヘッドからイン
クを吐出する際の三方弁の状態を示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating a state of a three-way valve when ink is ejected from the inkjet head illustrated in FIG. 7;
【図１１】図７に示したインクジェットヘッドを避けて
インクを循環させるために、インクをバイパスする際の
三方弁の状態を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing a state of a three-way valve when ink is bypassed in order to circulate the ink while avoiding the inkjet head shown in FIG. 7;
【図１２】図７に示したインクジェットヘッドの供給口
および排出口の両側に向けてインク供給経路内のインク
を加圧する際の三方弁の状態を示す図である。12 is a diagram illustrating a state of a three-way valve when ink in an ink supply path is pressurized toward both sides of a supply port and a discharge port of the inkjet head illustrated in FIG. 7;
【図１３】図１に示したカラーフィルタ製造装置を用い
たカラーフィルタの製造方法を説明するための図であ
る。13 is a diagram for explaining a method of manufacturing a color filter using the color filter manufacturing apparatus shown in FIG.
【図１４】図１に示したカラーフィルタ製造装置により
製造されたカラーフィルタのカラーパターンを示す図で
ある。FIG. 14 is a view showing a color pattern of a color filter manufactured by the color filter manufacturing apparatus shown in FIG.
【図１５】図１に示した本実施形態のカラーフィルタ製
造装置により製造されたカラーフィルタの画面全体の大
きさを示す図である。FIG. 15 is a diagram illustrating the size of the entire screen of a color filter manufactured by the color filter manufacturing apparatus according to the embodiment illustrated in FIG. 1;
１ ガラス基板 ２ ブラックマトリクス ３ 樹脂組成物層 ４ フォトマスク ５ 非着色部 ６ａ 赤色着色部 ６ｂ 緑色着色部 ６ｃ 青色着色部 ７ 光透過部 ８ 保護層 ５１ａ、５１ｂ、５１ｃ アーム ５２ａ、５２ｂ、５２ｃ 調整板 ５３ａ、５３ｃ 固定ブロック ５４ａ、５４ｃ、５５ａ、５５ｃ マイクロメータ ５６ａ、５６ｃ、５７ａ、５７ｃ ロックねじ ５９、６０ ねじ穴 １２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ インクジェットヘッ
ド １２１ａ インク循環経路 ３０１ａ、３０１ｂ、３０１ｃ メインタンク ３０２ メインポンプ ３０４、４０６ 二方弁 ３１１ フィルタ ３２１ 脱気装置 ３２２ 真空ポンプ ３２３、３５１、３５２、３５３、３５４、３５５、３
５６、３５７、３７３、３７６、３７８、４５１、４５
２、４５３、４５４、４５５、４５７、４５８、４５
９、５５１、５５２、５５３、５５４、５７１、５７
２、５７３、５７４、５７５、５７６、５８０、５８１
チューブ ３５０ インク残量センサ ３７１、３７２、４７１、５７７ ジョイント ３７４ カプラプラグ ３７５ カプラソケット ３７７ 吸引ポンプ ３７９ 廃液タンク ４０１ａ、４０１ｂ、４０１ｃ サブタンク ４０２ 加圧モータ ４０２ａ タービン ４０４ ドレイン ４０５ 残量センサ ４５６ 流量計 ４０３、５０２、５０４、５０５ 三方弁 ５１１ａ、５１１ｂ、５１１ｃ メイン脱気装置 ５２０ 溶存酸素計（チャンバ） ５２１ 真空メータ ５２２ 真空ポンプ ５２３ センサ ５２４ マグネチックスターラー ５２６ 回転子 ５２７ａ、５２７ｂ チューブ継手 ５２８ 容器 ５２９ センサ固定治具 ５３１ 陰極 ５３２ 陽極 ５３３ 定電圧電源 ５３４ 測定液 ５３４ａ 低濃度領域 ５３４ｂ 中濃度領域 ５３４ｃ 高濃度領域 ５３５ 隔膜 ５３６ 電解液 ５３７ 電極ボディ ５３７ａ 酸素電極 ５３８ 直流電流計 ５３９ 容器 ５５５、５５６ カプラ ５５７、５５８ 脱着センサ ５６１ コネクタ ６０１ 定盤 ６０２ 除振台 ６０３ ＸＹステージ ６０４ チルトステージ ６０６ ヘッドユニット ６０７ アライメント検出用光学系 ６０８ Ｚ方向検出用光学系 ６０８ａ、６０８ｂ、６０８ｃ Ｚ方向検出用光学素
子 ６０９ 着弾位置検出用光学系 ６１０ ヘッドステージ ６１１ 支柱 ６１２ ヘッドθモータ ６１３ ヘッドユニット支持アーム ６１４ 弁ボックス ６１５ 回復系ユニット ６１６ 洗浄系ユニット ６１７ サーマルチャンバ ６１８ 搬入搬出装置 ６１９ インク供給ユニット ６２０ チューブ束 ６２１ 穴 ６２５ インク供給チューブ ６２６ カプラ部 ６３１ 位置決め装置DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass substrate 2 Black matrix 3 Resin composition layer 4 Photomask 5 Uncolored part 6a Red colored part 6b Green colored part 6c Blue colored part 7 Light transmission part 8 Protective layer 51a, 51b, 51c Arm 52a, 52b, 52c Adjustment plate 53a, 53c Fixed block 54a, 54c, 55a, 55c Micrometer 56a, 56c, 57a, 57c Lock screw 59, 60 Screw hole 120a, 120b, 120c Inkjet head 121a Ink circulation path 301a, 301b, 301c Main tank 302 Main pump 304 , 406 Two-way valve 311 Filter 321 Deaerator 322 Vacuum pump 323, 351, 352, 353, 354, 355, 3
56, 357, 373, 376, 378, 451, 45
2,453,454,455,455,457,458,45
9, 551, 552, 553, 554, 571, 57
2,573,574,575,576,580,581
Tube 350 Ink remaining amount sensor 371, 372, 471, 577 Joint 374 Coupler plug 375 Coupler socket 377 Suction pump 379 Waste liquid tank 401a, 401b, 401c Sub tank 402 Pressurized motor 402a Turbine 404 Drain 405 Remaining amount sensor 456 Flow meter 403, 502 , 504, 505 Three-way valve 511a, 511b, 511c Main deaerator 520 Dissolved oxygen meter (chamber) 521 Vacuum meter 522 Vacuum pump 523 Sensor 524 Magnetic stirrer 526 Rotor 527a, 527b Tube joint 528 Container 529 Sensor fixing jig 531 Cathode 532 Anode 533 Constant voltage power supply 534 Measurement solution 534a Low concentration area 534b Medium concentration area 534c High concentration area 535 Diaphragm 536 Electrolysis Liquid 537 Electrode body 537a Oxygen electrode 538 DC ammeter 539 Vessel 555, 556 Coupler 557, 558 Desorption sensor 561 Connector 601 Surface plate 602 Vibration isolator 603 XY stage 604 Tilt stage 606 Head unit 607 Alignment detection optical system 608 Z direction detection Optical system 608a, 608b, 608c Z-direction detecting optical element 609 Landing position detecting optical system 610 Head stage 611 Support 612 Head θ motor 613 Head unit support arm 614 Valve box 615 Recovery system unit 616 Cleaning system unit 617 Thermal chamber 618 Loading / unloading device 619 Ink supply unit 620 Tube bundle 621 Hole 625 Ink supply tube 626 Coupler 631 Positioning device
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 和田 聡 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 藤池 弘 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C056 EA15 EC18 EC40 FA15 FB01 FB08 JC23 KA01 KB04 KB10 KB15 KB16 KB37 KD02 2H048 BA11 BA64 BB02 BB14 BB44 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Satoshi Wada 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Hiroshi Fujiike 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Incorporated F term (reference) 2C056 EA15 EC18 EC40 FA15 FB01 FB08 JC23 KA01 KB04 KB10 KB15 KB16 KB37 KD02 2H048 BA11 BA64 BB02 BB14 BB44
Claims (17)
通過経路内の液体の一部を吐出する吐出口を有するイン
クジェットヘッドに供給するための液体を貯留するタン
クと、 前記タンクに貯留された液体を前記インクジェットヘッ
ドに供給するための第１の液体経路と、 前記インクジェットヘッドの前記液体通過経路を通過し
た液体が流れ込む第２の液体経路とを有し、 前記タンクから前記第１の液体経路、前記インクジェッ
トヘッドの前記液体通過経路、前記第２の液体経路の順
で液体が連続的に流れるように構成されたインクジェッ
ト記録装置において、 少なくとも前記液体通過経路内の液体の連続的な流れを
停止させる停止手段をさらに有することを特徴とするイ
ンクジェット記録装置。A tank for storing a liquid to be supplied to an ink jet head having a liquid passage path through which the liquid passes, and a discharge port for discharging a part of the liquid in the liquid passage path; and a tank stored in the tank. A first liquid path for supplying a liquid to the inkjet head; and a second liquid path into which the liquid that has passed through the liquid passage path of the inkjet head flows. The first liquid path from the tank. An ink jet recording apparatus configured such that liquid continuously flows in the order of the liquid passage path of the ink jet head and the second liquid path, at least stopping continuous flow of the liquid in the liquid passage path An ink jet recording apparatus, further comprising a stopping means for stopping.
ットヘッド側と反対側の先端から流れ出た液体を前記タ
ンクに戻すための液体戻し経路をさらに有する請求項１
に記載のインクジェット記録装置。2. The liquid supply apparatus according to claim 1, further comprising: a liquid return path for returning the liquid flowing out from a tip of the second liquid path on a side opposite to the inkjet head side to the tank.
3. The ink jet recording apparatus according to claim 1.
ットヘッド側と反対側の先端と、前記タンクに貯留され
た液体の上面との水頭差によって前記タンクから前記第
１の液体経路、前記インクジェットヘッドの前記液体通
過経路、前記第２の液体経路の順で液体が連続的に流れ
るように構成されている請求項１または２に記載のイン
クジェット記録装置。3. The first liquid path from the tank to the first liquid path due to a head difference between a tip of the second liquid path opposite to the ink jet head side and an upper surface of the liquid stored in the tank. 3. The ink jet recording apparatus according to claim 1, wherein the liquid is configured to flow continuously in the order of the liquid passage path of the head and the second liquid path.
通過経路内の液体の一部を吐出する吐出口を有するイン
クジェットヘッドに供給するための液体を貯留する第１
のタンクと、 前記第１のタンクに貯留された液体を前記インクジェッ
トヘッドに供給するための第１の液体経路と、 前記インクジェットヘッドの前記液体通過経路を通過し
た液体が流れ込む第２の液体経路と、 前記第２の液体経路の、前記インクジェットヘッド側と
反対側の先端から流れ出た液体を貯留する第２のタンク
とを有し、 前記第１のタンクから前記第１の液体経路、前記インク
ジェットヘッドの前記液体通過経路、前記第２の液体経
路、前記第２のタンクの順で液体が連続的に流れるよう
に構成されたインクジェット記録装置において、 少なくとも前記液体通過経路内の液体の連続的な流れを
停止させる停止手段をさらに有することを特徴とするイ
ンクジェット記録装置。4. A liquid storage device for storing a liquid to be supplied to an ink jet head having a liquid passage through which the liquid passes and a discharge port for discharging a part of the liquid in the liquid passage.
A first liquid path for supplying the liquid stored in the first tank to the ink jet head, and a second liquid path into which the liquid that has passed through the liquid passage path of the ink jet head flows. A second tank for storing a liquid flowing out of a tip of the second liquid path opposite to the ink jet head, wherein the first liquid path from the first tank and the ink jet head Wherein the liquid continuously flows in the order of the liquid passage path, the second liquid path, and the second tank, wherein at least the continuous flow of the liquid in the liquid passage path An ink jet recording apparatus, further comprising a stopping means for stopping the recording.
記第１のタンクに供給するタンク間液体供給手段をさら
に有する請求項４に記載のインクジェット記録装置。5. The ink jet recording apparatus according to claim 4, further comprising an inter-tank liquid supply means for supplying the liquid stored in the second tank to the first tank.
ットヘッド側と反対側の先端と、前記第１のタンクに貯
留された液体の上面との水頭差によって前記第１のタン
クから前記第１の液体経路、前記インクジェットヘッド
の前記液体通過経路、前記第２の液体経路、前記第２の
タンクの順で液体が連続的に流れるように構成されてい
る請求項４または５に記載のインクジェット記録装置。6. The first liquid from the first tank due to a head difference between a tip of the second liquid path opposite to the ink jet head and an upper surface of the liquid stored in the first tank. The inkjet recording according to claim 4, wherein the liquid is configured to flow continuously in the order of the liquid path, the liquid passage path of the inkjet head, the second liquid path, and the second tank. apparatus.
前記第１の液体経路を通る液体に溶存する気体を該液体
から除去する脱気装置をさらに有する請求項１〜６のい
ずれか１項に記載のインクジェット記録装置。7. A device provided in the middle of the first liquid path,
The ink jet recording apparatus according to any one of claims 1 to 6, further comprising a deaerator for removing a gas dissolved in the liquid passing through the first liquid path from the liquid.
過経路の少なくとも一部が、前記インクジェットヘッド
の前記吐出口の近傍に配置されている請求項１〜７のい
ずれか１項に記載のインクジェット記録装置。8. The ink jet recording apparatus according to claim 1, wherein at least a part of the liquid passage of the ink jet head is arranged near the discharge port of the ink jet head.
ットヘッドの前記液体通過経路、および前記第２の液体
経路でインクを流動させつつ前記インクジェットヘッド
から被記録媒体に向けてインクを吐出させる際に前記イ
ンクジェットヘッドが固定される支持部材と、前記イン
クジェットヘッドの前記吐出口近傍の一平面上で前記被
記録媒体を移動させる移動手段とをさらに有する請求項
１〜８のいずれか１項に記載のインクジェット記録装
置。9. When discharging ink from the ink jet head toward a recording medium while flowing ink through the first ink path, the liquid passage path of the ink jet head, and the second liquid path. 9. The ink jet head according to claim 1, further comprising: a support member to which the inkjet head is fixed; and a moving unit configured to move the recording medium on a plane near the ejection port of the inkjet head. 10. Ink jet recording device.
経路、前記インクジェットヘッドの前記液体通過経路、
前記第２の液体経路の順で液体が連続的に流れる状態で
前記インクジェットヘッドの前記吐出口から液体を強制
的に排出させるために、前記第１のインク経路内の液体
を前記インクジェットヘッドに向けて強制的に送るため
の加圧手段をさらに有し、 前記停止手段が、前記加圧手段により前記吐出口から液
体を強制的に排出させた直後に前記液体通過経路内の液
体の連続的な流れを停止させるものである請求項１〜９
のいずれか１項に記載のインクジェット記録装置。10. The liquid passage path from the first tank to the first liquid path, the liquid passage path of the inkjet head,
The liquid in the first ink path is directed toward the inkjet head in order to forcibly discharge the liquid from the discharge port of the inkjet head while the liquid continuously flows in the order of the second liquid path. Further comprising pressurizing means for forcibly sending the liquid through the liquid passage path immediately after the stopping means forcibly discharges the liquid from the discharge port by the pressurizing means. The flow is stopped.
The inkjet recording device according to any one of the above.
を払拭する払拭手段をさらに有し、 前記停止手段が、前記払拭手段によりインクジェットヘ
ッドの吐出口面を払拭する動作中に前記液体通過経路内
の液体の連続的な流れを停止させるものである請求項１
〜１０のいずれか１項に記載のインクジェット記録装
置。11. The liquid ejection device according to claim 11, further comprising: a wiping unit configured to wipe the ejection opening surface of the inkjet head, wherein the stopping unit wipes the ejection opening surface of the inkjet head by the wiping unit. 2. A continuous flow of water is stopped.
11. The ink jet recording apparatus according to any one of items 10 to 10.
ッドの吐出口面を払拭する動作の終了後、前記液体通過
経路内で液体が連続的に流れるように前記停止手段を制
御する制御手段をさらに有する請求項１１に記載のイン
クジェット記録装置。12. A control means for controlling the stop means so that the liquid flows continuously in the liquid passage after the wiping means finishes the operation of wiping the ejection opening surface of the ink jet head. 12. The ink jet recording apparatus according to item 11.
ヘッドの取付け位置を調整する際に前記液体通過経路内
の液体の連続的な流れを停止させるものである請求項１
〜１２のいずれか１項に記載のインクジェット記録装
置。13. The liquid ejecting apparatus according to claim 1, wherein the stopping means stops a continuous flow of the liquid in the liquid passage when adjusting the mounting position of the ink jet head.
13. The ink jet recording apparatus according to any one of claims 12 to 12.
ヘッドを別のインクジェットヘッドに交換する際に前記
液体通過経路内、前記第１および第２の液体経路内の液
体の連続的な流れを停止させるものである請求項１〜１
３のいずれか１項に記載のインクジェット記録装置。14. The apparatus according to claim 1, wherein the stopping means stops a continuous flow of the liquid in the liquid passage and the first and second liquid paths when replacing the ink jet head with another ink jet head. Claims 1 to 1
4. The ink jet recording apparatus according to any one of items 3.
媒体を移動させつつ前記インクジェットヘッドから前記
被記録媒体に向けて液体を吐出する際に前記被記録媒体
の移動範囲の中央部の上方に配置され、 前記インクジェットヘッドを別のインクジェットヘッド
に交換する際、または前記インクジェットヘッドの取付
け位置を調整する際に前記移動範囲の端部の上方、また
は前記移動範囲の外側上方に配置されるものである請求
項１〜１４のいずれか１項に記載のインクジェット記録
装置。15. The inkjet head is disposed above a central portion of a moving range of the recording medium when ejecting liquid from the inkjet head toward the recording medium while moving the recording medium, When the ink jet head is replaced with another ink jet head, or when the mounting position of the ink jet head is adjusted, the ink jet head is disposed above an end of the moving range or above and outside the moving range. 15. The ink jet recording apparatus according to any one of 1 to 14.
部の上方から前記移動範囲の端部の上方、または前記移
動範囲の外側上方に前記インクジェットヘッドを移動さ
せる際に、前記停止手段が、前記液体通過経路内の液体
の連続的な流れを停止させるものである請求項１５に記
載のインクジェット記録装置。16. When the inkjet head is moved from above a central portion of the moving range of the recording medium to above an end portion of the moving range or above and outside the moving range, the stopping means includes: 16. The ink jet recording apparatus according to claim 15, wherein a continuous flow of the liquid in the liquid passage is stopped.
のインクジェット記録装置を有し、前記インクジェット
記録装置の前記インクジェットヘッドからインクを吐出
させてカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装
置。17. A color filter manufacturing apparatus, comprising: the ink jet recording apparatus according to claim 1; and ejecting ink from the ink jet head of the ink jet recording apparatus to manufacture a color filter.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13036299A JP2000318184A (en) | 1999-05-11 | 1999-05-11 | Ink jet recording apparatus and color filter producing apparatus having the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13036299A JP2000318184A (en) | 1999-05-11 | 1999-05-11 | Ink jet recording apparatus and color filter producing apparatus having the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000318184A true JP2000318184A (en) | 2000-11-21 |
Family
ID=15032572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13036299A Pending JP2000318184A (en) | 1999-05-11 | 1999-05-11 | Ink jet recording apparatus and color filter producing apparatus having the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000318184A (en) |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003053698A1 (en) * | 2001-12-20 | 2003-07-03 | Seiko Epson Corporation | Head unit and method of setting the head unit, drawing device, methods of manufacturing liquid crystal display device, organic el device, electron discharge device, pdp device, electrophoresis display device, color filter, and organic el, and methods of forming spacer ∨ |
| JP2003266738A (en) * | 2002-03-19 | 2003-09-24 | Seiko Epson Corp | Head unit for ejector and ejector comprising it, method for fabricating liquid crystal display, method for fabricating organic el device, method for fabricating electron emitter, method for fabricating pdp device, method for fabricating electrophoretic device, method for producing color filter, method for producing organic el, method for forming spacer, method for forming metal wiring, method for forming lens, method for forming resist, and method for forming light diffuser |
| JP2004167430A (en) * | 2002-11-21 | 2004-06-17 | Seiko Epson Corp | Droplet discharge apparatus, electro-optic device, method for manufacturing electro-optic device, and electronic apparatus |
| JP2004167365A (en) * | 2002-11-19 | 2004-06-17 | Seiko Epson Corp | Liquid feed device, liquid discharge device, liquid drop delivery device, electro-optical device, method for manufacturing electro-optical device and electronic unit |
| JP2004174793A (en) * | 2002-11-26 | 2004-06-24 | Toshiba Tec Corp | Ink jet recorder |
| JP2005305432A (en) * | 2001-03-22 | 2005-11-04 | Celgard Inc | System for debubbling ink |
| JP2005349577A (en) * | 2004-06-08 | 2005-12-22 | Miyakoshi Printing Machinery Co Ltd | Ink supply unit in ink jet recorder |
| JP2006248080A (en) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Toshin Kogyo Co Ltd | Ink deaerating system and ink deaerating method for inkjet printer |
| JP2006281532A (en) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Toppan Printing Co Ltd | Inkjet printing apparatus |
| JP2008006657A (en) * | 2006-06-28 | 2008-01-17 | Toshiba Tec Corp | Liquid replacing method for inkjet recording device, and inkjet recording device |
| JP2010264678A (en) * | 2009-05-15 | 2010-11-25 | Konica Minolta Holdings Inc | Liquid ejector |
| JP2012139949A (en) * | 2011-01-05 | 2012-07-26 | Murata Mfg Co Ltd | Ink discharge method, ink circulation method, and ink discharge device |
| WO2015029599A1 (en) * | 2013-08-28 | 2015-03-05 | 富士フイルム株式会社 | Ink supply unit, ink supply method, and inkjet printing device |
| JP2015522438A (en) * | 2012-04-17 | 2015-08-06 | カティーバ， インコーポレイテッド | Printhead unit assembly for use with an ink jet printing system |
| JP2016199021A (en) * | 2015-04-14 | 2016-12-01 | セイコーエプソン株式会社 | Printer and maintenance method in printer |
| WO2017169528A1 (en) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | コニカミノルタ株式会社 | Inkjet recording device |
| US10457059B2 (en) | 2016-07-18 | 2019-10-29 | Kateeva, Inc. | Printing system assemblies and techniques |
-
1999
- 1999-05-11 JP JP13036299A patent/JP2000318184A/en active Pending
Cited By (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005305432A (en) * | 2001-03-22 | 2005-11-04 | Celgard Inc | System for debubbling ink |
| CN1299903C (en) * | 2001-12-20 | 2007-02-14 | 精工爱普生株式会社 | Head unit and method of setting same, drawing device, liquid crystal display device, organic EL device, electron discharge device PDP device |
| WO2003053698A1 (en) * | 2001-12-20 | 2003-07-03 | Seiko Epson Corporation | Head unit and method of setting the head unit, drawing device, methods of manufacturing liquid crystal display device, organic el device, electron discharge device, pdp device, electrophoresis display device, color filter, and organic el, and methods of forming spacer ∨ |
| JP2003266738A (en) * | 2002-03-19 | 2003-09-24 | Seiko Epson Corp | Head unit for ejector and ejector comprising it, method for fabricating liquid crystal display, method for fabricating organic el device, method for fabricating electron emitter, method for fabricating pdp device, method for fabricating electrophoretic device, method for producing color filter, method for producing organic el, method for forming spacer, method for forming metal wiring, method for forming lens, method for forming resist, and method for forming light diffuser |
| JP2004167365A (en) * | 2002-11-19 | 2004-06-17 | Seiko Epson Corp | Liquid feed device, liquid discharge device, liquid drop delivery device, electro-optical device, method for manufacturing electro-optical device and electronic unit |
| JP2004167430A (en) * | 2002-11-21 | 2004-06-17 | Seiko Epson Corp | Droplet discharge apparatus, electro-optic device, method for manufacturing electro-optic device, and electronic apparatus |
| JP2004174793A (en) * | 2002-11-26 | 2004-06-24 | Toshiba Tec Corp | Ink jet recorder |
| JP2005349577A (en) * | 2004-06-08 | 2005-12-22 | Miyakoshi Printing Machinery Co Ltd | Ink supply unit in ink jet recorder |
| JP4540399B2 (en) * | 2004-06-08 | 2010-09-08 | 株式会社ミヤコシ | Ink supply device in ink jet recording apparatus |
| JP4624144B2 (en) * | 2005-03-11 | 2011-02-02 | 東伸工業株式会社 | Ink degassing system and ink degassing method for ink jet printer |
| JP2006248080A (en) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Toshin Kogyo Co Ltd | Ink deaerating system and ink deaerating method for inkjet printer |
| JP2006281532A (en) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Toppan Printing Co Ltd | Inkjet printing apparatus |
| JP2008006657A (en) * | 2006-06-28 | 2008-01-17 | Toshiba Tec Corp | Liquid replacing method for inkjet recording device, and inkjet recording device |
| JP2010264678A (en) * | 2009-05-15 | 2010-11-25 | Konica Minolta Holdings Inc | Liquid ejector |
| JP2012139949A (en) * | 2011-01-05 | 2012-07-26 | Murata Mfg Co Ltd | Ink discharge method, ink circulation method, and ink discharge device |
| JP2015522438A (en) * | 2012-04-17 | 2015-08-06 | カティーバ， インコーポレイテッド | Printhead unit assembly for use with an ink jet printing system |
| US10493763B2 (en) | 2012-04-17 | 2019-12-03 | Kateeva, Inc. | Printhead unit assembly for use with an inkjet printing system |
| WO2015029599A1 (en) * | 2013-08-28 | 2015-03-05 | 富士フイルム株式会社 | Ink supply unit, ink supply method, and inkjet printing device |
| JP2016199021A (en) * | 2015-04-14 | 2016-12-01 | セイコーエプソン株式会社 | Printer and maintenance method in printer |
| WO2017169528A1 (en) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | コニカミノルタ株式会社 | Inkjet recording device |
| JPWO2017169528A1 (en) * | 2016-03-28 | 2019-02-07 | コニカミノルタ株式会社 | Inkjet recording device |
| US10457059B2 (en) | 2016-07-18 | 2019-10-29 | Kateeva, Inc. | Printing system assemblies and techniques |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100312949B1 (en) | An ink jet recording apparatus provideo with an improved ink supply route | |
| JPH1142795A (en) | Ink jet recording device and device for manufacture of color filter | |
| JP2000318184A (en) | Ink jet recording apparatus and color filter producing apparatus having the same | |
| KR100221293B1 (en) | Color filter manufacturing method and apparatus, ink-jet device,color filter,display device,and apparatus having display device | |
| US6364450B1 (en) | Color filter manufacturing method and apparatus, display device manufacturing method, method of manufacturing apparatus having display device, and display device panel manufacturing method and apparatus | |
| EP3446880B1 (en) | Cap device and liquid ejecting apparatus | |
| KR100533453B1 (en) | Head cap and droplet discharging apparatus with the same, liquid crystal display manufacturing method, organic el apparatus manufacturing method, electron emission apparatus manufacturing method, pdp apparatus manufacturing method, electrophoresis display device manufacturing method, colorfilter manufacturing method, organic el manufacturing method, and forming methods of spacer, metal wire, lens, resist and light diffusion body | |
| KR100597018B1 (en) | Droplet discharge apparatus, manufacturing method of electric optical apparatus, electric optical apparatus and electronic equipment | |
| KR0137634B1 (en) | Detachable ink-jet unit and ink-jet apparatus | |
| US10195855B2 (en) | Capping device and liquid ejecting apparatus | |
| JP3372833B2 (en) | Degassing device for ink discharging device, ink discharging device, liquid discharging device, degassing device for color filter manufacturing device, color filter manufacturing device, ink discharging operation stabilizing method, and ink degassing degree stabilizing method | |
| JP2010018653A (en) | Ink for inkjet, color filter and method for manufacturing the same, and liquid crystal display and image display device using the color filter | |
| JP2000185395A (en) | Ink jet recording apparatus and color filter producing apparatus having the same | |
| JP7087303B2 (en) | Cap device and liquid injection device | |
| JP2000190529A (en) | Control method of amount of dissolved air in liquid within ink jet head, ink jet recording apparatus and color filter producing apparatus | |
| JPH1142796A (en) | Ink jet recording device, color filter manufacturing device, ink jet recording method, manufacture of color filter, and ink deaeration degree fluctuation reducing method | |
| JP2001341319A (en) | Ink jet recorder, apparatus for manufacturing color filter, and their wiping method | |
| JP4438039B2 (en) | Color filter manufacturing method and manufacturing apparatus, liquid crystal panel manufacturing method, display device manufacturing method, display device panel manufacturing method | |
| JP7214420B2 (en) | Inkjet recording method and inkjet recording apparatus | |
| JP2002277622A (en) | Method and device for manufacturing color filter | |
| JP6981103B2 (en) | Liquid injection device and cap device | |
| JP5040724B2 (en) | Fluid ejection device and pressurization control method | |
| JPH10100450A (en) | Ink jet recorder and recording method | |
| JP2006272097A (en) | Nozzle washer, droplet ejection device provided with the same, manufacturing method for electrooptical apparatus, electrooptical apparatus and electronic equipment | |
| CN111114133A (en) | Liquid ejecting apparatus and maintenance method of liquid ejecting apparatus |